JP2003316444A - Pressure regulator - Google Patents
Pressure regulatorInfo
- Publication number
- JP2003316444A JP2003316444A JP2002105633A JP2002105633A JP2003316444A JP 2003316444 A JP2003316444 A JP 2003316444A JP 2002105633 A JP2002105633 A JP 2002105633A JP 2002105633 A JP2002105633 A JP 2002105633A JP 2003316444 A JP2003316444 A JP 2003316444A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- diaphragm
- pressure chamber
- seat
- valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Control Of Fluid Pressure (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、流入する流体の圧
力を所定の圧力に調整するための圧力調整器に関するも
のである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a pressure regulator for regulating the pressure of inflowing fluid to a predetermined pressure.
【0002】[0002]
【従来の技術】この種の圧力調整器としては、例えば、
図3に示すようなものが知られている。図3に示す圧力
調整器1は、流入口2から弁3を通じて圧力室4に流入
したガスを、圧力室4において圧力調整して排出口5よ
り排出するものである。2. Description of the Related Art As a pressure regulator of this type, for example,
The one shown in FIG. 3 is known. The pressure adjuster 1 shown in FIG. 3 adjusts the pressure of the gas flowing into the pressure chamber 4 from the inflow port 2 through the valve 3 in the pressure chamber 4 and discharges the gas from the discharge port 5.
【0003】この圧力調整器1においては、圧力室4の
一部の壁面がダイヤフラム6によって形成されている。
ダイヤフラム6は、その周縁部6aが圧力室4の他の壁
面を形成する本体フレーム7に対して固定され、またそ
の中央部6bが上下方向に変位可能となっている。さら
に、ダイヤフラム6の中央部6bが図示しないフレーム
に固定された大スプリング(スプリング)8に対して当
接することにより、ダイヤフラム6は、その上下変位が
大スプリング8によって弾性的に規制される。In this pressure regulator 1, a part of the wall surface of the pressure chamber 4 is formed by a diaphragm 6.
The peripheral edge portion 6a of the diaphragm 6 is fixed to the main body frame 7 forming the other wall surface of the pressure chamber 4, and the central portion 6b is vertically displaceable. Further, the central portion 6b of the diaphragm 6 abuts against a large spring (spring) 8 fixed to a frame (not shown), so that the diaphragm 6 is elastically restricted in vertical displacement by the large spring 8.
【0004】このように大スプリング8によって上下変
位が弾性的に規制されたダイヤフラム6は、圧力室4内
にガス圧が作用すると上方に変位し、この状態からガス
圧が低下するとダイヤフラム6は、大スプリング8の弾
性力により下方に変位する。なお、圧力室4は仕切板4
aによってダイアフラム6側(この領域の圧力室に符号
4Aを付す)とノズル18側(つまり流入口2及び排出
口5が開口されている外室側。この領域の圧力室に符号
4Bを付す)とに仕切られているが、この仕切壁4aに
複数貫通された透孔4bを介して圧力室4A、4B間の
ガスの移動が自在になっている。The diaphragm 6 whose vertical displacement is elastically restricted by the large spring 8 is displaced upward when the gas pressure acts in the pressure chamber 4, and when the gas pressure decreases from this state, the diaphragm 6 is It is displaced downward by the elastic force of the large spring 8. The pressure chamber 4 is the partition plate 4
By a, the diaphragm 6 side (the pressure chamber in this area is given the reference numeral 4A) and the nozzle 18 side (that is, the outer chamber side where the inflow port 2 and the discharge port 5 are opened. The pressure chamber in this area is given the reference numeral 4B). The partition wall 4a allows the gas to move freely between the pressure chambers 4A and 4B through a plurality of through holes 4b penetrating the partition wall 4a.
