JP2003131717A - ロット編成システム及びロット編成方法 - Google Patents
ロット編成システム及びロット編成方法Info
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 38
- 230000008520 organization Effects 0.000 title claims abstract description 22
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 39
- 238000009940 knitting Methods 0.000 claims description 12
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 16
- 230000007423 decrease Effects 0.000 abstract description 2
- 238000004904 shortening Methods 0.000 abstract 1
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 80
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 22
- 230000008521 reorganization Effects 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000004886 process control Methods 0.000 description 3
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
-
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- Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing
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- General Factory Administration (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】製造リードタイムの短縮及び搬送車の搬送効率
をはかり、搬送車の台数を削減する。 【解決手段】生産ライン内の各ロット、各装置21〜2
3及び搬送車31〜33の情報を管理し、各装置21〜
23及び搬送車31〜33の制御と各ロットの編成とを
決定する生産管理手段を設けて、搬送車31が装置21
に到着した時点で、すでに処理が完了しているワーク
(例えば基板)をロットとして再編成するという編成処
理を行うことで、ロットの装置上での待ち時間をなくし
て、製造リードタイムを短くする。また、逆に搬送車が
装置に到着してからロットの処理が完了するまでの待時
間や、ロットの搬送をキャンセルした搬送車の他の装置
への移動をなくして、搬送車の稼働率を高める。
をはかり、搬送車の台数を削減する。 【解決手段】生産ライン内の各ロット、各装置21〜2
3及び搬送車31〜33の情報を管理し、各装置21〜
23及び搬送車31〜33の制御と各ロットの編成とを
決定する生産管理手段を設けて、搬送車31が装置21
に到着した時点で、すでに処理が完了しているワーク
(例えば基板)をロットとして再編成するという編成処
理を行うことで、ロットの装置上での待ち時間をなくし
て、製造リードタイムを短くする。また、逆に搬送車が
装置に到着してからロットの処理が完了するまでの待時
間や、ロットの搬送をキャンセルした搬送車の他の装置
への移動をなくして、搬送車の稼働率を高める。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば複数枚の半
導体基板を1ロットとして取り扱う半導体基板の生産工
程におけるロット編成システム及びロット編成方法に関
する。
導体基板を1ロットとして取り扱う半導体基板の生産工
程におけるロット編成システム及びロット編成方法に関
する。
【0002】
【従来の技術】従来、半導体基板の生産工程において
は、複数枚(例えば20枚)の基板を収納したカセット
を1ロットとして編成している。各装置では、カセット
から基板を取り出して枚葉処理もしくはバッチ処理を行
った後、再び元のカセットに戻している。そして、1ロ
ット分の基板の処理が完了すると、人手もしくは無人搬
送車等にて次工程の装置へ搬送される。
は、複数枚(例えば20枚)の基板を収納したカセット
を1ロットとして編成している。各装置では、カセット
から基板を取り出して枚葉処理もしくはバッチ処理を行
った後、再び元のカセットに戻している。そして、1ロ
ット分の基板の処理が完了すると、人手もしくは無人搬
送車等にて次工程の装置へ搬送される。
【0003】ここで、図7に示すように、装置21と装
置22がワークを処理し、搬送車31がワークを運ぶ場
合を考える。装置21と装置22は、処理するロットを
装置内に2個まで持てるものとする。また、装置21で
処理されたロットは、次に装置22で処理が行われるも
