JP2003149398A - Long low-energy electron-beam irradiating device - Google Patents
Long low-energy electron-beam irradiating deviceInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、印刷インクの乾燥
処理、高分子樹脂の表面硬化処理、建材の表面加工処
理、食品容器表面の殺菌処理等に使用される低エネルギ
電子線照射装置の構造に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a structure of a low energy electron beam irradiation apparatus used for drying treatment of printing ink, surface hardening treatment of polymer resin, surface finishing treatment of building materials, sterilization treatment of food container surface and the like. Regarding
【０００２】[0002]
【従来の技術】電子線が物質表面に照射されると、被照
射物質の重合反応、架橋反応や細胞の活性化（破壊）な
どを引き起こす。これを利用して、印刷インクの乾燥処
理、高分子樹脂の表面硬化処理、建材の表面加工、食品
容器表面の殺菌処理などが行われている。低エネルギ電
子線照射装置は、真空中で加速した低エネルギの電子線
を、出射窓を介して大気中の物質に照射させる装置であ
る。2. Description of the Related Art When an electron beam is irradiated on the surface of a substance, it causes a polymerization reaction, a cross-linking reaction or activation (destruction) of cells to be irradiated. Utilizing this, a drying treatment of printing ink, a surface hardening treatment of a polymer resin, a surface treatment of a building material, a sterilization treatment of a food container surface and the like are performed. The low-energy electron beam irradiation device is a device that irradiates a substance in the atmosphere with a low-energy electron beam accelerated in a vacuum through an emission window.
【０００３】図１０（ａ）は、従来の低エネルギ電子線
照射装置の構成を概略的に示す断面図であり、図１０
（ｂ）は、図１０（ａ）の矢視Ｐ〜Ｐ断面を拡大して示
す断面図である。図１０（ａ）、（ｂ）に示すように、
従来の低エネルギ電子線照射装置４１は、フィラメント
部４５より発生した熱電子を放出し、グリッド部４７を
介して、真空容器４２（真空排気する真空排気機器等は
図示せず）に取り付けたアノード部４８の電位で電子線
４６を引き出すことができる。FIG. 10A is a sectional view schematically showing the structure of a conventional low energy electron beam irradiation apparatus.
FIG. 10B is an enlarged sectional view showing a section taken along line P-P in FIG. As shown in FIGS. 10 (a) and 10 (b),
The conventional low-energy electron beam irradiation device 41 emits thermoelectrons generated from the filament part 45, and an anode attached to a vacuum container 42 (a vacuum exhaust device for vacuum exhaust is not shown) via a grid part 47. The electron beam 46 can be extracted at the potential of the portion 48.
【０００４】フィラメント部４５とアノード部４８には
８０ｋｖ以上の電位をかけることができることから、電
子線発生部４３は、絶縁材で構成される固定台４４を介
し、真空容器４２のフランジ４２ａに片持ち式に支持さ
れている。また、フィラメント部１５５は、レールを設
けてカートリッジ化されており、フィラメント部４５の
保守時には、真空容器４２のフランジ４２ｂを開放し、
さらに電子線発生部４３の蓋４３ａを開放することによ
り、電極ソケット部１５２から切離して取り出せる構造
になっている。Since a potential of 80 kv or more can be applied to the filament portion 45 and the anode portion 48, the electron beam generating portion 43 is attached to the flange 42a of the vacuum container 42 via the fixing base 44 made of an insulating material. It is supported by a holding style. Further, the filament portion 155 is provided with a rail and is made into a cartridge, and at the time of maintenance of the filament portion 45, the flange 42b of the vacuum container 42 is opened,
Further, by opening the lid 43a of the electron beam generator 43, the electron beam generator 43 is separated from the electrode socket 152 and taken out.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】従来の装置は以上のよ
うに構成されていたため、次のような課題が存在してい
た。すなわち、電子線照射対象物の大型化に伴い、従来
の低エネルギ電子線照射装置４１には、照射幅の長尺化
が要求されているため、電子線発生部４３を固定台４４
で固定する片持ち式の構造では対応できないという課題
があった。また、装置の大型化による保守部品の交換作
業性の悪化や、フィラメントの加熱部の不均一性が発生
するなどの課題があった。Since the conventional device is constructed as described above, the following problems exist. That is, as the size of the electron beam irradiation target is increased, the conventional low energy electron beam irradiation device 41 is required to have a longer irradiation width.
There was a problem that the cantilever type structure that was fixed at was not applicable. Further, there are problems such as deterioration of workability of replacement of maintenance parts due to an increase in size of the apparatus and nonuniformity of the heating portion of the filament.
【０００６】本発明は、以上のような課題を解決するた
めになされたもので、特に、照射幅の長尺化、保守作業
性の向上、過熱特性の均一化を図った長尺低エネルギ電
子線照射装置を提供することを目的とする。The present invention has been made to solve the above problems, and in particular, a long low-energy electron having a long irradiation width, improved maintenance workability, and uniform heating characteristics. An object is to provide a radiation irradiation device.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明の長尺低エネルギ
電子線照射装置は、長尺化された電子線発生部と、前記
電子線発生部の一端にて、真空容器のフランジ部に固定
される絶縁材製の第１電子線固定台と、前記電子線発生
部の他端にて、真空容器外殻の内面に複数のキャスタを
介して配設される第２電子線固定台とを備え、前記第１
電子線固定台及び前記第２電子線固定台によって前記電
子線発生部を両端で支持する構成である。また、カーボ
ンコンポジット製のフィラメント支持棒と、前記フィラ
メント支持棒の上面に配設されるレールと、前記レール
上を摺動する連結板から懸吊される複数の円柱状碍子
と、前記円柱状碍子によって導設される給電電極棒及び
反射板とで構成されるフィラメント部をさらに備え、前
記フィラメント部を構成する各部材を一体化することに
より、前記フィラメント部をカートリッジ式にした構成
である。また、前記フィラメント部の先端側から電源供
給するための電源供給棒をさらに備える構成である。ま
た、前記電源供給棒を支持する支持棒の両端部を支持棒
固定部に固定し、前記電源供給棒は、前記支持棒側に固
定されている構成である。また、真空容器の引出用架台
の脚部に配設されたリニアガイドと、地上側に配設さ
れ、前記リニアガイドを案内するリニアガイドレールと
を備え、前記真空容器外殻を縦引き可能に構成すること
により、前記キャスタを備えた第２電子線固定台の先端
側を拘持しつつ、前記真空容器と前記電子線発生部とを
分離できるようにした構成である。また、前記フィラメ
ント部の前記給電電極棒をフィラメント支持棒の上面を
摺動する連結版を共有する第１給電電極棒及び第２給電
電極棒に２分割することにより、前記第１給電電極棒及
び前記第２給電電極棒をカートリッジ化すると共に、前
記第１給電電極棒には下方の電極ソケットから給電し、
前記第２給電電極棒には上方の電源供給棒の先端部から
給電する構造とした構成である。また、前記フィラメン
ト部を一体化しつつ、アングル型断面形状を有する前記
フィラメント支持棒を長手方向に複数に分割し、電子線
発生部のスリーブに固定した構成である。また、前記真
空容器外殻の内面上部にアリ溝を設けると共に、前記電
子線固定台に前記アリ溝と整合される懸吊部を設け、前
記真空容器外殻と前記電子線発生部との調芯及び移動を
可能とした構成である。さらに、前記真空容器外殻の内
面両側部にコ字型の溝を設けると共に、前記電子線固定
台の前記コ字型溝の対応位置にローラを設け、前記真空
容器外殻より前記電子線発生部を支持する構成である。A long low-energy electron beam irradiation apparatus of the present invention is provided with a long electron beam generator and one end of the electron beam generator fixed to a flange portion of a vacuum container. A first electron beam fixing base made of an insulating material and a second electron beam fixing base arranged on the inner surface of the outer shell of the vacuum container via a plurality of casters at the other end of the electron beam generating section. Comprises the first
