JP2003215051A - Method and apparatus for inspection of defect with reference to film as well as filmlike product and method and system of working the same - Google Patents

Method and apparatus for inspection of defect with reference to film as well as filmlike product and method and system of working the same

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JP2003215051A
JP2003215051A JP2002012390A JP2002012390A JP2003215051A JP 2003215051 A JP2003215051 A JP 2003215051A JP 2002012390 A JP2002012390 A JP 2002012390A JP 2002012390 A JP2002012390 A JP 2002012390A JP 2003215051 A JP2003215051 A JP 2003215051A
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武 新井
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峰生 野本
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敬人 越智
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真治 金澤
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Hitachi Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method and an apparatus for the inspection of a defect with reference to a film wherein the defect can be inspected quickly and with high accuracy from the film in which fillers such as particles or the like exist and information on the inspection of the defect is recorded or attached so as to be provided as a filmlike product and to provide the filmlike product. <P>SOLUTION: Detection optical systems of two systems as an oblique illumination system and an incident illumination system are provided with reference to a filmlike inspection object in which the fillers such as the particles or the like having different optical characteristics exist, an irradiation angle of illumination light and a wavelength of the illumination light are selected, a difference in a shading degree between the defect and the fillers existing in the film is detected on the basis of an imaged image, the defect is discriminated on the basis of the difference, a defect kind, a defect size and detection coordinates of the defect are recorded or attached as a detection result, and the quality control of the filmlike product is improved so as to increase its added value. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、フィルム状被検査
対象のフィルム中に含まれ、製品の不良となる異物等の
欠陥を検出して記録若しくは添付するフィルムに対する
欠陥検査方法およびその装置並びにフィルム状製品、更
にこのフィルム状製品の加工方法およびその加工システ
ムに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a film defect inspection method and device, which are included in a film to be inspected and detect and record or attach defects such as foreign substances which cause product defects. The present invention relates to a shaped product, and a processing method and a processing system for the film-shaped product.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来から、例えば透明フィルムの欠陥検
査装置として、走行中の透明フィルムを一次元ＣＣＤカ
メラやレーザ光でスキャンして透明フィルムの透過光量
の変化や拡散光を検出し、これにより透明フィルム中の
欠陥を検査してその製品としての良否を判定するものが
知られている。例えば、特開２０００−１３１２４５号
公報に記載された検査装置では、毎分数ｍの早さで走行
する透明フィルムを下方から照明装置により照射し、そ
の透明フィルムの上方に固定された所定の分解能を有す
る一次元ＣＣＤカメラが透明フィルムの透過光を撮像す
ることによって、透明フィルム中に含まれる欠陥（異
物）の有無が検査される。また、レーザをフィルムに照
射することで、欠陥からの散乱光を検出し、透明フィル
ム中の欠陥を検出する方法も多く適用されている。2. Description of the Related Art Conventionally, for example, as a transparent film defect inspection apparatus, a running transparent film is scanned by a one-dimensional CCD camera or a laser beam to detect changes in the amount of transmitted light of the transparent film and diffused light. It is known to inspect defects in a transparent film to determine the quality of the product. For example, in the inspection device described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-131245, a transparent film traveling at a speed of several meters per minute is illuminated by a lighting device from below, and a predetermined resolution fixed above the transparent film is applied. The presence of defects (foreign matter) contained in the transparent film is inspected by capturing the transmitted light of the transparent film with the one-dimensional CCD camera included therein. In addition, a method in which scattered light from a defect is detected by irradiating a film with a laser to detect a defect in the transparent film is also often applied.

【０００３】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかし、このような検
査方法では、透明フィルムにおいては透過光による欠陥
の顕在化が可能であるが、フィルムの樹脂中に粒子など
のフィラーが存在すると、例えば透過率の低いフィラー
中に欠陥として異物が存在している場合、欠陥と粒子の
双方が同様に撮像されるために、欠陥と粒子の弁別が困
難となる。例えば、図３６に示すように粒子１８１は、
基材１８３上の樹脂層１８２の中に点在しているフィル
ムにおいて、図３７に示すように欠陥である異物１８５
がフィルム厚さ方向に存在した場合には、照明光１８４
と反対側に取り付けられた撮像装置（図示せず）でフィ
ルムを観察すると、図３８に示すように透過光に基く観
察像１８６が検出され、粒子１８１と異物１８５の弁別
が困難となる。However, in such an inspection method, it is possible to reveal defects in the transparent film due to transmitted light. When a foreign substance exists as a defect in a filler having a low rate, both the defect and the particle are imaged in the same manner, so that it is difficult to distinguish the defect from the particle. For example, as shown in FIG. 36, the particles 181 are
In the film scattered in the resin layer 182 on the base material 183, as shown in FIG.
Is present in the film thickness direction, the illumination light 184
When the film is observed with an image pickup device (not shown) attached on the opposite side, an observation image 186 based on the transmitted light is detected as shown in FIG. 38, and it becomes difficult to discriminate between the particles 181 and the foreign matter 185.

【０００４】さらに、液晶表示装置などの電子回路基板
に用いられているフィラーを含んだフィルムの場合に
は、近年の回路の微細化にともないフィルム中の粒子密
度が高くなる傾向にあり、透過光による検出がより困難
になっているといった課題がある。Further, in the case of a film containing a filler which is used in an electronic circuit board of a liquid crystal display device or the like, the particle density in the film tends to increase with the recent miniaturization of the circuit, and the transmitted light However, there is a problem that the detection is difficult.

【０００５】とりわけ欠陥が極小である場合には、その
発見が難しく、本来不良として判定されるべき透明フィ
ルムが良品として判定される可能性がある。また、逆に
フィラーの凝集を欠陥として検出してしまい、良品を不
良として判定してしまうといった課題がある。また、透
明フィルムや鋼板の表面欠陥検査で多く用いられている
レーザの散乱光を用いた欠陥検出では、数μｍのフィラ
ーから散乱光が発生してしまい、欠陥からの散乱光とを
弁別し難いといった課題があった。Especially, when the defect is extremely small, it is difficult to find the defect, and there is a possibility that the transparent film which should be originally judged as defective is judged as good product. On the contrary, there is a problem that the aggregation of the filler is detected as a defect and the non-defective product is determined to be defective. Further, in defect detection using scattered light of laser, which is often used in surface defect inspection of transparent films and steel plates, scattered light is generated from filler of several μm, and it is difficult to distinguish from scattered light from defects. There was a problem such as.

【０００６】また、欠陥が検出されても、そのフィルム
は欠陥発生が基準以上であれば出荷、またはその部分を
除去してから出荷され、基準以下であれば破棄されてい
た。しかし、欠陥は数十から数百μｍ程度の大きさであ
り、その部分さえ除けば品質には問題ない。即ち、一部
の異物発生によりフィルムを搭載する製品に不良が発生
したり、また、一部の欠陥により全フィルムが不良とな
り大半が破棄されるといった課題があった。Further, even if a defect is detected, the film is shipped if the occurrence of defects is above the standard, or is shipped after removing the part, and if it is below the standard, it is discarded. However, the defect has a size of several tens to several hundreds of μm, and there is no problem in quality except for that part. That is, there is a problem that a defect occurs in a product on which the film is mounted due to the generation of a part of foreign matter, or the entire film becomes defective due to a part of the defect and most of the film is discarded.

【０００７】本発明の目的は、上記課題を解決すべく、
フィラーがフィルム中に欠陥と同等かそれ以下の大きさ
で存在しても、これに含まれる欠陥を高精度に検出し、
この検出される欠陥に関する情報を記録若しくは添付し
て廃棄することなくフィルム状製品として提供できるフ
ィルムに対する欠陥検査方法およびその装置並びにフィ
ルム状製品を提供することにある。An object of the present invention is to solve the above problems.
Even if the filler is present in the film in a size equal to or smaller than the defect, the defect contained in this is detected with high accuracy,
It is an object of the present invention to provide a defect inspection method for a film, an apparatus therefor and a film-shaped product which can be provided as a film-shaped product without recording or attaching information on the detected defects and discarding the information.

【０００８】また、本発明の他の目的は、内部にフィラ
ーが等間隔若しくは繰り返しパターンで存在するフィル
ム状被検査対象に対して、これに含まれる金属種の異物
等の欠陥を高精度に検出できるフィルムに対する欠陥検
査方法およびその装置ならびにこの検出される欠陥に関
する情報を記録若しくは添付して廃棄することなくフィ
ルム状製品として提供できることにある。Another object of the present invention is to detect a defect such as a foreign substance of a metal species contained in a film-shaped object to be inspected in which fillers are present at regular intervals or in a repeating pattern with high accuracy. It is possible to provide a film-like product without recording or attaching information on the defect inspection method and apparatus for the film and the detected defect, and discarding it.

【０００９】また、本発明の更に他の目的は、提供を受
けたフィルム状製品を基に良品部を加工するようにした
フィルム状製品の加工方法およびその加工システムを提
供することにある。Still another object of the present invention is to provide a film-shaped product processing method and a processing system for processing a non-defective part based on the provided film-shaped product.

【００１０】[0010]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、フィルム状被検査対象を走行させる走行
工程と、該走行工程で走行されるフィルム状被検査対象
に対して斜方から斜方照明光を集光して照射し、前記フ
ィルム状被検査対象で反射した反射光をフィルム状被検
査対象の法線方向から受光して第１の画像信号として検
出し、該検出された第１の画像信号に基づいて第1の欠
陥を検出する第１の欠陥検出工程と、前記走行工程で走
行されるフィルム状被検査対象に対して法線方向から垂
直照明光を集光して照射し、前記フィルム状被検査対象
で反射した反射光を前記フィルム状被検査対象の法線方
向から受光して第２の画像信号として検出し、該検出さ
れた第２の画像信号に基づいて第２の欠陥を検出する第
２の欠陥検出工程と、前記第１および第２の欠陥検出工
程によって検出された第１および第２の欠陥に関する情
報（少なくともフィルム上の欠陥位置座標等)を前記フ
ィルム状被検査対象に記録若しくは添付する記録若しく
は添付工程とを有することを特徴とするフィルムに対す
る欠陥検査方法およびその装置である。In order to achieve the above object, the present invention provides a traveling process for traveling a film-shaped inspection object, and an oblique direction with respect to the film-shaped inspection object that is traveled in the traveling process. Obliquely illuminating light is condensed and emitted from the film, and the reflected light reflected by the film-shaped inspection target is received from the normal direction of the film-shaped inspection target and detected as a first image signal. The first defect detection step of detecting the first defect based on the first image signal, and the vertical illumination light is condensed from the normal direction to the film-shaped object to be inspected traveling in the traveling step. And the reflected light reflected by the film-shaped inspection object is received from the normal direction of the film-shaped inspection object and detected as a second image signal, based on the detected second image signal. A second defect detecting step of detecting a second defect by A recording or attaching step of recording or attaching information (at least the defect position coordinates on the film) relating to the first and second defects detected by the first and second defect detecting steps to the film-shaped inspection object A defect inspection method for a film and an apparatus therefor.

【００１１】また、本発明は、前記第１の欠陥検出工程
において、前記第１の画像信号を背景信号レベルよりも
低い第１の閾値で２値化することにより、前記第1の欠
陥を前記第１の閾値より低い信号レベルとして検出する
ことを特徴とする。According to the present invention, in the first defect detecting step, the first defect is binarized by binarizing the first image signal with a first threshold value lower than a background signal level. It is characterized in that it is detected as a signal level lower than the first threshold.

【００１２】また、本発明は、前記第２の欠陥検査工程
において、前記第２の画像信号を背景信号レベルよりも
高い第２の閾値で２値化することにより、前記第２の欠
陥を前記第２の閾値よりも高い信号レベルとして検出す
ることを特徴とする。According to the present invention, in the second defect inspecting step, the second image signal is binarized by a second threshold value higher than a background signal level, so that the second defect is detected. It is characterized in that it is detected as a signal level higher than the second threshold value.

【００１３】また、本発明は、前記第１および／または
第２の欠陥検出工程において、第１および／または第２
の画像信号を基に、欠陥若しくはその候補を検出する判
定処理を、第１および／または第２の画像信号における
欠陥を示す濃淡度に応じた判定閾値および面積に応じた
判定閾値を併用することを特徴とする。Further, according to the present invention, in the first and / or second defect detection step, the first and / or second defect detection step is performed.
The determination process for detecting a defect or its candidate based on the image signal of (1) is used together with the determination threshold corresponding to the gray level and the determination threshold indicating the defect in the first and / or second image signal. Is characterized by.

【００１４】また、本発明は、斜方照明によってフィル
ム内部の黒異物（樹脂種の塊異物）を顕在化して検出す
る第１の異物検出工程と、欠陥としてフィラーと金属種
の異物との反射率の違いをもとに金属種の異物を検出す
る第２の異物検出工程とを有することで、観察像の濃淡
度で異物を顕在化させ、画像処理を単純化することを特
徴とする。Further, according to the present invention, a first foreign matter detecting step of detecting black foreign matter (lump foreign matter of resin species) inside the film by oblique illumination and detecting the foreign matter of filler and foreign matter of metal species as defects. By having a second foreign matter detection step of detecting foreign matter of a metal type based on the difference in the rate, the foreign matter is made apparent by the density of the observed image, and the image processing is simplified.

【００１５】また、本発明は、前記記録若しくは添付工
程において、フィルム状被検査対象に関する情報（フイ
ルム状製品の製造番号や混入されたフィラーに関する情
報）も併せて記録若しくは添付することを特徴とする。Further, the present invention is characterized in that, in the recording or attaching step, information relating to the film-shaped object to be inspected (information relating to the serial number of the film-shaped product or the filler mixed therein) is also recorded or attached. .

【００１６】また、本発明は、前記フィルムに対する欠
陥検査方法およびその装置において、更に、前記フィル
ム状被検査対象中に等間隔若しくは繰り返しパターンで
存在するフィラーを画像信号として顕在化して検出し、
該検出された画像信号を基に、間隔、寸法、分布のいず
れか１つ以上のフィラーの配列状態を測定するフィラー
測定工程を有し、前記記録若しくは添付工程において、
更に、前記フィラー測定工程で測定されたフィラーの配
列状態を示す情報を記録若しくは添付することを特徴と
する。Further, the present invention provides the defect inspection method and apparatus for the above-mentioned film, wherein the filler present in the film-shaped object to be inspected at equal intervals or in a repetitive pattern is detected as an image signal.
Based on the detected image signal, there is a filler measurement step of measuring the array state of any one or more of spacing, size, distribution, in the recording or attachment step,
Further, it is characterized in that information indicating the arrangement state of the filler measured in the filler measuring step is recorded or attached.

【００１７】また、本発明は、前記フィルムに対する欠
陥検査方法およびその装置において、内部にフィラーが
等間隔若しくは繰り返しパターンで存在するフィルム状
被検査対象に対して欠陥を画像信号として検出する欠陥
検出工程と、前記フィルム状被検査対象中に等間隔若し
くは繰り返しパターンで存在するフィラーを画像信号と
して顕在化して検出し、該検出された画像信号を基に、
間隔、寸法、分布のいずれか１つ以上のフィラーの配列
状態を測定するフィラー測定工程と、前記欠陥検出工程
によって検出された欠陥に関する情報と前記フィラー測
定工程で測定されたフィラーの配列状態を示す情報とを
前記フィルム状被検査対象に記録若しくは添付する記録
若しくは添付工程とを有することを特徴とするフィルム
に対する欠陥検査方法およびその装置である。Further, according to the present invention, in the defect inspection method and apparatus for a film, a defect detection step of detecting defects as an image signal on a film-shaped inspection object in which fillers are present at equal intervals or in a repeating pattern. And, by detecting the filler present in the film-shaped object to be inspected at equal intervals or in a repetitive pattern as an image signal, based on the detected image signal,
A filler measurement step of measuring an array state of one or more fillers of intervals, dimensions, and distributions, information on defects detected by the defect detection step, and an array state of fillers measured by the filler measurement step. A defect inspection method for a film and an apparatus therefor, comprising: recording or attaching information to or from the film-shaped inspection target.

【００１８】また、本発明は、内部にフィラーが等間隔
若しくは繰り返しパターンで存在するフィルム状被検査
対象を連続的に走行させる走行工程と、該走行工程で走
行されるフィルム状被検査対象に対してレーザ光を斜方
より照射し、前記フィルム状被検査対象から得られる散
乱光の内、空間フィルタを有する検出光学系によりフィ
ラーのパターンからの散乱光を除去して欠陥からの散乱
光を受光して画像信号として欠陥を顕在化して検出する
欠陥検出工程とを有することを特徴とするフィルムに対
する欠陥検査方法およびその装置である。Further, according to the present invention, there is provided a running step of continuously running a film-shaped object to be inspected in which fillers are present at equal intervals or in a repeating pattern, and a film-shaped object to be inspected running in the running step. Laser light is obliquely emitted from the film, and scattered light from the defect is received by removing scattered light from the filler pattern by the detection optical system with a spatial filter among scattered light obtained from the film-shaped inspection object. And a defect detecting step of demonstrating and detecting a defect as an image signal.

【００１９】また、本発明は、内部にフィラーが等間隔
若しくは繰り返しパターンで存在するフィルム状被検査
対象を連続的に走行させる走行工程と、該走行工程で走
行されるフィルム状被検査対象が磁気センサの間を通過
することによって前記フィラーと欠陥とによっておよぼ
す磁界の変化に基づいて前記欠陥を前記フィラーと弁別
して検出する欠陥検出工程とを有することを特徴とする
フィルムに対する欠陥検査方法およびその装置である。Further, according to the present invention, a running step of continuously running a film-shaped object to be inspected in which fillers are present at equal intervals or in a repeating pattern, and a film-shaped object to be inspected running in the running step is magnetic. A defect inspection method for a film and an apparatus therefor, comprising: a defect detection step of discriminating the defect from the filler based on a change in magnetic field exerted by the filler and the defect by passing between the sensors. Is.

【００２０】また、本発明は、内部にフィラーが等間隔
若しくは繰り返しパターンで存在するフィルム状被検査
対象を連続的に走行させる走行工程と、該走行工程で走
行されるフィルム状被検査対象を磁気センサの間を通過
させる際、前記フィラーと欠陥とを磁化し、該磁化され
たフィラーと欠陥との磁気信号の相違に基づいて前記欠
陥を前記フィラーと弁別して検出する欠陥検出工程とを
有することを特徴とするフィルムに対する欠陥検査方法
およびその装置である。Further, according to the present invention, a running step of continuously running a film-shaped object to be inspected in which fillers are present at equal intervals or in a repeating pattern, and a film-shaped object to be inspected which is run in the running step is magnetically processed. When passing between the sensors, a defect detection step of magnetizing the filler and the defect and discriminating the defect from the filler and detecting the defect based on a difference in magnetic signals between the magnetized filler and the defect. And a device for inspecting defects on a film.

【００２１】また、本発明は、前記フィルムに対する欠
陥検査方法およびその装置において、更に、前記欠陥検
出工程で欠陥に関する情報を前記フィルム状被検査対象
に記録若しくは添付する記録若しくは添付工程を有する
ことを特徴とする。Further, the present invention provides the defect inspection method and apparatus for the film, further comprising a recording or attaching step of recording or attaching information on the defect to the film-shaped inspection object in the defect detecting step. Characterize.

【００２２】また、本発明は、斜方照明をフィルム状被
検査対象の垂線に対して６０°以上の入射角になるよう
にし、観察領域にあわせて照射光をライン状、またはス
ポット状（細帯状）にすることで、エネルギ密度を高
め、異物の検出感度を向上させることを特徴としてい
る。Further, in the present invention, the oblique illumination is made to have an incident angle of 60 ° or more with respect to the normal of the film-shaped object to be inspected, and the irradiation light is linearly or spotwise (finely) according to the observation region. The band-like shape is characterized in that the energy density is increased and the foreign substance detection sensitivity is improved.

