JP2003099116A - Lot management device and method, its computer program, recording medium for recording its program, and process control system - Google Patents
Lot management device and method, its computer program, recording medium for recording its program, and process control systemInfo
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 78
- 238000004886 process control Methods 0.000 title claims description 16
- 238000004590 computer program Methods 0.000 title claims description 6
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 231
- 239000000872 buffer Substances 0.000 claims abstract description 81
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 20
- 238000007726 management method Methods 0.000 claims description 173
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 66
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 7
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 7
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims description 4
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 3
- 239000012536 storage buffer Substances 0.000 description 41
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 16
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 16
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 4
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 4
- FFBHFFJDDLITSX-UHFFFAOYSA-N benzyl N-[2-hydroxy-4-(3-oxomorpholin-4-yl)phenyl]carbamate Chemical compound OC1=C(NC(=O)OCC2=CC=CC=C2)C=CC(=C1)N1CCOCC1=O FFBHFFJDDLITSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000010365 information processing Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
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-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing
Landscapes
- General Factory Administration (AREA)
- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、製造ラインに配置
された各工程の処理装置へ処理ロットを搬送する技術に
関し、特に、各工程の処理装置への処理ロットの搬送時
間を短縮することが可能なロット管理装置、その方法、
そのコンピュータ・プログラム、そのプログラムを記録
した記録媒体および工程制御システムに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a technique for transporting a processing lot to a processing apparatus for each process arranged on a manufacturing line, and in particular to shortening the transportation time of the processing lot to the processing apparatus for each process. Possible lot management device, its method,
The present invention relates to the computer program, a recording medium recording the program, and a process control system.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、パーソナルコンピュータなどの情
報処理装置、家電機器等の価格競争の激化に伴って、製
造コストの削減が不可欠となってきている。製造コスト
を削減する方法の１つとして、製造ラインにおけるロッ
トの処理時間の短縮を挙げることができる。2. Description of the Related Art In recent years, it has become indispensable to reduce the manufacturing cost as the price competition of information processing devices such as personal computers and home electric appliances increases. One of the methods for reducing the manufacturing cost is to shorten the processing time of a lot in the manufacturing line.
【０００３】図８は、従来の工程制御システムの一例を
示す図である。この工程制御システムは、半導体ウェハ
や液晶基板などの製造ラインにおいて使用され、各工程
に配置された処理装置がコンピュータによって統括管理
されるものである。製造工程は、成膜、フォトリソグラ
フィ、エッチングなどからなるが、これらの工程におけ
る処理がサイクルとなって、複数回の処理が行なわれる
ことによって製品の製造が行なわれる。FIG. 8 is a diagram showing an example of a conventional process control system. This process control system is used in a manufacturing line for semiconductor wafers, liquid crystal substrates, etc., and the processing devices arranged in each process are centrally managed by a computer. The manufacturing process includes film formation, photolithography, etching, and the like. The processes in these processes form a cycle, and the product is manufactured by performing the process a plurality of times.
【０００４】図８に示す従来の工程制御システムは、製
造対象であるロットの管理を行なうホストコンピュータ
（ロット管理装置）１０１と、ホストコンピュータ１０
１に接続され、各工程に配置された処理装置などの管理
を行なうセルコンピュータ（装置管理装置）１０２と、
工程Ａ〜Ｚに配置された装置群ａ〜ｚとを含む。The conventional process control system shown in FIG. 8 includes a host computer (lot management device) 101 for managing a lot to be manufactured and a host computer 10.
A cell computer (apparatus management apparatus) 102 that is connected to No. 1 and manages a processing apparatus or the like arranged in each process;
The apparatus groups a to z arranged in the steps A to Z are included.
【０００５】ホストコンピュータ１０１のプロセス上で
ロット管理システム１１２が動作する。セルコンピュー
タ１０２のプロセス上で装置管理システム１２１、搬送
管理システム１２２および搬送コントローラ１２３が動
作する。ロット管理システム１１２と装置管理システム
１２１との間の通信、またはロット管理システム１１２
と搬送管理システム１２２との間の通信は、図示しない
ネットワークを介して行なわれる。また、装置管理シス
テム１２１、搬送管理システム１２２および搬送コント
ローラ１２３の間の通信は、プロセス間通信等によって
行なわれる。The lot management system 112 operates on the process of the host computer 101. The device management system 121, the transportation management system 122, and the transportation controller 123 operate on the process of the cell computer 102. Communication between the lot management system 112 and the equipment management system 121, or the lot management system 112
The communication between the transport management system 122 and the transport management system 122 is performed via a network (not shown). Communication between the device management system 121, the transfer management system 122, and the transfer controller 123 is performed by interprocess communication or the like.
【０００６】工程Ａ〜Ｚのそれぞれは複数の同種の処理
装置が配置されて、装置群が形成されており、各処理ロ
ットの進捗状況がホストコンピュータ１０１およびセル
コンピュータ１０２によって管理される。この製造工程
においては、工程Ａ→工程Ｂ→‥‥→工程Ｚの順にロッ
トの処理が進められるものとする。工程Ａは、装置ａ１
および装置ａ２を含んだ装置群ａからなる。工程Ｂは、
装置ｂ１を含んだ装置群ｂからなる。また、工程Ｚは、
装置ｚ１、ｚ２およびｚ３を含んだ装置群ｚからなる。In each of the steps A to Z, a plurality of processing devices of the same kind are arranged to form a device group, and the progress status of each processing lot is managed by the host computer 101 and the cell computer 102. In this manufacturing process, lots are processed in the order of process A → process B → ... → process Z. Step A is the device a1
And a device group a including the device a2. Step B is
The device group b includes the device b1. In addition, the process Z is
It consists of a device group z containing devices z1, z2 and z3.
【０００７】工程Ａ〜工程Ｚに配置された各装置は、装
置管理システム１２１に対して処理ロットの要求や装置
における処理状況などを報告し、装置管理システム１２
１から処理ロットの情報などを受取る。Each of the devices arranged in the process A to the process Z reports to the device management system 121 a request for a processing lot, the processing status of the device, etc., and the device management system 12
Receive information such as processing lots from 1.
【０００８】装置管理システム１２１は、各装置から処
理ロットの要求や処理状況を受取ると、その情報に基づ
いてロットの状態や装置からのロット要求の報告をロッ
ト管理システム１１２に対して行なう。装置管理システ
ム１２１は、ロット管理システム１１２からロット要求
に対応した最適ロットの情報を受取ると、搬送管理シス
テム１２２に対してその最適ロットの搬送指示を行な
う。また、装置管理システム１２１は、各装置からロッ
トの搬送要求を受取ると、そのロットの搬送要求をロッ
ト管理システム１１２へ報告する。Upon receiving the processing lot request and the processing status from each apparatus, the apparatus management system 121 reports the lot status and the lot request from the apparatus to the lot management system 112 based on the information. Upon receiving the information on the optimum lot corresponding to the lot request from the lot management system 112, the device management system 121 instructs the transfer management system 122 to transfer the optimum lot. Further, when the apparatus management system 121 receives a lot transfer request from each apparatus, the apparatus management system 121 reports the lot transfer request to the lot management system 112.
【０００９】ロット管理システム１１２は、装置管理シ
ステム１２１からロット要求があれば、そのロット要求
に対する最適ロットの選択を行ない、その最適ロットの
情報を装置管理システム１２１へ通知する。ロット管理
システム１１２は、装置管理システム１２１からロット
の搬送要求を受取ると、そのロットの搬送先を決定して
搬送管理システム１２２に対してロットの搬送指示を行
なう。If there is a lot request from the device management system 121, the lot management system 112 selects the optimum lot for the lot request and notifies the device management system 121 of the information on the optimum lot. When the lot management system 112 receives a lot transportation request from the device management system 121, the lot management system 112 determines the transportation destination of the lot and instructs the transportation management system 122 to transport the lot.
【００１０】搬送管理システム１２２は、搬送装置にお
けるロットの搬送状況を管理しており、ロット管理シス
テム１１２または装置管理システム１２１からロットの
搬送指示を受取ると、搬送コントローラ１２３に対して
搬送指示を行なう。搬送コントローラ１２３は、搬送管
理システム１２２からの指示に応じて、各搬送装置を制
御して実際のロットの搬送を行なう。The transfer management system 122 manages the transfer status of the lot in the transfer device, and when receiving the transfer instruction of the lot from the lot management system 112 or the device management system 121, issues a transfer instruction to the transfer controller 123. . The transfer controller 123 controls each transfer device to transfer an actual lot according to an instruction from the transfer management system 122.
