JP2003254286A - Vacuum pump device - Google Patents
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Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は真空ポンプ装置に係
わり、特にケーブルの最小曲げ半径を小さく、かつ柔軟
性を確保することで、小型かつ振動の伝達を抑制した真
空ポンプ装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vacuum pump device, and more particularly to a vacuum pump device that is small in size and suppresses vibration transmission by ensuring a minimum bending radius of a cable and ensuring flexibility.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、電子顕微鏡等の設備においては、
粉塵等の存在による電子ビームの屈折等を防止するた
め、電子顕微鏡等を収納したチャンバ内の環境を高度の
真空状態にしている。このような真空状態を作るため真
空ポンプが用いられている。真空ポンプ１による接続構
成図の一例を図２に示す。2. Description of the Related Art Conventionally, in equipment such as an electron microscope,
In order to prevent refraction of the electron beam due to the presence of dust or the like, the environment inside the chamber accommodating the electron microscope and the like is set to a high vacuum state. A vacuum pump is used to create such a vacuum state. FIG. 2 shows an example of a connection configuration diagram of the vacuum pump 1.
【０００３】図２において、真空ポンプ１は、この真空
ポンプ１によって吸引減圧される吸引対象機器のチャン
バ３との間に、開閉バルブ等のバルブ７と振動吸収用の
ダンパ５とを介して接続されている。In FIG. 2, a vacuum pump 1 is connected between a vacuum pump 1 and a chamber 3 of a device to be sucked and decompressed by a valve 7 such as an opening / closing valve and a vibration absorbing damper 5. Has been done.
【０００４】詳細には、真空ポンプ１の上端に形成され
た吸引口フランジ１ａにダンパ５がその下端のフランジ
５ａを介してボルト等により締結固定され、このダンパ
５の上端のフランジ５ｂに、バルブ７が締結固定されて
いる。More specifically, a damper 5 is fastened and fixed to a suction port flange 1a formed at the upper end of the vacuum pump 1 by a bolt or the like via a flange 5a at the lower end of the vacuum pump 1, and a valve is attached to the flange 5b at the upper end of the damper 5. 7 is fastened and fixed.
【０００５】このバルブ７の上端は、チャンバ３の排気
口フランジ３ａに締結固定され、真空ポンプ１側全体は
チャンバ３に対して懸垂されている。チャンバ３の下部
周囲には複数本の脚柱２が立てられ床４に対し固定され
ている。真空ポンプ１のベース部１ｂにはコネクタ６が
接続自在なようになっている。The upper end of the valve 7 is fastened and fixed to the exhaust port flange 3a of the chamber 3, and the entire vacuum pump 1 side is suspended from the chamber 3. A plurality of pedestals 2 are erected around the lower portion of the chamber 3 and fixed to the floor 4. A connector 6 can be connected to the base portion 1b of the vacuum pump 1.
【０００６】そして、このコネクタ６にはケーブル８の
一端が接続され、ケーブル８の他端はコネクタ１０と接
続されている。コネクタ１０は、コントローラ１２に対
し接続自在なようになっている。One end of the cable 8 is connected to the connector 6, and the other end of the cable 8 is connected to the connector 10. The connector 10 is connectable to the controller 12.
【０００７】次に、それぞれの構成部材について説明す
る。ダンパ５は、真空ポンプ１から発生する機械的振動
を減衰吸収するためのベローズ等によって構成される振
動吸収部材である。この振動吸収部材は、２つのフラン
ジ５ａ、５ｂを両端に備えて略パイプ状に構成されてい
る。Next, each component will be described. The damper 5 is a vibration absorbing member configured by a bellows or the like for damping and absorbing mechanical vibration generated from the vacuum pump 1. This vibration absorbing member is provided with two flanges 5a and 5b at both ends and is formed in a substantially pipe shape.
【０００８】真空ポンプ１は、例えばターボ分子ポンプ
等の減圧吸引ポンプである。ターボ分子ポンプ１０１の
縦断面図を図３に示す。図３において、ターボ分子ポン
プ１０１は、円筒状の外筒１ｃの上端に吸引口フランジ
１ａが形成されている。The vacuum pump 1 is a vacuum suction pump such as a turbo molecular pump. A vertical sectional view of the turbo molecular pump 101 is shown in FIG. In FIG. 3, the turbo molecular pump 101 has a suction port flange 1a formed on the upper end of a cylindrical outer cylinder 1c.