【００２３】また、本発明は、斜方照明および落射照明
において、波長およびエネルギ密度は、フィルムを構成
する樹脂を変質させない程度の短波長化、高エネルギ密
度化することを特徴とする。Further, the present invention is characterized in that, in the oblique illumination and the epi-illumination, the wavelength and the energy density are shortened so that the resin constituting the film is not deteriorated and the energy density is increased.

【００２４】また、本発明は、斜方照明において、フィ
ルム端の明るさむらを低減させるために、画像処理信号
の明るさ補正（シェーデイング補正）に加え、検査光の
照射方法をフィルム送り方向の両側から照射することに
より明るさむらを抑制することを特徴としている。Further, according to the present invention, in oblique illumination, in order to reduce the brightness unevenness at the film edge, in addition to the brightness correction (shading correction) of the image processing signal, the irradiation method of the inspection light is changed to the film feed direction. The feature is that uneven brightness is suppressed by irradiating from both sides.

【００２５】また、本発明は、前記第１および第２の欠
陥検出工程において、前記撮像装置としてカラー撮像装
置を用いて表示用のカラー画像を得ることを特徴とす
る。すなわち本発明は、カラーＴＤＩ（Time Delay and
Integration）またはカラーラインセンサを用いること
で、フィルムを停止することなく高速に欠陥検出を行
い、欠陥状態確認用（表示用）の画像保存が同一のカメ
ラで行え、装置を単純・小型化することができる。Further, the present invention is characterized in that a color image for display is obtained by using a color image pickup device as the image pickup device in the first and second defect detecting steps. That is, the present invention is directed to color TDI (Time Delay and
Integration) or color line sensor can detect defects at high speed without stopping the film and save images for defect status confirmation (display) with the same camera, thus simplifying and downsizing the device. You can

【００２６】また、本発明は、搬送系の速度をモニタリ
ングすることで、フィルムの送り速度に合わせてカメラ
への取込速度を変動させることが可能なので、速度変動
時にも同一感度で欠陥検出が可能である。Further, according to the present invention, by monitoring the speed of the transport system, it is possible to change the taking-in speed into the camera in accordance with the film feeding speed, so that the defect can be detected with the same sensitivity even when the speed changes. It is possible.

【００２７】また、本発明は、欠陥検査結果に関する情
報をフィルム状製品に記録若しくは添付して構成したこ
とを特徴とするフィルム状製品である。また、本発明
は、前記フィルム状製品は、内部にフィラーが存在する
ことを特徴とする。また、本発明は、前記フィルム状製
品は、内部にフィラーが等間隔若しくは繰り返しパター
ンで存在することを特徴とする。また、本発明は、前記
フィルム状製品は、内部にフィラーが存在するフィルム
樹脂層をフィルム基材層に貼り付けて構成することを特
徴とする。Further, the present invention is a film-shaped product characterized in that information on a defect inspection result is recorded or attached to the film-shaped product. Further, the present invention is characterized in that the film-shaped product has a filler therein. Further, the present invention is characterized in that the film-shaped product has fillers present therein at regular intervals or in a repeating pattern. Further, the present invention is characterized in that the film-shaped product is constituted by attaching a film resin layer having a filler therein to a film base material layer.

【００２８】また、本発明は、前記フィルム状製品にお
いて、前記欠陥検査結果に関する情報として、欠陥発生
位置、欠陥寸法、欠陥の種類、欠陥数のいずれか一つ以
上の情報を含むことを特徴とする。また、本発明は、前
記フィルム状製品において、更に、フィラーに関する情
報(例えば、フィラーの寸法やピッチ等)も記録若しくは
添付して構成することを特徴とする。また、本発明は、
前記フィルム状製品がロール状であることを特徴とす
る。Further, the present invention is characterized in that, in the film-shaped product, the information regarding the defect inspection result includes any one or more of a defect occurrence position, a defect size, a defect type, and a defect number. To do. Further, the present invention is characterized in that, in the film-shaped product, information (eg, size and pitch of the filler) regarding the filler is further recorded or attached. Further, the present invention is
The film-shaped product is in a roll shape.

【００２９】また、本発明は、前記第１の欠陥検出工程
において判定処理された結果と、前記第２の欠陥検出工
程において判定処理された結果とを基に、データ解析を
行い、その結果を製造履歴や製品情報（製造履歴や製品
情報を基に圧着等の加工条件を調整若しくは変更する場
合に利用可能である。従って、利用しない場合には、製
造履歴などは必要としない。）とともにレーザマーカ若
しくはインクジェットマーカ、触針式マーカ等で前記フ
ィルムの終端部に記録する、若しくは前記フィルム情報
を添付する記録若しくは添付工程を有することを特徴と
する。Further, according to the present invention, data analysis is performed based on the result of judgment processing in the first defect detection step and the result of judgment processing in the second defect detection step, and the result is analyzed. Laser marker along with manufacturing history and product information (it can be used when adjusting or changing processing conditions such as crimping based on the manufacturing history or product information. Therefore, when not used, the manufacturing history is not necessary.) Alternatively, there is a recording or attaching step of recording at the end of the film with an ink jet marker, a stylus marker, or the like, or attaching the film information.

【００３０】また、本発明は、製品品質情報が記録若し
くは添付されたフィルム状製品を間歇的若しくは連続的
に走行させる走行工程と、該走行工程で走行される前記
フィルム状製品に記録若しくは添付された製品品質情報
を読み取る読み取り工程と、該読み取り工程で得られた
製品品質情報からフィルム状製品に不具合が生じる個所
の情報を送信する制御工程と、前記制御工程により送信
された不具合が生じる個所の情報を基に前記フィルム状
製品に対する加工を停止し、不具合以外の正常部分につ
いては前記フィルム状製品に対して加工を施す加工工程
とを有することを特徴とするフィルム状製品の加工方法
およびその加工システムである。The present invention also provides a running step of intermittently or continuously running a film-shaped product on which product quality information is recorded or attached, and recording or attached to the film-shaped product run in the running step. A reading step of reading the product quality information, a control step of transmitting information of a portion where a defect occurs in the film-like product from the product quality information obtained in the reading step, and a portion of the portion where the defect transmitted by the control step occurs. A method for processing a film-shaped product, characterized in that it has a processing step of stopping the processing for the film-shaped product based on information, and processing the film-shaped product for normal parts other than defects. System.

【００３１】[0031]

【発明の実施の形態】以下、本発明に係るフィルムに対
する欠陥検査方法およびその装置の実施の形態を図面を
用いて具体的に説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of a defect inspection method for a film and an apparatus therefor according to the present invention will be specifically described below with reference to the drawings.

【００３２】まず、本発明に係るフィルムに対する欠陥
検査の第１の実施の形態について説明する。第１の実施
の形態は、図１に示すように、半導体素子の電極を、液
晶表示装置などの電子回路基板上の電極に接続する際な
どに用いられる伝導性材料のフィラー、例えば粒子３を
高密度に含んだフィルム（樹脂層）２内に欠陥として混
入若しくは存在された金属種の異物や非金属種の異物で
ある樹脂種の塊異物等を光学的に検査するものである。
なお、被検査対象１０としては、図３に示すように、上
記粒子３を高密度に散らばされたフィルム樹脂層２をフ
ィルム基材層１に貼りつけたものである。従って、本発
明に係るフィルムに対する異物検査は、取扱いおよび連
続的な送りを容易にするために、フィルム樹脂層２をフ
ィルム基材層１に貼りつけた状態で行われる。First, a first embodiment of the defect inspection for the film according to the present invention will be described. In the first embodiment, as shown in FIG. 1, a filler of a conductive material used for connecting electrodes of a semiconductor element to electrodes on an electronic circuit board of a liquid crystal display device, such as particles 3, is used. This is to optically inspect foreign matter of a metal species or foreign matter of a resin species which is a foreign matter of a non-metal species mixed or present as a defect in the film (resin layer) 2 containing a high density.
As the inspection object 10, as shown in FIG. 3, the film resin layer 2 in which the particles 3 are dispersed at high density is attached to the film base material layer 1. Therefore, the foreign matter inspection for the film according to the present invention is performed in a state where the film resin layer 2 is attached to the film base material layer 1 in order to facilitate handling and continuous feeding.

【００３３】そして、本発明に係る検査されたフィルム
を用いての例えば圧着工程は、図２に示すように行われ
る。即ち、この圧着の際、フィルム樹脂層２からフィル
ム基材層１を剥がした状態で行われる。この圧着工程に
ついては、後で詳しく説明する。Then, for example, a crimping process using the inspected film according to the present invention is performed as shown in FIG. That is, during the pressure bonding, the film base material layer 1 is peeled off from the film resin layer 2. This pressure bonding step will be described later in detail.

【００３４】図１（ａ）は、本発明に係るフィルムに対
する異物検査装置の一実施の形態を示す概略構成図であ
る。図１（ｂ）は、フィルムに対する異物検査装置にお
いて、フィルムデータ記録部をロールで巻き取る巻き終
わり部に形成した場合を示す図である。まず、本発明に
係るフィルムに対する異物検査装置は、図３に示すよう
に、フィルム樹脂層２をフィルム基材層１に貼りつけた
状態のフィルム状被検査対象１０を連続的に送る（移動
させる）送り機構２０と、第１のステーションＳｔ１に
設けられ、被検査対象１０のフィルム樹脂層２内に存在
する上記非金属種の異物である樹脂種の塊などの塊異物
（黒異物）を検出する第１の光学検出部３０と、第２の
ステーションＳｔ２に設けられ、被検査対象１０のフィ
ルム樹脂層２内に混入若しくは存在する上記金属種の異
物（白異物）を検出する第２の光学検出部４０と、上記
第１および第２の光学検出部３０、４０から検出される
画像信号を基に画像処理して異物を検査・解析する検査
・解析部５０とを備えて構成される。FIG. 1A is a schematic block diagram showing an embodiment of a foreign matter inspection apparatus for a film according to the present invention. FIG. 1B is a diagram showing a case where the film data recording portion is formed at the winding end portion where the film data recording portion is wound by a roll in the foreign matter inspection device for a film. First, as shown in FIG. 3, the foreign matter inspection apparatus for a film according to the present invention continuously sends (moves) the film-shaped inspection object 10 in a state in which the film resin layer 2 is attached to the film base material layer 1. ) The feeding mechanism 20 and the lump foreign matter (black foreign matter) such as the lump of the resin species which is the foreign matter of the non-metallic species present in the film resin layer 2 of the inspection object 10 provided in the first station St1 are detected. The first optical detection unit 30 and the second optical unit provided in the second station St2 for detecting foreign matter (white foreign matter) of the metal species mixed or present in the film resin layer 2 of the inspection object 10. A detection unit 40 and an inspection / analysis unit 50 that performs image processing based on the image signals detected by the first and second optical detection units 30 and 40 to inspect / analyze foreign matter are configured.

【００３５】送り機構２０は、搬送用ピンチローラ２１
ａ、２１ｂと、これら搬送用ピンチローラ２１ａ、２１
ｂを駆動するロータリエンコーダ付き駆動モータ２２
と、該ロータリエンコーダからの信号を基に、被検査対
象１０の送り座標値を出力する制御部２３とから構成さ
れる。即ち、制御部２３は、ロータリエンコーダからの
信号を基に、被検査対象の送り座標値を管理することに
なる。The feeding mechanism 20 includes a transport pinch roller 21.
a and 21b, and these transport pinch rollers 21a and 21
Drive motor 22 with rotary encoder for driving b
And a control unit 23 that outputs the feed coordinate value of the inspection object 10 based on the signal from the rotary encoder. That is, the control unit 23 manages the feed coordinate value of the inspection target based on the signal from the rotary encoder.

【００３６】第１の光学検出部３０は、被検査対象１０
の振動を抑制する送りローラ３１と、ハロゲンランプな
どの光源（図示せず）から得られる白色光３７を、振動
が抑制された被検査対象１０に対して検出光軸（被検査
対象の垂線）に対して６０°以上傾斜した方向から、照
射エネルギ密度を高くするために、スリット状若しくは
スポット状（細帯状）に集光させて対称的に照明する集
光レンズを有する斜方照明光学系３２ａ、３２ｂと、白
色光でスリット状若しくはスポット状（細帯状）に斜方
照明された被検査対象１０のフィルム樹脂層２を通して
の内部からの散乱反射光（０次以外の回折光）を集光さ
れる対物レンズ３６、該集光された散乱反射光を結像さ
せる光学系（図示せず）、および結像された散乱反射光
像を撮像して画像信号を出力する撮像装置（ラインセン
サ若しくはＴＤＩセンサ）３５を有する検出光学系で構
成され、フィルム樹脂層２を透過して基材１の粗表面か
らは、殆どが乱反射してフィルム２の表面から出射され
て対物レンズ３６に入射して、図１３に示す如く背景７
３として明るく検出されることになる。The first optical detecting section 30 is provided for the object 10 to be inspected.
Of the white light 37 obtained from a light source (not shown) such as a halogen lamp and a feed roller 31 that suppresses the vibration of the detection target optical axis with respect to the vibration of the inspection target 10 (perpendicular to the inspection target). An oblique illumination optical system 32a having a condenser lens that condenses the light in a slit shape or in a spot shape (strip shape) and illuminates symmetrically in order to increase the irradiation energy density from a direction inclined by 60 ° or more with respect to , 32b, and scattered reflection light (diffracted light other than the 0th order) from the inside through the film resin layer 2 of the inspection object 10 obliquely illuminated by white light in a slit shape or a spot shape (strip shape). Objective lens 36, an optical system (not shown) that forms an image of the condensed scattered reflected light, and an image pickup device (a line sensor or a line sensor that captures the image of the formed scattered reflected light and outputs an image signal). TDI Sensor 35, which is transmitted through the film resin layer 2, is diffusely reflected from the rough surface of the base material 1, is emitted from the surface of the film 2, and is incident on the objective lens 36. Background 7 as shown in FIG.
3 will be detected brightly.

【００３７】フィルム樹脂層２内に存在する樹脂種の塊
等の塊異物（黒異物）４の場合は、反射率が小さいだけ
ではなく、図１５に示すように対物レンズ３６の瞳に入
射する反射光３８が小さくなり、図１３に７１で示す如
く暗く検出されることになる。さらに、フィルム樹脂層
２内に存在する粒子３や金属種の異物（白異物）５から
は、図１４に示すように、等方的に反射光３９が発生し
て一部分が対物レンズ３６に入射して、図１３に７２で
示すように比較的明るく検出される。従って、明るさ判
定閾値７４を設けることによって、塊異物（黒異物）４
のみを検出することが可能となる。なお、上記スリット
状（細帯状）照明としては、集光されたスポット光を回
転ミラーや回転プリズム等を用いて走査する場合も含む
ものである。In the case of a lump foreign substance (black foreign substance) 4 such as a lump of resin species existing in the film resin layer 2, not only is the reflectance small, but it is incident on the pupil of the objective lens 36 as shown in FIG. The reflected light 38 becomes small, and is darkly detected as indicated by 71 in FIG. Further, as shown in FIG. 14, the reflected light 39 isotropically generated from the particles 3 and the foreign matter (white foreign matter) 5 existing in the film resin layer 2 and a part thereof enters the objective lens 36. Then, as shown by 72 in FIG. 13, it is detected relatively bright. Therefore, by providing the brightness determination threshold value 74, the lump foreign matter (black foreign matter) 4
It becomes possible to detect only. The slit-shaped (strip-shaped) illumination also includes the case where the condensed spot light is scanned using a rotating mirror or a rotating prism.

【００３８】第２の検出光学系４０は、被検査対象１０
の振動を抑制する送りローラ４１と、ハロゲンランプ等
の光源４２から得られる白色光を波長選択フィルタ４３
を用いて約５５０ｎｍ以下の波長を選択して、ハーフミ
ラー４４で反射させて、振動が抑制された被検査対象１
０に対して検出光軸方向から、照射エネルギを高くする
ために、スリット状若しくはスポット状（細帯状）に集
光させて照明する集光レンズを有する落射照明光学系
と、約５５０ｎｍ以下の波長の光４７でスリット状若し
くはスポット状（細帯状）に落射照明された被検査対象
１０から得られる正反射光（０次回折光）に近い光を集
光される対物レンズ４６、該集光された正反射光に近い
光を結像させる光学系（図示せず）、および結像された
正反射光に近い光像を撮像して画像信号を出力する撮像
装置（カラーラインセンサ若しくはカラーＴＤＩセン
サ）４５を有する検出光学系とで構成され、粒子３と金
属種などの異物５とで反射率の差の大きい波長領域を検
査光４７と選択することで、図１９に示すように金属種
の異物５からの反射光４８が、図１７に８１で示すよう
に明るく検出されることになる。図１８に示す粒子３か
らの反射光４９は、上記反射光４８に比べて弱く、図１
７に８２で示すように８１に比べて暗く検出されること
になる。なお、被検査対象１０に照明される垂直落射照
明光は、フィルム２を透過して半透明である基材１を通
過し、基材１の粗表面からは弱い反射光が得られること
により、背景が図１７に８３で示すように暗く検出され
る。フィルム２内に存在する樹脂種の塊等の塊異物４に
ついては、乱反射されて対物レンズ４６の瞳に一部が入
射される関係で、粒子３と同様に暗く検出される。従っ
て、明るさ閾値８４を設けることによって、金属種など
の異物５のみを検出することが可能となる。The second detection optical system 40 is used for the object 10 to be inspected.
Of the white light obtained from the light source 42 such as a halogen lamp and a feed roller 41 for suppressing the vibration of the wavelength selection filter 43.
Select a wavelength of about 550 nm or less using, and reflect it by the half mirror 44 to suppress the vibration.
An epi-illumination optical system having a condensing lens that condenses and illuminates in a slit shape or a spot shape (thin band shape) in order to increase irradiation energy from the detection optical axis direction with respect to 0, and a wavelength of about 550 nm or less. The objective lens 46 that collects light close to the specularly reflected light (0th-order diffracted light) obtained from the inspection object 10 that is epi-illuminated in the slit shape or the spot shape (thin band shape) by the light 47 of FIG. An optical system (not shown) that forms an image of light close to the specular reflection light, and an image pickup device (color line sensor or color TDI sensor) that picks up the formed optical image close to the specular reflection light and outputs an image signal. A detection optical system having 45, and selecting a wavelength region having a large reflectance difference between the particle 3 and the foreign matter 5 such as a metal species as the inspection light 47, the foreign matter of the metal species as shown in FIG. Reflected light from 5 8, so that the bright detected as shown by 81 in FIG. 17. The reflected light 49 from the particles 3 shown in FIG. 18 is weaker than the reflected light 48, and
7 and 82, it is detected darker than 81. The vertical incident illumination light that illuminates the inspection object 10 passes through the film 2 and the semitransparent base material 1, and weak reflected light is obtained from the rough surface of the base material 1. The background is detected dark as indicated by 83 in FIG. A lump foreign substance 4 such as a lump of resin species existing in the film 2 is detected as dark as the particle 3 because it is diffusely reflected and a part thereof is incident on the pupil of the objective lens 46. Therefore, by providing the brightness threshold value 84, it is possible to detect only the foreign matter 5 such as a metal species.

