JP2003275987A - Scara type robot - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a small SCARA type robot that increases the positioning accuracy of an arm. <P>SOLUTION: A flexible tube 71 containing wiring is arranged in an inverted U bend between a second arm 24 and a base 22. Root portions 71b near a bend portion 71a of the flexible tube 71 are interconnected with a connecting stay 81. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、回動式アームと基
台との間に配線および配管が架け渡されたスカラ型ロボ
ットに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a SCARA type robot in which wiring and piping are bridged between a rotary arm and a base.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来のこの種のスカラ型ロボットとして
は、例えば図１２ないし図１４に示すように構成された
ものがある。図１２は従来のスカラ型ロボットの側面
図、図１３は同じく平面図、図１４はフレキシブルチュ
ーブの断面図である。2. Description of the Related Art As a conventional SCARA type robot of this type, there is, for example, one constructed as shown in FIGS. FIG. 12 is a side view of a conventional SCARA robot, FIG. 13 is a plan view of the same, and FIG. 14 is a sectional view of a flexible tube.

【０００３】これらの図において、符号１で示す従来の
スカラ型ロボットは、クリーンルーム内で使用するもの
で、基台２の上部に第１のアーム３が水平方向に回動自
在に設けられ、この第１のアーム３の回動端部の上側に
第２のアーム４が水平方向に回動自在に設けられてい
る。前記基台２は、第１のアーム３を駆動するモータ
（図示せず）がハウジング５の内部に設けられ、このモ
ータの出力軸と第１のアーム３とを接続する減速機６が
上部に設けられている。In these drawings, a conventional SCARA robot shown by reference numeral 1 is used in a clean room, and a first arm 3 is provided on a base 2 so as to be horizontally rotatable. A second arm 4 is provided on the upper side of the rotation end of the first arm 3 so as to be horizontally rotatable. In the base 2, a motor (not shown) for driving the first arm 3 is provided inside the housing 5, and a speed reducer 6 for connecting the output shaft of the motor and the first arm 3 is provided at the upper part. It is provided.

【０００４】この減速機６は、ハウジング６ａが基台２
に固定され、第１のアーム３の基端部から下方に突出す
る第１の支軸（図示せず）を回動自在に支持している。
この第１の支軸に基台２内のモータから減速機６を介し
て動力が伝達されることにより、第１のアーム３が基台
２に対して回動する。第１のアーム３の回動端部は、上
方に延びる第２の支軸（図示せず）が設けられ、この第
２の支軸を介して第２のアーム４が接続されている。In this speed reducer 6, the housing 6a has a base 2
A first support shaft (not shown) that is fixed to the first arm 3 and projects downward from the base end portion of the first arm 3 is rotatably supported.
Power is transmitted from the motor in the base 2 to the first support shaft via the speed reducer 6, whereby the first arm 3 rotates with respect to the base 2. The pivot end of the first arm 3 is provided with a second support shaft (not shown) extending upward, and the second arm 4 is connected via the second support shaft.

【０００５】第２のアーム４は、回動端部に作業軸７が
設けられており、上部に取付けられたカバー８の内部に
各種の駆動装置（図示せず）が搭載されている。この駆
動装置としては、第２のアーム４を第１のアーム３に対
して回動させるモータと、前記作業軸７を上下方向に移
動させるためのモータと、この作業軸７を回転させるた
めのモータなどである。前記作業軸７は、図示してはい
ないが、下端部に例えば電子部品実装用の吸着ノズル、
ワークを把持するためのチャック、ペースト半田供給用
のノズルなどが取付けられる。The second arm 4 is provided with a working shaft 7 at its rotating end, and various driving devices (not shown) are mounted inside a cover 8 attached to the upper part thereof. The drive device includes a motor for rotating the second arm 4 with respect to the first arm 3, a motor for vertically moving the working shaft 7, and a motor for rotating the working shaft 7. For example, a motor. Although not shown, the work shaft 7 has, for example, a suction nozzle for mounting electronic components on the lower end,
A chuck for gripping the work, a nozzle for supplying paste solder, and the like are attached.

【０００６】第２のアーム４を駆動するためのモータ
は、出力軸が前記第１のアーム３の回動端部側の第２の
支軸と同一軸線上に位置するように設けられ、第２のア
ーム４の基端部の下側に設けられた減速機９を介して第
１のアーム３の前記第２の支軸に接続されている。すな
わち、このモータの出力軸が回転することにより、第２
のアーム４が第１のアーム３に対して回動する。この第
２のアーム４の荷重は、前記減速機９のハウジング９ａ
を介して前記第２の支軸に伝達され、第１のアーム３に
よって支持される。The motor for driving the second arm 4 is provided so that the output shaft is located on the same axis as the second support shaft on the rotating end side of the first arm 3, The second arm 4 is connected to the second support shaft of the first arm 3 via a speed reducer 9 provided below the base end portion of the arm 4. That is, when the output shaft of this motor rotates, the second
The arm 4 rotates with respect to the first arm 3. The load of the second arm 4 is determined by the housing 9a of the speed reducer 9.
It is transmitted to the second support shaft via and is supported by the first arm 3.

【０００７】第２のアーム４に設けられた各モータの給
電用ケーブル（モータ線）や、モータ用回転位置検出器
のケーブル（レゾルバ線）は、前記カバー８の上部と基
台２との間に架け渡されたフレキシブルチューブ１０内
を通して配線されている。このフレキシブルチューブ１
０内には、上述した配線の他に、前記作業軸７に吸着ノ
ズルが取付けられたときに吸着ノズルから空気を吸込む
ための空気吸引用チューブ（ユーザ配管）や、作業軸７
に取付けられた電気駆動式工具などに給電するケーブル
（ユーザ配線）や、第２のアーム４の各装置から生じる
塵埃を吸引するための吸引用配管なども通されている。A power supply cable (motor wire) for each motor provided on the second arm 4 and a cable (resolver wire) for a motor rotation position detector are provided between the upper portion of the cover 8 and the base 2. It is wired through the inside of the flexible tube 10 which is bridged over. This flexible tube 1
In addition to the above-described wiring, an air suction tube (user pipe) for sucking air from the suction nozzle when the suction nozzle is attached to the work shaft 7 and the work shaft 7
A cable (user wiring) for supplying power to an electrically driven tool or the like attached to, a suction pipe for sucking dust generated from each device of the second arm 4, and the like are also passed.

【０００８】前記フレキシブルチューブ１０は、可撓性
を有するプラスチックによって蛇腹状に形成されてお
り、図１４に示すように、内部にモータ線１１、レゾル
バ線１２、ユーザ配線１３およびユーザ配管１４とが１
本のハーネス１５に収納された状態で通され、このハー
ネス１５に隣接するように３本の吸引用配管１６が通さ
れている。ハーネス１５は、可撓性を有するプラスチッ
クによって円筒状に形成されている。The flexible tube 10 is formed of a flexible plastic in a bellows shape. As shown in FIG. 14, a motor wire 11, a resolver wire 12, a user wire 13 and a user pipe 14 are provided inside. 1
The harness 15 is passed through in the state of being housed in the harness 15, and three suction pipes 16 are passed adjacent to the harness 15. The harness 15 is formed of flexible plastic into a cylindrical shape.

【０００９】このように複数の配線、配管を一つのフレ
キシブルチューブ１０に収納しているのは、第１，第２
のアーム３，４が回動するときに配線や配管が互いに摺
接し合うことによって発生した塵埃がロボット周辺に飛
散するのを防ぐためである。前記３本の吸引用配管１６
によって吸引される部位は、第２のアーム４のカバー８
の内部空間と、第２のアーム４の基端部の関節部分と、
第２のアーム４の回動端部の作業軸貫通部分などであ
る。A plurality of wirings and pipes are housed in one flexible tube 10 as described above.
This is to prevent dust generated by the wirings and pipes slidingly contacting each other when the arms 3 and 4 of FIG. The three suction pipes 16
The portion to be sucked by is the cover 8 of the second arm 4.
The internal space of the second arm 4 and the joint portion of the base end portion of the second arm 4,
The work shaft penetrating portion of the rotating end of the second arm 4 and the like.

