JP2003212307A - Magazine stacker - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To increase a stock amount of a magazine. <P>SOLUTION: An upper conveying part 51 is provided on a lower part of a stock rail for retaining a magazine 32 and the magazine 32 of the stock rail 41 can be taken out by vertically moving a support plate 53 of the upper conveying part 51 by a lifter 52. An upper holder 81 for retaining the magazine 32 at a tip end of the upper conveying part 51 is provided on an upper elevation 82 and an accommodation part 33 of the magazine 32 retained to the upper holder 81 can be coincident with a height position of a pass line 31. A midway conveying part 111 is provided on a midway base 91 and extends to a lower part of the upper elevation 82. A lower holder 121 for retaining the magazine 32 at a tip end of the midway conveying part 111 is provided on the lower elevation 122 and a lower conveying part 151 for stocking the magazine 32 conveyed by the lower elevation 22 is provided on a lower part of the midway conveying part 111. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【発明の属する技術分野】本発明は、リードフレームを
収容したマガジンをストックするマガジンスタッカに関
する。 【０００２】 【従来の技術】従来、チップをボンディングする際に
は、短冊状のリードフレームを搬送路に沿って移動し、
半導体などのチップを各リードフレームへ順次ボンディ
ングしていた。 【０００３】このような半導体製造装置において、図８
に示すように、前記搬送路７０１には、前記リードフレ
ーム７０２，・・・が通過するパスライン７０３が設定
されており、該パスライン７０３の下流側には、マガジ
ンスタッカ７０４が設置されている。 【０００４】このマガジンスタッカ７０４のベース７１
１には、起立壁７１２と支柱７１３とが離間して立設さ
れており、該支柱７１３と前記起立壁７１２間には、前
記リードフレーム７０２，・・・を収納する収納部７１
４，・・・が上下に複数設けられたマガジン７１５を保
持する上部レール７１６が設けられている。この上部レ
ール７１６には、スライダ７１７に支持された押圧壁７
１８が当該上部レール７１６に沿って移動自在に設けら
れており、この上部レール７１６上に配列されたマガジ
ン７１５，・・・を前記起立壁７１２側へ移動できるよ
うに構成されている。前記上部レール７１６と前記起立
壁７１２間には、該起立壁７１２に沿って上下移動する
エレベーション７１９が配設されており、前記押圧壁７
１８で押圧され端部に移動されたマガジン７１５を載置
して、下降できるように構成されている。 【０００５】これにより、前記エレベーション７１９に
よって前記マガジン７１５の収納部７１４，・・・を前
記パスライン７０３の高さ位置に合致させ、このパスラ
イン７０３を通過したリードフレーム７０２を前記収納
部７１４へ収納できるように構成されており、該収納部
７１４のピッチ分のエレベーション７１９の下降と、前
記収納部７１４へのリードフレーム７０２の収納とを繰
り返すことによって、マガジン７１５の総ての収納部７
１４，・・・へリードフレーム７０２，・・・を収納で
きるように構成されている。 【０００６】また、前記ベース７１１には、前記エレベ
ーション７１９の下限位置の延長上に下部レール７２１
が設けられており、前記エレベーション７１９は、載置
したマガジン７１５，・・・を当該下部レール７２１上
へ押し出せるように構成されている。この下部レール７
２１の先端部には、リミットスイッチ７２２が設けられ
ており、当該先端部にマガジン７１５が到達したことを
感知できるように構成されている。 【０００７】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなマガジンスタッカ７０４にあっては、半導体製造装
置に組み込まれて使用される都合上、装置の幅寸法が制
限されてしまい、マガジン７１５，・・・のストック数
が制約されてしまうという問題があった。 【０００８】このため、ストックされたマガジン７１
５，・・・が下部レール７２１先端部に到達し、リミッ
トスイッチ７２２が作動した際には、オペレータによる
早急な対応を要する。また、頻繁に装置を停止させなけ
ればならず、長時間の継続した自動運転の阻害要因とな
っていた。 【０００９】本発明は、このような従来の課題に鑑みて
なされたものであり、マガジンのストック量を増大する
ことができるマガジンスタッカを提供することを目的と
するものである。 【００１０】 【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に本発明のマガジンスタッカにあっては、パスラインを
通過した短冊状のリードフレームを、マガジンの収納部
に順次収納してストックするマガジンスタッカにおい
て、複数の前記マガジンの両側部を支持して保持するス
トックレールと、該ストックレールの下部に設けられ、
載置された前記マガジンを移動する機構を有した上部搬
送部と、該上部搬送部を上下移動するリフタと、前記上
部搬送部の端部へ搬送された前記マガジンを着脱自在に
保持する上部ホルダと、該上部ホルダを上下移動すると
ともに、保持した前記マガジンの前記収納部と前記パス
ラインとの高さ位置制御を行う上部エレベーションと、
該上部エレベーションで下降された前記上部ホルダの前
記マガジンを載置し、そのマガジンを移動する機構を有
した中間搬送部と、該中間搬送部の端部へ搬送された前
記マガジンを着脱自在に保持する下部ホルダと、該下部
ホルダを上下移動する下部エレベーションと、該下部エ
レベーションで下降された前記下部ホルダの前記マガジ
ンを載置し、そのマガジンを移動する機構を有した下部
搬送部とを備え、前記上部搬送部上の前記マガジンに不
足が生じた際に、前記ストックレール間に保持された前
記マガジンを当該上部搬送部上に載置できる位置まで前
記リフタで上昇する上昇手段と、前記ストックレール間
の前記マガジンを前記上部搬送部上に載置した状態で前