【００３９】また、本実施例では垂直落射照明光の波長
選択により粒子３と金属種などの異物５の弁別性を向上
させているが、粒子３がＡｕのように短波長で反射率が
減少する場合、検査光４７に白色光を用いて、撮像装置
で短波長側の色、即ち、Ｒ、Ｇ、ＢのＢを用いて検出し
ても、弁別性を向上することができる。Further, in this embodiment, the discriminability between the particles 3 and the foreign matter 5 such as metal species is improved by selecting the wavelength of the vertical epi-illumination light, but the reflectance of the particles 3 is reduced at a short wavelength like Au. In this case, even if white light is used as the inspection light 47 and a color on the short wavelength side, that is, B of R, G, and B is detected by the imaging device, the discriminability can be improved.

【００４０】即ち、第２の検出光学系４０を用いた異物
検出工程において、欠陥として金属種など光沢のある異
物５を白色異物として検出する際、該異物の検出感度を
向上させるために、フィルム中に含まれるフィラー３の
反射率が小さい波長の光りを落射照明として用いること
にある。図５に金属の反射率の一例を示す。例えば、Ｃ
ｕ、Ａｕ金属は、９０で示すように波長５００ｎｍ近傍
９２で反射率が減少するのに対して、Ａｌ金属は、９１
で示すように、５００ｎｍ以下の波長領域でも高い反射
率である。そのため粒子と異物を構成する金属の反射率
が異なる光源、例えば、５００ｎｍ以下の光を照射する
ことで、金属種の異物のみを顕在化させることが可能と
なる。That is, in the foreign matter detecting step using the second detection optical system 40, when the foreign matter 5 having a gloss such as a metal species is detected as a white foreign matter as a defect, the film is improved in order to improve the detection sensitivity of the foreign matter. The purpose is to use light of a wavelength having a small reflectance of the filler 3 contained therein as epi-illumination. FIG. 5 shows an example of the reflectance of metal. For example, C
As shown by 90, the reflectances of u and Au metals decrease in the vicinity of a wavelength of 500 nm 92, whereas Al metals have a reflectance of 91.
As shown by, the reflectance is high even in the wavelength region of 500 nm or less. Therefore, by irradiating with light sources having different reflectances of particles and the metal constituting the foreign matter, for example, light having a wavelength of 500 nm or less, only the foreign matter of the metal species can be exposed.

【００４１】検査・解析部５０は、第１の検出光学系３
０の撮像装置３５から得られる画像信号に基いて樹脂種
の塊などの塊異物４を、樹脂（フィルム）２や粒子３と
弁別して判定する第１の判定処理部５１ａと、該第１の
判定処理部５１ａで判定された判定結果に基く塊異物の
画像を保存する第１の画像記憶部５２ａと、第２の検出
光学系４０の撮像装置４５から得られる画像信号に基い
て金属種などの異物５を、樹脂（フィルム）２や粒子３
と弁別して判定する第２の判定処理部５１ｂと、該第２
の判定処理部５２ｂで判定された判定結果に基づく金属
種などの異物の画像を保存する第２の画像記憶部５２ｂ
と、上記第１および第２の判定処理部５１ａ、５１ｂで
判定された判定結果並びに上記第１および第２の画像記
憶部５２ａ、５２ｂに保存された異物の画像に基づいて
異物の発生状況を集計して解析するデータ解析部５３
と、該データ解析部５３で解析された結果を出力して表
示する表示装置５４とから構成される。上記第１および
第２の判定処理部５１ａ、５１ｂで判定される異物の被
検査対象１０上の座標データは、制御部２３から出力さ
れるフィルムの送り座標値を基に決定される。以上説明
した構成により、被検査対象１０は、搬送用ピンチロー
ラ２１ａ、２１ｂが回転駆動されることにより搬送され
る。The inspection / analysis unit 50 includes the first detection optical system 3
No. 1 determination processing unit 51a for determining the lump foreign matter 4 such as a lump of resin species from the resin (film) 2 or the particles 3 based on the image signal obtained from the image pickup device 35 of 0, and the first determination processing unit 51a. A first image storage unit 52a that stores an image of a lump foreign matter based on the determination result determined by the determination processing unit 51a, and a metal type or the like based on an image signal obtained from the image pickup device 45 of the second detection optical system 40. Foreign matter 5 of the resin (film) 2 and particles 3
A second determination processing unit 51b that discriminates and determines
A second image storage unit 52b that stores an image of a foreign substance such as a metal species based on the determination result determined by the determination processing unit 52b.
And the occurrence status of the foreign matter based on the determination results determined by the first and second determination processing units 51a and 51b and the images of the foreign matter stored in the first and second image storage units 52a and 52b. Data analysis unit 53 for totaling and analyzing
And a display device 54 for outputting and displaying the result analyzed by the data analysis unit 53. The coordinate data of the foreign substance on the inspected object 10 determined by the first and second determination processing units 51a and 51b is determined based on the film feed coordinate value output from the control unit 23. With the configuration described above, the inspected object 10 is transported by rotationally driving the transport pinch rollers 21a and 21b.

【００４２】このとき、斜方照明する第１の検出光学系
３０と、垂直落射照明する第２の検出光学系４０とは送
り方向に並べて設置されている。被検査対象１０を間歇
またはその被検査対象１０の幅方向の一部を検査する場
合、上記第１の検出光学系３０の撮像装置と上記第２の
検出光学系４０の撮像装置は、走行している被検査対象
１０の同じ座標（幅方向、送り方向）を検査するような
構成となっている。被検査対象１０におけるフィルム樹
脂層２に対する検査は、振動を抑えるために各ステーシ
ョンに設けられた送りローラ３１、４１との接触部で行
い、被検査対象１０の振動の影響による感度変化を抑制
する。At this time, the first detection optical system 30 for oblique illumination and the second detection optical system 40 for vertical epi-illumination are arranged side by side in the feed direction. When the inspection target 10 is intermittently or partially inspected in the width direction of the inspection target 10, the imaging device of the first detection optical system 30 and the imaging device of the second detection optical system 40 run. The inspection object 10 is inspected at the same coordinates (width direction, feed direction). The inspection of the film resin layer 2 in the inspection object 10 is performed at the contact portion with the feed rollers 31 and 41 provided in each station in order to suppress the vibration, and the sensitivity change due to the influence of the vibration of the inspection object 10 is suppressed. .

【００４３】このように、被検査対象１０を直線状に搬
送した際、被検査対象１０に振動が存在する場合には、
図４に示すように、送りローラ３１、４１において、被
検査対象１０に張力が得られるように搬送系を構成す
る。例えば、前側および後側にガイド用のピンチローラ
６１、６２を設け、後側のピンチローラ６２にブレーキ
を掛けることによって、被検査対象１０に張力を付与す
ることが可能となる。As described above, when the object 10 to be inspected is conveyed linearly and vibration is present in the object 10 to be inspected,
As shown in FIG. 4, in the feed rollers 31 and 41, a conveying system is configured so that tension can be obtained on the inspection object 10. For example, by providing pinch rollers 61 and 62 for guiding on the front side and the rear side and applying a brake to the pinch roller 62 on the rear side, it becomes possible to apply tension to the inspection object 10.

【００４４】そして、各ステーションＳｔ１、Ｓｔ２に
おける撮像は、被検査対象１０のフィルム２が平坦とな
る部分６３、６４において行うが、必要に応じて第１の
検出光学系３０および第２の検出光学系４０を傾けて、
被検査対象１０の振動が少ない送りローラ３１、４１と
の接触部分で行ってもよい。The imaging at each of the stations St1 and St2 is performed at the portions 63 and 64 where the film 2 of the object 10 to be inspected is flat. If necessary, the first detection optical system 30 and the second detection optical system are used. Tilt system 40,
The inspection may be performed at a contact portion with the feed rollers 31 and 41 where the vibration of the inspection object 10 is small.

【００４５】第１の検出光学系３０の照明光源（図示せ
ず）および第２の検出光学系４０の照明光源４２として
は、ハロゲンランプなどの白色光源を用いるが、フィル
ム樹脂層２中の粒子３や樹脂の種類により、必要に応じ
て波長選択フィルタ４３を用いて波長を選択することに
よって、異物４、５と粒子３の弁別性を高めることがで
きる。As the illumination light source (not shown) of the first detection optical system 30 and the illumination light source 42 of the second detection optical system 40, a white light source such as a halogen lamp is used, and particles in the film resin layer 2 are used. By using the wavelength selection filter 43 to select the wavelength depending on the type of the resin 3 and the resin, the distinguishability between the foreign matter 4, 5 and the particle 3 can be enhanced.

【００４６】図５には、粒子３がＡｕの場合と金属種の
異物５としてＡｌが混入した場合における照明光の波長
（ｎｍ）と反射率（％）との関係を示す。９０は、Ａｕ
の金属の場合における照明光の波長に対する反射率の関
係を示す。９１は、金属異物５としてＡｌ金属の場合に
おける照明光の波長に対する反射率の関係を示す。この
ように、Ａｕの金属は、波長５００ｎｍ近傍において反
射率が減少するのに対して、Ａｌ金属は、５００ｎｍ以
下の波長領域でも高い反射率が維持される。FIG. 5 shows the relationship between the wavelength (nm) of the illumination light and the reflectance (%) when the particles 3 are Au and when Al is mixed as the metallic foreign matter 5. 90 is Au
The relationship of the reflectance with respect to the wavelength of the illumination light in the case of the metal of FIG. Reference numeral 91 shows the relationship of the reflectance with respect to the wavelength of the illumination light when the metallic foreign matter 5 is Al metal. As described above, the reflectance of Au metal decreases near the wavelength of 500 nm, while the reflectance of Al metal maintains high reflectance even in the wavelength region of 500 nm or less.

【００４７】特に、第２の検出光学系４０における波長
選択フィルタ４３として、５５０ｎｍ以下の波長を選択
するようにすれば、粒子３がＡｕ粒子の場合には、反射
率が大きく減少して約６０％以下になり、金属種の異物
５としてＡｌの場合には、反射率が約９０％となる。こ
のように、照明光の波長として５５０ｎｍ以下を選択す
ることにより、混入したＡｌの金属種の異物とＡｕの粒
子との反射率に大きな差が生じ、その結果、粒子３から
の金属種の異物５の弁別性を向上させることが可能とな
る。この場合、光源４２として短波長領域に強度を有す
るＨｇランプなどを利用すると有効である。In particular, when the wavelength selection filter 43 in the second detection optical system 40 is set to select a wavelength of 550 nm or less, when the particles 3 are Au particles, the reflectance is greatly reduced to about 60. %, The reflectance is about 90% when Al is used as the metallic foreign matter 5. As described above, by selecting 550 nm or less as the wavelength of the illumination light, a large difference occurs in the reflectance between the mixed foreign matter of the Al metal species and the Au particles, and as a result, the foreign matter of the metal species from the particles 3 is generated. It is possible to improve the discrimination property of No. 5. In this case, it is effective to use an Hg lamp or the like having an intensity in the short wavelength region as the light source 42.

【００４８】第１の検出光学系３０における斜方照明
は、第２の検出光学系４０による垂直落射照明では検出
し難い、フィルム樹脂層２中の樹脂種の塊異物４を検出
するためである。そして、樹脂層２の中に存在する粒子
３と塊異物４を顕在化させるために、検査領域の照射エ
ネルギ密度を高くすると有効である。そのため、斜方照
明装置３２ａ、３２ｂに取り付けられたファイバの先端
に集光レンズ（図示せず）を備えて、白色光を集光して
被検査対象１０に照射する。検査領域に対応して、ライ
ン状やスポット状に集光するが、何れにしても撮像装置
３５の撮像部と同じかそれよりも広い照明でなくてはな
らない。斜方照明装置３２ａ、３２ｂは、フィルム中の
粒子３から塊異物４を顕在化させるために、斜方照明装
置３２ａ、３２ｂの入射角を被検査対象１０の垂線に対
して約６０度以上に設定するのが望ましい。The oblique illumination in the first detection optical system 30 is for detecting the lump foreign matter 4 of the resin species in the film resin layer 2 which is difficult to detect by the vertical incident illumination by the second detection optical system 40. . Then, in order to make the particles 3 and the lump foreign matter 4 present in the resin layer 2 visible, it is effective to increase the irradiation energy density of the inspection region. Therefore, a condenser lens (not shown) is provided at the tip of the fibers attached to the oblique illumination devices 32a and 32b to condense white light and irradiate the inspection object 10. The light is condensed in a line shape or a spot shape corresponding to the inspection region, but in any case, the illumination must be the same as or wider than the image pickup unit of the image pickup device 35. The oblique illuminators 32a and 32b make the incident angle of the oblique illuminators 32a and 32b about 60 degrees or more with respect to the perpendicular of the inspection object 10 in order to reveal the lump foreign matter 4 from the particles 3 in the film. It is desirable to set.

【００４９】ところで、被検査対象１０のフィルム樹脂
層２が透明または半透明フィルムの場合、所定の厚さを
持った透過性材料であることから、図６に示すように、
斜方照明装置３３ａ、３３ｂにより送り方向と直交して
斜方から照明すると、図６のようにフィルム樹脂層２の
端９３が中心部９４より明るくなり、フィルム基材層１
上のフィルム樹脂層２内への照度が不均一になる。これ
を抑制するために、図８に示すような被検査対象１０の
送り方向から、斜方照明装置３２ａ、３２ｂにより検査
光を照射することで、図９のように均一な照度分布９５
が得られるようにする。By the way, when the film resin layer 2 of the object 10 to be inspected is a transparent or semi-transparent film, since it is a transparent material having a predetermined thickness, as shown in FIG.
When the oblique illumination devices 33a and 33b illuminate the film resin layer 2 from an oblique direction orthogonal to the feeding direction, the end 93 of the film resin layer 2 becomes brighter than the central portion 94 as shown in FIG.
Illuminance into the upper film resin layer 2 becomes non-uniform. In order to suppress this, by irradiating the inspection light from the oblique illumination devices 32a and 32b from the feeding direction of the inspection object 10 as shown in FIG. 8, a uniform illuminance distribution 95 as shown in FIG.
To get

【００５０】撮像装置３５、４５にはカラーラインセン
サまたはカラーＴＤＩセンサを採用することで、異物検
出判定とともに画像を保存して、異物が存在している箇
所の外観を確認できるようになっている。検出画素寸法
は粒子３と異物４、５とを弁別できるだけの感度を得る
ために、フィルム２中にある粒子３の少なくとも３分の
１以下の検出画素寸法とする。この撮像装置３５、４５
はフィルム樹脂層２の幅方向、すなわち送り方向と直角
の方向に受光素子列が並ぶように設置されている。この
撮像装置３５、４５はフィルム２の全幅を撮像するもの
とし、必要な場合には複数台設けて全幅を撮像する。By adopting a color line sensor or a color TDI sensor for the image pickup devices 35 and 45, it is possible to save the image together with the foreign matter detection judgment and to confirm the appearance of the portion where the foreign matter exists. . The detection pixel size is at least one-third or less of the size of the particles 3 in the film 2 in order to obtain sensitivity enough to discriminate the particles 3 from the foreign matters 4 and 5. This imaging device 35, 45
Are arranged so that the light receiving element rows are arranged in the width direction of the film resin layer 2, that is, in the direction perpendicular to the feeding direction. The imaging devices 35 and 45 are supposed to image the entire width of the film 2. If necessary, a plurality of imaging devices 35 and 45 are provided to image the entire width.

【００５１】上記第１および第２の判定処理部５１ａ、
５１ｂの各々における画像処理は、例えば、図１０に示
すような処理フローにより行う。実線は画像の流れを表
し、波線はデータ信号の流れを示す。まず、ステップＳ
８１において、撮像装置３５、４５の各々からカラー画
像を入力し、ステップＳ８２において、入力された各カ
ラー画像を上記第１および第２の画像記録部５２ａ、５
２ｂの各々または別に設けられた一次保存用のメモリの
各々に一次保存する。次に、入力されたカラー画像ＲＧ
Ｂのうち１色若しくは平均値を利用して、明るさ補正
（シェーディング補正）（ステップＳ８３）、平滑化処
理（ステップＳ８４）、明るさ判定閾値で２値化する２
値化処理（ステップＳ８５）、収縮処理（２値化信号で
異物を示す連続した一塊の信号を一つの異物信号に収縮
する処理）（ステップＳ８６）、ラベリング処理（一つ
の異物信号毎にラベリングを行う処理）（ステップＳ８
７）等を行う。The first and second determination processing sections 51a,
The image processing in each of 51b is performed by the processing flow as shown in FIG. 10, for example. The solid line represents the flow of the image, and the broken line represents the flow of the data signal. First, step S
At 81, color images are input from the image pickup devices 35 and 45, respectively, and at step S82, the input color images are input to the first and second image recording units 52a and 5a.
2b or each of the separately provided memories for primary storage. Next, the input color image RG
Using one color or an average value of B, brightness correction (shading correction) (step S83), smoothing processing (step S84), and binarization with the brightness determination threshold value 2
Quantization processing (step S85), contraction processing (processing to condense a continuous lump signal indicating a foreign material by a binarized signal into one foreign material signal) (step S86), labeling processing (labeling for each one foreign material signal) Processing to be performed) (step S8)
7) and so on.

【００５２】上記第１および第２の判定処理部５１ａ、
５１ｂの各々に対応する２値化処理において、予め設定
しておいた判定閾値７４、８４と面積判定閾値（例え
ば、面積に応じて、粒子３凝集による虚報を消去して異
物を顕在化する判定処理）を併用することで粒子（球状
粒子）３が存在するフィルム樹脂層２中から異物４、５
のみを検出する（ステップＳ８８）。このように、第１
および第２の判定処理部５１ａ、５１ｂにおける欠陥若
しくはその候補を検出する判定処理を、第１および第２
の画像信号における欠陥を示す濃淡度に応じた判定閾値
および面積に応じた判定閾値を併用することによって、
粒子（フィラー）３が存在するフィルム樹脂層２中から
異物４、５のみを検出することが可能となる。The first and second determination processing sections 51a,
In the binarization processing corresponding to each of 51b, determination thresholds 74 and 84 and an area determination threshold set in advance (for example, determination to erase a false alarm due to agglomeration of particles 3 to reveal a foreign substance according to the area) Treatment) together with the foreign matter 4, 5 from the film resin layer 2 in which the particles (spherical particles) 3 are present.
Only this is detected (step S88). Thus, the first
And the determination process for detecting a defect or its candidate in the second determination processing units 51a and 51b.
By using the judgment threshold value according to the density and the judgment threshold value according to the area indicating the defect in the image signal of
Only the foreign matters 4, 5 can be detected from the film resin layer 2 in which the particles (filler) 3 are present.

【００５３】各ステップＳ８８で、各異物４、５が検出
されない場合には、ステップＳ８２で一時保存したカラ
ー画像を、ステップＳ８９で破棄する。各ステップＳ８
８で、各異物４、５が検出された場合には、ステップＳ
８２で一時保存したカラー画像に、制御装置２３から得
られる座標情報を付与して、ステップＳ８２において上
記第１および第２の画像記録部５２ａ、５２ｂの各々に
保存するとともに、この異物検出結果に制御装置２３か
ら得られる座標情報を付与してデータ解析部５３に出力
する（ステップＳ９１）。When the foreign matters 4 and 5 are not detected in each step S88, the color image temporarily stored in step S82 is discarded in step S89. Each step S8
If each foreign matter 4, 5 is detected in step 8, step S
Coordinate information obtained from the control device 23 is added to the color image temporarily stored in step 82, and the color image is stored in each of the first and second image recording units 52a and 52b in step S82. Coordinate information obtained from the control device 23 is added and output to the data analysis unit 53 (step S91).

