JP2003092337A - Ｘｙテーブル駆動機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ＸＹ移動テーブルの小ストロークの高速移動
が可能な小形軽量で安価なＸＹテーブル駆動機構。 【解決手段】 Ｘ方向に揺動するＸ軸レバー３１とＹ方
向に揺動するＹ軸レバー４１で移動テーブル１０をバネ
材５０による引っ張り弾力に抗してＸＹ直交二方向に移
動させる機構で、Ｘ軸レバー３１の先端部に従動ローラ
３４と押圧ローラ３５を同軸に取付け、従動ローラ３４
をＸ軸モータ３６で回転駆動する偏心カム３８で従動回
転させてＸ軸レバー３１にＸ方向に押圧力を付勢し、こ
の押圧力で押圧ローラ３５を非回転状態で移動テーブル
１０の側面に押圧してＸ方向に移動させる。同様のこと
をＹ軸側でも行うようにして、単一の移動テーブル１０
をＸＹ方向に移動させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造設備な
どに使用されるＸＹテーブルをＸ方向とＹ方向の直交二
方向に移動させるＸＹテーブル駆動機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】図１０に一般的なＸＹテーブル駆動機構
を示すと、これは略水平なＹ方向に往復移動するＹテー
ブル８０と、Ｙ方向と直交する略水平なＸ方向に往復移
動するＸテーブル９０とを上下二段に組み合わせた構造
である。Ｙテーブル８０は水平な基台７０上にＹ方向の
直線ガイド系の例えばＬＭガイド（リニアモーションガ
イド）７１を介して支持され、Ｘテーブル９０はＹテー
ブル８０上にＸ方向のＬＭガイド８１を介して支持され
る。Ｙテーブル８０はＹ軸モータ８２とＹ軸ボールネジ
８４でＹ方向に往復駆動制御され、Ｘテーブル９０はＸ
軸モータ９２とＸ軸ボールネジ９４でＸ方向に往復駆動
制御される。

【０００３】Ｙテーブル８０の側方にＹ軸ボールネジ８
４がＹ方向に延びて、その先端部がカップリング８３を
介してＹ軸モータ８２の回転駆動軸に連結される。Ｘテ
ーブル９０の側方にＸ軸ボールネジ９４がＸ方向に延び
て、その先端部がカップリング９３を介してＸ軸モータ
９２の回転駆動軸に連結される。Ｙ軸モータ８２がＹ軸
ボールネジ８４を正逆回転させてＹテーブル８０をＹ方
向に往復移動させ、Ｘ軸モータ９２がＸ軸ボールネジ９
４を正逆回転させてＸテーブル９０をＸ方向に往復移動
させる。Ｙ軸ボールネジ８４の回転角でＹテーブル８０
のＹ方向の移動ストロークが決まり、Ｘ軸ボールネジ９
４の回転角でＸテーブル９０のＸ方向の移動ストローク
が決まる。Ｙ方向に往復移動するＹテーブル８０上でＸ
テーブル９０をＸ方向に往復移動させることで、Ｘテー
ブル９０がＸＹ直交二方向に移動して、Ｘテーブル９０
上で半導体製造等の各種作業が行われる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】図１０に示すようなＸ
Ｙテーブル駆動機構は、テーブルのＸ方向とＹ方向の移
動ストロークがボールネジの回転角制御でもって高精度
で制御でき、また、ボールネジの全長を長くすることで
テーブル（Ｘテーブル）のＸ方向とＹ方向の最大移動ス
トロークを大きく設定することができる。しかし、ボー
ルネジが高価であるためにＸＹテーブル駆動機構が割高
となる問題や、ボールネジの一回転でテーブルが小ピッ
チしか移動しないことからテーブルを高速移動させるこ
とが難しい問題があった。

【０００５】また、テーブルをＸテーブルとＹテーブル
に分けて、ＸテーブルとＹテーブルの各々をＬＭガイド
で支持する構造は、部品点数が多くなって軽量化が難し
い。さらに、テーブルの側方にボールネジとモータを直
列状に配置するため、ＸＹテーブル駆動機構全体が大形
化して設置スペースに大きなものを必要とする。そのた
め、例えば半導体製造設備である円形ターンテーブルの
周辺部に複数のＸＹテーブル駆動機構を設置するような
場合、１つのＸＹテーブル駆動機構の小形化と軽量化が
難しいことから円形ターンテーブルが大径化して、半導
体製造設備の設備投資費が高くなる問題があった。

