JP2003159623A - Measuring and processing equipment - Google Patents

Measuring and processing equipment

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JP2003159623A
JP2003159623A JP2001359379A JP2001359379A JP2003159623A JP 2003159623 A JP2003159623 A JP 2003159623A JP 2001359379 A JP2001359379 A JP 2001359379A JP 2001359379 A JP2001359379 A JP 2001359379A JP 2003159623 A JP2003159623 A JP 2003159623A
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JP
Japan
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air
measuring
piston
base
processing apparatus
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Application number
JP2001359379A
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Japanese (ja)
Inventor
Toshiaki Ueda
俊昭 上田
Akishi Eno
晃士 榎野
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TOKYO BOEKI TECHNO SYSTEM Ltd
TOKYO BOEKI TECHNO-SYSTEM Ltd
Original Assignee
TOKYO BOEKI TECHNO SYSTEM Ltd
TOKYO BOEKI TECHNO-SYSTEM Ltd
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Publication date
Application filed by TOKYO BOEKI TECHNO SYSTEM Ltd, TOKYO BOEKI TECHNO-SYSTEM Ltd filed Critical TOKYO BOEKI TECHNO SYSTEM Ltd
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  • Pistons, Piston Rings, And Cylinders (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Machine Tool Units (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To allow smooth transfer of a measuring unit, which is moved on the surface of a fixed board, to a desired location and in the desired direction simply with light operational force. <P>SOLUTION: In the bottom-face hole of a base proper 2, a cylinder 21, where air can be introduced, is formed, while an air pad 40 is fixed to a piston 30, which can be slid up to the cylinder. The air pad has a concave portion 41 on the side to contact the piston, while many small holes 42 linked to the concave portion are formed on the lower end face of the air pad. The concave portion communicates with the cylinder through an orifice 38 of the orifice plug installed on the piston. At the containment location, the lower end face of the air pad retreats from the bottom face of the base proper, but during the operation time when air is supplied, the piston slides, so that the lower end face of the air pad declines beyond a moving-use roller, and air that enters the concave portion through the orifice jets out of the small holes, thereby forming an air membrane in the space from the fixed board 101. Accordingly, the direction of the base can be easily changed, and the base can be moved lightly. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、計測部を定盤上で
移動させて3次元モデルの測定や加工を行う測定並びに
加工装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a measuring and processing apparatus for moving a measuring unit on a surface plate to measure or process a three-dimensional model.

【0002】[0002]

【従来の技術】測定並びに加工装置として、例えば定盤
上に載置した対象物に対して三次元のアプローチを行
い、寸法取り計測やけがき処理等を行う三次元計測機が
ある。このような三次元計測機は、図9に示すように、
対象物Mを固定する定盤101と、対象物Mの周囲で定
盤101上を移動可能な計測部100Aとで構成されて
いる。計測部100Aは、定盤101にセットしたガイ
ドレール105に沿って移動可能なベース102を備
え、ガイドレール105が延びる方向を第1軸として、
ベース102上に起立させたコラム15に沿って定盤1
01の面と垂直な第2軸方向に移動可能なヘッド16
と、ヘッド16に支持されて第1軸および第2軸の両方
に垂直な第3軸の方向に移動可能なアーム17とを有し
ている。そして、アーム17の先端には、用途に応じて
タッチプローブ、ノンコンタクトプローブ等の計測セン
サやけがき針、スピンドルモータ等の加工具が装着され
る。計測部101のベース102は、底部に複数の移動
用ローラを備えて、滑らかに移動可能となっている。
2. Description of the Related Art As a measuring and processing apparatus, for example, there is a three-dimensional measuring machine which performs a three-dimensional approach to an object placed on a surface plate to perform dimension measurement, scribing, and the like. Such a three-dimensional measuring machine, as shown in FIG.
It is composed of a surface plate 101 for fixing the target object M, and a measuring unit 100A capable of moving on the surface plate 101 around the object M. The measuring unit 100A includes a base 102 movable along a guide rail 105 set on a surface plate 101, and a direction in which the guide rail 105 extends is a first axis.
The platen 1 along the column 15 standing on the base 102
Head 16 movable in the second axis direction perpendicular to the plane 01
And an arm 17 supported by the head 16 and movable in a direction of a third axis perpendicular to both the first axis and the second axis. A processing tool such as a measurement sensor such as a touch probe or a non-contact probe, a scribing needle, or a spindle motor is attached to the tip of the arm 17 depending on the application. The base 102 of the measuring unit 101 is provided with a plurality of moving rollers at the bottom and can be moved smoothly.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
な計測機では、計測部100Aを、図9に矢示で示すよ
うに、定盤101上に載置した対象物Mに対して、その
周囲を回りながら4方向から測定することも多く行われ
る。このために、例えばガイドレール105にそって移
動しながら当該方向での測定を済ませたあとは、仮想線
で示すようにガイドレール105に対して直角方向に設
置した新たな第2のガイドレール105aにそって移動
させるために、計測部100A(のベース)を第1のガ
イドレール105にそった位置から第2のガイドレール
105’の所定位置へ移動させるとともにその向きを9
0°回転させる必要があり、これを順次に繰り返すこと
となる。
By the way, in the measuring machine as described above, the measuring unit 100A is attached to the object M placed on the surface plate 101 as shown by the arrow in FIG. It is often done to measure from four directions while moving around. For this reason, for example, after the measurement along the guide rail 105 is completed while moving along the guide rail 105, a new second guide rail 105a installed in a direction perpendicular to the guide rail 105 as indicated by a virtual line is provided. In order to move the measuring unit 100A (the base thereof) from a position along the first guide rail 105 to a predetermined position of the second guide rail 105 ′, the measuring unit 100A is moved in the direction of 9
It is necessary to rotate it by 0 °, and this is repeated sequentially.

