JP2003130040A - High speed rotation device - Google Patents
High speed rotation deviceInfo
- Publication number
- JP2003130040A JP2003130040A JP2001329592A JP2001329592A JP2003130040A JP 2003130040 A JP2003130040 A JP 2003130040A JP 2001329592 A JP2001329592 A JP 2001329592A JP 2001329592 A JP2001329592 A JP 2001329592A JP 2003130040 A JP2003130040 A JP 2003130040A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceramic
- rotating member
- rotating
- speed rotation
- metal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Sliding-Contact Bearings (AREA)
- Mounting Of Bearings Or Others (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
- Brushless Motors (AREA)
- Permanent Magnet Type Synchronous Machine (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Connection Of Motors, Electrical Generators, Mechanical Devices, And The Like (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は動圧空気軸受を使用
した高速回転装置の改良に関し、例えばデジタル画像形
成装置に装備されるレーザ書込み装置に使用されるポリ
ゴンスキャナを超高速回転に対応しつつ安定した性能を
発揮できる構造にした高速回転装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an improvement in a high-speed rotation device using a dynamic pressure air bearing, for example, a polygon scanner used in a laser writing device equipped in a digital image forming apparatus while supporting ultra-high speed rotation. The present invention relates to a high-speed rotation device having a structure capable of exhibiting stable performance.
【０００２】[0002]
【従来の技術】レーザ書込み装置に使用されるポリゴン
ミラーを高速回転させるモータ、ハードディスクドライ
ブ用モータ、光ディスクドライブ用モータ等の高速回転
装置においては、ラジアル動圧空気軸受を使用した動圧
空気軸受モータが使用されている。ラジアル動圧空気軸
受は、ラジアル方向の動圧軸受を構成する固定軸と、こ
の固定軸の外周によって内周を回転自在に支持される回
転体との間に形成されるリング状の微小隙間であり、回
転体の回転駆動時にはこの微小隙間内に発生する動圧空
気により固定軸と回転体とが非接触状態に維持される。
ところで、デジタル複写機、レーザプリンタ等のレーザ
書込み装置を使用した画像形成装置を、高速プリント化
し、且つその画質を高精細化するにあたっては、レーザ
書込み装置が装備するポリゴンスキャナを40,000rpm以
上の超高速で、しかも高精度に回転させる必要がある。
従来から高速ポリゴンスキャナ用の軸受として、軸ロッ
ク（かじり、焼き付き）が発生しないセラミック製動圧
空気軸受が使用されている。即ち、固定部との間で動圧
軸受隙間を形成する回転自在な回転軸をセラミック材料
により構成している。セラミック材料の中でもコスト面
からアルミナ（曲げ強度：300Mpa、熱膨張率：0.7×10
-5/℃）が一般的に使用されている。一方で回転軸の外
周に固定されるポリゴンミラー素材には一般的にアルミ
合金が用いられ、セラミック製回転軸の外周面にアルミ
合金製ポリゴンミラーの内周面が焼きバメ、接着などの
方法で固定される。なお、回転軸に対してポリゴンミラ
ーを固定する方法としては、40,000rpm以上の高速回転
及びモータ発熱に伴う温度上昇に対応するために、焼き
バメ方法が一般的である。接着方法によった場合には、
温度上昇に伴う両者の熱膨張差に起因した熱応力により
固定力が大きく低下する。たとえば、接着によった場
合、温度が90℃以上になる高速回転体にはバランス変化
が発生し、振動が増大するなど問題がある。2. Description of the Related Art In a high speed rotating device such as a motor for rotating a polygon mirror used in a laser writing device at a high speed, a motor for a hard disk drive, a motor for an optical disk drive, etc., a dynamic pressure air bearing motor using a radial dynamic pressure air bearing. Is used. A radial dynamic pressure air bearing is a ring-shaped minute gap formed between a fixed shaft that constitutes a radial dynamic pressure bearing and a rotating body whose inner circumference is rotatably supported by the outer circumference of the fixed shaft. Therefore, when the rotating body is driven to rotate, the fixed shaft and the rotating body are maintained in a non-contact state by the dynamic pressure air generated in the minute gap.
By the way, in order to achieve high-speed printing of an image forming apparatus using a laser writing device such as a digital copying machine or a laser printer, and to improve the image quality thereof, a polygon scanner equipped with the laser writing device has a speed of 40,000 rpm or more. It is necessary to rotate at high speed and with high precision.
Conventionally, as a bearing for a high-speed polygon scanner, a ceramic dynamic pressure air bearing that does not cause shaft lock (galling, seizure) has been used. That is, the rotatable shaft that forms the dynamic pressure bearing gap with the fixed portion is made of a ceramic material. Alumina (bending strength: 300Mpa, coefficient of thermal expansion: 0.7 × 10)
-5 / ℃) is commonly used. On the other hand, an aluminum alloy is generally used for the polygon mirror material fixed to the outer circumference of the rotary shaft, and the inner peripheral surface of the aluminum alloy polygon mirror is shrink-fitted or adhered to the outer peripheral surface of the ceramic rotary shaft. Fixed. As a method of fixing the polygon mirror to the rotating shaft, a shrink fitting method is generally used in order to cope with a high speed rotation of 40,000 rpm or more and a temperature rise due to heat generation of the motor. When using the bonding method,
The fixing force is greatly reduced by the thermal stress caused by the difference in thermal expansion between the two due to the temperature rise. For example, in the case of adhesion, there is a problem that the high-speed rotating body having a temperature of 90 ° C. or higher causes a change in balance and vibration increases.
【０００３】しかしながら、上記焼きバメ方法にあって
は、低温環境時にセラミック製回転軸に径方向からの収
縮応力が発生し、脆性材料であるセラミックにクラック
が発生するという懸念がある。クラックの発生は回転体
の破壊につながる重大な問題となるばかりでなく、破壊
に至らない内周面の表層クラックであってもポリゴンミ
ラー部に対して偏向機能「ジター、面倒れ」の品質悪化
をもたらす。なお、低温時の収縮応力を低減する方法と
して、焼きバメ代を少なくする方法があるが、焼きバメ
代を少なくして結合力を低下させると、高温かつ高速回
転遠心力により焼きバメ部が緩んで脱落する恐れがある
ため一定以上の焼きバメ代を確保する必要がある。しか
し、これまでどの程度の焼きバメ代を確保すれば、脱落
等の不具合を防止できるかについて研究され、提案され
たことはなかった。一方、低温環境時にセラミック製回
転軸に対して径方向に加わる収縮応力に対する対策とし
て、炭化珪素（曲げ強度：500Mpa、熱膨張率：0.4×10
-5/℃）や窒化珪素（曲げ強度：800Mpa、熱膨張率：0.3
×10-5/℃）等を用いて機械強度を増す方法もあるが、
これらの材料は熱膨張係数がアルミナよりも小さいた
め、高温時に焼きバメ部の緩みが大きくなり、バランス
変化の不具合が発生する。ところで、特開平５−２４１
０９０号公報「ポリゴンミラー」には、セラミックリン
グに対してヨーク及びミラー面形成体を固定した構造の
回転体を備え、該セラミックリングの中心孔を固定体側
の固定軸に挿通してセラミックリングの内周面と固定軸
の外周面との間でラジアル動圧を形成すると共に、セラ
ミックリングの軸方向両端面と夫々対向して固定体側に
固定されたスラスト板の対向面との間でスラスト動圧軸
受を構成するポリゴンミラーにおいて、セラミックリン
グとヨークとミラー面形成体とを、アルミニウム材等の
ミラー面形成体材料で鋳造一体化した構成が開示されて
いる。このように構成した結果、加工が容易で組立工数
が少なく且つ回転性能が極めて良好なポリゴンミラーが
提供できる旨が記載されている。また、従来実施してい
たセラミックとヨークの固定方法である焼きバメを行っ
ていないので、焼きバメ応力によるセラミックのクラッ
クを防止することができる。しかしながら、この従来例
にあっては、セラミックリングとヨークとを、アルミニ
ウム製ミラー面形成体とともに一体鋳造しているため、
鋳造特有のボイド（気孔）が材料中に発生してミラー面
の鏡面高精度化が困難となり、またボイドにより機械強
度が局部的に低下することなどから、40,000rpmnを超え
る高速ポリゴンスキャナには不適である。However, in the shrink fitting method described above, there is a concern that a shrinkage stress is generated in the radial direction on the ceramic rotating shaft in a low temperature environment and a crack is generated in the brittle ceramic material. The occurrence of cracks is not only a serious problem that leads to the destruction of the rotating body, but even the surface cracks on the inner peripheral surface that do not result in destruction are deteriorated in quality due to the deflection function "jitter, trouble" for the polygon mirror part. Bring As a method of reducing shrinkage stress at low temperatures, there is a method of reducing the shrinkage shrinkage margin, but if the shrinkage shrinkage margin is reduced and the binding force is reduced, the shrinkage shrinkage portion becomes loose due to high temperature and high speed centrifugal force. It is necessary to secure a certain amount of shrinkage allowance because there is a risk of falling off. However, until now, there has been no research and proposal as to how much shrinkage allowance should be secured to prevent problems such as falling off. On the other hand, silicon carbide (bending strength: 500Mpa, thermal expansion coefficient: 0.4 × 10
-5 / ℃) and silicon nitride (bending strength: 800Mpa, coefficient of thermal expansion: 0.3)
There is also a method to increase the mechanical strength by using (× 10 -5 / ° C), etc.,
Since these materials have a coefficient of thermal expansion smaller than that of alumina, the shrinkage of the shrinkage fitting portion becomes large at a high temperature, which causes a problem of balance change. By the way, Japanese Patent Laid-Open No. 5-241
