JP2003148522A - Braking device for sliding member and measuring instrument using the same - Google Patents
Braking device for sliding member and measuring instrument using the sameInfo
- Publication number
- JP2003148522A JP2003148522A JP2001349203A JP2001349203A JP2003148522A JP 2003148522 A JP2003148522 A JP 2003148522A JP 2001349203 A JP2001349203 A JP 2001349203A JP 2001349203 A JP2001349203 A JP 2001349203A JP 2003148522 A JP2003148522 A JP 2003148522A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sliding member
- air
- braking device
- air pad
- axis spindle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Braking Arrangements (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は滑動部材の制動装置
およびこれを用いた測定機に関する。詳しくは、空気軸
受けを用いた滑動部材の制動装置およびこれを用いた測
定機に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a braking device for a sliding member and a measuring machine using the same. More specifically, it relates to a braking device for a sliding member that uses an air bearing and a measuring machine that uses the braking device.
【０００２】[0002]
【背景技術】三次元測定機は、先端に測定子を有するＺ
軸スピンドルを上下方向に昇降させるＺ方向駆動機構を
備えている。Ｚ方向駆動機構のなかには、Ｚ軸スピンド
ルが落下すると、危険が生じることから、Ｚ軸スピンド
ルが落下することを防止する落下防止機能を備えたＺ方
向駆動機構が知られている。例えば、図４に示すＺ方向
駆動機構、あるいは、図５に示すＺ方向駆動機構が知ら
れている。BACKGROUND ART A three-dimensional measuring machine is a Z having a probe at its tip.
A Z-direction drive mechanism for moving the shaft spindle up and down is provided. Among the Z-direction drive mechanisms, a Z-direction drive mechanism having a fall prevention function for preventing the Z-axis spindle from dropping is known because a danger occurs when the Z-axis spindle falls. For example, the Z-direction drive mechanism shown in FIG. 4 or the Z-direction drive mechanism shown in FIG. 5 is known.
【０００３】図４に示すＺ方向駆動機構は、下端に測定
子１３を有するＺ軸スピンドル１２と、このＺ軸スピン
ドル１２を垂直方向にガイドするガイド部材２２と、Ｚ
軸スピンドル１２の移動軸と平行に設けられたボールね
じ軸２２１と、Ｚ軸スピンドル１２に結合部材１２１を
介して取り付けられボールねじ軸２２１に螺合するボー
ルねじナット２２２と、ボールねじ軸２２１を回転駆動
させる駆動モータ２２３と、Ｚ軸スピンドル１２の落下
を防止するブレーキ装置４０Ａとを備えて構成されてい
る。The Z-direction drive mechanism shown in FIG. 4 has a Z-axis spindle 12 having a probe 13 at the lower end, a guide member 22 for vertically guiding the Z-axis spindle 12, and a Z-axis.
The ball screw shaft 221 provided parallel to the movement axis of the shaft spindle 12, the ball screw nut 222 attached to the Z-axis spindle 12 via the coupling member 121 and screwed to the ball screw shaft 221, and the ball screw shaft 221 It is configured to include a drive motor 223 that rotates and a brake device 40A that prevents the Z-axis spindle 12 from falling.
【０００４】ガイド部材２２はガイド筒部２２Ａを有
し、このガイド筒部２２ＡにＺ軸スピンドル１２が挿通
されている。ガイド筒部２２Ａの内周にはエアパッド２
４を有するエアベアリング２３が設けられ、Ｚ軸スピン
ドル１２との間にエア膜が形成されることにより、ガイ
ド部材２２とＺ軸スピンドル１２との間の摩擦抵抗が低
減されている。ガイド部材２２には、垂直上方に向かっ
て立設された支柱２５が設けられている。この支柱２５
の上端には、Ｚ軸スピンドル１２の上方を覆うように、
Ｚ軸スピンドル１２の移動軸に対して垂直なビーム２６
が形成されている。ボールねじ軸２２１は、Ｚ軸スピン
ドル１２の移動軸に対して平行で、かつ、一定の間隔を
隔てて設けられている。ボールねじ軸２２１の下端には
プーリが設けられるとともに、駆動モータ２２３にベル
ト２２４を介して連動されている。The guide member 22 has a guide cylinder portion 22A, and the Z-axis spindle 12 is inserted into the guide cylinder portion 22A. The air pad 2 is provided on the inner circumference of the guide tubular portion 22A.
4 is provided, and an air film is formed between the air bearing 23 and the Z-axis spindle 12, so that the frictional resistance between the guide member 22 and the Z-axis spindle 12 is reduced. The guide member 22 is provided with a column 25 standing upright vertically. This prop 25
At the upper end of the, so as to cover above the Z-axis spindle 12,
Beam 26 perpendicular to the axis of movement of Z-axis spindle 12
Are formed. The ball screw shaft 221 is provided parallel to the moving axis of the Z-axis spindle 12 and at a constant interval. A pulley is provided at the lower end of the ball screw shaft 221, and is linked to a drive motor 223 via a belt 224.
【０００５】ブレーキ装置４０Ａは、ボールねじ軸２２
１の上端に設けられたブレーキディスク４１と、支柱２
５に設けられた一対のブレーキパッド４２と、このブレ
ーキパッド４２をブレーキディスク４１に離接させるア
クチュエータ（不図示)とを備える。ブレーキ装置４０
Ａには、Ｚ方向駆動機構の異常（例えば、後述するエア
バランス装置の動作異常)を検出するセンサ（不図示)が
設けられ、このセンサが異常を検出したとき、ブレーキ
装置４０Ａのブレーキパッド４２がブレーキディスク４
１を強く挟みこむ構成となっている。The braking device 40A includes a ball screw shaft 22.
Brake disc 41 provided at the upper end of the
5 is provided with a pair of brake pads 42 and an actuator (not shown) for bringing the brake pads 42 into and out of contact with the brake disc 41. Braking device 40
A is provided with a sensor (not shown) that detects an abnormality of the Z-direction drive mechanism (for example, an operation abnormality of an air balance device described later). When this sensor detects an abnormality, the brake pad 42 of the brake device 40A is provided. Brake disc 4
1 is strongly sandwiched.
【０００６】Ｚ軸スピンドル１２には、ガイド部材２２
のガイド方向と略平行に支持軸２８が挿通されており、
この支持軸２８は支柱２５のビーム２６で上端を揺動支
持されている。この支持軸２８とＺ軸スピンドル１２の
間には、Ｚ軸スピンドル１２の重量に見合う押上力を発
生させるエアバランス装置１９が設けられているが、詳
しくは省略する。A guide member 22 is attached to the Z-axis spindle 12.
The support shaft 28 is inserted substantially parallel to the guide direction of
The upper end of the support shaft 28 is swingably supported by the beam 26 of the column 25. Between the support shaft 28 and the Z-axis spindle 12, there is provided an air balance device 19 for generating a pushing force commensurate with the weight of the Z-axis spindle 12, but detailed description thereof is omitted.
【０００７】このような構成において、ブレーキ装置４
０を開放した状態で、駆動モータ２２３を回転駆動させ
ると、ボールねじ軸２２１が回転される。すると、ボー
ルねじ軸２２１とボールねじナット２２２との螺合によ
ってボールねじナット２２２がボールねじ軸２２１に沿
って移動される。このボールねじナット２２２の駆動力
が結合部材１２１を介してＺ軸スピンドル１２に伝達さ
れるので、Ｚ軸スピンドル１２が上下方向に駆動され
る。ガイド部材２２とＺ軸スピンドル１２との間は、エ
アベアリング２３によって摩擦抵抗が低減されており、
また、エアバランス機構１９によってＺ軸スピンドル１
２の重量に見合う力でバランスされているので、Ｚ軸ス
ピンドル１２はなめらかに移動することが可能となる。In such a structure, the brake device 4
When the drive motor 223 is rotationally driven with 0 being released, the ball screw shaft 221 is rotated. Then, the ball screw nut 222 is moved along the ball screw shaft 221 by screwing the ball screw shaft 221 and the ball screw nut 222. Since the driving force of the ball screw nut 222 is transmitted to the Z-axis spindle 12 via the coupling member 121, the Z-axis spindle 12 is driven vertically. A friction resistance is reduced between the guide member 22 and the Z-axis spindle 12 by an air bearing 23.
Further, the Z-axis spindle 1 is controlled by the air balance mechanism 19.
The Z-axis spindle 12 can move smoothly because the Z-axis spindle 12 is balanced by a force commensurate with its weight.
【０００８】次に、Ｚ軸スピンドル１２の落下防止機能
の作用について説明する。例えば、ボールねじ軸２２１
を駆動させる駆動モータ２２３がフリーの状態であった
り、エアバランス装置１９が作動しない異常が生じた場
合、Ｚ軸スピンドル１２の重量がボールねじナット２２
２を介してボールねじ軸２２１にかかっているので、ボ
ールねじ軸２２１がＺ軸スピンドル１２の重量で回転さ
れる。このとき、このような異常がセンサで検出される
と、ブレーキパッド４２によってディスクブレーキ４１
が強く挟持される。ブレーキディスク４１が挟持されて
回転が停止されると、ボールねじ軸２２１の回転が停止
されるので、Ｚ軸スピンドル１２の落下が防止される。Next, the operation of the fall prevention function of the Z-axis spindle 12 will be described. For example, the ball screw shaft 221
When the drive motor 223 that drives the Z-axis spindle 12 is in a free state or when an abnormality occurs in which the air balance device 19 does not operate, the weight of the Z-axis spindle 12 is reduced.
Since the ball screw shaft 221 is engaged with the ball screw shaft 221, the ball screw shaft 221 is rotated by the weight of the Z-axis spindle 12. At this time, when such an abnormality is detected by the sensor, the brake pads 42 cause the disc brake 41 to move.
Is strongly pinched. When the brake disc 41 is clamped and its rotation is stopped, the rotation of the ball screw shaft 221 is stopped, so that the Z-axis spindle 12 is prevented from falling.
