JP2003254953A - 超音波映像検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 水槽底部に高分子膜を試料に押し付けて超音
波検査測定を行うとき、高分子膜と試料の密着性を高め
て測定精度を向上し、実用性を高める。 【解決手段】 探傷器回路２２で作られた電気信号を超
音波探触子１３で超音波に変換し、超音波を水１８を介
して試料２０に入射させ、試料内部から戻る超音波反射
エコーを超音波探触子で電気信号に変換し試料内部を映
像化する超音波映像検査装置である。この装置は、内部
に水を収容しかつ測定時に試料の表面に押し付けられる
高分子膜２６を底部に備えた水槽１７と、高分子膜の押
付け面と試料の表面の間に水を介在させる水供給装置
（３１，３２，３３）とを備え、測定時に押し付けられ
た高分子膜と試料は両者の間に介在する水により密着さ
せられるように構成される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は超音波映像検査装置
に関し、特に、電子部品等の精密な試料に対する媒質に
よるダメージをできる限り少なくし、生産ラインで流れ
る大量の製品検査において全数検査を行える超音波映像
検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】材料欠陥を検出し評価する非接触式の検
査装置として超音波映像検査装置が知られている。超音
波映像検査装置は、一般的に、水槽に溜めた水（液体媒
質）の中に試料を置き、超音波探触子から出射される超
音波を水を介して試料の中に入射させ、試料内部からの
超音波反射エコーを超音波探触子で受信し、電気信号に
変換し、その後受信した電気信号を信号処理するように
構成されている。以上の構成で、超音波探触子は３軸ス
キャナに支持され、試料の測定表面を走査できるように
設けられている。試料内部からの超音波反射エコーに係
る電気信号は探傷器回路に入力され、上記信号処理が行
われる。コンピュータから成る制御装置は３軸スキャナ
と探傷器回路のそれぞれの動作を制御し、試料の測定表
面の各測定点で得られた信号に基づいて探傷映像を作成
し、表示装置に表示する。上記超音波映像検査装置では
主に１ＭＨｚ以上の超音波が用いられる。１ＭＨｚ以上
の超音波は空気中では減衰が大きく伝播しにくい。その
ため試料は媒質の入った水槽中に保持されて超音波探傷
をされる。媒質としては一般的に水が使用される。

【０００３】一方、半導体パッケージ等の電子部品は、
内部の接着剥離や、封止樹脂中の気泡が不良の原因とな
るので、超音波映像検査装置による検査の対象となる。
かかる電子部品は、一般に水に濡れると機能が劣化する
ものが多く、一度測定したものを正常品として扱うこと
ができないという問題点が生じる。また表面実装電子基
板等では、ハンダリフロー時の熱など実装工程における
不良の発生が予想され、実装後基板のままで検査するこ
とが重要である。しかし、検査のために基板のまま媒質
中に入れることは、他の部品にも多くのダメージを与え
る。そのため媒質のダメージを受けないように検査が行
えることが望まれる。

【０００４】そこで、近年、電子部品である試料が液体
媒質の影響を受けない検査の仕方として下記の２例の検
査方法が提案されている。

【０００５】第１の例は、「材料評価のための新しい音
響映像法」（日本非破壊検査協会００７特別研究委員会
１９９０年４月１９日発表）に開示された検査方法であ
る。この文献による音響映像法は、超音波映像検査装置
や超音波顕微鏡を含む映像方法である。上記文献に開示
されている音響影像法では、試料（未焼結セラミック
ス）の上方にポリエチレン袋を配置し、ポリエチレン袋
に水を溜め、ポリエチレン袋と試料の間において試料に
粘着テープを貼りかつ当該粘着テープの上にゲル剤を設
けて、ポリエチレン袋と試料を密着させている。超音波
探触子はポリエチレン袋内の水の中に配置されている。
試料としての未焼結セラミックスは水に接触させるとそ
の吸水性によって変質してしまうので、上記の装置構成
によれば試料と水が接触するのを防止している。

