JP2003337243A - 光ファイバアレイとその製法及び光ファイバ固定板 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 光ファイバホルダの一端において高精度且つ
簡単に光ファイバの位置を決定する。 【解決手段】 光ファイバＦ_１１〜Ｆ_４８を保持するホ
ルダ１０には、一端から他端に貫通するように位置決め
ピン１２ａ，１２ｂにそれぞれ対応するピン挿入孔を設
ける。光ファイバ固定板１４は、光ファイバＦ_１１〜Ｆ
_４８に対応する固定孔Ｓ_１１〜Ｓ_４８とピン１２ａ，１
２ｂに対応するピン挿入孔Ｓａ，Ｓｂとを有する。固定
板１４の装着面には、固定孔Ｓ_１１〜Ｓ_４８にそれぞれ
対応する挿通孔とピン挿入孔Ｓａ，Ｓｂにそれぞれ対応
するピン挿通孔とを有する補強層１６を設ける。ピン１
２ａ，１２ｂをホルダ１０のピン挿入孔、補強層１６の
ピン挿通孔及び固定板１４のピン挿入孔Ｓａ、Ｓｂに挿
入し且つ固定板１４を補強層１６側でホルダ１０の一端
に装着した状態で各固定孔に光ファイバを挿入し、接着
・固定する。固定板１４の前面を研磨して平坦化する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、光ファイバを用
いた光伝送路形成技術に関し、特に光ファイバアレイと
その製法及びこの製法の実施に使用する光ファイバ固定
板に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、２次元光ファイバアレイとして
は、図２３，２４に示すものが本願と同一出願人により
既に提案されている（例えば、特願２００１−２４１１
８０号参照）。

【０００３】図２３，２４に示す光ファイバアレイにあ
っては、光ファイバホルダ１の一端から他端に貫通する
ように保持孔Ｊ_１〜Ｊ_８を設けると共に、ホルダ１の端
部には保持孔Ｊ_１〜Ｊ_８に対応する位置決め孔Ｈ_１〜Ｈ
_８を有する位置決め板２を装着し、位置決め板２を装着
した状態で保持孔Ｊ_１〜Ｊ_８から位置決め孔Ｈ_１〜Ｈ _８
にそれぞれ光ファイバＦ_１〜Ｆ_８を挿通し、固定する構
成になっている。このような光ファイバアレイによれ
ば、位置決め板２を薄膜プロセスにより簡単且つ精度よ
く形成できるので、高精度の位置決めが可能である。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記した従来技術によ
ると、ホルダ１の端面に金属製の位置決め板２を装着し
ているため、次のような問題点がある。

【０００５】（１）ホルダ１の端面に位置決め板２を装
着する際に、各保持孔に対して対応する位置決め孔をミ
クロンレベルで精密に位置合せする必要があり、位置合
せ作業が容易でない。このような位置合せが不十分であ
ると、光ファイバが挿入の途中で折れる事態を招く。

【０００６】（２）位置決め板２は、厚さが１００μｍ
程度と非常に薄いため、四辺に沿う側部で保持するのが
困難である。そこで、位置決め板２をホルダ１の端面に
装着する際には、位置決め板２のホルダ１側の主面をホ
ルダ１の端面に接着剤で接着・固定するのが通例であ
る。この場合、ホルダ１の端面に平行に位置決め板２を
貼付する作業が容易でない。面の平行度が不十分である
と、接着層が不均一となり、熱膨張時に位置決め板２の
そり等のトラブルが発生する。

【０００７】（３）ホルダ１の端面に位置決め板２を装
着した後、Ｊ_１等の各保持孔を介してＨ_１等の各位置決
め孔に光ファイバを挿通すると共に、メッキ処理により
各位置決め孔と光ファイバとの間に金属を充填して光フ
ァイバを固定する。そして、位置決め板２の前面から突
出した光ファイバを切断した後、位置決め板２の前面を
研磨して平坦化する。位置決め板２は、多数の位置決め
孔を配置したファイバ貫通部において機械的強度が低下
しているため、研磨処理中に後方に凹んだり、前方に膨
らんだりしてうねりを生じ、十分な平坦性が得られない
ことがある。

【０００８】この発明の目的は、光ファイバホルダの一
端において高精度且つ簡単に光ファイバの位置を決定す
ることができる新規な光ファイバアレイとその製法及び
光ファイバ固定板を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この発明に係る光ファイ
バアレイは、１又は複数の光ファイバと、前記１又は複
数の光ファイバのうちの各光ファイバに対応する光ファ
イバ保持孔が一端から他端に貫通するように設けられた
光ファイバホルダと、前記光ファイバホルダの一端から
突出するように前記光ファイバホルダに設けられた位置
決めピンと、前記光ファイバホルダの各光ファイバ保持
孔に対応する光ファイバ固定孔と前記位置決めピンに対
応するピン挿入孔とがいずれも一方の主面から他方の主
面に貫通するように設けられると共に各光ファイバ固定
孔が該他方の主面に近づくにつれてサイズを増大するよ
うに形成された光ファイバ固定板であって前記他方の主
面には各光ファイバ固定孔に対応する光ファイバ挿通孔
と前記ピン挿入孔に対応するピン挿通孔とを有する補強
層が設けられたものと、前記補強層のピン挿通孔及び前
記光ファイバ固定板のピン挿入孔に前記位置決めピンを
挿入して前記光ファイバホルダと前記光ファイバ固定板
とを位置合せした状態で前記光ファイバ固定板を前記補
強層側で前記光ファイバホルダの一端に装着する装着手
段と、前記装着手段により前記光ファイバ固定板を前記
光ファイバホルダの一端に装着し且つ各光ファイバを前
記光ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔、前記
補強層の対応する光ファイバ挿通孔及び前記光ファイバ
固定板の対応する光ファイバ固定孔に挿入した状態で各
光ファイバを前記光ファイバ固定板に固定する固定手段
とを備えたものである。ここで、孔のサイズとは、孔の
直径、孔の一辺の寸法等をいう。また、位置決めピン
は、光ファイバホルダに保持させるようにしてもよく、
あるいは光ファイバホルダに一体的に形成してあっても
よい。

