JP2003276182A - Liquid drop ejection apparatus, method of ejecting liquid drop, device manufacturing machine, method of manufacturing device, and device - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress occurrence of color variation and irregularity in a formed film even when a quick drying ink is used. <P>SOLUTION: A functional liquid is ejected on a substrate at a predetermined region. This liquid ejection apparatus comprises vibration applying devices 31-38 for applying vibration to the substrate and a controller 29 for driving the vibration applying device 31-38 while the functional liquid is ejected. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、液滴吐出装置と液
滴吐出方法、およびデバイス製造装置とデバイス製造方
法並びにデバイスに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a droplet discharge device, a droplet discharge method, a device manufacturing apparatus, a device manufacturing method, and a device.

【０００２】[0002]

【従来の技術】電子機器、例えばコンピュータや携帯用
の情報機器端末の発達に伴い、液晶表示デバイス、特に
カラー液晶表示デバイスの使用が増加している。この種
の液晶表示デバイスは、表示画像をカラー化するために
カラーフィルターを用いている。カラーフィルターに
は、基板を有し、この基板に対してＲ（赤）、Ｇ
（緑）、Ｂ（赤）のインクを所定パターンで着弾させ、
このインクを基板上で乾燥させることで着色層を形成す
るものがある。このような基板に対してインクを着弾さ
せる方式としては、例えばインクジェット方式の液滴吐
出装置が採用されている。2. Description of the Related Art With the development of electronic equipment such as computers and portable information equipment terminals, the use of liquid crystal display devices, especially color liquid crystal display devices, has been increasing. This type of liquid crystal display device uses a color filter for colorizing a display image. The color filter has a substrate on which R (red) and G are attached.
(Green), B (red) ink is landed in a predetermined pattern,
There is one that forms a colored layer by drying this ink on a substrate. As a method of landing ink on such a substrate, for example, an ink jet type droplet discharge device is adopted.

【０００３】インクジェット方式を採用した場合、液滴
吐出装置においてはインクジェットのヘッドから所定量
のインクをフィルターに対して吐出して着弾させるが、
この場合、例えば基板はＹステージ（Ｙ方向に移動自在
なステージ）に搭載され、インクジェットヘッドはＸス
テージ（Ｘ方向に移動自在なステージ）に搭載される。
そして、Ｘステージの駆動によりインクジェットヘッド
を所定位置に位置決めした後に、Ｙステージの駆動によ
り基板をインクジェットヘッドに対して相対移動させな
がらインクを吐出することで、複数のインクジェットヘ
ッドからのインクが基板の所定位置に着弾できるように
なっている。When the ink jet system is adopted, a predetermined amount of ink is ejected from the ink jet head to the filter in the droplet ejection device to land the ink.
In this case, for example, the substrate is mounted on the Y stage (a stage movable in the Y direction), and the inkjet head is mounted on the X stage (a stage movable in the X direction).
Then, after the inkjet head is positioned at a predetermined position by driving the X stage, the ink is ejected while the substrate is moved relative to the inkjet head by driving the Y stage, so that the inks from the plurality of inkjet heads are transferred to the substrate. It can be landed in place.

【０００４】上記のように、インクジェット方式により
着色層を形成する場合、インクジェットヘッドから吐出
され、基板上に着弾したインクは表面張力のため均一に
拡がりにくい。そのため、インクの拡がりが悪い部分で
は、そのままインクを定着させると色ムラになるという
問題が生じる。As described above, when the colored layer is formed by the ink jet method, the ink ejected from the ink jet head and landed on the substrate is difficult to spread uniformly due to the surface tension. Therefore, in the area where the spread of the ink is bad, if the ink is fixed as it is, there is a problem that color unevenness occurs.

【０００５】そこで、このような問題の対策として、例
えば特開平１０−１４８７０９号公報が開示されてい
る。ここに開示された技術は、基板上のインク受容層に
インクを付与（着弾）した後に、インク受容層に振動を
加えることで、インク受容層全体に亘ってインクを均一
に拡げることができるものである。Therefore, as measures against such a problem, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 10-148709 is disclosed. The technology disclosed herein is capable of uniformly spreading ink over the entire ink receiving layer by applying (landing) the ink to the ink receiving layer on the substrate and then applying vibration to the ink receiving layer. Is.

【０００６】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような従来技術には、以下のような問題が存在する。
近年、インクジェット方式による液滴吐出装置の、工業
分野への適用範囲が広がるに従って、乾燥性の高い機能
性液体がインクとして用いられるようになってきた。こ
のような速乾性のインクの場合、基板上に着弾した後に
振動を加えても振動工程に至るまでにインク乾燥が進行
してしまい、膜厚を充分に均一化できず色ムラ、成膜ム
ラが解消されないという問題があった。However, the above-mentioned conventional techniques have the following problems.
In recent years, as the range of application of the inkjet type droplet discharge device to the industrial field has expanded, functional liquids having high drying properties have come to be used as ink. In the case of such a quick-drying ink, even if vibration is applied after landing on the substrate, ink drying progresses before the vibration process, and the film thickness cannot be made sufficiently uniform, resulting in uneven color and uneven film formation. There was a problem that was not solved.

【０００７】一方、インクを基板上で乾燥させる工程で
は、基板上の雰囲気に偏りが生じ、溶剤の蒸発速度が異
なることに起因して、周辺部の乾燥が中央部に比べて早
くなり色ムラ、成膜ムラの一因になるという問題もあっ
た。On the other hand, in the process of drying the ink on the substrate, the atmosphere on the substrate is biased and the evaporation rate of the solvent is different, so that the peripheral portion is dried faster than the central portion, resulting in color unevenness. However, there is also a problem that it is a cause of uneven film formation.

【０００８】本発明は、以上のような点を考慮してなさ
れたもので、速乾性のインクを用いた場合でも色ムラ、
成膜ムラの発生を抑制できる液滴吐出装置と液滴吐出方
法、およびデバイス製造装置とデバイス製造方法並びに
デバイスを提供することを目的とする。The present invention has been made in consideration of the above points. Even when a quick-drying ink is used, color unevenness,
An object of the present invention is to provide a droplet discharge device and a droplet discharge method, a device manufacturing apparatus, a device manufacturing method, and a device that can suppress the occurrence of film formation unevenness.

【０００９】[0009]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明は、以下の構成を採用している。本発明の液
滴吐出装置は、基板上の所定領域に機能性液体を吐出す
る液滴吐出装置であって、基板に振動を付与する振動付
与装置と、機能性液体の吐出中に振動付与装置を作動さ
せる制御装置とを備えたことを特徴とするものである。
また、前記制御装置は、前記機能性液体を前記所定領域
に吐出する吐出工程中に前記振動付与装置を作動させる
構成としてもよい。In order to achieve the above object, the present invention employs the following constitutions. The droplet discharge device of the present invention is a droplet discharge device that discharges a functional liquid onto a predetermined region on a substrate, and a vibration imparting device that imparts vibration to the substrate and a vibration imparting device during the discharge of the functional liquid. And a control device for operating.
Further, the control device may be configured to operate the vibration imparting device during a discharging step of discharging the functional liquid to the predetermined region.

【００１０】従って、本発明では、吐出中に基板を振動
させることで、基板に着弾した機能性液体が乾燥する前
に、当該機能性液体を拡げることができる。そのため、
速乾性の機能性液体を用いた場合でも均一に拡げること
ができ、色ムラ、成膜ムラの発生を抑制することができ
るとともに、機能性液体の定着促進を図ることができ
る。Therefore, in the present invention, by vibrating the substrate during ejection, it is possible to spread the functional liquid before the functional liquid that has landed on the substrate dries. for that reason,
Even when a quick-drying functional liquid is used, the functional liquid can be spread evenly, color unevenness and film formation unevenness can be suppressed, and fixing of the functional liquid can be promoted.

【００１１】また、本発明は、所定領域を複数の行路で
吐出する際に、行路間で振動付与装置を作動させる構成
も採用可能である。この場合、行路における振動方向
と、行路間における振動方向とを異ならせることも可能
である。Further, in the present invention, it is possible to employ a configuration in which the vibration applying device is operated between the passages when the predetermined area is discharged by the plurality of passages. In this case, it is also possible to make the vibration direction in the path different from the vibration direction in the path.