The electron beam fixing base and the second electron beam fixing base support the electron beam generator at both ends. Further, a filament support rod made of carbon composite, a rail arranged on the upper surface of the filament support rod, a plurality of cylindrical insulators suspended from a connecting plate sliding on the rail, and the cylindrical insulator In addition, a filament portion composed of a power feeding electrode rod and a reflection plate guided by is provided, and the filament portion is made into a cartridge type by integrating the respective members constituting the filament portion. In addition, a power supply rod for supplying power from the tip side of the filament portion is further provided. Further, both ends of a support rod that supports the power supply rod are fixed to a support rod fixing portion, and the power supply rod is fixed to the support rod side. In addition, a linear guide arranged on the leg of the drawer for the vacuum container and a linear guide rail arranged on the ground side for guiding the linear guide are provided, and the outer shell of the vacuum container can be pulled vertically. With this configuration, the vacuum container and the electron beam generator can be separated while holding the tip side of the second electron beam fixing base having the casters. Further, by dividing the power feeding electrode rod of the filament portion into a first power feeding electrode rod and a second power feeding electrode rod that share a connecting plate that slides on the upper surface of the filament support rod, the first power feeding electrode rod and The second power feeding electrode rod is made into a cartridge, and the first power feeding electrode rod is fed with power from a lower electrode socket,
The second power supply electrode rod has a structure in which power is supplied from the tip of the upper power supply rod. Further, the filament supporting rod having an angled cross-sectional shape is divided into a plurality of pieces in the longitudinal direction while being integrated with the filament portion, and the filament supporting rod is fixed to the sleeve of the electron beam generating portion. Further, a dovetail groove is provided on an upper portion of an inner surface of the vacuum vessel outer shell, and a suspending portion aligned with the dovetail groove is provided on the electron beam fixing base to adjust the vacuum vessel outer shell and the electron beam generating portion. It is a structure that enables the core and movement. Further, U-shaped grooves are provided on both sides of the inner surface of the vacuum container outer shell, and rollers are provided at positions corresponding to the U-shaped grooves of the electron beam fixing base so that the electron beam is generated from the outer shell of the vacuum container. It is the structure which supports a part.
【０００８】[0008]
【発明の実施の形態】以下、図面と共に本発明による低
エネルギ電子線照射装置の好適な実施の形態について詳
細に説明する。なお、従来装置と同一または同等部分に
は同一符号を付し、その説明を省略する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Preferred embodiments of a low energy electron beam irradiation apparatus according to the present invention will be described in detail below with reference to the drawings. The same or equivalent parts as those of the conventional device are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.
【０００９】実施の形態１．図１（ａ）は本発明の長尺
低エネルギ電子線照射装置の中央部における図１（ｂ）
の矢視Ａ〜Ａ断面の構成を概略的に示す構成図であり、
図１（ｂ）は図１（ａ）に示す矢視Ｂ〜Ｂ断面図、図１
（ｃ）は図１（ａ）に示す矢視Ｃ〜Ｃ断面図である。図
２は、図１（ａ）に示す中央部の構成を拡大して示す拡
大断面図である。図３（ａ）は、図１（ｂ）に二点鎖線
で示すＧ部を拡大して示す拡大断面図であり、図３
（ｂ）は、図３（ａ）の矢視Ｈ〜Ｈ断面の構成を示す断
面図である。図４（ａ）は、図１（ｃ）に二点鎖線で示
すＪ部を拡大して示す拡大断面図であり、図４（ｂ）
は、図４（ａ）の断面方向を示す図である。なお、図４
（ａ）は、図４（ｂ）の矢視Ｋ〜Ｋ断面を示している。
図５（ａ）は、図１（ａ）の矢視Ｌ〜Ｌ断面を拡大して
示す拡大側面図であり、図５（ｂ）は、図５（ａ）の矢
視Ｍ〜Ｍ断面を示す側面図である。Embodiment 1. FIG. 1 (a) is a view of a central portion of a long low energy electron beam irradiation apparatus of the present invention.
2 is a configuration diagram schematically showing a configuration of a cross section taken along the line A-A in FIG.
1B is a cross-sectional view taken along the line BB of FIG.
FIG. 1C is a sectional view taken along the line C-C in FIG. FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view showing the configuration of the central portion shown in FIG. FIG. 3A is an enlarged cross-sectional view showing an enlarged part G indicated by a chain double-dashed line in FIG.
3B is a cross-sectional view showing a configuration of a cross section taken along line H-H in FIG. FIG. 4A is an enlarged cross-sectional view showing an enlarged J portion indicated by a chain double-dashed line in FIG. 1C, and FIG.
FIG. 4 is a diagram showing a cross-sectional direction of FIG. Note that FIG.
FIG. 4A shows a cross section taken along line K-K in FIG.
FIG. 5A is an enlarged side view showing an enlarged cross section taken along line L-L of FIG. 1A, and FIG. 5B shows a cross section taken along line M-M of FIG. 5A. It is a side view shown.
【００１０】以下、図面と共に本発明の長尺低エネルギ
電子線照射装置について具体的に説明する。図１
（ｂ）、（ｃ）に示すように、従来のような片持ち式の
支持構造では長尺化された電子線発生部３を強度上水平
に保持することができないため、本発明の長尺低エネル
ギ電子線照射装置では、電子線発生部３の両端部に絶縁
材で形成された電子線固定台５、６を配設した両端支持
構造としている。The long low energy electron beam irradiation apparatus of the present invention will be specifically described below with reference to the drawings. Figure 1
As shown in (b) and (c), the conventional cantilever type support structure cannot hold the elongated electron beam generating portion 3 horizontally in terms of strength, so that The low-energy electron beam irradiation device has a structure of supporting both ends in which electron beam fixing bases 5 and 6 made of an insulating material are arranged at both ends of the electron beam generating portion 3.
【００１１】第１電子線固定台としての電子線固定台５
は、電子線発生部３の一端にて、真空容器２のフランジ
部２ｂに固定され、また、第２電子線固定台としての電
子線固定台６は、図４（ａ）、（ｂ）に示すように、電
子線発生部３の他端にて、真空容器外殻２ａの内面に接
する電子線固定台６の円周部に、複数のキャスタ２１を
介して固定されている。このような構成により、真空容
器外殻２ａと電子線固定台６とを調芯でき、また、キャ
スタ２１を転動させることにより、長尺方向の移動が可
能な構成にしている。なお、図４（ｂ）はキャスタ２１
を３つ設けた場合を例示している。An electron beam fixing base 5 as a first electron beam fixing base.
Is fixed to the flange portion 2b of the vacuum container 2 at one end of the electron beam generator 3, and the electron beam fixing base 6 as the second electron beam fixing base is shown in FIGS. 4 (a) and 4 (b). As shown, the other end of the electron beam generator 3 is fixed to the circumferential portion of the electron beam fixing base 6 which is in contact with the inner surface of the vacuum vessel outer shell 2a via a plurality of casters 21. With such a configuration, the outer shell 2a of the vacuum container and the electron beam fixing base 6 can be aligned, and the casters 21 can be rolled to move in the longitudinal direction. Note that FIG. 4B shows the caster 21.
