JP2003534167A - 可動ノズルおよび外部に配設されたアクチュエータを備えたインクジェットプリントヘッド - Google Patents
可動ノズルおよび外部に配設されたアクチュエータを備えたインクジェットプリントヘッドInfo
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Abstract
Description
、各ノズルが外部に配置されたアクチュエータを備えた可動ノズルを有する、ノ
ズルアレイを有するインクジェットプリントヘッドに関する。
人により、本願と同時に出願された以下の同時係属出願に開示されている。 PCT/AU00/00518,PCT/AU00/00519,PCT/AU
00/00520,PCT/AU00/00521,PCT/AU00/005
22,PCT/AU00/00523,PCT/AU00/00524,PCT
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00/00510,PCT/AU00/00512,PCT/AU00/005
13,PCT/AU00/00514,PCT/AU00/00515 これらの同時係属出願の開示は、参照により本願明細書に援用されたものとす
る。
に、可動ノズルが開示されている。このような可動ノズルデバイスは、可動ノズ
ルを移動させ、それを行いながら、インクを排出するための磁気応答要素により
作動される。
の部品に疎水処理を施す必要がある点が挙げられる。
応じて、ノズルチャンバからノズル開口を介してインクを排出するために、基板
に対して変位可能な少なくとも1つのノズルと、 ノズルの変位を制御するように、ノズルの外部に配設され、ノズルに接続され
たアクチュエータとを有するインクジェットプリントヘッドが提供される。
開口そのものではないものとして理解されたい。
界壁が、インク入口孔を囲み、ノズルチャンバの周囲壁の第2の部分を規定する
。スカート部分は、基板に対して、より詳細には、基板に向かう方向および離れ
る方向に変位可能であり、それぞれインクを排出しノズルチャンバを再充填する
。境界壁は、チャンバからインクを流出させないための阻止手段として作用する
ものであってよい。境界壁は、インクの速度およびリップ部分とスカート部分と
の間の間隔により、密封するように作用して、ノズルが基板の方向に変位したと
きに、インクの排出を阻止するための内向きリップ部分またはワイパ部分を有す
ることが好ましい。
チュエータは、2つのビームにより構成されてよく、一方は能動ビームであり、
他方は受動ビームである。「能動ビーム」とは、アクチュエータが作動すると、
能動ビームに電流が流れるものであるのに対して、受動ビームには電流が流れな
い。アクチュエータの構造により、能動ビームに電流が流れると、抵抗加熱法に
より膨張が生じることが理解されたい。受動ビームが抑圧されるため、接続部材
に曲げモーメントが与えられて、ノズルを変位させる。
端で繋止され、接続部材に反対側の他端で接続されてよい。接続部材は、第1の
端部がアクチュエータに接続され、片持ち式にアームの反対側の端部にノズルが
接続されたアームを有するものであってよい。このようにして、アームの第1の
端部の曲げモーメントが、反対側の端部で膨張して、ノズルの要求された変位を
行う。
基板上に配設された複数のノズルを有するものであってよい。各ノズルは、関連
するアクチュエータと接続部材とともに、ノズルアセンブリを構成するものであ
ってよい。
ロセスにより形成されてよく、より詳細には、ノズルアセンブリは、これらのプ
ロセスによりプリントヘッドに形成されてよい。
OS製造プロセスを用いて形成されてよい。
号10で概して示されている。インクジェットプリントヘッドは、シリコン基板
16上のアレイ14に配設された複数のノズルアセンブリ10を有する。アレイ
14については、以下に詳細に記載する。
6を有する。誘電体層18上には、CMOSパッシベーション層20が堆積され
る。
アーム26の形をした接続部材と、アクチュエータ28とを有する。レバーアー
ム26は、アクチュエータ28をノズル22に接続する。
ト部分32がクラウン部分30から垂下したクラウン部分30を備える。スカー
ト部分32は、ノズルチャンバ34の周囲壁の一部をなす(図面の図2から4)
。ノズル開口24は、ノズルチャンバ34と流通状態にある。ノズル開口24が
、ノズルチャンバ34にあるインク体40のメニスカス38(図2)を「ピンで