【００１０】また、フレキシブルチューブ１０は、両端
部がそれぞれ回転式クランプ１７によって第２のアーム
４のカバー８と基台２のハウジング５とに取付けられ、
第１，第２のアーム３，４が回動したときに容易に撓む
ことができるように、図１２に示す側面視において、逆
Ｕ字状を呈するように屈曲されている。従来のフレキシ
ブルチューブ１０は、直線状に成形されたものが逆Ｕ字
状に屈曲されて組付けられており、前記クランプ１７に
よって両端部が保持されることにより、自らの弾性変形
によって逆Ｕ字状に形状が保たれている。Both ends of the flexible tube 10 are attached to the cover 8 of the second arm 4 and the housing 5 of the base 2 by rotary clamps 17, respectively.
In order to easily bend when the first and second arms 3 and 4 rotate, they are bent so as to have an inverted U shape in the side view shown in FIG. The conventional flexible tube 10 is formed by bending a straight U-shape into an inverted U-shape and is assembled. Both ends of the flexible tube 10 are held by the clamps 17, so that the flexible tube 10 is elastically deformed to form an inverted U-shape. The shape is kept in a shape.

【００１１】前記回転式クランプ１７は、フレキシブル
チューブ１０の先端部が固着される円筒状のボス１７ａ
と、このボス１７ａを軸受（図示せず）を介して回転自
在に支持するベース部材１７ｂとによって構成されてい
る。前記ベース部材１７ｂが第２のアーム４または基台
２に固定されており、第１，第２のアーム３，４が回動
したときには、フレキシブルチューブ１０の両端部が前
記ボス１７ａとともに第２のアーム４または基台２に対
して回るようになる。The rotary clamp 17 has a cylindrical boss 17a to which the tip of the flexible tube 10 is fixed.
And a base member 17b that rotatably supports the boss 17a via a bearing (not shown). When the base member 17b is fixed to the second arm 4 or the base 2, and when the first and second arms 3 and 4 rotate, both ends of the flexible tube 10 together with the boss 17a form the second. It can rotate with respect to the arm 4 or the base 2.

【００１２】このように軸受を有する回転式クランプ１
７によってフレキシブルチューブ１０の両端部を支持し
ているのは、第１，第２のアーム３，４を回動させたと
きにフレキシブルチューブ１０から両アーム３，４に加
えられる捻り方向の反力を低減させるとともに、アーム
回動時にフレキシブルチューブ１０の両端部が第２のア
ーム４や基台２に摺接して塵埃が生じるのを防ぐためで
ある。The rotary clamp 1 having the bearing as described above
The both ends of the flexible tube 10 are supported by 7 because the reaction force in the twisting direction applied from the flexible tube 10 to both arms 3 and 4 when the first and second arms 3 and 4 are rotated. This is because the both ends of the flexible tube 10 are prevented from slidingly contacting the second arm 4 and the base 2 and dust is generated when the arm is rotated.

【００１３】[0013]

【発明が解決しようとする課題】上述したように構成さ
れた従来のスカラ型ロボット１においては、さらなる小
型化を図ろうとすると、第１，第２のアーム３，４が大
きく回動したときに位置決め精度が低下するという問題
が生じる。これは、第１のアーム３と第２のアーム４と
が大きく回動し、フレキシブルチューブ１０がその一端
部と他端部との間隔が短くなるように撓む場合に、フレ
キシブルチューブ１０に生じる応力によって第２のアー
ム４と基台２に反力が加えられることが原因と考えられ
る。In the conventional SCARA-type robot 1 having the above-described structure, when further downsizing is attempted, when the first and second arms 3 and 4 are largely rotated. There is a problem that the positioning accuracy is lowered. This occurs in the flexible tube 10 when the first arm 3 and the second arm 4 largely rotate and the flexible tube 10 bends so that the distance between its one end and the other end becomes short. It is considered that the stress causes a reaction force to be applied to the second arm 4 and the base 2.

【００１４】前記反力は、フレキシブルチューブ１０の
両端部が第２のアーム４や基台２に対して回転自在に支
持されているために、図１２中に矢印Ａで示すように、
主に水平方向であって、前記間隔が長くなる方向に作用
する。このように反力Ａが第２のアーム４と基台２に加
えられることによって、両アーム３，４の関節部分に同
図において反時計方向へ付勢するような曲げモーメント
Ｍが作用する。Since both ends of the flexible tube 10 are rotatably supported with respect to the second arm 4 and the base 2 as shown by an arrow A in FIG.
It acts mainly in the horizontal direction and in the direction in which the interval becomes longer. By the reaction force A being applied to the second arm 4 and the base 2 in this way, a bending moment M for urging the arms 3 and 4 in the counterclockwise direction in FIG.

【００１５】この反力Ａは、関節部分に設けられる減速
機６，９や支持用軸受の剛性が低くなるほど大きく影響
を及ぼすようになる。すなわち、スカラ型ロボット１が
小型化されて前記剛性が低下することにより、前記曲げ
モーメントＭによって両アーム３，４が水平方向に対し
て傾斜するようになり、この結果、作業軸７の上下方向
に対する角度が変化して位置決め精度が低下してしま
う。The reaction force A has a greater influence as the rigidity of the speed reducers 6 and 9 and the supporting bearings provided at the joints becomes lower. That is, since the SCARA robot 1 is downsized and the rigidity thereof is reduced, the bending moments M cause the arms 3 and 4 to incline with respect to the horizontal direction. As a result, the work shaft 7 is vertically moved. The angle with respect to changes, and the positioning accuracy deteriorates.

【００１６】本発明はこのような問題点を解消するため
になされたもので、アームの位置決め精度が高くなる小
型のスカラ型ロボットを提供することを目的とする。The present invention has been made to solve such a problem, and an object of the present invention is to provide a small-scale SCARA robot in which the positioning accuracy of the arm is high.

【００１７】[0017]

【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明に係るスカラ型ロボットは、基台に対して回
動するアームと前記基台との間に、配線を収納した可撓
性を有するパイプがＵ字状に屈曲されて架け渡されたス
カラ型ロボットにおいて、前記パイプの屈曲部分の近傍
の根元部分どうしを連結用ステーによって互いに連結し
たものである。本発明によれば、配線収納用パイプの屈
曲部分は、連結用ステーによって一定の曲率に保持され
る。このため、直線状に成形された配線収納用パイプを
逆Ｕ字状に屈曲することによりパイプ内に生じた内部応
力でパイプの両端部が開くのを連結用ステーによって規
制することができる。In order to achieve this object, a SCARA robot according to the present invention has a flexible structure in which wiring is housed between an arm that rotates with respect to a base and the base. In a SCARA type robot in which a pipe having the above is bent in a U shape and bridged, the root parts in the vicinity of the bent part of the pipe are connected to each other by a connecting stay. According to the present invention, the bent portion of the wiring housing pipe is held at a constant curvature by the connecting stay. Therefore, by bending the linearly shaped pipe for storing wiring into an inverted U-shape, it is possible to restrict the opening of both ends of the pipe by the connecting stay due to the internal stress generated in the pipe.

【００１８】請求項２に記載した発明に係るスカラ型ロ
ボットは、請求項１に記載した発明に係るスカラ型ロボ
ットにおいて、アームの支持系における軸受の内輪側の
部材と外輪側の部材とに、この軸受の径方向の外側で上
下方向に延びる周壁を有する第１のハウジングと第２の
ハウジングとを設け、これら両ハウジングの前記周壁を
同一軸線上であって径方向の内側と外側に位置するよう
に形成し、これらの周壁の間に軸受を介装したものであ
る。この発明によれば、アームの支持系に軸受が径方向
の内側と外側とに位置するように２種類設けられる。A scalar type robot according to a second aspect of the present invention is the scalar type robot according to the first aspect of the present invention, in which the inner ring side member and the outer ring side member of the bearing in the arm support system are A first housing and a second housing having peripheral walls extending in the vertical direction outside the radial direction of the bearing are provided, and the peripheral walls of the both housings are located on the same axial line and inside and outside the radial direction. The bearing is interposed between these peripheral walls. According to the present invention, two types of bearings are provided in the support system of the arm so as to be located inside and outside in the radial direction.