【００１２】これにより、本発明では、行路間において
機能性液体を吐出しない間にも基板上の機能性液体を均
一に拡げることができる。また、振動方向を異ならせる
ことにより、例えば機能性液体を吐出する吐出手段と基
板との距離が短い場合や着弾精度を考慮する場合等、状
況に応じて支障なく振動を付与できる方向を選択するこ
とが可能になる。As a result, in the present invention, the functional liquid on the substrate can be spread evenly while the functional liquid is not discharged between the paths. Further, by making the vibration directions different, for example, when the distance between the ejection unit that ejects the functional liquid and the substrate is short, or when the landing accuracy is considered, a direction in which vibration can be applied without trouble is selected depending on the situation. It will be possible.

【００１３】行路における振動方向は、基板の表面に沿
う方向であり、行路間における振動方向は、機能性液体
の吐出方向であることが好ましい。It is preferable that the vibration direction in the path is along the surface of the substrate, and the vibration direction between the paths is the discharge direction of the functional liquid.

【００１４】これにより、本発明では、行路中に基板に
着弾した機能性液体を基板の表面に沿って拡げることが
でき、ヘッドと基板とが接近している場合でも行路間で
は機能性液体の吐出方向に振動を付与することで、機能
性液体をより均一に拡げることが可能になる。As a result, according to the present invention, the functional liquid that has landed on the substrate during the passage can be spread along the surface of the substrate, and even if the head and the substrate are close to each other, the functional liquid can be discharged between the passages. By imparting vibration in the ejection direction, it becomes possible to spread the functional liquid more uniformly.

【００１５】また、本発明の液滴吐出装置は、基板上の
所定領域に機能性液体を吐出した後に乾燥させる液滴吐
出装置であって、基板に振動を付与する振動付与装置
と、基板上の機能性液体の乾燥中に振動付与装置を作動
させる制御装置とを備えたことを特徴としている。Further, the droplet discharge device of the present invention is a droplet discharge device for discharging a functional liquid onto a predetermined region on a substrate and then drying the functional liquid. And a control device for operating the vibration imparting device during the drying of the functional liquid.

【００１６】これにより、本発明では、基板を振動させ
ることで基板上の雰囲気の偏り（不均一性）が緩和され
る。そのため、溶剤の蒸発速度のムラが緩和され、機能
性液体の乾燥状態の不均一性を抑えて、色ムラ、成膜ム
ラの発生を抑制することができるとともに、薬剤の反応
促進を図ることができる。As a result, in the present invention, by vibrating the substrate, the unevenness (nonuniformity) of the atmosphere on the substrate is alleviated. Therefore, unevenness in the evaporation rate of the solvent is mitigated, unevenness of the dried state of the functional liquid is suppressed, color unevenness and film formation unevenness can be suppressed, and the reaction of the drug can be promoted. it can.

【００１７】そして、本発明のデバイス製造装置は、機
能性液体を基板に吐出して基板に成膜処理を施すととも
に、吐出した機能性液体を乾燥させる液滴吐出装置を有
するデバイス製造装置であって、液滴吐出装置として上
記の液滴吐出装置が用いられることを特徴としている。The device manufacturing apparatus of the present invention is a device manufacturing apparatus having a droplet discharge device for discharging the functional liquid onto the substrate to form a film on the substrate and drying the discharged functional liquid. The above-mentioned droplet discharge device is used as the droplet discharge device.

【００１８】これにより、本発明では、液滴吐出装置に
おける色ムラ、成膜ムラの発生を抑制することができ、
成膜品質が優れたデバイスを製造することができる。As a result, in the present invention, it is possible to suppress the occurrence of color unevenness and film formation unevenness in the droplet discharge device,
It is possible to manufacture a device having excellent film formation quality.

【００１９】また、本発明のデバイスは、上記のデバイ
ス製造装置により製造されたことを特徴としている。The device of the present invention is characterized by being manufactured by the above device manufacturing apparatus.

【００２０】これにより、本発明では、成膜品質が優れ
たデバイスを得ることができる。As a result, according to the present invention, it is possible to obtain a device having excellent film forming quality.

【００２１】一方、本発明の液滴吐出方法は、基板上の
所定領域に機能性液体を吐出する吐出工程を含む液滴吐
出方法であって、吐出工程中に基板に振動を付与するこ
とを特徴としている。On the other hand, the droplet discharge method of the present invention is a droplet discharge method including a discharge step of discharging the functional liquid onto a predetermined region on the substrate, wherein vibration is applied to the substrate during the discharge step. It has a feature.

【００２２】従って、本発明では、吐出中に基板を振動
させることで、基板に着弾した機能性液体が乾燥する前
に、当該機能性液体を拡げることができる。そのため、
速乾性の機能性液体を用いた場合でも均一に拡げること
ができ、色ムラ、成膜ムラの発生を抑制することができ
るとともに、機能性液体の定着促進を図ることができ
る。Therefore, in the present invention, by vibrating the substrate during ejection, the functional liquid that has landed on the substrate can be spread before the functional liquid dries. for that reason,
Even when a quick-drying functional liquid is used, the functional liquid can be spread evenly, color unevenness and film formation unevenness can be suppressed, and fixing of the functional liquid can be promoted.

【００２３】また、本発明の液滴吐出方法は、所定領域
を複数の行路で吐出する際に、行路間で基板に振動を付
与する手順も採用可能である。この場合、行路における
振動方向と、行路間における振動方向とを異ならせるこ
とも可能である。Further, in the droplet discharge method of the present invention, when discharging a predetermined area by a plurality of paths, a procedure of applying vibration to the substrate between the paths can be adopted. In this case, it is also possible to make the vibration direction in the path different from the vibration direction in the path.

【００２４】これにより、本発明では、行路間において
機能性液体を吐出しない間にも基板上の機能性液体を均
一に拡げることができる。また、振動方向を異ならせる
ことにより、例えば機能性液体を吐出する吐出手段と基
板との距離が短い場合や着弾精度を考慮する場合等、状
況に応じて支障なく振動を付与できる方向を選択するこ
とが可能になる。As a result, in the present invention, the functional liquid on the substrate can be spread evenly while the functional liquid is not ejected between the paths. Further, by making the vibration directions different, for example, when the distance between the ejection unit that ejects the functional liquid and the substrate is short, or when the landing accuracy is considered, a direction in which vibration can be applied without trouble is selected depending on the situation. It will be possible.

【００２５】また、本発明の液滴吐出方法は、行路にお
ける振動方向が基板の表面に沿う方向であり、行路間に
おける振動方向が機能性液体の吐出方向であることが好
ましい。Further, in the droplet discharge method of the present invention, it is preferable that the vibration direction in the path is along the surface of the substrate, and the vibration direction between the paths is the discharge direction of the functional liquid.

【００２６】これにより、本発明では、行路中に基板に
着弾した機能性液体を基板の表面に沿って拡げることが
でき、ヘッドと基板とが接近している場合でも行路間で
は機能性液体の吐出方向に振動を付与することで、機能
性液体をより均一に拡げることが可能になる。As a result, in the present invention, the functional liquid that has landed on the substrate during the passage can be spread along the surface of the substrate, and even when the head and the substrate are close to each other, the functional liquid can be discharged between the passages. By imparting vibration in the ejection direction, it becomes possible to spread the functional liquid more uniformly.

【００２７】さらに、本発明の液滴吐出方法は、基板上
の所定領域に吐出した機能性液体を乾燥させる乾燥工程
を含む液滴吐出方法であって、乾燥工程中に基板に振動
を付与することを特徴としている。Further, the droplet discharge method of the present invention is a droplet discharge method including a drying step of drying the functional liquid discharged onto a predetermined region on the substrate, and the substrate is vibrated during the drying step. It is characterized by that.

【００２８】従って、本発明では、基板を振動させるこ
とで基板上の雰囲気の偏り（不均一性）が緩和される。
そのため、溶剤の蒸発速度のムラが緩和され、機能性液
体の乾燥状態の不均一性を抑えて、色ムラ、成膜ムラの
発生を抑制することができるとともに、薬剤の反応促進
を図ることができる。Therefore, in the present invention, by vibrating the substrate, the unevenness (nonuniformity) of the atmosphere on the substrate is alleviated.
Therefore, unevenness in the evaporation rate of the solvent is mitigated, unevenness of the dried state of the functional liquid is suppressed, color unevenness and film formation unevenness can be suppressed, and the reaction of the drug can be promoted. it can.