The "Polygon mirror" of the '090 publication includes a rotating body having a structure in which a yoke and a mirror surface forming body are fixed to a ceramic ring, and the center hole of the ceramic ring is inserted into a fixed shaft on the side of the fixed body to form a ceramic ring. A radial dynamic pressure is generated between the inner peripheral surface and the outer peripheral surface of the fixed shaft, and thrust motion is generated between the axially opposite end surfaces of the ceramic ring and the opposing surfaces of the thrust plate fixed to the fixed body side. In a polygon mirror that constitutes a pressure bearing, there is disclosed a structure in which a ceramic ring, a yoke, and a mirror surface forming body are cast and integrated with a mirror surface forming body material such as an aluminum material. It is described that as a result of such a configuration, it is possible to provide a polygon mirror that is easy to process, has a small number of assembling steps, and has extremely good rotation performance. Further, since the shrinkage fitting which is the conventional method of fixing the ceramic and the yoke is not performed, the cracking of the ceramic due to the shrinkage shrinkage stress can be prevented. However, in this conventional example, since the ceramic ring and the yoke are integrally cast with the aluminum mirror surface forming body,
Voids (pores) peculiar to casting are generated in the material, making it difficult to improve the mirror surface precision of the mirror surface, and because the voids locally reduce the mechanical strength, it is not suitable for high-speed polygon scanners exceeding 40,000 rpmn. Is.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記に鑑みて
なされたものであり、動圧空気軸受により回転体を回転
自在に支持し、回転体の超高速回転に対応しつつ安定し
た性能を発揮できるポリゴンスキャナ等の高速回転装置
において、動圧空気軸受を構成するセラミック製固定軸
にクラックが形成される懸念がなく、かつ40,000rpm以
上の高温状態での高速回転においても振動が小さく安定
した性能を発揮できる高速回転装置を提供することを課
題とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and rotatably supports a rotating body by means of a dynamic pressure air bearing so that stable performance can be achieved while supporting ultra-high speed rotation of the rotating body. In a high-speed rotation device such as a polygon scanner that can be demonstrated, there is no concern that cracks will be formed on the ceramic fixed shaft that constitutes the dynamic pressure air bearing, and vibration is small and stable even at high speed rotation at high temperature of 40,000 rpm or more. An object is to provide a high-speed rotation device that can exhibit its performance.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１の発明は、セラミック製固定軸と、該固定
軸の外周によって内周を回転自在に支持される回転体
と、該固定軸の外周と該回転体の内周との間に形成され
る動圧空気軸受と、該回転体を回転駆動するモータ部
と、を備えた高速回転装置であって、前記回転体は、前
記固定軸の外周によって内周を回転自在に支持される中
空筒状のセラミック製回転部材と、該セラミック製回転
部材の外周に対して内周を焼きバメ固定される金属製回
転部材と、を備え、前記セラミック製回転部材の内周に
発生する軸方向への引張り応力が該セラミック製回転部
材の強度以下となるように、前記金属製回転部材を焼き
バメしたことを特徴とする。これによれば、焼きバメに
よりセラミック製回転部材の外周に金属製回転部材を固
定した場合に、セラミック製回転部材の内周面に発生す
る軸方向への引張り応力を、セラミック製回転部材の強
度以下となるように、所定の金属製回転部材を焼きバメ
したことにより、回転スリーブにかかる応力分布のピー
ク値を低減しクラックの発生を未然に防止できる。請求
項２の発明は、前記セラミック製回転部材の外周に対し
て焼きバメされる前記金属製回転部材の軸方向長を、該
セラミック製回転部材の軸方向長に対して６０％以上と
なるように設定したことを特徴とする。これによれば、
セラミック製回転部材と金属製回転部材が焼きバメされ
る長さ比をセラミック製回転部材の軸方向長さに対して
最適化（６０％以上）したことにより、セラミック製回
転部材にかかる応力分布を平均化かつピーク値を低減し
クラックの発生を未然に防止できる。請求項３の発明
は、前記セラミック製回転部材の内周に働く軸方向の応
力分布が最大となる箇所に応力緩和部を設けたことを特
徴とする。これによれば、セラミック製回転部材の内周
面に働く軸方向の応力分布が最大となる箇所に応力緩和
部を設けたことにより、回転スリーブにかかる応力分布
のピーク値を低減しクラックの発生を未然に防止でき
る。In order to solve the above-mentioned problems, the invention of claim 1 is directed to a ceramic fixed shaft, a rotating body whose inner circumference is rotatably supported by the outer circumference of the fixed shaft, and the fixed body. A high-speed rotation device comprising a dynamic pressure air bearing formed between an outer circumference of a shaft and an inner circumference of the rotating body, and a motor section for rotationally driving the rotating body, wherein the rotating body is A hollow cylindrical ceramic rotating member whose inner periphery is rotatably supported by the outer periphery of the fixed shaft, and a metal rotating member whose inner periphery is shrink-fitted to the outer periphery of the ceramic rotating member. The metal rotating member is shrink-fitted such that the axial tensile stress generated in the inner circumference of the ceramic rotating member is equal to or less than the strength of the ceramic rotating member. According to this, when the metal rotating member is fixed to the outer periphery of the ceramic rotating member by shrinkage fitting, the axial tensile stress generated on the inner peripheral surface of the ceramic rotating member is reduced by the strength of the ceramic rotating member. As described below, by shrink-fitting the predetermined metal rotary member, the peak value of the stress distribution applied to the rotary sleeve can be reduced and the occurrence of cracks can be prevented. According to a second aspect of the present invention, the axial length of the metal rotary member shrink-fitted to the outer periphery of the ceramic rotary member is 60% or more of the axial length of the ceramic rotary member. It is characterized by being set to. According to this
By optimizing (60% or more) the axial ratio of the ceramic rotating member and the metallic rotating member against the axial length of the ceramic rotating member, the stress distribution applied to the ceramic rotating member can be improved. It is possible to prevent the occurrence of cracks by averaging and reducing the peak value. The invention of claim 3 is characterized in that a stress relaxation portion is provided at a location where the axial stress distribution acting on the inner circumference of the ceramic rotary member is maximized. According to this, the stress relaxation portion is provided at a position where the axial stress distribution acting on the inner peripheral surface of the ceramic rotating member is maximum, so that the peak value of the stress distribution applied to the rotating sleeve is reduced and cracks are generated. Can be prevented.
【０００６】請求項４の発明は、前記金属製回転部材
は、前記セラミック製回転部材の外周に内周を焼きバメ
固定される第一の金属製回転部材と、該第一の金属製回
転部材の外周に内周を焼きバメ固定される第二の金属製
回転部材と、を備え、前記第一及び第二の金属製回転部
材夫々の熱膨張係数及びヤング率を、次の関係、熱膨張
係数：セラミック製回転部材＜第一の金属製回転部材＜
第二の金属製回転部材、ヤング率：セラミック製回転部
材＞第一の金属製回転部材＞第二の金属製回転部材、と
なるように設定したことを特徴とする。これによれば、
セラミック製回転部材と金属製回転部材（フランジ）と
の間に熱膨張率とヤング率を最適化した中間部材を焼き
バメしたことにより、回転スリーブにかかる応力分布の
ピーク値を低減しクラックの発生を未然に防止できると
ともに40,000rpm以上の高速かつ90℃以上の高温状態で
安定した回転が達成できる。請求項５の発明は、前記セ
ラミック製回転部材と前記金属製回転部材との間の焼き
バメ径φＤ[mm]及び焼きバメ代δ[mm]が、20℃の環境下
で、次の関係、（φＤ×0.0014）＜δ＜（φＤ×0.03
0）となるように設定したことを特徴とする。請求項６
の発明は、前記セラミック製回転部材の外径を、その内
径の1.2倍以上に設定したことを特徴とする。請求項
５、６の発明によれば、焼きバメ代またはセラミック回
転部材の内外径を最適化したことにより、低温環境での
クラックの発生及び40,000rpm以上の高速かつ90℃以上
の高温状態で安定した回転が達成できる。According to a fourth aspect of the present invention, the metal rotating member has a first metal rotating member whose inner circumference is shrink-fitted to the outer periphery of the ceramic rotating member, and the first metal rotating member. A second metal rotary member whose inner circumference is shrink-fitted to the outer circumference of the first metal rotary member and the second metal rotary member. Coefficient: Ceramic rotary member <First metal rotary member <
The second metal rotary member, Young's modulus: ceramic rotary member> first metal rotary member> second metal rotary member. According to this
By shrink-fitting an intermediate member with optimized thermal expansion and Young's modulus between the ceramic rotating member and the metal rotating member (flange), the peak value of the stress distribution on the rotating sleeve is reduced and cracks occur. It is possible to prevent this from happening and to achieve stable rotation at a high speed of 40,000 rpm or more and at a high temperature of 90 ° C or more. In the invention of claim 5, the shrinkage fitting diameter φD [mm] and shrinkage fitting allowance δ [mm] between the ceramic rotating member and the metal rotating member are as follows in an environment of 20 ° C., (ΦD x 0.0014) <δ <(φD x 0.03
It is characterized in that it is set to be 0). Claim 6
The invention of (1) is characterized in that the outer diameter of the ceramic rotating member is set to 1.2 times or more of the inner diameter thereof. According to the inventions of claims 5 and 6, by optimizing the shrinkage allowance or the inner and outer diameters of the ceramic rotating member, cracks are generated in a low temperature environment and stable at a high speed of 40,000 rpm or more and a high temperature of 90 ° C or more. The achieved rotation can be achieved.
