JP2003148375A - Turbo-molecular pump - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a turbo-molecular pump capable of improving performance by further increasing a gas compression ratio. SOLUTION: This turbo-molecular pump is provided with an axial flow step part 20a provided with a moving vane 25 and a stator vane 23, and a thread groove step part 20b having spiral thread grooves in rotors. As the rotors, an outer rotor 36 of a roughly cylindrical form positioned on the outer circumferential side around a rotation axial line O, and an inner rotor 37 of a roughly cylindrical form positioned on the inner circumferential side of the outer rotor 36 are provided. The thread groove step part 30b is formed as a three-step part. The outer rotor 36 and the inner rotor 37 are composed as separate members from each other, and these are connected and fixed by bolts 35.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体プロセス等
において用いられるターボ分子ポンプの構造に関するも
のである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to the structure of a turbo molecular pump used in semiconductor processes and the like.

【０００２】[0002]

【従来の技術】半導体プロセスは、光学的処理や化学的
処理等からなる様々な工程により実現される。光学的処
理の代表例としては、ウェハ面への回路パターン焼き付
けを行う露光処理が挙げられ、化学的処理では例えば、
ウェハ面において薄膜を作製する等の表面処理、エッチ
ング処理、洗浄処理等が挙げられる。また、これらの処
理を実現するためには、光学的処理においては露光装
置、化学的処理においては様々な化学薬品やこれを安全
に取り扱うための各種機器が用いられる。これら様々な
工程又は各種装置及び機器においては、半導体の更なる
高集積化等への要求が高まりつつある中で、それぞれが
技術的に高度な水準を要求されており、また更なる発展
をも図るべく関係各所にて鋭意研究、開発が進行するこ
ととなっている。2. Description of the Related Art A semiconductor process is realized by various steps including optical treatment and chemical treatment. As a typical example of the optical processing, there is an exposure processing for printing a circuit pattern on the wafer surface, and in the chemical processing, for example,
Surface treatment such as forming a thin film on the wafer surface, etching treatment, cleaning treatment, etc. may be mentioned. Further, in order to realize these processes, an exposure apparatus is used in the optical process, various chemicals in the chemical process, and various devices for safely handling the chemicals. In these various processes or various devices and equipment, as the demand for higher integration of semiconductors is increasing, each of them is required to have a technically high level, and further development is required. In order to achieve this, research and development will be carried out at various places concerned.

【０００３】その中で特に具体的技術を挙げると、化学
的処理である表面処理工程に注目すれば、上述した薄膜
製造技術として、半導体プロセスにおいては必須となっ
た技術としてＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）技
術がある。このＣＶＤとは、ウェハ等の基板上に対して
原料ガスを供給し、当該基板上でのガスの吸着及び化学
反応を経て、その基板上に所望の薄膜を形成する技術で
ある。この技術は、ゲートの薄膜化、配線間容量低減等
の半導体高集積化を実現するためには欠くことのできな
いものとなっている。[0003] Among them, in particular, if one pays attention to the surface treatment process which is a chemical treatment, CVD (Chemical Vapor Deposition) is an essential technique in the semiconductor process as the above-mentioned thin film manufacturing technique. There is technology. The CVD is a technique in which a source gas is supplied onto a substrate such as a wafer, and a desired thin film is formed on the substrate through adsorption and chemical reaction of the gas on the substrate. This technique is indispensable for realizing high integration of semiconductors such as thinning of gates and reduction of capacitance between wirings.

【０００４】上記ＣＶＤの中でも、減圧ＣＶＤおよびプ
ラズマＣＶＤ等は真空雰囲気下で行われ、真空排気系が
必要となる。こうした真空排気系としては、一般に大気
圧から低真空域まで減圧するロータリポンプと、低真空
域から高真空域まで減圧するデフュージョンポンプ、タ
ーボ分子ポンプ等、複数のポンプにより構成されたもの
が利用される。なお、ターボ分子ポンプとは、周知のよ
うに、高速で回転するロータにより気体分子を圧縮しつ
つ排気するような構成を備えたものである。ここでロー
タとしては、これが上述したように非常に高速で回転す
る部材であるため、軽量かつ応力強度の高いアルミニウ
ム合金をその材質として選択されるのが一般的である。Among the above-mentioned CVD, low pressure CVD, plasma CVD and the like are performed in a vacuum atmosphere and a vacuum exhaust system is required. As such an evacuation system, a rotary pump that depressurizes from atmospheric pressure to a low vacuum region, a diffusion pump that depressurizes from a low vacuum region to a high vacuum region, a turbo molecular pump, and other multiple pumps are generally used. To be done. As is well known, the turbo molecular pump has a structure in which gas molecules are exhausted while being compressed by a rotor that rotates at high speed. Here, as the rotor, since it is a member that rotates at a very high speed as described above, it is general that an aluminum alloy that is lightweight and has high stress strength is selected as the material.

【０００５】次に、上記ターボ分子ポンプについて詳細
に説明する。図２に示すように、ターボ分子ポンプＰ
は、上半部１ａ及び下半部１ｂとからなるケーシング１
内部に各種機器が備えられた構成となっている。このケ
ーシング１においては、その上半部１ａに吸気口１ｃ、
下半部１ｂに排気口１ｄが、それぞれ形成されている。
ケーシング１内部においては、上部に軸流段部ＰＡ、下
部にねじ溝段部ＰＢが設けられている。軸流段部ＰＡは
主として後述する多段に設けられた動翼５および静翼３
とにより構成され、ねじ溝段部ＰＢにおいてはロータ４
もしくはステータに螺旋状のねじ溝１３が形成されてい
る。Next, the turbo molecular pump will be described in detail. As shown in FIG. 2, the turbo molecular pump P
Is a casing 1 including an upper half portion 1a and a lower half portion 1b.
It is configured to have various devices inside. In this casing 1, the upper half 1a has an intake port 1c,
An exhaust port 1d is formed in each of the lower half portions 1b.
Inside the casing 1, an axial flow step portion PA is provided at the upper portion and a thread groove step portion PB is provided at the lower portion. The axial flow step portion PA is mainly composed of the moving blades 5 and the stationary blades 3 which are provided in multiple stages described later.
And the rotor 4 in the thread groove step portion PB.
Alternatively, a spiral thread groove 13 is formed on the stator.

【０００６】より具体的に説明すると、ロータ室２に
は、ロータ４が配設されている。ロータ４は、鉛直に立
設されたロータシャフト４ａと、当該ロータシャフト４
ａ周囲に放射状に配置された動翼５とを備えた構成とな
っている。また、ケーシング上半部１ａには静翼３が固
定されている。ロータ４もしくはステータには、動翼５
の下方にねじ溝１３が形成されている。More specifically, a rotor 4 is arranged in the rotor chamber 2. The rotor 4 includes a rotor shaft 4 a that is vertically installed and the rotor shaft 4 a.
It is configured to include the moving blades 5 that are radially arranged around a. In addition, stationary vanes 3 are fixed to the upper half 1a of the casing. The rotor 4 or the stator has a rotor blade 5
A thread groove 13 is formed below.

【０００７】前記ロータシャフト４ａの下端部には、ス
ラスト磁気ディスク６が備えられている。このスラスト
磁気ディスク６の上下面には、これに対向した形でスラ
スト磁気軸受け８が設けられている。また、ロータシャ
フト４ａとケーシング下半部１ｂとの対向面における上
方及び下方には、それぞれラジアル磁気軸受け７ａ、７
ｂが設けられている。さらに、ロータシャフト４ａ上端
部にラジアル用上部保護軸受けとして設けられたボール
ベアリング９、同下端ネック部にはラジアル及びスラス
ト用下部保護軸受けとして設けられたボールベアリング
１０が設けられている。そして、ケーシング下半部１ｂ
には、ロータ駆動用モータ１１が設けられている。真空
排気の際にはモータ１１を駆動してロータ４を回転させ
る。ロータ４の回転により動翼５と静翼３との間で第１
の圧縮が行われたあと、ねじ溝段部ＰＢのねじ溝１３に
よって第２の圧縮が行われ、排気口１ｄ方向へ流れて真
空排気される。A thrust magnetic disk 6 is provided at the lower end of the rotor shaft 4a. Thrust magnetic bearings 8 are provided on the upper and lower surfaces of the thrust magnetic disk 6 so as to face the thrust magnetic disks 6. Further, the radial magnetic bearings 7a and 7a are provided above and below the facing surfaces of the rotor shaft 4a and the lower casing half 1b, respectively.
b is provided. Further, a ball bearing 9 provided as an upper protective bearing for radial on the upper end portion of the rotor shaft 4a, and a ball bearing 10 provided as a lower protective bearing for radial and thrust on the lower end neck portion thereof. And the lower half 1b of the casing
Is provided with a rotor driving motor 11. During evacuation, the motor 11 is driven to rotate the rotor 4. The rotation of the rotor 4 causes the rotor blade 5 to move between the rotor blade 5 and the stator blade 3
After the compression is performed, the second compression is performed by the screw groove 13 of the thread groove step portion PB, and the second compression is performed to flow toward the exhaust port 1d to be evacuated.

【０００８】[0008]

【発明が解決しようとする課題】ところで、ターボ分子
ポンプにおいては、小型でありながらより圧縮比を高め
るために、ねじ溝段部を複数段（多段）にしたもの、す
なわちロータを外側から内側にかけて複数設けることで
複数段構造としたものがある。一例として、ロータを外
側ロータと内側ロータの２つとしてこれらの間隙部に円
筒状のスペーサを挿入して仕切り、３段構造にしたター
ボ分子ポンプが知られている。こうしたターボ分子ポン
プにおける外側ロータ及び内側ロータは、これまで一体
成形されているのが一般的であった。そのため、内側ロ
ータの外側面側にねじ溝を形成しようとしても、エンド
ミル等の切削工具を間隙部に挿入することが極めて困難
であり、実際、内側ロータにねじ溝は形成されないこと
が殆どであった。このように、ねじ溝段部を複数段にし
たとはいっても、実際にはねじ溝を有していない段が含
まれることがあり、それゆえ複数段としても圧縮比をさ
ほど高めることができないという問題があった。By the way, in the turbo molecular pump, in order to increase the compression ratio in spite of its small size, the thread groove step portion has a plurality of steps (multi-steps), that is, the rotor extends from the outside to the inside. There is a structure in which a plurality of layers are provided by providing a plurality of layers. As an example, there is known a turbo-molecular pump having two rotors, an outer rotor and an inner rotor, which are partitioned by inserting a cylindrical spacer into a gap between them to form a three-stage structure. The outer rotor and the inner rotor in such a turbo molecular pump have heretofore generally been integrally molded. Therefore, even if an attempt is made to form a thread groove on the outer surface side of the inner rotor, it is extremely difficult to insert a cutting tool such as an end mill into the gap, and in reality, the thread groove is not formed on the inner rotor in most cases. It was As described above, even though the number of thread groove steps is plural, there are cases in which there are actually no thread grooves. Therefore, even if the number of steps is plural, the compression ratio cannot be increased so much. There was a problem.

【０００９】本発明は上記事情に鑑みてなされたもの
で、ガスの圧縮比をより高めて性能の向上を図ることが
できるターボ分子ポンプを提供することを目的とする。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a turbo-molecular pump capable of improving the performance by further increasing the compression ratio of gas.

【００１０】[0010]

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、動翼と静翼とを備えた軸流段部と、ロータに螺旋状
のねじ溝が形成されたねじ溝段部と、を備えたターボ分
子ポンプにおいて、前記ロータとして、回転軸線周りの
外周側に位置する略円筒状の第１のロータと、該第１の
ロータの内周側に位置する略円筒状の第２のロータとを
備えることにより、前記ねじ溝段部を複数段とするとと
もに、前記第１のロータと前記第２のロータとを互いに
別部材により構成して、これらを直接、もしくは別部材
を介して連結固定したことを特徴とする。According to a first aspect of the present invention, there is provided an axial flow step portion having a moving blade and a stator blade, and a screw groove step portion having a spiral screw groove formed in a rotor, In the turbo molecular pump including: a first substantially cylindrical cylindrical rotor located on the outer peripheral side around the rotation axis and a second cylindrical cylindrical inner rotor located on the inner peripheral side of the first rotor. By providing the rotor, the thread groove step portion is formed in a plurality of steps, and the first rotor and the second rotor are configured by separate members, and these are directly or via separate members. It is characterized by being connected and fixed.

【００１１】このように、外周側に位置する第１のロー
タと内周側に位置する第２のロータとを互いに別部材に
より構成して、これらを連結固定するようにしているの
で、従来は非常に困難とされていた、内周側に位置する
第２のロータへのねじ溝加工を、容易且つ的確に行うこ
とができる。また、第１のロータと第２のロータとで、
要求される特性が異なる場合であっても、各々を別部材
としていることで、各々の特性に応じた材料を用いるこ
とができる。更に、例えばニッケル（Ｎｉ）等によるメ
ッキも個別に行うことができるので、剥がれにくく、よ
り的確にメッキを施すことができる。As described above, since the first rotor located on the outer peripheral side and the second rotor located on the inner peripheral side are constituted by different members from each other and are connected and fixed to each other, the conventional structure has been adopted. It is possible to easily and accurately perform thread groove processing on the second rotor located on the inner peripheral side, which has been extremely difficult. Also, with the first rotor and the second rotor,
Even if the required properties are different, by using each as a separate member, it is possible to use a material according to each property. Furthermore, for example, plating with nickel (Ni) or the like can be performed individually, so that it is difficult to peel off and plating can be performed more accurately.

【００１２】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
のターボ分子ポンプであって、前記第１のロータと前記
第２のロータとを、着脱可能に連結固定したことを特徴
とする。The invention according to claim 2 is the turbo-molecular pump according to claim 1, characterized in that the first rotor and the second rotor are detachably connected and fixed. .

【００１３】このように、第１のロータと第２のロータ
とを着脱可能としたことで、ターボ分子ポンプに要求さ
れる特性に応じて一方を取り外し、圧縮比や排気量等の
特性を適宜変更することができる。Since the first rotor and the second rotor are detachable in this manner, one of them can be removed according to the characteristics required for the turbo molecular pump, and the characteristics such as the compression ratio and the displacement can be appropriately adjusted. Can be changed.

【００１４】請求項３に記載の発明は、請求項２に記載
のターボ分子ポンプであって、前記第１のロータと前記
第２のロータとを、ボルト締結により着脱可能としたこ
とを特徴とする。The invention according to claim 3 is the turbo-molecular pump according to claim 2, characterized in that the first rotor and the second rotor can be attached and detached by bolt fastening. To do.

【００１５】このように、該回転部本体と第２のロータ
とをボルト締結により着脱可能としているので、簡易な
構成で両者を強固に連結固定することができるととも
に、第２のロータの脱着も容易且つ迅速に行うことがで
きる。As described above, since the rotating portion main body and the second rotor can be attached / detached by bolt fastening, both can be firmly connected and fixed with a simple structure and the second rotor can be attached / detached. It can be done easily and quickly.

【００１６】[0016]

【発明の実施の形態】以下、本発明に係るターボ分子ポ
ンプの実施の形態について、図面を参照して説明する。
図１は、本発明の一実施形態について示した図である。
ターボ分子ポンプ２０は、上部ケーシング２１ａ、下部
ケーシング２１ｂおよびベース２１ｃとにより構成され
たケーシング２１内部に各種機器が備えられた構成とな
っている。このケーシング２１においては、その上部ケ
ーシング２１ａに吸気口２１ｄ、ベース２１ｃに排気口
２１ｅが、それぞれ形成されている。ケーシング２１内
部においては、上部に軸流段部２０ａ、下部にねじ溝段
部２０ｂとが設けられている。軸流段部２０ａは、主と
して後述する多段に設けられた動翼２５および静翼２３
とにより構成され、ねじ溝段部２０ｂは、外側ロータ
（第１のロータ）３６、内側ロータ（第２のロータ）３
７及びスペーサ３８とにより構成されている。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of a turbo molecular pump according to the present invention will be described below with reference to the drawings.
FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of the present invention.
The turbo molecular pump 20 has a configuration in which various devices are provided inside a casing 21 formed of an upper casing 21a, a lower casing 21b, and a base 21c. In this casing 21, an intake port 21d is formed in the upper casing 21a and an exhaust port 21e is formed in the base 21c. Inside the casing 21, an axial flow step portion 20a is provided at an upper portion and a thread groove step portion 20b is provided at a lower portion. The axial flow step portion 20a is mainly composed of a moving blade 25 and a stationary blade 23, which will be described later in multiple stages.
And the thread groove step portion 20b has an outer rotor (first rotor) 36 and an inner rotor (second rotor) 3
7 and a spacer 38.

【００１７】より具体的に説明すると、ロータ室２２に
は、回転部本体２４が配設されている。回転部本体２４
は、ほぼ鉛直に立設されたロータシャフト２４ａと、当
該ロータシャフト２４ａの周囲に放射状に配置された動
翼２５とを備えた構成となっており、回転軸線Ｏ周りに
回転可能となっている。動翼２５は、その下方に設けら
れた外側ロータ３６と一体成形された強固な構造となっ
ており、ボルト２５ａの締結によって、ロータシャフト
２４ａの上端部側に一体的に連結固定されている。ま
た、上部ケーシング２１ａには、静翼２３が固定されて
いる。More specifically, a rotor main body 24 is provided in the rotor chamber 22. Rotating body 24
Has a rotor shaft 24a which is installed substantially vertically and a rotor blade 25 which is radially arranged around the rotor shaft 24a, and is rotatable about the rotation axis O. . The rotor blade 25 has a strong structure integrally formed with an outer rotor 36 provided therebelow, and is integrally connected and fixed to the upper end side of the rotor shaft 24a by fastening a bolt 25a. In addition, stationary vanes 23 are fixed to the upper casing 21a.

【００１８】外側ロータ３６は、略円筒形状をなす部材
であって、その外周側側面には螺旋状のねじ溝３６ａが
形成されている。そして、回転部本体２４の外側ロータ
３６よりも内周側には、外側ロータ３６とは別部材によ
り構成され、外側ロータ３６よりも一回り小さい略円筒
形状の部材である内側ロータ３７が取り付けられてい
る。すなわち、外側ロータ３６と所定の間隙部を形成す
るようにして、ボルト３５の締結によって、回転部本体
２４に一体的に連結固定されている。この内側ロータ３
７の外周側側面には、螺旋状のねじ溝３７ａが形成され
ている。なお、内周側は外周側に比べ回転周速が遅く、
したがって周方向応力も小さいため、内側ロータ３７の
構成材料として、外側ロータ３６の構成材料に比べて許
容応力が小さく比較的安価なものを用いるようにしてい
るが、互いに同一の構成材料を用いてもよいことは勿論
である。The outer rotor 36 is a member having a substantially cylindrical shape, and a spiral thread groove 36a is formed on the outer peripheral side surface thereof. An inner rotor 37 that is a member that is different from the outer rotor 36 and that is a substantially cylindrical member that is slightly smaller than the outer rotor 36 is attached to the inner circumference side of the outer rotor 36 of the rotating unit body 24. ing. That is, the outer rotor 36 and the outer rotor 36 form a predetermined gap, and are integrally connected and fixed to the rotating portion main body 24 by fastening the bolts 35. This inner rotor 3
A spiral thread groove 37 a is formed on the outer peripheral side surface of the No. 7. In addition, the inner peripheral side has a lower rotational peripheral speed than the outer peripheral side,
Therefore, since the circumferential stress is also small, as the constituent material of the inner rotor 37, a material that has a smaller allowable stress and is relatively cheaper than the constituent material of the outer rotor 36 is used, but the same constituent materials are used. Of course, it is also good.

【００１９】これら外側ロータ３６と内側ロータ３７と
の間隙部には、ケーシング２１に固定された、略円筒形
状のスペーサ３８が位置している。このスペーサ３８の
外周側側面には、螺旋状をなすねじ溝３８ａが形成され
ている。すなわちねじ溝段部２０ｂは、ねじ溝３６ａ、
３８ａ、３７ａによって３段のねじ溝構造となってお
り、各段におけるガスの通過面積を小さくして、逆流が
的確に防止されるようになっている。A substantially cylindrical spacer 38 fixed to the casing 21 is located in the gap between the outer rotor 36 and the inner rotor 37. A spiral thread groove 38 a is formed on the outer peripheral side surface of the spacer 38. That is, the thread groove step portion 20b includes the thread groove 36a,
38a and 37a have a three-step screw groove structure, and the passing area of the gas in each step is made small so that the backflow is accurately prevented.

【００２０】ロータシャフト２４ａの下端部には、スラ
スト磁気ディスク２６が備えられている。このスラスト
磁気ディスク２６の上下面には、これに対向した形でス
ラスト磁気軸受け２８が設けられている。また、ロータ
シャフト２４ａと下部ケーシング２１ｂとの対向面にお
ける上方及び下方には、それぞれラジアル磁気軸受け２
７ａ、２７ｂが設けられている。さらに、ロータシャフ
ト２４ａ上端部にラジアル用上部保護軸受けとして設け
られたボールベアリング２９、同下端ネック部にはラジ
アル及びスラスト用下部保護軸受けとして設けられたボ
ールベアリング３０が設けられている。そして、下部ケ
ーシング２１ｂには、ロータ駆動用モータ３１が設けら
れている。A thrust magnetic disk 26 is provided at the lower end of the rotor shaft 24a. Thrust magnetic bearings 28 are provided on the upper and lower surfaces of the thrust magnetic disk 26 so as to face the thrust magnetic disks 26. Further, the radial magnetic bearings 2 are provided above and below the facing surfaces of the rotor shaft 24a and the lower casing 21b, respectively.
7a and 27b are provided. Further, a ball bearing 29 provided as an upper protective bearing for radial is provided on an upper end portion of the rotor shaft 24a, and a ball bearing 30 provided as a lower protective bearing for radial and thrust is provided at a lower end neck portion thereof. A rotor driving motor 31 is provided in the lower casing 21b.

【００２１】以上のように構成されたターボ分子ポンプ
２０においては、真空排気の際にはモータ３１を駆動し
て回転部本体２４及び内側ロータ３７を回転させる。回
転部本体２４の回転により、吸気口２１ｄからガスが吸
気され、動翼２５と静翼２３との間で第１の圧縮が行わ
れたあと、ねじ溝段部２０ｂで第２の圧縮が行われる。
すなわち、軸流段部２０ａで第１の圧縮が行われたガス
は、外側ロータ３６と下部ケーシング２１ｃとの間（１
段目）を下方に流れ、続いて上方に折り返して外側ロー
タ３６とスペーサ３８との間（２段目）を流れ、さらに
スペーサ３８と内側ロータ３７との間（３段目）を下方
に流れることにより、高圧縮比で第２の圧縮が行われ
る。こうして得られた高圧縮ガスは、排気口２１ｅから
真空排気される。In the turbo molecular pump 20 having the above-described structure, the motor 31 is driven to rotate the rotor main body 24 and the inner rotor 37 during vacuum exhaustion. Gas is taken in through the intake port 21d by the rotation of the rotating portion main body 24, and the first compression is performed between the moving blade 25 and the stationary blade 23, and then the second compression is performed at the thread groove step portion 20b. Be seen.
That is, the gas that has undergone the first compression in the axial flow step portion 20a is (1) between the outer rotor 36 and the lower casing 21c.
Flow downwards, then turn back upwards to flow between the outer rotor 36 and the spacer 38 (second stage), and further downward between the spacer 38 and the inner rotor 37 (third stage). As a result, the second compression is performed with a high compression ratio. The highly compressed gas thus obtained is evacuated from the exhaust port 21e.

【００２２】なおこのターボ分子ポンプ２０において
は、内側ロータ３７を取り外して、ねじ溝段部２０ｂを
２段として使用することもできる。すなわち、ボルト３
５による締結を解除すれば、内側ロータ３７を回転部本
体２４から脱着させることができる。上記のような３段
構造としていれば、ガスの圧縮比を高めることができる
反面、ターボ分子ポンプ２０の下流側に大排気量の補助
ポンプを設けた場合等には、３段目に圧力損失が生じ
て、適正な排気量が確保できなくなるおそれがある。こ
うした場合に、ねじ溝段部２０ｂを２段として、圧縮比
を若干低下させても排気量を向上させれば、用途に応じ
て適正な排気量を確保することができる。In this turbo molecular pump 20, the inner rotor 37 can be removed and the thread groove step portion 20b can be used as two steps. That is, bolt 3
When the fastening by 5 is released, the inner rotor 37 can be detached from the rotating portion main body 24. If the three-stage structure as described above is used, the compression ratio of the gas can be increased, but if a large displacement auxiliary pump is provided on the downstream side of the turbo-molecular pump 20, the pressure loss at the third stage will occur. May occur, and it may not be possible to secure an appropriate displacement. In such a case, if the screw groove step portion 20b has two steps and the exhaust amount is improved even if the compression ratio is slightly lowered, an appropriate exhaust amount can be secured according to the application.

【００２３】本実施形態に係るターボ分子ポンプ２０に
おいては、外周側に位置する外側ロータ３６と、内周側
に位置する内側ロータ３７とを、互いに別部材により構
成して、これらを連結固定するようにしている。そのた
め、従来は非常に困難とされていた、内側ロータ３７へ
のねじ溝３７ａの加工を、エンドミル等の切削工具を用
いて容易且つ的確に行うことができ、ターボ分子ポンプ
２０の製造を容易且つ迅速に行うことができるととも
に、ガスの圧縮比を高めることができる。また、内側ロ
ータ３７にねじ溝３７ａを形成することにより、ねじ溝
３７ａの山の高さ分だけ内側ロータ３７の外周径を拡大
することが可能となるので、より圧縮比を高めて性能を
向上させることができる。In the turbo-molecular pump 20 according to the present embodiment, the outer rotor 36 located on the outer peripheral side and the inner rotor 37 located on the inner peripheral side are constituted by separate members, and are fixedly connected to each other. I am trying. Therefore, it is possible to easily and accurately process the thread groove 37a on the inner rotor 37, which has been very difficult in the related art, by using a cutting tool such as an end mill, and the turbo molecular pump 20 can be easily and easily manufactured. It can be performed quickly and the gas compression ratio can be increased. Further, by forming the thread groove 37a in the inner rotor 37, the outer diameter of the inner rotor 37 can be increased by the height of the crest of the thread groove 37a, so that the compression ratio is further increased and the performance is improved. Can be made.

【００２４】更に、外側ロータ３６に比べ回転周速が遅
く、したがって周方向応力も小さい内側ロータ３７で
は、各々を別部材としていることで、各々の特性に応じ
た材料を用いることができる。そのため、材料コスト或
いは製造コストを低廉化することができる。Further, since the inner rotor 37, which has a lower rotational peripheral speed than the outer rotor 36 and therefore has a small circumferential stress, is made of different members, a material suitable for each characteristic can be used. Therefore, the material cost or the manufacturing cost can be reduced.

【００２５】更に、外側ロータ３６と内側ロータ３７と
を着脱可能な構成としているので、圧縮比、排気量等と
いった、ターボ分子ポンプ２０に要求される特性に応じ
て内側ロータ３７を取り外し、圧縮比や排気量等の特性
をを適宜変更することができる。そのためターボ分子ポ
ンプ２０を、多様な用途に幅広く対応させることができ
る。Further, since the outer rotor 36 and the inner rotor 37 are detachable, the inner rotor 37 is removed according to the characteristics required for the turbo molecular pump 20, such as the compression ratio and the displacement, and the compression ratio is changed. The characteristics such as the exhaust gas amount and the exhaust amount can be appropriately changed. Therefore, the turbo molecular pump 20 can be widely applied to various uses.

【００２６】更に、回転部本体２４と内側ロータ３７と
を、ボルト３５の締結により着脱可能としている。この
ため、簡易な構成で回転部本体２４と内側ロータ３７と
を強固に連結固定することができるとともに、内側ロー
タ３７の脱着も容易且つ迅速に行うことができる。すな
わち、ターボ分子ポンプ２０の圧縮比や排気量等の特性
を容易且つ迅速に変更することができ、作業性を良好な
ものとすることができる。Further, the rotary body 24 and the inner rotor 37 can be attached and detached by fastening bolts 35. Therefore, the rotary body 24 and the inner rotor 37 can be firmly connected and fixed with a simple structure, and the inner rotor 37 can be easily and quickly attached and detached. That is, the characteristics such as the compression ratio and the displacement of the turbo molecular pump 20 can be easily and quickly changed, and the workability can be improved.

【００２７】なお、上記実施形態においては、外側ロー
タ、内側ロータ及びスペーサを各々１つづつ備えた３段
構造としているが、内側ロータ或いはスペーサを２つ以
上設けて、更に多段の構造としてもよい。In the above embodiment, a three-stage structure is provided with one outer rotor, one inner rotor and one spacer, but two or more inner rotors or spacers may be provided to provide a multi-stage structure. .

【００２８】[0028]

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るター
ボ分子ポンプにおいては、上記の如き構成としているの
で、ガスの圧縮比をより高めて性能の向上を図ることが
でき、また、用途に応じてその特性を適宜変更すること
ができるターボ分子ポンプを提供することができる。As described above, since the turbo molecular pump according to the present invention has the above-mentioned configuration, it is possible to further improve the performance by improving the compression ratio of the gas. Accordingly, it is possible to provide a turbo molecular pump whose characteristics can be appropriately changed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】 本発明の一実施形態として示したターボ分
子ポンプの縦断面図である。FIG. 1 is a vertical cross-sectional view of a turbo molecular pump shown as an embodiment of the present invention.

【図２】 従来のターボ分子ポンプの一例を示した縦
断面図である。FIG. 2 is a vertical sectional view showing an example of a conventional turbo molecular pump.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

２０ ターボ分子ポンプ ２０ａ 軸流段部 ２０ｂ ねじ溝段部 ２３ 静翼 ２４ 回転部本体 ２５ 動翼 ３５ ボルト ３６ 外側ロータ（第１のロータ） ３７ 内側ロータ（第２のロータ） ３８ スペーサ ３６ａ、３７ａ、３８ａ ねじ溝 20 Turbo molecular pump 20a axial flow step 20b Thread groove step 23 static wings 24 Rotating body 25 moving blade 35 volts 36 Outer rotor (first rotor) 37 Inner rotor (second rotor) 38 Spacer 36a, 37a, 38a Thread groove

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 動翼と静翼とを備えた軸流段部と、ロ
ータに螺旋状のねじ溝が形成されたねじ溝段部と、を備
えたターボ分子ポンプにおいて、 前記ロータとして、回転軸線周りの外周側に位置する略
円筒状の第１のロータと、該第１のロータの内周側に位
置する略円筒状の第２のロータとを備えることにより、
前記ねじ溝段部を複数段とするとともに、 前記第１のロータと前記第２のロータとを互いに別部材
により構成して、これらを直接、もしくは別部材を介し
て連結固定したことを特徴とするターボ分子ポンプ。1. A turbo molecular pump comprising: an axial flow step portion having moving blades and stationary blades; and a thread groove step portion having a spiral thread groove formed in a rotor, wherein the rotor is a rotary rotor. By providing a substantially cylindrical first rotor located on the outer peripheral side around the axis and a substantially cylindrical second rotor located on the inner peripheral side of the first rotor,
The screw groove step portion has a plurality of steps, and the first rotor and the second rotor are formed by separate members, and these are directly or via a separate member connected and fixed. A turbo molecular pump. 【請求項２】 前記第１のロータと前記第２のロー
タとを、着脱可能に連結固定したことを特徴とする請求
項１に記載のターボ分子ポンプ。2. The turbo molecular pump according to claim 1, wherein the first rotor and the second rotor are detachably connected and fixed. 【請求項３】 前記第１のロータと前記第２のロータ
とを、ボルト締結により着脱可能としたことを特徴とす
る請求項２に記載のターボ分子ポンプ。3. The turbo-molecular pump according to claim 2, wherein the first rotor and the second rotor are attachable / detachable by bolt fastening.