【０００６】第２の例は、「A Dry-Contact Method for
Transmitting Higher Frequency Components of Ultra
sound」（Proc. Int. Conf. on Mechatronics and Info
rmation Technology 2001,Yamaguchi,(2001),272-277）
に開示された検査方法である。この検査方法において
も、その図１に示されるように、超音波を伝播させる水
が入った水槽の中に超音波探触子を配置させ、当該水槽
の底部に開口部を形成して膜を設け、水槽の外にある試
料に対して膜を接触させて超音波探傷の検査を行うよう
に構成している。さらに膜が試料に接触させた状態にお
いて、水槽と試料の間に形成した気密空間を排気して減
圧する真空排気機構を設け、膜と試料との密着性を高め
るようにしている。使用する膜についてはプラスチック
膜やゴム膜等の各種材質の膜が試されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】電子部品と媒質の接触
を避ける目的で試料にゲル剤を塗ってポリエチレンの水
袋を当てるという上記第１例に係る検査方法では、ポリ
エチレン袋に皺が発生し、ポリエチレン袋と試料の間の
隙間に空気層が生じるおそれがある。皺が原因で試料と
膜の間に空気層が生じると、超音波は空気層で全反射し
試料内部には伝わらないので、試料内部の超音波映像が
得られない。そのため、隙間を埋めるようにゲル剤を多
く塗布しておいたり、試料にポリエチレンの水袋を当て
た後、水袋側から押し付けるなど、試料との間で均一な
密着性を持たせる必要がある。

【０００８】プラスチック膜やゴム膜等の膜を底部に備
えた水槽を利用し、水槽の底部における下方へ膨出した
高分子膜を試料の測定表面に押しつけるというドライ接
触式の第２例に係る検査方法では、試料表面の微細凹凸
に起因して所要の密着性を得ることができない場合があ
るので、膜と試料表面の接触部の空間を気密空間に形成
してその内部を真空排気装置で排気するようにしてい
る。このため、構成が複雑になり、装置コストが高くな
る。また試料が多数の電子部品を搭載した電子回路基板
であり、電子回路基板上の各電子部品を検査する場合に
は、各測定箇所で上記の気密空間および真空排気に関す
る構成を設けることが困難であり、さらに膜と試料の位
置を変化させ、膜との間で押付け接触の関係が形成され
る試料の測定箇所を迅速に変えていくには、不都合な構
成であり、実用性の高い超音波映像検査装置とはなって
いない。

【０００９】本発明の第１の目的は、上記課題を解決す
るもので、媒質を収容した容器の底部に高分子膜を備
え、高分子膜を試料に押し付けて検査測定を行うとき、
高分子膜と試料の密着性を高めて測定精度を向上し、実
用性を高めると共に、当該密着性を高めるための構成を
簡易に実現した超音波映像検査装置を提供することにあ
る。

【００１０】本発明の第２の目的は、複数の電子部品を
搭載した回路基板の検査測定に適し、電子部品を濡らす
ことなく検査でき、検査による電子部品へのダメージを
なくすことを企図した超音波映像検査装置を提供するこ
とにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段および作用】本発明に係る
超音波映像検査装置は、上記の目的を達成するために、
次のように構成される。

【００１２】第１の超音波映像検査装置（請求項１に対
応）は、探傷器回路で作られた電気信号を超音波探触子
で超音波に変換し、超音波を液体媒質を介して試料に入
射させ、試料の内部から戻る超音波反射エコーを超音波
探触子で電気信号に変換して、試料の内部を映像化する
装置であり、内部に液体媒質を収容しかつ測定時に試料
の表面に押し付けられる高分子膜を底部に備えた容器
（水槽等）と、高分子膜の押付け面と試料の表面の間に
液体媒質（水等）を介在させる液体媒質供給装置とを備
え、測定時に押し付けられた高分子膜と試料は両者の間
に介在する液体媒質により密着させられるように構成さ
れる。

【００１３】上記の超音波映像検査装置では、超音波を
伝播させる液体媒質である水を収容する水槽の底部に高
分子膜を設け、この高分子膜を試料に押し付けた状態で
超音波プローブから試料へ超音波を入射させるようにす
る。試料は水槽の外側が置かれるので、試料は水による
ダメージを避けることができる。また高分子膜と試料と
の間に水等の液体媒質を介在させる液体媒質供給装置を
設けることで、当該液体媒質で高分子膜と試料の密着性
を高め、試料へのダメージ抑制を維持しつつ測定性能を
高くすることが可能となる。

【００１４】第２の超音波映像検査装置（請求項２に対
応）は、第１の構成において、好ましくは、液体媒質供
給装置は試料の表面に液体媒質を吹き掛ける吹掛け装置
であることを特徴とする。この構成によって、水槽の底
部から下方へ膨出した高分子膜が試料に押し付けられる
前の段階で、試料の表面は液体媒質で濡らされ、高分子
膜と試料の密着性が高められる。