【0004】ここで、従来の計測部100Aのベース1
02に備えられた移動用ローラは、直線のガイドレール
105、あるいは105’にそって移動可能なように、
すべてその回転軸が1方向となっている。そのため、1
方向には滑らかに移動できるが、ベース102を横方向
にオフセットさせたり、向きを変えることは容易でな
い。すなわち、上述のように第1のガイドレール105
から第2のガイドレール105’へ移る場合には、前後
への切り返し動作を繰り返して徐々に方向転換して新た
な位置へセットしなければならない。この作業はとくに
大型の計測部の場合に重労働となり、1日に何回もこの
作業を行わねばならないオペレータには大きな負担とな
る。また、大きな重量を支えている移動用ローラを無理
にこじることになるので、ガタを生じさせ、測定や加工
の精度にも悪影響を与えかねない。
Here, the base 1 of the conventional measuring unit 100A
The moving roller provided in 02 is movable along the linear guide rail 105 or 105 '.
All of them have one axis of rotation. Therefore, 1
Although the base 102 can be moved smoothly in the direction, it is not easy to offset or change the direction of the base 102 in the lateral direction. That is, as described above, the first guide rail 105
When moving from the second guide rail 105 ′ to the second guide rail 105 ′, it is necessary to repeat the turning operation back and forth to gradually change the direction and set the new position. This work is particularly heavy work for a large measuring unit, and is a heavy burden on the operator who has to perform this work many times a day. Further, since the moving roller supporting a large weight is forcibly twisted, it may cause backlash, which may adversely affect the accuracy of measurement and processing.

【0005】したがって本発明は、上記の問題点に鑑
み、軽い操作力で簡単に所望の位置および向きに滑らか
に移動できるようにした測定並びに加工装置を提供する
ことを目的とする。
Therefore, in view of the above problems, it is an object of the present invention to provide a measuring and processing apparatus which can be easily moved smoothly to a desired position and direction with a light operating force.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】このため、請求項1の本
発明は、計測センサまたは加工具をベースに支持させた
計測部を定盤上で移動可能とした測定並びに加工装置で
あって、計測部のベースは、ベース本体の底面から突出
させた複数の移動用ローラを備えて直線移動可能に設定
されるとともに、格納位置で定盤面から退避し、エアの
供給により作動位置ではベース本体の底面からの移動用
ローラの突出量よりも大きく突出する降下部を備える補
助支持装置を有し、降下部は少なくもベース本体の回動
を許す回動可能手段を備えているものとした。作動位置
ではベースが降下部により支えられ、その回動可能手段
によって、計測部を移動用ローラによる直線移動方向と
は異なる向きに軽い力で方向転換できる。
Therefore, the present invention according to claim 1 is a measuring and processing apparatus in which a measuring unit supporting a measuring sensor or a processing tool on a base is movable on a surface plate. The base of the measuring unit is equipped with a plurality of moving rollers protruding from the bottom surface of the base body so that it can move linearly. The auxiliary support device is provided with a descending portion that protrudes more than the amount of protrusion of the moving roller from the bottom surface, and the descending portion is provided with at least rotatable means that allows the base body to rotate. In the operating position, the base is supported by the descending portion, and its rotatable means allows the measuring portion to be turned with a light force in a direction different from the linear movement direction of the moving roller.

【0007】請求項2の発明は、とくに降下部が定盤面
と平行に対向する下端面を有し、回動可能手段は前記下
端面に開口してエアを噴出する多数の小孔を有して、定
盤面と降下部の下端面の間にエア膜を形成するものとし
た。請求項3の発明は、補助支持装置をベース本体に複
数設けたものである。エア膜の形成により、任意の向き
に方向転換でき、さらに移動も滑らかに実現される。
According to a second aspect of the present invention, in particular, the descending portion has a lower end surface facing in parallel with the surface of the surface plate, and the rotatable means has a large number of small holes which are opened in the lower end surface and eject air. Then, an air film is formed between the surface plate and the lower end surface of the descending portion. In the invention of claim 3, a plurality of auxiliary supporting devices are provided on the base body. By forming the air film, the direction can be changed in any direction, and the movement can be realized smoothly.

【0008】請求項4の発明は、補助支持装置が、エア
を導入可能のシリンダと、該シリンダに対してスライド
可能のピストンを備え、降下部はピストンに固定される
とともに、前記小孔と連通する凹部をピストンとの当接
面に備え、ピストンに設けられたオリフィスを介してエ
アが凹部に供給されるものとした。ピストンを作動させ
たエアを用いてエア膜が形成されるので、別途のエア供
給装置が不要である。
According to a fourth aspect of the present invention, the auxiliary supporting device includes a cylinder into which air can be introduced and a piston slidable with respect to the cylinder, and the descending portion is fixed to the piston and communicates with the small hole. The concave portion is provided on the contact surface with the piston, and the air is supplied to the concave portion through the orifice provided in the piston. Since the air film is formed by using the air that operates the piston, a separate air supply device is not required.

