JP2003194545A - 垂直振動質量体を有するｍｅｍｓジャイロスコープ - Google Patents

垂直振動質量体を有するｍｅｍｓジャイロスコープ

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 作製が容易であり誤動作の確率が低いＸ型Ｍ
ＥＭＳジャイロスコープを提供する。 【解決手段】 本発明のＸ型ＭＥＭＳジャイロスコープ
は、基板上で垂直に移動可能な第１質量体１５１、及び
基板上で水平に移動可能な第２質量体１５２を有してい
る。駆動電極１１０は第１質量体１５１と同一平面に設
けられる。第１質量体１５１が垂直に振動すれば第２質
量体１５２も共に垂直に振動される。第１質量体１５１
が振動する間、第１及び第２質量体１５１，１５２の運
動方向に垂直な角速度が加えられると、第２質量体１５
２の水平方向にコリオリの力が加わり、感知電極１２０
は第２質量体１５２のコリオリの力による水平方向上の
変位を測定する。全ての電極内の移動電極と固定電極は
同一平面上に配され、全ての構造物は単一マスクによっ
て作製される。従って、移動電極と固定電極との粘着が
防止され作製工程が単純化する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はＭＥＭＳジャイロス
コープに係り、さらに詳しくは基板上で垂直方向に振動
する質量体を備えたＭＥＭＳジャイロスコープに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】ＭＥＭＳ(Micro electro mechanical sy
stems)は機械的、電気的部品を半導体工程を用いて具現
する技術であって、ＭＥＭＳ技術を用いた素子の一例が
角速度を測定するジャイロスコープである。ジャイロス
コープは所定の速度で移動する物体に回転角速度が加え
られる場合に、発生するコリオリの力を測定して角速度
を測定する。この際、コリオリの力は移動速度と外力に
よる回転角速度のクロス乗積(cross product)に比例す
る。
【０００３】ジャイロスコープがコリオリの力を発生さ
せ、またこれを検知するために、ジャイロスコープはそ
の内部で振動する質量体を具備している。以下、ジャイ
ロスコープ内の質量体が駆動される方向を「駆動方向」
と称し、ジャイロスコープに回転角速度が入力される方
向を「入力方向」と称し、質量体に発生するコリオリの
力を検知する方向を「検知方向」と称する。駆動方向と
入力方向及び検知方向は空間上で相互直交する方向に設
定される。通常、ＭＥＭＳ技術を用いたジャイロスコー
プでは、基板の板面に平行し、相互に直交する二つの方
向(以下、これを「水平方向」と称する)と基板の板面に
垂直の一方向(以下ではこれを「垂直方向」と称する)で
構成された三つの方向に座標軸を設定する。
【０００４】通常、ジャイロスコープはＸ型(またはＹ
型)ジャイロスコープとＺ型ジャイロスコープに分かれ
る。Ｘ型ジャイロスコープは入力方向が水平方向のジャ
イロスコープである。Ｘ型ジャイロスコープを用いて水
平方向に加わる角速度を測定するためには、駆動方向ま
たは検知方向のうちいずれか一つは垂直方向に設定され
るべきである。従って、Ｘ型ジャイロスコープは質量体
を垂直に駆動する駆動電極を具備したりあるいは質量体
の垂直変位を検知するための検知電極を備えるべきであ
る。
【０００５】ＭＥＭＳ技術を用いたジャイロスコープで
は駆動電極と検知電極は物理的に同一構造を有する。図
１は垂直方向の駆動電極または垂直方向の検知電極を示
した図である。基板２０上には固定電極１１が形成さ
れ、固定電極１１の上部には移動電極１３が配される。
移動電極１３は固定電極１１に対して接近及び離隔可能
に基板２０の上部に浮上されている。前述したような電
極が駆動電極として使用される場合、固定電極１１と移
動電極１３との間に加わる電圧が可変され、これにより
可変する静電力によって移動電極１３が固定電極１１に
対して垂直方向に振動する。前述したような電極が検知
電極として使用される場合は、固定電極１１と移動電極
１３との距離によって変化する静電力を検知する別の検
知手段が設けられる。検知された結果に基づき移動電極
１３が移動する位置を算出することができ、この位置に