【0005】また、ダイヤフラム6の下面には、シート
(弁体)10の頭部をなすステム11が当接している。
シート10は、概略ロッド状に形成されており、圧力調
整器1の本体フレーム7に設けられた凹状の下ブロック
15の摺動穴15a内に摺動可能に配置された基部13
と、この基部13の前記圧力室4側の端部から突出され
た軸部10aと、この軸部10aの基部13からの突出
先端に設けられた前記ステム11と、該シート10の延
在方向、すなわち該シート10の前記摺動穴15a軸方
向への摺動移動に沿った方向の中央部にフランジ状に周
設されている鍔部16とを有する構成となっている。そ
してシート10は、鍔部16と本体フレーム7との間に
設けられた小スプリング17の弾性力により上方に賦圧
され、シート10のステム11が所定の押圧力をもって
ダイヤフラム6の下面に当接することとなる。また、こ
れによりシート10はダイヤフラム6の上下変位に伴い
ダイヤフラム6とともに上下に変位する。なお、シート
10の底面10bから基部13を貫通して軸部10aの
側面に開口する貫通孔10cは、シート底面10b側に
おける摺動穴15a内の空間Sの容積がシート10の移
動に伴って変動することに対応して空気流通を可能にす
るものである。A stem 11 forming the head of the seat (valve body) 10 is in contact with the lower surface of the diaphragm 6.
The seat 10 is formed in a substantially rod shape, and a base 13 slidably arranged in a sliding hole 15a of a concave lower block 15 provided in the main body frame 7 of the pressure regulator 1.
A shaft 10a protruding from the end of the base 13 on the pressure chamber 4 side, the stem 11 provided at the tip of the shaft 10a protruding from the base 13, and the extending direction of the seat 10. In other words, the flange 10 is provided around the center of the sliding hole 15a in the axial direction of the sliding hole 15a, and the flange 16 is provided around the sliding hole 15a. Then, the seat 10 is pressed upward by the elastic force of a small spring 17 provided between the collar portion 16 and the main body frame 7, and the stem 11 of the seat 10 abuts the lower surface of the diaphragm 6 with a predetermined pressing force. It will be. Further, as a result, the seat 10 is vertically displaced together with the diaphragm 6 as the diaphragm 6 is vertically displaced. The through hole 10c that penetrates the base portion 13 from the bottom surface 10b of the seat 10 and opens to the side surface of the shaft portion 10a has a volume of the space S in the sliding hole 15a on the seat bottom surface 10b side that moves as the seat 10 moves. It enables air circulation in response to fluctuations.
【0006】また、圧力室4へのガスの入り口となる弁
3は、この鍔部16と、鍔部16の上方に位置して本体
フレーム7に対して固定されたノズル18(弁座)との
間に形成される。これにより、弁3の開度ηはシート1
0(鍔部16)が上方に変位するほど狭まり、シート1
0(鍔部16)が下方に変位するほど広くなる。さら
に、シート10の基部13には、Oリング20が一カ所
装着されている。流入口2から導入されたガスは、弁3
を介して圧力室4と対向配置された一次室2Aから弁3
を通過して圧力室4に流入するようになっている。前記
Oリング20は、シート10の基部13と本体フレーム
7の下ブロック15との間に位置しており、貫通孔10
cを介して圧力室4と連通している空間Sと前記一次室
2Aとの間を封止している。The valve 3 serving as a gas inlet to the pressure chamber 4 includes the collar portion 16 and a nozzle 18 (valve seat) located above the collar portion 16 and fixed to the main body frame 7. Formed during. As a result, the opening η of the valve 3 is set to the seat 1
0 (collar portion 16) becomes narrower as it is displaced upward, and seat 1
It becomes wider as 0 (collar portion 16) is displaced downward. Further, an O-ring 20 is attached to the base portion 13 of the seat 10 at one place. The gas introduced from the inlet 2 is supplied to the valve 3
Valve 3 from the primary chamber 2A that is arranged to face pressure chamber 4 via
To flow into the pressure chamber 4. The O-ring 20 is located between the base portion 13 of the seat 10 and the lower block 15 of the main body frame 7, and has a through hole 10
The space S communicating with the pressure chamber 4 via c and the primary chamber 2A are sealed.