【０００９】外筒１ｃの内方には、ガスを吸引排気する
ためのタービンブレードによる複数の回転翼１０２ａ、
１０２ｂ、１０２ｃ・・・を周部に多段に形成した回転
体１０３を備える。Inside the outer cylinder 1c, a plurality of rotor blades 102a formed by turbine blades for sucking and exhausting gas,
A rotating body 103 having a plurality of stages 102b, 102c, ...
【００１０】この回転体１０３の中心にはロータ軸１１
３が取り付けられており、このロータ軸１１３は、例え
ば、いわゆる５軸制御の磁気軸受により空中に浮上支持
かつ位置制御されている。上側径方向電磁石１０４は、
４個の電磁石がＸ軸とＹ軸とに対をなして配置されてい
る。A rotor shaft 11 is provided at the center of the rotating body 103.
3 is attached, and the rotor shaft 113 is levitationally supported in the air and its position is controlled by, for example, a so-called 5-axis control magnetic bearing. The upper radial electromagnet 104 is
Four electromagnets are arranged in pairs on the X axis and the Y axis.
【００１１】この上側径方向電磁石１０４に近接かつ対
応されて４個の電磁石からなる上側径方向センサ１０７
が備えられている。この上側径方向センサ１０７はロー
タ軸１１３の径方向変位を検出し、コントローラ１２に
送るように構成されている。An upper radial sensor 107 composed of four electromagnets in close proximity to and corresponding to the upper radial electromagnet 104.
Is provided. The upper radial sensor 107 is configured to detect the radial displacement of the rotor shaft 113 and send it to the controller 12.
【００１２】コントローラ１２においては、上側径方向
センサ１０７が検出した変位信号に基づき、ＰＩＤ調節
機能を有する補償回路を介して上側径方向電磁石１０４
の励磁を制御し、ロータ軸１１３の上側の径方向位置を
調整する。In the controller 12, based on the displacement signal detected by the upper radial sensor 107, the upper radial electromagnet 104 is passed through a compensation circuit having a PID adjusting function.
Is controlled to adjust the radial position on the upper side of the rotor shaft 113.
【００１３】ロータ軸１１３は、高透磁率材（鉄など）
などにより形成され、上側径方向電磁石１０４の磁力に
より吸引されるようになっている。かかる調整は、Ｘ軸
方向とＹ軸方向とにそれぞれ独立して行われる。The rotor shaft 113 is made of a material having a high magnetic permeability (such as iron).
And the like, and is attracted by the magnetic force of the upper radial electromagnet 104. Such adjustment is performed independently in the X-axis direction and the Y-axis direction.
【００１４】また、下側径方向電磁石１０５及び下側径
方向センサ１０８が、上側径方向電磁石１０４及び上側
径方向センサ１０７と同様に配置され、ロータ軸１１３
の下側の径方向位置を上側の径方向位置と同様に調整し
ている。Further, the lower radial electromagnet 105 and the lower radial sensor 108 are arranged similarly to the upper radial electromagnet 104 and the upper radial sensor 107, and the rotor shaft 113 is arranged.
The lower radial position is adjusted in the same manner as the upper radial position.
【００１５】更に、軸方向電磁石１０６Ａ、１０６Ｂ
が、ロータ軸１１３の下部に備えた円板状の金属ディス
ク１１１を上下に挟んで配置されている。金属ディスク
１１１は、鉄などの高透磁率材で構成されている。ロー
タ軸１１３の軸方向変位を検出するために軸方向センサ
１０９が備えられ、その軸方向変位信号がコントローラ
１２に送られるように構成されている。Further, the axial electromagnets 106A, 106B
However, the disk-shaped metal disks 111 provided under the rotor shaft 113 are vertically sandwiched. The metal disk 111 is made of a high magnetic permeability material such as iron. An axial sensor 109 is provided to detect the axial displacement of the rotor shaft 113, and the axial displacement signal is sent to the controller 12.
【００１６】そして、軸方向電磁石１０６Ａ、１０６Ｂ
は、この軸方向変位信号に基づきコントローラ１２のＰ
ＩＤ調節機能を有する補償回路を介して励磁制御される
ようになっている。軸方向電磁石１０６Ａは、磁力によ
り金属ディスク１１１を上方に吸引し、軸方向電磁石１
０６Ｂは、金属ディスク１１１を下方に吸引する。Axial electromagnets 106A and 106B
Is the P of the controller 12 based on this axial displacement signal.
Excitation control is performed via a compensation circuit having an ID adjusting function. The axial electromagnet 106A attracts the metal disk 111 upward by magnetic force, and the axial electromagnet 1
06B sucks the metal disk 111 downward.