【００２９】そして、本発明のデバイス製造方法は、機
能性液体を基板に吐出するとともに、吐出した機能性液
体を乾燥させる液滴吐出処理工程を含むデバイス製造方
法であって、上記の液滴吐出方法を用いて成膜処理工程
を行うことを特徴としている。The device manufacturing method of the present invention is a device manufacturing method including a droplet discharge processing step of discharging a functional liquid onto a substrate and drying the discharged functional liquid. The method is characterized in that the film forming process is performed using the method.

【００３０】これにより、本発明では、成膜処理工程に
おける色ムラ、成膜ムラの発生を抑制することができ、
成膜品質に優れたデバイスを製造することができる。As a result, in the present invention, it is possible to suppress the occurrence of color unevenness and film formation unevenness in the film formation processing step,
It is possible to manufacture a device having excellent film formation quality.

【００３１】[0031]

【発明の実施の形態】以下、本発明の液滴吐出装置と液
滴吐出方法、およびデバイス製造装置とデバイス製造方
法並びにデバイスの実施の形態を、図１ないし図５を参
照して説明する。ここでは、本発明の液滴吐出装置を例
えば機能性液体としてのインクを用いて、液晶表示デバ
イスに対して用いられるカラーフィルター等を製造する
ためのフィルター製造装置に適用するものとして説明す
る。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of a droplet discharge apparatus and a droplet discharge method, a device manufacturing apparatus, a device manufacturing method, and a device according to the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 5. Here, the droplet discharge device of the present invention will be described as being applied to a filter manufacturing device for manufacturing a color filter or the like used for a liquid crystal display device by using, for example, ink as a functional liquid.

【００３２】図１は、フィルター製造装置（デバイス製
造装置）を構成する液滴吐出装置（インクジェット装
置）１０の概略的な外観斜視図である。このフィルタ製
造装置は、ほぼ同様の構造を有する３基の液滴吐出装置
１０を備えており、各液滴吐出装置１０は、それぞれＲ
（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各色のインクをフィルタ
ー基板に吐出する構成になっている。FIG. 1 is a schematic external perspective view of a droplet discharge device (inkjet device) 10 which constitutes a filter manufacturing device (device manufacturing device). This filter manufacturing apparatus includes three droplet discharge devices 10 having substantially the same structure, and each droplet discharge device 10 has an R
Ink of each color (red), G (green), and B (blue) is ejected to the filter substrate.

【００３３】液滴吐出装置１０は、ベース１２、第１移
動手段１４、第２移動手段１６、図示しない電子天秤
（重量測定手段）、吐出手段としてのインクジェットヘ
ッド２０、キャッピングユニット２２、クリーニングユ
ニット２４等を有している。ベース１２の上には、第１
移動手段１４、電子天秤、キャッピングユニット２２、
クリーニングユニット２４、第２移動手段１６及びイン
クが着弾した基板４８を加熱して乾燥させる加熱装置１
７が設置されている。The droplet discharge device 10 includes a base 12, a first moving means 14, a second moving means 16, an electronic balance (weight measuring means) not shown, an ink jet head 20 as a discharging means, a capping unit 22, and a cleaning unit 24. And so on. Above the base 12, the first
Moving means 14, electronic balance, capping unit 22,
A heating device 1 for heating and drying the cleaning unit 24, the second moving unit 16, and the substrate 48 on which the ink has landed.
7 is installed.

【００３４】第１移動手段１４は、好ましくはベース１
２の上に直接設置されており、しかもこの第１移動手段
１４は、Ｙ軸方向に沿って位置決めされている。これに
対して第２移動手段１６は、支柱１６Ａ、１６Ａを用い
て、ベース１２に対して立てて取り付けられており、し
かも第２移動手段１６は、ベース１２の後部１２Ａにお
いて取り付けられている。第２移動手段１６のＸ軸方向
は、第１移動手段１４のＹ軸方向とは直交する方向であ
る。Ｙ軸はベース１２の前部１２Ｂと後部１２Ａ方向に
沿った軸である。これに対してＸ軸はベース１２の左右
方向に沿った軸であり、各々水平である。The first moving means 14 is preferably the base 1.
The first moving means 14 is directly installed on the upper surface of the second position 2, and is positioned along the Y-axis direction. On the other hand, the second moving means 16 is vertically attached to the base 12 by using the columns 16A and 16A, and the second moving means 16 is attached to the rear portion 12A of the base 12. The X-axis direction of the second moving means 16 is a direction orthogonal to the Y-axis direction of the first moving means 14. The Y-axis is an axis along the front portion 12B and the rear portion 12A of the base 12. On the other hand, the X axis is an axis along the left-right direction of the base 12 and is horizontal.

【００３５】第１移動手段１４は、ガイドレール４０、
４０を有しており、第１移動手段１４は、例えば、リニ
アモータを採用することができる。このリニアモータ形
式の第１移動手段１４のスライダー４２は、ガイドレー
ル４０に沿って、Ｙ軸方向に移動して位置決め可能であ
る。The first moving means 14 includes a guide rail 40,
40, and the first moving means 14 can adopt, for example, a linear motor. The slider 42 of the linear motor type first moving means 14 can be moved along the guide rail 40 in the Y-axis direction for positioning.

【００３６】スライダー４２は、θ軸用のモータ４４を
備えている。このモータ４４は、例えばダイレクトドラ
イブモータであり、モータ４４のロータはテーブル４６
に固定されている。これにより、モータ４４に通電する
ことでロータとテーブル４６は、θ方向に沿って回転し
てテーブル４６をインデックス（回転割り出し）するこ
とができる。The slider 42 has a θ-axis motor 44. The motor 44 is, for example, a direct drive motor, and the rotor of the motor 44 is a table 46.
It is fixed to. As a result, by energizing the motor 44, the rotor and the table 46 can rotate in the θ direction to index the table 46 (rotational index).

【００３７】テーブル４６は、基板４８を位置決めし
て、しかも保持するものである。また、テーブル４６
は、吸着保持手段５０を有しており、吸着保持手段５０
が作動することにより、テーブル４６の穴４６Ａを通し
て、基板４８をテーブル４６の上に吸着して保持するこ
とができる。テーブル４６には、インクジェットヘッド
２０がインクを捨打ち或いは試し打ち（予備吐出）する
ための予備吐出エリア５２が設けられている。The table 46 positions and holds the substrate 48. Also, the table 46
Has a suction holding means 50, and the suction holding means 50
Is operated, the substrate 48 can be sucked and held on the table 46 through the hole 46A of the table 46. The table 46 is provided with a preliminary ejection area 52 for the ink-jet head 20 to discard ink or perform trial ejection (preliminary ejection).

【００３８】なお、図１では図示を省略しているが、実
際には基板４８は、図２に示すように、テーブル４６に
ピエゾ素子（振動付与装置）３１〜３３を介して載置さ
れた矩形のホルダ３０上に保持される。ピエゾ素子３１
〜３３は、制御装置２９（図３参照）の制御下でインク
吐出方向であるＺ方向にそれぞれ独立して伸縮する構成
になっており、図３に示すように、ピエゾ素子３１はホ
ルダ３０の下方（−Ｚ側）で、且つ＋Ｙ側の端縁中央部
に配置されている。また、ピエゾ素子３２、３３は、ホ
ルダ３０の下方で、且つ−Ｙ側の端縁両側に互いに間隔
をあけて配置されている。Although not shown in FIG. 1, the substrate 48 is actually placed on the table 46 via piezo elements (vibration imparting devices) 31 to 33 as shown in FIG. It is held on a rectangular holder 30. Piezo element 31
3 to 33 are configured to independently expand and contract in the Z direction, which is the ink ejection direction, under the control of the control device 29 (see FIG. 3). As shown in FIG. It is arranged at the bottom (−Z side) and in the center of the edge on the + Y side. Further, the piezo elements 32 and 33 are arranged below the holder 30 and on both sides of the end edge on the −Y side with a space therebetween.

【００３９】また、ホルダ３０の側面には、支持台３９
（図２参照；図２ではピエゾ素子３４、３５のみ図示）
を介してテーブル４６に支持されたピエゾ素子３４〜３
５、及び３６〜３８が当接状態で設けられている。ピエ
ゾ素子３４〜３５は、ホルダ３０を挟んだＸ方向両側の
中央部にそれぞれ配置され、制御装置２９の制御下で、
基板４８の表面に沿う方向であるＸ方向にそれぞれ独立
して伸縮する構成になっている。A support base 39 is provided on the side surface of the holder 30.
(See FIG. 2; in FIG. 2, only the piezo elements 34, 35 are shown)
Piezo elements 34 to 3 supported by a table 46 via
5 and 36 to 38 are provided in contact with each other. The piezo elements 34 to 35 are arranged at the central portions on both sides in the X direction with the holder 30 sandwiched therebetween, and under the control of the control device 29,
It is configured to independently expand and contract in the X direction, which is the direction along the surface of the substrate 48.