【0007】このような構成の圧力調整器1において
は、圧力室4のガス圧が何らかの原因により高まると、
ダイヤフラム6が上方に変位し、これに追随してシート
10も上方に変位することにより、弁3の開度ηが小さ
くなる。これにより弁3を通じて圧力室4に供給される
ガスの流量が低下して、結果として圧力室4のガス圧が
低下する。In the pressure regulator 1 having such a structure, if the gas pressure in the pressure chamber 4 increases for some reason,
The diaphragm 6 is displaced upward, and the seat 10 is also displaced upward following the displacement, whereby the opening η of the valve 3 is reduced. As a result, the flow rate of the gas supplied to the pressure chamber 4 through the valve 3 decreases, and as a result, the gas pressure in the pressure chamber 4 decreases.
【0008】また、これとは逆に、圧力室4のガス圧が
何らかの原因により低下すると、ダイヤフラム6が下方
に変位し、これに追随してシート10も下方に変位する
ことにより、弁3の開度ηが大きくなる。これにより、
弁3を通じて圧力室4に供給されるガスの流量が増大し
て、結果として圧力室4のガス圧が上昇する。以上のよ
うな作用により圧力室4の内部のガス圧が一定に保た
れ、圧力調整器1から排出されるガスの圧力が一定に調
整されることとなる。On the contrary, when the gas pressure in the pressure chamber 4 drops for some reason, the diaphragm 6 is displaced downward, and the seat 10 is displaced downward accordingly, whereby the valve 3 of the valve 3 is displaced. The opening η increases. This allows
The flow rate of the gas supplied to the pressure chamber 4 through the valve 3 increases, and as a result, the gas pressure in the pressure chamber 4 increases. With the above operation, the gas pressure inside the pressure chamber 4 is kept constant, and the pressure of the gas discharged from the pressure regulator 1 is adjusted to be constant.
【0009】[0009]
【発明が解決しようとする課題】図3に示した圧力調整
器1では、主としてダイヤフラム6に作用するガス圧力
と大スプリング8の賦圧力とのバランスにより弁3の開
度ηが決まり、これにより、圧力室4を介して供給する
ガス圧が一定に調整される。ここで、上述した圧力調整
器1の各部品は、ノズル18など一部を除き可動部品と
なっており、さらに、ガスの流れが脈動および乱流を伴
い一定でないことから、これらの可動部品に動的荷重が
与えられて鳴動現象が生じることがある。特に、大スプ
リング8や小スプリング17などのスプリング類に与え
られた荷重が変化する場合、スプリングの持つ固有な振
動数によりバイブレーションし、鳴動現象と呼ばれる現
象が発生することがある。In the pressure regulator 1 shown in FIG. 3, the opening η of the valve 3 is determined mainly by the balance between the gas pressure acting on the diaphragm 6 and the pressure applied by the large spring 8. The gas pressure supplied through the pressure chamber 4 is adjusted to be constant. Here, each part of the pressure regulator 1 described above is a movable part except for a part such as the nozzle 18, and further, since the flow of gas is not constant with pulsation and turbulence, A ringing phenomenon may occur due to a dynamic load. In particular, when the load applied to the springs such as the large spring 8 and the small spring 17 changes, vibration may occur due to the natural frequency of the spring, and a phenomenon called a ringing phenomenon may occur.
【0010】具体的には、例えば、ガスの流れの脈動や
乱流により、シート10に対してその軸方向と交差する
方向の振れが生じ、弁3の開度ηが一定でなくなり、弁
3を通過するガス流量の増減が繰り返し起こり、シート
10と連動するダイヤフラム6にガス圧力の増減が繰り
返し作用して鳴動現象が発生してしまうものと考えられ
る。Specifically, for example, pulsation or turbulence of the gas flow causes a deflection in the direction intersecting the axial direction of the seat 10, the opening η of the valve 3 is not constant, and the valve 3 It is considered that the flow rate of the gas passing through the sheet repeatedly increases and decreases, and the diaphragm 6 interlocked with the seat 10 repeatedly increases and decreases the gas pressure to cause a ringing phenomenon.