記ストックレールによる前記マガジンの保持状態を解除
する保持解除手段と、前記上部搬送部を、該上部搬送部
上の前記マガジンを前記上部ホルダで保持できる位置ま
で前記リフタで下降する下降手段と、を備えている。 【００１１】すなわち、パスラインを通過した短冊状の
リードフレームを、マガジンの収納部にストックする際
には、複数のマガジンを、ストックレールに保持すると
ともに、ストックレール下部の上部搬送部に載置して始
動し、該上部搬送部に載置されたマガジンへのリードフ
レームの収納と、そのマガジンの中間搬送部及び下部搬
送部へのストックを開始する。 【００１２】このとき、前記上部搬送部上のマガジンに
不足が生じた際には、上昇手段によって、ストックレー
ル間に保持されたマガジンを、前記上部搬送部上に載置
できる位置までリフタで上昇するとともに、保持解除手
段によって、前記ストックレール間のマガジンを上部搬
送部上に載置した状態で、前記ストックレールによるマ
ガジンの保持状態が解除される。これにより、ストック
レールに保持されたマガジンは、前記上部搬送部上に載
置される。 【００１３】そして、前記上部搬送部は、下降手段によ
って、載置されたマガジンを上部ホルダで保持できる位
置までリフタで下降され、マガジンへのリードフレーム
の収納が継続して行われる。 【００１４】 【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を図
に従って説明する。図１は、本実施の形態にかかるマガ
ジンスタッカ１の一使用形態を示す模式図であり、該マ
ガジンスタッカ１を半導体製造装置２に使用した状態が
示されている。 【００１５】この半導体装置２では、短冊状のリードフ
レーム１１のボンディング箇所に、例えばＩＣチップと
パワートランジスタチップとをボンディングする装置で
あり、リードフレーム１１，・・・が搬送される搬送レ
ール１２の上流側には、ＩＣチップをボンディングする
上流側ダイボンダ１３が配設されている。該上流側ダイ
ボンダ１３の下流には、ＩＣチップがボンディングされ
たリードフレーム１１を下流側に搬送する第１搬送部１
４が設けられており、該第１搬送部１４の下流には、前
記マガジンスタッカ１が配設されている。 【００１６】該マガジンスタッカ１の下流には、当該マ
ガジンスタッカ１に保持されたリードフレーム１１を下
流側へ供給する第２搬送部２１が設けられており、該第
２搬送部２１の下流には、前記リードフレーム１１にパ
ワートランジスタチップをボンディングする下流側ダイ
ボンダ２２が配設されている。 【００１７】前記マガジンスタッカ１は、前記搬送路１
２に設定されたパスライン３１を通過するリードフレー
ム１１を、マガジン３２に順次収納してストックする装
置であり、図２に示すように、前記マガジン３２は、枠
型の箱状に形成されている（一箇所のみに詳細を図示し
他は省略）。このマガジン３２の対向した内側面には、
前記リードフレーム１１，・・・の両側部を支持する凹
部が上下に多数形成されており、対向した凹部によって
リードフレーム１１，・・・を収納する収納部３３，・
・・が形成されている。 【００１８】また、前記マガジンスタッカ１は、複数の
マガジン３２，・・・を保持するストックレール４１を
最上段に備えており、該ストックレール４１は、図３の
（ｂ）に示すように、対向して設けられたＬ字状のアン
グル材４２，４２によって構成されている。両アングル
材４２，４２は、図外の開閉装置に支持されており、該
開閉装置を作動することによって両アングル材４２，４
２間の離間距離を変更し、両アングル材４２，４２でマ
ガジン３２，・・・の両側部を支持して保持した保持状
態と、両アングル材４２，４２を離反してマガジン３
２，・・・の保持状態を解除する保持解除状態とを形成
できるように構成されている。 【００１９】このストックレール４１の下部には、図２
に示したように、上部搬送部５１が設けられている。該
上部搬送部５１は、図３の（ｂ）に示すように、リフタ
５２によって上下動自在に支持された支持板５３を備え
ており、このリフタ５２は、シリンダ５４と、該シリン
ダ５４からの突出量が制御され前記支持板５３の高さ位
置を可変するロッド５５とによって構成されている。前
記支持板５３は、長方形板状に形成されており、複数の
前記マガジン３２，・・・を、その長さ方向に配列して
載置できるように構成されている。この支持板５３の幅
寸法は、前記ストックレール４１にマガジン３２，・・
・を支持した状態で、両アングル材４２，４２間へ挿入
できる寸法に設定されており、上昇時には前記ストック
レール４１に支持されたマガジン３２，・・・を載置で
きるように構成されている。 【００２０】この支持板５３の両側部には、図２及び図
３に示すように、両端部がプーリ６１，６１に支持され
たリング状のベルト６２が設けられており、前記支持板
５３を下降した状態で、当該支持板５３上のマガジン３
２を両ベルト６２，６２で支持できるように構成されて
いる。また、両ベルト６２，６２の内側には、ベルト６
２，６２上のマガジン３２，・・・を支持する支持バー
６３，６３が延設されており、マガジン３２，・・・の
重みによるベルト６２，６２の弛みを防止できるように
構成されている。 【００２１】また、前記プーリ６１の一方には、図２に
示したように、モータからの駆動軸７１が連結されてお
り、モータを制御することによって、両ベルト６２，６
２に支持された前記マガジン３２，・・・を当該上部搬
送部５１に沿って移動できるように構成されている。こ
の上部搬送部５１の図中左方の先端部には、移動された
マガジン３２の脱落を防止するＬ字状のストッパー７２
が設けられており、該ストッパー７２には、当該ストッ
パー７２上のマガジン３２の有無を検知するリミットス
イッチ７３が設けられている。 【００２２】前記上部搬送部５１の図中左方の先端側に
は、該上部搬送部５１の先端部へ搬送されたマガジン３
２を着脱自在に保持する上部ホルダ８１が設けられてお
り、該上部ホルダ８１は、上部エレベーション８２によ
って上下移動自在に支持されている。前記上部ホルダ８
１は、前記上部搬送部５１先端部のマガジン３２を下面
より支持する断面Ｌ字状のホルダ本体８３と、該ホルダ
本体８３の上端部に上下動自在に支持された断面Ｌ字状
のグリッパ８４とによって構成されており、該グリッパ
８４を上下動することによって、前記マガジン３２を上
下から挟持した挟持状態と、その挟持状態を解除した解
除状態とを形成できるように構成されている。 【００２３】前記上部エレベーション８２は、前記マガ
ジンスタッカ１の中間ベース９１に対して起立したＺ軸
スライドレール９２と、該Ｚ軸スライドレール９２に上
下動自在に支持されたＺ方向スライダ９３，９３とを備
えており、該Ｚ方向スライダ９３，９３には、前記上部
ホルダ８１のホルダ本体８３が固定されている。前記Ｚ
軸スライドレール９２の裏面には、ボールねじ９４が起
立して設けられており、該ボールねじ９４の上端部に
は、当該ボールねじ９４を回転制御するＺ軸モータ９５
が設けられている。また、このボールねじ９４には、螺
合部材を介して前記上部ホルダ８１が支持されており、
前記ボールねじ９４の回転量に応じて、上部ホルダ８１
を上下移動できるように構成されている。 【００２４】この上部ホルダ８１が上下動する範囲内に
は、前記パスライン３１が設定されており、前記Ｚ軸モ