【0009】請求項5の発明は、回動可能手段が、移動
用ローラと異なる向きで配置された回動用ローラからな
るものとした。請求項6の発明は、補助支持装置がベー
ス本体に複数設けられ、各補助支持装置の降下部に備え
られた個別の回動用ローラが共通の回動中心をもつ向き
に設定されているものとした。作動位置ではベースが降
下部により支えられ、その回動用ローラによって、計測
部を移動用ローラによる直線移動方向とは異なる向きに
軽い力で方向転換できる。
According to a fifth aspect of the invention, the rotatable means comprises a rotating roller arranged in a direction different from that of the moving roller. According to a sixth aspect of the present invention, a plurality of auxiliary supporting devices are provided on the base body, and the individual rotation rollers provided in the descending portions of the respective auxiliary supporting devices are set in a direction having a common rotation center. did. In the operating position, the base is supported by the descending portion, and the rotating roller thereof can turn the measuring portion in a direction different from the linear movement direction of the moving roller with a light force.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を実施
例により詳細に説明する。図1は第1の実施例を示すベ
ースの上面図、図2は側面図、図3は底面図である。ま
た図4は図2におけるA−A部断面図、図5は図2にお
けるB−B部断面図である。計測部100のベース1は
平面形状が4角形のベース本体2を主部とし、ベース本
体2の略中央位置にはコラム15が取り付けられて上方
へ垂直に延びている。コラム15にはとくに図示しない
が従来例と同様にヘッド16が取り付けられ、ヘッド1
6にはアーム17が支持されて、アーム17の先端に計
測センサや加工具が取り付けられるようになっている。
ベース本体2の上面2aには、配管溝3が形成されて、
図示しない高圧エア源に接続されたエアチューブ50が
配管されている。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to examples. 1 is a top view of a base showing a first embodiment, FIG. 2 is a side view, and FIG. 3 is a bottom view. 4 is a sectional view taken along the line AA in FIG. 2, and FIG. 5 is a sectional view taken along the line BB in FIG. The base 1 of the measuring unit 100 has a base body 2 having a quadrangular planar shape as a main portion, and a column 15 is attached at a substantially central position of the base body 2 and extends vertically upward. Although not particularly shown, the head 16 is attached to the column 15 similarly to the conventional example.
An arm 17 is supported by 6, and a measurement sensor and a processing tool are attached to the tip of the arm 17.
A pipe groove 3 is formed on the upper surface 2a of the base body 2,
An air tube 50 connected to a high pressure air source (not shown) is provided.

【0011】ベース本体2のガイドレール105にそわ
せる側壁2bの両端には、ガイドローラ10が設けられ
ている。ガイドローラ10は、側壁2bの下端部に形成
された切り欠きを通して、側壁からわずかに(例えば2
mm)外方へ突出している。また、ベース本体2の4隅
近傍には、移動用ローラ12が設けられている。移動用
ローラ12はそれぞれ1軸に2個のローラを支持したロ
ーラ組を縦に2つ並べて構成されており、その転動によ
る移動方向を上記の側壁2bと平行に設定してある。移
動用ローラ12はベース本体2の底面から例えば2mm
突出している。
Guide rollers 10 are provided at both ends of a side wall 2b of the base body 2 which is aligned with the guide rails 105. The guide roller 10 passes slightly through the notch formed at the lower end of the side wall 2b (for example, 2
mm) Projected outward. Further, moving rollers 12 are provided near the four corners of the base body 2. The moving roller 12 is constituted by vertically arranging two roller sets each supporting two rollers on one axis, and the moving direction due to the rolling is set parallel to the side wall 2b. The moving roller 12 is, for example, 2 mm from the bottom surface of the base body 2.
It is protruding.

【0012】とくに図3に示すように、ベース本体の底
面2c側には、各移動用ローラ12の近傍に円形の補助
支持装置20が設けられて、そのエアパッド40が底面
から突出可能となっている。図6は補助支持装置20部
分の詳細図で、(a)は格納状態、(b)は作動状態を
示す。補助支持装置20は、ベース本体2の底面2c側
から順に直径を小さくした大径部6、中径部7および小
径部8からなるベアリング穴5内に構成されている。小
径部8にはシリンダ21が嵌め込まれ、ベース本体の上
面2a側から挿し込まれた複数のボルト23により固定
されている。シリンダ21の上端面に設けた段差部と小
径部8の天井壁との間には、ボルト23より内側にシー
ルリング24が設けられている。シリンダ21の下端面
は、中径部7と小径部8間の段差肩部よりわずかに下方
に突出している。
In particular, as shown in FIG. 3, a circular auxiliary support device 20 is provided in the vicinity of each moving roller 12 on the bottom surface 2c side of the base body, and an air pad 40 thereof can project from the bottom surface. There is. 6A and 6B are detailed views of the auxiliary supporting device 20. FIG. 6A shows the stored state and FIG. 6B shows the operating state. The auxiliary support device 20 is formed in a bearing hole 5 including a large diameter portion 6, a medium diameter portion 7 and a small diameter portion 8 whose diameters are sequentially reduced from the bottom surface 2c side of the base body 2. A cylinder 21 is fitted into the small-diameter portion 8 and is fixed by a plurality of bolts 23 inserted from the upper surface 2a side of the base body. A seal ring 24 is provided inside the bolt 23 between the stepped portion provided on the upper end surface of the cylinder 21 and the ceiling wall of the small diameter portion 8. The lower end surface of the cylinder 21 projects slightly below the shoulder portion between the middle diameter portion 7 and the small diameter portion 8.

【0013】シリンダ21にはピストン30がスライド
可能に組み付けられている。ピストン30は、円盤部3
1と円盤部から上方に延びる円筒部32からなり、円筒
部32の外周面がシリンダ21の内周面とのスライド面
となっている。円筒部32のスライド面には2本のリン
グ溝33が形成され、シールリング34が嵌め込まれて
いる。ベース本体2の配管溝3には、ピストン30の円
筒部32に連通させてテーパねじ穴9が形成され、エア
チューブ50のエルボユニオン51が取り付けられてい
る。円盤部31はベース本体2の中径部7に整合する外
径を有しており、中央に貫通穴36が形成されている。
貫通穴36には、円筒部32側から例えば直径2mmの
小孔38を有するオリフィスプラグ37が取り付けられ
ている。
A piston 30 is slidably attached to the cylinder 21. The piston 30 is the disk portion 3
1 and a cylindrical portion 32 extending upward from the disk portion, and the outer peripheral surface of the cylindrical portion 32 is a sliding surface with the inner peripheral surface of the cylinder 21. Two ring grooves 33 are formed on the slide surface of the cylindrical portion 32, and a seal ring 34 is fitted therein. A taper screw hole 9 is formed in the pipe groove 3 of the base body 2 so as to communicate with the cylindrical portion 32 of the piston 30, and an elbow union 51 of the air tube 50 is attached. The disk portion 31 has an outer diameter that matches the medium diameter portion 7 of the base body 2, and has a through hole 36 formed in the center.
An orifice plug 37 having a small hole 38 with a diameter of 2 mm, for example, is attached to the through hole 36 from the cylindrical portion 32 side.