基づきコリオリの力が算出されうる。
【０００６】ところが、前述したような構造を有する電
極は、移動電極１３が固定電極１１の上部に積層された
構造を有するので、その作製が極端に困難な短所があ
る。すなわち、前述したような電極を作製するために
は、まず基板上に固定電極１１を形成する工程を行った
後、固定電極１１上に犠牲層を蒸着させる。それから、
犠牲層上に移動電極１３を形成し犠牲層を除去する。こ
のように、移動電極１３の上部に浮上された固定電極１
１を形成するために数多くの工程が行われるべきであ
る。
【０００７】また、移動電極１３の垂直方向上の変位を
精密に測定するためには移動電極１３と固定電極１１と
の間隔が狭くなるべきなので、移動電極１３と固定電極
１１間の粘着現象が発生する恐れがあるという問題点を
有している。従って、図１に示したような構造の駆動電
極または検知電極を備えたＭＥＭＳジャイロスコープ
は、その作製に数多くの工程が必要であり、また粘着に
よる誤動作の可能性が高いという問題点がある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明は前述したよう
な問題点を解決するために案出されたもので、その目的
はその作製が容易であり誤動作の確率が低いＸ型ＭＥＭ
Ｓジャイロスコープを提供するところにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ための本発明に係るＭＥＭＳジャイロスコープは、基板
の板面方向に垂直方向に沿って前記基板に対して相対移
動可能な第１質量体と、前記基板上に前記第１質量体と
同一平面に設けられ、前記第１質量体を前記垂直方向上
に振動させる駆動電極と、前記板面方向に平行した方向
のうち一つである水平方向に沿って前記基板に対して相
対移動可能であり、前記駆動電極によって前記第１質量
体が振動する間、角速度を加えることによって発生した
コリオリの力によって前記水平方向に移動される第２質
量体、及び前記第２質量体の前記水平方向上の変位を測
定する検知電極と、を備える。
【００１０】本発明の望ましい一実施例によれば、前記
第２質量体は前記第１質量体に対して前記水平方向上に
相対移動可能であり、このためにＭＥＭＳジャイロスコ
ープは、前記第１質量体が前記垂直方向上に移動可能に
前記第１質量体を前記基板上に固定する少なくとも一つ
の第１バネと、前記第２質量体が前記水平方向上に前記
第１質量体に対して相対移動可能に前記第２質量体と前
記第１質量体を相互固定する少なくとも一つの第２バネ
とを備える。本発明の望ましい他の実施例によれば、Ｍ
ＥＭＳジャイロスコープは、前記第１質量体が前記第２
質量体に対して前記垂直方向上に相対移動可能であり前
記水平方向上には相対固定されるよう前記第１質量体と
前記第２質量体を相互固定する少なくとも一つの第１バ
ネと、前記第２質量体が前記水平方向上に前記基板に対
して相対移動可能に前記第２質量体を前記基板上に固定
させる少なくとも一つの第２バネを備える。
【００１１】ここで、前記駆動電極と前記検知電極はく
し状構造を有し、また駆動電極と検知電極はそれぞれ前
記第１質量体と同一平面上に配された固定電極と移動電
極を有する。固定電極は前記基板上に起立し相互平行に
形成された複数の固定壁を有する。移動電極はそれぞれ
の前記固定壁の間にそれぞれ配され、前記固定壁の前記
基板からの高さに比べて低い高さを有する複数の移動壁
を有する。前記固定電極は前記基板上に固定され、前記
移動電極は第１質量体に固定される。本発明によれば、
全ての電極内の移動電極と固定電極が基板上の同一な平
面に配される。従って、単一のマスクだけを持って全部
品を形成できるのでその作製工程が単純化する。
【００１２】また、移動電極と固定電極との間隔を狭め
る場合もこれら間の粘着がさほど発生しなくなるため、
精密な制御の可能なジャイロスコープが作製できる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、添付した図面に基づき本発
明をさらに詳述する。以下の説明では前述した従来の技
術と同様に、ジャイロスコープ内の質量体が駆動される
方向を「駆動方向」とし、ジャイロスコープに角速度が
入力される方向を「入力方向」とし、質量体に発生する