【０００７】[0007]
【発明の実施の形態】以下、本発明を図面に示した実施
の形態により詳細に説明する。図１は本発明の一実施形
態に係る高速回転装置としての動圧空気軸受型ポリゴン
スキャナの構成を示す断面図である。このポリゴンスキ
ャナＡは、ハウジングＢと、ハウジングＢ内に収納され
ラジアル方向の動圧空気軸受を構成する固定軸Ｃと、固
定軸Ｃの外周面との間に形成される動圧空気軸受によっ
て回転自在に内周面を支持される回転体Ｄと、回転体Ｄ
を回転駆動する動圧空気軸受モータＥと、ハウジングＢ
の外部に位置する電装部Ｆと、を備える。ハウジングＢ
は、モータハウジング１と、モータハウジング１の上部
開口をほぼ密閉閉止するためにネジ止め固定される上カ
バー２と、から成る。モータハウジング１の外周適所に
は、ポリゴンミラー部３２ａにて反射された光を出射す
る出射窓１ｂが形成されている。固定軸Ｃは、セラミッ
クから成る中空筒状体であり、その外周面下部をモータ
ハウジング１の内底面中央部に設けた筒状突起１ａの内
周面によって固定的に支持されている。ラジアル方向の
動圧軸受を構成する固定軸Ｃは後述する回転スリーブ３
１と同様に円筒形状のセラミック材料からなり、外径表
面にはヘリングボーン状の動圧発生溝１１が形成されて
いる。固定軸Ｃの内周部にはアキシャル軸受を構成する
磁気軸受用永久磁石組立体(磁石１４＋上下の磁性板１
２と１３)が配置されている。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The present invention will be described in detail below with reference to the embodiments shown in the drawings. FIG. 1 is a sectional view showing the structure of a dynamic pressure air bearing type polygon scanner as a high speed rotation device according to an embodiment of the present invention. The polygon scanner A is rotated by a housing B, a fixed shaft C that is housed in the housing B and constitutes a dynamic air bearing in the radial direction, and a dynamic air bearing formed between the outer peripheral surface of the fixed shaft C. A rotating body D whose inner peripheral surface is freely supported, and a rotating body D
And air bearing motor E for rotating and housing B
And an electric component section F located outside the. Housing B
Comprises a motor housing 1 and an upper cover 2 which is screwed and fixed to close and close the upper opening of the motor housing 1 in a substantially hermetic manner. An emission window 1b for emitting the light reflected by the polygon mirror portion 32a is formed at a proper position on the outer periphery of the motor housing 1. The fixed shaft C is a hollow cylindrical body made of ceramics, and the lower portion of the outer peripheral surface thereof is fixedly supported by the inner peripheral surface of a cylindrical protrusion 1 a provided at the center of the inner bottom surface of the motor housing 1. The fixed shaft C constituting the radial dynamic pressure bearing is a rotary sleeve 3 described later.
As in No. 1, it is made of a cylindrical ceramic material, and a herringbone-shaped dynamic pressure generating groove 11 is formed on the outer diameter surface. A permanent magnet assembly for a magnetic bearing (magnet 14 + upper and lower magnetic plates 1) that constitutes an axial bearing is provided on the inner peripheral portion of the fixed shaft C.
2 and 13) are arranged.
【０００８】回転体Ｄは、動圧空気軸受を介して固定軸
Ｃの外周面により内周面を回転自在に支持される中空筒
状のセラミック製回転スリーブ（セラミック製回転部
材）３１と、回転スリーブ３１の外周面に焼きバメ固定
され且つ外周面にポリゴンミラー部３２ａを有するアル
ミ合金からなるフランジ（金属製回転部材）３２と、を
有している。なお、固定軸Ｃの外周面と回転スリーブ３
１の内周面との間に形成される動圧空気軸受の隙間は、
数μmである。更に、回転体Ｄを構成するフランジ３２
の中心穴の上部には、磁気軸受を構成する回転ヨーク３
３（磁性体からなる）がアルミ合金からなる蓋部材３４
の中心部に固定されている。蓋部材３４は、フランジ３
２の中心穴の上部に圧入固定され、回転スリーブ３１の
上端開放部を閉止する機能も有している。なお、蓋部材
３４を回転スリーブ３１の上端開放部に圧入固定するこ
とにより、接着剤を用いた場合に発生し易い高温時の接
着部の緩みが発生せず、高温時の高精度バランスの維持
が可能となる。回転ヨーク３３は、固定軸Ｃの中空内部
に突入すると共に、磁気軸受用永久磁石組立体１２、１
３、１４と対向する突起部３３ａを備え、突起部３３ａ
は磁気軸受用永久磁石組立体１２、１３、１４との間に
径方向に磁気ギャップを形成する。磁気軸受用永久磁石
組立体１２、１３、１４は、このギャップ内にはたらく
吸引力を利用して回転体をアキシャル方向へ非接触支持
している。動圧空気軸受モータ（モータ部）Ｅは、フラ
ンジ３２の下部に袴状に突出した部分３２ｃの内周面に
固定（圧入固定）したロータ磁石５０と、モータハウジ
ング１の中央に設けた筒状突起１ａの外周面に固定した
ステータコア５１と、を備え、周方向に沿って対向配置
されたロータ磁石５０とステータコア５１は、アウター
ロータ型のブラシレスモータ（モータ部）を構成してい
る。なお、ロータ磁石５０は樹脂をバインダーに使用し
たボンド磁石であり、ロータ磁石５０の外径部には高速
回転時の遠心力による破壊が発生しないように、袴状部
分３２ｃが外径を保持している。フランジ３２の上面に
周方向に沿って設けられた円周溝３２ｂは、スリーブ３
１及び蓋部材３４の固定時に発生する応力歪みや、温度
上昇に伴うポリゴンミラー部３２ａへの応力歪を防止す
るための緩衝溝である。また、固定軸Ｃと回転体Ｄとの
間に形成される上部の空気溜り６０と回転体Ｄの外部と
を連通させる微細穴（図示せず）が回転ヨーク３３また
は図示しない下部閉止部材または蓋部材３４など、空気
溜り６０を形成している部材に形成されており、磁気軸
受用永久磁石組立体１２、１３、１４にダンピング特性
をもたせている。The rotating body D has a hollow cylindrical ceramic rotating sleeve (ceramic rotating member) 31 whose inner peripheral surface is rotatably supported by the outer peripheral surface of a fixed shaft C via a dynamic pressure air bearing, and a rotary member. The sleeve 31 has a flange (metal rotary member) 32 which is fixed to the outer peripheral surface of the sleeve 31 by shrink fitting and is formed of an aluminum alloy and has a polygon mirror portion 32a on the outer peripheral surface. The outer peripheral surface of the fixed shaft C and the rotary sleeve 3
The gap of the dynamic pressure air bearing formed between the inner peripheral surface of 1 is
It is several μm. Further, the flange 32 that constitutes the rotating body D
At the upper part of the center hole of the rotary yoke 3 which constitutes a magnetic bearing
3 (made of a magnetic material) made of an aluminum alloy lid member 34
It is fixed in the center of. The lid member 34 is the flange 3
It is also press-fitted and fixed to the upper part of the center hole of 2, and also has a function of closing the upper end open part of the rotary sleeve 31. Since the lid member 34 is press-fitted and fixed to the open upper end portion of the rotary sleeve 31, loosening of the adhesive portion at high temperature, which is likely to occur when an adhesive is used, does not occur, and high precision balance is maintained at high temperature. Is possible. The rotary yoke 33 projects into the hollow inside of the fixed shaft C, and at the same time, the permanent magnet assembly for magnetic bearings 12, 1 is provided.
3 and 14 are provided with a protruding portion 33a that faces the protruding portion 33a.
