JP2003215026A - パージ流体噴出構造及びこれを備えたダスト測定装置 - Google Patents
パージ流体噴出構造及びこれを備えたダスト測定装置Info
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- JP2003215026A JP2003215026A JP2002010089A JP2002010089A JP2003215026A JP 2003215026 A JP2003215026 A JP 2003215026A JP 2002010089 A JP2002010089 A JP 2002010089A JP 2002010089 A JP2002010089 A JP 2002010089A JP 2003215026 A JP2003215026 A JP 2003215026A
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Abstract
って正確に測定することができるダスト測定装置を提供
すること。 【解決手段】 測定領域50に向けて光を照射するため
の照射部14と、測定領域50からの被検知光を受光す
るための受光部16と、受光部16にて受光された被検
知光を所要の通りに演算処理してダスト濃度を算出する
ダスト濃度演算手段と、を備えたダスト測定装置。検知
部ハウジング8内には第1及び第2パージ流体送給手段
82,84が設けられ、第1パージ流体送給手段82を
通して送給されるパージ流体は照射口カバー20の照射
面に向けて噴出され、第2パージ流体送給手段84を通
して送給されるパージ流体は受光口カバー24の受光面
に向けて噴出される。
Description
接触面を有する部材の流体接触面をきれいな状態に保つ
ためのパージ流体噴出構造及びこれを備えたダスト測定
装置に関する。
度を測定するためにダスト測定装置が用いられ、このよ
うなダスト測定装置として、例えば、光の散乱を利用し
た光散乱方式のものが知られている。この種のダスト測
定装置は、測定領域に向けて光を照射するための照射手
段と、測定領域からの被検知光を受光するための受光手
段と、受光された被検知光を所要の通りに演算処理して
ダスト濃度を算出するダスト濃度演算手段と、を備えて
いる。このようなダスト測定装置では、照射手段は測定
領域に向けて光を照射し、受光手段は測定領域からの被
検知光、即ち散乱光を受光する。このとき、測定領域を
流れる流体中のダスト、即ち粉塵等が多い(又は少な
い)と、照射された光がダストにより多く(又は少な
く)散乱され、受光開口を通して受光される被検知光
(散乱光)が明るく(又は暗く)なり、このようなこと
から、被検知光の散乱率に基づいて流体中のダスト濃度
を測定することができる。
装置には、次の通りの問題がある。流体中に含まれるダ
スト濃度を測定する場合、ダストによる悪影響を避ける
ために、照射手段は照射口カバーにより覆われ、受光手
段は受光口カバーにより覆われ、照射手段からの照射光
は照射口カバーを通して測定領域に照射され、測定領域
からの被検知光(散乱光)は受光口カバーを通して受光
される。
トが含まれているので、このダストが照射口カバーの照
射面及び受光口カバーの受光面に付着するおそれがあ
る。例えば、照射面にダストが付着すると、測定領域に
照射される光が暗くなり、また受光面にダストが付着す
ると、受光手段に受光される被検知光が暗くなる。それ
故に、ダストが照射面及び/又は受光面に付着すると、
ダスト濃度を正確に測定することができなくなり、ダス
トの付着量が多くなるほどダスト濃度の測定誤差も大き
くなる。
の他の形態のダスト測定装置、光を利用した振動計、レ
ーザ光を利用した燃焼速度計測装置等にも同様に存在
し、照射面及び/又は受光面にダスト等が付着すると正
確に計測することができない。
へのダストの付着を効果的に防止することができるパー
ジ流体噴出機構を提供することである。また、本発明の
他の目的は、ダストによる悪影響を抑えて、流体中に含
まれるダスト濃度を長期にわたって正確に測定すること
ができるダスト測定装置を提供することである。
れる流体に接する流体接触面を有する部材と、前記部材
の流体接触面に向けてパージ流体を噴出する噴出手段
と、前記噴出手段にパージ流体を送給するためのパージ
流体送給手段と、を備え、前記噴出手段は、前記流体接
触面の周囲からその中心に向けて周方向に実質上均一に
パージ流体を噴出することを特徴とする。
送給手段を通して送給され、噴出手段から流体に接する
部材の流体接触面に沿って噴出されるので、このパージ
噴出流によって、流体中に含まれたダストが流体接触面
に付着するのを回避することができるとともに、仮に付
着したとしても付着したダストを吹き飛ばすことができ
る。また、パージ流体は流体接触面の周囲からその中心
に向けて実質上均一に噴出されるので、噴出手段から噴
出したパージ流体は半径方向内方に流れた後に流体接触
面から離れる方向に流れ、このようなパージ流体流によ
って、ダストを流体接触面から押し返すように作用し、