【０００６】本発明の目的とするところは、小形で安価
であり、ＸＹテーブルを小ストロークで高速移動させる
ことが容易なＸＹテーブル駆動機構を提供することにあ
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため、移動テーブルを直交するＸ方向及びＹ方向に
往復移動可能に支持するテーブルガイドと、このテーブ
ルガイドの側方定位置にＸ方向に往復揺動可能に設置さ
れて、移動テーブル側への揺動時に移動テーブルをＸ方
向に押圧して移動させるＸ軸レバー及びこのＸ軸レバー
を揺動させるＸ軸モータを有するX軸駆動ユニットと、
前記テーブルガイドの側方定位置にＹ方向に往復揺動可
能に設置されて、移動テーブル側への揺動時に移動テー
ブルをＹ方向に押圧して移動させるＹ軸レバー及びこの
Ｙ軸レバーを揺動させるＹ軸モータを有するＹ軸駆動ユ
ニットと、移動テーブルにこの移動テーブルをＸ軸レバ
ー及びＹ軸レバーの双方側に押し付ける方向で弾力を常
時付勢するバネ材とを具備したことを特徴とする。

【０００８】この発明の移動テーブルはＸＹ直交二方向
に移動する単一のテーブルで、テーブルガイドにＸＹ直
交二方向に自由移動可能に支持される。移動テーブルが
移動するＸ方向とＹ方向は共に水平方向の場合や、Ｘ方
向かＹ方向のいずれかが水平方向で他が鉛直方向の場合
と、様々な方向が可能である。移動テーブルは例えば略
矩形の平板で、その直交するＸ方向の側面とＹ方向の側
面の二側面が回転揺動式のＸ軸レバーとＹ軸レバーの揺
動する先端部で押圧されて、移動テーブルがＸＹ直交二
方向に移動する。テーブルガイドは既存のクロスローラ
ガイドやＬＭガイド等が適用されるが、回転揺動式レバ
ーで押圧されて移動する単一の移動テーブルのテーブル
ガイドとしては構造簡単で安価なクロスローラガイドが
機能的、コスト的に適格である（請求項２の発明）。し
かし、ＬＭガイドを用いることも機構的には可能であ
る。

【０００９】移動テーブルには、バネ材によって移動テ
ーブルをＸ軸レバーとＹ軸レバーの双方側に押し付ける
方向で弾力が常時付勢され、この弾力の付勢で移動テー
ブルと各レバーの接触状態が常に安定に維持される。移
動テーブルに付勢されるバネ材による弾力は、Ｘ軸レバ
ー及びＹ軸レバーが移動テーブルと反対側に揺動すると
きに移動テーブルをレバー側の動きに追従移動させる作
用をし、この作用で移動テーブルと各レバー間の接触状
態が安定に維持される。バネ材は移動テーブルにＸ方向
とＹ方向の夫々に単独に弾力を付勢する複数個を使用し
てもよいが、Ｘ方向とＹ方向の夫々に例えば約４５°の
角度を成す一定方向で移動テーブルに弾力を付勢する単
数個を使用すればよい。このようなバネ材は、小形で安
価なコイルスプリングが適格である。

