JP2003331743A - プラズマディスプレイパネル - Google Patents

プラズマディスプレイパネル

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JP2003331743A
JP2003331743A JP2002133997A JP2002133997A JP2003331743A JP 2003331743 A JP2003331743 A JP 2003331743A JP 2002133997 A JP2002133997 A JP 2002133997A JP 2002133997 A JP2002133997 A JP 2002133997A JP 2003331743 A JP2003331743 A JP 2003331743A
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display panel
plasma display
dielectric layer
substrate
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Hideki Harada
秀樹 原田
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Fujitsu Hitachi Plasma Display Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 電極の両側や表面の空隙の発生に影響される
ことなく、放電空間の密閉性が保持されるプラズマディ
スプレイパネルを提供する。 【解決手段】 複数の電極11のそれぞれの一部を前記
誘電体層13から表出させ、当該表出させた各電極11
の一部と封止部材3が直接接しているので、複数の電極
11の両側や表面に空隙を生じないため放電空間が複数
の電極11の両側や表面の空隙を通じて外と通じること
なく、当該封止部材3により放電空間の密閉を維持して
長期間安定した放電による良好な表示ができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイパネルに関し、特に封止構造により放電空間と外界
とを遮断するAC型のプラズマディスプレイパネルに関
する。
【0002】
【従来の技術】従来のAC型のプラズマディスプレイパ
ネルについて、図6ないし図8に基づいて説明する。図
6はAC型パネルの代表例として知られる3電極面放電
形プラズマディスプレイパネルの部分斜視図、図7はそ
のパネルの前面基板の要部上面図及び断面図、図8はそ
のパネルの要部断面図を示す。前記各図において従来の
3電極面放電形プラズマディスプレイパネルは、表示放
電用の主電極対111を配置された前面基板101とア
ドレス放電用のアドレス電極121を配置された背面基
板102とからなり、この前面基板101と背面基板1
02との間にキセノンをネオンに混合した放電ガスを封
入している構成である。前面基板101と背面基板10
2との間で表示領域ESの周縁部には、放電空間を外か
ら密封するための封止部材103が設けられている。
【0003】前記前面基板101上の主電極対111
は、この前面基板101の基材となるガラス基板112
の内面に互いに隣接するように平行して配列され、その
一方がアドレス電極121との間でアドレス放電を発生
させるためのスキャン電極として用いられる。これら主
電極対111は透明電極111aとバス電極111bと
からなり、厚さ30μm程度の誘電体層113で被覆さ
れている。この誘電体113の表面にはMgOからなる
厚さ数千オングストロームの保護膜114が設けられて
いる。
【0004】前記背面基板102上のアドレス電極12
1は、この背面基板102の基材となるガラス基板12
2の内面に前記主電極対111と交差するように配列さ
れており、厚さ10μm程度の誘電体層123で被覆さ
れている。この誘電体層123の上には、高さ150μ
mのストライプ状の隔壁124が各アドレス電極121
の間に1つずつ設けられている。
【0005】前記前面基板101は、ガラス基板112
上にスパッタリング法により透明電極111aを形成
し、透明電極111aが形成されたガラス基板112上
にCr−Cu−Cr膜を連続成膜し、このCr−Cu−
Cr膜をレジストパターニング後順に透明電極111a
に対応するようにエッチングすることによりバス電極1
11bを形成して主電極対111を構成し、主電極対1
11が構成されたガラス基板112上にCVD法等の気
相法によりSiO2等を成膜して誘電体層113を形成
し、最後にMgOを真空蒸着して保護膜114を形成し
て作成されていた。
【0006】背面基板102も作成した後、前面基板1
01と背面基板102との貼り合わせ段階において、ま
ず前面基板101上に封止用のガラスペーストを表示領