【００１９】[0019]

【発明の実施の形態】（第１の実施の形態）以下、本発
明に係るスカラ型ロボットの一実施の形態を図１ないし
図９によって詳細に説明する。図１は本発明に係るスカ
ラ型ロボットの側面図、図２は同じく平面図で、同図は
配線収納用パイプを破断した状態で描いてある。図３は
本発明に係るスカラ型ロボットの正面図、図４は基台と
第１のアームおよびフレキシブルチューブとの接続部分
を拡大して示す断面図、図５は第２のアームとフレキシ
ブルチューブとの接続部分を拡大して示す断面図であ
る。図６は連結用ステーを拡大して示す平面図、図７は
フレキシブルチューブの断面図、図８は本発明に係るス
カラ型ロボットの動作を説明するための図で、同図
（ａ）は第１のアームと第２のアームとが直線状に並ぶ
状態を示し、同図（ｂ）はフレキシブルチューブの両端
部どうしの間隔が最も長くなる状態を示し、同図（ｃ）
はフレキシブルチューブの両端部どうしの間隔が最も短
くなる状態を示す。図９はフレキシブルチューブの側面
図である。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION (First Embodiment) An embodiment of a SCARA robot according to the present invention will be described in detail below with reference to FIGS. 1 to 9. FIG. 1 is a side view of a SCARA robot according to the present invention, and FIG. 2 is a plan view of the same, showing the wiring storage pipe in a broken state. 3 is a front view of a SCARA robot according to the present invention, FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view showing a connecting portion between a base and a first arm and a flexible tube, and FIG. 5 is a second arm and a flexible tube. It is sectional drawing which expands and shows the connection part of. FIG. 6 is an enlarged plan view showing the connecting stay, FIG. 7 is a cross-sectional view of a flexible tube, and FIG. 8 is a view for explaining the operation of the SCARA robot according to the present invention. The first arm and the second arm are arranged in a straight line, and the figure (b) shows the state in which the distance between both ends of the flexible tube is the longest, and the figure (c).
Shows a state in which the distance between both ends of the flexible tube is the shortest. FIG. 9 is a side view of the flexible tube.

【００２０】これらの図において、符号２１で示すもの
は、この実施の形態によるスカラ型ロボットである。こ
のスカラ型ロボット２１は、クリーンルーム内で使用す
るもので、基台２２に対して水平方向に回動する第１の
アーム２３および第２のアーム２４とによって作業軸２
５が水平方向に移動し、第２のアーム２４に設けられた
昇降装置２６により作業軸２５が上下方向に移動すると
ともに、回転駆動装置２７によって作業軸２５が回転す
るものである。前記作業軸２５は、図示してはいない
が、下端部に例えば電子部品実装用の真空吸着ノズルや
ワークを把持するためのチャック、あるいはペースト半
田供給用のノズルが取付けられる。In these figures, the reference numeral 21 is a SCARA type robot according to this embodiment. This SCARA type robot 21 is used in a clean room, and is composed of a first arm 23 and a second arm 24 which rotate in a horizontal direction with respect to a base 22 so that the work shaft 2 can be operated.
5 moves in the horizontal direction, the work shaft 25 moves in the vertical direction by the elevating device 26 provided on the second arm 24, and the work shaft 25 rotates by the rotation drive device 27. Although not shown, the working shaft 25 has, for example, a vacuum suction nozzle for mounting electronic components, a chuck for gripping a work, or a nozzle for supplying paste solder at the lower end.

【００２１】前記基台２２は、箱状のハウジング３１の
上にプレート３２を設けることによって形成されてお
り、ハウジング３１の内部に第１のアーム用駆動装置３
３が設けられている。前記第１のアーム２３は、図１お
よび図２に示すように、基端部（図１において右側の端
部）が基台２２内の第１のアーム用駆動装置３３に支持
され、回動端部に第２のアーム用駆動装置３４を介して
第２のアーム２４が取付けられている。前記第１のアー
ム用駆動装置３３は、基台２２の前記プレート３２に軸
線方向が上下方向と平行になる状態で支持された第１の
アーム駆動用モータ３５と、このモータ３５の上端部に
固定された第１のアーム駆動用減速機３６とによって構
成されている。The base 22 is formed by providing a plate 32 on a box-shaped housing 31, and the first arm driving device 3 is provided inside the housing 31.
3 is provided. As shown in FIGS. 1 and 2, the first arm 23 has a base end portion (the end portion on the right side in FIG. 1) supported by a first arm driving device 33 in the base 22 to rotate. The second arm 24 is attached to the end portion via the second arm driving device 34. The first arm driving device 33 includes a first arm driving motor 35 supported by the plate 32 of the base 22 in a state where the axial direction is parallel to the vertical direction, and an upper end portion of the motor 35. It is composed of a fixed first arm drive speed reducer 36.

【００２２】この減速機３６は、図４に示すように、ハ
ーモニックドライブ（登録商標）減速機で、前記モータ
３５の回転を減速して第１のアーム側の第１の支軸３７
に伝達する構成のもので、ウェーブジェネレータ３８が
前記モータ３５の回転軸３９の上端部に固着されるとと
もに、フレクスプライン４０が固定用ボルト４１によっ
て前記第１の支軸３７に固定されている。この減速機３
６のサーキュラスプライン４２は、基台２２の前記プレ
ート３２に設けられた減速機ハウジング４３に固定され
ている。前記第１の支軸３７は、前記減速機ハウジング
４３に軸受４４によって回転自在に支持され、減速機ハ
ウジング４３から上方に突出する上端部が第１のアーム
２３に固定されている。As shown in FIG. 4, the speed reducer 36 is a Harmonic Drive (registered trademark) speed reducer, which reduces the rotation of the motor 35 to reduce the rotation of the motor 35 and the first support shaft 37 on the first arm side.
The wave generator 38 is fixed to the upper end of the rotary shaft 39 of the motor 35, and the flexspline 40 is fixed to the first support shaft 37 by a fixing bolt 41. This reducer 3
The circular spline 42 of No. 6 is fixed to the speed reducer housing 43 provided on the plate 32 of the base 22. The first support shaft 37 is rotatably supported by the reduction gear housing 43 by a bearing 44, and an upper end portion protruding upward from the reduction gear housing 43 is fixed to the first arm 23.

【００２３】前記第２のアーム用駆動装置３４は、前記
第１のアーム２３に第２の支軸４５を介して支持された
第２のアーム駆動用減速機４６と、この第２のアーム駆
動用減速機４６の上方に設けられた第２のアーム駆動用
モータ４７とによって構成されている。前記第２のアー
ム駆動用減速機４６は、前記第１のアーム駆動用減速機
３６と同等の構造のものが使用されており、第２のアー
ム駆動用モータ４７の回転を減速して前記第２の支軸４
５に伝達するものである。第２の支軸４５は、減速機４
６のハウジング４８に軸受（図示せず）によって回転自
在に支持され、減速機ハウジング４８から下方に突出し
た下端部が第１のアーム２３に固定されている。The second arm drive device 34 includes a second arm drive speed reducer 46 supported by the first arm 23 via a second support shaft 45, and the second arm drive device. And a second arm driving motor 47 provided above the speed reducer 46. The second arm drive speed reducer 46 has a structure similar to that of the first arm drive speed reducer 36. The second arm drive speed reducer 46 reduces the rotation of the second arm drive motor 47 to reduce the rotation speed of the second arm drive motor 47. 2 support shaft 4
5 is transmitted. The second support shaft 45 is the reduction gear 4
6 is rotatably supported by a housing 48 (not shown), and a lower end portion protruding downward from the reduction gear housing 48 is fixed to the first arm 23.

【００２４】第２のアーム駆動用モータ４７は、前記第
１のアーム駆動用モータ３５と同等の構造のものが用い
られ、軸線方向が上下方向と平行になる状態で第２のア
ーム２４の上部に支持されている。このモータ４７の回
転軸（図示せず）が回転することによって、第２の支軸
４５が第２のアーム駆動用減速機４６によって減速され
て回転するから、この第２の支軸４５を中心にして第２
のアーム２４が第１のアーム２３に対して回動する。The second arm driving motor 47 has the same structure as that of the first arm driving motor 35, and the upper portion of the second arm 24 is in a state where the axial direction is parallel to the vertical direction. Supported by. The rotation of the rotation shaft (not shown) of the motor 47 causes the second support shaft 45 to be decelerated and rotated by the second arm drive speed reducer 46. Then second
The arm 24 rotates with respect to the first arm 23.

【００２５】第２のアーム２４は、図１に示すように、
第１のアーム２３に連結する基端部とは反対側の回動端
部に作業軸２５が設けられており、前記第２のアーム用
駆動装置３４と後述する昇降装置２６および回転駆動装
置２７などを覆うカバー４９が取付けられている。The second arm 24, as shown in FIG.
A work shaft 25 is provided at a rotating end opposite to the base end connected to the first arm 23, and the second arm driving device 34, and an elevating device 26 and a rotation driving device 27 described later. A cover 49 for covering the above is attached.

