JP2003294368A - Heat treatment device and heat treatment method - Google Patents
Heat treatment device and heat treatment methodInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、金属に対して加熱
処理およびこれに続く急速冷却処理を行うのに好適な熱
処理装置および熱処理方法に関する。特に、本発明に係
る熱処理装置および熱処理方法は、ｂｃｃ相を主相とす
る水素吸蔵合金を量産するのに好適である。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a heat treatment apparatus and a heat treatment method suitable for performing heat treatment and subsequent rapid cooling treatment on a metal. In particular, the heat treatment apparatus and heat treatment method according to the present invention are suitable for mass-producing hydrogen storage alloys having a bcc phase as a main phase.
【０００２】[0002]
【従来の技術】現在、化石燃料の使用によって増大する
ＮＯｘ(窒素酸化物)を原因とする酸性雨や、ＣＯ2によ
る地球温暖化が懸念されており、これらの環境破壊が深
刻な問題となってきている。その中でクリーンエネルギ
ーとして水素エネルギーの実用化が世界的に注目されて
きている。水素は地球上に無尽蔵に存在する水の構成元
素であって、種々の一次エネルギーを用いて作り出すこ
とが可能であるばかりか、副生成物が水だけであるため
に環境破壊の心配がなく、また電力に比べて貯蔵が比較
的容易であるなど優れた特性を有している。2. Description of the Related Art At present, there is a concern about acid rain caused by NOx (nitrogen oxide), which is increased by the use of fossil fuels, and global warming due to CO 2. These environmental destructions are serious problems. Is coming. Among them, the practical application of hydrogen energy as clean energy has been attracting worldwide attention. Hydrogen is an inexhaustible constituent element of water on the earth, and not only can it be created using various primary energies, but it is also a by-product of water, so there is no concern of environmental damage. Further, it has excellent characteristics such as being relatively easy to store as compared with electric power.
【０００３】このため、近年、これら水素の貯蔵および
輸送媒体として水素吸蔵合金の研究開発及び実用化検討
が活発に実施されている。これら水素吸蔵合金とは、適
当な条件で水素を吸収、放出できる金属・合金のことで
ある。この合金を用いる事により、従来の水素ガスボン
ベと比較して低い圧力でしかも高密度に水素を貯蔵する
ことが可能となる。そして、その体積密度は液体水素あ
るいは固体水素とほぼ同等かそれ以上であり、かつ取扱
い上の安全性も格段と優れている。Therefore, in recent years, research and development of hydrogen storage alloys as a storage and transportation medium for these hydrogens and studies for their practical use have been actively carried out. These hydrogen storage alloys are metals and alloys that can absorb and release hydrogen under appropriate conditions. By using this alloy, it becomes possible to store hydrogen at a low pressure and at a high density as compared with a conventional hydrogen gas cylinder. The volume density thereof is almost equal to or higher than that of liquid hydrogen or solid hydrogen, and the handling safety is remarkably excellent.
【０００４】これら水素吸蔵合金としては、ＬａＮｉ5
などのＡＢ5型合金あるいはＴｉＭｎ 2などのＡＢ2型合
金が実用化されている。しかし、その水素吸蔵量は高々
１.４ｍａｓｓ％前後であり、例えばＷＥ−ＮＥＴ（国
際エネルギーネットワーク）が提唱する燃料電池等の水
素貯蔵用に用いる水素吸蔵合金の目標性能１００℃以下
にて３ｍａｓｓ％には到達できない。近年になり、例え
ば特開平１０−１１０２２５号公報、特開平１０−１２
１１８０号公報や特開２０００−３４５２７３号公報に
て提案されているように、水素吸蔵サイト数が多く、合
金の単位重量当りにおいて吸蔵できる理論水素量が約４
ｍａｓｓ％、（Ｈ／Ｍ＝２、Ｈ：吸蔵水素原子、Ｍ:合
金構成元素）と極めて大きい体心立方構造（以後「ｂｃ
ｃ相」、「ｂｃｃ型」あるいは「ｂｃｃ」と呼称する）
を有するＴｉ−Ｃｒ系合金が注目され、実用化を目指し
て数多くの検討が始まっている。LaNi is one of these hydrogen storage alloys.Five
AB such asFiveType alloy or TiMn 2AB such as2Pattern
Gold has been put to practical use. However, its hydrogen storage capacity is at most
It is around 1.4 mass%, for example, WE-NET (country
Water such as fuel cells advocated by the International Energy Network)
Target performance of hydrogen storage alloy used for elementary storage 100 ℃ or less
Can't reach 3 mass%. In recent years, for example,
For example, JP-A-10-110225 and JP-A-10-12
1180 and Japanese Patent Laid-Open No. 2000-345273.
The number of hydrogen storage sites is large and
The theoretical amount of hydrogen that can be stored per unit weight of gold is about 4
mass%, (H / M = 2, H: occluded hydrogen atom, M: total
Very large body-centered cubic structure (hereinafter “bc”)
Called "phase c", "bcc type" or "bcc")
Ti-Cr type alloys with
Many studies have begun.
【０００５】ところで、水素吸蔵合金は、通常、母合金
の溶解・鋳造（合金化）、熱処理、破砕という工程を経
て作製される。この工程を簡略化すべく、特開平１０−
１５８７５５号公報には、いわゆる液体急冷法を用いて
ｂｃｃ型の水素吸蔵合金を得る方法が開示されている。
Ｔｉ−Ｃｒ系合金の溶湯を双ロール法、片ロール法等を
用いて急速冷却する特開平１０−１５８７５５号公報に
記載の製造方法によれば、室温でｂｃｃ相の状態を維持
する水素吸蔵合金を得ることができる。By the way, a hydrogen storage alloy is usually produced through the steps of melting and casting (alloying) of a mother alloy, heat treatment and crushing. In order to simplify this process, JP-A-10-
Japanese Patent No. 158755 discloses a method for obtaining a bcc type hydrogen storage alloy by using a so-called liquid quenching method.
According to the manufacturing method described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-158755, in which a molten metal of Ti-Cr alloy is rapidly cooled by using a twin roll method, a single roll method, or the like, a hydrogen storage alloy that maintains a bcc phase state at room temperature. Can be obtained.
【０００６】また、特開平１０−１２１１８０号公報で
は、Ｔｉ−Ｃｒ系合金（インゴット）を得た後、１２０
０〜１４００℃の範囲で１〜５時間保持し、その後急冷
することによって、ｂｃｃ型の水素吸蔵合金を得ること
が開示されている。さらにまた、特開平１１−１０６８
５９号公報では、Ｔｉ−Ｃｒ系合金（インゴット）を得
た後、１０００〜１４００℃で加熱、急冷した後、さら
に熱処理をすることにより、ｂｃｃ単相の水素吸蔵合金
を得ることが開示されている。特開平１０−１５８７５
５号公報、特開平１０−１２１１８０号公報および特開
平１１−１０６８５９号公報に開示されているように、
加熱、急冷という工程を経ることにより、水素吸蔵合金
としてのＴｉ−Ｃｒ系合金の特性が向上する。特に、急
冷工程は、ｂｃｃ単相化、プラトー平坦性の達成のため
に必要な工程であり、Ｔｉ−Ｃｒ系合金に適する熱処理
である。Further, in Japanese Patent Laid-Open No. 10-121180, after obtaining a Ti—Cr alloy (ingot), 120
It is disclosed that a bcc type hydrogen storage alloy is obtained by holding in the range of 0 to 1400 ° C. for 1 to 5 hours and then rapidly cooling. Furthermore, JP-A-11-1068
Japanese Patent Laid-Open No. 59-59 discloses that after obtaining a Ti—Cr alloy (ingot), heating at 1000 to 1400 ° C., quenching, and further heat treatment to obtain a bcc single-phase hydrogen storage alloy. There is. Japanese Patent Laid-Open No. 10-15875
As disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 5 (1999), Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-121180 and Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-106859,
By passing through the steps of heating and quenching, the characteristics of the Ti-Cr alloy as a hydrogen storage alloy are improved. In particular, the quenching step is a step necessary for achieving bcc single phase and achieving plateau flatness, and is a heat treatment suitable for Ti—Cr alloys.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】上記した特開平１０−
１５８７５５号公報に記載の方法によれば、工程数が少
ないため、水素吸蔵合金の作製に要する時間を削減する
ことができる。しかしながら、本発明者の検討による
と、液体急冷法で作成したＴｉ−Ｃｒ系合金は、活性化
しにくく、活性化処理が別途必要となる場合がほとんど
である。また、ｂｃｃ単相になった場合においても水素
吸蔵量が低いという問題がある。すなわち、同一の合金
組成を用いた場合において、水中急冷法によれば２．５
〜２．６ｗｔ％の水素吸蔵量を得ることができるにも拘
わらず、液体急冷法によっては、２．３ｗｔ％程度の水
素吸蔵量にとどまってしまう。さらに、液体急冷法で作
成したＴｉ−Ｃｒ系合金は、水中急冷法で作成したＴｉ
−Ｃｒ系合金に較べてプラトーの傾きが大きくなる傾向
があり、プラトー平坦性が悪い。一方、特開平１０−１
２１１８０号公報および特開平１１−１０６８５９号公
報に記載の１０００〜１４００℃の範囲で加熱した後、
急冷するという方法によれば、上記した液体急冷法より
も高い水素吸蔵量を得ることができる。ところが、特開
平１０−１２１１８０号公報には、母合金の溶解・鋳造
（合金化）後に加熱、急冷を行うのに適した具体的な装
置の記載はなく、また特開平１１−１０６８５９号公報
では石英管にＡｒを封入した状態で加熱、水中急冷を行
っており、この方法では量産性に問題がある。つまり、
２．３ｗｔ％以上の水素吸蔵量を有するＴｉ−Ｃｒ系の
水素吸蔵合金を量産するのに適した熱処理装置は未だ提
案されていない。そこで、本発明は、量産性に優れた熱
処理装置、より具体的には、Ｔｉ−Ｃｒ系の水素吸蔵合
金等のように、水中急冷によって特性が向上する金属に
対して好適な熱処理装置等を提供することを課題とす
る。DISCLOSURE OF THE INVENTION Problems to be Solved by the Invention
According to the method described in Japanese Patent No. 158755, since the number of steps is small, it is possible to reduce the time required for producing the hydrogen storage alloy. However, according to the study by the present inventor, the Ti—Cr alloy produced by the liquid quenching method is hard to be activated, and in most cases, activation treatment is separately required. Further, there is a problem that the hydrogen storage amount is low even when the bcc single phase is formed. That is, in the case of using the same alloy composition, it is 2.5 by the underwater quenching method.
Although it is possible to obtain a hydrogen storage amount of up to 2.6 wt%, the hydrogen storage amount is limited to about 2.3 wt% depending on the liquid quenching method. Further, the Ti-Cr alloy produced by the liquid quenching method is Ti produced by the underwater quenching method.
The plateau inclination tends to be larger than that of the -Cr alloy, and the plateau flatness is poor. On the other hand, JP-A-10-1
After heating in the range of 1000 to 1400 ° C. described in JP-A No. 21180 and JP-A No. 11-106859,
According to the method of quenching, it is possible to obtain a higher hydrogen storage amount than the liquid quenching method described above. However, JP-A-10-121180 does not describe a specific apparatus suitable for heating and quenching after melting / casting (alloying) of a mother alloy, and JP-A-11-106859 discloses. The quartz tube is heated and quenched in water with Ar sealed therein, and this method has a problem in mass productivity. That is,
A heat treatment apparatus suitable for mass-producing a Ti—Cr-based hydrogen storage alloy having a hydrogen storage capacity of 2.3 wt% or more has not been proposed yet. Therefore, the present invention provides a heat treatment apparatus excellent in mass productivity, more specifically, a heat treatment apparatus suitable for a metal whose characteristics are improved by rapid cooling in water, such as a Ti-Cr-based hydrogen storage alloy. The challenge is to provide.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明者は前記課題を解
決するために様々な検討を行った。その結果、以下の構
成を有する新規な熱処理装置を考案するに至った。すな
わち、本発明は、金属を熱処理する熱処理装置であっ
て、金属を一時的に収容し、かつその内部を非酸化性雰
囲気に置換可能な金属収容室と、金属収容室において金
属を載置するとともに、金属収容室が非酸化性雰囲気に
置換された後に載置された金属を熱処理室に搬送する搬
送機と、金属収容室から搬送された金属を搬送機に載置
した状態で、金属に対する加熱処理を施すとともに、そ
の内部を非酸化性雰囲気に置換可能な熱処理室と、加熱
処理が施された金属を熱処理室から自由落下させて急速
冷却領域を通過させることにより冷却する冷却室とを備
え、金属収容室および冷却室が、それぞれ気密性の仕切
弁を有する連絡口を介して熱処理室と連結されているこ
とを特徴とする熱処理装置である。ここで、本願明細書
において、「非酸化性雰囲気に置換」とは、室をＡｒ等
の不活性ガスで置換すること、および室を真空状態にす
ることの双方を含む。本発明に係る熱処理装置では、搬
送機に載置された状態のまま金属の加熱処理を行うこと
ができ、また、自由落下という非常に簡易な方法で金属
を冷却室に移動させることができる。しかも、金属収容
室および冷却室がそれぞれ気密性の仕切弁を有する連絡
口を介して熱処理室と連結されており、各室の気密性が
確保されていることから、金属収容室、熱処理室、およ
び冷却室を任意の環境に制御することができる。なお、
任意の環境に制御可能とは、圧力、温度、雰囲気等を任
意の状態に制御できることを意味する。例えば、金属収
容室を人間が作業可能な温度、例えば室温に保持する一
方で、熱処理室を１４００℃程度の高温に保持すること
ができ、雰囲気についてもそれぞれの室に適した濃度の
不活性ガス雰囲気等に制御することができる。Means for Solving the Problems The present inventor has conducted various studies to solve the above problems. As a result, they have devised a new heat treatment apparatus having the following configuration. That is, the present invention is a heat treatment apparatus for heat treating a metal, wherein the metal is temporarily accommodated and the inside of which can be replaced with a non-oxidizing atmosphere, and the metal is placed in the metal accommodation chamber. Along with the transfer machine for transferring the metal placed in the heat treatment chamber after the metal storage chamber is replaced with the non-oxidizing atmosphere, and the metal transferred from the metal storage chamber placed in the transfer machine to the metal, A heat treatment chamber that can perform heat treatment and replace the inside with a non-oxidizing atmosphere, and a cooling chamber that cools the heat-treated metal by free-falling from the heat treatment chamber and passing through a rapid cooling region. The heat treatment apparatus is characterized in that the metal storage chamber and the cooling chamber are connected to the heat treatment chamber through communication ports each having an airtight sluice valve. Here, in the specification of the present application, "replacement with a non-oxidizing atmosphere" includes both replacement of the chamber with an inert gas such as Ar, and evacuating the chamber. In the heat treatment apparatus according to the present invention, the metal can be heat-treated while being placed on the carrier, and the metal can be moved to the cooling chamber by a very simple method of free fall. Moreover, the metal storage chamber and the cooling chamber are connected to the heat treatment chamber via the communication ports each having an airtight partition valve, and since the airtightness of each chamber is ensured, the metal storage chamber, the heat treatment chamber, And the cooling chamber can be controlled to any environment. In addition,
Controllable in any environment means that the pressure, temperature, atmosphere, etc. can be controlled in any state. For example, the metal chamber can be maintained at a temperature at which humans can work, for example, room temperature, while the heat treatment chamber can be maintained at a high temperature of about 1400 ° C., and the atmosphere can be maintained at an inert gas concentration suitable for each chamber. The atmosphere can be controlled.
