JP2003217441A - シート状誘電体材料およびそれを用いたプラズマディスプレイパネルの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 プラズマディスプレイパネルにおいて、立体
構造を持つ誘電体層を安定に精度良く、しかも作業効率
よく形成できるようにすることを目的とする。 【解決手段】 支持フィルム２２上に形成されかつガラ
ス粉末および結着樹脂および感光性樹脂を含有する感光
性誘電体形成材料層２３と、この感光性誘電体形成材料
層２３上に形成されかつガラス粉末および結着樹脂を含
有する誘電体形成材料層２４とからなり、感光性誘電体
形成材料層２３のガラス粉末の誘電率が誘電体形成材料
層２４のガラス粉末の誘電率よりも低いシート状誘電体
材料２１を準備し、このシート状誘電体材料２１を用い
てプラズマディスプレイパネルの誘電体層を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、シート状誘電体材
料およびそれを用いたプラズマディスプレイパネルの製
造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、双方向情報端末として大画面、壁
掛けテレビへの期待が高まっている。そのための表示デ
バイスとして、液晶表示パネル、フィールドエミッショ
ンディスプレイ、エレクトロルミネッセンスディスプレ
イ等の数多くのものがあり、そのうちの一部は市販さ
れ、一部は開発中である。これらの表示デバイス中でも
プラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰという）
は、自発光型で美しい画像表示ができ、大画面化が容易
である等の理由から、ＰＤＰを用いたディスプレイは、
視認性に優れた薄型表示デバイスとして注目されてお
り、高精細化および大画面化が進められている。

【０００３】このＰＤＰには、大別して、駆動的にはＡ
Ｃ型とＤＣ型があり、放電形式では面放電型と対向放電
型の２種類があるが、高精細化、大画面化および製造の
簡便性から、現状では、ＡＣ型で面放電型のＰＤＰが主
流を占めるようになってきている。

【０００４】図３にＰＤＰのパネル構造の一例を示して
おり、この図３に示すようにＰＤＰは、前面パネル１と
背面パネル２とから構成されている。

【０００５】前面パネル１は、フロート法による硼珪素
ナトリウム系ガラス等からなるガラス基板などの透明な
前面側の基板３上に、ストライプ状の表示電極４を複数
対配列して形成し、そしてその表示電極４群を覆うよう
に誘電体層５を形成し、その誘電体層５上にＭｇＯから
なる保護膜６を形成することにより構成されている。な
お、表示電極４は、透明電極４ａおよびこの透明電極４
ａに電気的に接続されたＣｒ／Ｃｕ／ＣｒまたはＡｇ等
からなるバス電極４ｂとから構成されている。また、図
示していないが、前記表示電極４間には、遮光膜として
のブラックストライプが表示電極４と平行に複数列形成
されている。

【０００６】また、背面パネル２は、前記前面側の基板
３に対向配置される背面側の基板７上に、表示電極４と
直交する方向にＣｒ／Ｃｕ／ＣｒまたはＡｇ等からなる
アドレス電極８を形成するとともに、そのアドレス電極
８を覆うように誘電体層９を形成し、そしてアドレス電
極８間の誘電体層９上にアドレス電極８と平行にストラ
イプ状の複数の隔壁１０を形成するとともに、この隔壁
１０間の側面および誘電体層９の表面に蛍光体層１１を
形成することにより構成されている。なお、カラー表示
のために前記蛍光体層１１は、通常、赤、緑、青の３色
が順に配置されている。

【０００７】そして、これらの前面パネル１と背面パネ
ル２とは、表示電極４とアドレス電極８とが直交するよ
うに、微小な放電空間を挟んで基板３、７を対向配置す
るとともに、周囲を封着部材により封止し、そして前記
放電空間にネオンおよびキセノンなどを混合してなる放
電ガスを６６５００Ｐａ（５００Ｔｏｒｒ）程度の圧力
で封入することによりパネルが構成されている。

【０００８】このパネルの放電空間は、隔壁１０によっ
て複数の区画に仕切られており、そしてこの隔壁１０間
に発光画素領域となる複数の放電セルが形成されるよう
に表示電極４が設けられるとともに、表示電極４とアド
レス電極８とが直交して配置されている。そして、この
ＰＤＰでは、表示電極４、アドレス電極８に印加される
周期的な電圧によって放電を発生させ、この放電による
紫外線を蛍光体層に照射して可視光に変換させることに
より、画像表示が行われる。

【０００９】このようなＰＤＰにおいては、アドレス電
極８、および表示電極４のバス電極４ｂには、ＡｇやＣ
ｒ−Ｃｕ−Ｃｒ等が用いられ、このうちＡｇによる電極
の製造方法としては、スクリーン印刷法のようにＡｇ、
樹脂、溶剤などを含有するＡｇペーストを用いる方法
や、ラミネート法のように、Ａｇ、樹脂などを含有する
フィルムを用いる方法などがある。いずれの場合におい
ても、樹脂を除去する目的、あるいはＡｇ同士を融着し
て導電率を上昇させる目的で、５００℃以上での加熱、
焼成処理を行う必要がある。

【００１０】さらに、これらの電極を被覆する誘電体層
は、プラズマを発生させるために必須の材料であり、放
電効率をより高く、かつ背面板の蛍光体からの発光光を
よく通すといった機能が必要とされる重要な構成要素で
ある。

【００１１】また、誘電体層は、従来低融点鉛ガラスな
どの粉末と結着樹脂（膜形成材料層を構成する有機物
質）などを含むガラスペースト組成物をスクリーン印
刷、ダイコート塗布等の方法によって塗工し、５００℃
以上で加熱、焼成することで形成されていた。

