JP2003215620A - 液晶表示装置及びその製造方法 - Google Patents

液晶表示装置及びその製造方法

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JP2003215620A JP2003040693A JP2003040693A JP2003215620A JP 2003215620 A JP2003215620 A JP 2003215620A JP 2003040693 A JP2003040693 A JP 2003040693A JP 2003040693 A JP2003040693 A JP 2003040693A JP 2003215620 A JP2003215620 A JP 2003215620A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】中間調表示の応答を早め、更に視野角を大きく
することができる液晶表示装置の提供。 【解決手段】TFTが形成される第1の透明基板1と対
向する第2の透明基板11とそれらの基板間に狭持され
る液晶17とからなり、第1の透明基板には、互いに直
交して延在するゲート線2及びデータ線6と配線交差部
に設けられたTFT4と幅方向に交互に並べて設けられ
た画素電極7及び共通電極3とを有し、第2の透明基板
11上には、所定の開口を有するブラックマトリクス1
2と色層13とこれらを覆う平坦化膜14とを有するI
PS液晶表示装置において、平坦化膜14等に所定の断
面形状の窪み23を形成するものであり、窪み23によ
って対向する基板間のギャップを異ならせることによ
り、閾値電圧を画素内で連続的に変化させ、パネル透過
率を大きくすると共に中間調における応答特性を改善す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置及び
その製造方法に関し、特に、TFT基板に形成した画素
電極と共通電極との間に印加する電圧によって基板に略
平行な面内で液晶を駆動するIPS(In-Plane Switchi
ng)方式の液晶表示装置及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】薄膜トランジスタ(以下、TFTと略記
する)を画素のスイッチング素子として用いるアクティ
ブマトリクス型液晶表示装置は、高品位の画質を有し、
省スペースのデスクトップコンピュータのモニター等と
して幅広く用いられている。一般に、液晶表示装置の動
作モードには、配向した液晶分子のダイレクタの方向を
ガラス基板に対して垂直な方向に回転させるツイステッ
ド・ネマティック(Twisted Nematic:TN)方式と、
ガラス基板に対して平行な方向に回転させるIPS方式
とがある。
【0003】IPS方式の液晶表示装置は、TFTを形
成する第1の透明基板上に互いに平行な画素電極と共通
電極とを交互に形成し、これらの間に電圧を印加して基
板面に平行な電界を形成することにより、液晶のダイレ
クタの向きを変化させ、これによって透過光量を制御す
るものである。従って、この表示方式ではダイレクタが
基板面内で回転するため、TN方式の場合のようにダイ
レクタの方向から見たときと基板法線方向から見込んだ
ときで透過光量と印加電圧との関係が大きく異なってし
まうといった問題は発生せず、非常に広い視角から見
て、良好な画像を得ることができる。
【0004】このようなIPS方式は、液晶層をホモジ
ニアス配向とし、互いに偏光軸が直交する2枚の偏光板
でこれをはさみ、一方の偏光軸を液晶分子の配向方向に
等しくとることにより、電圧無印加状態で黒表示とし、
画素電極と共通電極との間の電圧印加により液晶分子を
電界の向きにツイスト変形させて白表示とするものが一
般的であり、この方法では黒表示時の輝度を安定して低
くすることができることから広く用いられている。
【0005】しかしながら、従来のIPS方式の液晶表
示装置では、図15に示すように、画素電極7及び共通
電極3が直線状に形成され、液晶分子が1方向のみに回
転するため、白表示状態において斜め方向から見たとき
に色づきが発生するという問題がある。この問題を解決
する方法として1画素内で画素電極7と共通電極3の形
状を「く」の字型に屈曲させる方法が、特開平9−31
1334号公報等に記載されている。
【0006】上記技術について、図13を参照して説明
する。図13は、従来のIPS液晶表示装置の構造を示
す図であり、(a)は平面図、(b)は(a)のA−
A'線における断面図である。この液晶表示装置は、T
FTが形成される第1の透明基板1とカラーフィルター
(Color filter:CF)が形成される第2の透明基板1
1とその間に狭持される液晶17とで構成され、第1の
透明基板1には、ゲート電極2、データ線6が略直交し
て形成され、これらの交差部にマトリクス状にTFT4
が配置されている。また、各画素には「く」の字に折れ
曲がった互いに平行な画素電極7と共通電極3とが交互
に形成されている。また、第2の透明基板11上には、
余分な光を遮光するためのブラックマトリクス12とR