コリオリの力を検知する方向を「検知方向」と称する。
また、基板の板面方向に垂直な方向を「垂直方向」と
し、基板の板面に並んだ方向を「水平方向」と称する。
この際、水平方向のうち図面上の左右方向を「Ｘ方向」
とし、図面上の上下方向を「Ｙ方向」とし、垂直方向と
「Ｚ方向」は同一な意味として使用する。
【００１４】図２は本発明に係るＭＥＭＳジャイロスコ
ープの望ましい第１実施例を示した図である。本発明に
係るＭＥＭＳジャイロスコープは、基板(図示せず)上に
配される第１質量体１５１と第２質量体１５２、第１質
量体１５１を駆動する駆動電極１１０、第２質量体１５
２の水平方向上の変位を検知する水平検知電極１２０、
第１質量体１５１の垂直方向上の変位を検知する垂直検
知電極１３０、及び第１質量体１５１と第２質量体１５
２をそれぞれ支持する複数の第１バネ１６１と複数の第
２バネ１６２を有している。
【００１５】第１質量体１５１は枠状を有し、基板上で
揺動可能に浮上されている。第１質量体１５１の各側面
は第１バネ１６１によって基板上に固定されている。図
３に示した通り、第１バネ１６１は捻れが発生する２個
の板バネ１６１ａとこれらを相互連結する連結部１６１
ｂ及び板バネ１６１ａのうち一つを基板に固定させるた
めの固定部１６１ｃで構成されている。図４及び図５は
それぞれ図３の第１バネ１６１の元状態と捻れ変形され
た状態をそれぞれ示した図である。板バネ１６１ａ、１
６１ｂの捻れ変形によって、第１質量体１５１は基板に
対して垂直方向に相対移動可能である。
【００１６】第２質量体１５２は第１質量体１５１より
小サイズの枠状を有し、また基板上で揺動可能に浮上さ
れている。第２質量体１５２は第１質量体１５１の内側
空間に配される。第２質量体１５２は第２バネ１６２に
よって第１質量体１５１に固定されている。図６に示し
た通り、第２バネ１６２はＹ方向にたわむ板バネの形態
を有し、よって第２質量体１５２は第１質量体１５１に
対してＹ方向に相対移動可能に第２バネ１６２によって
支持される。駆動電極１１０は第１質量体１５１のＹ方
向上の側方にそれぞれ設けられ、基板上で第１質量体１
５１と同一平面に配される。駆動電極１１０はくし(Com
b)状の構造によって相互結合された固定電極１１１と移
動電極１１２で構成されている。
【００１７】図７に示した通り、固定電極１１１は基板
上に固定された固定部１１１ｂ及び固定部１１１ｂと一
体に形成された板状の固定壁１１１ａを有している。固
定壁１１１ａは基板上に起立するよう配され、また相互
平行に配される。移動電極１１２は第１質量体１５１に
固定された固定部１１２ｂ及び固定部１１２ｂと一体に
形成された板状の移動壁１１２ａを有している。それぞ
れの移動壁１１２ａはそれぞれの固定壁１１１ａの間の
空間に配される。図８は、図７のＩ−Ｉ線におけるＺ方
向に沿う断面図であり、移動壁１１２ａの高さは固定壁
１１１ａの基板からの高さに比べて低く、移動壁１１２
ａの下端部は基板から所定の高さで離隔されている。こ
れにより移動電極１１２は基板上で垂直方向に揺動可能
になる。
【００１８】水平検知電極１２０は第２質量体１５２の
内側空間に設けられている。水平検知電極１２０は、駆
動電極１１０と同様にくし状構造によって相互結合され
た固定電極１２１と移動電極１２２を有している。固定
電極１２１は基板上に固定され、移動電極１２２は第２
質量体１５２に固定される。垂直検知電極１３０は第１
質量体１５１のＸ方向上の側上にそれぞれ設けられる。
垂直検知電極１３０もくし状構造によって相互結合され
た固定電極１３１と移動電極１３２で構成されている。
固定電極１３１は基板上に固定され、移動電極１３２は
第１質量体１５１に固定される。垂直検知電極１３０は
駆動電極１１０と同様に、図７及び図８のような構造を
有する。
【００１９】以下、前述したような構成を有する本発明
に係るＭＥＭＳジャイロスコープの動作を説明する。駆
動電極１１０に経時的に変化する電圧が印加されれば、
駆動電極１１０によって発生する静電力によって第１質
量体１５１がＺ方向に振動する。この際、第２質量体１
５２が第２バネ１６２によってＺ方向に第１質量体１５
１に対して相対固定されているため、第２質量体１５２
は第１質量体１５１と共にＺ方向に振動する。
