JP2003123203A - 情報記録方法 - Google Patents
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- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
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- G11B5/86—Re-recording, i.e. transcribing information from one magnetisable record carrier on to one or more similar or dissimilar record carriers
- G11B5/865—Re-recording, i.e. transcribing information from one magnetisable record carrier on to one or more similar or dissimilar record carriers by contact "printing"
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】正確にトラッキング・サーボを行いながら情報
の記録を行うことにより、良好なＳ／Ｎで信号の高密度
記録を行うことができる情報記録方法を提供する。ま
た、垂直磁気記録方式により高密度記録を行うことがで
きる情報記録方法を提供する。 【解決手段】磁気ディスク１０は磁気記録層１６を備え
ており、この磁気記録層１６が、磁化方向が異なる磁化
領域１６Ａ及び１６Ｂが形成されるように予め磁化され
ている。情報記録時には、磁化領域１６Ａ及び１６Ｂの
磁化方向の相違を利用した磁気光学効果による光トラッ
キングで正確なトラッキング・サーボを行いながら、磁
気ヘッドにより垂直磁気記録を行うので、良好なＳ／Ｎ
で高密度記録が可能である。
の記録を行うことにより、良好なＳ／Ｎで信号の高密度
記録を行うことができる情報記録方法を提供する。ま
た、垂直磁気記録方式により高密度記録を行うことがで
きる情報記録方法を提供する。 【解決手段】磁気ディスク１０は磁気記録層１６を備え
ており、この磁気記録層１６が、磁化方向が異なる磁化
領域１６Ａ及び１６Ｂが形成されるように予め磁化され
ている。情報記録時には、磁化領域１６Ａ及び１６Ｂの
磁化方向の相違を利用した磁気光学効果による光トラッ
キングで正確なトラッキング・サーボを行いながら、磁
気ヘッドにより垂直磁気記録を行うので、良好なＳ／Ｎ
で高密度記録が可能である。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、情報記録方法に係
り、特に、トラッキング用サーボ情報を磁気的にプリフ
ォーマット記録した情報記録媒体に、垂直磁気記録方式
により情報の記録を行う情報記録方法に関する。 【０００２】 【従来の技術】パーソナル・コンピュータで取り扱う情
報量の飛躍的な増加に伴い、大容量かつ安価であり、ア
クセス時間の短い情報記録媒体が続々と開発されてい
る。このような大容量の情報記録媒体としては、例え
ば、ハードディスク等の内蔵型の磁気記録媒体、アイオ
メガ社が開発したＺＩＰ等のリムーバルな磁気記録媒体
を挙げることができる。これらハードディスクやＺＩＰ
では、トラック幅を狭めトラック密度を大きくすること
により、大容量化を実現しており、狭いトラックを磁気
ヘッドが正確に走査し、良好なＳ／Ｎで記録信号を再生
するためには、磁気ヘッドとトラックとの相対的なずれ
を検出して、磁気ヘッドの位置を補正するトラッキング
・サーボ技術が重要な役割を果たしている。 【０００３】ハードディスクやＺＩＰでは、トラッキン
グ用サーボ信号やアドレス情報信号、再生クロック信号
等が、磁気記録媒体の製造時に予め高い位置精度で記録
（プリフォーマット記録）されている。これらの信号が
記録された領域（サーボ領域）は、ディスク面に対し離
散的に配置されており、磁気ヘッドはこれらの信号を再
生することにより、ヘッドの位置を確認、修正しながら
トラック上を正確に走査している。 【０００４】一方、現在、市販のハードディスク装置で
採用されている磁気記録方式は、記録媒体の走行方向に
磁化を行う長手磁気記録方式であるが、熱により媒体に
記録された磁化情報が消失する「熱揺らぎ」により、高
密度化には限界があるとされている。これに対し、記録
媒体のディスク面に垂直に磁化を行う垂直磁気記録方式
が、高密度化を実現する次世代の磁気記録方式として期
待されており、垂直磁気記録のための磁性材料として
は、コバルト−クロム合金（ＣｏＣｒ）が有力視されて
いる。 【０００５】ハードディスク装置においては、磁気ディ
スクの回転に伴い、磁気ヘッドが磁気ディスクの表面か
らわずかに浮上し、非接触で磁気記録を行なっている。
これにより、高速回転時に磁気ヘッドと磁気ディスクと
が接触し、その衝撃により磁気ディスクが破損するのを
防止している。高密度化に伴って磁気ヘッドの浮上高さ
は次第に低減されており、鏡面研磨された超平滑なガラ
ス基板上に磁気記録層等を形成した磁気ディスクを用い
ることにより、現在では１０ｎｍ〜２０ｎｍの浮上高さ
が実現されている。 【０００６】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、更なる
高密度化に伴いトラック幅は狭くなる一方であり、サー
ボ信号がところどころに分散して書き込まれた従来のサ
ーボ方式では、磁気ヘッドはトラック上を正確に走査す
ること（サーボ・フォローイング）ができない、という
問題が生じる。特に２０ギガビット／インチ2以上の記
録密度では、サーボ・フォローイングに問題を生じる可
能性が高い。 【０００７】また、上記の垂直磁気記録方式によれば、
更なる高密度化を図ることができる一方、高密度化が進
むと記録された個々の信号が弱まり、次第に再生が困難
になるという問題がある。このため、垂直磁気記録方式
により高密度記録を行なう場合を想定すると、磁気ヘッ
ドと磁気ディスクとの距離を更に短くするなどして、再
生能力を向上させなければならない。 【０００８】本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みな
されたものであり、本発明の目的は、正確にトラッキン
グ・サーボを行いながら情報の記録を行うことにより、
良好なＳ／Ｎで信号の高密度記録を行うことができる情
報記録方法を提供することにある。また、本発明の他の
目的は、垂直磁気記録方式により高密度記録を行うこと
ができる情報記録方法を提供することにある。 【０００９】 【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に記載の情報記録方法は、ディスク状支持
体の少なくとも一方の面に、垂直磁気異方性を有する強
磁性金属薄膜からなる磁気記録層が形成され、該磁気記
録層に磁化方向の相違によりトラッキング情報が予め記
録された情報記録媒体を用い、前記磁気記録層に記録さ
れたトラッキング情報に基づいて磁気光学効果によりト
ラッキングを行うと共に、前記磁気記録層にディスク面
に対して垂直な磁界を印加して磁気的に情報を記録し、
磁気ヘッドで該情報を再生することを特徴とする。 【００１０】請求項１に記載の方法では、ディスク状支
持体の少なくとも一方の面に、垂直磁気異方性を有する
強磁性金属薄膜からなる磁気記録層が形成され、該磁気
記録層の磁化方向の相違によりトラッキング情報が予め
記録された情報記録媒体を使用するので、磁気光学効果
を用いた光トラッキングにより、磁気トラッキングと比
較して、単純なサーボ信号で正確なトラッキングサーボ
を行うことができる。この結果、良好なＳ／Ｎで信号の
記録を行うことができる。また、サーボ信号を単純化す
ることでフォーマット効率を高めることも可能となる。 【００１１】使用する情報記録媒体の磁気記録層は、垂
直磁気異方性を有する強磁性金属薄膜から形成されてお
り、磁気光学効果によるトラッキングが可能で、データ
信号の垂直磁気記録が可能となる。データ信号の書き込
みと読み出しは磁気記録と同様であるために、記録再生
ヘッドは磁気記録とまったく同様であり、単純な構成で
ある。また、トラッキングには光を用いるが、この光は
トラッキング信号の読み出しだけに使用するため、光磁
気ディスクの光ピックアップよりも大幅に単純な構造で
よい。更に、情報の記録は垂直磁気記録方式で行うた
め、垂直磁気記録特有の微少な記録でも記録が安定とな
る高記録密度適性が利用できる。 【００１２】特に、磁気記録層をトラッキングのために
予めディスク中心に対し同心円状またはスパイラル状に
磁化すると共に、磁化方向が異なる磁化領域が半径方向
に交互に配列されるように磁化してトラッキング情報を
記録した場合には、トラッキングを連続的に行うことが
でき、より正確なトラッキング・サーボを行うことがで
きる。 【００１３】なお、トラッキングのための磁化方向は、
ディスク面に対して垂直とすることがより好ましい。磁
化方向をディスク面に対して垂直とすることにより、半
径方向に交互に配列された磁化方向が異なる磁化領域
が、相互にその磁力を弱め合うことがなくなり、各磁化
領域の磁力が安定化する。 【００１４】この場合、所定の磁化方向に磁化された磁
化領域にのみ磁気的に情報を記録することが好ましい。
トラッキングのための磁化領域と、情報を記録する磁化
領域とを区別することにより、磁化領域の同一部分につ
いてトラッキングと記録とを同時に行う必要がなくなり
設計の自由度が向上すると共に、トラッキング・サーボ
の精度が向上する。 【００１５】上記情報記録媒体において、ディスク状支
持体として可とう性非磁性支持体を用いた場合には、磁
気ヘッドと安定に接触摺動することができ、安定したヘ
ッド走行を実現することできる。この場合、より安定に
接触摺動させるために、可とう性非磁性支持体の厚さは
１０μｍ〜２００μｍであることが好ましい。 【００１６】上記情報記録媒体において、希土類遷移金
属合金からなり且つディスク面に対して垂直方向の保磁
力が１５００Ｏｅ〜４０００Ｏｅの範囲にある磁気記録
層を備えることにより、熱アシスト無しに垂直磁気記録
を容易に行うことができる。 【００１７】上記の希土類遷移金属合金としては、テル
ビウム、ガドリニウム、ネオジウム、及びジスプロシウ
ムから選択される少なくとも１種の希土類金属と、鉄及
びコバルトの少なくとも一方の遷移金属とを含有する合
金が好ましい。この中でも、テルビウム−鉄−コバルト
合金（ＴｂＦｅＣｏ）、またはジスプロシウム−鉄−コ
バルト（ＤｙＦｅＣｏ）が特に好ましい。可とう性非磁
性支持体はガラス基板等に比べて耐熱性に劣るため、磁
気記録層の成膜温度を上げることができないが、これら
合金の磁性膜は室温近傍で成膜した場合にも十分な磁気
特性を得ることができる。 【００１８】希土類金属として少なくともテルビウムを
含有する場合には、テルビウムの含有量が１４〜１８原
子％である合金がより好ましい。テルビウムの含有量を
１４〜１８原子％の範囲とすることにより、磁気記録層
の垂直方向の保磁力を１５００Ｏｅ〜４０００Ｏｅの範
囲とすることができる。 【００１９】また、希土類遷移金属合金は、クロム及び
ニッケルの少なくとも一方を更に含有していてもよい。
クロムやニッケルを含有することにより耐食性が向上す
る。 【００２０】磁気記録層は、可とう性非磁性支持体の両
面に下地層を介して設けられていてもよく、磁気記録層
上には、磁気記録層を保護する保護層が設けられていて
もよい。この保護層は、磁気ヘッド材質と同等またはそ
れ以上の硬度を有する硬質炭素膜、及び無機窒化物で構
成された窒化物膜の少なくとも一方を備えているのが好
ましい。 【００２１】上記の磁気記録層は、可とう性非磁性支持
体の少なくとも一方の面に、希土類遷移金属合金をター
ゲットとしたスパッタリングにより、該ターゲットと略
同じ組成の希土類遷移金属合金からなる磁気記録層を形
成されるのが好ましい。希土類遷移金属合金は、その組
成により保磁力等の磁気特性や成膜性が変化する。スパ
ッタリングによれば組成制御が容易であり、ターゲット
である希土類遷移金属合金と略同じ組成の合金からなる
磁気記録層を形成することができる。これにより、同じ
特性を備えた情報記録媒体を再現性よく製造することが
でき、記録特性が安定化する。 【００２２】 【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明の
実施の形態について説明する。 （情報記録媒体）まず、本発明の情報記録方法に使用す
る情報記録媒体としての磁気ディスク１０について説明
する。この磁気ディスク１０は、図１（Ａ）に示すよう
に、中心部にセンターホールが形成されたフレキシブル
・ディスクであり、プラスチック等で形成されたカート
リッジ１２内に格納されている。なお、カートリッジ１