【００１０】また、移動テーブルにＸ方向とＹ方向に押
圧力を付勢する回転揺動式のＸ軸レバーとＹ軸レバー
は、テーブルガイドの側方で移動テーブルの周縁部近く
の定位置に移動テーブル周縁部と平行にして配置すれば
よい。この各レバーを揺動させるＸ軸モータとＹ軸モー
タは、その軸方向が移動テーブルと垂直になる方向で配
置すればよい。このように移動テーブルに対して各レバ
ーと各モータを配置することで、ＸＹテーブル駆動機構
の全体が設置スペースの小さい小形で軽量な機構とな
る。Ｘ軸モータでＸ軸レバーを直接に揺動させて移動テ
ーブルをＸ方向に直接に移動させ、同時にＹ軸モータで
Ｙ軸レバーを直接に揺動させて移動テーブルをＹ方向に
直接に移動させることで、移動テーブルのＸＹ直交二方
向の高速移動が可能となる。Ｘ軸レバーとＹ軸レバーの
両レバーによる移動テーブルの押圧は、両レバーの一部
を移動テーブルに直接に当接させて行うことも可能であ
るが、両レバーに回転自在に取り付けたローラを介して
行うことが望ましい。また、Ｘ軸モータでＸ軸レバーを
直接に回転揺動させ、Ｙ軸モータでＹ軸レバーを直接に
回転揺動させることも可能であるが、移動テーブルのＸ
Ｙ直交二方向の移動の精度を上げるため、Ｘ軸モータと
Ｘ軸レバーの間とＹ軸モータとＹ軸レバーの間に、高精
度な中間動力伝達手段である偏心カム（次の請求項３の
発明）をローラ等と組み合わせて配備することが望まし
い。

【００１１】請求項３の発明は、Ｘ軸駆動ユニットのＸ
軸レバーとＸ軸モータの間に、Ｘ軸モータの回転力をＸ
軸レバー側に伝達してＸ軸レバーを移動テーブル側に移
動させるＸ軸用偏心カムを配設し、Ｙ軸駆動ユニットの
Ｙ軸レバーとＹ軸モータの間に、Ｙ軸モータの回転力を
Ｙ軸レバー側に伝達してＹ軸レバーを移動テーブル側に
移動させるＹ軸用偏心カムを配設したことを特徴とす
る。

【００１２】この発明におけるＸ軸駆動ユニット側の偏
心カムは、Ｘ軸モータで回転駆動制御されて偏心カム外
周の偏心カム面でＸ軸レバーを押圧してＸ方向に揺動さ
せる。この場合、偏心カムの３６０°以下の回転角によ
って決められる移動ストロークでＸ軸レバーがＸ方向に
揺動して移動テーブルを移動させる。この移動ストロー
クの最大値は、偏心カム外周の偏心カム面の最大と最小
の半径差で決まる数ｍｍ程度の小さなストロークが適切
である。このような偏心カムによる移動テーブルのＸ方
向移動は、Ｙ軸駆動ユニット側においても同様に行われ
る。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、図１乃至図９を参照して実
施の形態を説明する。

【００１４】図１はＸＹテーブル駆動機構１の要部の概
要を示す斜め下方からの斜視図であり、図２はＸＹテー
ブル駆動機構１の基本配置例を示す平面図である。同図
に示される移動テーブル１０は略水平な矩形の平板で、
略水平なＸ方向に平行なＸ側面１０ａと、Ｘ方向と直交
する略水平なＹ方向に平行なＹ側面１０ｂを有する。移
動テーブル１０の下面１０ｃ側がテーブルガイド２０に
ＸＹ直交二方向に移動可能に支持される。

【００１５】テーブルガイド２０は、図３及び図４の側
面図で示すような水平な基台６０上に設置された直線ガ
イド系のクロスローラガイドで、以下、必要に応じてテ
ーブルガイド２０をクロスローラガイド２０と称する。
このクロスローラガイド２０は、図１０のＬＭガイドよ
り構造簡単で安価であることから、単一の移動テーブル
１０を支持するものとして適格であり、ＸＹテーブル駆
動機構１を構造簡単で小形、軽量、安価なものにする。
基台６０は半導体製造設備の円形ターンテーブルや工作
機械類の定盤等であり、これの具体例は後述する図８と
図９の半導体製造設備に示される。

【００１６】テーブルガイド２０の側方の定位置にＸ軸
駆動ユニット３０とＹ軸駆動ユニット４０の一対とバネ
材５０が設置される。Ｘ軸駆動ユニット３０は移動テー
ブル１０のＸ側面１０ａの下方に設置され、Ｙ軸駆動ユ
ニット40は移動テーブル１０のＹ側面１０ｂの下方に設
置され、この両ユニット３０，４０の間に単一のバネ材
５０が設置される。