The case where three are provided is illustrated.
【００１２】また、図２に示すように、フィラメント部
１１はカートリッジ式構造に構成されており、熱膨張率
の小さいカーボンフィバー（Ｃ／Ｃコンポジット）材を
使用したフィラメント支持棒９、１０の上面にレール１
３、１４を設け、これらのレール１３、１４上を摺動す
る連結板１２から複数の円柱状碍子１５、１６を懸吊
し、その下方部に導設された給電電極棒１７、１８及び
反射板１９等を一体化している。Further, as shown in FIG. 2, the filament portion 11 has a cartridge type structure, and the upper surface of the filament support rods 9 and 10 using a carbon fiber (C / C composite) material having a small coefficient of thermal expansion. On rail 1
3, 14 are provided, and a plurality of cylindrical insulators 15, 16 are suspended from the connecting plate 12 that slides on these rails 13, 14 and the power feeding electrode rods 17, 18 and reflections provided below the suspensions are provided. The plate 19 and the like are integrated.
【００１３】また、図１（ａ）、（ｂ）、（ｃ）及び図
３（ａ）に示すように、前記フィラメント支持棒９、１
０は、その両端部が支持棒固定部７、８に固定され、該
支持棒固定部７、８は電子線固定台５、６にそれぞれ固
定されている。また、電源２２に接続された電極ソケッ
ト部２３、２４は、給電電極棒１７、１８に接続されて
おり、フィラメント部１１と共に先端部（図１（ｃ）に
おける右側）へ引出せる構造になっている。なお、図３
（ｂ）は、電極ソケット部２３、２４及び後述する電源
供給棒２５、２６に接続される電源ソケット２９、３０
等の配列の１例を示している。Further, as shown in FIGS. 1 (a), (b), (c) and FIG. 3 (a), the filament support rods 9 and 1 are used.
Both ends of 0 are fixed to the support rod fixing portions 7 and 8, and the support rod fixing portions 7 and 8 are fixed to the electron beam fixing bases 5 and 6, respectively. Further, the electrode socket portions 23 and 24 connected to the power source 22 are connected to the power feeding electrode rods 17 and 18, and have a structure that can be drawn out to the tip portion (right side in FIG. 1C) together with the filament portion 11. There is. Note that FIG.
(B) is a power socket 29, 30 connected to the electrode socket portions 23, 24 and power supply rods 25, 26 described later.
1 shows an example of such an array.
【００１４】従来の片持ち式の構造の給電方式では、先
端側（給電側に対する他端側）は電圧降下により、フィ
ラメント部の温度が下がる傾向があり、電子線発生部３
が長尺化した場合にはこの傾向がさらに顕著となってい
た。本発明の長尺低エネルギ電子線照射装置では、これ
を改善すべく、図１（ｃ）に示すように、先端側からも
供給できる電源供給棒２５、２６を導設する。該電源供
給棒２５、２６は、支持棒２０の下面に導設され、給電
電極棒１７、１８とは電極板２７、２８を介して接続さ
れている。In the conventional cantilever type power feeding system, the temperature of the filament portion tends to decrease due to a voltage drop on the tip side (the other end side with respect to the power feeding side), and the electron beam generating section 3
This tendency became even more noticeable when the length was increased. In the long low-energy electron beam irradiation apparatus of the present invention, in order to improve this, as shown in FIG. 1C, power supply rods 25 and 26 that can be supplied from the tip side are also installed. The power supply rods 25 and 26 are provided on the lower surface of the support rod 20 and are connected to the power feeding electrode rods 17 and 18 via electrode plates 27 and 28.
【００１５】また、電源供給棒２５、２６の支持棒２０
の両端部は、支持棒固定部７、８に固定されており、前
記電源供給棒２５、２６は、前記支持棒２０側に固定さ
れたままとし、フィラメント部１１のカートリッジ式構
造とは無関係の構成としている。Further, the support rod 20 for the power supply rods 25 and 26
Both end portions of are fixed to the support rod fixing portions 7 and 8, and the power supply rods 25 and 26 are fixed to the support rod 20 side, and are independent of the cartridge type structure of the filament portion 11. It is configured.
【００１６】また、真空容器外殻２ａと電子線発生部３
との保守時の分離に備え、真空容器外殻２ａに引出用架
台４を設け、真空容器外殻２ａを縦引きできる構成とす
るため、引出用架台４には、図５（ａ）、（ｂ）に示す
ように、脚部にリニアガイド３１を設け、地上にリニア
ガイドレール３２を敷設するように構成する。The outer shell 2a of the vacuum container and the electron beam generator 3 are also provided.
In order to prepare for separation during maintenance of the vacuum container and the vacuum container outer shell 2a, a drawer base 4 is provided so that the vacuum container outer shell 2a can be pulled vertically. As shown in b), the linear guides 31 are provided on the legs and the linear guide rails 32 are laid on the ground.
【００１７】以上、本発明の実施の形態１に係る長尺低
エネルギ電子線照射装置は、上述のように構成されてい
るため、以下のような有利な効果を奏する。
（１）電子線発生部３の両端部に絶縁材で形成された２
個の電子線固定台５，６を配設した両端支持構造とする
ことにより、長尺化された電子線発生部３を容易に水平
に保持することができる。また、電源側の電子線固定台
５は、真空容器フランジ部２ｂに固定され、また、他端
の電子線固定台６は、真空容器外殻２ａの内面に接する
電子線固定台６の円周部に、複数のキャスタ２１を配設
した構成にしたことにより、真空容器外殻２ａと電子線
固定台６との調芯と移動を容易に行うことができる。As described above, the long low-energy electron beam irradiation apparatus according to the first embodiment of the present invention is configured as described above, and therefore has the following advantageous effects. (1) 2 formed of an insulating material on both ends of the electron beam generating portion 3
With the both-end supporting structure in which the individual electron beam fixing bases 5 and 6 are arranged, the elongated electron beam generating portion 3 can be easily held horizontally. Further, the electron beam fixing base 5 on the power source side is fixed to the vacuum container flange portion 2b, and the electron beam fixing base 6 at the other end is the circumference of the electron beam fixing base 6 in contact with the inner surface of the vacuum container outer shell 2a. By arranging a plurality of casters 21 in the part, the vacuum vessel outer shell 2a and the electron beam fixing base 6 can be easily aligned and moved.
【００１８】（２）熱膨張率の小さいＣ／Ｃカーボン材
を使用したフィラメント支持棒９，１０の上面にそれぞ
れレール１３，１４を設け、該レール上１３，１４を摺
動する連結板１２から複数の円柱状碍子１５，１６を懸
吊し、その下方に導設された給電電極棒１７，１８及び
反射板１９等を一体化してフィラメント部１１を引出す
カートリッジ式構造としたことにより、電源２２に接続
された電極ソケット部２３，２４より分離して、フィラ
メント部１１を先端部（図１（ｃ）における右側）へ引
き出すことができるため、フィラメント部１１の保守時
の作業を大幅に容易化できる。(2) Rails 13 and 14 are provided on the upper surfaces of the filament supporting rods 9 and 10 made of C / C carbon material having a small coefficient of thermal expansion, and the connecting plate 12 slides on the rails 13 and 14. A plurality of cylindrical insulators 15 and 16 are suspended, and the power supply electrode rods 17 and 18 and the reflection plate 19 that are provided below the suspension are integrated to form a cartridge type structure for drawing out the filament portion 11. Since the filament part 11 can be pulled out to the tip part (right side in FIG. 1C) by separating from the electrode socket parts 23 and 24 connected to the, the work at the time of maintenance of the filament part 11 is greatly facilitated. it can.