ータ９５を制御することによって、前記上部ホルダ８１
に保持されたマガジン３２の収納部３３と前記パスライ
ン３１との高さ位置を合致できるように構成されてい
る。 【００２５】そして、前記Ｚ軸スライドレール９２は、
Ｙ方向スライダ１０１上に固定されており、該Ｙ方向ス
ライダ１０１は、前記中間ベース９１に固定されたＹ軸
スライドレール１０２に移動自在に支持されている。こ
のＹ軸スライドレール１０２の端部には、Ｙ軸モータ１
０３が設けられており、該Ｙ軸モータ１０３に接続され
たボールねじ１０４には、前記Ｙ方向スライダ１０１の
螺合部が螺合している。これにより、前記ボールねじ１
０４の回転量に応じて、前記Ｙ方向スライダ１０１を横
移動し、該Ｙ方向スライダ１０１のＺ軸スライドレール
９２に支持された前記上部ホルダ８１を、前記上部搬送
部５１へ近接する方向及び離間する方向へ横移動できる
ように構成されている。 【００２６】前記中間ベース９１には、中間搬送部１１
１が延設されている。該中間搬送部１１１は、三つのプ
ーリ１１２，・・・と、各プーリ１１２，・・・に支持
されたリング状のベルト１１３とによって形成されてい
る。この中間搬送部１１１は、図中左方の基端部が前記
上部エレベーション８２の下部に達するように構成され
ており、該上部エレベーション８２で下降された前記上
部ホルダ８１のマガジン３２を載置できるように構成さ
れている。中央のプーリ１１２には、モータからの駆動
軸１１４が連結されており、モータを制御することによ
って前記ベルト１１３上に載置された前記マガジン３
２，・・・を、当該中間搬送部１１１に沿って移動でき
るように構成されている。 【００２７】前記中間搬送部１１１の図中右方の先端側
には、該中間搬送部１１１の先端部へ搬送されたマガジ
ン３２を着脱自在に保持する下部ホルダ１２１が設けら
れており、該下部ホルダは１２１は、下部エレベーショ
ン１２２によって上下動自在に支持されている。前記下
部ホルダ１２１のホルダ本体１２３には、前記中間搬送
部１１１先端部のマガジン３２を保持する断面Ｌ字状の
グリッパ１２４，１２４が上下動自在に支持されてお
り、このグリッパ１２４，１２４を上下に開閉すること
によって、前記マガジン３２を上下から挟持した挟持状
態と、その挟持状態を解除した解除状態とを形成できる
ように構成されている。 【００２８】前記下部エレベーション１２２は、当該マ
ガジンスタッカ１の下部ベース９９に対して起立したＺ
軸スライドレール１３１と、該Ｚ軸スライドレール１３
１に上下動自在に支持されたＺ方向スライダ１３２，１
３２とを備えており、該Ｚ方向スライダ１３２，１３２
には、前記下部ホルダ１２１のホルダ本体１２３が固定
されている。前記Ｚ軸スライドレール１３１の裏面に
は、シリンダ１３３が起立して設けられており、該シリ
ンダ１３３からの突出量が制御されるロッド１３４の先
端には、前記下部ホルダ１２１のホルダ本体１２３が連
結されている。これにより、前記ロッド１３４の突出量
を制御することによって、下部ホルダ１２１を上下移動
できるように構成されている。 【００２９】前記Ｚ軸スライドレール１３１は、Ｙ方向
スライダ１４１上に固定されており、該Ｙ方向スライダ
１４１は、前記下部ベース９９に固定されたＹ軸スライ
ドレール１４２に移動自在に支持されている。前記下部
ベース９９の下面には、シリンダ１４３が設けられてお
り、該シリンダ１４３から突出したロッド１４４の先端
には、前記Ｙ方向スライダ１４１に固定されている。こ
れにより、前記ロッド１４４の突出量を制御することに
よって、前記Ｙ方向スライダ１４１を横移動し、該Ｙ方
向スライダ１４１のＺ軸スライドレール１３１に支持さ
れた前記下部ホルダ１２１を、前記中間搬送部１１１へ
近接する方向及び離間する方向へ横移動できるように構
成されている。 【００３０】前記中間搬送部１１１の下部には、下部搬
送部１５１が延設されている。該下部搬送部１５１は、
一対のプーリ１５２，１５２と、両プーリ１５２，１５
２に支持されたリング状のベルト１５３とによって形成
されている。この下部搬送部１５１は、その基端部が前
記下部エレベーション１２２の下降位置とほぼ同じ高さ
に設定されており、該下部エレベーション１２２で下降
された前記下部ホルダ１２１のマガジン３２を載置でき
るように構成されている。前記プーリ１５２の一方に
は、モータからの駆動軸１５４が連結されており、モー
タを制御することによって前記ベルト５３上に載置され
た前記マガジン３２，・・・を、当該下部搬送部１５１
に沿って移動できるように構成されている。 【００３１】そして、この下部搬送部１５１の図中左方
の先端部には、移動されたマガジン３２が当該先端部に
到達した際にオン作動するリミットスイッチ１６１が設
けられており、該リミットスイッチ１６１は、図４に示
すように、制御装置１６２に接続されている。 【００３２】この制御装置１６２は、ＲＯＭ及びＲＡＭ
内蔵のマイコンを備えた制御部１７１を中心に構成され
ている。この制御部１７１には、前記ストックレール４
１のアングル材４２，４２を開閉作動するストックレー
ル駆動部１７２と、前記上部搬送部５１における支持板
５３のリフタ５２を作動するリフタ駆動部１７３と、前
記上部搬送部５１のベルト６２を作動する上部ベルト駆
動部１７４と、前記上部搬送部５１に設けられたリミッ
トスイッチ７３からの入力を伝達する空きセンサ部１７
５と、前記上部エレベーション８２のＺ軸モータ９５を
駆動する上部ホルダＺ方向駆動部１７６と、前記上部エ
レベーション８２のＹ軸モータ１０３を駆動して上部ホ
ルダ８１を横移動する上部ホルダＹ方向駆動部１７７
と、前記上部ホルダ８１のグリッパ８４を作動する上部
グリッパ駆動部１７８と、前記中間搬送部１１１のベル
ト１１３を作動する中間ベルト駆動部１７９とが接続さ
れている。 【００３３】また、前記制御部１７１には、前記下部エ
レベーション１２１のＺ方向のシリンダ１３３を作動す
る下部ホルダＺ方向駆動部１８１と、前記下部エレベー
ション１２１のＹ方向のシリンダを作動して下部ホルダ
１２１を横移動する下部ホルダＹ方向駆動部１８２と、
前記下部ホルダ１２１のグリッパ１２４，１２４を作動
する下部グリッパ駆動部１８３と、前記下部搬送部１５
１のベルト１５３を作動する下部ベルト駆動部１８４
と、前記下部搬送部１５１に設けられたリミットスイッ
チ１６１からの入力を伝達するストップセンサ部１８５
と、当該制御部１７１からの制御信号をリードフレーム
搬送装置１８６へ伝達する出力部１８７とが接続されて
いる。 【００３４】以上の構成にかかる本実施の形態の動作
を、図５から図７に示すフローチャートに従って説明す
る。なお、初期段階において、マガジンスタッカ１上段
のストックレール４１及び上部搬送部５１にはマガジン
３２，・・・がセットされ、半導体製造装置２の作動に
伴い、上部搬送部５１上の総てのマガジン３２，・・・
にリードフレーム１１，・・・が収納され、下部の各搬
送部１１１，１５１へ移動されているものとする。 【００３５】すなわち、上部搬送部５１上にマガジン３
２が無くなったか否かを、当該上部搬送部５１のリミッ
トスイッチ７３の作動状態を空きセンサ部１７５から入
力することにより判断し（Ｓ１）、マガジン３２有りと
判断した場合には、ステップＳ６へ分岐する。また、マ
ガジン３２無しと判断した場合には、リフタ駆動部１７
３へ制御信号を出力してリフタ５２を作動し、上部搬送