【０００９】一方、図５に示すＺ方向駆動機構は、図４
のＺ方向駆動機構と略同一の構成要素から構成されると
ともに、ブレーキ装置４０ＢがＺ軸スピンドルの側面に
設けられたものである。このブレーキ装置４０Ｂは、支
柱２５からガイド部材２２に向かってＺ軸スピンドル１
２の移動方向と平行に設けられたバー４３と、Ｚ軸スピ
ンドル１２の上端部側面に設けられ、バー４３に離接さ
れる一対のブレーキパッド４４と、このブレーキパッド
４２を駆動させるアクチュエータ（不図示)と、Ｚ方向
駆動機構の異常を検出するセンサとを備えている。この
ような構成において、センサによって異常が検出される
と、ブレーキパッド４４がバー４３を強く挟持するの
で、Ｚ軸スピンドル１２の落下が防止される。On the other hand, the Z-direction drive mechanism shown in FIG.
The Z-direction drive mechanism is composed of substantially the same components, and the brake device 40B is provided on the side surface of the Z-axis spindle. The brake device 40B is configured such that the Z-axis spindle 1 moves from the support 25 toward the guide member 22.
2 and a pair of brake pads 44 provided on the side surface of the upper end portion of the Z-axis spindle 12 and separated from and in contact with the bar 43, and an actuator for driving the brake pad 42. (Shown) and a sensor for detecting an abnormality in the Z-direction drive mechanism. In such a configuration, when the sensor detects an abnormality, the brake pad 44 strongly holds the bar 43, so that the Z-axis spindle 12 is prevented from falling.
【００１０】[0010]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
滑動部材の制動装置には次のような問題があった。Ｚ軸
スピンドル１２の落下を防止するブレーキ装置４０Ａ、
４０Ｂは、Ｚ方向駆動機構とは別に、ブレーキディスク
４１、ブレーキパッド４２およびブレーキパッド４２を
駆動させるアクチュエータ等、あるいは、バー４３、ブ
レーキパッド４４およびブレーキパッド４４を駆動させ
るアクチュエータ等を備えている。そのため、これらを
設置するスペースを特別に用意する必要があり、装置の
大型化に繋がっていた。さらに、これらの部品も特別に
必要となることからコスト高に繋がっていた。However, the conventional braking device for a sliding member has the following problems. A brake device 40A for preventing the Z-axis spindle 12 from falling,
40B is provided with a brake disc 41, a brake pad 42, an actuator for driving the brake pad 42, or an actuator for driving the bar 43, the brake pad 44, and the brake pad 44, etc., in addition to the Z-direction drive mechanism. Therefore, it is necessary to specially prepare a space for installing these, which leads to an increase in size of the device. Further, these parts are also required specially, which leads to high cost.
【００１１】本発明の目的は、従来の問題を解消し、簡
便な構成で小型化、低コスト化を図ることができる昇降
部材の落下防止装置に代表される滑動部材の制動装置を
提供し、あわせて、低コスト化、小型化を図ることがで
きる測定機を提供することにある。An object of the present invention is to provide a sliding member braking device typified by a fall prevention device for an elevating member, which is capable of solving the problems of the prior art, and having a simple structure, which enables reduction in size and cost. At the same time, it is to provide a measuring device that can be reduced in cost and size.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の滑動部
材の制動装置は、ガイド手段によって滑動可能にガイド
された滑動部材の制動装置であって、前記ガイド手段
は、前記滑動部材の外側面を挟むように形成されたガイ
ドフレームと、前記滑動部材の対向する外側面を挟むよ
うに前記ガイドフレームに配置され、かつ、これらの外
側面にエアを噴出するエアパッドとを含んで構成され、
前記エアパッドからエアが前記滑動部材の対向する外側
面に向けて噴出されると、前記エアパッドと前記滑動部
材の外側面との間にクリアランスが生じ、前記エアパッ
ドからのエアが遮断されると、前記エアパッドが前記滑
動部材の外側面を押圧するように前記エアパッドに予圧
を与える予圧力付与手段を備えることを特徴とする。A braking device for a sliding member according to claim 1 is a braking device for a sliding member slidably guided by a guide means, wherein the guide means is outside the sliding member. A guide frame formed so as to sandwich the side surface, and arranged in the guide frame so as to sandwich the opposing outer surface of the sliding member, and is configured to include an air pad for ejecting air to these outer surfaces,
When air is ejected from the air pad toward the outer surfaces of the sliding member that face each other, a clearance is generated between the air pad and the outer surface of the sliding member, and when the air from the air pad is blocked, the It is characterized in that the air pad is provided with a pre-load applying means for applying a pre-load to the air pad so as to press the outer surface of the sliding member.
【００１３】このような構成において、ガイド手段のガ
イドフレームに配置されたエアパッドからエアが滑動部
材に対して噴出されると、滑動部材の外側面にエア膜に
よる空気軸受け（エアベアリング）が形成される。する
と、エアパッドと滑動部材との間に空気軸受けによるク
リアランスが生じることから、滑動部材がガイド手段に
ガイドされながら摩擦抵抗を受けることなくなめらかに
移動される。一方、エアパッドからのエアが遮断され、
エア膜による空気軸受けが消滅されると、予圧力付与手
段によってエアパッドが滑動部材の外側面に対して押圧
される。すると、滑動部材とエアパッドとの間に摩擦力
が生じ、この摩擦力によって滑動部材の移動が制動され
る。そのため、測定子の測定対象物への衝突などの異常
を検出し、エアパッドのエアを遮断することによって、
滑動部材を制動して停止させることが出来る。In such a structure, when air is ejected from the air pad arranged on the guide frame of the guide means to the sliding member, an air bearing (air bearing) is formed by an air film on the outer surface of the sliding member. It Then, a clearance is created between the air pad and the sliding member by the air bearing, so that the sliding member is smoothly moved without being subjected to frictional resistance while being guided by the guide means. On the other hand, the air from the air pad is blocked,
When the air bearing by the air film disappears, the preload applying means presses the air pad against the outer surface of the sliding member. Then, a frictional force is generated between the sliding member and the air pad, and the frictional force damps the movement of the sliding member. Therefore, by detecting the abnormality such as the collision of the probe to the measurement object, and shutting off the air of the air pad,
The sliding member can be braked and stopped.
【００１４】請求項２に記載の滑動部材の制動装置は、
請求項１に記載の滑動部材の制動装置において、前記予
圧力付与手段は、前記ガイドフレームで構成され、前記
ガイドフレームは、前記エアパッドから前記滑動部材の
対向する外側面に向けてエアが噴出されると、前記エア
パッドと前記滑動部材の外側面との間にクリアランスが
生じるように弾性変形して拡幅され、かつ、前記エアパ
ッドからのエアが遮断されると、前記エアパッドが前記
滑動部材の外側面を押圧して前記エアパッドに予圧を与
えるように復元される材料および／または形状の選択に
よって形成されていることを特徴とする。A braking device for a sliding member according to a second aspect is
The braking device for a sliding member according to claim 1, wherein the preload applying unit includes the guide frame, and the guide frame ejects air from the air pad toward an outer surface of the sliding member that faces the sliding member. Then, the air pad is elastically deformed and widened so that a clearance is generated between the air pad and the outer surface of the sliding member, and when the air from the air pad is blocked, the air pad is moved to the outer surface of the sliding member. Is formed by selecting a material and / or a shape that is restored so as to apply a preload to the air pad.
【００１５】このような構成において、エアパッドから
エアが噴出されると、滑動部材を挟み込んでいるガイド
フレームがエア圧によって弾性変形し拡幅される。する
と、エアパッドと滑動部材との間にエア膜によるクリア
ランスが生じ、滑動部材がガイド手段にガイドされなが
ら摩擦抵抗を受けることなくなめらかに移動される。エ
アパッドからのエアが遮断されると、ガイドフレームを
拡幅させていたエア圧がなくなるので、ガイドフレーム
が滑動部材を挟み込むように復元される。ガイドフレー
ムが復元されると、エアパッドから滑動部材に予圧力が
与えられるので、滑動部材とエアパッドの間に生じる摩
擦力によって、滑動部材の移動が制動される。よって、
エアパッドのエアを遮断することによって、滑動部材が
移動中であれば制動されて停止し、また、停止中であれ
ば、移動が阻止される。本発明において、予圧力付与手
段は、滑動部材をガイドするガイドフレームであるの
で、予圧力を発生させるための特別な動力源を必要とし
ない。よって、本発明の制動装置はスペースを必要とせ
ず、また、部品も必要としないので、例えば、この制動
装置を非常停止装置として用いれば、この制動装置を利
用した測定機等の大きさや重量が増すことなく、小型
化、低コスト化を画期的に図ることができるという優れ
た効果を奏することができる。In such a structure, when air is ejected from the air pad, the guide frame sandwiching the sliding member is elastically deformed and widened by the air pressure. Then, a clearance is created by the air film between the air pad and the sliding member, and the sliding member is smoothly moved without being subjected to frictional resistance while being guided by the guide means. When the air from the air pad is cut off, the air pressure that has widened the guide frame disappears, so that the guide frame is restored so as to sandwich the sliding member. When the guide frame is restored, a preload is applied to the sliding member from the air pad, so that the movement of the sliding member is damped by the frictional force generated between the sliding member and the air pad. Therefore,
By shutting off the air in the air pad, the sliding member is braked and stopped when the sliding member is moving, and is blocked when the sliding member is stopped. In the present invention, the preload applying means is a guide frame for guiding the sliding member, and thus does not require a special power source for generating the preload. Therefore, the braking device of the present invention does not require a space and does not require any parts. Therefore, for example, if this braking device is used as an emergency stop device, the size and weight of a measuring machine or the like using this braking device is reduced. It is possible to achieve an excellent effect that the size and cost can be remarkably reduced without increasing the number.