【００５４】次に、主な画像処理の形態とデータ解析部
５３による解析結果の出力例について、図１１を用いて
説明する。撮像装置３５、４５の各々で撮像された画像
９０ａ、９０ｂは第１および第２の判定処理部５１ａ、
５１ｂの各画像入力ボードに転送される。第１および第
２の判定処理部５１ａ、５１ｂの各々は、観察画像９０
ａ、９０ｂに対して、明るさ濃淡度による２値化処理を
行い、フィルム樹脂層２中から異物のみの２値化画像９
１ａ、９１ｂを得る。さらに、ノイズ成分の除去を設け
て、対象異物４、５のみの検出画像９２ａ、９２ｂが得
られる。異物が検出されると、図１０に示すように、ス
テップＳ８２で一時保存されていた画像を例えば２５６
×２５６画素で座標情報とともに記録装置５２ａ、５２
ｂに保存し（ステップＳ９０）、検査後にデータ解析部
５３は、第１および第２の判定処理部５１ａ、５１ｂを
介して記録装置５２ａ、５２ｂから画像を呼び出して、
例えば表示装置５４に表示することによって確認できる
構成となっている。検査結果は、２系統の判定処理部５
１ａ、５１ｂからそれぞれ出力され、データ解析部５３
にてデータ集計を行い、フィルムの幅方向および送り方
向の異物発生座標、異物種、異物種毎の検出個数、異物
種毎の検出面積または検出直径など、表示装置５４に検
査結果画面９３としてマッピング画面およびデータ集計
表（異物１：個数○○○面積×××、異物２：個数○○
○面積×××）が表示される。表示装置５４のマッピン
グ画面は、表示分解能を任意のスケールに変更が可能で
あり、部分的な異物の発生状況を確認できるものとす
る。要するに、データ解析部５３は、検査結果である異
物情報として、異物発生座標、異物種、異物種毎の検出
個数、および異物種毎の検出面積などを解析でき、これ
ら解析された異物発生座標、異物種、異物種毎の検出個
数、および異物種毎の検出面積などを基に良品領域部分
と不良品領域部分とに区分けできるように構成されてい
る。Next, main image processing modes and output examples of analysis results by the data analysis unit 53 will be described with reference to FIG. The images 90a and 90b captured by the image capturing devices 35 and 45 are the first and second determination processing units 51a and 51a, respectively.
It is transferred to each image input board 51b. Each of the first and second determination processing units 51a and 51b has an observation image 90
a and 90b are binarized according to the brightness and shade, and a binarized image 9 of only the foreign matter from the film resin layer 2 is obtained.
1a and 91b are obtained. Further, by removing the noise component, the detected images 92a and 92b of only the target foreign matters 4 and 5 can be obtained. When a foreign substance is detected, as shown in FIG. 10, the image temporarily stored in step S82 is displayed, for example, 256.
Recording devices 52a, 52 with coordinate information of 256 pixels
b (step S90), and after the inspection, the data analysis unit 53 calls the image from the recording devices 52a and 52b via the first and second determination processing units 51a and 51b,
For example, it can be confirmed by displaying it on the display device 54. The inspection result is the determination processing unit 5 of 2 systems.
1a and 51b respectively output the data analysis unit 53
The data is totaled and the foreign matter generation coordinates in the width direction and the feed direction of the film, the foreign matter type, the detected number of each foreign matter type, the detected area or the detected diameter of each foreign matter type, etc. are mapped as an inspection result screen 93 on the display device 54. Screen and data summary table (foreign matter 1: number ○○○ area XX ×, foreign matter 2: number ○○○
○ Area XX) is displayed. In the mapping screen of the display device 54, the display resolution can be changed to an arbitrary scale, and the generation status of partial foreign matter can be confirmed. In short, the data analysis unit 53 can analyze the foreign matter generation coordinates, the foreign matter type, the detected number of each foreign matter type, the detected area of each foreign matter type, and the like as the foreign matter information that is the inspection result. It is configured such that it can be classified into a non-defective product region portion and a defective product region portion based on the foreign substance type, the detected number of each foreign substance type, the detected area of each foreign substance type, and the like.

【００５５】撮像装置３５、４５であるカラーセンサに
は、搬送系に備えられたロータリエンコーダ２２からパ
ルス信号が送信され、被検査対象１０の走行と同期して
画像を取り込むことにより、被検査対象１０の速度変動
時においても検出感度の変動を抑制する。さらにエンコ
ーダ２２のパルス信号は、制御装置２３でパルスをカウ
ントすることで判定処理部５１ａ、５１ｂである計算機
に座標情報および速度情報を提供する構成となってい
る。A pulse signal is transmitted from the rotary encoder 22 provided in the conveying system to the color sensors, which are the image pickup devices 35 and 45, and an image is captured in synchronism with the traveling of the inspection object 10 to obtain the inspection object. The fluctuation of the detection sensitivity is suppressed even when the speed fluctuates 10. Further, the pulse signal of the encoder 22 is configured to provide the coordinate information and the speed information to the computers, which are the determination processing units 51a and 51b, by counting the pulses by the control device 23.

【００５６】検査は、搬送系のピンチローラ２１ａ、２
１ｂが回転して被検査対象１０が所定の搬送速度になる
ことで開始される。すなわち、ロータリエンコーダ２２
のパルス信号が所定の値になり、判定処理部５１ａ、５
１ｂの計算機に検査速度情報が転送されることで開始さ
れる。また、被検査対象１０の送り速度が加減速時には
エンコーダ２２の信号から撮像装置３５、４５のスキャ
ンレートまたは駆動周波数を変動させて、検出感度の変
動を抑制することも可能である。検査の開始も、搬送の
開始と同期させることも可能である。The inspection is performed by the pinch rollers 21a and 2 of the transport system.
It is started when 1b rotates and the object 10 to be inspected reaches a predetermined conveyance speed. That is, the rotary encoder 22
Pulse signal becomes a predetermined value, the determination processing units 51a, 5
It starts when the inspection speed information is transferred to the computer 1b. Further, when the feed speed of the object 10 to be inspected is accelerated or decelerated, the scan rate or the drive frequency of the imaging devices 35 and 45 can be changed from the signal of the encoder 22 to suppress the change in the detection sensitivity. The start of inspection can be synchronized with the start of conveyance.

【００５７】さらに、図１（ａ）に示すように、ステッ
プＳ９１で得られた検査結果（ステップＳ９２からの異
物の座標情報も含む）をデータ解析部５３からマーキン
グ装置１０２に転送して、被検査対象であるフィルムの
終端に、検査したフィルムについての製品情報（製品品
番など）および異物情報（異物発生位置、異物サイズ、
異物種など）をフィルムまたはロールに記録、印刷また
は記憶する（ステップＳ９３）。マーキング装置１０２
は、レーザマーカやインクジェットマーカ、または触針
式マーカなどを用いて、巻取部１０１ａで巻き取られる
フィルム１０の記録部１０３に印刷または記録する。検
査結果である異物情報は被検査対象１０の検査の最後、
終端部に印刷、記録または記憶する。記憶する場合に
は、フィルム１０の巻き終わり部やロール１１０ａ等に
記憶する素子や部材を形成することによって可能とな
る。即ち、図１（ｂ）に示すように、フィルムデータ記
録部１１１ａを、ロール１１０ａへのフィルムの巻き終
わり部に位置することが、後述するこのフィルムを用い
て圧着接続する際、好都合である。なお、上記マーキン
グは、例えば図３２、図３３に示すように、２５１ａ、
２５２ａには製品番号、２５２ａ、２５２ｂには異物情
報である検査結果といったようにバーコード２５３や文
字２５１ｂ、２５２ｂを用いて印刷または記録して行
う。図３２および図３３は、製品情報および異物情報も
視覚で認識できるように示したが、検査情報について
は、特に視覚認識できなくても良く、フィルムを購入し
た側の読み取り装置で読取れればよい。Further, as shown in FIG. 1A, the inspection result (including the coordinate information of the foreign matter from step S92) obtained in step S91 is transferred from the data analysis section 53 to the marking device 102 and the At the end of the film to be inspected, product information (product number, etc.) and foreign matter information (foreign matter occurrence position, foreign matter size,
The foreign substance type) is recorded, printed or stored on a film or roll (step S93). Marking device 102
Is printed or recorded on the recording unit 103 of the film 10 wound by the winding unit 101a using a laser marker, an inkjet marker, a stylus marker, or the like. The foreign matter information which is the inspection result is the end of the inspection of the inspection object 10,
Print, record or store at the end. In the case of storing, it becomes possible by forming a storing element or member in the winding end portion of the film 10, the roll 110a, or the like. That is, as shown in FIG. 1B, it is convenient for the film data recording section 111a to be located at the winding end portion of the film on the roll 110a when pressure bonding is performed using this film described later. The markings are, for example, as shown in FIGS. 32 and 33, 251a,
The barcode 253 and the characters 251b and 252b are used for printing or recording such as a product number on 252a and an inspection result which is foreign substance information on 252a and 252b. Although FIG. 32 and FIG. 33 are shown so that the product information and the foreign substance information can also be visually recognized, the inspection information need not be particularly visually recognizable and may be read by the reading device on the side that purchased the film. .

【００５８】また、前記マーキング装置１０２は、必ず
しもフィルム終端部に検査結果である異物情報を記録す
るものではなく、図３２および図３３に示すように、例
えば、検査中に異物が検出された際に、その箇所に異物
２５５が存在していることを示すためにマーキング２５
４ａまたは２５４ｂを行っても良い。Further, the marking device 102 does not always record the foreign matter information as the inspection result at the film end portion, and as shown in FIGS. 32 and 33, for example, when a foreign matter is detected during the inspection. The marking 25 to indicate that there is a foreign substance 255 at that location.
4a or 254b may be performed.

【００５９】また、検査結果および製品情報はマーキン
グ以外にも、製品へ添付する手段若しくは方法として
は、バーコードなどの情報を印字したラベルやＩＣチッ
プなどでも良い。In addition to marking, the inspection result and the product information may be attached to the product by a label or an IC chip on which information such as a bar code is printed.

【００６０】以上説明したように、フィルムメーカはフ
ィルムに検査結果である異物情報を製品情報と共に記録
（印刷、記憶も含む）または添付して提供することによ
って、フィルムに関する信頼性の情報がユーザーに提供
され、フィルムとしての製品の付加価値を向上させるこ
とが可能となる。添付する場合としては、製品情報（製
品番号）をキーとして異物情報をネットワークを介して
提供する場合も含むものである。しかし、記録する場合
には、提供を受けるフィルム自身或いはフィルムを巻き
取ったロールに検査情報である異物情報が記録されてい
るので、ユーザ側が読み取り装置を設置するだけで、検
査情報である異物情報を把握することが可能となる。As described above, the film maker records (including printing and storing) or attaches the foreign substance information, which is the inspection result, to the film together with the product information to provide the user with the reliability information about the film. It will be possible to improve the added value of the product as a film. The case of attachment also includes the case of providing foreign substance information through a network using product information (product number) as a key. However, when recording, since the foreign substance information, which is the inspection information, is recorded on the film itself or the roll on which the film is wound, the foreign substance information, which is the inspection information, needs only to be installed by the user side. It becomes possible to grasp.

【００６１】また、前記フィルム状被検査対象は検査終
了後、巻き取らなければならない。通常、巻き取り用の
ローラにはモータ等の動力と制御装置を設けて、回転速
度を巻き取り量によって変化させなければならない。本
発明でのフィルム巻き取り機構は、図３４に示すよう
に、フィルム送り用のピンチローラ３０１、３０２によ
りフィルムが搬送された後、ローラ巻き取り部３０４に
より巻き取られる。巻き取り部３０４はピンチローラ駆
動部３０２に外接しており、巻き取り部３０４の軸が例
えばバネ３０５によってピンチローラの駆動部３０２に
常に押し当てられる構成となっている。そのため、図３
５に示すようにフィルムの巻き取りによって巻き取り部
３０４の径が増加しても、径が変化しないピンチローラ
３０２の外周速度と同速度で巻き取り部３０４が回転す
るため、巻き取り部３０４の回転速度を制御することな
く、巻き取ることが可能である。The film-shaped object to be inspected must be wound up after the inspection is completed. Usually, the winding roller must be provided with a power source such as a motor and a control device so that the rotation speed can be changed depending on the winding amount. In the film winding mechanism according to the present invention, as shown in FIG. 34, after the film is conveyed by the pinch rollers 301 and 302 for feeding the film, the film is wound by the roller winding section 304. The winding unit 304 is in external contact with the pinch roller driving unit 302, and the shaft of the winding unit 304 is constantly pressed against the driving unit 302 of the pinch roller by a spring 305, for example. Therefore, FIG.
As shown in FIG. 5, even if the diameter of the winding portion 304 is increased by winding the film, the diameter of the winding portion 304 does not change. The winding portion 304 rotates at the same speed as the outer peripheral speed of the pinch roller 302. It is possible to wind without controlling the rotation speed.

【００６２】以下、本発明の具体的実施例について説明
する。ここでは判定処理部５１ａ、５１ｂとしてＰＣ
（Personal Computer）を用いたソフトによる異物検出
を例に説明する。Specific examples of the present invention will be described below. Here, as the determination processing units 51a and 51b, a PC is used.
An example of detecting foreign matter by software using (Personal Computer) will be described.

【００６３】第１の実施例は、基材１上に貼り付けられ
たフィルム２中に、フィラー、例えば粒子３が点在した
被検査対象１０に異物検査例である。異物種としては、
図１３に示すように背景より暗く検出（黒判定）される
樹脂種の塊などの黒異物４と、図１７に示すように背景
より明るく検出される金属種の異物（以後、白異物）５
がある。The first embodiment is an example of foreign matter inspection on an object 10 to be inspected in which a filler, for example, particles 3 is scattered in a film 2 attached on a base material 1. As foreign species,
As shown in FIG. 13, black foreign matter 4 such as a cluster of resin species that is detected darker than the background (black determination), and foreign matter of metal species that is detected brighter than the background (hereinafter, white foreign matter) 5 as shown in FIG.
There is.

【００６４】まず、第１のステーションＳｔ１において
の黒異物４の検出についての第１の実施例について説明
する。黒異物４の検出では、斜方照明装置３２ａ、３２
ｂによりフィルム樹脂層２中に光３７が浸透すること
で、フィルム樹脂層２中に存在する透過率の低い粒子３
と黒異物４とを背景７３よりも黒い部分７１、７２とし
て顕在化させる。First, a first embodiment for detecting the black foreign matter 4 in the first station St1 will be described. In detecting the black foreign matter 4, the oblique illumination devices 32a, 32
Since the light 37 penetrates into the film resin layer 2 by b, the particles 3 having a low transmittance existing in the film resin layer 2
And the black foreign matter 4 are made to appear as black portions 71 and 72 that are darker than the background 73.

【００６５】図１２には、黒異物４の検出例を示す。被
検査対象１０のフィルム樹脂層２である樹脂層６中に存
在する粒子（フィラー）３と黒異物４は斜方から検査光
３７を照射する斜方照明装置３２ａ、３２ｂにより、図
１３に示す如く、図１２のＡ−Ａ‘の断面濃淡波形が得
られる。フィルム樹脂層２が透明または半透明で可視領
域に対して透過性の材料であれば、１５０Ｗ程度のハロ
ゲン光源を集光することで十分な検査光が得られるが、
低い透過率の材料の場合には、高出力のＨｇランプやＸ
ｅランプ光源を用いたり、フィルムの透過率の高い波長
領域を選択して採用することによって、フィルム樹脂層
中の異物検出率を向上させることができる。FIG. 12 shows an example of detecting the black foreign matter 4. The particles (filler) 3 and the black foreign matter 4 existing in the resin layer 6 which is the film resin layer 2 of the inspection object 10 are shown in FIG. 13 by the oblique illumination devices 32a and 32b which obliquely irradiate the inspection light 37. Thus, the cross-sectional grayscale waveform of AA 'in FIG. 12 is obtained. If the film resin layer 2 is a transparent or semi-transparent material that is transparent to the visible region, sufficient inspection light can be obtained by condensing a halogen light source of about 150 W.
For low transmittance materials, high power Hg lamps and X
By using an e-lamp light source or selecting and adopting a wavelength region having a high film transmittance, it is possible to improve the foreign matter detection rate in the film resin layer.

【００６６】撮像装置３５は、斜方照明により顕在化さ
れた粒子（フィラー）３と黒異物４を撮像する。該撮像
された画像は、第１の判定処理部５１ａに備えられた画
像入力ボードを介して、ロータリエンコーダ２２からの
座標情報とともに第１の判定処理部５１ａに入力され
る。ロータリエンコーダ２２は、送り方向の座標を少な
くとも１００μｍ以下の分解能を有するものとする。第
１の判定処理部５１ａに入力した撮像画像（観察画像）
は、図１１に示すように、１フレーム分の画像、例えば
２０４８×２０４８画素分を一時的に保存し（ステップ
Ｓ８２）、ＲＧＢの何れか１色または平均値を用いて画
像処理を行う。本装置の特徴としては、透過照明装置を
用いた検査装置とは異なり、斜方照明装置３２ａ、３２
ｂにより粒子３と黒異物４の明るさ濃淡度に差を生じる
ことができるため、煩雑な画像処理を行う必要が無く、
画像処理時間の短縮が可能である。The image pickup device 35 picks up the image of the particles (filler) 3 and the black foreign matter 4 which are exposed by the oblique illumination. The captured image is input to the first determination processing unit 51a together with the coordinate information from the rotary encoder 22 via the image input board provided in the first determination processing unit 51a. The rotary encoder 22 has a resolution in the feed direction of at least 100 μm or less. Captured image (observation image) input to the first determination processing unit 51a
11, an image for one frame, for example, 2048 × 2048 pixels is temporarily stored (step S82), and image processing is performed using any one color of RGB or an average value. The feature of this device is that, unlike the inspection device using the transillumination device, the oblique illumination devices 32a, 32
Since the difference in brightness of the particles 3 and the black foreign matter 4 can be generated by b, there is no need to perform complicated image processing,
Image processing time can be shortened.

【００６７】即ち、図１３に示すように、樹脂層６中の
粒子３は、斜方照明装置３２ａ、３２ｂにより、７２で
示すように黒く検出されるが、濃淡度は７１で示す黒異
物４と比べて７３で示す樹脂層６との差が小さいため、
判定閾値７４による黒判定により黒異物のみを検出する
ことができる。これは、図１４に示すように、粒子３に
斜方照明装置３２ａ、３２ｂからの検査光である斜方照
明３７が照射されると、粒子３が球状に近いため、等方
的に反射光３９が発生し、該反射光３９の一部が対物レ
ンズ３６を通過して撮像装置３５により撮像される。こ
の撮像の際、粒子３の頂点部のみが、反射光を発生する
反射部として観察されるため、その大きさは画素に対し
て小さく、その他の部分は暗部であり、画素あたりの濃
淡度はマージされ、粒子３の濃淡波形７２が得られる。
黒異物４の場合には、反射率が小さいだけではなく、図
１５に示すようにレンズ３６を通過して撮像装置３５に
入射する反射光３８が小さく、粒子３より黒い濃淡波形
７１が得られ、明るさ判定閾値７４を設けることで、黒
異物のみを検出することができる。That is, as shown in FIG. 13, the particles 3 in the resin layer 6 are detected as black as indicated by 72 by the oblique illumination devices 32a and 32b, but the density of the black foreign matter 4 is indicated by 71. The difference from the resin layer 6 shown by 73 is smaller than
Only the black foreign matter can be detected by the black judgment based on the judgment threshold value 74. This is because when the particles 3 are irradiated with the oblique illumination 37 which is the inspection light from the oblique illumination devices 32a and 32b as shown in FIG. 39 is generated, and a part of the reflected light 39 passes through the objective lens 36 and is imaged by the imaging device 35. At the time of this imaging, only the apex portion of the particle 3 is observed as a reflection portion that generates reflected light, so the size is smaller than the pixel, and the other portion is a dark portion, and the gray level per pixel is The density waveform 72 of the particles 3 is obtained by merging.
In the case of the black foreign matter 4, not only the reflectance is small, but also the reflected light 38 that passes through the lens 36 and enters the image pickup device 35 is small as shown in FIG. By providing the brightness determination threshold value 74, it is possible to detect only the black foreign matter.