【００１７】Ｘ軸駆動ユニット３０は移動テーブル１０
のＸ側面１０ａを押圧して移動テーブル１０をＸ方向に
移動させ、Ｙ軸駆動ユニット４０は移動テーブル１０の
Ｙ側面１０ｂを押圧して移動テーブル１０をＹ方向に移
動させる。移動テーブル１０のＸ側面１０ａとＹ側面１
０ｂの間の隅部に、矩形の移動テーブル１０の対角線方
向にバネ材５０による引っ張り弾力が常時付勢される。
バネ材５０はコイルスプリングで、図５に示すように両
端が移動テーブル１０の隅部下面に突設したピン５１と
基台６０上に突設したピン５２に係止されて、移動テー
ブル１０をＸ側面１０ａとＹ側面１０ｂの両方と４５°
を成す対角線方向に引っ張って、Ｘ側面１０ａとＹ側面
１０ｂがＸ軸駆動ユニット３０側の後述する押圧ローラ
３５とＹ駆動ユニット４０側の後述する押圧ローラ４５
に常時接触するようにしてある。

【００１８】Ｘ軸駆動ユニット３０は、移動テーブル１
０のＸ側面１０ａと平行でＸ方向に往復回転揺動可能な
Ｘ軸レバー３１と、Ｘ軸レバー３１を揺動させるＸ軸モ
ータ３６を有する。Ｘ軸レバー３１はＹ方向に長い帯板
で、これの基端部が図6に示すように基台６０上に突設
した支軸３２に連結される。Ｘレバー３１は基台６０と
平行で、支軸３２を支点にしてレバー先端部側がＸ方向
に往復回転揺動する。Ｘ軸レバー３１の先端部上には１
本のローラ軸３３が突設され、ローラ軸３３に上下２段
に押圧ローラ３５と従動ローラ３４が回転自在に連結さ
れる。上段の押圧ローラ３５が移動テーブル１０のＸ側
面１０ａに常時接触してＸ方向に押圧する。

【００１９】なお、移動テーブル１０のＸ側面１０ａ
は、例えば移動テーブル１０の下面１０ｃに突設した当
て板１１の外面である。このＸ側面１０ａは、移動テー
ブル１０に対角線方向に連結されたバネ材５０の弾力で
押圧ローラ３５に常時押し付けられた状態にある。

【００２０】Ｘ軸駆動ユニット３０のＸ軸モータ３６
は、図３に示すように基台６０の下面に固定されて、基
台６０上に回転駆動軸３６ａを突出させる。回転駆動軸
３６ａに回転角検出カム３７とＸ軸用偏心カム３８が固
定され、偏心カム３８の外周の偏心カム面がＸ軸レバー
３１の従動ローラ３４に押圧される。偏心カム３８と従
動ローラ３４の相互の押圧状態は、バネ材５０の弾力で
もって常時安定に維持される。回転角検出カム３７は、
例えば図７に示すような半円形カムで、半円の外周面３
７ａに向けてセンサー５３が設置される。センサー５３
は基台６０上の定位置に取付ブロック５５で支持され
て、後述するように偏心カム３８の回転角を検出する。

【００２１】Ｙ軸駆動ユニット４０はＸ軸駆動ユニット
３０と同様な構成部品をＹ方向に配置した構造で、移動
テーブル１０のＹ側面１０ｂと平行でＹ方向に往復回転
揺動可能なＹ軸レバー４１と、Ｙ軸レバー４１を揺動さ
せるＹ軸モータ４６を有する。Ｙ軸レバー４１はＸ方向
に長い帯板で、基端部が支軸４２で基台６０上に連結さ
れ、支軸４２を支点にして先端部側がＹ方向に往復回転
揺動する。図４に示すようにＹ軸レバー４１の先端部上
に突設されたローラ軸４３に上下２段に押圧ローラ４５
と従動ローラ４４が回転自在に連結され、上段の押圧ロ
ーラ４５が移動テーブル１０の下面に突設した当て板１
２の外面であるＹ側面１０ｂに接触して押圧する。この
Ｙ側面１０ｂはバネ材５０の弾力で押圧ローラ４５に常
時押し付けられる。