【００１６】請求項３に記載の滑動部材の制動装置は、
請求項１に記載の滑動部材の制動装置において、前記予
圧力付与手段は、前記ガイドフレームと前記エアパッド
との間に設けられ、前記エアパッドを前記滑動部材の外
側面に押圧する弾性部材によって構成されていることを
特徴とする。A braking device for a sliding member according to claim 3 is
The braking device for the sliding member according to claim 1, wherein the preload applying unit is provided between the guide frame and the air pad, and is configured by an elastic member that presses the air pad against an outer surface of the sliding member. It is characterized by
【００１７】このような構成において、エアパッドから
エアが噴出されると、弾性部材がエア圧によって弾性変
形して圧縮される。すると、エアパッドと滑動部材との
間にエア膜によるクリアランスが生じ、滑動部材が摩擦
抵抗を受けることなくなめらかにガイド方向に移動され
る。エアパッドからのエアが遮断されると、弾性部材を
圧縮していたエア圧がなくなるので、弾性部材がエアパ
ッドを滑動部材の外側面に押圧するように復元される。
弾性部材が復元されると、エアパッドから滑動部材に予
圧力が与えられるので、滑動部材とエアパッドの間に生
じる摩擦力によって、滑動部材が制動されて移動が阻止
される。本発明において、予圧力付与手段は、弾性部材
によって構成されているので、予圧力を発生させるため
の特別な動力源を必要としない。よって、本発明の制動
装置は制動力源を設置するスペースを必要とせず、この
制動装置を非常停止装置として用いれば、この制動装置
を利用した測定機等の大きさや重量が増すことなく、小
型化、低コスト化を画期的に図ることができるという優
れた効果を奏することができる。In such a structure, when air is ejected from the air pad, the elastic member is elastically deformed and compressed by the air pressure. Then, a clearance is created by the air film between the air pad and the sliding member, and the sliding member is smoothly moved in the guide direction without receiving frictional resistance. When the air from the air pad is cut off, the air pressure that has compressed the elastic member disappears, so that the elastic member is restored to press the air pad against the outer surface of the sliding member.
When the elastic member is restored, a pre-pressure is applied to the sliding member from the air pad, so that the sliding member is braked and prevented from moving by the frictional force generated between the sliding member and the air pad. In the present invention, the preload applying means does not require a special power source for generating the preload because it is composed of the elastic member. Therefore, the braking device of the present invention does not require a space for installing a braking force source, and when this braking device is used as an emergency stop device, the size and weight of a measuring machine or the like using this braking device is not increased, and the size is reduced. It is possible to achieve an excellent effect that the cost reduction and the cost reduction can be achieved remarkably.
【００１８】請求項４に記載の滑動部材の制動装置は、
請求項１〜３のいずれかに記載の滑動部材の制動装置に
おいて、少なくとも前記滑動部材の対向する外側面また
は前記エアパッドのいずれかの表面材質はアルミニウム
であり、その表面に硬質アルマイト処理を施したことを
特徴とする。A braking device for a sliding member according to claim 4 is
In the braking device for a sliding member according to any one of claims 1 to 3, at least one of the facing outer surfaces of the sliding member or the surface material of the air pad is aluminum, and the surface thereof is subjected to a hard alumite treatment. It is characterized by
【００１９】従来の空気軸受けを用いた滑動装置は、そ
の軽量化や加工の容易さ、あるいは温度分布の均一化を
図る目的から、滑動部材や空気軸受けのエアパッドにア
ルミニウムを用いることが多い。これに対して、アルミ
ニウムはその硬度の低さから、空気軸受けにおいて、エ
ア膜が形成されていない状態（つまり滑動部材とエアパ
ッドが接触している状態）でガイド方向に滑動部材を相
対移動させると、いわゆる「かじり」を生じて致命的な
故障となる。ここで、空気軸受けを形成する滑動部材と
エアパッドのアルミニウムの表面に硬質アルマイト処理
を施すことによって、その硬度を確保することができ
る。これによって、かじりの発生を回避できるだけでは
なく、空気軸受けのエア膜を消滅させてエアパッドを滑
動部材に押圧することにより、エアパッドをブレーキパ
ッドとして用いることが出来るようになる。その結果、
滑動部材とエアパッドの間に生じる摩擦力によって、滑
動部材が移動中は制動されて移動が停止し、また、停止
中は移動が阻止される。In the conventional sliding device using the air bearing, aluminum is often used for the sliding member and the air pad of the air bearing for the purpose of weight reduction, easy processing, and uniform temperature distribution. On the other hand, since aluminum has low hardness, when the air bearing is not formed with the air film (that is, the sliding member and the air pad are in contact with each other), the sliding member is relatively moved in the guide direction. , So-called "galling" occurs, resulting in a fatal failure. Here, the hardness can be secured by performing a hard alumite treatment on the surfaces of the sliding member forming the air bearing and the aluminum of the air pad. Thus, not only the occurrence of galling can be avoided, but the air pad can be used as a brake pad by eliminating the air film of the air bearing and pressing the air pad against the sliding member. as a result,
Due to the frictional force generated between the sliding member and the air pad, the sliding member is braked to stop the movement during the movement, and the movement is blocked during the stop.
【００２０】本発明において、エア膜を消滅させるため
にエア配管に挿入した弁を閉鎖するのみで良いため、制
動力を発生させるための特別な動力源を必要としない。
よって、本発明の制動装置は動力源を設置するスペース
を必要とせず、この制動装置を非常停止装置として用い
れば、この制動装置を利用した測定機等の大きさや重量
が増すことなく、小型化、低コスト化を画期的に図るこ
とができるという優れた効果を奏することができる。In the present invention, since it is only necessary to close the valve inserted in the air pipe in order to eliminate the air film, no special power source for generating the braking force is required.
Therefore, the braking device of the present invention does not require a space for installing a power source, and when this braking device is used as an emergency stop device, the size and weight of a measuring machine using this braking device is not increased, and the size is reduced. In addition, it is possible to achieve an excellent effect that the cost can be significantly reduced.
【００２１】請求項５に記載の滑動部材の制動装置は、
請求項１〜３のいずれかに記載の滑動部材の制動装置に
おいて、少なくとも前記滑動部材の対向する外側面また
は前記エアパッドのいずれかの表面材質がターカイトで
あることを特徴とする。A braking device for a sliding member according to claim 5 is
The braking device for a sliding member according to any one of claims 1 to 3, wherein at least one of the facing outer surfaces of the sliding member or the air pad has a surface material of turkite.
【００２２】この構成では、ターカイトは薄板状とし
て、滑動部材の外側面あるいはエアパッドの表面に接着
などにより固定するか、あるいは、エアパッド自体をタ
ーカイトとする。ターカイトは、その表面が硬質且つ平
滑性が高いので、このような構成とすることにより、空
気軸受けの性能を劣化させることなく、かじりの発生を
回避でき、さらに空気軸受けのエア膜を消滅させてエア
パッドを滑動部材に押圧することにより、エアパッドを
ブレーキパッドとして用いることが出来るようになる。
つまり、滑動部材とエアパッドの間に生じる摩擦力によ
って、滑動部材が移動中は制動されて移動が停止し、ま
た、停止中は移動が阻止される。In this structure, the turkite is in the form of a thin plate and is fixed to the outer surface of the sliding member or the surface of the air pad by adhesion or the air pad itself is used as the turkite. Since the surface of Turkite is hard and has high smoothness, by adopting such a structure, it is possible to avoid the occurrence of galling without degrading the performance of the air bearing, and further to eliminate the air film of the air bearing. By pressing the air pad against the sliding member, the air pad can be used as a brake pad.
That is, due to the frictional force generated between the sliding member and the air pad, the sliding member is braked to stop the movement during the movement, and the movement is stopped during the stop.
【００２３】請求項６に記載の滑動部材の制動装置は、
請求項１〜５のいずれかに記載の滑動部材の制動装置に
おいて、前記滑動部材は、前記ガイド手段によって上下
方向へ昇降可能にガイドされた昇降部材であり、前記ガ
イド手段によるガイド方向と略平行に配置された支持軸
を更に備え、前記昇降部材および前記支持軸のいずれか
一方に設けられたピストン並びに前記昇降部材および前
記支持軸のいずれか他方に設けられて前記ピストンが摺
動可能に収納されるシリンダ室を有し、前記ピストンで
区画された前記シリンダ室のいずれかの室に供給される
エア圧によって前記昇降部材の重量に見合う押上力を発
生するエアバランス装置を更に備えたことを特徴とす
る。A braking device for a sliding member according to a sixth aspect is
The braking device for a sliding member according to any one of claims 1 to 5, wherein the sliding member is an elevating member that is vertically movable up and down by the guide means, and is substantially parallel to a guide direction of the guide means. And a piston provided on either one of the lifting member and the support shaft, and a piston provided on the other one of the lifting member and the support shaft so that the piston is slidably accommodated. And an air balance device for generating a pushing force commensurate with the weight of the lifting member by the air pressure supplied to one of the cylinder chambers defined by the piston. Characterize.
【００２４】このような構成において、ガイド手段のガ
イドフレームに配置されたエアパッドからエアが昇降部
材に対して噴出されると、昇降部材の外側面にエア膜に
よる空気軸受けが形成される。すると、エアパッドと昇
降部材との間に空気軸受けによるクリアランスが生じる
ことから、昇降部材がガイド手段にガイドされながら摩
擦抵抗を受けることなくなめらかに上下方向に移動され
る。ピストンで区画されたいずれかの室にエアが供給さ
れると、昇降部材の重量に見合う押上力が昇降部材に作
用し、昇降部材の重量を支えなくてもよいので、昇降部
材の移動を軽い力で行うことができる。一方、エアパッ
ドからのエアが遮断され、エア膜による空気軸受けが消
滅されると、予圧力付与手段によってエアパッドが昇降
部材の外側面に対して押圧される。すると、昇降部材と
エアパッドとの間に摩擦力が生じ、この摩擦力によって
昇降部材の落下が阻止される。そのため、異常（例え
ば、エアバランス装置の動作異常）を検出し、エアパッ
ドのエアを遮断することによって、昇降部材の落下を防
止することができる。In such a structure, when air is ejected from the air pad arranged on the guide frame of the guide means to the elevating member, an air bearing is formed by an air film on the outer surface of the elevating member. Then, a clearance is created between the air pad and the elevating member by the air bearing, so that the elevating member is smoothly moved in the vertical direction while being guided by the guide means without receiving frictional resistance. When air is supplied to one of the chambers partitioned by the piston, a lifting force commensurate with the weight of the elevating member acts on the elevating member and the weight of the elevating member does not have to be supported. It can be done by force. On the other hand, when the air from the air pad is cut off and the air bearing by the air film disappears, the preload applying means presses the air pad against the outer surface of the elevating member. Then, a frictional force is generated between the lifting member and the air pad, and this frictional force prevents the lifting member from falling. Therefore, by detecting an abnormality (for example, an operation abnormality of the air balance device) and shutting off the air of the air pad, it is possible to prevent the lifting member from falling.
【００２５】従来の昇降部材の落下防止装置において
は、ディスクブレーキやこのディスクブレーキを駆動さ
せるアクチュエータなどを備えている必要があったた
め、そのための特別の設置スペースにより大型化された
り、これら部品などを用意することにより高コストに繋
がっていた。しかしながら、本発明の制動装置を落下防
止装置として用いることにより、エアパッドで昇降部材
を挟み込み、その摩擦力で昇降部材の落下を防止するこ
とが出来る。さらに、エアパッドのエアを遮断するだけ
でよいので、例えば、エアパッドにエアを送る配管の途
中に弁を設けるなどの簡単な構成によればよく、ディス
クブレーキを駆動させるような駆動装置も必要とされな
い。よって、特別な設置スペースを設ける必要もなく、
また、部品も必要とされない。その結果、コンパクトで
かつ低コストで製造できる昇降部材の落下防止装置を構
成することができる。The conventional lifting / lowering member fall prevention device needs to be equipped with a disc brake, an actuator for driving the disc brake, and the like, so that the special installation space for the device makes the device larger and these parts and the like are not required. It was linked to high cost by preparing. However, by using the braking device of the present invention as a fall prevention device, it is possible to prevent the lifting member from falling due to the frictional force of the lifting member sandwiched by the air pads. Further, since it is only necessary to shut off the air from the air pad, a simple structure such as providing a valve in the middle of a pipe for sending air to the air pad may be used, and a drive device for driving the disc brake is not required. . Therefore, there is no need to provide a special installation space,
Also, no parts are required. As a result, it is possible to configure a fall prevention device for the lifting member that is compact and can be manufactured at low cost.
【００２６】請求項７に記載の測定機は、請求項１〜６
のいずれかに記載の滑動部材の制動装置を用いて、測定
対象物の位置および／または座標を測定するための測定
子を移動させる移動機構を構成していることを特徴とす
る。このような構成によれば、請求項１〜６に記載の発
明を利用した測定機を構成することができるので、小型
化、低コスト化を図ることができる測定機とすることが
できる。The measuring machine according to claim 7 is the measuring machine according to any one of claims 1 to 6.
The sliding device braking device described in any one of the above 1 to 4 is used to configure a moving mechanism that moves a tracing stylus for measuring the position and / or coordinates of a measurement target. With such a configuration, it is possible to configure the measuring instrument utilizing the invention described in claims 1 to 6, and thus the measuring instrument can be downsized and reduced in cost.
【００２７】[0027]
【発明の実施の形態】以下、本発明にかかる滑動部材の
制動装置およびこれを用いた測定機の実施の形態を図示
例と共に説明する。
（第一実施形態)図１は、本発明にかかる滑動部材の制
動装置を測定機としての三次元測定機１に用いた一実施
形態である。この三次元測定機１は、測定対象物を載置
するベース２と、測定子１３を移動させる移動機構を備
えて構成されており、この移動機構として、測定子１３
をＹ方向へ移動させるＹ方向駆動機構３と、測定子１３
をＸ方向へ移動させるＸ方向駆動機構７と、測定子１３
をＺ方向へ移動させる落下防止機能を有するＺ方向駆動
機構１１を備えている。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of a sliding member braking device and a measuring machine using the same according to the present invention will be described below with reference to the drawings. (First Embodiment) FIG. 1 is an embodiment in which a braking device for a sliding member according to the present invention is used in a coordinate measuring machine 1 as a measuring machine. The coordinate measuring machine 1 is configured to include a base 2 on which an object to be measured is placed and a moving mechanism for moving the tracing stylus 13. As the moving mechanism, the tracing stylus 13 is used.
Direction drive mechanism 3 for moving the
X-direction drive mechanism 7 for moving the
A Z-direction drive mechanism 11 having a fall prevention function for moving in the Z direction is provided.
【００２８】ベース２は測定対象物を載置するために精
密平坦加工された上面を備える四角柱状である。説明の
ために、ベース２の上面で互いに直交する二方向をそれ
ぞれＸ方向、Ｙ方向とし、ベース２の上面に垂直な方向
をＺ方向とする。Ｙ方向駆動機構３は、ベース２上でＹ
方向に設けられたＹガイドレール４と、このＹガイドレ
ール４に沿って移動可能に設けられたＹスライダ５Ｌ
と、Ｙスライダ５Ｌと対になってベース２上をＹ方向へ
移動するＹスライダ６Ｒとを備えて構成されている。な
お、Ｙガイドレール４とＹスライダ５Ｌ、ベース２とＹ
スライダ６Ｒとの間にはエアベアリングが設けられてい
るが、説明を省略する。The base 2 is a quadrangular prism having an upper surface that is precision-flattened for mounting an object to be measured. For the sake of explanation, two directions orthogonal to each other on the upper surface of the base 2 are referred to as an X direction and a Y direction, respectively, and a direction perpendicular to the upper surface of the base 2 is referred to as a Z direction. The Y-direction drive mechanism 3 moves on the base 2 in the Y direction.
Direction Y guide rail 4 and a Y slider 5L movably provided along the Y guide rail 4.
And a Y slider 6R that moves in the Y direction on the base 2 in pairs with the Y slider 5L. In addition, the Y guide rail 4 and the Y slider 5L, the base 2 and the Y
An air bearing is provided between the slider 6R and the slider 6R, but the description thereof is omitted.
【００２９】Ｘ方向駆動機構７は、Ｙスライダ５ＬとＹ
スライダ６Ｒに両端を支持された長手状のガイド部材で
あるＸビーム８と、Ｘビーム８の長手方向に沿って移動
可能に設けられた可動部材であるＸスライダ９と、Ｘス
ライダ９を移動させるＸスライダ駆動手段１０とを備え
て構成されている。Ｘビーム８は、長柱状であり、両端
がＹスライダ５ＬとＹスライダ６Ｒの上に支持され、Ｙ
方向スライド機構３がＹ方向にスライドされると、Ｘビ
ーム８もＹ方向に移動される。Ｘスライダ９は、Ｘビー
ム８に沿ってスライド可能に設けられている。Ｘスライ
ダ９とＸビーム８との間にはエアベアリングが設けられ
ているが詳細は省略する。The X-direction drive mechanism 7 includes a Y slider 5L and a Y slider 5L.
The X-beam 8 which is a longitudinal guide member whose both ends are supported by the slider 6R, the X-slider 9 which is a movable member movably provided along the longitudinal direction of the X-beam 8, and the X-slider 9 are moved. The X slider driving means 10 is provided. The X beam 8 has a long columnar shape, both ends of which are supported on the Y slider 5L and the Y slider 6R.
When the direction slide mechanism 3 is slid in the Y direction, the X beam 8 is also moved in the Y direction. The X slider 9 is slidably provided along the X beam 8. An air bearing is provided between the X slider 9 and the X beam 8, but details thereof will be omitted.
【００３０】Ｚ方向駆動機構１１は、図２に示されるよ
うに、昇降部材（滑動部材）としてのＺ軸スピンドル１
２と、このＺ軸スピンドル１２を垂直方向にガイドする
ガイド手段としてのガイドフレーム２２およびこのガイ
ドフレーム２２に設けられたエアパッド２４と、上端を
揺動支持され下端にピストン２９を有しＺ軸スピンドル
１２の重心近傍を通るようにＺ軸スピンドル１２に挿通
された支持軸２８と、前記Ｚ軸スピンドル１２と支持軸
２８との間に設けられた摩擦駆動手段１４と、これらを
ハウジングするハウジング部３２とを備えて構成されて
いる。As shown in FIG. 2, the Z-direction drive mechanism 11 includes a Z-axis spindle 1 as an elevating member (sliding member).
2, a guide frame 22 as a guide means for vertically guiding the Z-axis spindle 12, an air pad 24 provided on the guide frame 22, an upper end swingably supported, and a piston 29 at the lower end. A support shaft 28 inserted into the Z-axis spindle 12 so as to pass through the vicinity of the center of gravity of 12, a friction drive means 14 provided between the Z-axis spindle 12 and the support shaft 28, and a housing portion 32 housing these. And is configured.
【００３１】Ｚ軸スピンドル１２は、長角柱状に形成さ
れ、ガイドフレーム２２によって垂直方向にガイドされ
ている。Ｚ軸スピンドル１２の下端には測定対象物に接
触し、測定対象物の位置および／または座標を測定する
ための測定子１３が設けられている。Ｚ軸スピンドル１
２はアルミニウムで形成されており、その表面は硬質ア
ルマイト処理が施されている。The Z-axis spindle 12 is formed in a long prism shape and is vertically guided by the guide frame 22. The lower end of the Z-axis spindle 12 is provided with a tracing stylus 13 that comes into contact with the measurement target and measures the position and / or coordinates of the measurement target. Z-axis spindle 1
2 is made of aluminum, and the surface thereof is hard alumite treated.
【００３２】摩擦駆動手段１４は、支持軸２８を相挟み
込む一対のローラである駆動ローラ１５および従動ロー
ラ１６と、駆動ローラ１５を駆動させるモータ１７とを
備えて構成されている。駆動ローラ１５と従動ローラ１
６は所定の押圧力で支持軸２８を挟み込み、両ローラ１
５、１６と支持軸２８との間で生じる摩擦力で両ローラ
１５、１６が支持軸２８に対して空転しない構成となっ
ている。駆動ローラ１５とモータ１７にはベルト１８が
掛け渡され、ベルト１８を介してモータ１７の動力が駆
動ローラ１５に伝達される。The friction drive means 14 is composed of a drive roller 15 and a driven roller 16 which are a pair of rollers which sandwich the support shaft 28 therebetween, and a motor 17 which drives the drive roller 15. Drive roller 15 and driven roller 1
The reference numeral 6 designates both rollers 1 by sandwiching the support shaft 28 with a predetermined pressing force.
The rollers 15 and 16 do not idle with respect to the support shaft 28 due to a frictional force generated between the support shaft 28 and the rollers 5 and 16. A belt 18 is stretched around the drive roller 15 and the motor 17, and the power of the motor 17 is transmitted to the drive roller 15 via the belt 18.