域ESの周縁の誘電体層113にディスペンサ法により
塗付する(この時の前面基板101の要部上面図及び断
面図が図7(A)、(B)となる)。次いで作成完了し
た前面基板101及び背面基板102を対向配置して熱
処理を行う。この熱処理によりガラスペーストが焼成さ
れた封止ガラス103となり、放電空間を密閉する(図
8参照)。
【0007】ここで、誘電体層113はCVD法等の気
相法によりSiO2等を成膜して形成したが、他にもZ
nO系のフリットガラスで形成することもできる。これ
らSiO2の成膜等の方法による以前は、PbO系等の
鉛を含むフリットガラスで形成されていたが、最近では
環境問題、リサイクルの観点から、利用されない傾向と
なっている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】従来のAC型プラズマ
ディスプレイパネルは、以上のように構成されていたこ
とから、前記前面基板101において透明電極111a
が形成されたガラス基板112上にCr−Cu−Cr膜
を連続成膜し、このCr−Cu−Cr膜をレジストパタ
ーニング後順に透明電極111aに対応するようにエッ
チングすることによりバス電極111bを形成した場合
にバス電極111bがオーバーハング形状になると、誘
電体層113の形成時にCVD法等の気相法ではカバー
レージ出来ずにバス電極111bの両側に空隙を生じる
ことがある。このバス電極111bの両側に空隙がある
状態で保護膜114を形成して前面基板101を作成
し、この前面基板101と背面基板102とを貼り合わ
せて封止ガラス103で封止し、放電ガスを封入してプ
ラズマディスプレイパネルを完成させると、バス電極1
11b両側の空隙によりパネル内の放電空間がパネル外
部に通じて密閉性が保持されないという課題を有する。
また、誘電体層113がPbO等の鉛を含んでいないフ
リットガラスで形成されている場合、バス電極111b
との密着性が悪く、バス電極111b表面に空隙を有す
る現象が生じ、同様の課題を有する。
【0009】本発明は前記課題を解決するためになさ
れ、電極の両側や表面の空隙の発生に影響されることな
く、放電空間の密閉性が保持されるAC型のプラズマデ
ィスプレイパネルを提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明に係るプラズマデ
ィスプレイパネルは、所定の間隙を介して対向しその対
向面に複数の電極を有する一対の基板が周辺部を封止部
材により封着されて密閉され、かつ、前記複数の電極を
誘電体層で被覆してなるAC型のプラズマディスプレイ
パネルにおいて、前記複数の電極の一部に誘電体層によ
り被覆しない表出部を有し、当該表出部に前記封止部材
が接するように設けられているものである。このように
本発明においては、複数の電極の一部を前記誘電体層か
ら表出させ、当該表出させた複数の電極と封止部材が直
接接しているので、複数の電極の両側や表面に空隙を生
じないため放電空間が複数の電極の両側や表面の空隙を
通じて外と通じることなく、当該封止部材により放電空
間の密閉を維持して長期間安定した放電による良好な表
示ができる。
【0011】また、本発明に係るプラズマディスプレイ
パネルは必要に応じて、前記表出部が誘電体層の外周辺
近傍の一部を切除して形成されるものである。このよう
に本発明においては、誘電体層の端部を削除せず表出部
が誘電体層の外周辺近傍に形成され、前記封止部材が複
数の電極と直接接しているので、封止部材により放電空
間の密閉を維持すると共に、前記複数の電極の両端に成
形された誘電体層に対して容易にエッチングを行うこと
ができる。
【0012】また、本発明に係るプラズマディスプレイ
パネルは必要に応じて、前記誘電体層が鉛を含有しない
フリットガラスで構成されるものである。このように本
発明においては、鉛を含有しないフリットガラスで構成
される前記誘電体層により前記複数の電極が被覆され、
前記封止部材が複数の電極と直接接しているので、封止
部材により放電空間の密閉を維持すると共に、廃棄処理
時に鉛を構成物質とする汚染物質を発生しなくなる。
【0013】また、本発明に係るプラズマディスプレイ
パネルは必要に応じて、前記複数の電極が多層の薄膜電
極からなるものである。このように本発明においては、
前記多層の薄膜電極からなる複数の電極が前記基板に配
設され、当該複数の電極に誘電体層を積層し、前記封止
部材が複数電極と直接接しているので、前記複数の電極
と誘電体層との空隙が生じたとしても封止部材により放
電空間の密閉を維持することができる。
【0014】
【発明の実施の形態】(本発明の第1の実施形態)以
下、第1の実施形態に係るプラズマディスプレイパネル
を図1または図2に基づいて説明する。図1は本実施形
態に係るプラズマディスプレイパネルにおける前面基板
の要部上面図及び断面図、図2は本実施形態に係るプラ