２には、通常、金属性のシャッタ（図示せず）で覆われ
たアクセス窓（図示せず）を備えており、このアクセス
窓を介して磁気ディスク１０への記録や再生が行われ
る。 【００２３】磁気ディスク１０は、図１（Ｃ）に示すよ
うに、可とう性非磁性材料からなるディスク状の支持体
１４の一方の面に、磁気記録層の磁気特性を制御するた
めの下地層１５、垂直磁気異方性を有する金属薄膜から
なる磁気記録層１６、磁気記録層１６を劣化や摩耗から
保護する保護層１８、及び潤滑剤の付与により走行耐久
性および耐食性を改善する潤滑膜２０が、この順に積層
されて構成されている。なお、後述する通り、支持体１
４と下地層１５との間に、反射層や、熱伝導、熱拡散速
度を制御するための誘電体層を設けても良い。 【００２４】磁気記録層１６は、ディスク面に対して垂
直方向の磁気異方性を有し、且つ磁気光学効果を有して
おり、情報の垂直光磁気記録が可能である。また、磁気
記録層１６は、ディスク面に対して垂直方向に予め磁化
（プリフォーマット磁化）されており、支持体１４と反
対側の表面を記録面とした場合、支持体側がＳ極で記録
面側がＮ極になる方向に磁化された磁化領域１６Ａと、
支持体側がＮ極で記録面側がＳ極になる方向に磁化され
た磁化領域１６Ｂと、で構成されている。 【００２５】また、図１（Ｂ）に、図１（Ａ）の領域Ａ
における磁気記録層１６の記録面の磁化状態を示すが、
磁化領域１６Ａ及び磁化領域１６Ｂの各々は、ディスク
中心に対し同心円状またはスパイラル状に形成され、各
々がトラックを構成している。これら磁化領域１６Ａの
トラックと磁化領域１６Ｂのトラックとは、ディスク半
径方向に交互に配列されている。即ち、磁化領域１６Ａ
及び磁化領域１６Ｂは、その磁化方向の相違により、ト
ラッキング・ガイドとして使用されると共に、記録領域
として使用される。なお、この磁気ディスク１０におい
ては、磁気記録層１６の側から磁気ヘッドを接触させ
て、情報の記録及び再生が行われる。 【００２６】後述するように、Ｓ型の磁化領域１６Ｂの
みに記録し、Ｎ型の磁化領域１６Ａはトラッキングのた
めに使用する場合には、トラッキング用の磁化領域１６
Ａの幅を、記録用の磁化領域１６Ｂの幅より狭くするこ
とが好ましい。記録用の磁化領域１６Ｂの幅をより広く
することでフォーマット効率が向上する。例えば、トラ
ッキング用の磁化領域１６Ａの幅を０．１〜０．３μｍ
とし、記録用の磁化領域１６Ｂの幅を約１μｍとするこ
とができる。 【００２７】また、磁化領域１６Ａ及び磁化領域１６Ｂ
は、一定周波数で蛇行する（ウォブルを施す）ように形
成してもよい。このウォブルの蛇行周波数を検出して、
線速度を制御する制御信号として使用することができ
る。例えば、内周から外周まで同じ周期のウォブルを入
れることにより、半径位置に拘らず線速度が一定になる
ように制御することができる。また、内周から外周にか
けて周期を長くするようにウォブルを入れることによ
り、角速度が一定になるように制御することができる。 【００２８】なお、本実施の形態では、磁気記録層１６
がトラッキング情報に従って垂直方向に磁化されている
例について説明したが、磁化方向の相違によりトラッキ
ング情報が予め記録されていればよく、他の方法により
トラッキング情報を記録してもよい。 【００２９】支持体１４は、磁気ヘッドと磁気ディスク
とが接触した時の衝撃を回避するために、可とう性高分
子材料等の可とう性非磁性材料で構成されている。可と
う性高分子材料としては、芳香族ポリイミド、芳香族ポ
リアミド、芳香族ポリアミドイミド、ポリエーテルケト
ン、ポリエーテルサルフォン、ポリエーテルイミド、ポ
リサルフォン、ポリフェニレンサルファイド、ポリエチ
レンナフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリ
カーボネート、トリアセテートセルロース、フッ素樹脂
等からなる樹脂フィルムが挙げられる。 【００３０】また、支持体１４に同一の樹脂フィルムま
たは他の樹脂フィルムをラミネートして使用してもよ
い。他の樹脂フィルムをラミネートすることにより、支
持体自身に起因する反りやうねりを軽減することができ
る。これによりディスク回転時の面ぶれを軽減すること
が可能になり、ヘッドとディスクの衝突頻度や衝突強度
が軽減され、磁気記録層の耐傷性を著しく改善すること
がきる。また、製造時に片面に磁気記録層が形成された
状態でハンドリングできるため、支持体の両面に磁気記
録層を形成するよりも、表面に傷が付き難く、フィルム
蛇行による欠陥も発生し難い。 【００３１】ラミネート手法としては、熱ローラによる
ロールラミネート、平板熱プレスによるラミネート等を
使用することができる。接着剤の付与方法としては、接
着面に接着剤を塗布してラミネートする方法、予め離型
紙上に接着剤が塗布された接着シートを用いる方法等が
挙げられる。接着剤の種類は、特に限定されず、一般的
なホットメルト接着剤、熱硬化性接着剤、ＵＶ硬化型接
着剤、ＥＢ硬化型接着剤、粘着シート、嫌気性接着剤な
どを使用することがきる。 【００３２】支持体１４の厚みは、１０μｍ〜２００μ
ｍ、好ましくは２０μｍ〜１５０μｍ、さらに好ましく
は２５μｍ〜８０μｍである。支持体１４の厚みが１０
μｍより薄いと、高速回転時の安定性が低下し、面ぶれ
が増加する。一方、支持体１４の厚みが２００μｍより
厚いと、回転時の剛性が高くなり、安定に接触摺動させ
ることが困難になり、磁気ヘッドの跳躍を招く。 【００３３】下記式で表される支持体１４の腰の強さ
は、ｂ＝１０ｍｍでの値が０．５ｋｇｆ／ｍｍ2〜２．
０ｋｇｆ／ｍｍ2の範囲にあることが好ましく、０．７
ｋｇｆ／ｍｍ2〜１．５ｋｇｆ／ｍｍ2がより好ましい。 【００３４】支持体の腰の強さ＝Ｅｂｄ3／１２ なお、この式において、Ｅはヤング率、ｂはフィルム
幅、ｄはフィルム厚さを各々表す。 【００３５】支持体１４の表面は、磁気ヘッドによる記
録を行うために、可能な限り平滑であることが好まし
い。支持体１４表面の凹凸は、信号の記録再生特性を著
しく低下させる。具体的には、後述する下塗り層を使用
する場合では、光学式の表面粗さ計で測定した表面粗さ
が中心面平均粗さＳＲａで５ｎｍ以内、好ましくは２ｎ
ｍ以内、触針式表面粗さ計で測定した突起高さが１μｍ
以内、好ましくは０．１μｍ以内である。また、下塗り
膜を用いない場合では、光学式の表面粗さ計で測定した
表面粗さが中心面平均粗さＳＲａで３ｎｍ以内、好まし
くは１ｎｍ以内、触針式表面粗さ計で測定した突起高さ
が０．１μｍ以内、好ましくは０．０６μｍ以内であ
る。 【００３６】支持体表面には、平面性の改善を目的とし
て下塗り層を設けることが好ましい。磁気記録層１６を
スパッタリング等で形成するため、下塗り層は耐熱性に
優れることが好ましく、下塗り層の材料としては、例え
ば、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、シリコン
樹脂、フッ素系樹脂等を使用することができる。熱硬化
型ポリイミド樹脂、熱硬化型シリコン樹脂は、平滑化効
果が高く、特に好ましい。下塗り層の厚みは、０．１μ
ｍ〜３．０μｍが好ましい。支持体１４に他の樹脂フィ
ルムをラミネートする場合には、ラミネート加工前に下
塗り層を形成してもよく、ラミネート加工後に下塗り層
を形成してもよい。 【００３７】熱硬化性ポリイミド樹脂としては、例え
ば、丸善石油化学社製のビスアリルナジイミド「ＢＡＮ
Ｉ」のように、分子内に末端不飽和基を２つ以上有する
イミドモノマーを、熱重合して得られるポリイミド樹脂
が好適に用いられる。このイミドモノマーは、モノマー
の状態で支持体表面に塗布した後に、比較的低温で熱重
合させることができるので、原料となるモノマーを支持
体上に直接塗布して硬化させることができる。また、こ
のイミドモノマーは汎用溶剤に溶解させて使用すること
ができ、生産性、作業性に優れると共に、分子量が小さ
く、その溶液粘度が低いために、塗布時に凹凸に対する
回り込みが良く、平滑化効果が高い。 【００３８】熱硬化性シリコン樹脂としては、有機基が
導入されたケイ素化合物を原料としてゾルゲル法で重合
したシリコン樹脂が好適に用いられる。このシリコン樹
脂は、二酸化ケイ素の結合の一部を有機基で置換した構
造からなりシリコンゴムよりも大幅に耐熱性に優れると
共に、二酸化ケイ素膜よりも柔軟性に優れるため、可と
う性フィルムからなる支持体上に樹脂膜を形成しても、
クラックや剥離が生じ難い。また、原料となるモノマー
を支持体上に直接塗布して硬化させることができるた
め、汎用溶剤を使用することができ、凹凸に対する回り
込みも良く、平滑化効果が高い。更に、縮重合反応は、
酸やキレート剤などの触媒の添加により比較的低温から
進行するため、短時間で硬化させることができ、汎用の
塗布装置を用いて樹脂膜を形成することができる。 【００３９】下塗り層の表面には、磁気ヘッドと磁気デ
ィスクとの真実接触面積を低減し、摺動特性を改善する
ことを目的として、微小突起（テクスチャ）を設けるこ
とが好ましい。また、微小突起を設けることにより、支
持体のハンドリング性も良好になる。微小突起を形成す
る方法としては、球状シリカ粒子を塗布する方法、エマ
ルジョンを塗布して有機物の突起を形成する方法などが
使用できるが、下塗り層の耐熱性を確保するため、球状
シリカ粒子を塗布して微小突起を形成するのが好まし
い。 【００４０】微小突起の高さは５ｎｍ〜６０ｎｍが好ま
しく、ｌ０ｎｍ〜３０ｍｍがより好ましい。微小突起の
高さが高すぎると記録再生ヘッドと媒体のスペーシング
ロスによって信号の記録再生特性が劣化し、微小突起が
低すぎると摺動特性の改善効果が少なくなる。微小突起
の密度は０．１〜１００個／μｍ2が好ましく、１〜１
０個／μｍ2がより好ましい。微小突起の密度が少なす
ぎる場合は摺動特性の改善効果が少なくなり、多過ぎる
と凝集粒子の増加によって高い突起が増加して記録再生
特性が劣化する。 【００４１】また、バインダーを用いて微小突起を支持
体表面に固定することもできる。バインダーには、十分
な耐熱性を備えた樹脂を使用することが好ましく、耐熱
性を備えた樹脂としては、熱硬化型ポリイミド樹脂、熱
硬化型シリコン樹脂を使用することが特に好ましい。 【００４２】支持体１４と磁気記録層１６との間には、
記録信号や光によるトラッキング信号の読み取り精度を
高めるため、一般的な光磁気ディスクと同様に、反射膜
を設けることができる。反射膜には、レーザ光に対する
反射率が高い光反射性物質が使用される。このような光
反射性物質としては、例えばＡｌ、Ａｌ―Ｔｉ、Ａｌ−
Ｉｎ、Ａｌ―Ｎｂ、Ａｌ―Ｔａ、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ等の
金属及び半金属を挙げることができる。これらの物質は
単独で用いてもよく、二種以上を組合せて用いてもよ
い。また、合金として用いてもよい。この反射膜は、上
記光反射性物質を支持体１４上にスパッタリング、また
は電子ビーム真空蒸着することにより形成することがで
きる。反射膜の膜厚は１０ｎｍ〜２００ｎｍが好まし
い。 【００４３】磁気記録層１６の記録特性と耐食性とを改
善する目的で、支持体１４と磁気記録層１６との間に下
地層１５を設けることが好ましい。磁気記録層に使用さ
れる希土類遷移金属合金は一般的にアモルファスの垂直
磁気記録膜であり且つ記録膜内での磁気的な相互作用が
非常に強い。光磁気ディスクではレーザ光で加熱され保
磁力や相互作用が弱まった状態で記録されるが、磁気転
写方式によるトラッキング信号の書き込みや一部の信号
を磁気ヘッドで記録しようとする場合には、希土類遷移
金属合金からなる磁気記録層単独では磁壁移動モードの
記録となりやすく磁化反転不良や高ノイズ等の問題を引
き起こす。このため、下地層１５に適度の表面粗さや結
晶構造を設けることによって、磁気記録層内の磁気ドメ
インを容易に生成することができ、スピン反転モードの
磁気記録とすることができる。 【００４４】下地層１５には、例えば、チタン、アルミ
ニウム、クロム、ニッケルなどの金属、またはこれらの
金属と他の金属との合金、リン化ニッケル等のリン化合
物、グラファイトや無定形カーボンなどの炭素等が挙げ
られる。また、後述する誘電体材料も使用することがで
きる。下地層１５は、スパッタ法、真空蒸着法、ＣＶＤ
法等のいわゆる真空成膜法で作成できるが、この際に成
膜条件及び膜厚の調整によって適度な表面粗さ、結晶構
造を付与する必要がある。表面粗さとしてはＲｍａｘで
５〜２０ｎｍ、粒子のサイズとして１〜３０ｎｍ程度が
好ましい。膜厚は１０ｎｍ〜２００ｎｍが好ましい。 【００４５】支持体１４と下地層１５との間に、誘電体
層を設けてもよい。誘電体層は、レーザ照射時及びレー
ザ照射後の磁気記録層１６の温度を制御すると共に、水
分や酸素などの磁気記録層１６の腐食や酸化に関与する
物質が支持体側から移動してくるのを遮蔽する。誘電体
層には光磁気記録で一般的に使用される誘電体材料を使
用することができる。 【００４６】誘電体材料としては、例えば、シリカ、ア