【００１７】このように、コントローラ１２は、この軸
方向電磁石１０６Ａ、１０６Ｂが金属ディスク１１１に
及ぼす磁力を適当に調節し、ロータ軸１１３を軸方向に
磁気浮上させ、空間に非接触で保持するようになってい
る。As described above, the controller 12 appropriately adjusts the magnetic force exerted by the axial electromagnets 106A and 106B on the metal disk 111 to magnetically levitate the rotor shaft 113 in the axial direction and hold it in the space in a non-contact manner. It has become.
【００１８】モータ１２１は、ロータ軸１１３を取り囲
むように周状に配置された複数の磁極を備えている。各
磁極は、ロータ軸１１３との間に作用する電磁力を介し
てロータ軸１１３を回転駆動するように、コントローラ
１２によって制御されている。The motor 121 has a plurality of magnetic poles circumferentially arranged so as to surround the rotor shaft 113. Each magnetic pole is controlled by the controller 12 so as to rotationally drive the rotor shaft 113 via an electromagnetic force acting between the magnetic pole and the rotor shaft 113.
【００１９】また、ロータ軸１１３の下端には、回転数
センサ１１０が取り付けられている。コントローラ１２
は、この回転数センサ１１０の検出信号によりロータ軸
１１３の回転数を検出するようになっている。A rotation speed sensor 110 is attached to the lower end of the rotor shaft 113. Controller 12
Is adapted to detect the rotational speed of the rotor shaft 113 based on the detection signal of the rotational speed sensor 110.
【００２０】また、例えば下側径方向センサ１０８近傍
に、図示しない位相センサが取り付けてあり、ロータ軸
１１３の回転の位相を検出するようになっている。コン
トローラ１２では、この位相センサと回転数センサ１１
０の検出信号を共に用いて磁極の位置を検出するように
なっている。Further, for example, a phase sensor (not shown) is attached near the lower radial sensor 108 to detect the rotation phase of the rotor shaft 113. In the controller 12, the phase sensor and the rotation speed sensor 11
The position of the magnetic pole is detected by using the detection signal of 0 together.
【００２１】モータ１２１がロータ軸１１３を回転駆動
する際は、各磁極から隣接の磁極に移動するまでの行程
において生じるトルク変動等に起因するコギングトルク
によって回転方向の振動を生じる。When the motor 121 rotationally drives the rotor shaft 113, vibration in the rotational direction occurs due to cogging torque due to torque fluctuations and the like that occur during the process of moving from each magnetic pole to the adjacent magnetic pole.
【００２２】また、ターボ分子ポンプ１０１において
は、回転体１０３の各回転翼１０２ａ、１０２ｂ、１０
２ｃ・・・に基づく固有振動数が存在し、回転体１０３
が回転したときに生じる不釣合い振動や、変位信号に含
まれるノイズなどの外乱によって固有振動周波数での不
安定な振動が励起される。Further, in the turbo molecular pump 101, the rotor blades 102a, 102b, 10 of the rotor 103 are connected.
The natural frequency based on 2c ...
Unbalanced vibrations that occur when the object rotates, and disturbances such as noise contained in the displacement signal excite unstable vibrations at the natural vibration frequency.
【００２３】次に、バルブ７について説明する。バルブ
７は、チャンバ３内の真空域を大気圧側から仕切る開閉
バルブや排気速度を調節するコンダクタンス可変バルブ
等である。これらのバルブの開閉動作は、図示せぬバル
ブ制御装置からアクチュエータを介して行われる。Next, the valve 7 will be described. The valve 7 is an open / close valve that partitions the vacuum region in the chamber 3 from the atmospheric pressure side, a conductance variable valve that adjusts the exhaust speed, and the like. Opening and closing operations of these valves are performed by a valve control device (not shown) via an actuator.
【００２４】このように構成された従来の真空ポンプ１
の接続構造においては、吸引対象機器を吸引減圧するた
めに真空ポンプ１を稼動することにより、回転体１０３
が高速回転し、ダンパ５とバルブ７とを介してチャンバ
３が真空吸引される。The conventional vacuum pump 1 configured as described above
In the connection structure of No. 3, the rotating body 103 is operated by operating the vacuum pump 1 in order to suck and decompress the device to be sucked.
Rotates at high speed, and the chamber 3 is vacuumed through the damper 5 and the valve 7.