【００２６】前記作業軸２５は、上部の連結ロッド２５
ａと、この連結ロッド２５ａの下端部に接続されたボー
ルスプライン軸２５ｂとによって構成されている。前記
連結ロッド２５は、回転駆動装置２７の軸心部を貫通し
て上下方向に延設され、上端部に昇降装置２６のボール
ねじナット５１が回転自在に接続されている。この連結
ロッド２５ａと前記ボールねじナット５１との接続部
は、作業軸２５の回転は許容するが、ボールねじナット
５１に対して作業軸２５が上下方向に移動することがな
いように構成されている。The working shaft 25 is connected to the upper connecting rod 25.
a and a ball spline shaft 25b connected to the lower end of the connecting rod 25a. The connecting rod 25 extends vertically through the shaft center of the rotary drive device 27, and the ball screw nut 51 of the elevating device 26 is rotatably connected to the upper end of the connecting rod 25. The connecting portion between the connecting rod 25a and the ball screw nut 51 allows the working shaft 25 to rotate, but is configured so that the working shaft 25 does not move vertically with respect to the ball screw nut 51. There is.

【００２７】前記ボールスプライン軸２５ｂは、ボール
スプラインナット５２が接続され、このボールスプライ
ンナット５２と中空軸５３とを介して回転駆動装置２７
の出力軸５４が接続されている。前記ボールスプライン
軸２５ｂとボールスプラインナット５２との接続部は、
ボールスプラインナット５２の回転をボールスプライン
軸２５ｂに伝達するが、ボールスプライン軸２５ｂの上
下方向の移動を規制することがないように構成されてい
る。A ball spline nut 52 is connected to the ball spline shaft 25b, and the rotary drive device 27 is connected via the ball spline nut 52 and the hollow shaft 53.
Output shaft 54 is connected. The connecting portion between the ball spline shaft 25b and the ball spline nut 52 is
The rotation of the ball spline nut 52 is transmitted to the ball spline shaft 25b, but the vertical movement of the ball spline shaft 25b is not restricted.

【００２８】前記ボールねじナット５１を有する昇降装
置２６は、第２のアーム２４に軸線方向が上下方向と平
行になるように支持された昇降用モータ５５と、このモ
ータ５５の回転軸に結合されたボールねじ軸５６と、こ
のボールねじ軸５６に螺合された前記ボールねじナット
５１などによって構成されている。このボールねじナッ
ト５１に一体的に設けられた連結プレート５１ａに、前
記連結ロッド２５ａの上端部が回転自在に支持されてい
る。この連結プレート５１ａと昇降用モータ５５の上端
部のプレート５５ａとの間には、図３に示すように、連
結プレート５１ａおよびボールねじナット５１が回転す
るのを規制するためにタイバー５７が設けられている。The elevating device 26 having the ball screw nut 51 is connected to the elevating motor 55 supported by the second arm 24 such that the axial direction is parallel to the vertical direction, and the rotating shaft of the motor 55. The ball screw shaft 56 and the ball screw nut 51 screwed onto the ball screw shaft 56 are included. The upper end of the connecting rod 25a is rotatably supported by a connecting plate 51a integrally provided with the ball screw nut 51. As shown in FIG. 3, a tie bar 57 is provided between the connecting plate 51a and the plate 55a at the upper end of the lifting motor 55 so as to prevent the connecting plate 51a and the ball screw nut 51 from rotating. ing.

【００２９】前記昇降用モータ５５は、前記第１，第２
のアーム駆動用モータ３５，４７と同等のものが使用さ
れ、第２のアーム２４の長手方向の略中央部の上に取付
けられている。この昇降用モータ５５が回転することに
よって、ボールねじ軸５６が回転し、ボールねじナット
５１とともに作業軸２５が上下方向に移動する。回転駆
動装置２７は、前記ボールスプラインナット５２に接続
された筒状の出力軸５４を有する減速機６１と、この減
速機６１の上方に設けられた回転駆動用モータ６２とに
よって構成されている。The elevating motor 55 includes the first and second motors.
The same motors as the arm driving motors 35 and 47 are used, and are mounted on the substantially central portion of the second arm 24 in the longitudinal direction. When the lifting motor 55 rotates, the ball screw shaft 56 rotates, and the work shaft 25 moves vertically together with the ball screw nut 51. The rotary drive device 27 is composed of a speed reducer 61 having a tubular output shaft 54 connected to the ball spline nut 52, and a rotary drive motor 62 provided above the speed reducer 61.

【００３０】前記減速機６１は、前記第１，第２のアー
ム駆動用減速機３６，４６と同等のものが使用され、回
転駆動用モータ６２の回転を減速して出力軸５４に伝達
する構成のものである。すなわち、この回転駆動用モー
タ６２が回転することにより、減速機６１の出力軸５４
が回転し、この回転がボールスプラインナット５２によ
って作業軸２５に伝達されて作業軸２５が回転する。ボ
ールスプラインナット５２は、作業軸２５に上下方向に
移動自在に嵌合されており、上述した昇降装置２６によ
る作業軸２５の昇降動作が妨げられることはない。As the speed reducer 61, one equivalent to the speed reducers 36 and 46 for driving the first and second arms is used, and the rotation of the rotation driving motor 62 is decelerated and transmitted to the output shaft 54. belongs to. That is, when the rotation driving motor 62 rotates, the output shaft 54 of the speed reducer 61 is rotated.
Rotates, and this rotation is transmitted to the work shaft 25 by the ball spline nut 52, and the work shaft 25 rotates. The ball spline nut 52 is fitted to the work shaft 25 so as to be movable in the vertical direction, so that the lifting and lowering operation of the work shaft 25 by the lifting device 26 is not hindered.

【００３１】このように構成されたスカラ型ロボット２
１は、第１のアーム駆動用モータ３５の動力で第１のア
ーム２３が回動し、第２のアーム駆動用モータ４７の動
力で第２のアーム２４が第１のアーム２３に対して回動
する。また、このスカラ型ロボット２１は、昇降用モー
タ５５の動力で作業軸２５が昇降し、回転駆動用モータ
６２の動力で作業軸２５が回転する。The SCARA type robot 2 configured as described above
1, the first arm 23 is rotated by the power of the first arm driving motor 35, and the second arm 24 is rotated by the power of the second arm driving motor 47 with respect to the first arm 23. Move. Further, in the SCARA type robot 21, the work shaft 25 is moved up and down by the power of the lifting motor 55, and the work shaft 25 is rotated by the power of the rotation drive motor 62.

【００３２】第２のアーム２４上の各モータ４７，５
５，６２の給電用のケーブル（モータ線）や各モータ４
７，５５，６２に設けられた回転検出器（図示せず）の
ケーブル（レゾルバ線）は、アーム回動時にケーブルど
うしが摺接することによって生じる塵埃がクリーンルー
ム内に飛散するのを防ぐために、第２のアーム２４と基
台２２との間に架け渡されたフレキシブルチューブ７１
の内部に配線されている。このフレキシブルチューブ７
１の内部には、前記配線の他に、前記作業軸２５に取付
けられた電気駆動式工具などに給電するためのケーブル
（ユーザ配線）や、前記作業軸２５に吸着ノズルが取付
けられたときに吸着ノズルから空気を吸込むための空気
吸引用チューブ（ユーザ配管）、作業軸２５に空気圧駆
動式のツールが取付けられたときにこのツールに加圧用
空気を供給するための空気供給用チューブ（ユーザ配
管）および第２のアーム２４の各装置から生じる塵埃を
吸引するための吸引用配管なども通されている。Each motor 47, 5 on the second arm 24
5, 62 power supply cables (motor wires) and each motor 4
The cables (resolver wires) of the rotation detectors (not shown) provided at 7, 55, 62 are provided in order to prevent dust generated by sliding contact between the cables during arm rotation from scattering in the clean room. The flexible tube 71 laid between the second arm 24 and the base 22.
Is wired inside. This flexible tube 7
In addition to the wiring, a cable (user wiring) for supplying power to an electrically driven tool attached to the working shaft 25, or when a suction nozzle is attached to the working shaft 25 An air suction tube (user piping) for sucking air from the suction nozzle, and an air supply tube (user piping) for supplying pressurized air to this tool when a pneumatically driven tool is attached to the work shaft 25. ) And a suction pipe for sucking dust generated from each device of the second arm 24.