ルミナなどの酸化物（Ｓｉ−Ｏ、Ａｌ−Ｏ）、窒化ケイ
素、窒化アルミニウムなどの窒化物（Ｓｉ−Ｎ、Ａｌ−
Ｎ）、硫化亜鉛等の硫化物（Ｚｎ−Ｓ）、リン化ニッケ
ル等のリン化物、ケイ素化タンタル（Ｔａ−Ｓｉ）、グ
ラファイト、無定型カーボンなどの炭素等が挙げられる
が、耐腐食性を備え、磁気記録層に含まれる金属材料と
酸素との反応を抑制し、且つ高い熱伝導率を有する材料
が好ましく、チッ化珪素（Ｓｉ−Ｎ）、チッ化アルミニ
ウム（Ａｌ−Ｎ）等の無機窒化物、及び炭素が特に好ま
しい。この誘電体層は、スパッタリング法や化学気相反
応法（ＣＶＤ法）などにより形成することができる。誘
電体層の膜厚は、１０ｎｍ〜２００ｎｍが好ましい。 【００４７】また、単磁極ヘッドと組合わせて使用する
場合には、下地層１５と磁気記録層１６との間に軟磁性
材料からなる裏打ち層を設けてもよい。軟磁性材料とし
てはパーマロイ、センダスト等を使用することができ
る。裏打ち層の膜厚は、５０ｎｍ〜５００ｎｍが好まし
く、５０ｎｍ〜５００ｎｍがより好ましい。 【００４８】磁気記録層１６には、光磁気ディスクで一
般的に使用される各種金属合金等の磁気記録材料の中で
も、垂直磁気異方性を有するものを使用する。このよう
な磁気記録材料としては、希土類遷移金属合金が挙げら
れる。希土類遷移金属合金は、垂直磁気異方性を有して
おり、垂直磁気記録が可能であると共に、磁気特性にも
優れている。また、希土類遷移金属合金は、非晶質（ア
モルファス）であるため、結晶粒によるノイズが発生し
ない。また、その組成により静磁気特性と光磁気特性と
を広範囲にわたって制御することができる。また、磁気
記録材料は、キュリー点が２００℃前後のものが好まし
い。 【００４９】磁気記録層１６は、そのディスク面に対し
て垂直な方向の保磁力（垂直方向保磁力）が１５００Ｏ
ｅ〜４０００Ｏｅの範囲である。垂直方向保磁力が１５
００Ｏｅ未満では、十分な電磁変換特性を得ることがで
きず、垂直方向保磁力が４０００Ｏｅを超えると、熱ア
シスト無しで磁気記録を行なうことが困難になる。垂直
方向保磁力は、磁力の安定化と磁気記録の容易さとのバ
ランスから、２０００Ｏｅ〜３５００Ｏｅの範囲が好ま
しく、２５００Ｏｅ〜３０００Ｏｅの範囲がより好まし
い。 【００５０】希土類遷移金属合金としては、ＴｂＣｏ、
ＴｂＦｅ、ＴｂＦｅＣｏ、ＮｄＦｅＣｏ、ＧｄＦｅＣ
ｏ、ＤｙＦｅＣｏ、ＴｂＧｄＦｅ、ＴｂＮｄＦｅ、Ｔｂ
ＧｄＦｅＣｏなど、テルビウム（Ｔｂ）、ガドリニウム
（Ｇｄ）、ネオジウム（Ｎｄ）、及びジスプロシウム
（Ｄｙ）から選択される少なくとも１種の希土類金属
と、鉄（Ｆｅ）及びコバルト（Ｃｏ）の少なくとも一方
の遷移金属とを含有する合金が好ましい。また、これら
合金の耐食性を改善するために、クロム（Ｃｒ）やニッ
ケル（Ｎｉ）を適宜添加してもよい。更に、磁気ドメイ
ンの形成を補助する目的でシリコン（Ｓｉ）やボロン
（Ｂ）などを添加してもよい。 【００５１】上記した合金の中でも、ＴｂＦｅＣｏ、Ｄ
ｙＦｅＣｏが特に好ましい。可とう性非磁性支持体はガ
ラス基板等に比べて耐熱性に劣るため、磁気記録層の成
膜温度を上げることができないが、これら合金の磁性膜
は室温近傍で成膜した場合にも十分な磁気特性を得るこ
とができる。 【００５２】また、希土類遷移金属合金がテルビウムを
含有する場合には、図２に示すように、テルビウムの含
有量が多くなるに従い垂直方向保磁力が大きくなり、テ
ルビウムの含有量が１４〜１８原子％である場合に垂直
方向保磁力が１５００Ｏｅ〜４０００Ｏｅの範囲となっ
て、垂直磁気記録を行う場合に良好な記録特性を得るこ
とができる。 【００５３】磁気記録層１６の作製方法としては、真空
蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法及
びイオン注入法等の物理的蒸着法（ＰＶＤ法）、化学的
蒸着法（ＣＶＤ法）等を挙げることができるが、組成制
御が容易である点で、スパッタリング法が特に好まし
い。コーティングする希土類遷移金属合金をターゲット
としたスパッタリングにより、このターゲットと略同じ
組成の合金からなる磁性膜を形成することができる。 【００５４】スパッタリングの方法としては、一般的な
ＤＣスパッタリング、ＲＦスパッタリングの他に、ＤＣ
パルススパッタ、ＲＦバイアススパッタ、反応性スパッ
タなどが使用できる。スパッタリングの際には、構成す
る元素を独立したターゲットとして、これらのターゲッ
ト上に基板を回転させて通過させる共スパッタ法や、そ
のうちの一部または全部を合金ターゲットとして構成
し、スパッタする方法のいずれも使用可能である。ま
た、元素分布や再現性の問題はあるが、基本となるター
ゲットの一部に導入したい元素からなるチップやシート
を設置することで合金化するスパッタ法も使用すること
ができる。磁気記録層１６の層厚としては、１０ｎｍ〜
１００ｎｍが好ましく、２０〜５０ｎｍが特に好まし
い。 【００５５】このように、希土類遷移金属合金からなる
垂直磁気記録層は、スパッタリング法により作製するこ
とができ、室温で成膜できるため、可とう性非磁性支持
体を使用しているにもかかわらず、基板変形がなく平面
性に優れている。 【００５６】トラッキング信号を光磁気ディスクに記録
する、即ち、磁気記録層１６をプリフォーマットする方
法は、特に限定されない。例えば、磁気ヘッドにより磁
化領域を書き込んでもよく、磁気転写により磁化領域を
形成してもよい。微細なパターンの磁化領域を短時間で
形成するためには、磁気転写により磁化領域を形成する
のが特に好ましい。 【００５７】磁気転写は、図３（Ａ）〜（Ｃ）に示すよ
うに、磁性層２８が形成されたマスター担体２４から、
磁化される前の磁気記録層１６を備えたスレーブ媒体２
２に、磁気を転写して所定パターンの磁化領域を形成す
る方法である。マスター担体２４は、シリコン、アルミ
ニウム等の非磁性材料で構成された基板２６上に、転写
パターンに応じた形成された磁束密度が大きなＣｏ、Ｆ
ｅなどの強磁性体からなる凸状の磁性層２８を形成した
ものであり、基板２６と磁性層２８との間には、必要に
応じてＣｒ、Ｔｉ等の非磁性金属材料で構成された導電
性層を設けることができる。マスター担体２４は、フォ
トファブリケーションや、光ディスクの基板形成に使用
するスタンパを用いて作製することができる。例えば、
スタンパにより所定パターンが形成されたニッケル基板
に磁性層を形成してマスター担体２４を得ることができ
る。以下、磁気転写により磁化領域を形成する方法を具
体的に説明する。 【００５８】まず、図３（Ａ）に示すように、支持体１
４の一方の面に、下地層１５、磁化される前の磁気記録
層１６、保護層（図示せず）、及び潤滑膜（図示せず）
を積層したスレーブ媒体２２に、矢印Ａ方向の直流磁界
を印加して、スレーブ媒体２２の磁気記録層１６を矢印
Ａ方向に励磁する（初期磁化）。なお、磁気記録層１６
は、初期磁化されて全体が磁化領域１６Ａとなる。 【００５９】次に、図３（Ｂ）に示すように、マスター
担体２４を、初期磁化されたスレーブ媒体２２に密着さ
せて、転写磁界として矢印Ｂ方向の直流磁界または交流
バイアス磁界等を印加し、磁性層２８を矢印Ｂ方向に励
磁する。これにより、図３（Ｃ）に示すように、スレー
ブ媒体２２と磁性層２８とが接触している部分から、磁
気記録層１６の対応する部分に矢印Ｂ方向の磁界が印加
されて、その部分の磁化方向が反転し、磁化領域１６Ａ
中に磁化領域１６Ｂが形成される。これによりスレーブ
媒体２２の精密なプリフォーマットが行われる。 【００６０】保護層１８は、磁気記録層１６に含まれる
金属材料の腐蝕を防止し、磁気ヘッドと磁気ディスクと
の擬似接触または接触摺動による摩耗を防止して、走行
耐久性、耐食性を改善するために設けられる。希土類遷
移金属は非常に腐食し易いため、希土類遷移金属を用い
る場合には、保護層１８を設けることが特に好ましい。 【００６１】保護層１８には、シリカ、アルミナ、テタ
ニア、ジルコニア、酸化コバルト、酸化ニッケルなどの
酸化物、窒化チタン、窒化ケイ素、窒化ホウ素などの窒
化物、炭化ケイ素、炭化クロム、炭化ホウ素等の炭化
物、グラファイト、無定型カーボンなどの炭素等の材料
を使用することができる。 【００６２】保護層１８としては、磁気ヘッドの材質と
同等またはそれ以上の硬度を有する硬質膜であり、摺動
中に焼き付きを生じ難くその効果が安定して持続するも
のが、摺動耐久性に優れており好ましい。また、同時に
ピンホールが少ないものが、耐食性に優れておりより好
ましい。更に、レーザによるトラッキング信号の読み出
しを高精度で行なうためには、使用するレーザに対して
充分な透明性を有することが好ましい。このような保護
膜としては、ＣＶＤ法で作製されるＤＬＣ（ダイヤモン
ドライクカーボン）と呼ばれる硬質炭素膜が挙げられ
る。 【００６３】保護層１８は、性質の異なる２種類以上の
薄膜を積層した構成とすることができる。例えば、表面
側に摺動特性を改善するための硬質炭素保護膜を設け、
磁気記録層側に耐食性を改善するための窒化珪素などの
窒化物保護膜を設けることで、耐食性と耐久性とを高い
次元で両立することが可能となる。 【００６４】保護層１８上に、走行耐久性および耐食性
を改善するために、潤滑膜２０を設けることが好まし
い。潤滑膜２０には、公知の炭化水素系潤滑剤、フッ素
系潤滑剤、極圧添加剤等の潤滑剤が使用される。 【００６５】炭化水素系潤滑剤としては、ステアリン
酸、オレイン酸等のカルボン酸類、ステアリン酸ブチル
等のエステル類、オクタデシルスルホン酸等のスルホン
酸類、リン酸モノオクタデシル等のリン酸エステル類、
ステアリルアルコール、オレイルアルコール等のアルコ
ール類、ステアリン酸アミド等のカルボン酸アミド類、
ステアリルアミン等のアミン類などが挙げられる。 【００６６】フッ素系潤滑剤としては、上記炭化水素系
潤滑剤のアルキル基の一部または全部をフルオロアルキ
ル基もしくはパーフルオロポリエーテル基で置換した潤
滑剤が挙げられる。パーフルオロポリエーテル基として
は パーフルオロメチレンオキシド重合体、パーフルオ
ロエチレンオキシド重合体、パーフルオロ−ｎ−プロピ
レンオキシド重合体（ＣＦ2ＣＦ2ＣＦ2Ｏ）n、パーフル
オロイソプロピレンオキシド重合体（ＣＦ（ＣＦ3）Ｃ
Ｆ2Ｏ）n、またはこれらの共重合体等である。具体的に
は、分子量末端に水酸基を有するパーフルオロメチレン
−パーフルオロエチレン共重合体（アウジモント社製、
商品名「FOMBLIN Z-DOL」）等が挙げられる。 【００６７】極圧添加剤としては、リン酸トリラウリル
等のリン酸エステル類、亜リン酸トリラウリル等の亜リ
ン酸エステル類、トリチオ亜リン酸トリラウリル等のチ
オ亜リン酸エステルやチオリン酸エステル類、二硫化ジ
ベンジル等の硫黄系極圧剤などが挙げられる。 【００６８】上記の潤滑剤は単独もしくは複数を併用し
て使用することができ、潤滑剤を有機溶剤に溶解した溶
液を、スピンコート法、ワイヤーバーコート法、グラビ
アコート法、ディップコート法等で保護層１８表面に塗
布するか、真空蒸着法により保護層１８表面に付着させ
ればよい。潤滑剤の塗布量としては、１〜３０ｍｇ／ｍ
2が好ましく、２〜２０ｍｇ／ｍ2が特に好ましい。 【００６９】また、耐食性をさらに高めるために、防錆
剤を併用することが好ましい。防錆剤としては、ベンゾ
トリアゾール、ベンズイミダゾール、プリン、ピリミジ
ン等の窒素含有複素環類およびこれらの母核にアルキル
側鎖等を導入した誘導体、ベンゾチアゾール、２−メル
カプトンベンゾチアゾール、テトラザインデン環化合
物、チオウラシル化合物等の窒素および硫黄含有複素環
類およびこの誘導体等が挙げられる。これら防錆剤は、
潤滑剤に混合して保護層１８上に塗布してもよく、潤滑
剤を塗布する前に保護層１８上に塗布し、その上に潤滑
剤を塗布してもよい。防錆剤の塗布量としては、０．１
〜１０ｍｇ／ｍ2が好ましく、０．５〜５ｍｇ／ｍ2が特
に好ましい。 【００７０】（トラッキング・サーボ）次に、上記の磁
気ディスクにおけるトラッキング・サーボの方法につい
て説明する。図４（Ａ）に示すように、支持体側がＳ極
で記録面側がＮ極になる方向に磁化された磁化領域１６
Ａに直線偏光を照射すると、磁気カー効果により、その
反射光の偏光面は入射光の偏光面から所定角度θ（例え
ば右回り）だけ回転する。一方、図４（Ｂ）に示すよう
に、支持体側がＮ極で記録面側がＳ極になる方向に磁化
された磁化領域１６Ｂに同じ直線偏光を照射すると、磁
気カー効果により、その反射光の偏光面は入射光の偏光
面から所定角度−θ（例えば左回り）だけ回転する。 【００７１】従って、磁化領域に照射された光ビーム
は、磁気ディスク１０で反射されるが、偏光板等を通し
てこの反射光から偏光面が所定角度だけ回転した反射光
を検出し、この反射光の強度により、ヘッドとトラック
の相対的なずれを検出して、トラッキング・サーボを行
うことができる。即ち、同心円状またはスパイラル状に
設けられた磁化領域１６Ａ及び磁化領域１６Ｂは、トラ