【００１５】第３の超音波映像検査装置（請求項３に対
応）は、第１の構成において、好ましくは、液体媒質供
給装置は高分子膜の押付け面を液体媒質で濡らす装置で
あることを特徴とする。この構成では、高分子膜が試料
に押し付けられる前の段階で高分子膜の下面が濡れた状
態にされる。

【００１６】第４の超音波映像検査装置（請求項４に対
応）は、上記の各構成において、好ましくは、容器の底
部に高分子膜用の窓が複数個形成されることを特徴とす
る請。この構成によって、例えばトレイに複数の試料が
載置され、これらの試料を同時に測定する場合に、各試
料に対応する窓を設け、窓ごとに高分子膜を設けてすべ
ての試料の測定を行うことが可能となる。

【００１７】第５の超音波映像検査装置（請求項５に対
応）は、探傷器回路で作られた電気信号を超音波探触子
で超音波に変換し、超音波を液体媒質を介して試料に入
射させ、試料の内部から戻る超音波反射エコーを超音波
探触子で電気信号に変換して、試料の内部を映像化する
装置であり、内部に液体媒質を収容しかつ測定時に試料
の表面に押し付けられる高分子膜を底部に備えた容器
（水槽等）と、容器の高分子膜を試料の任意の箇所に押
し付ける３軸スキャナ部とを備えるように構成される。

【００１８】上記の超音波映像検査装置では、検査対象
である試料を水槽の外側に置き、水槽の底部に設けた高
分子膜を試料に押し付けて試料に水槽内の水を経由して
超音波を当てて検査を行う構成において、高分子膜を試
料の任意の箇所に押し付けることを可能にする３軸スキ
ャナ部を設けることにより、多数の電子部品を搭載する
表面実装基板等の試料を電子部品に水等によるダメージ
を与える検査でき、製造ラインの検査工程に適した実用
的な超音波映像検査を行うことができる。

【００１９】第６の著音波映像検査装置は（請求項６に
対応）は、上記の第５の構成において、好ましくは、３
軸スキャナ部は容器と試料のうちいずれか一方を移動さ
せることを特徴とする。この構成により、容器と試料の
間で相対的な位置の変化を生じさせる。

【００２０】第７の超音波映像検査装置（請求項７に対
応）は、上記の各構成において、好ましくは、高分子膜
の押付け面と試料の表面の間に液体媒質を介在させる液
体媒質供給装置とを備え、測定時に押し付けられた高分
子膜と試料は両者の間に介在する液体媒質により密着さ
せられることを特徴とする。この構成により、高分子膜
と試料との密着性を高め、測定性能を高めることが可能
となる。

【００２１】第８の超音波映像検査装置（請求項８に対
応）は、上記の第７の構成において、好ましくは、液体
媒質供給装置は試料の表面に液体媒質を吹き掛ける吹掛
け装置であることを特徴とする。

【００２２】第９の超音波映像検査装置（請求項９に対
応）は、上記の第７の構成において、好ましくは、液体
媒質供給装置は高分子膜の押付け面を液体媒質で濡らす
装置であることを特徴とする。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の好適な実施形態
を添付図面に基づいて説明する。

【００２４】実施形態で説明される構成、形状、大きさ
および配置関係については本発明が理解・実施できる程
度に概略的に示したものにすぎず、また数値および各構
成要素の組成（材質）については例示にすぎない。従っ
て本発明は、以下に説明される実施形態に限定されるも
のではなく、特許請求の範囲に示される技術的思想の範
囲を逸脱しない限り様々な形態に変更することができ
る。

【００２５】図１は本発明の第１実施形態を示す。図１
に示された構成は、本実施形態の超音波映像検査装置で
の測定時の状態を示している。図１において、基台１１
の上に３軸スキャナ１２が設けられている。３軸スキャ
ナ１２は、図１に示したＸ，Ｙ，Ｚの各軸方向への超音
波探触子（超音波プローブ）１３の移動を可能する移動
機構を有している。３軸スキャナ１２は、基台１１の上
に立つ少なくとも２本の支柱１４と、２本の支柱１４の
間に掛け渡されている棒状フレーム１５と、フレーム１
５上で移動するごとく取り付けられた支持部１６とから
構成されている。上記の超音波探触子１３は支持部１６
の下部にＺ軸方向に移動できるように取り付けられてい
る。超音波探触子１３は超音波の出射面を下方を向けて
配置されている。基台１１の上には水槽１７が置かれて
いる。水槽１７の中には超音波を伝播する水（液体媒
質）１８が溜められている。