【００１９】（３）フィラメント部１１の先端側からも
電源供給ができるように、支持棒２０の下面に電源供給
棒２５，２６を導設したことにより、電子線発生部３を
長尺化しても従来のような電圧降下を抑制でき、電子線
照射の均一化を図ることができる。(3) Since the power supply rods 25 and 26 are provided on the lower surface of the support rod 20 so that the power can be supplied from the tip side of the filament portion 11, the electron beam generating portion 3 is elongated. Also, it is possible to suppress the voltage drop as in the prior art, and it is possible to make the electron beam irradiation uniform.
【００２０】（４）電源供給棒２５，２６の支持棒２０
の両端部を支持棒固定部７，８に固定し、該電源供給棒
２５，２６は、前記支持棒２０に固定されたままとした
ことにより、フィラメント部１１のカートリッジ式構造
とは無関係であるため、取外し時のフィラメント部１１
の重量の軽量化を図ることができる。(4) Support rod 20 for power supply rods 25 and 26
Both ends of the rod are fixed to the support rod fixing portions 7 and 8, and the power supply rods 25 and 26 are fixed to the support rod 20, so that they are independent of the cartridge type structure of the filament portion 11. Therefore, the filament part 11 when detached
The weight of can be reduced.
【００２１】（５）真空容器２に引出用架台４を設け、
その脚部にリニアガイド３１を備え、また、地上に、リ
ニアガイドレール３２を敷設し、真空容器外殻２ａを縦
引きできる構造としたことにより、キャスタ２１を有す
る電子線固定台６の先端側を拘持しつつ、真空容器２と
電子線発生部３との分離を容易に行うことができる。(5) The vacuum container 2 is provided with a drawer base 4,
The leg portion is provided with the linear guide 31, and the linear guide rail 32 is laid on the ground so that the vacuum vessel outer shell 2a can be pulled vertically. It is possible to easily separate the vacuum container 2 and the electron beam generator 3 while retaining the above.
【００２２】実施の形態２．本発明の実施の形態２に係
る長尺低エネルギ電子線照射装置は、従来装置の課題を
解決するために、フィラメント部の給電電極棒をフィラ
メント部の略中央部において分割し、それぞれのフィラ
メント部に給電するように構成したものである。Embodiment 2. In order to solve the problems of the conventional device, the long low-energy electron beam irradiation device according to the second embodiment of the present invention divides the power feeding electrode rod of the filament part into substantially the central part of the filament part, and separates each filament part. It is configured to supply power to.
【００２３】図６は、本発明の実施の形態２に係る長尺
低エネルギ電子線照射装置を概略的に示す構成図であ
り、フィラメント部の給電電極棒を２分割した構成を示
している。電子線発生部３が長尺化した場合には、フィ
ラメント部１１の温度が下がる傾向にあることから、実
施の形態１では、給電電極棒１７，１８の先端部からも
給電する構成にしたが（図１参照）、実施の形態２で
は、図６に示すように、給電電極棒をフィラメント部５
３，５４の略中央部において２分割し、第１給電電極棒
５１、第２給電電極棒５２として、第１給電電極棒５１
に電源側電極ソケット５５、５６を接続して給電し、第
２給電電極棒５２に電極ソケット５７、５８を接続して
電源電極棒５９、６０を介し、先端部の電極板６１、６
２により給電し、それぞれのフィラメント部５３、５４
から電子線を放出する構成にしている。なお、図６では
図示していないが、フィラメント部５３、５４は、実施
の形態１の図２に示すフィラメント支持棒９、１０及び
連結板１２を共有するカートリッジ式構造に構成されて
いる。FIG. 6 is a schematic view of a long low energy electron beam irradiation apparatus according to the second embodiment of the present invention, showing a structure in which the power feeding electrode rod of the filament portion is divided into two. Since the temperature of the filament part 11 tends to decrease when the electron beam generating part 3 is elongated, in the first embodiment, the power is also supplied from the tip parts of the power supply electrode rods 17 and 18. (See FIG. 1) In the second embodiment, as shown in FIG.
The first power feeding electrode rod 51 and the second power feeding electrode rod 52 are divided into two at approximately the central portion of the first power feeding electrode rod 51.
To the power supply side electrode sockets 55 and 56 for power supply, and the second power supply electrode rod 52 to which the electrode sockets 57 and 58 are connected via the power supply electrode rods 59 and 60, and the tip end electrode plates 61 and 6
2 to supply power to the respective filament parts 53, 54
The electron beam is emitted from the. Although not shown in FIG. 6, the filament portions 53 and 54 are configured as a cartridge type structure that shares the filament support rods 9 and 10 and the connecting plate 12 shown in FIG. 2 of the first embodiment.
【００２４】実施の形態１のように給電電極棒を１本で
構成した場合は、フィラメント部を形成する給電電極棒
が約７０％、上方部に導設された電源供給棒側には約３
０％の電流が流れることになるが、構造上の接触抵抗な
どにより余裕ある電極棒を設定する必要がある。しか
し、実施の形態２のように２分割した給電電極棒で給電
すれば、第１、第２電極棒が同じ条件となり、電流容量
の決定が容易になる。なお、その他の効果については、
実施の形態１に係る長尺低エネルギ照射装置と同様であ
る。In the case where one power feeding electrode rod is formed as in the first embodiment, about 70% of the power feeding electrode rods forming the filament portion are provided, and about 3 power feeding electrode rods are provided on the upper side.
A current of 0% will flow, but it is necessary to set an electrode rod with a margin due to the contact resistance of the structure. However, if power is supplied from the two-divided power supply electrode rods as in the second embodiment, the first and second electrode rods have the same condition, and the current capacity can be easily determined. Regarding other effects,
This is the same as the long low-energy irradiation device according to the first embodiment.
【００２５】実施の形態３．本発明の実施の形態３に係
る長尺低エネルギ電子線照射装置では、従来装置におけ
る課題を解決するために、実施の形態１において、電子
線発生部の長尺化により、両端支持構造としたフィラメ
ント部の支持棒を長手方向（長尺方向）に複数に分割し
てフィラメント部を支持するように構成したものであ
る。Embodiment 3. In the long low-energy electron beam irradiation apparatus according to the third embodiment of the present invention, in order to solve the problems in the conventional apparatus, the both ends support structure is adopted in the first embodiment by lengthening the electron beam generation unit. The support rod of the filament part is divided into a plurality of parts in the longitudinal direction (longitudinal direction) to support the filament part.
【００２６】図７は、本発明の実施の形態３に係る長尺
低エネルギ電子線照射装置の断面構成を概略的に示す断
面図である。なお、図７には、フィラメント支持棒７１
を３分割した構成を例示する。本発明の実施の形態３に
係る長尺低エネルギ電子線照射装置では、図７に示すよ
うに、長尺化した電子線発生部の長手方向に複数に分割
すると共に、アングル型断面形状を有するＣ／Ｃ材製の
フィラメント支持棒７１を使用し、電子線発生部のスリ
ーブ７５に固定する構造としている。また、実施の形態
１の場合と同様に、複数のフィラメント支持棒７１の上
部をスライドする共有の連結板７６用のレール溝７７を
設け、カートリッジ式構造としている。FIG. 7 is a sectional view schematically showing a sectional structure of a long low energy electron beam irradiation apparatus according to the third embodiment of the present invention. In FIG. 7, the filament support rod 71 is shown.