【００２５】このとき、真空ポンプ１は、モータ１２１
によるコギングトルクや、多段の回転翼１０２ａ、１０
２ｂ、１０２ｃ・・・のアンバランス等により振動を発
生するが、この振動はダンパ５によって吸収される。At this time, the vacuum pump 1 has the motor 121
Cogging torque and multi-stage rotor blades 102a, 10
Vibrations are generated due to the imbalance of 2b, 102c, etc., but the vibrations are absorbed by the damper 5.
【００２６】従って、チャンバ３は、真空ポンプ１が発
する振動の影響を低減された状態で吸引減圧される。こ
のように、防振環境を要する機器に真空ポンプ１を接続
して使用する場合に、ダンパ５を組み合わせることによ
り、真空ポンプ１の防振条件をその要求仕様に適合させ
ることができる。Therefore, the chamber 3 is sucked and depressurized while the influence of the vibration generated by the vacuum pump 1 is reduced. As described above, when the vacuum pump 1 is connected to a device requiring a vibration isolation environment and used, the vibration isolation condition of the vacuum pump 1 can be adapted to the required specifications by combining the damper 5.
【００２７】[0027]
【発明が解決しようとする課題】ところで、ケーブル８
は、上述のように、モータ１２１の駆動、上側径方向セ
ンサ１０７、下側径方向センサ１０８、軸方向センサ１
０９で検出した変位信号の伝送、上側径方向電磁石１０
４、下側径方向電磁石１０５、軸方向電磁石１０６の制
御に必要な電線の他に、温度監視、機種判定、回転数測
定等に必要な電線も一緒に一本に束ねられ、その外方に
シールドが施されている。By the way, the cable 8
Is the drive of the motor 121, the upper radial sensor 107, the lower radial sensor 108, and the axial sensor 1 as described above.
Of the displacement signal detected in 09, the upper radial electromagnet 10
4. In addition to the electric wires required for controlling the lower radial electromagnet 105 and the axial electromagnet 106, the electric wires required for temperature monitoring, model determination, rotation speed measurement, etc. are also bundled together and placed outside. It is shielded.
【００２８】上述した５軸制御の磁気軸受の場合には、
ケーブル８の直径は２ｃｍ程にもなってしまう。このた
め、ケーブル８は固くなっており、ケーブル８から振動
が伝わることがあった。In the case of the above-mentioned 5-axis control magnetic bearing,
The diameter of the cable 8 is about 2 cm. Therefore, the cable 8 is stiff, and vibration may be transmitted from the cable 8.
【００２９】また、この固さによりケーブルの取り回し
も困難となっていた。ケーブル８の最小曲げ半径も大き
くなり（機種によって異なるが、例えば１０〜２０ｃ
ｍ）、大きな設置スペースが必要だった。Further, this hardness makes it difficult to handle the cable. The minimum bending radius of the cable 8 also becomes large (depending on the model, for example, 10 to 20c
m), a large installation space was needed.
【００３０】かかる場合に、ケーブルの直角方向への取
り回しを行うためには、図４に示すようにＬ字状のコネ
クタ１４を別途配設する必要があった。In such a case, in order to route the cable in the right angle direction, it was necessary to separately provide an L-shaped connector 14 as shown in FIG.
【００３１】また、真空ポンプ１をダンパ５などで振動
絶縁しても、例えば図２のように、ケーブル８が脚柱２
等に接触していると、この部分から振動が伝わることが
あった。Even if the vacuum pump 1 is vibration-insulated by the damper 5 or the like, the cable 8 is connected to the pedestal 2 as shown in FIG.
When it is in contact with etc., vibration may be transmitted from this part.
【００３２】チャンバ３には電子顕微鏡等の高度の防振
環境を要する機器が収納されている場合があり、かかる
場合には、僅かな振動の侵入によっても防振条件が害さ
れ、機器の精度低下を招くおそれがあった。The chamber 3 may contain equipment such as an electron microscope which requires a high degree of vibration isolation environment. In such a case, even a slight vibration may impair the vibration isolation condition, and the accuracy of the equipment may be reduced. There was a risk of a drop.
【００３３】本発明はこのような従来の課題に鑑みてな
されたもので、ケーブルの最小曲げ半径を小さく、かつ
柔軟性を確保することで、小型かつ振動の伝達を抑制し
た真空ポンプ装置を提供することを目的とする。The present invention has been made in view of such conventional problems, and provides a vacuum pump device which is small in size and suppresses transmission of vibrations by ensuring a minimum bending radius of a cable and ensuring flexibility. The purpose is to do.