ッキング・ガイドとしての役割を果たす。このように磁
気光学効果を用いた光トラッキングを行なうことによ
り、磁気トラッキングを行なう場合と比較して、単純な
サーボ信号で正確なトラッキング・サーボを行うことが
できる。また、サーボ信号を単純化することでフォーマ
ット効率を高めることも可能となる。 【００７２】トラッキング・エラー検出方式としては、
２分割フォトディテクタを用いてトラッキング誤差信号
を得るプッシュプル法、３ビーム法等、光ディスクにお
いて使用されるトラッキング・エラー検出方式を使用す
ることができる。十分なトラッキング・エラー信号を得
るためには３ビーム法が好ましい。光を用いたフォーカ
スサーボに関しては、現在の光磁気ディスク装置のよう
にピエゾ素子によるフォーカシングを行っても良いが、
本実施の形態のトラッキング方式では、フライングヘッ
ドがディスクに非常に高精度で追従するために、フォー
カスサーボ機構を省略することも可能である。これはド
ライブ装置を小型化、薄型化するために非常に有利であ
る。また、光ビームはトラッキング・サーボにのみ使用
されるため、トラッキング用の光源としては、赤外線レ
ーザ等の低出力のレーザ光源を用いることができる。 【００７３】（情報の記録・再生）次に、以上説明した
磁気ディスクへの情報の記録方法と、記録された情報の
再生方法と、について説明する。図５に、上記の磁気デ
ィスクへの情報の記録、及び記録した情報の再生に使用
することができる記録再生装置の概略構成を示し、図６
に、記録再生装置の記録再生ヘッド部の概略構成を示
す。 【００７４】この記録再生装置は、図５及び図６に示す
ように、スイングアーム３４の先端に取り付けられ、磁
気ディスク１０の回転に伴い浮上する浮上型スライダ３
２を備えている。この浮上型スライダ３２は、サスペン
ション３８の先端部に固定された薄型の板バネであるジ
ンバル５２の下面に取り付けられ、サスペンション３８
は、スイングアーム３４に支持されている。また、浮上
型スライダ３２は、その浮上面（ＡＢＳ：Air Bearing
Surface）４０が磁気ディスク１０の記録面に対向する
ように、磁気ディスク１０の記録面上方に配置され、矢
印Ｃ方向に沿ったスイングアーム３４の回動により、磁
気ディスク１０の半径方向に移動可能とされている。 【００７５】この記録再生装置のヘッド部は、図６に示
すように、磁気ディスク１０の回転に伴い浮上する浮上
型スライダ３２を備えており、その浮上面４０には、正
圧または負圧を付与するためのレールパターン４２が設
けられている。浮上型スライダ３２の浮上面４０には、
トラッキング用のレーザ光を照射する射出部４６が設け
られている。サスペンション３８と平行に光ファイバ４
４が設けられており、外部に配置されたレーザ光源（図
示せず）から出射されたレーザ光は、この光ファイバ４
４により導かれ、レンズ４３により集光されて、射出部
４６から出射される。また、浮上面４０には、励磁コイ
ルを備えた磁気ヘッド５０が設けられている。この磁気
ヘッド５０は、情報記録時に印加する磁界を制御する記
録磁界制御回路３６に接続されている。 【００７６】磁気ヘッド５０としては、磁界の強さに応
じて電気抵抗が変化する磁気抵抗効果を利用した、ＭＲ
（Magneto Resistive）ヘッド、ＧＭＲ（Giant Magneto
Resistive）ヘッド、ＴＭＲ（Tunnel Magneto Resisti
ve）ヘッド等の磁気ヘッドを用いることができる。中で
も、高感度なＧＭＲヘッド及びＴＭＲヘッドが特に好ま
しい。なお、垂直磁気記録は、垂直磁気記録用に作製さ
れた単磁極ヘッドなどの垂直磁気記録ヘッド、長手磁器
記録方式に使用されるリングヘッドのいずれを用いても
行なうことができるが、単磁性ヘッドを使用する場合に
は、既に説明したように裏打ち層を設けておくことが好
ましい。 【００７７】磁気ディスク１０を回転させると共に、こ
の磁気ディスク１０に対して浮上型スライダ３２を押し
当てると、磁気ディスク１０と浮上型スライダ３２とは
非常に弱い力で安定に接触摺動する。ヘッドの安定走行
のために、ディスクの回転数は１０００ｒｐｍ〜１００
００ｒｐｍが好ましく、２０００ｒｐｍ〜７５００ｒｐ
ｍがより好ましい。また、ディスクの面振れは小さい方
が好ましく、約５０μｍ程度以下とすることがより好ま
しい。 【００７８】情報記録時には、この安定に接触摺動して
いる状態で、記録磁界制御回路３６から磁気ヘッド５０
に制御信号を供給し、情報に対応する磁界を磁気記録層
１６に印加することにより磁気的に情報の記録を行な
う。このとき、例えば、Ｓ型の磁化領域１６Ｂのみに記
録し、Ｎ型の磁化領域１６Ａはトラッキングのために使
用する等、トラッキングのための磁化領域と情報を記録
するための磁化領域とに分け、磁化領域の一部に情報を
記録するようにすることができる。トラッキングのため
の磁化領域と、情報を記録する磁化領域とを区別するこ
とにより、磁化領域の同一部分についてトラッキングと
記録とを同時に行う必要がなくなる。これにより、トラ
ッキング用には低出力レーザ光を使用し、記録には磁気
ヘッドを使用するというように、設計の自由度が向上す
る。また、記録領域をトラッキングすることが無くな
り、トラッキング・サーボの精度が向上する。 【００７９】記録後は、図７に示すように、磁化領域１
６Ｂに沿って、磁気ヘッドの記録マーク５６が連続して
記録される。また、情報再生時には、磁気ヘッド５０を
用いて、磁気的に記録された記録信号を読み出すことが
できる。 【００８０】以上説明した通り、本実施の形態では、使
用する磁気ディスクの磁気記録層が、磁化方向が異なる
磁化領域が半径方向に交互に配列されるように予め磁化
されているので、この磁化領域の磁化方向の相違に基づ
いて、即ち、磁気カー効果を利用して光学的にトラッキ
ングを行うことができる。これにより、磁気トラッキン
グと比較して単純なサーボ信号で正確なトラッキングサ
ーボを行うことができる。この結果、良好なＳ／Ｎで信
号の記録を行うことができる。また、サーボ信号を単純
化することでフォーマット効率を高めることも可能とな
る。更に、トラッキングに用いる光はトラッキング信号
の読み出しだけに使用するため、光ピックアップの構造
が光磁気ディスクの場合に比べ大幅に単純化される。 【００８１】また、使用する磁気ディスクの磁気記録層
が、垂直磁気異方性を有する強磁性金属薄膜から形成さ
れているので、この磁気記録層の磁化領域に垂直磁気記
録により情報を記録することができ、データ信号の高密
度記録を行うことができる。また、垂直磁気記録した場
合には、磁化方向が異なる記録ビットが隣り合い、相互
にその磁力を弱め合うことがなくなり、記録領域の磁力
が安定化するという効果も得られる。 【００８２】また、磁気記録層をトラッキングのために
予めディスク中心に対し同心円状またはスパイラル状に
磁化した場合には、トラッキングを連続的に行うことが
でき、より正確なトラッキング・サーボを行うことがで
きる。更に、トラッキングのための磁化方向をディスク
面に対して垂直とすることにより、半径方向に交互に配
列された磁化方向が異なる磁化領域が、相互にその磁力
を弱め合うことがなくなり、各磁化領域の磁力が安定化
する。 【００８３】本実施の形態では、データ信号の書き込み
（記録）と読み出しは磁気記録で行なうため、記録再生
ヘッドには、磁気記録と全く同様の単純な構成のヘッド
を用いることができる。 【００８４】本実施の形態では、ディスク状支持体とし
て可とう性非磁性支持体を用いているので、磁気ヘッド
と安定に接触摺動することができ、安定したヘッド走行
を実現することできる。 【００８５】また、希土類遷移金属合金からなり且つデ
ィスク面に対して垂直方向の保磁力が１５００Ｏｅ〜４
０００Ｏｅの範囲にある磁気記録層を備えることによ
り、熱アシスト無しに垂直磁気記録を容易に行うことが
できる。希土類遷移金属合金としてＴｂＦｅＣｏ、Ｄｙ
ＦｅＣｏ合金を用いた場合には、室温近傍でのスパッタ
リングにより十分な磁気特性を備えた磁気記録層を形成
することができる。 【００８６】なお、上記の実施の形態では、磁気ディス
クをカートリッジ内に格納してフレキシブル・ディスク
として使用する例について説明したが、本発明の情報記
録媒体はハードディスクにも適用することができる。ハ
ードディスクに適用する場合には、アルミニウム基板、
ガラス基板、ポリカーボネート基板、カーボン基板等、
比較的硬度の高い支持体が使用され、支持体の厚みは
０．２ｍｍ〜１．２ｍｍが好ましく、０．３ｍｍ〜０．
９ｍｍがより好ましい。 【００８７】上記の実施の形態では、磁気記録層の側か
らレーザ光を照射してトラッキングを行う例について説
明したが、基板側らレーザ光を照射してトラッキングを
行う構成とすることもできる。この場合、支持体には、
記録及び再生に使用する所定波長のレーザ光に対し透過
率が高い材料を使用する。 【００８８】また、上記の実施の形態では、支持体の片
面に磁気記録層を設ける例について説明したが、支持体
の両面に磁気記録層を設けてもよい。また、片面に磁気
記録層を設けた支持体同士を支持体側を内側にして貼り
合わせて、ディスクの両面に磁気記録層を設けてもよ
い。 【００８９】 【発明の効果】本発明の情報記録方法は、正確にトラッ
キング・サーボを行いながら情報の記録を行うことによ
り、良好なＳ／Ｎで信号の高密度記録を行うことができ
る、という効果を奏する。また、本発明の情報記録方法
は、垂直磁気記録方式により高密度記録を行うことがで
きる、という効果を奏する。
り、特に、トラッキング用サーボ情報を磁気的にプリフ
ォーマット記録した情報記録媒体に、垂直磁気記録方式
により情報の記録を行う情報記録方法に関する。 【０００２】 【従来の技術】パーソナル・コンピュータで取り扱う情
報量の飛躍的な増加に伴い、大容量かつ安価であり、ア
クセス時間の短い情報記録媒体が続々と開発されてい
る。このような大容量の情報記録媒体としては、例え
ば、ハードディスク等の内蔵型の磁気記録媒体、アイオ
メガ社が開発したＺＩＰ等のリムーバルな磁気記録媒体
を挙げることができる。これらハードディスクやＺＩＰ
では、トラック幅を狭めトラック密度を大きくすること
により、大容量化を実現しており、狭いトラックを磁気
ヘッドが正確に走査し、良好なＳ／Ｎで記録信号を再生
するためには、磁気ヘッドとトラックとの相対的なずれ
を検出して、磁気ヘッドの位置を補正するトラッキング
・サーボ技術が重要な役割を果たしている。 【０００３】ハードディスクやＺＩＰでは、トラッキン
グ用サーボ信号やアドレス情報信号、再生クロック信号
等が、磁気記録媒体の製造時に予め高い位置精度で記録
（プリフォーマット記録）されている。これらの信号が
記録された領域（サーボ領域）は、ディスク面に対し離
散的に配置されており、磁気ヘッドはこれらの信号を再
生することにより、ヘッドの位置を確認、修正しながら
トラック上を正確に走査している。 【０００４】一方、現在、市販のハードディスク装置で
採用されている磁気記録方式は、記録媒体の走行方向に
磁化を行う長手磁気記録方式であるが、熱により媒体に
記録された磁化情報が消失する「熱揺らぎ」により、高
密度化には限界があるとされている。これに対し、記録
媒体のディスク面に垂直に磁化を行う垂直磁気記録方式
が、高密度化を実現する次世代の磁気記録方式として期
待されており、垂直磁気記録のための磁性材料として
は、コバルト−クロム合金（ＣｏＣｒ）が有力視されて
いる。 【０００５】ハードディスク装置においては、磁気ディ
スクの回転に伴い、磁気ヘッドが磁気ディスクの表面か
らわずかに浮上し、非接触で磁気記録を行なっている。
これにより、高速回転時に磁気ヘッドと磁気ディスクと
が接触し、その衝撃により磁気ディスクが破損するのを
防止している。高密度化に伴って磁気ヘッドの浮上高さ
は次第に低減されており、鏡面研磨された超平滑なガラ
ス基板上に磁気記録層等を形成した磁気ディスクを用い
ることにより、現在では１０ｎｍ〜２０ｎｍの浮上高さ
が実現されている。 【０００６】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、更なる
高密度化に伴いトラック幅は狭くなる一方であり、サー
ボ信号がところどころに分散して書き込まれた従来のサ
ーボ方式では、磁気ヘッドはトラック上を正確に走査す
ること（サーボ・フォローイング）ができない、という
問題が生じる。特に２０ギガビット／インチ2以上の記
録密度では、サーボ・フォローイングに問題を生じる可
能性が高い。 【０００７】また、上記の垂直磁気記録方式によれば、
更なる高密度化を図ることができる一方、高密度化が進
むと記録された個々の信号が弱まり、次第に再生が困難
になるという問題がある。このため、垂直磁気記録方式
により高密度記録を行なう場合を想定すると、磁気ヘッ
ドと磁気ディスクとの距離を更に短くするなどして、再