これによって、少量のパージ流体でもってダストの付着
を効果的に防止することができる。
た照射開口及び/又は受光開口に照射口カバー及び/又
は受光口カバーを設けた場合には、照射口カバー及び/
又は受光口カバーの表面が流体に接する流体接触面であ
り、例えば光を照射及び/又は受光する光ファイバの先
端面が流体流路に露出している場合には、かかる光ファ
イバの先端面がこの流体接触面であり、また例えば受光
素子(例えばCCD)の受光面が流体流路に露光してい
る場合には、この受光面が流体接触面である。
検知部ハウジングと、前記照射開口を通して測定領域を
流れる流体に向けて光を照射するための照射手段と、前
記測定領域からの被検知光を前記受光開口を通して受光
するための受光手段と、前記受光手段にて受光された被
検知光を所要の通りに演算処理してダスト濃度を算出す
るダスト濃度演算手段と、を備えたダスト測定装置であ
って、前記照射開口には照射口カバーが装着され、前記
照射口カバーの照射面に向けてパージ流体を噴出する第
1噴出手段が設けられており、前記受光開口には受光口
カバーが装着され、前記受光口カバーの受光面に向けて
パージ流体を噴出する第2噴出手段が設けられており、
また、前記検知部ハウジング内には、前記第1噴出手段
にパージ流体を送給するための第1パージ流体送給手
段、及び前記第2噴出手段にパージ流体を送給するため
の第2パージ流体送給手段が設けられており、前記第1
噴出手段は前記照射口カバーの照射面の周囲からその中
心に向けて周方向に実質上均一にパージ流体を噴出し、
前記第2噴出手段は前記受光口カバーの受光面の周囲か
らその中心に向けて周方向に実質上均一にパージ流体を
噴出することを特徴とする。
1及び第2パージ流体送給手段が設けられ、第1パージ
流体送給手段は第1噴出手段にパージ流体を送給し、送
給されたパージ流体は第1噴出手段から照射口カバーの
照射面に向けて噴出されるので、パージ流体の噴出流に
よって、流体中に含まれたダストが照射面に付着するの
を回避することができるとともに、仮に付着したとして
も付着したダストを吹き飛ばすことができる。また、第
2パージ流体送給手段は第2噴出手段にパージ流体を送
給し、送給されたパージ流体は第2噴出手段から受光口
カバーの受光面に向けてパージ流体を噴出するので、パ
ージ流体の噴出流によって、流体中に含まれたダストが
受光面に付着するのを回避することができるとともに、
仮に付着したとしても付着したダストを吹き飛ばすこと
ができる。また、このパージ流体は照射口カバー及び受
光口カバーの周囲から中心に向けて実質上均一に噴出さ
れるので、第1及び第2噴出手段から噴出したパージ流
体は半径方向内方に流れた後に照射口カバー及び受光口
カバーから離れる方向に流れ、このようなパージ流体流
によって、ダストを照射口カバー及び受光口カバーの表
面から押し返すように作用し、これによって、少量のパ
ージ流体でもってダストの付着を効果的に防止すること
ができ、その結果、測定領域にパージ流体が流れるのを
回避することができ、流体中のダスト濃度を正確に測定
することができる。尚、ダスト測定装置としては、光散
乱型、光透過型、光反射型の各種形態のものであり、光
散乱型のものにあっては、散乱光が被検知光として受光
手段に受光され、光透過型のものにあっては、透過光が
被検知光として受光手段に受光され、反射型のものにあ
っては、反射光が被検知光として受光手段に受光され
る。
給手段はパージ流体を前記第1噴出手段に送給するため
の第1パージ流体流路を備え、前記第2パージ流体送給
手段はパージ流体を前記第2噴出手段に送給するための
第2パージ流体流路を備え、前記第1及び第2パージ流
体流路は合流して主パージ流体流路を通してパージ流体
供給源に接続され、前記主パージ流体流路には、前記パ
ージ流体供給源側への逆流を防止するための逆止弁が設
けられていることを特徴とする。
は第1噴出手段にパージ流体を送給する第1パージ流体
流路を備えているので、パージ流体はこの第1パージ流
体流路を通して第1噴出手段から照射面カバーの照射面
に向けて噴出される。また、第2パージ流体送給手段は
第2噴出手段にパージ流体を送給するための第2パージ
流体流路を備えているので、パージ流体はこの第2パー
ジ流体流路を通して第2噴出手段から受光口カバーの受
光面に向けて噴出される。更に、第1及び第2パージ流
体流路は主パージ流体流路に合流され、この主パージ流
体流路に逆止弁が配設されているので、第1パージ流体
流路を通しての流体の逆流及び第2パージ流体流路を通
しての流体の逆流が防止される。従って、測定する流体
が例えば高圧の燃料用ガス等であっても、この燃料用ガ
スの逆流が確実に防止され、燃料用ガス中のダスト濃度
を安全に測定することができる。
面側には、前記第1噴出手段を構成する第1カバー取付
部材が装着され、前記第1カバー取付部材は外周壁及び
内周壁を有し、前記外周壁及び内周壁の間に第1環状空
間が設けられ、前記第1パージ流体送給手段は前記第1
環状空間にパージ流体を送給し、更に、前記第1カバー
取付部材の前記内周壁には周方向に間隔をおいて複数個