【００１０】この発明の光ファイバアレイによれば、光
ファイバホルダに設けた位置決めピンを補強層のピン挿
通孔及び光ファイバ固定板のピン挿入孔に挿入して光フ
ァイバホルダと光ファイバ固定板とを位置合せするよう
にしたので、光ファイバホルダの各光ファイバ保持孔に
対して光ファイバ固定板の対応する光ファイバ固定孔を
簡単に且つ精度よく位置決めすることができる。また、
光ファイバ固定板は、装着面に補強層を設けて機械的強
度の向上を図ったため、光ファイバ固定板を光ファイバ
ホルダの端面に接着等により装着する際に面の平行度を
出しやすく、そり等が生じにくい。

【００１１】その上、光ファイバ固定板は、薄膜プロセ
スによりサブミクロンの精度で作成可能であるため、光
ファイバホルダの一端において光ファイバの高精度の位
置決めを行なうことができる。光ファイバ固定板は、各
光ファイバ固定孔の大サイズ端が光ファイバホルダの他
端を向くように光ファイバホルダの一端に装着されるの
で、光ファイバホルダの他端から各光ファイバ固定孔に
光ファイバを簡単に挿入することができる。

【００１２】この発明に係る第１の光ファイバアレイの
製法は、１又は複数の光ファイバと、前記１又は複数の
光ファイバのうちの各光ファイバに対応する光ファイバ
保持孔が一端から他端に貫通するように設けられると共
に該一端から該他端に向けて延長するようにピン挿入孔
（又は溝）が設けられた光ファイバホルダと、前記ピン
挿入孔（又は溝）に挿入されるべき位置決めピンと、前
記光ファイバホルダの各光ファイバ保持孔に対応する光
ファイバ固定孔と前記位置決めピンに対応するピン挿入
孔とがいずれも一方の主面から他方の主面に貫通するよ
うに設けられると共に各光ファイバ固定孔が該他方の主
面に近づくにつれてサイズを増大するように形成された
光ファイバ固定板であって前記他方の主面には各光ファ
イバ固定孔に対応する光ファイバ挿通孔と前記光ファイ
バ固定板のピン挿入孔に対応するピン挿通孔とを有する
補強層が設けられたものとを用意するステップと、前記
光ファイバホルダのピン挿入孔（又は溝）と前記補強層
のピン挿通孔と前記光ファイバ固定板のピン挿入孔とに
前記位置決めピンを挿入して前記光ファイバホルダと前
記光ファイバ固定板とを位置合せするステップと、前記
光ファイバホルダと前記光ファイバ固定板とを位置合せ
した状態で前記光ファイバ固定板を前記補強層側で前記
光ファイバホルダの一端に装着するステップと、前記光
ファイバ固定板を前記補強層側で前記光ファイバホルダ
の一端に装着した状態で各光ファイバを前記光ファイバ
ホルダの他端から前記光ファイバホルダの対応する光フ
ァイバ保持孔、前記補強層の対応する光ファイバ挿通孔
及び前記光ファイバ固定板の対応する光ファイバ固定孔
に挿入するステップと、各光ファイバを前記光ファイバ
ホルダの対応する光ファイバ保持孔、前記補強層の対応
する光ファイバ挿通孔及び前記光ファイバ固定板の対応
する光ファイバ固定孔に挿入した状態で各光ファイバを
前記光ファイバ固定板に固定するステップとを含むもの
である。

【００１３】また、この発明に係る第２の光ファイバア
レイの製法は、１又は複数の光ファイバと、前記１又は
複数の光ファイバのうちの各光ファイバに対応する光フ
ァイバ保持孔が一端から他端に貫通するように設けられ
ると共に該一端から突出するように位置決めピンが形成
された光ファイバホルダと、前記光ファイバホルダの各
光ファイバ保持孔に対応する光ファイバ固定孔と前記位
置決めピンに対応するピン挿入孔とがいずれも一方の主
面から他方の主面に貫通するように設けられると共に各
光ファイバ固定孔が該他方の主面に近づくにつれてサイ
ズを増大するように形成された光ファイバ固定板であっ
て前記他方の主面には各光ファイバ固定孔に対応する光
ファイバ挿通孔と前記ピン挿入孔に対応するピン挿通孔
とを有する補強層が設けられたものとを用意するステッ
プと、前記補強層のピン挿通孔と前記光ファイバ固定板
のピン挿入孔とに前記位置決めピンを挿入して前記光フ
ァイバホルダと前記光ファイバ固定板とを位置合せする
ステップと、前記光ファイバホルダと前記光ファイバ固
定板とを位置合せした状態で前記光ファイバ固定板を前
記補強層側で前記光ファイバホルダの一端に装着するス
テップと、前記光ファイバ固定板を前記補強層側で前記
光ファイバホルダの一端に装着した状態で各光ファイバ
を前記光ファイバホルダの他端から前記光ファイバホル
ダの対応する光ファイバ保持孔、前記補強層の対応する
光ファイバ挿通孔及び前記光ファイバ固定板の対応する
光ファイバ固定孔に挿入するステップと、各光ファイバ
を前記光ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔、
前記補強層の対応する光ファイバ挿通孔及び前記光ファ
イバ固定板の対応する光ファイバ固定孔に挿入した状態
で各光ファイバを前記光ファイバ固定板に固定するステ
ップとを含むものである。

【００１４】第１又は第２の光ファイバアレイの製法に
よれば、前述したこの発明の光ファイバアレイを簡単に
且つ精度よく製作することができる。第２の光ファイバ
アレイの製法によれば、位置決めピンが光ファイバホル
ダの一端に形成されているため、光ファイバホルダのピ
ン挿入孔等に位置決めピンを挿入する作業が不要であ
る。

【００１５】第１又は第２の光ファイバアレイの製法に
おいては、各光ファイバを光ファイバホルダに固定した
状態で光ファイバ固定板の一方の主面（前面）を研磨し
て平坦化するステップを実行するようにしてもよい。こ
の場合、光ファイバ固定板の装着面に補強層を設けてあ
るため、研磨中に光ファイバ固定板にうねりが発生する
のを防止することができる。光ファイバ固定板を研磨す
ると、光ファイバホルダの端部を平坦且つ清浄な面とす
ることができ、他の光デバイスと結合するときに結合損
失を低減することができる。

【００１６】

【発明の実施の形態】図１は、この発明の一実施形態に
係る２次元光ファイバアレイを示すもので、図１のＸ−
Ｘ’線に沿う断面は図２に示し、図１のＹ−Ｙ’線に沿
う断面は図３に示す。