【００２０】垂直検知電極１３０は第１質量体１５１の
Ｚ方向上の変位を測定し、測定された値は制御器(図示
せず)に提供される。制御器は垂直検知電極１３０の測
定値に基づき第１質量体１５１がＺ方向上に効率よく振
動できるよう駆動電極１１０に供給される電界を制御す
る。第１質量体１５１と第２質量体１５２が振動する間
第１質量体１５１にＸ方向に角速度が加えられると、第
２質量体１５２は第２バネ１６２によって第１質量体１
５１と共にＸ方向に移動される。この際、第２質量体１
５２にはＹ方向へのコリオリの力が加わって第２質量体
１５２がＹ方向に移動する。これによって水平検知電極
１２０内の固定電極１２１と移動電極１２２間の距離が
変化し、このような距離の変化によって水平検知電極１
２０の静電容量の変化が発生する。制御器(図示せず)は
水平検知電極１２０の静電容量の変化を用いてコリオリ
の力を算出し、これによりＸ方向に加わる外力による角
速度または角加速度を算出できる。
【００２１】本実施例によれば、第１質量体１５１のＺ
方向上の振動が第１質量体１５１と同一平面上に形成さ
れた固定電極１１１と移動電極１１２を有する駆動電極
１１０によって制御される。したがって、駆動電極１１
０が第１質量体１５１と第２質量体１５２などのような
他の部分を作製する工程と同一な工程内で共に作製する
ことができる。したがって、ジャイロスコープ内の全構
造が一つのマスクを用いて作製できるため、ジャイロス
コープの作製工程が単純化される。また、固定電極１１
１と移動電極１１２が同一平面上に配置されるため、こ
れら間の間隔を狭くするのが容易になる。したがって、
第１質量体１５１の駆動や第２質量体１５２の変位検知
が精密に制御されうる。また、駆動電極１１０は、固定
電極１１１と移動電極１１２とがくし状構造によって相
互結合されているため、第１質量体１５１及び第２質量
体１５２の駆動運動を発生しやすくできる。よって、検
知方向の運動を検知し易い。
【００２２】図９は本発明に係るＭＥＭＳジャイロスコ
ープの第２実施例を示した図である。以下の実施例等に
対する説明において図１に示された部分と同一部分につ
いては同一な参照符号を使用して引用し、その詳細な説
明は省く。本実施例において、第１質量体１５１、第２
質量体１５２、駆動電極１１０、水平検知電極１２０、
垂直検知電極１３０、及び第２バネ１６２の構成は図２
に示した実施例と実質的に同一である。本実施例におい
て第１バネ１６１ａの構成が図２の実施例と違う。
【００２３】第１バネ１６１ａは枠状の第１質量体１５
１の各角に設けられている。第１バネ１６１ａは図２の
第１バネ１６１と同様に第１質量体１５１が基板に対し
てＺ方向に相対移動可能に第１質量体１５１を支持す
る。このような構成を有する図９のＭＥＭＳジャイロス
コープの動作は図２と同様である。本実施例のように第
１バネ１６１ａが第１質量体１５１の各角を支持するこ
とによって、図２の構造において発生する懸念のある第
１質量体が水平方向に回転する共振モードの発生を抑え
られる。
【００２４】図１０は本発明に係るＭＥＭＳジャイロス
コープの第３実施例を示した図である。本実施例におい
て、第１質量体１５１、第２質量体１５２、駆動電極１
１０、水平検知電極１２０、及び垂直検知電極１３０の
構成は図２に示した実施例と同一である。本実施例にお
いて第１バネ２６１と第２バネ２６２の構成が図２の実
施例と違う。第１バネ２６１は第１質量体１５１と第２
質量体１５２を相互相対固定させる。この際、第１バネ
２６１によって、第１質量体１５１は第２質量体１５２
に対してＺ方向上に相対移動可能であり、水平方向上に
は相対固定される。
【００２５】第２バネ２６２は第２質量体１５２を基板
上に固定させる。この際、第２バネ２６２によって、第
２質量体１５２はＹ方向上に基板に対して相対移動可能
に基板上に固定される。駆動電極１１０によって第１質
量体１５１がＺ方向に振動する際、第２質量体１５２が
第２バネ２６２によってＺ方向上に基板に固定されてい
るため、第２質量体１５２はＺ方向に振動しなくなる。
第１質量体１５１が振動する間第１質量体１５１にＸ方
向に角速度が加えられると、第１質量体１５１はＹ方向
に発生するコリオリの力によってＹ方向を移動する。こ