An example of a configuration in which is divided into three is illustrated. In the long low-energy electron beam irradiation apparatus according to the third embodiment of the present invention, as shown in FIG. 7, the long electron beam generating unit is divided into a plurality of pieces in the longitudinal direction and has an angled cross-sectional shape. A filament support rod 71 made of C / C material is used and fixed to the sleeve 75 of the electron beam generator. Further, as in the case of the first embodiment, the rail groove 77 for the shared connecting plate 76 that slides on the upper portions of the plurality of filament supporting rods 71 is provided to form a cartridge type structure.
【００２７】このように、本発明の実施の形態３に係る
長尺低エネルギ電子線照射装置では、複数に分割され、
かつ、アングル型断面形状を有するようにフィラメント
支持棒７１を構成し、さらに電子線発生部のスリーブに
固定したので、実施の形態１の長尺低エネルギ電子線照
射装置に比べ、熱伸びのある金属製材料の使用が可能で
あり、また、実施の形態１におけるフィラメント支持棒
を両端支持している支持棒固定部（図１の７、８）が不
要である。なお、分割したフィラメント支持棒７１は、
共有する連結板を使用したカートリッジ式構造であり、
保守時には、フィラメント部を一体として取出すことが
でき、実施の形態１に係る長尺低エネルギ電子線照射装
置と同様の保守作業性を確保できる。As described above, the long low energy electron beam irradiation apparatus according to the third embodiment of the present invention is divided into a plurality of parts,
In addition, since the filament supporting rod 71 is configured to have an angle-shaped cross-sectional shape and further fixed to the sleeve of the electron beam generating portion, it has thermal expansion as compared with the long low energy electron beam irradiation device of the first embodiment. A metallic material can be used, and the support rod fixing portions (7 and 8 in FIG. 1) supporting both ends of the filament support rod in the first embodiment are unnecessary. The divided filament support rod 71 is
It is a cartridge type structure that uses a shared connecting plate,
At the time of maintenance, the filament portion can be taken out as one body, and the same maintenance workability as that of the long low-energy electron beam irradiation apparatus according to the first embodiment can be ensured.
【００２８】実施の形態４．本発明の実施の形態４は、
従来装置の課題を解決するために、真空容器外殻と電子
線発生部との調芯及び移動のための構造を備えるもので
ある。Fourth Embodiment The fourth embodiment of the present invention is
In order to solve the problems of the conventional apparatus, a structure for aligning and moving the outer shell of the vacuum container and the electron beam generator is provided.
【００２９】図８（ａ）は、本発明の実施の形態４に係
る長尺低エネルギ電子線照射装置の要部を拡大して示す
断面図であり、真空容器外殻８２ａの内面上部にアリ溝
８１を設け、電子線固定台にアリ溝８１と整合された懸
吊部８３を設けた長尺低エネルギ電子線照射装置の要部
を拡大して示している。図８（ｂ）は、図８（ａ）の矢
視Ｑ〜Ｑ断面を示す断面図である。FIG. 8 (a) is an enlarged sectional view showing a main part of a long low-energy electron beam irradiation apparatus according to the fourth embodiment of the present invention. The main part of the long low energy electron beam irradiation apparatus in which the groove 81 is provided and the suspension portion 83 aligned with the dovetail groove 81 is provided on the electron beam fixing base is shown in an enlarged manner. 8B is a cross-sectional view showing a cross section taken along the line Q-Q in FIG.
【００３０】本発明の実施の形態４に係る長尺低エネル
ギ電子線照射装置では、図８（ａ）、図８（ｂ）に示す
ように、真空容器外殻８２ａの内面上方にアリ溝８１を
設け、該アリ溝８１に整合された懸吊部８３を電子線固
定台８４に設けて、真空容器外殻８２ａより電子線発生
部８５を懸吊する構造としたものである。In the long low-energy electron beam irradiation apparatus according to the fourth embodiment of the present invention, as shown in FIGS. 8A and 8B, the dovetail groove 81 is formed above the inner surface of the vacuum vessel outer shell 82a. And a suspension part 83 aligned with the dovetail groove 81 is provided on the electron beam fixing base 84 to suspend the electron beam generation part 85 from the outer shell 82a of the vacuum container.
【００３１】このように本発明の実施の形態４によれ
ば、真空容器外殻８２ａの内面上部にアリ溝８１を設
け、電子線固定台８４にアリ溝８１と整合された懸吊部
８３を設けたことにより、保守時の真空容器外殻８２ａ
の移動を容易に行うことができる。長尺低エネルギ電子
線照射装置を提供することができる。As described above, according to the fourth embodiment of the present invention, the dovetail groove 81 is provided in the upper portion of the inner surface of the vacuum vessel outer shell 82a, and the suspension portion 83 aligned with the dovetail groove 81 is provided on the electron beam fixing base 84. By providing the outer shell 82a of the vacuum container for maintenance
Can be easily moved. A long low energy electron beam irradiation device can be provided.
【００３２】実施の形態５．本発明の実施の形態５に係
る長尺低エネルギ電子線照射装置は、従来装置における
課題を解決するために、真空容器外殻と電子線発生部と
の調芯及び移動のための構造を備えるものである。Fifth Embodiment The long low-energy electron beam irradiation apparatus according to Embodiment 5 of the present invention is provided with a structure for aligning and moving the outer shell of the vacuum container and the electron beam generating section in order to solve the problems in the conventional apparatus. It is a thing.
【００３３】図９（ａ）は、本発明の実施の形態５に係
る低エネルギ電子線照射装置の要部を拡大して示す断面
図であり、真空容器外殻の内面両側部にコ字型の溝を設
け、該コ字型溝の電子線固定台が対応する箇所にローラ
を設けた実施の形態を示す断面図である。図９（ｂ）
は、図９（ａ）の矢視Ｒ〜Ｒ断面を示す断面図である。FIG. 9 (a) is an enlarged cross-sectional view showing an essential part of a low energy electron beam irradiation apparatus according to the fifth embodiment of the present invention. 2 is a cross-sectional view showing an embodiment in which a groove is provided and a roller is provided at a position corresponding to the electron beam fixing base of the U-shaped groove. Figure 9 (b)
FIG. 10 is a cross-sectional view showing a cross section taken along line RR of FIG.
【００３４】本発明の実施の形態５に係る長尺低エネル
ギ電子線照射装置では、図９（ａ）、図９（ｂ）に示す
ように、真空容器外殻９２ａの内面両側部に部にコ字型
の溝９１ａ、９１ｂを設け、さらにその電子線固定台９
４の対応位置にローラ９３ａ、９３ｂを設け、電子線固
定台９４が真空容器外殻９２ａに支持されるように構成
したものである。In the long low-energy electron beam irradiation apparatus according to the fifth embodiment of the present invention, as shown in FIGS. 9 (a) and 9 (b), both sides of the inner surface of the vacuum vessel outer shell 92a are provided with parts. U-shaped grooves 91a and 91b are provided, and the electron beam fixing base 9 thereof is further provided.
The rollers 93a and 93b are provided at the corresponding positions of No. 4, and the electron beam fixing base 94 is supported by the outer shell 92a of the vacuum container.
