JP2003188035A - Manufacturing method for coil part - Google Patents
Manufacturing method for coil partInfo
- Publication number
- JP2003188035A JP2003188035A JP2001389128A JP2001389128A JP2003188035A JP 2003188035 A JP2003188035 A JP 2003188035A JP 2001389128 A JP2001389128 A JP 2001389128A JP 2001389128 A JP2001389128 A JP 2001389128A JP 2003188035 A JP2003188035 A JP 2003188035A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coil
- magnetic permeability
- ceramic
- magnetic
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Insulating Of Coils (AREA)
- Manufacturing Cores, Coils, And Magnets (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は各種電子機器、通信
機器等に利用されるコイル部品の製造方法に関するもの
である。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a coil component used in various electronic devices, communication devices and the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】コイル部品は各種電子機器、通信機器等
に多用されており、近年は小型あるいは薄型、さらには
多機能なコイル部品がますます要求されており、しか
も、回路の高周波化、高速信号化やデジタル化に伴って
ノイズ対策部品としてのコイル部品もますます重要にな
ってきている。2. Description of the Related Art Coil parts are widely used in various electronic devices, communication devices, etc., and in recent years, there has been an increasing demand for small or thin coil parts that are multifunctional, and higher frequency circuits and higher speeds. With signalization and digitalization, coil parts as noise suppression parts are becoming more and more important.
【０００３】従来これらの要望を満たすコイル部品とし
ては、フェライト磁性層とコイル用導体層を交互に積層
して得るものや、あるいはフェライト磁性層にコイル用
導体層を形成しこれらを積層して得るもの等種々提案さ
れている。Conventionally, coil components satisfying these demands are obtained by alternately laminating ferrite magnetic layers and conductor layers for coils, or obtained by forming conductor layers for coils on ferrite magnetic layers and laminating these layers. Various things have been proposed.
【０００４】特に、セラミック素体に導体層を形成し、
この導体層を螺旋状に切断してコイル部を形成し、この
コイル部と接続する電極部を形成したコイル部品等で
は、そのセラミック素体としてフェライト磁性材料から
なるフェライトコアを用いたり、フェライト磁性材料に
ガラスを添加したフェライトコアを用いたり、ガラス層
を形成したフェライトコアを用いたりしている。In particular, a conductor layer is formed on the ceramic body,
In a coil component or the like in which a coil portion is formed by spirally cutting this conductor layer and an electrode portion connected to this coil portion is formed, a ferrite core made of a ferrite magnetic material is used as the ceramic body, or a ferrite magnetic material is used. A ferrite core in which glass is added as a material is used, or a ferrite core in which a glass layer is formed is used.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】一般的に、セラミック
素体の材質に関係なくコイル部により磁束が発生する
が、上記構成によればセラミック素体が同一の材料であ
り、コイル部により発生した磁束はそのまま電極部を通
過する。そして、磁束が電極部を通過するとそれに応じ
て電気的損失が生じる。Generally, magnetic flux is generated by the coil portion regardless of the material of the ceramic body, but according to the above configuration, the ceramic body is the same material and is generated by the coil portion. The magnetic flux passes through the electrode part as it is. Then, when the magnetic flux passes through the electrode portion, an electrical loss occurs accordingly.
【０００６】上記構成では、電極部を通過する磁束に起
因して電気的損失が生じ、その電気的損失は制御できな
いので、信頼性が低下するという問題点を有していた。The above structure has a problem in that the electric loss is caused by the magnetic flux passing through the electrode portion, and the electric loss cannot be controlled, so that the reliability is lowered.
【０００７】本発明は上記問題点を解決し、電極部を通
過する磁束に起因して生じる電気的損失を制御し、信頼
性を向上したコイル部品の製造方法を提供することを目
的としている。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to solve the above problems and provide a method for manufacturing a coil component having improved reliability by controlling electric loss caused by magnetic flux passing through an electrode portion.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明は上記問題点を解
決するために以下の構成を有する。The present invention has the following constitution in order to solve the above problems.
【０００９】本発明の請求項１に記載の発明は、特に、
積層シート形成工程において、透磁率の異なるセラミッ
クシートを積層する工程を設け、素体形成工程において
透磁率の異なる前記セラミックシートの内透磁率の高い
セラミックシートの一部からなる高透磁率部と、透磁率
の低いセラミックシートの一部からなる低透磁率部とを
セラミック素体に形成し、前記コイル部形成工程および
前記電極部形成工程において、前記電極対向部の透磁率
と前記コイル対向部の透磁率とが互いに異なるように前
記電極対向部および前記コイル対向部を低透磁率部また
は高透磁率部に配置する工程を設けた方法である。The invention according to claim 1 of the present invention is
In the laminated sheet forming step, a step of laminating ceramic sheets having different magnetic permeability is provided, and a high magnetic permeability part formed of a part of the ceramic sheet having high magnetic permeability in the ceramic sheet having different magnetic permeability in the element body forming step, A low magnetic permeability part formed of a part of a ceramic sheet having a low magnetic permeability is formed on a ceramic body, and in the coil part forming step and the electrode part forming step, the magnetic permeability of the electrode facing part and the coil facing part It is a method including a step of disposing the electrode facing portion and the coil facing portion in the low magnetic permeability portion or the high magnetic permeability portion so that the magnetic permeability is different from each other.
【００１０】一般的に、磁束は透磁率の小さい部分より
も透磁率の大きい部分を通過するが上記方法によれば、
電極部に対向する電極対向部の透磁率とコイル部に対向
するコイル対向部の透磁率とを異ならせているので、電
極対向部およびコイル対向部の内、コイル部によって生
じる磁束は透磁率の大きい方を通過し易く、透磁率の小
さい方にはあまり通過しない。Generally, the magnetic flux passes through a portion having a higher magnetic permeability than a portion having a lower magnetic permeability, but according to the above method,
Since the magnetic permeability of the electrode facing portion facing the electrode portion and the magnetic permeability of the coil facing portion facing the coil portion are made different, the magnetic flux generated by the coil portion of the electrode facing portion and the coil facing portion is of the magnetic permeability. It easily passes through the larger one, and does not pass through the smaller one so much.
【００１１】つまり、磁束が電極部を通過するとそれに
応じて電気的損失が生じるので、電極部での電気的損失
を小さくしたい場合は、コイル対向部の透磁率よりも電
極対向部の透磁率を小さくし、電極部での電気的損失を
大きくしたい場合は、コイル対向部の透磁率よりも電極
対向部の透磁率を大きくすればよい。That is, when the magnetic flux passes through the electrode portion, an electric loss is generated accordingly. Therefore, when it is desired to reduce the electric loss in the electrode portion, the magnetic permeability of the electrode facing portion is set to be smaller than that of the coil facing portion. When it is desired to reduce the magnetic loss and increase the electrical loss in the electrode portion, the magnetic permeability of the electrode facing portion may be made larger than the magnetic permeability of the coil facing portion.
【００１２】よって、必要に応じて、電極対向部の透磁
率とコイル対向部の透磁率とを異ならせれば、電極部を
通過する磁束に起因した電気的損失を制御でき、信頼性
を向上できる。Therefore, if necessary, the magnetic permeability of the electrode facing portion and the magnetic permeability of the coil facing portion may be made different from each other, whereby electrical loss due to the magnetic flux passing through the electrode portion can be controlled and reliability can be improved. .
【００１３】本発明の請求項２に記載の発明は、請求項
１に記載の発明において、特に、コイル部形成工程およ
び電極部形成工程において、電極対向部の透磁率をコイ
ル対向部の透磁率よりも小さくするように低透磁率部に
前記電極対向部を配置するとともに、高透磁率部に前記
コイル対向部を配置する工程を設けた方法である。上記
方法により、コイル部に対向するコイル対向部の透磁率
よりも、電極部に対向する電極対向部の透磁率を小さく
しているので、コイル部によって生じる磁束は透磁率の
大きいコイル対向部を通過し易く、透磁率の小さい電極
対向部にはあまり通過しない。よって、磁束は電極部を
通過しにくくなり、それに応じて電気的損失も減少し、
信頼性を向上できる。According to a second aspect of the present invention, in the invention according to the first aspect, in particular, in the coil portion forming step and the electrode portion forming step, the magnetic permeability of the electrode facing portion is changed to the magnetic permeability of the coil facing portion. In the method, the step of disposing the electrode facing portion in the low magnetic permeability portion and the coil facing portion in the high magnetic permeability portion is provided so as to be smaller than the above. By the above method, the magnetic permeability of the electrode facing portion facing the electrode portion is made smaller than the magnetic permeability of the coil facing portion facing the coil portion. It easily passes and does not pass so much to the electrode facing portion having a low magnetic permeability. Therefore, it becomes difficult for the magnetic flux to pass through the electrodes, and the electrical loss decreases accordingly,
The reliability can be improved.
【００１４】本発明の請求項３に記載の発明は、請求項
１に記載の発明において、特に、積層シート形成工程に
おいて、透磁率の異なるセラミックシートを形成する工
程は、磁性体を含有した磁性セラミックシートと、磁性
体を含有しない非磁性セラミックシートを積層する工程
とし、素体形成工程において、前記磁性セラミックシー
トの一部からなる磁性体部と前記非磁性セラミックシー
トの一部からなる非磁性体部とを前記セラミック素体に
形成し、前記コイル部形成工程および前記電極部形成工
程において、前記電極対向部の透磁率が前記コイル対向
部の透磁率よりも小さくなるように前記非磁性体部に前
記電極部を配置するとともに前記磁性体部に前記コイル
部を配置する工程を設けた方法である。上記方法によ
り、コイル部に対向するコイル対向部の透磁率よりも電
極部に対向する電極対向部の透磁率が小さくなり、磁束
は電極部を通過しにくくなりそれに応じて電気的損失も
減少し、信頼性を向上できる。According to a third aspect of the present invention, in the invention according to the first aspect, particularly, in the step of forming the laminated sheet, the step of forming the ceramic sheets having different magnetic permeability includes the magnetic material containing a magnetic substance. A step of stacking a ceramic sheet and a non-magnetic ceramic sheet that does not contain a magnetic material, and in the element body forming step, a magnetic material part that is a part of the magnetic ceramic sheet and a non-magnetic material that is a part of the non-magnetic ceramic sheet. A body part is formed on the ceramic body, and in the coil part forming step and the electrode part forming step, the non-magnetic body is made such that the magnetic permeability of the electrode facing part is smaller than the magnetic permeability of the coil facing part. And a step of disposing the electrode part on the magnetic part and disposing the coil part on the magnetic body part. According to the above method, the magnetic permeability of the electrode facing portion facing the electrode portion is smaller than the magnetic permeability of the coil facing portion facing the coil portion, the magnetic flux is less likely to pass through the electrode portion, and the electrical loss is accordingly reduced. , The reliability can be improved.
【００１５】本発明の請求項４に記載の発明は、請求項
１に記載の発明において、特に、コイル部には外装材か
らなる外装部を被覆した方法である。上記方法により、
絶縁性の優れたコイル部品を得ることができる。A fourth aspect of the present invention is the method according to the first aspect of the invention, in particular, a method in which the coil portion is covered with an exterior portion made of an exterior material. By the above method,
A coil component having excellent insulation can be obtained.