【0011】本発明は、こうした事情に鑑みてなされた
ものであり、簡易な構成により圧力調整器の鳴動現象を
良好に抑制することが可能な技術を提供することを課題
とする。The present invention has been made in view of these circumstances, and an object thereof is to provide a technique capable of favorably suppressing the ringing phenomenon of a pressure regulator with a simple structure.
【0012】[0012]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明においては以下の手段を採用した。すなわち、
請求項1記載の圧力調整器は、流体が流入する圧力室
と、圧力室に対する流体の流入を規制する弁と、圧力室
の壁面の一部を構成するとともに、所定方向に変位する
ことにより圧力室の容積を変化させるダイヤフラムと、
ダイヤフラムの前記所定方向の変位を弾性的に規制する
賦圧手段と、ダイヤフラムの変位に伴いダイヤフラムと
ともに前記所定方向に摺動し、かつその摺動位置に従っ
て弁の開度を調整する弁体とを備え、弁体には、圧力室
を外部から封止するためのOリングが該弁体の前記摺動
方向に沿った延在方向の複数個所に装着されていること
を特徴としている。In order to solve the above problems, the following means are adopted in the present invention. That is,
The pressure regulator according to claim 1 constitutes a pressure chamber into which a fluid flows, a valve that restricts the inflow of the fluid into the pressure chamber, and a part of a wall surface of the pressure chamber. A diaphragm that changes the volume of the chamber,
A pressure applying means that elastically restricts the displacement of the diaphragm in the predetermined direction, and a valve body that slides in the predetermined direction together with the diaphragm along with the displacement of the diaphragm and that adjusts the opening degree of the valve according to the sliding position. The valve body is equipped with O-rings for sealing the pressure chamber from the outside at a plurality of positions in the extending direction along the sliding direction of the valve body.
【0013】このような構成により、弁体が複数のOリ
ングを介して弁座と接触することとなるため、Oリング
が単数である場合に比較して摺動抵抗が増大し、かつ、
弁体の位置が安定し、弁体の揺れが少なくなる。With such a structure, the valve body comes into contact with the valve seat through the plurality of O-rings, so that the sliding resistance is increased as compared with the case where the number of O-rings is single, and
The position of the valve body is stable and the vibration of the valve body is reduced.
【0014】請求項2記載の発明は、請求項1記載の発
明において、賦圧手段がスプリングであることを特徴と
している。請求項3記載の発明は、請求項1記載の発明
において、賦圧手段がガス圧であることを特徴としてい
る。請求項1乃至3のいずれかに記載の発明において、
複数のOリングが、互いに離間させた状態で設けられて
いることを特徴としている。このような構成において
は、互いに離間した複数箇所において、弁体がOリング
を介して弁座と接触することとなり、弁体が振れにくく
なる。Oリングの設置数が少なくても、弁体の振れを効
果的に防止できる利点がある。According to a second aspect of the invention, in the first aspect of the invention, the pressure applying means is a spring. The invention according to claim 3 is characterized in that, in the invention according to claim 1, the pressure applying means is a gas pressure. In the invention according to any one of claims 1 to 3,
It is characterized in that a plurality of O-rings are provided in a state of being separated from each other. In such a configuration, the valve body comes into contact with the valve seat via the O-rings at a plurality of locations separated from each other, and the valve body is less likely to swing. Even if the number of O-rings is small, it is possible to effectively prevent the valve body from swinging.
【0015】[0015]
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を、
図面に基づいて説明する。なお、本実施の形態の主要な
構成は、上記従来の技術と略同一であるため、ここで
は、上記従来の技術と異なる点を中心に説明するととも
に、上記従来の技術と共通する構成について同一符号を
付し、その説明を省略する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION An embodiment of the present invention will be described below.
It will be described with reference to the drawings. Since the main configuration of the present embodiment is substantially the same as the above-mentioned conventional technique, here, the description will focus on the points that are different from the above-described conventional technique, and the same configuration as that of the above-described conventional technique will be described. The reference numerals are given and the description thereof is omitted.