【００３５】このように本発明の実施の形態５によれ
ば、真空容器外殻９２ａの内面両側部にコ字型の溝９１
ａ、９１ｂを設け、また、電子線固定台９４の対応位置
にローラ９３ａ、９３ｂを設け、電子線発生部が真空容
器外殻に支持されるように構成したので、真空容器外殻
９２ａを安定的に移動することができる長尺低エネルギ
電子線照射装置を提供することができる。As described above, according to the fifth embodiment of the present invention, the U-shaped grooves 91 are formed on both sides of the inner surface of the vacuum vessel outer shell 92a.
a and 91b are provided, and rollers 93a and 93b are provided at corresponding positions of the electron beam fixing base 94 so that the electron beam generating portion is supported by the vacuum vessel outer shell, so that the vacuum vessel outer shell 92a is stabilized. It is possible to provide a long low-energy electron beam irradiation apparatus that can be moved as desired.
【００３６】[0036]
【発明の効果】本発明の長尺低エネルギ電子線照射装置
は、長尺化された電子線発生部と、前記電子線発生部の
一端にて、真空容器のフランジ部に固定される絶縁材製
の第１電子線固定台と、前記電子線発生部の他端にて、
真空容器外殻の内面に複数のキャスタを介して配設され
る第２電子線固定台とを備え、前記第１電子線固定台及
び前記第２電子線固定台によって前記電子線発生部を両
端で支持するので、前記真空容器外殻と前記第２電子線
固定台との調芯及び移動を容易化することができる。ま
た、カーボンコンポジット製のフィラメント支持棒と、
前記フィラメント支持棒の上面に配設されるレールと、
前記レール上を摺動する連結板から懸吊される複数の円
柱状碍子と、前記円柱状碍子によって導設される給電電
極棒及び反射板とで構成されるフィラメント部をさらに
備え、前記フィラメント部を構成する各部材を一体化す
ることにより、前記フィラメント部をカートリッジ式に
したので、フィラメント部の保守作業が容易である。ま
た、前記フィラメント部の先端側から電源供給するため
の電源供給棒をさらに備えるので、長尺化した電子線発
生部の端部においても電圧降下が防止され、均一に電子
線を照射できる。また、前記電源供給棒を支持する支持
棒の両端部を支持棒固定部に固定し、前記電源供給棒
は、前記支持棒側に固定されているので、フィラメント
部の重量を軽減することができる。また、真空容器の引
出用架台の脚部に配設されたリニアガイドと、地上側に
配設され、前記リニアガイドを案内するリニアガイドレ
ールとを備え、前記真空容器外殻を縦引き可能に構成す
ることにより、前記キャスタを備えた第２電子線固定台
の先端側を拘持しつつ、前記真空容器と前記電子線発生
部とを分離できるようにしたので、真空容器と電子線発
生部との分離を容易に行うことができる。また、前記フ
ィラメント部の前記給電電極棒をフィラメント支持棒の
上面を摺動する連結版を共有する第１給電電極棒及び第
２給電電極棒に２分割することにより、前記第１給電電
極棒及び前記第２給電電極棒をカートリッジ化すると共
に、前記第１給電電極棒には下方の電極ソケットから給
電し、前記第２給電電極棒には上方の電源供給棒の先端
部から給電する構造としたので、第１給電電極棒と第２
給電電極棒の条件を同一にすることができ、電流容量を
容易に決定することができる。また、前記フィラメント
部を一体化しつつ、アングル型断面形状を有する前記フ
ィラメント支持棒を長手方向に複数に分割し、電子線発
生部のスリーブに固定したので、熱伸びのある金属製材
料の使用が可能となるため支持棒固定部が不要になると
共に、カートリッジ式のフィラメント部を一体的に取出
すことができる。また、前記真空容器外殻の内面上部に
アリ溝を設けると共に、前記電子線固定台に前記アリ溝
と整合される懸吊部を設け、前記真空容器外殻と前記電
子線発生部との調芯及び移動を可能としたので、保守時
に真空容器外殻を容易に移動させることができる。さら
に、前記真空容器外殻の内面両側部にコ字型の溝を設け
ると共に、前記電子線固定台の前記コ字型溝の対応位置
にローラを設け、前記真空容器外殻より前記電子線発生
部を支持するので、真空容器外殻を安定的に移動させる
ことができる。The long low-energy electron beam irradiation apparatus of the present invention comprises an elongated electron beam generator and an insulating material fixed to the flange of the vacuum container at one end of the electron beam generator. At the other end of the electron beam generator, which is made of a first electron beam fixing base,
A second electron beam fixing base disposed on the inner surface of the outer shell of the vacuum container via a plurality of casters, and the electron beam generating unit is provided at both ends by the first electron beam fixing base and the second electron beam fixing base. Since it is supported by, the centering and movement of the outer shell of the vacuum container and the second electron beam fixing base can be facilitated. Also, with a filament support rod made of carbon composite,
A rail disposed on the upper surface of the filament support rod,
The filament portion further comprises a plurality of cylindrical insulators suspended from a connecting plate that slides on the rails, and a power feeding electrode rod and a reflection plate guided by the cylindrical insulators. Since the filament portion is made into a cartridge type by integrating each member constituting the above, maintenance work of the filament portion is easy. Further, since a power supply rod for supplying power from the tip side of the filament portion is further provided, voltage drop is prevented even at the end portion of the elongated electron beam generating portion, and the electron beam can be uniformly irradiated. Further, since both ends of the support rod that supports the power supply rod are fixed to the support rod fixing portion, and the power supply rod is fixed to the support rod side, the weight of the filament portion can be reduced. . In addition, a linear guide arranged on the leg of the drawer for the vacuum container and a linear guide rail arranged on the ground side for guiding the linear guide are provided, and the outer shell of the vacuum container can be pulled vertically. With this configuration, the vacuum container and the electron beam generating unit can be separated while holding the tip side of the second electron beam fixing base provided with the casters, so that the vacuum container and the electron beam generating unit can be separated. Can be easily separated. Further, by dividing the power feeding electrode rod of the filament portion into a first power feeding electrode rod and a second power feeding electrode rod that share a connecting plate that slides on the upper surface of the filament support rod, the first power feeding electrode rod and The second power supply electrode rod is made into a cartridge, and the first power supply electrode rod is supplied with power from the lower electrode socket, and the second power supply electrode rod is supplied with power from the tip portion of the upper power supply rod. Therefore, the first feeding electrode rod and the second
The conditions of the power feeding electrode rod can be the same, and the current capacity can be easily determined. In addition, since the filament supporting rod having an angled cross-sectional shape is divided into a plurality of pieces in the longitudinal direction and fixed to the sleeve of the electron beam generating portion while integrating the filament portion, it is possible to use a metal material having thermal expansion. Since it becomes possible, the support rod fixing portion is not necessary and the cartridge type filament portion can be taken out integrally. Further, a dovetail groove is provided on an upper portion of an inner surface of the vacuum vessel outer shell, and a suspending portion aligned with the dovetail groove is provided on the electron beam fixing base to adjust the vacuum vessel outer shell and the electron beam generating portion. Since the lead and the movement are possible, the outer shell of the vacuum container can be easily moved during maintenance. Further, U-shaped grooves are provided on both sides of the inner surface of the vacuum container outer shell, and rollers are provided at positions corresponding to the U-shaped grooves of the electron beam fixing base so that the electron beam is generated from the outer shell of the vacuum container. Since the portion is supported, the outer shell of the vacuum container can be moved stably.
【図１】（ａ）は本発明の長尺低エネルギ電子線照射装
置の中央部における図１（ｂ）の矢視Ａ〜Ａ断面の構成
を概略的に示す構成図であり、（ｂ）は図１（ａ）に示
す矢視Ｂ〜Ｂ断面図、（ｃ）は図１（ａ）に示す矢視Ｃ
〜Ｃ断面図である。1A is a configuration diagram schematically showing a configuration of a cross section taken along line AA of FIG. 1B in a central portion of a long low-energy electron beam irradiation apparatus of the present invention, and FIG. 1A is a cross-sectional view taken along the line B-B shown in FIG. 1A, and FIG. 1C is a view C shown in FIG.