【００１１】それぞれの工程において、あるロットの処
理が終了すると、次工程に進めるためにロットの搬送が
行なわれる。装置の配置状況や、装置が他のロットの処
理を行なっているか否かによって、次装置にロットを直
接移動できる場合と、直接次装置へロットを移動できず
に、一時的にロットを保管する仮置きバッファ（以下、
ソースバッファとも呼ぶ。）へロットを移動させる場合
とがある。When the processing of a certain lot is completed in each step, the lot is transported to proceed to the next step. Depending on the arrangement of the equipment and whether or not the equipment is processing other lots, the lot can be moved directly to the next equipment, or the lot cannot be moved directly to the next equipment and the lot is temporarily stored. Temporary buffer (hereinafter,
Also called the source buffer. There is a case where the lot is moved to).
【００１２】この仮置きバッファへロットを移動させる
ための搬送指示は、従来、次工程の装置群について、仕
掛りロットを保管するために定義された仮置きバッファ
へ発行されていた。このとき、第１候補のソースバッフ
ァが満杯であれば、その処理ロットの搬送指示は第２候
補のソースバッファに発行されることになる。第１候補
以降のソースバッファに一時的に保管されているロット
は、次工程の装置が装置管理システム１２１を介してロ
ット管理システム１１２へロット要求を報告し、ロット
管理システム１１２がそのロットを引当て、搬送管理シ
ステム１２２からその装置への搬送指示が行なわれたと
きに、その装置へロットが搬送されることになる。Conventionally, the transfer instruction for moving the lot to the temporary storage buffer has been issued to the temporary storage buffer defined for storing the in-process lot for the device group of the next process. At this time, if the source buffer of the first candidate is full, the transportation instruction of the processing lot is issued to the source buffer of the second candidate. For the lots temporarily stored in the source buffer after the first candidate, the equipment of the next process reports the lot request to the lot management system 112 via the equipment management system 121, and the lot management system 112 reserves the lot. Thus, when the transfer management system 122 issues a transfer instruction to the device, the lot is transferred to the device.
【００１３】図９は、従来の工程制御システムにおける
ロットの移動経路を示す図である。このロットの移動経
路は、図８の工程Ａ〜工程Ｚに対応している。装置ａ１
におけるロットの処理が完了すると、工程Ｂにおける処
理を行なうために装置群ｂへロットが進められる。この
配置図においては、各仮置きバッファと装置との間が狭
く、自動搬送車が自由に移動することができず、１方向
にしか移動できないものとする。FIG. 9 is a diagram showing a lot movement route in a conventional process control system. The movement route of this lot corresponds to steps A to Z in FIG. Device a1
When the processing of the lot in step 1 is completed, the lot is advanced to the device group b in order to perform the processing in step B. In this layout, it is assumed that the space between each temporary storage buffer and the device is narrow, the automatic guided vehicle cannot move freely, and can move only in one direction.
【００１４】装置ａ１から払出されたロットは、まず第
１の仮置きバッファ１５１へ向かう（図９の）。次工
程の装置群ｂの第１候補のソースバッファが第２の仮置
きバッファ１５２であり、かつ第２の仮置きバッファ１
５２に空き棚がある場合には、ロットは第２の仮置きバ
ッファ１５２へ搬送される（図９の）。その後、装置
ｂ１からロット要求が装置管理システム１２１を介して
ロット管理システム１１２へ報告され、ロット管理シス
テム１１２が当該ロットを引当てると、搬送管理システ
ム１２２へ搬送指示が発行されて、当該ロットが装置ｂ
１へ搬送される（図９の）。The lot dispensed from the apparatus a1 first goes to the first temporary storage buffer 151 (in FIG. 9). The first candidate source buffer of the device group b in the next step is the second temporary placement buffer 152, and the second temporary placement buffer 1
If there is an empty shelf in 52, the lot is transported to the second temporary storage buffer 152 (in FIG. 9). Thereafter, the lot request from the device b1 is reported to the lot management system 112 via the device management system 121. When the lot management system 112 reserves the lot, a transportation instruction is issued to the transportation management system 122, and the lot is Device b
It is transported to the 1 (FIG. 9).
【００１５】なお、装置群ｂの第１候補のソースバッフ
ァである第２の仮置きバッファ１５２に空き棚がなく、
かつ第２候補のソースバッファである第１の仮置きバッ
ファ１５１に空き棚がある場合には、当該ロットの搬送
指示が第１の仮置きバッファ１５１への搬送指示とな
り、当該ロットは第１の仮置きバッファ１５１に一時的
に保管される。その後、装置ｂ１からロット要求が装置
管理システム１２１を介してロット管理システム１１２
へ報告され、ロット管理システム１１２が当該ロットを
引当てると、ロットは第２の仮置きバッファ１５２を経
由して装置ｂ１へ搬送される。There is no empty shelf in the second temporary storage buffer 152 which is the first source buffer of the device group b,
When the first temporary placement buffer 151, which is the second candidate source buffer, has an empty shelf, the transportation instruction of the lot is the transportation instruction to the first temporary placement buffer 151, and the lot is the first temporary storage buffer 151. It is temporarily stored in the temporary storage buffer 151. After that, the lot request from the device b1 is sent via the device management system 121 to the lot management system 112.
When the lot management system 112 reserves the lot, the lot is transported to the device b1 via the second temporary storage buffer 152.
【００１６】図９の矢印に示すように、上から下へ向か
って工程が進んでゆく。この場合、一方向に順序良く処
理ロットが進んで、ロットの処理が行なわれていくこと
が最も効率の良い動きとなる（図９の（Ａ），
（Ｂ））。As shown by the arrow in FIG. 9, the process progresses from top to bottom. In this case, the most efficient movement is to proceed the processing lots in order in one direction and to process the lots ((A) of FIG. 9,
(B)).
【００１７】[0017]
【発明が解決しようとする課題】しかし、ある装置にお
ける処理ロットの処理が終了し、次工程の装置にとって
最も相応しいと定義された第１候補のソースバッファが
満杯であり、それ以上ロットの搬入が行なえない場合
や、ソースバッファ自体のトラブルまたは通信のトラブ
ルなどで第１候補のソースバッファに対する搬送が行な
えない場合には、第２候補、第３候補として定義されて
いるソースバッファにロットが搬送されることになる。However, the processing of the processing lot in a certain apparatus is completed, the source buffer of the first candidate, which is defined as most suitable for the apparatus of the next process, is full, and the lot is not loaded any more. If it is not possible, or if the source buffer of the first candidate cannot be transported due to a trouble in the source buffer itself or a communication problem, the lot is transported to the source buffers defined as the second and third candidates. Will be.
【００１８】第１候補のソースバッファは、次工程の装
置群にとって最も搬送時間が短くなるように定義されて
おり、第２候補、第３候補以降として定義されているソ
ースバッファは搬送時間に関しては第１候補のソースバ
ッファよりも劣っている。そのため、第１候補のソース
バッファが満杯であったり、第１候補のソースバッファ
にトラブル発生したりして、第２候補、第３候補以降の
ソースバッファへロットが搬送され、次装置のロット要
求によってそのロットが引当てられた場合には、第１候
補のソースバッファからの搬送に比べて、搬送時間が余
計にかかることになる。これによって、装置におけるロ
ットの処理が遅延し、単位時間当たりの処理稼動時間が
少なくなり、時間ロスが大きくなるといった問題点があ
った。The source buffer of the first candidate is defined so as to have the shortest carrying time for the device group in the next process, and the source buffers defined as the second candidate, the third candidate and thereafter are related to the carrying time. It is inferior to the first candidate source buffer. Therefore, the source buffer of the first candidate is full, or trouble occurs in the source buffer of the first candidate, so that the lot is transported to the source buffers of the second candidate and the third candidate and thereafter, and the lot request of the next device is made. When the lot is allocated by, the transfer time will be longer than the transfer from the first candidate source buffer. As a result, the processing of the lot in the apparatus is delayed, the processing operation time per unit time is reduced, and the time loss is increased.
【００１９】また、それぞれの仮置きバッファに同じ工
程で処理を行なう処理ロットのみが置かれているとき
に、仮置きバッファが満杯であり、かつその処理を行な
う装置が異常等によって処理不能となった場合、その装
置群において異常等になった装置以外の装置が他の処理
ロットを要求すると、その仮置きバッファ以外の場所か
ら処理ロットを呼ばなければならない。そのため、搬送
時間が余計にかかり、装置におけるロットの処理が遅延
して、単位時間当たりの処理稼動時間が少なくなり、時
間ロスが大きくなるといった問題点があった。Further, when only the processing lot to be processed in the same process is placed in each temporary storage buffer, the temporary storage buffer is full, and the apparatus for performing the processing becomes inoperable due to an abnormality or the like. In this case, when a device other than the device having an abnormality in the device group requests another processing lot, the processing lot must be called from a place other than the temporary storage buffer. Therefore, there is a problem in that the transfer time is extra, the processing of the lot in the apparatus is delayed, the processing operation time per unit time is reduced, and the time loss is increased.