【0016】本発明における賦圧手段は、ダイヤフラム
の前記所定方向の変位を弾性的に規制可能なものであれ
ばどのようなものも用いることができ、具体的にはスプ
リング、ガス圧などを例示でき、ガス圧による賦圧手段
としては、ピストンダイヤフラムを例示できる。図1
は、本実施の形態の圧力調整器1’の要部を示す断面図
である。図1に示す圧力調整器1’は、賦圧手段として
スプリング8を用いている。図1に示す圧力調整器1’
が上記従来の技術の圧力調整器1と異なる点は、図中に
示すようにシート(弁体)10’に対してOリング20
が2カ所に装着されている点である。他の構成は、図2
に示す圧力調整器1と同様になっている。すなわち、こ
の圧力調整器1’においては、シート10’が、2つの
Oリング20を介して下ブロック15と接している。As the pressure applying means in the present invention, any means can be used as long as it can elastically regulate the displacement of the diaphragm in the predetermined direction, and specifically, a spring, a gas pressure, etc. are exemplified. A piston diaphragm can be exemplified as the gas pressure applying means. Figure 1
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a main part of a pressure regulator 1 ′ of this embodiment. The pressure regulator 1 ′ shown in FIG. 1 uses a spring 8 as a pressure applying means. Pressure regulator 1'shown in FIG.
Is different from the above-mentioned conventional pressure regulator 1 as shown in the drawing, as shown in the drawing, with respect to the seat (valve body) 10 ', the O-ring 20.
Is attached at two places. The other configuration is shown in FIG.
It is similar to the pressure regulator 1 shown in FIG. That is, in this pressure regulator 1 ′, the seat 10 ′ is in contact with the lower block 15 via the two O-rings 20.
【0017】また、これらのOリング20は、シート1
0’の軸方向(図中A方向)の互いに離間する2カ所に
設けられている。つまり、シート10’は、2つのOリ
ング20を介して、下ブロック15から2カ所において
支持されている。Further, these O-rings 20 are used for the seat 1
It is provided at two places apart from each other in the axial direction 0 '(direction A in the drawing). That is, the seat 10 ′ is supported at two places from the lower block 15 via the two O-rings 20.
【0018】このように、圧力調整器1’では、シート
10’が複数のOリング20を介して下ブロック15と
接触することとなるため、Oリング20が単数である場
合に比較してシート10’の位置が安定し、シート1
0’の振れが少なくなる。したがって弁3の開度ηを一
定に保ちやすく、ダイヤフラム6に対して圧力の増減が
繰り返し作用することを避けることができる。したがっ
て、簡易な構成により、鳴動現象を効果的に低減させる
ことができる。As described above, in the pressure regulator 1 ', since the seat 10' comes into contact with the lower block 15 via the plurality of O-rings 20, the seat is compared with the case where the number of the O-ring 20 is singular. Position 10 'is stable and seat 1
The fluctuation of 0'is reduced. Therefore, it is easy to keep the opening η of the valve 3 constant, and it is possible to avoid the repeated increase and decrease of the pressure acting on the diaphragm 6. Therefore, the ringing phenomenon can be effectively reduced with a simple configuration.
【0019】特に、この場合、二つのOリング20を互
いに離間させた状態でシート10’に対して取り付けた
ため、シート10’を二点において支持することがで
き、シート10’の振れをより少なくして、さらなる鳴
動現象の効果的な抑制を図ることができる。Particularly, in this case, since the two O-rings 20 are attached to the seat 10 'in a state of being separated from each other, the seat 10' can be supported at two points, and the runout of the seat 10 'can be reduced. As a result, it is possible to further effectively suppress the ringing phenomenon.
【0020】なお、上記実施の形態において、Oリング
20は、シート10’における2カ所に取り付けられて
いたが、これに限らず、Oリング20を3カ所以上取り
付けるようにしてもよい。これにより、シート10’の
位置をより安定させて優れた鳴動現象の抑制を図ること
が可能である。In the above embodiment, the O-rings 20 are attached at two places on the seat 10 ', but the present invention is not limited to this, and the O-rings 20 may be attached at three or more places. As a result, it is possible to stabilize the position of the seat 10 ′ and suppress the excellent ringing phenomenon.