の噴出口が設けられており、前記第1パージ流体送給手
段からのパージ流体は、前記第1環状空間を通し、前記
複数個の噴出口から半径方向内方に前記照射口カバーの
表面に沿って噴出され、また、前記受光口カバーの表面
側には、前記第2噴出手段を構成する第2カバー取付部
材が装着され、前記第2カバー取付部材は外周壁及び内
周壁を有し、前記外周壁及び内周壁の間に第2環状空間
が設けられ、前記第2パージ流体送給手段は前記第2環
状空間にパージ流体を送給し、更に、前記第2カバー取
付部材の前記内周壁には周方向に間隔をおいて複数個の
噴出口が設けられており、前記第2パージ流体送給手段
からのパージ流体は、前記第2環状空間を通し、前記複
数個の噴出口から半径方向内方に前記受光口カバーの表
面に沿って噴出されることを特徴とする。
るための第1カバー取付部材が第1噴出手段を構成し、
この第1カバー取付部材に第1環状空間が設けられ、第
1パージ流体送給手段からのパージ流体はこの第1環状
空間に送給される。また、第1カバー取付部材の内周壁
には周方向に間隔をおいて複数個の噴出口が設けられて
いるので、第1環状空間に送給されたパージ流体はこれ
ら噴出口から半径方向内方に噴出され、かくして、パー
ジ流体を照射口カバーの周方向に実質上均一に噴射させ
て照射面へのダストの付着を効果的に防止することがで
きる。更に、受光口カバーを構成する第2カバー取付部
材が第2噴出手段を構成し、この第2カバー取付部材に
第2環状空間が設けられ、第2パージ流体送給手段から
のパージ流体はこの第2環状空間に送給される。また、
第2カバー取付部材の内周壁には周方向に間隔をおいて
複数個の噴出口が設けられているので、第2環状空間に
送給されたパージ流体はこれら噴出口から半径方向内方
に噴出され、かくして、パージ流体を受光口カバーの周
方向に実質上均一に噴射させて受光面へのダストの付着
を効果的に防止することができる。
発光するための発光源と、前記発光源からの光を前記照
射開口に導くための第1光ファイバとを含んでおり、前
記受光手段は、被検知光を受光するための受光素子と、
前記受光開口を通して導入された被検知光を所定方向に
反射するための反射鏡と、前記反射鏡により反射された
被検知光を前記受光素子に導くための第2光ファイバと
を含んでいることを特徴とする。
る発光源と、発光源からの光を照射開口に導くための第
1光ファイバとを含み、また受光手段は、被検知光を受
光する受光素子と、受光開口からの被検知光を所定方向
に反射する反射鏡と、反射鏡からの被検知光を受光素子
に導く第2光ファイバとを含んでいるので、流体流路内
に挿入される検知部ハウジングを小型に、且つ細くする
ことができ、測定作業時の取り扱いが容易となるととも
に、検知部ハウジングを挿入する開口を小さくすること
ができる。
明に従うパージ流体噴出構造及びこれを備えたダスト測
定装置の一実施形態について説明する。図1は、本発明
に従うダスト測定装置の全体を示す概略図であり、図2
は、図1のダスト測定装置の一部を示す部分断面図であ
り、図3は、図1のダスト測定装置の照射部及び受光部
付近を示す部分断面図であり、図4は、図1のダスト測
定装置の受光部を拡大して示す部分拡大断面図である。
ージ流体噴出構造を備えたダスト測定装置)は、配管2
により規定された流体流路4を流れる流体に含まれた粉
塵等のダスト6の濃度を測定するために用いられる。こ
のダスト測定装置は、円筒状の検知部ハウジング8を備
え、この検知部ハウジング8の先端側が、例えば、配管
2の所定部位に設けられたボールバルブ部10及びガス
シール部12を通して流体流路4内に挿入される。流体
流路4には、流体としての燃料用ガス、例えば高圧(例
えば4MPa)の都市ガスが矢印で示す方向に流れてお
り、ダスト測定装置は、このように流れる燃料用ガス中
のダスト濃度を測定するのに好都合に用いることができ
るが、一般的なガスに含まれたダストの濃度を測定する
のにも広く用いることができる。
ング8の先端部の所定部位には凹部15が設けられ、こ
の凹部15の片側に照射部14が設けられ、その他側に
受光部16が設けられている。検知部ハウジング8の照
射部14には照射開口18が設けられ、この照射開口1
8に照射口カバー20が装着されている。また、検知部
ハウジング8の受光部16には受光開口22が設けら
れ、この受光開口22に受光口カバー24が装着されて
いる。照射口カバー20及び受光口カバー24はガラス
等の透明な材料から形成され、照射口カバー20及び受
光口カバー24によって、照射開口18及び受光開口2
2が密封され、これら照射口カバー20及び受光口カバ
ー24の表面に流体流路4を流れる流体が接触する。
分離した測定装置本体26を備えている。測定装置本体
26には、光を発光するための発光源28と、後述する
被検知光を受光するための受光素子30と、受光素子3
0により受光された被検知光を所要の通りに演算処理す
るためのダスト濃度演算手段32が内蔵されている。発
光源28は、例えばレーザ発振素子から構成され、近赤
外線レーザ光を発光する。尚、指向性の強い他の光を発
光する発光源を用いるようにしてもよい。また、受光素