部５１の支持板５３上にストックレール４１に保持され
たマガジン３２，・・・を載置する（Ｓ２）。 【００３６】そして、ストックレール駆動部１７２へ制
御信号を出力しストックレール４１のアングル材４２，
４２を開作してマガジン３２，・・・の保持状態を解除
するとともに（Ｓ３）、リフタ５２を所定位置まで下降
して（Ｓ４）、前記ストックレール４１を閉作動する
（Ｓ５）。 【００３７】その後、上部ベルト駆動部１７４へ制御信
号を出力して上部搬送部５１のベルト６２でマガジン３
２，・・・を所定量先端方向へ移動し（Ｓ６）、上部グ
リッパ駆動部１７８へ制御信号を出力して上部ホルダ８
１のグリッパ８４を開作動するとともに（Ｓ７）、上部
ホルダＺ方向駆動部１７６へ制御信号を出力して上部ホ
ルダ８１を上部エレベーション８２で前記上部搬送部５
１の高さ位置まで移動する（Ｓ８）。 【００３８】次に、上部ホルダＹ方向駆動部１７７へ制
御信号を出力して上部ホルダ８１を前記上部搬送部５１
側へ前進させ（Ｓ９）、上部グリッパ駆動部へ制御信号
を出力して前記グリッパ８４を閉作動し当該上部ホルダ
８１で上部搬送部５１先端部のマガジン３２を保持する
（Ｓ１０）。この保持状態において、上部ホルダＹ方向
駆動部１７７へ制御信号を出力して上部ホルダを後退し
（Ｓ１１）、上部ホルダＺ方向駆動部１７６へ制御信号
を出力して上部エレベーション８２によって、上部ホル
ダ８１に保持されたマガジン３２の下段の収納部３３が
パスライン３１の高さ位置と一致するように制御する
（Ｓ１２）。 【００３９】この状態において、上流側ダイボンダ１３
によるＩＣチップのボンディングが行われる一方、下流
側ダイボンダ２２によるパワートランジスタチップのボ
ンディングが停止している場合であっても、上流側ダイ
ボンダ１３によるボンディングを継続し、該上流側ダイ
ボンダ１３からのリードフレーム１１を、前記パスライ
ン３１位置にセットされたマガジン３２の収納部３３へ
収納する（Ｓ１３）。この収納部３３へリードフレーム
１１を収納した時点において、前記上部エレベーション
８２で上部ホルダ８１のマガジン３２を、前記収納部３
３のピッチ分下降して、次段の収納部３３をパスライン
３１位置にセットし（Ｓ１４）、当該マガジン３２の総
ての収納部３３，・・・へのリードフレーム１１，・・
・の収納が完了するまでステップＳ１４とステップＳ１
５とを繰り返す。 【００４０】前記マガジン３２の総ての収納部３３，・
・・へのリードフレーム１１，・・・の収納が完了した
際には、前記上部エレベーション８２によって上部ホル
ダ８１のマガジン３２を中間搬送部１１１まで下降した
後（Ｓ１６）、上部ホルダ８１のグリッパ８４を開作動
して保持されたマガジン３２を中間搬送部１１１のベル
ト１１３上に載置した後（Ｓ１７）、該中間搬送部１１
１によって当該中間搬送部１１１上のマガジン３２，・
・・を先端側へ所定量移動する（Ｓ１８）。 【００４１】そして、下部グリッパ駆動部１８３へ制御
信号を出力して下部ホルダ１２１のグリッパ１２４，１
２４を開作動するとともに（Ｓ１９）、下部ホルダＺ方
向駆動部１８１へ制御信号を出力して下部ホルダ１２１
を下部エレベーション１２２で中間搬送部１１１の高さ
位置まで上昇する（Ｓ２０）。 【００４２】次に、下部ホルダＹ方向駆動部１８２へ制
御信号を出力して下部ホルダ１２１を前記中間搬送部１
１側へ前進させ（Ｓ２１）、下部グリッパ駆動部１８３
へ制御信号を出力して前記グリッパ１２４，１２４を閉
作動し当該下部ホルダ８１で中間搬送部１１１先端部の
マガジン３２を保持する（Ｓ２２）。この保持状態にお
いて、下部ホルダＹ方向駆動部１８２へ制御信号を出力
して下部ホルダ１２１を後退し（Ｓ２３）、下部ホルダ
Ｚ方向駆動部１８１へ制御信号を出力して下部エレベー
ション１２２によって、下部ホルダ１２１に保持された
マガジン３２を下部搬送部１５１の高さ位置まで下降す
る（Ｓ２４）。 【００４３】その後、下部ホルダ１２１を前記下部搬送
部１５１側へ前進させ（Ｓ２５）、前記グリッパ１２
４，１２４を開作動して当該下部ホルダ８１のマガジン
３２を下部搬送部１５１上に載置する（Ｓ２６）。そし
て、下部搬送部５１のベルト１５３によって当該下部搬
送部１５１上のマガジン３２，・・・を先端側へ所定量
移動し（Ｓ２７）、移動されたマガジンが３２下部搬送
部１５１先端部に到達したか否かを、当該下部搬送部１
５１のリミットスイッチ１６１の作動状態をストップセ
ンサ部１８５から入力して判断し（Ｓ２８）、達してい
ない場合には、メインルーチンへ戻る一方、達していた
場合には、マイコンのＲＡＭに設定された満杯フラグを
セットして（Ｓ２９）、メインルーチンへ戻る。 【００４４】このメインルーチンにおいて、前記満杯フ
ラッグがセットされていた場合には、出力部１８７を介
して、リードフレーム搬送装置１８６へ停止信号を出力
し、リードフレーム１１の搬送を停止する等の処理を行
うものとする。 【００４５】このように、リードフレーム１１を収納す
るマガジン３２を、上部搬送部５１のみならず、その上
部のストックレール４１に保持することができ、前記上
部搬送部５１上のマガジン３２に不足が生じた場合であ
っても、前記ストックレール４１に保持されたマガジン
３２，・・・を上部搬送部５１に載置して、リードフレ
ーム１１の収納を継続することができる。 【００４６】一方、リードフレーム１１を収納したマガ
ジン３２がストックされる中間搬送部１１１の下部に
は、下部搬送部１５１が設けられており、当該下部搬送
部１５１上にもマガジン３２，・・・をストックするこ
とができる。 【００４７】これにより、マガジンスタッカ１の幅寸法
を広げること無く、マガジン３２，・・・のストック量
を増大することができる。したがって、ストック量が許
容量に達するまでの時間を長くすることができ、継続し
た自動運転時間を延ばすことができる。また、オペレー
タによるマガジン３２，・・・交換頻度を減少すること
ができるとともに、半導体製造装置２の停止頻度も低減
することができ、稼動効率及び作業性を高めることがで
きる。 【００４８】なお、本実施の形態にあっては、当該マガ
ジンスタッカ１を、上流側ダイボンダ１３と下流側ダイ
ボンダ２２との稼動状態を調整するバッファとして利用
した場合を例に挙げて説明したが、これに限定されるも
のでは無く、例えばボンディングが完了したリードフレ
ーム１１１，・・・をマガジン３２，・・・へ収納する
用途に利用しても良い。 【００４９】 【発明の効果】以上説明したように本発明のマガジンス
タッカにあっては、上部搬送部上にマガジンを保持する
ストックレールを設けるとともに、リードフレームを収
納したマガジンを載置する中間搬送部の下に下部搬送部
を設けたため、装置の幅寸法を広げること無く、マガジ
ンのストック量を増大することができる。 【００５０】これにより、ストック量が許容量に達する
までの時間を長くすることができ、継続した自動運転時
間を延ばすことができる。また、オペレータによるマガ
ジン交換頻度を減少することができるとともに、装置の
停止頻度も低減することができ、稼動効率及び作業性を
高めることができる。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION [0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to a lead frame.
The magazine stacker that stores the stored magazines
I do. [0002] Conventionally, when bonding chips,
Moves the strip-shaped lead frame along the transport path,
Bonding chips such as semiconductors to each lead frame sequentially
Was running. In such a semiconductor manufacturing apparatus, FIG.
As shown in FIG.
Are set, the pass line 703 through which the
The downstream side of the pass line 703 is
A stacker 704 is provided. The base 71 of this magazine stacker 704
In FIG. 1, an upright wall 712 and a column 713 are spaced apart from each other.
Between the support 713 and the upright wall 712.
The storage unit 71 that stores the lead frames 702,.
The magazine 715 provided with a plurality of
An upper rail 716 is provided. This top level
The pressing wall 7 supported by the slider 717
18 is provided movably along the upper rail 716.
The magazines arranged on this upper rail 716
Can be moved to the upright wall 712 side.
It is configured as follows. The upper rail 716 and the upright
It moves up and down along the upright wall 712 between the walls 712
An elevation 719 is provided, and the pressing wall 7
Place the magazine 715 pressed at 18 and moved to the end
Then, it is configured to be able to descend. Thus, the elevation 719
Therefore, the storage portions 714,.
Match the height position of the pass line 703
The lead frame 702 that has passed through the in
The storage unit is configured to be stored in the storage unit 714.
714 pitch elevation 719 down and before
The storage of the lead frame 702 in the storage section 714 is repeated.
By returning, all the storage units 7 of the magazine 715
14, ... Lead frame 702, ... can be stored
It is configured to be able to. [0006] The base 711 has the elevator
The lower rail 721 extends over the lower limit of the
Is provided, and the elevation 719 is mounted.
.. On the lower rail 721
It is configured to be extruded. This lower rail 7
A limit switch 722 is provided at the tip of
That the magazine 715 has reached the tip.
It is configured to be able to sense. [0007] However, this problem
In the una magazine stacker 704, the semiconductor manufacturing equipment
The width of the device is restricted due to
Stocks of magazines 715, ...
There is a problem that is restricted. [0008] For this reason, the stock magazine 71
Reach the tip of the lower rail 721 and
When the switch 722 is activated,
Immediate response is required. Also, the equipment must be stopped frequently.
It is a hindrance to continuous long-term automatic operation.
I was The present invention has been made in view of such conventional problems.
Made and increase magazine stock
With the aim of providing a magazine stacker that can
Is what you do. [0010] To solve the above problems,
In the magazine stacker of the present invention, the pass line
The passed strip-shaped lead frame is stored in the magazine storage
Magazine stacker to store and stock sequentially
To support and hold both sides of the plurality of magazines.
A stock rail and provided below the stock rail,
An upper transport having a mechanism for moving the loaded magazine
A feeder, a lifter that moves the upper transporter up and down,
The magazine transported to the end of the transport section can be detached
When holding the upper holder and moving the upper holder up and down
Both the storage part of the magazine held and the path
Upper elevation that controls the height position with the line,
In front of the upper holder lowered by the upper elevation
There is a mechanism to place the magazine and move the magazine.
Intermediate conveyance section and before being conveyed to the end of the intermediate conveyance section
A lower holder for detachably holding the magazine;
A lower elevation for moving the holder up and down;
The magazine of the lower holder lowered by the elevation
With a mechanism for placing the magazine and moving the magazine
Transport section, and the magazine on the upper transport section is not
Before the foot is held between the stock rails
Forward to the position where the magazine can be placed on the upper transport section.
Between the lifting means raised by the lifter and the stock rail
With the above-mentioned magazine placed on the upper transport section.
Release the holding state of the magazine by the stock rail
Holding release means, and the upper transport section
To a position where the upper magazine can be held by the upper holder.
And a descending means for descending by the lifter. [0011] That is, the strip-shaped
When stocking lead frames in magazine storage
When holding multiple magazines on stock rails
Both are placed on the upper transport section below the stock rail to start.
To move to the magazine placed on the upper transport section.
Storage of frames and the intermediate and lower transport of the magazine
Start stocking to the sending department. At this time, the magazine on the upper transport section is
In the event of a shortage, the means of raising
The magazine held between the tools is placed on the upper transport section.
Lifter to the position where it can be
By step, the magazine between the stock rails is transported upward.
While placed on the feed unit,
The holding state of the magazine is released. This allows stock
The magazine held on the rail is placed on the upper transport section.
Is placed. The upper transport section is moved by a lowering means.
The magazine can be held by the upper holder.
Is lowered by a lifter to the position, and the lead frame to the magazine
Is continuously stored. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention.
It will be described according to. FIG. 1 shows a magazine according to this embodiment.
FIG. 2 is a schematic diagram showing one use mode of the gin stacker 1;
The state where the magazine stacker 1 is used in the semiconductor manufacturing apparatus 2
It is shown. In this semiconductor device 2, a strip-shaped lead
For example, an IC chip is
A device that bonds to power transistor chips
, And a transfer tray on which the lead frames 11,.
IC chip is bonded on the upstream side of the rule 12
An upstream die bonder 13 is provided. The upstream die
An IC chip is bonded downstream of the bonder 13.
Transport unit 1 that transports the lead frame 11 to the downstream side
4 is provided downstream of the first transport unit 14.
The magazine stacker 1 is provided. Downstream of the magazine stacker 1, the magazine
Lower the lead frame 11 held by the magazine stacker 1
A second transport unit 21 for supplying to the downstream side is provided.
2 In the downstream of the transport section 21,
Downstream die for bonding power transistor chips
A bonder 22 is provided. The magazine stacker 1 is provided on the transport path 1
Lead frame passing through the pass line 31 set to 2
For storing and storing the media 11 in the magazine 32 in sequence.
As shown in FIG. 2, the magazine 32 has a frame.
It is formed in the shape of a mold box (only one place
Others are omitted). On the opposing inner surface of this magazine 32,
A concave supporting both sides of the lead frames 11,...
The upper and lower parts are formed in large numbers,
A storage section 33 for storing the lead frames 11,.
・ ・ Is formed. The magazine stacker 1 includes a plurality of magazine stackers.
The stock rail 41 holding the magazines 32,.
The stock rail 41 is provided at the uppermost stage.
(B) As shown in FIG.
It is constituted by glue members 42, 42. Both angles
The members 42, 42 are supported by an opening / closing device (not shown).
By operating the switchgear, the two angle members 42, 4
2 and change the distance between the two
Holding shape supporting and holding both sides of the magazines 32,.