【００３３】前記フレキシブルチューブ７１は、従来の
ものと同等のもので、可撓性を有するプラスチックによ
って蛇腹状に形成されており、図７に示すように、内部
にモータ線７２、レゾルバ線７３、ユーザ配線７４が１
本のハーネス７５に収納された状態で通され、このハー
ネス７５に隣接するように４本のユーザ配管７６と２本
の吸引用配管７７とが通されている。ハーネス７５も従
来のものと同等のものが用いられ、可撓性を有するプラ
スチックによって円筒状に形成されている。The flexible tube 71 is the same as the conventional one, and is formed into a bellows shape with flexible plastic. As shown in FIG. 7, the motor wire 72 and the resolver wire 73 are internally provided. User wiring 74 is 1
The harness 75 is passed through in a state of being housed in the harness 75, and four user pipes 76 and two suction pipes 77 are passed through so as to be adjacent to the harness 75. As the harness 75, the same harness as the conventional one is used, and is formed in a cylindrical shape from flexible plastic.

【００３４】前記モータ線７２およびレゾルバ線７３
は、各モータ４７，５５，６２から前記カバー４９内を
通ってフレキシブルチューブ７１の一端部に導かれ、フ
レキシブルチューブ７１および基台２２内を通って基台
２２の後部から第１のアーム駆動用モータ３５のモータ
線およびレゾルバ線とともに基台２２外に導出されてい
る。導出部分に設けられるケーブルクランプを図１中に
符号７８で示す。前記ユーザ配線７４は、第２のアーム
２４のカバー４９に設けられたコネクタ（図示せず）に
一端部が接続され、カバー４９内からフレキシブルチュ
ーブ７１内を通って基台２２内に導かれ、モータ線７２
と同様に基台２２の後部から基台２２外に導出されてい
る。The motor wire 72 and the resolver wire 73
Is guided from one of the motors 47, 55, 62 to the one end of the flexible tube 71 through the inside of the cover 49, and passes through the flexible tube 71 and the base 22 to drive the first arm from the rear part of the base 22. It is led out of the base 22 together with the motor wire of the motor 35 and the resolver wire. A cable clamp provided at the lead-out portion is shown by reference numeral 78 in FIG. One end of the user wiring 74 is connected to a connector (not shown) provided on the cover 49 of the second arm 24, and is guided into the base 22 from inside the cover 49 through the flexible tube 71. Motor wire 72
Similarly to the above, the base 22 is led out of the rear of the base 22.

【００３５】前記フレキシブルチューブ７１は、直線状
に成形されたものを下方に向けて開放する逆Ｕ字状に屈
曲させた状態で用いられており、図１に示すように、屈
曲部分７１ａの近傍の根元部分７１ｂ，７１ｂ（上下方
向に延びる部分）に連結用ステー８１が取付けられ、根
元部分７１ｂの先端部（下端部）が第２のアーム２４と
基台２２とにそれぞれ回転式クランプ８２，８２を介し
て回転自在に取付けられている。このフレキシブルチュ
ーブ７１によって本発明に係る配線用パイプが構成され
ている。The flexible tube 71 is used in a state in which a linearly shaped one is bent in an inverted U-shape that opens downward, and as shown in FIG. 1, in the vicinity of the bent portion 71a. The connecting stays 81 are attached to the root portions 71b, 71b (portions extending in the vertical direction) of the base portion 71b, and the distal end portion (lower end portion) of the root portion 71b is attached to the second arm 24 and the base 22 by rotary clamps 82, It is rotatably attached via 82. The flexible tube 71 constitutes the wiring pipe according to the present invention.

【００３６】前記連結用ステー８１は、図１および図６
に示すように、フレキシブルチューブ７１の根元部分７
１ｂが貫通する貫通穴８３が形成された基部８４と、こ
の基部８４に固定用ボルト８５によって固定された連結
板８６とによって構成されている。前記基部８４がフレ
キシブルチューブ７１の二箇所の根元部分７１ｂに取付
けられ、これらの基部８４どうしが連結板８６によて連
結されている。前記基部８４は、弾性を有するプラスチ
ックによって形成されており、連結板８６が取り付けら
れる一側部とは反対側に位置する他側部で貫通穴８３が
側方に向けて開放するように形成され、この他側部にク
ランプ８７が固着されている。また、この基部８４は、
クランプ８７が取付けられていない状態では貫通穴８３
にフレキシブルチューブ７１を挿通できるように貫通穴
８３の穴径がフレキシブルチューブ７１の外径より僅か
に大きくなり、前記開放部分を狭めてクランプ８７を取
付けることによって、フレキシブルチューブ７１を把持
するように形成されている。The connecting stay 81 is shown in FIGS.
As shown in FIG.
It is composed of a base portion 84 in which a through hole 83 through which 1b penetrates is formed, and a connecting plate 86 fixed to the base portion 84 by a fixing bolt 85. The base portion 84 is attached to two root portions 71b of the flexible tube 71, and these base portions 84 are connected by a connecting plate 86. The base portion 84 is formed of plastic having elasticity, and the through hole 83 is formed to open laterally on the other side portion opposite to the one side portion to which the connecting plate 86 is attached. A clamp 87 is fixed to the other side portion. Also, the base 84 is
Through hole 83 when clamp 87 is not attached
The through hole 83 has a hole diameter slightly larger than the outer diameter of the flexible tube 71 so that the flexible tube 71 can be inserted thereinto, and the clamp tube 87 is attached by narrowing the open portion to hold the flexible tube 71. Has been done.

【００３７】前記回転式クランプ８２は、図４および図
５に示すように、フレキシブルチューブ７１の先端部に
設けられたプラグ８８と、このプラグ８８が螺着される
ボス８９と、このボス８９を軸受９０によって回転自在
に支持するベースリング９１とによって構成されてい
る。基台２２に設けられた回転式クランプ８２は、図４
に示すように、ベースリング９１が基台２２のプレート
３２に固定用ボルト９２によって固定されている。一
方、第２のアーム２４に設けられた回転式クランプ８２
は、図５に示すように、ベースリング９１が第２のアー
ム２４のカバー４９の上壁４９ａを貫通してカバー４９
内に挿入され、カバー４９内に設けられた支持用ステー
９３に固定用ボルト９４によって固定されている。前記
支持用ステー９３は、前記昇降用モータ５５の上端部の
プレート５５ａに固定用ボルト９５によって固定されて
いる。As shown in FIGS. 4 and 5, the rotary clamp 82 includes a plug 88 provided at the tip of the flexible tube 71, a boss 89 to which the plug 88 is screwed, and a boss 89. The base ring 91 is rotatably supported by the bearing 90. The rotary clamp 82 provided on the base 22 is shown in FIG.
As shown in, the base ring 91 is fixed to the plate 32 of the base 22 by fixing bolts 92. On the other hand, the rotary clamp 82 provided on the second arm 24
As shown in FIG. 5, the base ring 91 penetrates the upper wall 49 a of the cover 49 of the second arm 24 to cover the cover 49.
It is inserted inside and is fixed to a supporting stay 93 provided inside the cover 49 by a fixing bolt 94. The supporting stay 93 is fixed to the plate 55a at the upper end of the lifting motor 55 by a fixing bolt 95.

【００３８】前記支持用ステー９３には、前記回転式ク
ランプ８２の他に、フレキシブルチューブ７１内を通る
前記配線も支持されている。すなわち、支持用ステー９
３は、図５中に符号９６で示す配線支持用ブラケットが
途中に設けられており、フレキシブルチューブ７１から
カバー４９内で下方に導出された配線をこのブラケット
９６を介して支持している。この配線の他端部、すなわ
ちフレキシブルチューブ７１から基台２２内に導出され
た端部は、基台２２のハウジング３１に図示していない
ブラケットを介して支持されている。なお、フレキシブ
ルチューブ７１内を通る前記４本のユーザ配管７６は、
図１に示すように、第２のアーム２４の基端部の下を通
ってカバー４９外のエアー継手９７に接続され、前記２
本の吸引用配管７７は、第２のアーム２４の基端部と回
動端部に設けられた吸引用部材９８，９９に接続されて
いる。In addition to the rotary clamp 82, the supporting stay 93 also supports the wiring passing through the flexible tube 71. That is, the support stay 9
3, a wiring support bracket indicated by reference numeral 96 in FIG. 5 is provided on the way, and the wiring led out downward from the flexible tube 71 in the cover 49 is supported via the bracket 96. The other end of this wiring, that is, the end led out from the flexible tube 71 into the base 22 is supported by the housing 31 of the base 22 via a bracket (not shown). The four user pipes 76 passing through the flexible tube 71 are
As shown in FIG. 1, the second arm 24 is connected to an air joint 97 outside the cover 49 by passing under the base end portion of the second arm 24.
The suction pipe 77 of the book is connected to suction members 98 and 99 provided at the base end portion and the rotation end portion of the second arm 24.