子30は、例えばCCDから構成され、被検知光を受光
する。ダスト濃度演算手段32は、例えばマイクロコン
ピュータから構成され、受光素子30からの受光信号を
演算処理して流体中に含まれたダストの濃度を算出す
る。後述する如く、流体中に含まれているダスト量と被
検知光とは所定の関係があり、ダスト量が多い(又は少
ない)と、ダストによる光の散乱が多く(又は小さ
く)、従って、測定領域50からの散乱光が明るく(又
は暗く)、受光素子30に受光される受光量が大きく
(又は小さく)なり、このような関係を利用してダスト
濃度演算手段32はダスト濃度を算出する。
及び表示装置36が付設されており、印刷装置34は、
ダスト濃度演算手段32により算出したダスト濃度を印
刷し、また表示装置36は、算出したダスト濃度を表示
する。
8とは、第1及び第2光ファイバ38,40により接続
されている。第1光ファイバ38は、発光源28からの
光を照射部14に導き、第2光ファイバ40は、受光部
16からの被検知光を受光素子30に導く。このように
構成されているので、発光源28及び第1光ファイバ3
8は、照射光を照射するための照射手段を構成し、第2
光ファイバ40及び受光素子30は被検知光を受光する
ための受光手段を構成する。
グ8の凹部15の片側には、この検知部ハウジング8内
に第1閉塞部材42が装着され、この第1閉塞部材42
にファイバ保持部材44が螺着され、このファイバ保持
部材44内に第1光ファイバ38の先端部が位置付け保
持されている。このファイバ保持部材44の先端部には
照射開口18を規定する凹部が設けられ、かかる凹部に
照射口カバー20が装着されている。この照射口カバー
20の表面側には第1カバー取付部材46が配設され、
この第1カバー取付部材46を通して取付ねじ(図示せ
ず)を第1閉塞部材42螺着することによって、照射口
カバー20が照射開口18に押圧保持される。この第1
カバー取付部材46の中央部には円形状の開口48が設
けられている。かく構成されているので、発光源28か
らの光は、第1光ファイバ38を通ってその先端面から
投射され、ファイバ保持部材44内の空間、照射口カバ
ー20及び第1カバー取付部材46の開口48を通して
流体流路4内の測定領域50に向けて照射される。
側には、この検知部ハウジング8内に第2閉塞部材52
が装着され、この第2閉塞部材52に集光レンズ54及
び反射鏡56が装着されているとともに、第2光ファイ
バ40の先端部が装着されている。第2閉塞部材52の
所定部位にはレンズ支持スリーブ58が螺着され、この
レンズ支持スリーブ58の一端部を覆うようにカバー保
持部材60が螺着され、レンズ支持スリーブ58の一端
とカバー保持部材60の中間段部との間にOリング62
を介して集光レンズ54が装着されている。このカバー
保持部材60の先端部には受光開口22を規定する凹部
が設けられ、かかる凹部に受光口カバー24が装着され
ている。この受光口カバー20の表面側には、照射口カ
バー20側と同様に、第2カバー取付部材64が配設さ
れ、この第2カバー取付部材64を通して取付ねじ(図
示せず)を第2閉塞部材52螺着することによって、受
光口カバー24が受光開口24に押圧保持される。この
第2カバー取付部材64の中央部には円形状の開口66
が設けられている。
欠き68が設けられ、この切欠き68内に反射面が突出
するように反射鏡56が第2閉塞部材52に取り付けら
れている。この形態では、反射鏡56が鏡支持部材68
に取り付けられ、第2閉塞部材52に設けられた挿入孔
を通して反射鏡56の先端側を挿入し、この鏡支持部材
68を固定用ねじ70により第2閉塞部材52の裏面に
取り付けることにより、反射鏡56が所要の通りに取り
付けられる。また、第2閉塞部材52にはファイバ挿入
孔72が設けられ、第2光ファイバ40の先端部はこの
ファイバ挿入孔72に挿入保持され、保持ホルダ74に
より保持されている。この形態では、第1閉塞部材42
と第2閉塞部材52との間にはカバースリーブ76が取
り付けられ、このカバースリーブ76内を通して第2光
ファイバ40が第2閉塞部材52に延びている。
ダストにより散乱された被検知光は、第2カバー取付部
材64の開口66、受光口カバー24、カバー保持部材
60の内部空間、集光レンズ54、レンズ支持スリーブ
58の内部空間、第2閉塞部材52の孔77及び切欠き
68を通して反射鏡56に至り、この反射鏡56の反射
面で反射された後、切欠き68を通して第2光ファイバ
40の先端面に受光され、かく受光された被検知光は、
第2光ファイバ40を通して受光素子30に導かれる。
このように被検知光が受光されるので、集光レンズ54
及び反射鏡56も上記受光手段の一部を構成する。
先端部は、検知部ハウジング8の軸線方向(図2及び図
3において左右方向)に対して10〜30度の適当な角
度、例えば20度傾斜して保持され、従って、第1光フ
ァイバ38からの照射光は、上記軸線方向に対して例え
ば20度傾斜した角度で照射される。また、集光レンズ
54を通る光軸は、検知部ハウジング8の軸線方向に対
して10〜30度の適当な角度、例えば20度傾斜し、