【００４０】ピエゾ素子３６は、ホルダ３０の−Ｙ側の
中央部に配置され、ピエゾ素子３７、３８は、ホルダ３
０の＋Ｙ側に互いに間隔をあけて配置されている。これ
らピエゾ素子３４〜３８は、制御装置２９の制御下で、
基板４８の表面に沿う方向であるＹ方向にそれぞれ独立
して伸縮する構成になっている。The piezo element 36 is arranged in the central portion of the holder 30 on the -Y side, and the piezo elements 37 and 38 are the holders 3.
They are arranged on the + Y side of 0 at a distance from each other. These piezo elements 34 to 38 are under the control of the control device 29.
It is configured to independently expand and contract in the Y direction, which is the direction along the surface of the substrate 48.

【００４１】なお、図示しないものの、加熱装置１７に
おいても上記テーブル４６と同様に、基板４８を保持す
るホルダ、ピエゾ素子３１〜３８と同様に配置された振
動付与装置としてのピエゾ素子が設けられている。Although not shown, the heating device 17 is also provided with a holder for holding the substrate 48 and a piezo element as a vibration imparting device arranged in the same manner as the piezo elements 31 to 38, similarly to the table 46. There is.

【００４２】第２移動手段１６は、支柱１６Ａ，１６Ａ
に固定されたコラム１６Ｂを有しており、このコラム１
６Ｂは、リニアモータ形式の第２移動手段１６を有して
いる。スライダー６０は、ガイドレール６２Ａに沿って
Ｘ軸方向に移動して位置決め可能であり、スライダー６
０は、インク吐出手段としてのインクジェットヘッド２
０を備えている。The second moving means 16 includes columns 16A and 16A.
It has a column 16B fixed to
6B has a linear motor type second moving means 16. The slider 60 is movable along the guide rail 62A in the X-axis direction and can be positioned.
0 is an inkjet head 2 as an ink ejecting means
It has 0.

【００４３】インクジェットヘッド２０は、揺動位置決
め手段としてのモータ６２，６４，６６，６８を有して
いる。モータ６２を作動すれば、インクジェットヘッド
２０は、Ｚ軸に沿って上下動して位置決め可能である。
このＺ軸はＸ軸とＹ軸に対して各々直交する方向（上下
方向）である。モータ６４を作動すると、インクジェッ
トヘッド２０は、Ｙ軸回りのβ方向に沿って揺動して位
置決め可能である。モータ６６を作動すると、インクジ
ェットヘッド２０は、Ｘ軸回りのγ方向に揺動して位置
決め可能である。モータ６８を作動すると、インクジェ
ットヘッド２０は、Ｚ軸回りのα方向に揺動して位置決
め可能である。The ink jet head 20 has motors 62, 64, 66 and 68 as swing positioning means. When the motor 62 is operated, the inkjet head 20 can move up and down along the Z axis and be positioned.
The Z axis is a direction (vertical direction) orthogonal to the X axis and the Y axis. When the motor 64 is operated, the inkjet head 20 can be positioned by swinging along the β direction around the Y axis. When the motor 66 is operated, the inkjet head 20 can be positioned by swinging in the γ direction around the X axis. When the motor 68 is operated, the inkjet head 20 can be positioned by swinging in the α direction around the Z axis.

【００４４】このように、図１のインクジェットヘッド
２０は、スライダー６０において、Ｚ軸方向に直線移動
して位置決め可能で、α、β、γに沿って揺動して位置
決め可能であり、インクジェットヘッド２０のインク吐
出面２０Ｐは、テーブル４６側の基板４８に対して正確
に位置あるいは姿勢をコントロールすることができる。
なお、インクジェットヘッド２０のインク吐出面２０Ｐ
には、それぞれがインクを吐出する複数（例えば１２０
個）のノズル（吐出口）が設けられている。As described above, the inkjet head 20 of FIG. 1 can be positioned by linearly moving in the Z-axis direction on the slider 60, and can be positioned by swinging along α, β and γ. The ink ejection surface 20P of 20 can accurately control the position or orientation with respect to the substrate 48 on the table 46 side.
The ink ejection surface 20P of the inkjet head 20
Includes a plurality of inks (for example, 120) each of which ejects ink.
Nozzle (ejection port) is provided.

【００４５】インクジェットヘッド２０は、例えば、ピ
エゾ素子（圧電素子）を用いたヘッドであり、複数のノ
ズルに対してそれぞれこのピエゾ素子が設けられてい
る。そして、各ピエゾ素子が印加されて各ノズル毎にイ
ンク室を拡大または縮小することで、ノズルからのイン
ク吐出を制御することができる。The ink jet head 20 is, for example, a head using a piezo element (piezoelectric element), and the piezo element is provided for each of a plurality of nozzles. Then, by applying each piezo element and enlarging or reducing the ink chamber for each nozzle, ink ejection from the nozzle can be controlled.

【００４６】図１に戻り、電子天秤は、インクジェット
ヘッド２０のノズルから吐出されたインク滴の１滴の重
量を測定して管理するために、例えば、インクジェット
ヘッド２０のノズルから、５０００滴分のインク滴を受
ける。電子天秤は、この５０００滴のインク滴の重量を
５０００で割ることにより、１滴のインク滴の重量を正
確に測定することができる。このインク滴の測定量に基
づいて、インクジェットヘッド２０から吐出するインク
滴の量を最適にコントロールすることができる。Returning to FIG. 1, the electronic balance measures, for example, the weight of one ink droplet ejected from the nozzle of the ink jet head 20, and manages the weight of, for example, 5,000 droplets from the nozzle of the ink jet head 20. Receive ink drops. The electronic balance can accurately measure the weight of one ink drop by dividing the weight of the 5000 ink drops by 5000. The amount of ink droplets ejected from the inkjet head 20 can be optimally controlled based on the measured amount of ink droplets.

【００４７】クリーニングユニット２４は、インクジェ
ットヘッド２０のノズル等のクリーニングをフィルター
製造工程中や待機時に定期的にあるいは随時に行うこと
ができる。キャッピングユニット２２は、インクジェッ
トヘッド２０のインク吐出面２０Ｐが乾燥しないように
するために、フィルターを製造しない待機時にこのイン
ク吐出面２０Ｐが外気に触れないようにするものであ
る。The cleaning unit 24 can clean the nozzles of the ink jet head 20 or the like periodically or at any time during the filter manufacturing process or during standby. The capping unit 22 prevents the ink ejection surface 20P of the inkjet head 20 from coming into contact with the outside air during standby when the filter is not manufactured, in order to prevent the ink ejection surface 20P from drying.

【００４８】上記の構成の液滴吐出装置１０の中、ピエ
ゾ素子３１〜３８の駆動による振動付与に関してまず説
明する。各ピエゾ素子３１〜３８は、制御装置２９から
所定の周波数、駆動波形で駆動電圧を印加されると、こ
の駆動電圧に応じた周期、ストロークで伸縮し、当接す
るホルダ３０を介して基板４８にこの伸縮を伝達する。
換言すると、ピエゾ素子３１〜３８は駆動電圧に応じた
周波数、振幅の振動を基板４８に付与することになる。In the droplet discharge device 10 having the above-mentioned structure, the vibration imparting by driving the piezo elements 31 to 38 will be described first. When a drive voltage is applied from the control device 29 at a predetermined frequency and drive waveform, each of the piezo elements 31 to 38 expands and contracts in a cycle and stroke corresponding to the drive voltage, and is applied to the substrate 48 via the holder 30 that abuts. This expansion and contraction is transmitted.
In other words, the piezo elements 31 to 38 give the substrate 48 vibration of a frequency and an amplitude according to the drive voltage.

