JP2003222584A - Method and device for determining number of particulates in film - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an easy and highly reliable method and device for determining the number of particulates in a film. <P>SOLUTION: This particulate number determination device 1 for counting particulates in a film has a film conveyer 3 for conveying film along a conveyance route, a light source (lighting system) 27 provided on one side of the route, a CCD camera 5 positioned facing the source 27 with the conveyance route in between, and an image processor 7 for the computer processing of images from the camera 5. In the camera 5, a plurality of image pickup elements are arranged along the direction of the width of a film (anisotropic, conductive, adhesive film) 9 to receive the light transmitting through the whole width of the film 9. The processor 7 is provided with a luminosity converter 31 for converting optical signals from the pickup elements into luminosity, a data storage 35 for storing predetermined luminosity levels, and a comparator 37 for comparison between the stored data and the luminosity presented by the pickup elements. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ファイルム中に分
散する微細粒子の数を測定する微細粒子数測定方法及び
その装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a fine particle number measuring method and apparatus for measuring the number of fine particles dispersed in a file.

【０００２】[0002]

【従来の技術】一般に、異方導電性接着フィルムでは、
絶縁性接着剤（フィルム）中に導電粒子（微細粒子）を
分散しており、電子部品と回路基板の間や、回路基板同
士の間に設けてこれらの電極を互いに接着するととも
に、電子部品や回路基板の電極間に導電粒子を介在させ
て通電を図っている。従って、異方導電性接着フィルム
には、接着するべき電極間に導電粒子が存在するように
所定の密度で導電粒子が分散されていなければならず、
且つ導電粒子が局所的に凝集していてはならない。この
ため、異方導電性接着フィルムの製造においては、製品
出荷前に異方導電性接着フィルム中の導電粒子の分散状
態を検査することが行われている。かかる従来の検査
は、製品の任意の部分を抜き取り、顕微鏡を用いてその
部分の拡大写真を取り、写真の導電粒子数を数えること
によって、フィルムの所定領域中に存在する導電粒子の
数を数えていた。一方、近年は回路基板や電子部品の小
型化により、接着するべき電極の面積も小さくなり、小
さな電極面積部分にかならず導電粒子が所定の数存在す
ることが要求されている。2. Description of the Related Art Generally, in an anisotropic conductive adhesive film,
Conductive particles (fine particles) are dispersed in an insulating adhesive (film) and are provided between an electronic component and a circuit board or between circuit boards to adhere these electrodes to each other, and The conductive particles are interposed between the electrodes of the circuit board to achieve the electric current. Therefore, the anisotropic conductive adhesive film, the conductive particles must be dispersed at a predetermined density so that the conductive particles are present between the electrodes to be bonded,
In addition, the conductive particles should not be locally aggregated. Therefore, in the production of the anisotropic conductive adhesive film, the dispersion state of the conductive particles in the anisotropic conductive adhesive film is inspected before shipping the product. Such conventional inspection involves counting the number of conductive particles present in a given area of the film by extracting an arbitrary portion of the product, taking a magnified photograph of that portion using a microscope, and counting the number of conductive particles in the photograph. Was there. On the other hand, in recent years, due to the miniaturization of circuit boards and electronic components, the area of electrodes to be bonded has become smaller, and it is required that a certain number of conductive particles be present in a small electrode area portion.

【０００３】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかし、異方導電性接
着フィルム中に分散する導電粒子の数を顕微鏡写真から
数えていたのでは、手間がかかるとともに数え間違い等
の確立も高く信頼性にかけるという課題がある。特に、
顕微鏡写真では、フィルム中に分散する微細導電粒子の
深さが異なると、焦点が合わないためボケるので数え難
いという課題がある。更に、顕微鏡写真による方法で
は、検査するべき異方導電性接着フィルムの面積にも限
界があり、極めて小さい領域に限られるから非検査領域
が多くなり信頼性が低いという課題がある。そこで、本
発明は、フィルム中の微細粒子の数を容易に測定でき、
且つ信頼性の高いフィルム中の微細粒子数測定方法及び
その装置の提供を目的とする。However, if the number of conductive particles dispersed in the anisotropic conductive adhesive film is counted from the photomicrograph, it will take a lot of time and reliability, and the probability of counting errors will be high. There is a problem. In particular,
In the photomicrograph, if the depths of the fine conductive particles dispersed in the film are different, the focus is out of focus, so that there is a problem that it is difficult to count. Further, in the method using a micrograph, there is a limit in the area of the anisotropic conductive adhesive film to be inspected, and there is a problem that the non-inspection area is large and the reliability is low because it is limited to an extremely small area. Therefore, the present invention can easily measure the number of fine particles in the film,
Another object of the present invention is to provide a highly reliable method for measuring the number of fine particles in a film and an apparatus therefor.

【０００４】[0004]

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、請求項１に記載された発明は、透明又は半透明フィ
ルムに分散する微細粒子の数をＣＣＤカメラと画像処理
部とを用いて測定する方法であって、フィルムに光を照
射する光照射工程と、フィルムの透過光をＣＣＤカメラ
の撮像素子が受ける受光工程と、その撮像素子の光信号
を明度に変換する変換工程と、予め求めた明度とフィル
ム中の粒子数との相関関係データと撮像素子の明度とを
比較して、フィルム中に分散する粒子数を決定する比較
工程とを備えることを特徴とする。この請求項１に記載
の発明では、フィルムを透過した光を撮像素子が受け、
撮像素子の光信号を明度に変換する。一方、フィルム中
の所定の領域における粒子数と明度との関係（相関グラ
フや関係式等）を実験等により予め求めておき、その関
係式に撮像素子により計測した明度を代入したり、相関
グラフと計測した明度と比較したりしてフィルムの所定
面積中に存在する微細粒子の数を決定する。本発明で
は、ＣＣＤカメラによりフィルムを直接撮影して、予め
求めた明度と粒子数との相関関係から、コンピュータ処
理により粒子数を求めるので、人手によらないで容易に
且つ短時間で粒子数を測定できる。また、従来のような
数えまちがいの心配がなく且つＣＣＤカメラにより広い
領域を短時間で計測できるので、フィルム全体について
検査でき信頼性が高い。フィルムには、絶縁接着剤中に
導電粒子が分散する異方導電性接着フィルム等を用いる
ことができる。In order to solve the above-mentioned problems, the invention described in claim 1 uses a CCD camera and an image processing unit to control the number of fine particles dispersed in a transparent or semi-transparent film. A method of measurement, which comprises a light irradiation step of irradiating a film with light, a light receiving step of receiving the transmitted light of the film by an image sensor of a CCD camera, and a conversion step of converting an optical signal of the image sensor into brightness. It is characterized by comprising a comparison step of comparing the obtained correlation data between the brightness and the number of particles in the film with the brightness of the image pickup device to determine the number of particles dispersed in the film. In the invention according to claim 1, the image sensor receives the light transmitted through the film,
The light signal of the image sensor is converted into brightness. On the other hand, the relationship between the number of particles and the lightness in a predetermined area in the film (correlation graph, relational expression, etc.) is obtained in advance by experiments, etc., and the lightness measured by the image sensor is substituted in the relational expression Then, the number of fine particles present in a predetermined area of the film is determined by comparing with the measured brightness. In the present invention, the number of particles is obtained by computer processing by directly photographing the film with a CCD camera and calculating the number of particles from the correlation between the brightness and the number of particles obtained in advance. Can be measured. Further, since there is no concern about counting error as in the conventional technique and a wide area can be measured by a CCD camera in a short time, the whole film can be inspected and the reliability is high. For the film, an anisotropic conductive adhesive film in which conductive particles are dispersed in an insulating adhesive can be used.