また第2光ファイバ40の先端部は検知部ハウジング8
の上記軸線方向に延びており、従って、測定領域50か
ら上記光軸方向への散乱光、即ち被検知光は、反射鏡5
6の反射面で検知部ハウジング8の上記軸線方向に反射
された後に第2光ファイバ40に導かれる。このように
照射部14からの照射角度及び受光部16の光軸角度を
検知部ハウジング8の軸線に対して所定角度傾斜させる
ことによって、照射部14からの照射光が直接的に受光
部16に受光されることがなく、測定領域50における
散乱光のみが被検知光として受光部16に受光されるよ
うになり、これにより流体中のダスト濃度を正確に測定
することができる。また、受光部16にて受光された被
検知光を反射鏡56により反射させているので、この被
検知光を鋭角に反対方向に導いて第2光ファイバ40の
先端面に到達させることができ、これにより、検知部ハ
ウジング8の外形を小さくすることが可能となり、その
小型化、軽量化を達成することができる。尚、この形態
では、検知部ハウジング8の凹部15の軸線方向中央部
には、外方に突出する遮光板80が設けられている。こ
の遮光板80は、照射部14から照射された照射光が受
光部16に直接的に受光されるのを防止する。
4の照射面(照射口カバー20の表面であって、この面
が流体接触面となる)及び受光部16の受光面(受光口
カバー24の表面であって、この面が流体接触面とな
る)にダストが付着するのを防止するためのパージ流体
噴出構造が採用されている。図示のパージ流体噴出構造
は、照射部14の照射面にパージ流体を噴出する第1噴
出手段と、この第1噴出手段にパージ流体を送給するた
めの第1パージ流体送給手段82と、受光部16の受光
面にパージ流体を噴出する第2噴出手段と、この第2噴
出手段にパージ流体を送給するための第2パージ流体送
給手段84とを含んでいる。この実施形態では、第1噴
出手段は第1カバー取付部材46から構成され、第1パ
ージ流体送給手段82が第1パージ流体流路86を備
え、第1パージ流体流路86が第1カバー取付部材46
まで延びている。また、第2噴出手段は第2カバー取付
部材64から構成され、第2パージ流体送給手段84が
第2パージ流体流路88を備え、第2パージ流体流路8
8が第2カバー取付部材64まで延びている。
88は主パージ流体流路90に合流され、この主パージ
流体流路90がパージ流体供給源92に接続されてい
る。パージ流体供給源92は例えば流体タンクから構成
され、この流体タンク内に流体流路4を通して流れる流
体と実質上同じ成分の流体が充填され、かく充填された
パージ流体が後述する如くパージ供給される。流体流路
4を通して燃料用ガス、例えば都市ガスが流れる場合、
パージ流体供給源92から実質上同じ成分の燃料用ガ
ス、例えば都市ガスがパージ供給され、かくパージ供給
することによって、パージ流体が添加されても流体流路
4を流れる流体の成分が変化することがなく、流体流路
4を流れる燃料用ガスの燃焼熱量を一定に保つことがで
きる。
は、第1閉塞部材42に形成された環状流路96と、こ
の環状流路96から延びる流路98と、第1閉塞部材4
2に装着された接続部材100の流路102と、検知部
ハウジング8の端部部材104に形成された流路106
と、端部部材104と接続部材110との間に配設され
た接続パイプ112の流路114と、を含み、この端部
部材104の流路106がチューブ部材116の流路1
18を介してパージ流体供給源92に接続される。
塞部材42に形成された流路120を含み、この流路1
20が上記環状流路96から第1カバー取付部材46ま
で延びている。更に、第2パージ流体流路88は、第1
閉塞部材42の環状空間96から延びる流路122と、
第1閉塞部材42に装着された短接続部材124の流路
126と、第2閉塞部材52に装着された短接続部材1
28の流路130と、短接続部材124,128間に配
設された接続パイプ132の流路134と、第1閉塞部
材42の流路136と、その環状流路138と、この環
状流路138から第2カバー取付部材64まで延びる流
路140と、を含んでいる。このように構成されている
ので、パージ流体供給源92からのパージ流体は、主パ
ージ流体流路90を通して第1閉塞部材42の環状流路
96に流れ、この環状流路96から第1パージ流体流路
86を通して第1カバー取付部材46に流れるととも
に、第2パージ流体流路88を通して第2カバー取付部
材64に流れる。
に逆止弁146が配設されている。この逆止弁146
は、球状の弁体148と、この弁体148を押圧する押
圧部材150と、押圧部材150に作用するコイルばね
152から構成され、コイルばね152は、押圧部材1
50を介して弁体148を閉方向(図2において左方)
に弾性的に偏倚する。このように逆止弁146を設ける
ことによって、主パージ流体流路90を通しての流体の
逆流が防止され、流体流路4を流れる流体が第1パージ
流体流路86及び/又は第2パージ流体流路88を通し
てパージ流体供給源92側に逆流することが防止され
る。また、図示の形態では、押圧部材150の片側(弁