【００４９】例えば、ピエゾ素子３１〜３３を同一の駆
動電圧（以下、周波数、振幅、位相等の振動パラメータ
と称する）で駆動した場合には、基板４８にＺ方向の振
動を付与することができ、ピエゾ素子３２、３３を同一
の振動パラメータで駆動し、ピエゾ素子３１をこれとは
異なる振動パラメータで駆動した場合には基板４８に、
Ｘ軸と平行な軸周りの回転方向の振動を付与することが
できる。さらに、これらピエゾ素子３１〜３３の振動パ
ラメータを調整することで、基板４８にＹ軸と平行な軸
周りの回転方向の振動を付与することができる。For example, when the piezo elements 31 to 33 are driven by the same drive voltage (hereinafter referred to as vibration parameters such as frequency, amplitude and phase), the substrate 48 can be vibrated in the Z direction. , When the piezo elements 32 and 33 are driven with the same vibration parameter and the piezo element 31 is driven with a vibration parameter different from this, on the substrate 48,
Vibration in the rotation direction about an axis parallel to the X axis can be applied. Furthermore, by adjusting the vibration parameters of these piezo elements 31 to 33, it is possible to impart vibration to the substrate 48 in the rotational direction about the axis parallel to the Y axis.

【００５０】また、位相をずらせた振動パラメータでピ
エゾ素子３４、３５を駆動した場合には、基板４８にＸ
方向の振動を付与することができ、ピエゾ素子３７、３
８を同一の振動パラメータで駆動し、ピエゾ素子３６を
これと位相をずらせた振動パラメータで駆動した場合に
は基板４８にＹ方向の振動を付与することができる。さ
らに、これらピエゾ素子３６〜３８の振動パラメータを
調整することで、基板４８にＺ軸と平行な軸周りの回転
方向の振動を付与することができる。When the piezo elements 34 and 35 are driven by the vibration parameters whose phases are shifted, X is applied to the substrate 48.
Direction vibration can be applied, and the piezoelectric elements 37, 3
When 8 is driven with the same vibration parameter and the piezo element 36 is driven with a vibration parameter whose phase is shifted, a vibration in the Y direction can be applied to the substrate 48. Further, by adjusting the vibration parameters of the piezo elements 36 to 38, it is possible to impart vibration to the substrate 48 in the rotational direction about the axis parallel to the Z axis.

【００５１】すなわち、ピエゾ素子３１〜３８の振動パ
ラメータを制御することで、基板４８に対して、Ｘ方
向、Ｙ方向、Ｚ方向、Ｘ軸周りの回転方向、Ｙ軸周りの
回転方向、Ｚ軸周りの回転方向の６自由度で振動を付与
することが可能である。なお、加熱装置１７において
も、ピエゾ素子の駆動により、基板４８に対して６自由
度で振動を付与可能である。That is, by controlling the vibration parameters of the piezo elements 31 to 38, the X direction, the Y direction, the Z direction, the rotation direction around the X axis, the rotation direction around the Y axis, and the Z axis with respect to the substrate 48. It is possible to apply vibration with 6 degrees of freedom in the rotational direction of the surroundings. Even in the heating device 17, it is possible to apply vibration to the substrate 48 with 6 degrees of freedom by driving the piezo element.

【００５２】続いて、成膜処理工程について説明する。
作業者がテーブル４６の前端側から基板４８を第１移動
手段１４のテーブル４６の上に給材すると、この基板４
８はテーブル４６に対して吸着保持されて位置決めされ
る。そして、モータ４４が作動して、基板４８の端面が
Ｙ軸方向に並行になるように設定される。Next, the film forming process will be described.
When an operator supplies the substrate 48 onto the table 46 of the first moving means 14 from the front end side of the table 46, the substrate 4
8 is suction-held and positioned with respect to the table 46. Then, the motor 44 operates to set the end surface of the substrate 48 so as to be parallel to the Y-axis direction.

【００５３】続いて、インクジェットヘッド２０がＸ軸
方向に沿って移動して、電子天秤の上部に位置決めされ
る。そして、指定滴数（指定のインク滴の数）の吐出を
行う。これにより、電子天秤は、たとえば５０００滴の
インクの重量を計測して、インク滴１滴当たりの重量を
計算する。そして、インク滴の１滴当たりの重量が予め
定められている適正範囲に入っているかどうかを判断
し、適正範囲外であればピエゾ素子に対する印加電圧の
調整等を行って、インク滴の１滴当たりの重量を適正に
納める。Subsequently, the ink jet head 20 moves along the X-axis direction and is positioned above the electronic balance. Then, the specified number of drops (the specified number of ink drops) is ejected. Thereby, the electronic balance measures the weight of, for example, 5000 drops of ink, and calculates the weight per ink drop. Then, it is determined whether or not the weight per ink drop is within a predetermined appropriate range, and if it is out of the appropriate range, the applied voltage to the piezo element is adjusted, and the like. Pay the weight per hit properly.

【００５４】インク滴の１滴当たりの重量が適正な場合
には、基板４８が第１移動手段１４よりＹ軸方向に適宜
に移動して位置決めされるとともに、インクジェットヘ
ッド２０が第２移動手段１６によりＸ軸方向に適宜移動
して位置決めされる。そして、インクジェットヘッド２
０は、予備吐出エリア５２（吸収材５４）に対して全ノ
ズルからインクを予備吐出した後に、基板４８に対して
Ｙ軸方向に所定の行路を相対移動して（実際には、基板
４８がインクジェットヘッド２０に対してＹ方向に移動
する）、基板４８上の所定領域に対して所定のノズルか
ら所定幅でインクを吐出する（吐出工程）。インクジェ
ットヘッド２０と基板４８との一回の相対移動が終了す
ると、インクジェットヘッド２０が基板４８に対してＸ
軸方向に所定量ステップ移動し、その後、基板４８がイ
ンクジェットヘッド２０に対して別の行路を移動する間
にインクを吐出する。そして、この動作を複数回繰り返
すことにより、液滴吐出領域全体にインクを吐出して成
膜することができる。When the weight of each ink drop is appropriate, the substrate 48 is appropriately moved and positioned in the Y-axis direction by the first moving means 14, and the ink jet head 20 is moved by the second moving means 16. With this, it is appropriately moved and positioned in the X-axis direction. And the inkjet head 2
In the case of 0, after the ink is preliminarily ejected from all the nozzles to the preparatory ejection area 52 (absorbent material 54), a predetermined path is moved relative to the substrate 48 in the Y-axis direction (actually, Ink is moved in the Y direction with respect to the inkjet head 20), and ink is ejected with a predetermined width from a predetermined nozzle onto a predetermined region on the substrate 48 (ejection step). When the relative movement of the inkjet head 20 and the substrate 48 is completed once, the inkjet head 20 moves toward the substrate 48 in the X direction.
Ink is ejected while the substrate 48 is stepwise moved by a predetermined amount and then the substrate 48 moves in another path with respect to the inkjet head 20. Then, by repeating this operation a plurality of times, ink can be ejected to form a film on the entire droplet ejection area.

【００５５】このように上記吐出工程では、複数の行路
でインクの吐出が行われるが、各行路においてホルダ３
０を介して基板４８に、例えばＸ方向（又は／及びＹ方
向）の振動を付与する。基板４８とインクジェットヘッ
ド２０との間の距離が短いときは、Ｚ方向に基板４８を
振動させるとこれらが接触する虞があるが、基板４８の
表面に沿う方向であればこの問題を回避できる。In this way, in the ejection step, ink is ejected in a plurality of paths, and the holder 3 is provided in each path.
Vibration in the X direction (or / and the Y direction) is applied to the substrate 48 via 0. When the distance between the substrate 48 and the inkjet head 20 is short, they may come into contact with each other when the substrate 48 is vibrated in the Z direction, but this problem can be avoided if the direction is along the surface of the substrate 48.

【００５６】また、上記ステップ移動を行う行路間で
は、基板４８の上方からインクジェットヘッド２０が退
避している状態であり、これらが接触しないので、基板
４８にＺ方向の振動を付与する。これにより、基板４８
に着弾したインクにＸ方向及びＺ方向の複数方向の振動
を付与することができ、インクをより均一に拡がらせる
ことが可能になる。In addition, the inkjet head 20 is retracted from above the substrate 48 between the paths for performing the above-mentioned step movement, and since these do not come into contact with each other, vibration in the Z direction is applied to the substrate 48. This allows the substrate 48
Vibrations in a plurality of X and Z directions can be applied to the ink that has landed on the ink, and the ink can be spread more uniformly.

【００５７】続いて、図４および図５を参照して、成膜
処理によりカラーフィルターを製造する例について説明
する。Next, an example of manufacturing a color filter by a film forming process will be described with reference to FIGS.