【００３４】[0034]
【課題を解決するための手段】このため本発明は、被対
象設備より所定のガスを吸引する真空ポンプと、該真空
ポンプに対し接続自在の真空ポンプ接続コネクタと、該
真空ポンプ接続コネクタに一端を接続されたケーブル
と、該ケーブルの他端に接続されたコントローラ接続コ
ネクタと、該コントローラ接続コネクタが接続自在とさ
れ、前記真空ポンプのモータ駆動、前記真空ポンプ内部
で計測された信号の送受信及び前記真空ポンプの制御の
いずれか少なくとも一つの処理を行うコントローラとを
備え、前記ケーブルは、一まとめに拘束されずに各心線
毎に独立されたことを特徴とする。Therefore, according to the present invention, a vacuum pump for sucking a predetermined gas from a target equipment, a vacuum pump connecting connector connectable to the vacuum pump, and one end of the vacuum pump connecting connector are provided. A cable connected to the cable, a controller connection connector connected to the other end of the cable, and the controller connection connector are freely connectable, the motor drive of the vacuum pump, transmission and reception of signals measured inside the vacuum pump, and A controller that performs at least one process of controlling the vacuum pump is provided, and the cables are independent of each core without being bound together.
【００３５】ケーブルを各心線単位に独立させたことで
最小曲げ半径を小さくできる。従って、ケーブルの取り
回しが楽になる。真空ポンプ装置全体の小型化にも繋が
り、配置の自由度も増す。ケーブルの心線部分は柔軟性
が確保されているので、この心線部分を介して被対象設
備に振動が伝わるということはなくなる。The minimum bending radius can be reduced by making the cable independent for each core wire unit. Therefore, the handling of the cable becomes easy. This will lead to downsizing of the entire vacuum pump device and increase the degree of freedom of arrangement. Since flexibility is ensured in the core wire portion of the cable, vibration is not transmitted to the target equipment via this core wire portion.
【００３６】また、本発明は、被対象設備より所定のガ
スを吸引する真空ポンプと、該真空ポンプに対し接続自
在の真空ポンプ接続コネクタと、該真空ポンプ接続コネ
クタに一端を接続されたケーブルと、該ケーブルの他端
に接続されたコントローラ接続コネクタと、該コントロ
ーラ接続コネクタが接続自在とされ、前記真空ポンプの
モータ駆動、前記真空ポンプ内部で計測された信号の送
受信及び前記真空ポンプの制御のいずれか少なくとも一
つの処理を行うコントローラとを備え、前記ケーブル
は、一まとめに拘束されずに計測信号線、制御線、電力
線及び該各線が接続された計測対象、制御対象、給電対
象である各設備単位の内のいずれか少なくとも一単位で
まとめられたことを特徴とする。Further, according to the present invention, a vacuum pump for sucking a predetermined gas from the target equipment, a vacuum pump connecting connector connectable to the vacuum pump, and a cable having one end connected to the vacuum pump connecting connector. , A controller connection connector connected to the other end of the cable, and the controller connection connector are connectable, for driving the vacuum pump motor, transmitting and receiving signals measured inside the vacuum pump, and controlling the vacuum pump. And a controller that performs at least one process, and the cable is a measurement signal line, a control line, a power line, and a measurement target, a control target, and a power supply target to which the respective lines are connected without being bound together. It is characterized in that at least one of the equipment units is combined.
【００３７】ケーブルは計測信号線等の用途及び各設備
単位の内のいずれか少なくとも一単位でまとめられるこ
とで、相互に干渉することを少なくできる。最小曲げ半
径の大きさを小さく維持しつつケーブルを整然と整理で
きる。Since the cables are put together in at least one of the usages such as measurement signal lines and each equipment unit, mutual interference can be reduced. The cables can be neatly organized while keeping the minimum bending radius small.
【００３８】更に、本発明は、前記真空ポンプ接続コネ
クタ及び前記コントローラ接続コネクタにて端末処理さ
れた前記ケーブルは一本の端末ケーブルにまとめられ周
囲が所定長分被覆されたことを特徴とする。Furthermore, the present invention is characterized in that the cables, which are terminated by the vacuum pump connector and the controller connector, are combined into a single terminal cable and the circumference thereof is covered by a predetermined length.
【００３９】端末ケーブルの所定長は、短く構成されて
もよい。短く構成した場合には最小曲げ半径を小さくで
き、ケーブルの取り回しが楽になる。一方、端末ケーブ
ルの所定長を長く取り、柔軟性を要求される部位のみに
限定して各心線を独立して露出するようにしてもよい。The predetermined length of the terminal cable may be short. If it is made short, the minimum bending radius can be made small, which facilitates cable handling. On the other hand, a predetermined length of the terminal cable may be set to be long, and the core wires may be exposed independently by limiting to only the portion where flexibility is required.