体148に作用する面とは反対側)に軸部が設けられ、
この軸部を被嵌するようにコイルばね152が装着され
ており、このように構成することによって、コイルばね
152の偏倚力が押圧部材150を介して弁体148に
安定的に作用し、かくして、主パージ流体流路90を通
しての流体の逆流をより確実に防止することができる。
尚、第1及び第2パージ流体流路86,88に充分な設
置スペースが存在する場合、このような逆止弁を第1及
び第2パージ流体流路86,88に設けるようにしても
よい。
流れるパージ流体は、次のようにして照射口カバー20
の照射面及び受光口カバー24の受光面に向けて噴出さ
れる。第1及び第2噴出手段を構成する第1及び第2カ
バー取付部材46,64は実質上同一の構成であり、以
下、主として図4を参照して、第2カバー取付部材64
(第1カバー取付部材46)及びそれに関連する構成に
ついて説明する。
受光面(照射面)側に取り付けられる第2カバー取付部
材64(第1カバー取付部材46)は、外周壁162
と、この外周壁162の先端部から受光面(照射面)に
向けて半径方向内方に傾斜して延びる内周壁164とを
有し、外周壁162が第2閉塞部材52(第1閉塞部材
42)に当接するように装着される。この取付状態にお
いては、内周壁164の先端部が受光口カバー24(照
射口カバー20)の受光面(照射面)を押圧し、受光口
カバー24(照射口カバー20)は受光開口24(照射
開口18)に押圧保持される。
取付部材46)の外周壁162と内周壁164との間に
は第2環状空間166(第1環状空間)が規定され、か
かる第2環状空間166(第1環状空間)が第2パージ
流体流路88(第1パージ流体流路86)に連通してい
る。また、この内周壁164の先端部には、周方向に間
隔をおいて複数個の噴出口168が設けられ、これら噴
出口168が第2噴出手段(第1噴出手段)の噴出口と
して機能する。この形態では、噴出口168は矩形状に
形成されているが、半円状等の適宜の形状に形成するこ
ともできる。
ジ流体流路88(第1パージ流体流路86)からのパー
ジ流体は、第2噴出手段を構成する第2カバー取付部材
64(第1噴出手段を構成する第1カバー取付部材4
6)の第2環状空間166(第1環状空間)に流れ、こ
の第2環状空間166(第1環状空間)を通して複数個
の噴出口168から半径方向内方に受光口カバー24
(照射口カバー20)の受光面(照射面)に沿って噴出
される。
れる流体が検知部ハウジング8内に流入するのを確実に
防止するために、必要個所に、Oリング180を二重に
用いた二重シール構造が採用されている。即ち、図2及
び図3に示すように、この二重シール構造は、第1閉塞
部材42の装着部位、第2閉塞部材52の装着部位、フ
ァイバ保持部材44の装着部位、短接続部材124,1
28の装着部位、保持ホルダ76の装着部位、カバー保
持部材60の装着部位等に採用されている。
供給源92からのパージ流体が主パージ流体流路90を
通して第1及び第2パージ流路流路86,88に送給さ
れ、第1パージ流体流路86に送給されたパージ流体
は、第1カバー取付部材46の噴出口から照射口カバー
20の照射面に向けて噴出されるとともに、第2パージ
流体流路88に送給されたパージ流体は、第2カバー取
付部材64の噴出口170から受光口カバー24の受光
面に向けて噴出される。従って、照射面付近のダスト6
は、第1カバー取付部材46の噴出口から半径方向内方
に流れた後に照射面から離れる方向へ流れるパージ流体
によって吹き飛ばされ、また受光面付近のダスト6は、
第2カバー取付部材64の噴出口170から半径方向内
方に流れた後に受光面から離れる方向へ流れるパージ流
体によって吹き飛ばされ、かくして、ダスト6が照射面
及び受光面に付着することが防止され、仮にダスト6が
これらの面にに付着したとしても吹き飛ばすことができ
る。その結果、上記照射面及び受光面の表面を長期にわ
たってきれいな状態に保つことができ、流体中のダスト
濃度を正確に測定することができる。また、照射口カバ
ー20側においては、パージ流体は照射口カバー20の
周囲から半径方向内方に流れた後にその照射面から離れ
る方向に流れ、また受光口カバー24側においては、パ
ージ流体は受光口カバー24の周囲から半径方向内方に
流れた後にその受光面から離れる方向に流れ、かくし
て、少量のパージ流体でもって照射面及び受光面へのダ
ストの付着を効果的に防止することができ、これによ
り、パージ流体の測定領域への影響を最小限に抑えるこ
とができる。
施形態について説明したが、本発明はかかる実施形態に
限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱すること
なく種々の変形乃至修正が可能である。
2カバー取付部材46,64により第1及び第2噴出手
段を構成しているが、このような構成に代えて、例え
ば、第1噴出手段としての第1チューブ(又は第1パイ
プ)を照射口カバー20の周囲にリング状に配設すると
ともに、第2噴出手段としての第2チューブ(又は第2
パイプ)を受光口カバー24の周囲にリング状に配設