ズマディスプレイパネルの要部断面図を示す。前記各図
において本実施形態に係るプラズマディスプレイパネル
は、従来のプラズマディスプレイパネルと同様に、表示
放電用の主電極対11を配置された前面基板1とアドレ
ス放電用のアドレス電極21を配置された背面基板2と
を備え、この前面基板1と背面基板2とを貼り合わせ、
密封された放電空間を形成するために封止ガラス3が誘
電体層13を介さず直接電極に接触状態で配設した構成
である。
【0015】前面基板1上の主電極対11は、この前面
基板1の基材となるガラス基板12の内面に互いに隣接
するように平行して配列され、その一方がアドレス電極
21との間でアドレス放電を発生させるためのスキャン
電極として用いられる。これら主電極対11は透明電極
11aとバス電極11bとからなり、厚さ30μm程度
の誘電体層13で被覆されている。この誘電体13の表
面にはHgOからなる厚さ数千オングストロームの保護
膜14が設けられている。背面基板2上のアドレス電極
21は、この背面基板2の基材となるガラス基板22の
内面に前記主電極対11と交差するように配列されてお
り、厚さ10μm程度の誘電体層23で被覆されてい
る。この誘電体層23の上には、高さ150μmのスト
ライプ状の隔壁24が各アドレス電極21の間に1つず
つ設けられている。封止ガラス3は、前面基板1と背面
基板2との間で表示領域ESの周縁部に配設され、前面
基板1の主電極対11と接触しており、誘電体層13中
に気泡が生じた場合でさえも、密封された放電空間を維
持する。
【0016】次に、本実施形態に係るプラズマディスプ
レイパネルの形成動作を前面基板1の形成動作、背面基
板2の形成動作、前面基板1と背面基板2との貼り合わ
せの順に説明する。まず前面基板1の基材であるガラス
基板12の主面に透明電極11aを成形する。この透明
電極11aは、スパッタリング法によりガラス基板12
全面に酸化スズ及びインジウムとスズとの合金酸化膜を
ガラス基板12全面に配置し、フォトグラフィにより所
定のパターンに成形される。透明電極11aが成形され
たガラス基板12にバス電極11bを成形する。このバ
ス電極11bは、Cr−Cu−Crの3層をスパッタリ
ング等により連続成膜し、透明電極11aと同様に、フ
ォトグラフィにより所定のパターンに成形される。透明
電極11a及びバス電極11bがガラス基板12に成形
されることで、主電極対が形成されることとなる。
【0017】主電極対11が形成されたガラス基板12
にプラズマCVD法より誘電体層13を成形する。この
プラズマCVD法は、プラズマを発生させて対象物に所
定の物質を体積させる方法である。誘電体層13を成形
する場合に、前面基板1の全面に成形するのではなく、
図1(A)が示すように外部からの導通を確保するため
にバス電極11bの両端を除いて前面基板1に成形す
る。ここで、バス電極11bの両端を除いて前面基板1
に誘電体層13を成形したが、一旦全面に誘電体層13
を成形した後にバス電極11bの両端の誘電体層13を
エッチングして取り除いてもよい。この誘電体層13を
成形した後に引き続きMgOからなる保護膜14を真空
蒸着して成形して、前面基板1が形成される。
【0018】次に、背面基板2は、前面基板1と同様に
まずガラス基板22上にアドレス電極21を成形する。
このアドレス電極21の成形は、各種の方法が提案され
ており、電極の材料(Ag等)を印刷により積み上げる
パターン印刷、電極の材料を基板全体に塗付して焼成す
るケミカルエッチング及びドライフィルムフォトレジス
トを基板全体に貼り付けてパターニングするリフトオフ
法等による。
【0019】アドレス電極21を成形されたガラス基板
22に誘電体層23を前面基板1の誘電体層13と同様
に成形する。次に誘電体層23を成形されたガラス基板
22に隔壁24を形成する。この隔壁24形成は、隔壁
材料の低融点ガラスペーストをガラス基板22全面に塗
布してその上にドライフィルムフォトレジストを貼り付
け、露光及びエッチングして、レジストが除去された部
分に対してサンドブラストにより隔壁24の形状にする
方法や他にも各種の方法が提案されている。隔壁24が
形成されたガラス基板22に対して蛍光体25を配設す
ることで、背面基板2の作成が終了する。
【0020】前面基板1と背面基板2との貼り合わせ
は、図1(A)、(B)が示すように前面基板1上に封
止用のガラスペーストを表示領域ESの周縁にディスペ
ンサ法により塗付することで、ガラスペーストが誘電体
層13に覆われていないバス電極11bに直接接触した
状態で配設され、この後に、作成完了した前面基板1及
び背面基板2を対向配置して熱処理を行う。この熱処理
によりガラスペーストが焼成された封止ガラス3とな
り、放電空間を密閉する(図2参照)。この前面基板1
と背面基板2との貼り合わせの後に、基板間の放電空間