【００３３】Ｚ軸スピンドル１２の内部にはエアバラン
ス装置１９が設けられている。このエアバランス装置１
９は、Ｚ軸スピンドル１２に設けられたシリンダ室２０
と、支持軸２８のピストン２９とから構成されている。
Ｚ軸スピンドル１２の重心を通るようにＺ軸スピンドル
１２の軸に沿ってシリンダ室２０が設けられている。こ
のシリンダ室２０には支持軸２８の下端に設けられたピ
ストン２９が摺動可能に挿通されている。ピストン２９
に区画されたシリンダ室２０のうち、支持軸側の室２０
１には、この室２０１にエアを供給する噴気孔２１が設
けられている。エアは、シリンダ室２０の支持軸側の室
２０１の内圧によってＺ軸スピンドル１２の重量に見合
う押上力を発生させる程度の圧力でもって供給される。
なお、図示していないが、Ｚ方向駆動機構の異常として
エアバランス装置１９のエア圧の低下を検出する検出セ
ンサ（不図示)が設けられている。An air balance device 19 is provided inside the Z-axis spindle 12. This air balance device 1
9 is a cylinder chamber 20 provided in the Z-axis spindle 12.
And a piston 29 of the support shaft 28.
A cylinder chamber 20 is provided along the axis of the Z-axis spindle 12 so as to pass through the center of gravity of the Z-axis spindle 12. A piston 29 provided at the lower end of a support shaft 28 is slidably inserted into the cylinder chamber 20. Piston 29
Of the cylinder chambers 20 partitioned into
1 is provided with a fumarole 21 for supplying air to this chamber 201. The air is supplied with a pressure to generate a pushing force commensurate with the weight of the Z-axis spindle 12 by the internal pressure of the chamber 201 on the support shaft side of the cylinder chamber 20.
Although not shown, a detection sensor (not shown) that detects a decrease in the air pressure of the air balance device 19 as an abnormality of the Z-direction drive mechanism is provided.
【００３４】ガイドフレーム２２は、筒状に形成され、
筒孔を垂直方向に向けた状態でＸスライダ９に設けられ
ている。Ｚ軸スピンドル１２がこのガイドフレーム２２
に上下方向に昇降可能に挿通されている。ガイドフレー
ム２２とＺ軸スピンドル１２との間にはエアベアリング
２３が設けられている。エアベアリング２３は、エアパ
ッド２４がガイドフレーム２２の筒孔に設けられ、この
エアパッド２４からＺ軸スピンドル１２の摺動面にエア
が噴気されることによって形成されている。エアパッド
には、エアパッドにエアを送るための空気配管（不図
示)が設けられ、この空気配管の途中には、エアを通気
もしくは遮断するための弁が設けられている。この弁
は、検出センサからＺ軸スピンドルが落下を始めたこと
を示す信号が発信されたときに、閉弁されて、エアを遮
断すると同時にエアパッド２４のエアを大気に開放す
る。エアパッド２４はアルミニウムで形成され、その表
面は硬質アルマイト処理が施されている。The guide frame 22 is formed in a tubular shape,
It is provided on the X slider 9 with the cylindrical hole oriented in the vertical direction. The Z-axis spindle 12 is the guide frame 22.
It is inserted so that it can move up and down. An air bearing 23 is provided between the guide frame 22 and the Z-axis spindle 12. The air bearing 23 is formed by providing an air pad 24 in a cylindrical hole of the guide frame 22 and ejecting air from the air pad 24 to the sliding surface of the Z-axis spindle 12. The air pad is provided with an air pipe (not shown) for sending air to the air pad, and a valve for venting or blocking the air is provided in the middle of the air pipe. This valve is closed when the signal indicating that the Z-axis spindle has started to fall is transmitted from the detection sensor, shuts off the air, and at the same time opens the air in the air pad 24 to the atmosphere. The air pad 24 is made of aluminum, and the surface thereof is hard alumite treated.
【００３５】ガイドフレーム２２は、エアパッド２４か
らのエアが噴出されないときは、エアパッド２４をＺ軸
スピンドル１２の外側面に押圧する程度の径に形成され
ている。また、ガイドフレーム２２はエアパッド２４か
らエアがＺ軸スピンドル１２の外側面に噴射されたとき
は、このエアのエア圧によって弾性変形され、エアパッ
ド２４とＺ軸スピンドル１２との間にエア膜によるエア
ベアリング２３を形成するように拡幅される程度の弾性
圧縮率を有する材料によって形成されている。ここに、
ガイドフレーム２２によって予圧力付与手段が構成され
ている。また、ガイドフレーム２２とエアパッド２４に
よって落下防止装置（制動装置）が構成されている。The guide frame 22 is formed to have a diameter that presses the air pad 24 against the outer surface of the Z-axis spindle 12 when the air from the air pad 24 is not ejected. Further, when the air is ejected from the air pad 24 to the outer surface of the Z-axis spindle 12, the guide frame 22 is elastically deformed by the air pressure of the air, and an air film is formed between the air pad 24 and the Z-axis spindle 12. The bearing 23 is made of a material having an elastic compressibility that is widened so as to form the bearing 23. here,
The guide frame 22 constitutes a preload applying means. Further, the guide frame 22 and the air pad 24 constitute a fall prevention device (braking device).
【００３６】支持軸２８は、ガイドフレーム２２に立設
された支柱２５に上端を支持されている。支柱２５は、
ガイドフレーム２２から少なくともＺ軸スピンドル１２
の移動量以上の高さを有する位置に横梁２６を有し、こ
の横梁２６とＺ軸スピンドル１２の移動軸の交点に孔が
設けられている。支持軸２８の上端には支持軸２８と直
交する面を有する鍔部３０が設けられ、この鍔部３０の
上部にはボール３１が設けられている。支持軸２８は横
梁２６の孔に挿通され、支持軸２８のボール３１が支柱
に設けられた軸受け片２７によって軸受けされることに
より、揺動支持されている。支持軸２８の下端には前述
したようにピストン２９が設けられ、Ｚ軸スピンドル１
２のシリンダ室２０に挿通されている。The support shaft 28 is supported at its upper end by a column 25 standing on the guide frame 22. The pillar 25 is
From the guide frame 22 to at least the Z-axis spindle 12
A horizontal beam 26 is provided at a position having a height equal to or greater than the movement amount of the horizontal beam 26, and a hole is provided at the intersection of the horizontal beam 26 and the moving axis of the Z-axis spindle 12. A flange portion 30 having a surface orthogonal to the support shaft 28 is provided at the upper end of the support shaft 28, and a ball 31 is provided above the flange portion 30. The support shaft 28 is inserted through the hole of the lateral beam 26, and the ball 31 of the support shaft 28 is rotatably supported by being supported by the bearing piece 27 provided on the support column. As described above, the piston 29 is provided at the lower end of the support shaft 28, and the Z-axis spindle 1
It is inserted in the second cylinder chamber 20.
【００３７】ハウジング部３２は、ガイドフレーム２２
から支柱２５を覆うようにＸスライダ９に設けられてい
る。The housing portion 32 includes the guide frame 22.
The X slider 9 is provided so as to cover the column 25.
【００３８】このような構成からなる三次元測定機１に
おいて、測定対象物の位置および／または座標を測定す
る際には、ベース２上に測定対象物を載置し、Ｙ方向駆
動機構３、Ｘ方向駆動機構７およびＺ方向駆動機構１１
を駆動させて測定子１３を移動させ、測定対象物に測定
子１３を接触させる。このときの測定子１３の位置を記
録することによって、測定対象物の位置および／または
座標を測定することができる。In the coordinate measuring machine 1 having such a structure, when measuring the position and / or coordinates of the measurement object, the measurement object is placed on the base 2 and the Y-direction drive mechanism 3, X-direction drive mechanism 7 and Z-direction drive mechanism 11
Is driven to move the probe 13, and the probe 13 is brought into contact with the object to be measured. By recording the position of the tracing stylus 13 at this time, the position and / or coordinates of the measuring object can be measured.
【００３９】Ｚ方向駆動機構１１を駆動させるときは、
まず、エアパッド２４からエアを噴出させる。すると、
このエア圧によってＺ軸スピンドル１２とエアパッド２
４と間にエアベアリング２３を形成するようにガイドフ
レーム２２が拡幅される。次に、モータ１７を回転駆動
させて駆動ローラ１５を回転させる。すると、支持軸２
８を駆動ローラ１５と従動ローラ１６で挟み込みこんで
いるので、この両ローラ１５，１６と支持軸２８との間
の摩擦力で駆動ローラ１５と従動ローラ１６が支持軸２
８に沿って移動される。駆動ローラ１５と従動ローラ１
６が移動されると、この両ローラ１５，１６とともにＺ
軸スピンドル１２がガイドフレーム２２にガイドされつ
つ上下方向に昇降され、測定子１３が移動される。ま
た、Ｚ方向駆動機構の異常が検出センサによって検出さ
れると、エアパッド２４へのエアの通気が弁によって遮
断され、エアパッド２４からのエア圧がなくなる。エア
圧がなくなると、ガイドフレーム２２がエアパッド２４
をＺ軸スピンドル１２の外側面に押圧するように復元さ
れる。ガイドフレーム２２の復元による予圧がエアパッ
ド２４にかかり、このエアパッド２４がＺ軸スピンドル
１２を挟み込むので、Ｚ軸スピンドル１２の落下が防止
される。When the Z-direction drive mechanism 11 is driven,
First, air is ejected from the air pad 24. Then,
By this air pressure, the Z-axis spindle 12 and the air pad 2
The guide frame 22 is widened so as to form an air bearing 23 therebetween. Next, the motor 17 is rotationally driven to rotate the drive roller 15. Then, the support shaft 2
Since 8 is sandwiched between the driving roller 15 and the driven roller 16, the driving roller 15 and the driven roller 16 are supported by the supporting shaft 2 by the frictional force between the rollers 15 and 16 and the supporting shaft 28.
Moved along 8. Drive roller 15 and driven roller 1
When 6 is moved, Z
The shaft spindle 12 is vertically moved while being guided by the guide frame 22, and the probe 13 is moved. Further, when an abnormality of the Z-direction drive mechanism is detected by the detection sensor, the ventilation of air to the air pad 24 is blocked by the valve, and the air pressure from the air pad 24 disappears. When the air pressure is exhausted, the guide frame 22 moves to the air pad 24.
