JP2003177368A5 - - Google Patents

Claims (4)

光導波路層と、該光導波路層に電界を印加する一対の電極とを有し、印加された前記電界に基づいて前記光導波路層中を伝搬する光を変調する半導体光変調器であって、
前記光導波路層は、前記一対の電極の間において、同一である所定の導電性の第１及び第２のクラッド層間に、光導波路コア層を含む１層以上の層より形成され、
前記光導波路層の少なくとも何れか１層以上が第１の半絶縁性半導体層であることを特徴とする半導体光変調器。 A semiconductor optical modulator having an optical waveguide layer and a pair of electrodes for applying an electric field to the optical waveguide layer, and modulating light propagating in the optical waveguide layer based on the applied electric field,
The optical waveguide layer is formed of one or more layers including an optical waveguide core layer between first and second clad layers having the same predetermined conductivity between the pair of electrodes,
A semiconductor optical modulator, wherein at least one of the optical waveguide layers is a first semi-insulating semiconductor layer. 前記所定の導電性は、ｎ型であることを特徴とする請求項１に記載の半導体光変調器。  2. The semiconductor optical modulator according to claim 1, wherein the predetermined conductivity is n-type. 入射光を第１及び第２の光路に分派する分派器と、A splitter for splitting incident light into first and second optical paths;
前記第１の光路を構成する第１の光導波路と、A first optical waveguide constituting the first optical path;
前記第２の光路を構成する第２の光導波路と、A second optical waveguide constituting the second optical path;
前記第１の光導波路と前記第２の光導波路とを合波する合波器と、A multiplexer for multiplexing the first optical waveguide and the second optical waveguide;
前記第１及び第２の光導波路の少なくとも一方上に形成された請求項１または２に記載の前記半導体光変調器と、The semiconductor optical modulator according to claim 1 or 2, formed on at least one of the first and second optical waveguides;
を有することを特徴とするマッハツェンダ型光変調器。A Mach-Zehnder optical modulator characterized by comprising: 同一の半導体基板上に、請求項１または２に記載の前記半導体光変調器と、半導体レーザと、が形成され、The semiconductor optical modulator according to claim 1 and a semiconductor laser are formed on the same semiconductor substrate,
前記半導体光変調器と前記半導体レーザとが、前記光導波路層により光学的に接続されていることを特徴とする光変調器一体型半導体レーザ。An optical modulator integrated semiconductor laser, wherein the semiconductor optical modulator and the semiconductor laser are optically connected by the optical waveguide layer.