【００１６】本発明の請求項５に記載の発明は、請求項
４に記載の発明において、特に、外装材として、ガラス
とセラミックの混合体を用いる方法である。上記方法に
より、強度の優れたコイル部品を得ることができる。The invention according to claim 5 of the present invention is, in the invention according to claim 4, a method of using a mixture of glass and ceramics as an exterior material. By the above method, a coil component having excellent strength can be obtained.
【００１７】本発明の請求項６に記載の発明は、請求項
４に記載の発明において、特に、外装材として、フェラ
イト磁性材料からなる磁性体を用いる方法である。上記
方法により、インダクタンスの大きいコイル部品を得る
ことができる。The invention according to claim 6 of the present invention is, in the invention according to claim 4, particularly a method of using a magnetic body made of a ferrite magnetic material as an exterior material. With the above method, a coil component having a large inductance can be obtained.
【００１８】本発明の請求項７に記載の発明は、請求項
１に記載の発明において、特に、セラミック素体として
ＴｉＯ2を含有した誘電体材料からなる誘電体を用いる
方法である。上記方法により、コンデンサ機能を有する
コイル部品を得ることができる。The invention described in claim 7 of the present invention is, in the invention described in claim 1, a method of using a dielectric made of a dielectric material containing TiO 2 as a ceramic body. By the above method, a coil component having a capacitor function can be obtained.
【００１９】本発明の請求項８に記載の発明は、請求項
１に記載の発明において、特に、セラミック素体として
フェライト磁性材料からなる磁性体を用いる方法であ
る。上記方法により、電気特性の優れたコイル部品を得
ることができる。The invention according to claim 8 of the present invention is, in the invention according to claim 1, particularly a method of using a magnetic body made of a ferrite magnetic material as the ceramic body. By the above method, a coil component having excellent electric characteristics can be obtained.
【００２０】本発明の請求項９に記載の発明は、請求項
１に記載の発明において、特に、セラミック素体として
フェライト磁性体とガラスの混合体を用いる方法であ
る。上記方法により、電気特性の優れたコイル部品を得
ることができる。The invention according to claim 9 of the present invention is the method according to claim 1, in which a mixture of a ferrite magnetic material and glass is used as the ceramic body. By the above method, a coil component having excellent electric characteristics can be obtained.
【００２１】本発明の請求項１０に記載の発明は、請求
項１に記載の発明において、特に、セラミック素体とし
てＡｌ2Ｏ3を含有する絶縁材料からなる絶縁体を用いる
方法である。上記方法により、高周波特性の優れたコイ
ル部品を得ることができる。A tenth aspect of the present invention is the method according to the first aspect of the present invention, in particular, a method of using an insulator made of an insulating material containing Al 2 O 3 as the ceramic body. By the above method, a coil component having excellent high frequency characteristics can be obtained.
【００２２】本発明の請求項１１に記載の発明は、請求
項１に記載の発明において、特に、コイル部形成工程
は、セラミック素体上に導体からなる下地層を形成する
とともに、前記下地層上に導体層を形成し、前記導体層
を螺旋状に加工して前記導体層に螺旋状導体からなるコ
イル部を形成する工程とし、前記コイル部形成工程中ま
たは前記コイル部形成工程後前記下地層を加熱処理して
絶縁化する絶縁化工程を設けた方法である。上記方法に
より、電気特性の優れたコイル部品を得ることができ
る。According to an eleventh aspect of the present invention, in the invention according to the first aspect, particularly in the coil portion forming step, an underlayer made of a conductor is formed on the ceramic body, and the underlayer is formed. Forming a conductor layer on the conductor layer, forming a coil portion made of a spiral conductor on the conductor layer by spirally processing the conductor layer, and forming the coil portion in the coil portion forming step or after the coil portion forming step; It is a method provided with an insulating step of heat-treating the formation to insulate it. By the above method, a coil component having excellent electric characteristics can be obtained.
【００２３】本発明の請求項１２に記載の発明は、請求
項１１に記載の発明において、特に、下地層はＮｉ系金
属からなるＮｉ系金属層とするとともに、導体層はＡｇ
系金属からなるＡｇ系金属層とした方法である。上記方
法により、セラミック素体と螺旋状導体からなるコイル
部との付着性の優れたコイル部品を得ることができる。According to a twelfth aspect of the present invention, in the eleventh aspect of the invention, in particular, the underlayer is a Ni-based metal layer made of a Ni-based metal, and the conductor layer is Ag.
This is a method of forming an Ag-based metal layer made of a system-based metal. By the above method, it is possible to obtain a coil component having excellent adhesion between the ceramic body and the coil portion made of the spiral conductor.
【００２４】本発明の請求項１３に記載の発明は、請求
項１１に記載の発明において、特に、導体層はＡｇ系金
属からなるＡｇ系金属層とし、下地層は２層からなりセ
ラミック素体側を第１層とするとともに導体層側を第２
層としており、絶縁化工程において、前記第１層はＮｉ
系金属を絶縁化したＮｉ系金属絶縁化層とするととも
に、前記第２層はＣｕ系金属を絶縁化したＣｕ系金属絶
縁化層とした方法である。上記方法により、第１層と第
２層との接合性が優れたコイル部品を得ることができ
る。According to a thirteenth aspect of the present invention, in the eleventh aspect of the present invention, in particular, the conductor layer is an Ag-based metal layer made of an Ag-based metal, and the underlayer is made up of two layers, and the ceramic body side. As the first layer and the conductor layer side as the second layer
In the insulating step, the first layer is made of Ni.
This is a method in which the Ni-based metal insulating layer in which the base metal is insulated is used, and the second layer is a Cu-based metal insulating layer in which the Cu-based metal is insulated. By the above method, it is possible to obtain a coil component having excellent bondability between the first layer and the second layer.
【００２５】本発明の請求項１４に記載の発明は、請求
項１１に記載の発明において、特に、コイル部形成工程
では、レーザ照射により導体層を螺旋状に切削して前記
導体層に螺旋状導体からなるコイル部を形成する工程を
設けた方法である。上記方法により、生産性が優れたコ
イル部品を得ることができる。According to a fourteenth aspect of the present invention, in the eleventh aspect of the invention, particularly in the coil portion forming step, the conductor layer is spirally cut by laser irradiation to form a spiral shape on the conductor layer. In this method, a step of forming a coil portion made of a conductor is provided. By the above method, a coil component having excellent productivity can be obtained.
【００２６】本発明の請求項１５に記載の発明は、請求
項１１に記載の発明において、特に、コイル部形成工程
では、下地層上に螺旋状の空隙部を有する絶縁層を形成
し、前記空隙部に導体層が配置されるように前記下地層
上に前記導体層を形成しており、前記導体層形成後に前
記絶縁層を消失させる消失工程を設けた方法である。上
記方法により、生産性が優れたコイル部品を得ることが
できる。According to a fifteenth aspect of the present invention, in the invention according to the eleventh aspect, particularly in the coil portion forming step, an insulating layer having a spiral void is formed on the underlayer, and In this method, the conductor layer is formed on the base layer so that the conductor layer is arranged in the void portion, and a disappearance step of disappearing the insulating layer is provided after the conductor layer is formed. By the above method, a coil component having excellent productivity can be obtained.
【００２７】本発明の請求項１６に記載の発明は、請求
項１５に記載の発明において、特に、絶縁化工程と消失
工程とを同時に設けるとともに、絶縁化工程における加
熱処理により絶縁層を消失させる方法である。上記方法
により、生産性が優れたコイル部品を得ることができ
る。According to a sixteenth aspect of the present invention, in the invention according to the fifteenth aspect, in particular, an insulating step and a disappearing step are provided at the same time, and the insulating layer is eliminated by a heat treatment in the insulating step. Is the way. By the above method, a coil component having excellent productivity can be obtained.
【００２８】[0028]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を用い
て、本発明の全請求項に記載の発明について図面を参照
しながら説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The invention described in all the claims of the present invention will be described below with reference to the drawings using the embodiments of the present invention.
【００２９】図１は本発明の一実施の形態におけるコイ
ル部品の断面図、図２は同コイル部品の一部切欠斜視
図、図３は外装部形成前の同コイル部品の正面図、図４
（ａ）〜（ｆ）は同コイル部品の製造工程を示す断面図
である。FIG. 1 is a cross-sectional view of a coil component according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a partially cutaway perspective view of the coil component, FIG. 3 is a front view of the coil component before forming an exterior portion, and FIG.
(A)-(f) is sectional drawing which shows the manufacturing process of the same coil component.
【００３０】図１〜図３において、本発明のコイル部品
は、外周面と側面とを有する直方体形状であって、中央
部のコイル部を形成する部分がやや細くなったセラミッ
ク素体１と、このセラミック素体１の全面に形成した下
地層６と、この下地層６上に形成した導体層７と、セラ
ミック素体１の外周面に対向する導体層７を螺旋状に加
工して形成した螺旋状導体９からなるコイル部２と、こ
のコイル部２と電気的に接続し、側面および外周面の端
部に有した電極部３と、セラミック素体１の細くなった
部分を太らせ、全体としてほぼ直方体状になるようにコ
イル部２に被覆した外装材からなる外装部４とを備えて
いる。このとき、コイル部品の外形寸法としては、側面
が１ミリ角程度以下で幅が２ミリ程度以下の非常に小さ
い寸法を想定している。1 to 3, a coil component according to the present invention has a rectangular parallelepiped shape having an outer peripheral surface and a side surface, and a ceramic element body 1 in which a central coil portion is slightly thin, The base layer 6 formed on the entire surface of the ceramic body 1, the conductor layer 7 formed on the base layer 6, and the conductor layer 7 facing the outer peripheral surface of the ceramic body 1 were spirally processed and formed. A coil portion 2 formed of a spiral conductor 9, an electrode portion 3 electrically connected to the coil portion 2 and provided at end portions of a side surface and an outer peripheral surface, and a thinned portion of the ceramic body 1, The coil part 2 is provided with an exterior part 4 formed of an exterior material so as to have a substantially rectangular parallelepiped shape as a whole. At this time, as the external dimensions of the coil component, it is assumed that the side surface is about 1 mm square or less and the width is about 2 mm or less, which is very small.
【００３１】また、螺旋状導体９からなるコイル部２と
セラミック素体１との間に介在する下地層６は導体を絶
縁化した導体絶縁化層であって、セラミック素体１側を
第１層とするとともに、コイル部２側を第２層とした２
層からなっている。The base layer 6 interposed between the coil portion 2 made of the spiral conductor 9 and the ceramic body 1 is a conductor insulating layer in which the conductor is insulated, and the ceramic body 1 side is the first layer. It is a layer and the coil portion 2 side is the second layer 2
It consists of layers.
【００３２】下地層６および導体層７の材質について
は、下地層６の第１層はＮｉ系金属を絶縁化したＮｉ系
金属絶縁化層とするとともに、下地層６の第２層はＣｕ
系金属を絶縁化したＣｕ系金属絶縁化層とし、導体層７
はＡｇ系金属からなるＡｇ系金属層としている。Regarding the material of the underlayer 6 and the conductor layer 7, the first layer of the underlayer 6 is a Ni-based metal insulating layer in which a Ni-based metal is insulated, and the second layer of the underlayer 6 is Cu.
A Cu-based metal insulating layer in which a base metal is insulated, and a conductor layer 7
Is an Ag-based metal layer made of Ag-based metal.
【００３３】さらに、セラミック素体１および外装材は
フェライト磁性材料からなる磁性体としている。Further, the ceramic body 1 and the exterior material are magnetic bodies made of ferrite magnetic material.