【００２０】本発明は、上記問題点を解決するためにな
されたものであり、第１の目的は、製造ラインにおける
処理装置の単位時間当たりの稼働時間を増やすことがで
き、処理ロットの搬送を効率的に行なうことが可能なロ
ット管理装置、その方法、そのコンピュータ・プログラ
ム、そのプログラムを記録した記録媒体および工程制御
システムを提供することである。The present invention has been made to solve the above problems. A first object of the present invention is to increase the operating time per unit time of a processing apparatus in a manufacturing line and to transfer a processing lot. An object of the present invention is to provide a lot management apparatus, a method therefor, a computer program therefor, a recording medium recording the program, and a process control system that can be efficiently performed.
【００２１】第２の目的は、処理ロットが次工程を追い
越して搬送されたり、逆方向に搬送されたりすることを
防止でき、工程全体を考慮した処理順序で処理ロットを
先送りすることが可能なロット管理装置を提供すること
である。The second purpose is to prevent the processing lot from being overtaken in the next step and transferred in the opposite direction, and to advance the processing lot in the processing order considering the whole step. To provide a lot management device.
【００２２】第３の目的は、同じ種類のロットだけで仮
置き棚が塞がってしまうといった不具合を防止でき、処
理ロットの搬送時間が長くなることを防止することが可
能なロット管理装置を提供することである。A third object is to provide a lot management apparatus capable of preventing the problem that the temporary storage shelves are closed only by the same type of lot and preventing the transfer time of the processing lot from being long. That is.
【００２３】[0023]
【課題を解決するための手段】本発明のある局面に従え
ば、複数の処理工程からなる製造ラインにおける処理ロ
ットを管理するロット管理装置であって、処理ロットを
一時的に保管するバッファの空きを検索し、処理ロット
の先送りを指示するための先送り管理手段と、処理ロッ
トの状況を管理し、先送り管理手段による処理ロットの
先送り指示に応じて、当該処理ロットの搬送を外部へ指
示するためのロット管理手段とを含む。According to one aspect of the present invention, there is provided a lot management apparatus for managing a processing lot in a manufacturing line including a plurality of processing steps, wherein a buffer for temporarily storing the processing lot is free. To control the status of the processing lot and to send the processing lot to the outside in response to the processing lot forwarding instruction by the forwarding management means for searching the Lot management means.
【００２４】先送り管理手段が、処理ロットを一時的に
保管するバッファの空きを検索し、処理ロットの先送り
を指示するので、当該処理ロットを次工程に搬送すると
きの搬送時間を短縮することができ、処理ロットの搬送
を効率的に行なうことが可能となる。Since the advance delivery management means searches for a free space in the buffer for temporarily storing the processing lot and gives an instruction to advance the processing lot, it is possible to shorten the delivery time when the processing lot is delivered to the next process. Therefore, it is possible to efficiently carry the processing lot.
【００２５】好ましくは、先送り管理手段は、バッファ
から処理ロットの搬出報告があったときに、バッファの
空きを検索して処理ロットの先送りを指示する。[0025] Preferably, the forwarding management means searches for a vacant space in the buffer and gives an instruction to postpone the processing lot when there is a report of carrying out the processing lot from the buffer.
【００２６】したがって、バッファの空きを効率良く検
出することが可能となる。好ましくは、先送り管理手段
は、一定時間ごとにバッファの空きを検索し、バッファ
の空きを検出したときに処理ロットの先送りを指示す
る。Therefore, it becomes possible to efficiently detect the free space of the buffer. Preferably, the advance delivery management means searches for a free space in the buffer at regular time intervals, and when the free space is detected, instructs the advance delivery of the processing lot.
【００２７】したがって、バッファの空きを検出する周
期を適宜変更することによって、処理工程に応じた処理
ロットの先送りを実現することが可能となる。Therefore, by appropriately changing the cycle for detecting the vacancy of the buffer, it is possible to advance the processing lot according to the processing steps.
【００２８】好ましくは、先送り管理手段は、ロットの
処理開始予定時刻および現在時刻に基づく計算式を用い
て、処理ロットの中から最適なロットを抽出して先送り
を指示する。Preferably, the advance delivery management means extracts an optimum lot from the processed lots and instructs the advance delivery by using a calculation formula based on the scheduled processing start time of the lot and the current time.
【００２９】したがって、最適ロットの抽出を的確に行
なうことが可能となる。好ましくは、ロット管理手段
は、処理ロットがある場所ごとに定義されたバッファへ
処理ロットを搬送するときの優先順位に応じて、先送り
する処理ロットを決定して先送りを指示する。Therefore, it is possible to accurately extract the optimum lot. Preferably, the lot management means determines a processing lot to be postponed and gives an instruction to advance the processing lot according to the priority when the processing lot is transported to the buffer defined for each place where the processing lot is located.
【００３０】したがって、処理ロットが次工程を追い越
して搬送されたり、逆方向に搬送されたりすることを防
止でき、工程全体を考慮した処理順序で処理ロットを先
送りすることが可能となる。Therefore, it is possible to prevent the processing lot from being carried overtaking the next process or being carried in the opposite direction, and it is possible to postpone the processing lot in the processing order considering the entire process.
【００３１】好ましくは、先送り管理手段は、バッファ
に置かれる可能性がある処理ロットの種別に応じてバッ
ファを割当て、バッファに空きが発生した部分に対応し
た種別の処理ロットの中から、先送りする処理ロットを
決定して先送りを指示する。Preferably, the forwarding management means allocates a buffer according to the type of processing lot that may be placed in the buffer, and forwards it from the processing lots of the type corresponding to the portion in which the buffer has an empty space. Decide the processing lot and instruct to postpone it.
【００３２】したがって、同じ種類のロットだけで仮置
き棚が塞がってしまうといった不具合を防止でき、処理
ロットの搬送時間が長くなることを防止することが可能
となる。Therefore, it is possible to prevent the problem that the temporary storage shelves are blocked by only the same type of lot, and it is possible to prevent the transport time of the processing lot from being lengthened.
【００３３】本発明の別の局面に従えば、複数の処理工
程からなる製造ラインにおける処理ロットを管理するロ
ット管理方法であって、処理ロットを一時的に保管する
バッファの空きを検索し、処理ロットの先送りを指示す
るステップと、処理ロットの状況を管理し、処理ロット
の先送り指示に応じて、当該処理ロットの搬送を外部へ
指示するステップとを含む。According to another aspect of the present invention, there is provided a lot management method for managing a processing lot in a manufacturing line consisting of a plurality of processing steps, wherein a free space of a buffer for temporarily storing the processing lot is searched for and processed. The method includes the step of instructing the lot advance, and the step of managing the condition of the process lot and instructing the conveyance of the process lot to the outside in accordance with the advance instruction of the process lot.
【００３４】処理ロットを一時的に保管するバッファの
空きを検索し、処理ロットの先送りを指示するので、当
該処理ロットを次工程に搬送するときの搬送時間を短縮
することができ、処理ロットの搬送を効率的に行なうこ
とが可能となる。Since the free space of the buffer for temporarily storing the processing lot is searched and the advance of the processing lot is instructed, the transfer time when transferring the processing lot to the next process can be shortened and the processing lot can be transferred. It becomes possible to carry out efficiently.
【００３５】本発明のさらに別の局面に従えば、複数の
処理工程からなる製造ラインにおける処理ロットを管理
するロット管理方法をコンピュータに実行させるための
コンピュータ・プログラムであって、ロット管理方法
は、処理ロットを一時的に保管するバッファの空きを検
索し、処理ロットの先送りを指示するステップと、処理
ロットの状況を管理し、処理ロットの先送り指示に応じ
て、当該処理ロットの搬送を外部へ指示するステップと
を含む。According to yet another aspect of the present invention, there is provided a computer program for causing a computer to execute a lot management method for managing a processing lot in a production line including a plurality of processing steps, the lot management method comprising: Steps to search the buffer for temporary storage of processing lots and instruct to postpone processing lots, manage the status of processing lots, and transfer the processing lots to the outside in response to the instruction to postpone processing lots And instructing steps.
【００３６】処理ロットを一時的に保管するバッファの
空きを検索し、処理ロットの先送りを指示するので、当
該処理ロットを次工程に搬送するときの搬送時間を短縮
することができ、処理ロットの搬送を効率的に行なうこ
とが可能となる。Since the free space of the buffer for temporarily storing the processing lot is searched and the advance of the processing lot is instructed, the transfer time when transferring the processing lot to the next process can be shortened and the processing lot can be transferred. It becomes possible to carry out efficiently.
【００３７】本発明のさらに別の局面に従えば、複数の
処理工程からなる製造ラインにおける処理ロットを管理
するロット管理方法をコンピュータに実行させるための
プログラムを記録したコンピュータで読取り可能な記録
媒体であって、ロット管理方法は、処理ロットを一時的
に保管するバッファの空きを検索し、処理ロットの先送
りを指示するステップと、処理ロットの状況を管理し、
処理ロットの先送り指示に応じて、当該処理ロットの搬
送を外部へ指示するステップとを含む。According to still another aspect of the present invention, there is provided a computer-readable recording medium in which a program for causing a computer to execute a lot management method for managing a processing lot in a manufacturing line including a plurality of processing steps is recorded. Therefore, the lot management method searches the free space of the buffer that temporarily stores the processed lot, manages the step of instructing the postponement of the processed lot, and the status of the processed lot.