【0021】図2は、賦圧手段としてガス圧を用いた例
である。図2において、ピストンダイヤフラム21はダ
イヤフラム6上を覆って前記ダイヤフラム6との間に内
部空間S’を形成する外壁22と、前記内部空間S内に
収容されたピストン23を有している。ピストン23
は、ダイヤフラム6を介してシート10’と対向配置さ
れており、シート10’の中心軸線の延長上にほぼ一致
(完全一致を含む)した移動軸線に沿って外壁22内面
と摺動しつつ自在に移動可能となっている。このピスト
ン23とその周囲の外壁22内面との間はピストン23
外周部に装着されたOリング25によって気密にシール
されている。FIG. 2 shows an example in which gas pressure is used as the pressure applying means. In FIG. 2, the piston diaphragm 21 has an outer wall 22 that covers the diaphragm 6 and forms an internal space S ′ between the diaphragm 6 and the piston 6, and a piston 23 housed in the internal space S. Piston 23
Are arranged to face the seat 10 'through the diaphragm 6, and are freely slidable while sliding on the inner surface of the outer wall 22 along a movement axis line that substantially coincides (including perfect coincidence) with the extension of the central axis line of the seat 10'. It is possible to move to. Between the piston 23 and the inner surface of the outer wall 22 around it, the piston 23
It is hermetically sealed by an O-ring 25 attached to the outer peripheral portion.
【0022】このピストン23を介してダイヤフラム6
と対向する側にてピストン23と外壁22の間に確保さ
れている空間(以下、パイロット室24という)は気密
に封止されており、ピストン23は、このパイロット室
24内の圧力によってダイヤフラム6を図2における下
方へ押圧するようになっている。ピストン23の上下動
に伴って、パイロット室24の容積は変動し、それに伴
って、パイロット室24内の圧力が変化する。床部23
の下部はダイヤフラム6に接しており、パイロット室2
4内の圧力によりダイヤフラム6に下方への圧力がかか
っている。圧力室4のガス圧が高まり、パイロット室2
4内の圧力に抗してダイヤフラム6が上方に変位する
と、ピストン23が上方に変位し、パイロット室24の
容積が収縮してパイロット室24内の圧力が上昇する。
パイロット室24内の圧力と圧力室4の圧力が均衡した
ところでダイヤフラム6の変位が停止する。この機構に
より、ダイヤフラム6は、その上下変位がピストンダイ
ヤフラムによって弾性的に規制される。図2に示す実施
の形態の、上記賦圧手段以外の主要な構成及び効果は、
図1に示す実施の形態とほぼ同様であるので説明は省略
する。The diaphragm 6 is inserted through the piston 23.
A space (hereinafter, referred to as a pilot chamber 24) secured between the piston 23 and the outer wall 22 on the side opposite to is airtightly sealed, and the piston 23 is pressurized by the pressure in the pilot chamber 24. Is pressed downward in FIG. The volume of the pilot chamber 24 changes as the piston 23 moves up and down, and the pressure in the pilot chamber 24 changes accordingly. Floor 23
The lower part of is in contact with the diaphragm 6, and the pilot chamber 2
The pressure in the diaphragm 4 exerts downward pressure on the diaphragm 6. The gas pressure in the pressure chamber 4 increases and the pilot chamber 2
When the diaphragm 6 is displaced upwards against the pressure inside 4, the piston 23 is displaced upwards, the volume of the pilot chamber 24 is contracted, and the pressure inside the pilot chamber 24 rises.
When the pressure in the pilot chamber 24 and the pressure in the pressure chamber 4 are balanced, the displacement of the diaphragm 6 stops. With this mechanism, the vertical displacement of the diaphragm 6 is elastically restricted by the piston diaphragm. The main configuration and effect of the embodiment shown in FIG. 2 other than the pressure applying means are as follows.