【００４０】このように、柔軟性を要求される部位のみ
に限定して各心線を独立して露出させた場合でも、露出
された部分は柔軟性を有しており、振動が伝わり難い。As described above, even when each core wire is independently exposed by limiting only to the portion where flexibility is required, the exposed portion has flexibility and vibration is difficult to be transmitted.
【００４１】[0041]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
説明する。図１に、本発明の実施形態の構成図を示す。
なお、図２と同一要素のものについては同一符号を付し
て説明は省略する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below. FIG. 1 shows a block diagram of an embodiment of the present invention.
The same elements as those in FIG. 2 are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.
【００４２】図１において、コネクタ６にて端末処理さ
れたケーブルは、一本の端末ケーブル２１にまとめられ
周囲が所定長分被覆されている。同様に、コネクタ１０
にて端末処理されたケーブルも一本の端末ケーブル２３
にまとめられ周囲が所定長分被覆されている。In FIG. 1, the cables subjected to the terminal treatment at the connector 6 are put together into one terminal cable 21 and the circumference thereof is covered by a predetermined length. Similarly, the connector 10
One terminal cable 23
And the surroundings are covered for a predetermined length.
【００４３】そして、端末ケーブル２１及び端末ケーブ
ル２３の所定長分を超えた所から、ケーブルは一まとめ
に拘束せずに各心線２５毎に独立して露出されている。
但し、各心線２５（特に計測信号線、制御線）はそれぞ
れシールドされるのが望ましい。From the point where the terminal cable 21 and the terminal cable 23 exceed the predetermined length, the cables are exposed independently for each core wire 25 without being constrained as a group.
However, it is desirable that each core wire 25 (particularly the measurement signal wire and the control wire) is shielded.
【００４４】かかる構成において、ケーブルを各心線２
５単位に独立させたことで最小曲げ半径を小さくでき
る。従って、ケーブルの取り回しが楽になる。また、ケ
ーブルの心線２５部分が仮に脚柱２等に接触しても、柔
軟性が確保されているので、チャンバ３等に振動が伝わ
り高度の防振環境を要する機器に影響を与えるというこ
とはなくなる。In such a configuration, the cable is connected to each core wire 2
The minimum bending radius can be reduced by making it independent of 5 units. Therefore, the handling of the cable becomes easy. Further, even if the core wire portion 25 of the cable comes into contact with the pedestal 2 or the like, the flexibility is ensured, so that the vibration is transmitted to the chamber 3 or the like, which affects the equipment that requires a high vibration isolation environment. Disappears.
【００４５】端末ケーブル２１、２３の被覆された所定
長分は、短く構成されてもよい。短く構成した場合には
ケーブルの最小曲げ半径を小さくでき、ケーブルの取り
回しが楽になる。The covered predetermined length of the terminal cables 21 and 23 may be short. If the cable is made short, the minimum bending radius of the cable can be made small, which facilitates the handling of the cable.
【００４６】一方、端末ケーブル２１、２３の被覆され
た所定長分を長く取り、柔軟性を要求される部位のみに
限定して各心線２５を独立して露出するようにしてもよ
い。このように、柔軟性を要求される部位のみに限定し
て各心線２５を独立して露出させた場合でも、露出され
た部分は柔軟性を有しており、振動が伝わり難い。On the other hand, it is also possible to make the coated length of the terminal cables 21 and 23 longer and to limit each core wire 25 to be exposed independently only at the portion where flexibility is required. As described above, even when each core wire 25 is independently exposed by limiting only to a portion where flexibility is required, the exposed portion has flexibility and vibration is difficult to be transmitted.
【００４７】なお、ケーブルの取り回しを楽に行うため
には、ケーブルの最小曲げ半径が５ｃｍ程度以下となる
ように、端末ケーブル２１、２３の被覆された所定長分
の長さを規制するのが望ましい。In order to facilitate the handling of the cables, it is desirable to regulate the lengths of the terminal cables 21 and 23 covered by a predetermined length so that the minimum bending radius of the cables is about 5 cm or less. .