【0014】シリンダ21には、その周方向において、
ベース本体2への取付用のボルト23の間に、上端面か
ら下端近傍まで延びる有底穴26が形成され、有底穴2
6の底部27に貫通穴28が設けられている。この有底
穴26内には下端にヘッド54を有するシャフト53が
貫通穴28を通してピストン30の円盤部31に固定さ
れて配置され、有底穴26の底部27とヘッド54の間
にコイルスプリング55が設けてある。ベース本体2に
は、その上面2aに開口してシリンダ21の有底穴26
と連通する穴14が設けられている。
In the cylinder 21, in the circumferential direction,
A bottomed hole 26 extending from the upper end surface to near the lower end is formed between the bolts 23 for mounting on the base body 2.
A through hole 28 is provided in the bottom portion 27 of 6. A shaft 53 having a head 54 at the lower end is fixedly arranged in the disk portion 31 of the piston 30 through the through hole 28 in the bottomed hole 26, and a coil spring 55 is provided between the bottom portion 27 of the bottomed hole 26 and the head 54. Is provided. In the base body 2, a bottomed hole 26 of the cylinder 21 is opened at the upper surface 2a thereof.
A hole 14 that communicates with is provided.

【0015】円盤部31の外周縁には下方へわずかに突
出する突リング部39が形成されている。突リング部3
9の下端面は、円盤部31がシリンダ21の下端面に当
接した状態で、ベース本体2における中径部7と大径部
6間の段差部との間に所定の間隙を有するように設定さ
れる。そして、円盤部31の下面には、突リング部39
の内側に、エアパッド40がその下面側から挿し込まれ
た複数のボルト43により固定されている。ボルト43
のヘッドはエアパッドの下端面40aに突出していな
い。円盤部31の下面とエアパッド40の上端面の間に
は、ボルト43より内側にシールリング44が設けられ
ている。
On the outer peripheral edge of the disk portion 31, there is formed a protruding ring portion 39 slightly protruding downward. Protrusion ring part 3
The lower end surface of 9 has a predetermined gap between the intermediate diameter portion 7 and the large diameter portion 6 of the base body 2 in a state where the disk portion 31 is in contact with the lower end surface of the cylinder 21. Is set. The protruding ring portion 39 is provided on the lower surface of the disc portion 31.
The air pad 40 is fixed to the inner side of the base plate by a plurality of bolts 43 inserted from the lower surface side thereof. Bolt 43
Head does not project to the lower end surface 40a of the air pad. A seal ring 44 is provided inside the bolt 43 between the lower surface of the disk portion 31 and the upper end surface of the air pad 40.

【0016】エアパッド40にはピストン30の円盤部
31に面して凹部41が形成され、オリフィスプラグ3
7の小孔38を介して、ピストン30の円筒部32内の
空間と連通している。エアパッド40の下端面40aは
平滑平面とされ、全面にわたって略均等に配置された多
数の小孔42が凹部41に連通して設けられている。ベ
ース本体2の大径部6にはストッパリング45がその下
端面2c側から挿し込まれた複数のボルト46により固
定されている。ボルト46のヘッドはストッパリング4
5の下端面に突出していない。ストッパリング45の内
径はエアパッド40の外径に整合して、エアパッド40
がスライド可能となっている。したがってストッパリン
グ45の内周面は中径部7の内周面より内方へ延びてお
り、その上端面はピストン30が降下したとき突リング
部39と当接可能となっている。
A recess 41 is formed in the air pad 40 so as to face the disk portion 31 of the piston 30, and the orifice plug 3
It communicates with the space in the cylindrical portion 32 of the piston 30 through the small hole 38 of 7. The lower end surface 40a of the air pad 40 is a smooth flat surface, and a large number of small holes 42 arranged substantially evenly over the entire surface are provided in communication with the recess 41. A stopper ring 45 is fixed to the large-diameter portion 6 of the base body 2 by a plurality of bolts 46 inserted from the lower end surface 2c side. The head of the bolt 46 has a stopper ring 4
5 does not project to the lower end surface. The inner diameter of the stopper ring 45 matches the outer diameter of the air pad 40,
Can be slid. Therefore, the inner peripheral surface of the stopper ring 45 extends inward from the inner peripheral surface of the medium diameter portion 7, and the upper end surface thereof can come into contact with the protruding ring portion 39 when the piston 30 descends.

【0017】ベース本体2に設けられた補助支持装置2
0は、以上のように構成され、図1に示すように、エル
ボユニオン51を介して4つの補助支持装置20からそ
れぞれ延びるエアチューブ50は、ジョイント52によ
り連結されて図示しない圧縮エア源に接続される。自然
状態(格納状態)においては、図6の(a)のように、
ピストン30はコイルスプリング55によって上方へ付
勢され、円盤部31がシリンダ21の下端面に当接して
いる。この状態で、エアパッド40の下端面40aはベ
ース本体2の底面2cからわずかに(例えば0.5m
m)上方へ退避している。
Auxiliary support device 2 provided on the base body 2
0 is configured as described above, and as shown in FIG. 1, the air tubes 50 extending from the four auxiliary supporting devices 20 via the elbow union 51 are connected by a joint 52 and connected to a compressed air source (not shown). To be done. In the natural state (stored state), as shown in FIG.
The piston 30 is biased upward by the coil spring 55, and the disk portion 31 is in contact with the lower end surface of the cylinder 21. In this state, the lower end surface 40a of the air pad 40 slightly extends from the bottom surface 2c of the base body 2 (for example, 0.5 m).
m) Retreating upward.