State and the two angled materials 42, 42 are separated from each other and the magazine 3
A holding release state for releasing the holding state of 2,...
It is configured to be able to. At the lower part of the stock rail 41, FIG.
As shown in the figure, an upper transport section 51 is provided. The
As shown in FIG. 3B, the upper transport section 51 includes a lifter
52 is provided with a support plate 53 movably supported by 52
The lifter 52 includes a cylinder 54 and the cylinder
The amount of protrusion from the holder 54 is controlled, and the height of the support plate 53 is adjusted.
And a rod 55 whose position is variable. Previous
The support plate 53 is formed in a rectangular plate shape,
Are arranged in the longitudinal direction thereof.
It is configured so that it can be placed. The width of this support plate 53
The dimensions are the magazine 32 on the stock rail 41, ...
・ Insert between both angle materials 42, 42 while supporting
It is set to the size that can be
The magazines 32,... Supported by the rails 41 are mounted.
It is configured to be able to. 2 and FIG.
As shown in FIG. 3, both ends are supported by pulleys 61, 61.
A ring-shaped belt 62 is provided, and the support plate
With the magazine 53 lowered, the magazine 3 on the support plate 53
2 can be supported by both belts 62, 62
I have. In addition, the inside of both belts 62, 62, belt 6
Support bars for supporting the magazines 32,.
63, 63 are extended, and magazines 32,.
Belt 62, 62 can be prevented from loosening due to weight
It is configured. FIG. 2 shows one of the pulleys 61.
As shown, the drive shaft 71 from the motor is connected
By controlling the motor, both belts 62, 6
Are supported on the upper part of the magazine 32.
It is configured to be able to move along the feeding section 51. This
Has been moved to the left end in the drawing of the upper transport section 51 of FIG.
L-shaped stopper 72 for preventing magazine 32 from falling off
The stopper 72 is provided with the stopper.
Limits for detecting the presence or absence of the magazine 32 on the par 72
A switch 73 is provided. At the left end of the upper transfer section 51 in the drawing,
Is the magazine 3 transported to the tip of the upper transport section 51
2 is provided with an upper holder 81 for detachably holding
The upper holder 81 is moved by the upper elevation 82.
It is supported movably up and down. The upper holder 8
1. The magazine 32 at the tip of the upper transport section 51 is positioned on the lower surface.
L-shaped holder main body 83 for more support, and the holder
L-shaped section supported at the upper end of the main body 83 so as to be vertically movable
, And the gripper 84
By moving up and down 84, the magazine 32 is raised.
The clamped state that was clamped from below and the solution that released the clamped state
It is configured to be able to form the removed state. The upper elevation 82 includes the magazine
Z-axis standing with respect to the intermediate base 91 of the gin stacker 1
Slide rail 92 and the Z-axis slide rail 92
It has Z-direction sliders 93, 93 supported so as to be movable downward.
The Z-direction sliders 93, 93 have the upper
The holder body 83 of the holder 81 is fixed. The Z
A ball screw 94 is formed on the rear surface of the shaft slide rail 92.
The ball screw 94 is provided upright.
Is a Z-axis motor 95 for controlling the rotation of the ball screw 94.
Is provided. The ball screw 94 has a screw
The upper holder 81 is supported via a joining member,
Depending on the amount of rotation of the ball screw 94, the upper holder 81
Is configured to be able to move up and down. Within a range where the upper holder 81 moves up and down.
Has the pass line 31 set, and the Z-axis model
The upper holder 81 is controlled by controlling the
The storage section 33 of the magazine 32 held in the
It is configured so that the height position with the
You. The Z-axis slide rail 92 is
The Y-direction slider 101 is fixed on the Y-direction slider 101.
The rider 101 has a Y-axis fixed to the intermediate base 91.
The slide rail 102 is movably supported. This
The end of the Y-axis slide rail 102 has a Y-axis motor 1
03, which is connected to the Y-axis motor 103.
Ball screw 104, the Y-direction slider 101
The screw portion is screwed. Thereby, the ball screw 1
04, the Y-direction slider 101 is moved
Moving, the Z-axis slide rail of the Y-direction slider 101
The upper holder 81 supported by the
Can move laterally in the direction approaching and away from the part 51
It is configured as follows. The intermediate base 91 has an intermediate transport section 11
1 is extended. The intermediate transport section 111 has three
, Supported by each pulley 112,.
Ring-shaped belt 113 formed by
You. The intermediate transport section 111 has a base end on the left side in the drawing as described above.
It is configured to reach the lower part of the upper elevation 82
And the upper part lowered by the upper elevation 82
The magazine 32 of the unit holder 81 is configured to be placed thereon.
Have been. The central pulley 112 is driven by a motor.
The shaft 114 is connected to control the motor.
The magazine 3 placed on the belt 113
Can move along the intermediate conveyance section 111.
It is configured to: [0027] The right end side of the intermediate transport section 111 in the figure.
Is the magazine transported to the tip of the intermediate transport section 111.
A lower holder 121 for detachably holding the holder 32 is provided.
The lower holder 121 is a lower elevator.
The pin 122 is vertically movably supported. Above said
The intermediate conveyance is provided to the holder body 123 of the holder 121.
L-shaped section that holds the magazine 32 at the tip of the portion 111
The grippers 124, 124 are supported so as to be vertically movable.
To open and close the grippers 124 vertically.
By holding the magazine 32 from above and below
State and a released state where the pinched state is released.
It is configured as follows. The lower elevation 122 is
Z standing up with respect to the lower base 99 of the magazine stacker 1
Axis slide rail 131 and the Z axis slide rail 13
1 and a Z-direction slider 132, 1 supported to be vertically movable.
32, and the Z-direction sliders 132, 132
The holder body 123 of the lower holder 121 is fixed
Have been. On the back surface of the Z-axis slide rail 131
Is provided with the cylinder 133 standing upright.
Of the rod 134 whose amount of protrusion from the rod 133 is controlled.
The holder body 123 of the lower holder 121 is connected to the end.
Is tied. Accordingly, the protrusion amount of the rod 134
To move the lower holder 121 up and down.
It is configured to be able to. The Z-axis slide rail 131 moves in the Y direction.
The Y-direction slider is fixed on a slider 141.
141 is a Y-axis slide fixed to the lower base 99.
It is movably supported by the drain 142. The lower part
A cylinder 143 is provided on the lower surface of the base 99.
Of the rod 144 protruding from the cylinder 143
Are fixed to the Y-direction slider 141. This
Accordingly, the amount of protrusion of the rod 144 can be controlled.
Therefore, the Y-direction slider 141 is moved laterally,
Supported on the Z-axis slide rail 131 of the directional slider 141.
Of the lower holder 121 to the intermediate transfer section 111
Structure so that it can move laterally in the direction of approach and in the direction of separation
Has been established. The lower part of the intermediate transfer part 111 is
The sending unit 151 is extended. The lower transport unit 151 includes
A pair of pulleys 152, 152 and both pulleys 152, 15
2 formed by a ring-shaped belt 153 supported by
Have been. The lower transport section 151 has a base end at the front.