【０００５】請求項２に記載された発明は、請求項１に
記載された発明において、撮像素子はフィルムの幅方向
に沿って複数個を列状に配列しており、フィルムは撮像
素子の配列方向に直交する方向に搬送し、受光工程では
複数の撮像素子によりフィルム幅全体の透過光を受ける
ことを特徴とする。この請求項２に記載の発明によれ
ば、請求項１に記載の発明と同様な作用効果を奏すると
ともに、撮像素子はフィルムの幅方向に亘って配列し、
ＣＣＤカメラを固定状態にしたまま、フィルムを搬送す
ることによりフィルム全体について粒子数を測定でき、
従来の局所的な測定でないから更に信頼性を高めること
ができる。撮像素子は、一台のＣＣＤカメラに必要な数
を設けてもよく、あるいは複数のＣＣＤカメラにより、
フィルムの幅方向に亘る光を受光するものであってもよ
い。撮像素子の数は、フィルムの幅や、所定領域に要求
される粒子数や、粒子の大きさ等により異なる。According to a second aspect of the invention, in the invention according to the first aspect, a plurality of image pickup elements are arranged in a row along the width direction of the film, and the film is arranged in the image pickup elements. It is characterized in that it is conveyed in a direction orthogonal to the direction, and in the light receiving step, a plurality of image pickup elements receives the transmitted light of the entire film width. According to the invention described in claim 2, the same effect as that of the invention described in claim 1 is obtained, and the image pickup elements are arranged in the width direction of the film.
The number of particles can be measured for the entire film by transporting the film with the CCD camera fixed.
Since it is not a conventional local measurement, the reliability can be further improved. The number of image pickup elements may be set to one CCD camera, or a plurality of CCD cameras may be provided.
It may receive light over the width direction of the film. The number of image pickup elements varies depending on the width of the film, the number of particles required in a predetermined area, the size of particles, and the like.

【０００６】請求項３に記載された発明は、請求項１又
は請求項２に記載された発明において、画像処理部は、
撮像素子の所定領域内における各画素の明度の平均値を
求めるフィルタと、比較工程で計測した粒子数が所定範
囲内にあるか否かを判定する判定工程を備えることを特
徴とする。この請求項３に記載の発明によれば、請求項
１と同様な作用効果を奏するとともに、一つの画素が一
つの微細粒子により占められている場合や、一つの画素
には微細粒子が存在しない場合であっても、所定の領域
について平均明度を算出しているので、要求される所定
領域における粒子数を簡易に且つ確実に測定できる。更
に、判定部は、所定領域に要求されている粒子数がある
か否かを判断するだけなので、フィルムの良否を明確に
且つ迅速に判定できる。従って、フィルムの品質管理が
容易にできる。尚、要求される所定領域及びその粒子数
は、フィルムの使用目的や要求精度に基づいて任意に設
定される。The invention described in claim 3 is the same as the invention described in claim 1 or 2,
It is characterized by including a filter for obtaining an average value of the brightness of each pixel in a predetermined area of the image sensor and a determination step of determining whether or not the number of particles measured in the comparison step is within a predetermined range. According to the third aspect of the present invention, the same operational effect as that of the first aspect is obtained, and one pixel is occupied by one fine particle, or no fine particle is present in one pixel. Even in such a case, since the average brightness is calculated for the predetermined region, the number of particles in the required predetermined region can be easily and surely measured. Furthermore, since the determination unit only determines whether or not the required number of particles is present in the predetermined area, the quality of the film can be clearly and quickly determined. Therefore, the quality control of the film can be easily performed. The required predetermined area and the number of particles thereof are arbitrarily set based on the purpose of use of the film and the required accuracy.

【０００７】請求項４に記載された発明は、請求項１な
いし請求項３のいずれかに記載の発明において、撮像素
子の焦点深度を調整して、フィルム中の任意の深さに分
散している粒子数を深さ毎に計測することを特徴とす
る。この請求項４に記載の発明によれば、請求項１ない
し請求項３のいずれかに記載の発明と同様な作用効果を
奏するとともに、撮像素子の焦点深度を調整することに
より、フィルム中の所定深さにある微細粒子のみを測定
したり、あるいは各深さに分散している微細粒子を深さ
毎に測定して微細粒子の三次元的な分散状態を計測する
ことができる。According to a fourth aspect of the present invention, in the invention according to any one of the first to third aspects, the focal depth of the image pickup device is adjusted so that the film is dispersed to any depth in the film. The feature is that the number of existing particles is measured for each depth. According to the invention described in claim 4, the same effects as those of the invention described in any one of claims 1 to 3 are obtained, and a predetermined depth in the film is obtained by adjusting the depth of focus of the image pickup device. The three-dimensional dispersed state of the fine particles can be measured by measuring only the fine particles at the depth or by measuring the fine particles dispersed at each depth for each depth.

【０００８】請求項５に記載された発明は、請求項１な
いし請求項４のいずれかに記載の発明において、フィル
ムは絶縁性フィルムであり、微細粒子は導電性粒子であ
ることを特徴とする。この請求項５に記載の発明によれ
ば、請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の発明と
同様な作用効果を奏するとともに、異方導電性接着フィ
ルムでは導電粒子による導通するべき電極の面積が更に
微小化しているので、そのような異方導電性接着フィル
ムの信頼性向上に効果が高い。According to a fifth aspect of the invention, in the invention according to any one of the first to fourth aspects, the film is an insulating film and the fine particles are conductive particles. . According to the invention as set forth in claim 5, the same effects as those of the invention as set forth in any one of claims 1 to 4 are obtained, and in the anisotropic conductive adhesive film, an electrode to be conducted by conductive particles is used. Since the area is further miniaturized, it is highly effective in improving the reliability of such an anisotropic conductive adhesive film.