【００３４】そして、セラミック素体１は、表面にコイ
ル部２が存在する部分（コイル対向部１２）と電極部３
が存在する部分（電極対向部１１）の透磁率が異なり、
図１に示すように２本の破線で示した境界１０におい
て、透磁率が異なるようにしている。このとき、セラミ
ック素体１は、電極部３に対向する電極対向部１１の透
磁率をコイル部２に対向するコイル対向部１２の透磁率
よりも小さくしている。The ceramic body 1 has a portion where the coil portion 2 exists on the surface (coil facing portion 12) and the electrode portion 3.
The magnetic permeability of the portion (electrode facing portion 11) where
As shown in FIG. 1, the magnetic permeability differs at the boundary 10 shown by two broken lines. At this time, in the ceramic body 1, the magnetic permeability of the electrode facing portion 11 facing the electrode portion 3 is smaller than the magnetic permeability of the coil facing portion 12 facing the coil portion 2.
【００３５】上記構成により、電極部３に対向する電極
対向部１１の透磁率とコイル部２に対向するコイル対向
部１２の透磁率とを異ならせているので、電極対向部１
１およびコイル対向部１２の内、コイル部２によって生
じる磁束は透磁率の大きい方を通過し易く、透磁率の小
さい方にはあまり通過しない。With the above structure, the magnetic permeability of the electrode facing portion 11 facing the electrode portion 3 and the magnetic permeability of the coil facing portion 12 facing the coil portion 2 are made different from each other.
Among 1 and the coil facing portion 12, the magnetic flux generated by the coil portion 2 easily passes through the one with the higher magnetic permeability, and does not pass through the one with the lower magnetic permeability.
【００３６】つまり、磁束が電極部３を通過するとそれ
に応じて電気的損失が生じるので、電極部３での電気的
損失を小さくしたい場合は、コイル対向部１２の透磁率
よりも電極対向部１１の透磁率を小さくし、電極部３で
の電気的損失を大きくしたい場合は、コイル対向部１２
の透磁率よりも電極対向部１１の透磁率を大きくすれば
よい。That is, when the magnetic flux passes through the electrode portion 3, an electric loss is generated accordingly. Therefore, when it is desired to reduce the electric loss in the electrode portion 3, the magnetic field of the electrode facing portion 11 is lower than the magnetic permeability of the coil facing portion 12. When it is desired to reduce the magnetic permeability of the coil and increase the electrical loss in the electrode part 3, the coil facing part 12
The magnetic permeability of the electrode facing portion 11 may be made larger than the magnetic permeability of.
【００３７】コイル対向部１２の透磁率よりも電極対向
部１１の透磁率を小さくすれば、磁束は電極部３をあま
り通過せず、それに応じて電気的損失もあまり生じず、
電極対向部１１とコイル対向部１２との間から漏洩しコ
イル部を周回する。If the magnetic permeability of the electrode facing portion 11 is made smaller than the magnetic permeability of the coil facing portion 12, the magnetic flux does not pass through the electrode portion 3 so much, and accordingly electrical loss does not occur much.
It leaks from between the electrode facing portion 11 and the coil facing portion 12 and goes around the coil portion.
【００３８】コイル対向部１２の透磁率よりも電極対向
部１１の透磁率を大きくすれば、磁束は電極部３を通過
してそれに応じて電気的損失も生じながらコイル部を周
回する。When the magnetic permeability of the electrode facing portion 11 is made larger than the magnetic permeability of the coil facing portion 12, the magnetic flux passes through the electrode portion 3 and accordingly circulates around the coil portion while causing electrical loss.
【００３９】よって、必要に応じて電極対向部１１の透
磁率とコイル対向部１２の透磁率とを異ならせれば、電
極部３を通過する磁束に起因した電気的損失を制御でき
信頼性を向上できる。特に、上記構成では、コイル部２
に対向するコイル対向部１２の透磁率よりも、電極部３
に対向する電極対向部１１の透磁率を小さくしているの
で、コイル部２によって生じる磁束は透磁率の大きいコ
イル対向部１２を通過し易く、透磁率の小さい電極対向
部１１はあまり通過せず、電極部３を通過する磁束に起
因した電気的損失を減少させ信頼性を向上できる。Therefore, if the magnetic permeability of the electrode facing portion 11 and the magnetic permeability of the coil facing portion 12 are made different as necessary, the electrical loss due to the magnetic flux passing through the electrode portion 3 can be controlled and the reliability is improved. it can. Particularly, in the above configuration, the coil portion 2
Than the magnetic permeability of the coil facing portion 12 facing the electrode portion 3
Since the magnetic permeability of the electrode facing portion 11 facing to the coil is small, the magnetic flux generated by the coil portion 2 easily passes through the coil facing portion 12 having a high magnetic permeability, and the electrode facing portion 11 having a low magnetic permeability does not pass much. , The electrical loss due to the magnetic flux passing through the electrode portion 3 can be reduced, and the reliability can be improved.
【００４０】また、コイル部２を外装部４で被覆してい
るので、絶縁性を向上できる。Since the coil portion 2 is covered with the exterior portion 4, the insulating property can be improved.
【００４１】さらに、セラミック素体１をフェライト磁
性材料からなる磁性体としているので電気的特性を向上
できるとともに外装材もフェライト磁性材料からなる磁
性体としているのでコイル部２で発生する磁束が漏洩せ
ずに外装部４を通過し易くなり、インダクタンスを大き
くでき磁気回路を調整し易くできる。Further, since the ceramic body 1 is a magnetic body made of a ferrite magnetic material, electrical characteristics can be improved, and the exterior material is a magnetic body made of a ferrite magnetic material, so that the magnetic flux generated in the coil portion 2 leaks. Without passing through the exterior portion 4, the inductance can be increased and the magnetic circuit can be easily adjusted.
【００４２】特に、セラミック素体１は適宜材料を選択
することにより、コイル部品として各種の用途に使用で
き、ＴｉＯ2を含有した誘電体材料からなる誘電体とす
ればコンデンサ機能を得ることができ、Ａｌ2Ｏ3を含有
した絶縁材料からなる絶縁体とすれば高周波特性を向上
できる。In particular, the ceramic body 1 can be used for various purposes as a coil component by appropriately selecting a material, and a dielectric material made of a dielectric material containing TiO 2 can provide a capacitor function. The high frequency characteristics can be improved by using an insulator made of an insulating material containing Al 2 O 3 .
【００４３】なお、セラミック素体１において、異なる
透磁率の境界１０の位置は、コイル部２に対向するコイ
ル対向部１２と電極部３に対向する電極対向部１１との
間として明確に区切る必要はない。コイル部２の中央部
と、電極部３の部分およびコイル部２の両端部の透磁率
が異なる場合でもよい。必要なことは、セラミック素体
１が異なる透磁率の複数の部分で構成されていることで
ある。その位置としては、コイル部２の中心と電極部３
の部分であり、その境界はコイル部２側にずれていて
も、逆に電極部３側にずれていてもよい。コイルの電気
特性に密接に関係する部分（コイル対向部１２）と損失
に関わる部分（電極対向部１１）との境界１０の位置を
適宜変えることによって、種々の電気特性のコイル部品
を得ることができる。In the ceramic body 1, the position of the boundary 10 having different magnetic permeability must be clearly separated between the coil facing portion 12 facing the coil portion 2 and the electrode facing portion 11 facing the electrode portion 3. There is no. The magnetic permeability may be different between the central portion of the coil portion 2, the electrode portion 3 and both end portions of the coil portion 2. What is necessary is that the ceramic body 1 is composed of a plurality of portions having different magnetic permeability. The positions are the center of the coil portion 2 and the electrode portion 3.
And the boundary may be shifted to the coil portion 2 side or conversely to the electrode portion 3 side. By appropriately changing the position of the boundary 10 between the portion (coil facing portion 12) closely related to the electrical characteristics of the coil and the portion (electrode facing portion 11) related to the loss, coil components having various electrical characteristics can be obtained. it can.
【００４４】また、螺旋状導体９からなるコイル部２と
電極部３の間には、これらを電気的に接続するための導
体からなる引出電極５を設けているが、これにより、コ
イル部２で発生する磁束を電極部３に鎖交する量を軽減
できる。Further, a lead electrode 5 made of a conductor for electrically connecting the coil portion 2 made of the spiral conductor 9 and the electrode portion 3 is provided between the coil portion 2 and the electrode portion 3. It is possible to reduce the amount of interlinking the magnetic flux generated in step 3 with the electrode portion 3.
【００４５】さらに、電極部３はセラミック素体１の側
面にのみ設けたり、外周面の端部のみに設けたりしても
よい。特に、外周面の端面のみに電極部３を設けた場
合、電極対向部１１の中心部近傍のみの透磁率をコイル
対向部１２の透磁率と略同等にすれば、電極部３はセラ
ミック素体１の側面に設けていないので、コイル部２で
生じる磁束は電極対向部１１の中心部近傍からそのまま
側面を通過してコイル部２を周回し、電極部３を通過す
る磁束に起因した電気的損失を減少させることができ
る。Further, the electrode portion 3 may be provided only on the side surface of the ceramic body 1, or may be provided only on the end portion of the outer peripheral surface. In particular, when the electrode portion 3 is provided only on the end face of the outer peripheral surface, if the magnetic permeability only in the vicinity of the central portion of the electrode facing portion 11 is made substantially equal to the magnetic permeability of the coil facing portion 12, the electrode portion 3 will have a ceramic body. Since it is not provided on the side surface of 1, the magnetic flux generated in the coil portion 2 passes through the side surface as it is from the vicinity of the central portion of the electrode facing portion 11 and circulates around the coil portion 2, and the electric flux caused by the magnetic flux passing through the electrode portion 3 is generated. The loss can be reduced.
【００４６】次に、図４（ａ）〜（ｆ）において、本発
明のコイル部品の製造方法の一例を説明する。Next, an example of the method for manufacturing the coil component of the present invention will be described with reference to FIGS.
【００４７】第１に、図４（ａ）に示すようにセラミッ
ク素体を作製する一例を説明する。セラミック素体１の
材質をフェライト磁性材料からなるフェライト磁性体と
した場合は、フェライト粉体、バインダー、溶剤および
可塑剤を混合してスラリーを形成する。シート成型機を
用いてグリーンシート（未焼成のセラミックシート）を
形成する。グリーンシートを裁断して所定の大きさのグ
リーンシートを形成する。裁断したグリーンシートを積
層してグリーンシートからなる積層体（積層セラミック
シート）を形成する（積層シート形成工程）。First, an example of producing a ceramic body as shown in FIG. 4A will be described. When the material of the ceramic body 1 is a ferrite magnetic material made of a ferrite magnetic material, ferrite powder, a binder, a solvent and a plasticizer are mixed to form a slurry. A green sheet (unfired ceramic sheet) is formed using a sheet forming machine. The green sheet is cut to form a green sheet having a predetermined size. The cut green sheets are laminated to form a laminated body (laminated ceramic sheet) including the green sheets (laminated sheet forming step).
【００４８】積層体をさらに成型し切断して複数の個片
に分離する。これら個片を脱脂および焼成（焼成温度範
囲は８００℃から１６００℃の範囲）してセラミック素
体１を形成する（素体形成工程）。The laminate is further molded and cut into a plurality of individual pieces. These individual pieces are degreased and fired (the firing temperature range is 800 ° C. to 1600 ° C.) to form the ceramic body 1 (element body forming step).