【００１７】光ファイバホルダ１０は、一例として四角
柱状のもので、セラミック（例えばジルコニア）、金属
（例えばＮｉ−Ｆｅ合金）又はプラスチック等からなっ
ている。ホルダ１０には、図２に示すように光ファイバ
保持孔Ｈ_１１，Ｈ_２１，Ｈ_{３ １}，Ｈ_４１が実質的に平行
な状態でホルダ１０の一端から他端に貫通するように設
けられると共に、保持孔Ｈ_１１〜Ｈ_４１を含む保持孔列
に並べて各々保持孔Ｈ _１１〜Ｈ_４１と同様の光ファイバ
保持孔を含む７列の保持孔列が設けられている。すなわ
ち、ホルダ１０には、３２個の光ファイバ保持孔が行列
状に設けられている。各光ファイバ保持孔の形状は、一
例として円形状である。

【００１８】ホルダ１０には、図３に示すようにピン挿
入孔１０ａ，１０ｂが実質的に平行な状態でホルダ１０
の一端から他端に貫通するように設けられている。ピン
挿入孔１０ａ，１０ｂは、Ｈ_１１等の各保持孔に対して
実質的に平行な状態にある。Ｈ_１１等の各保持孔及びピ
ン挿入孔１０ａ，１０ｂは、いずれも図２，３に示すよ
うにホルダ１０の他端に近づくにつれてサイズが増大す
るようになっている。これは、光ファイバや位置決めピ
ンの挿入を容易にするためである。

【００１９】光ファイバ固定板１４は、例えば５０μｍ
の厚さｔ_１（図２参照）を有するＮｉ−Ｆｅ合金等の金
属からなるもので、一方の主面から他方の主面に貫通す
るようにホルダ１０の３２個の保持孔にそれぞれ対応す
る光ファイバ固定孔Ｓ_１１〜Ｓ_４８が行列状に設けられ
ている。図２，４には、固定孔Ｓ_１１〜Ｓ_４８のうち、
Ｓ_２２，Ｓ_３２，Ｓ_３３，Ｓ_１１，Ｓ_２１，Ｓ_３１，Ｓ
_４１が例示されている。各固定孔は、光ファイバの挿入
を容易にするために固定板１４の他方の主面に近づくに
連れてサイズが増大するように形成されている。各固定
孔の形状は、一例として円形状であり、大サイズ端の直
径Ｄ及び小サイズ端の直径ｄ（図４参照）は、一例とし
てそれぞれ２２０μｍ及び１２６μｍとすることができ
る。

【００２０】固定板１４には、図１，３に示すようにホ
ルダ１０のピン挿入孔１０ａ，１０ｂにそれぞれ対応す
るピン挿入孔Ｓａ，Ｓｂが一方の主面から他方の主面に
貫通するように設けられている。ピン挿入孔Ｓａ，Ｓｂ
は、いずれも位置決めピンの挿入を容易にするために固
定板１４の他方の主面に近づくに連れてサイズが増大す
るように形成されている。各ピン挿入孔の形状は、一例
として円形状である。

【００２１】固定板１４の一方の主面には、図２，４に
示すように固定孔Ｓ_２２，Ｓ_３２，Ｓ_３３，Ｓ_１１，Ｓ
_２１，Ｓ_３１，Ｓ_４１の小サイズ端にそれぞれ連続して
いずれも該小サイズ端よりサイズの大きい接着孔
Ｍ_２２，Ｍ_３２，Ｍ_３３，Ｍ_１１，Ｍ_２１，Ｍ_３１，Ｍ
_４１が形成されており、他の固定孔についても同様の接
着孔が形成されている。Ｍ_１１等の各接着孔は、光ファ
イバを固定板１４に接着・固定するために用いられるも
のである。また、固定板１４の一方の主面には、図３に
示すようにピン挿入孔Ｓａ，Ｓｂの小サイズ端にそれぞ
れ連続して該小サイズ端よりサイズの大きい接着孔Ｍ
ａ，Ｍｂが形成されている。Ｍａ等の各接着孔は、位置
決めピンを固定板１４に接着・固定するために用いられ
るものである。なお、図１では、簡単のため、Ｍ_１１，
Ｍａ等の各接着孔の図示を省略した。

【００２２】固定板１４の他方の主面には、例えば５０
μｍの厚さｔ_２（図２参照）を有するＮｉ−Ｆｅ合金等
の金属からなる補強層１６が設けられている。補強層１
６は、５０〜１００μｍ程度の薄い固定板１４の機械的
強度を増強するために設けられたもので、図２、４に示
すように固定孔Ｓ_２２，Ｓ_３２，Ｓ_３３，Ｓ_１１，Ｓ
_２１，Ｓ_３１，Ｓ_４１の大サイズ端にそれぞれ連続して
いずれも該大サイズ端よりサイズの大きい光ファイバ挿
通孔Ｕ_２２，Ｕ_３２，Ｕ_３３，Ｕ_１１，Ｕ_２１，
Ｕ_３１，Ｕ_４１が形成されており、他の固定孔について
も同様の光ファイバ挿通孔が形成されている。補強層１
６における光ファイバ挿通孔の配置は、一例としてハニ
カム状配置とし、各光ファイバ挿通孔を構成する六角形
孔において対向する二辺間の距離Ｌは、２３０μｍとす
ることができる。各光ファイバ挿通孔の形状は、円形又
は楕円形であってもよく、六角形以外の多角形（三角
形、四辺形、平行四辺形等）であってもよい。

【００２３】補強層１６には、図３に示すようにピン挿
入孔Ｓａ，Ｓｂの大サイズ端にそれぞれ連続していずれ
も該大サイズ端よりサイズの大きいピン挿通孔Ｕａ，Ｕ
ｂが形成されている。ピン挿通孔Ｕａ，Ｕｂの形状は、
一例として円形状であるが、多角形等であってもよい。
補強層１６を有する光ファイバ固定板１４は、後述する
ように薄膜プロセスを用いて簡単に且つ精度よく作成可
能である。