【００６８】また、粒子３が黒異物４と同等の濃淡度を
有している場合でも、２値化処理によりこれらの異物候
補を取り上げ、これらの異物候補の中からラベリングに
より検出対象サイズの黒異物４のみを取り出して（面積
による閾値処理をすることによって）、ノイズや粒子３
の凝集から発生する虚報を除去して、黒異物４のみを検
出する。Further, even when the particles 3 have the same shade as the black foreign matter 4, these foreign matter candidates are picked up by the binarization process, and the black of the size to be detected is labeled from these foreign matter candidates by labeling. Only the foreign matter 4 is taken out (by thresholding by area), and noise or particles 3
The black foreign matter 4 is detected only by removing the false information generated from the aggregation of the.

【００６９】第１の検出光学系３０において、高精細な
検出分解能を有する検出系を採用した場合には、撮像装
置３５で撮像される観察画像（高精細な検出分解能を有
する画素単位では）において粒子３と黒異物４の濃淡度
の差が小さい場合があるが、上記処理方法の他に、平滑
化処理により画像をマージすることで黒異物４のみを顕
在化することが可能である。When a detection system having a high-definition detection resolution is adopted in the first detection optical system 30, in the observation image picked up by the image pickup device 35 (in pixel units having a high-definition detection resolution). Although the difference in shade between the particles 3 and the black foreign matter 4 may be small, it is possible to make only the black foreign matter 4 visible by merging images by a smoothing process in addition to the above processing method.

【００７０】以上説明したように、第１の判定処理部５
１ａは、黒異物４が検出されると、制御装置２３からの
座標情報とともにこの検査結果のデータをデータ解析部
５３に転送する。この黒異物データは、異物発生位置座
標、異物の種類、異物の面積（または異物の長径）、異
物数、検査長などから構成され、適宜に表示装置５４に
表示される。また、これと同時に、第１の判定処理部５
１ａにステップＳ８２において一時保存されていた１フ
レーム分の画像を座標情報とともに第１の判定処理部５
１ａから記録装置５２ａに保存して（ステップＳ９
０）、検査終了後、異物の状態を観察できるような構成
となっている。黒異物が存在しなかった場合は、そのフ
レームの画像を破棄する（ステップＳ８９）。As described above, the first judgment processing section 5
When the black foreign matter 4 is detected, 1a transfers the data of this inspection result to the data analysis section 53 together with the coordinate information from the control device 23. The black foreign matter data includes foreign matter generation position coordinates, foreign matter type, foreign matter area (or foreign matter major axis), number of foreign matter, inspection length, and the like, and is appropriately displayed on the display device 54. At the same time, the first determination processing unit 5
1a of the image for one frame temporarily stored in 1a together with the coordinate information in the first determination processing unit 5
From 1a to the recording device 52a (step S9
0), the structure is such that the state of the foreign matter can be observed after the inspection is completed. If no black foreign matter is present, the image of that frame is discarded (step S89).

【００７１】次に、第２のステーションＳｔ２において
の白異物５の検出についての第１の実施例について説明
する。背景より明るく検出される金属異物（白異物）５
の検出例を図１６に示す。斜方照明装置３２ａ、３２ｂ
が黒異物４の顕在化に有効なのに対して、垂直落射照明
装置４２〜４４による垂直落射照明は、フィルム樹脂層
２の厚さ方向に点在する白異物５に対して、高い検出感
度が得られる。図１６のＢ−Ｂ‘の断面濃淡波形は、図
１７に示すように、白異物５の濃淡度８１が粒子３の濃
淡度８２に対して差が生じる。なお、８３は背景から検
出される濃淡度を示す。垂直落射照明４７による粒子３
と白異物５の反射光の違いを、図１８と図１９とに示
す。粒子３と白異物５の物質の反射率の違いを利用し
て、垂直落射照明装置４２〜４４に波長選択フィルタ４
３を挿入して、粒子３と白異物である金属異物５との反
射率の差が大きい波長領域を検査光４７として選択する
ことで、白異物５からの反射光４８と粒子３からの反射
光４９との間に差を得ることができ、検出感度を向上す
ることが可能である。Next, a first embodiment for detecting the white foreign matter 5 in the second station St2 will be described. Metallic foreign matter (white foreign matter) that is detected brighter than the background 5
FIG. 16 shows an example of detection of. Oblique illumination devices 32a, 32b
Is effective for revealing the black foreign matter 4, whereas the vertical epi-illumination by the vertical epi-illumination devices 42 to 44 provides high detection sensitivity for the white foreign matter 5 scattered in the thickness direction of the film resin layer 2. To be As shown in FIG. 17, in the cross-sectional grayscale waveform of BB ′ in FIG. 16, the grayscale level 81 of the white foreign matter 5 is different from the grayscale level 82 of the particle 3. It should be noted that reference numeral 83 indicates the gray level detected from the background. Particle 3 by vertical epi-illumination 47
18 and 19 show the difference in the reflected light between the white foreign matter 5 and the white foreign matter 5. Utilizing the difference in reflectance between the particles 3 and the white foreign matter 5, the vertical epi-illumination devices 42 to 44 are provided with the wavelength selection filter 4.
3 is selected and a wavelength region having a large difference in reflectance between the particle 3 and the metallic foreign matter 5 which is a white foreign matter is selected as the inspection light 47, the reflected light 48 from the white foreign matter 5 and the reflection from the particle 3 are selected. It is possible to obtain a difference from the light 49 and improve the detection sensitivity.

【００７２】第２の判定処理部５１ｂにおける画像処理
は、黒異物４と同様に、図１０の処理フローに従って一
連の画像処理を施し、白異物５の検出を行う。第２の判
定処理部５１ｂは、ステップＳ８５において判定閾値８
４による白判定の２値化処理により白異物５の候補をあ
げ、ステップＳ８７においてラベリング処理により検出
対象の大きさ（例えば同じラベリング処理が施された面
積）から白異物５を弁別して検出し、この検出結果をデ
ータ解析部５３に出力する。In the image processing in the second determination processing section 51b, as in the case of the black foreign matter 4, a series of image processing is performed according to the processing flow of FIG. 10, and the white foreign matter 5 is detected. The second determination processing unit 51b determines the determination threshold value 8 in step S85.
The white foreign matter 5 is selected by the binarization processing of the white determination by 4, and the white foreign matter 5 is discriminated and detected from the size of the detection target (for example, the area subjected to the same labeling processing) by the labeling processing in step S87, The detection result is output to the data analysis unit 53.

【００７３】以上説明したように、第２の判定処理部５
１ｂは、白異物５が検出されると、制御装置２３からの
座標情報とともにこの検査結果のデータをデータ解析部
５３に転送する。この白異物データは、異物発生位置座
標、異物の種類、異物の面積（または長径）、異物数、
検査長などから構成され、適宜に表示装置５４に表示さ
れる。また、これと同時に、ステップＳ８２において一
時保存されていた１フレーム分の画像を座標情報ととも
に第２の判定処理部５１ｂから記録装置５２ｂに保存し
（ステップＳ９０）、検査終了後、異物の状態を観察で
きるような構成となっている。白異物が存在しなかった
場合は、そのフレームの画像を破棄する（ステップＳ８
９）。As described above, the second judgment processing section 5
When the white foreign matter 5 is detected, the 1b transfers the inspection result data together with the coordinate information from the control device 23 to the data analysis section 53. The white foreign matter data includes foreign matter occurrence position coordinates, foreign matter type, foreign matter area (or major axis), number of foreign matter,
It is composed of an inspection length and the like, and is appropriately displayed on the display device 54. At the same time, the image for one frame temporarily stored in step S82 is stored in the recording device 52b from the second determination processing unit 51b together with the coordinate information (step S90). It is structured so that it can be observed. If there is no white foreign matter, the image of that frame is discarded (step S8).
9).

【００７４】また、第１のステーションＳｔ１において
の白異物５の検出についての第２の実施例について説明
する。即ち、検査光３７として粒子３と白異物である金
属異物５との反射率の差が大きい波長領域を選択するこ
とで、フィルム樹脂層２の表面近傍に存在する金属異物
（白異物）５からは、斜方照明装置３２ａ、３２ｂでも
背景よりも十分な反射光が得られるため、黒異物４の判
定に加えて、背景よりも明るい判定閾値による白判定で
も検出することが可能となる。A second embodiment for detecting the white foreign matter 5 in the first station St1 will be described. That is, by selecting as the inspection light 37 a wavelength region in which the difference in reflectance between the particles 3 and the metallic foreign matter 5 which is a white foreign matter is large, the metallic foreign matter (white foreign matter) 5 existing near the surface of the film resin layer 2 is selected. In addition, since the oblique illumination devices 32a and 32b can also obtain a sufficient amount of reflected light as compared with the background, it is possible to detect not only the black foreign matter 4 but also the white determination using a determination threshold brighter than the background.

【００７５】この場合、垂直落射照明系４０と斜方照明
系３０の双方の判定処理部５１ａ、５１ｂで重畳して異
物が検出される可能性があるため、データ解析部５３に
おいて同一座標情報を有する異物を同一異物と判定する
ことによって、重畳して異物を検出するのを防止してそ
の判定結果を出力することができる。In this case, there is a possibility that foreign matter may be detected in the judgment processing units 51a and 51b of both the vertical epi-illumination system 40 and the oblique illumination system 30 by overlapping, so that the data analysis unit 53 outputs the same coordinate information. By determining that the foreign matter is the same foreign matter, it is possible to prevent the foreign matter from being detected by being superimposed, and to output the determination result.

【００７６】以上、ステップＳ９１での検査結果（製品
品番、異物発生位置、異物サイズ、異物種など）は、デ
ータ解析部５３から検査結果記録装置１０２に転送さ
れ、検査結果を被検査対象であるフィルム１０の例えば
終端部にマーキングする（ステップＳ９３）。As described above, the inspection result (product number, foreign material generation position, foreign material size, foreign material type, etc.) in step S91 is transferred from the data analysis unit 53 to the inspection result recording device 102, and the inspection result is the object to be inspected. For example, the end portion of the film 10 is marked (step S93).

【００７７】このように、フィルム１０に関する検査結
果である上記異物情報を製品情報と共に記録（印刷、記
憶も含む）または添付して提供することによって、フィ
ルムに関する信頼性の情報がユーザーに提供され、フィ
ルムとしての製品の付加価値を向上させることが可能と
なる。As described above, by recording (including printing and storing) or attaching the foreign substance information, which is the inspection result of the film 10, together with the product information, the reliability information on the film is provided to the user, It is possible to improve the added value of the product as a film.

【００７８】次に、本発明に係るフィルムに対する異物
検査の第２の実施の形態について説明する。第２の実施
の形態は、被検査対象１０として、半透明フィルムであ
るポリイミドフィルムの場合である。ポリイミドフィル
ムは半導体パッケージやフレキシブル基板に用いられて
おり、その絶縁性がデバイス特性に大きく影響する。Next, a second embodiment of the foreign matter inspection for the film according to the present invention will be described. The second embodiment is a case where the object to be inspected 10 is a polyimide film which is a semitransparent film. Polyimide films are used in semiconductor packages and flexible substrates, and their insulating properties greatly affect device characteristics.

【００７９】第２の実施の形態の異物検査装置は、第１
の実施の形態である斜方照明装置３２ａ、３２ｂと垂直
落射照明装置４２〜４４を用いることにより、金属種の
異物５を顕在化し、品質上問題の生じない絶縁性の異物
４と致命欠陥となる金属種の異物５を弁別することがで
きる。ポリイミドフィルムは、図１に示す搬送系２１
ａ，２１ｂにより搬送され、上流の斜方照明装置３２
ａ、３２ｂを有する第１の検出光学系３０により、黒異
物４の有無を検査し、下流の垂直落射照明装置４２〜４
４を有する第２の検出光学系４０により、金属種の異物
（白異物）５の有無を検査する。それぞれの検出系の第
１および第２の判定処理部５１ａ、５１ｂを経て、デー
タ解析部５３に検査データを転送し、第２の検出光学系
４０で異物が検出された場合は、フィルム中に金属種の
異物５が存在すると判断する。金属以外の異物を検出対
象とするときは、第１の検出光学系３０からのみ検出さ
れたものを、非金属異物とする。ポリイミドフィルムと
は異なる樹脂種の異物４を検出する場合は、前述の第１
の実施の形態のように、ポリイミドと樹脂種異物４の反
射・吸収特性の相違を利用して弁別をすることができ
る。The foreign matter inspection apparatus according to the second embodiment has the first aspect.
By using the oblique illumination devices 32a and 32b and the vertical epi-illumination devices 42 to 44, which are the embodiments of the present invention, the foreign matter 5 of the metal species is revealed, and the insulating foreign matter 4 and the fatal defect which do not cause a quality problem. It is possible to discriminate the foreign substances 5 of different metal species. The polyimide film is used as the transport system 21 shown in FIG.
a, 21b, and an oblique illumination device 32 upstream
The presence of the black foreign matter 4 is inspected by the first detection optical system 30 having a and 32b, and the vertical epi-illumination devices 42 to 4 on the downstream side are inspected.
A second detection optical system 40 having 4 inspects the presence or absence of a foreign substance (white foreign substance) 5 of a metal species. When the inspection data is transferred to the data analysis unit 53 through the first and second determination processing units 51a and 51b of the respective detection systems and the foreign matter is detected by the second detection optical system 40, it is detected in the film. It is determined that the foreign matter 5 of the metal type is present. When a foreign substance other than a metal is to be detected, a foreign substance detected only by the first detection optical system 30 is a non-metallic foreign substance. When detecting the foreign substance 4 of a resin type different from that of the polyimide film,
As in the above embodiment, it is possible to make a distinction by utilizing the difference in the reflection / absorption characteristics of the polyimide and the resin type foreign matter 4.

【００８０】次に、本発明に係るフィルムに対する異物
検査の第３の実施の形態について説明する。第３の実施
の形態は、内部のフィラー、例えば粒子２０２が等間隔
若しくは繰り返しパターンで存在するフィルム状被検査
対象２００を連続的に走行させる場合である。なお、該
被検査対象２００は、図２１で示すように、粒子２０２
が等間隔若しくは繰り返しパターンで存在するフィルム
樹脂層２０１をフィルム基材層２０４に貼り付けたもの
である。従って、本発明に係るフィルム２００に対する
異物検査は、第1および第２の実施の形態と同様に、取
扱いおよび連続的な送りを容易にするために、フィルム
樹脂層２０１をフィルム基材層２０４に貼り付けた状態
で行われる。Next, a third embodiment of the foreign matter inspection for the film according to the present invention will be described. The third embodiment is a case in which a film-shaped inspection target 200 in which internal fillers, for example, particles 202 are present at equal intervals or in a repeating pattern is continuously run. The object 200 to be inspected is, as shown in FIG.
Is attached to the film base material layer 204 with the film resin layers 201 existing at equal intervals or in a repeating pattern. Therefore, in the foreign matter inspection for the film 200 according to the present invention, as in the first and second embodiments, the film resin layer 201 is formed on the film base layer 204 in order to facilitate handling and continuous feeding. It is done in the pasted state.

【００８１】そして、図２０および図２１に示すよう
に、フィルム２０１中に粒子２０２が等間隔に並んでい
る被検査対象２００の場合には、予めこの粒子パターン
信号を第１および第２の判定処理部５１ａ、５１ｂに入
力しておくことで、斜方照明光学系３２ａ、３２ｂでの
画像処理の際にこの粒子パターンから外れたものを異物
２０３として認識することが可能となる。さらに、この
異物２０３が電子デバイスで用いる際に短絡を起こす致
命的な金属異物５であるか、短絡への影響は無い樹脂の
塊異物４であるかの判断は、搬送系の下流に位置する垂
直落射照明光学系４２〜４５で撮像を行い、第２の判定
処理部５１ｂを経て、データ解析部５３で判定する。Then, as shown in FIGS. 20 and 21, in the case of the object 200 to be inspected in which the particles 202 are arranged at equal intervals in the film 201, this particle pattern signal is determined in advance for the first and second determinations. By inputting the data to the processing units 51a and 51b, it is possible to recognize, as the foreign matter 203, those that deviate from this particle pattern when performing image processing by the oblique illumination optical systems 32a and 32b. Furthermore, the determination as to whether the foreign matter 203 is a fatal metallic foreign matter 5 that causes a short circuit when used in an electronic device or a resin lump foreign matter 4 that does not affect the short circuit is located downstream of the transport system. Imaging is performed by the vertical epi-illumination optical systems 42 to 45, and the data is analyzed by the data analysis unit 53 via the second determination processing unit 51b.

【００８２】ところで、粒子２０２が等間隔に並んでい
る場合には、第１のステーションＳｔ１として、斜方照
明光学系の代わりに、図２１および図２２に示すような
透過照明光学系で構成してもよい。勿論、斜方照明光学
系とは、別に、図２１および図２２に示す透過照明光学
系を設けても良い。即ち、透過照明光学系の場合は、フ
ィルム２００の裏面側からガイドローラ２０９の間を通
して透過照明２０５を行い、透過光を対物レンズ２０７
で集光して撮像装置（ＣＣＤイメージセンサ、ＴＤＩイ
メージセンサなど）２０６で受光して画像信号を出力す
るように構成される。その結果、図２３に示すように、
撮像装置２０６から撮像して得られた画像信号を、異物
検出とは別の画像処理系統（データ解析部５３でもよ
い。）で、画像信号から粒子２０２のデータを集計す
る。即ち、ステップＳ２０１において撮像装置２０６か
ら撮像して得られた画像を入力し、ステップＳ２０２に
おいて所定の閾値で２値化することによって、図２４に
示す如く、粒子２０２および金属種等の異物は黒画像と
して検出できることになる。このようにステップＳ２０
２で得られた２値化画像を、異物検出を行うステップＳ
２０５と、粒子２０２の状態を調べるステップＳ２０３
に分割する。By the way, when the particles 202 are arranged at equal intervals, the first station St1 is constituted by a transmission illumination optical system as shown in FIGS. 21 and 22 instead of the oblique illumination optical system. May be. Of course, the transmission illumination optical system shown in FIGS. 21 and 22 may be provided separately from the oblique illumination optical system. That is, in the case of the transmitted illumination optical system, the transmitted illumination 205 is performed from the back side of the film 200 through the guide roller 209, and the transmitted light is transmitted through the objective lens 207.
The image pickup device (CCD image sensor, TDI image sensor, etc.) 206 receives the light and outputs an image signal. As a result, as shown in FIG.
The image signal obtained by picking up the image from the image pickup device 206 is summed up the data of the particles 202 from the image signal by an image processing system (may be the data analysis section 53) different from the foreign matter detection. That is, by inputting an image obtained by imaging from the image pickup device 206 in step S201 and binarizing it with a predetermined threshold value in step S202, as shown in FIG. 24, the particles 202 and foreign matters such as metal species are black. It can be detected as an image. In this way, step S20
The binary image obtained in 2 is detected in step S
205 and step S203 for checking the state of the particles 202
Split into.