GB3色のカラー表示を行うための色層13とこれらを
覆う平坦化膜14とが形成されている。
【0007】そして、これらの第1の透明基板1及び第
2の透明基板11の表面には配向膜18が塗布され、両
基板の間には液晶17が狭持され、この液晶17は、デ
ータ線6の延在方向に略平行にホモジニアス配向されて
いる。また、両基板の外側には、偏光板16a、16b
が貼付され、両偏光板の偏光軸は互いに直交し、一方の
偏光軸は液晶の配向方向に平行に設定される。そして、
TFT4を介して画素電極7に電位を書き込み、画素電
極7と共通電極3との間に横電界を与えることにより、
液晶17を基板に平行な面内でツイスト変形させて表示
を制御している。
【0008】この方法によれば、画素電極7と共通電極
3の間に電圧を印加すると、図16に示すように、
「く」の字の屈曲部分を挟んだ2つの領域で電界が各々
異なった方向に発生するため、液晶分子は2方向にツイ
ストすることになる。すると、白表示状態において斜め
方向から見たときに、2つの領域で異なる色の色づきが
生じ、それらが互いに補償し合う結果、色づきが低減す
るという効果が得られる。
【0009】
【特許文献1】特開平9−311334号公報(第2−
4頁、第1図)
【0010】
【発明が解決しようとする課題】このように、IPS方
式の液晶表示装置で、画素電極7と共通電極3とを
「く」の字型に形成することにより、視野角をかなり広
く、かつ色づきを低減することができるが、IPS方式
の液晶表示装置では、画素領域の開口率を大きく保つよ
うに画素電極7と共通電極3とを形成する必要があるた
め、両電極を密集して形成することはできず、両電極の
間隔を狭くすることができない。そのため、電界を大き
くするためには印加電圧を大きくしなければならず、消
費電力が増加してしまい、一方、印加電圧は小さいと電
界が小さくなるため、液晶17の応答を早くすることが
できないという問題がある。
【0011】この問題を解決する方法として、粘度の小
さい液晶17を用いる方法等があり、これによって白表
示の応答速度を早くすることはできるが、一方、中間調
では液晶17に印加される実効的な電界が小さく、白表
示時に比べて応答が2倍程度遅くなってしまう。この問
題を図14を参照して説明する。図14は液晶に印加す
る電圧に対するパネルの透過率及び応答の相関を示す図
であり、破線は印加電圧とパネル透過率との相関を、実
線は印加電圧と応答との相関を示す図である。
【0012】図14に示すように、パネル透過率は、液
晶に印加する電圧の増加に伴って、液晶の配向方向が電
界の方向にツイストして光を透過しやすくなり、所定の
電圧で45度にツイストして透過率が最大となる(白表
示状態)。また、印加する電圧が大きいと液晶分子が回
転しやすくなるため、印加電圧の増加に伴って応答は徐
々に早くなる。ここで、中間調表示領域は、液晶に印加
する電圧が白表示状態に比べて小さい領域であるため、
その応答は白表示時に比べて遅くなってしまう。
【0013】一般的に、液晶が動き出すための最低電圧
である閾値電圧Vthは、画素電極7と共通電極3との間
隔Lと実効的なセルギャップdと液晶17のツイスト弾
性定数K22と液晶17の誘電率異方性Δεを用いて次の
ように表される。
【0014】 Vth=π・L/d×(K22/ε0Δε)1/2 ・・(1)
【0015】すなわち、電極間隔Lが大きいほど電界強
度が小さくなるため、閾値電圧Vthは大きくなり、一
方、セルギャップdが大きくなるほど液晶が回転しやす
くなるため、閾値電圧Vthは小さくなる傾向にある。従
って、液晶の応答を早くするためには、電極間隔Lを小
さくし、セルギャップdを大きくすればよいことにな
る。
【0016】しかしながら、画素電極7と共通電極3と
の電極間隔Lを均一に狭くしたり、セルギャップを均一
に大きくするとVthは小さくなるが、依然として低電圧
領域での中間調における応答を速くすることはできず、
また、電極間隔Lを小さくすると、画素領域における電
極の占める面積が大きくなり、開口率が低下してしまう
という問題が発生する。
【0017】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
のであって、その主たる目的は、中間調表示の応答を早
め、パネル透過率を大きくすることができる液晶表示装
置及びその製造方法を提供することにある。
【0018】
【問題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、一対の対向する基板と前記一対の基板間
に狭持された液晶とを有し、少なくとも、第1の基板上
には、互いに略直交する複数のゲート線及び複数のデー
タ線と、前記ゲート線と前記データ線とで囲まれた各画
素に交互に形成された画素電極及び共通電極と、各々の
電極を覆う絶縁膜とを有し、第2の基板上には、所定の
開口を有するブラックマトリクスと、色層と、前記ブラ
ックマトリクス及び前記色層を覆う平坦化膜とを有し、
前記画素電極と前記共通電極との間に印加する電圧によ
って、前記データ線の延在方向に配向された液晶を前記
基板に略平行な面内で制御するIPS方式の液晶表示装