のとする。
置22がワークを処理し、搬送車31がワークを運ぶ場
合を考える。装置21と装置22は、処理するロットを
装置内に2個まで持てるものとする。また、装置21で
処理されたロットは、次に装置22で処理が行われるも
のとする。
【0004】図7を用いてロットの動きを説明する。な
お、図7において各設備から右側に伸びる矢印は時間軸
を表しており、矢印上のロットの長さは、その設備を占
有している時間を表わしている。
お、図7において各設備から右側に伸びる矢印は時間軸
を表しており、矢印上のロットの長さは、その設備を占
有している時間を表わしている。
【0005】まず、装置21においてロットAの処理が
終り、そのロットAを搬送車31によって装置22へ運
ぶ場合を考える。
終り、そのロットAを搬送車31によって装置22へ運
ぶ場合を考える。
【0006】いま、時刻toで、装置21がロットAの
処理を完了し、ロットBの処理に移ると同時に、工程を
管理しているシステムにロットAの搬出要求を伝える。
工程を管理しているシステムは、搬送車31に対して、
ロットAを装置21から装置22へ運ぶように指示を与
える。
処理を完了し、ロットBの処理に移ると同時に、工程を
管理しているシステムにロットAの搬出要求を伝える。
工程を管理しているシステムは、搬送車31に対して、
ロットAを装置21から装置22へ運ぶように指示を与
える。
【0007】時刻t1で、搬送車31が装置21に到着
し、ロットAを積み込み、装置22へ向かって移動を開
始する。従って時刻to〜t1の期間(図7中に斜線で
示している期間)において、ロットAは装置21の上で
搬送車31が到着するのを待っている。
し、ロットAを積み込み、装置22へ向かって移動を開
始する。従って時刻to〜t1の期間(図7中に斜線で
示している期間)において、ロットAは装置21の上で
搬送車31が到着するのを待っている。
【0008】時刻t2では、搬送車31が装置22に到
着し、ロットAを降ろす。従って時刻t1〜t2の期間
においてロットAは搬送車31に載って移動している。
装置22では、ロットCの処理中であるため、ロットA
は処理待ち状態になる。
着し、ロットAを降ろす。従って時刻t1〜t2の期間
においてロットAは搬送車31に載って移動している。
装置22では、ロットCの処理中であるため、ロットA
は処理待ち状態になる。
【0009】時刻t3では、装置22でロットCの処理
が完了し、ロットAの処理が開始される。
が完了し、ロットAの処理が開始される。
【0010】しかし、実際には、装置21で処理を終っ
たロットAに対して、搬送車31が他のロットを搬送し
ておれば、装置21に搬送車31が到着するまでに時間
がかかる。そのときの動きを図8を用いて説明する。
たロットAに対して、搬送車31が他のロットを搬送し
ておれば、装置21に搬送車31が到着するまでに時間
がかかる。そのときの動きを図8を用いて説明する。
【0011】時刻toで、装置22がロットAの処理を
完了し、ロットBの処理に移ると同時に、工程を管理し
ているシステムにロットAの処理完了を伝えるが、搬送
車31は、図示していない装置で処理を完了したロット
Dを運ぶために、その装置に移動している場合を考え
る。搬送車31がロットDを運び終わる時刻t4まで、
ロットAは装置21の上で待ち続けることになる。
完了し、ロットBの処理に移ると同時に、工程を管理し
ているシステムにロットAの処理完了を伝えるが、搬送
車31は、図示していない装置で処理を完了したロット
Dを運ぶために、その装置に移動している場合を考え
る。搬送車31がロットDを運び終わる時刻t4まで、
ロットAは装置21の上で待ち続けることになる。
【0012】時刻t4で搬送車31はロットDを運び終
わり、ロットAを運ぶために装置21へ向かって移動を
開始する。
わり、ロットAを運ぶために装置21へ向かって移動を
開始する。
【0013】時刻t1で、搬送車31が装置21に到着
する。従ってto〜t1までの期間(図8中に斜線で示
している期間)において、ロットAは装置21の上で搬
送車31が到着するのを待っている。時刻t1でロット
Aの積み込みを行い、装置22へ向かって移動を開始す
る。
する。従ってto〜t1までの期間(図8中に斜線で示
している期間)において、ロットAは装置21の上で搬
送車31が到着するのを待っている。時刻t1でロット
Aの積み込みを行い、装置22へ向かって移動を開始す
る。
【0014】時刻t3では、装置22に次に処理するロ
ットAがまだ到着していないにも関わらず、ロットCの
処理が完了することになる。従って装置22は処理する
ロットが無くなり待機状態になってしまう。
ットAがまだ到着していないにも関わらず、ロットCの
処理が完了することになる。従って装置22は処理する
ロットが無くなり待機状態になってしまう。
【0015】時刻t2では、搬送車31が装置22に到
着し、ロットAを降ろすので、装置22では、ロットA
の処理を開始できる。しかし、時刻t3〜t2の期間だ
け装置22の稼動率が低下することになる。
着し、ロットAを降ろすので、装置22では、ロットA
の処理を開始できる。しかし、時刻t3〜t2の期間だ
け装置22の稼動率が低下することになる。