【００２６】探触子１３は３軸スキャナ１２によって３
軸方向に移動され、かつ探触子１３の下端の超音波出射
面は水１８の中に入っている。探触子１３は、３軸スキ
ャナ１２の移動動作に基づき試料の測定面（ＸＹ面）を
走査し、あるいはＺ軸方向に移動させられる。コンピュ
ータ２１は探傷器回路２２と３軸スキャナ１２の動作を
制御する。探傷器回路２２はパルス的電気信号を出力
し、探触子１３に与える。探触子１３は当該電気信号を
超音波を変換し、この超音波を水１８の中に出射する。
探触子１３から出射された超音波は、後述する構造に基
づき、セットされた試料２０に入射される。試料２０か
ら戻ってきた超音波反射エコーは探触子１３により電気
信号に変換され、探傷器回路２２で受信される。かかる
反射エコー信号によって試料内部の欠陥状態を知られ
る。コンピュータ２１は探傷器回路２２の動作を制御し
かつ３軸スキャナ１２の移動動作を制御す。これにより
試料２０上の測定面の各点で反射エコーに係る電気信号
を取得する。得られた反射エコーに係る電気信号に基づ
いて探傷映像を作成し、表示装置２３の画面に当該探傷
映像を表示する。

【００２７】さらに上記超音波映像検査装置における特
徴的構成を説明する。水槽１７は水槽支持部２４によっ
て支持され、その下方にスペース２５が形成されてい
る。水槽支持部２４は水槽１７を上下動させ、水槽１７
の高さ位置を変えることができる。水槽支持部２４の動
作はコンピュータ２１によって制御される。スペース２
５は試料２０を配置するための場所である。試料２０は
例えば半導体デバイスチップのごとき単品の電子部品で
あり、基台１１の上に置かれている。水槽１７の形状は
任意である。水槽１７の底部１７ａの中央はくり貫かれ
て例えば円形の開口部が形成され、この開口部を塞ぐよ
うにして例えば高分子膜２６（その他、ゴム膜やそれに
類似する膜）が取り付けられている。高分子膜２６は取
付けユニットと一体化されている。高分子膜２６の下面
は、試料２０を測定する時には、試料２０の上面の測定
面に接触し、これに押し付けられている。水槽１７の中
は水１８が入っているので、高分子膜２６はその重量で
下方に伸びるようになっている。高分子膜２６の下面は
水１８の重みで試料２０の測定面に押し付けられる。か
かる状態において、超音波探触子１３は、水槽１７の水
１８の中にあって試料２０の測定面を走査し、試料２０
中の超音波映像を測定する。

【００２８】水槽１７の底部１７ａの下面には注水ノズ
ル３１が設けられている。注水ノズル３１の先部の放出
部３１ａの斜め下方に向いて開口部の縁部に位置する。
注水ノズル３１はホース３２を介して注水装置３３に接
続されている。注水装置３３の注水動作は上記コンピュ
ータ２１で制御される。図２に示すごとく、測定を開始
する前であって下方に膨出した高分子膜２６の下面が試
料２０の上面に押し付けられる前の段階で、注水ノズル
３１の放出部３１ａから水３４が放出して試料２０の上
面に吹き付けられ、試料２０の上面（測定面）のみが濡
らされる。その状態において、水槽１７は下降し、高分
子膜２６の下面が試料２０の上面に押し付けられる。こ
れにより高分子膜２６の下面と試料２０の上面との密着
性が極めて高められる。

【００２９】なお上記の構成では、高分子膜２６と試料
２０を接触させる段階で試料２０の上面に媒質である水
３４を注水ノズル３１から供給するようにしたが、水の
代わりにイソプロピルアルコール等を用いることができ
る。高分子膜２６と試料２０の間に与えられる媒質とし
ては、粘度の高いゲル剤よりも、粘度の低い媒質の方が
隙間に入っていきやすいので、超音波の伝播に良くな
り、好ましい。注水ノズル３１によって高分子膜２６と
試料２０の間に供給される水（媒質）の量は、接触界面
に行き渡る程度の少量で良く、精密電子部品である試料
２０にダメージに与えない程度の量を使用することが望
ましい。