FIG.
【図２】図１（ａ）に示す中央部の構成を拡大して示す
拡大断面図である。FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view showing an enlarged configuration of a central portion shown in FIG.
【図３】（ａ）は、図１（ｂ）に二点鎖線で示すＧ部を
拡大して示す拡大断面図であり、（ｂ）は、図３（ａ）
の矢視Ｈ〜Ｈ断面の構成を示す断面図である。3 (a) is an enlarged cross-sectional view showing an enlarged portion G indicated by a chain double-dashed line in FIG. 1 (b), and FIG. 3 (b) is FIG. 3 (a).
It is sectional drawing which shows the structure of the arrow H-H cross section of FIG.
【図４】（ａ）は、図１（ｃ）に二点鎖線で示すＪ部を
拡大して示す拡大断面図であり、（ｂ）は、図４（ａ）
の断面方向を示す図である。4 (a) is an enlarged cross-sectional view showing an enlarged J portion indicated by a chain double-dashed line in FIG. 1 (c), and FIG. 4 (b) is FIG. 4 (a).
It is a figure which shows the cross-section direction.
【図５】（ａ）は、図１（ａ）の矢視Ｌ〜Ｌ断面を拡大
して示す拡大側面図であり、（ｂ）は、図５（ａ）の矢
視Ｍ〜Ｍ断面を示す側面図である。5A is an enlarged side view showing an enlarged cross section taken along line L-L of FIG. 1A, and FIG. 5B is a cross-sectional view taken along line M-M of FIG. 5A. It is a side view shown.
【図６】本発明の実施の形態２に係る長尺低エネルギ電
子線照射装置を概略的に示す構成図である。FIG. 6 is a configuration diagram schematically showing a long low energy electron beam irradiation apparatus according to a second embodiment of the present invention.
【図７】本発明の実施の形態３に係る長尺低エネルギ電
子線照射装置の断面構成を概略的に示す断面図である。FIG. 7 is a sectional view schematically showing a sectional configuration of a long low energy electron beam irradiation apparatus according to a third embodiment of the present invention.
【図８】（ａ）は、本発明の実施の形態４に係る長尺低
エネルギ電子線照射装置の要部を拡大して示す断面図で
あり、（ｂ）は、図８（ａ）の矢視Ｑ〜Ｑ断面を示す断
面図である。8A is an enlarged cross-sectional view showing a main part of a long low-energy electron beam irradiation apparatus according to Embodiment 4 of the present invention, and FIG. 8B is a sectional view of FIG. 8A. It is sectional drawing which shows the QQ cross section from an arrow.
【図９】（ａ）は、本発明の実施の形態５に係る低エネ
ルギ電子線照射装置の要部を拡大して示す断面図であ
り、（ｂ）は、図９（ａ）の矢視Ｒ〜Ｒ断面を示す断面
図である。9A is an enlarged cross-sectional view showing a main part of a low energy electron beam irradiation apparatus according to Embodiment 5 of the present invention, and FIG. 9B is a view taken in the direction of an arrow in FIG. 9A. It is sectional drawing which shows RR cross section.
【図１０】（ａ）は、従来の低エネルギ電子線照射装置
の構成を概略的に示す断面図であり、（ｂ）は、図１０
（ａ）の矢視Ｐ〜Ｐ断面を拡大して示す断面図である。10A is a sectional view schematically showing the configuration of a conventional low-energy electron beam irradiation apparatus, and FIG.
It is sectional drawing which expands and shows the arrow P-P cross section of (a).
２ 真空容器、２ａ 真空容器外殻、２ｂ 真空容器フ
ランジ部、３ 電子線発生部、４ 引出用架台、５ 電
子線固定台、５，６ 電子線固定台、７，８支持棒固定
部、９，１０ フィラメント支持棒、１１ フィラメン
ト部、１２連結板、１３，１４ レール、１５，１６
円柱状碍子、１７、１８ 給電電極棒、１９ 反射板、
２０ 支持棒、２１ キャスタ、２２ 電源、２３、２
４電極ソケット部、２５、２６ 電源供給棒、２７、２
８ 電極板、２９、３０電源ソケット、３１ リニアガ
イド、３２ リニアガイドレール、４１ 低エネルギ電
子線照射装置、４２ 真空容器、４２ａ フランジ、４
２ｂ フランジ、４３ 電子線発生部、４３ａ 蓋、４
４ 固定台、４５ フィラメント部、４６電子線、４７
グリッド部、２３，２４ 電極ソケット部、４８ ア
ノード部、５１ 第１給電電極棒、５２ 第２給電電極
棒、５３ フィラメント部、５３、５４ フィラメント
部、５５、５６ 電源側電極ソケット、５７、５８ 電
極ソケット、５９ 電源電極棒、６１ 電極板、７１
フィラメント支持棒、７５スリーブ、７６ 連結板、７
７ レール溝、８１ アリ溝、８２ａ 真空容器外殻、
８３ 懸吊部、８４ 電子線固定台、８５ 電子線発生
部、９１ａ 溝、９２ａ 真空容器外殻、９３ａ、９３
ｂ ローラ、９４ 電子線固定台、１５２電極ソケット
部、１５５ フィラメント部。2 vacuum container, 2a vacuum container outer shell, 2b vacuum container flange part, 3 electron beam generating part, 4 drawer base, 5 electron beam fixing base, 5,6 electron beam fixing base, 7,8 support rod fixing part, 9 , 10 filament support rods, 11 filament parts, 12 connecting plates, 13, 14 rails, 15, 16
Cylindrical insulator, 17, 18 Feeding electrode rod, 19 Reflector,
20 support rods, 21 casters, 22 power supplies, 23, 2
4 electrode socket part, 25, 26 power supply rod, 27, 2
8 electrode plate, 29, 30 power socket, 31 linear guide, 32 linear guide rail, 41 low energy electron beam irradiation device, 42 vacuum container, 42a flange, 4
2b flange, 43 electron beam generator, 43a lid, 4
4 fixed stand, 45 filament part, 46 electron beam, 47
Grid part, 23, 24 Electrode socket part, 48 Anode part, 51 1st power supply electrode rod, 52 2nd power supply electrode rod, 53 Filament part, 53, 54 Filament part, 55, 56 Power supply side electrode socket, 57, 58 electrode Socket, 59 power electrode rod, 61 electrode plate, 71
Filament support rod, 75 sleeve, 76 connecting plate, 7
7 rail groove, 81 dovetail groove, 82a vacuum vessel outer shell,
83 Suspension Unit, 84 Electron Beam Fixing Stand, 85 Electron Beam Generating Unit, 91a Groove, 92a Vacuum Container Outer Shell, 93a, 93
b roller, 94 electron beam fixing base, 152 electrode socket part, 155 filament part.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大野 幸彦 兵庫県神戸市兵庫区和田崎町一丁目１番１ 号 三菱重工業株式会社神戸造船所内 Ｆターム(参考） 2C020 CA00 4F042 AA02 DB41 DB42 DB44 DB51 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page (72) Inventor Yukihiko Ohno 1-1 1-1 Wadasaki-cho, Hyogo-ku, Kobe-shi, Hyogo No. Mitsubishi Heavy Industries, Ltd.Kobe Shipyard F-term (reference) 2C020 CA00 4F042 AA02 DB41 DB42 DB44 DB51
Claims (9)
線発生部の一端にて、真空容器のフランジ部に固定され
る絶縁材製の第１電子線固定台と、 前記電子線発生部の他端にて、真空容器外殻の内面に複
数のキャスタを介して配設される第２電子線固定台とを
備え、 前記第１電子線固定台及び前記第２電子線固定台によっ
て前記電子線発生部を両端で支持することを特徴とする
長尺低エネルギ電子線照射装置。1. An elongated electron beam generator, a first electron beam fixing base made of an insulating material, which is fixed to a flange portion of a vacuum container at one end of the electron beam generator, and the electron beam. A second electron beam fixing base arranged on the inner surface of the outer shell of the vacuum container via a plurality of casters at the other end of the generating unit, wherein the first electron beam fixing base and the second electron beam fixing base are provided. A long low-energy electron beam irradiation apparatus, characterized in that the electron beam generator is supported at both ends by.