【００１２】ガラス基板上に形成する膜形成材料層の厚
さは、焼成工程における有機物質の除去に伴う膜厚の目
減量を考慮して、形成すべき誘電体層の膜厚の１．３〜
２倍程度とすることが必要であり、例えば誘電体層の膜
厚を５〜４０μｍとするためには、７〜８０μｍ程度の
厚さの膜形成材料層を形成する必要がある。

【００１３】しかしながら、上記ガラスペースト組成物
をスクリーン印刷法によって塗布する場合において、１
回の塗布処理によって形成される塗膜の厚さは５〜２５
μｍ程度である。スクリーン印刷法で形成する場合に
は、複数回に亘り、多重印刷が必要となり、工程の煩雑
さによる作業効率の低下、膜厚分布の低下、平滑性の低
下、欠陥の発生確率の増大等がさけられない。また、ダ
イコート塗布法の場合においても、コートの開始・終了
部分の膜厚分布が悪く、誘電特性のばらつきの原因とな
り、駆動電圧のマージンを低下させる原因となってい
る。

【００１４】これらの課題に対して、例えば特開平１０
−２９１８３４号公報に開示されているように、ガラス
ペースト組成物を支持フィルム上に形成したシート状誘
電体材料を用いて、ラミネート法などの方法によって貼
り付けた後、５００℃以上で加熱、焼成することで誘電
体層を形成する方法が提案されている。

【００１５】図４を用いてこのシート状誘電体材料の説
明をすると、図４（ａ）はロール状に巻回されたシート
状誘電体材料１２を示す概略構成図であり、図４（ｂ）
は図４（ａ）のＸ部のシート状誘電体材料１２の層構成
を示す断面図である。この図４に示すシート状誘電体材
料１２は、支持フィルム１３と、この支持フィルム１３
の表面に剥離可能に形成された膜形成材料層１４と、こ
の膜形成材料層１４の表面に剥離容易に形成されたカバ
ーフィルム１５とにより構成されている。

【００１６】この予め膜形成材料が作製されたシート状
誘電体材料１２を用いることにより、膜厚の大きな誘電
体層、例えば５〜４０μｍの誘電体層であっても効率的
に形成することができ、誘電体層の形成工程における工
程改善が図れ、ＰＤＰの製造効率を向上させることが可
能となる。しかも、膜厚の均一性および表面の平滑性に
優れ、ピンホールやクラックなどの欠陥のない誘電体層
を形成することができる。

【００１７】一方、ＰＤＰの高精細化、高輝度化の要求
に伴って、例えば特開平８−２５００２９号公報に開示
されているように、放電を制御し遮蔽される部分での放
電を極力抑制するために、前記誘電体層を立体的に構成
するという新しい構造を持つ誘電体層が提案されてい
る。

【００１８】立体構造の誘電体層を作製するためには、
シート状誘電体材料をパターニングする必要があるが、
その技術としては、例えば特開平１１−２３１５２５号
公報に開示されている。その内容を図５（ａ）〜（ｉ）
に示している。

【００１９】図５（ａ）〜（ｃ）に示すように、ガラス
基板１６上に、支持フィルム１３に無機粉体分散ペース
トによる膜形成材料層１４が形成されたシート状誘電体
材料１２を転写し、その上に図５（ｄ）に示すようにレ
ジスト層１７を形成し、その後図５（ｅ）、（ｆ）に示
すように、露光用マスク１８を合わせてレジスト層１７
を所定のパターンに露光、現像することにより所定のパ
ターンのレジスト層１７を形成し、その所定のパターン
のレジスト層１７をマスクとして、図５（ｇ）、（ｈ）
に示すように無機粉体分散ペーストの膜形成材料層１４
を所定のパターン形状にエッチングした後、レジスト層
１７を除去し、その後図５（ｉ）に示すように所定の温
度で焼成することで無機パターン１９を作製する方法で
ある。

【００２０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
シート状誘電体材料とパターニングプロセスを用いて、
ＰＤＰの誘電体層の立体構造を作製する方法において
は、以下に示す問題点がある。

【００２１】すなわち、ＰＤＰの誘電体層の立体構造で
は、例えば図６（ａ）、（ｂ）に示すように、前面パネ
ル１の誘電体層５に発光画素領域単位で凹部２０を設け
る場合、誘電体層５に所定のパターンで厚みの厚い部分
５ａと薄い部分５ｂをばらつきなく作製することが要求
される。なお、図６（ｂ）は図６（ａ）のＡ−Ａ線で切
断した際の断面を示す図である。

【００２２】上記従来のパターニング方法では、例えば
図５（ｇ）の途中でエッチングを止めて誘電体層５に薄
い部分５ｂを残す必要があるが、このように途中でエッ
チングを止めると、ＰＤＰのように大面積のパネルの場
合、パネル全体のエッチングばらつきがそのまま形状お
よび深さの寸法ばらつきとなってしまい、全体に亘って
精度よく誘電体層の立体構造を得ることができない。

【００２３】そこで、薄い部分での厚みに相当するシー
ト状誘電体材料により先に第一の誘電体層を焼成し形成
した後に、厚い部分での厚みに合わせるシート状誘電体
材料を用いて上述した従来のパターニング方法により第
二の誘電体層を形成することで、立体構造を得ることが
考えられるが、この場合はシート状誘電体材料を２回精
度良く基板に転写する必要があり、工程が煩雑となる。
また、ＰＤＰにおける放電開始電圧の観点からすると、
下層の第一の誘電体層においても膜厚に分布を持たせ、
最も膜厚の低下させた部分を種火放電として利用すれ
ば、さらに放電電圧を下げることができるが、上述のよ
うな下層を焼成により形成した後、その上部に誘電体を
塗布し、パターニングする方法では、下層の形状を変形
させることができなかった。