を排気してからNe及びXe等の放電ガスを充填するこ
とで、プラズマディスプレイパネルが完成される。この
ように本実施形態のプラズマディスプレイパネルによれ
ば、前記封止ガラス3が両側や表面に空隙を生じるバス
電極11bを覆っているので、放電空間がバス電極11
bの両側や表面の空隙を通じて外と通じることなく、放
電空間の密閉性を維持でき、長期間安定した放電に表示
ができる。
【0021】(その他の実施形態)なお、前記第1の実
施形態に係るプラズマディスプレイパネルでは、バス電
極11bの両端に誘電体層13を成形せず、このバス電
極11bの両端に直接封止ガラス3を成形しているが、
誘電体層13にバス電極11bを表出させる溝βを形成
し、図3(B)及び図4が示すようにこの溝βに封止ガ
ラス3を配設することもでき、バス電極11bの両端近
傍に封止ガラス3を成形してバス電極11bの両端に誘
電体層13´が成形されているので、封止ガラス3によ
り放電空間の密閉を維持すると共に、バス電極11bの
両端に成形された誘電体層13´に対して容易にエッチ
ング可能となる。
【0022】また、前記第1の実施形態に係るプラズマ
ディスプレイパネルでは、図5が示すように、封止ガラ
ス3が誘電体層13に接することなく、直接バス電極1
1bに接触状態で配設することもできる。また、前記第
1の実施形態に係るプラズマディスプレイパネルでは、
封止ガラス3が直接バス電極11bに接触状態で配設し
ているが、バス電極11bと同様にアドレス電極21に
も同様に適用でき、封止ガラス3が誘電体層23を介さ
ず直接アドレス電極21に接触状態で配設することがで
きる。
【0023】
【実施例】(実施例1)前面基板1上にスパッタリング
により形成されたCr−Cu−Crを、パターニングし
てバス電極11b形成後、前記プラズマCVD法を実施
可能な平行平板型プラズマCVD装置を使用し、以下の
条件でSiO2を図2の誘電体層13を示す位置に5.
0μm成膜し、引き続きMgOを保護膜14として1.
0μm蒸着した。 導入ガスと流量: SiH/900sccm 導入ガスと流量: N2O/9000sccm 高周波出力: 2.0kW 基板温度: 400℃ 真空度: 3.0Torr
【0024】次に、軟化点430℃のガラスペーストを
図2の封止ガラス3の位置にディスペンサ法により塗布
し、500℃で焼成した。この前面基板1と背面基板2
とを450℃で焼成して貼り合わせ、放電空間を真空に
し、Ne−Xe混合ガスを封入し、プラズマディスプレ
イパネルを作成した。このプラズマディスプレイパネル
に対して、120℃、2気圧、100%湿度の高温高湿
度試験を12時間かけてプラズマディスプレイパネルの
放電特性を評価したところ、変動は見られなかった。
【0025】(実施例2)前記実施例1と同様に前面基
板1のバス電極11b形成後、ZnO−B23−Bi2
3の混合系によるフリットガラスを図2の誘電体層1
3の位置に30μm成膜し、引き続きMgOを保護膜1
4として1.0μm蒸着した。次に、軟化点430℃の
ガラスペーストを図2の封止ガラス3の位置にディスペ
ンサ法により塗布し、500℃で焼成した。この前面基
板1と背面基板2とを450℃で焼成して貼り合わせ、
放電空間を真空にし、Ne−Xe混合ガスを封入し、プ
ラズマディスプレイパネルを作成した。このプラズマデ
ィスプレイパネルに対して、120℃、2気圧、100
%湿度の高温高湿度試験を12時間かけてプラズマディ
スプレイパネルの放電特性を評価したところ、変動は見
られなかった。
【0026】(実施例3)前面基板にAgペーストによ
りバス電極11b形成後、平行平板型プラズマCVD装
置を使用し、以下の条件でSiO2を図2の誘電体層1
3の位置に5.0μm成膜し、引き続きMgOを保護膜
14として1.0μm蒸着した。 導入ガスと流量: SiH/900sccm 導入ガスと流量: N2O/9000sccm 高周波出力: 2.0kW 基板温度: 400℃ 真空度: 3.0Torr
【0027】次に、軟化点430℃のガラスペーストを
図2の封止ガラス3の位置にディスペンサ法により塗布
し、500℃で焼成した。この前面基板1と背面基板2
とを450℃で焼成して貼り合わせ、放電空間を真空に
し、Ne−Xe混合ガスを封入し、プラズマディスプレ
イパネルを作成した。このプラズマディスプレイパネル
に対して、120℃、2気圧、100%湿度の高温高湿
度試験を12時間かけてプラズマディスプレイパネルの
放電特性を評価したところ、変動は見られなかった。
【0028】(従来の実施例)実施例1と同様に前面基
板1のバス電極11b形成後、平行平板型プラズマCV
D装置を使用し、以下の条件でSiO2を図8の誘電体
層13の位置に5.0μm成膜し、引き続きMgOを保
護膜14として1.0μm蒸着した。 導入ガスと流量: SiH/900sccm 導入ガスと流量: N2O/9000sccm 高周波出力: 2.0kW 基板温度: 400℃ 真空度: 3.0Torr