【００３０】図３に水が入っていない状態の水槽１７を
示し、図４に水１８を入れた状態の水槽１７を示す。高
分子膜２６を取り付けられた水槽１７は水１８が入る
と、水の重さにより中央部が下がり、底部１７ａの開口
部４１から膨出する。高分子膜２６を試料２０に当てる
際に、膨らんだ高分子膜２６の中央部から徐々に外側に
向かって試料２６に接触させることにより、高分子膜２
６と試料２０の間に泡や皺が入ることなく両者を密着さ
せることができる。

【００３１】図５に高分子膜の取付け・取外し構造を示
す。水槽１７の底部１７ａに設けられた高分子膜２６は
試料との接触を繰り返すことで劣化しやすく、また試料
や使用する超音波探触子１３の周波数により適正な高分
子膜の材質や厚みは異なるため、交換が必要となる。そ
こで、高分子膜２６は、上記開口部４１を有する支持フ
レーム５１と、同じく開口５２を有する押えフレーム５
３とで挟み込むようにして張りつけてある。支持フレー
ム５１と押えフレーム５３の平面形状は好ましくはリン
グ状である。支持フレーム５１と押えフレーム５３は複
数のネジ５４によって自在に組立てまたは分解すること
ができる。支持フレーム５１と押えフレーム５３と高分
子膜５３はユニット化され、当該高分子膜ユニットをさ
らにネジ５４を用いてシール性を保持した構造にて水槽
１７の底部１７ａの開口部５５に取り付ける。以上のご
とく高分子膜２６は水槽１７において容易に交換するこ
とができる。

【００３２】図６に第１実施形態の変形例を示す。この
図は水槽部分の縦断面図を示す。この変形例では、高分
子膜２６の素材としてラテックスなどのゴム膜のような
弾性率の高い素材を用いたときの水槽１７の状態を示
す。この変形例によれば、水１８の重さでポリエチレン
などを用いたときよりも膜の底部が丸くたわみ、試料２
０との接触時に、より皺になりにくく、空気層の発生を
少なくできる。

【００３３】次に図７を参照して本発明の第２実施形態
を説明する。この実施形態では、水槽１７と高分子膜２
６と注水ノズルの部分のみが示されている。超音波映像
検査装置のその他の構成は上記第１実施形態で説明した
構成と同じであるので、図示を省略する。図６に示され
た構成では、注水ノズル５５の先部の放出部５５ａは、
開口部４１の縁に沿って上向きに形成され、高分子膜２
６の下面に接近するように構成されている。上記の構成
によって、媒質である水５６が高分子膜２６の下面に沿
って流れる。水５６の量は前述の実施形態の場合と同じ
である。

【００３４】次に図８に基づいて本発明に係る超音波映
像検査装置の第３実施形態を説明する。図８において、
図１に示した要素と実質的に同一の要素には同一の符号
を付している。また図１で説明したコンピュータ２１、
探傷器回路２２、表示装置２３、注水ノズル３１等の構
成の図示は省略されている。

【００３５】図８において１７は前述した水槽、２６は
高分子膜である。この実施形態で、水槽１７は超音波映
像検査装置において図８に示される位置に固定されてい
る。この固定位置は、装置のほぼ中央位置である。水槽
１７を固定にするための水槽固定軸６１が設けられてい
る。

【００３６】試料は多数の電子部品６２が取り付けられ
た表面実装基板６３である。表面実装基板６３は基板移
動用の３軸の試料ステージ６４上に取り付けられてい
る。試料ステージ６４は、基台１１の上に固定されたＹ
軸ステージ６５と、Ｙ軸ステージ６５の上に取り付けら
れたＸ軸ステージ６６と、Ｘ軸ステージ６６の上に取り
付けられたＺ軸ステージ６７とから構成されている。Ｚ
試料ステージ６７は表面実装基板６３をＸ軸、Ｙ軸、Ｚ
軸の各方向に任意に移動させる。かかる試料ステージ６
４によって、表面実装基板６３上の任意の箇所に水槽１
７の高分子膜２６を当て、その箇所の超音波映像を測定
することができる。試料ステージ６４の動作は前述のコ
ンピュータ２１によって制御される。