A step of instructing the transfer of the processing lot to the outside in response to the advance instruction of the processing lot.
【００３８】処理ロットを一時的に保管するバッファの
空きを検索し、処理ロットの先送りを指示するので、当
該処理ロットを次工程に搬送するときの搬送時間を短縮
することができ、処理ロットの搬送を効率的に行なうこ
とが可能となる。Since the empty space of the buffer for temporarily storing the processing lot is searched and the advance of the processing lot is instructed, the transfer time when the processing lot is transferred to the next process can be shortened and the processing lot It becomes possible to carry out efficiently.
【００３９】本発明のさらに別の局面に従えば、複数の
処理工程からなる製造ラインにおける処理ロットを管理
するロット管理装置と、複数の処理工程に配置された装
置による処理ロットの処理を管理する装置管理装置とが
ネットワークで接続された工程制御システムであって、
ロット管理装置は、処理ロットを一時的に保管するバッ
ファの空きを検索し、処理ロットの先送りを指示するた
めの先送り管理手段と、処理ロットの状況を管理し、先
送り管理手段による処理ロットの先送り指示に応じて、
当該処理ロットの搬送を装置管理装置に指示するための
ロット管理手段とを含み、装置管理装置は、複数の処理
工程に配置された装置を管理し、ロット管理手段からの
処理ロットの搬送指示に応じて、当該処理ロットの搬送
を指示する搬送管理手段と、搬送管理手段による搬送指
示に応じて、搬送装置を制御して処理ロットの搬送を行
なうための搬送制御手段とを含む。According to still another aspect of the present invention, a lot management apparatus for managing a processing lot in a manufacturing line including a plurality of processing steps and a processing lot processing by an apparatus arranged in the plurality of processing steps are managed. A process control system in which a device management device is connected to a network,
The lot management device searches the vacancy of the buffer that temporarily stores the processed lot, and the advance management means for instructing the advance of the processed lot and the status of the processed lot, and the advance management of the processed lot by the advanced management means. According to the instructions
A lot management means for instructing the equipment management device to convey the processing lot concerned. The equipment management device manages the equipment arranged in a plurality of processing steps, and the lot management means gives an instruction to convey the treatment lot. Accordingly, it includes a transfer management means for instructing transfer of the processing lot, and a transfer control means for controlling the transfer device to transfer the processing lot according to the transfer instruction from the transfer management means.
【００４０】処理ロットを一時的に保管するバッファの
空きを検索し、処理ロットの先送りを指示するので、当
該処理ロットを次工程に搬送するときの搬送時間を短縮
することができ、処理ロットの搬送を効率的に行なうこ
とが可能となる。Since the free space of the buffer for temporarily storing the processing lot is searched and the advance of the processing lot is instructed, the transfer time when the processing lot is transferred to the next process can be shortened and the processing lot It becomes possible to carry out efficiently.
【００４１】[0041]
【発明の実施の形態】図１は、本発明の実施の形態にお
ける工程制御システムの概略構成を示すブロック図であ
る。この工程制御システムは、製造対象であるロットの
管理を行なうホストコンピュータ（ロット管理装置）１
と、ホストコンピュータ１に接続され、各工程に配置さ
れた処理装置などの管理を行なうセルコンピュータ（装
置管理装置）２と、工程Ａ〜Ｚに配置された装置群ａ〜
ｚとを含む。1 is a block diagram showing a schematic configuration of a process control system according to an embodiment of the present invention. This process control system includes a host computer (lot management device) 1 that manages a lot to be manufactured.
A cell computer (device management device) 2 that is connected to the host computer 1 and manages processing devices and the like arranged in each process; and device groups a to A arranged in processes A to Z.
z and.
【００４２】ホストコンピュータ１のプロセス上で先送
り管理システム１１およびロット管理システム１２が動
作する。セルコンピュータ２のプロセス上で装置管理シ
ステム２１、搬送管理システム２２および搬送コントロ
ーラ２３が動作する。ロット管理システム１２と装置管
理システム２１との間の通信、またはロット管理システ
ム１２と搬送管理システム２２との間の通信は、後述す
るネットワークを介して行なわれる。また、先送り管理
システム１１とロット管理システム１２との間の通信、
または装置管理システム２１と搬送管理システム２２と
搬送コントローラ２３との間の通信は、プロセス間通信
等によって行なわれる。The advance management system 11 and the lot management system 12 operate on the process of the host computer 1. The device management system 21, the transportation management system 22, and the transportation controller 23 operate on the process of the cell computer 2. The communication between the lot management system 12 and the device management system 21, or the communication between the lot management system 12 and the transportation management system 22 is performed via a network described later. In addition, communication between the postponement management system 11 and the lot management system 12,
Alternatively, communication between the device management system 21, the transport management system 22, and the transport controller 23 is performed by interprocess communication or the like.
【００４３】工程Ａ〜Ｚのそれぞれは複数の同種の処理
装置が配置されて、装置群が形成されており、各処理ロ
ットの進捗状況がホストコンピュータ１およびセルコン
ピュータ２によって管理される。工程Ａ〜工程Ｚに配置
された各装置は、装置管理システム２１に対して処理ロ
ットの要求や装置における処理状況などを報告し、装置
管理システム２１から処理ロットの情報などを受取る。In each of the steps A to Z, a plurality of processing devices of the same kind are arranged to form a device group, and the progress status of each processing lot is managed by the host computer 1 and the cell computer 2. Each device arranged in the process A to the process Z reports a request for a processing lot and a processing status in the device to the device management system 21, and receives information on the processing lot from the device management system 21.
【００４４】装置管理システム２１は、各装置から処理
ロットの要求や処理状況を受取ると、その情報に基づい
てロットの状態や装置からのロット要求の報告をロット
管理システム１２に対して行なう。装置管理システム２
１は、ロット管理システム１２からロット要求に対応し
た最適ロットの情報を受取ると、搬送管理システム１２
２に対してその最適ロットの搬送指示を行なう。また、
装置管理システム２１は、各装置からロットの搬送要求
を受取ると、そのロットの搬送要求をロット管理システ
ム１２へ報告する。Upon receiving the processing lot request and the processing status from each apparatus, the apparatus management system 21 reports the lot status and the lot request from the apparatus to the lot management system 12 based on the information. Device management system 2
1 receives the information on the optimum lot corresponding to the lot request from the lot management system 12, and then the transport management system 12
2 is instructed to convey the optimum lot. Also,
Upon receiving the lot transfer request from each device, the device management system 21 reports the lot transfer request to the lot management system 12.
【００４５】先送り管理システム１１は、仮置きバッフ
ァにある処理ロットの数を検索し、仮置きバッファに空
き棚がある場合には、処理ロットの先送りを行なう。こ
の処理ロットの先送りとは、ある仮置きバッファから、
対象となる処理装置への搬送時間がより短くなる仮置き
バッファへ処理ロットを搬送することをいう。先送り管
理システム１１は、処理ロットの先送りが可能であれ
ば、候補となるロットの中から最適ロットを選択し、ロ
ット管理システム１２へ最適ロットの先送り指示を通知
する。The advance delivery management system 11 searches for the number of processing lots in the temporary storage buffer, and when the temporary storage buffer has empty shelves, advances the processing lot. This postponement of processing lots means that from a certain temporary storage buffer,
Transporting a processing lot to a temporary storage buffer that shortens the transport time to the target processing device. If the processing lot can be postponed, the advance delivery management system 11 selects an optimum lot from the candidate lots and notifies the lot management system 12 of the advance instruction of the optimum lot.
【００４６】ロット管理システム１２は、装置管理シス
テム２１からロット要求があれば、そのロット要求に対
する最適ロットの選択を行ない、その最適ロットの情報
を装置管理システム２１へ通知する。ロット管理システ
ム１２は、装置管理システム２１からロットの搬送要求
を受取ると、そのロットの搬送先を決定して搬送管理シ
ステム２２に対してロットの搬送指示を行なう。また、
先送り管理システム１１からロットの先送り指示がある
と、搬送管理システム２２に対してそのロットの搬送指
示を行なう。If there is a lot request from the device management system 21, the lot management system 12 selects the optimum lot for the lot request and notifies the device management system 21 of information on the optimum lot. When the lot management system 12 receives a lot transfer request from the device management system 21, the lot management system 12 determines the transfer destination of the lot and instructs the transfer management system 22 to transfer the lot. Also,
When there is a lot advance instruction from the advance delivery management system 11, the lot delivery instruction is issued to the delivery management system 22.