【００２４】図１の光ファイバアレイを製作する際に
は、固定板１４を補強層１６がホルダ１０の一端に対向
するように配置した状態において、ピン挿入孔１０ａ，
１０ｂと、ピン挿通孔Ｕａ，Ｕｂと、ピン挿入孔Ｓａ，
Ｓｂと、接着孔Ｍａ，Ｍｂとに図１，３に示すように位
置決めピン１２ａ，１２ｂをそれぞれ挿入する。位置決
めピン１２ａ，１２ｂは、いずれも例えば直径１ｍｍ程
度のステンレススチール等の金属又はアルミナ等のセラ
ミックからなっている。ピン挿入孔１０ａ，１０ｂ，Ｓ
ａ，Ｓｂには、いずれも大サイズ端から位置決めピンが
挿入されるので、挿入作業が容易となる。上記のように
位置決めピン１２ａ，１２ｂを挿入した状態では、固定
板１４とホルダ１０とが位置合せされた状態となり、こ
のような位置合せ状態において固定板１４を補強層１６
側でホルダ１０に接着等により装着する（固定する）。
また、位置決めピン１２ａ，１２ｂを図５について後述
する光ファイバの接着と同様にしてそれぞれ接着孔Ｍ
ａ，Ｍｂにて接着剤により接着することにより固定板１
４に固定する。この結果、固定板１４の各固定孔は、ホ
ルダ１０の対応する保持孔に連通するようにホルダ１０
に精密に位置合せされたことになる。

【００２５】上記のように位置決めピン１２ａ，１２ｂ
を固定板１４に固定すると共に固定板をホルダ１０に固
定した状態において、図２に示すように保持孔Ｈ_１１と
挿通孔Ｕ_１１と固定孔Ｓ_１１と接着孔Ｍ_１１との連通
孔、保持孔Ｈ_２１と挿通孔Ｕ_{２ １}と固定孔Ｓ_２１と接着
孔Ｍ_２１との連通孔、保持孔Ｈ_３１と挿通孔Ｕ_３１と固
定孔Ｓ_３１と接着孔Ｍ_３１との連通孔及び保持孔Ｈ_４１
と挿通孔Ｕ_４１と固定孔Ｓ_４１と接着孔Ｍ_４１との連通
孔には、ホルダ１０の他端から光ファイバＦ_１１、Ｆ
_２１、Ｆ_３１及びＦ_４１をそれぞれ挿通する。このこと
は、他の保持孔と挿通孔と固定孔と接着孔との連通孔に
ついても同様である。各保持孔及び各固定孔には、いず
れも大サイズ端から光ファイバが挿通されるので、挿入
作業が容易となる。各光ファイバは、対応する接着孔に
て接着剤により固定板１４に接着・固定される。

【００２６】図５は、このときの接着・固定構造を接着
孔Ｍ_１１，Ｍ_２１について例示するものである。保持孔
Ｈ_１１、挿通孔Ｕ_１１、固定孔Ｓ_１１及び接着孔Ｍ_１１
には光ファイバＦ_１１を、保持孔Ｈ_２１、挿通孔
Ｕ_２１、固定孔Ｓ_２１及び接着孔Ｍ _２１には光ファイバ
Ｆ_２１をそれぞれ挿通した後、接着孔Ｍ_１１，Ｍ_２１に
接着剤を充填して接着層Ａ_１１，Ａ_２１を形成し、接着
層Ａ_１１，Ａ_２１を硬化させることにより光ファイバＦ
_１１，Ｆ_２１を固定板１４に固定する。

【００２７】この後、固定板１４の前面から突出した光
ファイバを切断する。そして、固定板１４の前面に研磨
処理を施してＦ_１１等の光ファイバの切断後の残存部や
Ａ_{１ １}等の接着層の膨出部を除去し、固定板１４の前面
を平坦化する。このようにすると、他の光デバイスと結
合する際に結合損失を低減することができる。

【００２８】なお、研磨処理としては、必要に応じて斜
め研磨処理を施してもよい。また、光ファイバ固定手段
としては、従来技術に関して前述したようにメッキ金属
によりＦ_１１等の各光ファイバを固定板１４に固定する
方法を用いてもよい。

【００２９】図６は、ホルダと固定板の位置合せ方法の
変形例を示すもので、図１〜３と同様の部分には同様の
符号を付して詳細な説明を省略する。

【００３０】図６の例では、ホルダ１０の一端から他端
に向けて延長するように（又は他端に達するように）ホ
ルダ１０の上部及び両側部に位置決めピン挿入溝１０
ｐ、１０ｑ、１０ｒを設ける。ピン挿入溝１０ｐ〜１０
ｒは、いずれも固定板１４の前面から固定板１４及び補
強層１６の各端縁部を通ってホルダ１０の他端側に延長
している。

【００３１】位置合せに際しては、図６に示すように固
定板１４をホルダ１０の一端に補強層１６が接触するよ
うに配置した状態においてピン挿入溝１０ｐ、１０ｑ、
１０ｒにそれぞれ板状の位置決めピン１２ｐ、１２ｑ、
１２ｒを図６にて矢印で示すように挿入し、接着等によ
りホルダ１０及び固定板１４に固定する。この場合、固
定板１４が各位置決めピンの接着によりホルダ１０に固
定される。このような固定状態において、前述したと同
様に光ファイバ挿入作業を行なう。位置決めピン１２ｐ
〜１２ｒにおいてホルダ１０、固定板１４及び補強層１
６から突出した部分は、研磨処理等により除去すること
ができる。

【００３２】他の位置合わせ方法としては、ホルダ１０
の一端から突出するように位置決めピン１２ｘ，１２ｙ
を図６にて破線で示すように予めホルダ１０に一体的に
形成しておき、固定板１４及び補強層１６に図３に示し
たように設けたピン挿通孔Ｕａ，Ｕｂと、固定孔Ｓａ，
Ｓｂと、接着孔Ｍａ，Ｍｂとに位置決めピン１２ｘ，１
２ｙをそれぞれ挿通するようにしてもよい。このような
挿通状態において、接着孔Ｍａ，Ｍｂにて接着剤により
固定板１４を位置決めピン１２ｘ，１２ｙ（すなわちホ
ルダ１０）に接着・固定する。このような方法によれ
ば、位置決めピンをホルダ１０に通す手間が省けるの
で、作業効率が向上する。なお、必要に応じて固定板１
４の前面に前述したような研磨処理を施してもよい。

【００３３】上記した実施形態によれば、位置決めピン
１２ａ，１２ｂ、１２ｐ〜１２ｒ又は１２ｘ，１２ｙを
用いて固定板１４をホルダ１０に対して精密に位置決め
することができる。また、固定板１４は、装着面に補強
層１６を設けてあるため、そりやはがれが発生するのを
防止できると共に、研磨処理時に凹みや膨らみ等のうね
りが発生するのを防止できる。さらに、固定板１４の各
固定孔の直径の精度としては、光ファイバの外径に対し
て１μｍ以下の精度を出すことができるので、光ファイ
バの一端において高精度の位置決めが可能である。