【００４９】また、セラミック素体１をセラミックで構
成する場合は、ガラス、ガラスセラミックス、ＣｕＺｎ
系フェライト、ＮｉＺｎ系フェライト、ＮｉＺｎＣｕ系
フェライト、フォルステライトあるいはアルミナに代表
されるような非磁性のセラミックスや酸化物磁性体であ
る各種フェライト材料等を含有したグリーンシートを用
いる。When the ceramic body 1 is made of ceramic, glass, glass ceramics, CuZn
A green sheet containing a non-ferromagnetic material such as a system ferrite, a NiZn system ferrite, a NiZnCu system ferrite, forsterite or alumina, or a non-magnetic ceramic material such as an oxide magnetic material is used.
【００５０】セラミック素体１は、部分によって透磁率
が異なるように複数のセラミックシートの内、透磁率の
高いセラミックシートの一部からなる高透磁率部と、透
磁率の低いセラミックシートの一部からなる低透磁率部
とを形成しており、セラミックシートの具体的な組み合
わせとしては、ＮｉＺｎＣｕ系フェライトとＣｕＺｎ系
フェライトあるいはガラスセラミックと、ガラスとフェ
ライト磁性体の混合体の組み合わせ等がある。The ceramic body 1 has a high magnetic permeability portion formed by a part of a ceramic sheet having a high magnetic permeability and a part of a ceramic sheet having a low magnetic permeability. And a low-permeability portion made of a material such as NiZnCu-based ferrite and CuZn-based ferrite or glass ceramic, and a combination of a mixture of glass and a ferrite magnetic material.
【００５１】さらに、グリーンシートを形成するための
スラリーは、各種のフェライト粉末（場合によっては、
ガラスセラミックや各種セラミック粉末）と酢酸ブチ
ル、メチルエチルケトン、トルエン、アルコール、ブチ
ルカルビトール、テルピネオール等の溶剤、エチルセル
ロース、ポリビニルブチラール、ポリビニルアルコー
ル、ポリエチレンオキサイド、エチレン−酢酸ビニル等
の結合剤、各種の酸化物あるいはガラス類等の焼結助剤
を添加し、ブチルベンジルフタレート、ジブチルフタレ
ート、グリセリン等の可塑剤あるいはさらに分散剤等を
添加してもよい。これらを混合したスラリーを用いてセ
ラミックシートを形成する。特に、グリーンシートを作
製する場合のスラリーとしては、蒸発性の優れた各種の
溶剤、例えば酢酸ブチル、メチルエチルケトン、トルエ
ン、アルコール等が望ましい。Further, the slurry for forming the green sheet is made of various ferrite powders (in some cases,
Glass ceramics and various ceramic powders) and solvents such as butyl acetate, methyl ethyl ketone, toluene, alcohol, butyl carbitol, terpineol, ethyl cellulose, polyvinyl butyral, polyvinyl alcohol, polyethylene oxide, ethylene-vinyl acetate, etc. binders, various oxides Alternatively, a sintering aid such as glass may be added, and a plasticizer such as butylbenzyl phthalate, dibutyl phthalate, glycerin, or a dispersant may be added. A ceramic sheet is formed using a slurry obtained by mixing these. In particular, as the slurry for producing the green sheet, various solvents having excellent evaporation properties, such as butyl acetate, methyl ethyl ketone, toluene and alcohol, are desirable.
【００５２】第２に、図４（ｂ）に示すように上記によ
り作製したセラミック素体１の全面に導体からなる下地
層６を形成する。さらに、図４（ｃ）に示すように下地
層６の表面に導体層７を形成する。形成後の断面はセラ
ミック素体１の表面に下地層６があり、さらに導体層７
がそれらを覆うようになる。Secondly, as shown in FIG. 4B, a base layer 6 made of a conductor is formed on the entire surface of the ceramic body 1 produced as described above. Further, as shown in FIG. 4C, the conductor layer 7 is formed on the surface of the underlayer 6. The cross section after formation has a base layer 6 on the surface of the ceramic body 1, and further has a conductor layer 7
Will cover them.
【００５３】下地層６や導体層７を形成する方法として
は、めっき、蒸着、スパッタ、イオンプレーティング、
塗布、転写、印刷、ディピング、溶剤、吹き付け等で形
成し、螺旋状へのパターンニングにはカット、マスキン
グ、エッチング等を用いて行うことができる。As the method for forming the underlayer 6 and the conductor layer 7, plating, vapor deposition, sputtering, ion plating,
It can be formed by coating, transfer, printing, dipping, solvent, spraying, etc., and spiral patterning can be performed by using cutting, masking, etching or the like.
【００５４】下地層６を湿式めっき法で形成する場合、
セラミック素体１に無電解めっき法でまず下地層６を薄
く形成し、この下地層６を電極として機能させ、他の電
極材を電気めっき法で形成する方法等で複数層の導体層
７を容易に形成することができる。また、無電解めっき
法は様々な溶液処理が不可欠なため、この下地層６の形
成を乾式方法で行ってもよい。When the underlayer 6 is formed by the wet plating method,
First, a thin base layer 6 is formed on the ceramic body 1 by electroless plating, the base layer 6 is made to function as an electrode, and another electrode material is formed by electroplating to form a plurality of conductor layers 7. It can be easily formed. Since various solution treatments are indispensable in the electroless plating method, the underlying layer 6 may be formed by a dry method.
【００５５】下地層６の材料としては、Ｎｉ系金属のニ
ッケルやＣｕ系金属の銅等が一般的で望ましい。これら
は湿式めっき法で形成する方法も十分に確立されてい
る。下地層６はこれらの単層ないしは複層であってもよ
い。特に、下地層６を２層とし、第１層をＮｉ系金属、
第２層をＣｕ系金属としてもよい。As the material of the base layer 6, nickel of Ni-based metal, copper of Cu-based metal or the like is generally and preferably used. The method of forming them by wet plating is well established. The base layer 6 may be a single layer or a multilayer of these. In particular, the base layer 6 has two layers, the first layer is a Ni-based metal,
The second layer may be made of Cu-based metal.
【００５６】導体層７の材料としては、電気的に良導体
であれば何でもよいが、大気中で焼成しても金属を維持
できるＡｇ系金属の銀、銀とパラジウムの合金や銀と白
金の合金あるいは白金等が望ましい。つまり、導体層７
は熱処理を大気中で行っても金属として維持でき、下地
層６は反対に酸化物化ないしはセラミック素体１中に拡
散することが望ましい。Any material may be used as the material of the conductor layer 7 as long as it is an electrically good conductor, but Ag-based metal silver, an alloy of silver and palladium, an alloy of silver and platinum, which can maintain the metal even when fired in the air. Alternatively, platinum or the like is desirable. That is, the conductor layer 7
It is desirable that the underlayer 6 can be maintained as a metal even if the heat treatment is performed in the air, and the underlayer 6 is, on the contrary, oxidized or diffused into the ceramic body 1.
【００５７】第３に、図４（ｄ）に示すように導体層７
の一部を螺旋状に切断してコイル部２を形成する（コイ
ル部形成工程）。このとき、コイル部２に対向するコイ
ル対向部１２はセラミック素体１に形成した高透磁率部
と対向するようにする。Third, as shown in FIG. 4D, the conductor layer 7
Is partially cut into a spiral shape to form the coil portion 2 (coil portion forming step). At this time, the coil facing portion 12 facing the coil portion 2 faces the high magnetic permeability portion formed in the ceramic body 1.
【００５８】導体層７の少なくとも一部を螺旋状にする
方法としては、レーザーを用いた切断や砥石や刃物を用
いた切断、砥粒等を高速でワークにあてた加工等様々な
方法があるが、生産性を考慮するとレーザーを用いる方
法が望ましい。There are various methods for making at least a part of the conductor layer 7 into a spiral shape, such as cutting with a laser, cutting with a grindstone or a blade, and processing with abrasive grains applied to a work at high speed. However, a method using a laser is preferable in view of productivity.
【００５９】他の方法としては、水、炭酸ガス、砥粒等
を吹き付けてのパターン形成あるいは刃物や砥石を用い
たパターン形成等や、金型やめっき等で所定形状に予め
形成した導体を転写する方法、マスキングとマスキング
を施していない部分の導体を除去する方法等がある。As another method, pattern formation by spraying water, carbon dioxide gas, abrasive grains or the like, pattern formation using a blade or a grindstone, transfer of a conductor previously formed in a predetermined shape by a die or plating, etc. There is a method of removing the conductor, a method of removing the conductor in a portion not masked and the like.
【００６０】さらに、別な方法としては、電極部３およ
びコイル部２を形成しない部分にマスキングし、マスキ
ングを施していない部分に導体層７を形成する方法や電
極部３およびコイル部２が形成される部分にのみ導体層
７を直接形成する方法等もある。Further, as another method, a method of masking a portion where the electrode portion 3 and the coil portion 2 are not formed and forming the conductor layer 7 on a portion where the electrode portion 3 and the coil portion 2 are not masked, or a method of forming the electrode portion 3 and the coil portion 2 are formed. There is also a method of directly forming the conductor layer 7 only in the portion to be formed.
【００６１】さらには、セラミック素体１の表面形状を
ねじ状にし、その表面に導体を形成し、ねじ山を排除す
る程度削り落すとすことによってセラミック素体１の表
面の一部に螺旋状導体９からなるコイル部２を形成する
ことも可能である。Furthermore, the surface shape of the ceramic body 1 is made into a screw shape, a conductor is formed on the surface, and the surface of the ceramic body 1 is spirally cut by scraping off to the extent that the threads are removed. It is also possible to form the coil portion 2 composed of the conductor 9.
【００６２】第４に、コイル部２を形成したこれらに熱
処理を施す。これにより、下地層６は絶縁化され、第１
層はＮｉ系金属絶縁化層となり、第２層はＣｕ系金属絶
縁化層となる。Fourthly, heat treatment is applied to those having the coil portion 2 formed therein. As a result, the underlayer 6 is insulated and the first
The layer is a Ni-based metal insulating layer, and the second layer is a Cu-based metal insulating layer.
【００６３】第５に、熱処理を施したものは必要に応じ
て図４（ｅ）に示すようにコイル部２の表面に外装部４
を形成する。導体層７の螺旋状に加工したコイル部２を
覆うように外装部４を設けることにより、螺旋状コイル
部２の保護と絶縁が可能になる。外装部４を樹脂とした
場合、この樹脂にセラミック粉末を含有させると外装部
４の強度を向上し、セラミック粉末を磁性粉末にすれ
ば、磁気シールド性や電気特性の向上が可能になる。Fifth, the heat-treated product may be applied to the outer surface of the coil portion 2 on the surface of the coil portion 2 as required, as shown in FIG. 4 (e).
To form. By providing the exterior portion 4 so as to cover the spirally processed coil portion 2 of the conductor layer 7, the spiral coil portion 2 can be protected and insulated. When the exterior portion 4 is made of resin, the strength of the exterior portion 4 can be improved by adding ceramic powder to the resin, and the magnetic powder can be used as the ceramic powder to improve the magnetic shielding property and electrical characteristics.