生能力を向上させなければならない。 【０００８】本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みな
されたものであり、本発明の目的は、正確にトラッキン
グ・サーボを行いながら情報の記録を行うことにより、
良好なＳ／Ｎで信号の高密度記録を行うことができる情
報記録方法を提供することにある。また、本発明の他の
目的は、垂直磁気記録方式により高密度記録を行うこと
ができる情報記録方法を提供することにある。 【０００９】 【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に記載の情報記録方法は、ディスク状支持
体の少なくとも一方の面に、垂直磁気異方性を有する強
磁性金属薄膜からなる磁気記録層が形成され、該磁気記
録層に磁化方向の相違によりトラッキング情報が予め記
録された情報記録媒体を用い、前記磁気記録層に記録さ
れたトラッキング情報に基づいて磁気光学効果によりト
ラッキングを行うと共に、前記磁気記録層にディスク面
に対して垂直な磁界を印加して磁気的に情報を記録し、
磁気ヘッドで該情報を再生することを特徴とする。 【００１０】請求項１に記載の方法では、ディスク状支
持体の少なくとも一方の面に、垂直磁気異方性を有する
強磁性金属薄膜からなる磁気記録層が形成され、該磁気
記録層の磁化方向の相違によりトラッキング情報が予め
記録された情報記録媒体を使用するので、磁気光学効果
を用いた光トラッキングにより、磁気トラッキングと比
較して、単純なサーボ信号で正確なトラッキングサーボ
を行うことができる。この結果、良好なＳ／Ｎで信号の
記録を行うことができる。また、サーボ信号を単純化す
ることでフォーマット効率を高めることも可能となる。 【００１１】使用する情報記録媒体の磁気記録層は、垂
直磁気異方性を有する強磁性金属薄膜から形成されてお
り、磁気光学効果によるトラッキングが可能で、データ
信号の垂直磁気記録が可能となる。データ信号の書き込
みと読み出しは磁気記録と同様であるために、記録再生
ヘッドは磁気記録とまったく同様であり、単純な構成で
ある。また、トラッキングには光を用いるが、この光は
トラッキング信号の読み出しだけに使用するため、光磁
気ディスクの光ピックアップよりも大幅に単純な構造で
よい。更に、情報の記録は垂直磁気記録方式で行うた
め、垂直磁気記録特有の微少な記録でも記録が安定とな
る高記録密度適性が利用できる。 【００１２】特に、磁気記録層をトラッキングのために
予めディスク中心に対し同心円状またはスパイラル状に
磁化すると共に、磁化方向が異なる磁化領域が半径方向
に交互に配列されるように磁化してトラッキング情報を
記録した場合には、トラッキングを連続的に行うことが
でき、より正確なトラッキング・サーボを行うことがで
きる。 【００１３】なお、トラッキングのための磁化方向は、
ディスク面に対して垂直とすることがより好ましい。磁
化方向をディスク面に対して垂直とすることにより、半
径方向に交互に配列された磁化方向が異なる磁化領域
が、相互にその磁力を弱め合うことがなくなり、各磁化
領域の磁力が安定化する。 【００１４】この場合、所定の磁化方向に磁化された磁
化領域にのみ磁気的に情報を記録することが好ましい。
トラッキングのための磁化領域と、情報を記録する磁化
領域とを区別することにより、磁化領域の同一部分につ
いてトラッキングと記録とを同時に行う必要がなくなり
設計の自由度が向上すると共に、トラッキング・サーボ
の精度が向上する。 【００１５】上記情報記録媒体において、ディスク状支
持体として可とう性非磁性支持体を用いた場合には、磁
気ヘッドと安定に接触摺動することができ、安定したヘ
ッド走行を実現することできる。この場合、より安定に
接触摺動させるために、可とう性非磁性支持体の厚さは
１０μｍ〜２００μｍであることが好ましい。 【００１６】上記情報記録媒体において、希土類遷移金
属合金からなり且つディスク面に対して垂直方向の保磁
力が１５００Ｏｅ〜４０００Ｏｅの範囲にある磁気記録
層を備えることにより、熱アシスト無しに垂直磁気記録
を容易に行うことができる。 【００１７】上記の希土類遷移金属合金としては、テル
ビウム、ガドリニウム、ネオジウム、及びジスプロシウ
ムから選択される少なくとも１種の希土類金属と、鉄及
びコバルトの少なくとも一方の遷移金属とを含有する合
金が好ましい。この中でも、テルビウム−鉄−コバルト
合金（ＴｂＦｅＣｏ）、またはジスプロシウム−鉄−コ
バルト（ＤｙＦｅＣｏ）が特に好ましい。可とう性非磁
性支持体はガラス基板等に比べて耐熱性に劣るため、磁
気記録層の成膜温度を上げることができないが、これら
合金の磁性膜は室温近傍で成膜した場合にも十分な磁気
特性を得ることができる。 【００１８】希土類金属として少なくともテルビウムを
含有する場合には、テルビウムの含有量が１４〜１８原
子％である合金がより好ましい。テルビウムの含有量を
１４〜１８原子％の範囲とすることにより、磁気記録層
の垂直方向の保磁力を１５００Ｏｅ〜４０００Ｏｅの範
囲とすることができる。 【００１９】また、希土類遷移金属合金は、クロム及び
ニッケルの少なくとも一方を更に含有していてもよい。
クロムやニッケルを含有することにより耐食性が向上す
る。 【００２０】磁気記録層は、可とう性非磁性支持体の両
面に下地層を介して設けられていてもよく、磁気記録層
上には、磁気記録層を保護する保護層が設けられていて
もよい。この保護層は、磁気ヘッド材質と同等またはそ
れ以上の硬度を有する硬質炭素膜、及び無機窒化物で構
成された窒化物膜の少なくとも一方を備えているのが好
ましい。 【００２１】上記の磁気記録層は、可とう性非磁性支持
体の少なくとも一方の面に、希土類遷移金属合金をター
ゲットとしたスパッタリングにより、該ターゲットと略
同じ組成の希土類遷移金属合金からなる磁気記録層を形
成されるのが好ましい。希土類遷移金属合金は、その組
成により保磁力等の磁気特性や成膜性が変化する。スパ
ッタリングによれば組成制御が容易であり、ターゲット
である希土類遷移金属合金と略同じ組成の合金からなる
磁気記録層を形成することができる。これにより、同じ
特性を備えた情報記録媒体を再現性よく製造することが
でき、記録特性が安定化する。 【００２２】 【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明の
実施の形態について説明する。 （情報記録媒体）まず、本発明の情報記録方法に使用す
る情報記録媒体としての磁気ディスク１０について説明
する。この磁気ディスク１０は、図１（Ａ）に示すよう
に、中心部にセンターホールが形成されたフレキシブル
・ディスクであり、プラスチック等で形成されたカート
リッジ１２内に格納されている。なお、カートリッジ１
２には、通常、金属性のシャッタ（図示せず）で覆われ
たアクセス窓（図示せず）を備えており、このアクセス
窓を介して磁気ディスク１０への記録や再生が行われ
る。 【００２３】磁気ディスク１０は、図１（Ｃ）に示すよ
うに、可とう性非磁性材料からなるディスク状の支持体
１４の一方の面に、磁気記録層の磁気特性を制御するた
めの下地層１５、垂直磁気異方性を有する金属薄膜から
なる磁気記録層１６、磁気記録層１６を劣化や摩耗から
保護する保護層１８、及び潤滑剤の付与により走行耐久
性および耐食性を改善する潤滑膜２０が、この順に積層
されて構成されている。なお、後述する通り、支持体１
４と下地層１５との間に、反射層や、熱伝導、熱拡散速
度を制御するための誘電体層を設けても良い。 【００２４】磁気記録層１６は、ディスク面に対して垂
直方向の磁気異方性を有し、且つ磁気光学効果を有して
おり、情報の垂直光磁気記録が可能である。また、磁気
記録層１６は、ディスク面に対して垂直方向に予め磁化
（プリフォーマット磁化）されており、支持体１４と反
対側の表面を記録面とした場合、支持体側がＳ極で記録
面側がＮ極になる方向に磁化された磁化領域１６Ａと、
支持体側がＮ極で記録面側がＳ極になる方向に磁化され
た磁化領域１６Ｂと、で構成されている。 【００２５】また、図１（Ｂ）に、図１（Ａ）の領域Ａ
における磁気記録層１６の記録面の磁化状態を示すが、
磁化領域１６Ａ及び磁化領域１６Ｂの各々は、ディスク
中心に対し同心円状またはスパイラル状に形成され、各
々がトラックを構成している。これら磁化領域１６Ａの
トラックと磁化領域１６Ｂのトラックとは、ディスク半
径方向に交互に配列されている。即ち、磁化領域１６Ａ
及び磁化領域１６Ｂは、その磁化方向の相違により、ト
ラッキング・ガイドとして使用されると共に、記録領域
として使用される。なお、この磁気ディスク１０におい
ては、磁気記録層１６の側から磁気ヘッドを接触させ
て、情報の記録及び再生が行われる。 【００２６】後述するように、Ｓ型の磁化領域１６Ｂの
みに記録し、Ｎ型の磁化領域１６Ａはトラッキングのた
めに使用する場合には、トラッキング用の磁化領域１６
Ａの幅を、記録用の磁化領域１６Ｂの幅より狭くするこ
とが好ましい。記録用の磁化領域１６Ｂの幅をより広く
することでフォーマット効率が向上する。例えば、トラ
ッキング用の磁化領域１６Ａの幅を０．１〜０．３μｍ
とし、記録用の磁化領域１６Ｂの幅を約１μｍとするこ
とができる。 【００２７】また、磁化領域１６Ａ及び磁化領域１６Ｂ
は、一定周波数で蛇行する（ウォブルを施す）ように形
成してもよい。このウォブルの蛇行周波数を検出して、
線速度を制御する制御信号として使用することができ
る。例えば、内周から外周まで同じ周期のウォブルを入
れることにより、半径位置に拘らず線速度が一定になる
ように制御することができる。また、内周から外周にか
けて周期を長くするようにウォブルを入れることによ
り、角速度が一定になるように制御することができる。 【００２８】なお、本実施の形態では、磁気記録層１６
がトラッキング情報に従って垂直方向に磁化されている
例について説明したが、磁化方向の相違によりトラッキ
ング情報が予め記録されていればよく、他の方法により
トラッキング情報を記録してもよい。 【００２９】支持体１４は、磁気ヘッドと磁気ディスク
とが接触した時の衝撃を回避するために、可とう性高分
子材料等の可とう性非磁性材料で構成されている。可と
う性高分子材料としては、芳香族ポリイミド、芳香族ポ
リアミド、芳香族ポリアミドイミド、ポリエーテルケト
ン、ポリエーテルサルフォン、ポリエーテルイミド、ポ
リサルフォン、ポリフェニレンサルファイド、ポリエチ
レンナフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリ
カーボネート、トリアセテートセルロース、フッ素樹脂
等からなる樹脂フィルムが挙げられる。 【００３０】また、支持体１４に同一の樹脂フィルムま
たは他の樹脂フィルムをラミネートして使用してもよ
い。他の樹脂フィルムをラミネートすることにより、支
持体自身に起因する反りやうねりを軽減することができ
る。これによりディスク回転時の面ぶれを軽減すること
が可能になり、ヘッドとディスクの衝突頻度や衝突強度
が軽減され、磁気記録層の耐傷性を著しく改善すること
がきる。また、製造時に片面に磁気記録層が形成された
状態でハンドリングできるため、支持体の両面に磁気記
録層を形成するよりも、表面に傷が付き難く、フィルム
蛇行による欠陥も発生し難い。 【００３１】ラミネート手法としては、熱ローラによる
ロールラミネート、平板熱プレスによるラミネート等を
使用することができる。接着剤の付与方法としては、接
着面に接着剤を塗布してラミネートする方法、予め離型
紙上に接着剤が塗布された接着シートを用いる方法等が
挙げられる。接着剤の種類は、特に限定されず、一般的
なホットメルト接着剤、熱硬化性接着剤、ＵＶ硬化型接
着剤、ＥＢ硬化型接着剤、粘着シート、嫌気性接着剤な
どを使用することがきる。 【００３２】支持体１４の厚みは、１０μｍ〜２００μ
ｍ、好ましくは２０μｍ〜１５０μｍ、さらに好ましく
は２５μｍ〜８０μｍである。支持体１４の厚みが１０
μｍより薄いと、高速回転時の安定性が低下し、面ぶれ
が増加する。一方、支持体１４の厚みが２００μｍより
厚いと、回転時の剛性が高くなり、安定に接触摺動させ
ることが困難になり、磁気ヘッドの跳躍を招く。 【００３３】下記式で表される支持体１４の腰の強さ
は、ｂ＝１０ｍｍでの値が０．５ｋｇｆ／ｍｍ2〜２．
０ｋｇｆ／ｍｍ2の範囲にあることが好ましく、０．７
ｋｇｆ／ｍｍ2〜１．５ｋｇｆ／ｍｍ2がより好ましい。 【００３４】支持体の腰の強さ＝Ｅｂｄ3／１２ なお、この式において、Ｅはヤング率、ｂはフィルム
幅、ｄはフィルム厚さを各々表す。 【００３５】支持体１４の表面は、磁気ヘッドによる記
録を行うために、可能な限り平滑であることが好まし
い。支持体１４表面の凹凸は、信号の記録再生特性を著
しく低下させる。具体的には、後述する下塗り層を使用
する場合では、光学式の表面粗さ計で測定した表面粗さ
が中心面平均粗さＳＲａで５ｎｍ以内、好ましくは２ｎ
ｍ以内、触針式表面粗さ計で測定した突起高さが１μｍ