【００８３】異物検出を行うステップＳ２０５は、上記
２値化画像信号を基に、例えば粒子ピッチずらした参照
２値化画像信号との論理を取ることによってマスク処理
する（パターンマッチングする）ことによって粒子パタ
ーン信号を得ることができる。この粒子パターン信号を
第１および第２の判定処理部５１ａ、５１ｂに入力して
おくことによって、第１および第２の判定処理部５１
ａ、５１ｂを経て、データ解析部５３において、異物２
０３が電子デバイスで用いる際に短絡を起こす致命的な
金属種異物５であるか、短絡への影響は無い樹脂の塊異
物４であるかの判断を行うことが可能となる（Ｓ２０
６）。特に、第２の判定処理部５１ｂからは金属種の異
物５が検出されることになる。In step S205 for detecting foreign matter, the particles are subjected to mask processing (pattern matching) based on the binary image signal, for example, by taking a logic with a reference binary image signal whose particle pitch is shifted. A pattern signal can be obtained. By inputting this particle pattern signal to the first and second determination processing units 51a and 51b, the first and second determination processing units 51 and 51 are input.
After passing through a and 51b, in the data analysis unit 53, the foreign matter 2
It is possible to determine whether 03 is a fatal metallic species foreign substance 5 that causes a short circuit when used in an electronic device or a resin lump foreign substance 4 that does not affect the short circuit (S20).
6). Especially, the foreign matter 5 of the metal species is detected from the second determination processing unit 51b.

【００８４】そして、ステップＳ２０３では、粒子２０
２の粒径２１１（および形状）、ピッチ２１２、粒子２
０２の欠落２１４等のデータを例えば２値化画像信号か
ら測定する。これらの測定結果をステップＳ２０４で統
計処理して、粒径やピッチの分布などをデータとして解
析する。解析結果は、例えば図２５に示すように、粒径
２１１およびピッチ２１２の分布２１７を表示し、ある
閾値２１８以内であれば良品、それ以外は不良と判定す
る。全体の統計処理の他に、任意の領域で統計分布処理
を行い、異物発生時と同様に、不良位置を被検査対象２
００に記録または添付する。このように、これまでの異
物２０３の有無だけではなく、粒子２０２の欠落２１４
による接続不良の観点からの品質検査も可能である。Then, in step S203, the particles 20
2 particle size 211 (and shape), pitch 212, particle 2
The data such as the missing portion 214 of 02 is measured from the binarized image signal, for example. These measurement results are statistically processed in step S204, and the particle size, pitch distribution, etc. are analyzed as data. As the analysis result, for example, as shown in FIG. 25, a distribution 217 of the grain size 211 and the pitch 212 is displayed, and if it is within a certain threshold value 218, it is determined that the product is non-defective and the others are defective. In addition to the overall statistical processing, statistical distribution processing is performed in an arbitrary area, and defective positions are inspected 2 as in the case of foreign matter generation.
Record or attach to 00. As described above, not only the presence or absence of the foreign matter 203 until now but also the missing particle 214
It is also possible to perform quality inspection from the viewpoint of connection failure due to.

【００８５】これらのデータは、粒子パターンを有して
いない前記フィルム検査と同様に、マーキング装置１０
２により、フィルムの終端部に製品番号とフィルム検査
結果、さらに粒子のデータが記録または添付される。こ
のように、フィルム２００に関する検査結果である上記
異物情報を製品情報(粒子データも含む)と共に記録（印
刷、記憶も含む）または添付して提供することによっ
て、フィルムに関する信頼性の情報がユーザーに提供さ
れ、フィルムとしての製品の付加価値を向上させること
が可能となる。なお、繰返しパターンを有するフィルム
の場合でも、同様な処理により、異物検査を行って、そ
の結果をフィルムに記録または添付することが可能とな
る。These data are used in the marking device 10 as in the film inspection without grain pattern.
2, the product number, the film inspection result, and the particle data are recorded or attached to the end of the film. As described above, by providing (attached to) recording (including printing and storing) or attachment together with the product information (including particle data) the above-mentioned foreign substance information which is the inspection result regarding the film 200, the reliability information regarding the film can be provided to the user. It will be possible to improve the added value of the product as a film. Even in the case of a film having a repeating pattern, it is possible to perform a foreign matter inspection and record or attach the result to the film by the same process.

【００８６】次に、本発明に係るフィルムに対する異物
検査の第４の実施の形態について説明する。第４の実施
の形態は、内部のフィラー、粒子が等間隔若しくは繰り
返しパターンで存在するフィルム状被検査対象２００を
連続的に走行させる場合である。この場合、第１のステ
ーションＳｔ１に図２６に示す構成の光学系を設置して
もよい。即ち、内部の粒子２０２が等間隔若しくは繰り
返しパターンで存在するフィルム状被検査対象２００に
レーザ光２２２を斜方照明するように構成する。レーザ
光２２２が被検査対象２００に照射されると、入射光は
回折、散乱される。この回折光および散乱光は、対物レ
ンズ２２１を通過し、空間フィルタ２２０および偏光板
を通過して光検出器（イメージセンサ等）２１９に入射
する。この検出器２１９への入射光の光量によりフィル
ム中の異物の有無を検出することができる。即ち、フィ
ルム中に異物が存在した場合、パターン以外からの散乱
光が発生するため、この散乱光量の増加を光検出器２１
９により検出して異物の存在を検出することが可能とな
る。しかし、光検出器２１９への入射光には異物による
散乱光のみではなく、粒子や繰返しパターンによる回折
光も含まれるため、この回折光を除去して異物の検出感
度を向上させるために空間フィルタ２２０および偏光板
を用いる。その結果、図２７に示すように、スキャン位
置に対応した検出信号２２５から異物２０３の中の金属
異物３を示す散乱光信号２２６が得られる。Next, a fourth embodiment of the foreign matter inspection for the film according to the present invention will be described. The fourth embodiment is a case in which a film-shaped inspection target 200 in which internal fillers and particles are present at equal intervals or in a repeating pattern is continuously run. In this case, the optical system having the configuration shown in FIG. 26 may be installed in the first station St1. That is, the film 202 to be inspected in which the internal particles 202 are present at equal intervals or in a repeating pattern is obliquely illuminated with the laser light 222. When the laser light 222 irradiates the inspection target 200, the incident light is diffracted and scattered. The diffracted light and scattered light pass through the objective lens 221, pass through the spatial filter 220 and the polarizing plate, and enter the photodetector (image sensor or the like) 219. The presence or absence of foreign matter in the film can be detected by the amount of light incident on the detector 219. That is, when a foreign substance is present in the film, scattered light from other than the pattern is generated.
It becomes possible to detect the presence of the foreign matter by detecting by 9. However, the incident light to the photodetector 219 includes not only scattered light due to foreign matter but also diffracted light due to particles and repetitive patterns. Therefore, in order to remove this diffracted light and improve the foreign matter detection sensitivity, a spatial filter is used. 220 and a polarizing plate are used. As a result, as shown in FIG. 27, a scattered light signal 226 indicating the metallic foreign matter 3 in the foreign matter 203 is obtained from the detection signal 225 corresponding to the scan position.

【００８７】更に、フィルム樹脂層２０１中の異物２０
３としての金属種異物５を検出する場合には、第２のス
テーションＳｔ２に設けられた垂直落射照明系を用い
る。このようにして、粒子２０２が等間隔若しくは繰り
返しパターンで存在する被検査対象２００の中に存在す
る異物２０３を検出して、その検査結果を被検査対象２
００に記録または添付することが可能となる。Further, the foreign matter 20 in the film resin layer 201
When detecting the metallic foreign matter 5 as 3, the vertical epi-illumination system provided in the second station St2 is used. In this way, the foreign matter 203 existing in the inspected object 200 in which the particles 202 exist at equal intervals or in a repeating pattern is detected, and the inspection result is detected.
It is possible to record or attach to 00.

【００８８】次に、本発明に係るフィルムに対する異物
検査の第５の実施の形態について説明する。第５の実施
の形態は、内部のフィラー、粒子３が任意に存在するフ
ィルム状被検査対象１０または粒子２０２が等間隔若し
くは繰り返しパターンで存在するフィルム状被検査対象
２００を連続的に走行させる場合である。即ち、第５の
実施の形態では、図２８および図２９に示すように、被
検査対象１０、２００を連続的に送る（移動させる）送
り機構２０と、磁場の変化を観測する磁気センサ部２２
０と、磁気センサ部２２０からの信号を基に信号処理し
て金属異物などを検査・解析する検査・解析部５０と、
マーキング装置１０２などを備えて構成される。検査・
解析部５０は、金属種などの異物５を、粒子３、２０２
と弁別して判定する判定処理部５１と、該判定処理部５
１で判定された異物を示す信号等を制御装置２３から得
られる座標情報を付与して逐次記憶する記憶部５２と、
前記判定処理部５１で判定された結果および記憶部５２
に記憶された信号（座標情報も含む）等に基づいて異物
の発生状況を集計して解析するデータ解析部５３と、該
データ解析部５３で解析された結果を出力して表示する
表示装置５４とから構成される。磁気センサ部２２０
は、被検査対象１０、２００が通過した際、金属異物５
が及ぼす磁界の変化を検出して金属異物５を検出する磁
気センサ２２７ａ、２２７ｂを備えて構成される。Next, a fifth embodiment of the foreign matter inspection for the film according to the present invention will be described. The fifth embodiment is a case where a film-shaped inspection target 10 in which internal fillers and particles 3 are arbitrarily present or a film-shaped inspection target 200 in which particles 202 are present at equal intervals or in a repeating pattern is continuously run. Is. That is, in the fifth embodiment, as shown in FIGS. 28 and 29, the feeding mechanism 20 that continuously feeds (moves) the inspected objects 10 and 200, and the magnetic sensor unit 22 that observes the change in the magnetic field.
0, and an inspection / analysis unit 50 for inspecting / analyzing metallic foreign matters and the like by performing signal processing based on a signal from the magnetic sensor unit 220.
A marking device 102 and the like are provided. Inspection
The analysis unit 50 converts the foreign matter 5 such as metal species into particles 3, 202.
And a determination processing unit 51 that discriminates and determines
A storage unit 52 for sequentially storing a signal or the like indicating the foreign substance determined in 1 by adding coordinate information obtained from the control device 23,
Results determined by the determination processing unit 51 and storage unit 52
A data analysis unit 53 that aggregates and analyzes the generation status of foreign substances based on signals (including coordinate information) stored in the display unit, and a display device 54 that outputs and displays the results analyzed by the data analysis unit 53. Composed of and. Magnetic sensor unit 220
Is a metallic foreign matter 5 when the inspected object 10, 200 has passed.
The magnetic sensors 227a and 227b for detecting the foreign metal 5 by detecting the change in the magnetic field exerted by

【００８９】等間隔に粒子２０２が存在する場合には、
磁気センサ２２７ａ、２２７ｂによって、一定の磁場の
変化が観測されるが、その間に金属異物５が存在すると
磁場に乱れが発生し、信号処理部２３０において、図３
０に示す如く、磁気信号２４１が弱まることにより金属
異物信号２４２として観測され、その乱れから金属異物
５の存在を検出することが可能となる。When the particles 202 are present at equal intervals,
A constant change in the magnetic field is observed by the magnetic sensors 227a and 227b, but if the metallic foreign matter 5 is present therebetween, the magnetic field is disturbed, and the signal processing unit 230 causes the magnetic field to be disturbed.
As indicated by 0, the magnetic signal 241 is weakened and observed as a metallic foreign matter signal 242, and the presence of the metallic foreign matter 5 can be detected from the disturbance.

【００９０】さらに、磁気センサ部２２０として、記録
部（磁化部）２２７ａ、２２７ｂと読取部２２８を設
け、判定処理部５１において、読取部２２８で読取られ
た金属種による信号の強度変化から、金属種の異物の弁
別も可能となる。上記粒子３、２０２に比べて磁化率の
高いまたは低い金属種であれば、異物の存在がわかる。
さらに、図３１に２４４、２４５で示すように、金属種
でも磁化率が大きく異なるため、どの金属種が異物とし
て混入したかを、判定処理部５１において、信号強度２
４３から弁別が可能となる。Further, recording units (magnetization units) 227a and 227b and a reading unit 228 are provided as the magnetic sensor unit 220, and in the determination processing unit 51, the change in the signal intensity due to the metal species read by the reading unit 228 causes It is also possible to discriminate between different kinds of foreign matter. The presence of a foreign substance can be seen if the metal species has a magnetic susceptibility higher or lower than that of the particles 3 and 202.
Further, as indicated by 244 and 245 in FIG. 31, since the magnetic susceptibilities are greatly different even in the metal species, the determination processing unit 51 determines in the determination processing unit 51 which metal species is mixed as the foreign matter.
Discrimination is possible from 43.

【００９１】以上、フィルム状被検査対象１０、２００
に混入した金属異物５に関する情報が判定処理部５１に
おいて判定されて記憶部５２に逐次記憶されることにな
る。従って、データ解析部５３は、判定処理部５１で判
定される金属異物５に関する情報および記憶部５２に記
憶された信号等を基に、一つの被検査対象に対して金属
異物５に関する情報を集計し、その結果を例えばマーキ
ング装置１０２に出力して記録または添付することが可
能となる。As described above, the film-shaped inspection object 10, 200
The information regarding the metallic foreign matter 5 mixed in the is determined by the determination processing unit 51 and sequentially stored in the storage unit 52. Therefore, the data analysis unit 53 collects the information on the metallic foreign matter 5 for one inspection target based on the information on the metallic foreign matter 5 determined by the determination processing unit 51, the signal stored in the storage unit 52, and the like. Then, the result can be output to, for example, the marking device 102 to be recorded or attached.

【００９２】なお、上記第１乃至第５の実施の形態の他
に、食品用のラップに含まれる金属異物検査、医療用の
カテーテルに用いられる樹脂材料中に存在する異物検査
にも同様の方法で適用することができる。また、上記第
１乃至第５の実施の形態としては、ＰＣを用いたソフト
処理を例に説明したが、画像処理はこれに限らず画像処
理ボードによるハード処理でも同様である。In addition to the above-described first to fifth embodiments, the same method is used for the inspection of metallic foreign substances contained in food wraps and the inspection of foreign substances present in resin materials used for medical catheters. Can be applied at. Further, in the above-described first to fifth embodiments, the software processing using the PC has been described as an example, but the image processing is not limited to this and the hardware processing by the image processing board is similar.

【００９３】また、上記第１乃至第５の実施の形態とし
ては、樹脂などで構成されたフィルムを被検査対象とし
たが、鋼板などの長物検査でも、検査し、検査結果を記
録する工程は同様である。また、実施例ではフィラーが
粒子状のもので説明したが、矩形などの場合にも適用可
能である。また、実施例ではフィルム全面検査での実施
の形態であるが、部分検査においても、製品の品質およ
び情報管理情報として利用することが可能である。In the first to fifth embodiments described above, the film made of resin or the like is an object to be inspected, but in the inspection of a long object such as a steel plate, the step of inspecting and recording the inspection result is not performed. It is the same. Further, in the embodiment, the filler is described as being in the form of particles, but it is also applicable to the case of a rectangle or the like. Further, although the embodiment is an embodiment in which the film is entirely inspected, it can be used as the product quality and information management information even in the partial inspection.

【００９４】次に、フィルム１０、２００等の製品が、
製品情報および異物検査結果の情報を記録または添付し
て提供を受けて、加工工程である例えば圧着工程に利用
する場合の実施の形態について、図２を用いて説明す
る。即ち、図１０に示すように、マーキング工程Ｓ９３
においてフィルムの品質情報である異物等の欠陥情報を
記録または添付されて提供を受けたフィルム１０、２０
０について、加工工程である例えば圧着工程Ｓ９４にお
いて、上記記録または添付された欠陥情報を読み取り、
この読み取られた欠陥情報に基づいて異物が混入してい
ない正常な個所のみ製品に適用する。即ち、全体制御部
１０５は、品質情報である異物等の欠陥情報を記録また
は添付されて提供を受けたフィルム１０、２００につい
て、上記記録または添付された欠陥情報を読み取り、該
読み取られた欠陥情報を基に不良箇所のフィルムについ
て製品適用しないように管理し、加工装置である圧着装
置を制御することによってフィルム起因による電子デバ
イスの不良発生を防止する。また、繰り返しパターンの
場合も同様な処理により製品適用を行う。Next, the products such as the films 10 and 200 are
An embodiment in the case where the product information and the information of the foreign substance inspection result are recorded or attached to be used and used for a processing step such as a pressure bonding step will be described with reference to FIG. That is, as shown in FIG. 10, the marking step S93
The film 10, 20 for which defect information such as foreign matter, which is quality information of the film, is recorded or attached and provided.
0, in the crimping step S94 which is a processing step, the defect information recorded or attached is read,
Based on the read defect information, only normal parts where no foreign matter is mixed are applied to the product. That is, the overall control unit 105 reads the defect information recorded or attached with respect to the films 10 and 200 which are provided with the defect information such as foreign matter as quality information recorded or attached, and the read defect information. Based on the above, the defective film is managed so as not to be applied to the product, and the crimping device which is a processing device is controlled to prevent the occurrence of the defective electronic device due to the film. Further, in the case of a repeating pattern, the product is applied by the same processing.

【００９５】例えば圧着工程Ｓ９４における圧着システ
ムは、上記の如く提供を受けたロール状のフィルム１
０、２００が設置される供給部１０１ｂと、該供給部１
０１ｂから送り出されるフィルム１０，２００にマーキ
ング工程Ｓ９３で記録または添付された検査結果である
異物等の欠陥情報および製品情報を読み取る読取部１０
４と、該読取部１０４で読取られた欠陥情報および製品
情報等が入力される全体制御部１０５と、上記供給部１
０１ｂから送り出されるフィルム１０，２００から送り
ローラ１２１ａ、１２１ｂおよび１２４ａ、１２４ｂに
よってフィルム基材層１、２０４を剥がして送り込まれ
るフィルム樹脂層２，２０１を所定の寸法に切断して圧
着等の加工を行う加工装置１３０と、全体制御部１０５
からの指令に基づいて加工装置１３０を制御する加工制
御装置１０６とによって構成される。加工装置１３０
は、圧着の場合には、圧着装置１３１ａ、１３１ｂによ
って構成される。なお、フィルムを送り出す送り機構１
２０は、搬送用ピンチローラ１２１ａ、１２１ｂと、こ
れら搬送用ピンチローラ１２１ａ、１２１ｂを駆動する
ロータリエンコーダ付き駆動モータ１２２と、該ロータ
リエンコーダからの信号を基に、フィルム１０、２００
の送り座標値を出力する制御部１２３とから構成され
る。For example, in the pressure bonding system in the pressure bonding step S94, the roll-shaped film 1 provided as described above is used.
0, 200 is installed in the supply unit 101b, and the supply unit 1
The reading unit 10 for reading defect information such as foreign matter and product information which are the inspection results recorded or attached in the marking step S93 on the films 10 and 200 sent from 01b.
4, the overall control unit 105 to which defect information and product information read by the reading unit 104 are input, and the supply unit 1
The film resin layers 2 and 201, which are fed by peeling off the film base material layers 1 and 204 by the feed rollers 121a, 121b and 124a and 124b from the films 10 and 200 fed from 01b, are cut into a predetermined size and processed by pressure bonding or the like. Processing device 130 to be performed, and overall control unit 105
And a processing control device 106 that controls the processing device 130 based on a command from the. Processing device 130
In the case of crimping, is composed of crimping devices 131a and 131b. In addition, the feeding mechanism 1 for feeding the film
Reference numeral 20 denotes a transport pinch roller 121a, 121b, a drive motor 122 with a rotary encoder for driving the transport pinch roller 121a, 121b, and a film 10, 200 based on a signal from the rotary encoder.
And a control unit 123 that outputs the feed coordinate value of the.