とめる」***リム36により囲まれていることに留意されたい。
図示)が規定される。孔42は、基板16を通って規定されるインク入口チャネ
ル47と流通状態にある。
したように、ノズル22のスカート部分32は、ノズルチャンバ34の周囲壁の
第1の部分を規定し、壁部分50は、ノズルチャンバ34の周囲壁の第2の部分
を規定する。
に、インクを流出させない流体シールとして作用する内側に向いたリップ52を
自由端に有する。インク40の速度と、リップ52とスカート部分32との間の
わずかな間隔により、内側に向いたリップ52と表面張力は、インクをノズルチ
ャンバ34から流出させないためのシールとして機能することを理解されたい。
細には、CMOSパッシベーション層20から上向きに延在するアンカー54に
接続される。アンカー54は、アクチュエータ28と電気的接続を形成する伝導
性パッド56上に設けられる。
ビーム58を備える。好適な実施形態において、両方のビーム58および60は
、窒化チタン(TiN)などの伝導性セラミック材料からなるか、その材料を有
するものである。
ーム26に接続されたそれらと反対の端部をそれぞれ有する。能動ビーム58に
電流が流れると、ビーム58は熱膨張する。電流の流れがない受動ビーム60が
同率に膨張しないため、図面の図3に示されているように、アーム26、ひいて
はノズル22が基板16の方へ下向きに変位する曲げモーメントが生じる。これ
により、図面の図3の参照番号62で示されているように、ノズル開口24を介
してインクが排出される。能動ビーム58から熱源が取り除かれると、すなわち
、電流の流れを止めると、図面の図4に示されているように、ノズル22は、静
止位置に戻る。ノズル22が静止位置に戻ると、図面の図4の参照番号66で示
されているように、インク滴のネック部分が***することにより、インク滴64
が形成される。インク滴64は、紙などの印刷媒体上に進む。インク滴64が形
成されたことにより、図面の図4の参照番号68で示されているように、「負」
のメニスカスが形成される。この「負」のメニスカス68により、ノズルチャン
バ34内にインク40を流入して、次のメニスカス38(図2)が形成され、ノ
ズルアセンブリ10から次のインク滴を排出する準備が整う。
に記載する。アレイ14は、4色プリントヘッド用のものである。したがって、
アレイ14は、各色に1つずつ、ノズルアセンブリからなる4つのグループ70
を有する。各グループ70は、二列72および74に並べられたノズルアセンブ
リ10を有する。図面の図6に、グループ70のうちの1つが示されている。
74のノズルアセンブリ10は、列72のノズルアセンブリ10に対して段違い
にされるか、または互い違いにされる。また、列74のノズルアセンブリ10の
レバーアーム26が列72のアセンブリ10の隣接したノズル22間を通過でき
るように、列72のノズルアセンブリ10は、互いに十分な間隔を設けたもので
ある。各ノズルアセンブリ10の形状は、列72のノズル22が、列74の隣接
するノズルアセンブリ10のノズル22とアクチュエータ28との間にはまり込
むように、ほぼダンベル状のものであることに留意されたい。
ズル22の形状は、ほぼ六角形である。
対してノズル開口24がわずかな角度にあるため、インクが垂直面からわずかに
ずれて排出されることは、当業者により理解されよう。列72および74のノズ
ルアセンブリ10のアクチュエータ28が、列72および74の一方側に対して
同じ方向に延在することは、図面の図5および図6に示されている配置の利点で
ある。このようにすると、列72にあるノズル22から排出されるインク滴と、
列74にあるノズル22から排出されるインク滴は、互いに平行になり、印刷品
質が向上する。
ボンドパッド76を有し、これにより、パッド56を介して、ノズルアセンブリ
10のアクチュエータ28に電気的接続を与える。これらの電気的接続は、CM
OS層(図示せず)を介して形成される。
特記しないかぎり、同様の参照番号は同様の部品を表す。
る。ノズルガード80は、複数の通路84が貫通して規定された本体部材82を
有する。通路84は、アレイ14のノズルアセンブリ10のノズル開口24と整
合しているため、ノズル開口24の任意の1つからインクが排出されると、イン
クは、関連する通路84を通過した後、印刷媒体にあたる。
対して間隔を置いて設けられる。支柱86の1つには、そこに規定された空気入
口開口88がある。
通路84を通って進むインクとともに、通路84に押し進められる。
