JP2003206703A - 軸流タービンのノズルダイアフラムの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】溶接変形や残留応力をなくし、ノズル翼の変形
や表面粗さの悪化を防止できるように図った軸流タービ
ンのノズルダイアフラムの製造方法を提供する。 【解決手段】円環状の通路部リング３に、半径方向に延
びるスリット４を、通路部リングの周方向に沿って互い
に間隔をあけて複数個並べて設けるスリット形成工程
と、スリット形成工程の後に、通路部リングの外側と内
側にそれぞれ、ダイアフラム外輪１およびダイアフラム
内輪２を溶接で固定する溶接工程と、溶接工程によって
生じた残留応力または歪を緩和するための熱処理工程
と、熱処理工程の後に、スリットの面に放電加工または
電解加工を施してノズル流路を形成するノズル流路形成
工程と、を有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、軸流タービンのノ
ズルダイアフラムの製造方法に係り、ノズル流路の溶接
変形や残留応力を減らしたノズルダイアフラムの製造方
法に関する。

【０００２】

【従来の技術】蒸気タービンは蒸気の熱エネルギーを運
動エネルギーに変換して機械的出力を発生させる原動機
である。ボイラーよりタービンケーシング内に流入した
高温、高圧の蒸気は、タービンケーシング内に設置され
たノズルと回転軸に植え込まれた動翼から構成される段
落部を通過させることで高温、高圧の蒸気を膨脹させて
回転軸を回転させる。その際に、蒸気タービンに接続さ
れた発電機を駆動して電力を得るようにしている。

【０００３】ところで、膨脹過程の高速の蒸気流を通過
させるノズルダイアフラムは、図６に示すように、ダイ
アフラム外輪１１およびダイアフラム内輪１２の間に挟
持された複数枚のノズル翼１３を主体に構成されたもの
で、ここでノズル翼１３は互いの位置関係を保って当板
外輪１４および当板内輪１５に固定されている。これら
のノズル翼１３にはさまれた流路内を蒸気が通過し、ノ
ズル翼１３の下流位置にある動翼（図示せず）を回転さ
せる。

【０００４】従来の蒸気タービンノズルダイアフラムの
製造法については、例えば、特公昭６２−５９２０７
号、特開平２−１６３０４号、特公平４−７７１２６
号、特開平６−１０１４１１号の各公報がある。

【０００５】ここで、従来の製造工程の概略を、図８を
参照して説明する。まず、当板外輪１４と当板内輪１５
を同心円状に組み合せ、これらの当板１４、１５にレー
ザー加工で穴明けされた多数個の支持穴１６の中に、ノ
ズル翼１３の両端を挿入する。そして、ノズル翼１３の
両端部と当板１４、１５の支持穴１６を溶接することに
より、ノズルリング１７を構成する。

【０００６】次に、ノズルリング１７は、予め溶接する
箇所を開先加工あるいは内外周加工したダイアフラム外
輪１１の内周部とダイアフラム内輪１２の外周部に、か
ん合し、それぞれ両側面部からサブマージアーク溶接ま
たは電子ビーム溶接にて固定する。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】従来の蒸気タービンノ
ズルダイアフラムの製造方法によれば、溶接する範囲が
広く、ノズル翼やダイアフラム外輪、内輪に大きな溶接
変形や残留応力が発生する。また、残留応力や歪みを除
去するために熱処理を行うが、その際に、部品の表面に
酸化スケールが付着するのでホーニング処理で粒子を表
面に吹き付けスケール除去している。

【０００８】この製造法によれば、溶接変形によって、
図９に示すノズル翼１３のノズルスロート幅（図示Ｓ
ｒ、Ｓｐ、Ｓｔ）、ノズル出口面積（図示Ａｎ）、ノズ
ル高さ（図示Ｈ）、およびノズル根元と先端の径（図示
Ｄｒ、Ｄｔ）が設計値外になりやすい。このため、ノズ
ル翼面を削ったり、ノズル出口端部を叩いて設計値内に
なるよう改修する必要がある。また、溶接欠陥が残存す
る可能性もあり、それが原因で経年的な使用に対するク
ラックの発生を生じうるものにもなる。