【００２４】本発明はこのような課題に鑑みなされたも
ので、立体構造を持つ誘電体層を安定に精度良く、しか
も作業効率よく形成することができるようにすることを
目的とするものである。

【００２５】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明は、ガラス粉末、結着樹脂および感光性樹脂を
含有する感光性誘電体形成材料層とこの感光性誘電体形
成材料層上に形成されかつガラス粉末および結着樹脂を
含有する誘電体形成材料層とを備えるとともに、前記感
光性誘電体形成材料層のガラス粉末の誘電率が誘電体形
成材料層のガラス粉末の誘電率よりも低いシート状誘電
体材料を用い、基板上に誘電体形成材料層が基板側とな
るように重ね合わせて誘電体形成材料層および感光性誘
電体形成材料層を基板に転写した後、感光性誘電体形成
材料層を所定のパターンを有するマスクを用いて露光
し、現像することにより、所定のパターン形状の誘電体
層を形成するものである。

【００２６】このような構成により、誘電体層の立体構
造を作製する際に、１種類のシート状誘電体材料を用い
て、厚みの厚い部分と薄い部分を有する誘電体層をばら
つきなく作業効率よく作製することが可能となり、大面
積のパネル内で形状および深さの寸法ばらつきを抑える
ことができる。

【００２７】

【発明の実施の形態】すなわち、本発明の請求項１に記
載の発明は、支持フィルム上に形成されかつガラス粉
末、結着樹脂および感光性樹脂を含有する感光性誘電体
形成材料層と、この感光性誘電体形成材料層上に形成さ
れかつガラス粉末および結着樹脂を含有する誘電体形成
材料層とを備え、前記感光性誘電体形成材料層のガラス
粉末の誘電率が誘電体形成材料層のガラス粉末の誘電率
よりも低いことを特徴とするシート状誘電体材料であ
る。

【００２８】また、請求項２に記載の発明では、感光性
誘電体形成材料層および誘電体形成材料層は溶剤を含有
するものであることを特徴としている。また、請求項３
に記載の発明では、感光性誘電体形成材料層に含有され
る結着樹脂の分解温度または燃焼温度または揮発温度
が、誘電体形成材料層の結着樹脂の分解温度または燃焼
温度または揮発温度以下であることを特徴とし、請求項
４に記載の発明では、感光性誘電体形成材料層に含有さ
れる溶剤の分解温度または燃焼温度または揮発温度が、
誘電体形成材料層の溶剤の分解温度または燃焼温度また
は揮発温度以下であることを特徴としている。

【００２９】さらに、本発明の請求項５に記載の発明で
は、ガラス粉末、結着樹脂および感光性樹脂を含有する
感光性誘電体形成材料層とこの感光性誘電体形成材料層
上に形成されかつガラス粉末および結着樹脂を含有する
誘電体形成材料層とを備えるとともに前記感光性誘電体
形成材料層のガラス粉末の誘電率が誘電体形成材料層の
ガラス粉末の誘電率よりも低いシート状誘電体材料を準
備し、このシート状誘電体材料を基板上に誘電体形成材
料層が基板側となるように重ね合わせて誘電体形成材料
層および感光性誘電体形成材料層を基板に転写する転写
工程と、転写した感光性誘電体形成材料層を所定のパタ
ーンを有するマスクを用いて露光し、現像するパターン
形成工程と、その後感光性誘電体形成材料層および誘電
体形成材料層を焼成して誘電体層を形成する焼成工程と
を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネル
の製造方法である。

【００３０】そして、請求項６に記載の発明では、パタ
ーン形成工程で感光性誘電体形成材料層を露光、現像す
ることにより、プラズマディスプレイパネルの発光画素
領域毎に誘電体層に少なくとも一つの凹部を形成し、そ
の凹部の底面の誘電体層の膜厚を小さくしたことを特徴
としている。

【００３１】また、請求項７に記載の発明では、プラズ
マディスプレイパネルの製造方法において、感光性誘電
体形成材料層および誘電体形成材料層は溶剤を含有する
ものであることを特徴とし、さらに請求項８に記載の発
明では、感光性誘電体形成材料層に含有される結着樹脂
の分解温度または燃焼温度または揮発温度が、誘電体形
成材料層の結着樹脂の分解温度または燃焼温度または揮
発温度以下であることを特徴とし、請求項９に記載の発
明では、感光性誘電体形成材料層に含有される溶剤の分
解温度または燃焼温度または揮発温度が、誘電体形成材
料層の溶剤の分解温度または燃焼温度または揮発温度以
下であることを特徴としている。

【００３２】以下、本発明の一実施の形態について、図
１、図２の図面を参照しながら説明する。

【００３３】まず、図１を用いて本発明の一実施の形態
によるシート状誘電体材料の説明をすると、図１（ａ）
はロール状に巻回されたシート状誘電体材料２１を示す
概略構成図であり、図１（ｂ）は図１（ａ）のＸ部のシ
ート状誘電体材料２１の層構成を示す断面図である。図
１に示すように、シート状誘電体材料２１は、支持フィ
ルム２２と、この支持フィルム２２上に形成した感光性
誘電体形成材料層２３と、この感光性誘電体形成材料層
２３上に形成した誘電体形成材料層２４と、この誘電体
形成材料層２４上に配置したカバーフィルム２５とが積
層された構成である。