【００５８】図４の基板４８は、透明基板であり適度の
機械的強度と共に光透過性の高いものを用いる。基板４
８としては、例えば、透明ガラス基板、アクリルガラ
ス、プラスチック基板、プラスチックフィルム及びこれ
らの表面処理品等が適用できる。The substrate 48 shown in FIG. 4 is a transparent substrate having a suitable mechanical strength and a high light transmittance. Board 4
As 8, a transparent glass substrate, an acrylic glass, a plastic substrate, a plastic film, a surface-treated product thereof, or the like can be applied.

【００５９】たとえば、図５に示すように長方形形状の
基板４８上に、生産性をあげる観点から複数個のカラー
フィルター領域１０５をマトリックス状に形成する。こ
れらのカラーフィルター領域１０５は、後でガラス４８
を切断することで、液晶表示装置に適合するカラーフィ
ルターとして用いることができる。For example, as shown in FIG. 5, a plurality of color filter regions 105 are formed in a matrix on a rectangular substrate 48 from the viewpoint of improving productivity. These color filter areas 105 will later be formed on the glass 48.
By cutting, it can be used as a color filter suitable for a liquid crystal display device.

【００６０】カラーフィルター領域１０５には、たとえ
ば図５に示すように、ＲのインクとＧのインクおよびＢ
のインクを所定のパターンで形成して配置している。こ
の形成パターンとしては、図に示すように従来公知のス
トライプ型のほかに、モザイク型やデルタ型あるいはス
クウェアー型等がある。In the color filter area 105, as shown in FIG. 5, for example, R ink, G ink and B ink are used.
Ink is formed and arranged in a predetermined pattern. As the formation pattern, as shown in the figure, in addition to the conventionally known stripe type, there are a mosaic type, a delta type, a square type, and the like.

【００６１】図４は、基板４８に対してカラーフィルタ
ー領域１０５を形成する工程の一例を示している。FIG. 4 shows an example of a process of forming the color filter region 105 on the substrate 48.

【００６２】図４（ａ）では、透明の基板４８の一方の
面に対して、ブラックマトリックス１１０を形成したも
のである。カラーフィルターの基礎となる基板４８の上
には、光透過性のない樹脂（好ましくは黒色）を、スピ
ンコート等の方法で、所定の厚さ（たとえば２μｍ程
度）に塗布して、フォトリソグラフィー法等の方法でマ
トリックス状にブラックマトリックス１１０を設ける。
ブラックマトリックス１１０の格子で囲まれる最小の表
示要素がフィルターエレメントといわれており、たとえ
ばＸ軸方向の巾３０μｍ、Ｙ軸方向の長さ１００μｍ程
度の大きさの窓である。In FIG. 4A, the black matrix 110 is formed on one surface of the transparent substrate 48. A resin (preferably black) having no light transmission property is applied to a predetermined thickness (for example, about 2 μm) by a method such as spin coating on the substrate 48 which is the base of the color filter, and the photolithography method is applied. The black matrix 110 is provided in a matrix form by the above method.
The smallest display element surrounded by the lattice of the black matrix 110 is called a filter element, and is, for example, a window having a width of 30 μm in the X-axis direction and a length of about 100 μm in the Y-axis direction.

【００６３】ブラックマトリックス１１０を形成した後
は、たとえば、ヒータにより熱を与えることで、基板４
８の上の樹脂を焼成する。After the black matrix 110 is formed, for example, heat is applied by a heater so that the substrate 4
Bake the resin above 8.

【００６４】図４（ｂ）に示すように、インク滴９９
は、フィルターエレメント１１２に着弾する。インク滴
９９の量は、加熱工程におけるインクの体積減少を考慮
した充分な量である。As shown in FIG. 4B, the ink droplet 99
Land on the filter element 112. The amount of the ink droplet 99 is a sufficient amount in consideration of the volume reduction of the ink in the heating process.

【００６５】図４（ｃ）の加熱工程では、カラーフィル
ター上のすべてのフィルターエレメント１１２に対して
インク滴９９が充填されると、ヒータを用いて加熱処理
を行う。基板４８は、所定の温度（例えば７０℃程度）
に加熱して乾燥される。インクの溶媒が蒸発すると、イ
ンクの体積が減少する。体積減少の激しい場合には、カ
ラーフィルターとして充分なインク膜の厚みが得られる
まで、インク吐出工程と、加熱工程とを繰り返す。この
処理により、インクの溶媒が蒸発して、最終的にインク
の固形分のみが残留して膜化する。In the heating step of FIG. 4C, when all the filter elements 112 on the color filter are filled with the ink droplets 99, the heating process is performed using the heater. The substrate 48 has a predetermined temperature (for example, about 70 ° C.)
Heated to dry. The evaporation of the ink solvent reduces the volume of the ink. When the volume is drastically reduced, the ink discharging step and the heating step are repeated until a sufficient thickness of the ink film for the color filter is obtained. By this treatment, the solvent of the ink evaporates, and finally only the solid content of the ink remains to form a film.

【００６６】図４（ｄ）の保護膜形成工程では、インク
滴９９を完全に乾燥させるために、所定の温度で所定時
間加熱を行う。乾燥が終了するとインク膜が形成された
カラーフィルターの基板４８の保護及びフィルター表面
の平坦化のために、保護膜１２０を形成する。この保護
膜１２０の形成には、たとえば、スピンコート法、ロー
ルコート法、リッピング法等の方法を採用することがで
きる。In the protective film forming step shown in FIG. 4D, heating is performed at a predetermined temperature for a predetermined time in order to completely dry the ink droplet 99. When the drying is completed, a protective film 120 is formed to protect the color filter substrate 48 having the ink film formed thereon and to flatten the filter surface. For forming the protective film 120, for example, a method such as a spin coating method, a roll coating method or a ripping method can be adopted.

【００６７】なお、上述した基板４８に対する加熱・乾
燥工程中には、既述したインク吐出工程と同様に、基板
４８を保持するホルダに振動を付与することで基板４８
を振動させる。この振動により、基板４８上の雰囲気が
均一化され、基板４８上の位置に応じた溶剤の蒸発速度
のバラツキを抑えることができ、均一に乾燥させること
が可能になる。この場合、基板４８の振動方向を限定す
る要因が存在しないため、基板４８上の雰囲気に偏りが
生じることを防止する観点から、複数方向の振動を複合
的に付与することが望ましい。During the heating / drying process for the substrate 48, the holder for holding the substrate 48 is vibrated in the same manner as the ink ejecting process described above.
Vibrate. Due to this vibration, the atmosphere on the substrate 48 is made uniform, variation in the evaporation rate of the solvent depending on the position on the substrate 48 can be suppressed, and uniform drying can be achieved. In this case, since there is no factor that limits the vibration direction of the substrate 48, it is desirable to apply vibrations in a plurality of directions in combination from the viewpoint of preventing the atmosphere on the substrate 48 from being biased.

【００６８】図４（ｅ）の透明電極形成工程では、スパ
ッタ法や真空吸着法等の処方を用いて、透明電極１３０
を保護膜１２０の全面にわたって形成する。In the transparent electrode forming step of FIG. 4 (e), the transparent electrode 130 is formed by using a recipe such as a sputtering method or a vacuum adsorption method.
Are formed over the entire surface of the protective film 120.

【００６９】図４（ｆ）のパターニング工程では、透明
電極１３０は、さらにフィルターエレメント１１２の開
口部に対応させた画素電極にパターニングされる。In the patterning step of FIG. 4F, the transparent electrode 130 is further patterned into pixel electrodes corresponding to the openings of the filter element 112.

【００７０】なお、液晶表示パネルの駆動にＴＦＴ（Ｔ
ｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）等を用いる場
合ではこのパターニングは不用である。また、上記成膜
処理の間には、定期的あるいは随時クリーニングユニッ
ト２４を用いてインクジェットヘッド２０のインク吐出
面２０Ｐをワイピングすることが望ましい。It should be noted that the TFT (T
This patterning is not necessary when using a thin film transistor or the like. In addition, it is desirable to wipe the ink ejection surface 20P of the inkjet head 20 by using the cleaning unit 24 regularly or as needed during the film forming process.