し、第1及び第2チューブ(又は第1及び第2パイプ)
に間隔をおいて設けた噴出口からパージ流体を半径方向
内方に噴出するようにしてもよく、この場合、第1パー
ジ流体送給手段82を通して流れるパージ流体は第1チ
ューブ(又は第1パイプ)に送給され、第2パージ流体
送給手段84を通して流れる流体は第2チューブ(又は
第2パイプ)に送給される。
噴出手段の噴出口を照射口カバー20及び受光口カバー
24の周方向に間隔をおいて複数個設けているが、こよ
うな構成に限定されず、それらの噴出口を周方向に連続
する一つの噴出口から構成するようにしてもよく、この
ような形状の噴出口であってもパージ流体を周方向に実
質上均一に噴出させることができる。
数本のチューブ、パイプ等から構成するようにしてもよ
く、この場合、複数本のチューブ、パイプ等の一端は照
射口カバー(受光口カバー)の周囲に周方向に間隔をお
いて配設され、第1パージ流体送給手段を通して送給さ
れるパージ流体はこれらチューブ、パイプ等の他端側に
送給される。
噴出構造をダスト測定装置に適用して説明したが、この
ようなパージ流体噴出構造は、光を照射するための照射
開口及び/又は光を受光するための受光開口を有する各
種測定装置、計測装置、検査装置等に適用することがで
きる。
によれば、パージ流体はパージ流体送給手段を通して送
給され、噴出手段から流体に接する部材の流体接触面に
沿って噴出されるので、ダスト、ミスト等が流体接触面
に付着するのを回避することができるとともに、仮に付
着したとしても付着したダスト、ミスト等を吹き飛ばす
ことができる。また、パージ流体は流体接触面の周囲か
らその中心に向けて実質上均一に噴出されるので、パー
ジ流体は半径方向内方に流れた後に流体接触面から離れ
る方向に流れ、このような流によって、ダストを流体接
触面から押し返すように流すことができ、かくして、少
量のパージ流体でもってダスト、ミスト等の付着を防止
することができる。
によれば、第1パージ流体送給手段は照射口カバーの照
射面に向けてパージ流体を噴出するので、ダスト、ミス
ト等が照射面に付着するのを回避することができる。ま
た、第2パージ流体送給手段は受光口カバーの受光面に
向けてパージ流体を噴出するので、ダスト、ミスト等が
受光面に付着するのを回避することができる。このよう
に照射面及び受光面へのダスト、ミスト等の付着を防止
してこれらの面をきれいな状態に保つことができ、その
結果、流体中のダスト濃度を正確に測定することができ
る。
によれば、第1及び第2パージ流体流路は主パージ流体
流路に合流され、この主パージ流体流路に逆止弁が配設
されているので、第1パージ流体流路を通しての流体の
逆流及び第2パージ流体流路を通しての流体の逆流を防
止することができる。また、単一の逆止弁でもって、第
1及び第2パージ流体流路からの逆流を防止することが
できる。
によれば、第1噴出手段を構成する第1カバー取付部材
の内周壁に周方向に間隔をおいて複数個の噴出口が設け
られているので、第1パージ流体送給手段から第1環状
空間に送給されパージ流体は、これら噴出口から半径方
向内方に噴出され、かくして、パージ流体を周方向に実
質上均一に噴射させて照射面へのダスト等の付着を効果
的に防止することができる。また、第2噴出手段を構成
する第2カバー取付部材の内周壁に周方向に間隔をおい
て複数個の噴出口が設けられているので、第2パージ流
体送給手段から第2環状空間に送給されパージ流体は、
これら噴出口から半径方向内方に噴出され、かくして、
パージ流体を周方向に実質上均一に噴射させて受光面へ
のダスト等の付着を効果的に防止することができる。
によれば、流体流路内に挿入される検知部ハウジングを
小型に、且つ細くすることができ、測定作業時の取り扱
いが容易となる。
図である。
である。
を示す部分断面図である。
部分拡大断面図である。
Claims (5)
- 【請求項1】 流体流路を流れる流体に接する流体接触
面を有する部材と、前記部材の流体接触面に向けてパー
ジ流体を噴出する噴出手段と、前記噴出手段にパージ流
体を送給するためのパージ流体送給手段と、を備え、 前記噴出手段は、前記流体接触面の周囲からその中心に
向けて周方向に実質上均一にパージ流体を噴出すること
を特徴とするパージ流体噴出構造。 - 【請求項2】 照射開口及び受光開口を有する検知部ハ
ウジングと、前記照射開口を通して測定領域を流れる流
体に向けて光を照射するための照射手段と、前記測定領
域からの被検知光を前記受光開口を通して受光するため
の受光手段と、前記受光手段にて受光された被検知光を
所要の通りに演算処理してダスト濃度を算出するダスト
濃度演算手段と、を備えたダスト測定装置であって、 前記照射開口には照射口カバーが装着され、前記照射口
カバーの照射面に向けてパージ流体を噴出する第1噴出
手段が設けられており、 前記受光開口には受光口カバーが装着され、前記受光口
カバーの受光面に向けてパージ流体を噴出する第2噴出
手段が設けられており、 また、前記検知部ハウジング内には、前記第1噴出手段
にパージ流体を送給するための第1パージ流体送給手