Almost the same height as the lower position of the lower elevation 122
And descends at the lower elevation 122
The magazine 32 of the lower holder 121 can be placed.
It is configured to: To one of the pulleys 152
Is connected to a drive shaft 154 from a motor.
Is placed on the belt 53 by controlling the
The magazines 32,.
It is configured to be able to move along. Then, the lower transport section 151
The moved magazine 32 is attached to the tip of the
A limit switch 161 that turns on when it reaches
The limit switch 161 is shown in FIG.
As such, it is connected to the control device 162. The control device 162 includes a ROM and a RAM.
It is composed mainly of a control unit 171 having a built-in microcomputer.
ing. The control unit 171 includes the stock rail 4
A stock tray that opens and closes one of the angle members 42, 42
Drive unit 172 and a support plate in the upper transport unit 51
A lifter driving unit 173 for operating the lifter 52 of the
The upper belt drive that operates the belt 62 of the upper transport section 51
Moving section 174 and a limiter provided in the upper transport section 51.
Sensor unit 17 for transmitting an input from the switch 73
5 and the Z-axis motor 95 of the upper elevation 82
An upper holder Z-direction drive section 176 for driving;
Drive the Y-axis motor 103 of the
Upper holder Y-direction drive unit 177 that moves laterally on rudder 81
And an upper part for operating the gripper 84 of the upper holder 81
A gripper driving unit 178 and a bell of the intermediate conveyance unit 111;
Is connected to the intermediate belt driving unit 179 that operates the
Have been. The control unit 171 has the lower
Activate the cylinder 133 in the Z direction of the revolution 121
The lower holder Z-direction drive unit 181 and the lower elevator
Activate the cylinder in the Y direction of the
A lower holder Y-direction drive unit 182 that laterally moves 121;
Activates the grippers 124 of the lower holder 121
The lower gripper drive section 183 and the lower transport section 15
Lower belt driving unit 184 that operates the first belt 153
And a limit switch provided in the lower transport section 151.
Stop sensor unit 185 for transmitting an input from switch 161
And the control signal from the control unit 171 to the lead frame.
The output unit 187 for transmitting to the transport device 186 is connected
I have. Operation of this embodiment according to the above configuration
Will be described with reference to flowcharts shown in FIGS.
You. In the initial stage, the upper stage of the magazine stacker 1
Magazines for the stock rail 41 and the upper transport section 51
32,... Are set to operate the semiconductor manufacturing apparatus 2.
Accordingly, all the magazines 32 on the upper transport unit 51,...
... are stored in
It is assumed that they have been moved to the sending units 111 and 151. That is, the magazine 3 is placed on the upper transport section 51.
2 has been lost by checking the upper transport section 51
The operation state of the switch 73 from the empty sensor section 175.
Judgment by pressing (S1), there is a magazine 32
If it is determined, the process branches to step S6. Also,
If it is determined that there is no magazine 32, the lifter driving unit 17
3 to output a control signal to operate the lifter 52, thereby conveying the upper part.
Held by the stock rail 41 on the support plate 53 of the portion 51
Are placed (S2). Then, the stock rail drive unit 172 is controlled.
Control signal to output the angle material 42 of the stock rail 41,
42 is opened to release the holding state of the magazines 32,.
(S3), and lowers the lifter 52 to a predetermined position.
(S4) to close the stock rail 41.
(S5). Thereafter, the control signal is sent to the upper belt driving unit 174.
And output the magazine 3 with the belt 62 of the upper transport section 51.
Move a predetermined amount in the distal direction (S6), and
A control signal is output to the ripper drive unit 178 to control the upper holder 8
When the first gripper 84 is opened (S7),
A control signal is output to the holder Z
The upper part 82 is used for the upper conveying part 5
It moves to a height position of 1 (S8). Next, the upper holder Y-direction drive unit 177 is controlled.
And outputs a control signal to move the upper holder 81 to the upper transfer section 51.
(S9), and a control signal is sent to the upper gripper drive unit.
Is output to close the gripper 84 and the upper holder
At 81, the magazine 32 at the tip of the upper transport section 51 is held.
(S10). In this holding state, the upper holder Y direction
A control signal is output to the drive unit 177 to retract the upper holder.
(S11), control signal to upper holder Z direction drive unit 176
And the upper elevator 82 outputs
The lower storage section 33 of the magazine 32 held by the
Control to match the height position of pass line 31
(S12). In this state, the upstream die bonder 13
Bonding of the IC chip by the
Of the power transistor chip by the side die bonder 22
Even if the binding is stopped, the upstream die
Continue bonding with the bonder 13 and
The lead frame 11 from the bonder 13 is
To the storage section 33 of the magazine 32 set at the
It is stored (S13). Lead frame to this storage part 33
11 at the time of storage,
At 82, the magazine 32 of the upper holder 81 is
3 pitches down, pass the storage section 33 of the next stage to the pass line
The magazine 32 is set at the position 31 (S14).
Lead frame 11 to all storage sections 33,.
Steps S14 and S1 until the storage of is completed.
Repeat 5. All the storage portions 33 of the magazine 32,.
..The storage of the lead frames 11,.
In this case, the upper holder 82
The magazine 32 of the dam 81 has been lowered to the intermediate transport section 111
Later (S16), the gripper 84 of the upper holder 81 is opened.
The magazine 32 held as a
After being placed on the port 113 (S17), the intermediate transport section 11
1, the magazines 32 on the intermediate conveyance section 111,.
Is moved to the front end side by a predetermined amount (S18). Then, the lower gripper driving unit 183 is controlled.
A signal is output to grippers 124, 1 of lower holder 121.
24 (S19) and the lower holder Z
A control signal is output to the direction driving unit 181 to output the lower holder 121.
Is the height of the intermediate transport section 111 at the lower elevation 122
It rises to a position (S20). Next, the lower holder Y-direction drive unit 182 is controlled.
And outputs a control signal to move the lower holder 121 to the intermediate transfer section 1.
1 (S21), and the lower gripper driving unit 183
To output the control signal to close the grippers 124, 124.
The lower holder 81 operates to move
The magazine 32 is held (S22). In this holding state
And outputs a control signal to the lower holder Y-direction drive unit 182
To lower the lower holder 121 (S23).
A control signal is output to the Z-direction driving unit 181 to output the lower elevator.
Held by the lower holder 121 by the
Lower the magazine 32 to the level of the lower transport section 151
(S24). Thereafter, the lower holder 121 is transferred to the lower
(S25), and the gripper 12 is moved forward.
4, 124 are opened and the magazine of the lower holder 81 is opened.
32 is placed on the lower transport section 151 (S26). Soshi
Then, the lower transport section 51
The magazines 32,... On the feeding unit 151 are moved toward the front end by a predetermined amount.
Moved (S27), and the moved magazine is transported 32 lower positions
The lower transport unit 1 determines whether or not it has reached the tip of the unit 151.
The stop state of the limit switch 161
Input from the sensor unit 185 to make a determination (S28).
If not, return to main routine while reaching
In this case, the full flag set in the RAM of the microcomputer
Set (S29) and return to the main routine. In this main routine, the full
If the tag has been set, the output
And outputs a stop signal to the lead frame transport device 186
Then, processing such as stopping conveyance of the lead frame 11 is performed.