【００７１】以上のように、本実施の形態では、インク
の吐出中に基板４８に振動を付与しているので、速乾性
のインクを用いた場合でも、基板４８に着弾したインク
が乾燥する前にインクを拡げることができるため、イン
ク定着の促進や、膜厚の均一化が図れる。そのため、本
実施の形態では、色ムラ、成膜ムラの発生を抑制するこ
とができ、成膜品質に優れたカラーフィルター及び液晶
表示デバイスを得ることが可能になる。As described above, in this embodiment, since the substrate 48 is vibrated during the ink ejection, even when the quick-drying ink is used, the ink landed on the substrate 48 is not dried yet. Since the ink can be spread over the entire surface, it is possible to promote ink fixing and make the film thickness uniform. Therefore, in the present embodiment, it is possible to suppress the occurrence of color unevenness and film formation unevenness, and it is possible to obtain a color filter and a liquid crystal display device having excellent film formation quality.

【００７２】また、本実施の形態では、吐出工程におい
て行路間でも基板４８に振動を付与しているので、イン
クの均一な拡がりを一層促進することができる。しか
も、インク吐出時の行路における振動方向と、行路間に
おける振動方向を異ならせることで、インクの均一化を
より図ることが可能になっている。特に、本実施の形態
では、吐出時の行路では基板４８の表面に沿った振動を
付与し、行路間ではＺ方向に振動を付与しているので、
インクジェットヘッド２０と基板４８とが接近している
場合でも、インクの均一化をより図ることが可能であ
る。Further, in the present embodiment, since the substrate 48 is vibrated even between the paths in the ejection step, the uniform spread of the ink can be further promoted. Moreover, by making the vibration direction in the path at the time of ink ejection different from the vibration direction in the path, it is possible to achieve more uniform ink. In particular, in the present embodiment, since the vibration along the surface of the substrate 48 is applied in the path during ejection and the vibration is applied in the Z direction between the paths,
Even when the inkjet head 20 and the substrate 48 are close to each other, it is possible to make the ink uniform.

【００７３】加えて、本実施の形態では、インクが着弾
した基板４８を乾燥する工程でも、基板４８に振動を付
与しているので、基板４８上の雰囲気を均一化して、基
板４８上の位置に応じた溶剤の蒸発速度のバラツキを抑
えることができるとともに、薬剤の反応促進も図ること
ができる。そのため、均一な乾燥が可能になり、乾燥の
バラツキに起因する色ムラ、成膜ムラの発生を抑制する
ことができる。In addition, in this embodiment, since the substrate 48 is vibrated even in the step of drying the substrate 48 on which the ink has landed, the atmosphere on the substrate 48 is made uniform and the position on the substrate 48 is made uniform. It is possible to suppress the variation in the evaporation rate of the solvent according to the above, and to promote the reaction of the drug. Therefore, uniform drying is possible, and it is possible to suppress the occurrence of color unevenness and film formation unevenness due to the unevenness of drying.

【００７４】なお、上記実施の形態では、インク吐出時
の行路で基板４８の表面に沿う方向の振動を付与し、行
路間でＺ方向に振動を付与する構成としたが、これに限
定されるものではなく、基板４８とインクジェットヘッ
ド２０との間の距離が充分確保されている場合は、イン
ク吐出中でも基板４８にＺ方向の振動を付与することが
好ましい。この場合、インクがＺ方向に沿って吐出され
れば、基板４８の振動に起因する着弾精度の低下を回避
することが可能である。In the above-described embodiment, vibration is applied in the direction along the surface of the substrate 48 in the path when ink is ejected, and vibration is applied in the Z direction between the paths. However, the invention is not limited to this. However, if the distance between the substrate 48 and the inkjet head 20 is sufficiently secured, it is preferable to apply vibration in the Z direction to the substrate 48 even during ink ejection. In this case, if the ink is ejected along the Z direction, it is possible to avoid a decrease in the landing accuracy due to the vibration of the substrate 48.

【００７５】なお、本発明は、上記実施の形態に限定さ
れず、特許請求の範囲を逸脱しない範囲で種々の変更を
行うことができる。The present invention is not limited to the above embodiment, and various changes can be made without departing from the scope of the claims.

【００７６】本発明のデバイス製造装置は、たとえば液
晶表示デバイス用のカラーフィルターの製造に限定され
るものではなく、たとえば、ＥＬ（エレクトロルミネッ
センス）表示デバイスに応用が可能である。ＥＬ表示デ
バイスは、蛍光性の無機および有機化合物を含む薄膜
を、陰極と陽極とで挟んだ構成を有し、前記薄膜に電子
および正孔（ホール）を注入して再結合させることによ
り励起子（エキシトン）を生成させ、このエキシトンが
失活する際の光の放出（蛍光・燐光）を利用して発光さ
せる素子である。こうしたＥＬ表示素子に用いられる蛍
光性材料のうち、赤、緑および青色の発光色を呈する材
料を本発明のデバイス製造装置を用いて、ＴＦＴ等の素
子基板上にパターニングすることで、自発光フルカラー
ＥＬ表示デバイスを製造することができる。本発明にお
けるデバイスの範囲にはこのようなＥＬ表示デバイスを
も含むものである。The device manufacturing apparatus of the present invention is not limited to the manufacture of color filters for liquid crystal display devices, but can be applied to EL (electroluminescence) display devices, for example. An EL display device has a structure in which a thin film containing a fluorescent inorganic and organic compound is sandwiched between a cathode and an anode, and excitons are generated by injecting electrons and holes into the thin film and recombining them. It is an element that produces (exciton) and emits light by utilizing the emission of light (fluorescence / phosphorescence) when the exciton is deactivated. Of the fluorescent materials used for such EL display elements, materials exhibiting emission colors of red, green, and blue are patterned on an element substrate such as a TFT by using the device manufacturing apparatus of the present invention to obtain self-luminous full color. An EL display device can be manufactured. The scope of the device in the present invention includes such an EL display device.

【００７７】この場合、本発明のデバイス製造装置は、
ＥＬ材料が付着しやすいように、樹脂レジスト、画素電
極および下層となる層の表面に対し、プラズマ、ＵＶ処
理、カップリング等の表面処理を行う工程を有するもの
であってもよい。そして、本発明のデバイス製造装置を
用いて製造したＥＬ表示デバイスは、セグメント表示や
全面同時発光の静止画表示、例えば絵、文字、ラベル等
といったローインフォメーション分野への応用、または
点・線・面形状をもった光源としても利用することがで
きる。さらに、パッシブ駆動の表示素子をはじめ、ＴＦ
Ｔ等のアクティブ素子を駆動に用いることで、高輝度で
応答性の優れたフルカラー表示デバイスを得ることが可
能である。さらに、本装置のインクジェットパターニン
グ技術に金属材料や絶縁材料を供すれば、金属配線や絶
縁膜等のダイレクトな微細パターニングが可能となり、
新規な高機能デバイスの作製にも応用できる。すなわ
ち、本発明で用いられる機能性液体には、金属等の微粒
子を含有する液状体も含まれる。In this case, the device manufacturing apparatus of the present invention is
It may have a step of performing a surface treatment such as plasma, UV treatment, coupling or the like on the surface of the resin resist, the pixel electrode and the lower layer so that the EL material is easily attached. The EL display device manufactured by using the device manufacturing apparatus of the present invention is applied to the low information field such as segment display or full-screen simultaneous light emission, for example, pictures, characters, labels, or dots / lines / planes. It can also be used as a light source having a shape. In addition, passive drive display elements, TF
By using an active element such as T for driving, it is possible to obtain a full-color display device having high brightness and excellent responsiveness. Furthermore, if a metal material or an insulating material is used for the inkjet patterning technology of this device, direct fine patterning of metal wiring, insulating film, etc. becomes possible,
It can also be applied to the production of new high-performance devices. That is, the functional liquid used in the present invention also includes a liquid containing fine particles such as metal.

【００７８】また、図示した液滴吐出装置のインクジェ
ットヘッド２０は、Ｒ（赤）．Ｇ（緑）．Ｂ（青）の内
の１つの種類のインクを吐出することができるようにな
っているが、この内の２種類あるいは３種類のインクを
同時に吐出することももちろんできる。また、液滴吐出
装置１０の第１移動手段１４と第２移動手段１６はリニ
アモータを用いているがこれに限らず他の種類のモータ
やアクチュエータを用いることもできる。Further, the ink jet head 20 of the illustrated droplet discharge device is R (red). G (green). Although one type of ink of B (blue) can be ejected, it is of course possible to eject two or three types of ink among them. Further, although the first moving means 14 and the second moving means 16 of the droplet discharge device 10 use linear motors, the invention is not limited to this, and other types of motors and actuators can be used.