【0018】作動時には、エアチューブ50に高圧エア
源からエアを受ける。エアがピストン30の円筒部32
に供給されると、図6の(b)に示すように、ピストン
30がコイルスプリング55の付勢力に抗してシリンダ
21に対して下方へスライドし、円盤部31の突リング
部39がストッパリング45に当接する。突リング部3
9がストッパリング45に当接したとき、エアパッド4
0の下端面40aはベース本体2の底面2cから移動用
ローラ12の突出量よりわずかに大きく、例えば2.5
mm突出するように設定されている。
During operation, the air tube 50 receives air from a high pressure air source. The air is the cylindrical portion 32 of the piston 30.
6B, the piston 30 slides downward with respect to the cylinder 21 against the urging force of the coil spring 55, and the protruding ring portion 39 of the disk portion 31 stops as shown in FIG. 6B. Abut the ring 45. Protrusion ring part 3
When 9 comes into contact with the stopper ring 45, the air pad 4
The lower end surface 40a of 0 is slightly larger than the protruding amount of the moving roller 12 from the bottom surface 2c of the base body 2, for example, 2.5.
It is set to project mm.

【0019】本実施例は以上のように構成されているの
で、エアが供給されることにより、エアパッド40が定
盤面に押圧され、ベース本体2を持ち上げる。これによ
り、移動用ローラ12は定盤面から浮く。ピストン30
の円筒部32に供給されたエアは、オリフィスプラグ3
7の小孔38を経てエアパッド40の凹部41に至り、
凹部41から多数の小孔42を通ってエアパッド下端面
40aに噴き出すので、エアパッド40と定盤面の間に
エア膜が形成される。これにより、移動用ローラ12の
向きに制約されることなく、きわめて小さな力を受ける
だけでベース1は定盤面上を移動、あるいは回転する。
したがって、定盤上で第1のガイドレールから第2のガ
イドレールへ移る場合に、ベース1の前後切り返し動作
を繰り返すことなく、大重量の計測部でも軽い操作力で
簡単に方向転換して新たな位置へセットすることができ
る。
Since this embodiment is constructed as described above, the air pad 40 is pressed against the surface plate surface by supplying air, and the base body 2 is lifted. As a result, the moving roller 12 floats from the surface plate surface. Piston 30
The air supplied to the cylindrical portion 32 of the orifice plug 3
7 through the small hole 38 of No. 7 to the recess 41 of the air pad 40,
The air film is formed between the air pad 40 and the surface of the surface plate because the air is jetted from the recess 41 through the small holes 42 to the air pad lower end surface 40a. As a result, the base 1 is moved or rotated on the surface of the surface plate by receiving an extremely small force without being restricted by the direction of the moving roller 12.
Therefore, when moving from the first guide rail to the second guide rail on the surface plate, it is possible to easily change the direction with a light operating force even for a heavy measuring unit without repeating the back and forth turning operation of the base 1. It can be set to any position.

【0020】つぎに、第2の実施例について説明する。
この実施例はエアパッドの代わりに回動用ローラを設け
たものである。図7は第2の実施例を示すベースの底面
図である。図8は補助支持装置の詳細を示す断面図で、
(a)は格納状態、(b)は作動状態を示す。ベース本
体2の底面2c側には、第1の実施例における補助支持
装置20と同じ部位に回動用ローラを備える補助支持装
置20’が設けられている。補助支持装置20’は、シ
リンダ21にスライド可能に支持されるピストン30’
に、ローラホルダ60を保持し、このローラホルダ60
に回動用ローラ65を支持して構成されている。
Next, a second embodiment will be described.
In this embodiment, a rotating roller is provided instead of the air pad. FIG. 7 is a bottom view of the base showing the second embodiment. FIG. 8 is a sectional view showing the details of the auxiliary supporting device,
(A) shows a storage state, (b) shows an operating state. On the bottom surface 2c side of the base body 2, an auxiliary supporting device 20 'having a rotating roller is provided at the same portion as the auxiliary supporting device 20 in the first embodiment. The auxiliary support device 20 'includes a piston 30' slidably supported by the cylinder 21.
The roller holder 60 is held by the roller holder 60.
It is configured to support a rotating roller 65.

【0021】ピストン30’は円筒部32の上部に隔壁
32aを有してその上側に浅い空間を形成し、下端の円
盤部31’は開口して、円筒部32より外方に延びる部
分がフランジ状を呈している。円盤部31’の外周縁に
は下方へわずかに突出する突リング部39が形成されて
いる。突リング部39の下端面は、円盤部31’がシリ
ンダ21の下端面に当接した状態で、ベース本体2にお
ける中径部7と大径部6間の段差部との間に所定の間隙
を有するように設定される。
The piston 30 'has a partition wall 32a in the upper portion of the cylindrical portion 32 to form a shallow space above it, and the disc portion 31' at the lower end is open, and the portion extending outward from the cylindrical portion 32 is a flange. It has a shape. A protruding ring portion 39 that slightly protrudes downward is formed on the outer peripheral edge of the disc portion 31 '. The lower end surface of the protruding ring portion 39 has a predetermined gap between the step portion between the medium diameter portion 7 and the large diameter portion 6 of the base body 2 in a state where the disc portion 31 ′ is in contact with the lower end surface of the cylinder 21. To be set.