【００３４】ここで、誘電体形成材料層２４および感光
性誘電体形成材料層２３は、ガラス粉末および結着樹脂
が必須成分として含有され、かつ感光性誘電体形成材料
層２３は感光性樹脂が含有されている。

【００３５】シート状誘電体材料を構成する支持フィル
ム２２は、耐熱性および耐溶剤性を有するとともに可撓
性を有する樹脂フィルムであることが好ましい。支持フ
ィルム２２が可撓性を有することにより、ロールコータ
などによって膜厚の均一な膜形成材料層を形成すること
ができるとともに、当該膜形成材料層をロール状に巻回
した状態で保存することができる。支持フィルム２２を
形成する樹脂としては、例えばポリエチレンテレフタレ
ート、ポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン、
ポリスチレン、ポリイミド、ポリビニルアルコール、ポ
リ塩化ビニル、ポリフロロエチレンなどの含フッ素樹
脂、ナイロン、セルロースなどを挙げることができる。

【００３６】シート状誘電体材料を構成する感光性誘電
体形成材料層２３および誘電体形成材料層２４は、焼成
されることによってガラス焼結体（誘電体層）となるも
のであり、誘電体形成材料層２４に含有されるガラス粉
末としては、例えばＺｎＯ−Ｂ₂Ｏ₃−ＳｉＯ₂系の混合
物、ＰｂＯ−Ｂ₂Ｏ₃−ＳｉＯ₂系の混合物、ＰｂＯ−Ｂ ₂
Ｏ₃−ＳｉＯ₂−Ａｌ₂Ｏ₃系の混合物、ＰｂＯ−ＺｎＯ−
Ｂ₂Ｏ₃−ＳｉＯ₂系の混合物などを挙げることができ
る。

【００３７】ここで、用いられるガラスの誘電率として
は、前記ＺｎＯ−Ｂ₂Ｏ₃−ＳｉＯ₂系ガラスが最も低
く、次いでＰｂＯ−Ｂ₂Ｏ₃−ＳｉＯ₂系、Ｂｉ₂Ｏ₃−Ｂ₂
Ｏ₃−ＳｉＯ₂系と続く。本発明においては、この誘電率
の異なる誘電体を効果的に使用することが特徴であり、
詳細については後述する。

【００３８】感光性誘電体形成材料層２３に含有される
感光性樹脂としては、少なくともアルカリ現像型結着樹
脂、反応性モノマーおよび光重合開始剤が含まれ、また
添加剤として、増感剤、重合停止剤、連鎖移動剤、レベ
リング剤、分散剤、可塑剤、安定剤、消泡剤等を必要に
応じて含有することができる。

【００３９】本発明の結着樹脂としてはアクリル系とセ
ルロース系を代表的に挙げることができる。この場合に
感光性誘電体形成材料層と誘電体形成材料層に用いる樹
脂としては、例えばブチル（メタ）アクリレート、エチ
ルヘキシル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）ア
クリレート、イソデシル（メタ）アクリレートおよび２
−エトキシエチル（メタ）アクリレートを挙げることが
できるが、これに限るものではない。

【００４０】また、上記誘電体形成材料層２４に含有さ
れる結着樹脂としては、感光性誘電体形成材料層２３の
結着樹脂が誘電体形成材料層２４の結着樹脂の分解また
は燃焼または揮発温度よりも低いことを特徴とする。最
も好ましくは、アクリル系樹脂を感光性誘電体形成材料
に使用し、セルロース系樹脂を誘電体形成材料層に用い
ることが望ましい。

【００４１】これにより、異なる機能をもつ２層を同時
に形成することができ、工程数を大幅に削減することが
できる。また、２層を２種類の別々のシートを用いて作
製する場合にはそれぞれに２枚の支持フィルムを必要と
するが、本発明によれば廃棄物として非常に膨大になる
支持フィルムを半減することができ、環境に対する負荷
を低下させることができる。

【００４２】また、ＰＤＰを作製する上で、前記シート
状誘電体材料をガラス基板上に転写し、誘電体形成材料
層２４の乾燥または焼成時にガラス基板に対して上層に
形成される層から段階的に結着樹脂を揮発または燃焼ま
たは分解させることができ、下層の結着樹脂は上層の結
着樹脂が全て除去された後、ガス化するため、上層を容
易に通過することができる。このため、２層を同時に焼
成することができ、工程数を削減することができる。ま
た、焼成回数の低下により、消費エネルギーを低減で
き、環境に対する負荷を低下させることができる。これ
らについては、後述するＰＤＰの製造方法で詳細を述べ
る。

【００４３】さらに、誘電体形成材料層２４および感光
性誘電体形成材料層２３は、ガラス粉末および結着樹脂
が必須成分として含有され、かつ感光性誘電体形成材料
層２３は感光性樹脂が含有され、かつ溶剤が前記２層共
に含有されていても良い。

【００４４】この場合に感光性誘電体形成材料層２３と
誘電体形成材料層２４に用いる溶剤としては、当該誘電
体形成材料層２４および感光性誘電体形成材料層２３に
適度な粘性（例えば５００〜１０，０００ｃｐ）を付与
することができ、乾燥されることによって容易に蒸発除
去できるものであることが好ましく、例えばメチルイソ
ブチルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテ
ル、テレビン油、エチルセロソルブ、メチルセロソル
ブ、テルピネオール、ブチルカルビトールアセテート、
ブチルカルビトール、ベンジルアルコール、乳酸メチ
ル、乳酸エチル、ブチルセロソルブアセテート、エチル
−３−エトキシプロピオネート、ブチルセロソルブなど
を挙げることができる。