【０００９】請求項６に記載された発明は、搬送路に沿
ってフィルムを搬送するフィルム搬送部と、搬送路の一
側に設けた光源と、搬送路を挟んで光源に対向して設け
たＣＣＤカメラと、ＣＣＤカメラの画像をコンピュータ
処理する画像処理部とを備え、透明又は半透明フィルム
に分散する微細粒子の数を測定するフィルム中の微細粒
子数測定装置であって、ＣＣＤカメラは撮像素子をフィ
ルムの幅方向に沿ってフィルムの幅全体の透過光を受け
るように複数配列しており、画像処理部は撮像素子の光
信号を明度に変換する明度変換部と、予め求めてある明
度と粒子数との相関関係データを格納するデータ格納部
と、該相関関係データと撮像素子の明度とを比較して粒
子数を決定する比較部とを備えることを特徴とする。こ
の請求項６に記載の発明によれば、上述した請求項２に
記載の発明と同様な作用効果を奏することができるフィ
ルム中の微細粒子数測定装置を提供できる。即ち、ＣＣ
Ｄカメラによりフィルム全体を直接撮影して、予め求め
た明度と粒子数との相関関係から、コンピュータ処理に
より粒子数を求めるので、人手によらないで自動処理に
より短時間で且つ正確に粒子数を測定できる。このフィ
ルム中の微細粒子数測定装置は、フィルム製造のライン
とは別に設けてもよいし、フィルム製造ラインの最終工
程に設けてもよい。According to a sixth aspect of the present invention, a film transporting unit for transporting a film along the transporting path, a light source provided on one side of the transporting path, and a light source disposed opposite to the light source with the transporting path sandwiched therebetween. An apparatus for measuring the number of fine particles in a film, which comprises a CCD camera and an image processing unit for computer-processing the image of the CCD camera, and measures the number of fine particles dispersed in a transparent or semitransparent film. A plurality of elements are arranged along the width direction of the film so as to receive the transmitted light of the entire width of the film, and the image processing section has a brightness conversion section for converting an optical signal of the image pickup element into brightness and a brightness calculated in advance. And a data storage unit for storing correlation data between the number of particles and the number of particles, and a comparison unit for determining the number of particles by comparing the correlation data with the brightness of the image sensor. According to the invention described in claim 6, it is possible to provide a device for measuring the number of fine particles in a film, which can achieve the same effect as the invention described in claim 2. That is, CC
The entire film is directly photographed by the D camera, and the number of particles is obtained by computer processing from the correlation between the brightness and the number of particles obtained in advance. Therefore, the number of particles can be accurately determined in a short time by automatic processing without human intervention. Can be measured. The device for measuring the number of fine particles in the film may be provided separately from the film production line or may be provided in the final step of the film production line.

【００１０】請求項７に記載された発明は、請求項６に
記載の発明において、光源は円筒状の透明ロールの内側
に配置されており、透明ロールの外周面にフィルムが支
持されていることを特徴とする。この請求項７に記載の
発明によれば、請求項６に記載の発明と同様な作用効果
を奏するとともに、連続搬送されるフィルムは、透明ロ
ールにより支持されているので、フィルムが揺れたり振
動することを防止でき、フィルムを常に安定した状態で
計測できる。透明ロールには、光を透過可能な円筒形状
のガラス製ロールや樹脂製ロールが用いられる。According to a seventh aspect of the invention, in the invention according to the sixth aspect, the light source is disposed inside a cylindrical transparent roll, and the film is supported on the outer peripheral surface of the transparent roll. Is characterized by. According to the invention described in claim 7, the same effect as the invention described in claim 6 is obtained, and since the continuously conveyed film is supported by the transparent roll, the film shakes or vibrates. Can be prevented and the film can be measured in a stable state at all times. A cylindrical glass roll or resin roll capable of transmitting light is used as the transparent roll.

【００１１】請求項８に記載された発明は、請求項６又
は請求項７に記載の発明において、画像処理部は比較部
で求めた粒子数が所定の範囲内にあるか否かを判断する
判定部を備え、コンピュータに判定結果を出力すること
を特徴とする。この請求項８に記載の発明によれば、請
求項６又は請求項７のいずれかに記載の発明と同様な作
用効果を奏するとともに、判定部は所定領域に要求され
ている粒子数があるか否かを判断するだけであるから、
フィルムの良否を明確に且つ迅速に判定でき、フィルム
の品質管理が容易にできる。In the invention described in claim 8, in the invention described in claim 6 or 7, the image processing section judges whether or not the number of particles obtained by the comparison section is within a predetermined range. It is characterized by including a determination unit and outputting the determination result to a computer. According to the invention described in claim 8, the same effect as the invention described in claim 6 or claim 7 is obtained, and whether the determination unit has the required number of particles in the predetermined region. It just decides whether or not
The quality of the film can be clearly and quickly determined, and the quality control of the film can be facilitated.

【００１２】請求項９に記載された発明は、請求項６な
いし請求項８のいずれかに記載の発明において、撮像素
子における所定領域の画素の明度の平均値を求めるフィ
ルタを備え、比較部は明度の平均値を相関データと比較
することを特徴とする。この請求項９に記載の発明によ
れば、請求項６ないし請求項８のいずれかに記載の発明
と同様な作用効果を奏するとともに、所定の領域につい
て平均明度を算出しているので、一つの画素が一つの微
細粒子に占められている場合や、一つの画素には微細粒
子が存在しない場合であっても、要求される所定領域に
おける粒子数を少ない誤差で迅速に測定できる。尚、要
求される所定領域及びその粒子数は、フィルムの使用目
的や要求精度に基づいて任意に設定される。According to a ninth aspect of the present invention, in the invention according to any of the sixth to eighth aspects, a filter is provided for obtaining an average value of brightness of pixels in a predetermined area of the image pickup device, and the comparison unit is It is characterized in that the average value of brightness is compared with the correlation data. According to the invention described in claim 9, the same operational effect as the invention described in any one of claims 6 to 8 is obtained, and the average brightness is calculated for a predetermined region. Even when a pixel is occupied by one fine particle or when no fine particle is present in one pixel, the number of particles in a required predetermined region can be quickly measured with a small error. The required predetermined area and the number of particles thereof are arbitrarily set based on the purpose of use of the film and the required accuracy.

【００１３】請求項１０に記載された発明は、請求項６
ないし請求項９のいずれかに記載の発明において、撮像
素子の焦点深度を調整して、フィルム中の任意の深さに
分散している粒子数を計測することを特徴とする。この
請求項１０に記載の発明によれば、請求項６ないし請求
項９のいずれかに記載の発明と同様な作用効果を奏する
とともに、請求項４に記載の発明と同様に、微細粒子を
フィルムの深さ毎に測定して微細粒子の三次元的な分散
状態を計測することができる。The invention described in claim 10 is claim 6
The invention according to any one of claims 9 to 9 is characterized in that the depth of focus of the image pickup device is adjusted to measure the number of particles dispersed at an arbitrary depth in the film. According to the invention described in claim 10, the same effect as the invention described in any one of claims 6 to 9 is obtained, and in the same manner as the invention described in claim 4, the fine particles are formed into a film. It is possible to measure the three-dimensional dispersion state of fine particles by measuring every depth.

【００１４】請求項１１に記載された発明は、請求項６
ないし請求項１０のいずれかに記載の発明において、フ
ィルムは絶縁性フィルムであり、微細粒子は導電性粒子
であること特徴とする。この請求項１１に記載の発明に
よれば、請求項６ないし請求項１０のいずれかに記載の
発明と同様な作用効果を奏するとともに、請求項５に記
載の発明と同様に、電極の面積の微小化が進んでいる異
方導電性接着フィルムの信頼性向上に効果が高い。The invention described in claim 11 is the invention according to claim 6.
The invention according to any one of claims 1 to 10 is characterized in that the film is an insulating film and the fine particles are conductive particles. According to the invention described in claim 11, the same operational effect as the invention described in any one of claims 6 to 10 can be obtained, and in the same manner as the invention described in claim 5, the electrode area It is highly effective in improving the reliability of anisotropic conductive adhesive films that are becoming smaller.