【００４８】また、端末ケーブル２１、２３にて一まと
めにせず、コネクタ６、１０より各心線２５を独立して
露出するようにしてもよい。この場合には、一層ケーブ
ルの取り回しが楽で、かつ低コストにて構成可能であ
る。ケーブルのいずれの部分も柔軟性を有しており、振
動が伝わり難い。真空ポンプ装置全体の小型化にも繋が
り、配置の自由度も増す。Further, the core wires 25 may be independently exposed from the connectors 6 and 10 instead of being integrated with the terminal cables 21 and 23. In this case, the cable can be handled more easily and the cost can be reduced. All parts of the cable are flexible, making it difficult for vibration to be transmitted. This will lead to downsizing of the entire vacuum pump device and increase the degree of freedom of arrangement.
【００４９】更に、ケーブルの心線２５は、例えばモー
タ１２１の駆動、上側径方向センサ１０７、下側径方向
センサ１０８、軸方向センサ１０９で検出した変位信号
の伝送、上側径方向電磁石１０４、下側径方向電磁石１
０５、軸方向電磁石１０６の制御に必要な電線や温度監
視、機種判定、回転数測定等に必要な電線をそれぞれ各
設備単位にまとめるようにしてもよい。Further, the core wire 25 of the cable is, for example, for driving the motor 121, transmitting the displacement signal detected by the upper radial sensor 107, the lower radial sensor 108, and the axial sensor 109, the upper electromagnet 104, and the lower electromagnet 104. Lateral radial electromagnet 1
05, the electric wires required for controlling the axial electromagnet 106 and the electric wires required for temperature monitoring, model determination, rotation speed measurement, and the like may be collected in each facility unit.
【００５０】即ち、上側径方向センサ１０７で検出した
変位信号の伝送に必要な電線（２本で１セット及び状況
によってはシールド線も組み合わせる）を一つにまとめ
てもよいし、上側径方向センサ１０７、下側径方向セン
サ１０８等のように、対象となる機器仕様が同一なため
流れる信号の種類が共通する関連の電線を一まとめにし
てもよい。これらの電線は細い線なので容易に一つにま
とめることができる。That is, the electric wires (one set of two and a shield wire may be combined depending on the situation) necessary for transmitting the displacement signal detected by the upper radial sensor 107 may be combined into one, or the upper radial sensor Related electric wires such as 107 and the lower radial sensor 108 that share the same type of signal because the target device specifications are the same may be grouped together. Since these wires are thin, they can be easily put together.
【００５１】なお、モータ１２１の駆動用電線は給電用
で太い線なので一本毎に独立させるようにしてもよい。
このようにケーブルを一まとめにしないで適度に分割す
ることにより、ケーブルの柔軟性を確保しつつ、電線の
整理がされ、保守等もし易くなる。ケーブルの最小曲げ
半径も小さい。Since the electric wires for driving the motor 121 are thick wires for power supply, they may be made independent.
Thus, by dividing the cables appropriately without dividing them into one group, the flexibility of the cables is ensured, the electric wires are organized, and maintenance and the like are facilitated. The minimum bending radius of the cable is also small.
【００５２】[0052]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ケ
ーブルは、一まとめに拘束されずに各心線毎に独立して
構成されたので、最小曲げ半径を小さくできる。従っ
て、ケーブルの取り回しが楽になる。真空ポンプ装置全
体の小型化にも繋がり、配置の自由度も増す。ケーブル
の心線部分は柔軟性が確保されているので、この心線部
分を介して被対象設備に振動が伝わるということはなく
なる。As described above, according to the present invention, since the cable is not constrained as a group but is configured independently for each core wire, the minimum bending radius can be reduced. Therefore, the handling of the cable becomes easy. This will lead to downsizing of the entire vacuum pump device and increase the degree of freedom of arrangement. Since flexibility is ensured in the core wire portion of the cable, vibration is not transmitted to the target equipment via this core wire portion.
【図１】 本発明の実施形態の構成図FIG. 1 is a configuration diagram of an embodiment of the present invention.
【図２】 真空ポンプによる接続構成図の一例[Fig. 2] Example of connection configuration diagram by vacuum pump
【図３】 ターボ分子ポンプの縦断面図FIG. 3 is a vertical sectional view of a turbo molecular pump.