【0029】次に、軟化点430℃のガラスペーストを
図8の封止ガラス3の位置にディスペンサ法により塗布
し、500℃で焼成した。この前面基板1と背面基板2
とを450℃で焼成して貼り合わせ、放電空間を真空に
し、Ne−Xe混合ガスを封入し、プラズマディスプレ
イパネルを作成した。このプラズマディスプレイパネル
に対して、120℃、2気圧、100%湿度の高温高湿
度試験を12時間かけてプラズマディスプレイパネルの
放電特性を評価したところ、パネル端部で放電電圧が上
昇し、点灯しない部分が生じた。
【0030】
【発明の効果】以上のように本発明においては、複数の
電極のそれぞれの一部を前記誘電体層から表出させ、当
該表出させた各電極の一部と封止部材が直接接している
ので、複数の電極の両側や表面に空隙を生じないため放
電空間が複数の電極の両側や表面の空隙を通じて外と通
じることなく、当該封止部材により放電空間の密閉を維
持して長期間安定した放電による良好な表示ができると
いう効果を奏する。
【0031】また、本発明においては、誘電体層の端部
を削除せず表出部が誘電体層の外周辺近傍に形成され、
前記封止部材が各電極の露出している一部と直接接して
いるので、封止部材により放電空間の密閉を維持すると
共に、前記複数の電極の両端に成形された誘電体層に対
して容易にエッチングを行うことができるという効果を
有する。
【0032】また、本発明においては、鉛を含有しない
フリットガラスで構成される前記誘電体層により前記複
数の電極が被覆され、前記封止部材が複数の電極と直接
接しているので、封止部材により放電空間の密閉を維持
すると共に、廃棄処理時に鉛を構成物質とする汚染物質
を発生しなくなるという効果を有する。
【0033】また、本発明においては、前記多層の薄膜
電極からなる複数の電極が前記基板に配設され、当該複
数の電極に誘電体層を積層し、前記封止部材が複数電極
と直接接しているので、前記複数の電極と誘電体層との
空隙が生じたとしても封止部材により放電空間の密閉を
維持することができるという効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態に係るプラズマディス
プレイパネルにおける前面基板の要部上面図及び断面図
である。
【図2】本発明の第1の実施形態に係るプラズマディス
プレイパネルの要部断面図である。
【図3】本発明のその他の実施形態に係るプラズマディ
スプレイパネルにおける前面基板の要部上面図及び断面
図である。
【図4】本発明のその他の実施形態に係るプラズマディ
スプレイパネルの要部断面図である。
【図5】本発明のその他の実施形態に係るプラズマディ
スプレイパネルの要部断面図である。
【図6】AC型パネルの代表例として知られる3電極面
放電形プラズマディスプレイパネルの部分斜視図であ
る。
【図7】図6の前面基板の要部上面図及び断面図であ
る。
【図8】図6の要部断面図である。
【符号の説明】 1、102 前面基板 2、102 背面基板 3、103 封止ガラス 11、111 主電極対 11a、111a 透明電極 11b、111b バス電極 12、22、112、122 ガラス基板 13、13´、23、113、123 誘電体層 14、114 保護膜 21、121 アドレス電極 24、124 隔壁 25、125 蛍光体 ES 表示領域 β 溝

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 所定の間隙を介して対向しその対向面に
    複数の電極を有する一対の基板が周辺部を封止部材によ
    り封着されて密閉され、かつ、前記複数の電極を誘電体
    層で被覆してなるAC型のプラズマディスプレイパネル
    において、 前記複数の電極の一部に誘電体層により被覆しない表出
    部を有し、当該表出部に前記封止部材が接するように設
    けられていることを特徴とするプラズマディスプレイパ
    ネル。
  2. 【請求項2】 前記請求項1記載のプラズマディスプレ
    イパネルにおいて、 前記表出部が誘電体層の外周辺近傍の一部を切除して形
    成されることを特徴とするプラズマディスプレイパネ
    ル。
  3. 【請求項3】 前記請求項1または2記載のプラズマデ
    ィスプレイパネルにおいて、 前記誘電体層が鉛を含有しないフリットガラスで構成さ
    れることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
  4. 【請求項4】 前記請求項1ないし3記載のプラズマデ
    ィスプレイパネルにおいて、 前記複数の電極が多層の薄膜電極からなることを特徴と
    するプラズマディスプレイパネル。
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