以内、好ましくは０．１μｍ以内である。また、下塗り
膜を用いない場合では、光学式の表面粗さ計で測定した
表面粗さが中心面平均粗さＳＲａで３ｎｍ以内、好まし
くは１ｎｍ以内、触針式表面粗さ計で測定した突起高さ
が０．１μｍ以内、好ましくは０．０６μｍ以内であ
る。 【００３６】支持体表面には、平面性の改善を目的とし
て下塗り層を設けることが好ましい。磁気記録層１６を
スパッタリング等で形成するため、下塗り層は耐熱性に
優れることが好ましく、下塗り層の材料としては、例え
ば、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、シリコン
樹脂、フッ素系樹脂等を使用することができる。熱硬化
型ポリイミド樹脂、熱硬化型シリコン樹脂は、平滑化効
果が高く、特に好ましい。下塗り層の厚みは、０．１μ
ｍ〜３．０μｍが好ましい。支持体１４に他の樹脂フィ
ルムをラミネートする場合には、ラミネート加工前に下
塗り層を形成してもよく、ラミネート加工後に下塗り層
を形成してもよい。 【００３７】熱硬化性ポリイミド樹脂としては、例え
ば、丸善石油化学社製のビスアリルナジイミド「ＢＡＮ
Ｉ」のように、分子内に末端不飽和基を２つ以上有する
イミドモノマーを、熱重合して得られるポリイミド樹脂
が好適に用いられる。このイミドモノマーは、モノマー
の状態で支持体表面に塗布した後に、比較的低温で熱重
合させることができるので、原料となるモノマーを支持
体上に直接塗布して硬化させることができる。また、こ
のイミドモノマーは汎用溶剤に溶解させて使用すること
ができ、生産性、作業性に優れると共に、分子量が小さ
く、その溶液粘度が低いために、塗布時に凹凸に対する
回り込みが良く、平滑化効果が高い。 【００３８】熱硬化性シリコン樹脂としては、有機基が
導入されたケイ素化合物を原料としてゾルゲル法で重合
したシリコン樹脂が好適に用いられる。このシリコン樹
脂は、二酸化ケイ素の結合の一部を有機基で置換した構
造からなりシリコンゴムよりも大幅に耐熱性に優れると
共に、二酸化ケイ素膜よりも柔軟性に優れるため、可と
う性フィルムからなる支持体上に樹脂膜を形成しても、
クラックや剥離が生じ難い。また、原料となるモノマー
を支持体上に直接塗布して硬化させることができるた
め、汎用溶剤を使用することができ、凹凸に対する回り
込みも良く、平滑化効果が高い。更に、縮重合反応は、
酸やキレート剤などの触媒の添加により比較的低温から
進行するため、短時間で硬化させることができ、汎用の
塗布装置を用いて樹脂膜を形成することができる。 【００３９】下塗り層の表面には、磁気ヘッドと磁気デ
ィスクとの真実接触面積を低減し、摺動特性を改善する
ことを目的として、微小突起（テクスチャ）を設けるこ
とが好ましい。また、微小突起を設けることにより、支
持体のハンドリング性も良好になる。微小突起を形成す
る方法としては、球状シリカ粒子を塗布する方法、エマ
ルジョンを塗布して有機物の突起を形成する方法などが
使用できるが、下塗り層の耐熱性を確保するため、球状
シリカ粒子を塗布して微小突起を形成するのが好まし
い。 【００４０】微小突起の高さは５ｎｍ〜６０ｎｍが好ま
しく、ｌ０ｎｍ〜３０ｍｍがより好ましい。微小突起の
高さが高すぎると記録再生ヘッドと媒体のスペーシング
ロスによって信号の記録再生特性が劣化し、微小突起が
低すぎると摺動特性の改善効果が少なくなる。微小突起
の密度は０．１〜１００個／μｍ2が好ましく、１〜１
０個／μｍ2がより好ましい。微小突起の密度が少なす
ぎる場合は摺動特性の改善効果が少なくなり、多過ぎる
と凝集粒子の増加によって高い突起が増加して記録再生
特性が劣化する。 【００４１】また、バインダーを用いて微小突起を支持
体表面に固定することもできる。バインダーには、十分
な耐熱性を備えた樹脂を使用することが好ましく、耐熱
性を備えた樹脂としては、熱硬化型ポリイミド樹脂、熱
硬化型シリコン樹脂を使用することが特に好ましい。 【００４２】支持体１４と磁気記録層１６との間には、
記録信号や光によるトラッキング信号の読み取り精度を
高めるため、一般的な光磁気ディスクと同様に、反射膜
を設けることができる。反射膜には、レーザ光に対する
反射率が高い光反射性物質が使用される。このような光
反射性物質としては、例えばＡｌ、Ａｌ―Ｔｉ、Ａｌ−
Ｉｎ、Ａｌ―Ｎｂ、Ａｌ―Ｔａ、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ等の
金属及び半金属を挙げることができる。これらの物質は
単独で用いてもよく、二種以上を組合せて用いてもよ
い。また、合金として用いてもよい。この反射膜は、上
記光反射性物質を支持体１４上にスパッタリング、また
は電子ビーム真空蒸着することにより形成することがで
きる。反射膜の膜厚は１０ｎｍ〜２００ｎｍが好まし
い。 【００４３】磁気記録層１６の記録特性と耐食性とを改
善する目的で、支持体１４と磁気記録層１６との間に下
地層１５を設けることが好ましい。磁気記録層に使用さ
れる希土類遷移金属合金は一般的にアモルファスの垂直
磁気記録膜であり且つ記録膜内での磁気的な相互作用が
非常に強い。光磁気ディスクではレーザ光で加熱され保
磁力や相互作用が弱まった状態で記録されるが、磁気転
写方式によるトラッキング信号の書き込みや一部の信号
を磁気ヘッドで記録しようとする場合には、希土類遷移
金属合金からなる磁気記録層単独では磁壁移動モードの
記録となりやすく磁化反転不良や高ノイズ等の問題を引
き起こす。このため、下地層１５に適度の表面粗さや結
晶構造を設けることによって、磁気記録層内の磁気ドメ
インを容易に生成することができ、スピン反転モードの
磁気記録とすることができる。 【００４４】下地層１５には、例えば、チタン、アルミ
ニウム、クロム、ニッケルなどの金属、またはこれらの
金属と他の金属との合金、リン化ニッケル等のリン化合
物、グラファイトや無定形カーボンなどの炭素等が挙げ
られる。また、後述する誘電体材料も使用することがで
きる。下地層１５は、スパッタ法、真空蒸着法、ＣＶＤ
法等のいわゆる真空成膜法で作成できるが、この際に成
膜条件及び膜厚の調整によって適度な表面粗さ、結晶構
造を付与する必要がある。表面粗さとしてはＲｍａｘで
５〜２０ｎｍ、粒子のサイズとして１〜３０ｎｍ程度が
好ましい。膜厚は１０ｎｍ〜２００ｎｍが好ましい。 【００４５】支持体１４と下地層１５との間に、誘電体
層を設けてもよい。誘電体層は、レーザ照射時及びレー
ザ照射後の磁気記録層１６の温度を制御すると共に、水
分や酸素などの磁気記録層１６の腐食や酸化に関与する
物質が支持体側から移動してくるのを遮蔽する。誘電体
層には光磁気記録で一般的に使用される誘電体材料を使
用することができる。 【００４６】誘電体材料としては、例えば、シリカ、ア
ルミナなどの酸化物（Ｓｉ−Ｏ、Ａｌ−Ｏ）、窒化ケイ
素、窒化アルミニウムなどの窒化物（Ｓｉ−Ｎ、Ａｌ−
Ｎ）、硫化亜鉛等の硫化物（Ｚｎ−Ｓ）、リン化ニッケ
ル等のリン化物、ケイ素化タンタル（Ｔａ−Ｓｉ）、グ
ラファイト、無定型カーボンなどの炭素等が挙げられる
が、耐腐食性を備え、磁気記録層に含まれる金属材料と
酸素との反応を抑制し、且つ高い熱伝導率を有する材料
が好ましく、チッ化珪素（Ｓｉ−Ｎ）、チッ化アルミニ
ウム（Ａｌ−Ｎ）等の無機窒化物、及び炭素が特に好ま
しい。この誘電体層は、スパッタリング法や化学気相反
応法（ＣＶＤ法）などにより形成することができる。誘
電体層の膜厚は、１０ｎｍ〜２００ｎｍが好ましい。 【００４７】また、単磁極ヘッドと組合わせて使用する
場合には、下地層１５と磁気記録層１６との間に軟磁性
材料からなる裏打ち層を設けてもよい。軟磁性材料とし
てはパーマロイ、センダスト等を使用することができ
る。裏打ち層の膜厚は、５０ｎｍ〜５００ｎｍが好まし
く、５０ｎｍ〜５００ｎｍがより好ましい。 【００４８】磁気記録層１６には、光磁気ディスクで一
般的に使用される各種金属合金等の磁気記録材料の中で
も、垂直磁気異方性を有するものを使用する。このよう
な磁気記録材料としては、希土類遷移金属合金が挙げら
れる。希土類遷移金属合金は、垂直磁気異方性を有して
おり、垂直磁気記録が可能であると共に、磁気特性にも
優れている。また、希土類遷移金属合金は、非晶質（ア
モルファス）であるため、結晶粒によるノイズが発生し
ない。また、その組成により静磁気特性と光磁気特性と
を広範囲にわたって制御することができる。また、磁気
記録材料は、キュリー点が２００℃前後のものが好まし
い。 【００４９】磁気記録層１６は、そのディスク面に対し
て垂直な方向の保磁力（垂直方向保磁力）が１５００Ｏ
ｅ〜４０００Ｏｅの範囲である。垂直方向保磁力が１５
００Ｏｅ未満では、十分な電磁変換特性を得ることがで
きず、垂直方向保磁力が４０００Ｏｅを超えると、熱ア
シスト無しで磁気記録を行なうことが困難になる。垂直
方向保磁力は、磁力の安定化と磁気記録の容易さとのバ
ランスから、２０００Ｏｅ〜３５００Ｏｅの範囲が好ま
しく、２５００Ｏｅ〜３０００Ｏｅの範囲がより好まし
い。 【００５０】希土類遷移金属合金としては、ＴｂＣｏ、
ＴｂＦｅ、ＴｂＦｅＣｏ、ＮｄＦｅＣｏ、ＧｄＦｅＣ
ｏ、ＤｙＦｅＣｏ、ＴｂＧｄＦｅ、ＴｂＮｄＦｅ、Ｔｂ
ＧｄＦｅＣｏなど、テルビウム（Ｔｂ）、ガドリニウム
（Ｇｄ）、ネオジウム（Ｎｄ）、及びジスプロシウム
（Ｄｙ）から選択される少なくとも１種の希土類金属
と、鉄（Ｆｅ）及びコバルト（Ｃｏ）の少なくとも一方
の遷移金属とを含有する合金が好ましい。また、これら
合金の耐食性を改善するために、クロム（Ｃｒ）やニッ
ケル（Ｎｉ）を適宜添加してもよい。更に、磁気ドメイ
ンの形成を補助する目的でシリコン（Ｓｉ）やボロン
（Ｂ）などを添加してもよい。 【００５１】上記した合金の中でも、ＴｂＦｅＣｏ、Ｄ
ｙＦｅＣｏが特に好ましい。可とう性非磁性支持体はガ
ラス基板等に比べて耐熱性に劣るため、磁気記録層の成
膜温度を上げることができないが、これら合金の磁性膜
は室温近傍で成膜した場合にも十分な磁気特性を得るこ
とができる。 【００５２】また、希土類遷移金属合金がテルビウムを
含有する場合には、図２に示すように、テルビウムの含
有量が多くなるに従い垂直方向保磁力が大きくなり、テ
ルビウムの含有量が１４〜１８原子％である場合に垂直
方向保磁力が１５００Ｏｅ〜４０００Ｏｅの範囲となっ
て、垂直磁気記録を行う場合に良好な記録特性を得るこ
とができる。 【００５３】磁気記録層１６の作製方法としては、真空
蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法及
びイオン注入法等の物理的蒸着法（ＰＶＤ法）、化学的
蒸着法（ＣＶＤ法）等を挙げることができるが、組成制
御が容易である点で、スパッタリング法が特に好まし
い。コーティングする希土類遷移金属合金をターゲット
としたスパッタリングにより、このターゲットと略同じ
組成の合金からなる磁性膜を形成することができる。 【００５４】スパッタリングの方法としては、一般的な
ＤＣスパッタリング、ＲＦスパッタリングの他に、ＤＣ
パルススパッタ、ＲＦバイアススパッタ、反応性スパッ
タなどが使用できる。スパッタリングの際には、構成す
る元素を独立したターゲットとして、これらのターゲッ
ト上に基板を回転させて通過させる共スパッタ法や、そ
のうちの一部または全部を合金ターゲットとして構成
し、スパッタする方法のいずれも使用可能である。ま
た、元素分布や再現性の問題はあるが、基本となるター
ゲットの一部に導入したい元素からなるチップやシート
を設置することで合金化するスパッタ法も使用すること
ができる。磁気記録層１６の層厚としては、１０ｎｍ〜
１００ｎｍが好ましく、２０〜５０ｎｍが特に好まし
い。 【００５５】このように、希土類遷移金属合金からなる
垂直磁気記録層は、スパッタリング法により作製するこ
とができ、室温で成膜できるため、可とう性非磁性支持
体を使用しているにもかかわらず、基板変形がなく平面
性に優れている。 【００５６】トラッキング信号を光磁気ディスクに記録
する、即ち、磁気記録層１６をプリフォーマットする方
法は、特に限定されない。例えば、磁気ヘッドにより磁
化領域を書き込んでもよく、磁気転写により磁化領域を
形成してもよい。微細なパターンの磁化領域を短時間で
形成するためには、磁気転写により磁化領域を形成する
のが特に好ましい。 【００５７】磁気転写は、図３（Ａ）〜（Ｃ）に示すよ
うに、磁性層２８が形成されたマスター担体２４から、
磁化される前の磁気記録層１６を備えたスレーブ媒体２
２に、磁気を転写して所定パターンの磁化領域を形成す
る方法である。マスター担体２４は、シリコン、アルミ
ニウム等の非磁性材料で構成された基板２６上に、転写
パターンに応じた形成された磁束密度が大きなＣｏ、Ｆ
ｅなどの強磁性体からなる凸状の磁性層２８を形成した
ものであり、基板２６と磁性層２８との間には、必要に
応じてＣｒ、Ｔｉ等の非磁性金属材料で構成された導電
性層を設けることができる。マスター担体２４は、フォ