は空気に引き込まれない。例えば、インク滴4は、約3m/sの速度でノズル2
2から排出される。空気は、約1m/sの速度で通路84を介して充填される。
の異物がノズルアセンブリ10に落ちると、それらの動作に悪影響を及ぼす危険
性がある。ノズルガード80に空気入口開口88を設けることで、この問題が大
幅に解消される。
スが記載されている。
層18が堆積される。誘電体層18は、約1.5ミクロンのCVD酸化物の形を
したものである。層18上に、レジストがスピニングされ、層18は、マスク1
00に対して露光されて、現像される。
に、レジストが剥離され、層18がクリーニングされる。このステップにより、
インク入口孔42が画定される。
が堆積される。レジストがスピニングされ、アルミニウム102は、マスク10
4に対して露光され現像される。アルミニウム102は、酸化物層18まで下方
にプラズマエッチングされ、レジストが剥離されて、デバイスがクリーニングさ
れる。このステップにより、インクジェットアクチュエータ28にボンドパッド
と配線が与えられる。この配線は、NMOS駆動トランジスタとCMOS層(図
示せず)に形成された接続との電源プレーンに対するものである。
物が堆積される。レジストがスピニングされ、層20は、マスク106に対して
露光された後、現像される。現像後、窒化物は、アルミニウム層102および入
口孔42の領域にあるシリコン層16まで下方にプラズマエッチングされる。レ
ジストが剥離されて、デバイスがクリーニングされる。
の感光性ポリイミドまたは約4μmの高温レジストである。層108は、ソフト
ベークされて、マスク110に対して露光された後、現像される。層108がポ
リイミドからなる場合、層108は、1時間400℃でハードベークされるか、
層108が高温レジストの場合、300℃よりも高温でハードベークされる。図
面において、マスク110の設計に際し、収縮により生じたポリイミド層108
のパターンに依存したゆがみを考慮に入れることに留意されたい。
12が適用される。層112は、スピニングされる2μmの感光性ポリイミドま
たは約1.3μmの高温レジストのいずれかである。層112は、ソフトベーク
され、マスク114に対して露光される。マスク114に対して露光された後、
層112は現像される。層112がポリイミドである場合、層112は、約1時
間400℃でハードベークされる。層112がレジストである場合、約1時間3
00℃より高温でハードベークされる。
は、アクチュエータ28の受動ビーム60をなす。
ングした後、50Åの窒化タンタル(TaN)をスパッタリングすることにより
形成される。さらに、1,000ÅのTiNがスパッタリングされた後、50Å
のTaNと、さらに1,000ÅのTiNがスパッタリングされる。
Al)Nである。
で下方にプラズマエッチングされた後、硬化した層108または112を除去し
ないように注意しながら、層116に適用されたレジストがウェット剥離される
。
ることにより、第3の犠牲層120が適用される。層120は、ソフトベークさ
れた後、マスク122に対して露光される。次に、露光された層は、現像された
後、ハードベークされる。層120は、ポリイミドの場合、約1時間400℃で
ハードベークされるか、層120がレジストからなる場合、300℃を超える温
度でハードベークされる。
116と同じものであり、同じ方法で適用される。層116および124の両方
は、導電層であることを理解されたい。
リイミドまたはレジスト層120まで下方にプラズマエッチングされた後、硬化
した層108、112または120を除去しないように注意しながら、層124
に適用されたレジストがウェット剥離される。層124の残りの部分が、アクチ
ュエータ28の能動ビーム58を規定することに留意されたい。
ることにより、第4の犠牲層128が適用される。層128は、ソフトベークさ
れ、マスク130に対して露光された後、現像されて、図面の図9kに示されて
いるように、アイランド部分を残す。層128の残りの部分は、ポリイミドの場
合、約1時間400℃でハードベークされるか、レジストの場合、300℃より
も高温でハードベークされる。
る。層132は、約1μmの窒化シリコンまたは酸化アルミニウムにより構成さ
れる。層132は、犠牲層108、112、120、128のハードベーク温度
より低い温度で堆積される。この誘電体層132に必要な主要な特徴は、高弾性
率、化学的に不活性なこと、およびTiNへの良好な接着性である。
ることにより、第5の犠牲層134が適用される。層134は、ソフトベークさ