【００２２】Ｙ軸モータ４６は基台６０の下面に固定さ
れて、基台６０上に突設した回転駆動軸４６ａに回転角
検出カム４７とＹ軸用偏心カム４８が固定され、偏心カ
ム４８の外周の偏心カム面がＹ軸レバー４１の従動ロー
ラ４４に押圧される。この押圧状態も、バネ材５０の弾
力でもって常時安定に維持される。回転角検出カム４７
は半円形カムで、半円の外周面４７ａに向けてセンサー
５４が設置され、センサー５４は基台６０上に取付ブロ
ック５６で固定される。

【００２３】ＸＹテーブル駆動機構１が図2の静止状態
にあるとき、1本のバネ材５０が移動テーブル１０を対
角線方向に引っ張ってＸ側面１０ａとＹ側面１０ｂを対
応する押圧ローラ３５、４５に押し付け、各押圧ローラ
３５、４５が対応する偏心カム３８、４８に押し付けら
れて、全体が安定した静止状態に維持される。この静止
状態で例えばＸ軸駆動ユニット３０のＸ軸モータ３６で
偏心カム３８を所望方向に所望の回転角で回転させる
と、偏心カム３８の回転に従動ローラ３４が従動回転し
てＸ軸レバー３１の先端部を移動テーブル１０側のＸ方
向（以下、この方向を必要に応じてプラスＸ方向と称す
る）、又は、移動テーブル１０と反対側のＸ方向（以
下、この方向を必要に応じてマイナスＸ方向と称する）
に回転揺動させる。このＸ軸レバー３１先端部の揺動ス
トロークは、偏心カム３８の回転角で決まる。

【００２４】例えば偏心カム３８はその偏心カム面の1
８0°反対の二箇所が最大半径個所と最小半径個所で、
その最大半径と最小半径の差が１ｍｍであるとすると、
偏心カム面の最小半径の1箇所に従動ローラ３４が当接
した状態で偏心カム３８を定方向に1８0°回転させると
偏心カム面の最大半径の個所まで従動ローラ３４が従動
回転して１ｍｍだけプラスＸ方向に移動し、この移動で
Ｘ軸レバー３１の先端部がプラスＸ方向に１ｍｍだけ揺
動して、Ｘ軸レバー３１の先端部の押圧ローラ３５が移
動テーブル１０のＸ側面１０ａをバネ材５０の弾力に抗
して押し出してプラスＸ方向に１ｍｍだけ移動させる。
このときの偏心カム３８の回転角が１８０°未満である
と移動テーブル１０のプラスＸ方向の移動量は１ｍｍ未
満となる。また、偏心カム面の最小半径の1箇所に従動
ローラ３４が当接した状態から偏心カム３８が１８０°
を超えて回転すると、１８０°を超えた時点から移動テ
ーブル１０はバネ材５０の弾力で引っ張られてマイナス
Ｘ方向に移動し、偏心カム３８が３６０°回転した時点
で元の位置に戻る。

【００２５】上記のような偏心カム３８の１８０°毎の
回転が、偏心カム３８と同軸に回転する半円形の回転角
検出カム３７と、回転角検出カム３７の半円形の外周面
３７ａの定方向に設置したセンサー５３で検知される。
図７の回転角検出カム３７は半円形の外周面３７ａの中
央にセンサー５３が対向し、この状態で偏心カム３８と
回転角検出カム３７が正逆方向に９０°回転すると、半
円形のカム面３７ａの端の凹段部３７ｂにセンサー５３
が位置してセンサー５３に検出される面が急減すること
で、センサー５３が回転角検出カム３７の1８0°毎の回
転を検知する。

【００２６】また、Ｘ軸レバー３１はその基端部の支軸
３２を支点に先端部がＸ方向に往復回転揺動するため、
このＸ軸レバー３１の先端部の押圧ローラ３５が支軸３
２を中心点とした円弧で略Ｘ方向に揺動して移動テーブ
ル１０のプラスＸ方向及びマイナスＸ方向の移動量に若
干の誤差成分を発生させ、Ｘ方向移動の精度を低下させ
ることになる。しかし、Ｘ方向移動ストロークの最大値
が１ｍｍ程度と極小ストロークのＸＹテーブル駆動機構
１においては、上記誤差成分による精度低下はほとんど
問題とならない。このようなＸＹテーブル駆動機構１
は、あまり高精度が要求されないＸＹテーブルの駆動機
構や、ＸＹ直交二方向の最大移動ストロークが数ｍｍ内
の小ストロークのＸＹテーブルの駆動機構として適格で
ある。