Forms a magnetic gap in the radial direction between the magnetic bearing permanent magnet assemblies 12, 13, and 14. The magnetic bearing permanent magnet assemblies 12, 13, 14 support the rotating body in the axial direction in a non-contact manner by utilizing the attractive force acting in this gap. The dynamic pressure air bearing motor (motor portion) E includes a rotor magnet 50 fixed (press-fitted and fixed) to an inner peripheral surface of a portion 32 c protruding in a hakama-like shape at a lower portion of the flange 32, and a cylindrical shape provided in the center of the motor housing 1. The rotor magnet 50 and the stator core 51, which are provided with the stator core 51 fixed to the outer peripheral surface of the protrusion 1 a and are arranged to face each other in the circumferential direction, form an outer rotor type brushless motor (motor portion). Note that the rotor magnet 50 is a bond magnet using a resin as a binder, and the outer diameter portion of the rotor magnet 50 has an outer diameter held by a hakker-shaped portion 32c so as not to be broken by centrifugal force during high-speed rotation. ing. The circumferential groove 32b provided on the upper surface of the flange 32 along the circumferential direction is provided with the sleeve 3
1 is a buffer groove for preventing a stress strain generated when the cover 1 and the lid member 34 are fixed and a stress strain on the polygon mirror portion 32a due to a temperature rise. Further, a fine hole (not shown) for communicating the upper air reservoir 60 formed between the fixed shaft C and the rotating body D with the outside of the rotating body D has a rotary yoke 33 or a lower closing member or a lid (not shown). It is formed on the member forming the air pocket 60, such as the member 34, and imparts damping characteristics to the permanent magnet assemblies 12, 13, 14 for magnetic bearings.
【０００９】電装部Ｆは、モータハウジング１の底面に
固定部材７０により固定されたプリント基板７１と、プ
リント基板７１上に搭載された駆動回路素子７２と、を
備え、貫通穴１ｃ内に挿通されるハーネス７３を介して
モータハウジング１内の電気部品と接続されている。モ
ータハウジング１内には、モータ基板７５上にホール素
子７６が搭載される。動圧空気軸受モータ（モータ部）
Ｅの駆動に際しては、ロータ磁石５０の磁界によりモー
タ基板７５に実装されているホール素子７６から出力さ
れる信号を位置信号として参照し、プリント基板７１上
の駆動回路７２により図示しないステータ巻線の励磁切
り替えを行い回転させる。ここで、ロータ磁石５０は径
方向に着磁されており、ステータコア５１の外周面との
間で回転トルクを発生し回転する。ロータ磁石５０は内
径以外の外径及び高さ方向は磁路を開放しており、モー
タの励磁切り換えのためのホール素子７６を開放磁路内
に配置している。磁性体７７はロータ磁石５０からの漏
れ磁束をシールドする機能を有し、ハウジングＢに渦電
流が流れることを防止している。本実施形態のポリゴン
スキャナでは、高速回転時の振動を低減するために回転
体Ｄのバランス修正を行なっている。即ち、40,000rpm
以上の高速回転で低振動を実現するためにはアンバラン
ス量は5mg・mm以下が必要であり、例えば半径10mmの箇所
で修正量は0.5mg以下を達成している。修正箇所は回転
体Ｄの上部、下部の軸方向２箇所であり、その上下２箇
所は回転体重心を挟んで配置するのが好適である。な
お、0.5mg以下の微少な修正を実行する際に接着剤等の
付着物では管理がしにくく、また使用可能な接着剤量が
少ないため接着力が弱く、30,000rpm以上の高速回転時
には剥離、飛散してしまう。その点、回転体の部品の一
部を削除する方法（ドリルによる切削やレーザ加工）で
あれば上記不具合は発生せず、好適である。The electrical equipment section F comprises a printed circuit board 71 fixed to the bottom surface of the motor housing 1 by a fixing member 70, and a drive circuit element 72 mounted on the printed circuit board 71, and is inserted into the through hole 1c. The electric components in the motor housing 1 are connected via a harness 73. The hall element 76 is mounted on the motor board 75 in the motor housing 1. Dynamic air bearing motor (motor part)
When driving E, the signal output from the Hall element 76 mounted on the motor substrate 75 by the magnetic field of the rotor magnet 50 is referred to as a position signal, and the drive circuit 72 on the printed circuit board 71 drives the stator winding (not shown). Rotate after switching excitation. Here, the rotor magnet 50 is magnetized in the radial direction, and rotates with the outer peripheral surface of the stator core 51 by generating a rotational torque. The rotor magnet 50 has a magnetic path open in the outer diameter and height direction other than the inner diameter, and the Hall element 76 for switching the excitation of the motor is arranged in the open magnetic path. The magnetic body 77 has a function of shielding a leakage magnetic flux from the rotor magnet 50 and prevents an eddy current from flowing through the housing B. In the polygon scanner of this embodiment, the balance of the rotating body D is corrected in order to reduce vibration during high-speed rotation. That is, 40,000 rpm
In order to achieve low vibration at the above high-speed rotation, the unbalance amount needs to be 5 mg · mm or less, and for example, the correction amount has reached 0.5 mg or less at a radius of 10 mm. The correction points are two points in the axial direction of the upper and lower parts of the rotating body D, and it is preferable to arrange the upper and lower two points so as to sandwich the center of rotation weight. It should be noted that when performing a minor correction of 0.5 mg or less, it is difficult to control with adherents such as adhesive, and the adhesive strength is weak because the amount of adhesive that can be used is small, peeling at high speed rotation of 30,000 rpm or more, It will be scattered. In this respect, a method of removing a part of the parts of the rotating body (cutting with a drill or laser processing) is preferable because the above-mentioned trouble does not occur.
【００１０】次いで、本発明の特徴の一つを構成する回
転スリーブ３１とフランジ３２との焼きバメ部の構造に
ついて詳述する。即ち、回転スリーブ３１はアルミナ製
のセラミック、フランジ３２は前述のとおりアルミ合金
で構成されている。あらかじめフランジ３２をホットプ
レートなどで150℃以上に昇温させフランジ３２の内径
を回転スリーブ３１の外径よりも大きくなるように拡径
する。拡径したフランジ３２の内周面に回転スリーブ３
１を嵌合させる。両者を嵌合させた状態で、回転スリー
ブ３１とフランジ３２を冷却することにより、フランジ
３２は縮径し、焼きバメが完了する。焼きバメが完了し
たときの焼きバメ代（焼きバメ前後の回転スリーブ３１
の外径とフランジ３２の内径との差）は、焼きバメ部の
径が各々20℃でφ10のとき14μm〜35μm φ18のと
き25μm〜50μm φ20のとき20℃で28μm〜62μmの各
範囲とするのが好適である。これらの範囲のうち、下限
値は高速回転に伴う遠心力や温度上昇とともに焼きバメ
部が緩み回転体のバランスが変化しないように必要な焼
きバメ代であり、上限値は低温環境に曝されたときでも
セラミックにクラックが発生しない焼きバメ代となって
いる。また、回転スリーブ３１（セラミック製回転部
材）とフランジ３２（金属製回転部材）との間の焼きバ
メ径φＤ[mm]及び焼きバメ代δ[mm]が、20℃の環境下
で、次の関係
（φＤ×0.0014）＜ δ ＜（φＤ×0.030）
となるように設定することが、低温環境下でのクラック
発生防止、及び高速回転且つ90℃以上の高温状態で安定
した回転を実現する上で有効であった。更に、回転スリ
ーブ３１の強度確保のためには、回転スリーブ３１の内
径（動圧空気軸受径）とその外径（焼きバメ径）との関
係を、以下の通りとすることが上記不具合に対して問題
もなく好適であった。
内径φ10のとき外径φ12 内径φ14のとき外径φ18
内径φ20のとき外径φ24、いずれも回転スリーブ３１
の内径に対して、1.2倍以上の外径を有するように構成
することが好適である。Next, the structure of the shrink fit portion of the rotary sleeve 31 and the flange 32, which constitutes one of the features of the present invention, will be described in detail. That is, the rotary sleeve 31 is made of alumina ceramic, and the flange 32 is made of aluminum alloy as described above. In advance, the flange 32 is heated to 150 ° C. or higher with a hot plate or the like, and the inner diameter of the flange 32 is expanded so as to be larger than the outer diameter of the rotary sleeve 31. The rotary sleeve 3 is provided on the inner peripheral surface of the flange 32 having the expanded diameter.
1 is fitted. By cooling the rotary sleeve 31 and the flange 32 in a state where both are fitted, the diameter of the flange 32 is reduced and the shrink fitting is completed. Shrinkage allowance when shrinkage fit is completed (rotating sleeve 31 before and after shrinkage fit 31
The difference between the outer diameter and the inner diameter of the flange 32) is 14 μm to 35 μm when the shrink fitting diameter is φ10 at 20 ° C, and 25 μm to 50 μm when φ18, and 28 μm to 62 μm at 20 ° C when φ20. Is preferred. Of these ranges, the lower limit value is the shrinkage allowance required so that the shrinkage fit portion will not loosen and the balance of the rotating body will not change with the centrifugal force and temperature rise accompanying high-speed rotation, and the upper limit value was exposed to the low temperature environment. Even at times, it is a shrinkage allowance that does not cause cracks in the ceramic. In addition, the shrinkage diameter φD [mm] and shrinkage allowance δ [mm] between the rotary sleeve 31 (ceramic rotary member) and the flange 32 (metal rotary member) are as follows in an environment of 20 ° C. Setting the relationship (φD × 0.0014) <δ <(φD × 0.030) prevents cracks from occurring in a low-temperature environment and realizes high-speed rotation and stable rotation at high temperatures of 90 ° C or higher. Was effective in. Further, in order to secure the strength of the rotating sleeve 31, it is necessary to set the relationship between the inner diameter (dynamic pressure air bearing diameter) of the rotating sleeve 31 and its outer diameter (shrinkage fitting diameter) as follows. There was no problem and it was suitable. Outer diameter φ12 for inner diameter φ10 Outer diameter φ18 for inner diameter φ14
When the inner diameter is φ20, the outer diameter is φ24.