【００３４】図７〜１３は、光ファイバ固定板の製法の
一例を示すものである。

【００３５】図７の工程では、例えばガラス又は石英か
らなる基板２０の一方の主面にメッキ下地層としてＣｕ
／Ｃｒ積層（Ｃｒ層にＣｕ層を重ねた積層）２２をスパ
ッタ法により形成する。Ｃｒ層は、基板２０に対するＣ
ｕ層の密着性を向上させるためのもので、Ｃｒ層及びＣ
ｕ層の厚さは、それぞれ２０ｎｍ及び２００ｎｍ程度と
することができる。Ｃｕ／Ｃｒ積層２２を形成した後、
ホトリソグラフィ処理により所望の接着孔パターンにそ
れぞれ対応するレジスト（ネガレジスト）層Ｒ _１１〜Ｒ
_１６をＣｕ／Ｃｒ積層２２の上に形成する。

【００３６】次に、図８の工程では、ホトリソグラフィ
処理により所望の固定孔パターンにそれぞれ対応するレ
ジスト（ネガレジスト）層Ｒ_２１〜Ｒ_２６をレジスト層
Ｒ_{１ １}〜Ｒ_１６の上にそれぞれ形成する。

【００３７】図９の工程では、レジスト層Ｒ_１１〜Ｒ
_１６，Ｒ_２１〜Ｒ_２６をマスクとするＮｉ−Ｆｅ合金の
選択メッキ処理によりＮｉ−Ｆｅ合金層からなる光ファ
イバ固定板１４を形成する。このとき、固定板１４は、
Ｒ_２１等の各レジスト層の周囲で上方に進むほど各レジ
スト層から離れるように（上方に進むに従ってサイズが
増大する固定孔を有するように）形成される。

【００３８】図１４は、このときのメッキ層１４の成長
状況をレジスト層Ｒ_１１，Ｒ_２１に関して例示するもの
である。Ｃｕ／Ｃｒ積層２２上においてレジスト層Ｒ
_１１の近傍の点Ｐから見たとき、メッキ層１４の表面に
おける図示の点Ｑ，Ｒは等距離にある。メッキ層１４は
等方的に成長するので、直下にレジスト層Ｒ_１１があっ
てメッキ下地が露呈していない点Ｒでは、メッキ層１４
がＰ点からレジスト層Ｒ _１１を乗り越えて成長する。こ
のため、メッキ層（固定板）１４は、各レジスト層の周
囲で上方に進むほど各レジスト層から離れるように形成
される。

【００３９】図１０の工程では、ホトリソグラフィ処理
により固定板１４の上に所望の光ファイバ挿通孔パター
ンにそれぞれ対応するレジスト層Ｒ_３１〜Ｒ_３６を形成
する。このとき、レジスト層Ｒ_３１〜Ｒ_３６は、レジス
ト層Ｒ_２１〜Ｒ_２６をそれぞれ覆うように形成する。

【００４０】図１１の工程では、レジスト層Ｒ_３１〜Ｒ
_３６をマスクとするＮｉ−Ｆｅ合金の選択メッキ処理に
よりＮｉ−Ｆｅ合金層からなる補強層１６を形成する。

【００４１】図１２の工程では、薬液処理等によりレジ
スト層Ｒ_１１〜Ｒ_１６，Ｒ_２１〜Ｒ _２６を除去して固定
板１４に固定孔Ｓ_１１〜Ｓ_１６及び接着孔Ｍ_１１〜Ｍ
_１６を付与すると共に、補強層１６に光ファイバ挿通孔
Ｕ_１１〜Ｕ_１６を付与する。この結果、固定板１４にお
いては、一方の主面から他方の主面に貫通し且つ他方の
主面に近づくにつれてサイズを増大するように固定孔Ｓ
_１１〜Ｓ_１６が形成されると共に、固定孔Ｓ_１１〜Ｓ
_１６の小サイズ端にそれぞれ連続して該小サイズ端より
サイズが大きい接着孔Ｍ_１１〜Ｍ_１６が形成される。ま
た、補強層１６においては、固定孔Ｓ_１１〜Ｓ_１６の大
サイズ端にそれぞれ連続するようにいずれも該大サイズ
端よりサイズが大きい光ファイバ挿通孔Ｕ_１１〜Ｕ_１６
が形成される。

【００４２】図１３の工程では、Ｃｕ／Ｃｒ積層２２の
うちのＣｕ層をエッチング処理により除去して基板２０
から補強層１６を有する固定板１４を分離する。基板２
０上には、Ｃｒ層２２ａが残存する。

【００４３】固定板１４を補強するための補強層１６と
しては、選択メッキ法の代りにリフトオフ法を用いて酸
化シリコン又は酸化アルミニウム（アルミナ）等の絶縁
材層を形成してもよい。一例として、絶縁材からなる補
強層１６は、図１５〜１７に示すようにして製作するこ
とができる。図１５〜１７において、図７〜１３と同様
の部分には同様の符号を付して詳細な説明を省略する。

【００４４】図１５の工程では、図９に示した選択メッ
キ工程に続いて固定板１４及びレジスト層Ｒ_２１〜_２６
の上にスパッタ法により酸化シリコン（ＳｉＯ_２）を被
着し、被着層（酸化シリコン層）からなる補強層１６を
形成する。このとき、酸化シリコン層の厚さは、２００
ｎｍとすることができる。

【００４５】図１６の工程では、薬液処理等によりレジ
スト層Ｒ_１１〜Ｒ_１６、Ｒ_２１〜Ｒ _２６をレジスト層Ｒ
_２１〜Ｒ_２６上の酸化シリコンと共に除去することによ
り固定板１４に固定孔Ｓ_１１〜Ｓ_１６及び接着孔Ｍ_１１
〜Ｍ_１６を付与すると共に、補強層１６に光ファイバ挿
通孔Ｕ_１１〜Ｕ_１６を付与する。この結果、固定板１４
においては、一方の主面から他方の主面に貫通するよう
に固定孔Ｓ_１１〜Ｓ_{１ ６}が形成されると共に、固定孔Ｓ
_１１〜Ｓ_１６の小サイズ端にそれぞれ連続して該小サイ
ズ端よりサイズが大きい接着孔Ｍ_１１〜Ｍ_１６が形成さ
れる。また、補強層１６においては、固定孔Ｓ_１１〜Ｓ
_１６の大サイズ端にそれぞれ連続し且つ外方に向けてサ
イズを増大するように光ファイバ挿通孔Ｕ_１１〜Ｕ_１６
が形成される。