【００２７】また、Ｘ軸モータ３６でＸ軸レバー３１を
直接的に回転揺動させるようにしてもよいが、Ｘ軸レバ
ー３１をより高精度に回転揺動させるために偏心カム３
８で間接的に回転揺動させることが有効である。また、
Ｘ軸モータ３６で回転駆動制御される偏心カム３８の外
周をＸ軸レバー３１の先端部側面に摩擦回転させてＸ軸
レバー３１を直接に揺動させることも可能であるが、こ
の場合は摩擦回転部分で摩耗や発塵の不具合が発生する
ことがあるので、回転する偏心カム３８と非摩擦接触し
て従動回転する従動ローラ３４を介してＸ軸レバー３１
を揺動させることが望ましい。さらに、従動ローラ３４
で移動テーブル１０を直接に押圧して移動させることも
可能であるが、この場合も摩擦回転部分が生じることか
ら、従動ローラ３４と同軸の押圧ローラ３５で移動テー
ブル１０を押圧して移動させることが望ましい。つま
り、Ｘ軸レバー３１の揺動で押圧ローラ３５を移動テー
ブル１０のＸ側面１０ａに押圧したとき、押圧ローラ３
５は非回転状態でＸ側面１０ａに当接して押圧するの
で、両者間に摩擦が生じず常に円滑なテーブル移動が実
行される。

【００２８】図2の静止状態でＹ軸駆動ユニット４０の
Ｙ軸モータ４６で偏心カム４８を所望方向に所望の回転
角で回転させると、偏心カム４８の回転に従動ローラ４
４が従動回転してＹ軸レバー４１の先端部を移動テーブ
ル１０側のＹ方向（プラスＸ方向）、又は、移動テーブ
ル１０と反対側のＹ方向（マイナスＸ方向）に回転揺動
させる。このＹ軸駆動ユニット４０による移動テーブル
のプラスＹ方向の移動とマイナスＹ方向の移動の要領は
Ｘ軸駆動ユニット３０と同様で、その詳細説明は省略す
る。

【００２９】略矩形の移動テーブル１０に対してＸ軸レ
バー３１を平行に配置し、Ｘ軸モータ３６をその軸方向
を鉛直にして縦置きに配置することで、Ｘ軸駆動ユニッ
ト３０が小形コンパクトで設置スペースの小さなものと
なり、Ｘ軸レバー３１や偏心カム３８等に軽量で安価な
既存品が適用できる。同様にＹ軸駆動ユニット４０も小
形コンパクトとなって、１台のＸＹテーブル駆動機構１
を設置スペースの小さな小形、軽量で安価な構造とする
ことができる。

【００３０】このような小形コンパクトなＸＹテーブル
駆動機構１は、例えば図８及び図９に示す半導体製造設
備に使用される。図９は連続する水平な３つの円形ター
ンテーブル６１，６２，６３が示され、この各ターンテ
ーブル６１、６２，６３は周縁部の等間隔の複数箇所に
作業ヘッドＡ、Ｂ、Ｃを有する。最上流側のターンテー
ブル６１の作業ヘッドＡから次の中間のターンテーブル
６２の作業ヘッドＢに半導体部品が受け渡され、さらに
作業ヘッドＢから最下流側のターンテーブル６３の作業
ヘッドＣに受け渡される。最上流側と最下流側のターン
テーブル６１、６３の作業ヘッドＡ，Ｃには１個の半導
体部品が供給され、中間のターンテーブル６２の作業ヘ
ッドＢには一対のＸＹテーブル駆動機構１，１が設置さ
れる。最上流のターンテーブル６１が間欠回転して隣接
する２つの作業ヘッドＡから中間のターンテーブル６２
の１つの作業ヘッドＢに計２個の半導体部品が受け渡さ
れる。作業ヘッドＢには図８に示すように一対のＸＹテ
ーブル駆動機構１，１の移動テーブル１０，１０が接近
させて配置されて、この一対の移動テーブル１０，１０
に１個ずつ半導体部品が供給される。中間のターンテー
ブル６２は間欠回転しながら半導体部品の特性検査等を
するテーブルで、特性検査等が済んだ半導体部品は最下
流側のターンテーブル６３の作業ヘッドＣに１個ずつ受
け渡される。