【００９６】読取部１０４は、ロール１１０ｂから巻き
解されて送り出されるフィルムの始端部の記録部１１１
ｂから、マーキング工程Ｓ９３で記録または添付された
検査結果である異物等の欠陥情報を読み取り、該読み取
られた欠陥情報を圧着等の加工を行う加工装置１３０に
フィードバックすることにより、フィルムの欠陥発生個
所を避けて製品に利用することができる。これにより、
これまで、異物４、５等の欠陥が混入していることで破
棄していたフィルムを製品に利用することが可能とな
る。The reading unit 104 is a recording unit 111 at the leading end of the film unwound from the roll 110b and sent out.
From b, the defect information of the foreign matter or the like which is the inspection result recorded or attached in the marking step S93 is read, and the read defect information is fed back to the processing device 130 for processing such as crimping, thereby generating a film defect. It can be used for products by avoiding the points. This allows
Films that have been discarded due to the inclusion of defects such as foreign substances 4 and 5 can be used for products.

【００９７】即ち、異物等の欠陥情報などの製品品質情
報が記録または添付されたロール状のフィルム状製品１
０、２００を送りローラ１２１ａ、１２１ｂおよび１２
４ａ、１２４ｂによって間歇的若しくは連続的に送り出
し、該フィルム状製品１０、２００に記録または添付さ
れた製品品質情報を読取部１０４で読み取って解読し、
該解読された製品品質情報から全体制御部１０５で製品
に不具合を生じるフィルムの部分を認識し、該認識され
たフィルムの部分が、制御部１２３から得られる送り座
標値に基づいて送り機構１２０によって送り込まれた
際、加工制御装置１０６により加工装置（例えば圧着装
置）１３０を作動させないように制御することによっ
て、不具合部分を除外させて良品部分のみに対して加工
を施すことが可能となり、その結果、フィルム起因によ
る製品の加工不良（例えば圧着不良）を防止し、しか
も、フィルム全体を破棄することなく、製品に適用する
ことが可能となる。That is, a roll-shaped film-like product 1 on which product quality information such as defect information such as foreign matter is recorded or attached.
0, 200 feed rollers 121a, 121b and 12
4a, 124b intermittently or continuously sends out the product quality information recorded or attached to the film-shaped product 10, 200 by the reading unit 104 to decode it.
Based on the decoded product quality information, the overall control unit 105 recognizes the film portion that causes the product failure, and the recognized film portion is fed by the feeding mechanism 120 based on the feeding coordinate value obtained from the control unit 123. By controlling the processing device (for example, the crimping device) 130 so as not to operate when fed, it becomes possible to exclude defective parts and perform processing only on non-defective parts. Therefore, it is possible to prevent processing defects (for example, pressure bonding defects) of the product due to the film and to apply the product to the product without discarding the entire film.

【００９８】また、フィルムに記録または添付する情報
として、フィルム内に配置させるフィラー寸法、フィラ
ーのピッチ等のフィルムの製造条件を含ませることによ
って、フィルム製品の提供を受ける側において、例えば
圧着等の加工条件を上記フィルムの製造条件に適するよ
うに制御することも可能となる。In addition, by including the manufacturing conditions of the film such as the size of the filler to be placed in the film, the pitch of the filler, etc., as the information to be recorded or attached to the film, on the side receiving the provision of the film product, for example, pressure bonding or the like. It is also possible to control the processing conditions so as to be suitable for the film manufacturing conditions.

【００９９】[0099]

【発明の効果】本発明によれば、フィルムに含まれる非
金属種（樹脂種）や金属種等の異物を高精度に検査した
結果を記録または添付した状態でフィルム製品として提
供することができる効果を奏する。EFFECTS OF THE INVENTION According to the present invention, it is possible to provide a film product in which the results of highly accurate inspection of foreign substances such as non-metal species (resin species) and metal species contained in a film are recorded or attached. Produce an effect.

【０１００】また、本発明によれば、粒子などのフィラ
ーが内部に存在しても、フィルムに含まれる非金属種
（樹脂種）や金属種等の異物を高精度に検査した結果を
記録または添付した状態でフィルム製品として提供する
ことができる効果を奏する。Further, according to the present invention, even if a filler such as particles is present inside, the result of highly accurate inspection of foreign matter such as non-metal species (resin species) or metal species contained in the film is recorded or It has the effect that it can be provided as a film product in the attached state.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】本発明に係るフィルムに対する欠陥検出装置の
一実施の形態を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a defect detection apparatus for a film according to the present invention.

【図２】本発明に係るフィルム状製品の加工システムの
一実施の形態を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing an embodiment of a film-shaped product processing system according to the present invention.

【図３】本発明に係るフィルム状被検査対象の一実施例
を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing an example of a film-shaped inspection target according to the present invention.

【図４】本発明に係るフィルム状被検査対象の観察位置
を説明するための図である。FIG. 4 is a diagram for explaining an observation position of a film-shaped inspection target according to the present invention.

【図５】本発明に係る粒子の反射率と金属種の異物の反
射率との相違を説明するための図である。FIG. 5 is a diagram for explaining the difference between the reflectance of particles according to the present invention and the reflectance of foreign matter of a metal species.

【図６】斜方照明を送り方向と直角方向にした場合を説
明するための図である。FIG. 6 is a diagram for explaining a case where the oblique illumination is set in a direction perpendicular to the feed direction.

【図７】図６に示す方法で斜方照明した場合の照度分布
を示す図である。7 is a diagram showing an illuminance distribution when oblique illumination is performed by the method shown in FIG.

【図８】斜方照明を送り方向からした場合を説明するた
めの図である。FIG. 8 is a diagram for explaining a case where oblique illumination is viewed from the feed direction.

【図９】図８に示す方法で斜方照明した場合の照度分布
を示す図である。9 is a diagram showing an illuminance distribution when oblique illumination is performed by the method shown in FIG.

【図１０】本発明に係るフィルムに対する欠陥検査装置
における画像処理および検査結果記録を活用するフロー
を示す図である。FIG. 10 is a diagram showing a flow for utilizing image processing and inspection result recording in the defect inspection apparatus for the film according to the present invention.

【図１１】本発明に係る画像処理と検査結果出力の一実
施例を説明するための図である。FIG. 11 is a diagram for explaining an example of image processing and inspection result output according to the present invention.

【図１２】本発明に係るフィルム中の黒異物（樹脂種の
塊異物）の状態を説明する図である。FIG. 12 is a diagram illustrating the state of black foreign matter (lump foreign matter of resin species) in the film according to the present invention.

【図１３】図１２に示すＡ−Ａ‘断面における斜方照明
による検出画像から得られる濃淡度波形を示す図であ
る。13 is a diagram showing a grayscale waveform obtained from a detection image by oblique illumination in the AA ′ section shown in FIG.

【図１４】本発明に係る斜方照明による粒子および白異
物からの反射光の発生状況を説明する図である。FIG. 14 is a diagram for explaining a situation of generation of reflected light from particles and white foreign matter by oblique illumination according to the present invention.

【図１５】本発明に係る斜方照明による黒異物（樹脂種
の塊異物）からの反射光の発生状況を説明する図であ
る。FIG. 15 is a diagram illustrating a situation of generation of reflected light from a black foreign substance (lump foreign substance of resin species) due to oblique illumination according to the present invention.

【図１６】本発明に係るフィルム中の白異物（金属種の
異物）の状態を説明する図である。FIG. 16 is a diagram illustrating a state of a white foreign substance (foreign substance of metal type) in the film according to the present invention.

【図１７】図１６に示すＢ−Ｂ‘断面における落射照明
による検出画像から得られる濃淡度波形を示す図であ
る。FIG. 17 is a diagram showing a grayscale waveform obtained from an image detected by epi-illumination in the BB ′ section shown in FIG. 16;

【図１８】本発明に係る落射照明による粒子からの反射
光の発生状況を説明する図である。FIG. 18 is a diagram illustrating a situation in which reflected light from particles is generated by epi-illumination according to the present invention.

【図１９】本発明に係る落射照明による白異物（金属種
の異物）からの反射光の発生状況を説明する図である。FIG. 19 is a diagram for explaining a situation of generation of reflected light from a white foreign substance (foreign substance of metallic species) by epi-illumination according to the present invention.

【図２０】本発明に係るフィルム状被検査対象の粒子が
粒子が等間隔若しくは繰り返しパターンで存在するとき
（整列時）の一実施例を示す図である。FIG. 20 is a diagram showing an example when the particles of the film-shaped inspection object according to the present invention are present at regular intervals or in a repeating pattern (during alignment).

【図２１】本発明に係るフィルム状被検査対象の粒子が
整列時の裏面照射による透過光の一実施例を示す断面図
である。FIG. 21 is a cross-sectional view showing an example of transmitted light by backside irradiation when particles of a film-shaped inspection object according to the present invention are aligned.

【図２２】図２１を透過光により検出する場合の検出系
を示す図である。22 is a diagram showing a detection system in the case of detecting FIG. 21 by transmitted light.

【図２３】本発明に係る粒子が整列したフィルムに対す
る欠陥検査装置における画像処理および粒子の測定デー
タを処理するフローを示す図である。FIG. 23 is a diagram showing a flow of image processing and particle measurement data in a defect inspection apparatus for a film in which particles are aligned according to the present invention.

【図２４】本発明に係るフィルム状被検査対象の粒子が
整列時の粒子のデータ測定位置を示す図である。FIG. 24 is a diagram showing particle data measurement positions when the particles of the film-shaped inspection object according to the present invention are aligned.

【図２５】本発明に係るフィルム状被検査対象の粒子が
整列時の粒子のデータ処理結果の一例を示す図である。FIG. 25 is a diagram showing an example of a particle data processing result when the particles of the film-shaped inspection object according to the present invention are aligned.

【図２６】本発明に係るフィルム状被検査対象の粒子が
整列時にレーザ散乱光検出方式による欠陥検出を示した
図である。FIG. 26 is a diagram showing defect detection by a laser scattered light detection method when particles of a film-shaped inspection object according to the present invention are aligned.

【図２７】図２６での異物が検出された時の信号強度の
変化を示す図である。27 is a diagram showing a change in signal intensity when a foreign substance in FIG. 26 is detected.

【図２８】本発明に係るフィルム状被検査対象の粒子が
整列時に磁気変化による欠陥検出を示した図である。FIG. 28 is a diagram showing defect detection due to a magnetic change when the film-shaped particles to be inspected according to the present invention are aligned.

【図２９】磁場の間を被検査対象のフィルムが通過する
状態を示した図である。FIG. 29 is a diagram showing a state in which a film to be inspected passes between magnetic fields.

【図３０】図２８での異物が検出された時の磁場の信号
強度の変化を示す図である。FIG. 30 is a diagram showing a change in signal strength of a magnetic field when a foreign substance in FIG. 28 is detected.

【図３１】図２８での異物が検出された時の記録された
磁気信号強度の変化を示す図である。31 is a diagram showing a change in recorded magnetic signal intensity when a foreign substance in FIG. 28 is detected.

【図３２】フィルム状被検査対象への製品情報および検
査結果の記録例と、異物箇所へのマーキングの一例を示
す図である。FIG. 32 is a diagram showing an example of recording product information and an inspection result on a film-shaped inspection object and an example of marking on a foreign matter portion.

【図３３】図３２とは異なった形態のフィルム状被検査
対象への製品情報および検査結果の記録例と、異物箇所
へのマーキングの一例を示す図である。FIG. 33 is a diagram showing an example of recording product information and an inspection result on a film-shaped object to be inspected having a different form from FIG. 32, and an example of marking on a foreign matter portion.

【図３４】フィルムの巻き取り部の機構を示した図であ
る。FIG. 34 is a view showing a mechanism of a film winding unit.

【図３５】図３４のフィルム巻き取り部にフィルムが巻
かれ、巻き取り部の外周が変化した状態を説明する図で
ある。FIG. 35 is a diagram illustrating a state in which the film is wound around the film winding unit in FIG. 34 and the outer circumference of the winding unit changes.

【図３６】フィルム中に存在する粒子の状態を説明する
図である。FIG. 36 is a diagram illustrating a state of particles existing in the film.

【図３７】フィルム中に存在する異物の状態を説明する
断面図である。FIG. 37 is a cross-sectional view illustrating a state of foreign matter existing in the film.

【図３８】図３６と図３７を透過光により観察した場合
の様子を説明するための図である。FIG. 38 is a diagram for explaining a state when FIGS. 36 and 37 are observed by transmitted light.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１、２０４…フィルム基材層、２、２０１…フィルム樹
脂層、３、２０２…粒子（フィラー）、４…樹脂種の塊
異物（黒異物）、５…金属種の異物（白異物）、６…樹
脂層、１０、２００…被検査対象、２０…送り機構、２
１ａ、２１ｂ…搬送用ピンチローラ、２２…ロータリエ
ンコーダ付駆動モータ、２３…制御装置、３０…第１の
光学検出部（検出光学系）、３１…送りローラ、３２
ａ、３２ｂ…斜方照明光学系、３５…撮像装置、３６…
対物レンズ、４０…第２の光学検出部（検出光学系）、
４１…送りローラ、４２…光源、４３…波長選択フィル
タ、４４…ハーフミラー、４５…撮像装置、４６…対物
レンズ、５１ａ…第１の判定処理部、５１ｂ…第２の処
理判定部、５２ａ…第１の画像記憶部、５２ｂ…第２の
画像記憶部、５３…データ解析部、５４…表示装置、７
３…背景、７４…明るさ判定閾値、８４…明るさ判定閾
値、８３…背景、９０ａ、９０ｂ…観察画像、９１ａ、
９１ｂ…２値化画像、９２ａ、９２ｂ…検出画像、１０
１ａ…巻取部、１０１ｂ…供給部、１０３…記録部、１
０４…読取部、１０５…全体制御部、１０６…加工制御
装置、１１０ｂ…ロール、１１１ａ、１１１ｂ…記録
部、１２０…送り機構、１２１ａ、１２１ｂおよび１２
４ａ、１２４ｂ…送りローラ、１３０…加工装置、１３
１ａ、１３１ｂ…圧着装置、１２２…ロータリエンコー
ダ付き駆動モータ、１２３…制御部、２０１…フィル
ム、２０３…異物、２１１…粒径、２１２…ピッチ、２
１４…欠落、２１７…分布、２１８…閾値、２２０…磁
気センサ部、２２７ａ、２２７ｂ…記録部（磁化部）、
２２８…読取部。1, 204 ... Film base material layer, 2, 201 ... Film resin layer, 3, 202 ... Particles (filler), 4 ... Resin type lump foreign matter (black foreign matter), 5 ... Metal type foreign matter (white foreign matter), 6 ... Resin layer, 10, 200 ... Inspected object, 20 ... Feed mechanism, 2
1a, 21b ... Transport pinch rollers, 22 ... Drive motor with rotary encoder, 23 ... Control device, 30 ... First optical detection section (detection optical system), 31 ... Feed roller, 32
a, 32b ... Oblique illumination optical system, 35 ... Imaging device, 36 ...
Objective lens, 40 ... Second optical detector (detection optical system),
41 ... Feed roller, 42 ... Light source, 43 ... Wavelength selection filter, 44 ... Half mirror, 45 ... Imaging device, 46 ... Objective lens, 51a ... First determination processing unit, 51b ... Second processing determination unit, 52a ... First image storage unit, 52b ... Second image storage unit, 53 ... Data analysis unit, 54 ... Display device, 7
3 ... Background, 74 ... Brightness determination threshold, 84 ... Brightness determination threshold, 83 ... Background, 90a, 90b ... Observed image, 91a,
91b ... Binary image, 92a, 92b ... Detection image, 10
1a ... Winding unit, 101b ... Supply unit, 103 ... Recording unit, 1
04 ... Reading unit, 105 ... Overall control unit, 106 ... Processing control device, 110b ... Roll, 111a, 111b ... Recording unit, 120 ... Feed mechanism, 121a, 121b and 12
4a, 124b ... Feed roller, 130 ... Processing device, 13
1a, 131b ... Crimping device, 122 ... Drive motor with rotary encoder, 123 ... Control part, 201 ... Film, 203 ... Foreign matter, 211 ... Grain size, 212 ... Pitch, 2
14 ... Missing, 217 ... Distribution, 218 ... Threshold, 220 ... Magnetic sensor section, 227a, 227b ... Recording section (magnetization section),
228 ... Reading unit.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 野本 峰生 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者 越智 敬人 東京都新宿区西新宿二丁目１番１号 日立 化成工業株式会社内 (72)発明者 金澤 真治 東京都新宿区西新宿二丁目１番１号 日立 化成工業株式会社内 Ｆターム(参考） 2G051 AA41 AB06 BA01 BA02 BA04 BA08 BB07 BC06 CA03 CA07 CB01 CB02 CB05 DA06 DA15 EA11 EA12 EA14 EB01    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    (72) Inventor Mineo Nomoto             292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-shi, Kanagawa             Inside the Hitachi, Ltd. production technology laboratory (72) Inventor Keito Ochi             Hitachi 1-1, Nishi-Shinjuku, Shinjuku-ku, Tokyo             Kasei Industry Co., Ltd. (72) Inventor Shinji Kanazawa             Hitachi 1-1, Nishi-Shinjuku, Shinjuku-ku, Tokyo             Kasei Industry Co., Ltd. F term (reference) 2G051 AA41 AB06 BA01 BA02 BA04                       BA08 BB07 BC06 CA03 CA07                       CB01 CB02 CB05 DA06 DA15                       EA11 EA12 EA14 EB01