【００４７】搬送管理システム２２は、搬送装置におけ
るロットの搬送状況を管理しており、ロット管理システ
ム１２または装置管理システム２１からロットの搬送指
示を受取ると、搬送コントローラ２３に対して搬送指示
を行なう。搬送コントローラ２３は、搬送管理システム
２２からの指示に応じて、各搬送装置を制御して実際の
ロットの搬送を行なう。The transfer management system 22 manages the transfer status of the lot in the transfer device, and when receiving the transfer instruction of the lot from the lot management system 12 or the device management system 21, issues a transfer instruction to the transfer controller 23. . The transfer controller 23 controls each transfer device to transfer an actual lot according to an instruction from the transfer management system 22.
【００４８】図２は、本発明の実施の形態におけるホス
トコンピュータ１の外観例を示す図である。このホスト
コンピュータ１は、コンピュータ本体３１、ディスプレ
イ装置３２、ＦＤ（Flexible Disk）３４が装着される
ＦＤドライブ３３、キーボード３５、マウス３６、ＣＤ
−ＲＯＭ（Compact Disc-Read Only Memory）３８が装
着されるＣＤ−ＲＯＭ装置３７、およびネットワーク通
信装置３９を含む。ホストコンピュータ１のプロセス上
で動作する先送り管理システムおよびロット管理システ
ムのプログラムは、ＦＤ３４またはＣＤ−ＲＯＭ３８等
の記録媒体によって供給される。これらのプログラムが
コンピュータ本体３１によって実行されることにより、
先送り管理およびロット管理が行なわれる。また、これ
らのプログラムは他のコンピュータより通信回線を経由
し、コンピュータ本体３１に供給されてもよい。ホスト
コンピュータ１とセルコンピュータ２との間の通信は、
ネットワーク通信装置３９を介して行なわれる。なお、
セルコンピュータ２の外観例は、図２に示すホストコン
ピュータ１の外観例と同様であるので、詳細な説明は繰
返さない。FIG. 2 is a diagram showing an external appearance example of the host computer 1 in the embodiment of the present invention. The host computer 1 includes a computer main body 31, a display device 32, an FD drive 33 in which an FD (Flexible Disk) 34 is mounted, a keyboard 35, a mouse 36, a CD.
A CD-ROM device 37 in which a ROM (Compact Disc-Read Only Memory) 38 is mounted, and a network communication device 39 are included. The programs of the advance delivery management system and the lot management system that operate on the process of the host computer 1 are supplied by a recording medium such as the FD 34 or the CD-ROM 38. By executing these programs by the computer main body 31,
Postponement management and lot management are performed. Further, these programs may be supplied to the computer main body 31 from another computer via a communication line. The communication between the host computer 1 and the cell computer 2 is
This is performed via the network communication device 39. In addition,
Since an external appearance example of cell computer 2 is similar to the external appearance example of host computer 1 shown in FIG. 2, detailed description will not be repeated.
【００４９】図３は、本発明の実施の形態におけるホス
トコンピュータ１の構成例を示すブロック図である。図
２に示すコンピュータ本体３１は、ＣＰＵ（Central Pr
ocessing Unit）４０、ＲＯＭ（Read Only Memory）４
１、ＲＡＭ（Random Access Memory）４２およびハード
ディスク４３を含む。ＣＰＵ４０は、ディスプレイ装置
３２、ＦＤドライブ３３、キーボード３５、マウス３
６、ＣＤ−ＲＯＭ装置３７、ネットワーク通信装置３
９、ＲＯＭ４１、ＲＡＭ４２またはハードディスク４３
との間でデータを入出力しながら処理を行う。ＦＤ３４
またはＣＤ−ＲＯＭ３８に記録されたプログラムは、Ｃ
ＰＵ４０によりＦＤドライブ３３またはＣＤ−ＲＯＭ装
置３７を介して一旦ハードディスク４３に格納される。
ＣＰＵ４０は、ハードディスク４３から適宜プログラム
をＲＡＭ４２にロードして実行することによって、先送
り管理およびロット管理が行なわれる。なお、セルコン
ピュータ２の構成例は、図３に示すホストコンピュータ
１の構成例と同様であるので、詳細な説明は繰返さな
い。FIG. 3 is a block diagram showing a configuration example of the host computer 1 in the embodiment of the present invention. The computer main body 31 shown in FIG.
ocessing unit) 40, ROM (Read Only Memory) 4
1, a RAM (Random Access Memory) 42 and a hard disk 43. The CPU 40 includes a display device 32, an FD drive 33, a keyboard 35, and a mouse 3.
6, CD-ROM device 37, network communication device 3
9, ROM41, RAM42 or hard disk 43
Processing is performed while inputting and outputting data to and from. FD34
Alternatively, the program recorded on the CD-ROM 38 is C
The data is temporarily stored in the hard disk 43 by the PU 40 via the FD drive 33 or the CD-ROM device 37.
The CPU 40 loads the program from the hard disk 43 into the RAM 42 and executes the program as appropriate, thereby performing advance management and lot management. Since the configuration example of cell computer 2 is similar to the configuration example of host computer 1 shown in FIG. 3, detailed description will not be repeated.
【００５０】図４は、本発明の実施の形態における先送
り管理システム１１の処理手順を説明するためのフロー
チャートである。まず、先送り管理システム１１は、一
定時間が経過したか否かを判定する（Ｓ１）。一定時間
が経過している場合には（Ｓ１，Ｙｅｓ）、ステップＳ
３へ処理が進む。FIG. 4 is a flow chart for explaining the processing procedure of the forwarding control system 11 in the embodiment of the present invention. First, the postponement management system 11 determines whether or not a fixed time has elapsed (S1). If the fixed time has elapsed (S1, Yes), step S
The process proceeds to 3.
【００５１】一定時間が経過していない場合には（Ｓ
１，Ｎｏ）、ロット管理システム１２が仮置きバッファ
から搬送開始報告を受信したか否かが判定される（Ｓ
２）。仮置きバッファから搬送開始報告を受信していな
い場合には（Ｓ２，Ｎｏ）、ステップＳ１へ戻って以降
の処理を繰返す。また、仮置きバッファから搬送開始報
告を受信した場合には（Ｓ２，Ｙｅｓ）、ステップＳ３
へ処理が進む。If the fixed time has not elapsed (S
1, No), it is determined whether the lot management system 12 has received a transport start report from the temporary storage buffer (S).
2). When the transport start report is not received from the temporary storage buffer (S2, No), the process returns to step S1 and the subsequent processes are repeated. If a transport start report is received from the temporary storage buffer (S2, Yes), step S3
The process proceeds to.
【００５２】ステップＳ３において、先送り管理システ
ム１１はデータベースを検索し、仮置きバッファにある
処理ロットの数を抽出するとともに、その仮置きバッフ
ァに定義されている棚数を抽出する。なお、このデータ
ベースは、ロット管理システム１２によって管理され、
各処理ロットの現在の状況や、処理装置、搬送装置など
の状況や、仮置きバッファ毎に定義された棚数や、装置
群毎に定義されたソースバッファの候補順などが登録さ
れている。In step S3, the forwarding management system 11 searches the database to extract the number of processing lots in the temporary storage buffer and the number of shelves defined in the temporary storage buffer. Note that this database is managed by the lot management system 12,
The current status of each processing lot, the status of the processing equipment, the transportation equipment, etc., the number of shelves defined for each temporary storage buffer, the candidate order of source buffers defined for each equipment group, etc. are registered.
【００５３】次に、先送り管理システム１１は、定義さ
れている仮置きバッファの棚数よりも処理ロットの数の
方が少ないか否かを判定する（Ｓ４）。仮置きバッファ
の棚数が処理ロットの数以下であれば、すなわち仮置き
バッファに空き棚がなければ（Ｓ４，Ｎｏ）、その仮置
きバッファについての処理を終了し、ステップＳ１へ戻
って次の仮置きバッファについての処理を行なう。Next, the forwarding management system 11 judges whether the number of processing lots is smaller than the defined number of shelves in the temporary storage buffer (S4). If the number of shelves in the temporary storage buffer is less than or equal to the number of processing lots, that is, if there are no empty shelves in the temporary storage buffer (S4, No), the processing for the temporary storage buffer is terminated, and the process returns to step S1 to move to the next step. Performs processing for temporary buffer.
【００５４】また、仮置きバッファの棚数が処理ロット
の数よりも大きければ、すなわち仮置きバッファに空き
棚があれば（Ｓ４，Ｙｅｓ）、先送り管理システム１１
は、後述する評価式を用いて候補となるロットの中から
その時点で最適なロットを決定する（Ｓ５）。そして、
先送り管理システム１１は、決定した処理ロットの情報
をロット管理システム１２へ通知する。ロット管理シス
テム１２は、搬送管理システム２２へその処理ロットの
搬送指示を発行することにより（Ｓ６）、そのロットの
先送りが行なわれる。If the number of shelves in the temporary storage buffer is larger than the number of processing lots, that is, if there are empty shelves in the temporary storage buffer (S4, Yes), the forwarding management system 11
Determines the optimum lot at that point in time from among candidate lots using the evaluation formula described later (S5). And
The postponement management system 11 notifies the lot management system 12 of information on the determined processing lot. The lot management system 12 issues a transfer instruction for the processing lot to the transfer management system 22 (S6), so that the lot is postponed.