Is pressed against the outer surface of the Z-axis spindle 12. Preload due to the restoration of the guide frame 22 is applied to the air pad 24, and the air pad 24 sandwiches the Z-axis spindle 12, so that the Z-axis spindle 12 is prevented from falling.
【００４０】従って本実施形態によれば次の効果があ
る。本実施形態においては、ガイドフレーム２２の復元
力によってエアパッド２４をＺ軸スピンドル１２の外側
面に押圧することによって、Ｚ軸スピンドル１２の落下
を防止している。従来のＺ軸スピンドル１２の落下防止
装置においては、ディスクブレーキやこのディスクブレ
ーキを駆動させるアクチュエータなどを備えている必要
があったため、そのための特別の設置スペースにより大
型化されたり、これら部品などを用意することにより高
コストに繋がっていた。しかしながら、本実施形態にお
いて、予圧力付与手段はＺ軸スピンドル１２をガイドす
るガイドフレーム２２であるので、予圧力を発生させる
ための特別な動力源を必要としない。よって、本実施形
態の落下防止装置はスペースを必要とせず、また、特別
な部品も必要としないので、この落下防止装置を利用し
た三次元測定機１の大きさや重量は最小となり、小型
化、低コスト化を画期的に図ることができるという優れ
た効果を奏することができる。Therefore, according to this embodiment, there are the following effects. In this embodiment, the Z-axis spindle 12 is prevented from falling by pressing the air pad 24 against the outer surface of the Z-axis spindle 12 by the restoring force of the guide frame 22. In the conventional fall prevention device for the Z-axis spindle 12, it is necessary to have a disc brake, an actuator for driving the disc brake, and the like, so that a special installation space for the size increase and the parts are prepared. This led to high costs. However, in the present embodiment, since the preload applying means is the guide frame 22 that guides the Z-axis spindle 12, no special power source for generating the preload is required. Therefore, the fall prevention device of the present embodiment does not require a space and does not require any special parts. Therefore, the size and weight of the coordinate measuring machine 1 using this fall prevention device are minimized and downsized. It is possible to achieve an excellent effect that the cost can be remarkably reduced.
【００４１】本実施形態において、Ｚ軸スピンドル１２
およびエアパッド２４は、その表面が硬質アルマイト処
理を施されているので、エアパッド２４がＺ軸スピンド
ル１２の外側面に押圧されたときでも、かじりなどの故
障を生じることはない。よって、よって、エアパッド２
４をＺ軸スピンドル１２の外側面に押圧することによっ
て生じる摩擦力によって、Ｚ軸スピンドル１２の落下を
防止することができる。In this embodiment, the Z-axis spindle 12
Since the surface of the air pad 24 is hard-anodized, even when the air pad 24 is pressed against the outer surface of the Z-axis spindle 12, a failure such as a galling does not occur. Therefore, therefore, the air pad 2
The Z-axis spindle 12 can be prevented from falling by the frictional force generated by pressing the outer peripheral surface of the Z-axis spindle 12.
【００４２】Ｚ軸スピンドル１２を移動させる力は両ロ
ーラ１５、１６と支持軸２８との間で生じる。支持軸２
８はＺ軸スピンドル１２の重心位置を通るシリンダ室２
０に挿通されているので、Ｚ軸スピンドル１２を移動さ
せる力の作用も同様に、Ｚ軸スピンドル１２の重心位置
近傍を通る軸線にそって作用する。Ｚ軸スピンドル１２
に働く力は、Ｚ軸スピンドル１２の重心を通る移動軸に
沿って作用するので、Ｚ軸スピンドル１２はガイドフレ
ーム２２に沿って垂直に上下移動され、移動の垂直性が
確保される。その結果、測定子１３の移動の垂直性も確
保されるので、三次元測定機１の測定精度が向上され
る。The force for moving the Z-axis spindle 12 is generated between the rollers 15 and 16 and the support shaft 28. Support shaft 2
8 is a cylinder chamber 2 passing through the center of gravity of the Z-axis spindle 12.
Since it is inserted through 0, the action of the force for moving the Z-axis spindle 12 also acts along the axis passing through the vicinity of the center of gravity of the Z-axis spindle 12. Z-axis spindle 12
Force acts on the Z-axis spindle 12 along the moving axis passing through the center of gravity of the Z-axis spindle 12, so that the Z-axis spindle 12 is vertically moved up and down along the guide frame 22 to ensure the verticality of the movement. As a result, the verticality of the movement of the tracing stylus 13 is also ensured, and the measurement accuracy of the coordinate measuring machine 1 is improved.
【００４３】Ｚ軸スピンドル１２に設けられたシリンダ
室２０のピストン２９で区画された支持軸側の室２０１
には、エアが供給され、このエアはＺ軸スピンドル１２
の重量に見合う押上力を発生するので、両ローラ１５，
１６にはＺ軸スピンドル１２の重量がほとんどかからな
い。よって、両ローラ１５，１６にＺ軸スピンドル１２
の重量がかからないのでＺ軸スピンドル１２の移動を精
密に制御することができる。また、両ローラ１５，１６
の駆動力でＺ軸スピンドル１２の重量を支えなくてもよ
いので、両ローラ１５，１６の駆動力は小さくてよい。
つまり、駆動ローラ１５と従動ローラ１６が支持軸２８
を挟みこむ力は、支持軸２８と両ローラ１５，１６との
間に摩擦力を発生できる程度でよく、また、駆動力の小
さなモータ１７を使用することができるので、低コスト
化に繋がる。A support shaft side chamber 201 defined by a piston 29 of a cylinder chamber 20 provided in the Z-axis spindle 12.
Is supplied to the Z-axis spindle 12.
Since a push-up force commensurate with the weight of
The Z-axis spindle 12 bears little weight on 16. Therefore, the Z-axis spindle 12 is attached to both rollers 15 and 16.
Since the weight of the Z-axis spindle 12 is not applied, the movement of the Z-axis spindle 12 can be precisely controlled. In addition, both rollers 15, 16
Since it is not necessary to support the weight of the Z-axis spindle 12 with the driving force of 1, the driving force of both rollers 15, 16 may be small.
That is, the drive roller 15 and the driven roller 16 are connected to the support shaft 28.
It is sufficient that the force for pinching is a frictional force between the support shaft 28 and the rollers 15 and 16, and the motor 17 having a small driving force can be used, which leads to cost reduction.
【００４４】ガイドフレーム２２とＺ軸スピンドル１２
の間にはエアベアリング２３が設けられているので、ガ
イドフレーム２２とＺ軸スピンドル１２との間の摩擦を
低減することができ、Ｚ軸スピンドル１２をなめらか
に、かつ、軽い力で移動させることができる。よって、
Ｚ軸スピンドル１２の移動を精密に制御でき、三次元測
定機１の測定精度を向上させることができる。Guide frame 22 and Z-axis spindle 12
Since the air bearing 23 is provided between them, the friction between the guide frame 22 and the Z-axis spindle 12 can be reduced, and the Z-axis spindle 12 can be moved smoothly and with a light force. You can Therefore,
The movement of the Z-axis spindle 12 can be precisely controlled, and the measurement accuracy of the coordinate measuring machine 1 can be improved.
【００４５】支持軸２８はその上端で揺動支持されてい
るので、ガイドフレーム２２にガイドされたＺ軸スピン
ドル１２の移動に従って、支持軸２８はその方向を柔軟
に変えることができる。よって、支持軸２８はＺ軸スピ
ンドル１２の移動の垂直性に影響を与えず、Ｚ軸スピン
ドル１２の移動の垂直性が確保される。その結果、測定
子１３の移動の垂直性が確保されるので、三次元測定機
１の測定精度が向上されるSince the support shaft 28 is swingably supported at its upper end, the support shaft 28 can change its direction flexibly according to the movement of the Z-axis spindle 12 guided by the guide frame 22. Therefore, the support shaft 28 does not affect the verticality of the movement of the Z-axis spindle 12, and the verticality of the movement of the Z-axis spindle 12 is ensured. As a result, the verticality of the movement of the tracing stylus 13 is ensured, and the measurement accuracy of the coordinate measuring machine 1 is improved.
【００４６】また、従来は、Ｚ軸スピンドル１２を駆動
させるために、ボールねじのボールねじ軸等を備える必
要があったので、そのためのスペースが必要であった
が、本実施形態においては、支持軸２８を両ローラ１
５、１６で挟むだけなので、Ｚ方向駆動機構１１を小型
化することができ、三次元測定機１を小型化することが
できる。さらには、Ｚ方向駆動機構１１が小型化される
ことによって、Ｘ方向駆動機構７およびＹ方向駆動機構
３の必要強度も小さくできることから、三次元測定機１
を小型化、低コスト化することができる。Further, conventionally, in order to drive the Z-axis spindle 12, it was necessary to provide a ball screw shaft of a ball screw or the like, so a space for that was required, but in this embodiment, the support is provided. Shaft 28 with both rollers 1
Since it is only sandwiched between 5 and 16, the Z-direction drive mechanism 11 can be downsized, and the coordinate measuring machine 1 can be downsized. Furthermore, since the Z-direction drive mechanism 11 is downsized, the required strength of the X-direction drive mechanism 7 and the Y-direction drive mechanism 3 can be reduced, so the coordinate measuring machine 1
Can be downsized and the cost can be reduced.
【００４７】（第２実施形態)本発明にかかるＺ軸スピ
ンドルの落下防止装置を備えた測定機の第２実施形態
は、基本構成要素は第１実施形態と同様であるが、図３
に示されるように、Ｚ方向駆動機構において、エアパッ
ド２４とガイドフレーム２２との間に弾性部材としてコ
イルばね２４１が設けられた構成である。本実施形態に
おいて、ガイドフレーム２２は、弾性変形をしない筒状
である。このガイドフレーム２２には、ばね受け部材２
２５を介してコイルばね２４１がＺ軸スピンドル１２を
挟んで一方側に設けられ、このコイルばね２４１がエア
パッド２４をＺ軸スピンドル１２に向かって付勢してい
る。ここに予圧力付与手段がコイルばね２４１によって
構成されている。(Second Embodiment) A second embodiment of a measuring machine equipped with a Z-axis spindle drop prevention device according to the present invention has the same basic components as those of the first embodiment, but FIG.