【００７９】[0079]

【発明の効果】以上説明したように、本発明では、速乾
性の機能性液体を用いた場合でも、色ムラ、成膜ムラの
発生を抑制することができ、成膜品質に優れたデバイス
を得ることが可能になる。As described above, according to the present invention, even when a quick-drying functional liquid is used, it is possible to suppress the occurrence of color unevenness and film formation unevenness, and to provide a device excellent in film formation quality. It will be possible to obtain.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】 本発明のフィルター製造装置を構成する液
滴吐出装置の概略的な外観斜視図である。FIG. 1 is a schematic external perspective view of a droplet discharge device that constitutes a filter manufacturing apparatus of the present invention.

【図２】 ホルダがピエゾ素子を介してテーブルに設
置された部分断面図である。FIG. 2 is a partial cross-sectional view in which a holder is installed on a table via a piezo element.

【図３】 ホルダとピエゾ素子との配置関係を示す図
である。FIG. 3 is a diagram showing an arrangement relationship between a holder and a piezo element.

【図４】 （ａ）〜（ｆ）は、基板を用いてカラーフ
ィルターを製造する手順の一例を示す図である。4A to 4F are diagrams showing an example of a procedure for manufacturing a color filter using a substrate.

【図５】 基板と基板上のカラーフィルター領域の一
部を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a substrate and a part of a color filter region on the substrate.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１０ 液滴吐出装置（インクジェット装置） ２９ 制御装置 ３１〜３８ ピエゾ素子（振動付与装置） ４８ 基板 10 Droplet ejection device (inkjet device) 29 Control device 31-38 Piezo element (vibration imparting device) 48 substrates

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０２Ｂ 5/20 １０１ Ｂ４１Ｊ 3/04 １０１Ｚ Ｆターム(参考） 2C056 EA24 FB01 2H048 BA02 BA11 BA55 BA64 BB02 BB37 BB42 4D075 AC06 AC09 AC63 AC82 AC92 BB12Y BB12Z BB24Z CA48 DA04 DA06 DB13 DB43 DC24 EA07 4F041 AA02 AA05 AB02 BA10 BA56 4F042 AA02 AA10 DB04 DB17 DD41 DF09 DF33 Front page continuation (51) Int.Cl. ⁷ Identification code FI theme code (reference) G02B 5/20 101 B41J 3/04 101Z F term (reference) 2C056 EA24 FB01 2H048 BA02 BA11 BA55 BA64 BB02 BB37 BB42 4D075 AC06 AC09 AC63 AC82 AC92 BB12Y BB12Z BB24Z CA48 DA04 DA06 DB13 DB43 DC24 EA07 4F041 AA02 AA05 AB02 BA10 BA56 4F042 AA02 AA10 DB04 DB17 DD41 DF09 DF33

Claims (14)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 基板上の所定領域に機能性液体を吐出
する液滴吐出装置であって、 前記基板に振動を付与する振動付与装置と、 前記振動付与装置を作動させる制御装置とを備えたこと
を特徴とする液滴吐出装置。1. A droplet ejection device for ejecting a functional liquid onto a predetermined region of a substrate, comprising: a vibration imparting device for imparting vibration to the substrate; and a controller for operating the vibration imparting device. A droplet discharge device characterized by the above. 【請求項２】 請求項１記載の液滴吐出装置におい
て、 前記所定領域を複数の行路で吐出する際に、前記行路間
で前記振動付与装置を作動させることを特徴とする液滴
吐出装置。2. The droplet discharge device according to claim 1, wherein when the predetermined region is discharged by a plurality of paths, the vibration applying device is operated between the paths. 【請求項３】 請求項２記載の液滴吐出装置におい
て、 前記行路における振動方向と、前記行路間における振動
方向とを異ならせることを特徴とする液滴吐出装置。3. The droplet discharge device according to claim 2, wherein a vibration direction in the path and a vibration direction in the path are different from each other. 【請求項４】 請求項３記載の液滴吐出装置におい
て、 前記行路における振動方向は、前記基板の表面に沿う方
向であり、 前記行路間における振動方向は、前記機能性液体の吐出
方向であることを特徴とする液滴吐出装置。4. The droplet discharge device according to claim 3, wherein the vibration direction in the path is a direction along the surface of the substrate, and the vibration direction between the paths is a discharge direction of the functional liquid. A droplet discharge device characterized by the above. 【請求項５】 基板上の所定領域に機能性液体を吐出
した後に乾燥させる液滴吐出装置であって、 前記基板に振動を付与する振動付与装置と、 前記基板上の機能性液体の乾燥中に前記振動付与装置を
作動させる制御装置とを備えたことを特徴とする液滴吐
出装置。5. A droplet discharge device for discharging a functional liquid onto a predetermined area of a substrate and then drying the droplet, wherein the vibration applying device applies vibration to the substrate, and the functional liquid on the substrate is being dried. And a control device for operating the vibration applying device. 【請求項６】 機能性液体を基板に吐出して前記基板
に成膜処理を施すとともに、吐出した前記機能性液体を
乾燥させる液滴吐出装置を有するデバイス製造装置であ
って、 前記液滴吐出装置として、請求項１から請求項５のいず
れか１項に記載された液滴吐出装置を用いて前記基板に
振動を付与することを特徴とするデバイス製造装置。6. A device manufacturing apparatus having a droplet discharge device for discharging a functional liquid onto a substrate to form a film on the substrate and drying the discharged functional liquid. A device manufacturing apparatus, wherein a vibration is applied to the substrate by using the droplet discharge apparatus according to any one of claims 1 to 5 as an apparatus. 【請求項７】 請求項６記載のデバイス製造装置によ
り製造されたことを特徴とするデバイス。7. A device manufactured by the device manufacturing apparatus according to claim 6. 【請求項８】 基板上の所定領域に機能性液体を吐出
する吐出工程を含む液滴吐出方法であって、 前記吐出工程中に前記基板に振動を付与することを特徴
とする液滴吐出方法。8. A droplet discharge method including a discharge step of discharging a functional liquid onto a predetermined region on a substrate, wherein the substrate is vibrated during the discharge step. . 【請求項９】 請求項８記載の液滴吐出方法におい
て、 前記所定領域を複数の行路で吐出する際に、前記行路間
で前記振動を付与することを特徴とする液滴吐出方法。9. The droplet discharging method according to claim 8, wherein when the predetermined region is discharged by a plurality of paths, the vibration is applied between the paths. 【請求項１０】 請求項９記載の液滴吐出方法におい
て、 前記行路における振動方向と、前記行路間における振動
方向とを異ならせることを特徴とする液滴吐出方法。10. The droplet discharge method according to claim 9, wherein a vibration direction in the path and a vibration direction in the path are different from each other. 【請求項１１】 請求項１０記載の液滴吐出方法にお
いて、 前記行路における振動方向は、前記基板の表面に沿う方
向であり、 前記行路間における振動方向は、前記機能性液体の吐出
方向であることを特徴とする液滴吐出方法。11. The droplet discharge method according to claim 10, wherein the vibration direction in the path is a direction along the surface of the substrate, and the vibration direction between the paths is a discharge direction of the functional liquid. A droplet discharge method characterized by the above. 【請求項１２】 基板上の所定領域に吐出した機能性
液体を乾燥させる乾燥工程を含む液滴吐出方法であっ
て、 前記乾燥工程中に前記基板に振動を付与することを特徴
とする液滴吐出方法。12. A droplet discharge method including a drying step of drying a functional liquid discharged onto a predetermined region on a substrate, wherein vibration is applied to the substrate during the drying step. Discharge method. 【請求項１３】 機能性液体を基板に吐出するととも
に、吐出した前記機能性液体を乾燥させる成膜処理工程
を含むデバイス製造方法であって、 請求項８から請求項１２のいずれか１項に記載された液
滴吐出方法を用いて前記成膜処理工程を行うことを特徴
とするデバイス製造方法。13. A device manufacturing method, comprising: a film forming process of discharging a functional liquid onto a substrate and drying the discharged functional liquid, wherein the device manufacturing method comprises: A device manufacturing method, characterized in that the film forming process is performed by using the described droplet discharging method. 【請求項１４】 前記制御装置は、前記機能性液体を
前記所定領域に吐出する吐出工程中に前記振動付与装置
を作動させることを特徴とする請求項１記載の液滴吐出
装置。14. The liquid droplet ejecting apparatus according to claim 1, wherein the control device operates the vibration applying device during an ejecting step of ejecting the functional liquid to the predetermined region.