The description is omitted because it is almost the same as the embodiment shown in FIG.
【0023】賦圧手段としてのガス圧は、図2に例示し
たピストンダイヤフラムに限定されるものではなく、例
えばダイヤフラムを介してシートと対向する側に確保さ
れた気密空間内のガス圧が直接ダイヤフラムに作用する
構成(例えば、図2において、ピストンを省略した構
成)や、外部から導入されるガス圧が直接あるいはピス
トン等の部材を介してダイヤフラムに作用する構成な
ど、各種採用可能である。The gas pressure as the pressure applying means is not limited to the piston diaphragm illustrated in FIG. 2, but the gas pressure in the airtight space secured on the side facing the seat via the diaphragm is directly the diaphragm. Various configurations such as a configuration that acts on the diaphragm (for example, a configuration in which the piston is omitted in FIG. 2) or a configuration in which a gas pressure introduced from the outside acts on the diaphragm directly or via a member such as the piston can be adopted.
【0024】[0024]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
簡易な構成により圧力調整器の鳴動現象を良好に抑制す
ることができる。As described above, according to the present invention,
With a simple configuration, the ringing phenomenon of the pressure regulator can be suppressed well.
【図1】 本発明の一実施の形態である圧力調整器の要
部の立断面図である。FIG. 1 is a vertical cross-sectional view of a main part of a pressure regulator according to an embodiment of the present invention.
【図2】 本発明の他の実施の形態である圧力調整器の
要部の立断面図である。FIG. 2 is a vertical sectional view of a main part of a pressure regulator according to another embodiment of the present invention.
【図3】 従来の圧力調整器の要部の立断面図である。FIG. 3 is a vertical cross-sectional view of a main part of a conventional pressure regulator.
1’…圧力調整器、3…弁、4…圧力室、6…ダイヤフ
ラム、8…大スプリング(スプリング)、10’…シー
ト(弁体)、20、25…Oリング、21…ピストンダ
イヤフラム、24…パイロット室1 '... pressure regulator, 3 ... valve, 4 ... pressure chamber, 6 ... diaphragm, 8 ... large spring (spring), 10' ... seat (valve body), 20, 25 ... O-ring, 21 ... piston diaphragm, 24 … Pilot room
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 5H316 BB05 CC08 DD01 DD02 EE10 EE12 EE18 JJ01 JJ09 JJ11 KK01 KK08 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page F-term (reference) 5H316 BB05 CC08 DD01 DD02 EE10 EE12 EE18 JJ01 JJ09 JJ11 KK01 KK08
Claims (4)
に変位することにより前記圧力室の容積を変化させるダ
イヤフラムと、 前記ダイヤフラムの前記所定方向の変位を弾性的に規制
する賦圧手段と、 前記ダイヤフラムの変位に伴い該ダイヤフラムとともに
前記所定方向に摺動し、かつその摺動位置に従って前記
弁の開度を調整する弁体とを備え、 前記弁体には、前記圧力室を外部から封止するためのO
リングが該弁体の前記摺動方向に沿った延在方向の複数
個所に装着されていることを特徴とする圧力調整器。1. A pressure chamber into which a fluid flows, a valve that restricts the flow of the fluid into the pressure chamber, a part of a wall surface of the pressure chamber, and the pressure chamber that is displaced in a predetermined direction. A diaphragm for changing the volume of the diaphragm, a pressure applying means for elastically restricting the displacement of the diaphragm in the predetermined direction, and a slide along with the diaphragm in the predetermined direction with the displacement of the diaphragm, and according to the sliding position. A valve body for adjusting the opening degree of the valve, wherein the valve body has an O for sealing the pressure chamber from the outside.
A pressure regulator, wherein rings are mounted at a plurality of positions in an extending direction of the valve body along the sliding direction.
とする請求項1記載の圧力調整器。2. The pressure regulator according to claim 1, wherein the pressure applying means is a spring.
る請求項1記載の圧力調整器。3. The pressure regulator according to claim 1, wherein the pressure applying means is a gas pressure.