トファブリケーションや、光ディスクの基板形成に使用
するスタンパを用いて作製することができる。例えば、
スタンパにより所定パターンが形成されたニッケル基板
に磁性層を形成してマスター担体２４を得ることができ
る。以下、磁気転写により磁化領域を形成する方法を具
体的に説明する。 【００５８】まず、図３（Ａ）に示すように、支持体１
４の一方の面に、下地層１５、磁化される前の磁気記録
層１６、保護層（図示せず）、及び潤滑膜（図示せず）
を積層したスレーブ媒体２２に、矢印Ａ方向の直流磁界
を印加して、スレーブ媒体２２の磁気記録層１６を矢印
Ａ方向に励磁する（初期磁化）。なお、磁気記録層１６
は、初期磁化されて全体が磁化領域１６Ａとなる。 【００５９】次に、図３（Ｂ）に示すように、マスター
担体２４を、初期磁化されたスレーブ媒体２２に密着さ
せて、転写磁界として矢印Ｂ方向の直流磁界または交流
バイアス磁界等を印加し、磁性層２８を矢印Ｂ方向に励
磁する。これにより、図３（Ｃ）に示すように、スレー
ブ媒体２２と磁性層２８とが接触している部分から、磁
気記録層１６の対応する部分に矢印Ｂ方向の磁界が印加
されて、その部分の磁化方向が反転し、磁化領域１６Ａ
中に磁化領域１６Ｂが形成される。これによりスレーブ
媒体２２の精密なプリフォーマットが行われる。 【００６０】保護層１８は、磁気記録層１６に含まれる
金属材料の腐蝕を防止し、磁気ヘッドと磁気ディスクと
の擬似接触または接触摺動による摩耗を防止して、走行
耐久性、耐食性を改善するために設けられる。希土類遷
移金属は非常に腐食し易いため、希土類遷移金属を用い
る場合には、保護層１８を設けることが特に好ましい。 【００６１】保護層１８には、シリカ、アルミナ、テタ
ニア、ジルコニア、酸化コバルト、酸化ニッケルなどの
酸化物、窒化チタン、窒化ケイ素、窒化ホウ素などの窒
化物、炭化ケイ素、炭化クロム、炭化ホウ素等の炭化
物、グラファイト、無定型カーボンなどの炭素等の材料
を使用することができる。 【００６２】保護層１８としては、磁気ヘッドの材質と
同等またはそれ以上の硬度を有する硬質膜であり、摺動
中に焼き付きを生じ難くその効果が安定して持続するも
のが、摺動耐久性に優れており好ましい。また、同時に
ピンホールが少ないものが、耐食性に優れておりより好
ましい。更に、レーザによるトラッキング信号の読み出
しを高精度で行なうためには、使用するレーザに対して
充分な透明性を有することが好ましい。このような保護
膜としては、ＣＶＤ法で作製されるＤＬＣ（ダイヤモン
ドライクカーボン）と呼ばれる硬質炭素膜が挙げられ
る。 【００６３】保護層１８は、性質の異なる２種類以上の
薄膜を積層した構成とすることができる。例えば、表面
側に摺動特性を改善するための硬質炭素保護膜を設け、
磁気記録層側に耐食性を改善するための窒化珪素などの
窒化物保護膜を設けることで、耐食性と耐久性とを高い
次元で両立することが可能となる。 【００６４】保護層１８上に、走行耐久性および耐食性
を改善するために、潤滑膜２０を設けることが好まし
い。潤滑膜２０には、公知の炭化水素系潤滑剤、フッ素
系潤滑剤、極圧添加剤等の潤滑剤が使用される。 【００６５】炭化水素系潤滑剤としては、ステアリン
酸、オレイン酸等のカルボン酸類、ステアリン酸ブチル
等のエステル類、オクタデシルスルホン酸等のスルホン
酸類、リン酸モノオクタデシル等のリン酸エステル類、
ステアリルアルコール、オレイルアルコール等のアルコ
ール類、ステアリン酸アミド等のカルボン酸アミド類、
ステアリルアミン等のアミン類などが挙げられる。 【００６６】フッ素系潤滑剤としては、上記炭化水素系
潤滑剤のアルキル基の一部または全部をフルオロアルキ
ル基もしくはパーフルオロポリエーテル基で置換した潤
滑剤が挙げられる。パーフルオロポリエーテル基として
は パーフルオロメチレンオキシド重合体、パーフルオ
ロエチレンオキシド重合体、パーフルオロ−ｎ−プロピ
レンオキシド重合体（ＣＦ2ＣＦ2ＣＦ2Ｏ）n、パーフル
オロイソプロピレンオキシド重合体（ＣＦ（ＣＦ3）Ｃ
Ｆ2Ｏ）n、またはこれらの共重合体等である。具体的に
は、分子量末端に水酸基を有するパーフルオロメチレン
−パーフルオロエチレン共重合体（アウジモント社製、
商品名「FOMBLIN Z-DOL」）等が挙げられる。 【００６７】極圧添加剤としては、リン酸トリラウリル
等のリン酸エステル類、亜リン酸トリラウリル等の亜リ
ン酸エステル類、トリチオ亜リン酸トリラウリル等のチ
オ亜リン酸エステルやチオリン酸エステル類、二硫化ジ
ベンジル等の硫黄系極圧剤などが挙げられる。 【００６８】上記の潤滑剤は単独もしくは複数を併用し
て使用することができ、潤滑剤を有機溶剤に溶解した溶
液を、スピンコート法、ワイヤーバーコート法、グラビ
アコート法、ディップコート法等で保護層１８表面に塗
布するか、真空蒸着法により保護層１８表面に付着させ
ればよい。潤滑剤の塗布量としては、１〜３０ｍｇ／ｍ
2が好ましく、２〜２０ｍｇ／ｍ2が特に好ましい。 【００６９】また、耐食性をさらに高めるために、防錆
剤を併用することが好ましい。防錆剤としては、ベンゾ
トリアゾール、ベンズイミダゾール、プリン、ピリミジ
ン等の窒素含有複素環類およびこれらの母核にアルキル
側鎖等を導入した誘導体、ベンゾチアゾール、２−メル
カプトンベンゾチアゾール、テトラザインデン環化合
物、チオウラシル化合物等の窒素および硫黄含有複素環
類およびこの誘導体等が挙げられる。これら防錆剤は、
潤滑剤に混合して保護層１８上に塗布してもよく、潤滑
剤を塗布する前に保護層１８上に塗布し、その上に潤滑
剤を塗布してもよい。防錆剤の塗布量としては、０．１
〜１０ｍｇ／ｍ2が好ましく、０．５〜５ｍｇ／ｍ2が特
に好ましい。 【００７０】（トラッキング・サーボ）次に、上記の磁
気ディスクにおけるトラッキング・サーボの方法につい
て説明する。図４（Ａ）に示すように、支持体側がＳ極
で記録面側がＮ極になる方向に磁化された磁化領域１６
Ａに直線偏光を照射すると、磁気カー効果により、その
反射光の偏光面は入射光の偏光面から所定角度θ（例え
ば右回り）だけ回転する。一方、図４（Ｂ）に示すよう
に、支持体側がＮ極で記録面側がＳ極になる方向に磁化
された磁化領域１６Ｂに同じ直線偏光を照射すると、磁
気カー効果により、その反射光の偏光面は入射光の偏光
面から所定角度−θ（例えば左回り）だけ回転する。 【００７１】従って、磁化領域に照射された光ビーム
は、磁気ディスク１０で反射されるが、偏光板等を通し
てこの反射光から偏光面が所定角度だけ回転した反射光
を検出し、この反射光の強度により、ヘッドとトラック
の相対的なずれを検出して、トラッキング・サーボを行
うことができる。即ち、同心円状またはスパイラル状に
設けられた磁化領域１６Ａ及び磁化領域１６Ｂは、トラ
ッキング・ガイドとしての役割を果たす。このように磁
気光学効果を用いた光トラッキングを行なうことによ
り、磁気トラッキングを行なう場合と比較して、単純な
サーボ信号で正確なトラッキング・サーボを行うことが
できる。また、サーボ信号を単純化することでフォーマ
ット効率を高めることも可能となる。 【００７２】トラッキング・エラー検出方式としては、
２分割フォトディテクタを用いてトラッキング誤差信号
を得るプッシュプル法、３ビーム法等、光ディスクにお
いて使用されるトラッキング・エラー検出方式を使用す
ることができる。十分なトラッキング・エラー信号を得
るためには３ビーム法が好ましい。光を用いたフォーカ
スサーボに関しては、現在の光磁気ディスク装置のよう
にピエゾ素子によるフォーカシングを行っても良いが、
本実施の形態のトラッキング方式では、フライングヘッ
ドがディスクに非常に高精度で追従するために、フォー
カスサーボ機構を省略することも可能である。これはド
ライブ装置を小型化、薄型化するために非常に有利であ
る。また、光ビームはトラッキング・サーボにのみ使用
されるため、トラッキング用の光源としては、赤外線レ
ーザ等の低出力のレーザ光源を用いることができる。 【００７３】（情報の記録・再生）次に、以上説明した
磁気ディスクへの情報の記録方法と、記録された情報の
再生方法と、について説明する。図５に、上記の磁気デ
ィスクへの情報の記録、及び記録した情報の再生に使用
することができる記録再生装置の概略構成を示し、図６
に、記録再生装置の記録再生ヘッド部の概略構成を示
す。 【００７４】この記録再生装置は、図５及び図６に示す
ように、スイングアーム３４の先端に取り付けられ、磁
気ディスク１０の回転に伴い浮上する浮上型スライダ３
２を備えている。この浮上型スライダ３２は、サスペン
ション３８の先端部に固定された薄型の板バネであるジ
ンバル５２の下面に取り付けられ、サスペンション３８
は、スイングアーム３４に支持されている。また、浮上
型スライダ３２は、その浮上面（ＡＢＳ：Air Bearing
Surface）４０が磁気ディスク１０の記録面に対向する
ように、磁気ディスク１０の記録面上方に配置され、矢
印Ｃ方向に沿ったスイングアーム３４の回動により、磁
気ディスク１０の半径方向に移動可能とされている。 【００７５】この記録再生装置のヘッド部は、図６に示
すように、磁気ディスク１０の回転に伴い浮上する浮上
型スライダ３２を備えており、その浮上面４０には、正
圧または負圧を付与するためのレールパターン４２が設
けられている。浮上型スライダ３２の浮上面４０には、
トラッキング用のレーザ光を照射する射出部４６が設け
られている。サスペンション３８と平行に光ファイバ４
４が設けられており、外部に配置されたレーザ光源（図
示せず）から出射されたレーザ光は、この光ファイバ４
４により導かれ、レンズ４３により集光されて、射出部
４６から出射される。また、浮上面４０には、励磁コイ
ルを備えた磁気ヘッド５０が設けられている。この磁気
ヘッド５０は、情報記録時に印加する磁界を制御する記
録磁界制御回路３６に接続されている。 【００７６】磁気ヘッド５０としては、磁界の強さに応
じて電気抵抗が変化する磁気抵抗効果を利用した、ＭＲ
（Magneto Resistive）ヘッド、ＧＭＲ（Giant Magneto
Resistive）ヘッド、ＴＭＲ（Tunnel Magneto Resisti
ve）ヘッド等の磁気ヘッドを用いることができる。中で
も、高感度なＧＭＲヘッド及びＴＭＲヘッドが特に好ま
しい。なお、垂直磁気記録は、垂直磁気記録用に作製さ
れた単磁極ヘッドなどの垂直磁気記録ヘッド、長手磁器
記録方式に使用されるリングヘッドのいずれを用いても
行なうことができるが、単磁性ヘッドを使用する場合に
は、既に説明したように裏打ち層を設けておくことが好
ましい。 【００７７】磁気ディスク１０を回転させると共に、こ
の磁気ディスク１０に対して浮上型スライダ３２を押し
当てると、磁気ディスク１０と浮上型スライダ３２とは
非常に弱い力で安定に接触摺動する。ヘッドの安定走行
のために、ディスクの回転数は１０００ｒｐｍ〜１００
００ｒｐｍが好ましく、２０００ｒｐｍ〜７５００ｒｐ
ｍがより好ましい。また、ディスクの面振れは小さい方
が好ましく、約５０μｍ程度以下とすることがより好ま
しい。 【００７８】情報記録時には、この安定に接触摺動して
いる状態で、記録磁界制御回路３６から磁気ヘッド５０
に制御信号を供給し、情報に対応する磁界を磁気記録層
１６に印加することにより磁気的に情報の記録を行な
う。このとき、例えば、Ｓ型の磁化領域１６Ｂのみに記
録し、Ｎ型の磁化領域１６Ａはトラッキングのために使
用する等、トラッキングのための磁化領域と情報を記録
するための磁化領域とに分け、磁化領域の一部に情報を
記録するようにすることができる。トラッキングのため
の磁化領域と、情報を記録する磁化領域とを区別するこ
とにより、磁化領域の同一部分についてトラッキングと
記録とを同時に行う必要がなくなる。これにより、トラ
ッキング用には低出力レーザ光を使用し、記録には磁気
ヘッドを使用するというように、設計の自由度が向上す
る。また、記録領域をトラッキングすることが無くな
り、トラッキング・サーボの精度が向上する。 【００７９】記録後は、図７に示すように、磁化領域１
６Ｂに沿って、磁気ヘッドの記録マーク５６が連続して
記録される。また、情報再生時には、磁気ヘッド５０を
用いて、磁気的に記録された記録信号を読み出すことが
できる。 【００８０】以上説明した通り、本実施の形態では、使
用する磁気ディスクの磁気記録層が、磁化方向が異なる
磁化領域が半径方向に交互に配列されるように予め磁化
されているので、この磁化領域の磁化方向の相違に基づ
いて、即ち、磁気カー効果を利用して光学的にトラッキ
ングを行うことができる。これにより、磁気トラッキン
グと比較して単純なサーボ信号で正確なトラッキングサ
ーボを行うことができる。この結果、良好なＳ／Ｎで信
号の記録を行うことができる。また、サーボ信号を単純
化することでフォーマット効率を高めることも可能とな
る。更に、トラッキングに用いる光はトラッキング信号
の読み出しだけに使用するため、光ピックアップの構造