【００５５】図５は、先送りを行なう最適なロットを決
定するための評価式を説明するための図である。この評
価式として、以下の式が用いられる。FIG. 5 is a diagram for explaining an evaluation formula for determining the optimum lot to be advanced. The following formula is used as this evaluation formula.
【００５６】
余裕度＝（処理開始予定時刻−現在時刻）
−｛（１０−ユーザ設定優先度）×重み１｝
−｛（現在時刻−納期）×重み２｝
−｛（現在時刻−工程仕掛り時刻）×重み３｝ …（１）
それぞれのロットが投入された際に、ロット管理システ
ム１２は将来処理される予定の全ての工程について、処
理開始予定時刻を設定する。先送り管理システム１１
は、現在仕掛かっている工程の処理開始予定時刻、現在
時刻、ユーザ設定優先度、納期および工程仕掛り時刻を
式（１）に代入して、候補となるロットの余裕度を計算
する。先送りする最適なロットを検索する時点で、式
（１）を用いて算出した余裕度が最も小さいロットが最
適ロットとなる。Margin = (scheduled processing start time-current time)-{(10-user setting priority) × weight 1}-{(current time-delivery date) × weight 2}-{(current time-process in-process) (Time) × weight 3} (1) When each lot is input, the lot management system 12 sets a scheduled processing start time for all processes scheduled to be processed in the future. Postponement management system 11
Calculates the margin of the candidate lot by substituting the scheduled processing start time of the process currently in process, the current time, the user-set priority, the delivery date, and the process in-process time into the formula (1). At the time of searching for the optimum lot to be postponed, the lot having the smallest margin calculated using the formula (1) becomes the optimum lot.
【００５７】たとえば、図５（ａ）に示すように、ロッ
トＡが現在仕掛かっている工程１における処理開始予定
時刻が「２００１／０１／０１ ００：００」、現在時
刻が「２００１／０１／０２ ００：００」、ユーザ設
定優先度が「５」、重み１が「８６４００（１日の秒
数）」、重み２が「０」、重み３が「０」であれば、余
裕度は以下の通りとなる。For example, as shown in FIG. 5A, the scheduled processing start time in the process 1 in which lot A is currently in process is "2001/01/01 00:00" and the current time is "2001/01/02". If "00:00", the user setting priority is "5", the weight 1 is "86400 (seconds per day)", the weight 2 is "0", and the weight 3 is "0", the margin is as follows. It becomes a street.
【００５８】
余裕度＝（２００１／０１／０１ ００：００−２００１／０１／０２ ０
０：００）−（１０−５）×８６４００−０−０
＝−８６４００−４３２０００＝−５１８４００ …（２）
また、図５（ｂ）に示すように、ロットＢが現在仕掛か
っている工程１における処理開始予定時刻が「２００１
／０１／０１ １２：００」であり、他の条件がロット
Ａと同じであれば、余裕度は以下の通りとなる。Margin = (2001/01/01 00: 00-2001 / 01/02 0 0:00)-(10-5) * 86400-0-0 = -86400-432000 = -518400 (2) Further, as shown in FIG. 5B, the scheduled processing start time in the process 1 in which the lot B is currently in process is “2001”.
/ 01/01 12:00 "and the other conditions are the same as those of the lot A, the margin is as follows.
【００５９】
余裕度＝（２００１／０１／０１ １２：００−２００１／０１／０２ ０
０：００）−（１０−５）×８６４００−０−０
＝−４３２００−４３２０００＝−４７５２００ …（３）
このように、処理開始予定時刻（投入日時）以外の他の
条件が同じであれば、処理開始予定時刻が早いロットが
優先されることになる。なお、式（１）に示すように、
考慮する要件としてユーザ設定優先度、納期、工程仕掛
り時刻を設定し、重み２および重み３を定義することに
よって、それぞれの要件の順位づけを行なうことがで
き、より適切な最適ロットの抽出を行なうことが可能と
なる。Margin = (2001/01/01 12: 00-2001 / 01/02 0 0:00)-(10-5) * 86400-0-0 = -43200-432000 = -475200 (3) In this way, if the conditions other than the scheduled processing start time (input date and time) are the same, the lot with the earlier scheduled processing start time is prioritized. Note that, as shown in equation (1),
By setting the user-specified priority, delivery date, and in-process time as the requirements to be considered, and defining the weight 2 and the weight 3, the respective requirements can be ranked, and a more appropriate optimum lot can be extracted. It becomes possible to do it.
【００６０】図６は、場所別の最適ロットの選択基準を
示す図である。図６の矢印に示すように、上から下へ工
程が進んで行く。第１の仮置きバッファ５１、第２の仮
置きバッファ５２および第３の仮置きバッファ５３は、
それぞれ工程の上流から順番に配置されており、主とし
て近くの装置群にロットを搬送するものとする。したが
って、第１の仮置きバッファ５１、第２の仮置きバッフ
ァ５２、第３の仮置きバッファ５３の順に処理ロットが
進むのが望ましい。FIG. 6 is a diagram showing the selection criteria of the optimum lot for each location. As shown by the arrow in FIG. 6, the process proceeds from top to bottom. The first temporary placement buffer 51, the second temporary placement buffer 52, and the third temporary placement buffer 53 are
The lots are arranged in order from the upstream of the process, and the lot is mainly transported to a nearby device group. Therefore, it is desirable that the processing lots proceed in the order of the first temporary placement buffer 51, the second temporary placement buffer 52, and the third temporary placement buffer 53.
【００６１】すなわち、第１の仮置きバッファ５１近く
の装置群でロットの処理を行ない、処理終了後第２の仮
置きバッファ５２へロットを搬送し、第２の仮置きバッ
ファ５２近くの装置群でロットの処理を行ない、処理終
了後第３の仮置きバッファ５３へ搬送することが望まし
い。したがって、第３の仮置きバッファ５３へ先送りす
るロットは、第２の仮置きバッファ５２にあることが望
ましく、第１の仮置きバッファ５１に先送りするロット
があれば第２の仮置きバッファ５２を追い越すことにな
って、搬送効率が悪化して望ましくない。この先送りの
優先順位（図６参照）は、上述したホストコンピュータ
１内のデータベースに定義される。That is, the lots are processed by the device group near the first temporary placement buffer 51, the lots are transported to the second temporary placement buffer 52 after the processing, and the device groups near the second temporary placement buffer 52 are processed. It is desirable that the lot be processed in (3) and be transported to the third temporary storage buffer 53 after the processing is completed. Therefore, the lot to be postponed to the third temporary storage buffer 53 is preferably in the second temporary storage buffer 52, and if there is a lot to be transferred to the first temporary storage buffer 51, the second temporary storage buffer 52 is stored. It is overwhelming and the transport efficiency deteriorates, which is not desirable. This priority order of advancement (see FIG. 6) is defined in the database in the host computer 1 described above.
【００６２】このように、場所別に搬送する処理ロット
の優先順位を決め、優先順位が１位の場所にある処理ロ
ットの中から、式（１）を用いて最適ロットを決定する
ことによって、搬送効率が良く、工程全体を考慮した処
理順序で処理ロットを先送りすることが可能となる。As described above, the priority order of the processing lots to be transported by location is determined, and the optimum lot is determined from the processing lots in the location having the first priority level by using the equation (1). It is efficient and it is possible to postpone a processing lot in a processing order considering the entire process.
【００６３】図７は、各仮置きバッファに置かれる処理
ロットの種別とその割当てとを説明するための図であ
る。各装置がロットの処理を終了して搬出する際、また
は各仮置きバッファにロットを先送りする際、同じ種類
のロットだけでその仮置き棚が塞がってしまうと、その
種類のロットを処理する装置に異常が発生してその装置
が停止した場合に、その仮置きバッファからロットが搬
出されなくなる。FIG. 7 is a diagram for explaining the types of processing lots placed in each temporary placement buffer and their allocation. When each device finishes processing of a lot and carries it out or when forwarding the lot to each temporary storage buffer, if the temporary storage shelf is blocked by only the same type of lot, the device that processes that type of lot When an abnormality occurs in the equipment and the apparatus stops, the lot is not carried out from the temporary storage buffer.
【００６４】したがって、その装置群の中にある他の装
置が他の仮置きバッファにあるロットを要求する必要が
ある。この場合、装置にとって最も近い仮置きバッファ
からロットを搬送することができず、搬送時間が長くな
って単位時間当たりの装置の稼働時間が短縮される。そ
れを防止するために、図７に示すように仮置き棚に装置
群ごとの割当て数を定義しておく。Therefore, another device in the device group needs to request a lot in another temporary storage buffer. In this case, the lot cannot be transferred from the temporary storage buffer closest to the apparatus, and the transfer time becomes long and the operating time of the apparatus per unit time is shortened. In order to prevent this, the allocation number for each device group is defined in the temporary shelf as shown in FIG.