【００４６】図１７の工程では、Ｃｕ／Ｃｒ積層２２の
うちのＣｕ層をエッチング処理により除去して基板２０
から補強層１６を有する固定板１４を分離する。基板２
０上には、Ｃｒ層２２ａが残存する。

【００４７】酸化シリコン層からなる補強層１６は、金
属からなる固定板１４を補強する効果を有する。その
上、酸化シリコン層は、金属に比べて線膨張係数が小さ
い（０．５ｐｐｍ）ので、光ファイバアレイの組立て時
及び組立て後の温度変化による光ファイバのピッチずれ
を防止できる効果もある。なお、補強層１６に関して製
法、材料、厚さ等は任意に選定可能であり、補強層１６
としては積層を用いてもよい。

【００４８】図１〜５に示した光ファイバ固定板１４と
しては、Ｍ_２２，Ｍ_３２，Ｍ_３３，Ｍ_１１〜Ｍ_４１，Ｍ
ａ，Ｍｂ等の接着孔を省略したものを用いてもよい。こ
の場合、固定板１４は、図１８〜２２に示すようにして
製作することができる。

【００４９】図１８の工程では、基板２０の表面にＣｕ
／Ｃｒ層２２を図７に関して前述したと同様にして形成
した後、ホトリソグラフィ処理によりＣｕ／Ｃｒ積層２
２の上にレジスト層２４，Ｒ_１〜Ｒ_６を形成する。レジ
スト層２４は、所望の固定板の平面パターンに対応した
四辺形孔を有するように形成し、レジスト層Ｒ_１〜Ｒ _６
は、いずれも該四辺形孔内において所望の固定孔に対応
したパターンを有し且つ上部から下部に進むにつれてサ
イズが増大するように形成する。ここで、層Ｒ _１〜Ｒ_６
のような順テーパー状のレジスト形状を得るためには、
ステッパ（縮小投影露光装置）を用いた場合、（１）フ
ォーカス位置をレジスト内に設定する方法、（２）レジ
スト下部にて露光量を小さく設定する方法（ポジレジス
ト用の方法）、（３）露光マスクにおいて、マスク部の
透過率を徐々に変化させる（レジストの裾にいくに従っ
て透過率を高くする）方法のうちいずれかの方法を用い
ることができる。

【００５０】レジスト層Ｒ_１〜Ｒ_６を形成した後、レジ
スト層２４，Ｒ_１〜Ｒ_６をマスクとするＮｉ−Ｆｅ合金
の選択メッキ処理によりＮｉ−Ｆｅ合金層からなる固定
板１４を形成する。

【００５１】図１９の工程では、固定板１４及びレジス
ト層Ｒ_１〜Ｒ_６，２４において基板２０側とは反対側の
面に接着層３２を介してガラス又は石英等の基板３０を
貼付する。そして、Ｃｕ／Ｃｒ層２２のうちのＣｕ層を
エッチング処理により除去することにより基板３０で保
持された固定板１４及びレジスト層Ｒ_１〜Ｒ_６，２４か
ら基板２０を分離する。図１９には、固定板１４及びレ
ジスト層Ｒ_１〜Ｒ_６，２４を上にした状態で基板３０を
示す。基板３０としては、剥離可能な樹脂基板を用いて
もよい。

【００５２】図２０の工程では、ホトリソグラフィ処理
により固定板１４及びレジスト層Ｒ _１〜Ｒ_６，２４の上
にレジスト層Ｋ_１〜Ｋ_６，３４を形成する。このとき、
レジスト層３４は、レジスト層２４と同様の四辺形孔を
有するように形成し、レジスト層Ｋ_１〜Ｋ_６は、いずれ
も該四辺形孔内において所望の光ファイバ挿通孔に対応
したパターンを有すると共にそれぞれレジスト層Ｒ_１〜
Ｒ_６を覆うように形成する。この後、レジスト層Ｋ_１〜
Ｋ_６，３４をマスクとするＮｉ−Ｆｅ合金の選択メッキ
処理によりＮｉ−Ｆｅ合金層からなる補強層１６を形成
する。

【００５３】図２１の工程では、薬液処理等によりレジ
スト層Ｋ_１〜Ｋ_６，３４，Ｒ_１〜Ｒ _６，２４を除去す
る。レジスト層Ｒ_１〜Ｒ_６を除去したため、固定板１４
には、固定孔Ｓ_１〜Ｓ_６が付与される。各固定孔は、対
応するレジスト層が図１８の工程で上部から下部に進む
につれてサイズが増大するように形成され且つ図１９の
工程で上下を逆にしたため、固定板１４の下面から上面
に進むにつれてサイズが増大するように形成される。ま
た、補強層１６においては、固定孔Ｓ_１〜Ｓ_６の大サイ
ズ端にそれぞれ連続するようにいずれも該大サイズ端よ
りサイズが大きい光ファイバ挿通孔Ｕ_１〜Ｕ_６が形成さ
れる。この後、薬液処理等により接着層３２を除去して
基板３０から補強層１６を有する固定板１４を分離す
る。

【００５４】上記した光ファイバ固定板の製法によれ
ば、孔Ｓ_１１〜Ｓ_１６，Ｍ_１１〜Ｍ_{１ ６}，Ｓ_１〜Ｓ_６の
位置やサイズ及び固定孔間ピッチを０．５μｍ等のサブ
ミクロンの精度で設定することができる。また、固定板
１４としては、孔Ｓ_１１〜Ｓ_{１ ６}，Ｍ_１１〜Ｍ_１６，Ｓ
_１〜Ｓ_６が１次元配列をなすものを例示したが、固定孔
及び接着孔が２次元配列をなすものも上記したと同様に
して作成可能である。さらに、図３に示したピン挿入孔
Ｓａ，Ｓｂや接着孔Ｍａ，Ｍｂも固定孔Ｓ_１１〜Ｓ_１６
や接着孔Ｍ_１１〜Ｍ_１６と同様にして作成可能であり、
必要に応じてピン挿入孔Ｓａ，Ｓｂを接着孔なしで固定
孔Ｓ_１〜Ｓ_６と同様にして作成してもよい。