れ、マスク136に対して露光されて、現像される。次に、層134の残りの部
分は、ポリイミドの場合、1時間400℃でハードベークされ、レジストの場合
、300℃を超える温度でハードベークされる。
28まで下方にプラズマエッチングされる。
ブリ10のアンカー54が規定される。
112、120および128のハードベーク温度より低い温度で、0.2μmの
窒化シリコンまたは窒化アルミニウムを堆積することにより形成される。
深さまで異方性プラズマエッチングされる。このエッチングは、誘電体層132
および犠牲層134の側壁以外の表面のすべてから誘電体層を取り除くためのも
のである。このステップにより、上述したように、インクのメニスカスを「ピン
でとめる」ノズル開口24付近のノズルリム36が形成される。
に、4μmのレジストがスピニングされる。ウェーハ16は、ウェーハ16をバ
ックエッチングするようにマスク142まで露光されて、インク入口チャネル4
8を規定する。次に、レジストは、ウェーハ16から剥離される。
ープ140が取り除かれる。酸素プラズマで犠牲層108、112、120、1
28および134が剥離されて、図面の図8rおよび図9rに示されているよう
に、最終的なノズルアセンブリ10を与える。参照しやすいように、これらの2
つの図面に示されている参照番号は、ノズルアセンブリ10の関連部品を示すた
めに、図面の図1のものと同じである。図11および図12は、図8および図9
を参照して上述したプロセスに従って製造されたノズルアセンブリ10の動作を
示し、これらの図は、図面の図2から4に対応する。
囲から逸脱することなく、本発明に様々な変更および/または修正が加えられて
よいことは、当業者により理解されよう。したがって、本発明は、例示的かつ非
制限的にすべての点において考慮されるべきである。
を示す。
におけるステップの三次元図を示す。
のレイアウトを示す。
の動作の三次元図を示す。
の動作の断面側面図を示す。
、24…ノズル開口、34…ノズルチャンバ。
Claims (13)
- 【請求項1】 インクジェットプリントヘッドであって、 基板と、 基板上に配設され、ノズルチャンバと連通状態のノズル開口を規定し、要求に
応じて、ノズルチャンバからノズル開口を介してインクを排出するために、基板
に対して変位可能な少なくとも1つのノズルと、 ノズルの変位を制御するように、ノズルの外部に配設され、ノズルに接続され
たアクチュエータとを有するインクジェットプリントヘッド。 - 【請求項2】 開口を規定するクラウン部分と、クラウン部分から垂下し、
ノズルチャンバの周囲壁の第1の部分をなすスカート部分とを有する請求項1に
記載のプリントヘッド。 - 【請求項3】 ノズルチャンバの床に規定されたインク入口孔を有し、境界
壁が、前記孔を囲み、ノズルチャンバの周囲壁の第2の部分を規定する請求項2
に記載のプリントヘッド。 - 【請求項4】 前記スカート部分は、基板に対して変位可能であり、前記境
界壁は、チャンバからインクを流出させないための阻止手段として働く請求項3
に記載のプリントヘッド。 - 【請求項5】 アクチュエータは、熱曲げアクチュエータである請求項1に
記載のプリントヘッド。 - 【請求項6】 熱曲げアクチュエータは、2つのビームにより構成され、一
方は能動ビームであり、他方は受動ビームである請求項5に記載のプリントヘッ
ド。 - 【請求項7】 アクチュエータは、接続部材によりノズルに接続される請求
項6に記載のプリントヘッド。 - 【請求項8】 ビームは、基板上に取り付けられたアンカーに一端で繋止さ
れ、接続部材に反対側の他端で接続される請求項7に記載のプリントヘッド。 - 【請求項9】 接続部材は、第1の端部がアクチュエータに接続され、片持
ち式にアームの反対側の端部にノズルが接続されたアームを有する請求項8に記
載のプリントヘッド。 - 【請求項10】 関連するアクチュエータと接続部材をそれぞれが備えた、
基板上に配設された複数のノズルを有する請求項1に記載のプリントヘッド。 - 【請求項11】 平面モノリシック堆積、リソグラフィおよびエッチングプ
ロセスにより形成される請求項1に記載のプリントヘッド。 - 【請求項12】 基板は、集積駆動回路層を有する請求項1に記載のプリン
トヘッド。 - 【請求項13】 集積駆動回路層は、CMOS製造プロセスを用いて形成さ
れる請求項12に記載のプリントヘッド。
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