As shown in FIG. 5, in the Z-direction drive mechanism, the coil spring 241 is provided as an elastic member between the air pad 24 and the guide frame 22. In this embodiment, the guide frame 22 has a tubular shape that does not elastically deform. The spring receiving member 2 is attached to the guide frame 22.
A coil spring 241 is provided on one side across the Z-axis spindle 12 via 25, and the coil spring 241 biases the air pad 24 toward the Z-axis spindle 12. Here, the preload applying means is constituted by the coil spring 241.
【００４８】このコイルばね２４１は、エアパッド２４
からエアが噴出されていない状態では、エアパッド２４
をＺ軸スピンドル１２に押圧し、このエアパッド２４か
らの予圧によってＺ軸スピンドル１２の落下が防止され
る程度のばね定数を有する。また、エアパッド２４から
エアが噴出されると、このエア圧によってコイルばね２
４１が圧縮され、エアパッド２４とＺ軸スピンドル１２
との間でエア膜によるエアベアリング２３が形成される
程度のばね定数を有している。This coil spring 241 is used for the air pad 24.
When no air is ejected from the air pad 24
Has a spring constant enough to prevent the Z-axis spindle 12 from dropping due to the preload from the air pad 24. When air is ejected from the air pad 24, the air pressure causes the coil spring 2 to move.
41 is compressed, and the air pad 24 and the Z-axis spindle 12
Has a spring constant to the extent that the air bearing 23 is formed by an air film.
【００４９】このような構成からなる昇降部材の落下防
止装置を備えた三次元測定機１において、まず、Ｚ方向
駆動機構１１を駆動させるときは、まず、エアパッド２
４からエアを噴出させる。すると、このエア圧によって
Ｚ軸スピンドル１２とエアパッド２４と間にエアベアリ
ング２３を形成するようにコイルばね２４１が圧縮され
る。また、検出センサが異常（エアバランス装置１９の
エア圧異常)を検出すると、エアパッド２４へのエアの
通気が弁によって遮断され、エアパッド２４からのエア
圧がなくなる。エア圧がなくなると、コイルばね２４１
がエアパッド２４をＺ軸スピンドル１２の外側面に押圧
するように復元される。コイルばね２４１の復元による
予圧がエアパッド２４にかかり、このエアパッド２４が
Ｚ軸スピンドル１２を挟み込むので、Ｚ軸スピンドル１
２の落下が防止される。In the coordinate measuring machine 1 having the lifting member fall prevention device having such a structure, first, when the Z-direction drive mechanism 11 is driven, first, the air pad 2 is used.
Eject air from 4. Then, the air pressure compresses the coil spring 241 so as to form the air bearing 23 between the Z-axis spindle 12 and the air pad 24. Further, when the detection sensor detects an abnormality (abnormal air pressure of the air balance device 19), the ventilation of air to the air pad 24 is blocked by the valve, and the air pressure from the air pad 24 disappears. When the air pressure is exhausted, the coil spring 241
Are restored to press the air pad 24 against the outer surface of the Z-axis spindle 12. The preload due to the restoration of the coil spring 241 is applied to the air pad 24, and the air pad 24 sandwiches the Z axis spindle 12, so that the Z axis spindle 1
2 is prevented from falling.
【００５０】従って、本実施形態によれば第１実施形態
と同様の効果がある。特に、第２実施形態において、予
圧力付与手段は、コイルばね２４１によって構成されて
いるので、予圧力を発生させるための特別な動力源を必
要としない。よって、本実施形態のＺ軸スピンドル１２
の落下防止装置は動力源等を設置するスペースを必要と
せず、この落下防止装置を利用した三次元測定機１の大
きさや重量を小さくでき、小型化、低コスト化を画期的
に図ることができるという優れた効果を奏することがで
きる。Therefore, according to this embodiment, the same effect as that of the first embodiment can be obtained. In particular, in the second embodiment, the preload applying means does not require a special power source for generating the preload because it is constituted by the coil spring 241. Therefore, the Z-axis spindle 12 of the present embodiment
The fall prevention device does not require a space for installing a power source, etc., and it is possible to reduce the size and weight of the coordinate measuring machine 1 using this fall prevention device, and to achieve a size reduction and cost reduction epoch-making. It is possible to exert an excellent effect of being able to.
【００５１】尚、本発明の滑動部材の制動装置およびこ
れを用いた測定機は、上記実施形態にのみ限定されるも
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において
種々変更を加え得ることは勿論である。予圧力付与手段
としてのガイドフレーム２２は筒状でなくてもよく、Ｚ
軸スピンドル１２をガイドでき、エアパッド２４に予圧
を与えることができる形状であればよい。例えば、断面
Ｃ状に形成されていてもよい。弾性部材はコイルばね２
４１に限定されず、板ばねや弾性を有するゴムでもよ
い。また、Ｚ軸スピンドル１２の周囲すべてに配置され
たエアパッド２４に弾性部材が設けられていてもよい。
さらには、予圧力付与手段は、ガイドフレーム２２や弾
性部材に限らず、空圧、油圧力でもよい。The braking device for a sliding member and the measuring machine using the same according to the present invention are not limited to the above embodiments, and various modifications can be made without departing from the scope of the present invention. Of course. The guide frame 22 as the preload applying means does not have to be cylindrical,
Any shape can be used as long as it can guide the shaft spindle 12 and can preload the air pad 24. For example, it may be formed in a C-shaped cross section. Elastic member is coil spring 2
The material is not limited to 41, and may be a leaf spring or elastic rubber. Further, elastic members may be provided on the air pads 24 arranged all around the Z-axis spindle 12.
Further, the preload applying means is not limited to the guide frame 22 and the elastic member, and may be pneumatic pressure or hydraulic pressure.
【００５２】Ｚ軸スピンドル１２およびエアパッド２４
はその表面が硬質アルマイト処理されたアルミニウムで
形成されているが、Ｚ軸スピンドル１２、エアパッド２
４がターカイトで形成されているか、もしくはその表面
に薄板状のターカイトが接着などにより固定されていて
もよい。このような構成によっても、エアパッド２４を
Ｚ軸スピンドル１２の外側面に押圧したときにかじりな
どの故障を生じることはないので、エアパッド２４をＺ
軸スピンドル１２の外側面に押圧してＺ軸スピンドル１
２の落下を防止することができる。Z-axis spindle 12 and air pad 24
The surface of which is made of hard anodized aluminum, the Z-axis spindle 12, the air pad 2
4 may be formed of turkeyite, or a thin plate-like turkeyite may be fixed to the surface thereof by adhesion or the like. Even with such a configuration, when the air pad 24 is pressed against the outer surface of the Z-axis spindle 12, a failure such as a galling does not occur.
The Z-axis spindle 1 is pressed against the outer surface of the shaft spindle 12.
2 can be prevented from falling.
【００５３】本実施形態においては、エアバランス装置
１９を備えているが、エアバランス装置１９は必ずしも
備えていなくてもよい。検出センサはエアバランス装置
１９のエア圧の異常を検出するが、エアバランス装置を
備えないＺ方向駆動機構においては、Ｚ軸スピンドルが
落下する要因となる異常を検出するようにする。Although the air balance device 19 is provided in this embodiment, the air balance device 19 does not necessarily have to be provided. The detection sensor detects an abnormality in the air pressure of the air balance device 19. However, in the Z-direction drive mechanism that does not include the air balance device, an abnormality that causes the Z-axis spindle to drop is detected.
【００５４】滑動部材として上下方向へ昇降駆動される
Ｚ軸スピンドルについて説明したが、滑動部材の移動方
向は必ずしも上下方向に限られるものではない。例え
ば、水平に設けられたガイド手段によってガイドされて
滑動部材が水平に移動されてもよく、あるいは、斜め方
向に設けられたガイド手段によって斜め方向に移動され
てもよい。As the sliding member, the Z-axis spindle vertically driven is described, but the moving direction of the sliding member is not necessarily limited to the vertical direction. For example, the sliding member may be moved horizontally by being guided by the guide means provided horizontally, or may be moved obliquely by the guide means provided obliquely.
【００５５】滑動部材の制動装置を三次元測定機１に適
用した例を示したが、本発明の滑動部材の制動装置は三
次元測定機１に限られず、種々の用途が考えられる。た
とえば、一次元測定機（ハイトゲージ)や二次元測定機
（表面粗さ測定機)はもちろん、精密加工を行う各種工
作機械等にも適用できる。Although the example in which the braking device for the sliding member is applied to the coordinate measuring machine 1 has been shown, the braking device for the sliding member of the present invention is not limited to the coordinate measuring device 1 and various applications are conceivable. For example, it can be applied not only to one-dimensional measuring machines (height gauges) and two-dimensional measuring machines (surface roughness measuring machines) but also to various machine tools for precision machining.
【００５６】[0056]
【発明の効果】以上、説明したように本発明の滑動部材
の制動装置によれば、簡便な構成で、小型化、低コスト
化を図る滑動部材の制動装置を提供し、あわせて、小型
化、低コスト化を図る測定機を提供することができると
いう優れた効果を奏し得る。As described above, according to the sliding member braking device of the present invention, a sliding member braking device which has a simple structure and is downsized and reduced in cost is provided. Therefore, it is possible to provide an excellent effect that it is possible to provide a measuring device that can reduce costs.
【図１】本発明の一実施形態にかかる滑動部材の制動装
置を用いた三次元測定機を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a coordinate measuring machine using a sliding member braking device according to an embodiment of the present invention.
【図２】前記実施形態において、Ｚ方向駆動機構の断面
図である。FIG. 2 is a sectional view of a Z-direction drive mechanism in the embodiment.
【図３】本発明の第２実施形態にかかる滑動部材の制動
装置の要部拡大図である。FIG. 3 is an enlarged view of a main part of a sliding member braking device according to a second embodiment of the present invention.
【図４】従来における滑動部材の制動装置を示す図であ
る。FIG. 4 is a view showing a conventional braking device for a sliding member.
【図５】従来における滑動部材の制動装置を示す図であ
る。FIG. 5 is a view showing a conventional braking device for a sliding member.