【００１５】請求項１２に記載された発明は、請求項１
１に記載の発明において、撮像素子における方形画素の
一辺の寸法又は円形画素の半径が、接続されるべき電極
幅の１／３以下であることを特徴とする。この請求項１
２に記載の発明によれば、請求項１１に記載の発明と同
様な作用効果を奏するとともに、撮像素子の一画素あた
りの寸法（方形画素では一辺の寸法、円形画素では半径
の寸法）を電極幅の１／３以下とすることにより、所定
寸法の電極間に必ず導電粒子が３個以上存在することを
保証できる。１／３以下としているのは、１／３よりも
大きいと、電極間に３個を越える数の導電粒子を保障で
きず、導電性の保障精度が低下するからである。尚、一
画素あたりの寸法は、電極幅の１／３以下であれば、小
さいほど保障精度が高いが、画素を細かくしすぎるとコ
スト高になり、対象となる電極の幅や要求される一電極
あたりの保障導電粒子数にもよるが、好ましくは１／４
乃至１／３である。尚、電極幅は、ライン電極の場合に
はその短手方向の寸法である。The invention described in claim 12 is claim 1
In the invention described in item 1, the size of one side of the rectangular pixel or the radius of the circular pixel in the image sensor is 1/3 or less of the electrode width to be connected. This claim 1
According to the second aspect of the invention, the same operational effect as that of the eleventh aspect of the invention is obtained, and the size of one pixel of the image pickup device (the size of one side of a square pixel, the size of radius of a circular pixel) is set as an electrode. By setting the width to ⅓ or less, it is possible to guarantee that there are three or more conductive particles between the electrodes having a predetermined size. The reason why it is set to ⅓ or less is that if it is larger than ⅓, the number of conductive particles exceeding 3 cannot be guaranteed between the electrodes, and the accuracy of ensuring the conductivity is lowered. If the size of one pixel is 1/3 or less of the electrode width, the smaller the size, the higher the accuracy of guarantee. However, if the size of the pixel is too small, the cost will increase, and the width of the target electrode and the required size. Depending on the number of guaranteed conductive particles per electrode, it is preferably 1/4
To 1/3. In the case of a line electrode, the electrode width is the dimension in the widthwise direction.

【００１６】[0016]

【発明の実施の形態】以下に添付図面の図１ないし図５
を参照しながら本発明の実施の形態について説明する。
本実施の形態にかかるフィルム中の微細粒子数測定装置
（以下単に、「粒子数測定装置」とする）１は、図１に
示すように、概してフィルム搬送部３と、ＣＣＤカメラ
５と、画像処理部７とから構成されており、本実施の形
態では測定対象であるフィルムは異方導電性接着フィル
ム９であり、絶縁性接着フィルム１０（図５参照）に分
散されている微細粒子としての導電性粒子（図５参照）
１１の数を測定するものである。1 to 5 of the accompanying drawings.
Embodiments of the present invention will be described with reference to FIG.
As shown in FIG. 1, a device 1 for measuring the number of fine particles in a film according to the present embodiment (hereinafter, simply referred to as “device for measuring the number of particles”) 1 generally has a film transport unit 3, a CCD camera 5, and an image. In this embodiment, the film to be measured is the anisotropic conductive adhesive film 9, and is a fine particle dispersed in the insulating adhesive film 10 (see FIG. 5). Conductive particles (see Figure 5)
The number of 11 is measured.

【００１７】ＣＣＤカメラ５はカメラコントロールボッ
クス１３及び画像処理部７に接続されており、画像処理
部７にはパソコン１５及びカメラコントロールボックス
１３が接続されている。フィルム搬送部３は、異方導電
性接着フィルム（フィルム）９の巻き出しロール１７
と、巻き取りロール１９とを備えており、巻き出しロー
ル１７から巻きだされた異方導電性接着フィルム９がガ
イドロール２１に案内されつつ測定部２３に搬送され、
測定後の異方導電性接着フィルム９が巻き取りロール１
９に巻き取られるようになっている。測定部２３には、
円筒形状のガラスロール（透明ロール）２５が設けられ
ており、異方導電性接着フィルム９の裏面（剥離シー
ト）がガラスロール２５の外周面に支持されて測定位置
における異方導電性接着フィルム９の揺れや振動が防止
されている。このガラスロール２５の内側に照明装置
（光源）２７が設けられており、ガラスロール２５の内
側から異方導電性接着フィルム９に向けて光を照射して
いる。The CCD camera 5 is connected to the camera control box 13 and the image processing section 7, and the image processing section 7 is connected to the personal computer 15 and the camera control box 13. The film transporting section 3 is a roll 17 for unwinding the anisotropic conductive adhesive film (film) 9.
And the winding roll 19, and the anisotropic conductive adhesive film 9 unwound from the unwinding roll 17 is conveyed to the measuring unit 23 while being guided by the guide roll 21.
The anisotropic conductive adhesive film 9 after the measurement is the winding roll 1
It is designed so that it can be rolled up to 9. In the measuring unit 23,
A cylindrical glass roll (transparent roll) 25 is provided, and the back surface (release sheet) of the anisotropic conductive adhesive film 9 is supported by the outer peripheral surface of the glass roll 25 and the anisotropic conductive adhesive film 9 at the measurement position. The shaking and vibration of the are prevented. An illumination device (light source) 27 is provided inside the glass roll 25, and light is emitted from the inside of the glass roll 25 toward the anisotropic conductive adhesive film 9.

【００１８】ＣＣＤカメラ５は、異方導電性接着フィル
ム９を挟んで照明装置２７に対向する位置にあり、ＣＣ
Ｄカメラ５の撮像素子が異方導電性接着フィルム９を透
過した光を受ける。ＣＣＤカメラ５には、異方導電性接
着フィルム９の幅方向（搬送方向に直行する方向）に沿
って一列に７台設けられており、各ＣＣＤカメラ５の撮
像素子が合計７つ、異方導電性接着フィルム９の幅全体
に亘って一列に配置されている。各撮像素子の画素１２
の数は、本実施の形態では５０００ビットであり、一画
素１２は方形であり縦Ｘ及び横Ｙの寸法が７．５μｍで
ある。従って、ＣＣＤカメラ５一台あたりの検査幅は、
７．５μｍ×５０００＝３７．５ｍｍであり、７台のＣ
ＣＤカメラ５で合計３７．５×７＝２６２．５ｍｍの最
大検査幅を有している。一方、図５に示すように、異方
導電性接着フィルム９には、絶縁性接着剤中に微細粒子
としての導電性粒子１１が分散されており、一方の基板
５０の電極５１と他方の基板５２の電極５３との間に介
在されて、両電極５１、５３を接着するとともに両電極
５１、５３間に介在する導電粒子１１により通電を図る
ものである。このため、導電粒子１１には、金属が皮膜
されている。また、絶縁性接着剤１０は透明又は半透明
であり、光を透過可能である。異方導電性接着フィルム
９は本実施の形態では、異方導電性接着フィルム９の幅
が２５０ｍｍである。導電性粒子１１は、粒子径が３〜
１０μｍであり、平均粒子径は４μｍを用いている。The CCD camera 5 is located at a position facing the illuminating device 27 with the anisotropic conductive adhesive film 9 interposed therebetween, and CC
The image pickup device of the D camera 5 receives the light transmitted through the anisotropic conductive adhesive film 9. The CCD cameras 5 are provided with seven in a row along the width direction of the anisotropic conductive adhesive film 9 (direction orthogonal to the transport direction), and each CCD camera 5 has a total of seven imaging elements. The conductive adhesive films 9 are arranged in a line over the entire width. Pixel 12 of each image sensor
In the present exemplary embodiment, the number of ∘ is 5000 bits, one pixel 12 is a square, and the vertical X and horizontal Y dimensions are 7.5 μm. Therefore, the inspection width per CCD camera 5 is
7.5 μm × 5000 = 37.5 mm, and 7 C
The CD camera 5 has a maximum inspection width of 37.5 × 7 = 262.5 mm in total. On the other hand, as shown in FIG. 5, in the anisotropic conductive adhesive film 9, conductive particles 11 as fine particles are dispersed in an insulating adhesive, and the electrode 51 of one substrate 50 and the other substrate The electrode 52 is interposed between the electrode 53 and the electrode 53, and the electrodes 51 and 53 are adhered to each other and the conductive particles 11 interposed between the electrodes 51 and 53 are used to conduct electricity. Therefore, the conductive particles 11 are coated with a metal. The insulating adhesive 10 is transparent or semitransparent and can transmit light. In this embodiment, the anisotropic conductive adhesive film 9 has a width of 250 mm. The conductive particles 11 have a particle diameter of 3 to
The average particle size is 10 μm, and the average particle size is 4 μm.