置において、前記絶縁膜及び前記平坦化膜の少なくとも
一方に、所定の断面形状の窪みが形成され、前記窪みに
よって前記対向する基板間のギャップの異なる領域が前
記画素領域内に形成されているものである。
【0019】本発明においては、前記窪みが、前記画素
の中心を通り前記ゲート線に平行な方向に延在して形成
され、前記窪みの頂点を結ぶ線を軸として前記ギャップ
の異なる領域が線対称に形成されている構成、又は、前
記窪みの頂点を結ぶ線が前記画素電極又は前記共通電極
の長手方向に沿って延在するように前記窪みが形成され
ている構成とすることができる。
【0020】また、本発明は、一対の対向する基板と前
記一対の基板間に狭持された液晶とを有し、前記一対の
基板の一方には、所定の開口を有するブラックマトリク
スと、色層と、互いに略直交する複数のゲート線及び複
数のデータ線と、前記ゲート線と前記データ線とで囲ま
れた各画素に交互に形成された画素電極及び共通電極
と、前記ブラックマトリクス及び前記色層を覆う層間膜
と、各々の前記電極を覆う絶縁膜とを少なくとも有し、
前記画素電極と前記共通電極との間に印加する電圧によ
って、前記データ線の延在方向に配向された液晶を、前
記基板に略平行な面内で制御するIPS方式の液晶表示
装置において、前記層間膜又は前記絶縁膜に所定の断面
形状の窪みが形成され、前記窪みによって前記対向する
基板間のギャップの異なる領域が前記画素領域内に形成
されているものである。
【0021】本発明においては、前記色層が前記画素内
で分断して形成され、前記画素電極及び前記共通電極
が、分断された前記色層の間を埋めるように前記色層と
同層に形成され、前記画素電極及び前記共通電極と前記
色層との膜厚差により、前記層間膜又は前記絶縁膜に前
記窪みが形成されている構成とすることができる。
【0022】また、本発明においては、前記一対の基板
の液晶狭持面側に形成される配向膜が、30cp以上の
粘度の材料を用いてオフセット印刷により形成された膜
である構成とすることもできる。
【0023】また、本発明は、上記記載の液晶表示装置
を製造する方法であって、前記平坦化膜又は前記層間膜
として紫外線硬化型の材料を用い、前記平坦化膜又は前
記層間膜を形成後、紫外線を局所的に照射することによ
り、所定の断面形状の窪みを形成するものである。
【0024】本発明においては、紫外線硬化型の材料と
してレジスト又はポリイミドからなる紫外線硬化樹脂を
用い、紫外線カットフィルタにより紫外線を局部的に照
射する構成とすることができる。
【0025】このように、本発明は上記構成により、液
晶の閾値電圧の小さい領域から大きい領域までを1画素
内に連続的に形成することができ、閾値電圧の小さい領
域では液晶への印加電圧が低い中間調においてもパネル
透過率を大きく、かつ、応答を速くすることができる。
【0026】
【発明の実施の形態】[実施の形態1]本発明の第1の
実施の形態は、TFTが形成される第1の透明基板と対
向する第2の透明基板とそれらの基板間に狭持される液
晶とからなり、第1の透明基板には、互いに直交して延
在するゲート線及びデータ線と、配線交差部に設けられ
たTFTと、幅方向に交互に並べて設けられた画素電極
及び共通電極と、これらの電極を覆う絶縁膜とを有し、
第2の透明基板には、画素領域以外の光を遮断するブラ
ックマトリクスと、カラー表示を行う色層と、それらを
覆う平坦化膜とを備え、画素領域に対応する部分の第1
の透明基板の絶縁膜、又は、第2の透明基板の平坦化膜
に所定の形状の窪みを設け、第1及び第2の透明基板間
のセルギャップの広狭を画素内に設け、セルギャップが
広い部分のVthを下げることにより、中間調における応
答特性を改善するものである。
【0027】[実施の形態2]また、本発明の第4の実
施の形態は、TFTが形成される第1の透明基板と対向
する第2の透明基板とそれらに基板間に狭持される液晶
とからなり、第1の透明基板には、画素領域以外の光を
遮断するブラックマトリクスと、カラー表示を行う色層
と、互いに直交して延在するゲート線及びデータ線と、
配線交差部に設けられたTFTと、幅方向に交互に並べ
て設けられた画素電極及び共通電極と、これらの電極ま
たは色層を覆う絶縁膜とを有し、画素領域に対応する部
分の第1の透明基板の絶縁膜に所定の形状の窪みを設
け、第1及び第2の透明基板間のセルギャップの広狭を
画素内に設け、セルギャップが広い部分のVthを下げる
ことにより、中間調における応答特性を改善するもので
ある。
【0028】
【実施例】上記した本発明の実施の形態についてさらに
詳細に説明すべく、本発明の実施例について図面を参照
して説明する。
【0029】[実施例1]まず、本発明の第1の実施例
に係るIPS方式の液晶表示装置について、図1乃至図
4を参照して説明する。図1及び図2は、第1の実施例
に係る液晶表示装置の構造を示す図であり、(a)は平
面図、(b)は(a)のB−B′線における断面図であ
る。また、図3は、本実施例の効果を説明する図であ
り、液晶への印加電圧とパネル透過率及び応答との相関
を示す図である。また、図4は、窪みを形成する方法を