【０００９】さらに、ホーニング処理でノズル翼の翼表
面が粗くなるので細かいヤスリ等を用いて翼面を研磨す
るためノズル翼形状が変化し流体的な性能が悪化すると
ともに製造作業時間も増大する。したがって、これらの
従来の製造工程では品質低下と製造コストの上昇になる
という課題がある。

【００１０】本発明は、このような事情に基づいてなさ
れたもので、ノズルダイアフラムの溶接変形や残留応力
をなくし、ホーニング処理を省略することでノズル翼の
変形や表面粗さの悪化を防止できるように図った軸流タ
ービンのノズルダイアフラムの製造方法を提供すること
を目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するものであって、請求項１の発明は、軸流タービン
のノズルダイアフラムの製造方法において、ドーナツ状
の円板に、半径方向に延びるスリットを、前記円板の周
方向に沿って予め決められた間隔をあけて複数個並べて
設け通路部リングとするスリット形成工程と、前記スリ
ット形成工程の後に、前記通路部リングの外側と内側に
それぞれ、ダイアフラム外輪およびダイアフラム内輪を
溶接で固定する溶接工程と、前記スリット形成工程およ
び溶接工程によって生じた残留応力または歪を緩和する
ための熱処理工程と、前記熱処理工程の後に、前記スリ
ットの面に放電加工または電解加工を施してノズル流路
を形成するノズル流路形成工程と、を有することを特徴
とする。

【００１２】請求項１の発明によれば、溶接工程および
熱処理工程の後にノズル流路形成工程を行うので、ノズ
ル流路形成工程の後の溶接工程等に起因するノズル流路
形状の歪等を回避することができる。

【００１３】また、請求項２の発明は、軸流タービンの
ノズルダイアフラムの製造方法において、ドーナツ状の
円板の外側と内側にそれぞれ、ダイアフラム外輪および
ダイアフラム内輪を溶接で固定して通路部リングとする
溶接工程と、前記溶接工程によって生じた残留応力また
は歪を緩和するための熱処理工程と、前記熱処理工程の
後に、前記通路部リングに、切削加工または放電加工に
よって、半径方向に延びるスリットを、前記通路部リン
グの周方向に沿って予め決められた間隔をあけて複数個
並べて形成して、複数のノズル流路を形成するノズル形
流路形成工程と、を有することを特徴とする。

【００１４】請求項２の発明によれば、溶接工程および
熱処理工程の後にノズル流路形成工程を行うので、ノズ
ル流路形成工程の後の溶接工程等に起因するノズル流路
形状の歪等を回避することができる。また、この発明で
は、溶接工程および熱処理工程の前にスリットを形成す
る工程がなく、スリット形成とノズル流路形成を連続し
て行うので、手順が単純である。

【００１５】また、請求項３の発明は、請求項１または
２に記載のノズルダイアフラムの製造方法において、前
記ダイアフラム外輪およびダイアフラム内輪の材質は、
９Ｃｒないし１３Ｃｒ鋼、ＣｒＭｏＶ鋼またはＣｒＭｏ
鋼のいずれかであり、前記通路部リングの材質はステン
レス鋼であり、前記軸流タービンは多段の軸流タービン
であって、前記各材質は、前記軸流タービンの各段落の
設計上の圧力および温度の条件に応じて変化させている
こと、を特徴とする。

【００１６】請求項３の発明によれば、請求項１または
２の発明の作用・効果が得られるとともに、各ノズルダ
イアフラムの各部の材質を最適なものに選択することが
できる。