【００３９】前記エアー継手９７は、配管接続口９７ａ
（図２参照）が上方を指向する状態で前記回転式クラン
プ８２のベースリング９１に板状ブラケット１００を介
して支持されている。前記配管接続口９７ａに、作業軸
２５側の吸着ノズルや空気圧駆動式のツールから延びる
他の配管（図示せず）が接続される。前記２つの吸引用
部材９８，９９のうち第２のアーム２４の基端部に設け
られた吸引用部材９８は、主に前記基端部の関節部分
（第２のアーム駆動用減速機４６のハウジング４８内）
から空気を吸引し、他方の吸引用部材は、第２のアーム
２４の回動端部の作業軸貫通部分（減速機６１のハウジ
ング内）から空気を吸引するように構成されている。The air joint 97 has a pipe connection port 97a.
(See FIG. 2) is supported by the base ring 91 of the rotary clamp 82 via a plate-shaped bracket 100 in a state of pointing upward. The pipe connecting port 97a is connected to a suction nozzle on the work shaft 25 side or another pipe (not shown) extending from a pneumatically driven tool. Of the two suction members 98, 99, the suction member 98 provided at the base end portion of the second arm 24 is mainly a joint portion of the base end portion (of the second arm driving speed reducer 46). (In housing 48)
From the work shaft penetrating portion (inside the housing of the speed reducer 61) of the rotating end of the second arm 24, and the other suction member is configured to suck air.

【００４０】上述したように構成されたスカラ型ロボッ
ト２１は、フレキシブルチューブ７１の両端部が回転式
クランプ８２を介して第２のアーム２４と基台２２とに
接続されているから、第１，第２のアーム２３，２４が
回動してフレキシブルチューブ７１が捩られるような場
合には、フレキシブルチューブ７１の両端部が第２のア
ーム２４および基台２２に対して回動する。また、両ア
ーム２３，２４を図８に示すように回動させ、フレキシ
ブルチューブ７１の両端部どうしの間隔が変わるときに
は、フレキシブルチューブ７１の屈曲部分７１ａは連結
用ステー８１によって曲率が変化しないように規制され
ているから、図９中に二点鎖線で示すように、フレキシ
ブルチューブ７１における連結用ステー８１より下側の
根元部分７１ｂが弾性変形により曲がるようになる。In the scalar type robot 21 configured as described above, since both ends of the flexible tube 71 are connected to the second arm 24 and the base 22 via the rotary clamps 82, In the case where the second arm 23, 24 rotates and the flexible tube 71 is twisted, both ends of the flexible tube 71 rotate with respect to the second arm 24 and the base 22. Further, when the arms 23 and 24 are rotated as shown in FIG. 8 and the distance between the both ends of the flexible tube 71 changes, the bending portion 71 a of the flexible tube 71 is prevented from changing its curvature by the connecting stay 81. Since it is regulated, as shown by a chain double-dashed line in FIG. 9, the base portion 71b of the flexible tube 71 below the connecting stay 81 is bent by elastic deformation.

【００４１】両アーム２３，２４が図８（ａ）に示すよ
うに直線状に伸びるときの前記間隔を同図および図９に
おいて符号Ｄ１で示し、図８（ｂ）に示すように、前記
両端部どうしが最も離れるときの間隔をＤ２で示す。ま
た、図８（ｃ）に示すように、前記両端部どうしが最も
近付くときの前記間隔をＤ３で示す。すなわち、アーム
回動時には、上述したように連結用ステー８１より下側
の根元部分７１ｂが曲げられることによりフレキシブル
チューブ７１内に生じる応力によって、第２のアーム２
４と基台２２とにフレキシブルチューブ７１から反力が
加えられる。The above-mentioned interval when both arms 23 and 24 extend linearly as shown in FIG. 8 (a) is indicated by symbol D1 in FIG. 8 and FIG. 9, and as shown in FIG. The distance when the parts are most distant from each other is indicated by D2. Further, as shown in FIG. 8C, the distance when the both end portions are closest to each other is indicated by D3. That is, when the arm is rotated, the second arm 2 is caused by the stress generated in the flexible tube 71 by bending the root portion 71b below the connecting stay 81 as described above.
The reaction force is applied from the flexible tube 71 to the base 4 and the base 22.

【００４２】したがって、このスカラ型ロボット２１に
おいては、フレキシブルチューブ７１が直線状になるよ
うな自然状態から逆Ｕ字状に屈曲させられて取付けられ
ているにもかかわらず、この屈曲する状態でフレキシブ
ルチューブ７１内に生じている内部応力によりフレキシ
ブルチューブ７１の両端部が開くのを連結用ステー８１
によって規制することができるから、第２のアーム２４
と基台２２とにフレキシブルチューブ７１から加えられ
る反力を従来に較べて前記内部応力分だけ低減すること
ができる。Therefore, in the SCARA type robot 21, although the flexible tube 71 is bent in an inverted U-shape from the natural state where the flexible tube 71 is linear, the flexible tube 71 is flexible in this bending state. The connecting stay 81 prevents the both ends of the flexible tube 71 from opening due to the internal stress generated in the tube 71.
Since it can be regulated by the second arm 24
The reaction force applied to the base 22 from the flexible tube 71 can be reduced by the internal stress as compared with the conventional case.

【００４３】（第２の実施の形態）各アームの支持部分
には、図１０および図１１に示すように補強用の部材を
設けることができる。図１０はスカラ型ロボットの他の
実施の形態を示す側面図、図１１はアームの支持部分を
拡大して示す断面図である。これらの図において、前記
図１〜図９によって説明したものと同一もしくは同等の
部材については、同一符号を付し詳細な説明を適宜省略
する。(Second Embodiment) As shown in FIGS. 10 and 11, a reinforcing member can be provided at the supporting portion of each arm. FIG. 10 is a side view showing another embodiment of the SCARA type robot, and FIG. 11 is an enlarged sectional view showing a supporting portion of the arm. In these figures, the same or equivalent members as those described with reference to FIGS. 1 to 9 are designated by the same reference numerals and detailed description thereof will be appropriately omitted.

【００４４】図１０に示すスカラ型ロボット２１は、第
１および第２のアーム２３，２４の支持部分に図１１に
示すように補強用の軸受１０１，１０２が設けられてい
る。第１のアーム２３の支持部分に設けられた補強用軸
受１０１は、内輪１０３が第１のハウジング１０４に嵌
合して支持され、外輪１０５が第２のハウジング１０６
に嵌合して支持されている。前記第１のハウジング１０
４は、円板状に形成され、軸心部に第１の支軸３７が貫
通する状態で第１のアーム２３（第１のアーム駆動用減
速機３６内の軸受４４の内輪側の部材）の下面に固定用
ボルト１０７によって固定されている。この第１のハウ
ジング１０４の外周部は、軸線方向（上下方向）に延び
る円筒からなる周壁１０４ａが一体に形成され、この周
壁１０４ａを介して前記内輪１０３に接続されている。In the SCARA type robot 21 shown in FIG. 10, reinforcing bearings 101 and 102 are provided on the supporting portions of the first and second arms 23 and 24 as shown in FIG. In the reinforcing bearing 101 provided in the supporting portion of the first arm 23, the inner ring 103 is fitted and supported in the first housing 104, and the outer ring 105 is held in the second housing 106.
Is fitted and supported. The first housing 10
Reference numeral 4 denotes a disk-shaped member, and the first arm 23 (a member on the inner ring side of the bearing 44 in the first arm driving speed reducer 36) in a state where the first support shaft 37 penetrates the shaft center portion. It is fixed to the lower surface of the with a fixing bolt 107. The outer peripheral portion of the first housing 104 is integrally formed with a peripheral wall 104a made of a cylinder extending in the axial direction (vertical direction), and is connected to the inner ring 103 via the peripheral wall 104a.