段、及び前記第2噴出手段にパージ流体を送給するため
の第2パージ流体送給手段が設けられており、 前記第1噴出手段は前記照射口カバーの照射面の周囲か
らその中心に向けて周方向に実質上均一にパージ流体を
噴出し、前記第2噴出手段は前記受光口カバーの受光面
の周囲からその中心に向けて周方向に実質上均一にパー
ジ流体を噴出することを特徴とするダスト測定装置。 - 【請求項3】 前記第1パージ流体送給手段はパージ流
体を前記第1噴出手段に送給するための第1パージ流体
流路を備え、前記第2パージ流体送給手段はパージ流体
を前記第2噴出手段に送給するための第2パージ流体流
路を備え、前記第1及び第2パージ流体流路は合流して
主パージ流体流路を通してパージ流体供給源に接続さ
れ、前記主パージ流体流路には、前記パージ流体供給源
側への逆流を防止するための逆止弁が設けられているこ
とを特徴とする請求項3記載のダスト測定装置。 - 【請求項4】 前記照射口カバーの表面側には、前記第
1噴出手段を構成する第1カバー取付部材が装着され、
前記第1カバー取付部材は外周壁及び内周壁を有し、前
記外周壁及び内周壁の間に第1環状空間が設けられ、前
記第1パージ流体送給手段は前記第1環状空間にパージ
流体を送給し、更に、前記第1カバー取付部材の前記内
周壁には周方向に間隔をおいて複数個の噴出口が設けら
れており、前記第1パージ流体送給手段からのパージ流
体は、前記第1環状空間を通し、前記複数個の噴出口か
ら半径方向内方に前記照射口カバーの表面に沿って噴出
され、また前記受光口カバーの表面側には、前記第2噴
出手段を構成する第2カバー取付部材が装着され、前記
第2カバー取付部材は外周壁及び内周壁を有し、前記外
周壁及び内周壁の間に第2環状空間が設けられ、前記第
2パージ流体送給手段は前記第2環状空間にパージ流体
を送給し、更に、前記第2カバー取付部材の前記内周壁
には周方向に間隔をおいて複数個の噴出口が設けられて
おり、前記第2パージ流体送給手段からのパージ流体
は、前記第2環状空間を通し、前記複数個の噴出口から
半径方向内方に前記受光口カバーの表面に沿って噴出さ
れることを特徴とする請求項2又は3に記載のダスト測
定装置。 - 【請求項5】 前記照射手段は、光を発光するための発
光源と、前記発光源からの光を前記照射開口に導くため
の第1光ファイバとを含んでおり、前記受光手段は、被
検知光を受光するための受光素子と、前記受光開口通し
て導入された被検知光を所定方向に反射するための反射
鏡と、前記反射鏡により反射された被検知光を前記受光
素子に導くための第2光ファイバとを含んでいることを
特徴とする請求項2〜4のいずれかに記載のダスト測定
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002010089A JP3871310B2 (ja) | 2002-01-18 | 2002-01-18 | ダスト測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002010089A JP3871310B2 (ja) | 2002-01-18 | 2002-01-18 | ダスト測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003215026A true JP2003215026A (ja) | 2003-07-30 |
JP3871310B2 JP3871310B2 (ja) | 2007-01-24 |
Family
ID=27647914
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002010089A Expired - Fee Related JP3871310B2 (ja) | 2002-01-18 | 2002-01-18 | ダスト測定装置 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006208254A (ja) * | 2005-01-31 | 2006-08-10 | Amano Corp | 粉塵濃度検出装置 |
JP2017219424A (ja) * | 2016-06-07 | 2017-12-14 | オクト産業株式会社 | 塵埃認識装置 |
-
2002
- 2002-01-18 JP JP2002010089A patent/JP3871310B2/ja not_active Expired - Fee Related
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JP2017219424A (ja) * | 2016-06-07 | 2017-12-14 | オクト産業株式会社 | 塵埃認識装置 |
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JP3871310B2 (ja) | 2007-01-24 |
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