【００６４】樹脂系の外装部４を用いて外装部４を形成
した後、熱処理を行う場合は熱処理温度の限界温度はそ
の耐熱温度となる。外装部４を形成した後熱処理する方
法では、例えばセラミック素体１にフェライト磁性体を
用い、外装部４にもフェライト磁性体を用いることで、
熱処理と外装部４の焼結も兼ねることができ、外装部４
の形成後は、磁気回路的には閉磁路構成となり、優れた
電気特性のコイル部品を得ることができる。しかも、こ
の場合は、磁気シールド性もさらに向上する。When the heat treatment is carried out after the outer casing 4 is formed by using the resin-based outer casing 4, the heat treatment temperature is limited to the heat resistant temperature. In the method of heat-treating after forming the exterior portion 4, for example, by using a ferrite magnetic body for the ceramic body 1 and a ferrite magnetic body for the exterior portion 4,
The heat treatment and the sintering of the exterior part 4 can be performed at the same time.
After forming, the magnetic circuit has a closed magnetic circuit configuration, and a coil component having excellent electrical characteristics can be obtained. Moreover, in this case, the magnetic shield property is further improved.
【００６５】外装部４は、非磁性体であっても磁性体で
あってもいずれでもよい。必要なコイル部品特性を確保
するために適宜選択すればよい。当然のことながらこれ
らには絶縁性が要求される。非磁性体としては、エポキ
シ、ポリイミド等の有機系の絶縁材料、ガラス、ガラス
セラミックス、ＣｕＺｎ系フェライトあるいはアルミナ
に代表されるようなセラミック等の無機系の絶縁材料等
の電気的に絶縁性があればどのようなものであってもよ
い。磁性体としては、ＮｉＺｎ系やＮｉＺｎＣｕ系、Ｍ
ｎＺｎ系等のスピネル系や六方晶系等のフェライト材料
等がある。The exterior part 4 may be either a non-magnetic material or a magnetic material. It may be appropriately selected to ensure the required coil component characteristics. Needless to say, these require insulation. As the non-magnetic material, an electrically insulating material such as an organic insulating material such as epoxy or polyimide, an inorganic insulating material such as glass, glass ceramics, CuZn ferrite or ceramics typified by alumina may be used. It can be anything. As the magnetic material, NiZn system, NiZnCu system, M
Examples include spinel-based materials such as nZn-based materials and ferrite materials such as hexagonal-based materials.
【００６６】外装部４を誘電率の低いもので構成すれ
ば、コイル部２の浮遊容量を低減することができ、コイ
ル部２の自己共振周波数を高めることやコイル部２の高
周波特性を改善することが可能になる。If the exterior portion 4 is made of a material having a low dielectric constant, the stray capacitance of the coil portion 2 can be reduced, the self-resonant frequency of the coil portion 2 can be increased, and the high frequency characteristics of the coil portion 2 can be improved. It will be possible.
【００６７】第６に、図４（ｆ）に示すように導体層７
の表面で外装部４を形成していない露出している部分
に、さらに電極部３を形成する（電極部形成工程）。こ
のとき、電極部３に対向する電極対向部１１はセラミッ
ク素体１に形成した低透磁率部と対向するようにする。
電極部３としては、導電性材料であればよいが、単一層
でなく複数層から構成されることが望ましい。ニッケル
電極層とはんだ電極層ないしは錫電極層等の複層構造が
一般的であり、形成方法は湿式めっき法での形成が通常
一般的に多用されている。外装部４を形成した場合は、
この湿式めっき法による電極部３形成が有利であるが、
他の方法として、電極ペーストの塗布や蒸着、スパッタ
あるいはイオンプレーティング等の乾式電極形成法等も
ある。Sixth, as shown in FIG. 4 (f), the conductor layer 7
The electrode portion 3 is further formed on the exposed portion of the surface of the substrate where the exterior portion 4 is not formed (electrode portion forming step). At this time, the electrode facing portion 11 facing the electrode portion 3 faces the low magnetic permeability portion formed in the ceramic body 1.
The electrode part 3 may be made of a conductive material, but is preferably composed of a plurality of layers instead of a single layer. A multi-layer structure including a nickel electrode layer and a solder electrode layer or a tin electrode layer is generally used, and a wet plating method is generally used as a forming method. When the exterior part 4 is formed,
It is advantageous to form the electrode portion 3 by this wet plating method,
As another method, there is a dry electrode forming method such as application of electrode paste, vapor deposition, sputtering or ion plating.
【００６８】また、表面実装用とした場合にはプリント
配線板への実装時の実装強度あるいは実装時の半田の濡
れ性、半田くわれ等を考慮する必要があり、具体的には
最下層は導体層７と同じ導体材料を用い、中間層には半
田くわれを防止するニッケル電極を用い、最外層には半
田に対して濡れ性の良い半田電極あるいは錫電極等を用
いる。この構成以外にも、金属等の導電性に優れた材料
以外に導電性樹脂材料、銀と白金の合金や銀とパラジウ
ムの合金等でもよい。Further, in the case of surface mounting, it is necessary to consider the mounting strength at the time of mounting on the printed wiring board, the wettability of solder at the time of mounting, solder breakage, etc. Specifically, the bottom layer is The same conductor material as that of the conductor layer 7 is used, a nickel electrode for preventing solder squeezing is used for the intermediate layer, and a solder electrode or tin electrode having good wettability to solder is used for the outermost layer. In addition to this structure, a conductive resin material, an alloy of silver and platinum, an alloy of silver and palladium, or the like may be used in addition to a material having excellent conductivity such as metal.
【００６９】さらに、導体層７と電極部３の一部の層を
一体にすることによって、導体層７と電極部３との接続
信頼性を優れたものにすることができる。例えば、セラ
ミック素体１の表面全面に導体層７を例えば銀で構成
し、電極部３は銀を下地にしてさらにニッケルと錫の積
層構造とすることによって、接続信頼性を高めるととも
にチップ部品としての実装性も優れたコイル部品にな
る。Furthermore, by integrally forming the conductor layer 7 and a part of the electrode portion 3, the connection reliability between the conductor layer 7 and the electrode portion 3 can be made excellent. For example, the conductor layer 7 is made of, for example, silver on the entire surface of the ceramic body 1, and the electrode portion 3 has a laminated structure of nickel and tin with silver as a base to enhance the connection reliability and to form a chip component. It becomes a coil component with excellent mountability.
【００７０】そして、セラミック素体１の表面に絶縁体
化した下地層６があり、さらに導体層７がそれらを覆
い、導体層７の螺旋状のコイル部２は外装部４で覆わ
れ、外装部４で覆われていない導体層７の部分には電極
部３が形成されたコイル部品を得ることができる。Then, there is an insulating base layer 6 on the surface of the ceramic body 1, a conductor layer 7 covers them, and the spiral coil portion 2 of the conductor layer 7 is covered with an exterior portion 4. It is possible to obtain a coil component in which the electrode portion 3 is formed on the portion of the conductor layer 7 which is not covered with the portion 4.
【００７１】上記方法によれば、図４を用いて示したよ
うにセラミック素体１の表面に下地層６を形成し、さら
に下地層６上に導体層７を形成し、次に少なくとも導体
層７の一部を螺旋状に切断した後熱処理を施し、特に、
螺旋状に導体層７を切断した後熱処理を施しているの
で、螺旋状に導体層７を切断する際にセラミック素体
１、下地層６や導体層７のそれぞれ単独ないしはお互い
が反応して加工変質部等が生じても、コイル部品として
重要な電気特性を確保できる。According to the above method, as shown in FIG. 4, the base layer 6 is formed on the surface of the ceramic body 1, the conductor layer 7 is further formed on the base layer 6, and then at least the conductor layer is formed. After cutting a part of 7 into a spiral shape, heat treatment is applied,
Since the conductor layer 7 is spirally cut and then heat treated, when the conductor layer 7 is spirally cut, each of the ceramic body 1, the underlayer 6 and the conductor layer 7 or each of them reacts and is processed. Even if a deteriorated portion or the like occurs, it is possible to secure important electrical characteristics as a coil component.
【００７２】しかも、螺旋状に切断する部分は少なくと
も導体層７とすれば、この熱処理で下地層６は絶縁体化
してコイル部品としては十分な絶縁体と変化する。Moreover, if at least the conductor layer 7 is formed in the spirally cut portion, the heat treatment causes the underlayer 6 to become an insulator, which changes to an insulator sufficient for a coil component.
【００７３】特に、前述した加工変質部は場合によって
は、絶縁抵抗が小さい物質が生成されることがあるが、
熱処理を施すことによって絶縁抵抗が加工前の問題のな
いレベルに回復可能である。例えば、セラミック素体１
としてＮｉＺｎＣｕ系フェライトを用い、下地層６とし
てニッケル電極層を用い、さらに導体層７として銀電極
層を用いて、螺旋状に切断する方法としてＹＡＧレーザ
ーを用いた場合、熱処理温度としては２００℃以上の温
度でコイル部品を得るのに必要な絶縁抵抗レベルに回復
する。さらに、トランスのコイル間等のように十分な絶
縁抵抗を確保するためには、さらに高温度の熱処理を施
すことによって例えばＹＡＧレーザー加工前のレベルに
回復可能である。銀電極を用いた場合は、熱処理の限界
温度としては銀の融点である約９６０℃までの温度が限
界となる。In particular, in the above-mentioned work-affected portion, a substance having a small insulation resistance may be produced depending on the case.
By performing heat treatment, the insulation resistance can be restored to a level without problems before processing. For example, ceramic body 1
When NiZnCu-based ferrite is used as the base layer, a nickel electrode layer is used as the underlayer 6, and a silver electrode layer is used as the conductor layer 7, and a YAG laser is used as a method for cutting in a spiral shape, the heat treatment temperature is 200 ° C. or higher. Recovers to the insulation resistance level required to obtain coil components at the temperature of. Further, in order to secure a sufficient insulation resistance such as between the coils of the transformer, it is possible to recover to a level before YAG laser processing, for example, by performing heat treatment at a higher temperature. When a silver electrode is used, the heat treatment has a limit temperature of up to about 960 ° C., which is the melting point of silver.
【００７４】つまり、本発明の製造方法では、導体層７
を螺旋状に切断してコイル部２を形成した後熱処理を施
すことで、螺旋化に伴う絶縁性劣化と下地層６の絶縁化
による螺旋化の容易化や導体層７の付着性の確保等がで
きる。That is, in the manufacturing method of the present invention, the conductor layer 7
By performing a heat treatment after the coil is cut into a spiral shape to form the coil portion 2, insulation deterioration due to spiraling and facilitation of spiraling due to insulation of the underlayer 6 and securing adhesiveness of the conductor layer 7 are achieved. You can
【００７５】なお、上記実施の形態においては、面実装
タイプとして両端等に電極部３を設けたものについての
み説明してきたが、セラミック素体１にピン端子を埋設
したものや、電極部３の代りに端子を有するキャップ状
電極をセラミック素体１の両端に嵌合結合したリードタ
イプのコイル部品とすることも容易にできる。特に、セ
ラミック素体１の形状も単なる直方体のものでもその他
の形状でもよい。直方体のセラミック素体１を用いた場
合は図５に示すような断面形状となる。In the above embodiment, only the surface mounting type having the electrode portions 3 provided at both ends has been described. However, the ceramic body 1 having the pin terminals embedded therein, and the electrode portion 3 having the electrode portions 3 are embedded. Alternatively, it is possible to easily form a lead-type coil component in which cap-shaped electrodes having terminals are fitted and coupled to both ends of the ceramic body 1. In particular, the shape of the ceramic body 1 may be a simple rectangular parallelepiped or any other shape. When the rectangular parallelepiped ceramic body 1 is used, the cross-sectional shape is as shown in FIG.