【００４５】前記第２のハウジング１０６は、円環状に
形成され、前記第１のハウジング１０４の下面との間に
隙間が形成される状態で第１のアーム駆動用減速機３６
のハウジング４３（減速機３６内の軸受４４の外輪側の
部材）に固定用ボルト１０８によって固定されている。
また、この第２のハウジング１０６の外周部は、軸線方
向に延びる円筒からなる周壁１０６ａが前記第１のハウ
ジング１０４の前記周壁１０４ａより径方向の外側に位
置するように形成され、この周壁１０６ａを介して前記
外輪１０５に接続されている。The second housing 106 is formed in an annular shape, and the first arm driving speed reducer 36 is formed in a state where a gap is formed between the second housing 106 and the lower surface of the first housing 104.
It is fixed to the housing 43 (a member on the outer ring side of the bearing 44 in the speed reducer 36) by a fixing bolt 108.
Further, the outer peripheral portion of the second housing 106 is formed such that a peripheral wall 106a formed of a cylinder extending in the axial direction is located radially outside the peripheral wall 104a of the first housing 104. It is connected to the outer ring 105 through.

【００４６】すなわち、前記補強用軸受１０１は、前記
第１，第２のハウジング１０４，１０６に径方向の内側
と外側に位置するように形成された周壁１０４ａ，１０
６ａの間に介装されている。第２のハウジング１０６の
周壁１０６ａには、補強用軸受１０１を第２のハウジン
グ１０６に保持させるための円環状のストッパープレー
ト１０９が固定用ボルト１１０によって固定されてい
る。この実施の形態では、前記第２のハウジング１０６
に吸引用部材１１１が取付けられ、第１のハウジング１
０４と第２のハウジング１０６とによって囲まれた空間
と、減速機３６のハウジング４３内の空間とから前記吸
引用部材１１１によって空気を吸引し、軸受４４，１０
１や減速機３６内の摺動部で生じる塵埃がクリーンルー
ム内に飛散するのを防ぐ構成が採られている。That is, the reinforcing bearing 101 is formed on the first and second housings 104 and 106 so as to be located inside and outside in the radial direction.
It is interposed between 6a. An annular stopper plate 109 for holding the reinforcing bearing 101 on the second housing 106 is fixed to the peripheral wall 106 a of the second housing 106 by fixing bolts 110. In this embodiment, the second housing 106
The suction member 111 is attached to the first housing 1
04 and the second housing 106, and the space inside the housing 43 of the speed reducer 36 sucks air by the suction member 111, and the bearings 44, 10
1 and the dust generated at the sliding portion in the speed reducer 36 are prevented from scattering in the clean room.

【００４７】第２のアーム２４の支持部分に設けられた
補強用軸受１０２は、内輪１１２が第１のハウジング１
１３に嵌合して支持され、外輪１１４が第２のハウジン
グ１１５に嵌合して支持されている。前記第１のハウジ
ング１１３は、第２のアーム駆動用減速機４６のハウジ
ング４８を内部に収納する円筒状に形成され、固定用ボ
ルト１１６によって第２のアーム２４（前記減速機４６
内の軸受１１７の外輪側の部材）に固定されている。こ
の第１のハウジング１１３の下端部からなる周壁１１３
ａの外周面に、前記内輪１１２が嵌合されている。In the reinforcing bearing 102 provided on the supporting portion of the second arm 24, the inner ring 112 has the first housing 1
The outer ring 114 is fitted and supported by the second housing 115. The first housing 113 is formed in a cylindrical shape in which the housing 48 of the second arm driving speed reducer 46 is housed, and the second bolt 24 (the speed reducer 46
The inner bearing 117 is fixed to the outer ring side member). A peripheral wall 113 composed of a lower end portion of the first housing 113
The inner ring 112 is fitted to the outer peripheral surface of a.

【００４８】前記第２のハウジング１１５は、円環状に
形成されて第１のアーム２３（前記減速機４６内の軸受
１１７の内輪側の部材）の上面に固定用ボルト１１８に
よって固定されており、外周部に上方へ延びる円筒状の
周壁１１５ａが一体に形成されている。この周壁１１５
ａは、前記第１のハウジング１１３の前記周壁１１３ａ
より径方向の外側に形成され、内周面に前記補強用軸受
１０２の外輪１１４が嵌合されるとともに、上面に軸受
保持用のストッパープレート１１９が固定用ボルト１２
０によって固定されている。図１１において、１２１は
第２のアーム駆動用減速機４６のフレクスプラインを示
し、１２２はウェーブジェネレータ、１２３はサーキュ
ラスプラインを示す。The second housing 115 is formed in an annular shape and is fixed to the upper surface of the first arm 23 (a member on the inner ring side of the bearing 117 in the speed reducer 46) by a fixing bolt 118. A cylindrical peripheral wall 115a extending upward is integrally formed on the outer peripheral portion. This peripheral wall 115
a is the peripheral wall 113a of the first housing 113
The outer race 114 of the reinforcing bearing 102 is formed on the outer side in the radial direction, the outer race 114 of the reinforcing bearing 102 is fitted to the inner circumferential surface, and the bearing holding stopper plate 119 is provided on the upper surface.
It is fixed by 0. In FIG. 11, 121 indicates a flexspline of the second arm driving speed reducer 46, 122 indicates a wave generator, and 123 indicates a circular spline.

【００４９】この減速機４６の内部の空間と、前記第１
および第２のハウジング１１３，１１５によって囲まれ
た空間は、第２のアーム２４の基端部に設けられた吸引
用部材９８によって空気が吸引され、軸受１０２，１１
７や減速機４６内の摺動部から生じる塵埃がクリーンル
ーム内に飛散することがないように構成されている。な
お、塵埃の飛散をより一層少なく抑えるために、この実
施の形態によるスカラ型ロボット２１は、図１０に示す
ように、第２のアーム２４の回動端部にも第１のハウジ
ング１３１と第２のハウジング１３２が回転装置用減速
機６１を囲むように設けられ、これらのハウジング１３
１，１３２の内側の空間から吸引用部材９９によって空
気が吸引される構成が採られている。The space inside the speed reducer 46 and the first space
Air is sucked into the space surrounded by the second housings 113 and 115 by the suction member 98 provided at the base end portion of the second arm 24, and the bearings 102 and 11 are
7 and the dust generated from the sliding parts in the speed reducer 46 are not scattered in the clean room. In order to further suppress the scattering of dust, the SCARA robot 21 according to the present embodiment has the first housing 131 and the first housing 131 at the rotating end of the second arm 24 as shown in FIG. The second housing 132 is provided so as to surround the speed reducer 61 for the rotating device.
Air is sucked by the suction member 99 from the space inside 1,132.

【００５０】第１，第２のアーム２３，２４の支持部分
に上述したように介装された補強用軸受１０１，１０２
は、いわゆる４点接触式のもので、ラジアル方向の荷重
と、スラスト方向の荷重と、軸線が傾斜する方向の荷重
（モーメント荷重）とを支えることができるものが使用
されている。この補強用軸受１０１，１０２は、１個の
クロスローラベアリング、一対のアンギュラベアリング
によって構成することもできる。この軸受１０１，１０
２の内輪と外輪との間に非接触式のシール部材（図示せ
ず）を設けることにより、軸受内も吸引されるようにな
って摺動粉が飛散するのをより一層効果的に防ぐことが
できるようになる。Reinforcing bearings 101, 102 interposed as described above on the supporting portions of the first and second arms 23, 24.
Is a so-called four-point contact type, which is capable of supporting a load in the radial direction, a load in the thrust direction, and a load in the direction in which the axis is inclined (moment load). The reinforcing bearings 101 and 102 may be composed of one cross roller bearing and a pair of angular bearings. This bearing 101, 10
By providing a non-contact type seal member (not shown) between the inner ring and the outer ring of No. 2, it is possible to more effectively prevent the sliding powder from being scattered because the inside of the bearing is also sucked. Will be able to.

【００５１】この第２の実施の形態で示したように、第
１のアーム２３と第２のアーム２４を支持する軸受４
４，１１７の内輪側および外輪側の部材に第１のハウジ
ング１０４，１１３と第２のハウジング１０６，１１５
とが設けられ、これらのハウジングに径方向の内側と外
側とに位置するように形成された周壁１０４ａ，１１３
ａ，１０６ａ，１１５ａの間に補強用軸受１０１，１０
２が介装されているから、両アーム２３，２４の支持系
に軸受が径方向の内側と外側とに位置するように、すな
わち軸受４４，１１７が内側に位置し、補強用軸受１０
１，１０２が外側に位置するように、２種類設けられ
る。このため、この実施の形態によるスカラ型ロボット
２１は、第１および第２のアーム２３，２４の支持部分
の剛性を向上させることができるから、小型化されても
両アームを強固に支持できるようになる。As shown in the second embodiment, the bearing 4 supporting the first arm 23 and the second arm 24.
First and second housings 104 and 113 and second and second housings 106 and 115 are provided on the inner and outer ring members of 4, 117.
And peripheral walls 104a and 113 formed on these housings so as to be located inside and outside in the radial direction.
a, 106a, 115a between the reinforcing bearings 101, 10
2, the bearings 44 and 117 are positioned inside and outside in the radial direction in the support system of both arms 23 and 24, that is, the bearings 44 and 117 are positioned inside and the reinforcing bearing 10 is provided.
Two types are provided so that 1, 102 are located outside. Therefore, the SCARA robot 21 according to this embodiment can improve the rigidity of the supporting portions of the first and second arms 23 and 24, and thus can firmly support both arms even if the size is reduced. become.