示す工程断面図である。なお、本実施例では、液晶の中
間調の応答を速くする方法として、電極間隔を変化させ
る代わりにセルギャップに広狭を設けることを特徴とし
ている。
【0030】まず、図1を参照して本実施例のIPS液
晶表示装置の構成について説明すると、第1の透明基板
1側には、ゲート電極2、データ線6が略直交して形成
され、これらの交差部にマトリクス状にTFT4が配置
されて1画素を構成している。また、各画素には画素電
極7及び共通電極3が形成されており、画素電極7はT
FT4に接続されている。ここで、両電極は直線状であ
っても従来技術で示したように屈曲点を有する形状であ
ってもよい。
【0031】また、第2の透明基板11上には、ゲート
電極2、データ線6上およびこれらと画素表示部との間
の余分な光を遮光するためのブラックマトリクス12、
RGB3色のカラー表示を行うための色層13、さらに
色層13を覆うように平坦化膜14が形成されている
が、本実施例では、この平坦化膜14の一部に所定の形
状の窪み23を形成することを特徴としている。すなわ
ち、この窪み23を画素中央部にゲート電極2方向に延
在するように形成し、1画素内で窪み23の深さを変化
させることによって第1の透明基板1と第2の透明基板
11とのセルギャップを変化させている。
【0032】ここで、セルギャップと液晶の応答との関
係について考察すると、式1に示すように、液晶を駆動
する最低電圧である閾値電圧Vthはセルギャップdに反
比例しており、セルギャップdが大きくなると液晶分子
は回転しやすくなるために閾値電圧Vthは小さくなる。
この閾値電圧Vthが小さくなるということは、小さい電
圧で液晶が回転するということであり、中間調における
応答が速くなるということである。すなわち、セルギャ
ップを変化させることによっても画素電極7と共通電極
3の間隔を変化させる場合と同様に応答を改善すること
ができる。なお、本実施例では、画素中央部分を通りゲ
ート電極2方向に延在するようにセルギャップが大きい
領域19aが形成され、ゲート電極2に近づくに従って
セルギャップが徐々に小さくなる(図の20a参照)よ
うに窪み23を形成している。
【0033】次に、第2の透明基板11に窪み23を形
成する方法について図4を参照して説明する。まず、図
4(a)に示すように、第2の透明基板11の所定の領
域にブラックマトリクス12と色層13とを形成した
後、ブラックマトリクス12と色層13とを覆うように
レジスト、ポリイミド等の紫外線硬化型の平坦化膜14
を所定の膜厚で塗布する。次に、図4(b)に示すよう
に、窪み23を形成する部分に紫外線22が当たらない
ように紫外線カットフィルタ等のマスク21を配置した
後、基板全面に紫外線22を照射する。
【0034】すると、紫外線22が当たった部分では平
坦化膜14は硬化し、マスク21が配置された部分では
平坦化膜14は硬化しないため、所定の現像液等でエッ
チングすると、図4(c)に示すようにマスク21部分
の平坦化膜14がより深くエッチングされて所定の形状
の窪み23が形成される。なお、紫外線22の照射条
件、現像・エッチング条件等を最適化することによって
窪み23の形状を制御することができ、図2に示すよう
な断面形状がV字型の窪み23を形成することもでき
る。
【0035】この窪みの効果を、図3を参照して説明す
ると、セルギャップの小さい部分では、液晶の印加電圧
とパネル透過率との関係は一点鎖線のようになるが、窪
み23が形成されたセルギャップが大きい部分では液晶
は回転しやすくなるため、2点鎖線のようにパネル透過
率のピークを低電圧側にシフトする。従って、画素全体
では破線で示すようになり、パネル透過率を低電圧領域
でも大きくすることができる。又、応答に関しても、セ
ルギャップが大きい部分では液晶は回転しやすくなるた
め、低電圧領域で応答を速くすることができ、中間調の
応答の改善を図ることができる。
【0036】このように、本実施例の液晶表示装置の構
造によれば、第2の透明基板11の平坦化膜14に所定
の形状の窪み23を形成することによって、1画素内で
セルギャップの広い部分と狭い部分を形成することがで
きる。従って、式1より液晶の閾値電圧Vthを画素内で
連続的に変化させることができるため、液晶への印加電
圧が小さい中間調表示においても液晶の応答を速くする
ことができる。
【0037】なお、本実施例では、窪み23の断面形状
が半円状又はV字型の例について記載したが、本発明は
上記実施例に限定されるものではなく、セルギャップが
画素内で変化するような窪み23であれば良く、例え
ば、断面形状がU字型、台形、矩形等の窪みであっても
よいことは明らかである。また、本実施例においては、
窪み23が形成された凹凸のある面に配向膜18を形成
するため、配向膜材料の粘度が小さいと配向膜材料が窪
み23内部に溜まってしまう場合がある。そこで、配向
膜18としては、30cp以上の粘度を有する材料をオ
フセット印刷により形成することが好ましい。
【0038】[実施例2]次に、本発明の第2の実施例
に係るIPS方式の液晶表示装置について、図5及び図
6を参照して説明する。図5及び図6は、第2の実施例
