JP2003161691A - フローセル装置 - Google Patents

フローセル装置

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JP2003161691A
JP2003161691A JP2002295577A JP2002295577A JP2003161691A JP 2003161691 A JP2003161691 A JP 2003161691A JP 2002295577 A JP2002295577 A JP 2002295577A JP 2002295577 A JP2002295577 A JP 2002295577A JP 2003161691 A JP2003161691 A JP 2003161691A
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flow
sample
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liquid
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JP2002295577A
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Isao Yamazaki
功夫 山崎
Masayoshi Matsumoto
政悦 松本
Akira Miyake
亮 三宅
Masaharu Ishii
雅治 石井
Hiroshi Oki
博 大木
Ryohei Yabe
良平 矢辺
Hideyuki Horiuchi
秀之 堀内
Shinichi Sakuraba
伸一 桜庭
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】粒子を含む液体サンプルを超扁平形状で高速に
流し、粒子の画像を効率良く高精度に取り込むことを可
能にするフローセル装置を提供することを目的とする。 【構成】サンプル液をシ−ス液で包み込んだシ−スフロ
−を形成するフロ−セル装置1において、前記サンプル
液の流れが厚さが薄く幅が広い扁平状に形成されるもの
であって、該サンプル液の流れを増速する流路と該増速
する流路の下流側に測定を行う平行流を形成するように
構成されたことを特徴とするフロ−セル装置。 【効果】サンプルを高速で精度良く測定できるため測定
精度、効率の向上が図れる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、液体中に懸濁した粒子
の形態的情報を得て、これを分析するフロ−セル装置に
関する。
【0002】
【従来の技術】液体の中に含まれる粒子の形状を観察し
て粒子の分類・分析を行なう一例に、尿沈渣検査があ
る。尿沈渣検査は、尿中の粒子の形態学的な検査であ
る。従来、同検査には、沈渣物を染色してスライドガラ
ス上に標本を作り、顕微鏡観察する、目視の方法が採ら
れてきた。沈渣物中には、血球細胞や細菌等の数マイク
ロメートルの粒子から円柱などの数百マイクロメートル
の粒子まであり、これら粒子の観察は、顕微鏡の倍率を
高倍率と低倍率に切り換えて行われる。上述の方法で
は、目的によって観察する試料の量は異なるものの、典
型的には、高倍率で5マイクロリットル、低倍率で75
0マイクロリットル分の原尿に相当する量の濃縮尿を観
察し、各沈渣成分の数を計数している。
【0003】また、特殊な形状の流路中に測定部を設け
たフローセルを用いて、液体中の分類や分析を行う方法
がある。この方法は、シース液で包み込まれた被測定液
体の流れをフローセル流路中に形成し、サンプル液中の
粒子を光学的な手段で測定するものである。このような
方法は、液体中の粒子の検査を自動化するに好適であ
る。例えば、特表昭57−500995号公報には、流
体試料を特別な形状の流路に通し、幅広の作像領域にて
試料中の粒子を撮像する装置が示されている。この装置
は、顕微鏡に接続したCCDカメラと、該カメラの動作
に同期して周期的に発光するパルス光源とを備え、粒子
が流れていても、それらの拡大静止像をCCDカメラに
撮像可能である。かくして得られた静止像を画像分析す
ることで、液体中の粒子の形態的な分析ができる。撮像
された試料の体積中にいくつ粒子が含まれているかを計
数することで、粒子の濃度を分析することができる。
【0004】1種類のサンプルの測定中に、流れの条件
を変えることにより、サンプル流の状態を変化させて測
定する、フローセルを用いた方法も提案されている。こ
の方法では、サンプルが複数の異なる条件のもとで測定
できる。その一例として、特開平3−105235号公
報には、尿沈渣検査のための装置が記載されている。こ
の装置は、尿中の粒子成分を、扁平形状のサンプル流を
形成できるフローセルを用いて測定するものである。
【0005】上記フローセルは、測定部の流路がサンプ
ル流の厚さ方向に一定であり、幅方向には下流へ向けて
徐々に広がる構成である。サンプル流は、拡大流路を通
過する際に、幅方向に広げられ、減速して扁平な流れと
なる。その流れは厚さ方向に薄く、幅方向に広く、この
偏平なサンプル流の一部に含まれる粒子の撮像が行われ
る。特開平3−105235号公報に記載の測定では、
顕微鏡を高倍率と低倍率とに切りえて、様々な大きさの
粒子の測定が行われる。このとき、フローセルに供給す
るサンプル液あるいはシース液の流量を変えることによ
り、サンプル流の厚みがコントロールされる。すなわ
ち、高倍率でサンプル流を測定する場合は顕微鏡の焦点
深度が浅くなるので、サンプル流の厚みを薄くして粒子
にピントが合うように、低倍率の場合はその逆にコント
ロールしている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】特表昭57−5009
95号に記載されたような装置を、尿沈渣の検査などの
粒子濃度の小さい液体の検査に利用する分析に利用する
場合には、試料を遠心分離する必要がある。これは、粒
子の濃度が薄く、試料を遠心分離しないと、多くの画像
が粒子の撮影されていないむだな画像となるからであ
る。例えば、尿に含まれる粒子は、1マイクロリットル
当たり1個以下の場合が多く、濃縮しないと、低倍率で
も100視野に1個の粒子も写らないことがある。
【0007】このため、分析する粒子がわずかしか含ま
れていない低濃度の試料を高精度に分析するには、分析
する試料液の体積を大きくし、測定粒子の数を増やす必
要がある。従って、このような測定を効率良く行なうた
めには、フローセル中を流す試料の速度を高めることが
望ましい。
【0008】しかし、特表昭57−500995号記載
の測定部で幅が広くなるような拡大流路では、流速を増
すと、試料の流れが乱れて、厚さの不均一や、速度分布
のムラの生じる恐れがある。これは、測定部の視野にお
ける高精度の粒子撮影に不利である。また、流路を流れ
る試料は、断面が楕円形の扁平流となり、測定部の視野
における試料の体積が常に一定になりにくい。さらに、
試料の流れの一部を撮像する測定では、測定視野から粒
子がはみ出して、正確な粒子情報、試料の濃度情報が得
られない場合がある。
【0009】このように、特表昭57−500995号
に示された如き従来の方法では、一定時間に分析できる
試料の体積が非常に少なく、低濃度の試料中の粒子画像
を、一定時間内に多く正確に得ることは困難である。
【0010】また、試料を様々な条件のもとで測定する
には、サンプル流の形状を自由にコントロールすること
が望ましい。特開平3−105235号公報に記載の装
置では、円柱形状のノズルから吐出された円断面のサン
プル液がいったん押しつぶされ、さらに拡大流路で減速
しながら左右に広がって偏平になる。この場合、サンプ
ル液とシース液の流量のみがサンプル流の状態を制御す
るパラメータであるために、サンプル流中心部の流速と
サンプル流の厚さとを単独に自由にコントロールするこ
とが困難である。
【0011】一方、上記の装置で、サンプル流中心部の
流速、あるいはサンプル流の厚さを所望の値にするよう
に設定した場合、サンプル流の幅や、サンプル流周辺部
の流速をコントロールできない。すなわち、サンプル流
の幅や、サンプル流周辺部の流速は、流路の形状によっ
て決定され、制御不能となる。
【0012】特開平3−105235号公報の装置で
は、サンプル流が拡大減速流路で左右に広がって、実際
の測定に必要な範囲よりも幅広い流れとなり、撮像はサ
ンプル流の一部について行われる。そのため、撮影した
画像の端で粒子像が途切れる場合がある。また、サンプ
ル流の中心部と周辺部では流速にムラが生じる。
【0013】このように、特開平3−105235号公
報に示された如き従来の方法では、フローセル内のサン
プル流の形状及び流速を単独で、能動的に、自由に制御
することが困難である。
【0014】発明は、低濃度の粒子懸濁液であっても、
数多くの粒子多くの粒子画像を高精度で且つ効率的に得
ることのできるフロ−セル装置の提供を、主要な目的と
する。
【0015】発明の別の目的は、流れの乱れが少なく、
安定した高速の偏平なサンプル流を形成し得るフローセ
ル装置の提供である。
【0016】発明のさらに別の目的は、サンプル流の幅
を変更し得るフロ−セル装置の提供である。
【0017】発明のさらに別の目的は、サンプル流の形
状を変更し得るフロ−セル装置の提供である。
【0018】発明のさらに別の目的は、装置要部の洗浄
が容易で、その所要時間が短く、保守の簡単なフローセ
ル装置の提供である。
【0019】発明のさらに別の目的は、サンプル流が測
定範囲からはみ出さずに流れ、しかも中心部と周辺部で
流速が均一であるように、サンプル流の幅、厚さ、流速
をそれぞれ独立に制御し得るフローセル装置の提供であ
る。
【0020】
【課題を解決するための手段】発明は上記目的達成のた
めに、まず、サンプル液をシ−ス液で包み込んだシ−ス
フロ−を形成するフロ−セル装置において、前記サンプ
ル液の流れが厚さが薄く幅が広い扁平状に形成されるも
のであって、上流側に形成される縮流流路と、該縮流流
路に接続された平行流を形成する測定部と、該測定部の
後流側に形成される減速流路部を備えたことを特徴とす
るものである。
【0021】又、サンプル液をシ−ス液で包み込んだシ
−スフロ−を形成するフロ−セル装置において、前記サ
ンプル液の流れが厚さが薄く幅が広い扁平状に形成され
るものであって、該サンプル液の流れを増速する流路と
該増速する流路の下流側に測定を行う平行流を形成する
ように構成されたことを特徴とするものである。
【0022】又、サンプル液を供給するためのサンプル
液供給部と、該サンプル液を包み込みシ−スフロ−を形
成するためのシ−ス液供給部と、該シ−スフロ−を流す
流路を備えたフロ−セル装置において、前記流路が扁平
状にかつ前記サンプル液の幅を可変となるように構成さ
れるものであって、上流側から下流側にかけて縮流流路
と、平行流路が構成されていることを特徴とするもので
ある。
【0023】又、サンプル液を供給するためのサンプル
液供給部と、該サンプル液を包み込みシ−スフロ−を形
成するためのシ−ス液供給部と、該シ−スフロ−を流す
流路を備えたフロ−セル装置において、該流路が透明な
材質の正面板と、該正面板に接合され流れ方向の断面形
状が台形状の縮流板と、それらの側面に接合された側面
板から構成されることを特徴とするものである。
【0024】又、一方のシ−ス液流入口が設けられた上
部プレ−トと、他方のシ−ス液流入口が設けられた下部
プレ−トと、該上部プレ−トと下部プレ−トとの間にス
リットが設けられシ−ス液の流路が形成されたガイドプ
レ−トとサンプル液の流路とサンプル液用ノズルが形成
されたノズル部材とを重ね合わせるように接合してシ−
スフロ−の流路を形成したことを特徴とするものであ
る。
【0025】又、内部にサンプル液の流路が形成され、
該流路と接続されたノズルが形成されたガイドプレ−ト
が取り付けられたノズル押えと、該ガイドプレ−トを取