【0022】また、ベース本体2の大径部6にはストッ
パリング45が固定され、その上端面はピストン30’
が降下したとき突リング部39と当接可能となってい
る。ローラホルダ60はピストン30’の円筒部32の
内径に略整合する外径の本体部61を有し、上部が隔壁
隔壁32aとの間に配したボールベアリング63を介し
て円筒部32内に保持されている。本体部61の下面は
円盤部31’の下面よりもわずかに上方へ退避してい
る。
A stopper ring 45 is fixed to the large diameter portion 6 of the base body 2, and the upper end surface of the stopper ring 45 is a piston 30 '.
When it falls, it can come into contact with the protruding ring portion 39. The roller holder 60 has a main body portion 61 having an outer diameter that substantially matches the inner diameter of the cylindrical portion 32 of the piston 30 ', and is held in the cylindrical portion 32 via a ball bearing 63 arranged between the upper portion and the partition wall 32a. Has been done. The lower surface of the main body 61 is retracted slightly above the lower surface of the disc 31 ′.

【0023】回動用ローラ65は、移動用ローラ12と
同じく、それぞれ1軸に2個のローラを支持したローラ
組を縦に2つ並べて構成されており、各軸をローラホル
ダ60の本体部61から下方に延ばした軸受け部62に
支持させてある。4つの補助支持装置20’のそれぞれ
の回動用ローラ65の軸は、共通の回動中心Qと補助支
持装置中心Pとを結ぶ線に対して平行の向きに設定され
ている。円盤部31’の下面には、先端を円筒部32の
開口径より内方まで延ばした押え板67がボルト69で
固定され、押え板67の先端にねじ込んだ止めねじ68
をローラホルダ60の本体部61の下面に突き当てて、
上記設定された回動用ローラ65の軸の向きを保持する
ようになっている。その他の構成は、第1の実施例にお
ける補助支持装置20と同じである。
Like the moving roller 12, the rotating roller 65 is constituted by vertically arranging two roller groups each supporting two rollers on one axis, and each axis is constituted by a main body portion 61 of the roller holder 60. It is supported by a bearing portion 62 extending downward from. The axes of the rotation rollers 65 of each of the four auxiliary support devices 20 'are set in a direction parallel to a line connecting the common rotation center Q and the auxiliary support device center P. A holding plate 67 having a tip extending inward from the opening diameter of the cylindrical portion 32 is fixed to the lower surface of the disk portion 31 ′ with a bolt 69, and a set screw 68 screwed into the tip of the holding plate 67.
Abutting against the lower surface of the main body 61 of the roller holder 60,
The axis direction of the rotation roller 65 set as above is held. Other configurations are the same as those of the auxiliary supporting device 20 in the first embodiment.

【0024】ピストン30’がコイルスプリング55に
よって上方へ付勢された格納位置においては、図8の
(a)のように、円盤部31’がシリンダ21の下端面
に当接し、回動用ローラ65の下端はベース本体2の底
面2cからわずかに(例えば1mm)上方へ退避してい
る。
In the retracted position where the piston 30 'is biased upward by the coil spring 55, the disk portion 31' abuts the lower end surface of the cylinder 21 as shown in FIG. The lower end of is retracted slightly (for example, 1 mm) upward from the bottom surface 2c of the base body 2.

【0025】作動時には、高圧エア源からのエアがピス
トン30’の円筒部32の上部空間に供給されると、図
8の(b)に示すように、ピストン30’がコイルスプ
リング55の付勢力に抗してシリンダ21に対して下方
へスライドし、円盤部31’の突リング部39がストッ
パリング45に当接する。突リング部39がストッパリ
ング45に当接したとき、回動用ローラ65の下端はベ
ース本体2の底面2cから移動用ローラ12の突出量よ
りわずかに大きく、例えば3mm突出するように設定さ
れている。
During operation, when the air from the high pressure air source is supplied to the upper space of the cylindrical portion 32 of the piston 30 ', the piston 30' is biased by the coil spring 55 as shown in FIG. 8 (b). It slides downward with respect to the cylinder 21 against, and the protruding ring portion 39 of the disk portion 31 ′ abuts on the stopper ring 45. When the protruding ring portion 39 abuts on the stopper ring 45, the lower end of the rotating roller 65 is set to be slightly larger than the protruding amount of the moving roller 12 from the bottom surface 2c of the base body 2, for example, 3 mm. .

【0026】本実施例は以上のように構成されているの
で、エアが供給されることにより、回動用ローラ65が
降下し、ベース本体2を持ち上げる。これにより、移動
用ローラ12は定盤面から浮く。各補助支持装置20’
の回動用ローラ65の軸は、すべて共通の回動中心Qと
補助支持装置中心Pとを結ぶ線に対して平行の向きに設
定されているから、移動用ローラ12の向きに制約され
ることなく、小さな力を受けるだけでベース1は定盤面
上で回転可能となる。
Since the present embodiment is constructed as described above, when air is supplied, the rotation roller 65 descends and the base body 2 is lifted. As a result, the moving roller 12 floats from the surface plate surface. Each auxiliary support device 20 '
Since the axes of the rotating rollers 65 are all set in a direction parallel to the line connecting the common rotating center Q and the auxiliary supporting device center P, the direction of the moving roller 12 is restricted. Instead, the base 1 can rotate on the surface of the surface plate by receiving a small force.

【0027】したがって、定盤上で第1のガイドレール
から第2のガイドレールへ移る場合に、まず第2のガイ
ドレールの新たな位置方向へ回動用ローラによって向き
を変え、その後回動用ローラを格納して移動用ローラ1
2により第2のガイドレールへ近づけ、再び回動用ロー
ラを降下させて所定の向きに調整すればよい。すなわ
ち、移動の開始点と終点近傍におけるわずかな調整で済
み、移動の全行程にわたってベース1の前後切り返し動
作を繰り返す必要はなく、第1の実施例と同様に、大重
量の計測部でも軽い操作力で簡単に方向転換して新たな
位置へセットすることができる。
Therefore, when moving from the first guide rail to the second guide rail on the surface plate, first, the direction is changed to a new position direction of the second guide rail by the rotation roller, and then the rotation roller is changed. Roller for storing and moving 1
2 to bring it closer to the second guide rail, lower the rotating roller again, and adjust the roller in a predetermined direction. That is, a slight adjustment is required near the start point and end point of the movement, and it is not necessary to repeat the front-back switching operation of the base 1 during the entire movement of the movement. You can easily change the direction by force and set it to a new position.