の際、第１質量体１５１と第２質量体１５２が第１バネ
２６１によってＹ方向に相対固定されているため、第２
質量体１５２は第１質量体１５１と共にＹ方向に移動さ
れる。これにより水平検知電極１２０には静電容量の変
化が発生する。つまり、第１質量体１５１がＺ方向に振
動する際に、第２質量体１５２は検知方向であるＹ方向
にのみ振動するので、２つの軸方向の運動が混在しな
い。よって、検知信号のノイズを低減することができ
る。
【００２６】図１１は本発明に係るＭＥＭＳジャイロス
コープの第４実施例を示した図である。本実施例におい
てジャイロスコープ内の各部分の構成と動作は実質的に
図１０に示した実施例と同様である。但し、本実施例で
は第１質量体３５１が第２質量体３５２の内側空間に配
されている。これにより第１質量体３５１をＺ方向に駆
動する駆動電極３１０が第１質量体３５１の内側空間に
配され、第２質量体３５２のＹ方向上の変位を検知する
水平検知電極３２０が第２質量体３５２の外側面に配さ
れる。
【００２７】第１バネ３６１と第２バネ３６２の構成も
実質的に図６の実施例と同一である。すなわち、第１バ
ネ３６１は第１質量体３５１が第２質量体３５２に対し
てＺ方向上に相対移動可能に第１質量体３５１と第２質
量体３５２を相互相対固定させ、第２バネ３６２は第２
質量体３５２がＹ方向上に基板に対して相対移動可能に
第２質量体３５２を基板上に固定させる。前述したよう
な構成を有する本実施例によるジャイロスコープの動作
は、前述した図１０の実施例と同一である。すなわち、
駆動電極３１０によって第１質量体３５１がＺ方向に振
動する間第１質量体３５１にＸ方向に角速度が加えられ
ると、第２質量体３５２が第１質量体３５１と共にＹ方
向に移動され、これを水平検知電極３２０が検知する。
【００２８】この第４実施例のジャイロスコープでは、
第３実施例と同様に、第１質量体３５１の駆動方向と第
２質量体３５２の検知方向とが独立しているので、検知
信号のノイズを低減することができる。図１２は本発明
に係るＭＥＭＳジャイロスコープの第５実施例を示した
図である。本実施例において、第１バネ３６１ａを除い
た他の部分の構成は図１１に示された実施例と同様であ
る。第１バネ３６１ａは枠状の第１質量体３５１の各外
側の角と枠状の第２質量体３５２の各内側角部を連結す
る。第１バネ３６１ａは図１１の第１バネ３６１と同様
に第１質量体３５１と第２質量体３５２がＺ方向に相対
移動可能にこれらを相互連結する。このような構成を有
する図１２のＭＥＭＳジャイロスコープの動作は図１１
と同様である。
【００２９】前述したような第２実施例ないし第５実施
例においても第１実施例と同様に、全ての電極は基板上
の同一な平面内に形成される。［その他の実施例］本発
明に係るＸ型ＭＥＭＳジャイロスコープを垂直軸方向に
９０度回転してＸ型ジャイロスコープと同一平面上に直
角配置すればＹ型ジャイロスコープになり、これにより
同一な方式による２軸ジャイロスコープを同一基板に同
一マスクを使用して作製できるようになり、同一な感
度、同一な信号処理部、及び同一チップ(Chip)サイズを
有するなどの長所を有する２軸ジャイロスコープを作製
できる。ひいては、本発明に係るＸ型ジャイロスコープ
の検知方式と同様な検知方式を使用するＺ型ジャイロス
コープを共に配置すれば、同一基板の平面上に一つのマ
スクで３軸ジャイロスコープを容易に作製できる。
【００３０】以上では本発明の望ましい実施例について
示しかつ説明したが、本発明は前述した特定の実施例に
限らず、請求の範囲で請求する本発明の要旨を逸脱せず
当該発明の属する技術分野において通常の知識を有した
者ならば誰でも多様な変形実施が可能なことは勿論、そ
のような変更は請求の範囲の記載内にある。
【００３１】
【発明の効果】以上述べた通り、本発明によれば、基板
上の全ての移動電極と固定電極が同一な平面に配置され
ている垂直方向に振動する質量体を具備したジャイロス
コープが提供される。従って、単一のマスクだけでも全
部品を形成することができるためその作製工程が単純化
し、また移動電極と固定電極との間隔を粘着現象の発生
なしに狭く形成することができる。これによりＸ型ジャ
イロスコープの作製が容易であり、また作製されたＸ型