【００７６】また、アルミナやフェライト等のセラミッ
ク基板に所定の配線パターンを形成し、セラミック基板
に窓を設けてコイル部品を挿入し、配線パターンとコイ
ル部品の電極部３を接続させ、厚膜形成プロセスを用い
て焼成して電気的に結線してもよい。A predetermined wiring pattern is formed on a ceramic substrate such as alumina or ferrite, a window is provided on the ceramic substrate, a coil component is inserted, the wiring pattern and the electrode portion 3 of the coil component are connected, and a thick film is formed. The process may be used to fire and electrically connect.
【００７７】さらに、コイル部形成工程では、下地層６
上に螺旋状の空隙部を有する絶縁層を形成し、この空隙
部に導体層が配置されるように下地層６上に導体層７を
形成し、導体層形成後に絶縁層を消失させる消失工程を
設ければ、生産性が優れたコイル部品を得ることができ
る。このとき、絶縁化工程と消失工程とを同時に設け、
絶縁化工程における加熱処理により絶縁層を消失させて
もよい。Further, in the coil portion forming step, the underlayer 6
An extinction step of forming an insulating layer having a spiral void portion on top, forming a conductor layer 7 on the underlying layer 6 so that the conductor layer is arranged in this void portion, and eliminating the insulating layer after the conductor layer is formed. By providing, it is possible to obtain a coil component having excellent productivity. At this time, an insulating step and a disappearing step are provided at the same time,
The insulating layer may be eliminated by heat treatment in the insulating step.
【００７８】次に本発明のコイル部品を製造する方法を
より具体的に説明する。Next, the method for producing the coil component of the present invention will be described more specifically.
【００７９】（実施例１）ＮｉＺｎＣｕフェライト粉末
１００ｇに対してブチラール樹脂を８ｇ、ブチルベンジ
ルフタレートを４ｇ、メチルエチルケトンを２４ｇおよ
び酢酸ブチルを２４ｇ混合し、ポットミルを用いて混練
してＮｉＺｎＣｕフェライトスラリーを作製する。(Example 1) To 100 g of NiZnCu ferrite powder, 8 g of butyral resin, 4 g of butylbenzyl phthalate, 24 g of methyl ethyl ketone and 24 g of butyl acetate were mixed and kneaded with a pot mill to prepare a NiZnCu ferrite slurry. .
【００８０】このスラリーを使い、コータを用いて乾燥
後厚み０．２ｍｍのＮｉＺｎＣｕフェライトグリーンシ
ートを作製する。なおグリーンシートはＰＥＴフィルム
上に形成する。Using this slurry, a NiZnCu ferrite green sheet having a thickness of 0.2 mm is prepared after drying using a coater. The green sheet is formed on the PET film.
【００８１】同様に、ＺｎＣｕフェライト粉末１００ｇ
に対してブチラール樹脂を８ｇ、ブチルベンジルフタレ
ートを４ｇ、メチルエチルケトンを２４ｇおよび酢酸ブ
チルを２４ｇ混合し、ポットミルを用いて混練してＺｎ
Ｃｕフェライトスラリーを作製する。Similarly, 100 g of ZnCu ferrite powder
8 g of butyral resin, 4 g of butylbenzyl phthalate, 24 g of methyl ethyl ketone and 24 g of butyl acetate were mixed and kneaded using a pot mill to prepare Zn.
A Cu ferrite slurry is prepared.
【００８２】同様に、このスラリーを使い、コータを用
いて乾燥後厚み０．２ｍｍのＺｎＣｕフェライトグリー
ンシートを作製する。なおグリーンシートはＰＥＴフィ
ルム上に形成する。Similarly, using this slurry, a ZnCu ferrite green sheet having a thickness of 0.2 mm is prepared after drying using a coater. The green sheet is formed on the PET film.
【００８３】前記のＺｎＣｕフェライトグリーンシート
を２枚、ＮｉＺｎＣｕフェライトグリーンシートを６
枚、さらにＺｎＣｕフェライトグリーンシートを２枚積
層し、加圧成型して厚みが１．８ｍｍの積層体を作製す
る。この積層体を一辺が０．８５ｍｍになるように切断
し、直方体状のセラミックグリーン素体を作製する。Two sheets of the above ZnCu ferrite green sheets and six sheets of NiZnCu ferrite green sheets were prepared.
One sheet, and further two ZnCu ferrite green sheets are laminated and pressure-molded to produce a laminated body having a thickness of 1.8 mm. This laminated body is cut so that one side is 0.85 mm, and a rectangular parallelepiped ceramic green body is produced.
【００８４】このセラミックグリーン素体１を９００℃
で２時間保持する条件で焼成する。The ceramic green body 1 was heated to 900 ° C.
Bake for 2 hours.
【００８５】焼成したセラミック素体１の全面に図４に
示すように湿式めっき法でニッケル電極を形成し、さら
にニッケル電極上に銀電極を形成する。さらに螺旋状の
溝部８を銀電極に形成する。なお、溝部８の形成にはＹ
ＡＧレーザーを用い、コイル部２はセラミック素体１の
中央に位置し、その長さは０．７ｍｍとする。さらに、
コイル部２を形成した。試料を２００℃から９００℃の
温度域で１００℃間隔の温度で熱処理を施したものをそ
れぞれ１コイル、全部で８試料作製する。As shown in FIG. 4, a nickel electrode is formed on the entire surface of the fired ceramic body 1 by a wet plating method, and a silver electrode is further formed on the nickel electrode. Further, a spiral groove 8 is formed on the silver electrode. In addition, when forming the groove portion 8, Y
Using an AG laser, the coil portion 2 is located at the center of the ceramic body 1 and has a length of 0.7 mm. further,
The coil portion 2 was formed. Eight samples in total, one coil each of which is heat-treated at a temperature interval of 100 ° C. in a temperature range of 200 ° C. to 900 ° C., are prepared.
【００８６】以上の方法で得られたコイル部品には剥
離、割れ、反り等の欠陥は認められなく、熱処理温度に
対して、個々の試料で有意差は認められない。次に、イ
ンピーダンスアナライザを用いて、コイル特性を測定し
たところ、全ての試料共に優れた特性を有するコイル部
品であった。Defects such as peeling, cracking, and warpage were not found in the coil parts obtained by the above method, and no significant difference was found between the individual samples with respect to the heat treatment temperature. Next, when the coil characteristics were measured using an impedance analyzer, all the samples were coil components having excellent characteristics.
【００８７】比較のために、ＮｉＺｎＣｕフェライトグ
リーンシートを１０枚積層し、前記と同様に加圧成型し
て厚みが１．８ｍｍの積層体を作製した。この積層体を
一辺が０．８５ｍｍになるように切断し、直方体状のセ
ラミックグリーン素体を作製した。For comparison, ten NiZnCu ferrite green sheets were laminated and pressure-molded in the same manner as above to prepare a laminated body having a thickness of 1.8 mm. This laminated body was cut so that one side was 0.85 mm, and a rectangular parallelepiped ceramic green body was produced.
【００８８】このセラミックグリーン素体を９００℃で
２時間保持する条件で焼成した。This ceramic green body was fired at 900 ° C. for 2 hours.
【００８９】この焼成したセラミック素体１を用いて前
記と同様にＮｉ電極、銀電極を形成して、ＹＡＧレーザ
ーを用いてコイル部を形成し、同様に、種々の温度で熱
処理を施した。このように作製したコイルをインピーダ
ンスアナライザを用いて、コイル特性を測定した。Using this fired ceramic body 1, Ni electrodes and silver electrodes were formed in the same manner as described above, coil portions were formed using a YAG laser, and heat treatment was similarly performed at various temperatures. The coil characteristics of the coil thus manufactured were measured using an impedance analyzer.
【００９０】コイル部品のＱを比較すると、本発明のコ
イル部品の方が大きく、約２倍の大きさであった。Comparing the Q values of the coil parts, the coil parts of the present invention were larger, about twice as large.
【００９１】（実施例２）ＮｉＺｎＣｕフェライト粉末
とガラス粉末の混合粉１００ｇに対してブチラール樹脂
を８ｇ、ブチルベンジルフタレートを４ｇ、メチルエチ
ルケトンを２４ｇおよび酢酸ブチルを２４ｇ混合し、ポ
ットミルを用いて混練してＮｉＺｎＣｕガラスフェライ
トスラリーを作製する。Example 2 To 100 g of a mixed powder of NiZnCu ferrite powder and glass powder, 8 g of butyral resin, 4 g of butylbenzyl phthalate, 24 g of methyl ethyl ketone and 24 g of butyl acetate were mixed and kneaded using a pot mill. A NiZnCu glass ferrite slurry is prepared.
【００９２】このスラリーを使い、実施例１と同様にコ
ータを用いて乾燥後厚み０．２ｍｍのＮｉＺｎＣｕガラ
スフェライトグリーンシートを作製する。なおグリーン
シートはＰＥＴフィルム上に形成する。Using this slurry, a NiZnCu glass ferrite green sheet having a thickness of 0.2 mm was prepared after drying using a coater as in Example 1. The green sheet is formed on the PET film.
【００９３】同様に、ガラスセラミック粉末１００ｇに
対してブチラール樹脂を８ｇ、ブチルベンジルフタレー
トを４ｇ、メチルエチルケトンを２４ｇおよび酢酸ブチ
ルを２４ｇ混合し、ポットミルを用いて混練してガラス
セラミックスラリーを作製する。Similarly, 100 g of glass ceramic powder was mixed with 8 g of butyral resin, 4 g of butylbenzyl phthalate, 24 g of methyl ethyl ketone and 24 g of butyl acetate and kneaded with a pot mill to prepare a glass ceramic slurry.
【００９４】同様に、このスラリーを使い、コータを用
いて乾燥後厚み０．２ｍｍのガラスセラミックグリーン
シートを作製する。なおグリーンシートはＰＥＴフィル
ム上に形成する。Similarly, using this slurry, a glass ceramic green sheet having a thickness of 0.2 mm is prepared after drying using a coater. The green sheet is formed on the PET film.
【００９５】前記のガラスセラミックグリーンシートを
２枚、ＮｉＺｎＣｕガラスフェライトグリーンシートを
６枚、さらにガラスセラミックグリーンシートを２枚積
層し、加圧成型して厚みが１．８ｍｍの積層体を作製す
る。この積層体を一辺が０．８５ｍｍになるように切断
し、直方体状のセラミックグリーン素体１を作製する。Two glass ceramic green sheets, six NiZnCu glass ferrite green sheets, and two glass ceramic green sheets were laminated and pressure-molded to produce a laminated body having a thickness of 1.8 mm. This laminated body is cut so that one side is 0.85 mm, and a rectangular parallelepiped ceramic green element body 1 is manufactured.
【００９６】このセラミックグリーン素体１を９００℃
で３０分間保持する条件で焼成する。This ceramic green body 1 was heated to 900 ° C.
Bake for 30 minutes.
【００９７】焼成したセラミック素体１の全面に湿式め
っき法で銀電極を形成する。さらに螺旋状の溝部８を銀
電極に形成する。なお、溝部８の形成にはＹＡＧレーザ
ーを用い、コイル部２はセラミック素体１のほぼ中央に
位置し、その長さは０．７ｍｍとする。A silver electrode is formed on the entire surface of the fired ceramic body 1 by a wet plating method. Further, a spiral groove 8 is formed on the silver electrode. A YAG laser is used to form the groove portion 8, and the coil portion 2 is located substantially at the center of the ceramic body 1 and has a length of 0.7 mm.