【００５２】上述した第１および第２の実施の形態で
は、クリーンルーム内で使用するスカラ型ロボット２１
について説明したが、本発明は、このような限定にとら
われることはなく、どのような環境で用いられるスカラ
型ロボットにも適用することができる。また、第１およ
び第２の実施の形態に示したスカラ型ロボット２１は、
摺動分が飛散するのを抑える必要がない環境で用いる場
合には、関節部分に外部から空気を供給し、いわゆるエ
アーパージ式の構成を採ることができる。この構成を採
ることにより、防塵・防滴型のスカラ型ロボットを形成
することができる。特に第２の実施の形態では、軸受１
０１，１０２の内輪と外輪の間に接触式のシール部材を
設けることにより、防塵・防滴性を高めることができ
る。In the first and second embodiments described above, the SCARA type robot 21 used in the clean room is used.
However, the present invention is not limited to such a limitation and can be applied to a SCARA robot used in any environment. In addition, the scalar type robot 21 shown in the first and second embodiments is
When it is used in an environment in which it is not necessary to suppress the scattering of the amount of sliding, it is possible to supply air from the outside to the joint portion and adopt a so-called air purge type configuration. By adopting this configuration, a dustproof / dripproof SCARA robot can be formed. Particularly in the second embodiment, the bearing 1
By providing a contact-type seal member between the inner and outer races 01 and 102, the dustproof and dripproof properties can be enhanced.

【００５３】[0053]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、配
線収納用パイプの屈曲部分は、連結用ステーによって一
定の曲率に保持される。このため、直線状に成形された
配線収納用パイプを逆Ｕ字状に屈曲することによりパイ
プ内に生じた内部応力でパイプの両端部が開くのを連結
用ステーによって規制することができる。As described above, according to the present invention, the bent portion of the wiring containing pipe is held at a constant curvature by the connecting stay. Therefore, by bending the linearly formed pipe for storing wiring into an inverted U-shape, it is possible to restrict the opening of both ends of the pipe by the connecting stay due to the internal stress generated in the pipe.

【００５４】したがって、アームが回動したときに前記
パイプからアームと基台とに加えられる反力は、前記内
部応力の分だけ従来に較べて低減するから、アームの関
節部分の剛性が相対的に低くなる小型のスカラ型ロボッ
トであってもアームの位置決め精度を向上させることが
できる。Therefore, the reaction force applied from the pipe to the arm and the base when the arm is rotated is reduced by the amount of the internal stress as compared with the conventional case, so that the rigidity of the joint portion of the arm is relatively high. Even with a small SCARA robot that becomes extremely low, the positioning accuracy of the arm can be improved.

【００５５】請求項２記載の発明によれば、アームの支
持系に軸受が径方向の内側と外側とに位置するように２
種類設けられるから、アームの支持部分の剛性が向上
し、より一層アームの位置決め精度が高くなる小型のス
カラ型ロボットを提供することができる。According to the second aspect of the present invention, the bearing is provided in the support system of the arm so that the bearing is located inside and outside in the radial direction.
Since a variety of types are provided, it is possible to provide a small-scale SCARA robot in which the rigidity of the arm supporting portion is improved and the positioning accuracy of the arm is further improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】 本発明に係るスカラ型ロボットの側面図であ
る。FIG. 1 is a side view of a SCARA type robot according to the present invention.

【図２】 本発明に係るスカラ型ロボットの平面図であ
る。FIG. 2 is a plan view of a SCARA type robot according to the present invention.

【図３】 本発明に係るスカラ型ロボットの正面図であ
る。FIG. 3 is a front view of a SCARA type robot according to the present invention.

【図４】 基台と第１のアームおよびフレキシブルチュ
ーブとの接続部分を拡大して示す断面図である。FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view showing a connection portion between a base, a first arm and a flexible tube.

【図５】 第２のアームとフレキシブルチューブとの接
続部分を拡大して示す断面図である。FIG. 5 is an enlarged sectional view showing a connection portion between a second arm and a flexible tube.

【図６】 連結用ステーを拡大して示す平面図である。FIG. 6 is an enlarged plan view showing a connecting stay.

【図７】 フレキシブルチューブの断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view of a flexible tube.

【図８】 本発明に係るスカラ型ロボットの動作を説明
するための図である。FIG. 8 is a diagram for explaining the operation of the SCARA robot according to the present invention.

【図９】 フレキシブルチューブの側面図である。FIG. 9 is a side view of a flexible tube.

【図１０】 スカラ型ロボットの他の実施の形態を示す
側面図である。FIG. 10 is a side view showing another embodiment of the SCARA type robot.

【図１１】 アームの支持部分を拡大して示す断面図で
ある。FIG. 11 is an enlarged sectional view showing a supporting portion of the arm.

【図１２】 従来のスカラ型ロボットの側面図である。FIG. 12 is a side view of a conventional SCARA robot.

【図１３】 従来のスカラ型ロボットの平面図である。FIG. 13 is a plan view of a conventional SCARA robot.

【図１４】 従来のフレキシブルチューブの断面図であ
る。FIG. 14 is a cross-sectional view of a conventional flexible tube.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

２１…スカラ型ロボット、２２…基台、２３…第１のア
ーム、２４…第２のアーム、３６，４６…減速機、３７
…第１の支軸、４３，４８…ハウジング、４４，１１
７，１０１，１０２…軸受、４５…第２の支軸、７１…
フレキシブルチューブ、７１ａ…屈曲部分、７１ｂ…根
元部分、７２…モータ線、７３…レゾルバ線、７４…ユ
ーザー配線、８１…連結用ステー、１０４，１１３…第
１のハウジング、１０６，１１５…第２のハウジング、
１０４ａ，１０６ａ，１１３ａ，１１５ａ…周壁。21 ... SCARA type robot, 22 ... Base, 23 ... First arm, 24 ... Second arm, 36, 46 ... Reducer, 37
... first support shafts 43,48 ... housings 44,11
7, 101, 102 ... Bearing, 45 ... Second support shaft, 71 ...
Flexible tube, 71a ... Bent portion, 71b ... Root portion, 72 ... Motor wire, 73 ... Resolver wire, 74 ... User wiring, 81 ... Connecting stay, 104, 113 ... First housing, 106, 115 ... Second housing,
104a, 106a, 113a, 115a ... Peripheral wall.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 基台に対して回動するアームと前記基台
との間に、配線を収納した可撓性を有するパイプがＵ字
状に屈曲されて架け渡されたスカラ型ロボットにおい
て、前記パイプの屈曲部分の近傍の根元部分どうしを連
結用ステーによって互いに連結したことを特徴とするス
カラ型ロボット。1. A SCARA robot in which a flexible pipe containing a wire is bent and bridged in a U shape between an arm that rotates with respect to a base and the base, A scalar type robot characterized in that root portions near the bent portion of the pipe are connected to each other by a connecting stay. 【請求項２】 請求項１記載のスカラ型ロボットにおい
て、アームの支持系における軸受の内輪側の部材と外輪
側の部材とに、この軸受の径方向の外側で上下方向に延
びる周壁を有する第１のハウジングと第２のハウジング
とを設け、これら両ハウジングの前記周壁を同一軸線上
であって径方向の内側と外側に位置するように形成し、
これらの周壁の間に軸受を介装したことを特徴とするス
カラ型ロボット。2. The scalar type robot according to claim 1, wherein the member on the inner ring side and the member on the outer ring side of the bearing in the support system of the arm have peripheral walls extending in the vertical direction outside the radial direction of the bearing. A first housing and a second housing are provided, and the peripheral walls of the both housings are formed so as to be located on the same axis and radially inside and outside, respectively.
A scalar type robot characterized by having a bearing interposed between these peripheral walls.