【００１９】画層処理部７には、ＣＣＤカメラ５からの
画像信号を明度に変換する明度変換部３１と、変換され
た明度データを所定の領域に区画したり平均値を算出す
るフィルタ３３と、フィルタにより加工された明度デー
タをデータ格納部３５のデータと比較して所定領域内に
おける粒子数を測定する比較部３７とから構成されてい
る。データ格納部３５には、図３に示すように、予め実
験で求めた粒子数と明度との相関関係から得られた回帰
式が格納されており、この回帰式に明度を代入すると粒
子数が求められるようになっている。即ち、図３のグラ
フでは、予め所定の粒子径のものについて導電粒子数が
異なる毎の明度を測定しておき、その明度と粒子数との
関係をプロットしたグラフから回帰式を求めている。従
って、比較部では、この回帰式に得られた明度Ｙを代入
して粒子数Ｘを求めるものである。判定部３９では、比
較部３７で得られた値が、所定の範囲にあるか否かを判
定し、所定の範囲にない場合には、パソコン１５にその
旨を表示する。尚、画像処理部では、画像処理部で得ら
れた情報や計算過程の信号を必要に応じてパソコン１５
に送り、画面４１に表示する。The image processing unit 7 includes a lightness conversion unit 31 for converting the image signal from the CCD camera 5 into lightness, and a filter 33 for dividing the converted lightness data into a predetermined area and calculating an average value. The brightness data processed by the filter is compared with the data in the data storage unit 35 to measure the number of particles in a predetermined area. As shown in FIG. 3, the data storage unit 35 stores a regression equation obtained from the correlation between the number of particles and the lightness obtained in advance by experiment, and when the lightness is substituted into this regression expression, the number of particles is calculated. It is becoming required. That is, in the graph of FIG. 3, the brightness of each of the conductive particles having a predetermined particle diameter is measured in advance, and the regression equation is obtained from the graph in which the relationship between the brightness and the particle number is plotted. Therefore, in the comparison section, the lightness Y obtained in this regression equation is substituted to obtain the particle number X. The determination unit 39 determines whether or not the value obtained by the comparison unit 37 is within a predetermined range. If the value is not within the predetermined range, the fact is displayed on the personal computer 15. In the image processing unit, the information obtained by the image processing unit and the signal of the calculation process are sent to the personal computer 15 as necessary.
To display it on the screen 41.

【００２０】次に、本実施の形態に粒子数測定装置１を
用いた異方導電性接着フィルム９中の微細粒子数測定方
法を説明する。図１のフィルム搬送部３において、異方
導電性接着フィルム９を巻き出しロール１７及び巻き取
りロール１９にセットする。巻き出しロール１７から
は、２５０ｍｍ幅の異方導電性接着フィルム９が０．７
ｍ／分の定速度で巻き出される。異方導電性接着フィル
ム９は、測定部２３では、ガラスロール２５の周面に支
持されながら搬送され、ガラスロール２５の内側にある
照明装置２７により光が照射される。異方導電性接着フ
ィルム９を透過した光は、ＣＣＤカメラ５の撮像素子が
受け、撮像素子の画像信号は画像処理部７に順次送信さ
れる。画像処理部７では、図４に示すフローに沿って所
定の処理がなされる。即ち、処理が開始されるとステッ
プＳ１で画像素子の画像信号を明度信号に変換し、ステ
ップＳ２のフィルタ制御に移行する。フィルタ制御で
は、フィルタ３３で明度を所定の領域に区画した平均明
度を得る。Next, a method for measuring the number of fine particles in the anisotropic conductive adhesive film 9 using the particle number measuring device 1 in this embodiment will be described. In the film transport unit 3 of FIG. 1, the anisotropic conductive adhesive film 9 is set on the unwinding roll 17 and the winding roll 19. From the unwinding roll 17, the anisotropic conductive adhesive film 9 having a width of 250 mm is 0.7
It is unwound at a constant speed of m / min. In the measuring section 23, the anisotropic conductive adhesive film 9 is conveyed while being supported by the peripheral surface of the glass roll 25, and is illuminated with light by the illumination device 27 inside the glass roll 25. The light transmitted through the anisotropic conductive adhesive film 9 is received by the image pickup device of the CCD camera 5, and the image signals of the image pickup device are sequentially transmitted to the image processing unit 7. The image processing unit 7 performs predetermined processing according to the flow shown in FIG. That is, when the process is started, the image signal of the image element is converted into a lightness signal in step S1, and the process proceeds to the filter control of step S2. In the filter control, the average brightness obtained by dividing the brightness into a predetermined area by the filter 33 is obtained.

【００２１】ここで、図２を参照して画像信号の処理に
ついて説明する。図２の（ｂ）に示すように、縦×横が
６画素×６画素の領域、即ち７．５μｍ×６＝４５μｍ
角の領域における平均明度を（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）に
示すように、異方導電性接着フィルム９の搬送方向に一
画素１２の列づつずらしながら、ステップＳ３で各領域
の平均明度値を出力する。このように、４５μｍ角の領
域で平均明度を求めることにより、例えば接続するべき
電極の幅が３０〜５０μｍの場合に、その電極面積内に
存在する微細粒子数を測定することができ、信頼性が高
い。平均明度を求める領域の区画は、接続するべき電極
に合わせて区画するが、電極の面積に略一致させる必要
はなく、接続するべき電極の面積の略半分等にしてもよ
い。ステップＳ４では、比較部３７でデータ格納部３５
に格納された粒子数と明度との相関関係データに基づい
て粒子数を算出する。この相関関係データは、図３に示
すように、異方導電性接着フィルム９中に所定数の粒子
を分散したサンプルの明度を測定したものをいくつか測
定しておき、異方導電性接着フィルム９中における粒子
数と明度との関係をもとめたもので、本実施の形態で
は、図３のグラフから下記の回帰式を求めてあり、この
回帰式を用いて明度から粒子数を演算している。Now, the processing of the image signal will be described with reference to FIG. As shown in (b) of FIG. 2, an area of 6 pixels × 6 pixels in length × width, that is, 7.5 μm × 6 = 45 μm
As shown in (A), (B), and (C), the average brightness in the corner area is shifted by one pixel 12 in the transport direction of the anisotropic conductive adhesive film 9, and the average of each area is calculated in step S3. Output the brightness value. In this way, by obtaining the average brightness in a 45 μm square area, for example, when the width of the electrode to be connected is 30 to 50 μm, the number of fine particles existing in the electrode area can be measured, and the reliability can be improved. Is high. The partition of the area for obtaining the average brightness is partitioned according to the electrode to be connected, but it is not necessary to make it substantially equal to the area of the electrode, and it may be approximately half of the area of the electrode to be connected. In step S4, the comparison unit 37 causes the data storage unit 35 to operate.
The number of particles is calculated based on the correlation data between the number of particles and the lightness stored in. As shown in FIG. 3, this correlation data is obtained by measuring the brightness of a sample in which a predetermined number of particles are dispersed in the anisotropic conductive adhesive film 9, and measuring the anisotropic conductive adhesive film. The relationship between the number of particles in 9 and the lightness is obtained. In the present embodiment, the following regression equation is obtained from the graph of FIG. 3, and the number of particles is calculated from the lightness using this regression equation. There is.