【００３７】次に図９に基づいて本発明に係る超音波映
像検査装置の第４実施形態を説明する。図９において、
図１と図８に示した要素と実質的に同一の要素には同一
の符号を付している。また図１で説明したコンピュータ
２１、探傷器回路２２、表示装置２３等の図示は省略さ
れている。

【００３８】図９で１７は水槽、２６は高分子膜であ
る。この実施形態では、水槽１７は動かない状態で固定
されず、３軸の水槽ステージ７１に取り付けられてい
る。この水槽ステージ７１によって水槽１７は３軸のい
ずれかの任意の方向に移動させられる。他方、試料であ
る表面実装基板６３は基台１１の上に置かれ、その位置
は動かないように固定された状態にある。なお水槽ステ
ージ７１の移動動作は上記コンピュータ２１によって制
御される。

【００３９】図１０に従って本発明に係る超音波映像検
査装置の第５実施形態を説明する。図１０では、水槽の
構造部分のみを示し、その他の構成は前述の実施形態と
同じである。この実施形態では、試料と高分子膜２６の
密着を均一に保つために、高分子膜２６の膨出量または
たわみ量を適正に保つことができる構成を付設してい
る。すなわち水槽１７の水位を可変させることができる
ように、水槽１７に側壁下部に給排水チューブ７２を付
設している。給排水チューブ７２で水槽１７内の水１８
の水位を可変にすることにより、高分子膜２６の材質や
試料の形状などに応じてたわみ量を可変させることがで
きる。給排水チューブ７２による給排水は手動で行って
も良いし、自動装置によって行っても良い。

【００４０】図１１に従って本発明に係る超音波映像検
査装置の第６実施形態を説明する。図１１では、水槽１
７と、トレイ７３に載置された複数の試料７４が示され
ている。その他の構成は、前述の実施形態の場合と同じ
である。生産ライン上で検査を行なう場合はトレイ７３
上に載せられた複数の試料７４を同時に測定する必要が
ある。このような場合には、前述した実施形態のごとく
水槽と試料の位置のいずれか一方または両方を制御する
以外に、水槽１７の下面の高分子膜７５の複数の窓を形
成する窓枠７６を設置するように構成することもでき
る。この構成によれば、大量の試料７４を媒質によって
濡れるという影響を受けることなく、高速で処理するこ
とができる。

【００４１】

【発明の効果】以上の説明で明らかなように本発明によ
れば、次の効果を奏する。

【００４２】水等の超音波媒質を収容した容器の底部に
高分子膜を備え、高分子膜を試料に押し付けて超音波映
像検査測定を行うときにおいて、高分子膜と試料を接触
させる前の段階で試料の表面または高分子膜の表面を適
量の水等で濡らすようにした構成を設けたため、高分子
膜と試料の密着性を高めることができ、測定精度を向上
することができる。また実用的な超音波映像検査という
観点で有効であると共に、当該密着性を高めるための構
成を簡易かつ安価に実現することができる。

【００４３】超音波映像検査装置において高分子膜を下
面に設けた水槽を用いたため、試料への媒質によるダメ
ージを少なくする超音波映像検査を行うことができる。
従って、試料がＩＣチップなどの精密な電子部品である
場合に試料を保護することができ、正確に任意の場所の
探傷検査を行うことができる。本発明によれば、半導体
デバイスの製造工程において製造対象である半導体デバ
イスの全数調査を行うことができ、電子部品の出荷検査
などに有効である。

【００４４】また本発明によれば、実装済みの表面実装
基板上のＩＣチップに対しても、他の部品へのダメージ
を少なくして任意の場所の超音波映像検査が可能であ
り、出荷検査等に有効である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る超音波映像検査装置の第１実施形
態の構成図である。