【００５５】この発明は、上記した実施形態に限定され
るものではなく、種々の改変形態で実施可能なものであ
る。例えば、次のような変更が可能である。

【００５６】（１）光ファイバホルダ１０の形状は、四
角柱状に限らず、円柱状、多角柱（例えば三角柱、六角
柱）状等であってもよい。

【００５７】（２）光ファイバホルダ１０の保持孔やピ
ン挿入孔及び固定板１４の固定孔やピン挿入孔の形状
は、円形状に限らず、多角形（例えば三角形、正方形、
平行四辺形、六角形）状等であってもよい。ホルダ１０
のピン挿入孔及び固定板１４のピン挿入孔を多角形にし
た場合は、位置決めピンの断面形状もピン挿入孔の多角
形状に対応する多角形状とする。この場合、位置決めピ
ンが回転しないので、使用する位置決めピンを１本とす
ることもできる。

【００５８】（３）この発明は、２次元光ファイバアレ
イに限らず、１次元光ファイバアレイや単芯の光ファイ
バホルダ（光ファイバ１本の位置決め）にも適用可能で
ある。

【００５９】

【発明の効果】以上のように、この発明によれば、光フ
ァイバホルダに設けた位置決めピンを補強層のピン挿通
孔及び光ファイバ固定板のピン挿通孔に挿入して光ファ
イバホルダ及び光ファイバ固定板を位置合せする構成に
したので、光ファイバホルダの各光ファイバ保持孔に対
して光ファイバ固定板の対応する光ファイバ固定孔を簡
単に且つ精度よく位置決め可能である。また、補強層付
きの光ファイバ固定板は、薄膜プロセスを用いて簡単に
且つ精度よく製作可能である。従って、光ファイバホル
ダの一端において各光ファイバの位置決めを簡単に且つ
高精度で行なえる効果が得られる。

【００６０】その上、光ファイバ固定板の装着面に補強
層を設けたので、光ファイバ固定板の機械的強度が向上
し、光ファイバ固定板にそりやはがれ等が生ずるのを防
止できると共に、光ファイバ固定板の前面を研磨する際
に凹みや膨らみ等のうねりが生ずるのを防止できる効果
も得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の一実施形態に係る２次元光ファイ
バアレイを示す斜視図である。