り囲むように取り付けられ、シ−スフロ−を形成するた
めのキャピラリ−と、シ−ス液流入口を有し前記ノズル
押えとキャピラリ−を固定するためのホルダを備えたこ
とを特徴とするものである。
【0026】又、サンプル液供給用のピペッタと、該ピ
ペッタを駆動するためのピペッタ駆動装置と、シ−ス液
を供給するシ−ス液供給装置と、前記サンプル液をシ−
ス液で包み込んだシ−スフロ−を形成するための流路を
具備したフロ−セル装置において、該フロ−セル装置の
前記ピペッタとの接続部に前記ピペッタと密着して接続
するためのシ−ル部を設けたことを特徴とするものであ
る。
【0027】又、サンプル液をシース液で包みこんだシ
−スフロ−を形成するフローセル装置において、前記シ
−スフロ−の流れの方向をx軸、幅方向をy軸、高さ方
向をz軸としたとき、上流側からx軸方向に沿ってz軸
方向の寸法が減少され増速する流れ区間と、z軸方向の
寸法が同一に形成され平行流が形成される流れ区間とが
形成されていることを特徴とするものである。
【0028】又、流れの乱れが少なく、中央部と周辺部
で流速のムラが生じにくい一定幅のサンプル流を測定部
に形成することを意図するものである。流れが高速でも
安定していれば、サンプル液を高精度で且つ効率的に測
定することができる。 発明によれば、液体中に懸濁し
た粒子を測定するためのフローセル装置は、測定すべき
サンプル液を供給するための手段と、シース液を供給す
るための手段と、流路を画定するためのフローセル手段
で、このフローセル手段は前記流路を少なくとも一方向
に横切って見通すことのできる透明な測定部を持つこと
と、前記サンプル液供給手段に流体連通した、前記フロ
ーセル手段の流路へサンプル液を流すためのノズル手段
で、このノズル手段は少なくとも一つの吐出口を持ち、
この吐出口が前記流路の内壁から間隔をあけた関係で該
流路中に配置されることと、前記シース液供給手段は、
前記吐出口の周囲にシース液を流し、該吐出口からのサ
ンプル液の流れをシース液で取り巻いてシースフローを
形成するように、前記サンプル液の流れに関して前記ノ
ズル手段の吐出口の上流側で前記フローセル手段の流路
に流体連通していることと、そして前記フローセル手段
の流路は、少なくとも前記測定部の見通し方向に直角な
方向において、前記サンプル液の流れの狭まりを防いで
一定幅のサンプル液の流れを確保するように、幅が一定
であることを含むものである。
【0029】フローセル手段がさらに、前記測定部の見
通し方向にシースフローを狭め、該シースフロー中のサ
ンプル液の流速を増すと共に前記見通し方向におけるサ
ンプル液の厚みを小さくして偏平な流れを形成するため
の手段を、前記測定部の上流側に含むことが好適であ
る。
【0030】ノズル手段がさらに、前記測定部における
測定範囲に応じてサンプル液の流れの幅を変えるための
手段を含むことが好ましい。
【0031】また、ノズル手段がさらに、サンプル液の
流れの形状を変えるための手段を含むことが望ましい。
【0032】好適には、ノズル手段はさらに、前記流路
の幅方向の前記吐出口の両側部にそれぞれ設けた、該吐
出口からのサンプル液を案内して安定な一定幅の流れを
形成するためのガイド手段を含む。
【0033】
【作用】本発明のフローセル装置は、第1の目的を達成
するために上記のように構成しているので、増速流路で
流れを安定化でき、その流路中において、幅が200か
ら300マイクロメートル、厚さが5から20マイクロ
メートル程度のアスペクト比が非常に大きい扁平な断面
を有する扁平形状のサンプル流を形成することができ
る。この扁平形状は、サンプル液中の被検粒子を顕微鏡
に接続したCCDカメラで撮像する場合、撮像視野の範
囲で、しかも焦点がちょうど合った状態で撮像するのに
適した形状である。
【0034】また、増速流路で流れを安定化できるの
で、1000mm/秒以上の高速なサンプル流を形成す
ることができる。
【0035】また、フローセル装置のサンプル液の流
は、安定に流れ、厚さ方向および幅方向の変動およびむ
らを小さくできる。
【0036】また、フローセル装置のサンプル液の流れ
は、厚さ方向に一様に縮流され、厚さが均一な扁平流が
形成され、撮像の精度向上が実現できる。
【0037】また、フローセル装置のサンプル液の流れ
は、幅方向に速度分布が一様なサンプル流が実現でき
る。
【0038】本発明のフローセル装置は、第2の目的を
達成するために上記のように構成しているので、サンプ
ル液を短時間で連続して測定部であるフローセル装置に
供給することができ、特に多種類のサンプルを連続して
測定を行なう場合に非常に有効である。
【0039】また、サンプル液をチューブ等を通して測
定部に導くではなく、測定部のごく近くに直接供給でき
るので、フローセル装置のなかでシースフローが形成さ
れるまでの時間を大幅に短縮できる。
【0040】また、サンプル液が通過する流路は非常に
短いので、洗浄面積を大幅に減少でき、洗浄時間も短縮
できる。
【0041】本発明のフローセル装置は、第3の目的を
達成するために上記のように構成しているので、前記フ
ローセルのサンプル流は、ガイドの間隔を調節すること
によって、サンプル流を撮像部に最適の幅に設定するこ
とが可能である。
【0042】また、フローセル装置は、全てのサンプル
液が撮像領域を通過し、撮像領域の端で粒子の一部のみ
が撮影されることがないので画像分析が正確に行える。
また、撮像領域を通過するサンプル液の体積を正確に知
ることができる。
【0043】また、フローセル装置は、撮像倍率の切り
替えに伴って、試料液の幅と厚さと流速を切り替えるこ
とができる。
【0044】本発明のフローセル装置は、第4の目的を
達成するために上記のように構成しているので、検査の
途中、あるいはサンプルの検査の前に、次のような操作
を行なうことによりサンプル流の形状及び流速をコント
ロールすることができる。
【0045】すなわち、ノズル先端の形状あるいは位置
を変化させることにより、サンプル流の幅は、ノズル先
端の出口の間隔とほぼ等しくなることから、出口の間隔
を制御することによりコントロールできる。また、サン
プル液の流量を変化さると、サンプル流の厚さをコント
ロールすることができる。さらにシース液とサンプル液
の流量を、その比を一定にして変化さると、サンプル流
の形状を変えずに流速のみをコントロールすることがで
きる。
【0046】又、複数の流路を持つノズルからサンプル
液を吐出する位置を変化させることができるので、サン
プル流の幅及び厚さは、ノズルの複数の流路のうち、サ
ンプルを吐出する位置を変えることによりコントロール
できる。また、シース液とサンプル液の流量を、その比
を一定にして変化さるとサンプル流の形状を変えずに流
速のみをコントロールすることができる。
【0047】又、複数対のガイドを持つノズルから吐出
するサンプル液の流量を変化させることができるので、
サンプル流の幅及び厚さは、内側に互いに傾いて設置さ
れているガイドを備えたノズル先端から吐出するサンプ
ル液の流量を変化させることにより、ガイドを乗り越え
るか、あるいは内側を流れるかによってコントロールで
きる。また、シース液とサンプル液の流量を、その比を
一定にして変化さると、サンプル流の形状を変えずに流
速のみをコントロールすることができる。
【0048】このように、複数の種類の検査条件に合っ
た幅、厚さ、流速のサンプル流を同一のフローセルで、
連続して形成することができる。そのため、検査の高精
度化、流路系と検査光学系の単純化、検査に必要なサン
プルの微量化及び検査時間の短縮を図ることができる。
【0049】又、複数の種類のサンプルの、それぞれの
特徴に合った幅、厚さ、流速のサンプル流を同一のフロ
ーセルで連続して形成することができる。このため、検
査光学系にとって最適の条件の下で検査が可能であり、
検査の高精度化が図れる。
【0050】
【実施例】本発明によるフローセル装置の基本構成を、
図1−9に示す実施例を参照して説明する。これらの図
に示したフローセル装置は、本発明の基本的な特徴並び
にいくつかの追加の特徴を備えている。フローセル装置
はフローセル組立体と、サンプルを供給するための手段
とを有する。
【0051】図1に示すように、後述するフローセルへ
のサンプル供給手段は、主としてピペッタ駆動装置2
9、ピペッタ駆動装置29により上下、回転されるピペ
ッタアーム28、アーム28の先端に設けられサンプル
の採取、供給を行なうパイプ状のピペッタ27で構成さ
れる。図2に示すように、ピペッタ27の先端には、フ
ローセルの接続部5との気密性を高めるために0リング
32が取り付けられている。ピペッタ27の先端のサン
プル吸引口33は、サンプルが液だれしないように先細
に仕上げられている。このため、ピペッタ27の先端と
接続部5は、サンプル26が漏れることなく、密着して
接続することができる。
【0052】このように本実施例では、サンプル供給手
段を前述のように構成している。そのため、サンプルを
短時間で連続して測定部であるフローセルに供給するこ
とができ、特に多種類のサンプルを連続して測定を行な
う場合にも対応できる利点がある。
【0053】また、サンプルをチューブ等を通して測定
部に導く必要がなく、測定部の近くから直接供給できる
ので、フローセルでシースフローが形成されるまでの時
間を大幅に短縮できる。また、サンプルを、チューブ等
を通して測定部まで比較的長距離輸送した場合は、サン
プルを通した流路全てを洗浄しなければならないが、本
実施例では、サンプルが通過する流路は非常に短いの
で、洗浄面積を大幅に減少できる。また、洗浄は、ピペ
ッタ27の先端を洗浄槽31に直接挿入して行なえるの
で、洗浄時間も短縮できる。
【0054】本例のフローセル組立体は次のように構成
される。図3に示すように、ホルダ4にはその底部に座
が設けられている。この座に、流路を形成するケーシン
グ2を保持する一方のフランジ15が、Oリング9を介
してシ−ルされ密着して接続される。他方のフランジ1
5は、ホルダ4に取り付けられるシース液供給部11
へ、Oリング9を介してシ−ルされ密着して接続される
ようになっている。シース液供給部11の外周部には、
シース液を供給するためのシース液ポート7が設けられ
ており、これらのポートは供給部11の中央の通路につ
ながっている。供給部11の中央通路はケーシング2の
流路へつながる。このシース液供給部11には、サンプ
ル供給部10がOリング9を介してシ−ルされ密着され
て取り付けられている。サンプル供給部10には、サン
プル液の出口であるノズル3、ノズル3への流路にサン
プルが供給される接続部5が設けられる。接続部5には
フロ−セルを洗浄したときの廃液を吸引する洗浄液吸引
口6が設置されている。また、ホルダ4にも廃液を排出
する廃液口8が設けられている。供給部10のノズル3
は、供給部11の中央通路を貫いてケーシング2の流路
内へ差し込まれている。
【0055】ケーシング2は、図4に示すように、透明
な材質の正面板13、側面板14、縮流板12などで構
成され、外部から流路内のサンプル流れを光学的に測定
できるようになっている。ケーシング2の流路は、細長
かつ平坦な正面板13、側面板14をそれぞれ2枚ずつ
対向して組み合わせ、幅と厚さが一定となるように図成
される。その流路内には、ほぼ中央が***した形状の縮
流板12が対向して取りつけられており、流路が部分的
に厚さ方向で狭まった形状となっている。この正面板1
3、側面板14および縮流板12は、例えばガラスで構
成され、光学接着によって透明度が失われることなく組
み立てられている。正面板13、側面板14および縮流
板12はさらに、流路の上下でフランジ15によって固
定されている。
【0056】ノズル3は、図5に示すように、ノズル本
体17の両側に該ノズル本体よりも長く先細端を持つガ
イド16を2枚接合して構成されている。ノズル本体1
7は供給部10へ直接固定され、該ノズル本体のほぼ正
方形断面のサンプル吐出口19はサンプル流路18を介
して接続部5と連通しており、接続部5から注入される
サンプル液が、サンプル吐出口19から吐出される。ノ
ズル本体17は、例えばワイヤ放電加工により、ステン
レス部材から加工、製作されており、ガイド16は、例
えばメッキ接合により精度良く接合されている。
【0057】フローセル組立体をこのように構成するこ
とにより、ホルダ4にケーシング2を取付け、ホルダ4
に固定されたシース液供給部11にノズル3を備えたサ
ンプル供給部10を取り付けているので、ノズル3とケ
ーシング2の位置合わせ等の調整が容易にできる利点が
ある。また、使用中に最も汚れる可能性が高いと考えら
れるケーシング2及びシース液供給部11の分解洗浄が
容易となり、メンテナンスが簡単となる。
【0058】フローセル1(図6)へのサンプル液の供
給は、前記サンプル供給手段により次のようにして行わ
れる。まず、ピペッタアーム28をピペッタ駆動装置2
9によって上下、回転させることにより、サンプル26
が保管されているサンプル容器30へピペッタ27を挿
入する。次にピペッタ27に接続されているシリンジ
(図示せず)を駆動し、ピペッタ27にサンプル26を
一定量吸引した後、ピペッタ27を上昇、回転し、接続
部5の上方へ移動させる。そして、ピペッタ27の先端
と接続部5を密着して接続させ、シリンジを駆動して接
続部5からフローセル1へサンプル26を一定速度にて
一定量吐出し、フローセル1において測定を行なう。こ
のとき、接続部5は、サンプル流路18と直接つながっ
ているので、ピペッタ27から吐出されたサンプルはサ
ンプル流路18を通ってノズル3からフローセル1に供
給される。同時に、シース液供給部11のポート7へシ
ース液が供給され、供給部11の中央通路を通ってノズ
ル3の周囲を取り巻くようにフローセル1へ流入する。
【0059】フローセル1の流路は、図6に示すよう
に、平行流路部1a、縮流流路部1b、撮像部21を含
む測定流路部1c、減速流路部1dが存在するように構
成されている。被検粒子20が含まれるサンプル液は、
流れ方向25から供給され、ノズル3から流路内に一定
流量吐出される。一方、粒子を含まない清浄な液である
シース液は、流れ方向24からノズル3の周囲の流路内
に一定流量供給される。フローセル1の中ではサンプル
液をシース液が包み込んだ定常的な層流であるシースフ
ローが形成され、サンプル流23は一定速度でフロ−セ
ル1の平行流路部1aを通過する。このシースフローの
中で、サンプル流23は上下のシース液の押圧により厚
さが薄く幅が広い偏平な断面をもって流れる。
【0060】本実施例のフローセル流路は前述の縮流板
12の設置により、サンプル吐出口19から撮像部21
にかけて、厚さ方向のみに断面積が単調に減少する形状
に形成されて、縮流流路1bを備える。この流路部で
は、シースフローが流速を単調に増す。この増速流路に
より、安定な流れを形成することが可能なので、100
0mm/秒以上の高速なサンプル流を形成することがで
きる。また、サンプル流23が安定に流れ、厚さ方向お
よび幅方向のウエイクも低減されるので、撮像の精度向
上も実現できる。また、ノズル3から吐出されたサンプ
ル流は、厚さ方向に一様に縮流されて厚さがより薄く均
一な扁平流が形成されるので、撮像の精度向上が実現で
きる。
【0061】測定流路部1cが上記流路部1bに続いて
おり、ここでは流路の厚さがほぼ一定となる。サンプル
流23の幅は200から300マイクロメートル、厚さ
が5から20マイクロメートルていどのアスペクト比が
非常に大きい偏平な断面を有する偏平形状となる。この
ように、撮像部21での流路断面が、幅方向が厚さ方向
に比べて十分に大きい断面形状になっており、流路の幅
がノズル出口から測定部まで変わらないので、幅がほぼ
一定であり、幅方向に速度分布が一様なサンプル流23
が実現できる。シースフローはその後減速流路部1dを
通り、前述のホルダ4の廃液口8から流出する。
【0062】サンプル流23中に含まれる被検粒子20
は、撮像視野21の部分で、例えば顕微鏡に接続したC
CDカメラで撮像され、画像情報として取り込むことが
できる。サンプル流23は厚さが薄く幅が広い形状であ
る。このような偏平形状は、被検粒子20を顕微鏡に接
続したCCDカメラで撮像する場合、撮像視野21の範
囲で、焦点を合わせやすく撮像するのに適したものであ
る。そのため、焦点深度の浅い顕微鏡でも焦点がちょう
ど合った状態で撮像することができる。
【0063】また、ノズル3にはガイド16が設けられ
ており、このガイド16は、サンプル吐出口19でのサ
ンプル液の流れの乱れを押さえるとともに、サンプル流
23の幅を一定に保つ働きをする。すなわち、サンプル
流23の幅は、ノズル3のガイド16の間隔によって決
定され、また流路の幅が一定であるので、ノズル3から
撮像部21まで、ほぼ一定に保たれる。このように、ガ
イド16の間隔を調節することによって、サンプル流2
3を撮像部21に最適の幅に設定することが可能であ
る。
【0064】測定終了後、ピペッタ27先端を接続部5
から離し、洗浄槽31へ挿入する。洗浄槽31では、ピ
ペッタ27先端に洗浄液が放射され、ピペッタ27に付
着したサンプルが洗い流される。さらに、ピペッタ27
内部からも、洗浄液が供給され、内部に付着したサンプ
ルと共に、洗浄槽31へ排出される。ピペッタ27先端
を接続部5から離した時、サンプル流路18内の圧力
は、外気よりもある程度高くなっているため、測定が終
了してピペッタ27が接続解除された状態ではシース液
がサンプル流路18を通って接続部5に上昇してくる。
接続部5には接続部を洗浄したシース液を吸引するため
の廃液吸引口6(図2)が設置されており、廃液吸引口
6によりシース液は吸引され、このシース液により接続
部5に付着したサンプルを洗浄する。
【0065】図6に示したフローセル1は、平行流路部
1aを形成している。しかしながら、図7に示すように
フローセル1に平行流路部1aを設けなく、その他の構
成は図6に示す構成と同様とし、ノズル3を縮流流路1
b内に配置するように構成してもよい。このように構成
することにより、ガイド16の間で流れの整形が行なわ
れるのと同時に縮流流路1bによって縮流も行なわれ、
効率のよいサンプル流の形成が行なわれる。なお、本文
に示す実施例や変更例では、同様な構成部分に同一の参
照番号を付して説明を省略する。
【0066】また、図6に示すフローセル1と同様の構
成例であるが、図8に示すようにフローセル1のノズル
3にガイド16を設けなくともよい。この変更例の場
合、サンプル吐出口19が幅広形状の断面であり、ノズ
ル3の出口ですぐに幅の広い流れが形成される。
【0067】次に図9を用いてサンプル流23の幅と撮
像領域21について詳しく説明する。図6に示した実施
例のフローセルは、図示しない光学系によりフローセル
の撮像部21の上流側にサンプル粒子が通過したか否か
を検出できるようになっている。すなわち、サンプル粒
子は、例えばレ−ザー光によって参照番号22で示した
領域を照射され、その散乱光が検出される構成になって
いる。サンプル液中に含まれる粒子は粒子検出領域22
aあるいは22bの部分を通過する際に、レーザ光に照
射され通過したことが検知される。検出された粒子は、
その後撮像領域21aあるいは21bにおいて撮影記録
される。
【0068】また、本実施例のフローセルは、サンプル
粒子の撮影の倍率を複数切り替えられるように構成され
ている。このため、サンプル中に含まれる100ミクロ
ン程度の大型の粒子から数ミクロンの小型の粒子まで、
様々な大きさの粒子を高精度に撮影できる。例えば、大
きく拡大して粒子を撮影するモードでは、粒子検出領域
22aで粒子が検出され、拡大された視野21aの部分
で画像として撮影される。比較的拡大率をおさえて粒子
を撮影するモードでは、粒子検出領域22bで粒子が検
出され、拡大の小さい視野21bの部分で画像として撮
影される。
【0069】次に図10Aから図10Dを用いて、撮像
視野とサンプル流の幅の関係を詳しく述べる。図10A
から図10Dは本実施例のフローセル1において、撮像
視野及びサンプル液の流し方を変える幾つかの方式をそ
れぞれ示す。各方式において、低倍率モードと高倍率モ
ードで検出領域22、撮像領域21、サンプル流23の
流れを切り換える。
【0070】図10Aの方式では、サンプル流23の幅
は低倍率モードと高倍率モードで変えず、流速と厚さを
切り換える。サンプル流23の幅はどちらのモードでも
撮像領域21の幅より大きく設定しておく。検出領域2
2の幅は撮像領域21の幅にほぼ一致するように変化さ
せる。
【0071】この方式の場合は、フローセル1に流した
サンプル流の1部分のみが撮像領域21を通過するが、
撮像領域21を通過する割合を調べておくことで、撮像
領域を通過するサンプル液の体積を正確に知ることがで
きる。また、検出領域22の幅は、モード切り換えの際
に撮像領域21と同じ幅に変化するため、検出領域22
で検出された粒子は必ず撮像領域21を通過する。サン
プル流は、流速と厚さのみが制御され、幅を撮像領域に
正確に合わせる必要がない。また、サンプル流23の中
央の部分のみ測定するので、流れは中央部分のみが一様
の速度、厚さであればよく、フローセル1は単純な構造
のものが使える。また、どちらのモードでも撮像領域2
1の幅の全てで一様にサンプル流23が流れているた
め、撮像領域21の面積を有効に使え、分析の効率がよ
い。また、サンプル流23の流れの幅が広いため、流路
を広くすることができ、大きな粒子が含まれていても詰
まることが少ない。 図10Bの方式でも、サンプル流
23の幅は低倍率モードと高倍率モードで変えず、流速
と厚さを切り換える。サンプル流23の幅は、ノズルの
吐出口19とガイド16の寸法設定により、低倍率モー
ドのときの撮像領域21bの幅よりわずかに小さくして
おく。検出領域22の幅は撮像領域21の幅にほぼ一致
するように変化させる。
【0072】この方式の場合は、高倍率モードではフロ
ーセル1に流したサンプル液の1部分のみが撮像領域2
1aを通過するが、撮像領域21aを通過する割合を調
べておくことで、撮像領域を通過するサンプル液の体積
を正確に知ることができる。また、撮像領域21aと検
出領域22aがほぼ一致した幅を持つため、検出領域2
2aで検出された粒子は必ず撮像領域21aを通過す
る。低倍率モードではフローセル1に流した全てのサン
プル液が撮像領域21bを通過するので、より正確に撮
像領域を通過するサンプル液の体積を知ることができ
る。また、顕微鏡の焦点深度の浅い高倍率モードではサ
ンプル流23の中央の一様速度、一様厚さの部分のみ測
定するので、厚さの不均一による画像のボケが無く小さ
な粒子まで精密な分析ができる。サンプル液の流れは、
流速と厚さのみを制御するので、幅を正確に合わせる必
要がなく、フローセル1は単純な構造のものが使える。
また、どちらのモードでも撮像領域21の幅のほぼ全て
で一様にサンプル流23が流れているため、撮像領域2
1の面積を有効に使え、分析の効率がよい。
【0073】図10Cの方式でも、サンプル流23の幅
は低倍率モードと高倍率モードで変えず、流速と厚さを
切り換える。サンプル流23の幅は高倍率モードのとき
の撮像領域21aの幅よりわずかに小さくしておく。検
出領域22の幅はモードによって変えない。
【0074】この方式の場合は、どちらのモードでもフ
ローセル1に流した全てのサンプル液が撮像領域21を
通過するので、正確に撮像領域を通過するサンプル液の
体積を知ることができる。また、検出領域22は幅を変
える必要がないので、検出のための光学系が単純にな
り、装置の小型化、調整手順の単純化が図れる。サンプ
ル液の流れは、流速と厚さのみを制御するので、幅を正
確に合わせる必要がないので、フローセル1は単純な構
造のものが使える。また、高倍率モードでは撮像領域2
1bの幅のほぼ全てで一様にサンプル流23が流れてい
るため、撮像領域21bの面積を有効に使え、分析の効
率がよい。低倍率モードでもサンプル流23の幅を狭い
ままにするため、より高速にしても安定に流すことがで
きるため、分析の効率をよくすることができる。また、
撮像領域21bの端を粒子が通過することがないので、
粒子の全体の形状を撮像することができ、画像分析が正
確に行える。
【0075】図10Dに示す方式では、サンプル流12
3の流れの幅と流速、厚さを低倍率モードと高倍率モー
ドで切り換える。サンプル流123の幅はどちらのモー
ドでも撮像領域122の幅よりわずかに小さくしてお
く。検出領域122の幅はモードによって変えない。
【0076】このとき、サンプル液の流れの幅、厚み、
流速は次のように設定される。高倍率モードの時はサン
プル液は撮像領域121aよりわずかに狭い幅で流れ
る。サンプル液の厚みは、顕微鏡で撮像できる厚さにお
よそ一致させる。また、低倍率モードの時はサンプル液
は撮像領域121bよりわずかに狭い幅で流れる。サン
プル液の厚みは、顕微鏡で撮像できる厚さにおよそ一致
させる。
【0077】図10Dの方式の測定方法には以下の特徴
がある。この方式は、どちらのモードでもフローセルに
流した全てのサンプル液が撮像領域121を通過するの
で、正確に撮像領域を通過するサンプル液の体積を知る
ことができる。また、検出領域122は幅を変える必要
がないので、検出のための光学系が単純になり、装置の
小型化、調整手順の単純化が図れる。また、撮像領域1
21の幅のほぼ全てで一様にサンプル液123が流れて
いるため、撮像領域121の面積を有効に使え、分析の
効率がよい。また、撮像領域121の端を粒子が通過す
ることがないので、粒子の全体の形状を撮像することが
でき、画像分析が正確に行える。
【0078】次に図11から17を参照して、フローセ
ルの変更例を説明する。
【0079】まず、第1の実施例の装置のフローセル1
を用いて、サンプル液の流れを変える方法を説明する。
上記図10A−10Cの方式では、拡大率が大きい場合
も拡大率が小さい場合でもサンプル流の幅は変えずに、
流速、厚さのみを変える。図6に示す第1実施例のフロ
ーセル1では、サンプル液の幅はノズル3のガイド16
の幅によって決定され、その幅はサンプル液の流速が変
わっても一定に保たれる。したがって、サンプル液の流
量を増加すれば、サンプル流の幅は一定のままで厚さが
増加する。すなわち、図10A−10Cの方式の場合
は、シース液とサンプル液の流量を適切な値に変更する
ことによって、拡大率が大きい場合、拡大率が小さい場
合の切り替えを比較的容易に行なうことができる。
【0080】図10Dの方式では、拡大率が大きい場合
と拡大率が小さい場合でサンプル流の幅、速度、厚さを
切り変える必要がある。図11から図17に示すフロー
セルは、サンプル流の幅も切り換え可能である。図11
のフローセルは、第1の実施例のフローセル1とはノズ
ルにおいて、異なる長さのガイドとサンプル流路とを二
重に設けた点で構成が相違している。すなわち、外側の
ガイド16aの内側により短いガイド16bが設置され
ている。拡大率が小さい場合は、外側のガイド16aの
幅でサンプル流が形成され、拡大率が大きい場合は内側
のガイド16bの幅でサンプル流が形成される。各々の
ガイドは、拡大率が大きい場合、拡大率が小さい場合の
サンプル流の幅に合わせて間隔が調整される。測定部に
おける撮像領域、検出領域、サンプル流の幅は、図10
Dに示したように設定される。
【0081】次に図12を用いて、2重ガイドを設置し
たノズル3aの構成を詳細に説明する。ノズル3aは、
平行なガイド16bを一体に形成した本体33の上下に
カバー34、35、その両側に一対の平行な外側ガイド
16aが接合されて構成される。各ガイドは先細になっ
た先端を持つ。拡大率が小さい場合は、ガイド16bの
間に開口するように本体33に設けた単一の流路36の
みからサンプル液が流され、サンプル流は内側のガイド
16bの幅となる。拡大率が大きい場合は、流路36
と、本体33の両側に設けた流路37の両方からサンプ
ル液が流される。したがってサンプル流は外側のガイド
16aの幅となる。なお、これら流路の切り換えは、各
流路につながる電磁弁(図示なし)を制御して行う。
【0082】図13は、サンプルの流路を1つにしたノ
ズルの変更例を示しており、内側のガイド16cを角度
を付けて本体38の両側に、さらにその外側にガイド1
6aをそれぞれ接合して構成する。すなわち、ノズル3
bは、中空の四角形断面のパイプ状のノズル38とノズ
ル38の出口の両側に設置された1組みの平行な板状の
ガイド16aと平行な板状のガイド16aの内側に設置
され、先端が内側に向けて角度をもって設置されている
1組みの板状のガイド16cから構成されている。拡大
率が小さい場合は、サンプル流量が少ないため39のよ
うに内側のガイド16cに添ってサンプル液が流れ、サ
ンプル流39の幅は内側のガイド16cの先端の幅とな
る。拡大率が大きい場合は、サンプル液の流量が大きく
なるため、サンプル液が内側のガイド16cの先細にな
った部分を乗り越えて、外側のガイド16aに添って流
れ、サンプル流40の幅は外側のガイド16aの幅とな
る。図13に示すノズル3bは、サンプル流路の切り替
えの必要がないので、図12に示すノズル3aに比べて
切り替えの操作が容易である。
【0083】図13のノズル3bの場合も、前述と同
様、サンプル液を、ノズル本体38先端部の出口から一
定流量で吐出する。流路では、シースフローが形成さ
れ、サンプル液は、一定速度で流路を流れる。このとき
サンプル液の供給量が一定レベル以上であれば、サンプ
ル液はノズル本体38先端部の出口において、内側に互
いに傾いて設置されているガイド16cを乗り越えるよ
うに流る。ガイド16cを乗り越えたサンプル液、図1
4に示すように、外側のガイド16aに沿ってながれ
る。したがって、この場合サンプル流40の幅は、ガイ
ド16aの幅で決定される。
【0084】同様に検査の途中、あるいは次のサンプル
の検査の前に、サンプル液供給口から流入させるサンプ
ル液の流量を減少させる。この操作によって、サンプル
液は図15に示すように、内側ガイド16cを乗り越え
ずに、その内側を流れるようになる。このようにして流
路を流れているサンプル流の形状が、図14に示すサン
プル流40から、図15に示すサンプル流39のように
その形状を変化させることができる。すなわち、サンプ
ル流の幅は、サンプル液の流量によって2種類の幅に制
御することができる。また、シース液とサンプル液の流
量を、その比を一定にして変えると、サンプル流の形状
を変えずに流速のみをコントロールすることができる。
【0085】図16は別の変更例のフローセルを示す。
このフローセルは、中空の四角形断面のパイプ状のノズ
ル21l、ノズル21lの出口の両側に設置された一組
みの板状のガイド210g、流路202、さらに流路2
02につながるシース液供給口204から構成される。
各ガイド210gは、先端に向けて先細となるように形
成されている。流路202は幅と厚さがほぼ一定で、そ
の一部が、例えばガラスなどで構成され、外部から光学
的な方法で内部を検査することができる構造になってい
る。しかし、流路202は、必ずしも断面が長方形でま
っすぐな筒型でなくともよく、フローセルの条件に合わ
せて、例えば円筒形流路、流路が湾曲した形状をしてい
てもよく、或は第1実施例のように断面積が変化し、拡
大流路、縮流流路となっていても構わない。
【0086】図16に示すように、サンプル液205を
サンプル液供給口203から供給し、ノズル21l先端
部の出口から流路202内に一定流量で吐出する。一
方、シース液206をシース液供給部204から流路2
02内に一定流量で供給する。流路202では、サンプ
ル液205をシース液206が包み込むように流れ、定
常的な層流であるシースフローが形成される。サンプル
液205は、シース流の中でサンプル流207sとな
り、一定速度で流路202を流れる。このとき供給量に
応じて、ノズル211からのサンプル液205は、互い
に内側に傾斜して設置されているガイド210gを乗り
越えるて、ノズルの開口幅一杯に流れる。サンプル流が
ガイド210gを乗り越える程度は、サンプル液の流量
によって変化する。サンプル流207sは、シース液2
06と共に廃液口208から流路202の外部に導かれ
る。
【0087】この流路202を流れているサンプル流2
07sに対し、例えばレーザ光源とレーザ受光素子、あ
るいは光源と画像認識素子などのような、光学的な非接
触の検査手法を用いることにより、サンプル液205自
身、あるいはサンプル液205の中に含まれる粒子の性
質の検査を行なう。
【0088】図11−15の変更例と同様に、検査の途
中あるいは次のサンプルの検査の前に、サンプル液供給
口203から供給するサンプル液205の流量を減少さ
せる操作を行うことによって、サンプル液205は図1
7に示すように、ノズル211からガイド210gを乗
り越えずに、その内側を流れるようになる。このように
して流路202を流れているサンプル流の形状を、サン
プル液がガイドを乗り越える量を調整することによっ
て、図16に示すサンプル流207sから、図17に示
すサンプル流207tのように変化させることができ
る。すなわち、サンプル流207sの幅は、サンプル液
205の流量によってコントロールすることができる。
また、シース液とサンプル液の流量を、その比を一定に
して変化させると、サンプル流の形状を変えずに流速の
みをコントロールすることができる。
【0089】このような制御によって、複数の種類の検
査条件に合った幅、厚さ、流速のサンプル流を、同一の
フローセルで、連続して形成することができる。このた
め、検査の高精度化、流路系と検査光学系の単純化、検
査に必要なサンプルの微量化、及び検査時間の短縮を図
ることができる。
【0090】又、複数の種類のサンプルの、それぞれの
特徴に合った幅、厚さ、流速のサンプル流を、同一のフ
ローセルで連続して形成することができる。従って、検
査光学系にとって最適の条件の下で検査が可能であり、
検査の高精度化が図れる。
【0091】又、本変更例によれば、単一のノズル流路
へのサンプル液の流量を変えることのみでサンプル流の
形状を変化させることができる。したがって、ノズルの
形状や場所、あるいは複数の流路ごとにサンプルの流量
を変化させる必要はなく、容易にサンプル流の形状をコ
ントロールすることができる。
【0092】次に更に別の変更例のフローセルを図18
を参照して説明する。
【0093】本変更例のフローセルは、上下を透明なプ
レートで画定されて、サンプル液の撮像領域121を観
察できるようになった流路100を備える。流路100
は、該流路を横切って延在するガイドプレート102に
よって上下に分割されている。図18に見られるよう
に、下方流路は高さ一定であるが、上方流路は部分的に
高さが漸減して縮流流路を形成し、この縮流流路に測定
部となる平行流路が続いている。フローセル流路の幅
は、前述の実施例や変更例と同様に、一定である。上方
の流路には上シース液103が、下方の流路には下シー
ス104がそれぞれ流される。サンプルノズル101は
出口断面が四角形状であり、ガイドプレート102上に
設置される。またガイドプレート102には、ノズル1
01の下流側に部分的にスリット105が切ってある。
サンプルノズル101から吐出されたサンプルは上シー
ス液103によってガイドプレート102に押し付けら
れる形で増速しながら扁平形状のサンプル流123とな
る。さらにサンプル流123は、ガイドプレート102
のスリット105の間に入り、下シース104によって
も囲まれてシース流となる。シース流中のサンプル流1
23は、スリット105の幅、及びガイドプレート10
2の厚さに成形され、高精度のシースフローが実現でき
る。
【0094】次に本発明の第2の実施例によるフローセ
ル装置を、図19を参照して説明する。本実施例では、
図18に示したものと同等な流路が、ハウジング302
内に形成される。ハウジング302は、ガラス板のよう
な透明な材質で構成され、内部のサンプル流が観察でき
るようになっている。前述のガイドプレート102及び
ノズル101はともに、ノズル押さえ320に取りつけ
られる。ノズル押さえ320には内部にサンプル流路が
形成されている。ハウジング302、ノズル押さえ32
0は、ホルダ上部322、323とホルダ下部321、
324によって固定される。ホルダ下部321にはシー
ス流路326及びシース液流入口325が設けられてお
り、ホルダ上部322には、廃液口327が設けられて
いる。このように構成しても前述した実施例と同様の作
用、効果が得られる。
【0095】本発明のフローセル装置におけるフローセ
ルの種々の変更例を、図20から図21を参照して説明
する。これらのフローセルは前述の第1と第2実施例の
いずれにも適用可能である。
【0096】図20、21に示すフローセルは、ノズル
201の開口幅が可変に構成されている。ノズル201
は、開口端に向けて高さを減じた長方形断面の中空形状
で、その両側部201aが中央部201bに対して接近
或いは遠ざかるように駆動可能に設けられている。これ
ら両側部201aは、フローセル外部のアクチュエータ
へ連結されている。図20、21のフローセルのそれ以
外の構成部分は図16、17の変更例と同様であり、同
一の参照番号を付して、説明を省略する。
【0097】図20は、ノズル201の両側部201a
がアクチュエータの駆動により内方へ動かされて、ノズ
ル201の開口幅が狭められた状態を示す。このとき、
供給口203から供給されたサンプル液205は、流路
202でその断面がノズル201先端の形状に近い柱状
のサンプル流207aとなる。
【0098】ノズル201は、検査の途中、あるいは次
のサンプルの検査の前に、図21に示すように、両側部
201aを中央部201bから外方へ動かしてノズル開
口の形状を変化させることができる。すなわち、ノズル
開口の幅を、例えば700μmから200μm程度に変
化させることができる。このとき、同時にサンプル液の
流量及び、シース液の流量を変化させてもよい。これら
の操作によって、流路202を流れているサンプル流の
形状を図22に示すサンプル流207aから、図21に
示すサンプル流207bのように変化させることができ
る。
【0099】すなわち、サンプル流の断面形状は、ノズ
ル開口の形状によって変化するから、ノズル開口の形状
を制御することにより、サンプル流の幅を、例えば70
0μmから200μm程度にコントロールすることがで
きる。さらに、シース液とサンプル液の流量を、その比
を一定にして変化さると、サンプル流の形状を変えずに
流速のみをコントロールすることができる。本変更例の
フローセルには、図16、17に示したものと同様な利
点がある。
【0100】図22−25の変更例でも、ノズルはそれ
らの開口幅を変更し得るように形成されている。これら
変更例の流路と関連構成部分は図20、21のものと同
様であり、ノズルのみが図22−25に示される。図2
2のノズルは、サンプル液の通路となる弾性材料のチュ
ーブ209、チューブ209を両側から挟み込むように
設置された2つの可動ノズル押さえ板201cから構成
されている。
【0101】サンプル液は、サンプル液供給口203か
ら供給され、チューブ209先端部から流路内に一定流
量で吐出され、シースフロー中のサンプル流207cと
なって、一定速度で流路を流れる。このとき、サンプル
流207cは、その断面がチューブ209先端の形状に
近い断面の円柱形状となる。
【0102】図22のノズルは、検査の途中、あるいは
次のサンプルの検査の前に、図23に矢印で示すよう
に、ノズル押さえ板201cでチューブ209を挟み込
み、チューブ209を弾性的に変形させることによっ
て、その先端の形状を変えることができる。ノズル押さ
え板201cは、フローセルの外側に設置したアクチュ
エータによって駆動する。これらの操作によって、サン
プル流の形状を、図22に示す円柱形状のサンプル流2
07cから、図23に示す楕円柱形のサンプル流207
dに変化させることができる。
【0103】このようにサンプル流形状を変更すること
によって、図20、21の変更例と同様な効果を得るこ
とができる。
【0104】図24、25のノズル201dは、開口端
に向けて高さを減じた長方形断面の中空形状で、サンプ
ル液出口の両側に、2つの板状の可動ガイド210aを
備えている。
【0105】サンプル液は、サンプル液供給口203か
ら供給され、ノズル201dの出口から流路内に一定流
量で吐出される。流路内では、シース液がサンプル液を
包み込むように流れ、定常的な層流であるシースフロー
が形成される。サンプル液は、シース流の中でサンプル
流207eとなり、一定速度で流路を流れる。このとき
サンプル流207eは、その断面がノズル201dの先
端の形状に近い断面の柱状となる。またサンプル流20
7eは、その両側がガイド210aに沿って流れるた
め、ノズル先端の、シース流との合流部において流れが
乱されにくくなり、安定したサンプル流を形成すること
が可能となる。
【0106】図24のノズル201dは、検査の途中、
あるいは次のサンプルの検査の前に、図25に矢印で示
すように、ガイド210aを動かしその先端間隔を変え
ることができる。ガイド210aは、フローセルの外側
に設置したアクチュエータによって駆動される。ノズル
が微小であり、かつ高精度の駆動が必要である場合は、
図20−24の変更例の場合も同様に、ノズル内部に電
歪アクチュエータや形状記憶合金等の駆動機構を設ける
のがよい。ガイド210aは、その先端の間隔を、例え
ば700μmから200μm程度に変化させることがで
きる。又、ノズルの変形と同時に、サンプルの流量及
び、シース液の流量を変化させてもよい。これらの操作
によって、サンプル流の形状を図24に示すように幅の
広い形状のサンプル流207eから、図25に示すよう
に幅の狭い形状のサンプル流207fに変化させること
ができる。このようにサンプル流の形状を変更すること
によって、図20−23の変更例と同様な効果を得るこ
とができる。
【0107】図26−29に示す変更例は、ノズルがサ
ンプル流の形状を変更し得るように、構成される。これ
ら変更例の流路と関連構成部分は図20−25のものと
同様であり、ノズルのみが図26−29に示される。
【0108】図26のノズル201eは、長方形断面の
中空形状で、その長手軸線を中心に回転し得るように、
流路内に可動に装着される。ノズル201eには、サン
プル液出口の両側に、一対のガイド板210bがそれぞ
れ一体に設けられている。サンプル液は、前述の変更例
と同様に、ノズル201eから一定流量で流路内へ吐出
され、シースフロー中のサンプル流207gとなって、
一定速度で流れる。サンプル流207gは、断面がノズ
ル201eの出口形状に近似した、柱状の流れとなる。
ノズル201eを流出したサンプル液は、その両側がガ
イド210bに沿って流れるので、ノズル出口のシース
液との合流部においても流れを乱されにくく、安定した
流れを形成可能である。
【0109】検査の途中、あるいは次のサンプルの検査
の前に、図27に示すように、ノズル201eを図26
の状態から90度回転することができる。ノズル201
eは、フローセルの外側に設置したアクチュエータによ
って駆動される。ノズルの回転と同時に、サンプル液と
シース液の流量を変化させても良い。これらの操作によ
って、サンプル液は、図26の流れ207gから、図2
7に示した断面のアスペクト比が異なる流れ207hに
変化する。本変更例は、このようなサンプル流形状の変
更によって、図20−25の例と同様な効果を奏するこ
とができる。すなわち、本変更例によれば、ノズルの選
択的回転により、サンプル流断面のアスペクト比をノズ
ル形状のアスペクト比に応じて変更し、検査に応じた好
適なサンプル流を得ることが可能である。さらにサンプ
ル流及びシース液の流量を、その比を一定にして変化さ
せると、サンプル流の形状を変更することなく、その流
量のみをコントロールできる。
【0110】図28、29に示す変更例は、2つのノズ
ル201f,201gを備えている。これらノズルは共
に長方形断面の中空形状であるが、ノズル201gはノ
ズル201fよりも外形が小さく、ノズル201f内に
同軸状に配置される。ノズル201fは、サンプル液出
口の両側に、一対のガイド板210cがそれぞれ一体に
設けられる。同様に、ノズル201gにも、一対のガイ
ド板210dが一体に設けられている。ノズル201g
は可動に装着され、フローセル外のアクチュエータの駆
動により、ノズル201fに対して入れ子式に移動する
ようになっている。
【0111】図28の状態では、サンプル液がノズル2
01f、201gの両者から一定流量で吐出され、シー
スフロー中のサンプル流207iとなって、一定速度で
フローセル流路を流れる。このサンプル流は、その断面
がノズル201fno出口形状に近似した、柱状の流れ
である。
【0112】本変更例では、検査の途中で、或いは次の
サンプルの検査の前に、図29に示すように、アクチュ
エータを作動させて、ノズル201gをノズル201f
からフローセル流路内へ流れの方向と平行に突出させる
ことができる。この場合、ノズル201fの流路へつな
がる電磁弁が閉じられ、サンプル液は、ノズル201g
のみから吐出される。ノズルが微小で、かつ高精度の駆
動を要する場合には、図26、27の変更例でも同様で
あるが、ノズル内部に電歪アクチュエータや形状記憶合
金等による駆動機構を設けても良い。また、ノズル20
1gの突出と同時に、サンプル液とシース液の流量を変
化させてもよい。
【0113】上記操作によって、サンプル流の形状は、
図28の柱状から図20に示した断面の一層小さいもの
に変化する。このように、本実施例もサンプル流の形状
を変更して、図26、27の変更例と同様な効果を奏す
ることができる。なお、ノズル201f、201gのい
ずれでも、流出するサンプル液は、その両側がガイド2
01cないし210dに沿って流れるので、ノズル出口
のシース液との合流部においても流れを乱されにくく、
安定した流れを形成可能である。
【0114】次に、本発明のフローセル装置におけるフ
ローセルの更に異なる変更例を、図30−37を参照し
て説明する。これら変更例のフローセル流路とその関連
構成部分は図16のものと同様で良く、図30、31の
みがフローセル全体を例示するが、他の図はノズルだけ
を示す。
【0115】図30に示す変更例では、フローセルが、
3つの中空パイプで構成されているノズル201hと、
ノズル201のそれぞれのパイプ出口へつながっている
3つのサンプル液供給口203と、ノズル201hを取
り囲む流路202と、流路202に接続されたシース液
供給口204から構成される。ノズル201hのそれぞ
れのパイプは長方形断面で、並列に配置されている。ま
た、両側の供給口203につながった電磁弁(図示な
し)が設けられる。
【0116】図30の状態では、サンプル液が、3つの
サンプル液供給口203の中心のうちの中央のものだけ
に供給され、ノズル201hの中央の出口から流路20
2内に一定流量で吐出する。他の供給口203は、前述
の電磁弁の操作により閉ざされている。一方、シース液
206は、シース液供給部204から流路202内に一
定流量で供給される。こうすることにより、流路202
では、サンプル液205をシース液206が包み込むよ
うに流れ、定常的な層流であるシースフローを形成す
る。サンプル液205は、シース流の中でサンプル流2
07kとなり、一定速度で流路202を流れる。サンプ
ル流207kは、その断面がノズル201hの中央出口
形状に近い柱状となる。サンプル流207kは、シース
液206と共に廃液口208から流路202の外部に導
かれる。このとき、流路202を流れているサンプル流
207kに対し、例えばレーザ光源とレーザ受光素子、
あるいは光源と画像認識素子などのような、光学的な非
接触の検査手法を用いることにより、サンプル液205
自身、あるいはサンプル液205の中に含まれる粒子の
性質の検査を行なう。
【0117】この検査の途中、あるいは次のサンプルの
検査の前に、サンプル流の幅を変えたいときは、図31
に示すように、サンプル液供給口203からノズル20
1h内の3つ並ぶ流路すべてにサンプル液205を流入
し、ノズル201h先端部の3つの出口全てから流路2
02内にサンプル液205を一定流量で吐出する。この
とき、同時にサンプルの流量及び、シース液の流量を変
化させてもよい。これらの操作を行うことによって、流
路202を流れているサンプル流を、図30に示すサン
プル流207kから、図31に示すサンプル流27lの
ようにその形状を変更することができる。すなわち、サ
ンプル流の断面形状は、ノズルの3つの流路のうち、サ
ンプルを吐出する位置を変えることにより変更できる。
また、シース液とサンプル液の流量を、その比を一定に
して変化さると、サンプル流の形状を変えずに流速のみ
をコントロールすることができる。
【0118】上記のような制御を行うことによって、複
数の種類の検査条件に合った幅、厚さ、流速のサンプル
流を、同一のフローセルで、連続して形成することがで
きる。
【0119】本変更例では殊に、3つの流路を流れるサ
ンプルの流動条件を変えることのみでサンプル流の形状
を変化させているので、ノズルの形状や場所を変化させ
る必要はなく、ノズルを構成することが容易である。
又、ノズルに設けた3つの流路から異なる種類のサンプ
ルを流入することにより、同時に複数のサンプルの計測
が可能となる。なお、ノズル流路の数は3つに限らず、
任意の複数とすることができる。
【0120】図32に示す変更例のノズル201iは、
その流路が共通軸線の周りに隣接して設けた4つの中空
パイプで構成されている。各パイプは、ほぼ矩形の断面
である。この場合、サンプル液を、対角線状に対向した
2つのノズル流路へ供給して、ノズル201iの先端部
の2つの出口から一定流量で吐出すると、シースフロー
中のサンプル流207mとなり、一定速度で流路を流れ
る。サンプル流207mは、その断面がノズル201i
先端のサンプルが吐出されている2つの出口形状に近い
柱状となる。
【0121】検査の途中あるいは次のサンプルの検査の
前に、図33あるいは図34に示すように、サンプル液
を供給するノズル201i内の流路を変更し、ノズル2
01i先端部出口においてサンプルを吐出する場所を変
化させることができる。同時にサンプルの流量及び、シ
ース液の流量を変化させても良い。このような操作によ
って、流路を流れているサンプル流の形状は、図32に
示すサンプル流207mから、図33に示すサンプル流
207n、あるいは図34に示すサンプル流207oの
ようにサンプル流形状を変更させることによって、前述
の変更例と同様な効果を得ることができる。ノズル流量
の変更はそれぞれの流路につながった電磁弁(図示せ
ず)を制御して行う。
【0122】図35の変更例におけるノズル201j
は、5つの流路と、それぞれの流路につながった5つの
円柱断面の吐出口211とを備える。吐出口211は、
中央の1つの吐出口の周囲に4つの出口が等間隔で位置
する配置である。図35に示す場合は、サンプル液20
5は上中下の3つのノズル流路へ供給され、ノズル20
1の対応する3つのサンプルの吐出口211から一定流
量で吐出され、サンプル流207pとなり、一定速度で
流路を流れる。このときサンプル流207pの流路内で
の断面形状は、ノズル201jの先端でサンプル液が吐
出されている3つのサンプル吐出口211を合わせた形
状に近い柱状となる。
【0123】前述の変更例と同様に、本変更例でも、サ
ンプル液を供給するノズル201j内の流路を変更し、
ノズル201j先端部のサンプル吐出口211を変更す
ることができる。このような操作によって、本変更例は
図32−34の変更例と同様な効果を奏することが可能
である。
【0124】図36、37に示す変更例では、ノズル2
01kが、各々長方形断面を持つ3つの流路で構成され
る。これら流路は、互いに隣接し横に並んで配置されて
いる。中央の流路出口の両脇に、一対の板状ガイド21
0eが設けられる。また、ノズル201kの両側にも、
ガイド210eより長い一対の板状ガイド210fがそ
れぞれ設けられている。図36に示すように、サンプル
液205を、中央のノズル流路のみへ供給し、ノズル2
01j先端部の中心の出口から一定流量で吐出すると、
サンプル液はシースフローのサンプル流207qとな
り、一定速度でフローセル流路を流れる。このときサン
プル流207qは流路内で、その断面がノズル201k
先端のサンプル液が吐出されている出口形状に近い柱状
となる。また、サンプル流207qは、その両側がガイ
ド210fによってガイドされてこのガイド210にf
沿って流れるため、ノズル先端のシース流との合流部に
おいて流れが乱されにくく、安定したサンプル流を形成
することが可能となる。
【0125】サンプル流の形状を変更する場合には、図
37に示すように、全てのノズル流路へサンプル液を供
給して、ノズル201k先端部にて3つの流路から同時
に吐出させる。かくして、フローセル流路内のサンプル
液は、図36に示すサンプル流207qから、図37に
示すサンプル流207rのようにその形状を変化させる
ことができる。このようにサンプル流の形状を変更する
ことによって、上述した変更例と同様な効果を得ること
ができる。すなわち、サンプル流の幅及び厚さは、ノズ
ルの複数の流路のうち、サンプルを吐出する位置を変え
ることにより変更できる。また、シース液とサンプル液
の流量をその比を一定にして変化させると、サンプル流
の形状を変えずに流速のみをコントロールすることがで
きる。
【0126】
【発明の効果】以上述べたように、本発明のフロ−セル
装置によれば、流れが高速でも安定している一定幅のサ
ンプル流を測定部に形成することにより、サンプル液を
高精度で効率的に測定できる。さらに、縮流流路部を設
けることにより、この流路部で流れをさらに安定化で
き、アスペクト比が大きい扁平な断面を有する扁平形状
のサンプル流を形成することができるので、サンプル液
中の被検粒子を顕微鏡に接続したCCDカメラで撮像す
る場合、撮像視野の範囲で、焦点の合った状態で撮像す
ることができ、撮像の精度向上が実現できる。
【0127】また、増速流路で流れを安定化できるの
で、1000mm/秒以上の高速なサンプル流を形成す
ることができる。
【0128】また、フローセル装置のサンプル液の流
は、安定に流れ、厚さ方向および幅方向の変動およびむ
らを小さくでき、幅方向に速度分布が一様なサンプル流
が実現できる。
【0129】第2にサンプル液を短時間で連続して測定
部であるフローセル装置に供給することができ、特に多
種類のサンプルを連続して測定を行なうことができる。
【0130】また、サンプル液をチューブ等を通して測
定部に導くではなく、測定部のごく近くに直接供給でき
るので、フローセル装置のなかでシースフローが形成さ
れるまでの時間を大幅に短縮できる。
【0131】また、サンプル液が通過する流路は非常に
短いので、洗浄面積を大幅に減少でき、洗浄時間も短縮
できる。
【0132】第3にフローセルのサンプル流は、ガイド
の間隔を調節することによって、サンプル流を撮像部に
最適の幅に設定することができ、撮像倍率の切り替えに
伴って、試料液の幅と厚さと流速を切り替えることがで
きる。
【0133】また、フローセル装置は、全てのサンプル
液が撮像領域を通過し、撮像領域の端で粒子の一部のみ
が撮影されることがないので画像分析が正確に行える。
また、撮像領域を通過するサンプル液の体積を正確に知
ることができる。
【0134】第4に複数の種類の検査条件に合った幅、
厚さ、流速のサンプル流を同一のフローセルで連続して
形成することができる。このため、検査の高精度化、流
路系と検査光学系の単純化、検査に必要なサンプルの微
量化、及び検査時間の短縮を図ることができる。
【0135】又、複数の種類のサンプルの、それぞれの
特徴に合った幅、厚さ、流速のサンプル流を同一のフロ
ーセルで連続して形成することができる。このため、検
査光学系にとって最適の条件の下で検査が可能であり、
検査の高精度化が図れるという効果がある。
【0136】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例によるフローセル装置の全
体構造を示す斜視図である。
【図2】図1の装置におけるフローセルとサンプル液供
給部との接続を説明するための拡大図である。
【図3】図1のフローセルの主要構造を示す分解斜視図
である。
【図4】図3のフローセルにおけるケーシングの分解斜
視図である。
【図5】図3のフローセルにおけるノズルの分解斜視図
である。
【図6】図3のフローセル中の流れを示す透視図であ
る。
【図7】変更例のフローセル中の流れを示す透視図であ
る。
【図8】別の変更例のフローセル中の流れを示す透視
図;
【図9】図6に示したフローセルにおける測定部の拡大
平面図である。
【図10】フローセルの撮像視野及びサンプル液の流し
方を変える方法をそれぞれ示す測定部の拡大平面図であ
る。
【図11】図10Dの方法を実施するための変更例のフ
ローセルの概略斜視図である。
【図12】図11のフローセルにおけるノズルの構造を
示す分解斜視図である。
【図13】さらに別の変更例におけるノズルの構造を示
す分解斜視図である。
【図14】図13のノズルによる異なる形状の流れをそ
れぞれ示す斜視図である。
【図15】図13のノズルによる異なる形状の流れをそ
れぞれ示す斜視図である。
【図16】さらに別の変更例のフローセルの概略斜視図
で、それぞれフローセル中に異なる形状の流れを示すで
ある。
【図17】さらに別の変更例のフローセルの概略斜視図
で、それぞれフローセル中に異なる形状の流れを示すで
ある。
【図18】さらに他の変更例のフローセルの概略斜視図
である。
【図19】発明の第2実施例によるフローセル装置のフ
ローセルの構造を示す分解斜視図である。
【図20】第1と第2実施例のいずれにも適用可能な変
更例のフローセルの概略斜視図で、それぞれフローセル
中に異なる形状の流れを示す;
【図21】第1と第2実施例のいずれにも適用可能な変
更例のフローセルの概略斜視図で、それぞれフローセル
中に異なる形状の流れを示す;
【図22】別の変更例におけるノズルの斜視図で、それ
ぞれ異なる形状の流れを示す図である。
【図23】別の変更例におけるノズルの斜視図で、それ
ぞれ異なる形状の流れを示す図である。
【図24】さらに別の変更例におけるノズルの斜視図
で、それぞれ異なる形状の流れを示す図である。
【図25】さらに別の変更例におけるノズルの斜視図
で、それぞれ異なる形状の流れを示す図である。
【図26】さらに別の変更例におけるノズルの斜視図
で、それぞれ異なる形状の流れを示す図である。
【図27】さらに別の変更例におけるノズルの斜視図
で、それぞれ異なる形状の流れを示す図である。
【図28】さらに別の変更例におけるノズルの斜視図
で、それぞれ異なる形状の流れを示す図である。
【図29】さらに別の変更例におけるノズルの斜視図
で、それぞれ異なる形状の流れを示す図である。
【図30】さらに別の変更例におけるフローセルの斜視
図で、それぞれフローセル中に異なる形状の流れを示す
図である。
【図31】さらに別の変更例におけるフローセルの斜視
図で、それぞれフローセル中に異なる形状の流れを示す
図である。
【図32】さらに別の変更例におけるノズルの斜視図
で、それぞれ異なる形状の流れを示す図である。
【図33】さらに別の変更例におけるノズルの斜視図
で、それぞれ異なる形状の流れを示す図である。
【図34】さらに別の変更例におけるノズルの斜視図
で、それぞれ異なる形状の流れを示す図である。
【図35】さらに別の変更例におけるノズルの斜視図で
ある。
【図36】さらに別の変更例におけるノズルの斜視図
で、それぞれ異なる形状の流れを示している。
【図37】さらに別の変更例におけるノズルの斜視図
で、それぞれ異なる形状の流れを示している。
【符号の説明】
1…フローセル、2…ケーシング、3…ノズル、4…ホ
ルダ、5…接続部、6…廃液吸引口、7…シース液ポー
ト、8…廃液口、9…Oリング、10…サンプル供給
部、11…シース液供給部、12…縮流板、13…正面
板、14…側面板、15…フランジ、16…ガイド、1
6a…外側ガイド、16b…内側ガイド、17…ノズル
本体、18…サンプル流路、19…サンプル吐出口、2
0…被検粒子、21…撮像領域、21a…拡大率の大き
い撮像領域、21b…拡大率の小さい撮像領域、22…
粒子検出部、22a…拡大率の大きい粒子検出部、22
b…拡大率の小さい粒子検出部、23…サンプル流、2
4…シース流れ方向、25…サンプル流れ方向、26…
サンプル液、27…ピペッタ、28…ピペッタアーム、
29…ピペッタ駆動装置、30…サンプル容器、31…
洗浄槽、32…Oリング、33…2重ガイドノズル本
体、34…2重ガイドノズルカバー1、35…2重ガイ
ドノズルカバー2、36…拡大率の大きい流路、37…
拡大率の小さい流路、38…ノズル本体、39…拡大率
の大きいサンプル流、40…拡大率の小さいサンプル
流、100…フローセル流路、101…サンプルノズ
ル、102…ガイドプレート、103…上シース液、1
04…下シース液、105…スリット、106…ホルダ
1、107…上部プレート、108…ガイド部材、10
9…ノズル部材、110…下部プレート、111…ホル
ダ2、112…下シース流入口、113…上シース流入
口、114…廃液口、115…下シース流路、116…
サンプル流路、117…上シース流路、118…観察用
窓、119…キャピラリ、120…ノズル押さえ、12
1…ホルダ下部1、122…ホルダ上部1、123…ホ
ルダ上部2、124…ホルダ下部2、125…シース液
流入口、201a…ノズル、201b…ノズルの変形状
態、201c…ノズル押さえ板、201d、201e…
ノズル本体、201f…外側ノズル本体、201g…内
側ノズル本体、201h、201i…ノズル、201
j、201k、201l、201m…ノズル本体、20
2…流路、203…サンプル液供給口、204…シース
液供給口、205…サンプル液、206…シース液、2
07a、207c、207e、207g、207i、2
07k、207m、207q、207s、207u…サ
ンプル流(1)、207b、207d、207f、20
7h、207j、207l、207n、207r、20
7t、207v…サンプル流(2)、207o…サンプ
ル流(3)、207p…サンプル流、208…廃液口、
209…弾性チューブ、210a、210b…ガイド、
210c、210f、210h…外側ガイド、210
d、210e、210i…内側ガイド、210g…ガイ
ド、211…サンプル吐出口。
フロントページの続き (72)発明者 三宅 亮 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内 (72)発明者 石井 雅治 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内 (72)発明者 大木 博 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内 (72)発明者 矢辺 良平 茨城県勝田市市毛882番地 株式会社日立 製作所機械研究所内 (72)発明者 堀内 秀之 茨城県勝田市市毛882番地 株式会社日立 製作所機械研究所内 (72)発明者 桜庭 伸一 茨城県勝田市市毛882番地 株式会社日立 製作所機械研究所内 Fターム(参考) 2G045 AA18 FA11 FA12 FA16 FA19 FA20 JA07 2G057 AA02 AB04 AB07 AC01 BA05 BB01 GA02 2G059 AA01 AA05 BB12 BB13 CC16 DD12 EE02 FF01 GG01 KK04

Claims (51)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】サンプル液をシ−ス液で包み込んだシ−ス
    フロ−を形成するフロ−セル装置において、前記サンプ
    ル液の流れが厚さが薄く幅が広い扁平状に形成されるも
    のであって、上流側に形成される縮流流路と、該縮流流
    路に接続された平行流を形成する測定部と、該測定部の
    後流側に形成される減速流路部を備えたことを特徴とす
    るフロ−セル装置。
  2. 【請求項2】サンプル液をシ−ス液で包み込んだシ−ス
    フロ−を形成するフロ−セル装置において、前記サンプ
    ル液の流れが厚さが薄く幅が広い扁平状に形成されるも
    のであって、該サンプル液の流れを増速する流路と該増
    速する流路の下流側に測定を行う平行流を形成するよう
    に構成されたことを特徴とするフロ−セル装置。
  3. 【請求項3】サンプル液を供給するためのサンプル液供
    給部と、該サンプル液を包み込みシ−スフロ−を形成す
    るためのシ−ス液供給部と、該シ−スフロ−を流す流路
    を備えたフロ−セル装置において、前記流路が扁平状に
    かつ前記サンプル液の幅を可となるように構成されるも
    のであって、上流側から下流側にかけて縮流流路と、平
    行流路が構成されていることを特徴とするフロ−セル装
    置。
  4. 【請求項4】サンプル液を供給するためのサンプル液供
    給部と、該サンプル液を包み込みシ−スフロ−を形成す
    るためのシ−ス液供給部と、該シ−スフロ−を流す流路
    を備えたフロ−セル装置において、該流路が透明な材質
    の正面板と、該正面板に接合され流れ方向の断面形状が
    台形状の縮流板と、それらの側面に接合された側面板か
    ら構成されることを特徴とするフロ−セル装置。
  5. 【請求項5】一方のシ−ス液流入口が設けられた上部プ
    レ−トと、他方のシ−ス液流入口が設けられた下部プレ
    −トと、該上部プレ−トと下部プレ−トとの間にスリッ
    トが設けられシ−ス液の流路が形成されたガイドプレ−
    トとサンプル液の流路とサンプル液用ノズルが形成され
    たノズル部材とを重ね合わせるように接合してシ−スフ
    ロ−の流路を形成したことを特徴とするフロ−セル装
    置。
  6. 【請求項6】内部にサンプル液の流路が形成され、該流
    路と接続されたノズルが形成されたガイドプレ−トが取
    り付けられたノズル押えと、該ガイドプレ−トを取り囲
    むように取り付けられ、シ−スフロ−を形成するための
    キャピラリ−と、シ−ス液流入口を有し前記ノズル押え
    とキャピラリ−を固定するためのホルダを備えたことを
    特徴とするフロ−セル装置。
  7. 【請求項7】サンプル液供給用のピペッタと、該ピペッ
    タを駆動するためのピペッタ駆動装置と、シ−ス液を供
    給するシ−ス液供給装置と、前記サンプル液をシ−ス液
    で包み込んだシ−スフロ−を形成するための流路を具備
    したフロ−セル装置において、該フロ−セル装置の前記
    ピペッタとの接続部に前記ピペッタと密着して接続する
    ためのシ−ル部を設けたことを特徴とするフロ−セル装
    置。
  8. 【請求項8】サンプル液をシース液で包みこんだシ−ス
    フロ−を形成するフローセル装置において、前記シ−ス
    フロ−の流れの方向をx軸、幅方向をy軸、高さ方向を
    z軸としたとき、上流側からx軸方向に沿ってz軸方向
    の寸法が減少され増速する流れ区間と、z軸方向の寸法
    が同一に形成され平行流が形成される流れ区間とが形成
    されていることを特徴とするフローセル装置。
  9. 【請求項9】液体中に懸濁した粒子を測定するためのフ
    ローセル装置において:測定すべきサンプル液を供給す
    るための手段と;シース液を供給するための手段と;流
    路をを画定するためのフローセル手段で、このフローセ
    ル手段は前記流路を少なくとも一方向に横切って見通す
    ことの出来る透明な測定部を持つことと;前記サンプル
    液供給手段に流体連通した、前記フローセル手段の流路
    へサンプル液を流すためのノズル手段で、このノズル手
    段は少なくとも一つの吐出口を持ち、この吐出口が前記
    流路の内壁から間隔をあけた関係で該流路中に配置され
    ることと;前記シース液供給手段は、前記吐出口の周囲
    にシース液を流し、該吐出口からのサンプル液の流れを
    シース液で取り巻いてシースフローを形成するように、
    前記サンプル液の流れに関して前記ノズル手段の吐出口
    上流側で前記フローセル手段の流路に流体連通している
    ことと;そして、前記フローセル手段の流路は、少なく
    とも前記測定部の見通し方向に直角な方向において、前
    記サンプル液の流れの狭まりを防いで一定幅のサンプル
    液の流れを確保するように、幅が一定であることを含む
    ことを特徴とするフローセル装置。
  10. 【請求項10】前記フローセル手段の流路は、前記測定
    部の方向における高さが幅よりも小さい、ほぼ長方形の
    横断面を持つ請求項9に記載のフローセル装置。
  11. 【請求項11】前記フローセル手段の流路は、前記測定
    部を通る前記見通し方向の高さがほぼ一定の平行流路
    と、前記平行流路部の上流側に設けた、該平行流路部に
    向けて高さが漸減する縮流流路部とを含む請求項10に
    記載のフローセル装置。
  12. 【請求項12】前記フローセル手段はさらに、前記測定
    部の見通し方向にシースフローを狭め、該シースフロー
    中のサンプル液の流速を増すと共に前記見通し方向にお
    けるサンプル液の厚みを小さくして偏平な流れを形成す
    るための手段を、前記測定部の上流側に含む請求項9に
    よるフローセル装置。
  13. 【請求項13】前記平行流路の流れが1000mm/秒
    以上のサンプル流である請求項1から4、8、11のい
    ずれかに記載のフロ−セル装置。
  14. 【請求項14】前記測定部で顕微鏡を通してサンプル液
    中の粒子を撮影できる程度まで、サンプル液の厚みを小
    さくするように設定される請求項1から4、8、9のい
    ずれかに記載のフローセル装置。
  15. 【請求項15】前記ノズル手段がさらに、前記測定部に
    於ける測定範囲に応じてサンプル液の流れの幅を変える
    ための手段を含む請求項6又は9に記載のフローセル装
    置。
  16. 【請求項16】前記ノズル手段がさらに、サンプル液の
    流れの形状を変えるための手段を含む請求項6又は9に
    記載のフローセル装置。
  17. 【請求項17】前記ノズル手段はさらに、前記流路幅方
    向の前記吐出口の両側部にそれぞれ設けた、該吐出口か
    らのサンプル液を案内して安定な一定幅の流れを形成す
    るためのガイド手段を含む請求項1から4、8、9、1
    1のいずれかに記載のフローセル装置。
  18. 【請求項18】前記ガイドが複数個形成されるものであ
    って、該ガイドにより前記サンプル流の幅を可変にする
    ようにした請求項6又は17に記載のフロ−セル装置。
  19. 【請求項19】前記サンプル流の幅が可変となるように
    形成されるものであって、前記測定部における測定系の
    倍率に応じて前記サンプル流の幅を変える請求項18に
    記載のフロ−セル装置。
  20. 【請求項20】前記流れ幅変更手段は、開口幅を可変に
    形成された前記ノズル手段の吐出口を含む請求項15に
    記載のフローセル装置。
  21. 【請求項21】前記流れ幅変更手段は、前記流路の幅方
    向の前記吐出口の両側にそれぞれ設けられ、一定流量以
    上のサンプル液が乗り越えるようになった固定ガイド板
    である請求項15に記載のフローセル装置。
  22. 【請求項22】前記流れ幅変更手段は、前記流路の幅方
    向の前記吐出口の両側にそれぞれ設けた可動ガイド板を
    含む請求項15に記載のフローセル装置。
  23. 【請求項23】前記流れ形状変更手段は、開口形状が可
    変である前記ノズル手段の吐出口を含む請求項16に記
    載のフローセル装置。
  24. 【請求項24】前記流れ形状変更手段は、前記流路内で
    長手軸線回りに回転可能に装着された前記ノズル手段を
    含む請求項16に記載のフローセル装置。
  25. 【請求項25】前記フローセル手段の流路にはさらに、
    ほぼ一定高さの平行流路部が、前記縮流流路部の上流側
    に設けられている請求項16に記載のフローセル装置。
  26. 【請求項26】前記平行流の後流側にz軸方向の寸法が
    緩やかに増大される減速される流れ区間が形成されてい
    る請求項8に記載のフロ−セル装置。
  27. 【請求項27】前記ノズルと接続されたサンプル液供給
    部を有し、該サンプル液を吐出するためのピペッタを前
    記サンプル供給部に直接密着して、サンプル液を供給す
    る請求項13に記載のフローセル装置。
  28. 【請求項28】前記シース液供給手段には、前記フロー
    セル手段の流路を洗浄する液を排出する廃液口が設けら
    れる請求項39に記載のフローセル装置。
  29. 【請求項29】前記測定部でサンプル液の測定中に、前
    記サンプル供給手段によりサンプル液の供給量とシース
    液の供給量を変更するように構成した請求項3、14、
    15、19のいずれかに記載のフロ−セル装置。
  30. 【請求項30】前記流路が透明な板状部材の接合によっ
    て形成されている請求項1から8のいずれかに記載のフ
    ローセル装置。
  31. 【請求項31】前記流路を構成する流路構成部品と、前
    記ノズルとサンプルの供給部とを密着して接続するホル
    ダを備えた請求項1から5、7、8のいずれかに記載の
    フローセル装置。
  32. 【請求項32】被検査液をシース液で包みこんだシース
    フローの流れの方向をx軸として、該x軸方向に沿う流
    れ区間と、該流れ区間の上流側に接続する少なくとも1
    つのシース液体供給口と、前記流れ区間の下流側に接続
    する少なくとも1つの廃液口と、前記流れ区間に突き出
    されたサンプル液体を吐出するノズルを備えたフローセ
    ル装置であって、少なくとも前記被検査液の流量、シー
    ス液の流量、ノズルの形状のいずれかを変化させること
    によって、被検査液の流速、サンプル断面形状を複数種
    類に変更することを特徴とするフローセル装置。
  33. 【請求項33】被検査液をシース液で包みこんだシース
    フローの流れの方向をx軸として、該x軸方向に沿う流
    れ区間と、該流れ区間の上流側に接続する少なくとも1
    つのシース液体供給口と、前記流れ区間の下流側に接続
    する少なくとも1つの廃液口と、前記流れ区間に突き出
    されたサンプル液体を吐出する出口を備えているフロー
    セル装置であって、少なくとも前記被検査液の流量、シ
    ース液の流量、ノズルの形状のいずれかを複数組みあわ
    せて変化させることによって、前記被検査液の流れの流
    速、前記x軸に垂直な断面のy軸方向の幅、x軸に垂直
    な断面のz軸方向の幅をそれぞれ独立に変更することを
    特徴とするフローセル装置。
  34. 【請求項34】前記ノズル手段は、前記サンプル液供給
    手段に接続され円形断面の弾性チューブと、この弾性チ
    ューブをクランプしてその断面形状を変えるように該弾
    性チューブに隣接して可動に設けた一対の押し板と、こ
    れら押し板を駆動するためのアクチエータ手段とを含む
    請求項10、32又は33に記載のフローセル装置。
  35. 【請求項35】前記流れ形状変更手段は、前記流路の幅
    方向および前記測定部の見通し方向に並んで配置され、
    それぞれ選択的に前記サンプル液供給手段に連通する前
    記ノズル手段の複数の吐出口である請求項16に記載の
    フローセル装置。
  36. 【請求項36】前記フローセル手段を保持するためのホ
    ルダ手段を含み、前記フローセル手段は前記流路の両端
    にて前記ホルダ手段に取つけられ、前記シース液供給手
    段は、前記流路の一端に密封状に接続して前記ホルダ手
    段上に装着される円環状のシース液供給部を含み、前記
    ノズル手段は前記シース液供給部を通して前記フローセ
    ル手段の流路内へ挿入される請求項9に記載のフローセ
    ル装置。
  37. 【請求項37】前記平行流路部の高さは、測定に用いる
    顕微鏡の焦点深度に合わせて設定される請求項1から
    4、8から11のいずれかに記載のフローセル装置。
  38. 【請求項38】前記フローセル手段の流路が互いに接合
    された板状部材によって画定され、前記縮流流路部は一
    対の縮流板により画定され、前記縮流板は各々サンプル
    液の流れ方向の断面が台形で、互いに向き合って前記流
    路内に固定される請求項1から4、8から11のいずれ
    かに記載のフローセル装置。
  39. 【請求項39】前記ノズル手段の吐出口はほぼ正方形断
    面を持ち、前記流路の幅方向における該吐出口の両側に
    は、一対の細長ガイド板がそれぞれ設けられて、サンプ
    ル液の流れ方向とほぼ平行に延在する請求項11に記載
    のフローセル装置。
  40. 【請求項40】前記ノズル手段はさらに、前記流路の幅
    方向における前記吐出口の両側にそれぞれ設けた第1と
    第2の対の細長ガイド板を含み、前記第2のガイド板は
    サンプル液の流れ方向への長さが前記第1のガイド板よ
    りも短く、かつ幅の小さいサンプル液の流れを形成する
    ように、互いに向けて内側に傾斜しており、前記第1の
    ガイド板は前記第2のガイド板の外側にそれぞれ配置さ
    れて、前記第2のガイド板を乗り越えたサンプル液を一
    定幅の流れに形成するように、サンプル液の流れ方向と
    ほぼ平行に延在する請求項37に記載のフローセル装
    置。
  41. 【請求項41】前記フローセル手段の流路はさらに、前
    記流路をその幅方向に横切って上方流路部分と下方流路
    部分に区切るガイドプレートを含み、前記ノズル手段が
    前記ガイドプレート上に設置されて前記上方流路部分に
    開口し、前記ガイドプレートには、前記縮流流路部で増
    速されたサンプル液が流入して偏平な流れを形成する一
    定幅の切り欠きが、前記ノズル手段の下流側に設けられ
    る請求項11に記載のフローセル装置。
  42. 【請求項42】前記フローセル手段を保持するための手
    段を含み、前記フローセル手段は内部に前記流路を形成
    した透明なハウジングを含み、前記保持手段が、サンプ
    ル液とシース液の通路を持つノズル押え部材と、2対の
    半割部分より成るホルダと有し、前記ノズル手段は前記
    ガイドプレートと共に前記ノズル押え部材に取り付けら
    れて、前記サンプル液通路に連通し、前記ハウジングは
    前記ガイドプレートを取り巻くように該ハウジングの一
    端において前記ノズル押え部材に密封状に取り付けら
    れ、前記ホルダのそれぞれの対の半割部分が前記ノズル
    押え部材と前記ハウジングの他端をクランプして前記フ
    ローセル手段を固定する請求項41に記載のフローセル
    装置。
  43. 【請求項43】前記ノズル手段は、前記流路の幅方向に
    おける前記吐出口の両側にそれぞれ設けた一対の細長い
    固定ガイド板もしくは可動ガイド板を含み、これらガイ
    ド板は、一定流量以下のサンプル液が一定の幅に規制さ
    れ、また、一定流量以下のサンプル液が乗り越えて幅の
    一層広い流れを形成するように、互いに向けて内方へ傾
    斜している請求項10に記載のフローセル装置。
  44. 【請求項44】前記ノズル手段の吐出口は、中央部と、
    前記吐出口の開口幅を変えるように該中央部に対して可
    動の両側部とによって画定され、前記ノズル手段はさら
    に、前記両側部を動かすためのフクチュエータ手段を含
    む請求項10に記載のフローセル装置。
  45. 【請求項45】前記ノズル手段は、先端間の距離を変え
    てサンプル液の流れの幅を規制するように、前記流路の
    幅方向における前記吐出口の両側にそれぞれ枢動可能に
    設けた一対の細長ガイド板と、これらガイド板を駆動す
    るためのアクチエータ手段とを含む請求項40に記載の
    フローセル装置。
  46. 【請求項46】前記ノズル手段の吐出口はほぼ長方形の
    断面を持ち、前記ノズル手段は該ノズル手段の長手軸線
    を中心として回転自在に前記流路内に装着されると共
    に、さらに、該ノズル手段を回転駆動するためのアクチ
    エータ手段と、前記吐出口の短辺側部にそれぞれ設けた
    一対の固定ガイド板とを含む請求項40に記載のフロー
    セル装置。
  47. 【請求項47】前記ノズル手段はほほ長方形の断面を持
    つ第1のノズルと、前記第1のノズル内に設置された第
    1のノズルと含み、前記第1のノズルには、前記流路の
    幅方向における吐出口の両側に一対の固定ガイド板がそ
    れぞれ設けられ、前記第2のノズルは、前記第1のノズ
    ルより小さいほぼ長方形の断面を持つと共に、前記流路
    の幅方向における吐出口の両側に、前記第1のノズルの
    ガイド板よりも小さい一対の固定ガイド板がそれぞれ設
    けられ、前記第1のノズルは、選択的に前記サンプル液
    供給手段に連通して前記測定部を通るサンプル液の流れ
    の形状を変える請求項40に記載のフローセル装置。
  48. 【請求項48】前記第2のノズルは、前記第1のノズル
    の長手軸線に沿って該第1のノズルから前記流路内へ突
    出するように可動に装着され、前記ノズル手段はさら
    に、前記第2のノズルを駆動するためのアクチエータ手
    段を含む請求項47に記載のフローセル装置。
  49. 【請求項49】前記ノズル手段は前記流路の幅方向へ並
    んだ3つの吐出口を持ち、前記3つの吐出口のうち両端
    の2つの吐出口は、選択的に前記サンプル液供給手段と
    連通してサンプル液の流れの幅を変える請求項10に記
    載のフローセル装置。
  50. 【請求項50】前記流路の幅方向における前記ノズル手
    段の両側には、第1の一対の細長ガイド板がそれぞれ設
    けられて、サンプル液の流れ方向とほぼ平行に延在し、
    前記3つの吐出口のうちの中央の吐出口にも、前記流路
    の幅方向における両側に、第2の一対の細長ガイド板が
    それぞれ設けられて、サンプル液の流れ方向とほぼ平行
    に延在し、前記第1のガイド板は前記第2のガイド板よ
    りもサンプル液の流れ方向における長さが大きい請求項
    40に記載のフローセル装置。
  51. 【請求項51】前記ノズル手段は、共通の長手軸線の周
    囲に配置された複数の吐出口を含み、これら吐出口は、
    サンプル液を流す吐出口の組合せを変更して前記測定部
    を通るサンプル液の流れの形状を変えるように、選択的
    に前記サンプル液供給手段と連通してサンプル液の流れ
    の幅を変える請求項40に記載のフローセル装置。
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