【0028】なお、各実施例では補助支持装置を複数個
所に設けたものとしたが、このほか、例えば1つの大径
の補助支持装置に置き換えることもできる。
In each of the embodiments, the auxiliary supporting device is provided at a plurality of places, but in addition to this, for example, one auxiliary supporting device having a large diameter can be replaced.

【0029】[0029]

【発明の効果】以上のとおり、本発明は、移動用ローラ
を備えて計測部のベースを定盤上直線移動可能とした測
定並びに加工装置において、格納位置で定盤面から退避
し、エアの供給により作動位置では移動用ローラより大
きくベース本体の底面から突出するとともにベース本体
の回動を許す回動可能手段をもつ降下部を備えた補助支
持装置を有するものとしたので、作動位置ではベースが
降下部により支えられ、移動用ローラによる直線移動方
向とは異なる向きに軽い力で方向転換できる。したがっ
て、例えば第1のガイドレールから第2のガイドレール
にそう位置へ移る場合に、ベースの前後切り返し動作を
繰り返す必要がなく、大重量の計測部でも軽い操作力で
簡単に方向転換して新たな位置へセットすることができ
る。
As described above, according to the present invention, in the measuring and processing apparatus which is provided with the moving roller and the base of the measuring unit can be moved linearly on the surface plate, the air is supplied by retracting from the surface plate at the storage position. Therefore, in the operating position, the auxiliary supporting device having the descending portion that protrudes from the bottom surface of the base body larger than the moving roller and has the rotatable means that allows the base body to rotate is provided. It is supported by the descending portion and can be turned with a light force in a direction different from the linear moving direction by the moving roller. Therefore, for example, when moving from the first guide rail to the second guide rail in such a position, it is not necessary to repeat the front-back switching operation of the base, and even with a heavy measurement unit, the direction can be easily changed by a new operation force and a new operation can be performed. It can be set to any position.

【0030】とくに、回動可能手段が降下部の下端面に
開口した多数の小孔からエアを噴出して定盤面と降下部
の下端面の間にエア膜を形成するものとすることによ
り、軽い操作力で任意の向きに方向転換かつ移動ができ
る。
In particular, the rotatable means ejects air from a large number of small holes opened at the lower end surface of the descending portion to form an air film between the surface plate surface and the lower end surface of the descending portion. It can be turned and moved in any direction with a light operating force.

【0031】また、補助支持装置がエアを導入可能のシ
リンダとこれに対してスライド可能のピストンを備え、
降下部はピストンに固定されるとともに、小孔と連通す
る凹部をピストンとの当接面に備えて、ピストンに設け
たオリフィスを介してエアが凹部に供給されるものとす
ることにより、ピストン作動のエアをエア膜形成に利用
でき、別途のエア供給装置が不要で構造が簡単となる。
Further, the auxiliary supporting device includes a cylinder into which air can be introduced and a piston slidable with respect to the cylinder.
The descending part is fixed to the piston, and the recess that communicates with the small hole is provided on the contact surface with the piston so that air can be supplied to the recess through the orifice provided in the piston. The air can be used for forming an air film, and a separate air supply device is not required, which simplifies the structure.

【0032】さらに、回動可能手段を移動用ローラと異
なる向きで配置された回動用ローラとすることによって
も、移動用ローラによる直線移動方向とは異なる向きに
軽い力で方向転換できる。そしてとくに、補助支持装置
をベース本体に複数設けて、各補助支持装置の降下部に
備えた個別の回動用ローラが共通の回動中心をもつ向き
に設定することにより、ベースの姿勢を安定に確保しな
がら、容易に任意の方向に向けることができる。
Further, even if the rotating means is a rotating roller arranged in a direction different from that of the moving roller, the direction can be changed with a light force in a direction different from the linear moving direction of the moving roller. In particular, a plurality of auxiliary supporting devices are provided on the base body, and the individual rotating rollers provided in the descending portion of each auxiliary supporting device are set in a direction having a common rotation center, thereby stabilizing the posture of the base. It can be easily oriented in any direction while securing.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1の実施例を示すベースの上面図で
ある。
FIG. 1 is a top view of a base showing a first embodiment of the present invention.

【図2】ベースの側面図である。FIG. 2 is a side view of the base.

【図3】ベースの底面図である。FIG. 3 is a bottom view of the base.

【図4】図2におけるA−A部断面図である。FIG. 4 is a sectional view taken along line AA in FIG.

【図5】図2におけるB−B部断面図である。5 is a sectional view taken along line BB in FIG.

【図6】補助支持装置部の詳細を示す拡大断面図であ
る。
FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view showing details of an auxiliary supporting device section.

【図7】第2の実施例を示すベースの底面図である。FIG. 7 is a bottom view of the base showing the second embodiment.

【図8】補助支持装置部の詳細を示す拡大断面図であ
る。
FIG. 8 is an enlarged cross-sectional view showing details of an auxiliary supporting device section.