【図４】 ケーブルの直角方向への取り回しの例[Fig. 4] Example of routing the cable in the right angle direction
１ 真空ポンプ １ｂ ベース部 ２ 脚柱 ３ チャンバ ６、１０ コネクタ ８ ケーブル １２ コントローラ ２１、２３ 端末ケーブル ２５ 心線 １０１ ターボ分子ポンプ １０３ 回転体 １０４ 上側径方向電磁石 １０５ 下側径方向電磁石 １０６ 軸方向電磁石 １０７ 上側径方向センサ １０８ 下側径方向センサ １０９ 軸方向センサ １１３ ロータ軸 １２１ モータ 1 vacuum pump 1b Base part 2 pedestals 3 chambers 6, 10 connector 8 cables 12 Controller 21, 23 Terminal cable 25 cores 101 turbo molecular pump 103 rotating body 104 upper radial electromagnet 105 Lower radial electromagnet 106 axial electromagnet 107 Upper radial sensor 108 Lower radial sensor 109 Axial sensor 113 rotor shaft 121 motor
Claims (3)
空ポンプと、該真空ポンプに対し接続自在の真空ポンプ
接続コネクタと、該真空ポンプ接続コネクタに一端を接
続されたケーブルと、該ケーブルの他端に接続されたコ
ントローラ接続コネクタと、該コントローラ接続コネク
タが接続自在とされ、前記真空ポンプのモータ駆動、前
記真空ポンプ内部で計測された信号の送受信及び前記真
空ポンプの制御のいずれか少なくとも一つの処理を行う
コントローラとを備え、前記ケーブルは、一まとめに拘
束されずに各心線毎に独立されたことを特徴とする真空
ポンプ装置。1. A vacuum pump for sucking a predetermined gas from a target equipment, a vacuum pump connection connector connectable to the vacuum pump, a cable having one end connected to the vacuum pump connection connector, and a cable of the cable. A controller connection connector connected to the other end and the controller connection connector are connectable, and at least one of driving the vacuum pump, transmitting and receiving signals measured inside the vacuum pump, and controlling the vacuum pump. A vacuum pump device comprising: a controller that performs one process; and the cables are independent of each other without being bound together.
空ポンプと、該真空ポンプに対し接続自在の真空ポンプ
接続コネクタと、該真空ポンプ接続コネクタに一端を接
続されたケーブルと、該ケーブルの他端に接続されたコ
ントローラ接続コネクタと、該コントローラ接続コネク
タが接続自在とされ、前記真空ポンプのモータ駆動、前
記真空ポンプ内部で計測された信号の送受信及び前記真
空ポンプの制御のいずれか少なくとも一つの処理を行う
コントローラとを備え、前記ケーブルは、一まとめに拘
束されずに計測信号線、制御線、電力線及び該各線が接
続された計測対象、制御対象、給電対象である各設備単
位の内のいずれか少なくとも一単位でまとめられたこと
を特徴とする真空ポンプ装置。2. A vacuum pump for sucking a predetermined gas from a target equipment, a vacuum pump connection connector connectable to the vacuum pump, a cable having one end connected to the vacuum pump connection connector, and a cable for the cable. A controller connection connector connected to the other end and the controller connection connector are connectable, and at least one of driving the vacuum pump, transmitting and receiving signals measured inside the vacuum pump, and controlling the vacuum pump. And a controller that performs two processes, and the cable is not restricted as a single unit, and is a measurement signal line, a control line, a power line, and a measurement target, a control target, and a power supply target to which each line is connected. A vacuum pump device characterized by being collected in at least one unit.
ントローラ接続コネクタにて端末処理された前記ケーブ
ルは一本の端末ケーブルにまとめられ周囲が所定長分被
覆されたことを特徴とする請求項１又は請求項２記載の
真空ポンプ装置。3. The cable treated by the vacuum pump connector and the controller connector to be bundled into one terminal cable and the circumference thereof is covered by a predetermined length. Item 2. The vacuum pump device according to item 2.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002056843A JP2003254286A (en) | 2002-03-04 | 2002-03-04 | Vacuum pump device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002056843A JP2003254286A (en) | 2002-03-04 | 2002-03-04 | Vacuum pump device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003254286A true JP2003254286A (en) | 2003-09-10 |
Family
ID=28667258
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002056843A Pending JP2003254286A (en) | 2002-03-04 | 2002-03-04 | Vacuum pump device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003254286A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014080981A (en) * | 2009-08-28 | 2014-05-08 | Edwards Kk | Vacuum pump |
| CN110159523A (en) * | 2019-06-21 | 2019-08-23 | 杭州萨莫雷斯科技有限公司 | A kind of vacuum Pump Characteristic Test System and method based on cloud |
-
2002
- 2002-03-04 JP JP2002056843A patent/JP2003254286A/en active Pending
Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| JP2014080981A (en) * | 2009-08-28 | 2014-05-08 | Edwards Kk | Vacuum pump |
| CN110159523A (en) * | 2019-06-21 | 2019-08-23 | 杭州萨莫雷斯科技有限公司 | A kind of vacuum Pump Characteristic Test System and method based on cloud |
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|---|---|---|---|
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