And Umono. Thus, the lead frame 11 is stored.
Not only the upper transport section 51 but also the
Can be held on the stock rail 41,
When a shortage occurs in the magazine 32 on the
The magazine held on the stock rail 41
Are placed on the upper transfer section 51, and
The storage of the arm 11 can be continued. On the other hand, the magazine housing the lead frame 11
In the lower part of the intermediate transport unit 111 where the gin 32 is stored
Is provided with a lower transport section 151, and the lower transport section 151 is provided.
The magazines 32,.
Can be. Thus, the width dimension of the magazine stacker 1
, Without expanding the amount of magazine 32, ...
Can be increased. Therefore, the amount of stock is
The time to reach capacity can be extended,
Autonomous driving time can be extended. Also, the operation
Magazine 32,... Reducing the frequency of replacement
And the frequency of stopping the semiconductor manufacturing equipment 2 is reduced.
Operation efficiency and workability.
Wear. In this embodiment, the magazine
The gin stacker 1 is connected to the upstream die bonder 13 and the downstream die.
Used as a buffer for adjusting the operation status with the bonder 22
Although the explanation has been given by taking the example as an example,
Instead of, for example,
Are stored in the magazines 32,.
It may be used for purposes. As described above, the magazines of the present invention
For a tacker, hold the magazine on the upper transport section
Install stock rails and collect lead frames.
Lower transport section below the intermediate transport section where the loaded magazines are placed
Is provided, so that the width of the
Can increase the amount of stock. As a result, the stock amount reaches the allowable amount.
Time can be lengthened and continuous automatic operation
You can extend the time. In addition, the magazine
Gin replacement frequency can be reduced,
The frequency of stoppage can be reduced, and operation efficiency and workability are improved.
Can be enhanced.

【図面の簡単な説明】 【図１】本発明の一実施の形態の一利用形態を示す模式
図である。 【図２】同実施の形態を示す模式図である。 【図３】（ａ）は、図２のＡ矢示図であり、（ｂ）は図
２のＢ矢示図である。 【図４】同実施の形態の制御装置を示すブロック図であ
る。 【図５】同実施の形態の動作を示すフローチャートであ
る。 【図６】図５に続くフローチャートである。 【図７】図６に続くフローチャートである。 【図８】従来のマガジンスタッカを示す模式図である。 【符号の説明】 １ マガジンスタッカ ２ 半導体製造装置 １１ リードフレーム １２ 搬送レール ３１ パスライン ３２ マガジン ３３ 収納部 ４１ ストックレール ５１ 上部搬送部 ５２ リフタ ６２ ベルト ７１ 駆動軸 ８１ 上部ホルダ ８２ 上部エレベーション １１１ 中間搬送部 １１３ ベルト １１４ 駆動軸 １２１ 下部ホルダ １２２ 下部エレベーション １５１ 下部搬送部 １５３ ベルト １５４ 駆動軸 １６２ 制御装置BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a schematic diagram showing a use form of an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a schematic diagram showing the embodiment. 3 (a) is a view indicated by an arrow A in FIG. 2, and FIG. 3 (b) is a view indicated by an arrow B in FIG. FIG. 4 is a block diagram showing a control device of the embodiment. FIG. 5 is a flowchart showing an operation of the embodiment. FIG. 6 is a flowchart following FIG. 5; FIG. 7 is a flowchart following FIG. 6; FIG. 8 is a schematic diagram showing a conventional magazine stacker. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Magazine stacker 2 Semiconductor manufacturing apparatus 11 Lead frame 12 Transport rail 31 Pass line 32 Magazine 33 Storage section 41 Stock rail 51 Upper transport section 52 Lifter 62 Belt 71 Drive shaft 81 Upper holder 82 Upper elevation 111 Intermediate transport Unit 113 belt 114 drive shaft 121 lower holder 122 lower elevation 151 lower transport unit 153 belt 154 drive shaft 162 controller

Claims (1)

【特許請求の範囲】 【請求項１】 パスラインを通過した短冊状のリードフ
レームを、マガジンの収納部に順次収納してストックす
るマガジンスタッカにおいて、 複数の前記マガジンの両側部を支持して保持するストッ
クレールと、 該ストックレールの下部に設けられ、載置された前記マ
ガジンを移動する機構を有した上部搬送部と、 該上部搬送部を上下移動するリフタと、 前記上部搬送部の端部へ搬送された前記マガジンを着脱
自在に保持する上部ホルダと、 該上部ホルダを上下移動するとともに、保持した前記マ
ガジンの前記収納部と前記パスラインとの高さ位置制御
を行う上部エレベーションと、 該上部エレベーションで下降された前記上部ホルダの前
記マガジンを載置し、そのマガジンを移動する機構を有
した中間搬送部と、 該中間搬送部の端部へ搬送された前記マガジンを着脱自
在に保持する下部ホルダと、 該下部ホルダを上下移動する下部エレベーションと、 該下部エレベーションで下降された前記下部ホルダの前
記マガジンを載置し、そのマガジンを移動する機構を有
した下部搬送部とを備え、 前記上部搬送部上の前記マガジンに不足が生じた際に、
前記ストックレール間に保持された前記マガジンを当該
上部搬送部上に載置できる位置まで前記リフタで上昇す
る上昇手段と、 前記ストックレール間の前記マガジンを前記上部搬送部
上に載置した状態で前記ストックレールによる前記マガ
ジンの保持状態を解除する保持解除手段と、 前記上部搬送部を、該上部搬送部上の前記マガジンを前
記上部ホルダで保持できる位置まで前記リフタで下降す
る下降手段と、 を備えたことを特徴とするマガジンスタッカ。Claims: 1. A magazine stacker for sequentially storing and storing strip-shaped lead frames passing through a pass line in a magazine storage section, and supporting and holding both side portions of the plurality of magazines. A stock rail, a lower part of the stock rail, an upper transport unit having a mechanism for moving the loaded magazine, a lifter for vertically moving the upper transport unit, and an end of the upper transport unit An upper holder for detachably holding the magazine conveyed to the upper holder, and an upper elevation for vertically moving the upper holder and controlling a height position of the storage section and the pass line of the held magazine, An intermediate transport unit having a mechanism for mounting the magazine of the upper holder lowered by the upper elevation and moving the magazine; A lower holder for detachably holding the magazine conveyed to the end of the inter-conveying unit; a lower elevation for vertically moving the lower holder; and a magazine for the lower holder lowered by the lower elevation. And a lower transport unit having a mechanism for moving the magazine, and when the magazine on the upper transport unit becomes insufficient,
Lifting means for raising the magazine held between the stock rails by the lifter to a position at which the magazine can be placed on the upper transport section; and a state in which the magazine between the stock rails is placed on the upper transport section. Holding release means for releasing the holding state of the magazine by the stock rail; and lowering means for lowering the upper transport unit by the lifter to a position where the magazine on the upper transport unit can be held by the upper holder. A magazine stacker comprising: