JP2003142417A - Unit for controlling robot equipped to film formation treatment device - Google Patents
Unit for controlling robot equipped to film formation treatment deviceInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は成膜処理装置に装備
されたロボットの制御装置に関し、特に、成膜処理装置
の分野で制御ソフトウェアが個々に異なる複数のロボッ
トに対して１台の共通の制御用端末装置を用いて同じ使
用方法に基づいて制御コマンドを出すことが可能なロボ
ットの制御装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a controller for a robot equipped in a film forming apparatus, and more particularly, in the field of film forming apparatus, one common robot is used for a plurality of robots each having different control software. The present invention relates to a robot control device capable of issuing control commands based on the same usage method using a control terminal device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体デバイス製造装置や各種成膜装置
の代表的構成では、中央に搬送チャンバを有し、その周
囲に２つのロードロックチャンバ、およびそれぞれ各種
の処理を基板の表面に施す複数の処理チャンバを有して
いる。このようなクラスタ型の成膜処理装置（上記の半
導体デバイス製造装置や各種の成膜装置や基板処理装置
も含むものとする）では、２つのロードロックチャンバ
の各々において装置外部からカセットの形式で搬入され
る複数枚の基板を成膜処理装置内に取り込むロボットを
備え、さらに中央の搬送チャンバ等では各処理チャンバ
に対して基板を入れあるいは各処理チャンバから基板を
取り出す少なくとも１台のロボット、および基板の位置
を補正するロボットを備えている。このように１台の成
膜処理装置であっても、基板搬送に関係する複数台のロ
ボットが設けられている。これらのロボットの動作に使
用される制御ソフトウェアは同じであることが望ましい
が、ロボットの製造メーカ、通信方式、制御方式等がそ
れぞれ異なり、ロボットのタイプが異なる場合が多いの
で、制御ソフトウェアが異なるのが一般的である。2. Description of the Related Art In a typical structure of a semiconductor device manufacturing apparatus and various film forming apparatuses, a transfer chamber is provided in the center, two load lock chambers are provided around the transfer chamber, and a plurality of processing devices are provided on the surface of a substrate. It has a processing chamber. In such a cluster type film forming apparatus (including the above-mentioned semiconductor device manufacturing apparatus, various film forming apparatuses and substrate processing apparatuses), each of the two load lock chambers is loaded from outside the apparatus in the form of a cassette. A robot for loading a plurality of substrates into the film forming apparatus is further provided, and further, in the central transfer chamber or the like, at least one robot for loading or unloading substrates into or from each processing chamber, It is equipped with a robot that corrects the position. As described above, even with one film forming apparatus, a plurality of robots related to substrate transfer are provided. The control software used for the operation of these robots is preferably the same, but the control software is different because the robot manufacturer, communication method, control method, etc. are different and the robot type is often different. Is common.
【０００３】成膜処理装置の機種そのものが異なる場合
には、各機種で装備されているロボットのタイプが異な
ることは、いっそう顕著になる。When the model of the film forming apparatus itself is different, it becomes more remarkable that the type of the robot equipped in each model is different.
【０００４】成膜処理装置に関して使用されているロボ
ットのタイプが異なる、すなわち製造メーカ、制御方
式、通信方式等が異なる場合には、ロボットの動作の制
御のためのソフトウェアに関して、従来では一般に、図
１０に示されたシステム構成が採用されている。When the type of robot used in the film forming apparatus is different, that is, the manufacturer, the control system, the communication system, etc., the software for controlling the operation of the robot is generally different from the conventional one. The system configuration shown in 10 is adopted.
【０００５】図１０では、一例としてＡ，Ｂ，Ｃの３つ
のタイプのロボット１１１，１１２，１１３が存在する
場合に、各ロボットの制御に対する仕組み・関係が示さ
れている。タイプＡ，Ｂ，Ｃの各ロボット１１１，１１
２，１１３は、同じ成膜処理装置に装備されていてもよ
いし、機種の異なる成膜処理装置に装備されていてもよ
い。FIG. 10 shows, as an example, the mechanism / relationship for control of each robot when there are three types of robots 111, 112, 113 of A, B, and C. Robots 111, 11 of type A, B, C
2, 113 may be installed in the same film forming apparatus or may be installed in film forming apparatuses of different models.
【０００６】図１０において、Ａタイプのロボット１１
１は、製造メーカはＢ社であり、上位リンクはイーサネ
ット（通信方式としてＵＤＰ(User Datagram Protocol)
を利用）であり、制御方式はシリアル通信である。Ｂタ
イプのロボット１１２は、製造メーカはＤ社であり、上
位リンクはイーサネット（通信方式としてＵＤＰを利
用）であり、制御方式はシリアル通信である。Ｃタイプ
のロボット１１３は、製造メーカはＤ社であり、上位リ
ンクはシリアル通信であり、制御方式はシリアル通信で
ある。従来の制御の仕組みでは、ロボットごとに、ＰＣ
（パーソナル・コンピュータ）２１１，２１２あるいは
ＳＣ（シーケンス・コントローラ）２１３が個別に用意
される。ＰＣ２１１，２１２およびＳＣ２１３のそれぞ
れでは、対応する各タイプのロボットに対応する動作制
御用の制御ソフトウェアが用意されている。In FIG. 10, an A type robot 11
1, the manufacturer is company B, and the upper link is Ethernet (the communication method is UDP (User Datagram Protocol)).
Is used), and the control method is serial communication. The B type robot 112 is manufactured by a company D, an upper link is Ethernet (using UDP as a communication method), and a control method is serial communication. The C type robot 113 is manufactured by Company D, the upper link is serial communication, and the control method is serial communication. In the conventional control mechanism, each robot has a PC
(Personal computers) 211 and 212 or SC (sequence controller) 213 are individually prepared. Each of the PCs 211 and 212 and the SC 213 is provided with control software for motion control corresponding to each corresponding type of robot.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】従来の成膜処理装置に
使用されるロボット１１１，１１２，１１３は、それを
動作させるために別々の制御ソフトウェアを作り、これ
を異なる制御装置（ＰＣ２１１，２１２とＳＣ２１３）
に用意して、対応するロボットを動作させるようにして
いた。この場合に、図１０のバツ印（×）によって示さ
れるように、ＰＣ２１１に用意された制御ソフトウェア
（制御コマンド）でＢタイプやＣタイプの搬送ロボット
を制御できず、ＰＣ２１２に用意された制御ソフトウェ
アでＡタイプやＣタイプの搬送ロボットを制御できず、
ＳＣ２１３に用意された制御ソフトウェアでＡタイプや
Ｂタイプのロボットを制御することはできないという関
係にあった。このように従来の制御の仕組みでは、タイ
プごとに制御ソフトウェアを作成する必要があった。さ
らにＡタイプのロボットとＣタイプのロボットでは、同
じメーカで製造されたものであっても、制御ソフトウェ
アは別々に作成することが必要であった。The robots 111, 112, 113 used in the conventional film forming apparatus make separate control software to operate them, and use different control software (PC 211, 212). SC213)
I was prepared to operate the corresponding robot. In this case, as indicated by a cross (x) in FIG. 10, the control software (control command) prepared in the PC 211 cannot control the B type or C type transfer robot, and the control software prepared in the PC 212. Can not control A type and C type transfer robots,
There is a relationship that the control software prepared in SC213 cannot control the A type robot and the B type robot. As described above, in the conventional control mechanism, it is necessary to create control software for each type. Furthermore, for the A type robot and the C type robot, even if they were manufactured by the same manufacturer, it was necessary to create the control software separately.
【０００８】以上のように、従来の成膜処理装置に装備
されるロボットについては、成膜処理装置ごとに、さら
にはロボットごとに新規に制御ソフトウェアを作成する
必要があったので、装置設計に手間がかかり、納期に時
間を要するという問題があった。As described above, with respect to the robot equipped in the conventional film forming apparatus, it is necessary to create new control software for each film forming apparatus and for each robot. There is a problem that it takes time and delivery takes time.
【０００９】さらに、例えば同じ成膜処理装置において
ロボットが異なるとき、制御用ソフトウェアが異なるの
で、使用方法すなわち操作方法が異なる。従ってオペレ
ータにとってもロボットごとで操作方法が異なると、操
作作業に手間がかかり、操作が面倒となる。Further, for example, when the same film forming apparatus has different robots, the control software is different, so that the usage method, that is, the operation method is different. Therefore, for the operator, if the operation method is different for each robot, the operation work is troublesome and the operation becomes troublesome.
【００１０】さらに同じ成膜処理装置において、内部に
搭載されたロボットを入れ替える等の構成変更がある場
合には、入れ替え前のロボットのために用意された制御
ソフトウェアを用いて新しいロボットを動作させること
はできないという問題が生じた。ロボットの入れ替えと
同時に、制御ソフトウェアの方も新たに用意することが
必要となる。Further, in the same film forming apparatus, when there is a change in the configuration such as replacing the robot mounted inside, a new robot is operated using the control software prepared for the robot before replacement. There was a problem that I could not. At the same time as replacing the robot, it is necessary to prepare new control software.
【００１１】本発明の目的は、上記の課題に鑑み、成膜
処理装置に装備される基板の移動に関係するロボットを
動作させる制御ソフトウェアの作成・用意を簡単にし、
これにより装置設計の手間を軽減し、装置納期を短縮
し、ロボットの操作性を簡単化し、成膜処理装置でのロ
ボットの入れ替えにも低費用で迅速に対応できる成膜処
理装置に装備されたロボットの制御装置を提供すること
にある。In view of the above problems, an object of the present invention is to simplify the preparation and preparation of the control software for operating the robot related to the movement of the substrate equipped in the film forming apparatus,
This reduces equipment design time, shortens equipment delivery time, simplifies robot operability, and equips the film formation processing equipment that can quickly and quickly replace robots in the film formation processing equipment at low cost. It is to provide a control device for a robot.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段および作用】本発明に係る
成膜処理装置に装備されたロボットの制御装置は、上記
目的を達成するために、次の通り構成される。In order to achieve the above-mentioned object, a robot controller provided in a film forming apparatus according to the present invention is configured as follows.
【００１３】第１のロボットの制御装置（請求項１に対
応）は、基板の移動に関係するタイプの異なる複数のロ
ボットを備えた成膜処理装置に適用される複数のロボッ
トの制御装置であり、これらの複数のロボットの各々に
ついてタイプごとに制御ソフトウェアを格納する記憶部
と、表示部の画面に複数のロボットの各々についてタイ
プごとに個別に動作設定を行える入力項目内容を表示す
る動作条件設定部とを備え、動作条件設定部での入力操
作に基づき設定された条件に従って、対応する制御ソフ
トウェアに基づき、複数のロボットの各々に対し制御コ
マンドが与えられることを特徴とする。The first robot controller (corresponding to claim 1) is a controller for a plurality of robots applied to a film forming apparatus having a plurality of robots of different types related to the movement of substrates. , A storage unit that stores the control software for each type of each of these multiple robots, and an operation condition setting that displays the input item contents that can individually set the operation of each type of multiple robots on the screen of the display unit. And a control command is given to each of the plurality of robots based on corresponding control software according to a condition set based on an input operation in the operation condition setting unit.
【００１４】上記のロボットの制御装置では、記憶部に
複数のロボットの各々についてタイプごとに制御ソフト
ウェアを格納すると共に、動作条件設定メニュー選択プ
ログラムでソフト的に実現される動作条件設定部に基づ
いてメニュー表示部の画面に複数のロボットの各々につ
いてタイプごとに個別に動作設定を行うことが可能とな
り、これによって１台のロボット制御装置を用意するだ
けで、複数のタイプのロボットの動作環境の設定を可能
にすることができる。In the above robot control device, control software is stored for each type for each of the plurality of robots in the storage unit, and based on the operation condition setting unit implemented by software by the operation condition setting menu selection program. On the screen of the menu display unit, it is possible to individually set the operation for each type of multiple robots. This makes it possible to set the operating environment for multiple types of robots by only preparing one robot controller. Can be enabled.
【００１５】第２のロボットの制御装置（請求項２に対
応）は、上記の構成において、好ましくは、１台の成膜
処理装置に装備された複数のロボットに対してタイプご
と個々に動作制御条件が設定されるように構成される。
この構成では、１台の同じ成膜処理装置に複数のロボッ
トが装備されている場合にタイプに応じて個々に動作条
件を設定することが可能となる。In the above configuration, the control device for the second robot (corresponding to claim 2) preferably controls the operation individually for each type for a plurality of robots provided in one film forming apparatus. The condition is configured to be set.
With this configuration, when one robot is equipped with the same film forming apparatus, it is possible to individually set operating conditions according to the type.
【００１６】第３のロボットの制御装置（請求項３に対
応）は、上記の構成において、好ましくは、機種が異な
る複数の成膜処理装置の各々に装備された複数のロボッ
トに対して、使用する成膜処理装置の機種を変更するた
びに機種ごとに複数のロボットに対してタイプごと個々
に動作制御条件が設定されるように構成される。この構
成によれば、機種の異なる複数台の成膜処理装置の各々
に対して、各成膜処理装置が搭載するタイプの異なるロ
ボットの動作環境設定に対応することができる。The control device for the third robot (corresponding to claim 3) is preferably used for a plurality of robots equipped in each of a plurality of film forming apparatuses of different models in the above configuration. Each time the model of the film forming apparatus is changed, the operation control condition is set individually for each type for a plurality of robots. According to this configuration, it is possible to correspond to the operating environment settings of the robots of different types mounted in the respective film forming apparatuses for the plurality of film forming apparatuses of different models.
【００１７】[0017]
【発明の実施の形態】以下に、本発明の好適な実施形態
を添付図面に基づいて説明する。Preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.
【００１８】実施形態で説明される構成、形状、大きさ
および配置関係については本発明が理解・実施できる程
度に概略的に示したものにすぎず、また数値および各構
成の組成（材質）については例示にすぎない。従って本
発明は、以下に説明される実施形態に限定されるもので
はなく、特許請求の範囲に示される技術的思想の範囲を
逸脱しない限り様々な形態に変更することができる。The configurations, shapes, sizes, and arrangement relationships described in the embodiments are merely shown to the extent that the present invention can be understood and put into practice, and the numerical values and the compositions (materials) of the respective configurations. Is merely an example. Therefore, the present invention is not limited to the embodiments described below, and can be modified into various forms without departing from the scope of the technical idea shown in the claims.
【００１９】図１に本発明に係るロボットの制御装置が
適用される成膜処理装置の一例が示される。この成膜処
理装置１１はクラスタ型の装置構成を有し、中央の搬送
チャンバ１２の周囲に複数のチャンバを備えている。複
数のチャンバは、一例として、２室のロードロックチャ
ンバ１３Ａ，１３Ｂと複数室の処理チャンバ１４であ
る。２室のロードロックチャンバ１３Ａ，１３Ｂは、大
気環境の外部と所定の真空環境の装置内部との間で、基
板の搬入・搬出を行うためのチャンバである。この基板
の搬入・搬出では、複数枚の基板を搭載するカセットの
状態で行われる。複数の処理チャンバ１４は、それぞれ
各種の成膜チャンバ、膜表面等をクリーニングするチャ
ンバ等である。各処理チャンバ１４では、装置内で予め
定められた順序で移動する基板に対して決められた処理
を行う。装置内で順次に移動する基板は１枚ごとであ
る。搬送チャンバ１２、ロードロックチャンバ１３Ａ，
１３Ｂ、処理チャンバ１４のそれぞれには、内部を所要
の真空状態（減圧状態）にするための排気機構（図示せ
ず）が付設されている。また基板の搬入・搬出が行われ
る各チャンバの出入口部分あるいは境界部分にはゲート
バルブ（図示せず）が設けられている。装置内部では、
ゲートバルブを開閉し開状態にすることによって、成膜
環境等の環境が異なる２室間で１枚の基板の出し入れが
行われる。FIG. 1 shows an example of a film forming apparatus to which the robot controller according to the present invention is applied. The film forming apparatus 11 has a cluster type apparatus configuration, and is provided with a plurality of chambers around a central transfer chamber 12. The plurality of chambers are, for example, two load lock chambers 13A and 13B and a plurality of processing chambers 14. The two load lock chambers 13A and 13B are chambers for loading and unloading substrates between the outside of the atmospheric environment and the inside of the apparatus in a predetermined vacuum environment. The loading and unloading of the substrates is performed in the state of a cassette that carries a plurality of substrates. The plurality of processing chambers 14 are various film forming chambers, chambers for cleaning the film surface, etc., respectively. In each processing chamber 14, a predetermined processing is performed on a substrate that moves in a predetermined order in the apparatus. One substrate is sequentially moved in the apparatus. Transfer chamber 12, load lock chamber 13A,
Each of 13B and the processing chamber 14 is provided with an exhaust mechanism (not shown) for bringing the inside into a desired vacuum state (reduced pressure state). Further, a gate valve (not shown) is provided at an entrance / exit portion or a boundary portion of each chamber for loading / unloading the substrate. Inside the device,
By opening and closing the gate valve to open it, one substrate can be taken in and out between two chambers having different environments such as a film forming environment.
【００２０】上記の成膜処理装置において基板の移動に
関係する複数台のロボットが装備されている。図２は成
膜処理装置に設置されたロボットのレイアウトおよびロ
ボット制御に係るシステム構成を示す。成膜処理装置１
１に装備は、ロボットは、２室のロードロックチャンバ
１３Ａ，１３Ｂのそれぞれには１台の搬送ロボット（以
下「ＬＬロボット」）２１，２２が設置され、搬送チャ
ンバ１２の部分には２台の位置補正ロボット（以下「Ａ
Ｌロボット」）２３，２４と２台の搬送ロボット（以下
「Ｔｒロボット」）２５，２６が設置されている。ＬＬ
ロボット２１，２２は、ロードロックチャンバの内部に
設けられ、カセットにてロードロックチャンバ内に搬入
された多数枚の基板をＴｒロボット２５で１枚ごと取り
出すために、基板の位置を調整するためのロボットであ
る。ＡＬロボット２３は通常は搬送チャンバ内に組み込
まれて構成されている。ＡＬロボット２３は、Ｔｒロボ
ット２５により、自身の上部に設けられた基板載置部に
基板が置かれた時点で、当該基板を監視装置（ＣＣＤ
等）で監視しながらその位置・姿勢を補正するロボット
である。ＡＬロボット２３は、基板をほぼ水平に保持し
かつ回転自在な基板載置部を上部に備え、さらに基板載
置部上に配置された基板を監視するための監視装置を備
えている。ＡＬロボット２３は、基板のオリフラあるい
はノッチを基準にして基板を設定された位置に補正す
る。ＡＬロボット２３の上で正しいオリフラ位置（θ）
まで補正され、水平面であるＸＹ平面におけるＸおよび
Ｙのずれ量はＴｒロボット２５の移動動作にフィードバ
ックされる。Ｔｒロボット２５がＡＬロボット２３の基
板載置部部から基板を取り出すとき、そのずれ量を見込
んだ状態でＴｒロボットの腕がＡＬロボット２３に対し
て進入する。Ｔｒロボット２５は、ＡＬロボット２３に
よって位置補正された基板を、ＡＬロボット２３から受
取り、その周囲にある所定の処理チャンバ１４の中に入
れ、あるいは処理チャンバ１４から基板を取り出すロボ
ットである。またＴｒロボット２５とＴｒロボット２６
の間にはＡＬロボット２４が配置されている。ＡＬロボ
ット２４は、上記のＡＬロボット２３と同一の構成を有
しており、上部の回転自在な基板載置部に置かれた基板
を、付設された監視装置で監視しながら当該基板の位置
・姿勢を補正するロボットであり、基板のオリフラある
いはノッチを基準にして基板を設定された位置に補正す
る。Ｔｒロボット２６は、ＡＬロボット２４によって位
置補正された基板を、ＡＬロボット２４から受取り、そ
の周囲にある所定の処理チャンバ１４の中に入れ、ある
いは処理チャンバ１４から基板を取り出すロボットであ
る。The above film forming apparatus is equipped with a plurality of robots related to the movement of the substrate. FIG. 2 shows a layout of a robot installed in the film forming apparatus and a system configuration relating to robot control. Film processing apparatus 1
1 is equipped with one robot, one transfer robot (hereinafter referred to as “LL robot”) 21 and 22 is installed in each of the two load lock chambers 13A and 13B, and two transfer lock chambers 13A and 13B are installed in the transfer chamber 12. Position correction robot (hereinafter “A
L robot ”) 23, 24 and two transfer robots (hereinafter“ Tr robot ”) 25, 26 are installed. LL
The robots 21 and 22 are provided inside the load lock chamber, and are used to adjust the positions of the substrates so that the Tr robot 25 can take out a large number of the substrates carried in the load lock chamber by the cassette one by one. It is a robot. The AL robot 23 is usually built in the transfer chamber. The AL robot 23, when the substrate is placed by the Tr robot 25 on the substrate placing part provided on the upper part of the AL robot 23, monitors the substrate (CCD).
It is a robot that corrects its position and orientation while monitoring it. The AL robot 23 holds a substrate substantially horizontally and has a rotatable substrate mounting portion on its upper part, and further has a monitoring device for monitoring the substrate placed on the substrate mounting portion. The AL robot 23 corrects the substrate to the set position with reference to the orientation flat or notch of the substrate. Correct orientation position (θ) on the AL robot 23
The amount of deviation between X and Y on the XY plane which is the horizontal plane is fed back to the movement operation of the Tr robot 25. When the Tr robot 25 takes out the substrate from the substrate placing portion of the AL robot 23, the arm of the Tr robot enters the AL robot 23 in a state in which the amount of deviation is expected. The Tr robot 25 is a robot that receives the substrate whose position has been corrected by the AL robot 23 from the AL robot 23 and puts it in a predetermined processing chamber 14 around it or takes out the substrate from the processing chamber 14. Also, the Tr robot 25 and the Tr robot 26
The AL robot 24 is arranged between them. The AL robot 24 has the same configuration as the AL robot 23 described above, and monitors the position of the substrate placed on the rotatable substrate placement unit on the upper side while monitoring it with an attached monitoring device. It is a robot that corrects the posture, and corrects the substrate to the set position based on the orientation flat or notch of the substrate. The Tr robot 26 is a robot that receives the substrate whose position has been corrected by the AL robot 24 from the AL robot 24 and puts it in a predetermined processing chamber 14 around it or takes out the substrate from the processing chamber 14.
【００２１】図２に示すごとく上記６台のロボットの動
作の制御は１台のロボット制御装置３１によって行われ
る。このロボット制御装置３１はＰＣから成る制御用端
末装置である。ロボット制御装置３１は、成膜処理装置
１１に対して、基板の移動に関わるＬＬロボット２１，
２２、ＡＬロボット２３，２４、Ｔｒロボット２５，２
６の動作を制御する装置として付設されている。図２に
よれば、成膜処理装置１１が本来の基板成膜等の一連の
処理作業の動作を行うとき、その処理対象である基板を
予め定められた順序で成膜処理装置１１内を移動させる
ように、ＬＬロボット２１，２２、ＡＬロボット２３，
２４、Ｔｒロボット２５，２６のそれぞれの動作が個別
にロボット制御装置３１によって制御される構成が示さ
れている。また６本の矢印破線３２は、ロボット制御装
置３１から各ロボットへ与えられる動作制御指令（制御
コマンド）を示している。ロボット制御装置３１から各
ロボットへの実際の信号線としては１台のロボットごと
に１本のシリアル伝送線が使用され、通信方式としては
ＲＳ−２３２Ｃのシリアル・インターフェースが用いら
れている。従って図２に示されたイメージでの信号線と
しては、６本の信号線（破線３２）が設けられている。As shown in FIG. 2, the control of the operation of the six robots is performed by one robot controller 31. The robot control device 31 is a control terminal device including a PC. The robot control device 31 controls the LL robot 21, which is involved in the movement of the substrate, with respect to the film forming processing device 11.
22, AL robots 23 and 24, Tr robots 25 and 2
6 is attached as a device for controlling the operation. According to FIG. 2, when the film formation processing apparatus 11 performs an operation of a series of processing operations such as original film formation of a substrate, the substrate to be processed is moved in the film formation processing apparatus 11 in a predetermined order. LL robots 21 and 22, AL robot 23,
24, the operation of each of the Tr robots 25 and 26 is individually controlled by the robot controller 31. Further, six arrows and broken lines 32 indicate operation control commands (control commands) given from the robot controller 31 to each robot. One serial transmission line is used for each robot as an actual signal line from the robot controller 31 to each robot, and an RS-232C serial interface is used as a communication system. Therefore, as the signal line in the image shown in FIG. 2, six signal lines (broken line 32) are provided.
【００２２】ロボット制御装置３１に用意されたロボッ
ト制御ソフトウェア（制御プログラム）３３に基づき制
御コマンドを各ロボットに与える形式は、上位コンピュ
ータとの関係で、後述するように２通りのルートがあ
る。これらのルートは、初期の動作条件の設定によって
任意に選択される。The format for giving a control command to each robot based on the robot control software (control program) 33 prepared in the robot controller 31 has two routes, as will be described later, in relation to the host computer. These routes are arbitrarily selected depending on the setting of the initial operating conditions.
【００２３】ロボット制御装置３１には、図１と図２に
示すように、ロボット制御ソフトウェア３３がその記憶
部に格納されている。ロボット制御ソフトウエア３３で
は、ロボットのタイプごとに制御ソフトウェアが用意さ
れている。この実施形態では、例えば、ＬＬロボット２
１，２２のＡタイプ、ＡＬロボット２３，２４のＢタイ
プ、Ｔｒロボット２５，２６のＣタイプの３種類のタイ
プに分かれているものとする。従ってロボット制御ソフ
トウェア３３においては、Ａタイプ制御ソフトウェア、
Ｂタイプ制御ソフトウェア、Ｃタイプ制御ソフトウェア
が用意されている。As shown in FIGS. 1 and 2, the robot control device 31 has robot control software 33 stored in its storage unit. In the robot control software 33, control software is prepared for each robot type. In this embodiment, for example, the LL robot 2
It is assumed that the robots are divided into three types: A type 1 and 22 and B type AL robots 23 and 24 and C type Tr robots 25 and 26. Therefore, in the robot control software 33, the A type control software,
B type control software and C type control software are prepared.
【００２４】上記ロボットのＡ，Ｂ，Ｃのタイプは、従
来技術の箇所で、図１０を参照して説明したＡ，Ｂ，Ｃ
のロボットタイプに対応しているものとする。The types A, B, and C of the above-mentioned robot are A, B, and C described in the prior art section with reference to FIG.
It corresponds to the robot type of.
【００２５】ロボット制御装置３１の記憶部に用意され
たロボット制御ソフトウェア３３に基づく各ロボットの
動作制御について、ロボット制御ソフトウェア３３によ
る制御コマンドの通信方式としての通信系は、図１に示
されるごとく、２つの系統（媒体）が用意されている。Regarding the operation control of each robot based on the robot control software 33 prepared in the storage unit of the robot control device 31, the communication system as the communication system of the control command by the robot control software 33 is as shown in FIG. Two systems (medium) are prepared.
【００２６】成膜処理装置１１の動作制御に関しては全
体の動作を管理する上位コンピュータ（上位ホスト）４
１が設けられている。信号またはデータの伝送系として
は、コンピュータ（ＳＣを含む）間の接続およびコンピ
ュータと制御対象の間の接続としてイーサネット４２と
いうＬＡＮが用いられている。イーサネット４２には上
位コンピュータ４１およびロボット制御装置３１が接続
される。符号３４による矢印は、ロボット制御装置３１
から制御コマンドがイーサネット４２を経由して各ロボ
ットに与えられるイメージを示す。すなわち、ロボット
制御装置３１から各ロボットへ制御コマンドを提供する
第１の通信系は、上位リンクとして構築されたイーサネ
ット（ＵＤＰ）４２を経由してロボット制御装置３１か
ら各ロボットに直接に制御コマンドを提供する系統であ
る。第２の通信系としては、上位コンピュータ４１を介
し、さらにＲＳ−２３２Ｃの通信方式に基づき各ロボッ
トへ制御コマンドを提供する系統である。この場合、上
位コンピュータ４１は、予め設けられたシーケンス・コ
ントローラ（ＳＣ、プログラマブル・コントローラ）と
しての機能部を動作させ、対応する各ロボットの動作制
御を行う。図１では第２通信系の制御系統を矢印３５の
イメージで表している。実際には、ロボット制御装置３
１からイーサネット４２を経由して上位コンピュータ４
１に制御コマンドを提供し、上位コンピュータ４１のシ
ーケンス・コントローラを経由して各ロボットを制御す
る。Regarding the operation control of the film forming apparatus 11, a host computer (host) 4 which manages the overall operation
1 is provided. As a signal or data transmission system, a LAN called Ethernet 42 is used as a connection between computers (including SC) and a connection between a computer and a controlled object. The host computer 41 and the robot controller 31 are connected to the Ethernet 42. The arrow indicated by reference numeral 34 indicates the robot controller 31.
The following shows an image in which a control command is given to each robot from the Ethernet 42. That is, the first communication system that provides control commands from the robot control device 31 to each robot sends the control command directly to each robot from the robot control device 31 via the Ethernet (UDP) 42 constructed as an upper link. It is a system to provide. The second communication system is a system that provides a control command to each robot via the host computer 41 and based on the RS-232C communication method. In this case, the host computer 41 operates a functional unit as a sequence controller (SC, programmable controller) that is provided in advance to control the operation of each corresponding robot. In FIG. 1, the control system of the second communication system is represented by the image of arrow 35. In reality, the robot controller 3
Host computer 4 from 1 via Ethernet 42
1 is provided with a control command to control each robot via the sequence controller of the host computer 41.
【００２７】上記の第１通信系または第２通信系による
制御コマンドの通信方式は、初期の動作条件（環境）の
設定に基づいて、任意に選択することができる。ロボッ
ト制御装置３１による各ロボットの動作制御は、通常、
第１通信系によるシリアル通信で行われるように設定さ
れている。The communication system of the control command by the first communication system or the second communication system can be arbitrarily selected based on the setting of the initial operating condition (environment). The operation control of each robot by the robot controller 31 is usually
It is set to be performed by serial communication by the first communication system.
【００２８】図３〜図９を参照してロボット制御装置３
１の特徴的構成を説明する。図３は制御用端末装置とし
てのロボット制御装置３１の外観と接続関係を示し、図
４はロボット制御装置３１による制御の仕組み・関係を
示し、図５〜図９は初期の動作条件設定において動作条
件設定部によって作られる表示画面の表示例を示してい
る。Robot controller 3 with reference to FIGS.
The characteristic configuration of No. 1 will be described. 3 shows the appearance and connection relationship of the robot control device 31 as a control terminal device, FIG. 4 shows the control mechanism and relationship by the robot control device 31, and FIGS. 5 to 9 show the operation in the initial operation condition setting. The example of a display of the display screen created by the condition setting part is shown.
【００２９】図３に示すごとく、ロボット制御装置３１
はＰＣであり、制御用端末装置を構成する。ロボット制
御装置３１は、出力部としての表示部３１ａ、入力部と
してのキーボード３１ｂ、マウス３１ｃを備えている。
ロボット制御装置３１は、イーサネット４２を介して成
膜処理装置１１内のＬＬロボット２１，２２、ＡＬロボ
ット２３，２４、Ｔｒロボット２５，２６のそれぞれに
対して制御コマンドを与えるように構成されている。As shown in FIG. 3, the robot controller 31
Is a PC and constitutes a control terminal device. The robot control device 31 includes a display unit 31a as an output unit, a keyboard 31b as an input unit, and a mouse 31c.
The robot controller 31 is configured to give a control command to each of the LL robots 21 and 22, the AL robots 23 and 24, and the Tr robots 25 and 26 in the film forming apparatus 11 via the Ethernet 42. .
【００３０】図４は、１台の制御用端末装置によってタ
イプの異なる複数のロボットの動作を制御することを可
能にする本実施形態に係るロボット制御装置３１の特徴
的構成を説明するための図である。前述のごとく成膜処
理装置１１には、基板の移動に関係するＡ，Ｂ，Ｃのタ
イプのＬＬロボット２１，２２、ＡＬロボット２３，２
４、Ｔｒロボット２５，２６が設けられている。Ａ，
Ｂ，Ｃのタイプのロボットに関し、制御方式、上位リン
ク、メーカ等に関する事項については図４に記載される
通りである。これは図１０で説明した内容と同じであ
る。これらのタイプの異なるＬＬロボット２１，２２、
ＡＬロボット２３，２４、Ｔｒロボット２５，２６が、
ロボット制御装置３１の制御対象となる。従来の制御装
置の構成によれば各タイプのロボットに対して個々にＰ
ＣまたはＳＣを用意することが必要であった。これに対
して、本実施形態に係る構成では、１台のロボット制御
装置３１すなわち１台のＰＣによってタイプの異なる複
数のロボット２１〜２６をタイプごとに制御することが
可能となっている。FIG. 4 is a diagram for explaining a characteristic configuration of the robot control device 31 according to the present embodiment, which makes it possible to control the operations of a plurality of robots of different types by one control terminal device. Is. As described above, the film forming apparatus 11 includes the LL robots 21 and 22 of A, B and C types related to the movement of the substrate and the AL robots 23 and 2.
4. Tr robots 25 and 26 are provided. A,
With respect to the B and C type robots, items regarding the control method, the upper link, the manufacturer, etc. are as described in FIG. This is the same as the content described in FIG. These different types of LL robots 21, 22,
AL robots 23, 24, Tr robots 25, 26
It is a control target of the robot controller 31. According to the configuration of the conventional controller, P is individually set for each type of robot.
It was necessary to prepare C or SC. On the other hand, in the configuration according to the present embodiment, it is possible to control the plurality of robots 21 to 26 of different types for each type by one robot control device 31, that is, one PC.
【００３１】図４に示すように、ロボット制御装置３１
は、その記憶部に、Ａタイプ、Ｂタイプ、Ｃタイプの制
御ソフトウェアを含むロボット制御ソフトウェア３３を
備えている。ロボット制御ソフトウェア３３は、成膜処
理装置１１の運転を開始する前の設定段階で、動作条件
設定メニュー選択ソフトウェア３６を介して各ロボット
に対して設定される。動作条件設定メニュー選択ソフト
ウェア３６は各ロボットの動作条件または動作環境を設
定するための手段（動作条件設定部）である。動作条件
設定メニュー選択ソフトウェア３６によれば、表示部３
１ａの画面に複数のロボットの各々についてタイプごと
に個別に動作設定を行なえる入力項目内容を表示し、入
力操作に基づいて動作条件の設定がロボットごとに行う
ことを可能にする。動作条件設定メニュー選択ソフトウ
ェア３６の実行によって、ロボット制御装置３１の表示
部の画面３１ａには、ロボットの動作制御に関する設定
について、図５に示すごときメイン画面が表示される。As shown in FIG. 4, the robot controller 31
Is equipped with robot control software 33 including A type, B type, and C type control software in its storage unit. The robot control software 33 is set for each robot via the operating condition setting menu selection software 36 at the setting stage before the operation of the film forming apparatus 11 is started. The operating condition setting menu selection software 36 is means (operating condition setting unit) for setting the operating condition or operating environment of each robot. According to the operating condition setting menu selection software 36, the display unit 3
On the screen 1a, the contents of the input items for which the operation settings can be individually set for each of the plurality of robots are displayed, and the operation conditions can be set for each robot based on the input operation. By executing the operation condition setting menu selection software 36, the main screen as shown in FIG. 5 is displayed on the screen 31a of the display unit of the robot controller 31 for the settings related to the operation control of the robot.
【００３２】ロボット制御装置３１においてロボット動
作制御のプログラムを起動すると、その表示部の画面３
１ａに、図５に示すようなメイン画面５０が表れる。メ
イン画面では、矩形表示領域５１の上辺に沿ってイベン
ト項目欄５２が設けらており、ここで条件設定項目とし
て「ＬＬ−Ａ、ＬＬ−Ｂ、ＡＬ１、ＡＬ２、Ｔｒα、Ｔ
ｒβ、ＳＣＡＮ、ＥＲＲＯＲ」が設けられている。ここ
で、「ＬＬ−Ａ」はＬＬロボット２１に、「ＬＬ−Ｂ」
はＬＬロボット２２に、「ＡＬ１」はＡＬロボット２３
に、「ＡＬ２」はＡＬロボット２４に、「Ｔｒα」はＴ
ｒロボット２５に、「Ｔｒβ」はＴｒロボット２６に、
それぞれ対応している。スタートボタン５３を押すと、
ＳＣＡＮ（スキャン）動作が開始される。「ＳＣＡＮ」
は、ロボット制御装置３１と各ロボットとの間で通信を
行い、各ロボットのステータス読込みおよび動作イベン
ト処理を繰り返す処理である。ストップボタン５４を押
すと、ＳＣＡＮ動作が停止される。When the robot operation control program is started in the robot controller 31, the screen 3 of its display section is displayed.
A main screen 50 as shown in FIG. 5 appears on 1a. On the main screen, an event item column 52 is provided along the upper side of the rectangular display area 51, and here, as condition setting items, "LL-A, LL-B, AL1, AL2, Trα, T.
rβ, SCAN, ERROR ”are provided. Here, "LL-A" indicates to the LL robot 21, and "LL-B" indicates
Is the LL robot 22 and "AL1" is the AL robot 23
"AL2" is for AL robot 24, and "Trα" is for T
r robot 25, “Trβ” to Tr robot 26,
Each corresponds. When you press the start button 53,
The SCAN (scan) operation is started. "SCAN"
Is a process of performing communication between the robot controller 31 and each robot, and repeating the status reading of each robot and the action event process. When the stop button 54 is pressed, the SCAN operation is stopped.
【００３３】設定（Ｓ）のボタン６１を押すと、図６に
示す環境設定のウィンドウが表れる。環境設定のウィン
ドウ６２において、設定項目として、「ＳＣＡＮ開始時
処理」６３、「ロボット選択」６４、「メディア選択」
６５、「イーサネット選択」６６が設けられている。
「ＳＣＡＮ開始時処理」６３は、スキャン開始条件を設
定する条件設定項目欄である。「ロボット選択」６４
は、使用するロボットの選択６４ａ、通信ポートの設定
６４ｂ、ロボットタイプの設定６４ｃを行うための条件
設定項目欄である。「メディア選択」６５は、通信媒体
をＲＳ−２３２Ｃかイーサネットのいずれかに選択する
条件設定項目欄である。「イーサネット選択」６６は、
シーケンサのタイプおよび通信プロトコル等を設定する
ための条件設定項目欄である。When the setting (S) button 61 is pressed, the environment setting window shown in FIG. 6 appears. In the environment setting window 62, as the setting items, "SCAN start process" 63, "robot selection" 64, "media selection"
65 and “Ethernet selection” 66 are provided.
“SCAN start process” 63 is a condition setting item column for setting scan start conditions. "Robot selection" 64
Is a condition setting item column for selecting a robot to be used 64a, setting a communication port 64b, and setting a robot type 64c. "Media selection" 65 is a condition setting item column for selecting either RS-232C or Ethernet as the communication medium. "Ethernet selection" 66
It is a condition setting item column for setting the type of the sequencer, the communication protocol, and the like.
【００３４】図７はＬＬロボット２１，２２の動作条件
を設定する環境設定ウィンドウを示す。「ＬＬ−Ａ」ま
たは「ＬＬ−Ｂ」のボタンを押すと、図７に示す環境設
定のウィンドウ７１が表れる。環境設定のウィンドウ７
１では、カセット段数、カセットピッチ、カセットオフ
セット等が設定される。FIG. 7 shows an environment setting window for setting the operating conditions of the LL robots 21 and 22. When the "LL-A" or "LL-B" button is pressed, the environment setting window 71 shown in FIG. 7 appears. Preferences window 7
In 1, the number of cassette stages, cassette pitch, cassette offset, etc. are set.
【００３５】図８はＡＬロボット２３，２４の動作条件
を設定する環境設定ウィンドウを示す。「ＡＬ１」また
は「ＡＬ２」のボタンを押すと、図８に示すアライナ環
境設定のウィンドウ８１が表れる。アライナ環境設定の
ウィンドウ８１では、カレントポジション、角度設定等
が設定される。FIG. 8 shows an environment setting window for setting the operating conditions of the AL robots 23 and 24. When the "AL1" or "AL2" button is pressed, the aligner environment setting window 81 shown in FIG. 8 appears. In the aligner environment setting window 81, the current position, angle setting, etc. are set.
【００３６】図９はＴｒロボット２５，２６の動作条件
を設定する環境設定ウィンドウを示す。「Ｔｒα」また
は「Ｔｒβ」のボタンを押すと、図９に示す環境設定の
ウィンドウ９１が表れる。この環境設定のウィンドウ９
１では、ステーション座標設定、コアタイプ選択、ＰＩ
ＣＫ・ＰＬＡＣＥ時のＺ軸速度等が設定される。FIG. 9 shows an environment setting window for setting the operating conditions of the Tr robots 25 and 26. When the "Trα" or "Trβ" button is pressed, the environment setting window 91 shown in FIG. 9 appears. This preferences window 9
In 1, station coordinate setting, core type selection, PI
Z axis speed etc. at CK / PLACE are set.
【００３７】上記のごとく、動作条件設定メニュー選択
ソフトウェア３６で実現される動作条件設定部によれ
ば、１台の成膜処理装置にタイプの異なる複数のロボッ
ト２１〜２６が装備されている状態において、ロボット
のタイプごと、またはロボットごとに動作条件を設定す
ることが可能となる。従って、１台のロボット制御装置
３１を用意するだけで、各種ロボット、各種タイプのロ
ボットに対応することができる。どのロボットを使用す
るか否かということも選択することができる。各ロボッ
トの動作条件を容易に設定することができ、ロボットが
異なっても、ロボット制御装置３１におけ動作条件設定
メニュー選択ソフトウェア３６に基づく操作方法・使用
方法は基本的に同じであるので、取扱いが容易である。
成膜処理装置１１に装備されるロボットが入れ替えられ
たとしても、ロボット制御ソフトウェア３３に必要な制
御ソフトウェアを用意するだけで、動作条件の設定を簡
単に行うことが可能となる。As described above, according to the operation condition setting section realized by the operation condition setting menu selection software 36, in a state in which one film forming apparatus is equipped with a plurality of robots 21 to 26 of different types. It is possible to set operating conditions for each robot type or each robot. Therefore, it is possible to deal with various robots and various types of robots only by preparing one robot control device 31. You can also choose which robot to use. The operating conditions of each robot can be easily set, and the operating method and the operating method based on the operating condition setting menu selection software 36 in the robot controller 31 are basically the same even if the robots are different. Is easy.
Even if the robot equipped in the film forming apparatus 11 is replaced, the operating conditions can be easily set only by preparing necessary control software in the robot control software 33.
【００３８】前述の実施形態の説明では、１台の成膜処
理装置１１における複数のロボットの動作条件の設定に
関するものであったが、機種が異なる成膜処理装置に装
備される複数のロボットに関しても、動作条件について
同様に対応することができる。すなわち、ロボット制御
装置３１による制御の対象が、機種の異なる複数の成膜
処理装置の間で変更された場合でも、各成膜処理装置に
装備されたロボットの動作条件を１台のロボット制御装
置３１で設定し、動作を制御することが可能となる。In the above description of the embodiment, the operation conditions of a plurality of robots in one film forming apparatus 11 were set. However, regarding a plurality of robots equipped in film forming apparatuses of different models. The same can be applied to the operating conditions. That is, even when the target of control by the robot control device 31 is changed among a plurality of film formation processing devices of different models, the operating conditions of the robots equipped in each film formation processing device are controlled by one robot control device. It is possible to control the operation by setting in 31.
【００３９】[0039]
【発明の効果】以上の説明で明らかなように本発明によ
れば、成膜処理装置に搭載されるタイプの異なる複数の
ロボットの動作環境を個々に設定することができるメニ
ュー選択ソフトウェアを設けるようにしたため、成膜処
理装置に装備される基板の移動に関係するロボットを動
作させる制御ソフトウェアの作成・用意を簡単にし、こ
れにより装置設計の手間を軽減し、装置納期を短縮し、
ロボットの操作性を簡単化し、成膜処理装置でのロボッ
トの入れ替えにも低費用で迅速に対応することができ
る。As is apparent from the above description, according to the present invention, the menu selection software capable of individually setting the operating environments of a plurality of robots of different types mounted in the film forming apparatus is provided. Therefore, it is easy to create and prepare the control software that operates the robot related to the movement of the substrate equipped in the film formation processing apparatus, thereby reducing the time and effort for the apparatus design and shortening the delivery time of the apparatus.
The operability of the robot can be simplified, and the replacement of the robot in the film forming apparatus can be quickly handled at low cost.
【図１】本発明に係るロボットの制御装置が適用される
成膜処理装置の一例を示す構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing an example of a film forming processing apparatus to which a robot controller according to the present invention is applied.
【図２】成膜処理装置に設置された複数のロボットのレ
イアウトおよびロボット制御に係るシステム構成を示す
ブロック図である。FIG. 2 is a block diagram showing a layout of a plurality of robots installed in a film forming apparatus and a system configuration related to robot control.
【図３】端末装置としてのロボット制御装置の外観と接
続関係を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing an external appearance and a connection relationship of a robot control device as a terminal device.
【図４】本実施形態に係るロボット制御装置による制御
の仕組み・関係を示す説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram showing a mechanism / relationship of control by the robot controller according to the present embodiment.
【図５】初期の動作条件設定におけるメイン画面の図で
ある。FIG. 5 is a diagram of a main screen in initial operation condition setting.
【図６】初期の動作条件設定における第１の環境設定ウ
ィンドウを示す図である。FIG. 6 is a diagram showing a first environment setting window in initial operation condition setting.
【図７】初期の動作条件設定における第２の環境設定ウ
ィンドウを示す図である。FIG. 7 is a diagram showing a second environment setting window in initial operation condition setting.
【図８】初期の動作条件設定における第３の環境設定ウ
ィンドウを示す図である。FIG. 8 is a diagram showing a third environment setting window in initial operation condition setting.
【図９】初期の動作条件設定における第４の環境設定ウ
ィンドウを示す図である。FIG. 9 is a diagram showing a fourth environment setting window in initial operation condition setting.
【図１０】従来の成膜処理装置における各種ロボットの
制御の仕組み・関係を示す説明図である。FIG. 10 is an explanatory diagram showing a control mechanism / relationship of various robots in a conventional film forming apparatus.
１１ 成膜処理装置 １２ 搬送チャンバ １３Ａ，１３Ｂ ロードロックチャンバ １４ 処理チャンバ ２１，２２ 搬送ロボット（ＬＬロボット） ２３，２４ 位置補正ロボット（ＡＬロボット） ２５，２６ 搬送ロボット（Ｔｒロボット） ３１ ロボット制御装置 ３３ ロボット制御ソフトウェア ３６ 動作条件設定メニューソフトウェア ４２ イーサネット 11 Film processing equipment 12 Transport chamber 13A, 13B load lock chamber 14 Processing chamber 21,22 Transfer robot (LL robot) 23, 24 Position correction robot (AL robot) 25,26 Transport robot (Tr robot) 31 Robot controller 33 Robot control software 36 Operating condition setting menu software 42 Ethernet
Claims (3)
数のロボットを備えた成膜処理装置に適用される前記複
数のロボットの制御装置であり、 前記複数のロボットの各々についてタイプごとに制御ソ
フトウェアを格納する記憶部と、表示部の画面に前記複
数のロボットの各々についてタイプごとに個別に動作設
定を行える入力項目内容を表示する動作条件設定手段と
を備え、 前記動作条件設定手段での入力操作に基づき設定された
条件に従って、対応する前記制御ソフトウェアに基づ
き、前記複数のロボットの各々に対し制御コマンドが与
えられることを特徴とする成膜処理装置に装備されたロ
ボットの制御装置。1. A controller of the plurality of robots applied to a film forming apparatus comprising a plurality of robots of different types related to the movement of substrates, the control software for each type of the plurality of robots. And a motion condition setting means for displaying on the screen of the display part the contents of input items capable of individually setting motions for each type of the plurality of robots, and inputting by the motion condition setting means. A control device for a robot provided in a film forming apparatus, wherein a control command is given to each of the plurality of robots based on the corresponding control software according to a condition set based on an operation.
数のロボットに対してタイプごと個々に動作制御条件が
設定されることを特徴とする請求項１記載の成膜処理装
置に装備されたロボットの制御装置。2. The film forming apparatus according to claim 1, wherein operation control conditions are set individually for each type for the plurality of robots installed in one film forming apparatus. Control device for robots.
に装備された前記複数のロボットに対して、使用する成
膜処理装置の機種を変更するたびに機種ごとに前記複数
のロボットに対してタイプごと個々に動作制御条件が設
定されることを特徴とする請求項１記載の成膜処理装置
に装備されたロボットの制御装置。3. For each of the plurality of robots equipped in each of a plurality of film forming apparatuses of different models, every time the model of the film forming apparatus to be used is changed, 2. The control device for a robot provided in a film forming apparatus according to claim 1, wherein operation control conditions are set individually for each type.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001339822A JP2003142417A (en) | 2001-11-05 | 2001-11-05 | Unit for controlling robot equipped to film formation treatment device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (1)
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101446413B1 (en) * | 2012-02-16 | 2014-10-02 | 가부시키가이샤 야스카와덴키 | Transfer system |
-
2001
- 2001-11-05 JP JP2001339822A patent/JP2003142417A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101446413B1 (en) * | 2012-02-16 | 2014-10-02 | 가부시키가이샤 야스카와덴키 | Transfer system |
| US8989901B2 (en) | 2012-02-16 | 2015-03-24 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Transfer system |
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