に係る液晶表示装置の構造を示す図であり、(a)は平
面図、(b)は(a)のA−A′線における断面図であ
る。なお、前記した第1の実施例と本実施例との相違点
は、窪みの形成方向をデータ線方向としたことであり、
他の部分の構造に関しては第1の実施例と同様である。
【0039】すなわち、第2の透明基板11上にブラッ
クマトリクス12と色層13と所定の膜厚の平坦化膜1
4が形成され、この平坦化膜14に断面が半円状又はV
字型の窪み23を設け、この窪み23がデータ線6方向
に延在し、かつ、セルギャップが最大となる窪みの頂点
領域が画素電極7又は共通電極3(本実施例の構成では
中央の共通電極3)に沿うように形成している。そし
て、画素内で窪み23の深さを変えることによって第1
の透明基板1と第2の透明基板11とのセルギャップを
変化させ、このセルギャップが大きい部分で閾値電圧V
thを下げ、応答を速くしている。
【0040】従って、画素中央の共通電極3に沿った部
分にセルギャップが大きい領域19bが形成され、デー
タ線6に近づくに従ってセルギャップが小さくなるよう
に窪み23を形成し、この窪み23により、セルギャッ
プの小さいデータ線6側の領域では、液晶の印加電圧と
パネル透過率との関係は電極間隔が広い場合と同様にな
るが、窪み23の中央部分ではセルギャップが広いため
に液晶は回転しやすくなり、パネル透過率のピークが低
電圧側にシフトするため、画素全体ではパネル透過率を
低電圧領域でも大きくすることができる。又、応答に関
しても、セルギャップが広い部分では液晶は回転しやす
くなり、低電圧領域で応答を速くすることができ、中間
調の応答の改善を図ることができる。
【0041】なお、本実施例において画素電極7及び共
通電極3の形状は直線状でも屈曲点を有する形状でもよ
く、又、窪み23の断面形状はU字型、台形、矩形等で
もよいことは、前記した第1の実施例と同様である。
【0042】[実施例3]次に、本発明の第3の実施例
に係るIPS方式の液晶表示装置について、図7及び図
8を参照して説明する。図7及び図8は、第3の実施例
に係る液晶表示装置の構造を示す図であり、(a)は平
面図、(b)は(a)のA−A′線における断面図であ
る。なお、前記した第2の実施例と本実施例との相違点
は、窪みを複数形成したことであり、他の部分の構造に
関しては第2の実施例と同様である。
【0043】すなわち、第2の透明基板11上の平坦化
膜14に断面がV字型、半円状、U字型、台形又は矩形
の窪み23を複数設け、この窪み23がデータ線6方向
に延在し、かつ、その各々の頂点が画素電極7又は共通
電極3と平行になるように形成している。そして、画素
内で窪み23の深さを変えることによって第1の透明基
板1と第2の透明基板11とのセルギャップを変化さ
せ、このセルギャップが広い部分で閾値電圧Vthを下
げ、応答を速くすることができる。
【0044】具体的には、本実施例では、窪みの頂点2
3aを画素電極7とその両外側の共通電極3との中間に
配置し、窪みの頂点23a近傍でセルギャップが最大と
なり、その領域から内側又はデータ線6に近づくに従っ
てセルギャップが狭くなるように設定している。この窪
み23により、セルギャップが大きい領域を作ることが
でき、液晶が回転しやすくなるため、画素全体では低電
圧領域でパネル透過率を大きく、応答を速くすることが
でき、中間調表示の改善を図ることができる。
【0045】なお、本実施例では断面がV字型の窪み2
3を2つ設けた例について説明したが、窪み23の数は
任意であり、例えば、図8に示すように3つ設け、各々
の窪みの頂点が共通電極3及び画素電極7と平行になる
ように形成しても同様の効果を奏することができ、又、
窪み23の深さや断面形状を各々の窪みで変えることも
できる。
【0046】[実施例4]次に、本発明の第4の実施例
に係るIPS方式の液晶表示装置について、図9乃至図
10を参照して説明する。図9及び図10は、第4の実
施例に係る液晶表示装置の構造を示す図であり、(a)
は平面図、(b)は(a)のB−B′線における断面図
である。なお、本実施例は、前記した第1乃至第3の実
施例と異なり、セルギャップの大きさを変えるための窪
みを第1の透明基板側に設けたものである。
【0047】このような本実施例のIPS液晶表示装置
の構成について説明すると、第1の透明基板1側には、
ゲート電極2、データ線6が略直交して形成され、これ
らの交差部にマトリクス状にTFT4が配置されて1画
素を構成している。また、各画素には画素電極7及び共
通電極3が形成されており、共通電極3はゲート電極2
と同層に形成され、画素電極7は層間絶縁膜5を介して
データ線6と同層に形成されている。そして、データ線
6及び画素電極7上にはパッシベーション膜10が形成
されている。ここで、本実施例では、画素内の層間絶縁
膜5とパッシベーション膜10に窪み23を設けてセル
ギャップに広狭を形成している。
【0048】ここで、第1の透明基板1側に窪み23を
形成する方法について説明すると、第1の透明基板1上
にゲート電極2と共通電極3とを形成した後、層間絶縁
膜5を堆積し、その上に所定の形状のレジストパターン