【００１７】また、請求項４の発明は、請求項１または
２に記載のノズルダイアフラムの製造方法において、前
記ダイアフラム外輪およびダイアフラム内輪の材質は炭
素鋼であり、前記通路部リングの材質は、９Ｃｒないし
１３Ｃｒ鋼またはオーステナイト系ステンレス鋼であ
り、前記軸流タービンは多段の軸流タービンであって、
前記各材質は、前記軸流タービンの各段落の設計上の圧
力および温度の条件に応じて変化させていること、を特
徴とする。

【００１８】請求項４の発明によれば、請求項１または
２の発明の作用・効果が得られるとともに、各ノズルダ
イアフラムの各部の材質を最適なものに選択することが
でき、しかも炭素鋼を用いるので比較的安価なものとす
ることができる。

【００１９】また、請求項５の発明は、同心円状に外側
から内側に向かって、ダイアフラム外輪、ノズルリング
およびダイアフラム内輪から構成される軸流タービンの
ノズルダイアフラムの製造方法において、前記ダイアフ
ラム外輪、ノズルリングおよびダイアフラム内輪の材料
として、これらをすべて一体の同一材質からなるダイア
フラム素材リングとし、前記ダイアフラム素材リングに
対して多軸機械加工機による切削加工または放電加工を
施すことによって前記ノズルリングにノズル流路を形成
させること、を特徴とする。

【００２０】請求項５の発明によれば、溶接工程や熱処
理工程を伴わずにノズルダイアフラムを製造することが
できるので、ノズル流路形成工程の後の溶接工程等に起
因するノズル流路形状の歪等を回避することができる。

【００２１】また、請求項６の発明は、請求項１ないし
５のいずれかに記載のノズルダイアフラムの製造方法に
おいて、前記ダイアフラム外輪、ノズルリングおよびダ
イアフラム内輪はいずれも、一体構造の全円周の円環と
してノズル流路を形成した後に、２つの半円状の構造物
に分割すること、を特徴とする。請求項６の発明によれ
ば、請求項１ないし５のいずれかの発明の作用・効果が
得られるとともに、製造工程の簡略化を図ることができ
る。

【００２２】また、請求項７の発明は、同心円状に外側
から内側に向かって、ダイアフラム外輪、ノズルリング
およびダイアフラム内輪から構成される軸流タービンの
ノズルダイアフラムの製造方法において、前記ダイアフ
ラム外輪、ノズルリングおよびダイアフラム内輪の材料
として、これらをすべて一体の同一材質からなるダイア
フラム素材リングとして、前記ノズルリングには、複数
個の放射状のスリットを周方向に予め決められた間隔を
あけて並べた状態に鋳造する鋳造工程と、前記鋳造工程
の後に、前記ダイアフラム素材リングに対して多軸機械
加工機による切削加工または放電加工を施すことによっ
て前記ノズルリングにノズル流路を形成させる機械加工
工程と、を有することを特徴とする。

【００２３】請求項７の発明によれば、溶接工程や熱処
理工程を伴わずにノズルダイアフラムを製造することが
できるので、ノズル流路形成工程の後の溶接工程等に起
因するノズル流路形状の歪等を回避することができる。
また、鋳造工程でスリットを形成するので、機械加工工
程での削り代が小さくて済む。

【００２４】また、請求項８の発明は、軸流タービンの
ノズルダイアフラムの製造方法において、ドーナツ状の
円板を略１８０度の位置で２分割した半円状の円板に、
半径方向に延びるスリットを、前記半円状の円板の周方
向に沿って予め決められた間隔をあけて複数個並べて設
け通路部半リングとするスリット形成工程と、前記スリ
ット形成工程の後に、前記通路部半リングの外側と内側
にそれぞれ、前記通路部半リングに対応した半円状のダ
イアフラム外輪およびダイアフラム内輪を溶接で固定す
る溶接工程と、前記スリット形成工程および前記溶接工
程によって生じた残留応力または歪を緩和するための熱
処理工程と、前記熱処理工程の後に、前記スリットの面
に放電加工または電解加工を施してノズル流路を形成す
るノズル流路形成工程と、を有することを特徴とする。