が光磁気ディスクの場合に比べ大幅に単純化される。 【００８１】また、使用する磁気ディスクの磁気記録層
が、垂直磁気異方性を有する強磁性金属薄膜から形成さ
れているので、この磁気記録層の磁化領域に垂直磁気記
録により情報を記録することができ、データ信号の高密
度記録を行うことができる。また、垂直磁気記録した場
合には、磁化方向が異なる記録ビットが隣り合い、相互
にその磁力を弱め合うことがなくなり、記録領域の磁力
が安定化するという効果も得られる。 【００８２】また、磁気記録層をトラッキングのために
予めディスク中心に対し同心円状またはスパイラル状に
磁化した場合には、トラッキングを連続的に行うことが
でき、より正確なトラッキング・サーボを行うことがで
きる。更に、トラッキングのための磁化方向をディスク
面に対して垂直とすることにより、半径方向に交互に配
列された磁化方向が異なる磁化領域が、相互にその磁力
を弱め合うことがなくなり、各磁化領域の磁力が安定化
する。 【００８３】本実施の形態では、データ信号の書き込み
（記録）と読み出しは磁気記録で行なうため、記録再生
ヘッドには、磁気記録と全く同様の単純な構成のヘッド
を用いることができる。 【００８４】本実施の形態では、ディスク状支持体とし
て可とう性非磁性支持体を用いているので、磁気ヘッド
と安定に接触摺動することができ、安定したヘッド走行
を実現することできる。 【００８５】また、希土類遷移金属合金からなり且つデ
ィスク面に対して垂直方向の保磁力が１５００Ｏｅ〜４
０００Ｏｅの範囲にある磁気記録層を備えることによ
り、熱アシスト無しに垂直磁気記録を容易に行うことが
できる。希土類遷移金属合金としてＴｂＦｅＣｏ、Ｄｙ
ＦｅＣｏ合金を用いた場合には、室温近傍でのスパッタ
リングにより十分な磁気特性を備えた磁気記録層を形成
することができる。 【００８６】なお、上記の実施の形態では、磁気ディス
クをカートリッジ内に格納してフレキシブル・ディスク
として使用する例について説明したが、本発明の情報記
録媒体はハードディスクにも適用することができる。ハ
ードディスクに適用する場合には、アルミニウム基板、
ガラス基板、ポリカーボネート基板、カーボン基板等、
比較的硬度の高い支持体が使用され、支持体の厚みは
０．２ｍｍ〜１．２ｍｍが好ましく、０．３ｍｍ〜０．
９ｍｍがより好ましい。 【００８７】上記の実施の形態では、磁気記録層の側か
らレーザ光を照射してトラッキングを行う例について説
明したが、基板側らレーザ光を照射してトラッキングを
行う構成とすることもできる。この場合、支持体には、
記録及び再生に使用する所定波長のレーザ光に対し透過
率が高い材料を使用する。 【００８８】また、上記の実施の形態では、支持体の片
面に磁気記録層を設ける例について説明したが、支持体
の両面に磁気記録層を設けてもよい。また、片面に磁気
記録層を設けた支持体同士を支持体側を内側にして貼り
合わせて、ディスクの両面に磁気記録層を設けてもよ
い。 【００８９】 【発明の効果】本発明の情報記録方法は、正確にトラッ
キング・サーボを行いながら情報の記録を行うことによ
り、良好なＳ／Ｎで信号の高密度記録を行うことができ
る、という効果を奏する。また、本発明の情報記録方法
は、垂直磁気記録方式により高密度記録を行うことがで
きる、という効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】（Ａ）は、本発明の情報記録方法に使用する磁
気ディスクの概略構成を示す平面図であり、（Ｂ）は、
（Ａ）の領域Ａの磁気記録層表面の磁化状態を示す部分
拡大図であり、（Ｃ）は、（Ｂ）のＡ−Ａ線断面図であ
る。 【図２】テルビウムの含有量と磁気記録層の垂直方向保
持力との関係を示す線図である。 【図３】（Ａ）〜（Ｃ）は、磁気転写の工程を示す断面
図である。 【図４】（Ａ）及び（Ｂ）は、トラッキング信号の読み
出し原理を説明する説明図である。 【図５】磁気ディスク記録再生装置の概略構成を示す平
面図である。 【図６】磁気ディスク記録再生装置のヘッド部の概略構
成を示す光軸に沿った断面図である。 【図７】情報の記録後の記録パターンを示す平面図であ
る。 【符号の説明】 １０ 磁気ディスク １２ カートリッジ １４ 支持体 １５ 下地層 １６ 磁気記録層 １６Ａ 磁化領域 １６Ｂ 磁化領域 １８ 保護層 ２０ 潤滑膜 ２２ スレーブ媒体 ２４ マスター担体 ３２ 浮上型スライダ ３６ 記録磁界制御回路 ４０ 浮上面（ＡＢＳ） ４６ 射出部 ５０ 磁気ヘッド ５６ 記録マーク
気ディスクの概略構成を示す平面図であり、（Ｂ）は、
（Ａ）の領域Ａの磁気記録層表面の磁化状態を示す部分
拡大図であり、（Ｃ）は、（Ｂ）のＡ−Ａ線断面図であ
る。 【図２】テルビウムの含有量と磁気記録層の垂直方向保
持力との関係を示す線図である。 【図３】（Ａ）〜（Ｃ）は、磁気転写の工程を示す断面
図である。 【図４】（Ａ）及び（Ｂ）は、トラッキング信号の読み
出し原理を説明する説明図である。 【図５】磁気ディスク記録再生装置の概略構成を示す平
面図である。 【図６】磁気ディスク記録再生装置のヘッド部の概略構
成を示す光軸に沿った断面図である。 【図７】情報の記録後の記録パターンを示す平面図であ
る。 【符号の説明】 １０ 磁気ディスク １２ カートリッジ １４ 支持体 １５ 下地層 １６ 磁気記録層 １６Ａ 磁化領域 １６Ｂ 磁化領域 １８ 保護層 ２０ 潤滑膜 ２２ スレーブ媒体 ２４ マスター担体 ３２ 浮上型スライダ ３６ 記録磁界制御回路 ４０ 浮上面（ＡＢＳ） ４６ 射出部 ５０ 磁気ヘッド ５６ 記録マーク
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 長尾 信
神奈川県小田原市扇町２町目12番１号 富
士写真フイルム株式会社内
Ｆターム(参考） 5D006 BB01 DA03 DA08 FA00
5D091 AA08 CC11 FF20
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】ディスク状支持体の少なくとも一方の面
に、垂直磁気異方性を有する強磁性金属薄膜からなる磁
気記録層が形成され、該磁気記録層に磁化方向の相違に
よりトラッキング情報が予め記録された情報記録媒体を
用い、 前記磁気記録層に記録されたトラッキング情報に基づい
て磁気光学効果によりトラッキングを行うと共に、前記
磁気記録層にディスク面に対して垂直な磁界を印加して
磁気的に情報を記録し、磁気ヘッドで該情報を再生する
情報記録方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001308295A JP2003123203A (ja) | 2001-10-04 | 2001-10-04 | 情報記録方法 |
| EP02022481A EP1300834A2 (en) | 2001-10-04 | 2002-10-04 | Information recording method |
| US10/264,343 US6977786B2 (en) | 2001-10-04 | 2002-10-04 | Information recording method using a vertical magnetic system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001308295A JP2003123203A (ja) | 2001-10-04 | 2001-10-04 | 情報記録方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003123203A true JP2003123203A (ja) | 2003-04-25 |
Family
ID=19127628
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001308295A Pending JP2003123203A (ja) | 2001-10-04 | 2001-10-04 | 情報記録方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6977786B2 (ja) |
| EP (1) | EP1300834A2 (ja) |
| JP (1) | JP2003123203A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004103130A (ja) * | 2002-09-10 | 2004-04-02 | Fujitsu Ltd | 光磁気記録媒体 |
| JP2004247408A (ja) * | 2003-02-12 | 2004-09-02 | Sony Precision Technology Inc | 磁気検出センサ |
| JP2004348795A (ja) * | 2003-05-20 | 2004-12-09 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気転写方法および磁気転写装置 |
| US7572499B2 (en) * | 2005-01-26 | 2009-08-11 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Contact magnetic transfer template |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5830656B2 (ja) | 1979-10-22 | 1983-06-30 | ケイディディ株式会社 | 光磁気記録媒体 |
| JPS619850A (ja) | 1984-06-23 | 1986-01-17 | Oki Electric Ind Co Ltd | 光磁気記録媒体の案内トラツク形成方法 |
| JP2690931B2 (ja) | 1988-03-02 | 1997-12-17 | 株式会社日立製作所 | 光磁気デイスク担体およびその作製方法 |
| EP0596716B1 (en) * | 1992-11-06 | 2002-05-15 | Sharp Kabushiki Kaisha | Magneto-optical recording medium and recording and reproducing method and optical head designed for the magneto-optical recording medium |
| JPH08249649A (ja) * | 1995-02-23 | 1996-09-27 | Minnesota Mining & Mfg Co <3M> | 磁気記録媒体 |
| US6570724B1 (en) * | 1999-04-26 | 2003-05-27 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Method and apparatus for magnetic transfer |
| US6751044B1 (en) * | 1999-10-29 | 2004-06-15 | Maxtor Corporation | Method and apparatus for reading a clock track with a magneto-optical clock head using the transverse Kerr effect |
| JP2002050038A (ja) * | 2000-08-03 | 2002-02-15 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気転写方法 |
| JP4024464B2 (ja) * | 2000-09-12 | 2007-12-19 | 富士フイルム株式会社 | 磁気転写装置 |
-
2001
- 2001-10-04 JP JP2001308295A patent/JP2003123203A/ja active Pending
-
2002
- 2002-10-04 US US10/264,343 patent/US6977786B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2002-10-04 EP EP02022481A patent/EP1300834A2/en not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20030076611A1 (en) | 2003-04-24 |
| US6977786B2 (en) | 2005-12-20 |
| EP1300834A2 (en) | 2003-04-09 |
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