等を形成し、これをマスクとしてドライエッチング又は
ウェットエッチングによって画素領域内の層間絶縁膜5
を選択的にエッチング除去する。次に、データ線6と画
素電極7とを形成した後、パッシベーション膜10を堆
積し、層間絶縁膜5を除去した領域のパッシベーション
膜10を同様にドライエッチング又はウェットエッチン
グによって除去して画素内に窪み23を形成する。その
後、配向膜18を形成して第1の透明基板1を形成す
る。このように、画素内で窪み23の深さを変えること
によって第1の透明基板1と第2の透明基板11とのセ
ルギャップを変化させ、このセルギャップが広い部分で
閾値電圧Vthを下げ、応答を速くすることができる。
【0049】すなわち、画素領域の中央を通りゲート電
極2に平行に延在する窪み23を形成し、その領域のセ
ルギャップを大きくすることにより液晶を回転しやすく
し、パネル透過率のピーク低電圧側にシフトさせること
ができる。従って、画素全体では、低電圧領域でパネル
透過率を大きく、応答を速くすることができ、中間調表
示の改善を図ることができる。
【0050】なお、本実施例では、層間絶縁膜5とパッ
シベーション膜10の双方を除去して第1の透明基板1
に窪み23を形成したが、第1の透明基板1に窪み23
を形成することができる構成であれば良く、例えば、図
10に示すように、パッシベーション膜10のみを除去
して窪み23を形成したり、パッシベーション膜10を
堆積した後、パッシベーション膜10と層間絶縁膜5を
同時に除去したり、又は、層間絶縁膜5のみを除去して
その段差をパッシベーション膜10に反映させて窪み2
3を形成することもできる。
【0051】[実施例5]次に、本発明の第5の実施例
に係るIPS方式の液晶表示装置について、図11を参
照して説明する。図11は、第5の実施例に係る液晶表
示装置の構造を示す図であり、(a)は平面図、(b)
は(a)のA−A′線における断面図である。なお、本
実施例では、前記した第1乃至第4の実施例と異なり、
第1の透明基板1側にブラックマトリクスと色層を設
け、窪みを第1の透明基板1側に形成したことを特徴と
している。
【0052】本実施例のIPS液晶表示装置の構成につ
いて説明すると、まず、第1の透明基板1上に、ゲート
電極2、データ線6上およびこれらと画素表示部との間
の余分な光を遮光するためのブラックマトリクス12、
RGB3色のカラー表示を行うための色層13を形成し
た後、所定の膜厚の有機層間膜24を堆積する。次に、
本実施例では、画素領域の有機層間膜24を所定の条件
でエッチングして窪み23を形成する。そして、有機層
間膜24の上に画素電極7と共通電極3とを形成した
後、層間絶縁膜5を介してデータ線6を形成し、その上
にパッシベーション膜10を堆積する。その後、配向膜
18を形成して第1の透明基板1を形成する。
【0053】一方、第2の透明基板11側には配向膜1
8のみを形成し、両基板の間に液晶17を狭持する。こ
のような構造の液晶表示装置では、ブラックマトリクス
12を電極が形成される第1の透明基板1側に形成して
いるため、ブラックマトリクス12とゲート電極2、デ
ータ線6及び共通電極3との位置関係をより正確に保つ
ことができる。従って、設計のマージンを減らしてこれ
らを配置することができるため、開口率をより大きくす
ることができる。
【0054】このように、本実施例では、画素領域中央
の共通電極3に沿って窪み23が形成されてセルギャッ
プが大きくなり、データ線6に近づくに従ってセルギャ
ップが小さくなるため、セルギャップが大きい部分で液
晶が回転しやすくなるため、低電圧領域でパネル透過率
を大きく、応答を速くすることができ、中間調表示の改
善を図ることができる。又、ブラックマトリクス12と
各電極とが同一基板に形成されるため、それらの位置精
度を向上させることができ、開口率を大きくすることが
できる。
【0055】[実施例6]次に、本発明の第6の実施例
に係るIPS方式の液晶表示装置について、図12を参
照して説明する。図12は、第6の実施例に係る液晶表
示装置の構造を示す図であり、(a)は平面図、(b)
は(a)のA−A′線における断面図である。なお、本
実施例では、前記した第8の実施例と同様に、第1の透
明基板側にブラックマトリクスと色層を設けた構造の液
晶表示装置において、窪みを第1の透明基板側に設けた
ものであるが、画素電極の形成方法、窪みの形状及び形
成方法が第5の実施例と異なるものである。
【0056】このような本実施例のIPS液晶表示装置
の構成について説明すると、まず、第1の透明基板1上
に余分な光を遮光するためのブラックマトリクス12、
RGB3色のカラー表示を行うための色層13を形成す
る。次に、図12(b)に示すように、画素内の色層1
3の画素電極7及び共通電極3が形成される部分を除去
し、そこを埋め込むように画素電極7と共通電極3とを
形成する。
【0057】その後、所定の膜厚の有機層間膜24を堆
積するが、この時、色層13の膜厚に対して画素電極7
及び共通電極3の膜厚が薄いために両者の間に段差が生
じており、その段差が有機層間膜24にも反映され、有