【図２】第１実施形態における試料表面を濡らす動作状
態を示す図である。

【図３】第１実施形態における空の状態を示す水槽の縦
断面図である。

【図４】第１実施形態における水が入れられた状態の水
槽の縦断面図である。

【図５】第１実施形態における水槽の底部に設けられた
高分子膜ユニットの分解状態を示す縦断面図である。

【図６】第１実施形態における水槽の底部に設けた高分
子膜の他の例を示す縦断面図である。

【図７】本発明に係る超音波映像検査装置の第２実施形
態を示す縦断面図である。

【図８】本発明に係る超音波映像検査装置の第３実施形
態を示す構成図である。

【図９】本発明に係る超音波映像検査装置の第４実施形
態を示す構成図である。

【図１０】本発明に係る超音波映像検査装置の第５実施
形態を示す縦断面図である。

【図１１】本発明に係る超音波映像検査装置の第６実施
形態を示す縦断面図である。

【符号の説明】

１１ 基台 １２ ３軸スキャナ １３ 超音波探触子 １６ 支持部 １７ 水槽 １８ 水 ２０ 試料 ２４ 水槽支持部 ２６ 高分子膜 ３１ 注水ノズル ５５ 注水ノズル ６１ 水槽固定軸 ６２ 電子部品 ６３ 表面実装基板 ６４ 試料ステージ ７１ 水槽ステージ ７２ 給排水チューブ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山本 登 茨城県土浦市神立町650番地 日立建機フ ァインテック株式会社内 (72)発明者 邉春 俊幸 茨城県土浦市神立町650番地 日立建機フ ァインテック株式会社内 (72)発明者 石島 真 茨城県土浦市神立町650番地 日立建機フ ァインテック株式会社内 (72)発明者 川上 直哉 茨城県土浦市神立町650番地 日立建機フ ァインテック株式会社内 Ｆターム(参考） 2G047 AC10 AD08 BA03 BB01 BB05 BC07 CA01 DB12 EA10 EA14 EA16 EA20 GE01 GE02 GE04

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 探傷器回路で作られた電気信号を超音波
   探触子で超音波に変換し、前記超音波を液体媒質を介し
   て試料に入射させ、前記試料の内部から戻る超音波反射
   エコーを前記超音波探触子で電気信号に変換して、前記
   試料の内部を映像化する超音波映像検査装置において、 内部に前記液体媒質を収容しかつ測定時に前記試料の表
   面に押し付けられる高分子膜を底部に備えた容器と、 前記高分子膜の押付け面と前記試料の表面の間に液体媒
   質を介在させる液体媒質供給手段とを備え、 測定時に押し付けられた前記高分子膜と前記試料は両者
   の間に介在する前記液体媒質により密着させられること
   を特徴とする超音波映像検査装置。
2. 【請求項２】 前記液体媒質供給手段は前記試料の表面
   に液体媒質を吹き掛ける吹掛け手段であることを特徴と
   する請求項１記載の超音波映像検査装置。
3. 【請求項３】 前記液体媒質供給手段は前記高分子膜の
   押付け面を液体媒質で濡らす手段であることを特徴とす
   る請求項１記載の超音波映像検査装置。
4. 【請求項４】 前記容器の底部に前記高分子膜用の窓が
   複数個形成されることを特徴とする請求項１〜３のいず
   れか１項に記載の超音波映像検査装置。
5. 【請求項５】 探傷器回路で作られた電気信号を超音波
   探触子で超音波に変換し、前記超音波を液体媒質を介し
   て試料に入射させ、前記試料の内部から戻る超音波反射
   エコーを前記超音波探触子で電気信号に変換して、前記
   試料の内部を映像化する超音波映像検査装置において、 内部に前記液体媒質を収容しかつ測定時に前記試料の表
   面に押し付けられる高分子膜を底部に備えた容器と、 前記容器の前記高分子膜を前記試料の任意の箇所に押し
   付ける３軸スキャナ部とを備えたことを特徴とする超音
   波映像検査装置。
6. 【請求項６】 前記３軸スキャナ部は前記容器と前記試
   料のうちいずれか一方を移動させることを特徴とする請
   求項５記載の超音波映像検査装置。
7. 【請求項７】 前記高分子膜の押付け面と前記試料の表
   面の間に液体媒質を介在させる液体媒質供給手段とを備
   え、測定時に押し付けられた前記高分子膜と前記試料は
   両者の間に介在する前記液体媒質により密着させられる
   ことを特徴とする請求項５または６記載の超音波映像検
   査装置。
8. 【請求項８】 前記液体媒質供給手段は前記試料の表面
   に液体媒質を吹き掛ける吹掛け手段であることを特徴と
   する請求項７記載の超音波映像検査装置。
9. 【請求項９】 前記液体媒質供給手段は前記高分子膜の
   押付け面を液体媒質で濡らす手段であることを特徴とす
   る請求項７記載の超音波映像検査装置。