【００２５】請求項８の発明によれば、ノズルダイアフ
ラムを半円状にして製造するので、製造設備の小型化が
実現できる。また、蒸気タービンは一般にケーシング等
は上半部、下半部に分割されているので、ケーシングに
取り付けられるのずるダイアフラムも分割されているこ
とにより、蒸気タービンの組立工程の短縮、簡略化が実
現できる。

【００２６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図１
ないし図６を参照しながら説明する。ここで、従来の技
術あるいは相互に共通または類似の部分については共通
の符号を付して、重複説明は適宜省略する。なお、図１
は本実施形態の概略の工程をノズルダイアフラム正面か
ら示したもので、図２は図１のＤ−Ｄ断面を示したもの
である。

【００２７】この実施の形態では、初めに予め決められ
た寸法の穴が中心にあけられたドーナツ状の通路部形成
用円板３ａが準備される（工程１）。次に、このドーナ
ツ状の通路部形成用円板３ａを多軸工作機械の一種であ
るエンドミル（図７（ａ）参照）によって、スリット４
を加工し通路部リング３ｂとする（工程２）。スリット
４は図２や図３（ｃ）に示すように、通路部形成用円板
を軸方向（円板板厚方向）に貫通するものであって、半
径方向に放射状に延び、周方向には予め決められた間隔
で多数が配列されている。

【００２８】次に、通路部リング３ｂの外側および内側
にそれぞれノズルダイアフラム外輪１およびノズルダイ
アフラム内輪２を同心円状に配置してこれらを溶接し、
ダイアフラム素材リング５を形成する（工程３）。この
時の溶接方法としては、図４（ａ）に示すサブマージア
ーク溶接や、図４（ｂ）に示す電子ビーム溶接がある。
いずれも接合面である側面の両側から溶接するものであ
る。図中の斜線を施した部分４０，５０が溶接部であ
る。こうして、接合させ一体化したダイアフラム素材リ
ング５ができる。

【００２９】次に焼きなましによる熱処理を行い、溶接
時に発生した歪や残留応力の除去を行う（工程４）。こ
の時の熱処理条件については、ダイアフラム素材リング
５を構成する材料の種類、溶接方法の種類、溶接作業時
間、等を考慮して最適条件を予め求めておく。

【００３０】次に放電加工機６によりスリット４の面の
整形を施し、各スリット４をノズル翼として完成させる
ことによりノズル流路を形成する（工程５）。その詳細
を図５、図６に示す。

【００３１】図６に示すように、放電加工機６の先端の
電極として、ノズル流路の各部分の形状に合わせて、翼
入口部電極７、翼背側部電極８、翼腹側部電極９を適宜
交換して取り付け、これらの電極をスリット４の中の整
形部に挿入しながら順次、加工を進める。

【００３２】なお、図５および図６では放電加工機６に
よる加工としたが、電解加工も可能である。以上の工程
により、ノズルダイアフラムが完成する（工程６）。

【００３３】本実施形態に係るノズルダイアフラムは、
ダイアフラム外輪１、ダイアフラム内輪２、通路部リン
グ３ｂを接合してダイアフラム素材リング５を製造する
ものであって、ダイアフラム外輪１、ダイアフラム内輪
２、通路部リング３ｂを異種材質で構成している。この
異種材質の組み合せは、ノズルダイアフラムを使用する
タービン段落の圧力、温度条件によって種々ある。

【００３４】例えば、高温高圧段落用のノズルの場合、
ダイアフラム外輪１の素材とダイアフラム内輪２の素材
には９〜１３Ｃｒステンレス合金鋼、ＣｒＭｏＶ鋼、Ｃ
ｒＭｏ鋼とし、通路部リング３ｂの素材はステンレス合
金鋼を使用する。また、低圧段落用のノズルの場合、ダ
イアフラム外輪１の素材とダイアフラム内輪２の素材に
は炭素鋼とし、通路部リング３ｂの素材はステンレス合
金鋼を使用する。