【００９８】以上の方法で得られたコイル部品には剥
離、割れ、反り等の欠陥は認められない。Defects such as peeling, cracking and warping are not recognized in the coil component obtained by the above method.
【００９９】次に、インピーダンスアナライザを用い
て、コイル特性を測定したところ、優れた特性を有する
コイル部品であった。Next, when the coil characteristics were measured using an impedance analyzer, it was found that the coil parts had excellent characteristics.
【０１００】比較のために、ＮｉＺｎＣｕガラスフェラ
イトグリーンシートを１０枚積層し、前記と同様に加圧
成型して厚みが１．８ｍｍの積層体を作製した。この積
層体を一辺が０．８５ｍｍになるように切断し、直方体
状のセラミックグリーン素体を作製した。For comparison, ten NiZnCu glass ferrite green sheets were laminated and pressure-molded in the same manner as described above to prepare a laminated body having a thickness of 1.8 mm. This laminated body was cut so that one side was 0.85 mm, and a rectangular parallelepiped ceramic green body was produced.
【０１０１】このセラミックグリーン素体を９００℃で
３０分保持する条件で焼成した。The ceramic green body was fired at 900 ° C. for 30 minutes.
【０１０２】この焼成したセラミック素体１を用いて前
記と同様に銀電極を形成して、ＹＡＧレーザーを用いて
コイル部を形成した。このように作製したコイルをイン
ピーダンスアナライザを用いて、コイル特性を測定し
た。コイル部品のＱを比較すると、本発明のコイル部品
の方が大きく、約２倍の大きさであった。Using this fired ceramic body 1, silver electrodes were formed in the same manner as above, and a coil portion was formed using a YAG laser. The coil characteristics of the coil thus manufactured were measured using an impedance analyzer. Comparing the Q of the coil components, the coil component of the present invention was larger, about twice as large.
【０１０３】（実施例３）モル比でＦｅ2Ｏ3／ＮｉＯ／
ＺｎＯ／ＣｕＯが４８／２１／２１／１０の組成のＮｉ
ＺｎＣｕフェライト粉末１００ｇに対してブチラール樹
脂を６ｇ、ブチルベンジルフタレートを４ｇ、メチルエ
チルケトンを２４ｇおよび酢酸ブチルを２４ｇ混合し、
ポットミルを用いて混練して第１ＮｉＺｎＣｕフェライ
トスラリーを作製する。(Example 3) A molar ratio of Fe 2 O 3 / NiO /
Ni with a composition of ZnO / CuO of 48/21/21/10
6 g of butyral resin, 4 g of butylbenzyl phthalate, 24 g of methyl ethyl ketone and 24 g of butyl acetate were mixed with 100 g of ZnCu ferrite powder,
The mixture is kneaded using a pot mill to prepare a first NiZnCu ferrite slurry.
【０１０４】このスラリーを使い、実施例１と同様にコ
ータを用いて乾燥後厚み０．２ｍｍの第１ＮｉＺｎＣｕ
フェライトグリーンシートを作製する。なおグリーンシ
ートはＰＥＴフィルム上に形成する。Using this slurry, using a coater as in Example 1, the first NiZnCu having a thickness of 0.2 mm after drying was used.
Prepare a ferrite green sheet. The green sheet is formed on the PET film.
【０１０５】同様に、モル比でＦｅ2Ｏ3／ＮｉＯ／Ｚｎ
Ｏ／ＣｕＯが４８／１０／３２／１０の組成のＮｉＺｎ
Ｃｕフェライト粉末１００ｇに対してブチラール樹脂を
６ｇ、ブチルベンジルフタレートを４ｇ、メチルエチル
ケトンを２４ｇおよび酢酸ブチルを２４ｇ混合し、ポッ
トミルを用いて混練して第２ＮｉＺｎＣｕフェライトス
ラリーを作製する。Similarly, the molar ratio of Fe 2 O 3 / NiO / Zn
Ni / Zn having a composition of O / CuO of 48/10/32/10
6 g of butyral resin, 4 g of butylbenzyl phthalate, 24 g of methyl ethyl ketone and 24 g of butyl acetate are mixed with 100 g of Cu ferrite powder, and the mixture is kneaded using a pot mill to prepare a second NiZnCu ferrite slurry.
【０１０６】同様に、このスラリーを使い、コータを用
いて乾燥後厚み０．２ｍｍの第２ＮｉＺｎＣｕフェライ
トグリーンシートを作製する。なおグリーンシートはＰ
ＥＴフィルム上に形成する。Similarly, using this slurry, a second NiZnCu ferrite green sheet having a thickness of 0.2 mm is prepared after drying using a coater. The green sheet is P
Form on ET film.
【０１０７】前記の第２ＮｉＺｎＣｕフェライトグリー
ンシートを２枚、第１ＮｉＺｎＣｕガラスフェライトグ
リーンシートを６枚、さらに第２ＮｉＺｎＣｕフェライ
トグリーンシートを２枚積層し、加圧成型して、厚みが
１．８ｍｍの積層体を作製する。この積層体を一辺が
０．８５ｍｍになるように切断し、直方体状のセラミッ
クグリーン素体を作製する。A laminated body having a thickness of 1.8 mm was obtained by laminating two sheets of the second NiZnCu ferrite green sheets, six sheets of the first NiZnCu glass ferrite green sheets and two sheets of the second NiZnCu ferrite green sheets, and press-molding. To make. This laminated body is cut so that one side is 0.85 mm, and a rectangular parallelepiped ceramic green body is produced.
【０１０８】このセラミックグリーン素体を９００℃で
２時間保持する条件で焼成する。The ceramic green body is fired at 900 ° C. for 2 hours.
【０１０９】焼成したセラミック素体１の全面に湿式め
っき法でニッケル電極を形成し、さらに銅電極を形成し
た後、全面に銀電極を形成する。さらに螺旋状の溝部８
を銀電極に形成する。なお、溝部８の形成にはＹＡＧレ
ーザーを用い、コイル部２はセラミック素体１のほぼ中
央に位置し、その長さは０．７ｍｍとする。A nickel electrode is formed on the entire surface of the fired ceramic body 1 by a wet plating method, a copper electrode is further formed, and then a silver electrode is formed on the entire surface. Further spiral groove 8
Is formed on the silver electrode. A YAG laser is used to form the groove portion 8, and the coil portion 2 is located substantially at the center of the ceramic body 1 and has a length of 0.7 mm.
【０１１０】以上の方法で得られたコイル部品には剥
離、割れ、反り等の欠陥は認められない。Defects such as peeling, cracking and warpage are not recognized in the coil component obtained by the above method.
【０１１１】次に、インピーダンスアナライザを用い
て、コイル特性を測定したところ、優れた特性を有する
コイル部品であった。Next, the coil characteristics were measured using an impedance analyzer, and it was found that the coil component had excellent characteristics.
【０１１２】比較のために、第１ＮｉＺｎＣｕフェライ
トグリーンシートを１０枚積層し、前記と同様に加圧成
型して厚みが１．８ｍｍの積層体を作製した。この積層
体を一辺が０．８５ｍｍになるように切断し、直方体状
のセラミックグリーン素体を作製した。For comparison, ten first NiZnCu ferrite green sheets were laminated and pressure-molded in the same manner as above to prepare a laminated body having a thickness of 1.8 mm. This laminated body was cut so that one side was 0.85 mm, and a rectangular parallelepiped ceramic green body was produced.
【０１１３】このセラミックグリーン素体を９００℃で
２時間保持する条件で焼成した。The ceramic green body was fired at 900 ° C. for 2 hours.
【０１１４】この焼成したセラミック素体１を用いて前
記と同様にニッケル電極、銅電極さらに銀電極を形成し
て、ＹＡＧレーザーを用いてコイル部２を形成する。こ
のように作製したコイルをインピーダンスアナライザを
用いて、コイル特性を測定した。Using this fired ceramic body 1, nickel electrodes, copper electrodes and silver electrodes are formed in the same manner as described above, and the coil portion 2 is formed using a YAG laser. The coil characteristics of the coil thus manufactured were measured using an impedance analyzer.
【０１１５】コイル部品のＱを比較すると、本発明のコ
イル部品の方が小さく、約２０％小さかった。Comparing Q of the coil parts, the coil part of the present invention was smaller, about 20% smaller.
【０１１６】[0116]
【発明の効果】以上のように本発明によれば、電極部に
対向する電極対向部の透磁率とコイル部に対向するコイ
ル対向部の透磁率とを異ならせているので、電極対向部
およびコイル対向部の内、コイル部によって生じる磁束
は透磁率の大きい方を通過し易く、透磁率の小さい方に
はあまり通過しない。つまり、磁束が電極部を通過する
と、それに応じて電気的損失が生じるので、電極部での
電気的損失を小さくしたい場合は、コイル対向部の透磁
率よりも電極対向部の透磁率を小さくし、電極部での電
気的損失を大きくしたい場合は、コイル対向部の透磁率
よりも電極対向部の透磁率を大きくすればよい。As described above, according to the present invention, since the magnetic permeability of the electrode facing portion facing the electrode portion and the magnetic permeability of the coil facing portion facing the coil portion are made different, Among the coil facing portions, the magnetic flux generated by the coil portion easily passes through the one with the higher magnetic permeability, and does not pass through the one with the lower magnetic permeability. In other words, when the magnetic flux passes through the electrode part, electrical loss occurs accordingly, so if you want to reduce the electrical loss in the electrode part, make the magnetic permeability of the electrode facing part smaller than that of the coil facing part. When it is desired to increase the electrical loss in the electrode portion, the magnetic permeability of the electrode facing portion may be made larger than the magnetic permeability of the coil facing portion.
【０１１７】よって、必要に応じて電極対向部の透磁率
とコイル対向部の透磁率とを異ならせれば、電極部を通
過する磁束に起因した電気的損失を制御でき、信頼性を
向上したコイル部品の製造方法を提供できる。Therefore, if the magnetic permeability of the electrode facing portion and the magnetic permeability of the coil facing portion are made different as required, the electrical loss due to the magnetic flux passing through the electrode portion can be controlled, and the coil with improved reliability can be controlled. A method for manufacturing a component can be provided.
【図１】本発明の一実施の形態におけるコイル部品の断
面図FIG. 1 is a sectional view of a coil component according to an embodiment of the present invention.
【図２】同コイル部品の一部切欠斜視図FIG. 2 is a partially cutaway perspective view of the coil component.
【図３】外装部形成前の同コイル部品の正面図FIG. 3 is a front view of the coil component before formation of an exterior portion.
【図４】（ａ）〜（ｆ）同コイル部品の製造工程を示す
断面図4A to 4F are cross-sectional views showing a manufacturing process of the coil component.
【図５】他のコイル部品の断面図FIG. 5 is a sectional view of another coil component.