Claims (29)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】フィルム状被検査対象を走行させる走行工
程と、 該走行工程で走行されるフィルム状被検査対象に対して
斜方から斜方照明光を集光して照射し、前記フィルム状
被検査対象で反射した反射光をフィルム状被検査対象の
法線方向から受光して第１の画像信号として検出し、該
検出された第１の画像信号に基づいて第1の欠陥を検出
する第１の欠陥検出工程と、 前記走行工程で走行されるフィルム状被検査対象に対し
て法線方向から垂直照明光を集光して照射し、前記フィ
ルム状被検査対象で反射した反射光を前記フィルム状被
検査対象の法線方向から受光して第２の画像信号として
検出し、該検出された第２の画像信号に基づいて第２の
欠陥を検出する第２の欠陥検出工程と、 前記第１および第２の欠陥検出工程によって検出された
第１および第２の欠陥に関する情報を前記フィルム状被
検査対象に記録若しくは添付する記録若しくは添付工程
とを有することを特徴とするフィルムに対する欠陥検査
方法。1. A traveling step of traveling a film-shaped inspection object, and obliquely illuminating obliquely illumination light to the film-shaped inspection object traveling in the traveling step to irradiate the film-shaped inspection object with the film-shaped inspection object. The reflected light reflected by the object to be inspected is received from the normal direction of the film object to be inspected and detected as a first image signal, and the first defect is detected based on the detected first image signal. In the first defect detection step, the film-shaped inspection target traveling in the traveling step is irradiated with the vertical illumination light collected from the normal direction, and the reflected light reflected by the film-shaped inspection target is irradiated. A second defect detection step of receiving light from the normal direction of the film-shaped inspection target and detecting it as a second image signal, and detecting a second defect based on the detected second image signal; Detected by the first and second defect detection steps A defect inspection method for a film, comprising: recording or attaching information regarding the first and second defects to the film-shaped inspection target. 【請求項２】前記フィルム状被検査対象は、内部にフィ
ラーが存在するフィルム樹脂層を有することを特徴とす
る請求項１記載のフィルムに対する欠陥検査方法。2. The defect inspection method for a film according to claim 1, wherein the film-shaped inspection object has a film resin layer in which a filler is present. 【請求項３】前記フィルム状被検査対象は、フィルム樹
脂層をフィルム基材層に貼り付けて形成することを特徴
とする請求項１または２記載のフィルムに対する欠陥検
査方法。3. The defect inspection method for a film according to claim 1, wherein the film-shaped inspection object is formed by attaching a film resin layer to a film base material layer. 【請求項４】前記第１の欠陥検出工程において、前記第
１の画像信号を背景信号レベルよりも低い第１の閾値で
２値化することにより、前記第1の欠陥を前記第１の閾
値より低い信号レベルとして検出することを特徴とする
請求項１乃至３の何れか一つに記載のフィルムに対する
欠陥検査方法。4. In the first defect detecting step, the first defect is binarized by binarizing the first image signal with a first threshold value lower than a background signal level. The defect inspection method for a film according to claim 1, wherein the defect detection is performed as a lower signal level. 【請求項５】前記第２の欠陥検査工程において、前記第
２の画像信号を背景信号レベルよりも高い第２の閾値で
２値化することにより、前記第２の欠陥を前記第２の閾
値よりも高い信号レベルとして検出することを特徴とす
る請求項１乃至３の何れか一つに記載のフィルムに対す
る欠陥検査方法。5. In the second defect inspection step, the second image signal is binarized by a second threshold value higher than a background signal level, so that the second defect is detected by the second threshold value. The defect inspection method for a film according to claim 1, wherein the defect detection method detects the signal level as a higher signal level. 【請求項６】前記記録若しくは添付工程において、フィ
ルム状被検査対象に関する情報も併せて記録若しくは添
付することを特徴とする請求項１乃至３の何れか一つに
記載のフィルムに対する欠陥検査方法。6. The defect inspection method for a film according to claim 1, wherein in the recording or attaching step, information about a film-shaped inspection target is also recorded or attached. 【請求項７】内部にフィラーが存在するフィルム状被検
査対象を走行させる走行工程と、 該走行工程で走行されるフィルム状被検査対象に対して
斜方から斜方照明光を集光して照射し、前記フィルム状
被検査対象で反射した反射光をフィルム状被検査対象の
法線方向から受光して第１の画像信号として検出し、該
検出された第１の画像信号に基づいて第1の欠陥を前記
フィラーと弁別して検出する第１の欠陥検出工程と、 前記走行工程で走行されるフィルム状被検査対象に対し
て法線方向から垂直照明光を集光して照射し、前記フィ
ルム状被検査対象で反射した反射光を前記フィルム状被
検査対象の法線方向から受光して第２の画像信号として
検出し、該検出された第２の画像信号に基づいて第２の
欠陥を前記フィラーと弁別して検出する第２の欠陥検出
工程と、 前記第１および第２の欠陥検出工程によって検出された
第１および第２の欠陥に関する情報を前記フィルム状被
検査対象に記録若しくは添付する記録若しくは添付工程
とを有することを特徴とするフィルムに対する欠陥検査
方法。7. A traveling process for traveling a film-shaped inspection object having a filler therein, and collecting oblique illumination light obliquely to the film-shaped inspection object traveling in the traveling process. The reflected light that is irradiated and reflected by the film-shaped inspection target is received from the normal direction of the film-shaped inspection target and detected as a first image signal, and a first image signal is detected based on the detected first image signal. A first defect detection step of detecting 1 defect by discriminating it from the filler, and irradiating a film-shaped inspected object running in the running step with vertical illumination light condensed from a normal direction, The reflected light reflected by the film-shaped inspection target is received from the normal direction of the film-shaped inspection target and detected as a second image signal, and a second defect is detected based on the detected second image signal. To discriminate against the filler to detect And a recording or attaching step of recording or attaching information on the first and second defects detected by the first and second defect detecting steps to the film-shaped inspection target. Defect inspection method for featured film. 【請求項８】内部にフィラーが等間隔若しくは繰り返し
パターンで存在するフィルム状被検査対象に対して欠陥
を画像信号として検出する欠陥検出工程と、 前記フィルム状被検査対象中に等間隔若しくは繰り返し
パターンで存在するフィラーを画像信号として顕在化し
て検出し、該検出された画像信号を基に、間隔、寸法、
分布のいずれか１つ以上のフィラーの配列状態を測定す
るフィラー測定工程と、 前記欠陥検出工程によって検出された欠陥に関する情報
と前記フィラー測定工程で測定されたフィラーの配列状
態を示す情報とを前記フィルム状被検査対象に記録若し
くは添付する記録若しくは添付工程とを有することを特
徴とするフィルムに対する欠陥検査方法。8. A defect detecting step of detecting a defect as an image signal for a film-shaped inspected object in which fillers are present at equal intervals or in a repetitive pattern, and an equidistant or repeated pattern in the film-shaped inspected object. Are detected as a filler that is present as an image signal, based on the detected image signal, the interval, dimensions,
Filler measurement step of measuring the array state of any one or more of the distribution, the information about the defect detected by the defect detection step and the information indicating the array state of the filler measured in the filler measurement step A defect inspection method for a film, comprising: recording or attaching to a film-shaped object to be inspected. 【請求項９】前記フィルム状被検査対象は、内部にフィ
ラーが等間隔若しくは繰り返しパターンで存在するフィ
ルム樹脂層を有することを特徴とする請求項１記載のフ
ィルムに対する欠陥検査方法。9. The defect inspection method for a film according to claim 1, wherein the film-shaped inspection object has a film resin layer in which fillers are present at regular intervals or in a repeating pattern. 【請求項１０】請求項９記載のフィルムに対する欠陥検
査方法において、 更に、前記フィルム状被検査対象中に等間隔若しくは繰
り返しパターンで存在するフィラーを画像信号として顕
在化して検出し、該検出された画像信号を基に、間隔、
寸法、分布のいずれか１つ以上のフィラーの配列状態を
測定するフィラー測定工程を有し、 前記記録若しくは添付工程において、更に、前記フィラ
ー測定工程で測定されたフィラーの配列状態を示す情報
を記録若しくは添付することを特徴とするフィルムに対
する欠陥検査方法。10. The defect inspection method for a film according to claim 9, further comprising detecting the filler present in the film-shaped object to be inspected at equal intervals or in a repetitive pattern as an image signal, and detecting the filler. Based on the image signal, the interval,
It has a filler measurement step of measuring the array state of one or more fillers of any of size and distribution, and in the recording or the attaching step, further records information indicating the array state of the filler measured in the filler measuring step. Alternatively, a defect inspection method for a film, which is characterized by being attached. 【請求項１１】内部にフィラーが等間隔若しくは繰り返
しパターンで存在するフィルム状被検査対象を連続的に
走行させる走行工程と、 該走行工程で走行されるフィルム状被検査対象に対して
レーザ光を斜方より照射し、前記フィルム状被検査対象
から得られる散乱光の内、空間フィルタを有する検出光
学系によりフィラーのパターンからの散乱光を除去して
欠陥からの散乱光を受光して画像信号として欠陥を顕在
化して検出する欠陥検出工程とを有することを特徴とす
るフィルムに対する欠陥検査方法。11. A traveling step of continuously traveling a film-shaped inspection object in which fillers are present at equal intervals or in a repeating pattern, and a laser beam is applied to the film-shaped inspection object that is traveled in the traveling step. Irradiated obliquely, out of the scattered light obtained from the film-shaped object to be inspected, the scattered light from the pattern of the filler is removed by the detection optical system having the spatial filter, and the scattered light from the defect is received to obtain the image signal. And a defect detecting step of detecting and detecting defects as described above. 【請求項１２】内部にフィラーが等間隔若しくは繰り返
しパターンで存在するフィルム状被検査対象を連続的に
走行させる走行工程と、 該走行工程で走行されるフィルム状被検査対象が磁気セ
ンサの間を通過することによって前記フィラーと欠陥と
によっておよぼす磁界の変化に基づいて前記欠陥を前記
フィラーと弁別して検出する欠陥検出工程とを有するこ
とを特徴とするフィルムに対する欠陥検査方法。12. A running step in which a film-shaped object to be inspected, in which fillers are present at equal intervals or in a repeating pattern, is continuously run, and a film-shaped object to be inspected running in the running step is between a magnetic sensor. A defect inspection method for a film, comprising: a defect detection step of discriminating the defect from the filler based on a change in a magnetic field exerted by the filler and the defect by passing the defect. 【請求項１３】内部にフィラーが等間隔若しくは繰り返
しパターンで存在するフィルム状被検査対象を連続的に
走行させる走行工程と、 該走行工程で走行されるフィルム状被検査対象を磁気セ
ンサの間を通過させる際、前記フィラーと欠陥とを磁化
し、該磁化されたフィラーと欠陥との磁気信号の相違に
基づいて前記欠陥を前記フィラーと弁別して検出する欠
陥検出工程とを有することを特徴とするフィルムに対す
る欠陥検査方法。13. A running step of continuously running a film-shaped object to be inspected in which fillers are present at equal intervals or in a repeating pattern, and a film-shaped object to be inspected running in the running step between a magnetic sensor. When passing, the filler and defects are magnetized, and a defect detection step of discriminating the filler from the filler and detecting the defect based on a difference in magnetic signal between the magnetized filler and the defect. Defect inspection method for film. 【請求項１４】更に、前記欠陥検出工程で欠陥に関する
情報を前記フィルム状被検査対象に記録若しくは添付す
る記録若しくは添付工程を有することを特徴とする請求
項１１または１２または１３記載のフィルムに対する欠
陥検査方法。14. A defect for a film according to claim 11, 12 or 13, further comprising a recording or attaching step of recording or attaching information on the defect to the film-shaped inspection object in the defect detecting step. Inspection method. 【請求項１５】欠陥検査結果に関する情報をフィルム状
製品に記録若しくは添付して構成したことを特徴とする
フィルム状製品。15. A film-shaped product, characterized in that information on a defect inspection result is recorded or attached to the film-shaped product. 【請求項１６】前記フィルム状製品は、内部にフィラー
が存在することを特徴とする請求項１５記載のフィルム
状製品。16. The film-shaped product according to claim 15, wherein a filler is present inside the film-shaped product. 【請求項１７】前記フィルム状製品は、内部にフィラー
が等間隔若しくは繰り返しパターンで存在することを特
徴とする請求項１５記載のフィルム状製品。17. The film-shaped product according to claim 15, wherein the film-shaped product has fillers present therein at regular intervals or in a repeating pattern. 【請求項１８】前記フィルム状製品は、内部にフィラー
が存在するフィルム樹脂層をフィルム基材層に貼り付け
て構成することを請求項１５記載のフィルム状製品。18. The film-like product according to claim 15, wherein the film-like product is formed by attaching a film resin layer having a filler therein to a film substrate layer. 【請求項１９】前記欠陥検査結果に関する情報として、
欠陥発生位置、欠陥寸法、欠陥の種類、欠陥数のいずれ
か一つ以上の情報を含むことを特徴とする請求項１５乃
至１８の何れか一つに記載のフィルム状製品。19. The information regarding the defect inspection result includes:
The film-like product according to any one of claims 15 to 18, characterized in that it includes at least one of information on a defect occurrence position, a defect size, a defect type, and a defect number. 【請求項２０】更に、フィラーに関する情報も記録若し
くは添付して構成することを特徴とする請求項１５乃至
１９の何れか一つに記載のフィルム状製品。20. The film-like product according to any one of claims 15 to 19, further comprising recording or attaching information on the filler. 【請求項２１】前記フィルム状製品がロール状であるこ
とを特徴とする請求項１５乃至２０の何れか一つに記載
のフィルム状製品。21. The film-shaped product according to claim 15, wherein the film-shaped product is in the form of a roll. 【請求項２２】製品品質情報が記録若しくは添付された
フィルム状製品を間歇的若しくは連続的に走行させる走
行工程と、 該走行工程で走行される前記フィルム状製品に記録若し
くは添付された製品品質情報を読み取る読み取り工程
と、 該読み取り工程で得られた製品品質情報からフィルム状
製品に不具合が生じる個所の情報を送信する制御工程
と、 前記制御工程により送信された不具合が生じる個所の情
報を基に前記フィルム状製品に対する加工を停止し、不
具合以外の正常部分については前記フィルム状製品に対
して加工を施す加工工程とを有することを特徴とするフ
ィルム状製品の加工方法。22. A running step of intermittently or continuously running a film-shaped product having product quality information recorded or attached thereto, and product quality information recorded or attached to the film-like product running at the running step And a control step for transmitting information on a location where a defect occurs in the film-like product from the product quality information obtained in the reading step, and based on the information on the location where the failure occurs transmitted by the control step. A method of processing a film-shaped product, comprising: stopping the processing of the film-shaped product, and processing the film-shaped product for normal parts other than defects. 【請求項２３】フィルム状被検査対象を走行させる走行
手段と、 該走行手段で走行されるフィルム状被検査対象に対して
斜方から斜方照明光を集光して照射し、前記フィルム状
被検査対象で反射した反射光をフィルム状被検査対象の
法線方向から受光して第１の画像信号として検出し、該
検出された第１の画像信号に基づいて第1の欠陥を検出
する第１の欠陥検出手段と、 前記走行手段で走行されるフィルム状被検査対象に対し
て法線方向から垂直照明光を集光して照射し、前記フィ
ルム状被検査対象で反射した反射光を前記フィルム状被
検査対象の法線方向から受光して第２の画像信号として
検出し、該検出された第２の画像信号に基づいて第２の
欠陥を検出する第２の欠陥検出手段と、 前記第１および第２の欠陥検出手段によって検出された
第１および第２の欠陥に関する情報を前記フィルム状被
検査対象に記録若しくは添付する記録若しくは添付手段
とを備えたことを特徴とするフィルムに対する欠陥検査
装置。23. Traveling means for traveling a film-shaped inspection object, and obliquely illuminating obliquely illuminating light to the film-shaped inspection object traveled by the traveling means to irradiate the film-shaped inspection object, The reflected light reflected by the object to be inspected is received from the normal direction of the film object to be inspected and detected as a first image signal, and the first defect is detected based on the detected first image signal. The first defect detection means and the film-shaped inspection object that is run by the traveling means collect and irradiate vertical illumination light from the normal direction, and reflect light reflected by the film-shaped inspection object. Second defect detecting means for receiving light from the normal direction of the film-shaped object to be inspected and detecting it as a second image signal, and detecting a second defect based on the detected second image signal; Detected by the first and second defect detection means A defect inspection apparatus for a film, comprising: a recording or attaching means for recording or attaching information on the first and second defects to the film-shaped object to be inspected. 【請求項２４】内部にフィラーが等間隔若しくは繰り返
しパターンで存在するフィルム状被検査対象に対して欠
陥を画像信号として検出する欠陥検出手段と、 前記フィルム状被検査対象中に等間隔若しくは繰り返し
パターンで存在するフィラーを画像信号として顕在化し
て検出し、該検出された画像信号を基に、間隔、寸法、
分布のいずれか１つ以上のフィラーの配列状態を測定す
るフィラー測定手段と、 前記欠陥検出手段によって検出された欠陥に関する情報
と前記フィラー測定手段で測定されたフィラーの配列状
態を示す情報とを前記フィルム状被検査対象に記録若し
くは添付する記録若しくは添付手段とを備えたことを特
徴とするフィルムに対する欠陥検査装置。24. Defect detection means for detecting a defect as an image signal in a film-shaped inspected object in which fillers are present at equal intervals or in a repetitive pattern; Are detected as a filler that is present as an image signal, based on the detected image signal, the interval, dimensions,
Filler measuring means for measuring the array state of any one or more fillers of the distribution, information about the defect detected by the defect detection means and information indicating the array state of the filler measured by the filler measuring means A defect inspection apparatus for a film, comprising a recording or attaching means for recording or attaching to a film-shaped inspection object. 【請求項２５】内部にフィラーが等間隔若しくは繰り返
しパターンで存在するフィルム状被検査対象を連続的に
走行させる走行手段と、 該走行手段で走行されるフィルム状被検査対象に対して
レーザ光を斜方より照射し、前記フィルム状被検査対象
から得られる散乱光の内、空間フィルタを有する検出光
学系によりフィラーのパターンからの散乱光を除去して
欠陥からの散乱光を受光して画像信号として欠陥を顕在
化して検出する欠陥検出手段とを備えたことを特徴とす
るフィルムに対する欠陥検査装置。25. A traveling means for continuously traveling a film-shaped inspection object in which fillers are present at equal intervals or in a repeating pattern, and a laser beam is applied to the film-shaped inspection object traveled by the traveling means. Irradiated obliquely, out of the scattered light obtained from the film-shaped object to be inspected, the scattered light from the pattern of the filler is removed by the detection optical system having the spatial filter, and the scattered light from the defect is received to obtain the image signal. A defect inspection apparatus for a film, comprising: a defect detection unit that detects and reveals a defect. 【請求項２６】内部にフィラーが等間隔若しくは繰り返
しパターンで存在するフィルム状被検査対象を連続的に
走行させる走行手段と、 該走行手段で走行されるフィルム状被検査対象が磁気セ
ンサの間を通過することによって前記フィラーと欠陥と
によっておよぼす磁界の変化に基づいて前記欠陥を前記
フィラーと弁別して検出する欠陥検出手段とを備えたこ
とを特徴とするフィルムに対する欠陥検査装置。26. A traveling means for continuously traveling a film-shaped inspection object in which fillers are present at equal intervals or in a repeating pattern, and a film-shaped inspection object driven by the traveling means is between a magnetic sensor. A defect inspection apparatus for a film, comprising: defect detecting means for discriminating the defect from the filler and detecting the defect based on a change in magnetic field exerted by the filler and the defect when passing through. 【請求項２７】内部にフィラーが等間隔若しくは繰り返
しパターンで存在するフィルム状被検査対象を連続的に
走行させる走行手段と、 該走行手段で走行されるフィルム状被検査対象を磁気セ
ンサの間を通過させる際、前記フィラーと欠陥とを磁化
し、該磁化されたフィラーと欠陥との磁気信号の相違に
基づいて前記欠陥を前記フィラーと弁別して検出する欠
陥検出手段とを備えたことを特徴とするフィルムに対す
る欠陥検査装置。27. A traveling means for continuously traveling a film-shaped object to be inspected in which fillers are present at equal intervals or in a repeating pattern, and a film-shaped object to be inspected to be run by the traveling means between a magnetic sensor. When passing, the filler and defects are magnetized, and the defect detection means for discriminating and detecting the defects based on the difference in magnetic signal between the magnetized filler and defects is provided. Defect inspection system for film 【請求項２８】更に、前記欠陥検出手段で欠陥に関する
情報を前記フィルム状被検査対象に記録若しくは添付す
る記録若しくは添付手段を備えたことを特徴とする請求
項２５または２６または２７記載のフィルムに対する欠
陥検査装置。28. The film according to claim 25, 26 or 27, further comprising a recording or attaching means for recording or attaching information relating to the defect to the film-shaped object to be inspected by the defect detecting means. Defect inspection equipment. 【請求項２９】製品品質情報が記録若しくは添付された
フィルム状製品を間歇的若しくは連続的に走行させる走
行手段と、 該走行手段で走行される前記フィルム状製品に記録若し
くは添付された製品品質情報を読み取る読取手段と、 該読取手段で得られた製品品質情報からフィルム状製品
に不具合が生じる個所の情報を送信する制御手段と、 前記制御手段により送信された不具合が生じる個所の情
報を基に前記フィルム状製品に対する加工を停止し、不
具合以外の正常部分については前記フィルム状製品に対
して加工を施す加工手段とを備えたことを特徴とするフ
ィルム状製品の加工システム。29. Traveling means for intermittently or continuously running a film-like product having product quality information recorded or attached thereto, and product quality information recorded or attached to the film-like product run by the running means. A reading means for reading the information, a control means for transmitting information on a location where a defect occurs in the film-shaped product from the product quality information obtained by the reading means, and based on the information for the location where a failure occurs transmitted by the control means. A processing system for a film-shaped product, comprising: processing means for stopping the processing for the film-shaped product and processing the film-shaped product for a normal portion other than a defect.
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