【００３５】次に、上記実施の形態の変形例として、通
路リング３ｂの単独状態でのスリット４の加工を省略す
ることも可能である。すなわち、スリット４の加工を、
通路リング３ｂとダイアフラム外輪１およびダイアフラ
ム内輪２との溶接および熱処理の後に行う。このスリッ
ト４の加工は、切削加工または放電加工による。このス
リット４の加工に続いて、ノズル流路の整形を行う。

【００３６】次に、本発明によるノズルダイアフラムの
製造方法の他の実施の形態を図７（ａ）〜（ｄ）を参照
して説明する。ただし、前記実施の形態と共通または類
似の部分については共通の符号を付して、重複説明は適
宜省略する。

【００３７】この実施の形態では、ダイアフラム外輪
１、ダイアフラム内輪２および通路部リング３ｂを、同
一材質で一体の構造を有するダイアフラム素材リング５
とし、図７（ｂ）、（ｃ）に示すような外形構造とす
る。その後、図７（ａ）に示す多軸の機械加工機３０を
用いて、ダイアフラム素材リング５の両側面からノズル
流路部位にスリット４を加工する。そして、その後、前
記実施の形態と同様に放電加工（図５）や電解加工を行
い、最終的なノズルダイアフラムとする（図７
（ｄ））。

【００３８】以上説明した本発明の製造プロセスによれ
ば、ノズルの流路の整形が、溶接および熱処理後に行な
われるか、あるいは溶接工程無しのため、ノズル流路整
形後の変形がなく、図９に示すノズル通過幅（図示Ｓ
ｒ、Ｓｐ、Ｓｔ）、ノズル出口面積（図示Ａｎ）、ノズ
ル高さ（図示Ｈ）、およびノズル根元と先端径（図示Ｄ
ｒ、Ｄｔ）が設計仕様を十分に満足するノズルダイアフ
ラムを製造することが可能である。さらに、従来のよう
に熱処理時に発生していた酸化スケールを除去するホー
ニング処理工程が省略できるため、ノズル翼面の表面粗
さを滑らかにできる。

【００３９】上記の各実施例においては、ダイアフラム
外輪１、ダイアフラム内輪２、通路部リング３ｂを全周
リング状態でスリット加工、溶接、熱処理、放電（電
解）加工、の各工程を行うものについて説明した。しか
し、製造設備の小型化、製造工程の簡略化、並列化、お
よび組立時の容易性、等の観点から、ダイアフラム外輪
１、ダイアフラム内輪２、通路部リング３ｂを全周リン
グ状態でスリット加工、溶接、熱処理の各工程の後、ワ
イヤーカット等により１８０度の位置で２つの半リング
状に分割して、その後の工程を行うことも可能である。

【００４０】さらに、他の実施の形態として、ダイアフ
ラム外輪１、ダイアフラム内輪２、通路部リング３ｂを
一体にした鋳造製の素材リングとし、鋳造時に図１に示
すスリット４を形成することもできる。この場合、ノズ
ル流路を多軸機械加工、放電加工する際の削り代が小さ
くなり、製造工程を簡略化できる。

【００４１】

【発明の効果】以上の説明のとおり、本発明によれば、
ダイアフラム素材リングを溶接と熱処理後、あるいは溶
接工程無しの状態でノズル流路を加工するので、翼流路
内の変形が少なく、ノズル翼表面を滑らかにできる。し
たがって、品質の優れたノズルダイアフラムを製造する
ことができタービン熱効率を向上させることが可能であ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るノズルダイアフラムの製造方法の
一実施の形態の各工程におけるノズルダイアフラム軸方
向正面図。

【図２】図１の各工程におけるＤ−Ｄ線断面図。

【図３】本発明に係るノズルダイアフラムの製造方法の
一実施の形態の説明図であって、（ａ）はダイアフラム
素材リングの全体立面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線矢
視立断面図、（ｃ）は（ｂ）のＣ−Ｃ線矢視周方向断面
図。