It is preferable that the outer diameter is 1.2 times or more as large as the inner diameter.
【００１１】次に、図２は比較例としてのポリゴンスキ
ャナＡの要部構成を示す断面図であり、図１と同一部分
には同一符号を付している。この例は、「焼きバメ長さ
／スリーブ長（以下、焼きバメ長さ比）」が５０％であ
り、焼きバメ長さが短く応力の集中が発生し、クラック
が発生しやすい例を示している。この比較例において、
回転スリーブ（セラミック製回転部材）３１に形成され
るクラックは次のようなメカニズムで発生する。まず、
図２については図１について説明した方法により、回転
スリーブ３１の外周にフランジ３２が焼きバメ固定され
る。焼きバメされたときの温度から冷却することによ
り、回転スリーブ３１には外径方向から縮径する収縮力
が作用し、回転スリーブ３１とフランジ３２が固定され
る。この固定された状態で回転スリーブ３１には図５に
示すような応力分布が作用している。この応力分布は回
転スリーブ３１の内周面に発生する最大主応力を縦軸
に、軸方向上端から下端までを横軸にしてグラフ化した
ものである。回転スリーブ３１の内周面にはたらく最大
主応力は軸方向の引張り応力が支配的であり、すなわち
応力分布のピーク値を境に軸方向逆方向の引張り応力と
なる。したがって、ピーク値が回転スリーブ３１の強度
を超える場合、そのピーク値近傍で回転スリーブの円周
上にクラックが発生し、最悪の場合回転スリーブ３１が
軸方向に破断することになる。このクラックを発生させ
ないための対策としては、素材の強度を増す方法と、
発生応力を低減する方法、の２つが考えられ、の方
法の場合には、アルミナの強度を増すための工法により
若干のクラック防止効果は見込めるが、せいぜい１０％
程度であり実用上の効果はない。またアルミナ以上の高
強度素材（たとえば炭化珪素「曲げ強度：500Mpa、熱膨
張率：0.4×10-5/℃」や窒化珪素「曲げ強度：800Mpa、
熱膨張率：0.3×10-5/℃」）は熱膨張率が低く、アルミ
合金製のフランジ３２との熱膨張差が反対に拡大し、高
温・高速回転時に焼きバメ部の緩みを増大させバランス
変化を引き起こす問題がある。そこで、の発生応力を
低減する方法が良いことになるが、単に応力を低減する
ために焼きバメ代を小さくする方法は上記バランス不具
合の観点から不適である。Next, FIG. 2 is a sectional view showing the structure of the main part of a polygon scanner A as a comparative example, and the same parts as those in FIG. 1 are designated by the same reference numerals. In this example, the "shrinkage length / sleeve length (hereinafter, shrinkage length ratio)" is 50%, the shrinkage length is short, stress concentration occurs, and cracks are likely to occur. There is. In this comparative example,
The cracks formed on the rotary sleeve (ceramic rotary member) 31 are generated by the following mechanism. First,
2, the flange 32 is shrink-fitted and fixed to the outer circumference of the rotary sleeve 31 by the method described with reference to FIG. By cooling from the temperature at the time of shrinkage fitting, a contracting force that contracts from the outer diameter direction acts on the rotary sleeve 31, and the rotary sleeve 31 and the flange 32 are fixed. In this fixed state, the stress distribution as shown in FIG. 5 acts on the rotary sleeve 31. This stress distribution is a graph in which the maximum principal stress generated on the inner peripheral surface of the rotary sleeve 31 is plotted on the vertical axis and the axial upper end to the lower end are plotted on the horizontal axis. The maximum principal stress acting on the inner peripheral surface of the rotary sleeve 31 is dominated by the tensile stress in the axial direction, that is, the tensile stress is in the axial opposite direction with the peak value of the stress distribution as the boundary. Therefore, when the peak value exceeds the strength of the rotary sleeve 31, a crack is generated on the circumference of the rotary sleeve near the peak value, and in the worst case, the rotary sleeve 31 is fractured in the axial direction. As a measure to prevent this crack from occurring, a method of increasing the strength of the material,
There are two methods of reducing the generated stress. In the case of the method of (1), some crack prevention effect can be expected by the construction method for increasing the strength of alumina, but at most 10%.
There is no practical effect. In addition, high-strength materials higher than alumina (for example, silicon carbide “bending strength: 500Mpa, thermal expansion coefficient: 0.4 × 10 −5 / ° C.” and silicon nitride “bending strength: 800Mpa,
Coefficient of thermal expansion: 0.3 × 10 -5 / ° C ”) has a low coefficient of thermal expansion, and the difference in coefficient of thermal expansion with the flange 32 made of aluminum alloy increases on the contrary, increasing the looseness of the shrinkage fitting part at high temperature and high speed rotation. There is a problem that causes balance changes. Therefore, a method of reducing the generated stress is preferable, but a method of simply reducing the shrinkage-fitting margin in order to reduce the stress is unsuitable from the viewpoint of the above-mentioned balance problem.
【００１２】本発明では、焼きバメ長さを最適化するこ
とにより、クラックの発生防止と高精度バランスの維持
を両立させた。図１に示す焼きバメ長さ比（回転スリー
ブに対するフランジの軸方向長さ比）はスリーブ全長の
８３％となっており、その応力分布は図５に示すように
ピーク値が大幅に低減している。それは応力分布が局所
的に大きくなっていた比較例と比較し、焼きバメ長さ比
を増加することにより応力分布を平均化（回転スリーブ
の軸方向内周面の応力分布を、軸方向中央部近傍を最大
とする上下略対称）しピークを低減している。なお、焼
きバメ長さ比を６３％としたもの（回転体は図示しな
い）についても平均化によるピーク値低減効果がある。
部品上の公差等を考慮すると、焼きバメ長さ比を６０％
以上とすることで本願特有の効果が達成できる。更に、
クラックは回転スリーブ３１の破断という不具合だけで
なく、破断に至らない内周面の表層クラックが発生した
場合でもフランジ３２の外周面に形成されたポリゴンミ
ラー部３２ａに対して平面度の悪化をもたらす。つま
り、表層クラックでも焼きバメ時の収縮応力が緩和、開
放されることになり、フランジ３２に一体化形成された
高精度な平面度をもつポリゴンミラー部２の偏向機能
「ジター、面倒れ」が劣化してしまう。本発明によれ
ば、このような不具合についても併せて解消することが
できる。このように回転スリーブとフランジが焼きバメ
される長さを、回転スリーブの長さに対して最適化した
ことにより、回転スリーブにかかる応力分布を平均化か
つピーク値を低減し、クラックの発生を防止できる。In the present invention, by optimizing the shrinkage shrinkage length, it is possible to prevent cracks from occurring and maintain a high precision balance. The shrinkage length ratio (the axial length ratio of the flange to the rotary sleeve) shown in Fig. 1 is 83% of the total length of the sleeve, and the stress distribution has a peak value significantly reduced as shown in Fig. 5. There is. Compared to the comparative example in which the stress distribution was locally increased, the stress distribution was averaged by increasing the shrinkage shrinkage ratio (the stress distribution on the inner surface of the rotating sleeve in the axial direction is The peak is reduced by making the upper and lower sides approximately symmetrical with the maximum in the vicinity. Note that the one having a shrinkage length ratio of 63% (the rotor is not shown) also has the effect of reducing the peak value by averaging.
Considering the tolerances on the parts, the shrinkage length ratio is 60%
By the above, the effect peculiar to this application can be achieved. Furthermore,
The crack causes not only the failure of the rotating sleeve 31 but also the flatness of the polygon mirror portion 32a formed on the outer peripheral surface of the flange 32 even when a surface layer crack on the inner peripheral surface that does not cause the break occurs. . In other words, even if the surface layer cracks, the shrinkage stress at the time of shrinkage is alleviated and released, so that the deflection function “jitter, face tilt” of the polygon mirror portion 2 integrally formed on the flange 32 and having a highly accurate flatness can be achieved. It will deteriorate. According to the present invention, such a problem can be solved together. In this way, by optimizing the length that the rotary sleeve and the flange are shrink-fitted with respect to the length of the rotary sleeve, the stress distribution applied to the rotary sleeve is averaged and the peak value is reduced, and the occurrence of cracks is prevented. It can be prevented.