【0016】以上の問題を解消する方法として、特開2
000−156398号公報に記載の方法がある。この
方法では、ロットAの処理を完了する前に、ロットAの
処理完了予告を通知することにより、工程を管理してい
るシステムが、搬送車31に対して、ロットAを装置2
1に取りに行くように指示を与えている。
000−156398号公報に記載の方法がある。この
方法では、ロットAの処理を完了する前に、ロットAの
処理完了予告を通知することにより、工程を管理してい
るシステムが、搬送車31に対して、ロットAを装置2
1に取りに行くように指示を与えている。
【0017】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記公報に
記載の方法では、搬送車31が装置21に到着したと同
時に、装置21においてロットAの処理が完了しておれ
ば問題はない。
記載の方法では、搬送車31が装置21に到着したと同
時に、装置21においてロットAの処理が完了しておれ
ば問題はない。
【0018】しかし、通常は、装置21の処理完了の予
定時刻が分かっていても、他の複数の装置から処理完了
予告信号が出たときには、搬送車31は順番に搬送を行
うため、どの装置に対しても処理が完了する時刻に、搬
送車31がその装置に到着することは困難である。この
場合は、図8に示すように、搬送車31が装置21に到
着したときに、装置21においてロットAの処理がすで
に完了していて、ロットAが装置21の上で待っている
ことになる。従って製造リードタイムが長くなる。
定時刻が分かっていても、他の複数の装置から処理完了
予告信号が出たときには、搬送車31は順番に搬送を行
うため、どの装置に対しても処理が完了する時刻に、搬
送車31がその装置に到着することは困難である。この
場合は、図8に示すように、搬送車31が装置21に到
着したときに、装置21においてロットAの処理がすで
に完了していて、ロットAが装置21の上で待っている
ことになる。従って製造リードタイムが長くなる。
【0019】逆に、複数の装置からの処理完了予告信号
が重なることを想定して、早めに処理完了予告を発する
と、複数の装置からの処理完了予告信号が重ならなかっ
たときには、搬送車31が、ロットAの処理が完了する
前に装置21に到着してしまい、ロットAの処理が完了
するまで装置21で待ち続けることになる。この場合
は、図9に示すように、搬送車31が装置21に到着し
た時刻t1において、ロットAが処理中であるため、
搬送車31はロットAの処理が完了する時刻toまで、
装置21の前で停車したまま待機するか、あるいはロッ
トAの搬送を取りやめて、別のロットを搬送するために
搬送車31を他の装置へ移動することになる。
が重なることを想定して、早めに処理完了予告を発する
と、複数の装置からの処理完了予告信号が重ならなかっ
たときには、搬送車31が、ロットAの処理が完了する
前に装置21に到着してしまい、ロットAの処理が完了
するまで装置21で待ち続けることになる。この場合
は、図9に示すように、搬送車31が装置21に到着し
た時刻t1において、ロットAが処理中であるため、
搬送車31はロットAの処理が完了する時刻toまで、
装置21の前で停車したまま待機するか、あるいはロッ
トAの搬送を取りやめて、別のロットを搬送するために
搬送車31を他の装置へ移動することになる。
【0020】結局、搬送車31は無駄な移動が多くな
り、搬送車31がロットを搬送できる回数が減るため、
必要な搬送車の台数が多くなる。
り、搬送車31がロットを搬送できる回数が減るため、
必要な搬送車の台数が多くなる。
【0021】本発明はそのような問題点を解決するため
になされたもので、製造リードタイムの短縮及び搬送車
の搬送効率をはかることができ、もって搬送車の台数を
削減することが可能なロット編成システム及びロット編
成方法の提供を目的とする。
になされたもので、製造リードタイムの短縮及び搬送車
の搬送効率をはかることができ、もって搬送車の台数を
削減することが可能なロット編成システム及びロット編
成方法の提供を目的とする。
【0022】
【課題を解決するための手段】本発明のロット編成シス
テムは、生産処理を行う複数の装置と、ロットを待機さ
せるストッカと、各装置とストッカとの間及び各装置間
にロットを搬送する搬送車とを備えた生産ラインにおい
て、複数のワークによって編成されるロットを管理・編
成するロット編成システムであって、前記生産ライン内
の各ロット、各装置及び搬送車の情報を管理し、各装置
及び搬送車の制御と各ロットの編成とを決定する生産管
理手段を備えていることによって特徴づけられる。
テムは、生産処理を行う複数の装置と、ロットを待機さ
せるストッカと、各装置とストッカとの間及び各装置間
にロットを搬送する搬送車とを備えた生産ラインにおい
て、複数のワークによって編成されるロットを管理・編
成するロット編成システムであって、前記生産ライン内
の各ロット、各装置及び搬送車の情報を管理し、各装置
及び搬送車の制御と各ロットの編成とを決定する生産管
理手段を備えていることによって特徴づけられる。
【0023】本発明のロット編成システムにおいて、前
記ワークの種類、各装置が行うワークに対する処理の種
類、及び、処理が行われたワークの枚数に関するロット