１ セラミック素体 ２ コイル部 ３ 電極部 ４ 外装部 ５ 引出電極 ６ 下地層 ７ 導体層 ８ 溝部 ９ 螺旋状導体 １０ 境界 １１ 電極対向部 １２ コイル対向部 1 Ceramic body 2 coil part 3 electrode part 4 Exterior 5 Extraction electrode 6 Underlayer 7 Conductor layer 8 groove 9 spiral conductor 10 boundaries 11 Electrode facing part 12 coil facing part
Claims (16)
セラミックシートを形成する積層シート形成工程と、前
記積層セラミックシートを個片に分離してセラミック素
体を形成する素体形成工程と、前記セラミック素体上に
螺旋状導体からなるコイル部を形成するコイル部形成工
程と、前記セラミック素体上に前記コイル部と電気的接
続をした電極部を形成する電極部形成工程とを備え、前
記積層シート形成工程において透磁率の異なる前記セラ
ミックシートを積層する工程を設け、前記素体形成工程
において透磁率の異なる前記セラミックシートの内透磁
率の高いセラミックシートの一部からなる高透磁率部
と、透磁率の低いセラミックシートの一部からなる低透
磁率部とを前記セラミック素体に形成し、前記コイル部
形成工程および前記電極部形成工程において前記電極対
向部の透磁率と前記コイル対向部の透磁率とが互いに異
なるように前記電極対向部および前記コイル対向部を低
透磁率部または高透磁率部に配置する工程を設けたコイ
ル部品の製造方法。1. A laminated sheet forming step of laminating a plurality of ceramic sheets to form a laminated ceramic sheet; an element body forming step of separating the laminated ceramic sheet into individual pieces to form a ceramic element body; And a coil portion forming step of forming a coil portion made of a spiral conductor on the element body, and an electrode portion forming step of forming an electrode portion electrically connected to the coil portion on the ceramic element body, A step of laminating the ceramic sheets having different magnetic permeability in the sheet forming step is provided, and a high magnetic permeability portion formed of a part of the ceramic sheet having high magnetic permeability in the ceramic sheet having different magnetic permeability in the element body forming step, A low magnetic permeability portion formed of a part of a ceramic sheet having a low magnetic permeability is formed on the ceramic body, and the coil portion forming step and the electric conductivity are performed. In the pole portion forming step, a step of arranging the electrode facing portion and the coil facing portion in a low magnetic permeability portion or a high magnetic permeability portion so that the magnetic permeability of the electrode facing portion and the magnetic permeability of the coil facing portion are different from each other. A method for manufacturing the provided coil component.
において、電極対向部の透磁率をコイル対向部の透磁率
よりも小さくするように低透磁率部に前記電極対向部を
配置するとともに、高透磁率部に前記コイル対向部を配
置する工程を設けた請求項１に記載のコイル部品の製造
方法。2. In the coil portion forming step and the electrode portion forming step, the electrode facing portion is arranged in the low magnetic permeability portion so that the magnetic permeability of the electrode facing portion is smaller than the magnetic permeability of the coil facing portion, and a high magnetic permeability is provided. The method of manufacturing a coil component according to claim 1, further comprising a step of disposing the coil facing portion in the magnetic permeability portion.
異なるセラミックシートを形成する工程は磁性体を含有
した磁性セラミックシートと磁性体を含有しない非磁性
セラミックシートを積層する工程とし、前記素体形成工
程において、前記磁性セラミックシートの一部からなる
磁性体部と前記非磁性セラミックシートの一部からなる
非磁性体部とを前記セラミック素体に形成し、前記コイ
ル部形成工程および前記電極部形成工程において、前記
電極対向部の透磁率が前記コイル対向部の透磁率よりも
小さくなるように前記非磁性体部に前記電極部を配置す
るとともに前記磁性体部に前記コイル部を配置する工程
を設けた請求項１に記載のコイル部品の製造方法。3. In the laminated sheet forming step, the step of forming ceramic sheets having different magnetic permeability is a step of laminating a magnetic ceramic sheet containing a magnetic substance and a non-magnetic ceramic sheet containing no magnetic substance, and forming the element body. In the step, a magnetic body part made of a part of the magnetic ceramic sheet and a non-magnetic body part made of a part of the non-magnetic ceramic sheet are formed in the ceramic body, and the coil part forming step and the electrode part formation are performed. In the step, a step of arranging the electrode portion in the non-magnetic body portion and arranging the coil portion in the magnetic body portion so that the magnetic permeability of the electrode facing portion is smaller than the magnetic permeability of the coil facing portion. The method for manufacturing a coil component according to claim 1, which is provided.
する外装形成工程を設けた請求項１に記載のコイル部品
の製造方法。4. The method of manufacturing a coil component according to claim 1, further comprising an exterior forming step of forming an exterior part by coating the coil part with an exterior material.
体を用いる請求項４に記載のコイル部品の製造方法。5. The method for manufacturing a coil component according to claim 4, wherein a mixture of glass and ceramic is used as the exterior material.
る磁性体を用いる請求項４に記載のコイル部品の製造方
法。6. The method of manufacturing a coil component according to claim 4, wherein a magnetic body made of a ferrite magnetic material is used as the exterior material.
る誘電体材料からなる誘電体を用いる請求項１に記載の
コイル部品の製造方法。7. The method of manufacturing a coil component according to claim 1, wherein a dielectric made of a dielectric material containing TiO 2 is used as the ceramic body.
料からなる磁性体を用いる請求項１に記載のコイル部品
の製造方法。8. The method for manufacturing a coil component according to claim 1, wherein a magnetic body made of a ferrite magnetic material is used as the ceramic body.
とガラスの混合体を用いる請求項１に記載のコイル部品
の製造方法。9. The method for manufacturing a coil component according to claim 1, wherein a mixture of a ferrite magnetic material and glass is used as the ceramic body.
する絶縁材料からなる絶縁体を用いる請求項１に記載の
コイル部品の製造方法。10. The method for manufacturing a coil component according to claim 1, wherein an insulator made of an insulating material containing Al 2 O 3 is used as the ceramic body.
上に導体からなる下地層を形成するとともに、前記下地
層上に導体層を形成し、前記導体層を螺旋状に加工して
前記導体層に螺旋状導体からなるコイル部を形成する工
程とし、前記コイル部形成工程中または前記コイル部形
成工程後に前記下地層を加熱処理して絶縁化する絶縁化
工程を設けた請求項１に記載のコイル部品の製造方法。11. The coil portion forming step includes forming a base layer made of a conductor on a ceramic body, forming a conductor layer on the base layer, and processing the conductor layer into a spiral shape to form the conductor layer. The step of forming a coil portion made of a spiral conductor in the step of forming a coil portion, and an insulating step of performing heat treatment to insulate the underlayer during or after the coil portion forming step are provided. Manufacturing method of coil parts.
属層とするとともに、導体層はＡｇ系金属からなるＡｇ
系金属層とした請求項１１に記載のコイル部品の製造方
法。12. The underlayer is a Ni-based metal layer made of a Ni-based metal, and the conductor layer is made of Ag-based metal.
The method of manufacturing a coil component according to claim 11, wherein the coil component is a metal layer.
属層とし、下地層は２層からなりセラミック素体側を第
１層とするとともに導体層側を第２層とし、絶縁化工程
において、前記第１層はＮｉ系金属を絶縁化したＮｉ系
金属絶縁化層とするとともに前記第２層はＣｕ系金属を
絶縁化したＣｕ系金属絶縁化層とする請求項１１に記載
のコイル部品の製造方法。13. The conductor layer is an Ag-based metal layer made of an Ag-based metal, the underlayer is composed of two layers, the ceramic body side is the first layer, and the conductor layer side is the second layer, and in the insulating step, The coil component according to claim 11, wherein the first layer is a Ni-based metal insulating layer in which a Ni-based metal is insulated, and the second layer is a Cu-based metal insulating layer in which a Cu-based metal is insulated. Production method.
より導体層を螺旋状に切削して前記導体層に螺旋状導体
からなるコイル部を形成する工程を設けた請求項１１に
記載のコイル部品の製造方法。14. The coil component according to claim 11, wherein the step of forming the coil portion includes a step of forming a coil portion made of a spiral conductor on the conductor layer by cutting the conductor layer in a spiral shape by laser irradiation. Production method.
旋状の空隙部を有する絶縁層を形成し、前記空隙部に導
体層が配置されるように前記下地層上に前記導体層を形
成し、前記導体層形成後に前記絶縁層を消失させる消失
工程を設けた請求項１１に記載のコイル部品の製造方
法。15. In the coil portion forming step, an insulating layer having a spiral void is formed on the underlayer, and the conductor layer is formed on the underlayer so that the conductor layer is arranged in the void. The method for manufacturing a coil component according to claim 11, further comprising a disappearing step of disappearing the insulating layer after forming the conductor layer.
るとともに、絶縁化工程における加熱処理により絶縁層
を消失させる請求項１５に記載のコイル部品の製造方
法。16. The method of manufacturing a coil component according to claim 15, wherein the insulating step and the disappearing step are provided at the same time, and the insulating layer is disappeared by the heat treatment in the insulating step.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001389128A JP3948269B2 (en) | 2001-12-21 | 2001-12-21 | Coil parts manufacturing method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001389128A JP3948269B2 (en) | 2001-12-21 | 2001-12-21 | Coil parts manufacturing method |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003188035A true JP2003188035A (en) | 2003-07-04 |
| JP3948269B2 JP3948269B2 (en) | 2007-07-25 |
Family
ID=27597437
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001389128A Expired - Fee Related JP3948269B2 (en) | 2001-12-21 | 2001-12-21 | Coil parts manufacturing method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3948269B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008270269A (en) * | 2007-04-16 | 2008-11-06 | Murata Mfg Co Ltd | Core for winding-type electronic component, its production process and winding-type electronic component |
-
2001
- 2001-12-21 JP JP2001389128A patent/JP3948269B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008270269A (en) * | 2007-04-16 | 2008-11-06 | Murata Mfg Co Ltd | Core for winding-type electronic component, its production process and winding-type electronic component |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3948269B2 (en) | 2007-07-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3197022B2 (en) | Multilayer ceramic parts for noise suppressor | |
| EP0982742B1 (en) | Module and method of manufacture | |
| US6169470B1 (en) | Coiled component and its production method | |
| JP3610191B2 (en) | Non-magnetic ceramic and ceramic laminated parts | |
| CN212659379U (en) | Laminated coil component | |
| JPH07201570A (en) | Thick film multilayer inductor | |
| JPH11273979A (en) | Method for manufacturing inductance element and inductance element | |
| JP3948269B2 (en) | Coil parts manufacturing method | |
| JP2003188019A (en) | Coil component | |
| JP3337713B2 (en) | Noise sub-lesser | |
| JP2003297636A (en) | Coil component | |
| JP3320096B2 (en) | Multilayer inductor and method of manufacturing the same | |
| JPH11317311A (en) | Composite component and manufacture of the same | |
| JP3948261B2 (en) | Coil parts manufacturing method | |
| JP3645046B2 (en) | Non-magnetic ceramic and ceramic laminated parts | |
| JPH09260144A (en) | Coil component and its manufacture | |
| JPH11329852A (en) | Composite component and manufacture thereof | |
| JPH1027712A (en) | Large-current multilayer chip inductor | |
| JP2001284819A (en) | Laminated circuit board | |
| JP2003297635A (en) | Coil component | |
| JP2002203721A (en) | Coil component, its manufacturing method, and electronic equipment using it | |
| JP2003297638A (en) | Coil component | |
| JPH11260647A (en) | Composite part and manufacture thereof | |
| JP2003243238A (en) | Method of manufacturing coil component, noise reduction unit using the same, and electronic apparatus | |
| JP2005032984A (en) | Coil component |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20050628 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20050704 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050712 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050909 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20060404 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20060601 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Effective date: 20070327 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Effective date: 20070409 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |