JP2003239965A - Linear motion table device - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a linear motion table device which allows highly accurate positioning by a simple configuration even when an interval between two linear guides arranged on a base is large and a ball screw is arranged close to the linear guide on one side. <P>SOLUTION: In this linear motion table device in which the ball screw 51 is arranged close to the linear guide 3A on one side, slide resistance F per slider of the linear guide 3B on the other side is set in such a way that a value F/α obtained by dividing it by acceleration and deceleration α of a slide table is in a scope of 1 to 7. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【発明の属する技術分野】本発明は、工作機械や半導体
製造装置などにおいて被工作物や加工ツール等を直線移
動させる手段として用いられる直動テーブル装置に関す
る。 【０００２】 【従来の技術】工作機械や半導体製造装置などでは、被
工作物や加工ツール等を直線移動させる手段として、図
１３に示すような直動テーブル装置が使用されている。
この直動テーブル装置はベース２、リニアガイド３Ａ，
３Ｂ、スライドテーブル４およびスライド機構５を備え
ており、ベース２は方形状に形成された平板部２ａの上
面両側部に縦断面が方形状のレール支持部２ｂ，２ｃを
一体に設けて構成されている。 【０００３】リニアガイド３Ａ，３Ｂは案内レール３１
をそれぞれ有しており、これらの案内レール３１はベー
ス２のレール支持部２ｂ，２ｃ上に互いに平行に取り付
けられている。また、リニアガイド３Ａ，３Ｂは案内レ
ール３１上にスライダ３２をそれぞれ有しており、これ
らのスライダ３２内には、案内レール３１に同レールの
長手方向に沿って形成された転動体転動溝に転動自在に
係合する多数の球状転動体が組み込まれている。 【０００４】スライドテーブル４はリニアガイド３Ａ，
３Ｂのスライダ３２上に固定されており、このスライド
テーブル４をスライドさせるスライド機構５は、リニア
ガイド３Ａ，３Ｂと平行に設けられたボールねじ５１
と、このボールねじ５１を駆動する駆動機構部５２とか
ら構成されている。ボールねじ５１はスライドテーブル
４にナットブラケットを介して固定されたナットと、こ
のナットを軸方向に駆動するねじ軸５１ｃとを備えて構
成されており、ナット内にはねじ軸５１ｃに形成された
螺旋状のボール転動溝に転動自在に係合する多数のボー
ルが組み込まれている。 【０００５】駆動機構部５２はボールねじ５１のねじ軸
５１ｃにカップリング５２ａを介して連結された駆動モ
ータ５２ｂと、この駆動モータ５２ｂをベース２に固定
するモータブラケット５２ｃとから構成されている。従
って、駆動モータ５２ｂの回転がカップリング５２ａを
介してボールねじ５１のねじ軸５１ｃに伝わると、ボー
ルねじ５１のナット５１ｂが軸方向に駆動され、これに
よりスライドテーブル４がリニアガイド３Ａ，３Ｂの案
内レール３１上をスライダ３２と共にスライドするよう
になっている。 【０００６】このような直動テーブル装置を例えば半導
体チップ実装装置等に使用する場合、リニアガイド３Ａ
と３Ｂの間隔が狭く、且つボールねじ５１がリニアガイ
ド３Ａと３Ｂとの間の中央部に配置されている場合に
は、リニアガイド３Ａと３Ｂとの間にワークエリアを確
保することが困難となる。そこで、従来は、リニアガイ
ド３Ａと３Ｂとの間隔を広くし、かつボールねじ５１を
一方のリニアガイド寄りに配置してリニアガイド３Ａと
３Ｂとの間にワークエリアを確保するようにしている。 【０００７】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、リニア
ガイド３Ａと３Ｂとの間隔を広くすると、スライドテー
ブル４の幅が大きくなり、スライドテーブル４の剛性が
相対的に低下する。したがって、ボールねじ５１を一方
のリニアガイド寄りに配置した場合、ボールねじ５１の
駆動を停止した時にボールねじ５１から遠く離れたリニ
アガイドのスライダがスライドテーブル４の慣性力を受
けて振動してしまい、正確な位置決め精度を得ることが
困難になるという問題があった。また、上記の振動を抑
えるためにスライダの摺動抵抗を大きくすると直動テー
ブル装置の軸方向システム剛性が不足し、その結果とし
てスライドテーブル４に撓みが生じ、その撓みが開放さ
れずに残存してしまい、所定の位置決め精度が得られな
いという問題があった。特に、近年では高速化が要求さ
れ、このような要求を満たすためにスライドテーブルの
軽量化を図ろうとすると、スライドテーブルの剛性が低
下し、上記問題が顕著に現れてくるという問題があっ
た。 【０００８】本発明は上記のような問題点に鑑みてなさ
れたものであり、その目的とするところは、ベース上に
配設された二つのリニアガイド同士の間隔が広く、かつ
ボールねじが一方のリニアガイド寄りに配置されている
場合でも正確な位置決め精度を簡単な構成により得るこ
とのできる直動テーブル装置を提供することにある。 【０００９】 【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、ベース上に二つのリニアガイドを介して
スライド可能に設けられたスライドテーブルをスライド
駆動するテーブル駆動機構を、前記リニアガイドと平行
に設けられたボールねじと、このボールねじを駆動する
駆動手段とで構成した直動テーブル装置において、前記
リニアガイド同士の間隔をＲ、一方のリニアガイドとボ
ールねじとの間隔をＲｐ１、他方のリニアガイドとボー
ルねじとの間隔をＲｐ２、前記スライドテーブルの断面
積をＳとしたとき、前記Ｒｐ１またはＲｐ２に対する前
記Ｓの比が３４以下となるように前記ボールねじを前記
ベース上に配置するとともに、前記ボールねじと前記Ｒ
ｐ１またはＲｐ２の間隔で配置された前記リニアガイド
のスライダ１個当りの摺動抵抗Ｆをスライドテーブルの
加減速度αで除した値が１〜７、すなわち１≦Ｆ／α≦
７としたことを特徴とする。 【００１０】 【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図１乃至図５は本発明の第１の実
施形態を示す図で、図１は同実施形態に係る直動テーブ
ル装置の概略構成を示す斜視図、図２は図１に示すボー
ルねじの側面図、図３は図１に示すリニアガイドの正面
図である。 【００１１】図１に示すように、本発明の第１の実施形
態に係る直動テーブル装置１は、ベース２、リニアガイ
ド３Ａ，３Ｂ、スライドテーブル４およびスライド機構
５を備えており、ベース２は方形状に形成された平板部
２ａの上面両側部に縦断面が方形状のレール支持部２
ｂ，２ｃを一体に設けて構成されている。リニアガイド
３Ａ，３Ｂは、図３に示すように、案内レール３１をそ
れぞれ有しており、これらの案内レール３１はベース２
のレール支持部２ｂ，２ｃ上に互いに平行に取り付けら
れている。また、リニアガイド３Ａ，３Ｂは案内レール
３１上にスライダ３２をそれぞれ有しており、これらの
スライダ３２内には、案内レール３１に同レールの長手
方向に沿って形成された転動体転動溝に転動自在に係合
する多数の球状転動体３３が組み込まれている。 【００１２】スライドテーブル４はリニアガイド３Ａ，
３Ｂのスライダ３２上に固定されており、このスライド
テーブル４をスライドさせるスライド機構５は、リニア
ガイド３Ａ，３Ｂと平行に設けられたボールねじ５１
と、このボールねじ５１を駆動する駆動機構部５２とか
ら構成されている。ボールねじ５１は、図２に示すよう
に、スライドテーブル４にナットブラケット５１ａを介
して固定されたナット５１ｂと、このナット５１ｂを軸
方向に駆動するねじ軸５１ｃとを備えて構成されてお
り、ナット５１ｂ内にはねじ軸５１ｃに形成された螺旋
状のボール転動溝５１ｄに転動自在に係合する多数のボ
ール５１ｅが組み込まれている。 【００１３】駆動機構部５２は、図１に示すように、ボ
ールねじ５１のねじ軸５１ｃにカップリング５２ａを介
して連結された駆動モータ５２ｂと、この駆動モータ５
２ｂをベース２に固定するモータブラケット５２ｃとか
ら構成されている。従って、駆動モータ５２ｂの回転が
カップリング５２ａを介してボールねじ５１のねじ軸５
１ｃに伝わると、ボールねじ５１のナット５１ｂが軸方
向に駆動され、これによりスライドテーブル４がリニア
ガイド３Ａ，３Ｂの案内レール３１上をスライダ３２と
共にスライドするようになっている。 【００１４】図４は直動テーブル装置１の平面図であ
り、同図に示すように、リニアガイド３Ａ，３Ｂ同士の
間隔をＲ、リニアガイド３Ａとボールねじ５１との間隔
をＲｐ１、リニアガイド３Ｂとボールねじ５１との間隔
をＲｐ２、スライドテーブル４の断面積をＳとすると、
Ｒ／２に対するＳの比、すなわち、Ｓ／Ｒ２≧３４を満
たす位置に配置されている。つまり、ボールねじ５１は
リニアガイド３１寄りに配置されており、これと反対側
のリニアガイド３Ｂの各スライダ３２の摺動抵抗Ｆをス
ライドテーブル４の加速度αで除した値がＦ／α＝１〜
７の範囲内に設定されている。 【００１５】ここで、Ｒｐ２に対するＳの比、すなわ
ち、Ｓ／Ｒｐ２≦３４とした理由は、スライダの摺動抵
抗に相当する荷重をスライドテーブルに負荷したときの
スライドテーブルの撓みとＳ／Ｒｐとの関係を調べると
図６のようになることによる。すなわち、Ｓ／Ｒｐが３
５以下になるとスライドテーブルの撓みが急激に増加す
るので、位置決め精度に影響することとなるためであ
る。 【００１６】また、スライダ３２の摺動抵抗Ｆをスライ
ドテーブル４の加減速αで除した値がＦ／α＝１〜７の
範囲内にする方法としては、加減速αは高速化要求のた
め変えられないため、スライダ３２の摺動抵抗Ｆを調整
することとなる。スライダ３２の摺動抵抗Ｆの調整方法
としては、特に限定されないが、例えばスライダ３２内
に組み込むボールを微小に直径の異なるボールに組替え
ることで摺動抵抗Ｆを調整する方法を用いることができ
る。 【００１７】このような構成において、スライド機構５
の駆動機構部５２を駆動してスライドテーブル４をスラ
イドさせ、駆動機構部５２の駆動を停止した時にリニア
ガイド３Ｂのスライダ３２がスライドテーブル４の慣性
力によって変位する変位量を非接触変位計で測定した結
果を図５に示す。同図において、図中実線はリニアガイ
ド３Ｂ近傍のスライドテーブル最大変位量を示し、破線
はスライドテーブル４の撓み残存量を示している。図７
は図５におけるＦ／Ｓ＝０．６のときの測定データ、図
８はＦ／Ｓ＝７のときの測定データである。 【００１８】図５の測定結果からわかるように、リニア
ガイド３Ｂのスライダ１個当りの摺動抵抗Ｆを加減速度
αで除した値、Ｆ／αが１より小さくなるとスライドテ
ーブル４の最大変位量が急激に増加する。また、Ｆ／α
が７を超えるとスライドテーブル４の撓み残存量が急激
に増加する。このことから、ボールねじ５１をリニアガ
イド３Ａ寄りに配置し、かつスライドテーブル４の断面
積ＳをＲｐ２で除した値が、Ｓ／Ｒｐ２≦３４とした場
合には、リニアガイド３Ｂのスライダ１個当りの摺動抵
抗Ｆをスライドテーブルの加減速度αで除した値、Ｆ／
αを１〜７の範囲内にすると、スライドテーブル４の最
大変位量とスライドテーブル４の撓み残存量が比較的低
い値に抑制されるので、ベース上に配設された二つのリ
ニアガイド同士の間隔が広く、且つボールねじが一方の
リニアガイド寄りに配置されている場合でも正確な位置
決め精度を簡単な構成により得ることができる。 【００１９】なお、本発明は上述した実施形態に限定さ
れるものではない。たとえば、上述した第１の実施形態
ではスライドテーブル４を直動案内するリニアガイドと
して、全部で４つの転動体列を有するリニアガイドを使
用したが、図９に示す第２の実施形態のように、全部で
６つの転動体列を有するリニアガイドを使用してもよい
し、全部で２列の転動体列を有するリニアガイドを使用
してもよい。 【００２０】また、上述した第１の実施形態ではボール
ねじ５１をリニアガイド３Ａと３Ｂとの間に配置した
が、図１０に示す第３の実施形態のように、ボールねじ
５１をリニアガイド３Ａ（またはリニアガイド３Ｂ）の
上方に配置してもよいし、あるいは図１１に示す第４の
実施形態のように、ボールねじ５１をリニアガイド３Ａ
（またはリニアガイド３Ｂ）の外側に配置してもよい。 【００２１】また、上述した第１の実施形態ではリニア
ガイド３Ｂの案内レール３１上に２個のスライダ３２を
設けたが、図１２に示す第５の実施形態のように、スラ
イドテーブル４の形状によってはリニアガイド３Ｂの案
内レール３１上に設けられるスライダ３２の個数を１個
としてもよい。 【００２２】 【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ボールねじとリニアガイドとの間隔を広く配置してもス
ライドテーブルがスライドテーブルの慣性力によって振
動したり、スライドテーブルに撓みが生じたりすること
を防止できるため、位置決め精度の高い直動テーブル装
置を提供できる。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a linear motion table device used as a means for linearly moving a workpiece or a processing tool in a machine tool, a semiconductor manufacturing apparatus, or the like. 2. Description of the Related Art In a machine tool or a semiconductor manufacturing apparatus, a linear motion table device as shown in FIG. 13 is used as a means for linearly moving a workpiece or a processing tool.
This linear motion table device has a base 2, a linear guide 3A,
3B, a slide table 4 and a slide mechanism 5, and the base 2 is formed by integrally providing rail support portions 2b and 2c having a rectangular vertical section on both sides of the upper surface of a flat plate portion 2a formed in a rectangular shape. ing. The linear guides 3A and 3B are provided with guide rails 31.
The guide rails 31 are mounted on the rail support portions 2b and 2c of the base 2 in parallel with each other. Each of the linear guides 3A and 3B has a slider 32 on a guide rail 31. In each of the sliders 32, a rolling element rolling groove formed on the guide rail 31 along the longitudinal direction of the rail. , A large number of spherical rolling elements that rollably engage with each other are incorporated. The slide table 4 has a linear guide 3A,
The slide mechanism 5 which is fixed on the slider 32 of the 3B and slides the slide table 4 includes a ball screw 51 provided in parallel with the linear guides 3A and 3B.
And a drive mechanism 52 for driving the ball screw 51. The ball screw 51 includes a nut fixed to the slide table 4 via a nut bracket, and a screw shaft 51c for driving the nut in the axial direction. The screw shaft 51c is formed inside the nut. A number of balls that rollably engage with the spiral ball rolling grooves are incorporated. The drive mechanism 52 includes a drive motor 52b connected to a screw shaft 51c of the ball screw 51 via a coupling 52a, and a motor bracket 52c for fixing the drive motor 52b to the base 2. Therefore, when the rotation of the drive motor 52b is transmitted to the screw shaft 51c of the ball screw 51 via the coupling 52a, the nut 51b of the ball screw 51 is driven in the axial direction, whereby the slide table 4 is moved to the linear guides 3A and 3B. The slider 32 slides on the guide rail 31 together with the slider 32. When such a linear motion table device is used in, for example, a semiconductor chip mounting device or the like, the linear guide 3A
When the distance between the linear guides 3A and 3B is small and the ball screw 51 is disposed at the center between the linear guides 3A and 3B, it is difficult to secure a work area between the linear guides 3A and 3B. Become. Therefore, conventionally, the space between the linear guides 3A and 3B is widened, and the ball screw 51 is arranged closer to one linear guide to secure a work area between the linear guides 3A and 3B. However, when the distance between the linear guides 3A and 3B is increased, the width of the slide table 4 increases, and the rigidity of the slide table 4 relatively decreases. Therefore, when the ball screw 51 is disposed near one of the linear guides, when the driving of the ball screw 51 is stopped, the slider of the linear guide far from the ball screw 51 vibrates due to the inertial force of the slide table 4. However, there is a problem that it is difficult to obtain accurate positioning accuracy. If the sliding resistance of the slider is increased in order to suppress the above-mentioned vibration, the axial system rigidity of the linear motion table device becomes insufficient. As a result, the slide table 4 is bent, and the bent remains without being released. As a result, there is a problem that a predetermined positioning accuracy cannot be obtained. In particular, in recent years, high speed has been demanded, and if an attempt is made to reduce the weight of the slide table in order to satisfy such a demand, there has been a problem that the rigidity of the slide table is reduced, and the above-mentioned problem becomes prominent. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described problems, and has as its object to increase the distance between two linear guides provided on a base and to use one ball screw. It is an object of the present invention to provide a linear motion table device that can obtain accurate positioning accuracy with a simple configuration even when the linear motion table device is disposed near the linear guide. In order to achieve the above object, the present invention provides a table driving mechanism for slidingly driving a slide table slidably provided on a base via two linear guides. In a linear motion table device comprising a ball screw provided in parallel with the linear guide and driving means for driving the ball screw, the distance between the linear guides is R, and the distance between one linear guide and the ball screw is When the interval is Rp1, the interval between the other linear guide and the ball screw is Rp2, and the cross-sectional area of the slide table is S, the ball screw is adjusted so that the ratio of S to Rp1 or Rp2 is 34 or less. The ball screw and the R
The value obtained by dividing the sliding resistance F per slider of the linear guides arranged at intervals of p1 or Rp2 by the acceleration / deceleration α of the slide table is 1 to 7, that is, 1 ≦ F / α ≦
7 is set. Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 to 5 are views showing a first embodiment of the present invention. FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of a linear motion table device according to the first embodiment. FIG. 2 is a side view of the ball screw shown in FIG. FIG. 3 and FIG. 3 are front views of the linear guide shown in FIG. As shown in FIG. 1, a linear motion table device 1 according to a first embodiment of the present invention includes a base 2, linear guides 3A and 3B, a slide table 4, and a slide mechanism 5, and the base 2 Is a rail supporting portion 2 having a rectangular vertical section on both sides of the upper surface of the flat plate portion 2a formed in a rectangular shape.
b and 2c are provided integrally. Each of the linear guides 3A and 3B has a guide rail 31, as shown in FIG.
Are mounted on the rail support portions 2b and 2c in parallel with each other. Each of the linear guides 3A and 3B has a slider 32 on a guide rail 31. In each of the sliders 32, a rolling element rolling groove formed on the guide rail 31 along the longitudinal direction of the rail. , A large number of spherical rolling elements 33 that rollably engage with each other are incorporated. The slide table 4 has a linear guide 3A,
The slide mechanism 5 which is fixed on the slider 32 of the 3B and slides the slide table 4 includes a ball screw 51 provided in parallel with the linear guides 3A and 3B.
And a drive mechanism 52 for driving the ball screw 51. As shown in FIG. 2, the ball screw 51 includes a nut 51b fixed to the slide table 4 via a nut bracket 51a, and a screw shaft 51c that drives the nut 51b in the axial direction. In the nut 51b, a large number of balls 51e rollingly engaged with a spiral ball rolling groove 51d formed on the screw shaft 51c are incorporated. As shown in FIG. 1, the drive mechanism 52 includes a drive motor 52b connected to a screw shaft 51c of a ball screw 51 via a coupling 52a, and a drive motor 5b.
2b to the base 2 and a motor bracket 52c. Accordingly, the rotation of the drive motor 52b is applied to the screw shaft 5 of the ball screw 51 via the coupling 52a.
1c, the nut 51b of the ball screw 51 is driven in the axial direction, whereby the slide table 4 slides on the guide rail 31 of the linear guides 3A, 3B together with the slider 32. FIG. 4 is a plan view of the linear motion table device 1. As shown in FIG. 4, the distance between the linear guides 3A and 3B is R, the distance between the linear guide 3A and the ball screw 51 is Rp1, and the linear guide is Rp1. Assuming that the distance between 3B and the ball screw 51 is Rp2 and the cross-sectional area of the slide table 4 is S,
It is arranged at a position that satisfies the ratio of S to R / 2, that is, S / R2 ≧ 34. That is, the ball screw 51 is disposed near the linear guide 31, and the value obtained by dividing the sliding resistance F of each slider 32 of the linear guide 3 B on the opposite side by the acceleration α of the slide table 4 is F / α = 1. ~
7 are set. Here, the ratio of S to Rp2, that is, S / Rp2 ≦ 34, is because the deflection of the slide table and the S / Rp when a load corresponding to the sliding resistance of the slider is applied to the slide table. This is because the relationship shown in FIG. That is, S / Rp is 3
If it is less than 5, the bending of the slide table will increase sharply, which will affect the positioning accuracy. A method of setting the value obtained by dividing the sliding resistance F of the slider 32 by the acceleration / deceleration α of the slide table 4 in the range of F / α = 1 to 7 is because acceleration / deceleration α is required for high speed. Since it cannot be changed, the sliding resistance F of the slider 32 is adjusted. The method of adjusting the sliding resistance F of the slider 32 is not particularly limited. For example, a method of adjusting the sliding resistance F by changing a ball incorporated in the slider 32 to a ball having a slightly different diameter can be used. . In such a configuration, the slide mechanism 5
The slide table 4 is slid by driving the drive mechanism 52 of the linear guide 3B. When the drive of the drive mechanism 52 is stopped, the displacement of the slider 32 of the linear guide 3B due to the inertia of the slide table 4 is measured by a non-contact displacement meter. FIG. 5 shows the measurement results. In the figure, the solid line in the figure indicates the maximum displacement of the slide table in the vicinity of the linear guide 3B, and the broken line indicates the remaining amount of deflection of the slide table 4. FIG.
5 shows measurement data when F / S = 0.6 in FIG. 5, and FIG. 8 shows measurement data when F / S = 7. As can be seen from the measurement results shown in FIG. 5, the value obtained by dividing the sliding resistance F per slider of the linear guide 3B by the acceleration / deceleration α, and when F / α is smaller than 1, the maximum displacement of the slide table 4 Increases rapidly. Also, F / α
Exceeds 7, the amount of remaining deflection of the slide table 4 rapidly increases. For this reason, when the ball screw 51 is disposed near the linear guide 3A and the value obtained by dividing the cross-sectional area S of the slide table 4 by Rp2 is S / Rp2 ≦ 34, one slider of the linear guide 3B is required. The value obtained by dividing the sliding resistance F per contact by the acceleration / deceleration α of the slide table, F /
When α is in the range of 1 to 7, the maximum displacement of the slide table 4 and the remaining amount of deflection of the slide table 4 are suppressed to relatively low values, so that the two linear guides disposed on the base Accurate positioning accuracy can be obtained with a simple configuration even when the interval is wide and the ball screw is arranged near one linear guide. The present invention is not limited to the above embodiment. For example, in the above-described first embodiment, a linear guide having a total of four rolling element rows is used as a linear guide for linearly guiding the slide table 4, but as in the second embodiment shown in FIG. , A linear guide having a total of six rolling element rows may be used, or a linear guide having a total of two rolling element rows may be used. Although the ball screw 51 is disposed between the linear guides 3A and 3B in the first embodiment, the ball screw 51 is connected to the linear guide 3A as in the third embodiment shown in FIG. (Or the linear guide 3B), or the ball screw 51 may be connected to the linear guide 3A as in the fourth embodiment shown in FIG.
(Or the linear guide 3B). In the first embodiment, two sliders 32 are provided on the guide rail 31 of the linear guide 3B. However, as in the fifth embodiment shown in FIG. In some cases, the number of sliders 32 provided on the guide rail 31 of the linear guide 3B may be one. As described above, according to the present invention,
Even if the distance between the ball screw and the linear guide is wide, it is possible to prevent the slide table from vibrating due to the inertia of the slide table and from bending the slide table. Can be provided.

【図面の簡単な説明】 【図１】本発明の第１の実施形態に係る直動テーブル装
置の概略構成を示す斜視図である。 【図２】図１に示すボールねじの側面図である。 【図３】図１に示すリニアガイドの正面図である。 【図４】図１に示す直動テーブル装置の平面図である。 【図５】スライダの摺動抵抗に相当する荷重をスライド
テーブルに負荷したときのスライドテーブルの撓みとＳ
／Ｒｐ（Ｓ：スライドテーブル断面積、Ｒｐ：リニアガ
イドとボールねじとの間隔）との関係を示す線図であ
る。 【図６】リニアガイドのスライダがスライドテーブルの
慣性力によって変位する変位量を非接触変位計で測定し
た結果を示す線図である 【図７】図５におけるＦ／Ｓ＝０．６のときの測定デー
タを示す線図である。 【図８】Ｆ／Ｓ＝７のときの測定データを示す線図であ
る。 【図９】本発明の第２の実施形態に係る直動テーブル装
置のリニアガイドを示す正面図である。 【図１０】本発明の第３の実施形態に係る直動テーブル
装置の正面図である。 【図１１】本発明の第４の実施形態に係る直動テーブル
装置の正面図である。 【図１２】本発明の第５の実施形態に係る直動テーブル
装置の平面図である。 【図１３】従来の直動テーブル装置の平面図である。 【符号の説明】 ２ ベース ３Ａ リニアガイド ３Ｂ リニアガイド ３１ 案内レール ３２ スライダ ３３ 転動体 ４ スライドテーブル ５ スライド機構 ５１ ボールねじ ５２ 駆動機構部BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of a linear motion table device according to a first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a side view of the ball screw shown in FIG. FIG. 3 is a front view of the linear guide shown in FIG. 1; FIG. 4 is a plan view of the linear motion table device shown in FIG. 1; FIG. 5 is a graph showing the relationship between the deflection of the slide table and S when a load corresponding to the slide resistance of the slider is applied to the slide table.
FIG. 9 is a diagram showing a relationship between / Rp (S: slide table cross-sectional area, Rp: distance between a linear guide and a ball screw). FIG. 6 is a diagram showing the result of measuring the amount of displacement of the slider of the linear guide due to the inertial force of the slide table with a non-contact displacement meter. FIG. 7 when F / S = 0.6 in FIG. FIG. 4 is a diagram showing measurement data of FIG. FIG. 8 is a diagram showing measurement data when F / S = 7. FIG. 9 is a front view showing a linear guide of a linear motion table device according to a second embodiment of the present invention. FIG. 10 is a front view of a linear motion table device according to a third embodiment of the present invention. FIG. 11 is a front view of a linear motion table device according to a fourth embodiment of the present invention. FIG. 12 is a plan view of a linear motion table device according to a fifth embodiment of the present invention. FIG. 13 is a plan view of a conventional linear motion table device. [Description of Signs] 2 Base 3A Linear guide 3B Linear guide 31 Guide rail 32 Slider 33 Rolling element 4 Slide table 5 Slide mechanism 51 Ball screw 52 Drive mechanism

Claims (1)

【特許請求の範囲】 【請求項１】 ベース上に二つのリニアガイドを介して
スライド可能に設けられたスライドテーブルをスライド
駆動するテーブル駆動機構を、前記リニアガイドと平行
に設けられたボールねじと、このボールねじを駆動する
駆動手段とで構成した直動テーブル装置において、 前記リニアガイド同士の間隔をＲ、一方のリニアガイド
とボールねじとの間隔をＲｐ１、他方のリニアガイドと
ボールねじとの間隔をＲｐ２、前記スライドテーブルの
断面積をＳとしたとき、前記Ｒｐ１またはＲｐ２に対す
る前記Ｓの比が３４以下となるように前記ボールねじを
前記ベース上に配置するとともに、前記ボールねじと前
記Ｒｐ１またはＲｐ２の間隔で配置された前記リニアガ
イドのスライダ１個当りの摺動抵抗をスライドテーブル
の加減速度で除した値が１〜７としたことを特徴とする
直動テーブル装置。Claims: 1. A table driving mechanism for slidingly driving a slide table slidably provided on a base via two linear guides, and a ball screw provided in parallel with the linear guides. And a driving means for driving the ball screw, wherein the distance between the linear guides is R, the distance between one linear guide and the ball screw is Rp1, and the distance between the other linear guide and the ball screw is When the interval is Rp2 and the cross-sectional area of the slide table is S, the ball screw is arranged on the base such that the ratio of the S to the Rp1 or Rp2 is 34 or less, and the ball screw and the Rp1 are arranged. Alternatively, the sliding resistance per slider of the linear guide, which is arranged at an interval of Rp2, Linear motion table apparatus characterized by value obtained by dividing the deceleration was 1-7.