【００６５】この定義には、仮置きバッファに置かれる
可能性のある全ての処理ロット用の割当てを定義するこ
とによって、上述した不都合を防止することができる。
なお、図７においては、装置群ａに仕掛かっている処理
ロットについては３ロット分、装置群ｂに仕掛かってい
る処理ロットについては３ロット分、装置群を問わない
処理ロットについては２ロット分定義されている。By defining the assignments for all processing lots that may be placed in the temporary placement buffer in this definition, the above-mentioned inconvenience can be prevented.
It should be noted that in FIG. 7, three lots are defined for the processing lots set in the device group a, three lots are set for the processing lots set in the device group b, and two lots are set for the processing lots regardless of the device group. Has been done.
【００６６】以上説明したように、本発明の実施の形態
における工程制御システムにおいては、先送り管理シス
テム１１が一定時間ごとに仮置きバッファ内の空き棚を
検出し、その仮置きバッファへ最適ロットを先送りする
ようにしたので、処理ロットが次工程に搬送されるとき
の搬送時間を短縮することができ、製造ラインにおける
処理装置の単位時間当たりの稼働時間を増やすことがで
き、処理ロットの搬送を効率的に行なうことが可能とな
った。As described above, in the process control system according to the embodiment of the present invention, the feed-forward management system 11 detects an empty shelf in the temporary storage buffer at regular intervals and sets the optimum lot in the temporary storage buffer. Since it is postponed, it is possible to shorten the transportation time when the processing lot is transported to the next process, increase the operating time per unit time of the processing equipment on the manufacturing line, and transport the processing lot. It became possible to do it efficiently.
【００６７】また、場所別に搬送する処理ロットの優先
順位を決め、優先順位が高い場所にある処理ロットの中
から、最適ロットを決定するようにしたので、処理ロッ
トが次工程を追い越して搬送されたり、逆方向に搬送さ
れたりすることを防止することができ、搬送効率が良
く、工程全体を考慮した処理順序で処理ロットを先送り
することが可能となった。Further, since the priority order of the processing lots to be transported by location is determined and the optimum lot is determined from the processing lots in the locations having the high priority levels, the processing lots are transported past the next process. In addition, it is possible to prevent the sheet from being transported in the opposite direction, the transport efficiency is good, and the processing lot can be postponed in the processing order considering the entire process.
【００６８】さらには、仮置きバッファに置かれる可能
性のある全ての処理ロット用の割当てを定義するように
したので、同じ種類のロットだけでその仮置き棚が塞が
ってしまうという不都合を防止でき、処理装置の異常な
どが発生した場合であっても、処理ロットの搬送時間が
長くなることを防止することが可能となった。Furthermore, since the allocations for all the processing lots that may be placed in the temporary storage buffer are defined, it is possible to prevent the inconvenience that the temporary storage racks are blocked by only the same type of lot. Even if an abnormality occurs in the processing apparatus, it is possible to prevent the transportation time of the processing lot from being long.
【００６９】今回開示された実施の形態は、すべての点
で例示であって制限的なものではないと考えられるべき
である。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請
求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味
および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図さ
れる。The embodiments disclosed this time must be considered as illustrative in all points and not restrictive. The scope of the present invention is shown not by the above description but by the claims, and is intended to include meanings equivalent to the claims and all modifications within the scope.
【００７０】[0070]
【発明の効果】本発明のある局面によれば、先送り管理
手段が、処理ロットを一時的に保管するバッファの空き
を検索し、処理ロットの先送りを指示するので、当該処
理ロットを次工程に搬送するときの搬送時間を短縮する
ことができ、処理ロットの搬送を効率的に行なうことが
可能となった。According to one aspect of the present invention, the forwarding management means searches the vacant space of the buffer for temporarily storing the processing lot and instructs the forwarding of the processing lot, so that the processing lot is transferred to the next step. The transportation time at the time of transportation can be shortened, and the processing lot can be efficiently transported.
【００７１】また、バッファから処理ロットの搬出報告
があったときに、先送り管理手段が、バッファの空きを
検索して処理ロットの先送りを指示するので、バッファ
の空きを効率良く検出することが可能となった。Further, when the processing lot is reported to be carried out from the buffer, the forwarding management means searches the buffer for free space and instructs the forwarding of the processing lot, so that the empty space of the buffer can be efficiently detected. Became.
【００７２】また、先送り管理手段が、一定時間ごとに
バッファの空きを検索し、バッファの空きを検出したと
きに処理ロットの先送りを指示するので、バッファの空
きを検出する周期を適宜変更することによって、処理工
程に応じた処理ロットの先送りを実現することが可能と
なった。Further, since the advance delivery management means searches for a free space in the buffer at regular time intervals, and when the free space in the buffer is detected, the advance delivery of the processing lot is instructed. Therefore, the cycle for detecting the free space in the buffer should be appropriately changed. As a result, it has become possible to postpone the processing lot according to the processing process.
【００７３】また、先送り管理手段が、ロットの処理開
始予定時刻および現在時刻に基づく計算式を用いて、処
理ロットの中から最適なロットを抽出して先送りを指示
するので、最適ロットの抽出を的確に行なうことが可能
となった。Further, the advance delivery management means extracts the optimum lot from the processed lots and instructs the advance delivery by using the calculation formula based on the scheduled processing start time of the lot and the current time. It became possible to do it accurately.
【００７４】また、先送り管理手段が、処理ロットがあ
る場所ごとに定義されたバッファへ処理ロットを搬送す
るときの優先順位に応じて、先送りする処理ロットを決
定して先送りを指示するので、処理ロットが次工程を追
い越して搬送されたり、逆方向に搬送されたりすること
を防止でき、工程全体を考慮した処理順序で処理ロット
を先送りすることが可能となった。Further, the advance delivery management means decides the process lot to be advanced and instructs the advance delivery, in accordance with the priority when the process lot is transported to the buffer defined for each place where the process lot is located. It is possible to prevent the lot from being overtaken in the next process or transported in the opposite direction, and it is possible to postpone the processed lot in a processing order considering the entire process.
【００７５】また、先送り管理手段が、バッファに置か
れる可能性がある処理ロットの種別に応じてバッファを
割当て、バッファに空きが発生した部分に対応した種別
の処理ロットの中から、先送りする処理ロットを決定し
て先送りを指示するので、同じ種類のロットだけで仮置
き棚が塞がってしまうといった不具合を防止でき、処理
ロットの搬送時間が長くなることを防止することが可能
となった。Further, the forwarding management means allocates a buffer according to the type of the processing lot that may be placed in the buffer, and forwards the processing lot from the processing lots of the type corresponding to the portion where the buffer has an empty space. Since the lot is determined and the postponement is instructed, it is possible to prevent the problem that the temporary storage shelves are blocked by only the same type of lot, and it is possible to prevent the transport time of the processed lot from becoming long.
【図１】 本発明の実施の形態における工程制御システ
ムの概略構成を示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram showing a schematic configuration of a process control system according to an embodiment of the present invention.
【図２】 本発明の実施の形態におけるホストコンピュ
ータ１の外観例を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing an external appearance example of a host computer 1 according to the embodiment of the present invention.
【図３】 本発明の実施の形態におけるホストコンピュ
ータ１の構成例を示すブロック図である。FIG. 3 is a block diagram showing a configuration example of a host computer 1 according to the embodiment of the present invention.
【図４】 本発明の実施の形態における先送り管理シス
テム１１の処理手順を説明するためのフローチャートで
ある。FIG. 4 is a flowchart for explaining a processing procedure of the advance delivery management system 11 according to the embodiment of the present invention.
【図５】 先送りを行なう最適なロットを決定するため
の評価式を説明するための図である。FIG. 5 is a diagram for explaining an evaluation formula for determining an optimum lot to which the advance delivery is performed.
【図６】 場所別の最適ロットの選択基準を示す図であ
る。FIG. 6 is a diagram showing selection criteria of optimum lots by location.
【図７】 各仮置きバッファに置かれる処理ロットの種
別とその割当てとを説明するための図である。FIG. 7 is a diagram for explaining the types of processing lots placed in each temporary placement buffer and their allocation.
【図８】 従来の工程制御システムの一例を示す図であ
る。FIG. 8 is a diagram showing an example of a conventional process control system.
【図９】 従来の工程制御システムにおけるロットの移
動経路を示す図である。FIG. 9 is a diagram showing a lot movement route in a conventional process control system.