機層間膜24表面に段差に対応した窪みが形成される。
次に、ゲート電極2と画素外側の共通電極3とを形成
し、その上に層間絶縁膜5を介してデータ線6を形成し
た後パッシベーション膜10を堆積する。すると、層間
絶縁膜5及びパッシベーション膜10にも前記の段差に
対応した窪み23が順次形成される。その後、配向膜1
8を形成して第1の透明基板1を形成する。一方、第2
の透明基板11側には配向膜18のみを形成し、両基板
の間に液晶17を狭持する。
【0058】このような構造の液晶表示装置では、ブラ
ックマトリクス12及び色層13を電極が形成される第
1の透明基板1側に形成するため、前記した第8の実施
例と同様に、ブラックマトリクス12及び色層13とゲ
ート電極2、データ線6、画素電極7及び共通電極3と
の位置関係をより正確に保つことができるため、設計マ
ージンを減らしてこれらを配置することができるため、
開口率をより大きくすることができる。また、セルギャ
ップは、画素電極7及び共通電極3の段差に沿って自動
的に形成されるため、窪み23と画素電極7及び共通電
極3との位置関係もより正確に制御することができる。
【0059】また、本実施例でも、画素領域の画素電極
7及び共通電極3に沿ってセルギャップが大きくなり、
画素の他の部分ではセルギャップが小さくなるため、低
電圧領域でもパネル透過率を大きく、応答を速くするこ
とができ、電極間隔に広狭を持たせた場合と同様に中間
調表示の改善を図ることができる。
【0060】なお、本実施例では、色層13と画素電極
7及び共通電極3との段差が有機層間膜24、層間絶縁
膜5及びパッシベーション膜10に反映される場合につ
いて説明したが、この段差とは別に有機層間膜24に窪
みを形成しても良く、また、層間絶縁膜5やパッシベー
ション膜10に窪みを形成してもよいことは明らかであ
る。
【0061】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のIPS液
晶表示装置の構成及びその製造方法によれば、TFTを
形成する基板や対向基板に窪みを形成し、両基板間のセ
ルギャップに広狭を持たせることにより、液晶の閾値電
圧の小さい領域を1画素内に形成し、液晶への印加電圧
が低い部分においてもパネル透過率を大きく、かつ、応
答を速くし、中間調表示の特性を改善することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例に係る液晶表示装置の構
造を示す図であり、(a)は平面図、(b)は(a)の
B−B′線における断面図である。
【図2】本発明の第1の実施例に係る液晶表示装置の構
造を示す図であり、(a)は平面図、(b)は(a)の
B−B′線における断面図である。
【図3】本発明の第1の実施例に係る液晶表示装置の印
加電圧とパネル透過率及び応答の相関を示す図である。
【図4】本発明の第1の実施例に係る液晶表示装置の製
造方法を示す工程断面図である。
【図5】本発明の第2の実施例に係る液晶表示装置の構
造を示す図であり、(a)は平面図、(b)は(a)の
A−A′線における断面図である。
【図6】本発明の第2の実施例に係る液晶表示装置の構
造を示す図であり、(a)は平面図、(b)は(a)の
A−A′線における断面図である。
【図7】本発明の第3の実施例に係る液晶表示装置の構
造を示す図であり、(a)は平面図、(b)は(a)の
A−A′線における断面図である。
【図8】本発明の第3の実施例に係る液晶表示装置の構
造を示す断面図である。
【図9】本発明の第4の実施例に係る液晶表示装置の構
造を示す図であり、(a)は平面図、(b)は(a)の
B−B′線における断面図である。
【図10】本発明の第4の実施例に係る液晶表示装置の
構造を示す図であり、(a)は平面図、(b)は(a)
のB−B′線における断面図である。
【図11】本発明の第5の実施例に係る液晶表示装置の
構造を示す図であり、(a)は平面図、(b)は(a)
のA−A′線における断面図である。
【図12】本発明の第6の実施例に係る液晶表示装置の
構造を示す図であり、(a)は平面図、(b)は(a)
のA−A′線における断面図である。
【図13】従来の液晶表示装置の構造を示す図であり、
(a)は平面図、(b)は(a)のA−A′線における
断面図である。
【図14】従来の液晶表示装置の印加電圧とパネル透過
率及び応答の相関を示す図である。
【図15】従来の液晶表示装置の電界方向を示す図であ
る。
【図16】従来の液晶表示装置の電界方向を示す図であ
る。
【符号の説明】
1 第1の透明基板 2 ゲート電極 3 共通電極 4 TFT 5 層間絶縁膜 6 データ線 7 画素電極 8 ソース電極 9 ドレイン電極 10 パッシベーション膜 11 第2の透明基板 12 ブラックマトリクス 13 色層 14 平坦化膜 15 導電膜 16a、16b 偏光膜 17 液晶 18 配向膜 19a、19b セルギャップが大きい領域 20a、20b セルギャップが小さい領域 21 マスク 22 紫外線 23 窪み 23a 窪みの頂点 24 有機層間膜