た状態で設けられていることを特徴とする請求項1乃至
3のいずれかに記載の圧力調整器。4. The pressure regulator according to claim 1, wherein the plurality of O-rings are provided in a state of being separated from each other.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002105633A JP2003316444A (en) | 2002-02-20 | 2002-04-08 | Pressure regulator |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002-43800 | 2002-02-20 | ||
JP2002043800 | 2002-02-20 | ||
JP2002105633A JP2003316444A (en) | 2002-02-20 | 2002-04-08 | Pressure regulator |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003316444A true JP2003316444A (en) | 2003-11-07 |
Family
ID=29551765
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002105633A Pending JP2003316444A (en) | 2002-02-20 | 2002-04-08 | Pressure regulator |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2003316444A (en) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010035323A1 (en) * | 2008-09-25 | 2010-04-01 | 株式会社コガネイ | Pressure reducing valve |
WO2010116788A1 (en) * | 2009-03-30 | 2010-10-14 | 株式会社ケーヒン | Decompression valve |
JP2011106576A (en) * | 2009-11-18 | 2011-06-02 | Ckd Corp | Fluid control valve |
JP2015090715A (en) * | 2013-11-06 | 2015-05-11 | 株式會社 コベア | Valve |
-
2002
- 2002-04-08 JP JP2002105633A patent/JP2003316444A/en active Pending
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010035323A1 (en) * | 2008-09-25 | 2010-04-01 | 株式会社コガネイ | Pressure reducing valve |
KR101195328B1 (en) | 2008-09-25 | 2012-10-29 | 코가네이 코포레이션 | Pressure Regulator |
US8869827B2 (en) | 2008-09-25 | 2014-10-28 | Koganei Corporation | Pressure regulator |
WO2010116788A1 (en) * | 2009-03-30 | 2010-10-14 | 株式会社ケーヒン | Decompression valve |
JP2010237863A (en) * | 2009-03-30 | 2010-10-21 | Keihin Corp | Decompression valve |
US8944097B2 (en) | 2009-03-30 | 2015-02-03 | Keihin Corporation | Decompression valve |
JP2011106576A (en) * | 2009-11-18 | 2011-06-02 | Ckd Corp | Fluid control valve |
JP2015090715A (en) * | 2013-11-06 | 2015-05-11 | 株式會社 コベア | Valve |
US9477234B2 (en) | 2013-11-06 | 2016-10-25 | Kovea Co., Ltd. | Valve |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4490500B2 (en) | Constant flow valve | |
US7128086B2 (en) | Flow control valves | |
JP3871065B1 (en) | Pressure reducing valve | |
CN108692062B (en) | Metal diaphragm valve | |
JPH0585777B2 (en) | ||
JP4445238B2 (en) | Fluid control valve | |
KR100792541B1 (en) | Regulator for high-pressure gas | |
KR20020022014A (en) | Vacuum exhaust valve | |
JP2003316444A (en) | Pressure regulator | |
US11261990B2 (en) | Actuator and valve device | |
JP3583851B2 (en) | Pressure reducing valve for clean gas | |
KR101108939B1 (en) | Pressure reducing apparatus | |
KR102627961B1 (en) | Damping force adjustable shock absorber | |
JP2001124282A (en) | Surge suppressing device | |
US11047503B2 (en) | Actuator, valve device, and fluid supply system | |
JP2999429B2 (en) | Micro flow control valve | |
JP4115436B2 (en) | Solenoid proportional valve | |
JP2002071048A (en) | Automatic pressure regulating valve | |
KR101982592B1 (en) | Regulator | |
JP2020041565A (en) | Actuator, valve, fluid supply system, and semiconductor manufacturing device | |
WO2018142717A1 (en) | Diaphragm valve | |
CN112513505A (en) | Pressure reducing valve | |
JP2005233298A (en) | Pilot valve and pneumatic cylinder | |
KR101793791B1 (en) | Pressure regulate valve device having a flow blocking function | |
JPS62103717A (en) | Pressure reducing valve |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20050215 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20080129 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080205 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080407 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080715 |