１ 三次元測定機（測定機)
１２ Ｚ軸スピンドル（昇降部材、滑動部材)
１３ 測定子
２０ シリンダ室
２２ ガイドフレーム（ガイド手段、予圧力付与手
段)
２４ エアパッド（ガイド手段)
２８ 支持軸
２９ ピストン
２４１ コイルばね（弾性部材、予圧力付与手段)DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Three-dimensional measuring machine (measuring machine) 12 Z-axis spindle (elevating member, sliding member) 13 Measuring element 20 Cylinder chamber 22 Guide frame (guide means, pre-pressure applying means) 24 Air pad (guide means) 28 Support shaft 29 Piston 241 Coil spring (elastic member, preload applying means)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 金勝 綾子 栃木県宇都宮市下栗町2200番地 株式会社 ミツトヨ内 (72)発明者 大坪 聖一 栃木県宇都宮市下栗町2200番地 株式会社 ミツトヨ内 Ｆターム(参考） 2F069 AA04 GG02 GG12 GG48 GG62 HH02 JJ08 MM20 MM33 MM40 PP02 RR01 3J058 AB12 BA67 CA43 CC07 CC72 CC78 FA31 FA50 GA49 GA92 3J102 AA02 BA05 CA19 EA02 EA06 GA01 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page (72) Inventor Ayako Kimatsu 2200 Shimoguricho, Utsunomiya City, Tochigi Prefecture Within Mitutoyo (72) Inventor Seiichi Otsubo 2200 Shimoguricho, Utsunomiya City, Tochigi Prefecture Within Mitutoyo F term (reference) 2F069 AA04 GG02 GG12 GG48 GG62 HH02 JJ08 MM20 MM33 MM40 PP02 RR01 3J058 AB12 BA67 CA43 CC07 CC72 CC78 FA31 FA50 GA49 GA92 3J102 AA02 BA05 CA19 EA02 EA06 GA01
Claims (7)
れた滑動部材の制動装置であって、 前記ガイド手段は、前記滑動部材の外側面を挟むように
形成されたガイドフレームと、前記滑動部材の対向する
外側面を挟むように前記ガイドフレームに配置され、か
つ、これらの外側面にエアを噴出するエアパッドとを含
んで構成され、 前記エアパッドからエアが前記滑動部材の対向する外側
面に向けて噴出されると、前記エアパッドと前記滑動部
材の外側面との間にクリアランスが生じ、前記エアパッ
ドからのエアが遮断されると、前記エアパッドが前記滑
動部材の外側面を押圧するように前記エアパッドに予圧
を与える予圧力付与手段を備えることを特徴とする滑動
部材の制動装置。1. A braking device for a sliding member, which is slidably guided by a guide means, wherein the guide means opposes a guide frame formed so as to sandwich an outer surface of the sliding member, and the sliding member. Are arranged on the guide frame so as to sandwich the outer side surface between them, and are configured to include air pads for ejecting air to the outer side surfaces, and the air is ejected from the air pad toward the outer side surfaces facing each other of the sliding member. Then, a clearance is generated between the air pad and the outer surface of the sliding member, and when the air from the air pad is blocked, the air pad is preloaded to press the outer surface of the sliding member. A braking device for a sliding member, characterized in that it comprises a pre-load applying means for applying.
おいて、 前記予圧力付与手段は、前記ガイドフレームで構成さ
れ、前記ガイドフレームは、前記エアパッドから前記滑
動部材の対向する外側面に向けてエアが噴出されると、
前記エアパッドと前記滑動部材の外側面との間にクリア
ランスが生じるように弾性変形して拡幅され、かつ、 前記エアパッドからのエアが遮断されると、前記エアパ
ッドが前記滑動部材の外側面を押圧して前記エアパッド
に予圧を与えるように復元される材料および／または形
状の選択によって形成されていることを特徴とする滑動
部材の制動装置。2. The braking device for a sliding member according to claim 1, wherein the preload applying unit is configured by the guide frame, and the guide frame is directed from the air pad toward an opposing outer surface of the sliding member. When air is ejected,
When the air pad is elastically deformed and widened so that a clearance is generated between the air pad and the outer surface of the sliding member, and the air from the air pad is blocked, the air pad presses the outer surface of the sliding member. A braking device for a sliding member, which is formed by selecting a material and / or a shape that is restored so as to apply a preload to the air pad.
おいて、 前記予圧力付与手段は、前記ガイドフレームと前記エア
パッドとの間に設けられ、前記エアパッドを前記滑動部
材の外側面に押圧する弾性部材によって構成されている
ことを特徴とする滑動部材の制動装置。3. The braking device for a sliding member according to claim 1, wherein the preload applying unit is provided between the guide frame and the air pad and presses the air pad against an outer surface of the sliding member. A sliding member braking device comprising an elastic member.
材の制動装置において、 少なくとも前記滑動部材の対向する外側面または前記エ
アパッドのいずれかの表面材質はアルミニウムであり、
その表面に硬質アルマイト処理を施したことを特徴とす
る滑動部材の制動装置。4. The braking device for a sliding member according to claim 1, wherein at least one of outer surfaces of the sliding member facing each other or a surface material of the air pad is aluminum,
A braking device for a sliding member, the surface of which is subjected to a hard alumite treatment.
材の制動装置において、 少なくとも前記滑動部材の対向する外側面または前記エ
アパッドのいずれかの表面材質がターカイトであること
を特徴とする滑動部材の制動装置。5. The braking device for a sliding member according to any one of claims 1 to 3, characterized in that at least one of the facing outer surfaces of the sliding member or the surface material of the air pad is turkeyite. Braking device for sliding members.
材の制動装置において、 前記滑動部材は、前記ガイド手段によって上下方向へ昇
降可能にガイドされた昇降部材であり、 前記ガイド手段によるガイド方向と略平行に配置された
支持軸を更に備え、 前記昇降部材および前記支持軸のいずれか一方に設けら
れたピストン並びに前記昇降部材および前記支持軸のい
ずれか他方に設けられて前記ピストンが摺動可能に収納
されるシリンダ室を有し、前記ピストンで区画された前
記シリンダ室のいずれかの室に供給されるエア圧によっ
て前記昇降部材の重量に見合う押上力を発生するエアバ
ランス装置を更に備えたことを特徴とする滑動部材の制
動装置。6. The braking device for a sliding member according to claim 1, wherein the sliding member is an elevating member that is vertically movable up and down by the guide means. A piston provided on one of the elevating member and the support shaft, and a piston provided on the other of the elevating member and the support shaft are further provided with a support shaft arranged substantially parallel to the guide direction. An air balance device that has a cylinder chamber that is slidably accommodated and that generates a push-up force commensurate with the weight of the lifting member by the air pressure supplied to one of the cylinder chambers defined by the piston. A braking device for a sliding member, further comprising:
材の制動装置を用いて、測定対象物の位置および／また
は座標を測定するための測定子を移動させる移動機構を
構成していることを特徴とする測定機。7. A moving mechanism for moving a tracing stylus for measuring a position and / or coordinates of an object to be measured is configured by using the sliding member braking device according to claim 1. A measuring instrument characterized by being present.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001349203A JP2003148522A (en) | 2001-11-14 | 2001-11-14 | Braking device for sliding member and measuring instrument using the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001349203A JP2003148522A (en) | 2001-11-14 | 2001-11-14 | Braking device for sliding member and measuring instrument using the same |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003148522A true JP2003148522A (en) | 2003-05-21 |
Family
ID=19161908
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001349203A Pending JP2003148522A (en) | 2001-11-14 | 2001-11-14 | Braking device for sliding member and measuring instrument using the same |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003148522A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010038239A (en) * | 2008-08-05 | 2010-02-18 | Nsk Ltd | Three-dimensional positioning device |
| JP2010284944A (en) * | 2009-06-15 | 2010-12-24 | Mimaki Engineering Co Ltd | Carriage vertically moving mechanism |
| JP2012103111A (en) * | 2010-11-10 | 2012-05-31 | Olympus Corp | Shape measurement sensor |
-
2001
- 2001-11-14 JP JP2001349203A patent/JP2003148522A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010038239A (en) * | 2008-08-05 | 2010-02-18 | Nsk Ltd | Three-dimensional positioning device |
| JP2010284944A (en) * | 2009-06-15 | 2010-12-24 | Mimaki Engineering Co Ltd | Carriage vertically moving mechanism |
| JP2012103111A (en) * | 2010-11-10 | 2012-05-31 | Olympus Corp | Shape measurement sensor |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI513970B (en) | Shear testing apparatus | |
| US9316472B2 (en) | Slide guide device | |
| US10507560B2 (en) | Apparatus movable by a coordinate measuring machine for positioning a measuring instrument with respect to a workpiece | |
| JP2001227537A (en) | Linear guide device | |
| JP3382140B2 (en) | Ball screw inspection device | |
| CN206200753U (en) | A kind of emery wheel circular runout on-position measure device | |
| CN218896022U (en) | Dual-mode material friction and wear test device | |
| GB2498642A (en) | Sheet thickness measuring with variable pressure | |
| JP2019534790A (en) | Back gauge for bending machine and method for positioning back gauge | |
| JP2003148522A (en) | Braking device for sliding member and measuring instrument using the same | |
| US7145642B2 (en) | Wafer support device and a wafer support method | |
| JP2010025224A (en) | Guide device | |
| JP4923441B2 (en) | Shape measuring instrument | |
| KR20210040793A (en) | Grinding apparatus | |
| JP2003148581A (en) | Frictional driving device and measuring machine using the same | |
| JP5426320B2 (en) | Cutter blade inspection device | |
| KR20120085770A (en) | Stylus-type measuring apparatus | |
| JP3098421B2 (en) | Static pressure air bearing type guide device | |
| CN113514231A (en) | Fingerprint camera lens check out test set under screen | |
| KR100288715B1 (en) | Friction Wear Tester | |
| KR100272919B1 (en) | Friction tester | |
| JPH0729402U (en) | Parallelism measuring device | |
| CN210014906U (en) | A pressurization test device for rotator | |
| JPH1026203A (en) | Friction drive mechanism | |
| JP2012246996A (en) | Guide device |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040623 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060725 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060728 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20061121 |