フロントページの続き Fターム(参考) 2H090 HA01 HA02 HD03 JA02 KA03 LA01 MA02 MA07 2H092 GA14 GA17 NA05 NA07 NA26 QA05

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】一対の対向する基板と前記一対の基板間に
    狭持された液晶とを有し、少なくとも、第1の基板上に
    は、互いに略直交する複数のゲート線及び複数のデータ
    線と、前記ゲート線と前記データ線とで囲まれた各画素
    に交互に形成された画素電極及び共通電極と、各々の電
    極を覆う絶縁膜とを有し、第2の基板上には、所定の開
    口を有するブラックマトリクスと、色層と、前記ブラッ
    クマトリクス及び前記色層を覆う平坦化膜とを有し、前
    記画素電極と前記共通電極との間に印加する電圧によっ
    て、前記データ線の延在方向に配向された液晶を前記基
    板に略平行な面内で制御するIPS方式の液晶表示装置
    において、前記絶縁膜及び前記平坦化膜の少なくとも一
    方に、所定の断面形状の窪みが形成され、前記窪みによ
    って前記対向する基板間のギャップの異なる領域が前記
    画素領域内に形成されていることを特徴とする液晶表示
    装置。
  2. 【請求項2】前記窪みが、前記画素の中心を通り前記ゲ
    ート線に平行な方向に延在して形成され、前記窪みの頂
    点を結ぶ線を軸として前記ギャップの異なる領域が線対
    称に形成されていることを特徴とする請求項1記載の液
    晶表示装置。
  3. 【請求項3】前記窪みの頂点を結ぶ線が前記画素電極又
    は前記共通電極の長手方向に沿って延在するように前記
    窪みが形成されていることを特徴とする請求項1記載の
    液晶表示装置。
  4. 【請求項4】一対の対向する基板と前記一対の基板間に
    狭持された液晶とを有し、前記一対の基板の一方には、
    所定の開口を有するブラックマトリクスと、色層と、互
    いに略直交する複数のゲート線及び複数のデータ線と、
    前記ゲート線と前記データ線とで囲まれた各画素に交互
    に形成された画素電極及び共通電極と、前記ブラックマ
    トリクス及び前記色層を覆う層間膜と、各々の前記電極
    を覆う絶縁膜とを少なくとも有し、前記画素電極と前記
    共通電極との間に印加する電圧によって、前記データ線
    の延在方向に配向された液晶を、前記基板に略平行な面
    内で制御するIPS方式の液晶表示装置において、 前記層間膜又は前記絶縁膜に所定の断面形状の窪みが形
    成され、前記窪みによって前記対向する基板間のギャッ
    プの異なる領域が前記画素領域内に形成されていること
    を特徴とする液晶表示装置。
  5. 【請求項5】前記色層が前記画素内で分断して形成さ
    れ、前記画素電極及び前記共通電極が、分断された前記
    色層の間を埋めるように前記色層と同層に形成され、前
    記画素電極及び前記共通電極と前記色層との膜厚差によ
    り、前記層間膜又は前記絶縁膜に前記窪みが形成されて
    いることを特徴とする請求項4記載の液晶表示装置。
  6. 【請求項6】前記窪みの頂点を結ぶ線が前記画素電極又
    は前記共通電極の長手方向に沿って延在するように前記
    窪みが形成されていることを特徴とする請求項4又は5
    に記載の液晶表示装置。
  7. 【請求項7】前記窪みが、互いに平行に複数配設されて
    いることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一に記
    載の液晶表示装置。
  8. 【請求項8】前記窪みの延在方向に直交する方向の断面
    が、半円形、U字型、V字型、台形又は矩形のいずれか
    であることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一に
    記載の液晶表示装置。
  9. 【請求項9】前記一対の基板の液晶狭持面側に形成され
    る配向膜が、30cp以上の粘度の材料を用いてオフセ
    ット印刷により形成された膜であることを特徴とする請
    求項1乃至8のいずれか一に記載の液晶表示装置。
  10. 【請求項10】請求項1乃至9のいずれか一に記載の液
    晶表示装置を製造する方法であって、 前記平坦化膜又は前記層間膜として紫外線硬化型の材料
    を用い、前記平坦化膜又は前記層間膜を形成後、紫外線
    を局所的に照射することにより、所定の断面形状の窪み
    を形成することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
  11. 【請求項11】紫外線硬化型の材料としてレジスト又は
    ポリイミドからなる紫外線硬化樹脂を用い、紫外線カッ
    トフィルタにより紫外線を局部的に照射することを特徴
    とする請求項10記載の液晶表示装置の製造方法。
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