【図9】計測部の移動態様を示す説明図である。FIG. 9 is an explanatory diagram showing a movement mode of a measuring unit.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ベース 2 ベース本体 3 配管溝 5 ベアリング穴 6 大径部 7 中径部 8 小径部 9 テーパねじ穴 10 ガイドローラ 12 移動用ローラ 14 穴 15 コラム 16 ヘッド 17 アーム 20、20’ 補助支持装置 21 シリンダ 23、43、46、69 ボルト 24、34、44 シールリング 26 有底穴 27 底部 28 貫通穴 30、30’ ピストン 31、31’ 円盤部 32 円筒部 32a 隔壁 33 リング溝 36 貫通穴 37 オリフィスプラグ 38 小孔(オリフィス) 39 突リング部 40 エアパッド 41 凹部 42 小孔 45 ストッパリング 50 エアチューブ 51 エルボユニオン 53 シャフト 54 ヘッド 55 コイルスプリング 60 ローラホルダ 61 本体部 62 軸受け部 63 ボールベアリング 65 回動用ローラ 67 押え板 68 止めねじ 101 定盤 100 計測部 102 ベース 105 ガイドレール M 対象物 1 base 2 base body 3 pipe grooves 5 bearing holes 6 Large diameter part 7 Medium diameter part 8 Small diameter part 9 Taper screw hole 10 Guide roller 12 Moving roller 14 holes 15 columns 16 heads 17 arms 20, 20 'auxiliary support device 21 cylinders 23, 43, 46, 69 bolts 24, 34, 44 Seal ring 26 bottomed holes 27 bottom 28 through holes 30, 30 'piston 31, 31 'disk part 32 Cylindrical part 32a partition wall 33 ring groove 36 through holes 37 Orifice plug 38 Small holes (orifices) 39 Projection ring part 40 air pad 41 recess 42 small holes 45 Stopper ring 50 air tubes 51 Elbow Union 53 shaft 54 heads 55 coil spring 60 roller holder 61 Main body 62 Bearing section 63 ball bearing 65 Rotating roller 67 Presser plate 68 Set screw 101 surface plate 100 measurement section 102 base 105 Guide rail M object

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2F062 AA04 AA51 CC22 EE01 FF04 FF05 MM02 MM06 MM12 MM15 2F069 AA04 BB01 DD25 GG01 GG04 LL10 MM04 MM14 MM23 MM31 RR01 3C048 BC01 3J044 AA20 CA01 CA04 DA20    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    F term (reference) 2F062 AA04 AA51 CC22 EE01 FF04                       FF05 MM02 MM06 MM12 MM15                 2F069 AA04 BB01 DD25 GG01 GG04                       LL10 MM04 MM14 MM23 MM31                       RR01                 3C048 BC01                 3J044 AA20 CA01 CA04 DA20

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 計測センサまたは加工具をベースに支持
させた計測部を定盤上で移動可能とした測定並びに加工
装置であって、前記計測部のベースは、ベース本体の底
面から突出させた複数の移動用ローラを備えて直線移動
可能に設定されるとともに、格納位置で定盤面から退避
し、エアの供給により作動位置ではベース本体の底面か
らの前記移動用ローラの突出量よりも大きく突出する降
下部を備える補助支持装置を有し、前記降下部は少なく
もベース本体の回動を許す回動可能手段を備えているこ
とを特徴とする測定並びに加工装置。
1. A measuring and processing apparatus in which a measuring unit supporting a measuring sensor or a processing tool on a base is movable on a surface plate, and the base of the measuring unit is projected from the bottom surface of the base body. It is equipped with multiple moving rollers and is set so that it can move linearly.It retracts from the surface of the surface plate at the storage position, and it projects more than the amount of projection of the moving rollers from the bottom surface of the base body at the operating position due to the air supply. A measuring and processing apparatus, characterized in that it has an auxiliary supporting device provided with a descending part, and the descending part is provided with a rotatable means that allows the base body to rotate at least.
【請求項2】 前記降下部は定盤面と平行に対向する下
端面を有し、前記回動可能手段は前記下端面に開口して
エアを噴出する多数の小孔を有して、定盤面と降下部の
下端面の間にエア膜を形成するものであることを特徴と
する請求項1記載の測定並びに加工装置。
2. The descending portion has a lower end surface facing in parallel with the surface plate surface, and the rotatable means has a large number of small holes opened in the lower end surface for ejecting air. The measuring and processing apparatus according to claim 1, wherein an air film is formed between the lower end surface of the lower part and the lower part.
【請求項3】 前記補助支持装置が前記ベース本体に複
数設けられていることを特徴とする請求項2記載の測定
並びに加工装置。
3. The measuring and processing apparatus according to claim 2, wherein a plurality of the auxiliary supporting devices are provided on the base body.
【請求項4】 前記補助支持装置は、エアを導入可能の
シリンダと、該シリンダに対してスライド可能のピスト
ンを備え、前記降下部はピストンに固定されるととも
に、前記小孔と連通する凹部をピストンとの当接面に備
え、前記ピストンに設けられたオリフィスを介してエア
が前記凹部に供給されることを特徴とする請求項2また
は3記載の測定並びに加工装置。
4. The auxiliary supporting device includes a cylinder into which air can be introduced and a piston slidable with respect to the cylinder, the descending portion being fixed to the piston, and a recess communicating with the small hole. The measuring and processing apparatus according to claim 2 or 3, wherein air is supplied to the concave portion through an orifice provided in the piston, the surface being in contact with the piston.
【請求項5】 前記回動可能手段は、前記移動用ローラ
と異なる向きで配置された回動用ローラからなることを
特徴とする請求項1記載の測定並びに加工装置。
5. The measuring and processing apparatus according to claim 1, wherein the rotatable means comprises a rotating roller arranged in a direction different from that of the moving roller.
【請求項6】 前記補助支持装置が前記ベース本体に複
数設けられ、各補助支持装置の降下部に備えられた個別
の回動用ローラが共通の回動中心をもつ向きに設定され
ていることを特徴とする請求項5記載の測定並びに加工
装置。
6. A plurality of the auxiliary supporting devices are provided on the base main body, and individual rotating rollers provided in a descending portion of each auxiliary supporting device are set in a direction having a common rotation center. The measuring and processing apparatus according to claim 5, which is characterized in that.
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