【０００９】また、本発明に係る熱処理装置において、
熱処理室に対して金属収容室を複数備え、一の金属収容
室から熱処理室に搬送された金属に対し、非酸化性雰囲
気下で加熱処理を施すと同時に、金属が収容された他の
金属収容室を非酸化性雰囲気に保持することが有効であ
る。このように金属収容室を複数設け、熱処理室で金属
に対する加熱処理を行う一方で、他の金属収容室を非酸
化性雰囲気に保持しておくことで、時間的なロスを生じ
ることなく、金属収容室で待機中の金属を高温の熱処理
室に順次搬送することができる。つまり、熱処理室内で
の金属に対する加熱処理と、金属収容室内を、仕切弁を
開いて被処理金属を高温状態の熱処理室に搬送できる程
度の非酸化性雰囲気にして次に加熱処理される金属を搬
送機上にセットし、熱処理室に搬送できるように準備し
ておく処理とを同時進行できるので、無駄な待ち時間が
生じず効率的である。また、冷却室には、ｋｇ単位の大
量の金属を冷却することが可能な急速冷却領域が設けら
れており、加熱処理が施されたｋｇ単位の金属を一度に
急冷することができる。しかも、加熱処理後に金属を熱
処理室から冷却室に自由落下させるため、加熱処理、急
冷処理という一連の工程を連続的に行うことができる。
上記のような構成により、次工程に移行する際に何ら無
駄な時間が生じず、生産性、量産性に優れる。In the heat treatment apparatus according to the present invention,
The heat treatment chamber is provided with a plurality of metal storage chambers, and the metal transferred from one metal storage chamber to the heat treatment chamber is subjected to heat treatment in a non-oxidizing atmosphere and at the same time other metal storage chambers containing metal are stored. It is effective to keep the chamber in a non-oxidizing atmosphere. In this way, by providing a plurality of metal storage chambers and performing heat treatment on the metal in the heat treatment chamber, by keeping the other metal storage chambers in a non-oxidizing atmosphere, there is no time loss, The metal waiting in the storage chamber can be sequentially transferred to the high temperature heat treatment chamber. In other words, the heat treatment for the metal in the heat treatment chamber is performed, and the sluice valve is opened in the metal storage chamber to create a non-oxidizing atmosphere that allows the metal to be treated to be transferred to the heat treatment chamber in the high temperature state. Since the process of setting on the carrier and preparing to be transferred to the heat treatment chamber can proceed at the same time, wasteful waiting time does not occur, which is efficient. In addition, the cooling chamber is provided with a rapid cooling region capable of cooling a large amount of metal in kg units, and the heat-treated kg unit of metal can be rapidly cooled at once. Moreover, since the metal is allowed to fall freely from the heat treatment chamber to the cooling chamber after the heat treatment, a series of steps of heat treatment and quenching can be continuously performed.
With the above configuration, no wasteful time is generated when moving to the next process, and the productivity and mass productivity are excellent.
【００１０】さらに、本発明に係る熱処理装置では、熱
処理室に、金属収容室および冷却室との連絡口をそれぞ
れ熱遮蔽する熱遮蔽体を備え、上述した仕切弁および熱
遮蔽体の開閉により、金属収容室と熱処理室、熱処理室
と冷却室がそれぞれ連通または遮断されるようにする。
さらにまた、熱処理室および冷却室との間に位置する連
絡口にＡｒ等を供給する不活性ガス供給手段を備え、こ
の不活性ガス供給手段によって熱処理室から冷却室に向
かう不活性ガスの流れを形成し、冷却室にて発生する水
蒸気が熱処理室内に流入することを防止することが有効
である。ここで、不活性ガス供給手段としては、例えば
ボンベ等を用いることができる。また、本発明に係る熱
処理装置において、搬送機は、加熱処理が施された金属
を自由落下させた後に金属収容室に退避するものとする
ことができる。Further, in the heat treatment apparatus according to the present invention, the heat treatment chamber is provided with a heat shield for thermally shielding the communication ports with the metal storage chamber and the cooling chamber, respectively, and by opening and closing the gate valve and the heat shield as described above, The metal storage chamber and the heat treatment chamber, and the heat treatment chamber and the cooling chamber are connected or disconnected.
Furthermore, an inert gas supply means for supplying Ar or the like is provided at a communication port located between the heat treatment room and the cooling room, and the flow of the inert gas from the heat treatment room toward the cooling room is provided by the inert gas supply means. It is effective to prevent water vapor formed and flowing in the cooling chamber from flowing into the heat treatment chamber. Here, as the inert gas supply means, for example, a cylinder or the like can be used. Further, in the heat treatment apparatus according to the present invention, the carrier may be configured to freely drop the heat-treated metal and then retract the heat-treated metal into the metal storage chamber.
【００１１】さらに本発明は、金属が一時的に収容され
る金属収容室と、金属に対して加熱処理を行う熱処理室
と、金属収容室と熱処理室の間を往復移動可能な搬送機
と、加熱処理が施された金属を急速冷却領域を通過させ
ることにより冷却する冷却室とを備えた熱処理装置を用
いて金属に対する熱処理を行う熱処理方法を提供する。
まず、金属収容室を非酸化性雰囲気に保持した状態で、
加熱処理がされるべき金属を待機させる。次いで、金属
収容室に収容された金属の周囲を、非酸化性雰囲気に保
持したまま搬送機によって熱処理室に搬送し、搬送機上
に金属を保持した状態で、金属に対する加熱処理を施
す。そして、加熱処理された金属を、熱処理室から大気
に触れることなく自由落下させて急速冷却領域を通過さ
せることにより冷却するのである。ここで、急速冷却領
域は、ｋｇ単位の大量の金属をできるだけ効率良く冷却
するために、所定の流動状態が形成されていることが好
ましい。なお、急速冷却領域としては、その冷却能、コ
スト面等から水が好ましい。また、本発明に係る熱処理
方法において、熱処理室に対して金属収容室を複数備
え、一の金属収容室から熱処理室に搬送された金属に対
して加熱処理を行う加熱処理工程と、他の金属収容室を
非酸化性雰囲気に保持した状態で、加熱処理がされるべ
き金属を待機させる待機工程とを同時に行うことが好ま
しい。このように、複数の合金収容室を設けることによ
って、例えば、一の金属収容室において一時的に収容さ
れていた金属を熱処理室に搬送して加熱処理を施してい
るときに、他の金属収容室においては、次に加熱処理さ
れるべき金属が一時的に収容されているようにすること
ができる。つまり、熱処理室で金属の加熱処理が行われ
ている間に、金属収容室の内部を不活性ガスでガス置換
する等して次に加熱処理される金属を搬送機上にセット
し、熱処理室に搬送できるように準備しておくことがで
きるので、無駄な待ち時間が生じない。よって、本発明
に係る熱処理方法によれば、金属に対する熱処理を効率
良く行うことができ、量産性に優れる。本発明に係る熱
処理方法において、金属をＴｉ−Ｃｒ系の水素吸蔵合金
とすることができる。この場合において、冷却工程後の
金属は、ｂｃｃを主相とする組織を容易に形成すること
ができる。Further, according to the present invention, there is provided a metal storage chamber in which metal is temporarily stored, a heat treatment chamber for performing heat treatment on the metal, and a carrier capable of reciprocating between the metal storage chamber and the heat treatment chamber. Provided is a heat treatment method for performing heat treatment on a metal by using a heat treatment apparatus having a cooling chamber for cooling the heat-treated metal by passing through the rapid cooling region.
First, with the metal storage chamber kept in a non-oxidizing atmosphere,
Wait for the metal to be heat treated. Next, the periphery of the metal housed in the metal housing chamber is transferred to the heat treatment chamber by the carrier while being kept in the non-oxidizing atmosphere, and the metal is heat-treated while the metal is held on the carrier. Then, the heat-treated metal is cooled by free fall from the heat treatment chamber without passing through the atmosphere and passing through the rapid cooling region. Here, in the rapid cooling region, it is preferable that a predetermined flow state is formed in order to cool a large amount of metal in kg unit as efficiently as possible. In addition, as the rapid cooling region, water is preferable in terms of its cooling ability, cost, and the like. Further, in the heat treatment method according to the present invention, a heat treatment step in which a plurality of metal storage chambers are provided in the heat treatment chamber, and heat treatment is performed on the metal transferred from one metal storage chamber to the heat treatment chamber; It is preferable to simultaneously perform the standby step of waiting the metal to be heat-treated while keeping the storage chamber in the non-oxidizing atmosphere. By providing a plurality of alloy containing chambers in this manner, for example, when the metal temporarily stored in one metal containing chamber is transferred to the heat treatment chamber and subjected to heat treatment, other metal containing chambers are stored. In the chamber, the metal to be subsequently heat treated can be temporarily accommodated. That is, while the heat treatment of the metal is being performed in the heat treatment chamber, the metal to be heat-treated next is set on the carrier by, for example, replacing the inside of the metal storage chamber with an inert gas. Since it can be prepared so that it can be transported to another location, unnecessary waiting time does not occur. Therefore, according to the heat treatment method of the present invention, the heat treatment of the metal can be efficiently performed, and the mass productivity is excellent. In the heat treatment method according to the present invention, the metal may be a Ti-Cr based hydrogen storage alloy. In this case, the metal after the cooling step can easily form a structure having bcc as the main phase.
【００１２】[0012]
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施形態を説明する。本発明に係る熱処理装置は、金属
（合金を含む）に対し、加熱処理およびこれに続く急速
冷却処理（急冷処理）を行うのに適した装置である。本
発明に係る熱処理装置において、金属は、金属収容室か
ら熱処理室、さらには熱処理室から冷却室に移動する
が、前者の移動は搬送機によって行われ、かつ後者の移
動は金属を自由落下させることにより行うため、小型な
装置で加熱処理、急速冷却処理という一連の工程を行う
ことができる。また、熱処理室のみならず、熱処理室に
隣接する金属収容室についても非酸化性雰囲気にされて
おり、さらには１つの熱処理室に対して複数の金属収容
室を設けているため、熱処理室を高温に保持したまま順
次、金属を熱処理室に搬送することができる。しかも、
加熱処理された金属が、熱処理室から冷却室に自由落下
によって移動する際にも、金属が大気に接触しないよう
になっている。よって、本発明に係る熱処理装置によれ
ば、金属に対する一連の熱処理を非酸化性雰囲気のもと
で効率的に行うことができるため、生産性、量産性に優
れる。以下、本発明に係る熱処理装置を用いてＴｉ−Ｃ
ｒ系の合金に対する熱処理を行う場合を例に挙げて説明
する。なお、本願明細書において、以下、Ｔｉ−Ｃｒ系
の合金を合金Ｍと称することとする。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. The heat treatment apparatus according to the present invention is an apparatus suitable for performing heat treatment and subsequent rapid cooling treatment (quick cooling treatment) on a metal (including alloy). In the heat treatment apparatus according to the present invention, the metal moves from the metal storage chamber to the heat treatment chamber, and further from the heat treatment chamber to the cooling chamber, the former movement is performed by the carrier, and the latter movement causes the metal to fall freely. Since it is performed by such a method, a series of steps such as heat treatment and rapid cooling treatment can be performed with a small device. Further, not only the heat treatment chamber but also the metal storage chamber adjacent to the heat treatment chamber is set to a non-oxidizing atmosphere, and moreover, since a plurality of metal storage chambers are provided for one heat treatment chamber, The metal can be sequentially transferred to the heat treatment chamber while being kept at a high temperature. Moreover,
Even when the heat-treated metal moves from the heat treatment chamber to the cooling chamber by free fall, the metal does not come into contact with the atmosphere. Therefore, according to the heat treatment apparatus of the present invention, a series of heat treatments for metals can be efficiently performed in a non-oxidizing atmosphere, resulting in excellent productivity and mass productivity. Hereinafter, using a heat treatment apparatus according to the present invention, Ti-C
A case where heat treatment is performed on an r-based alloy will be described as an example. In the present specification, the Ti-Cr alloy will be referred to as alloy M hereinafter.
【００１３】図１は、本発明に係る熱処理装置１００の
側断面図である。図１に示すように、本実施の形態にお
ける熱処理装置１００は、合金収容室２に合金Ｍを供給
するために用いられる合金供給室（金属供給室）１、合
金供給室１から供給された合金Ｍが搬送機６により熱処
理室３に搬送されるまでの間、一時的に合金Ｍを収容す
る合金収容室（金属収容室、一の金属収容室、他の金属
収容室）２、搬送機６により合金収容室２から搬送され
た合金Ｍに対し、所定の加熱処理を施す熱処理室３、熱
処理室３にて所定の加熱処理が施された合金Ｍを急速冷
却（以下、「急冷」という）する冷却室４、冷却室４で
急冷された合金Ｍを回収する合金回収室７とを備える。
合金回収室７と冷却室４は連通した構成となっている
が、合金Ｍを回収する際には冷却室４と合金収容室７の
間を弁等で封止して合金Ｍの回収を行うことができる。
この回収は、合金回収室７に合金Ｍが所定量溜まった後
行えばよい。FIG. 1 is a side sectional view of a heat treatment apparatus 100 according to the present invention. As shown in FIG. 1, the heat treatment apparatus 100 according to the present embodiment includes an alloy supply chamber (metal supply chamber) 1 used for supplying the alloy M to the alloy storage chamber 2, and an alloy supplied from the alloy supply chamber 1. An alloy storage chamber (metal storage chamber, one metal storage chamber, another metal storage chamber) 2 that temporarily stores the alloy M until M is transported to the heat treatment chamber 3 by the transport device 6, the transport device 6 The heat treatment chamber 3 that performs a predetermined heat treatment on the alloy M that has been conveyed from the alloy storage chamber 2 by the above, and the alloy M that has been subjected to the predetermined heat treatment in the heat treatment chamber 3 is rapidly cooled (hereinafter, referred to as “quick cooling”) Cooling chamber 4 and an alloy recovery chamber 7 for recovering the alloy M rapidly cooled in the cooling chamber 4.
The alloy recovery chamber 7 and the cooling chamber 4 are connected to each other, but when the alloy M is recovered, the alloy M is recovered by sealing the space between the cooling chamber 4 and the alloy storage chamber 7 with a valve or the like. be able to.
This recovery may be performed after the alloy M is collected in the alloy recovery chamber 7 by a predetermined amount.
【００１４】合金Ｍは高温では酸化されやすい。よっ
て、合金Ｍの酸化を防止すべく、合金供給室１、合金収
容室２、熱処理室３はそれぞれＡｒ等の不活性ガスを供
給する不活性ガス供給手段Ｇおよび排気手段Ｐに接続さ
れており、適時のタイミングで各室は不活性ガスで置換
等されるようになっている。また、詳しくは後述する
が、熱処理室３と冷却室４との間に位置する連絡口５Ｂ
にも、Ａｒ等を供給する不活性ガス供給手段Ｇが備えら
れており、この不活性ガス供給手段Ｇによって熱処理室
３から冷却室４に向かう不活性ガスの流れを形成してい
る。なお、不活性ガス供給手段Ｇとしては、例えばボン
ベ等を用いることができる。Alloy M is susceptible to oxidation at high temperatures. Therefore, in order to prevent the oxidation of the alloy M, the alloy supply chamber 1, the alloy storage chamber 2 and the heat treatment chamber 3 are connected to an inert gas supply means G and an exhaust means P for supplying an inert gas such as Ar, respectively. At each time, each chamber is replaced with an inert gas. Further, as will be described later in detail, a communication port 5B located between the heat treatment chamber 3 and the cooling chamber 4
Also, an inert gas supply means G for supplying Ar or the like is provided, and this inert gas supply means G forms a flow of the inert gas from the heat treatment chamber 3 to the cooling chamber 4. As the inert gas supply means G, for example, a cylinder or the like can be used.