の編成条件を格納する編成条件格納手段と、その編成条
件格納手段に格納されたロットの編成条件を入出力する
入出力手段とを設け、製品の種類、あるいは処理工程や
処理装置、処理を完了したワークの枚数によって、ロッ
トの編成条件を変更できるようにしてもよい。
記ワークの種類、各装置が行うワークに対する処理の種
類、及び、処理が行われたワークの枚数に関するロット
の編成条件を格納する編成条件格納手段と、その編成条
件格納手段に格納されたロットの編成条件を入出力する
入出力手段とを設け、製品の種類、あるいは処理工程や
処理装置、処理を完了したワークの枚数によって、ロッ
トの編成条件を変更できるようにしてもよい。
【0024】本発明のロット編成システムによれば、前
記した生産管理手段によって、搬送車が装置に到着した
時点で、すでに処理が完了しているワーク(例えば基
板)をロットとして再編成するという編成処理を行うこ
とが可能になるので、ロットが装置の上で待つことがな
く、製造リードタイムを短くすることができる。
記した生産管理手段によって、搬送車が装置に到着した
時点で、すでに処理が完了しているワーク(例えば基
板)をロットとして再編成するという編成処理を行うこ
とが可能になるので、ロットが装置の上で待つことがな
く、製造リードタイムを短くすることができる。
【0025】また、逆に搬送車が装置に到着してからロ
ットの処理が完了するまでの待時間や、ロットの搬送を
キャンセルした搬送車の他の装置への移動をなくすこと
が可能になるので、搬送車の稼働率を高めることができ
る。
ットの処理が完了するまでの待時間や、ロットの搬送を
キャンセルした搬送車の他の装置への移動をなくすこと
が可能になるので、搬送車の稼働率を高めることができ
る。
【0026】本発明のロット編成方法は、生産処理を行
う複数の装置と、ロットを待機させるストッカと、各装
置とストッカとの間及び各装置間にロットを搬送する搬
送車とを備えた生産ラインにおいて、各装置がロットの
編成条件に基づいてロットの搬出要求を出力し、その搬
出要求に応じて搬送指示が与えられた搬送車が装置に到
着した時点で、ロットを再編成して搬出するロットを決
定することによって特徴づけられる。
う複数の装置と、ロットを待機させるストッカと、各装
置とストッカとの間及び各装置間にロットを搬送する搬
送車とを備えた生産ラインにおいて、各装置がロットの
編成条件に基づいてロットの搬出要求を出力し、その搬
出要求に応じて搬送指示が与えられた搬送車が装置に到
着した時点で、ロットを再編成して搬出するロットを決
定することによって特徴づけられる。
【0027】本発明のロット編成方法において、搬送車
が装置に到着した時点で、すでに処理が完了しているワ
ークを第1のロットとし、処理が完了していないワーク
を第2のロットとして再編成を行って搬出するロットを
決定するようにしてもよい。
が装置に到着した時点で、すでに処理が完了しているワ
ークを第1のロットとし、処理が完了していないワーク
を第2のロットとして再編成を行って搬出するロットを
決定するようにしてもよい。
【0028】本発明のロット編成方法によれば、搬送車
が装置に到着した時点で、すでに処理が完了しているワ
ーク(例えば基板)をロットとして再編成するので、ロ
ットが装置の上で待つことがなく、製造リードタイムを
短くすることができる。
が装置に到着した時点で、すでに処理が完了しているワ
ーク(例えば基板)をロットとして再編成するので、ロ
ットが装置の上で待つことがなく、製造リードタイムを
短くすることができる。
【0029】また、逆に搬送車が装置に到着し、ロット
の処理が完了するまで待つ必要がなく、さらに、ロット
の搬送をキャンセルして別のロットを搬送するために他
の装置へ移動する必要もなくなるので、搬送車の余計な
移動がなくなり、搬送車の稼動率も高めることができ
る。
の処理が完了するまで待つ必要がなく、さらに、ロット
の搬送をキャンセルして別のロットを搬送するために他
の装置へ移動する必要もなくなるので、搬送車の余計な
移動がなくなり、搬送車の稼動率も高めることができ
る。
【0030】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を詳細に
説明する。
説明する。
【0031】図1は本発明の実施形態の構成を示すブロ
ック図である。なお、本実施形態では、複数枚の半導体
基板を1ロットとして取り扱う半導体基板の生産工程に
本発明を適用した例を示している。
ック図である。なお、本実施形態では、複数枚の半導体
基板を1ロットとして取り扱う半導体基板の生産工程に
本発明を適用した例を示している。
【0032】工程管理装置1は、生産管理部11、装置
管理部12、搬送制御部13、編成条件格納部14を備
えている。
管理部12、搬送制御部13、編成条件格納部14を備
えている。
【0033】生産管理部11は、生産工程内のロットの
データを管理し、ロットの再編成・生産指示・搬送要求
を出す。装置管理部12は、生産工程内の装置21〜2
3と通信を行って装置21〜23の稼動状況を管理す
る。
データを管理し、ロットの再編成・生産指示・搬送要求
を出す。装置管理部12は、生産工程内の装置21〜2
3と通信を行って装置21〜23の稼動状況を管理す
る。
【0034】搬送制御部13は、生産工程内の搬送車3
1〜33の割付を行って搬送指示を出す。編成条件格納
部14は、ロットを編成するときの1ロット当りの最小
枚数を格納する。
1〜33の割付を行って搬送指示を出す。編成条件格納
部14は、ロットを編成するときの1ロット当りの最小
枚数を格納する。
【0035】生産工程内には、様々な製造処理を行う複
数の装置21〜23、生産工程内でロットを搬送するた
めの搬送車31〜33、編成条件格納部14に格納され
ている編成条件の参照・編集・新規登録を行う入出力装
置41,42、処理可能な装置が使用中もしくはメンテ
ナンス中や故障中などで搬送できなかったロットを格納
するストッカ5が配置されている。なお、入出力装置4
1,42は生産工程内だけでなく、その他の任意の場所
に設置することができる。
数の装置21〜23、生産工程内でロットを搬送するた
めの搬送車31〜33、編成条件格納部14に格納され
ている編成条件の参照・編集・新規登録を行う入出力装
置41,42、処理可能な装置が使用中もしくはメンテ
ナンス中や故障中などで搬送できなかったロットを格納
するストッカ5が配置されている。なお、入出力装置4
1,42は生産工程内だけでなく、その他の任意の場所
に設置することができる。
【0036】装置21〜23は、ロットの処理開始や処
理完了時の処理結果、故障による装置の停止・復帰など
のデータを工程管理装置1の装置管理部12に送信す
る。また、装置21〜23は、あるロット中の基板処理
の枚数が、ロットを編成するときの1ロット当りの最小
枚数に達した時点で、ロットの搬出要求を装置管理部1
2に送信する。
理完了時の処理結果、故障による装置の停止・復帰など
のデータを工程管理装置1の装置管理部12に送信す
る。また、装置21〜23は、あるロット中の基板処理
の枚数が、ロットを編成するときの1ロット当りの最小
枚数に達した時点で、ロットの搬出要求を装置管理部1
2に送信する。
【0037】装置管理部12は、装置2の状態の変更や
履歴の更新を行い、生産管理部11に必要なデータを送
信する。また、装置管理部12は、処理するロットの処
理条件などを装置21〜23に送信する。
履歴の更新を行い、生産管理部11に必要なデータを送
信する。また、装置管理部12は、処理するロットの処
理条件などを装置21〜23に送信する。
【0038】搬送車31〜33は、ロットの搬送開始や
搬送終了、故障による停止・復帰などのデータ、指定ポ
イントを通過した時刻などのデータを、工程管理装置1
の搬送制御部13に送信する。
搬送終了、故障による停止・復帰などのデータ、指定ポ
イントを通過した時刻などのデータを、工程管理装置1
の搬送制御部13に送信する。
【0039】搬送制御部13は、搬送車31〜33の状
態や現在位置の変更を行う。また、搬送制御部13は、
搬送するロットのデータや、搬送元・搬送先などの搬送
ルートを搬送車31〜33に送信する。
態や現在位置の変更を行う。また、搬送制御部13は、
搬送するロットのデータや、搬送元・搬送先などの搬送
ルートを搬送車31〜33に送信する。
【0040】次に、本実施形態の動作を図2及び図4を
参照しながら説明する。
参照しながら説明する。
【0041】図2は、装置21にてロットAの処理が完
了する前に搬送車31がロットAを取りに来た場合のタ
イムチャートを示している。なお、図2において、各設
備から右側に伸びる矢印は時間軸を、矢印上のロットの
長さは、その設備を占有している時間を表わしている。
了する前に搬送車31がロットAを取りに来た場合のタ
イムチャートを示している。なお、図2において、各設
備から右側に伸びる矢印は時間軸を、矢印上のロットの
長さは、その設備を占有している時間を表わしている。
【0042】図4は、装置21にてロットAを処理開始
してからロットA′を再編成して搬出するまでの処理手
順を示すフローチャートである。
してからロットA′を再編成して搬出するまでの処理手
順を示すフローチャートである。
【0043】まず、装置21においてロットAの処理を
開始する(ステップS0)。ロットAの基板の処理を完
了する毎に、ロットAの中ですでに完了した枚数を、編
成条件格納部14に格納されているデータつまりロット
を編成するときの1ロット当りの最小枚数と比較し、す
でに完了した枚数が1ロット当りの最小枚数に達するま
では、ロットAの処理を繰り返す(ステップS1)。
開始する(ステップS0)。ロットAの基板の処理を完
了する毎に、ロットAの中ですでに完了した枚数を、編
成条件格納部14に格納されているデータつまりロット
を編成するときの1ロット当りの最小枚数と比較し、す
でに完了した枚数が1ロット当りの最小枚数に達するま
では、ロットAの処理を繰り返す(ステップS1)。
【0044】次に、図2において時刻toで、ロットA
の中ですでに処理を完了した枚数が1ロット当りの最小
枚数に達すると、装置21がロットAの搬出要求を装置
管理部12に出力する(ステップS2)。
の中ですでに処理を完了した枚数が1ロット当りの最小
枚数に達すると、装置21がロットAの搬出要求を装置
管理部12に出力する(ステップS2)。
【0045】装置管理部12は、装置21からの搬出要
求を受けると、ロットAの処理結果を生産管理部11へ
送る。生産管理部11は、ロットAの搬送先を決定し、
搬送制御部13に搬送指示を送る。ロットAの次に処理
すべき装置22がロットを搬入可能であれば、ロットA
の搬送先を装置22とし、装置22が次に処理すべきロ
ットを確保している場合、もしくはメンテナンス中や故
障中などで搬送できない場合には、ロットAの搬送先を
ストッカ5とする。
求を受けると、ロットAの処理結果を生産管理部11へ
送る。生産管理部11は、ロットAの搬送先を決定し、
搬送制御部13に搬送指示を送る。ロットAの次に処理
すべき装置22がロットを搬入可能であれば、ロットA
の搬送先を装置22とし、装置22が次に処理すべきロ
ットを確保している場合、もしくはメンテナンス中や故
障中などで搬送できない場合には、ロットAの搬送先を
ストッカ5とする。
【0046】搬送制御部13は、生産管理部11からの
搬送指示と複数台の搬送車31〜33の現在の位置か
ら、ロットAを搬送する搬送車をどれにするかを決定
し、その決定内容に該当する搬送車に指示を出す。
搬送指示と複数台の搬送車31〜33の現在の位置か
ら、ロットAを搬送する搬送車をどれにするかを決定
し、その決定内容に該当する搬送車に指示を出す。
【0047】このとき、ロットAを運ぶ搬送車がすぐに
決定されれば、装置21から搬出要求が出た時刻toか
ら搬送車31が装置21に到着する時刻t1までの時間
は比較的短いが、ロットA以外に運ぶべきロットが多い
場合には、運ぶことのできる搬送車がなかなか決まらな
いので、装置21から搬出要求が出た時刻toから搬送
車31が装置21に到着する時刻t1までの時間は長く
なる。
決定されれば、装置21から搬出要求が出た時刻toか
ら搬送車31が装置21に到着する時刻t1までの時間
は比較的短いが、ロットA以外に運ぶべきロットが多い
場合には、運ぶことのできる搬送車がなかなか決まらな
いので、装置21から搬出要求が出た時刻toから搬送
車31が装置21に到着する時刻t1までの時間は長く
なる。
【0048】そして、ロット搬出要求を出力した後、搬
送車31が装置21に到着するまでは、装置21はロッ
トAの処理を継続する(ステップS3)。
送車31が装置21に到着するまでは、装置21はロッ
トAの処理を継続する(ステップS3)。
【0049】次に、図2において時刻t1で、ロットA
を運搬する搬送車31が装置21に到着したとする。
を運搬する搬送車31が装置21に到着したとする。
【0050】このとき、編成条件格納部14に格納され
ている1ロット当りの最小枚数が15枚である場合、例
えば図5に示すように、ロットAの15枚目の基板の処
理を完了した時刻toで装置21がロット搬出要求を出
し、19枚目を処理しているときに搬送車31が到着し
たとすると、この時点で、すでに処理を完了している1
枚目から18枚目までの18枚をロットA′とし(ステ
ップS4)、残りの19枚目と20枚目をロットB′に
組み入れる(ステップS5)。そして、18枚に再編成
されたロットA′を搬出して搬送車31に積み込む(ス
テップS6)。
ている1ロット当りの最小枚数が15枚である場合、例
えば図5に示すように、ロットAの15枚目の基板の処
理を完了した時刻toで装置21がロット搬出要求を出
し、19枚目を処理しているときに搬送車31が到着し
たとすると、この時点で、すでに処理を完了している1
枚目から18枚目までの18枚をロットA′とし(ステ
ップS4)、残りの19枚目と20枚目をロットB′に
組み入れる(ステップS5)。そして、18枚に再編成
されたロットA′を搬出して搬送車31に積み込む(ス
テップS6)。
【0051】次に、ロット搬出要求を出力した後、搬送
車31が装置21に到着する前にロットAの処理が完了
した場合の動作を図3及び図2を参照しながら説明す
る。
車31が装置21に到着する前にロットAの処理が完了
した場合の動作を図3及び図2を参照しながら説明す
る。
【0052】図3は、装置21にてロットAの処理が完
了しロットBの処理を行っているときに、搬送車31が
装置21にロットAを取りに行くときのタイムチャート
を示している。なお、図3において、各設備から右側に
伸びる矢印は時間軸を、矢印上のロットの長さは、その
設備を占有している時間を表わしている。
了しロットBの処理を行っているときに、搬送車31が
装置21にロットAを取りに行くときのタイムチャート
を示している。なお、図3において、各設備から右側に
伸びる矢印は時間軸を、矢印上のロットの長さは、その
設備を占有している時間を表わしている。
【0053】まず、時刻toでロットAの搬出要求を出
す。搬送車31が到着する時刻t1よりも前にロットA
の処理が完了していると(図3:ステップS7)、その
時点で、装置21はロットBの処理を開始する(ステッ
プS8)。
す。搬送車31が到着する時刻t1よりも前にロットA
の処理が完了していると(図3:ステップS7)、その
時点で、装置21はロットBの処理を開始する(ステッ
プS8)。
【0054】図3において時刻t1で、ロットAを搬送
する搬送車31が装置21に到着したとする(ステップ
S9)。
する搬送車31が装置21に到着したとする(ステップ
S9)。
【0055】このとき、編成条件格納部14に格納され
ている1ロット当りの最小枚数が15枚である場合、例
えば図6に示すように、ロットAの15枚目の基板の処
理を完了した時刻toで装置21がロット搬出要求を出
し、ロットBの3枚目を処理しているときに搬送車31
が到着したとすると、この時点で、すでに処理を完了し
ているロットAの20枚とロットBの1枚目から2枚目
までの合計22枚をロットA′とし(ステップS4)、
ロットBの3枚目をロットB′の1枚目とする(ステッ
プS5)。そして、22枚に再編成されたロットA′を
搬出して搬送車31に積み込む(ステップS6)。
ている1ロット当りの最小枚数が15枚である場合、例
えば図6に示すように、ロットAの15枚目の基板の処
理を完了した時刻toで装置21がロット搬出要求を出
し、ロットBの3枚目を処理しているときに搬送車31
が到着したとすると、この時点で、すでに処理を完了し
ているロットAの20枚とロットBの1枚目から2枚目
までの合計22枚をロットA′とし(ステップS4)、
ロットBの3枚目をロットB′の1枚目とする(ステッ
プS5)。そして、22枚に再編成されたロットA′を
搬出して搬送車31に積み込む(ステップS6)。
【0056】以上のように、本発明の実施形態によれ
ば、搬送車31が装置21に到着した時刻において、す
でに処理が完了している基板をロットA′として再編成
しているので、ロットAが装置21の上で待つことがな
く、製造リードタイムを短くすることができる。
ば、搬送車31が装置21に到着した時刻において、す
でに処理が完了している基板をロットA′として再編成
しているので、ロットAが装置21の上で待つことがな
く、製造リードタイムを短くすることができる。
【0057】また、逆に搬送車31が装置21に到着
し、ロットAの処理が完了するまで待つ必要がなく、さ
らに、ロットAの搬送をキャンセルして別のロットを搬
送するために他の装置へ移動する必要もなくなるので、
搬送車31は余計な移動がなくなり、搬送車の稼動率も
高くでき、必要な搬送車の台数を最小にできる。
し、ロットAの処理が完了するまで待つ必要がなく、さ
らに、ロットAの搬送をキャンセルして別のロットを搬
送するために他の装置へ移動する必要もなくなるので、
搬送車31は余計な移動がなくなり、搬送車の稼動率も
高くでき、必要な搬送車の台数を最小にできる。
【0058】ここで、以上の実施形態では、装置21か
らロットAの搬出要求を出す時刻を決める方法として、
すでに処理を完了した基板枚数がロットを編成するとき
の1ロット当りの最小枚数に達したときに搬出要求を出
すという方法を採用しているが、これに限定されること
はない。
らロットAの搬出要求を出す時刻を決める方法として、
すでに処理を完了した基板枚数がロットを編成するとき
の1ロット当りの最小枚数に達したときに搬出要求を出
すという方法を採用しているが、これに限定されること
はない。
【0059】搬出要求を出す時刻を決定する他の方法と
して、1ロット当りの最大枚数を定義して搬出要求を出
すという方法もある。
して、1ロット当りの最大枚数を定義して搬出要求を出
すという方法もある。
【0060】さらに、このような方法において、例え
ば、1ロット当りの最大枚数を24枚と定義しておき、
ロットBの基板枚数が20枚であったとすれば、ロット
Aの残りがロットBに組み込まれても1ロット当りの最
大枚数の24枚を超えることがないように、ロットAの
16枚目の基板処理が完了した時点で、ロットAの搬出
要求を出すという方法、また、1ロット当りの最小枚数
と最大枚数の両方を満たすときにロットAの搬出要求を
出すという方法もある。
ば、1ロット当りの最大枚数を24枚と定義しておき、
ロットBの基板枚数が20枚であったとすれば、ロット
Aの残りがロットBに組み込まれても1ロット当りの最
大枚数の24枚を超えることがないように、ロットAの
16枚目の基板処理が完了した時点で、ロットAの搬出
要求を出すという方法、また、1ロット当りの最小枚数
と最大枚数の両方を満たすときにロットAの搬出要求を
出すという方法もある。
【0061】その他の方法として、装置21においてロ
ットAの20枚の基板処理を完了する予定時刻に合わせ
て搬送車が到着するように、ロットAの処理完了予定時
刻から搬送車が装置にロットを取りに来るまでに要する
平均時間だけ逆上った時刻にロットAの搬出要求を出す
という方法もある。
ットAの20枚の基板処理を完了する予定時刻に合わせ
て搬送車が到着するように、ロットAの処理完了予定時
刻から搬送車が装置にロットを取りに来るまでに要する
平均時間だけ逆上った時刻にロットAの搬出要求を出す
という方法もある。
【0062】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
搬送車が装置に到着した時点で、すでに処理が完了して
いる基板をロットとして再編成しているので、ロットが
装置の上で待つことがなく、製造リードタイムを短くす
ることができる。また、逆に搬送車が装置に到着し、ロ
ットの処理が完了するまで待つ必要がなく、さらに、ロ
ットの搬送をキャンセルして別のロットを搬送するため
に他の装置へ移動する必要もなくなるので、搬送車の余
計な移動がなくなり、搬送車の稼動率も高くできる。そ
の結果、必要な搬送車の台数を最小にすることができ
る。
搬送車が装置に到着した時点で、すでに処理が完了して
いる基板をロットとして再編成しているので、ロットが
装置の上で待つことがなく、製造リードタイムを短くす
ることができる。また、逆に搬送車が装置に到着し、ロ
ットの処理が完了するまで待つ必要がなく、さらに、ロ
ットの搬送をキャンセルして別のロットを搬送するため
に他の装置へ移動する必要もなくなるので、搬送車の余
計な移動がなくなり、搬送車の稼動率も高くできる。そ
の結果、必要な搬送車の台数を最小にすることができ
る。
【図1】本発明の実施形態の構成を示すブロック図であ
る。
る。
【図2】本発明の実施形態で実行するロット再編成処理
のタイムチャートである。
のタイムチャートである。
【図3】本発明の実施形態で実行するロット再編成処理
のタイムチャートである。
のタイムチャートである。
【図4】本発明の実施形態で実行するロット再編成処理
の手順を示すフローチャートである。
の手順を示すフローチャートである。
【図5】図2のロット編成処理の更に詳細なタイムチャ
ートである。
ートである。
【図6】図3のロット編成処理の更に詳細なタイムチャ
ートである。
ートである。
【図7】従来のシステムにおいてロットの動きを示すタ
イムチャートである。
イムチャートである。
【図8】従来のシステムにおいてロットの動きを示すタ
イムチャートである。
イムチャートである。
【図9】従来のシステムにおいて装置と搬送車の位置関
係を示す図である。
係を示す図である。
1 工程管理装置
11 生産管理部
12 装置管理部
13 搬送制御部
14 編成条件格納部
21〜23 装置
31〜33 搬送車
41,42 入出力装置
5 ストッカ
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Fターム(参考) 3C100 AA32 AA34 AA47 BB02 BB21
BB31 BB33 EE06
5F031 CA02 DA01 DA17 FA03 FA11
GA58 GA59 PA03
Claims (4)
- 【請求項1】 生産処理を行う複数の装置と、ロットを
待機させるストッカと、各装置とストッカとの間及び各
装置間にロットを搬送する搬送車とを備えた生産ライン
において、複数のワークによって編成されるロットを管
理・編成するロット編成システムであって、 前記生産ライン内の各ロット、各装置及び搬送車の情報
を管理し、各装置及び搬送車の制御と各ロットの編成と
を決定する生産管理手段を備えていることを特徴とする
ロット編成システム。 - 【請求項2】 前記ワークの種類、各装置が行うワーク
に対する処理の種類、及び、処理が行われたワークの枚
数に関するロットの編成条件を格納する編成条件格納手
段と、その編成条件格納手段に格納されたロットの編成
条件を入出力する入出力手段とを備えていることを特徴
とする請求項1記載のロット編成システム。 - 【請求項3】 生産処理を行う複数の装置と、ロットを
待機させるストッカと、各装置とストッカとの間及び各
装置間にロットを搬送する搬送車とを備えた生産ライン
において、 各装置がロットの編成条件に基づいてロットの搬出要求
を出力し、その搬出要求に応じて搬送指示が与えられた
搬送車が装置に到着した時点で、ロットを再編成して搬
出するロットを決定することを特徴とするロット編成方
法。 - 【請求項4】 前記搬送車が装置に到着した時点で、す
でに処理が完了しているワークを第1のロットとし、処
理が完了していないワークを第2のロットとして再編成
を行って搬出するロットを決定することを特徴とする請
求項3に記載のロット編成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001323644A JP2003131717A (ja) | 2001-10-22 | 2001-10-22 | ロット編成システム及びロット編成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001323644A JP2003131717A (ja) | 2001-10-22 | 2001-10-22 | ロット編成システム及びロット編成方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003131717A true JP2003131717A (ja) | 2003-05-09 |
Family
ID=19140506
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001323644A Pending JP2003131717A (ja) | 2001-10-22 | 2001-10-22 | ロット編成システム及びロット編成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2003131717A (ja) |
-
2001
- 2001-10-22 JP JP2001323644A patent/JP2003131717A/ja active Pending
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