【００２２】[0022]

【数１】Ｙ＝−１．３９３８Ｘ＋１３４．０３ Ｙは明度、Ｘは４５μｍ角における粒子数（個）であ
る。ステップＳ５では、判定部３９において、粒子数が
所定の範囲にあるか否かを判定する。例えば、本実施の
形態では、微細粒子数の規格を３２±１８個（１４〜５
０個）とした場合に、明度は６４〜１１４の範囲にある
か否かを判定する。判定部３９において粒子数が規格範
囲から外れている場合には、ステップＳ６において、画
像処理部７からパソコン１５に規格外領域がある旨の表
示を出力し、あるいは警報を発する。パソコン１５で
は、その旨の表示をディスプレイ（画面）４１に表示す
るとともに、パソコン１５の操作により詳細情報、例え
ばその領域内におけるＣＣＤカメラの画像を表示しても
よい。また、連動した手段によりその測定位置を識別で
きる印を被測定フィルムに設けるようにしても良い。ス
テップＳ５では、判定部３９において粒子数が規格内に
あると判定した場合には、ステップＳ７に進み、次の画
像データの取り込み準備に入り、上述したステップＳ１
に戻る。## EQU1 ## Y = -1.3938X + 134.03 Y is the lightness, and X is the number of particles at 45 .mu.m square. In step S5, the determination unit 39 determines whether the number of particles is within a predetermined range. For example, in the present embodiment, the standard of the number of fine particles is 32 ± 18 (14 to 5).
(0), it is determined whether the brightness is in the range of 64-114. If the number of particles is out of the standard range in the determination unit 39, in step S6, the image processing unit 7 outputs a display indicating that there is a nonstandard region to the personal computer 15 or issues an alarm. In the personal computer 15, a display to that effect may be displayed on the display (screen) 41, and detailed information, for example, an image of the CCD camera in the area may be displayed by operating the personal computer 15. Further, the film to be measured may be provided with a mark capable of identifying the measurement position by the interlocking means. If it is determined in step S5 that the number of particles is within the standard in the determination unit 39, the process proceeds to step S7 to prepare for capturing the next image data, and the above-described step S1 is performed.
Return to.

【００２３】本発明は、上述した実施の形態に限らず、
本発明の要旨を逸脱しない範囲で種種変形可能である。
例えば、上述した実施の形態において、カメラコントロ
ールボックス１３では、撮像素子の焦点深度を種々変え
て、フィルムの深さごとに所定領域における微細粒子の
数を測定したり、所定の数があるか否かを判定するもの
であってもよい。判定部３９を設けずに、フィルム中に
おける微細粒子の数を測定して単位領域毎に表示した
り、各領域毎に微細粒子の数を表示したリストをパソコ
ン１５に出力したり、またはディスプレイ（画面）４１
に表示するものであってもよい。画像処理部７では、パ
ソコン１５に接続せずに、フィルム中の所定領域におけ
る粒子数が規格外の場合には警報を直接発する構成とし
てもよい。比較部３７では、回帰式から明度を求めるこ
とに限らず、予め実験により求めた明度と粒子数との関
係グラフで近似する明度から粒子数を決定するものであ
ってもよい。画像処理部７のフィルタ３３では、平均値
を算出せずに、各画素１２の明度を直接出力して、比較
部３７で比較するものであってもよい。The present invention is not limited to the above embodiment,
Various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.
For example, in the above-described embodiment, in the camera control box 13, the depth of focus of the image sensor is variously changed to measure the number of fine particles in a predetermined area for each depth of the film, and whether or not there is a predetermined number. It may be for determining whether or not. Without providing the determination unit 39, the number of fine particles in the film is measured and displayed for each unit area, a list showing the number of fine particles for each area is output to the personal computer 15, or a display ( Screen) 41
It may be displayed on. The image processing unit 7 may be configured not to connect to the personal computer 15 but to directly issue an alarm when the number of particles in a predetermined area in the film is out of the standard. The comparison unit 37 is not limited to obtaining the lightness from the regression equation, but may determine the number of particles from the lightness approximated by a relational graph of the lightness and the number of particles obtained by an experiment in advance. The filter 33 of the image processing unit 7 may directly output the brightness of each pixel 12 without calculating the average value, and the comparison unit 37 may compare the brightness.

【００２４】[0024]

【発明の効果】請求項１に記載の発明によれば、ＣＣＤ
カメラによりフィルムを直接撮影して、予め求めた明度
と微細粒子数との相関関係から、コンピュータ処理によ
り微細粒子数を求めるので、人手によらないで容易に且
つ短時間で微細粒子数を測定できる。また、従来のよう
な数えまちがいの心配がなく且つＣＣＤカメラにより広
い領域を短時間で計測できるので、フィルム全体につい
て検査でき信頼性が高い。請求項２に記載の発明によれ
ば、請求項１に記載の発明と同様な効果を奏するととも
に、フィルム全体について容易に且つ確実に微細粒子数
を測定でき、更に信頼性を高めることができる。請求項
３に記載の発明によれば、請求項１と同様な効果を奏す
るとともに、一つの画素が一つの微細粒子により占めら
れている場合や、一つの画素には微細粒子が存在しない
場合であっても、所定の領域について平均明度を算出し
ているので、要求される所定領域の微細粒子数を簡易に
且つ確実に測定できる。更に、判定部は、所定領域に要
求されている粒子数があるか否かを判断するだけなの
で、フィルムの良否を明確に且つ迅速に判定できる。従
って、フィルムの品質管理が容易にできる。請求項４に
記載の発明によれば、請求項１ないし請求項３のいずれ
かに記載の発明と同様な効果を奏するとともに、撮像素
子の焦点深度を調整することにより、各深さに分散して
いる微細粒子を深さ毎に測定して微細粒子の三次元的な
分散状態を計測することができる。請求項５に記載の発
明によれば、請求項１ないし請求項４のいずれかに記載
の発明と同様な効果を奏するとともに、異方導電性接着
フィルムでは導電性粒子による導通するべき電極の面積
が更に微小化しているので、そのような異方導電性接着
フィルムの信頼性向上に効果が高い。According to the invention described in claim 1, the CCD
The film is directly photographed by a camera, and the number of fine particles is calculated by computer processing from the correlation between the brightness and the number of fine particles obtained in advance. Therefore, the number of fine particles can be easily measured in a short time without manual labor. . Further, since there is no concern about counting error as in the conventional technique and a wide area can be measured by a CCD camera in a short time, the whole film can be inspected and the reliability is high. According to the invention described in claim 2, the same effect as that of the invention described in claim 1 can be obtained, and the number of fine particles can be easily and reliably measured in the entire film, and the reliability can be further enhanced. According to the invention of claim 3, the same effect as that of claim 1 is obtained, and when one pixel is occupied by one fine particle or when one pixel does not have fine particles. Even if there is, since the average brightness is calculated for the predetermined area, the number of fine particles required in the predetermined area can be easily and surely measured. Furthermore, since the determination unit only determines whether or not the required number of particles is present in the predetermined area, the quality of the film can be clearly and quickly determined. Therefore, the quality control of the film can be easily performed. According to the invention described in claim 4, the same effect as that of the invention described in any one of claims 1 to 3 is obtained, and the focal depth of the image pickup device is adjusted so as to be dispersed in each depth. It is possible to measure the three-dimensional dispersed state of the fine particles by measuring the fine particles that exist at each depth. According to the invention described in claim 5, the same effect as the invention described in any one of claims 1 to 4 is obtained, and in the anisotropic conductive adhesive film, the area of the electrode to be conducted by the conductive particles. Since it is further miniaturized, it is highly effective in improving the reliability of such an anisotropic conductive adhesive film.