ジャイロスコープが誤動作する恐れが低くなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来のＭＥＭＳジャイロスコープに採用された
電極を示した図。
【図２】本発明に係るＭＥＭＳジャイロスコープの第１
実施例を示した図。
【図３】図２の第１バネの拡大図。
【図４】図３の第１バネの元状態を示した図。
【図５】図３の第１バネの捻れ変形された状態を示した
図。
【図６】図２の第２バネの拡大斜視図。
【図７】図２の駆動電極の部分拡大図。
【図８】図７のＩ-Ｉ線に沿う断面図。
【図９】本発明に係るＭＥＭＳジャイロスコープの第２
実施例を示した図。
【図１０】本発明に係るＭＥＭＳジャイロスコープの第
３実施例を示した図。
【図１１】本発明に係るＭＥＭＳジャイロスコープの第
４実施例を示した図。
【図１２】本発明に係るＭＥＭＳジャイロスコープの第
５実施例を示した図。

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】基板の板面方向の垂直方向に沿って前記基
    板に対して相対移動可能な第１質量体と、 前記基板上に前記第１質量体と同一平面に設けられ、前
    記第１質量体を前記垂直方向上に振動させる駆動電極
    と、 前記板面方向に平行した方向のうち一つである水平方向
    に沿って前記基板に対して相対移動可能であり、前記駆
    動電極によって前記第１質量体が振動する間、角速度を
    加えることによって発生したコリオリの力によって前記
    水平方向に移動する第２質量体と、 前記第２質量体の前記水平方向上の変位を測定する検知
    電極と、を備えるＭＥＭＳ(Micro Eelectro Mechanical
    Systems）ジャイロスコープ。
  2. 【請求項２】前記第２質量体は、前記第１質量体に対し
    て前記水平方向上に相対移動可能である請求項１に記載
    のＭＥＭＳジャイロスコープ。
  3. 【請求項３】前記第１質量体が前記垂直方向上に移動可
    能に前記第１質量体を前記基板上に固定する少なくとも
    一つの第１バネと、 前記第２質量体が前記水平方向上に前記第１質量体に対
    して相対移動可能に前記第２質量体と前記第１質量体を
    相互固定する少なくとも一つの第２バネと、を備える請
    求項２に記載のＭＥＭＳジャイロスコープ。
  4. 【請求項４】前記第１質量体が前記第２質量体に対して
    前記垂直方向上に相対移動可能であり、前記水平方向上
    には相対固定するよう前記第１質量体と前記第２質量体
    を相互固定する少なくとも一つの第１バネと、 前記第２質量体が前記水平方向上に前記基板に対して相
    対移動可能に前記第２質量体を前記基板上に固定する少
    なくとも一つの第２バネと、を備える請求項１に記載の
    ＭＥＭＳジャイロスコープ。
  5. 【請求項５】前記駆動電極及び前記検知電極はくし状構
    造を有する請求項１に記載のＭＥＭＳジャイロスコー
    プ。
  6. 【請求項６】前記駆動電極は、 前記基板上に起立し相互平行に形成された複数の固定壁
    を備え、前記基板上に固定された固定電極と、 それぞれの前記固定壁の間にそれぞれ配され前記固定壁
    の前記基板からの高さに比べて低い高さを有する複数の
    移動壁を備え、前記第１質量体に固定された移動電極
    と、を備える請求項５に記載のＭＥＭＳジャイロスコー
    プ。
  7. 【請求項７】前記駆動電極によって移動する前記第１質
    量体の前記垂直方向上の変位を検知する垂直検知電極を
    さらに備える請求項１に記載のＭＥＭＳジャイロスコー
    プ。
  8. 【請求項８】前記垂直検知電極は、 前記基板上に起立し相互平行に形成された複数の固定壁
    を備え、前記基板上に固定された固定電極と、 それぞれの前記固定壁の間にそれぞれ配され前記固定壁
    の前記基板からの高さに比べて低い高さを有する複数の
    移動壁を備え、前記第１質量体に固定された移動電極
    と、を備える請求項７に記載のＭＥＭＳジャイロスコー
    プ。
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