【００１５】合金収容室２と熱処理室３の間、熱処理室
３と冷却室４の間には、各室の気密性を担保するための
仕切弁８、および熱処理室３からの放射による仕切弁８
の温度上昇を防ぐ熱遮蔽板（熱遮蔽体）９がそれぞれ設
けられている（図６参照）。そして、この仕切弁８およ
び熱遮蔽板９を開閉させることにより、合金収容室２と
熱処理室３、熱処理室３と冷却室４が連通または遮断さ
れる。よって、遮断された状態において、合金収容室
２、熱処理室３、冷却室４をそれぞれ任意の環境に制御
することができる。例えば、圧力，温度，雰囲気を任意
に制御することが可能にされている。なお、合金供給室
１、合金収容室２、熱処理室３、冷却室４、合金回収室
７の形状は特に限定されるものではないが、図１では各
室を箱形の形状として例示している。また、図１では、
熱処理室３の両側にそれぞれ合金収容室２を設けた構成
となっているが、合金収容室２の数は特に限定されるも
のではなく、２以上の合金収容室２を設けることももち
ろん可能である。このように、複数の合金収容室２を設
けることによって、例えば、一つ目の合金収容室２にお
いて一時的に収容されていた合金Ｍを熱処理室３に搬送
して所定の加熱処理を施しているときに、他の合金収容
室２においては、次に加熱処理されるべき合金Ｍが一時
的に収容されているようにすることができる。つまり、
熱処理室３で合金Ｍの加熱処理が行われている間に、合
金収容室２の内部を不活性ガスでガス置換する等して次
に加熱処理される合金Ｍを搬送機６上にセットし、熱処
理室３に搬送できるように準備しておくことができるの
で、無駄な時間が生じず効率的である。よって、本実施
の形態に係る熱処理装置１００は量産に適する。Between the alloy housing chamber 2 and the heat treatment chamber 3, and between the heat treatment chamber 3 and the cooling chamber 4, a sluice valve 8 for ensuring airtightness of each chamber, and a sluice valve by radiation from the heat treatment chamber 3 are provided. 8
Heat shields (heat shields) 9 for preventing the temperature rise are provided respectively (see FIG. 6). Then, by opening and closing the sluice valve 8 and the heat shield plate 9, the alloy storage chamber 2 and the heat treatment chamber 3, and the heat treatment chamber 3 and the cooling chamber 4 are connected or shut off. Therefore, in the shut-off state, the alloy storage chamber 2, the heat treatment chamber 3, and the cooling chamber 4 can be controlled to any environments. For example, the pressure, temperature and atmosphere can be controlled arbitrarily. The shapes of the alloy supply chamber 1, the alloy storage chamber 2, the heat treatment chamber 3, the cooling chamber 4, and the alloy recovery chamber 7 are not particularly limited, but in FIG. 1, each chamber is illustrated as a box shape. There is. In addition, in FIG.
Although the alloy storage chambers 2 are provided on both sides of the heat treatment chamber 3, the number of the alloy storage chambers 2 is not particularly limited, and it is of course possible to provide two or more alloy storage chambers 2. is there. In this way, by providing a plurality of alloy storage chambers 2, for example, the alloy M temporarily stored in the first alloy storage chamber 2 is transferred to the heat treatment chamber 3 and subjected to a predetermined heat treatment. While the other alloy storage chamber 2 is in operation, the alloy M to be heat-treated next can be temporarily stored. That is,
While the alloy M is being heat-treated in the heat treatment chamber 3, the inside of the alloy containing chamber 2 is replaced with an inert gas, and the next heat-treated alloy M is set on the carrier 6. Since it can be prepared so that it can be transferred to the heat treatment chamber 3, no waste of time is required and it is efficient. Therefore, the heat treatment apparatus 100 according to the present embodiment is suitable for mass production.
【００１６】以下、各室の構成について詳述する。合金
供給室１は、本実施の形態における熱処理装置１００へ
合金Ｍを投入する入口として機能する室であって、合金
収容室２の上部に連結して設けられている。合金供給室
１と合金収容室２は、図示しない壁によって仕切られて
おり、壁の一部に設けられたドアを開くことにより、合
金供給室１から合金収容室２に合金Ｍが移動する。合金
供給室１は必要最小限な大きさ、具体的には１〜数バッ
チ分の合金Ｍを収容するのに足りる大きさとすればよ
い。よって、図１に示したように、合金供給室１は合金
収容室２と較べると部屋の容積が小さい。ここで、本実
施の形態における熱処理装置１００における１バッチ分
の合金Ｍの量は、例えば１〜１０ｋｇ程度とすることが
できる。また、アーク溶解法等により作製された合金Ｍ
は、必要に応じて所定の大きさに破砕された後、合金供
給室１に供給される。このように予め合金Ｍを所定の大
きさ、例えば１〜２００ｇ程度の大きさにしておくこと
により、冷却室４にて行われる急冷を効果的に行うこと
ができる。なお、合金供給室１の容積は、合金収容室２
の容積の１／１０〜１／５程度に設定される。The structure of each chamber will be described in detail below. The alloy supply chamber 1 is a chamber that functions as an inlet for introducing the alloy M into the heat treatment apparatus 100 in the present embodiment, and is provided so as to be connected to the upper portion of the alloy storage chamber 2. The alloy supply chamber 1 and the alloy storage chamber 2 are partitioned by a wall (not shown), and the alloy M is moved from the alloy supply chamber 1 to the alloy storage chamber 2 by opening a door provided in a part of the wall. The alloy supply chamber 1 may have a required minimum size, specifically, a size sufficient to accommodate one to several batches of the alloy M. Therefore, as shown in FIG. 1, the alloy supply chamber 1 has a smaller volume than the alloy storage chamber 2. Here, the amount of the alloy M for one batch in the heat treatment apparatus 100 in the present embodiment can be set to, for example, about 1 to 10 kg. In addition, an alloy M produced by an arc melting method or the like
Is crushed to a predetermined size if necessary, and then supplied to the alloy supply chamber 1. As described above, by preliminarily setting the size of the alloy M to a predetermined size, for example, about 1 to 200 g, the rapid cooling performed in the cooling chamber 4 can be effectively performed. The volume of the alloy supply chamber 1 is equal to that of the alloy storage chamber 2
The volume is set to about 1/10 to 1/5.
【００１７】合金供給室１および合金収容室２は、連絡
口５Ａを介して連通される高温状態の熱処理室３の内部
の酸化を防ぐべく、Ａｒ等の不活性ガスで置換する等し
て非酸化性の雰囲気にしておく。但し、合金供給室１に
合金Ｍを投入する際には合金供給室１に大気が侵入する
ため、合金Ｍを投入した後、合金供給室１内を再排気し
たり、Ａｒ等の不活性ガスで置換する等の必要が生じ
る。この際、図１に示したように合金供給室１の容積を
小さくしておけば、合金供給室１内を短時間で不活性ガ
スで置換することが可能となる。合金供給室１および合
金収容室２内の温度は、通常は３００℃以下、好ましく
は９０℃以下に保たれる。この温度であれば人間が作業
することができ、かつ合金Ｍ，装置部材が大気に触れて
も酸化しないからである。なお、合金供給室１および合
金収容室２を非酸化性雰囲気にするため、上述したよう
に、本実施の形態では、合金供給室１および合金収容室
２にそれぞれ不活性ガス供給手段Ｇ，排気手段Ｐが備え
られている。The alloy supply chamber 1 and the alloy storage chamber 2 are replaced with an inert gas such as Ar in order to prevent oxidation inside the heat treatment chamber 3 in a high temperature state communicated with each other through the communication port 5A. Keep in an oxidizing atmosphere. However, when the alloy M is charged into the alloy supply chamber 1, the atmosphere enters the alloy supply chamber 1. Therefore, after the alloy M is charged, the inside of the alloy supply chamber 1 is evacuated again or an inert gas such as Ar is supplied. It becomes necessary to replace with. At this time, if the volume of the alloy supply chamber 1 is reduced as shown in FIG. 1, the inside of the alloy supply chamber 1 can be replaced with the inert gas in a short time. The temperature in the alloy supply chamber 1 and the alloy storage chamber 2 is usually maintained at 300 ° C or lower, preferably 90 ° C or lower. This is because humans can work at this temperature, and the alloy M and the device members do not oxidize even if they come into contact with the atmosphere. In order to make the alloy supply chamber 1 and the alloy storage chamber 2 into a non-oxidizing atmosphere, as described above, in the present embodiment, the inert gas supply means G and the exhaust gas are supplied to the alloy supply chamber 1 and the alloy storage chamber 2, respectively. Means P are provided.
【００１８】さて、上述した合金収容室２には、１また
は複数台の搬送機６が設置される。この搬送機６は、図
１に示したように連絡口５Ａを通して合金収容室２およ
び熱処理室３間を移動可能であり、この搬送機６によっ
て合金供給室１から供給された合金Ｍは合金収容室２か
ら熱処理室３に搬送される。搬送機６は図示しない駆動
源により駆動されるが、合金収容室２のスペースを有効
活用すべく、この駆動源はその一部または全部が合金収
容室２の外に配置されることが好ましい。なお、搬送機
６の詳細については後述する。Now, one or a plurality of conveyors 6 are installed in the above-mentioned alloy accommodating chamber 2. As shown in FIG. 1, the carrier 6 is movable between the alloy storage chamber 2 and the heat treatment chamber 3 through the communication port 5A, and the alloy M supplied from the alloy supply chamber 1 by the carrier 6 is stored in the alloy storage chamber 1. It is conveyed from the chamber 2 to the heat treatment chamber 3. Although the carrier 6 is driven by a drive source (not shown), it is preferable that part or all of the drive source is disposed outside the alloy storage chamber 2 in order to effectively use the space of the alloy storage chamber 2. The details of the carrier 6 will be described later.
【００１９】熱処理室３では、例えば、合金ＭがＴｉ−
Ｃｒ系の水素吸蔵合金である場合には、合金Ｍをその溶
融点直下の温度領域に所定時間保持する加熱処理が行わ
れる。このときの加熱温度は、得ようとする組成の合金
Ｍが有する溶融温度の直下領域にその組織がｂｃｃ型と
なる温度領域が存在することから、ｂｃｃ型となる溶融
温度直下の温度領域（１２５０〜１６００℃）内で適宜
選択すればよい。例えば、Ｔｉ−Ｃｒ系合金である合金
ＭがＣｒを約６０ａｔ％含むものである場合には、１４
００℃程度の温度に保持すればよい。その温度が低い
（約１０００℃以下）と加熱処理時間を長くする必要が
あるが、このような低温・長時間の加熱処理は生産効
率、合金Ｍが分相する等の理由により好ましくない。よ
って、上記の目的には、高温・短時間の加熱処理が好ま
しい。但し、加熱温度が高いと加熱処理時間は短くて済
むが加熱コストが増大するとともに、装置の劣化の原因
となる。したがって、これらの観点を考慮して加熱温度
を選択すればよい。また、加熱保持する時間が短すぎる
と十分なｂｃｃ相の形成が得られず、逆に長すぎると加
熱処理コストが上昇するだけでなく、異相が析出して水
素吸蔵特性が劣化する副作用も現れるおそれがある。し
たがって、加熱温度を考慮して適宜選択すればよいが、
加熱対象が合金ＭのようにＴｉ−Ｃｒ系合金である場合
には、１分〜１時間の範囲の加熱で足りる。もっとも、
１時間を超えて加熱保持することを妨げるものではな
い。合金Ｍの酸化防止のため、加熱保持は、不活性ガ
ス、例えばＡｒガス中で行われる。In the heat treatment chamber 3, for example, the alloy M contains Ti--
In the case of a Cr-based hydrogen storage alloy, a heat treatment is performed to hold the alloy M in the temperature region immediately below its melting point for a predetermined time. Since the heating temperature at this time has a temperature region immediately below the melting temperature of the alloy M having the composition to be obtained, in which the structure has a bcc type structure, a temperature region immediately below the melting temperature (1250) that has a bcc type structure is present. The temperature may be appropriately selected within the range of up to 1600 ° C. For example, when the alloy M, which is a Ti—Cr-based alloy, contains Cr in an amount of about 60 at%, 14
It may be maintained at a temperature of about 00 ° C. When the temperature is low (about 1000 ° C. or lower), it is necessary to lengthen the heat treatment time, but such low temperature and long time heat treatment is not preferable because of the production efficiency, alloy M phase separation and the like. Therefore, heat treatment at high temperature for a short time is preferable for the above purpose. However, if the heating temperature is high, the heat treatment time may be short, but the heating cost is increased and the device is deteriorated. Therefore, the heating temperature may be selected in consideration of these points. Further, if the heating and holding time is too short, sufficient formation of the bcc phase cannot be obtained, and conversely, if it is too long, not only the heat treatment cost rises, but also a side effect of precipitation of a different phase and deterioration of hydrogen storage characteristics appears. There is a risk. Therefore, it may be appropriately selected in consideration of the heating temperature,
When the object to be heated is a Ti-Cr alloy such as alloy M, heating in the range of 1 minute to 1 hour is sufficient. However,
It does not prevent the heating and holding for more than 1 hour. In order to prevent oxidation of the alloy M, heating and holding are performed in an inert gas, for example, Ar gas.
【００２０】図１に示したように、冷却室４には水等の
冷却媒体（急速冷却領域）が用意されており、この冷却
媒体によって、熱処理室３にて所定時間加熱保持された
合金Ｍが急冷処理される。この急冷処理により、加熱保
持で形成されたｂｃｃ相が常温においても保持される。
しかも、水等の冷却媒体を用いて急冷処理を行うことに
より、異相の形成を防止することができるため、プラト
ーの平坦性が改善される。ここで、急冷処理における冷
却速度によって合金Ｍ中のｂｃｃ相の体積比が変化す
る。つまり冷却速度が遅いとｂｃｃ相の体積比が低下す
ることから、１００Ｋ／ｓｅｃ以上の冷却速度にて急冷
することが望ましい。As shown in FIG. 1, a cooling medium such as water (rapid cooling region) is prepared in the cooling chamber 4, and the alloy M heated and held in the heat treatment chamber 3 for a predetermined time by this cooling medium. Is quenched. By this rapid cooling treatment, the bcc phase formed by heating and holding is held even at room temperature.
Moreover, by performing the quenching process using a cooling medium such as water, it is possible to prevent the formation of different phases, so that the flatness of the plateau is improved. Here, the volume ratio of the bcc phase in the alloy M changes depending on the cooling rate in the quenching process. That is, when the cooling rate is slow, the volume ratio of the bcc phase decreases, so it is desirable to perform rapid cooling at a cooling rate of 100 K / sec or more.
【００２１】冷却室４内で用いられる冷却媒体として
は、その冷却能力および流動性の観点から、水が好まし
い。他の冷却方法としては、不活性ガスの吹き付け、高
分子（有機，無機，シリコンを問わず）液体を用いた冷
却等が考えられる。但し、不活性ガスによれば合金Ｍの
酸化は防げるものの、不活性ガスは水等の液体に較べる
と密度が低く、冷却能力が低い。また、高分子液体は水
等に較べて粘性が高く、流動性が低いため、合金Ｍから
の熱の吸収効率が悪い。しかも、高分子液体は熱で分解
して劣化しやすいという特徴があり、加熱保持された合
金Ｍに接することにより、容易に劣化しうることから、
冷却室４内で用いられる冷却媒体としては適さない。こ
の高分子液体と同様の理由により、グリセリン等の不揮
発性の有機低分子液体も冷却媒体としては不向きであ
る。また、アルコールや液体窒素等は、冷却能力には優
れるものの、値段が高価であるためやはり好ましくな
い。よって上述のように、冷却室４内で用いられる冷却
媒体としては水が好ましい。As the cooling medium used in the cooling chamber 4, water is preferable from the viewpoint of its cooling capacity and fluidity. Other cooling methods include spraying an inert gas, cooling with a polymer (organic, inorganic, or silicon) liquid. However, although the inert gas can prevent the oxidation of the alloy M, the inert gas has a lower density and a lower cooling capacity than a liquid such as water. Further, since the polymer liquid has a higher viscosity and a lower fluidity than water or the like, the efficiency of absorbing heat from the alloy M is poor. Moreover, the polymer liquid has a characteristic that it is easily decomposed by heat and deteriorates, and when it contacts the alloy M that is heated and held, it can easily deteriorate,
It is not suitable as a cooling medium used in the cooling chamber 4. For the same reason as this polymer liquid, a non-volatile organic low-molecular liquid such as glycerin is also unsuitable as a cooling medium. Further, alcohol, liquid nitrogen and the like are not preferable because they are excellent in cooling capacity but expensive in price. Therefore, as described above, water is preferable as the cooling medium used in the cooling chamber 4.
【００２２】冷却室４内の水温は５０℃以下に保つこと
が望ましい。ここで、水を冷却する方法としては、公知
の方法を採用することができる。例えば、管内に冷却媒
体（ジエチレングリコール等）を循環させ、その管に接
触させることで循環先（水槽の水）を冷却する方法
（例：投げ込み型クーラーを用いる方法）、自動車のラ
ジエータと同じ要領で、空気または冷却媒体で水を冷却
する方法等を適宜採用することができる。It is desirable to keep the water temperature in the cooling chamber 4 at 50 ° C. or lower. Here, as a method for cooling water, a known method can be adopted. For example, a cooling medium (diethylene glycol, etc.) is circulated in the pipe, and the circulation destination (water in the water tank) is cooled by coming into contact with the pipe (eg, a method using a throw-in cooler), in the same manner as a car radiator. A method of cooling water with air or a cooling medium can be appropriately adopted.
【００２３】水温によっても異なるが、例えば、１バッ
チ分の合金Ｍの量が１ｋｇである場合には、１〜５秒で
合金Ｍの急冷処理が完了する。冷却用として必要な水量
を決定するための主たる要因は、冷却手段の冷却能力と
水槽中での合金Ｍの移動距離である。数バッチ分を連続
生産する場合には、水量を３０〜５００リットルとし、
水温を５０℃以下、好ましくは２５℃以下に保つことが
望ましい。Although it depends on the water temperature, for example, when the amount of the alloy M for one batch is 1 kg, the quenching treatment of the alloy M is completed in 1 to 5 seconds. The main factors for determining the amount of water required for cooling are the cooling capacity of the cooling means and the moving distance of the alloy M in the water tank. In case of continuous production of several batches, the amount of water is 30 to 500 liters,
It is desirable to keep the water temperature at 50 ° C or lower, preferably 25 ° C or lower.
【００２４】次に、図２および図３を用いて、搬送機６
の構成を説明する。図２（ａ）、（ｂ）は、搬送機６の
平面図であり、図２（ａ）は搬送棒６ｂが回転する前の
状態を示す図、図２（ｂ）は搬送棒６ｂが回転した後の
状態を示す図である。また、図２（ｃ）は搬送機６の側
断面である。Next, with reference to FIG. 2 and FIG.
The configuration of will be described. 2 (a) and 2 (b) are plan views of the carrier 6, FIG. 2 (a) shows a state before the carrier rod 6b rotates, and FIG. 2 (b) shows that the carrier rod 6b rotates. It is a figure which shows the state after doing. Further, FIG. 2C is a side cross section of the carrier 6.
【００２５】図２（ａ）、（ｂ）に示すように、搬送棒
６ｂは、図示しない駆動源により、所定角度、具体的に
は２０〜３６０°回転するようになっている。搬送棒６
ｂが回転すると、搬送棒６ｂに固着されている載置台６
ａも回転することになり、これにより、載置台６ａ内に
収容された合金Ｍが載置台６ａからすべり落ちて冷却室
４へ自由落下するのである。このように、合金Ｍは大気
に触れることなく自由落下によって冷却室４へ移動する
ため、熱処理室３と冷却室４との間には、合金Ｍの移送
手段を別途設ける必要がない。As shown in FIGS. 2A and 2B, the carrier rod 6b is rotated by a drive source (not shown) at a predetermined angle, specifically 20 to 360 °. Conveyor rod 6
When b is rotated, the mounting table 6 fixed to the conveying rod 6b
a also rotates, whereby the alloy M accommodated in the mounting table 6a slides down from the mounting table 6a and falls freely into the cooling chamber 4. In this way, the alloy M moves to the cooling chamber 4 by free fall without touching the atmosphere, so that it is not necessary to separately provide a transfer means for the alloy M between the heat treatment chamber 3 and the cooling chamber 4.
【００２６】搬送機６は、合金供給室１から供給される
合金Ｍを収容する載置台６ａ、載置台６ａに連結され、
かつ図示しない駆動源により駆動される搬送棒６ｂとで
構成される。載置台６ａは床部６ａ１と、搬送中に合金
Ｍがこぼれ落ちることを防止する壁６ａ２とで構成する
ことができる。床部６ａ１の形状は特に限定されるもの
ではないが、その平面形状を矩形状、円形状等とするこ
とができる。また壁６ａ２の形状についても特に限定さ
れるものではないが、例えば曲面状（半円状）、コの字
状等とすることができる。耐熱衝撃性を高めるために
は、壁６ａ２の形状を曲面状（半円状）とし、かつ床部
６ａ１と壁６ａ２とを一体形成して載置台６ａとするこ
とが好ましい。なお、壁６ａ２の高さによって載置台６
ａに収容できる合金Ｍの量が左右される。The carrier 6 is connected to a mounting table 6a for containing the alloy M supplied from the alloy supply chamber 1 and the mounting table 6a,
In addition, the transport rod 6b is driven by a drive source (not shown). The mounting table 6a can be composed of a floor 6a1 and a wall 6a2 that prevents the alloy M from spilling during transportation. The shape of the floor 6a1 is not particularly limited, but its planar shape can be rectangular, circular, or the like. The shape of the wall 6a2 is also not particularly limited, but may be, for example, a curved surface shape (semicircular shape), a U-shape, or the like. In order to improve the thermal shock resistance, it is preferable that the wall 6a2 has a curved surface shape (semicircular shape), and the floor 6a1 and the wall 6a2 are integrally formed to form the mounting table 6a. In addition, depending on the height of the wall 6a2, the mounting table 6
The amount of alloy M that can be accommodated in a depends.
【００２７】図２に示したように、搬送棒６ｂを載置台
６ａの底部に設けることにより、搬送機６としての強度
を高くすることができる。但し、搬送棒６ｂと載置台６
ａの配置は図２に示したものに限定されるものではな
い。例えば、図３（ａ）に示すように、搬送棒６ｂを載
置台６ａの側面に設けるようにしてもよい。この場合に
は、搬送棒６ｂを載置台６ａの底部に設けた場合よりも
回転の支点が上部に位置することとなり、壁６ａ２の高
さを高くすることができる。よって、載置台６ａに収容
できる合金Ｍの量を増やすことができる点で有利であ
る。なお、図２、図３（ａ）に示したように、搬送棒６
ｂは必ずしも直線の棒状である必要はなく、図３（ｂ）
に示すように折り曲げ部６ｂ１を有する構成としてもよ
い。As shown in FIG. 2, the strength of the carrier 6 can be increased by providing the carrier rod 6b at the bottom of the mounting table 6a. However, the carrier rod 6b and the mounting table 6
The arrangement of a is not limited to that shown in FIG. For example, as shown in FIG. 3A, the carrier rod 6b may be provided on the side surface of the mounting table 6a. In this case, the fulcrum of rotation is located above the case where the carrier rod 6b is provided at the bottom of the mounting table 6a, and the height of the wall 6a2 can be increased. Therefore, it is advantageous in that the amount of the alloy M that can be stored in the mounting table 6a can be increased. As shown in FIGS. 2 and 3A, the transport rod 6
b does not necessarily have to be a straight rod shape, as shown in FIG.
It may be configured to have the bent portion 6b1 as shown in FIG.
【００２８】載置台６ａは、強度、高温耐性および急昇
温・急降温に耐える耐熱衝撃性に優れた材質で構成され
る。つまり、図１に示したように、載置台６ａは合金Ｍ
を載置した状態で所定時間、熱処理室３内に配置される
こととなるため、熱処理室３の加熱温度に耐えうる材質
でなければならない。また、上述したように、合金収容
室２は人間が作業可能な温度、具体的には３００℃以下
であるのに対し、熱処理室３は１０００℃以上の高温に
保持されている。よって、載置台６ａには、こうした急
昇温・急降温に耐える耐熱衝撃性が求められる。載置台
６ａは、例えば金属またはその他の無機材で構成され
る。ここで、金属で載置台６ａを構成する場合には、Ｍ
ｏ，Ｗ，Ｎｂ，Ｔａ等のうちいずれかを主成分とするこ
とが望ましい。これらはいずれも所定の強度を有し、し
かも高融点であり耐熱衝撃性にも優れるからであるから
である。また、無機材で載置台６ａを構成する場合に
は、高融点，低熱膨張性，もしくは高温で高強度を有す
るものを選択する。こうした特性を有する無機材として
は、チタン酸アルミナ，カーボン，窒化ボロン，窒化珪
素，石英，石英ガラス，アルミナ，カルシア，マグネシ
ア，セリア等があり、無機材で載置台６ａを構成する場
合にはこれらの中からいずれかを主成分とすることが望
ましい。所定の強度を満たすのであれば、無機材は緻密
体であっても多孔体であってもよい。なお、載置台６ａ
は、床部６ａ１と壁６ａ２とが一体的に形成されたもの
に限定されるものではない。The mounting table 6a is made of a material which is excellent in strength, high temperature resistance, and thermal shock resistance capable of withstanding rapid temperature rise / fall. That is, as shown in FIG. 1, the mounting table 6a is made of the alloy M.
Since it will be placed in the heat treatment chamber 3 for a predetermined time while being placed, it must be a material that can withstand the heating temperature of the heat treatment chamber 3. Further, as described above, the temperature of the alloy storage chamber 2 is a temperature at which a human can work, specifically 300 ° C. or lower, whereas the heat treatment chamber 3 is maintained at a high temperature of 1000 ° C. or higher. Therefore, the mounting table 6a is required to have a thermal shock resistance capable of withstanding such a rapid temperature rise / fall. The mounting table 6a is made of, for example, metal or other inorganic material. Here, when the mounting table 6a is made of metal, M
It is desirable to use any one of o, W, Nb, Ta, etc. as a main component. This is because all of these have a predetermined strength, have a high melting point, and are excellent in thermal shock resistance. Further, when the mounting table 6a is made of an inorganic material, one having a high melting point, a low thermal expansion property, or a high strength at a high temperature is selected. Inorganic materials having such characteristics include alumina titanate, carbon, boron nitride, silicon nitride, quartz, quartz glass, alumina, calcia, magnesia, ceria, etc. When the mounting table 6a is made of inorganic materials, these are used. It is desirable to use one of the above as the main component. The inorganic material may be a dense body or a porous body as long as it satisfies a predetermined strength. The mounting table 6a
Is not limited to the one in which the floor 6a1 and the wall 6a2 are integrally formed.
【００２９】搬送棒６ｂについても、載置台６ａと同様
に強度、高温耐性および急昇温・急降温に耐える耐熱衝
撃性に優れた材質で構成される。載置台６ａに載置され
た合金Ｍを熱処理室３内に搬送する際には、搬送棒６ｂ
の一部が高温に保持された熱処理室３内に位置すること
となるからである。よって、例えば載置台６ａとして好
適な金属として列挙したものを主成分として搬送棒６ｂ
を構成することができる。また、搬送棒６ｂの一部に冷
却機構を具備し、駆動源やシール部分の加熱を防ぐよう
にすることが望ましい。Similarly to the mounting table 6a, the carrier rod 6b is also made of a material having excellent strength, high temperature resistance, and thermal shock resistance capable of withstanding rapid temperature rise / fall. When the alloy M placed on the mounting table 6a is transported into the heat treatment chamber 3, the transport rod 6b is used.
This is because a part of them is located in the heat treatment chamber 3 which is kept at a high temperature. Therefore, for example, those listed as suitable metals for the mounting table 6a are used as the main components and the transport rod 6b is used.
Can be configured. Further, it is desirable that a part of the transport rod 6b be provided with a cooling mechanism to prevent the drive source and the seal portion from being heated.
【００３０】上述したように、載置台６ａは搬送棒６ｂ
に固着されているが、図２に示したように、搬送棒６ｂ
を、矢印の方向に回転させることにより、載置台６ａ上
の合金Ｍを載置台６ａから落下させることができる。こ
の搬送棒６ｂを回転させるタイミングは、合金Ｍに対す
る熱処理時間とほぼ一致する。つまり、合金Ｍは熱処理
室３内で載置台６ａ上に載置された状態のままで所定時
間の加熱処理を施されるが、この加熱処理を終えたとき
に搬送棒６ｂを回転するのである。こうして載置台６ａ
から落下した合金Ｍは、大気に触れることなく、つまり
その周囲を非酸化性雰囲気に保持した状態で、熱処理室
３の下方に位置する冷却室４内に自由落下し、冷却室４
にて急冷される。As described above, the mounting table 6a is the carrier rod 6b.
It is fixed to the carrier rod 6b as shown in FIG.
The alloy M on the mounting table 6a can be dropped from the mounting table 6a by rotating in the direction of the arrow. The timing of rotating the carrier rod 6b is substantially the same as the heat treatment time for the alloy M. That is, the alloy M is subjected to the heat treatment for a predetermined time while being placed on the mounting table 6a in the heat treatment chamber 3, but when the heat treatment is completed, the carrier rod 6b is rotated. . Thus the mounting table 6a
The alloy M dropped from the free fall into the cooling chamber 4 located below the heat treatment chamber 3 without contacting with the atmosphere, that is, in a state where the periphery thereof is kept in a non-oxidizing atmosphere,
Is quenched at.
【００３１】上述したように、載置台６ａは耐熱性に優
れた金属または無機材で構成されるが、この耐熱性とい
う要件の他に、載置台６ａには合金Ｍが固着しにくいと
いう要件も求められる。図２（ａ）、（ｂ）に示したよ
うに、本実施の形態では搬送棒６ｂを回転させることに
よって載置台６ａ上の合金Ｍが載置台６ａから落下する
が、この際の合金Ｍの落下性を向上させるためである。As described above, the mounting table 6a is made of a metal or an inorganic material having excellent heat resistance. However, in addition to the heat resistance requirement, there is also a requirement that the alloy M is unlikely to adhere to the mounting table 6a. Desired. As shown in FIGS. 2A and 2B, in the present embodiment, the alloy M on the mounting table 6a drops from the mounting table 6a by rotating the transport rod 6b. This is to improve the falling property.
【００３２】この載置台６ａに合金Ｍが固着しづらい構
成とすべく、載置台６ａを例えば図４に示すような形状
とし、合金Ｍと載置台６ａとの接触面積を減らすことが
有効である。図４（ａ）は、床部６ａ１に凸状の突起６
ａ３を形成して載置台６ａとした状態を示す側面図、図
４（ｂ）は同平面図である。なお、図４では、説明の便
宜上、壁６ａ２については省略してある。In order to prevent the alloy M from sticking to the mounting table 6a, it is effective to reduce the contact area between the alloy M and the mounting table 6a by making the mounting table 6a, for example, as shown in FIG. . FIG. 4A shows a protrusion 6 on the floor 6a1.
FIG. 4B is a side view showing a state in which a3 is formed and used as a mounting table 6a, and FIG. In FIG. 4, the wall 6a2 is omitted for convenience of description.
【００３３】図４（ａ），（ｂ）に示すように、例えば
楔状の突起６ａ３を所定間隔毎に形成して載置台６ａと
することができる。図４（ａ）に示すように、突起６ａ
３の高さｙは０．１〜２０ｍｍ、突起６ａ３同士が形成
する溝ｘの幅についても０．１〜２０ｍｍ程度とすれば
よい。図４では楔状の突起６ａ３を所定間隔毎に形成し
て載置台６ａとする場合について示したが、突起６ａ３
は楔状に限られるものではなく、図５（ａ）に示すよう
に半円状等としてもよい。As shown in FIGS. 4 (a) and 4 (b), for example, wedge-shaped projections 6a3 can be formed at predetermined intervals to form a mounting table 6a. As shown in FIG. 4A, the protrusion 6a
The height y of 3 is 0.1 to 20 mm, and the width of the groove x formed by the protrusions 6a3 is about 0.1 to 20 mm. Although FIG. 4 shows the case where the wedge-shaped projections 6a3 are formed at predetermined intervals to form the mounting table 6a, the projections 6a3
Is not limited to a wedge shape, but may be a semicircular shape as shown in FIG.
【００３４】なお、図４および図５（ａ）では床部６ａ
１に凸状の突起６ａ３を形成することにより、載置台６
ａに合金Ｍが固着しづらい構成したが、突起６ａ３を設
ける代わりに、図５（ｂ）に示すように床部６ａ１に凹
状の溝６ａ４を形成して載置台６ａとしてもよい。この
場合には、溝６ａ４の幅を合金Ｍの幅よりも狭くし、溝
６ａ４内に合金Ｍが挿入しにくい形状とすることが好ま
しい。In FIGS. 4 and 5 (a), the floor 6a is used.
By forming a convex protrusion 6a3 on the mounting table 6,
Although it is configured that the alloy M is hard to be fixed to a, the mounting table 6a may be formed by forming a concave groove 6a4 in the floor 6a1 as shown in FIG. 5B, instead of providing the protrusion 6a3. In this case, it is preferable that the width of the groove 6a4 is made narrower than the width of the alloy M so that the alloy M is not easily inserted into the groove 6a4.
【００３５】図６は、熱処理装置１００の側面図であ
り、熱処理室３および連絡口５Ａを説明するための図で
ある。図６に示すように、連絡口５Ａには、仕切弁８が
設けられており、通常、合金収容室２と熱処理室３はこ
の仕切弁８で仕切られている。仕切弁８は、真空装置に
用いられる通常のゲート弁（ゲートバルブ）を用いるこ
とができ、図示しない駆動源により開閉可能となってい
る。また、密閉性を保つために、ゴム製のＯ−リング等
を用いる。この場合には仕切弁８をゴムの耐熱温度以下
に保つ必要がある。通常は仕切弁８を２００℃以下に保
つことが好ましい。仕切弁８をこうした温度内に保つた
めに、仕切弁８の近傍には、熱遮蔽板（熱遮蔽体）９ａ
および熱遮蔽板（熱遮蔽体）９ｂが設けられる。熱遮蔽
板９ａおよび熱遮蔽板９ｂは、耐熱性に優れた材質、具
体的には、ＷやＭｏを主成分とした薄板を、空間（間
隔）を保ちつつ積層したもので構成することができる。
なお、熱遮蔽板９ａおよび熱遮蔽板９ｂは、図示しない
駆動源により左右に開閉駆動される。FIG. 6 is a side view of the heat treatment apparatus 100 for explaining the heat treatment chamber 3 and the communication port 5A. As shown in FIG. 6, a sluice valve 8 is provided at the communication port 5A, and normally the alloy accommodating chamber 2 and the heat treatment chamber 3 are separated by this sluice valve 8. The gate valve 8 can be a normal gate valve (gate valve) used in a vacuum device, and can be opened and closed by a drive source (not shown). Further, a rubber O-ring or the like is used to maintain the airtightness. In this case, it is necessary to keep the sluice valve 8 at or below the heat resistant temperature of rubber. Normally, it is preferable to keep the gate valve 8 at 200 ° C. or lower. In order to keep the sluice valve 8 at such a temperature, a heat shield plate (heat shield) 9a is provided near the sluice valve 8.
And a heat shield plate (heat shield) 9b is provided. The heat shield plate 9a and the heat shield plate 9b can be composed of a material having excellent heat resistance, specifically, a laminate of thin plates containing W or Mo as a main component while maintaining a space (interval). .
The heat shield plate 9a and the heat shield plate 9b are driven to open and close left and right by a drive source (not shown).
【００３６】仕切弁８、熱遮蔽板９ａ、熱遮蔽板９ｂお
よび搬送機６はフェールセーフ機構を具備しており、連
絡口５Ａの仕切弁８が開かないと、搬送機６を動作させ
る信号が出ないようにして搬送機６の誤作動を防止して
いる。仕切弁８が閉じているときには熱遮蔽板９ａ、熱
遮蔽板９ｂも閉じるようになっており、熱遮蔽板９ａ、
熱遮蔽板９ｂによって仕切弁８の加熱が防止される。一
方、仕切弁８が開いているときには、熱遮蔽板９ａ、熱
遮蔽板９ｂは熱処理室３の温度低下防止および合金収容
室２の温度上昇防止のために機能する。The sluice valve 8, the heat shield plate 9a, the heat shield plate 9b and the carrier 6 are provided with a fail-safe mechanism. If the sluice valve 8 of the communication port 5A is not opened, a signal for operating the carrier 6 is transmitted. The carrier 6 is prevented from malfunctioning by preventing it from coming out. When the gate valve 8 is closed, the heat shield plate 9a and the heat shield plate 9b are also closed.
The heat shield plate 9b prevents the gate valve 8 from being heated. On the other hand, when the gate valve 8 is open, the heat shield plates 9a and 9b function to prevent the temperature of the heat treatment chamber 3 from decreasing and the temperature of the alloy containing chamber 2 to increase.
【００３７】次に、熱遮蔽板９ａおよび熱遮蔽板９ｂが
開閉（移動）する状態を図７を用いて説明する。図７
は、図６のＸ−Ｘ断面図を簡略化して示したものであ
る。図７（ａ）は、搬送機６が合金収容室２に待避して
いる状態における熱遮蔽板９ａおよび熱遮蔽板９ｂの配
置を示す図である。搬送機６が合金収容室２に待避して
仕切弁８が閉じているときには、熱遮蔽板９ａおよび熱
遮蔽板９ｂは、図７（ａ）に示すように互いに重なりな
がら１つの熱遮蔽板として機能し、熱処理室３からの放
射によって仕切弁８が加熱されるのを防止する。これに
より、仕切弁８が加熱された場合に生じる気密性の低下
を防止することができる。また、仕切弁８の移動を検知
して初めて熱遮蔽板９ａおよび熱遮蔽板９ｂは図７
（ａ）中の矢印で示した方向にそれぞれ移動する。この
移動が完了すると、図７（ｂ）に示すような状態とな
る。Next, a state in which the heat shield plates 9a and 9b are opened and closed (moved) will be described with reference to FIG. Figure 7
6 is a simplified view of the XX sectional view of FIG. 6. FIG. 7A is a diagram showing the arrangement of the heat shield plate 9 a and the heat shield plate 9 b in a state where the carrier 6 is retracted to the alloy storage chamber 2. When the carrier 6 is retracted to the alloy accommodating chamber 2 and the sluice valve 8 is closed, the heat shield plate 9a and the heat shield plate 9b overlap each other as shown in FIG. It functions and prevents the sluice valve 8 from being heated by radiation from the heat treatment chamber 3. As a result, it is possible to prevent a decrease in airtightness that occurs when the gate valve 8 is heated. Further, the heat shield plate 9a and the heat shield plate 9b are not shown in FIG. 7 until the movement of the sluice valve 8 is detected.
It moves in the directions indicated by the arrows in (a). When this movement is completed, the state shown in FIG.
【００３８】図７（ｂ）に示すように、熱遮蔽板９ａに
は切り込み９ｃが設けられている。搬送棒６ｂが移動し
て載置台６ａが熱処理室３内の所定の位置に配置される
と、熱遮蔽板９ａおよび熱遮蔽板９ｂは図７（ｂ）中の
矢印で示した方向にそれぞれ移動し、これにより、搬送
棒６ｂは切り込み９ｃ内に位置することとなる。この移
動が完了すると、図７（ｃ）に示すような状態となり、
搬送棒６ｂの移動を許容するのに必要最小限なスペース
のみを残して、熱遮蔽板９ａと熱遮蔽板９ｂが接近し、
双方で熱を遮蔽する。つまり、本実施の形態において熱
遮蔽板９ａ，９ｂを設けているのは、仕切弁８が閉じて
いるときには仕切弁８の加熱を防止し、一方、仕切弁８
が開いているときには熱処理室３の温度低下を防止し、
かつ合金収容室２の温度が上昇するのを防止するためで
ある。なお、熱遮蔽板９ａと熱遮蔽板９ｂとで熱遮蔽板
を構成する例を示したが、熱遮蔽板９ｂを省略して熱遮
蔽板９ａのみの構成としてもよい。As shown in FIG. 7B, the heat shield plate 9a is provided with a cut 9c. When the carrier rod 6b moves and the mounting table 6a is placed at a predetermined position in the heat treatment chamber 3, the heat shield plate 9a and the heat shield plate 9b move in the directions shown by the arrows in FIG. 7B. As a result, the carrying rod 6b is located in the cut 9c. When this movement is completed, the state shown in FIG.
The heat shield plate 9a and the heat shield plate 9b approach each other, leaving only a minimum space required to allow the movement of the transport rod 6b,
Both sides block the heat. That is, the provision of the heat shield plates 9a and 9b in the present embodiment prevents the sluice valve 8 from being heated when the sluice valve 8 is closed, while the sluice valve 8 is provided.
Prevents the temperature drop in the heat treatment chamber 3 when the
Moreover, it is for preventing the temperature of the alloy storage chamber 2 from rising. Although an example in which the heat shield plate 9a and the heat shield plate 9b form the heat shield plate has been shown, the heat shield plate 9b may be omitted and only the heat shield plate 9a may be formed.
【００３９】上述のように、熱処理室３は１２５０〜１
６００℃の温度に保持される。但し、この温度は図６に
示した加熱領域３ａの温度であり、熱処理室３を構成を
する壁は冷却（水冷）されている。また、熱遮蔽板９ａ
によって熱が遮断され、加熱領域３ａと熱処理室３の外
壁との間の空間は（場所にもよるが）１０００℃以下、
好ましくは２００℃以下に保たれる。なお、必要に応じ
て、冷却水を循環させた板（Ｃｕ，ステンレス等）を仕
切弁８と熱遮蔽板９ａの間に配置してもよい。As described above, the heat treatment chamber 3 has 1250 to 1
The temperature is kept at 600 ° C. However, this temperature is the temperature of the heating region 3a shown in FIG. 6, and the wall forming the heat treatment chamber 3 is cooled (water cooled). Also, the heat shield plate 9a
The heat is blocked by the heat, and the space between the heating region 3a and the outer wall of the heat treatment chamber 3 is 1000 ° C. or lower (depending on the location).
It is preferably kept at 200 ° C or lower. If necessary, a plate (Cu, stainless steel, etc.) in which cooling water is circulated may be arranged between the sluice valve 8 and the heat shield plate 9a.
【００４０】上述のように、冷却室４では、熱処理室３
にて所定温度に加熱保持された合金Ｍが急冷される。こ
こで、多量の合金Ｍの赤熱は、１〜１０秒、好ましくは
１〜５秒で収束することが必要である。そのため、合金
Ｍの急冷にあたっては、水等の冷却媒体と冷却対象であ
る合金Ｍが、相対的に流動するような状態とすることが
好ましい。あるいは、合金Ｍができるだけ重なり合わな
いようにすることが好ましい。冷却室４内を、冷却媒体
と冷却対象である合金Ｍが相対的に流動するような状態
とすることにより、ｋｇ単位の大量の合金Ｍを短時間で
効率良く急速冷却することができる。ここで、冷却媒体
としての水と合金Ｍが相対的に流動している状態とは、
静止している水の中を合金Ｍが移動している状態、流れ
のある水、つまり所定の流動状態が形成されている流水
中に合金Ｍが置かれている状態等がある。以下、水と合
金Ｍが相対的に流動するのに適した冷却室４の構成例を
図８（ａ）〜（ｄ）に示す。As described above, in the cooling chamber 4, the heat treatment chamber 3
The alloy M heated and held at a predetermined temperature is rapidly cooled. Here, a large amount of red heat of the alloy M needs to converge in 1 to 10 seconds, preferably 1 to 5 seconds. Therefore, when quenching the alloy M, it is preferable that the cooling medium such as water and the alloy M to be cooled are in a state of relatively flowing. Alternatively, it is preferable that the alloys M do not overlap as much as possible. By making the cooling medium and the alloy M to be cooled relatively flow in the cooling chamber 4, a large amount of the alloy M in units of kg can be rapidly cooled efficiently in a short time. Here, the state in which water as a cooling medium and the alloy M are relatively flowing means
There are a state in which the alloy M is moving in stationary water, a state in which the alloy M is placed in flowing water, that is, running water in which a predetermined flow state is formed. Hereinafter, examples of the configuration of the cooling chamber 4 suitable for relatively flowing water and the alloy M are shown in FIGS.
【００４１】図８（ａ）に示すように、冷却室４の水深
Ｌを長くすることで、水と合金Ｍが相対的に流動してい
る時間を長くすることができる。この場合における冷却
室４の水深Ｌは１ｍ以上、好ましくは５ｍ以上、さらに
好ましくは１０ｍ以上とすることができる。また、冷却
室４での冷却を終えた合金Ｍは、冷却室４と連通する合
金回収室７にて回収される。この際、合金Ｍを合金回収
室７に誘導して合金Ｍの回収を効率良く行うために、冷
却室４の底部に傾斜面７ａを形成することが有効であ
る。この傾斜面７ａの角度は、冷却室４の底面を基準と
して、３０〜７０°程度とすればよい。As shown in FIG. 8A, by increasing the water depth L of the cooling chamber 4, it is possible to lengthen the time during which the water and the alloy M are relatively flowing. In this case, the water depth L of the cooling chamber 4 can be 1 m or more, preferably 5 m or more, more preferably 10 m or more. The alloy M that has finished cooling in the cooling chamber 4 is recovered in the alloy recovery chamber 7 that communicates with the cooling chamber 4. At this time, in order to guide the alloy M to the alloy recovery chamber 7 and efficiently recover the alloy M, it is effective to form the inclined surface 7 a at the bottom of the cooling chamber 4. The angle of the inclined surface 7a may be about 30 to 70 ° with reference to the bottom surface of the cooling chamber 4.
【００４２】次に、図８（ｂ）に示すように、冷却室４
内に網状体１０を設置することにより、合金Ｍの通過経
路を形成し、これにより水と合金Ｍが相対的に流動して
いる時間を長くすることもできる。ここで、網状体１０
の平面図を図８（ｃ）に示す。図８（ｃ）に示すよう
に、網状体１０は、例えば碁盤の目状に形成された孔１
０ａを有する。なお、この孔１０ａは、合金Ｍが通過で
きる程度の大きさとする必要がある。また、図８（ｂ）
に示したように、冷却室４内に複数枚の網状体１０を設
置して合金Ｍが網状体１０にぶつかりながら落下するよ
うに合金Ｍの通過経路を形成し、合金Ｍが合金回収室７
から回収されるまでの時間を稼ぐようにすることが効果
的である。図８（ｃ）に示したように、網状体１０を設
置した場合には、合金Ｍが網状体１０、つまりある種の
障害物にぶつかりながら移動することによって、移動時
間と移動距離を稼ぎ、冷却室４を小規模なものとするこ
とができる。また、網状体１０によって、合金Ｍの落下
速度を抑えることができる。このことは、合金Ｍが上下
方向に移動する場合のみならず、横方向に移動する場合
も同様である。なお、図８（ｂ）、（ｃ）に示した網状
体１０はあくまで例示であって、網状体１０以外のもの
で合金Ｍの通過経路を形成するようにしてもよい。Next, as shown in FIG. 8B, the cooling chamber 4
It is also possible to form a passage for the alloy M by installing the reticulate body 10 therein, and thereby lengthen the time during which the water and the alloy M relatively flow. Here, the mesh body 10
A plan view of is shown in FIG. As shown in FIG. 8 (c), the net-like body 10 has, for example, holes 1 formed in a grid pattern.
Has 0a. The hole 10a needs to be large enough to allow the alloy M to pass through. Also, FIG. 8 (b)
As shown in FIG. 5, a plurality of reticulate bodies 10 are installed in the cooling chamber 4 to form a passage path for the alloy M so that the alloy M collides with the reticulate body 10 and drops.
It is effective to gain the time from the collection to the collection. As shown in FIG. 8C, when the reticulated body 10 is installed, the alloy M moves while hitting the reticulated body 10, that is, an obstacle of some kind, thereby gaining a moving time and a moving distance, The cooling chamber 4 can be made small. Further, the reticulate body 10 can suppress the falling speed of the alloy M. This is the same not only when the alloy M moves vertically but also when it moves laterally. Note that the mesh body 10 shown in FIGS. 8B and 8C is merely an example, and a passage other than the mesh body 10 may be used to form the passage path of the alloy M.
【００４３】図８（ａ）、図８（ｂ）に示した冷却室４
は幅Ｗよりも水深Ｌが長いものであったが、図８（ｄ）
に示すように、冷却室４を幅広、つまり水深Ｌよりも幅
Ｗが大きい構成としてもよい。この場合には、例えば、
合金回収室７を冷却室４の底部中央にではなく底部の右
隅または左隅に設けるとともに、合金回収室７が設けら
れていない側から合金回収室７が設けられている側へ所
定の流速を有する水流を発生させるようにしてもよい。
ここで、流速が速すぎると、合金Ｍを取り囲むように気
泡が発生し、冷却効率が落ちるため好ましくない。水流
を発生させる場合における望ましい流速は３ｃｍ／ｓ〜
１ｍ／ｓ、さらに望ましい流速は６ｃｍ／ｓ〜４０ｃｍ
／ｓである。また、合金Ｍ同士が接触すると、接触した
部分に気泡（水蒸気の泡）が存在することとなり、冷却
効果が落ちてしまうが、水流を発生させることにより、
この気泡を効率的に取り除くことができ、冷却効果が改
善される。以上、冷却室４の構造を冷却室４の幅Ｗおよ
び水深Ｌを用いて説明したが、これはあくまで例示であ
って、水と合金Ｍが水深方向または／および水平方向に
相対的に移動可能であれば、冷却室４の構造は上述した
ものに限定されるものではない。The cooling chamber 4 shown in FIGS. 8 (a) and 8 (b)
Had a water depth L longer than the width W, but FIG. 8 (d)
As shown in, the cooling chamber 4 may be wide, that is, the width W is larger than the water depth L. In this case, for example,
The alloy recovery chamber 7 is provided not at the center of the bottom of the cooling chamber 4 but at the right corner or the left corner of the bottom, and a predetermined flow velocity is provided from the side where the alloy recovery chamber 7 is not provided to the side where the alloy recovery chamber 7 is provided. You may make it generate | occur | produce the water flow which it has.
Here, if the flow rate is too high, bubbles are generated so as to surround the alloy M, and the cooling efficiency decreases, which is not preferable. A desirable flow velocity when generating a water flow is 3 cm / s
1 m / s, more desirable flow velocity is 6 cm / s to 40 cm
/ S. Further, when the alloys M contact each other, air bubbles (foam of water vapor) exist in the contacted portions, and the cooling effect decreases, but by generating a water flow,
The bubbles can be removed efficiently, and the cooling effect is improved. The structure of the cooling chamber 4 has been described above using the width W and the water depth L of the cooling chamber 4, but this is merely an example, and water and the alloy M can be relatively moved in the water depth direction and / or the horizontal direction. If so, the structure of the cooling chamber 4 is not limited to that described above.
【００４４】また、図８（ｄ）に示したように、熱処理
室３と冷却室４との間には、連絡口５Ｂが存在してい
る。そして、熱処理室３にて所定温度に加熱保持された
合金Ｍは、連絡口５Ｂを介して冷却室４内に落下するこ
ととなる。ここで、連絡口５Ｂには、熱処理室３に近い
側に熱遮蔽板９ａ，９ｂ、および冷却室４に近い側に仕
切弁８がそれぞれ配置されており、載置台６ａから合金
Ｍが冷却室４内に投入される直前にこの仕切弁８および
熱遮蔽板９ａ，９ｂが開くようになっている。そして、
合金Ｍが冷却室４内に投入されると略同時に仕切弁８お
よび熱遮蔽板９ａ，９ｂが再び閉じるようになってい
る。なお、連絡口５Ｂに配置される熱遮蔽板９ａには、
図７に示したような搬送機６用の切り込み９ｃは不要で
ある。合金Ｍの熱処理室３から冷却室４への移動は、合
金Ｍを自由落下させることにより行うからである。Further, as shown in FIG. 8D, there is a communication port 5B between the heat treatment chamber 3 and the cooling chamber 4. Then, the alloy M heated and held at the predetermined temperature in the heat treatment chamber 3 falls into the cooling chamber 4 through the communication port 5B. Here, in the communication port 5B, heat shield plates 9a and 9b are arranged on the side closer to the heat treatment chamber 3, and a sluice valve 8 is arranged on the side closer to the cooling chamber 4, respectively, and the alloy M from the mounting table 6a is cooled in the cooling chamber. The sluice valve 8 and the heat shield plates 9a and 9b are opened immediately before being put into the container 4. And
When the alloy M is put into the cooling chamber 4, the sluice valve 8 and the heat shield plates 9a and 9b are closed at substantially the same time. In addition, in the heat shield plate 9a arranged in the communication port 5B,
The cut 9c for the carrier 6 as shown in FIG. 7 is unnecessary. This is because the alloy M is moved from the heat treatment chamber 3 to the cooling chamber 4 by free fall of the alloy M.
【００４５】加熱された合金Ｍが水と接触することによ
り、冷却室４では水蒸気が多量に発生する。そして、仕
切弁８の開閉に伴い、冷却室４からの水蒸気が熱処理室
３内に侵入するおそれがある。これを防止すべく、図８
（ｄ）に示したように、熱処理室３および冷却室４の通
路である連絡口５Ｂに不活性ガス供給手段Ｇを設け、不
活性ガス供給手段Ｇから不活性ガスを噴出させて、熱処
理室３から冷却室４に向かう不活性ガスの流れを形成す
ることが好ましい。仮に、水蒸気が高温状態の熱処理室
３内に流入したならば、装置の金属部分が酸化されてし
まうため好ましくない。熱処理室３から冷却室４に向か
う不活性ガスの流れを容易に形成するため、本実施の形
態では、冷却室４の連絡口５Ｂとは異なる位置に減圧口
を設け、連絡口５Ｂに配置された不活性ガス供給手段Ｇ
からＡｒ等の不活性ガスを供給しながら減圧口からドラ
イポンプＤＰで排気を行っている。排気手段はドライポ
ンプＤＰに限定されるものではないが、ドライポンプＤ
Ｐのように水分を含むガスを排気できるものが好まし
い。このように、不活性ガス供給手段Ｇから不活性ガス
を供給しながら減圧口からドライポンプＤＰで排気する
ことで、蒸気・不活性ガスに流れをつくり、水蒸気が熱
処理室３に侵入することを防止することも望ましい。な
お、不活性ガス供給手段Ｇの設置場所、設置数は熱処理
室３、冷却室４および連絡口５Ｂの大きさ等によって異
なるが、連絡口５Ｂの四方に不活性ガス供給手段Ｇを配
置することが望ましい。また、水滴や水蒸気が熱処理室
３に侵入することを防ぐためには、連絡口５Ｂの位置が
合金Ｍの落下位置の直下とならないよう、例えば連絡口
５Ｂを合金Ｍの落下位置から水平方向にずらして配置す
ることも有効である。When the heated alloy M comes into contact with water, a large amount of water vapor is generated in the cooling chamber 4. Then, with the opening and closing of the sluice valve 8, water vapor from the cooling chamber 4 may enter the heat treatment chamber 3. In order to prevent this, FIG.
As shown in (d), an inert gas supply means G is provided in the communication port 5B which is a passage of the heat treatment chamber 3 and the cooling chamber 4, and an inert gas is ejected from the inert gas supply means G to make the heat treatment chamber. It is preferable to form a flow of an inert gas from 3 toward the cooling chamber 4. If steam enters the heat treatment chamber 3 in a high temperature state, the metal portion of the apparatus will be oxidized, which is not preferable. In order to easily form the flow of the inert gas from the heat treatment chamber 3 to the cooling chamber 4, in the present embodiment, a decompression port is provided at a position different from the communication port 5B of the cooling chamber 4, and the decompression port is arranged at the communication port 5B. Inert gas supply means G
While supplying an inert gas such as Ar from the above, exhaust is performed by the dry pump DP from the pressure reducing port. Although the exhaust means is not limited to the dry pump DP, the dry pump D
A gas such as P that can discharge a gas containing water is preferable. In this way, by supplying the inert gas from the inert gas supply means G and exhausting it with the dry pump DP from the decompression port, a flow is created in the steam / inert gas, and the steam is prevented from entering the heat treatment chamber 3. It is also desirable to prevent it. It should be noted that, although the installation location and the number of the inert gas supply means G are different depending on the size of the heat treatment chamber 3, the cooling chamber 4 and the communication port 5B, the inert gas supply means G should be arranged on all four sides of the communication port 5B. Is desirable. Further, in order to prevent water droplets and water vapor from entering the heat treatment chamber 3, for example, the communication port 5B is horizontally shifted from the alloy M drop position so that the position of the communication port 5B is not directly below the alloy M drop position. It is also effective to arrange them.
【００４６】図９は、アーク溶解法により得た合金Ｍに
対し、本実施の形態に係る熱処理装置１００を用いて熱
処理およびこれに続く急冷処理を行い、ｂｃｃ相を主相
とする水素吸蔵合金を得る際の工程図である。まず、ス
テップＳ１０１において、得たい水素吸蔵合金を構成す
る各金属について組成比率に該当する量を秤量する。例
えば、合金ＭをＴｉ−Ｃｒ系合金としたい場合には、Ｔ
ｉとＣｒとを組成比率に該当する量を秤量する。ここ
で、Ｔｉ−Ｃｒ系合金の組成を例示すると以下の通りで
ある。FIG. 9 shows that the alloy M obtained by the arc melting method is subjected to heat treatment using the heat treatment apparatus 100 according to the present embodiment and subsequent quenching treatment to obtain a hydrogen storage alloy having a bcc phase as a main phase. It is a process drawing at the time of obtaining. First, in step S101, an amount corresponding to the composition ratio is weighed for each metal constituting the desired hydrogen storage alloy. For example, if the alloy M is to be a Ti-Cr alloy, T
The amounts of i and Cr corresponding to the composition ratio are weighed. An example of the composition of the Ti-Cr alloy is as follows.
【００４７】組成が一般式Ｔｉ(100-a-b-c-d-e)ＣｒaＸ
bＸ’cＴdＬe
但し２０≦ａ(at％)≦８０、０≦ｂ(at％)≦１０、０≦
ｃ(at％)≦３０、０≦ｄ(at％)≦３０、０≦ｅ(at％)≦
１０で表され、前記ＸがＲｕ、Ｒｈ、Ｏｓ、Ｉｒ、Ｐ
ｄ、Ｐｔ、Ｒｅの少なくとも一種の元素、前記Ｘ’が
Ｖ、Ｍｏ、Ｗ、Ａｌのうち少なくとも一種の元素、前記
ＴがＭｎ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｂお
よびＣの少なくとも一種の元素、前記ＬがＹおよびラン
タノイド元素の少なくとも一種の元素である。The composition is represented by the general formula Ti (100-abcde) Cr a X
b X ′ c T d L e However, 20 ≦ a (at%) ≦ 80, 0 ≦ b (at%) ≦ 10, 0 ≦
c (at%) ≦ 30, 0 ≦ d (at%) ≦ 30, 0 ≦ e (at%) ≦
And X is Ru, Rh, Os, Ir, P
d, Pt, at least one element of Re, X'is at least one element of V, Mo, W, Al, and T is Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Nb, Ta, B and C At least one element, and L is at least one element of Y and a lanthanoid element.
【００４８】Ｘ元素（Ｒｕ、Ｒｈ、Ｏｓ、Ｉｒ、Ｐｄ、
Ｐｔ、Ｒｅの一種または二種以上）は、Ｔｉ−Ｃｒ系合
金に微量に含有させるだけで高いｂｃｃ相形成能を有
し、鋳造の状態または鋳造後の熱処理および簡易な冷却
を行うことによって、有害なＣ 14型、Ｃ15型等のラーベ
ス相をほとんど含まないｂｃｃを主相とする合金、さら
にはｂｃｃ単相合金を得ることができる。Ｘ元素の含有
量は、目的とする動作温度、動作圧力によって適宜選択
すればよい。しかし、１０ａｔ％を超えると単位重量当
りの水素吸蔵量が低下し、かつ工業的に高価になりすぎ
る。したがって、その含有量を１０ａｔ％以下とする。
好ましくは７ａｔ％以下、さらに好ましくは５ａｔ％以
下の範囲で選択すればよく、３ａｔ％以下でも有用な水
素吸蔵合金を得ることができる。X element (Ru, Rh, Os, Ir, Pd,
One or more of Pt and Re) is a Ti-Cr-based compound.
It has a high bcc phase forming ability even if it is contained in a very small amount in gold.
And casting condition or heat treatment after casting and simple cooling
Harmful C 14Mold, C15Rabe such as mold
Alloy containing bcc as the main phase, which contains almost no soot phase,
It is possible to obtain a bcc single phase alloy. Containing X element
The amount can be selected according to the desired operating temperature and operating pressure.
do it. However, if it exceeds 10 at%, the unit weight
Hydrogen storage capacity decreases, and it becomes too expensive industrially
It Therefore, the content is set to 10 at% or less.
It is preferably 7 at% or less, more preferably 5 at% or less.
It is sufficient to select in the range below, and water that is useful even at 3 at% or less
An elemental storage alloy can be obtained.
【００４９】本発明の水素吸蔵合金は、Ｘ’元素として
Ｖ、Ｍｏ、Ｗ、Ａｌのうち少なくとも一種の元素を含む
ことができる。このＸ’元素をＸ元素と同時に含有させ
ることにより、Ｘ元素の含有量をさらに低く押さえ、ま
た、Ｘ’元素の含有量をも少量で済ませることができる
から、単位重量当たりの水素吸蔵量の低下を軽微なもの
に留めることができる。その結果、これらコストと単位
重量当りの水素吸蔵量においてバランスのとれた高い実
用性を有する水素吸蔵合金を得ることができる。本発明
において、Ｘ’元素は少量で所定の効果を発揮すること
ができるものの、従来と同程度の量を含有することを否
定するものではない。したがって、３０ａｔ％以下の範
囲の含有を許容する。しかし、その含有量は所定の効果
が得られる範囲で少ないほうが望ましく、したがって、
本発明では、２０ａｔ％以下、さらには１０ａｔ％以下
の範囲の含有量を推奨する。本発明ではＸ元素との組み
合わせによっては、５ａｔ％以下の極めて少ない含有量
においても所定の効果を発揮することができる。The hydrogen storage alloy of the present invention can contain at least one element selected from V, Mo, W and Al as the X'element. By containing this X'element at the same time as the X element, the content of the X element can be further reduced, and the content of the X'element can be made small, so that the hydrogen storage amount per unit weight can be reduced. The drop can be kept small. As a result, it is possible to obtain a hydrogen storage alloy that is highly practical and has a good balance between these costs and the hydrogen storage amount per unit weight. In the present invention, although the X'element can exhibit a predetermined effect with a small amount, it does not deny that the X'element is contained in the same amount as the conventional one. Therefore, the inclusion of 30 at% or less is allowed. However, its content is preferably as small as possible within the range where a predetermined effect is obtained, and therefore,
In the present invention, a content in the range of 20 at% or less, and further 10 at% or less is recommended. In the present invention, depending on the combination with the X element, a predetermined effect can be exhibited even with an extremely small content of 5 at% or less.
【００５０】本発明の水素吸蔵合金は、Ｔ元素としてＭ
ｎ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｎｂ、Ｔａ、ＢおよびＣ
の少なくとも一種の元素を３０ａｔ％以下、望ましくは
２０ａｔ％以下、さらに望ましくは１０ａｔ％以下の範
囲で適宜含有させることができる。このＴ元素を含有せ
しめることにより、プラトー圧の任意の制御、プラトー
圧の平坦性制御、製造工程の溶解温度制御、熱処理温度
の制御、合金の耐食性向上、二次電池電極材料としての
合金の集電特性等を制御することが可能となる。The hydrogen storage alloy of the present invention has M as the T element.
n, Fe, Co, Ni, Cu, Nb, Ta, B and C
It is possible to appropriately contain at least one element of 30 at% or less, preferably 20 at% or less, more preferably 10 at% or less. By containing this T element, the plateau pressure is arbitrarily controlled, the plateau pressure is flatly controlled, the melting temperature is controlled in the manufacturing process, the heat treatment temperature is controlled, the corrosion resistance of the alloy is improved, and the alloy as a secondary battery electrode material is collected. It is possible to control electric characteristics and the like.
【００５１】さらに本発明の水素吸蔵合金は、Ｌ元素と
して、Ｙおよびランタノイド系元素（Ｌａ，Ｃｅ，Ｐ
ｒ，Ｎｄ，Ｐｍ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈ
ｏ，Ｅｒ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｌｕ）の少なくとも一種を１０
ａｔ％以下、望ましくは５ａｔ％以下、さらに望ましく
は３ａｔ％以下の範囲で含有させることができる。Ｌ元
素は、酸素との親和力が強いため合金中に存在する酸素
をＬ元素酸化物として除去する効果を発揮する。その結
果、水素吸蔵量を安定化させ、かつ比較的酸素量の多い
原料も工業的に有効に利用することも可能となる。Further, in the hydrogen storage alloy of the present invention, as the L element, Y and lanthanoid series elements (La, Ce, P) are used.
r, Nd, Pm, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, H
at least one of O, Er, Tm, Yb, Lu)
It may be contained in an amount of at% or less, preferably 5 at% or less, and more preferably 3 at% or less. Since the L element has a strong affinity with oxygen, it exerts an effect of removing oxygen existing in the alloy as an L element oxide. As a result, it becomes possible to stabilize the hydrogen storage amount and to effectively use industrially a raw material having a relatively large amount of oxygen.
【００５２】本発明の水素吸蔵合金には、以下の態様が
含まれる。
Ｔｉ(100-a-b)ＣｒaＸb
Ｔｉ(100-a-b-c)ＣｒaＸbＸ’c
Ｔｉ(100-a-b-d)ＣｒaＸbＴd
Ｔｉ(100-a-b-e)ＣｒaＸbＬe
Ｔｉ(100-a-b-d-e)ＣｒaＸbＴdＬe
Ｔｉ(100-a-b-c-d)ＣｒaＸbＸ’c Ｔd
Ｔｉ(100-a-b-c-e)ＣｒaＸbＸ’c Ｌe
Ｔｉ(100-a-b-c-d-e)ＣｒaＸbＸ’c ＴdＬe
Ｔｉ(100-a-c)ＣｒaＸ'c
Ｔｉ(100-a-c-d)ＣｒaＸ'cＴd
Ｔｉ(100-a-c-e)ＣｒaＸ'cＬe
Ｔｉ(100-a- c-d-e)ＣｒaＸ'cＴd Ｌe
Ｔｉ(100-a-d)ＣｒaＴd
Ｔｉ(100-a-e)ＣｒaＬe
Ｔｉ(100-a-d-e)ＣｒaＴdＬe The hydrogen storage alloy of the present invention includes the following modes. Ti (100-ab) Cr a X b Ti (100-abc) Cr a X b X 'c Ti (100-abd) Cr a X b T d Ti (100-abe) Cr a X b L e Ti (100 -abde) Cr a X b T d L e Ti (100-abcd) Cr a X b X 'c T d Ti (100-abce) Cr a X b X' c L e Ti (100-abcde) Cr a X b X 'c T d L e Ti (100-ac) Cr a X' c Ti (100-acd) Cr a X 'c T d Ti (100-ace) Cr a X' c L e Ti (100-a - cde) Cr a X 'c T d L e Ti (100-ad) Cr a T d Ti (100-ae) Cr a L e Ti (100-ade) Cr a T d L e
【００５３】ステップＳ１０１において合金元素の秤量
を行った後、ステップＳ１０２に進む。ステップＳ１０
２では、秤量された各金属がアーク溶解装置（図示せ
ず）に投入され、約５０ｋＰａのアルゴン雰囲気中で溶
融・凝固・反転を所定回数（実験例においては構成元素
の数によっても異なるが、およそ３〜５回）を繰り返
す。溶融・凝固・反転を繰り返すのは、合金の均質性を
高めるためである。After the alloying elements are weighed in step S101, the process proceeds to step S102. Step S10
In No. 2, each weighed metal was put into an arc melting device (not shown), and melting, solidification, and inversion were performed a predetermined number of times in an argon atmosphere of about 50 kPa (in the experimental example, it depends on the number of constituent elements, Repeat about 3 to 5 times). Repeated melting, solidification and reversal is to enhance the homogeneity of the alloy.
【００５４】ステップＳ１０２においてアーク溶解を行
った後、均質化されたインゴットを所定の大きさ、具体
的には１〜２００ｇに破砕する（ステップＳ１０３）。
破砕された合金Ｍは、図１に示した合金供給室１に所定
量、具体的には１〜数バッチ分投入される。なお、イン
ゴットに限らず、溶湯を外気に触れさせることなく鋳型
に流し込んで板状にしてもよい。ステップＳ１０３にお
ける破砕工程の内容は、その目的によって異なる。例え
ば、ラーベス相抑制を目的として破砕を行う場合には、
インゴットを１〜５０ｇに破砕する。また、プラトー平
坦性を高めることのみを目的とする場合には、１〜２０
０ｇとする（例えば、Ｖを３０％以上添加する場合）。
また、破砕後の形状によっても冷却効率が変動するが、
例えば板状のものは球状や角状のものよりも冷却効率が
よいので、各破砕片を大きく（重く）することができ
る。After performing arc melting in step S102, the homogenized ingot is crushed to a predetermined size, specifically 1 to 200 g (step S103).
The crushed alloy M is charged into the alloy supply chamber 1 shown in FIG. 1 by a predetermined amount, specifically, one to several batches. Not only the ingot, but the molten metal may be poured into the mold without exposing it to the outside air to form a plate. The content of the crushing process in step S103 differs depending on its purpose. For example, when crushing for the purpose of suppressing Laves phase,
Crush the ingot to 1-50 g. Further, in the case of only increasing the plateau flatness, 1 to 20
The amount is 0 g (for example, when V is added by 30% or more).
The cooling efficiency also varies depending on the shape after crushing,
For example, since a plate-shaped material has better cooling efficiency than a spherical or square-shaped material, each crushed piece can be made larger (heavier).
【００５５】次いで、合金供給室１に配置された載置台
６ａ上に合金Ｍが載置され、非酸化性雰囲気にされる
と、搬送機６は合金収容室２から熱処理室３へ移動し、
合金Ｍが搬送機６上に載置されたまま合金Ｍに対して加
熱処理が施される（ステップＳ１０４）。ステップＳ１
０４において加熱処理を行った後、合金Ｍは熱処理室３
から冷却室４に移動する。なお、合金供給室１を介さ
ず、合金収容室２の載置台６ａに合金Ｍを直接セットす
るようにしてもよい。冷却室４では、加熱保持された合
金Ｍが急冷処理される（ステップＳ１０５）。この急冷
処理では、上述したように冷却媒体を水とすることが好
ましい。また、水と冷却対象である合金Ｍが、合金Ｍの
赤熱が収束するまでの間、相対的に流動するような状態
で冷却することが好ましい。ステップＳ１０５における
急冷処理を終えると、合金Ｍは冷却室４の下方に配置さ
れた合金回収室７から回収される。Next, when the alloy M is placed on the placing table 6a arranged in the alloy supply chamber 1 and made into a non-oxidizing atmosphere, the carrier 6 moves from the alloy accommodating chamber 2 to the heat treatment chamber 3,
The alloy M is heat-treated while being placed on the carrier 6 (step S104). Step S1
After heat treatment at 04, the alloy M is treated in the heat treatment chamber 3
To the cooling chamber 4. The alloy M may be set directly on the mounting table 6a of the alloy storage chamber 2 without the alloy supply chamber 1. In the cooling chamber 4, the alloy M heated and held is rapidly cooled (step S105). In this rapid cooling process, it is preferable to use water as the cooling medium as described above. Further, it is preferable that the water and the alloy M to be cooled be cooled in a state of relatively flowing until the red heat of the alloy M converges. When the quenching process in step S105 is completed, the alloy M is recovered from the alloy recovery chamber 7 arranged below the cooling chamber 4.
【００５６】以上説明したように、本実施の形態に係る
熱処理装置１００によれば、合金Ｍの供給、加熱処理お
よびこれに続く水中急冷という工程を、次工程に移行す
る際のロスタイムを生じることなく効率的に行うことが
できる。よって、作業性に優れる。しかも、合金Ｍの供
給、加熱処理、水中急冷という一連の工程を１つの装置
で行うことができ、生産性、量産性に優れる。また、本
実施の形態に係る熱処理装置１００を用いた場合には、
合金Ｍに対する一連の熱処理を非酸化性雰囲気のもとで
行うことができるため、最終的に得られる合金Ｍの特性
が良好である。As described above, according to the heat treatment apparatus 100 according to the present embodiment, a loss time is generated when the step of supplying the alloy M, the heat treatment and the subsequent quenching in water is transferred to the next step. Can be done efficiently without. Therefore, the workability is excellent. In addition, a series of steps of supplying the alloy M, heat treatment, and quenching in water can be performed by one device, which is excellent in productivity and mass productivity. Moreover, when the heat treatment apparatus 100 according to the present embodiment is used,
Since the series of heat treatments on the alloy M can be performed in a non-oxidizing atmosphere, the properties of the finally obtained alloy M are good.
【００５７】なお、上記の実施形態では、合金ＭをＴｉ
−Ｃｒ系とする場合について詳述したが、本発明の熱処
理装置１００は、Ｔｉ−Ｃｒ系合金に限らず、他の金属
に対して熱処理を行う場合にも適用できる。つまり、加
熱処理および急冷処理を経ることにより、特性が向上す
るような金属であれば、本発明の熱処理装置１００を適
用することができる。In the above embodiment, the alloy M is replaced with Ti.
Although the case of using the —Cr system has been described in detail, the heat treatment apparatus 100 of the present invention is not limited to the Ti—Cr system alloy and can be applied to the case of performing heat treatment on other metals. That is, the heat treatment apparatus 100 of the present invention can be applied to any metal whose characteristics are improved by the heat treatment and the quenching treatment.
【００５８】[0058]
【実施例】以下本発明の水素吸蔵合金について、具体的
な実験例に基づいて説明する。EXAMPLES The hydrogen storage alloy of the present invention will be described below based on specific experimental examples.
【００５９】従来の液体急冷法で得た水素吸蔵合金にお
ける出現相と、本実施の形態に係る熱処理装置１００を
用いて得た水素吸蔵合金の出現相を確認するために行っ
た実験を実験例として示す。前述したアーク溶解装置を
用いた溶融・凝固・反転を繰り返すことによって、Ｌａ
1Ｍｏ3Ｔｉ40Ｃｒ56（ａｔ％）の組成を有する合金（イ
ンゴット）を得た後、合金を１〜１０ｇに破砕した。な
お、凝固は合金溶湯を銅ハース上で自然冷却して行われ
る。次いで、本実施の形態に係る熱処理装置１００にこ
の破砕された合金を投入し、加熱処理、水中急冷を行っ
た。なお、１バッチ分の合金供給量は１ｋｇとした。熱
処理室３における加熱処理の条件、冷却室４における急
冷の条件は以下の通りである。Experiments conducted to confirm the appearance phase of the hydrogen storage alloy obtained by the conventional liquid quenching method and the appearance phase of the hydrogen storage alloy obtained by using the heat treatment apparatus 100 according to the present embodiment. Show as. By repeating melting, solidification, and inversion using the arc melting device described above, La
After obtaining an alloy (ingot) having a composition of 1 Mo 3 Ti 40 Cr 56 (at%), the alloy was crushed to 1 to 10 g. The solidification is carried out by naturally cooling the molten alloy on a copper hearth. Next, the crushed alloy was put into the heat treatment apparatus 100 according to the present embodiment, and heat treatment and rapid cooling in water were performed. The alloy supply amount for one batch was 1 kg. The conditions for the heat treatment in the heat treatment chamber 3 and the conditions for the rapid cooling in the cooling chamber 4 are as follows.
【００６０】＜熱処理室３における加熱処理の条件＞
０．１ＭＰａのＡｒ雰囲気中、１４００℃、１０分間保
持
＜冷却室４における急冷の条件＞冷却媒体は水とし、流
速１５ｃｍ／ｓの水流を発生させながら急冷を行った。<Conditions of heat treatment in heat treatment chamber 3>
Hold at 1400 ° C. for 10 minutes in Ar atmosphere of 0.1 MPa <Conditions for rapid cooling in cooling chamber 4> Water was used as a cooling medium, and rapid cooling was performed while generating a water flow having a flow rate of 15 cm / s.
【００６１】上記の条件で加熱および急冷を行うことに
より、サンプル１を得た。次いで、このサンプル１につ
いてＸ線回折により相同定を行った。その結果を図１０
（ａ）に示す。図１０（ａ）に示すように、サンプル１
は、ｂｃｃ相を示す指数（１１０）、（２００）、（２
１１）のみでピークが観察され、ｂｃｃ相単相組織が形
成されていることが確認された。なお、１バッチ分の合
金供給量が１ｋｇの場合と同様に、５０ｇの実験でも同
様にｂｃｃ単相となったことは言うまでもない。一方、
ＣａＯやＳｉＯｓのノズルを用いる従来の液体急冷法に
より、Ｌａ1Ｍｏ3Ｔｉ40Ｃｒ56（ａｔ％）の組成を有す
る５０ｇの薄帯（サンプル２）を得た。次いで、このサ
ンプル２についてＸ線回折により相同定を行った。その
結果を図１０（ｂ）に示す。図１０（ｂ）に示すよう
に、サンプル２はサンプル１と同一の組成を有するにも
拘わらず、わずか５０ｇの実験においてもｂｃｃ相のみ
ならずラーベス相が出現していることが確認された。以
上の結果から、本発明に係る熱処理装置１００は急冷効
果が高いため、ｋｇ単位でも処理することができ、ｂｃ
ｃ単相組織を要する水素吸蔵合金を量産するのに有効で
あることがわかった。Sample 1 was obtained by heating and quenching under the above conditions. Next, this sample 1 was subjected to phase identification by X-ray diffraction. The result is shown in FIG.
It shows in (a). As shown in FIG. 10A, sample 1
Are indices (110), (200), (2) indicating the bcc phase.
A peak was observed only in 11), and it was confirmed that a bcc-phase single-phase structure was formed. Needless to say, as in the case where the amount of alloy supplied for one batch was 1 kg, the bcc single phase was similarly obtained in the experiment of 50 g. on the other hand,
By a conventional liquid quenching method using a nozzle of CaO or SiOs, 50 g of a ribbon (Sample 2) having a composition of La 1 Mo 3 Ti 40 Cr 56 (at%) was obtained. Next, this sample 2 was subjected to phase identification by X-ray diffraction. The result is shown in FIG. As shown in FIG. 10B, it was confirmed that the Laves phase as well as the bcc phase appeared in the experiment of only 50 g, although the sample 2 had the same composition as the sample 1. From the above results, since the heat treatment apparatus 100 according to the present invention has a high quenching effect, it is possible to process even in units of kg.
It was found to be effective for mass-producing hydrogen storage alloys requiring a single-phase structure.
【００６２】[0062]
【発明の効果】本発明によれば、ｋｇ単位の多量の金属
に対する加熱処理およびこれに続く急冷処理を効率的に
行うことができる。特に、本発明に係る熱処理装置によ
れば、ｂｃｃ相を主相としかつ高い水素吸蔵量を有する
水素吸蔵合金を量産することができる。According to the present invention, it is possible to efficiently perform heat treatment for a large amount of metal in the unit of kg and subsequent quenching treatment. Particularly, according to the heat treatment apparatus of the present invention, it is possible to mass-produce a hydrogen storage alloy having a bcc phase as a main phase and a high hydrogen storage capacity.
【図１】 本発明の熱処理装置の概略を説明する図であ
る。FIG. 1 is a diagram illustrating an outline of a heat treatment apparatus of the present invention.
【図２】 図２（ａ）、（ｂ）は搬送棒の平面図であ
り、図２（ａ）は搬送棒が回転する前の状態を示す図、
図２（ｂ）は搬送棒が回転した後の状態を示す図であ
る。図２（ｃ）は搬送機の側面図である。2 (a) and 2 (b) are plan views of the transport rod, and FIG. 2 (a) is a diagram showing a state before the transport rod is rotated,
FIG. 2B is a diagram showing a state after the transport rod is rotated. FIG. 2C is a side view of the carrier.
【図３】 搬送機の側面図である。FIG. 3 is a side view of the carrier.
【図４】 図４（ａ）は載置台に突起を形成した場合の
側面図、図４（ｂ）は載置台に突起を形成した場合の平
面図である。FIG. 4A is a side view when a protrusion is formed on the mounting table, and FIG. 4B is a plan view when a protrusion is formed on the mounting table.
【図５】 図５（ａ）は載置台に突起を形成した場合の
側面図、図５（ｂ）は載置台に溝を形成した場合の側面
図である。5A is a side view when a protrusion is formed on the mounting table, and FIG. 5B is a side view when a groove is formed on the mounting table.
【図６】 仕切弁および熱遮蔽板の配置を説明するため
の図である。FIG. 6 is a diagram for explaining the arrangement of a gate valve and a heat shield plate.
【図７】 熱遮蔽板が移動する状態を説明するための図
である。FIG. 7 is a diagram for explaining a state where the heat shield plate moves.
【図８】 水と合金が相対的に流動するのに適した冷却
室の構成例を説明するための図である。FIG. 8 is a diagram for explaining a configuration example of a cooling chamber suitable for relatively flowing water and an alloy.
【図９】 アーク溶解法により水素吸蔵合金を作製する
場合の工程図である。FIG. 9 is a process drawing in the case of producing a hydrogen storage alloy by an arc melting method.
【図１０】 実験例で測定したＬａ1Ｍｏ3Ｔｉ40Ｃｒ56
（ａｔ％）合金のＸ線回折図である。FIG. 10: La 1 Mo 3 Ti 40 Cr 56 measured in an experimental example
It is an X-ray-diffraction figure of an (at%) alloy.
【符号の説明】
１００…熱処理装置、１…合金供給室（金属供給室）、
２…合金収容室（金属収容室、一の金属収容室、他の金
属収容室）、３…熱処理室、４…冷却室、５Ａ，５Ｂ…
連絡口、６…搬送機、６ａ…載置台、６ｂ…搬送棒、７
…合金回収室、８…仕切弁、９ａ，９ｂ…熱遮蔽板（熱
遮蔽体）、１０…網状体、ＤＰ…ドライポンプ、Ｇ…不
活性ガス供給手段、Ｐ…排気手段[Explanation of reference numerals] 100 ... Heat treatment apparatus, 1 ... Alloy supply chamber (metal supply chamber),
2 ... Alloy storage chamber (metal storage chamber, one metal storage chamber, other metal storage chamber), 3 ... Heat treatment chamber, 4 ... Cooling chamber, 5A, 5B ...
Communication port, 6 ... Conveyor, 6a ... Mounting table, 6b ... Conveyor rod, 7
... alloy recovery chamber, 8 ... gate valve, 9a, 9b ... heat shield plate (heat shield), 10 ... mesh body, DP ... dry pump, G ... inert gas supply means, P ... exhaust means
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） // Ｃ２２Ｃ 14/00 Ｃ２２Ｃ 14/00 Ａ (72)発明者 山下 信一 東京都中央区日本橋一丁目13番１号 ティ ーディーケイ株式会社内 (72)発明者 松川 篤人 東京都中央区日本橋一丁目13番１号 ティ ーディーケイ株式会社内 (72)発明者 矢頭 潔 東京都中央区日本橋一丁目13番１号 ティ ーディーケイ株式会社内 Ｆターム(参考） 4K055 AA06 BA03 HA07 4K061 AA01 BA02 CA21 DA05 FA13 4K063 AA05 AA15 BA03 CA03 DA05 DA13 DA23 EA06 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) // C22C 14/00 C22C 14/00 A (72) Inventor Shinichi Yamashita 1-chome, Nihonbashi 13-chome, Chuo-ku, Tokyo No. 1 TDC Corporation (72) Inventor Atsuto Matsukawa 1-131-1 Nihonbashi, Chuo-ku, Tokyo TDC Corporation (72) Inventor Kiyoshi Yagami 1-13-1 Nihonbashi, Chuo-ku, Tokyo Tee -F-Term in DK Corporation (reference) 4K055 AA06 BA03 HA07 4K061 AA01 BA02 CA21 DA05 FA13 4K063 AA05 AA15 BA03 CA03 DA05 DA13 DA23 EA06
Claims (8)
囲気に置換可能な金属収容室と、 前記金属収容室において前記金属を載置するとともに、
前記金属収容室が非酸化性雰囲気に置換された後に載置
された前記金属を熱処理室に搬送する搬送機と、 前記金属収容室から搬送された前記金属を前記搬送機に
載置した状態で、前記金属に対する加熱処理を施すとと
もに、その内部を非酸化性雰囲気に置換可能な熱処理室
と、 前記加熱処理が施された前記金属を前記熱処理室から自
由落下させて急速冷却領域を通過させることにより冷却
する冷却室と、を備え、 前記金属収容室および前記冷却室が、それぞれ気密性の
仕切弁を有する連絡口を介して前記熱処理室と連結され
ていることを特徴とする熱処理装置。1. A heat treatment apparatus for heat-treating a metal, comprising: a metal storage chamber capable of temporarily storing the metal and replacing the interior thereof with a non-oxidizing atmosphere; and mounting the metal in the metal storage chamber. As well as
A transporter that transports the metal placed in the heat treatment chamber after the metal storage chamber is replaced with a non-oxidizing atmosphere, and a state in which the metal transported from the metal storage chamber is placed on the transporter. A heat treatment chamber capable of performing a heat treatment on the metal and replacing the inside with a non-oxidizing atmosphere; and allowing the heat treated metal to freely fall from the heat treatment chamber and pass through a rapid cooling region. And a cooling chamber that cools the metal housing chamber and the cooling chamber, the metal housing chamber and the cooling chamber being connected to the heat treatment chamber via communication ports each having an airtight sluice valve.
複数備え、 一の金属収容室から前記熱処理室に搬送された前記金属
に対し、非酸化性雰囲気下で前記加熱処理を施すと同時
に、前記金属が収容された他の金属収容室を非酸化性雰
囲気に保持することを特徴とする請求項１に記載の熱処
理装置。2. The heat treatment chamber is provided with a plurality of the metal storage chambers, and the metal transferred from the one metal storage chamber to the heat treatment chamber is subjected to the heat treatment in a non-oxidizing atmosphere at the same time. The heat treatment apparatus according to claim 1, wherein the other metal containing chamber containing the metal is held in a non-oxidizing atmosphere.
前記冷却室との連絡口をそれぞれ熱遮蔽する熱遮蔽体を
備えることを特徴とする請求項１に記載の熱処理装置。3. The heat treatment apparatus according to claim 1, wherein the heat treatment chamber includes a heat shield that thermally shields a communication port between the metal storage chamber and the cooling chamber.
位置する前記連絡口に不活性ガス供給手段を備え、 当該不活性ガス供給手段は、前記熱処理室から前記冷却
室に向かう不活性ガスの流れを形成することを特徴とす
る請求項１に記載の熱処理装置。4. The inert gas supply means is provided at the communication port located between the heat treatment chamber and the cooling chamber, and the inert gas supply means is an inert gas flowing from the heat treatment chamber to the cooling chamber. The heat treatment apparatus according to claim 1, wherein the heat treatment apparatus forms a flow of
前記金属を自由落下させた後に、前記金属収容室に退避
することを特徴とする請求項１に記載の熱処理装置。5. The heat treatment apparatus according to claim 1, wherein the carrier machine causes the metal that has been subjected to the heat treatment to freely fall and then retracts into the metal storage chamber.
と、前記金属に対して加熱処理を行う熱処理室と、前記
金属収容室と前記熱処理室の間を往復移動可能な搬送機
と、前記加熱処理が施された前記金属を急速冷却領域を
通過させることにより冷却する冷却室とを備えた熱処理
装置を用いて前記金属に対する熱処理を行う熱処理方法
であって、 前記金属収容室を非酸化性雰囲気に保持した状態で、前
記加熱処理がされるべき前記金属を待機させる待機工程
と、 前記金属収容室に収容された前記金属の周囲を、非酸化
性雰囲気に保持したまま前記搬送機によって前記熱処理
室に搬送する搬送工程と、 前記金属に対して、前記搬送機上に保持した状態で、前
記加熱処理を施す加熱処理工程と、 前記加熱処理された前記金属を、前記熱処理室から自由
落下させて前記急速冷却領域を通過させることにより冷
却する冷却工程と、を有することを特徴とする熱処理方
法。6. A metal storage chamber in which a metal is temporarily stored, a heat treatment chamber for performing a heat treatment on the metal, and a transporter capable of reciprocating between the metal storage chamber and the heat treatment chamber. A heat treatment method of performing heat treatment on the metal by using a heat treatment apparatus having a cooling chamber for cooling the heat-treated metal by passing through a rapid cooling region, wherein the metal storage chamber is non-oxidized. In a state of being held in a non-oxidizing atmosphere, a standby step of waiting for the metal to be subjected to the heat treatment, and the periphery of the metal contained in the metal containing chamber by the carrier while being held in a non-oxidizing atmosphere. A carrying step of carrying to the heat treatment chamber, a heat treatment step of performing the heat treatment on the metal while being held on the carrier, and the heat treated metal from the heat treatment chamber. Heat treatment method characterized by having a cooling step of cooling by passing the rapid cooling region by reason fall.
複数備え、 一の金属収容室から前記熱処理室に搬送された前記金属
に対して前記加熱処理を行う前記加熱処理工程と、他の
金属収容室を非酸化性雰囲気に保持した状態で、前記加
熱処理がされるべき前記金属を待機させる前記待機工程
と、を同時に行うことを特徴とする請求項６に記載の熱
処理方法。7. The heat treatment step of providing a plurality of the metal storage chambers for the heat treatment chamber, the heat treatment step of performing the heat treatment on the metal transported from one metal storage chamber to the heat treatment chamber, and 7. The heat treatment method according to claim 6, wherein the waiting step of waiting the metal to be subjected to the heat treatment is simultaneously performed in a state where the metal storage chamber is kept in a non-oxidizing atmosphere.
であり、前記冷却工程により、前記水素吸蔵合金をｂｃ
ｃが主相の組織とすることを特徴とする請求項６に記載
の熱処理方法。8. The metal is a Ti—Cr-based hydrogen storage alloy, and the hydrogen storage alloy is bc by the cooling step.
The heat treatment method according to claim 6, wherein c has a structure of a main phase.
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|---|---|---|---|
| JP2002097946A JP2003294368A (en) | 2002-03-29 | 2002-03-29 | Heat treatment device and heat treatment method |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1531186A1 (en) * | 2003-11-14 | 2005-05-18 | Ipsen International GmbH | Apparatus and method for heat treatment of metallic work pieces |
| JP2009236367A (en) * | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Koyo Thermo System Kk | Heat treatment device |
-
2002
- 2002-03-29 JP JP2002097946A patent/JP2003294368A/en not_active Withdrawn
Cited By (3)
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| EP1531186A1 (en) * | 2003-11-14 | 2005-05-18 | Ipsen International GmbH | Apparatus and method for heat treatment of metallic work pieces |
| WO2005052197A1 (en) * | 2003-11-14 | 2005-06-09 | Ipsen International Gmbh | Device and method for heat treating, in particular, metallic workpieces |
| JP2009236367A (en) * | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Koyo Thermo System Kk | Heat treatment device |
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