【図４】図３（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う斜視断面図であっ
て、（ａ）はサブマージアーク溶接の場合、（ｂ）は電
子ビーム溶接の場合。

【図５】図３のダイアフラム素材リングに放電加工を加
える工程における模式的要部立面図。

【図６】図５のＩＶ−ＩＶ線矢視部分平断面図であっ
て、（ａ）は加工前の状況、（ｂ）は入口部加工状況、
（ｃ）は翼背側凸面加工状況、（ｄ）は翼腹側凹面加工
状況、（ｅ）は加工後の状況。

【図７】本発明に係るノズルダイアフラムの製造方法の
他の実施の形態の説明図であって、（ａ）はダイアフラ
ム素材リングを機械加工機で加工する状況を示す模式的
立面図、（ｂ）はその際に用いられるダイアフラム素材
リングの軸方向正面図、（ｃ）は（ｂ）のＥ−Ｅ線断面
図、（ｄ）は（ａ）のＢ−Ｂ線矢視平面図。

【図８】従来のノズルダイアフラムの要部の展開斜視
図。

【図９】図８のノズル翼の後方から見た拡大斜視図。

【符号の説明】

１…ダイアフラム外輪、２…ダイアフラム内輪、３ａ…
通路部形成用円板、３ｂ…通路部リング、４…スリッ
ト、５…ダイアフラム素材リング、６…放電加工機、７
…翼入口部電極、８…翼背側部電極、９…翼腹側部電
極、１１…ダイアフラム外輪、１２…ダイアフラム内
輪、１３…ノズル翼、１４…当板外輪、１５…当板内
輪、１６…支持穴、１７…ノズルリング、３０…多軸の
機械加工機、４０…溶接部、５０…溶接部。

フロントページの続き (72)発明者 芦葉 高 神奈川県横浜市鶴見区末広町２丁目４番地 株式会社東芝京浜事業所内 (72)発明者 南 勝則 神奈川県横浜市鶴見区末広町２丁目４番地 株式会社東芝京浜事業所内 Ｆターム(参考） 3C059 AA01 AA02 AB01 HA13 3G002 GA07 GB00