【００４５】また、上記溶剤としては、誘電体形成材料
層２４と感光性誘電体形成材料層２３の分解または燃焼
または揮発温度が異なることを特徴とする。好ましく
は、支持フィルム２２上に形成される感光性誘電体形成
材料層２３の溶剤が誘電体形成材料層２４の溶剤よりも
分解または燃焼または揮発温度が低いことを特徴とす
る。

【００４６】ここで、例えば上記溶剤の組み合わせとし
て、感光性誘電体形成材料層２３に少なくとも誘電体形
成材料層２４よりも分解または燃焼または揮発温度が低
いものを選出する。好ましくは、前記感光性誘電体形成
材料層２３にテレビン油（沸点１５５〜１６５℃）、前
記誘電体形成材料層２４にテルピネオール（沸点約１８
０℃）を選出する。これにより、前記結着樹脂で述べた
効果と同様の効果を発現することができる。

【００４７】ここで用いられるシート状誘電体材料２１
の製造方法としては、支持フィルム２２上に前記感光性
誘電体形成材料層２３を形成し、さらにその上に誘電体
形成材料層２４を形成し、その上にカバーフィルム２５
を圧着により設けることにより製造することができる。
誘電体形成材料層２４の形成方法としては、少なくとも
ガラス粉末、結着樹脂を含有し、好ましくは溶剤を含有
するガラスペースト組成物からなる誘電体形成材料層２
４を塗布した後、その塗膜を乾燥して前記溶剤の一部ま
たは全部を除去する方法を挙げることができる。ガラス
ペースト組成物からなる誘電体形成材料層２４を塗布す
る方法としては、ローラーコーターによる塗布方法、ド
クターブレードなどのブレードコーターによる塗布方
法、カーテンコーターによる塗布方法などを挙げること
ができる。

【００４８】次に、本発明によるＰＤＰの製造方法にお
いて、前面パネルの製造工程を図２を用いて説明する。

【００４９】図２（ａ）に示す第１の工程は、前面パネ
ルの前面側基板としてのガラス基板３１上に、ＩＴＯや
ＳｎＯ₂等からなる透明電極材料膜３２をスパッタ法に
より一様に成膜する工程である。このとき透明電極材料
膜３２の膜厚は約１００ｎｍである。

【００５０】図２（ｂ）に示す第２の工程は、フォトリ
ソグラフィー法を用いて透明電極材料膜３２を所望の形
状にパターニングし透明電極３３を形成する工程であ
る。ノボラック樹脂を主成分とするポジ型レジストを
１．５〜２μｍの膜厚で塗布し、所望のパターンの露光
乾板を介して紫外線を露光し、レジストを硬化させる。
このときの紫外線の光源は超高圧水銀ランプであり、光
量は３００ｍＪ／ｃｍ²である。次にアルカリ水溶液で
現像を行い、レジストパターンを形成する。その後、塩
酸を主成分とする溶液に基板を浸漬させてエッチングを
行い、不要部分の除去を行い、最後にレジストを剥離し
て透明電極３３を形成する。

【００５１】図２（ｃ）に示す第３の工程は、黒色電極
材料膜３４を塗工する工程である。黒色電極材料膜３４
は、ＲｕＯ₂等からなる黒色顔料、ガラスフリット（Ｐ
ｂＯ−Ｂ₂Ｏ₃−ＳｉＯ₂系やＢｉ₂Ｏ₃−Ｂ₂Ｏ₃−ＳｉＯ₂
系等）、重合開始剤、光硬化性モノマー、有機溶剤を成
分として含有するネガ型感光性ペーストをスクリーン印
刷法を用いてガラス基板３１に一様に塗布することで形
成される。その後赤外線乾燥炉を用いた９０℃、１０分
間の乾燥工程によりペーストに含まれる溶剤は塗膜から
除去される。

【００５２】図２（ｄ）に示す第４の工程は、金属電極
材料膜３５を黒色電極材料膜３４上に形成する工程であ
る。この工程は用いられる材料がＡｇ等の導電性材料、
ガラスフリット（ＰｂＯ−Ｂ₂Ｏ₃−ＳｉＯ₂系やＢｉ₂Ｏ
₃−Ｂ₂Ｏ₃−ＳｉＯ₂系等）、重合開始剤、光硬化性モノ
マー、有機溶剤を成分として含有するネガ型感光性ペー
ストであることを除いて、第３の工程と同様である。

【００５３】図２（ｅ）に示す第５の工程は、バス電極
３６を形成する工程である。金属電極材料膜３５と黒色
電極材料膜３４とからなる電極材料膜に、所望のパター
ンの露光乾板を介して紫外線を照射し露光部を硬化させ
る。このときの紫外線の光源は超高圧水銀ランプであ
り、光量は３００ｍＪ／ｃｍ²である。その後、アルカ
リ性現像液（０．３ｗｔ％の炭酸ナトリウム水溶液）を
用いて現像してパターンを形成し、その後空気中でガラ
ス材料の軟化点以上の温度で焼成を行い、電極を基板に
固着させる。

【００５４】このように透明電極３３上にバス電極３６
を形成することにより、前面パネルの表示電極を形成す
ることができる。

【００５５】図２（ｆ）に示す第６の工程は、上述した
シート状誘電体材料２１を用いて誘電体形成材料層３７
と感光性誘電体形成材料層３８との２層からなる誘電体
材料層を形成する工程である。ここで、前記感光性誘電
体形成材料層３８に含有されるガラス粉末の誘電率は、
前記誘電体形成材料層３７に含有されるガラス粉末の誘
電率と異なっている。好ましくは、前記感光性誘電体形
成材料層３８に含有されるガラス粉末の誘電率が、前記
誘電体形成材料層３７に含有されるガラス粉末の誘電率
よりも低い方が良い。

【００５６】誘電体材料層はシート状誘電体材料２１の
カバーフィルム２５を剥離した後、誘電体材料層の表面
がガラス基板３１に接するようにシート状誘電体材料２
１を重ね合わせながら、支持フィルム２２側から加熱ロ
ーラーで圧着してガラス基板３１に固着する。その後、
ガラス基板３１上に固着された誘電体材料層から支持フ
ィルム２２を剥離除去する。このとき、圧着に使用する
手段としては、加熱ローラー以外に加熱しない単なるロ
ーラーでもよい。

【００５７】図２（ｇ）に示す第７の工程は、感光性誘
電体形成材料層３８を露光する工程である。所望のパタ
ーンの開口部を有する露光マスク３９を介して誘電体材
料層の感光性誘電体形成材料層３８に紫外線を照射して
露光部を硬化する。このときの紫外線の光源は超高圧水
銀ランプであり、光量は６００ｍＪ／ｃｍ²である。

【００５８】図２（ｈ）に示す第８の工程は、発光画素
領域に凹部を形成することにより厚みの厚い部分と薄い
部分を有する立体構造の誘電体層を形成する工程であ
る。アルカリ性現像液（０．３ｗｔ％の炭酸ナトリウム
水溶液）を用いて誘電体材料層の感光性誘電体形成材料
層３８を現像し、感光性誘電体形成材料層３８の非露光
部を除去する。

【００５９】このとき、誘電体形成材料層３７を構成す
る結着樹脂は現像液に対して溶解性を有さないため除去
されないか、あるいはエッチング速度が感光性誘電体形
成材料層３８のエッチング速度よりも小さいため、第一
層の誘電体形成材料層３７との界面近傍のわずかな領域
のみが除去される。そのため、所望の立体構造を有する
誘電体材料層が形成される。なお、このときの非露光部
と露光部の誘電体材料層の膜厚はそれぞれ３０μｍと２
０μｍであることが望ましい。

【００６０】その後、空気中でガラス材料の軟化点以上
の温度で焼成を行ってガラス成分を固着させることによ
り、立体構造を有する誘電体層が形成される。

【００６１】ここで、本発明においては、上述したよう
に感光性誘電体形成材料層３８の溶剤が誘電体形成材料
層３７の溶剤よりも分解または燃焼または揮発温度が低
いことを特徴としている。そのため、焼成時にはガラス
基板３１をベースとして上層側の前記感光性誘電体形成
材料層３８の溶剤が先に分解または燃焼または揮発し、
その後下層の誘電体形成材料層３７の溶剤が遅れて分解
または燃焼または揮発するため、容易に上層をすり抜け
ることができ、２層の同時焼成が可能となる。

【００６２】同様に、感光性誘電体形成材料層３８の結
着樹脂が誘電体形成材料層３７の結着樹脂よりも分解ま
たは燃焼または揮発温度が低いことを特徴としているた
め、焼成時には上層側の前記感光性誘電体形成材料層３
８の結着樹脂が先に分解または燃焼または揮発し、その
後下層の誘電体形成材料層３７の結着樹脂が遅れて分解
または燃焼または揮発するため、容易に上層をすり抜け
ることができ、２層の同時焼成が可能となる。よって、
従来は２層を別々に焼成していたものが２層を同時に焼
成することができ、工程数の削減による低コスト化を実
現することができる。また、焼成回数の低減により、使
用電力を削減できるため、環境に対してもやさしい工程
となる。

【００６３】さらに、本発明の重要な機能として、前記
２層を同時に焼成することによって、自発的にパターニ
ングで取り除かれた凹部の底面となる下層が上層誘電体
の収縮時の応力により引かれることで、下層の底面の膜
厚をなだらかに変化させることができ、誘電体膜厚が小
さくなるように湾曲させることができ、下層を効果的に
加工することができる。

【００６４】図２（ｉ）に示す第９の工程は、保護膜４
０の成膜工程である。保護膜４０はＭｇＯからなり電子
ビーム蒸着法により誘電体層に一様に成膜される。この
ときの保護膜４０の膜厚は約６００ｎｍである。

【００６５】以上の工程で、上層の誘電率が下層の誘電
率よりも大きい所望の立体構造の誘電体を有するＰＤＰ
の前面パネルが得られる。

【００６６】次に、本発明によるＰＤＰの製造方法にお
いて、背面パネルの製造方法について説明すると、まず
フロート法により製造された背面パネルの背面側基板と
してのガラス基板に対し、前面パネルと同様にしてアド
レス電極を形成する。その上に前面パネルと同様にして
誘電体層を形成し、その上に隔壁を形成する。

【００６７】この誘電体層および隔壁の形成に利用する
材料としては、ガラス粉末、結着樹脂および溶剤を含有
するペースト状のガラス粉末含有組成物（ガラスペース
ト組成物）を調製し、このガラスペースト組成物を支持
フィルム上に塗布した後、塗膜を乾燥して膜形成材料層
を形成したもので、支持フィルム上に形成された膜形成
材料層を、アドレス電極が形成されたガラス基板の表面
に上記前面パネルと同様の手法で転写により固着し、こ
の転写で固着された膜形成材料層を焼成することによ
り、前記ガラス基板の表面に誘電体層を形成することが
できる。

【００６８】その後、隔壁を形成する方法としては、フ
ォトリソグラフィー法やサンドブラスト法を用いて形成
することができる。

【００６９】次に、Ｒ、Ｇ、Ｂに対応する蛍光体を塗布
し焼成を行って隔壁間に蛍光体層を形成することによ
り、背面パネルを得ることができる。

【００７０】そして、このようにして作製した前面パネ
ルと背面パネルとを、それぞれの表示電極とアドレス電
極がほぼ直角に交差するように位置合わせをして対向配
置し、その周辺部をシール材によって封着して貼り合わ
せ、その後隔壁で仕切られた空間のガスの排気を行い、
次にＮｅ、Ｘｅ等の放電ガスを封入してガス空間を封止
することにより、図３に示すような構成のＰＤＰを完成
させることができる。

【００７１】ところで、以上のようにして作製される本
発明によるＰＤＰにおいては、誘電体層は、ガラス基板
などの前面側の基板上に形成される下層誘電体と、発光
画素領域毎に少なくとも一つの凹部が形成されるように
所定の形状にパターニングされた上層誘電体とからなる
２層構造であることを特徴とする。すなわち、前面側基
板に形成される各行の表示電極は、マトリクス表示の各
ラインにおいて、放電ギャップを挟んで隣接するように
配列されており、隔壁と一対の表示電極で囲まれた領域
が発光画素領域となり、この各発光画素領域の誘電体層
に少なくとも一つの凹部が形成された形状となる。

【００７２】ＰＤＰの高効率化を達成するためには、各
発光画素領域において放電を制御することが不可欠であ
る。特に、図３において、表示電極４に垂直な放電の広
がりにおいては、バス電極４ｂが蛍光体からの発光光を
遮るため、遮蔽される部分まで放電が広がることを抑制
する必要がある。また、この方向には隔壁１０が存在し
ないため、そこから漏れる紫外線や蛍光体からの発光は
全てブラックストライプに遮蔽されることとなる。さら
に、表示電極４と平行な方向の放電の広がりは、隔壁１
０付近での電子温度の低下により効率の低下を招く。

【００７３】本発明の製造方法によれば、図６（ａ）に
示されるように前面側基板３の誘電体層５にバス電極４
ｂおよび隔壁１０よりも内側になるように、例えば深さ
２０μｍの凹部２０を形成することで、膜厚の薄くなっ
た凹部２０の底面は誘電体膜厚の低下により容量が大き
くなるため、その部分に形成される壁電荷は他の部分よ
りも多くなり、さらに膜厚の低下により放電開始電圧が
低下するため、放電は凹部２０の底面を主として発生す
ることとなる。

【００７４】このような構成により、表示電極４に水平
および垂直に広がる放電を抑えることができ、効率の向
上が図れる。なお、凹部２０の形態は多角形、円柱、円
錐、直方体、台形なども考えられるが、これに限るもの
ではない。

【００７５】また、図６（ｂ）に示されるように、凹部
２０の側面はなだらかに膜厚が変化してもよく、この場
合は底面の放電で発生したＶＵＶの広がりを有効に利用
できる。さらに、凹部２０の底面を誘電体膜厚が小さく
なるように湾曲させることで、最も膜厚が低下した個所
の放電電圧が低下するため、種火としての効果を得るこ
とができる。

【００７６】その他の高効率化として、蛍光体からの発
光の取り出し効率を上げる、すなわち開口率を上げる方
法がある。この場合は、バス電極４ｂを可能な限り発光
画素領域から離す必要があるが、平行に走る隣のセルの
表示電極４との距離が狭くなるため、電荷の移動が容易
となり、発光を望まないセルが発光する、いわゆるクロ
ストークが発生し、表示品質が著しく低下する問題があ
る。

【００７７】本発明の製造方法において、凹部２０の形
状を調整することで壁電荷の発生する位置を制御するこ
とができ、クロストークの発生も防止することができ
る。

【００７８】さらに、ＰＤＰの効率向上のその他の方法
として、Ｘｅ分圧を増加させる報告が多数なされている
が、この場合はＸｅ分圧の上昇に伴い放電開始電圧も上
昇するため、トレードオフの関係にある。そのため、Ｘ
ｅ分圧で上昇する放電開始電圧をその他の方法で低下さ
せる必要がある。この方法の一つとして誘電体層の薄膜
化が考えられるが、誘電体層を薄くすると、異物などに
よる誘電体層の欠陥に起因する絶縁破壊の生じる確率が
上昇し歩留りが低下する問題が生じる。特に、抵抗を下
げる目的で形成されるバス電極は膜厚が４から７μｍと
厚いため、誘電体層を薄くするとバス電極上の実効膜厚
が低下し、絶縁破壊がバス電極近傍に集中する問題があ
る。

【００７９】本発明の製造方法によれば、絶縁破壊が最
も発生しやすいバス電極上の誘電体層の膜厚を容易に厚
く形成することが可能なため、バス電極付近の絶縁破壊
を防止でき、また誘電体層の膜厚の薄い部分は約０．１
μｍの透明電極のみが存在するため、実効膜厚はほとん
ど変化しなく、これによって誘電体層の凹部を形成した
構造とＸｅ分圧の上昇を合わせて用いることで、ＰＤＰ
の高歩留りと高効率を両立することができる。

【００８０】また、誘電体層の透過率の向上や放電電流
の制限の観点から、誘電体層に形成する凹部の底面は、
膜厚がなだらかに変化するような形状のものが好ましい
が、本発明の製造方法により２層のシート状誘電体材料
を用いると、上層誘電体の収縮時の応力により、下層が
上層に引かれることで、下層の底面の膜厚をなだらかに
変化させることができ、これにより底面の膜厚がなだら
かに変化するような形状の凹部を有する誘電体層を容易
に作製することができる。

【００８１】しかも、本発明においては、上層の誘電体
層の誘電率が下層の誘電体層の誘電率よりも低くなるよ
うに構成しており、誘電体を２層構造で形成し、凹部の
底面よりも放電空間側に形成される誘電体層の誘電率を
下げることで、凹部以外の容量を低下させることができ
るとともに、凹部の底面以外に形成される電荷を抑制す
ることができ、これによりさらにクロストークの発生を
防止することができ、ＰＤＰの駆動マージンを拡大する
ことができる。

【００８２】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、ＰＤＰに
おいて、放電開始電圧の低下および駆動マージンの拡大
に効果のある立体構造を持つ誘電体層を安定に精度良
く、しかも作業効率の高い状態で容易に形成することが
できるという効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）、（ｂ）は本発明の一実施の形態による
シート状誘電体材料を示す概略構成図および断面図

【図２】（ａ）〜（ｉ）は本発明の一実施の形態による
プラズマディスプレイパネルの製造方法を示す工程断面
図

【図３】プラズマディスプレイパネルを示す斜視図

【図４】（ａ）、（ｂ）は従来のシート状誘電体材料を
示す概略構成図および断面図

【図５】（ａ）〜（ｉ）は従来のプラズマディスプレイ
パネルの製造方法を示す工程断面図

【図６】（ａ）、（ｂ）はプラズマディスプレイパネル
の要部構造を示す斜視図および断面図

【符号の説明】

１ 前面パネル ２ 背面パネル ３、７ 基板 ４ 表示電極 ５、９ 誘電体層 ８ アドレス電極 ２１ シート状誘電体材料 ２２ 支持フィルム ２３、３８ 感光性誘電体形成材料層 ２４、３７ 誘電体形成材料層 ２５ カバーフィルム ３１ ガラス基板 ３３ 透明電極 ３６ バス電極

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 辻 弘恭 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 鈴木 雅教 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 ▲芦▼田 英樹 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 桐原 信幸 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 5C027 AA05 AA10 5C040 FA01 FA04 GB03 GD02 GD07 GD10 JA09 JA15 JA21 KA08 KA16 KA17 KB04 KB19 MA17 MA24 MA26

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 支持フィルム上に形成されかつガラス粉
   末、結着樹脂および感光性樹脂を含有する感光性誘電体
   形成材料層と、この感光性誘電体形成材料層上に形成さ
   れかつガラス粉末および結着樹脂を含有する誘電体形成
   材料層とを備え、前記感光性誘電体形成材料層のガラス
   粉末の誘電率が誘電体形成材料層のガラス粉末の誘電率
   よりも低いことを特徴とするシート状誘電体材料。
2. 【請求項２】 感光性誘電体形成材料層および誘電体形
   成材料層は溶剤を含有するものである請求項１に記載の
   シート状誘電体材料。
3. 【請求項３】 感光性誘電体形成材料層に含有される結
   着樹脂の分解温度または燃焼温度または揮発温度が、誘
   電体形成材料層の結着樹脂の分解温度または燃焼温度ま
   たは揮発温度以下であることを特徴とする請求項１に記
   載のシート状誘電体材料。
4. 【請求項４】 感光性誘電体形成材料層に含有される溶
   剤の分解温度または燃焼温度または揮発温度が、誘電体
   形成材料層の溶剤の分解温度または燃焼温度または揮発
   温度以下であることを特徴とする請求項２に記載のシー
   ト状誘電体材料。
5. 【請求項５】 ガラス粉末、結着樹脂および感光性樹脂
   を含有する感光性誘電体形成材料層とこの感光性誘電体
   形成材料層上に形成されかつガラス粉末および結着樹脂
   を含有する誘電体形成材料層とを備えるとともに前記感
   光性誘電体形成材料層のガラス粉末の誘電率が誘電体形
   成材料層のガラス粉末の誘電率よりも低いシート状誘電
   体材料を準備し、このシート状誘電体材料を基板上に誘
   電体形成材料層が基板側となるように重ね合わせて誘電
   体形成材料層および感光性誘電体形成材料層を基板に転
   写する転写工程と、転写した感光性誘電体形成材料層を
   所定のパターンを有するマスクを用いて露光し、現像す
   るパターン形成工程と、その後感光性誘電体形成材料層
   および誘電体形成材料層を焼成して誘電体層を形成する
   焼成工程とを有することを特徴とするプラズマディスプ
   レイパネルの製造方法。
6. 【請求項６】 パターン形成工程で感光性誘電体形成材
   料層を露光、現像することにより、プラズマディスプレ
   イパネルの発光画素領域毎に誘電体層に少なくとも一つ
   の凹部を形成し、その凹部の底面の誘電体層の膜厚を小
   さくしたことを特徴とする請求項５に記載のプラズマデ
   ィスプレイパネルの製造方法。
7. 【請求項７】 感光性誘電体形成材料層および誘電体形
   成材料層は溶剤を含有するものである請求項５に記載の
   プラズマディスプレイパネルの製造方法。
8. 【請求項８】 感光性誘電体形成材料層に含有される結
   着樹脂の分解温度または燃焼温度または揮発温度が、誘
   電体形成材料層の結着樹脂の分解温度または燃焼温度ま
   たは揮発温度以下であることを特徴とする請求項５に記
   載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
9. 【請求項９】 感光性誘電体形成材料層に含有される溶
   剤の分解温度または燃焼温度または揮発温度が、誘電体
   形成材料層の溶剤の分解温度または燃焼温度または揮発
   温度以下であることを特徴とする請求項７に記載のプラ
   ズマディスプレイパネルの製造方法。