１ ホストコンピュータ、２ セルコンピュータ、１１
先送り管理システム、１２ ロット管理システム、２
１ 装置管理システム、２２ 搬送管理システム、２３
搬送コントローラ、３１ コンピュータ本体、３２
ディスプレイ装置、３３ ＦＤドライブ、３４ ＦＤ、
３５ キーボード、３６ マウス、３７ＣＤ−ＲＯＭ装
置、３８ ＣＤ−ＲＯＭ、３９ ネットワーク通信装
置、４０ＣＰＵ、４１ ＲＯＭ、４２ ＲＡＭ、４３
ハードディスク、５１〜５３仮置きバッファ。1 host computer, 2 cell computer, 11
Postponement management system, 12 lot management system, 2
1 device management system, 22 transport management system, 23
Transport controller, 31 Computer body, 32
Display device, 33 FD drive, 34 FD,
35 keyboard, 36 mouse, 37 CD-ROM device, 38 CD-ROM, 39 network communication device, 40 CPU, 41 ROM, 42 RAM, 43
Hard disk, 51-53 temporary storage buffer.
Claims (10)
ける処理ロットを管理するロット管理装置であって、 処理ロットを一時的に保管するバッファの空きを検索
し、処理ロットの先送りを指示するための先送り管理手
段と、 処理ロットの状況を管理し、前記先送り管理手段による
処理ロットの先送り指示に応じて、当該処理ロットの搬
送を外部へ指示するためのロット管理手段とを含む、ロ
ット管理装置。1. A lot management apparatus for managing a processing lot in a manufacturing line including a plurality of processing steps, for searching a free space of a buffer for temporarily storing the processing lot, and instructing to postpone the processing lot. A lot management apparatus comprising: a advance management means and a lot management means for managing the situation of a processing lot and, in response to an instruction to advance the processing lot from the advance management means, instructing the transportation of the processing lot to the outside.
ら処理ロットの搬出報告があったときに、前記バッファ
の空きを検索して処理ロットの先送りを指示する、請求
項１記載のロット管理装置。2. The lot management apparatus according to claim 1, wherein said advance delivery management means searches for a vacant space in said buffer and gives an instruction to advance delivery of a processing lot when a report of delivery of a processing lot is received from said buffer.
前記バッファの空きを検索し、前記バッファの空きを検
出したときに処理ロットの先送りを指示する、請求項１
記載のロット管理装置。3. The advance delivery management means searches for a vacant space in the buffer at regular time intervals, and when the vacant space in the buffer is detected, gives an instruction to postpone a processing lot.
The described lot management device.
始予定時刻および現在時刻に基づく計算式を用いて、処
理ロットの中から最適なロットを抽出して先送りを指示
する、請求項１〜３のいずれかに記載のロット管理装
置。4. The postponement management means extracts an optimum lot from the processed lots and gives an instruction for deferral, using a calculation formula based on a scheduled processing start time of the lot and the current time. The lot management device described in any one of 1.
る場所ごとに定義された前記バッファへ処理ロットを搬
送するときの優先順位に応じて、先送りする処理ロット
を決定して先送りを指示する、請求項１〜４のいずれか
に記載のロット管理装置。5. The postponement management means determines a processing lot to be postponed according to a priority order when the processing lot is conveyed to the buffer defined for each place where the processing lot is located, and instructs the predelivery. The lot management apparatus according to claim 1.
置かれる可能性がある処理ロットの種別に応じて前記バ
ッファを割当て、前記バッファに空きが発生した部分に
対応した種別の処理ロットの中から、先送りする処理ロ
ットを決定して先送りを指示する、請求項１〜５のいず
れかに記載のロット管理装置。6. The forwarding management means allocates the buffer in accordance with the type of processing lot that may be placed in the buffer, and selects from among the processing lots of the type corresponding to the portion in which the buffer has an empty space. The lot management apparatus according to any one of claims 1 to 5, wherein the processing lot to be postponed is determined and the advance is instructed.
ける処理ロットを管理するロット管理方法であって、 処理ロットを一時的に保管するバッファの空きを検索
し、処理ロットの先送りを指示するステップと、 処理ロットの状況を管理し、前記処理ロットの先送り指
示に応じて、当該処理ロットの搬送を外部へ指示するス
テップとを含む、ロット管理方法。7. A lot management method for managing a processing lot in a manufacturing line consisting of a plurality of processing steps, the method comprising the steps of searching for an empty buffer for temporarily storing the processing lot and instructing the postponing of the processing lot. Managing the status of the processing lot and instructing the transfer of the processing lot to the outside in response to the instruction to postpone the processing lot.
ける処理ロットを管理するロット管理方法をコンピュー
タに実行させるためのコンピュータ・プログラムであっ
て、 前記ロット管理方法は、処理ロットを一時的に保管する
バッファの空きを検索し、処理ロットの先送りを指示す
るステップと、 処理ロットの状況を管理し、前記処理ロットの先送り指
示に応じて、当該処理ロットの搬送を外部へ指示するス
テップとを含む、コンピュータ・プログラム。8. A computer program for causing a computer to execute a lot management method for managing a processing lot in a manufacturing line including a plurality of processing steps, wherein the lot management method temporarily stores the processing lot. A step of searching for an empty buffer and instructing the advancement of the processing lot; and a step of managing the condition of the processing lot and instructing the transfer of the processing lot to the outside in accordance with the advance instruction of the processing lot, Computer program.
ける処理ロットを管理するロット管理方法をコンピュー
タに実行させるためのプログラムを記録したコンピュー
タで読取り可能な記録媒体であって、 前記ロット管理方法は、処理ロットを一時的に保管する
バッファの空きを検索し、処理ロットの先送りを指示す
るステップと、 処理ロットの状況を管理し、前記処理ロットの先送り指
示に応じて、当該処理ロットの搬送を外部へ指示するス
テップとを含む、コンピュータで読取り可能な記録媒
体。9. A computer-readable recording medium in which a program for causing a computer to execute a lot management method for managing a processing lot in a manufacturing line including a plurality of processing steps is recorded. The step of searching the buffer for temporary storage of the processing lot and instructing the processing lot to be postponed, managing the status of the processing lot, and transferring the processing lot externally in response to the instruction to postpone the processing lot. A computer-readable recording medium including the step of directing to.
おける処理ロットを管理するロット管理装置と、複数の
処理工程に配置された装置による処理ロットの処理を管
理する装置管理装置とがネットワークで接続された工程
制御システムであって、 前記ロット管理装置は、処理ロットを一時的に保管する
バッファの空きを検索し、処理ロットの先送りを指示す
るための先送り管理手段と、 処理ロットの状況を管理し、前記先送り管理手段による
処理ロットの先送り指示に応じて、当該処理ロットの搬
送を前記装置管理装置に指示するためのロット管理手段
とを含み、 前記装置管理装置は、前記複数の処理工程に配置された
装置を管理し、前記ロット管理手段からの処理ロットの
搬送指示に応じて、当該処理ロットの搬送を指示する搬
送管理手段と、 前記搬送管理手段による搬送指示に応じて、搬送装置を
制御して処理ロットの搬送を行なうための搬送制御手段
とを含む、工程制御システム。10. A lot management apparatus that manages a processing lot in a manufacturing line including a plurality of processing steps, and an apparatus management apparatus that manages processing of a processing lot by an apparatus arranged in the plurality of processing steps are connected by a network. The process control system described above, wherein the lot management device searches a vacant space of a buffer for temporarily storing the processed lot, and manages the status of the processed lot and a deferment management means for instructing deferral of the processed lot. A lot management unit for instructing the apparatus management apparatus to convey the processing lot in accordance with a forwarding instruction of the processing lot by the forwarding management apparatus, wherein the apparatus management apparatus is arranged in the plurality of processing steps. A transfer management operator who manages the processed device and instructs the transfer of the processing lot in response to the transfer instruction of the processing lot from the lot management means. A process control system including a stage, and a transfer control unit for controlling a transfer device to transfer a processing lot in accordance with a transfer instruction from the transfer management unit.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001291502A JP2003099116A (en) | 2001-09-25 | 2001-09-25 | Lot management device and method, its computer program, recording medium for recording its program, and process control system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001291502A JP2003099116A (en) | 2001-09-25 | 2001-09-25 | Lot management device and method, its computer program, recording medium for recording its program, and process control system |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003099116A true JP2003099116A (en) | 2003-04-04 |
Family
ID=19113637
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001291502A Withdrawn JP2003099116A (en) | 2001-09-25 | 2001-09-25 | Lot management device and method, its computer program, recording medium for recording its program, and process control system |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003099116A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018189851A1 (en) * | 2017-04-13 | 2018-10-18 | 日本電気株式会社 | Transfer operation control device, system, and method, and recording medium |
-
2001
- 2001-09-25 JP JP2001291502A patent/JP2003099116A/en not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018189851A1 (en) * | 2017-04-13 | 2018-10-18 | 日本電気株式会社 | Transfer operation control device, system, and method, and recording medium |
| JPWO2018189851A1 (en) * | 2017-04-13 | 2020-02-20 | 日本電気株式会社 | Transfer operation control device, system, method and program |
| JP6992806B2 (en) | 2017-04-13 | 2022-01-13 | 日本電気株式会社 | Transport work control equipment, methods and programs |
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