【００１３】次に、図３は本発明の他の実施形態例に係
るポリゴンスキャナＡの断面図である。この例では、回
転スリーブ３１の軸方向長と、フランジ３２の焼きバメ
部との間の長さ比、即ち焼きバメ長さ比は、６０％以下
（図示の例では５０％）であるが、焼きバメ部に応力ピ
ーク値を下げる円周溝（応力緩和部）８０を設けてい
る。このように応力緩和用の円周溝８０をフランジ３２
の内周に設けることにより、図５に示すように円周溝８
０により応力分布のピーク値が低減される（図５ではピ
ーク値近傍の分布のみを示す）。円周溝８０は回転スリ
ーブ３１の外周面に設けることも可能であるが、回転ス
リーブ３１に設けるとその強度が低減してしまい、かつ
セラミックは難削材であることからフランジ３２の内径
に設けるのが好適である。円周溝８０の大きさは適宜設
定されるが、以下の点を考慮する必要がある。円周溝８
０の軸方向幅が広いと焼きバメ固定力が低下しすぎるた
め、焼きバメ長さの３０％以下が好適である。また、円
周溝８０の径方向の深さは、加工性の良好な0.3mm以下
（半径分）、また軸方向断面で台形のテーパ形状が好適
である。なお、図示は焼きバメ長さ比が５０％のもので
あるが、焼きバメ長さ比がそれ以上のものでも良く、そ
の場合応力のピーク値を下げる効果と応力の平均化がと
もに達成され、前記応力ピーク値を下げる効果が格段に
向上する。Next, FIG. 3 is a sectional view of a polygon scanner A according to another embodiment of the present invention. In this example, the length ratio between the axial length of the rotary sleeve 31 and the shrink fit portion of the flange 32, that is, the shrink fit length ratio is 60% or less (50% in the illustrated example), A circumferential groove (stress relaxation portion) 80 for reducing the stress peak value is provided in the shrinkage fitting portion. In this way, the circumferential groove 80 for stress relaxation is formed in the flange 32.
By providing it on the inner periphery of the circular groove 8 as shown in FIG.
When 0, the peak value of the stress distribution is reduced (in FIG. 5, only the distribution near the peak value is shown). The circumferential groove 80 can be provided on the outer peripheral surface of the rotary sleeve 31, but if it is provided on the rotary sleeve 31, its strength is reduced, and since ceramic is a difficult-to-cut material, it is provided on the inner diameter of the flange 32. Is preferred. The size of the circumferential groove 80 is appropriately set, but the following points need to be considered. Circumferential groove 8
If the axial width of 0 is too wide, the shrinkage shrinkage fixing force is too low, so 30% or less of the shrinkage shrinkage length is preferable. Further, the depth of the circumferential groove 80 in the radial direction is preferably 0.3 mm or less (for the radius) with good workability, and a trapezoidal tapered shape in the axial cross section. Although the shrinkage-fitting length ratio is 50% in the figure, it is possible that the shrinkage-fitting length ratio is more than 50%, in which case both the effect of lowering the peak value of stress and the averaging of stress are achieved. The effect of lowering the stress peak value is remarkably improved.
【００１４】次に、図４は本発明の他の実施形態例に係
るポリゴンスキャナの断面図である。この実施形態の特
徴的な構成は、回転スリーブ３１に過大な応力が発生し
ないようにフランジ３２との間に中間部材（第一の金属
製回転部材）８５を設けている点にある。中間部材８５
は、回転スリーブ３１の外径部に焼きバメ固定され、さ
らに中間部材８５の外径部にフランジ（第二の金属製回
転部材）３２の内周面が焼きバメ固定されている。中間
部材８５は第一の金属製回転部材であり、均一肉厚の円
筒形状を有している。軸方向の肉厚を全長に渡って均一
の円筒形状とすることにより、回転スリーブ３１に作用
する応力に形状による応力分布の偏りが発生しなくな
る。例えば、軸方向に対して肉厚が異なる場合、厚い部
分に相当する回転スリーブ部への応力は薄い部分に対し
て大きくなり、軸方向に分布の偏りが発生してしまう。
また中間部材８５の「熱膨張率」と「ヤング率」を夫々
下記に示すような関係としたため、焼きバメ部の低温環
境によるクラックの発生と、回転体Ｄのバランス変化を
防止することができる。中間部材８５の熱膨張係数は、
回転スリーブ３１とフランジ３２の中間値であるため高
温時の焼きバメ部の緩みを小さく抑えることができる。
一方、低温時には回転スリーブ３１に大きな応力が発生
しないように外径側部材としては相対的にヤング率の小
さいものを構成している。つまり、焼きバメする外径側
部材のヤング率を小さくすることにより、歪は外径側部
材で発生させ内径側部材への応力を小さくすることがで
きる。本実施形態例による効果を達成する材質として
は、表１に示すものが最適である。なお、中間部材８５
の焼きバメ長さ比は、６０％以上とすることが好適であ
る。焼きバメ長さ比が５０％以下となると、図５で示し
たような局部的に応力が大きくなってしまうからであ
る。
熱膨張係数： 回転スリーブ ＜ 中間部材 ＜ フラン
ジ
ヤング率 ： 回転スリーブ ＞ 中間部材 ＞ フラン
ジ
表１
Next, FIG. 4 is a sectional view of a polygon scanner according to another embodiment of the present invention. The characteristic configuration of this embodiment is that an intermediate member (first metallic rotating member) 85 is provided between the rotating sleeve 31 and the flange 32 so as not to generate excessive stress. Intermediate member 85
Is shrink-fitted and fixed to the outer diameter portion of the rotary sleeve 31, and the inner peripheral surface of the flange (second metal rotary member) 32 is shrink-fitted and fixed to the outer diameter portion of the intermediate member 85. The intermediate member 85 is a first metallic rotating member, and has a cylindrical shape with a uniform thickness. By making the axial thickness uniform in the cylindrical shape over the entire length, the stress acting on the rotary sleeve 31 does not become uneven in the stress distribution due to the shape. For example, when the wall thickness is different in the axial direction, the stress on the rotary sleeve portion corresponding to the thick portion becomes larger than that in the thin portion, and the distribution is biased in the axial direction.
Further, since the “thermal expansion coefficient” and the “Young's modulus” of the intermediate member 85 are respectively set as shown below, it is possible to prevent the occurrence of cracks due to the low temperature environment of the shrinkage fit portion and the change in the balance of the rotating body D. . The coefficient of thermal expansion of the intermediate member 85 is
Since it is an intermediate value between the rotary sleeve 31 and the flange 32, it is possible to suppress the loosening of the shrinkage fitting portion at high temperature to be small.
On the other hand, a member having a relatively small Young's modulus is configured as the outer diameter side member so that a large stress is not generated in the rotary sleeve 31 at a low temperature. That is, by reducing the Young's modulus of the outer diameter side member to be shrink-fitted, strain can be generated in the outer diameter side member and the stress on the inner diameter side member can be reduced. The materials shown in Table 1 are most suitable as the material that achieves the effects of the present embodiment. The intermediate member 85
It is preferable that the shrinkage fit length ratio is 60% or more. This is because if the shrinkage shrinkage length ratio is 50% or less, the stress locally increases as shown in FIG. Coefficient of thermal expansion: Rotating sleeve <Intermediate member <Flange Young's modulus: Rotating sleeve> Intermediate member> Flange Table 1
【００１５】図４の構成を採用した場合には、回転スリ
ーブ３１の材質として炭化珪素や窒化珪素の各々セラミ
ック材質を採用したとしても、熱膨張差に起因する上記
不具合は軽減される。それでも中間部材の熱膨張差が小
さくなるアルミナが回転スリーブの素材としては最適で
ある。なお、本発明の高速回転装置の特徴的な構成は、
ポリゴンスキャナに限らず、動圧空気軸受を使用した回
転体を備えた装置一般に適用することができる。In the case of adopting the configuration of FIG. 4, even if the rotary sleeve 31 is made of a ceramic material such as silicon carbide or silicon nitride, the above-mentioned problems caused by the difference in thermal expansion are alleviated. Nevertheless, alumina, which has a small difference in thermal expansion between the intermediate members, is the most suitable material for the rotary sleeve. The characteristic structure of the high-speed rotation device of the present invention is
Not limited to the polygon scanner, the present invention can be applied to general devices including a rotating body using a dynamic pressure air bearing.
【００１６】[0016]
【発明の効果】以上のように本発明によれば、動圧空気
軸受により回転体を回転自在に支持し、回転体の超高速
回転に対応しつつ安定した性能を発揮できるポリゴンス
キャナ等の高速回転装置において、動圧空気軸受を構成
するセラミック製固定軸にクラックが形成される懸念が
なく、かつ40,000rpm以上の高温状態での高速回転にお
いても振動が小さく安定した性能を発揮できる高速回転
装置を提供することができる。即ち、請求項１の発明に
よれば、焼きバメによりセラミック製回転部材の内周面
に発生する軸方向の引張り応力をセラミック製回転部材
の強度以下となるように、所定の金属製回転部材を焼き
バメしたことにより、回転スリーブにかかる応力分布の
ピーク値を低減しクラックの発生を未然に防止できる。
請求項２の発明によれば、セラミック製回転部材と金属
製回転部材が焼きバメされる長さをセラミック製回転部
材の軸方向長さに対して最適化したことにより、セラミ
ック製回転部材にかかる応力分布を平均化かつピーク値
を低減しクラックの発生を未然に防止できる。請求項３
の発明によれば、セラミック製回転部材の内周面に働く
軸方向の応力分布が最大となる箇所に応力緩和部を設け
たことにより、回転スリーブにかかる応力分布のピーク
値を低減しクラックの発生を未然に防止できる。なお、
応力緩和部として、金属製回転部材の内周面に円周状の
溝を設ければ、セラミック製回転部材の強度を損なうこ
となく、低コストで応力分布のピーク値を低減しクラッ
クの発生を未然に防止できる。As described above, according to the present invention, a rotary body is rotatably supported by a dynamic pressure air bearing, and a high speed such as a polygon scanner capable of exhibiting stable performance while supporting the super-high speed rotation of the rotary body. In a rotating device, there is no concern that cracks will be formed on the ceramic fixed shaft that makes up the dynamic pressure air bearing, and high-speed rotating device that can exhibit stable performance with little vibration even at high-speed rotation at high temperatures of 40,000 rpm or higher. Can be provided. That is, according to the first aspect of the present invention, a predetermined metal rotating member is provided so that the axial tensile stress generated on the inner peripheral surface of the ceramic rotating member due to shrinkage shrinkage becomes equal to or less than the strength of the ceramic rotating member. By shrink-fitting, the peak value of the stress distribution applied to the rotating sleeve can be reduced and cracks can be prevented from occurring.
According to the second aspect of the invention, the ceramic rotating member is optimized by optimizing the length of shrink fitting of the ceramic rotating member and the metal rotating member with respect to the axial length of the ceramic rotating member. It is possible to prevent the occurrence of cracks by averaging the stress distribution and reducing the peak value. Claim 3
According to the invention, by providing the stress relaxation portion at the location where the stress distribution in the axial direction acting on the inner peripheral surface of the ceramic rotating member is maximum, the peak value of the stress distribution applied to the rotating sleeve is reduced and cracks are reduced. Occurrence can be prevented in advance. In addition,
If a circular groove is provided on the inner peripheral surface of the metal rotating member as the stress relaxation portion, the peak value of the stress distribution can be reduced at a low cost without spoiling the strength of the ceramic rotating member, thereby preventing the occurrence of cracks. It can be prevented.
【００１７】請求項４の発明によれば、セラミック製回
転部材と金属製回転部材（フランジ）との間に熱膨張率
とヤング率を最適化した中間部材を焼きバメしたことに
より、回転スリーブにかかる応力分布のピーク値を低減
しクラックの発生を未然に防止できるとともに40,000rp
m以上の高速かつ90℃以上の高温状態で安定した回転が
達成できる。請求項５、６の発明によれば、焼きバメ代
またはセラミック回転部材の内外径を最適化したことに
より、低温環境でのクラックの発生及び40,000rpm以上
の高速かつ90℃以上の高温状態で安定した回転が達成で
きる。なお、最外径に焼きバメされる金属製回転部材の
上部外周面に一体形成されたポリゴンミラー部と下部に
ロータ磁石を圧入したことにより、40,000rpm以上の高
速かつ90℃以上の高温状態で安定した回転体が達成でき
る。上記回転体構造をレーザ書込み装置に適用すること
により、回転スリーブにかかる応力分布のピーク値を低
減し、クラックの発生を未然に防止できるとともに40,0
00rpm以上の高速かつ90℃以上の高温状態で安定した回
転が可能となる。このことことにより回転体のバランス
を高精度に維持できる高速ポリゴンスキャナが提供で
き、複写機等の静音化が達成できる。According to the invention of claim 4, the intermediate member having the optimized thermal expansion coefficient and Young's modulus is shrink-fitted between the ceramic rotary member and the metal rotary member (flange), whereby the rotary sleeve is formed. The peak value of such stress distribution can be reduced to prevent cracks from occurring and 40,000rp
Stable rotation can be achieved at high speed of m or more and at high temperature of 90 ° C or more. According to the inventions of claims 5 and 6, by optimizing the shrinkage allowance or the inner and outer diameters of the ceramic rotating member, cracks are generated in a low temperature environment and stable at a high speed of 40,000 rpm or more and a high temperature of 90 ° C or more. The achieved rotation can be achieved. In addition, by pressing the rotor magnet into the lower part and the polygon mirror part integrally formed on the upper outer peripheral surface of the metal rotating member that is shrink-fitted to the outermost diameter, at a high speed of 40,000 rpm or more and a high temperature state of 90 ° C or more. A stable rotating body can be achieved. By applying the above rotating body structure to the laser writing device, the peak value of the stress distribution applied to the rotating sleeve can be reduced, and the occurrence of cracks can be prevented in advance.
Stable rotation is possible at high speeds of 00 rpm or higher and at high temperatures of 90 ° C or higher. As a result, it is possible to provide a high-speed polygon scanner capable of maintaining the balance of the rotating body with high accuracy, and it is possible to reduce the noise of the copying machine.
【図１】本発明の一実施の形態に係る高速回転装置とし
ての動圧空気軸受型ポリゴンスキャナの構成を示す断面
図。FIG. 1 is a cross-sectional view showing the structure of a dynamic pressure air bearing type polygon scanner as a high speed rotation device according to an embodiment of the present invention.
【図２】比較例としてのポリゴンスキャナの要部構成を
示す断面図。FIG. 2 is a cross-sectional view showing a main configuration of a polygon scanner as a comparative example.
【図３】本発明の他の実施形態例に係るポリゴンスキャ
ナの断面図。FIG. 3 is a sectional view of a polygon scanner according to another embodiment of the present invention.
【図４】本発明の他の実施形態例に係るポリゴンスキャ
ナの断面図FIG. 4 is a sectional view of a polygon scanner according to another embodiment of the present invention.
【図５】本発明の各実施形態と比較例についての応力分
布の比較を示す図。FIG. 5 is a diagram showing a comparison of stress distributions of each embodiment of the present invention and a comparative example.
Ａ ポリゴンスキャナ、Ｂ ハウジング、Ｃ 固定軸、
Ｄ回転体、Ｅ 動圧空気軸受モータ、Ｆ 電装部、１
モータハウジング、２ 上カバー、１１ 動圧発生溝、
１２、１３ 磁性板、１４ 磁石、３１ 回転スリーブ
（セラミック製回転部材）、３２ フランジ（金属製回
転部材、第二の金属製回転部材）、３２ａポリゴンミラ
ー部、３２ｂ 円周溝、３３ 回転ヨーク、３３ａ 突
起部、３４ 蓋部材、５０ ロータ磁石、５１ ステー
タコア、６０ 空気溜り、７０固定部材、７１ プリン
ト基板、７２ 駆動回路素子、７３ ハーネス、７５モ
ータ基板、７６ ホール素子、８０ 円周溝（応力緩和
部）、８５ 中間部材（第一の金属製回転部材）。A polygon scanner, B housing, C fixed shaft,
D rotating body, E dynamic pressure air bearing motor, F electrical equipment section, 1
Motor housing, 2 upper cover, 11 dynamic pressure generating groove,
12, 13 magnetic plate, 14 magnet, 31 rotary sleeve (ceramic rotary member), 32 flange (metal rotary member, second metal rotary member), 32a polygon mirror part, 32b circumferential groove, 33 rotary yoke, 33a protrusion, 34 lid member, 50 rotor magnet, 51 stator core, 60 air reservoir, 70 fixing member, 71 printed circuit board, 72 drive circuit element, 73 harness, 75 motor board, 76 hall element, 80 circumferential groove (stress relief) Part), 85 intermediate member (first metal rotating member).
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０２Ｂ 26/10 １０２ Ｇ０２Ｂ 26/10 １０２ ５Ｈ０１９ Ｈ０２Ｋ 21/22 Ｈ０２Ｋ 21/22 Ｍ ５Ｈ６０７ 29/00 29/00 Ｚ ５Ｈ６２１ // Ｈ０２Ｋ 7/08 7/08 Ａ Ｆターム(参考） 2H045 AA07 AA14 AA15 AA24 AA49 AA62 3J011 AA04 AA11 BA06 CA02 DA02 3J017 HA01 HA04 3J102 AA01 BA03 BA18 CA02 CA11 CA22 DA03 DA16 DA18 GA02 4G026 BA03 BB27 BC02 BF57 BG09 BH04 5H019 AA06 BB01 BB05 BB15 BB20 BB23 CC04 CC09 EE01 FF01 FF03 5H607 AA00 AA04 BB01 BB07 BB09 BB14 BB17 CC01 CC07 DD15 GG01 GG12 GG14 GG19 HH01 HH09 JJ00 KK00 KK10 5H621 HH01 JK07 JK10 JK14 JK17 JK19 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) G02B 26/10 102 G02B 26/10 102 5H019 H02K 21/22 H02K 21/22 M 5H607 29/00 29/00 Z 5H621 // H02K 7/08 7/08 AF term (reference) 2H045 AA07 AA14 AA15 AA24 AA49 AA62 3J011 AA04 AA11 BA06 CA02 DA02 3J017 HA01 HA04 3J102 AA01 BA03 BA18 CA02 CA11 CA22 DA03 DA16 DA18 GA03 4G2727 BH04 5H019 AA06 BB01 BB05 BB15 BB20 BB23 CC04 CC09 EE01 FF01 FF03 5H607 AA00 AA04 BB01 BB07 BB09 BB14 BB17 CC01 CC07 DD15 GG01 GG12 GG14 J14K17 J17K17K14 J17K17 J14K17 H17J17K17 H01 J621 K17H01 J621 K17H10 J01K17H01 J621 K14 H01JH11
Claims (6)
によって内周を回転自在に支持される回転体と、該固定
軸の外周と該回転体の内周との間に形成される動圧空気
軸受と、該回転体を回転駆動するモータ部と、を備えた
高速回転装置であって、 前記回転体は、前記固定軸の外周によって内周を回転自
在に支持される中空筒状のセラミック製回転部材と、該
セラミック製回転部材の外周に対して内周を焼きバメ固
定される金属製回転部材と、を備え、 前記セラミック製回転部材の内周に発生する軸方向への
引張り応力が該セラミック製回転部材の強度以下となる
ように、前記金属製回転部材を焼きバメしたことを特徴
とする高速回転装置。1. A ceramic fixed shaft, a rotating body whose inner circumference is rotatably supported by the outer circumference of the fixed shaft, and a motion formed between the outer circumference of the fixed shaft and the inner circumference of the rotating body. A high-speed rotation device including a compressed air bearing and a motor unit that rotationally drives the rotating body, wherein the rotating body has a hollow cylindrical shape whose inner circumference is rotatably supported by the outer circumference of the fixed shaft. A ceramic rotating member and a metallic rotating member whose inner circumference is shrink-fitted to the outer circumference of the ceramic rotating member, and tensile stress in the axial direction generated on the inner circumference of the ceramic rotating member. The high-speed rotating device is characterized in that the metal rotary member is shrink-fitted so that the strength becomes less than or equal to the strength of the ceramic rotary member.
て焼きバメされる前記金属製回転部材の軸方向長を、該
セラミック製回転部材の軸方向長に対して６０％以上と
なるように設定したことを特徴とする請求項１に記載の
高速回転装置。2. The axial length of the metal rotary member shrink-fitted to the outer periphery of the ceramic rotary member is set to be 60% or more of the axial length of the ceramic rotary member. The high-speed rotation device according to claim 1, wherein
軸方向の応力分布が最大となる箇所に応力緩和部を設け
たことを特徴とする請求項１又は２に記載の高速回転装
置。3. The high-speed rotation device according to claim 1, wherein a stress relaxation portion is provided at a location where the axial stress distribution acting on the inner circumference of the ceramic rotation member is maximum.
製回転部材の外周に内周を焼きバメ固定される第一の金
属製回転部材と、該第一の金属製回転部材の外周に内周
を焼きバメ固定される第二の金属製回転部材と、を備
え、 前記第一及び第二の金属製回転部材夫々の熱膨張係数及
びヤング率を、次の関係、 熱膨張係数：セラミック製回転部材＜第一の金属製回転
部材＜第二の金属製回転部材 ヤング率：セラミック製回転部材＞第一の金属製回転部
材＞第二の金属製回転部材となるように設定したことを
特徴とする請求項１、２又は３に記載の高速回転装置。4. The metal rotating member comprises a first metal rotating member whose inner circumference is shrink-fitted to the outer circumference of the ceramic rotating member, and an inner circumference of the outer circumference of the first metal rotating member. And a second metal rotary member fixed by shrinkage fitting, the thermal expansion coefficient and Young's modulus of each of the first and second metal rotary members, the following relationship, thermal expansion coefficient: ceramic rotation Member <first metal rotary member <second metal rotary member Young's modulus: ceramic rotary member> first metal rotary member> second metal rotary member The high-speed rotation device according to claim 1, 2 or 3.
回転部材との間の焼きバメ径φＤ[mm]及び焼きバメ代δ
[mm]が、20℃の環境下で、次の関係 （φＤ×0.0014）＜ δ ＜（φＤ×0.030） となるように設定したことを特徴とする請求項１、２、
３又は４に記載の高速回転装置。5. A shrinkage fitting diameter φD [mm] and a shrinkage fitting allowance δ between the ceramic rotating member and the metal rotating member.
[mm] is set to satisfy the following relationship (φD × 0.0014) <δ <(φD × 0.030) in an environment of 20 ° C .:
The high-speed rotation device described in 3 or 4.
の内径の１．２倍以上に設定したことを特徴とする請求
項１、２、３、４、又は５に記載の高速回転装置。6. The high-speed rotating device according to claim 1, wherein the outer diameter of the ceramic rotating member is set to be 1.2 times or more the inner diameter thereof.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001329592A JP2003130040A (en) | 2001-10-26 | 2001-10-26 | High speed rotation device |
| US10/226,344 US6822775B2 (en) | 2001-08-23 | 2002-08-23 | Method and apparatus for polygon mirror scanning capable of performing a stable high speed polygon mirror rotation |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001329592A JP2003130040A (en) | 2001-10-26 | 2001-10-26 | High speed rotation device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003130040A true JP2003130040A (en) | 2003-05-08 |
Family
ID=19145474
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001329592A Pending JP2003130040A (en) | 2001-08-23 | 2001-10-26 | High speed rotation device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003130040A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005107512A (en) * | 2003-09-10 | 2005-04-21 | Ricoh Co Ltd | Optical deflector, manufacturing method thereof, optical scanning device and image forming device |
| JP2005115296A (en) * | 2003-09-18 | 2005-04-28 | Ricoh Co Ltd | Optical scanner and image forming apparatus |
| JP2006113213A (en) * | 2004-10-13 | 2006-04-27 | Ricoh Co Ltd | Optical deflector, optical scanner, and image forming apparatus |
-
2001
- 2001-10-26 JP JP2001329592A patent/JP2003130040A/en active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005107512A (en) * | 2003-09-10 | 2005-04-21 | Ricoh Co Ltd | Optical deflector, manufacturing method thereof, optical scanning device and image forming device |
| JP4505291B2 (en) * | 2003-09-10 | 2010-07-21 | 株式会社リコー | Optical deflector, optical deflector manufacturing method, optical scanning device, and image forming apparatus |
| JP2005115296A (en) * | 2003-09-18 | 2005-04-28 | Ricoh Co Ltd | Optical scanner and image forming apparatus |
| JP4500526B2 (en) * | 2003-09-18 | 2010-07-14 | 株式会社リコー | Optical scanning apparatus and image forming apparatus |
| JP2006113213A (en) * | 2004-10-13 | 2006-04-27 | Ricoh Co Ltd | Optical deflector, optical scanner, and image forming apparatus |
| JP4488862B2 (en) * | 2004-10-13 | 2010-06-23 | 株式会社リコー | Optical deflector, optical scanning device, and image forming apparatus |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6822775B2 (en) | Method and apparatus for polygon mirror scanning capable of performing a stable high speed polygon mirror rotation | |
| JP4462525B2 (en) | Hydrodynamic air bearing type polygon scanner and processing method thereof | |
| JP3266448B2 (en) | Rotary device of brushless motor | |
| JPH0686503A (en) | Motor, polygon mirror motor and disk driving motor | |
| JP2003130040A (en) | High speed rotation device | |
| JP2003177346A (en) | Polygon scanner, optical scanner using the polygon scanner, and processing method for the polygon scanner | |
| JP2001054267A (en) | Method for correcting balance of high-speed rotor | |
| JP3240637B2 (en) | Bearing device | |
| JP2003070194A (en) | Manufacturing method of rotary driving device and rotor, and polygon mirror scanner | |
| JP3978978B2 (en) | Spindle motor | |
| KR20020006737A (en) | Spindle motor | |
| JP2968178B2 (en) | Bearing device | |
| JP4033283B2 (en) | DYNAMIC PRESSURE AIR BEARING TYPE OPTICAL DEFLECTOR, METHOD OF PROCESSING THE ROTATING BODY, AND RECYCLING METHOD OF COMPONENT FOR DYNAMIC PRESSURE AIR BEARING TYPE OPTICAL DEFLECTOR | |
| JP4067686B2 (en) | Hydrodynamic air bearing motor and polygon scanner | |
| JPS62184429A (en) | Rotary polygonal mirror driving device | |
| JP2002027706A (en) | Dynamic air pressure bearing motor and polygon scanner | |
| JPH09318900A (en) | Dynamic pressure air bearing type polygon scanner | |
| JP2002303815A (en) | Dynamic pressure air bearing type polygon scanner, and processing method for dynamic pressure air bearing type polygon scanner | |
| JP3730036B2 (en) | Rotating body | |
| JPH05141420A (en) | Bearing device | |
| JP2002267993A (en) | Polygon scanner | |
| JPH05209622A (en) | Bearing device | |
| JP3566179B2 (en) | Polygon scanner motor | |
| JPH10210724A (en) | Polygon-mirror scanner motor | |
| JPH0797184B2 (en) | Rotation support device for polygon mirror |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041004 |
|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20041006 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060720 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060731 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060929 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070403 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070518 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20071030 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071211 |
|
| A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20080108 |
|
| A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20080215 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090518 |