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 軸流タービンのノズルダイアフラムの製
   造方法において、 ドーナツ状の円板に、半径方向に延びるスリットを、前
   記円板の周方向に沿って予め決められた間隔をあけて複
   数個並べて設け通路部リングとするスリット形成工程
   と、 前記スリット形成工程の後に、前記通路部リングの外側
   と内側にそれぞれ、ダイアフラム外輪およびダイアフラ
   ム内輪を溶接で固定する溶接工程と、 前記スリット形成工程および溶接工程によって生じた残
   留応力または歪を緩和するための熱処理工程と、 前記熱処理工程の後に、前記スリットの面に放電加工ま
   たは電解加工を施してノズル流路を形成するノズル流路
   形成工程と、 を有することを特徴とするノズルダイアフラムの製造方
   法。
2. 【請求項２】 軸流タービンのノズルダイアフラムの製
   造方法において、 ドーナツ状の円板の外側と内側にそれぞれ、ダイアフラ
   ム外輪およびダイアフラム内輪を溶接で固定して通路部
   リングとする溶接工程と、 前記溶接工程によって生じた残留応力または歪を緩和す
   るための熱処理工程と、 前記熱処理工程の後に、前記通路部リングに、切削加工
   または放電加工によって、半径方向に延びるスリット
   を、前記通路部リングの周方向に沿って予め決められた
   間隔をあけて複数個並べて形成して、複数のノズル流路
   を形成するノズル流路形成工程と、 を有することを特徴とするノズルダイアフラムの製造方
   法。
3. 【請求項３】 請求項１または２に記載のノズルダイア
   フラムの製造方法において、 前記ダイアフラム外輪およびダイアフラム内輪の材質
   は、９Ｃｒないし１３Ｃｒ鋼、ＣｒＭｏＶ鋼またはＣｒ
   Ｍｏ鋼のいずれかであり、前記通路部リングの材質はス
   テンレス鋼であり、 前記軸流タービンは多段の軸流タービンであって、前記
   各材質は、前記軸流タービンの各段落の設計上の圧力お
   よび温度の条件に応じて変化させていること、を特徴と
   するノズルダイアフラムの製造方法。
4. 【請求項４】 請求項１または２に記載のノズルダイア
   フラムの製造方法において、 前記ダイアフラム外輪およびダイアフラム内輪の材質は
   炭素鋼であり、 前記通路部リングの材質は、９Ｃｒないし１３Ｃｒ鋼ま
   たはオーステナイト系ステンレス鋼であり、 前記軸流タービンは多段の軸流タービンであって、前記
   各材質は、前記軸流タービンの各段落の設計上の圧力お
   よび温度の条件に応じて変化させていること、を特徴と
   するノズルダイアフラムの製造方法。
5. 【請求項５】 同心円状に外側から内側に向かって、ダ
   イアフラム外輪、ノズルリングおよびダイアフラム内輪
   から構成される軸流タービンのノズルダイアフラムの製
   造方法において、 前記ダイアフラム外輪、ノズルリングおよびダイアフラ
   ム内輪の材料として、これらをすべて一体の同一材質か
   らなるダイアフラム素材リングとし、 前記ダイアフラム素材リングに対して多軸機械加工機に
   よる切削加工または放電加工を施すことによって前記ノ
   ズルリングにノズル流路を形成させること、 を特徴とするノズルダイアフラムの製造方法。
6. 【請求項６】 請求項１ないし５のいずれかに記載のノ
   ズルダイアフラムの製造方法において、 前記ダイアフラム外輪、ノズルリングおよびダイアフラ
   ム内輪はいずれも、一体構造の全円周の円環としてノズ
   ル流路を形成した後に、２つの半円状の構造物に分割す
   ること、 を特徴とするノズルダイアフラムの製造方法。
7. 【請求項７】 同心円状に外側から内側に向かって、ダ
   イアフラム外輪、ノズルリングおよびダイアフラム内輪
   から構成される軸流タービンのノズルダイアフラムの製
   造方法において、 前記ダイアフラム外輪、ノズルリングおよびダイアフラ
   ム内輪の材料として、これらをすべて一体の同一材質か
   らなるダイアフラム素材リングとして、前記ノズルリン
   グには、複数個の放射状のスリットを周方向に予め決め
   られた間隔をあけて並べた状態に鋳造する鋳造工程と、 前記鋳造工程の後に、前記ダイアフラム素材リングに対
   して多軸機械加工機による切削加工または放電加工を施
   すことによって前記ノズルリングにノズル流路を形成さ
   せる機械加工工程と、 を有することを特徴とするノズルダイアフラムの製造方
   法。
8. 【請求項８】 軸流タービンのノズルダイアフラムの製
   造方法において、 ドーナツ状の円板を略１８０度の位置で２分割した半円
   状の円板に、半径方向に延びるスリットを、前記半円状
   の円板の周方向に沿って予め決められた間隔をあけて複
   数個並べて設け通路部半リングとするスリット形成工程
   と、 前記スリット形成工程の後に、前記通路部半リングの外
   側と内側にそれぞれ、前記通路部半リングに対応した半
   円状のダイアフラム外輪およびダイアフラム内輪を溶接
   で固定する溶接工程と、 前記スリット形成工程および前記溶接工程によって生じ
   た残留応力または歪を緩和するための熱処理工程と、 前記熱処理工程の後に、前記スリットの面に放電加工ま
   たは電解加工を施してノズル流路を形成するノズル流路
   形成工程と、 を有することを特徴とするノズルダイアフラムの製造方
   法。