【００２５】請求項６に記載の発明によれば、上述した
請求項２に記載の発明と同様に、ＣＣＤカメラによりフ
ィルム全体を直接撮影して、予め求めた明度と微細粒子
数との相関関係から、コンピュータ処理により粒子数を
求めるので、人手によらないで自動処理により短時間で
且つ正確に微細粒子数を測定できる。請求項７に記載の
発明によれば、請求項６に記載の発明と同様な効果を奏
するとともに、連続搬送されるフィルムは透明ロールに
より支持しているので、フィルムが揺れたり振動するこ
とを防止でき、フィルムを安定した状態で計測できる。
請求項８に記載の発明によれば、請求項６又は請求項７
のいずれかに記載の発明と同様な効果を奏するととも
に、判定部は所定領域に要求されている粒子数があるか
否かを判断するだけであるから、フィルムの良否を明確
に且つ迅速に判定でき、フィルムの品質管理が容易にで
きる。請求項９に記載の発明によれば、請求項６ないし
請求項８のいずれかに記載の発明と同様な効果を奏する
とともに、所定の領域について平均明度を算出している
ので、要求される所定領域における粒子数を少ない誤差
で迅速に測定できる。請求項１０に記載の発明によれ
ば、請求項６ないし請求項９のいずれかに記載の発明と
同様な効果を奏するとともに、請求項４に記載の発明と
同様に、微細粒子をフィルムの深さ毎に測定して微細粒
子の三次元的な分散状態を計測することができる。請求
項１１に記載の発明によれば、請求項６ないし請求項１
０のいずれかに記載の発明と同様な効果を奏するととも
に、請求項５に記載の発明と同様に、電極面積の微小化
が進んでいる異方導電性接着フィルムの信頼性向上に効
果が高い。請求項１２に記載の発明によれば、請求項１
１に記載の発明と同様な効果を奏するとともに、撮像素
子の一画素あたりの寸法を電極幅の１／３以下とするこ
とにより、所定寸法の電極間に必ず導電粒子が３個以上
存在することを保証できる。According to the invention described in claim 6, as in the invention described in claim 2, the entire film is directly photographed by the CCD camera, and the correlation between the brightness and the number of fine particles obtained in advance is obtained. Therefore, since the number of particles is calculated by computer processing, the number of fine particles can be accurately measured in a short time by automatic processing without manual labor. According to the invention described in claim 7, the same effect as that of the invention described in claim 6 is obtained, and since the continuously conveyed film is supported by the transparent roll, the film is prevented from shaking or vibrating. Yes, the film can be measured in a stable state.
According to the invention of claim 8, claim 6 or claim 7
While exhibiting the same effect as the invention described in any one of, the determination unit only determines whether or not there is a required number of particles in a predetermined region, so the quality of the film can be clearly and quickly determined. The quality of the film can be easily controlled. According to the invention described in claim 9, the same effect as that of the invention described in any one of claims 6 to 8 is obtained, and the average brightness is calculated for a predetermined area. The number of particles in a region can be measured quickly with a small error. According to the invention of claim 10, the same effect as that of the invention of any one of claims 6 to 9 can be obtained, and fine particles can be added to the depth of the film in the same manner as the invention of claim 4. It is possible to measure each time to measure the three-dimensional dispersed state of the fine particles. According to the invention of claim 11, claim 6 to claim 1
The same effect as that of the invention described in any one of 0 to 5 is obtained, and like the invention of claim 5, it is highly effective in improving the reliability of the anisotropic conductive adhesive film in which the electrode area is being miniaturized. . According to the invention of claim 12, claim 1
1 has the same effect as that of the invention described in 1, and the size per pixel of the image pickup device is 1/3 or less of the electrode width, so that three or more conductive particles are surely present between the electrodes of a predetermined size. Can be guaranteed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】 本発明にかかるフィルム中の微細粒子数測定
装置の概略的な構成図である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an apparatus for measuring the number of fine particles in a film according to the present invention.

【図２】 （ａ）は画素の配列を示す図であり、（ｂ）
はフィルタによる画素の取り込み領域を示す図である。FIG. 2A is a diagram showing an array of pixels, and FIG.
FIG. 6 is a diagram showing a pixel capturing area by a filter.

【図３】 粒子数と明度との関係を示す相関グラフであ
る。FIG. 3 is a correlation graph showing the relationship between the number of particles and brightness.

【図４】 画像処理部における処理フローを示すフロー
チャートである。FIG. 4 is a flowchart showing a processing flow in an image processing unit.

【図５】 異方導電性接着フィルムにおける導電粒子の
配列状態及び作用を説明する断面図であり、（ａ）は電
極の接続前を示し、（ｂ）は電極の接続後を示す。5A and 5B are cross-sectional views illustrating an arrangement state and action of conductive particles in an anisotropic conductive adhesive film, FIG. 5A shows a state before connecting electrodes, and FIG. 5B shows a state after connecting electrodes.

【符号の説明】 １．微細粒子数測定装置（フィルム中の微細粒子数測定
装置）、３．フィルム搬送部、 ５．ＣＣＤカメラ、
７．画像処理部、９．異方導電性接着フィルム（フィル
ム）、 １１導電性粒子（微細粒子）、１２．画素、
１３．カメラコントロールボックス、 １５．パソコ
ン、２５．ガラスロール（透明ロール）、 ２７．照明
装置（光源）、３１．明度変換部、 ３３．フィルタ、
３５．データ格納部、３７．比較部、 ３９．判定
部。[Explanation of symbols] 1. 2. Fine particle number measuring device (fine particle number measuring device in film), 3. 4. Film transport section, CCD camera,
7. Image processing unit, 9. Anisotropically conductive adhesive film (film), 11 conductive particles (fine particles), 12. Pixel,
13. Camera control box, 15. Personal computer, 25. Glass roll (transparent roll), 27. Illumination device (light source), 31. Lightness converter, 33. filter,
35. Data storage, 37. Comparison part, 39. Judgment section.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 5B057 AA01 BA11 CA08 CA12 CA16 DA01 DA13 DB02 DB09 DC22   ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    F-term (reference) 5B057 AA01 BA11 CA08 CA12 CA16                       DA01 DA13 DB02 DB09 DC22

Claims (12)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 透明又は半透明フィルムに分散する微細
粒子の数をＣＣＤカメラと画像処理部とを用いて測定す
る方法であって、 フィルムに光を照射する光照射工程と、フィルムの透過
光をＣＣＤカメラの撮像素子が受ける受光工程と、その
撮像素子の光信号を明度に変換する変換工程と、予め求
めた明度とフィルム中の粒子数との相関関係データと撮
像素子の明度とを比較して、フィルム中に分散する粒子
数を決定する比較工程とを備えることを特徴とするフィ
ルム中の微細粒子数測定方法。1. A method for measuring the number of fine particles dispersed in a transparent or semi-transparent film by using a CCD camera and an image processing section, which comprises a light irradiation step of irradiating the film with light transmitted through the film. The light receiving step of receiving the image by the CCD image sensor, the conversion step of converting the optical signal of the image sensor into the brightness, and the correlation data between the brightness and the number of particles in the film obtained in advance and the brightness of the image sensor are compared. And a comparison step of determining the number of particles dispersed in the film. 【請求項２】 撮像素子はフィルムの幅方向に沿って複
数個を列状に配列しており、フィルムは撮像素子の配列
方向に直交する方向に搬送し、受光工程では複数の撮像
素子によりフィルム幅全体の透過光を受けることを特徴
とする請求項１に記載のフィルム中の微細粒子数測定方
法。2. A plurality of image pickup elements are arranged in a row along the width direction of the film, the film is conveyed in a direction orthogonal to the arrangement direction of the image pickup elements, and in the light receiving step, the film is formed by the plurality of image pickup elements. The method for measuring the number of fine particles in a film according to claim 1, wherein the transmitted light of the entire width is received. 【請求項３】 画像処理部は、撮像素子の所定領域内に
おける各画素の明度の平均値を求めるフィルタと、比較
工程で計測した粒子数が所定範囲内にあるか否かを判定
する判定工程を備えることを特徴とする請求項１又は請
求項２に記載のフィルム中の微細粒子数測定方法。3. The image processing unit comprises a filter for obtaining an average value of the brightness of each pixel in a predetermined area of the image sensor, and a determination step of determining whether or not the number of particles measured in the comparison step is within a predetermined range. The method for measuring the number of fine particles in a film according to claim 1 or 2, further comprising: 【請求項４】 撮像素子の焦点深度を調整して、フィル
ム中の任意の深さに分散している粒子数を深さ毎に計測
することを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれ
かに記載のフィルム中の微細粒子数測定方法。4. The depth of focus of an image pickup device is adjusted, and the number of particles dispersed in an arbitrary depth in a film is measured for each depth. The method for measuring the number of fine particles in a film according to Crab. 【請求項５】 フィルムは絶縁性フィルムであり、微細
粒子は導電性粒子であることを特徴とする請求項１ない
し請求項４のいずれかに記載のフィルム中の微細粒子数
測定方法。5. The method for measuring the number of fine particles in a film according to claim 1, wherein the film is an insulating film and the fine particles are conductive particles. 【請求項６】 搬送路に沿ってフィルムを搬送するフィ
ルム搬送部と、搬送路の一側に設けた光源と、搬送路を
挟んで光源に対向して設けたＣＣＤカメラと、ＣＣＤカ
メラの画像をコンピュータ処理する画像処理部とを備
え、透明又は半透明フィルムに分散する微細粒子の数を
測定するフィルム中の微細粒子数測定装置であって、Ｃ
ＣＤカメラは撮像素子をフィルムの幅方向に沿ってフィ
ルムの幅全体の透過光を受けるように複数配列してお
り、画像処理部は撮像素子の光信号を明度に変換する明
度変換部と、予め求めてある明度と粒子数との相関関係
データを格納するデータ格納部と、該相関関係データと
撮像素子の明度とを比較して粒子数を決定する比較部と
を備えることを特徴とするフィルム中の微細粒子数測定
装置。6. A film transport section for transporting a film along a transport path, a light source provided on one side of the transport path, a CCD camera provided facing the light source with the transport path sandwiched therebetween, and an image of the CCD camera. And an image processing unit for computer processing, wherein the number of fine particles dispersed in a transparent or semitransparent film is measured,
In the CD camera, a plurality of image pickup elements are arranged along the width direction of the film so as to receive transmitted light of the entire width of the film, and the image processing section includes a brightness conversion section for converting an optical signal of the image pickup element into brightness, and A film comprising: a data storage unit that stores correlation data between the obtained brightness and the number of particles; and a comparison unit that determines the number of particles by comparing the correlation data and the brightness of the image sensor. Inside fine particle number measuring device. 【請求項７】 光源は円筒状の透明ロールの内側に配置
されており、透明ロールの外周面にフィルムが支持され
ていることを特徴とする請求項６に記載のフィルム中の
微細粒子数測定装置。7. The method for measuring the number of fine particles in a film according to claim 6, wherein the light source is arranged inside a cylindrical transparent roll, and the film is supported on the outer peripheral surface of the transparent roll. apparatus. 【請求項８】 画像処理部は比較部で求めた粒子数が所
定の範囲内にあるか否かを判断する判定部を備え、コン
ピュータに判定結果を出力することを特徴とする請求項
６又は請求項７に記載のフィルム中の微細粒子数測定装
置。8. The image processing unit comprises a determination unit for determining whether or not the number of particles obtained by the comparison unit is within a predetermined range, and outputs the determination result to a computer. The device for measuring the number of fine particles in a film according to claim 7. 【請求項９】 撮像素子における所定領域の画素の明度
の平均値を求めるフィルタを備え、比較部は明度の平均
値を相関データと比較することを特徴とする請求項６な
いし請求項８のいずれかに記載のフィルム中の微細粒子
数測定方法。9. The image pickup device according to claim 6, further comprising a filter for obtaining an average value of brightness of pixels in a predetermined area of the image pickup device, and the comparing section compares the average value of brightness with correlation data. The method for measuring the number of fine particles in a film according to Crab. 【請求項１０】 撮像素子の焦点深度を調整して、フィ
ルム中の任意の深さに分散している粒子数を計測するこ
とを特徴とする請求項６ないし請求項９のいずれかに記
載のフィルム中の微細粒子数測定装置。10. The number of particles dispersed in an arbitrary depth in the film is measured by adjusting the depth of focus of the image pickup device. A device for measuring the number of fine particles in a film. 【請求項１１】 フィルムは絶縁性フィルムであり、微
細粒子は導電性粒子であること特徴とする請求項６ない
し請求項１０のいずれかに記載のフィルム中の微細粒子
数測定装置。11. The device for measuring the number of fine particles in a film according to claim 6, wherein the film is an insulating film and the fine particles are conductive particles. 【請求項１２】 撮像素子における方形画素の一辺の寸
法又は円形画素の半径が、接続されるべき電極幅の１／
３以下であることを特徴とする請求項１１に記載のフィ
ルム中の微細粒子数測定装置。12. The size of one side of a rectangular pixel or the radius of a circular pixel in an image sensor is 1 / the width of an electrode to be connected.
It is 3 or less, The number-of-fine-particles measuring apparatus in the film of Claim 11 characterized by the above-mentioned.