支持棒と、前記フィラメント支持棒の上面に配設される
レールと、前記レール上を摺動する連結板から懸吊され
る複数の円柱状碍子と、前記円柱状碍子によって導設さ
れる給電電極棒及び反射板とで構成されるフィラメント
部をさらに備え、前記フィラメント部を構成する各部材
を一体化することにより、前記フィラメント部をカート
リッジ式に構成したことを特徴とする請求項１記載の長
尺低エネルギ電子線照射装置。2. A filament support rod made of carbon composite, a rail disposed on an upper surface of the filament support rod, a plurality of cylindrical insulators suspended from a connecting plate sliding on the rail, and A cartridge-type filament section is further provided by further comprising a filament section composed of a power supply electrode rod and a reflection plate installed by a cylindrical insulator, and integrating each member constituting the filament section. The long low energy electron beam irradiation apparatus according to claim 1.
給するための電源供給棒をさらに備えることを特徴とす
る請求項２記載の長尺低エネルギ電子線照射装置。3. The long low-energy electron beam irradiation apparatus according to claim 2, further comprising a power supply rod for supplying power from the tip side of the filament portion.
部を支持棒固定部に固定し、前記電源供給棒は、前記支
持棒側に固定されていることを特徴とする請求項３記載
の長尺低エネルギ電子線照射装置。4. The support rod for supporting the power supply rod is fixed at both ends to a support rod fixing portion, and the power supply rod is fixed to the support rod side. Long low energy electron beam irradiation device.
たリニアガイドと、地上側に配設され、前記リニアガイ
ドを案内するリニアガイドレールとを備え、前記真空容
器外殻を縦引き可能に構成することにより、前記キャス
タを備えた第２電子線固定台の先端側を拘持しつつ、前
記真空容器と前記電子線発生部とを分離できるように構
成したことを特徴とする請求項１ないし４のいずれか記
載の長尺低エネルギ電子線照射装置。5. A vacuum guide is provided with a linear guide arranged on a leg of a drawer for a vacuum container and a linear guide rail arranged on the ground side for guiding the linear guide. The pullable structure allows the vacuum container and the electron beam generating unit to be separated while holding the tip side of the second electron beam fixing base having the casters. The long low-energy electron beam irradiation apparatus according to any one of claims 1 to 4.
フィラメント支持棒の上面を摺動する連結版を共有する
第１給電電極棒及び第２給電電極棒に２分割することに
より、前記第１給電電極棒及び前記第２給電電極棒をカ
ートリッジ化すると共に、前記第１給電電極棒には下方
の電極ソケットから給電し、前記第２給電電極棒には上
方の電源供給棒の先端部から給電する構造としたことを
特徴とする請求項２ないし５のいずれか記載の長尺低エ
ネルギ電子線照射装置。6. The first power feeding electrode rod of the filament part is divided into a first power feeding electrode rod and a second power feeding electrode rod that share a connecting plate that slides on the upper surface of the filament supporting rod, thereby dividing the first power feeding electrode rod. The electrode rod and the second power feeding electrode rod are made into a cartridge, and the first power feeding electrode rod is fed from the lower electrode socket, and the second power feeding electrode rod is fed from the tip portion of the upper power feeding rod. The long low energy electron beam irradiation apparatus according to any one of claims 2 to 5, which has a structure.
ングル型断面形状を有する前記フィラメント支持棒を長
手方向に複数に分割し、電子線発生部のスリーブに固定
したことを特徴とする請求項２ないし６のいずれか記載
の長尺低エネルギ電子線照射装置。7. The filament supporting rod having an angled sectional shape is divided into a plurality of pieces in the longitudinal direction while the filament portion is integrated, and the filament supporting rod is fixed to the sleeve of the electron beam generating portion. 6. The long low-energy electron beam irradiation device according to any one of 6 above.
設けると共に、前記電子線固定台に前記アリ溝と整合さ
れる懸吊部を設け、前記真空容器外殻と前記電子線発生
部との調芯及び移動を可能としたことを特徴とする請求
項１ないし７のいずれか記載の長尺低エネルギ電子線照
射装置。8. The dovetail groove is provided in the upper part of the inner surface of the vacuum vessel outer shell, and the suspension portion aligned with the dovetail groove is provided at the electron beam fixing base, and the vacuum vessel outer shell and the electron beam generating portion are provided. The long low-energy electron beam irradiation apparatus according to any one of claims 1 to 7, which is capable of aligning and moving with.
の溝を設けると共に、前記電子線固定台の前記コ字型溝
の対応位置にローラを設け、前記真空容器外殻より前記
電子線発生部を支持することを特徴とする請求項１ない
し８のいずれか記載の長尺低エネルギ電子線照射装置。9. The U-shaped groove is provided on both sides of the inner surface of the vacuum container outer shell, and a roller is provided at a position corresponding to the U-shaped groove of the electron beam fixing base. The long low-energy electron beam irradiation apparatus according to any one of claims 1 to 8, which supports an electron beam generation unit.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001341980A JP2003149398A (en) | 2001-11-07 | 2001-11-07 | Long low-energy electron-beam irradiating device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001341980A JP2003149398A (en) | 2001-11-07 | 2001-11-07 | Long low-energy electron-beam irradiating device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003149398A true JP2003149398A (en) | 2003-05-21 |
Family
ID=19155921
Family Applications (1)
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| JP2001341980A Withdrawn JP2003149398A (en) | 2001-11-07 | 2001-11-07 | Long low-energy electron-beam irradiating device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003149398A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005300327A (en) * | 2004-04-12 | 2005-10-27 | Iwasaki Electric Co Ltd | Electron beam irradiation device |
| JP2009194066A (en) * | 2008-02-13 | 2009-08-27 | Canon Anelva Engineering Corp | Heating apparatus |
| WO2021210239A1 (en) | 2020-04-13 | 2021-10-21 | 浜松ホトニクス株式会社 | Energy beam irradiation device |
-
2001
- 2001-11-07 JP JP2001341980A patent/JP2003149398A/en not_active Withdrawn
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP4520512B2 (en) * | 2008-02-13 | 2010-08-04 | キヤノンアネルバ株式会社 | Heating device |
| WO2021210239A1 (en) | 2020-04-13 | 2021-10-21 | 浜松ホトニクス株式会社 | Energy beam irradiation device |
| JP7434041B2 (en) | 2020-04-13 | 2024-02-20 | 浜松ホトニクス株式会社 | Energy ray irradiation device |
| EP4131322A4 (en) * | 2020-04-13 | 2024-06-19 | Hamamatsu Photonics Kk | Energy beam irradiation device |
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