【図２】 図１のＸ−Ｘ’線に沿う断面図である。

【図３】 図１のＹ−Ｙ’線に沿う断面図である。

【図４】 光ファイバ固定板の装着面の一部を拡大して
示す斜視図である。

【図５】 光ファイバ接着部を拡大して示す断面図であ
る。

【図６】 ホルダと固定板の位置合せ方法の変形例を示
す斜視図である。

【図７】 この発明に係る光ファイバ固定板の製法の一
例におけるレジスト層形成工程を示す断面図である。

【図８】 図７の工程に続くレジスト層形成工程を示す
断面図である。

【図９】 図８の工程に続く選択メッキ工程を示す断面
図である。

【図１０】 図９の工程に続くレジスト層形成工程を示
す断面図である。

【図１１】 図１０の工程に続く選択メッキ工程を示す
断面図である。

【図１２】 図１１の工程に続くレジスト除去工程を示
す断面図である。

【図１３】 図１２の工程に続く分離工程を示す断面図
である。

【図１４】 選択メッキ処理におけるメッキ層の成長状
況を示す断面図である。

【図１５】 この発明に係る光ファイバ固定板の製法の
他の例におけるスパッタ工程を示す断面図である。

【図１６】 図１５の工程に続くレジスト除去工程を示
す断面図である。

【図１７】 図１６の工程に続く分離工程を示す断面図
である。

【図１８】 この発明に係る光ファイバ固定板の製法の
更に他の例における選択メッキ工程を示す断面図であ
る。

【図１９】 図１８の工程に続く基板交換工程を示す断
面図である。

【図２０】 図１９の工程に続く選択メッキ工程を示す
断面図である。

【図２１】 図２０の工程に続くレジスト除去工程を示
す断面図である。

【図２２】 図２１の工程に続く分離工程を示す断面図
である。

【図２３】 従来の２次元光ファイバアレイを示す斜視
図である。

【図２４】 図２３のＡ−Ａ’線に沿う断面図である。

【符号の説明】

１０：光ファイバホルダ、１０ａ，１０ｂ，Ｓａ，Ｓ
ｂ：ピン挿入孔、１０ｐ〜１０ｒ：ピン挿入溝、１２
ａ，１２ｂ，１２ｐ〜１２ｒ，１２ｘ，１２ｙ：位置決
めピン、１４：光ファイバ固定板、１６：補強層、２
０，３０：基板、２２：Ｃｕ／Ｃｒ積層、３２，
Ａ_１１，Ａ_２１：接着層、Ｍ_１１〜Ｍ_４１，Ｍａ，Ｍ
ｂ，Ｍ_１１〜Ｍ_１６：接着孔、Ｓ_１１〜Ｓ_４８，
Ｓ_２２，Ｓ_３２，Ｓ_１１〜Ｓ_{１ ６}，Ｓ_１〜Ｓ_６：光ファ
イバ固定孔、Ｕ_２２，Ｕ_３２，Ｕ_３３，Ｕ_１１〜
Ｕ_４１，Ｕ_１１〜Ｕ_１６，Ｕ_１〜Ｕ_６：光ファイバ挿通
孔、Ｕａ，Ｕｂ：ピン挿通孔、Ｈ_１１〜Ｈ_４１：光ファ
イバ保持孔、Ｆ_１１〜Ｆ_４８：光ファイバ、Ｒ_１１〜Ｒ
_１６，Ｒ_２１〜Ｒ_２６，Ｒ_３１〜Ｒ_３６，Ｒ_１〜Ｒ_６，
Ｋ_１〜Ｋ_６，２４，３４：レジスト層。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】１又は複数の光ファイバと、 前記１又は複数の光ファイバのうちの各光ファイバに対
   応する光ファイバ保持孔が一端から他端に貫通するよう
   に設けられた光ファイバホルダと、 前記光ファイバホルダの一端から突出するように前記光
   ファイバホルダに設けられた位置決めピンと、 前記光ファイバホルダの各光ファイバ保持孔に対応する
   光ファイバ固定孔と前記位置決めピンに対応するピン挿
   入孔とがいずれも一方の主面から他方の主面に貫通する
   ように設けられると共に各光ファイバ固定孔が該他方の
   主面に近づくにつれてサイズを増大するように形成され
   た光ファイバ固定板であって前記他方の主面には各光フ
   ァイバ固定孔に対応する光ファイバ挿通孔と前記ピン挿
   入孔に対応するピン挿通孔とを有する補強層が設けられ
   たものと、 前記補強層のピン挿通孔及び前記光ファイバ固定板のピ
   ン挿入孔に前記位置決めピンを挿入して前記光ファイバ
   ホルダと前記光ファイバ固定板とを位置合せした状態で
   前記光ファイバ固定板を前記補強層側で前記光ファイバ
   ホルダの一端に装着する装着手段と、 前記装着手段により前記光ファイバ固定板を前記光ファ
   イバホルダの一端に装着し且つ各光ファイバを前記光フ
   ァイバホルダの対応する光ファイバ保持孔、前記補強層
   の対応する光ファイバ挿通孔及び前記光ファイバ固定板
   の対応する光ファイバ固定孔に挿入した状態で各光ファ
   イバを前記光ファイバ固定板に固定する固定手段とを備
   えた光ファイバアレイ。
2. 【請求項２】１又は複数の光ファイバと、前記１又は複
   数の光ファイバのうちの各光ファイバに対応する光ファ
   イバ保持孔が一端から他端に貫通するように設けられる
   と共に該一端から該他端に向けて延長するようにピン挿
   入孔（又は溝）が設けられた光ファイバホルダと、前記
   ピン挿入孔（又は溝）に挿入されるべき位置決めピン
   と、前記光ファイバホルダの各光ファイバ保持孔に対応
   する光ファイバ固定孔と前記位置決めピンに対応するピ
   ン挿入孔とがいずれも一方の主面から他方の主面に貫通
   するように設けられると共に各光ファイバ固定孔が該他
   方の主面に近づくにつれてサイズを増大するように形成
   された光ファイバ固定板であって前記他方の主面には各
   光ファイバ固定孔に対応する光ファイバ挿通孔と前記光
   ファイバ固定板のピン挿入孔に対応するピン挿通孔とを
   有する補強層が設けられたものとを用意するステップ
   と、 前記光ファイバホルダのピン挿入孔（又は溝）と前記補
   強層のピン挿通孔と前記光ファイバ固定板のピン挿入孔
   とに前記位置決めピンを挿入して前記光ファイバホルダ
   と前記光ファイバ固定板とを位置合せするステップと、 前記光ファイバホルダと前記光ファイバ固定板とを位置
   合せした状態で前記光ファイバ固定板を前記補強層側で
   前記光ファイバホルダの一端に装着するステップと、 前記光ファイバ固定板を前記補強層側で前記光ファイバ
   ホルダの一端に装着した状態で各光ファイバを前記光フ
   ァイバホルダの他端から前記光ファイバホルダの対応す
   る光ファイバ保持孔、前記補強層の対応する光ファイバ
   挿通孔及び前記光ファイバ固定板の対応する光ファイバ
   固定孔に挿入するステップと、 各光ファイバを前記光ファイバホルダの対応する光ファ
   イバ保持孔、前記補強層の対応する光ファイバ挿通孔及
   び前記光ファイバ固定板の対応する光ファイバ固定孔に
   挿入した状態で各光ファイバを前記光ファイバ固定板に
   固定するステップとを含む光ファイバアレイの製法。
3. 【請求項３】１又は複数の光ファイバと、前記１又は複
   数の光ファイバのうちの各光ファイバに対応する光ファ
   イバ保持孔が一端から他端に貫通するように設けられる
   と共に該一端から突出するように位置決めピンが形成さ
   れた光ファイバホルダと、前記光ファイバホルダの各光
   ファイバ保持孔に対応する光ファイバ固定孔と前記位置
   決めピンに対応するピン挿入孔とがいずれも一方の主面
   から他方の主面に貫通するように設けられると共に各光
   ファイバ固定孔が該他方の主面に近づくにつれてサイズ
   を増大するように形成された光ファイバ固定板であって
   前記他方の主面には各光ファイバ固定孔に対応する光フ
   ァイバ挿通孔と前記ピン挿入孔に対応するピン挿通孔と
   を有する補強層が設けられたものとを用意するステップ
   と、 前記補強層のピン挿通孔と前記光ファイバ固定板のピン
   挿入孔とに前記位置決めピンを挿入して前記光ファイバ
   ホルダと前記光ファイバ固定板とを位置合せするステッ
   プと、 前記光ファイバホルダと前記光ファイバ固定板とを位置
   合せした状態で前記光ファイバ固定板を前記補強層側で
   前記光ファイバホルダの一端に装着するステップと、 前記光ファイバ固定板を前記補強層側で前記光ファイバ
   ホルダの一端に装着した状態で各光ファイバを前記光フ
   ァイバホルダの他端から前記光ファイバホルダの対応す
   る光ファイバ保持孔、前記補強層の対応する光ファイバ
   挿通孔及び前記光ファイバ固定板の対応する光ファイバ
   固定孔に挿入するステップと、 各光ファイバを前記光ファイバホルダの対応する光ファ
   イバ保持孔、前記補強層の対応する光ファイバ挿通孔及
   び前記光ファイバ固定板の対応する光ファイバ固定孔に
   挿入した状態で各光ファイバを前記光ファイバ固定板に
   固定するステップとを含む光ファイバアレイの製法。
4. 【請求項４】 各光ファイバを前記光ファイバ固定板に
   固定した状態で前記光ファイバ固定板の一方の主面を研
   磨して平坦化するステップを更に含む請求項２又は３記
   載の光ファイバアレイの製法。
5. 【請求項５】 １又は複数の光ファイバ保持孔が一端か
   ら他端に貫通するように設けられると共に該一端から突
   出するように位置決めピンが挿通される（又は形成され
   た）光ファイバホルダにおいて前記一端に装着して使用
   される光ファイバ固定板であって、 前記光ファイバホルダの各光ファイバ保持孔に対応する
   光ファイバ固定孔と前記位置決めピンに対応するピン挿
   入孔とがいずれも一方の主面から他方の主面に貫通する
   ように設けられると共に各光ファイバ固定孔が該他方の
   主面に近づくにつれてサイズを増大するように形成さ
   れ、前記他方の主面には各光ファイバ固定孔に対応する
   光ファイバ挿通孔と前記ピン挿入孔に対応するピン挿通
   孔とを有する補強層が設けられていることを特徴とする
   光ファイバ固定板。