【００３１】図８に示すように中間のターンテーブル６
２の１つの作業ヘッドＢに一対のＸＹテーブル駆動機構
１，１を設置する場合、一対の矩形の移動テーブル１
０，１０を十分に接近させて平行に配置し、一対のＸ軸
モータ３６，３６を十分に接近させて並列に配置すると
共に、一対のＹ軸モータ４６，４６はターンテーブル６
２の外周の円弧に沿うように配置する。つまり、Ｙ軸モ
ータ４６の外形が略矩形の場合、この矩形外形の側面が
ターンテーブル６２の半径方向と平行となるようにＹ軸
モータ４６をターンテーブル６２に配置して、隣接する
２つの作業ヘッドＢ，Ｂで互いに隣接する２つのＹ軸モ
ータ４６，４６が十分に接近できるようにする。このよ
うにすることで１つの作業ヘッドＢに一対のＸＹテーブ
ル駆動機構１，１が高密度配置でき、隣接する作業ヘッ
ドＢ，Ｂの配列ピッチが十分に小さく設定できて、ター
ンテーブル６２の大径化や重量化が防止できる。

【００３２】なお、作業ヘッドＢで行われる半導体部品
の特性検査は、半導体部品の外観をカメラで撮像して位
置ズレ量を検査する工程、半導体部品の位置ズレを修正
して半導体部品の電極に一対のプローブをケルビンコン
タクトさせて抵抗測定する工程等であり、この特性検査
において半導体部品の位置ズレ修正に本発明のＸＹテー
ブル駆動機構が使用される。このような半導体部品の位
置ズレ修正は、１ｍｍ程度の小ストロークのテーブル移
動による修正であり、テーブルの高速移動が要求される
修正であることから、本発明のＸＹテーブル駆動機構の
適用が有効である。

【００３３】

【発明の効果】本発明によれば、テーブルガイドにＸＹ
直交二方向に移動可能に支持された移動テーブルをＸ方
向に往復揺動するＸ軸レバーと、Ｙ方向に往復揺動する
Ｙ軸レバーの揺動で直接に移動させることで、移動テー
ブルの移動速度の高速化が可能となり、また、Ｘ軸レバ
ーとＹ軸レバーの各々を揺動させるモータの軸方向を移
動テーブルの移動方向と直交させることでＸＹテーブル
駆動機構全体を設置スペースの小さな小形機構にするこ
とが容易となって、小形コンパクトで軽量、安価で高速
駆動が可能なＸＹテーブル駆動機構が提供できる。

【００３４】また、テーブルガイドにクロスローラガイ
ドを使用することで、ＸＹテーブル駆動機構の尚一層の
構造簡略化、低コスト化が図れる。

【００３５】また、Ｘ軸駆動ユニットのＸ軸モータの回
転力をＸ軸側の偏心カムを介してＸ軸レバー側に伝達し
てＸ軸レバーを移動テーブル側に揺動させ、Ｙ軸駆動ユ
ニットのＹ軸モータの回転力をＹ軸側の偏心カムを介し
てＹ軸レバー側に伝達してＹ軸レバーを移動テーブル側
に揺動させるようにすることで、Ｘ軸とＹ軸の各レバー
の揺動ストロークをより高精度に制御することが容易と
なる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態を示すＸＹテーブル駆動機
構の要部の斜視図である。

【図２】図１のＸＹテーブル駆動機構の平面図である。

【図３】図２のＸＹテーブル駆動機構の正面図である。

【図４】図２のＸＹテーブル駆動機構の右側面図であ
る。

【図５】図２のＸＹテーブル駆動機構におけるバネ材の
側面図である。

【図６】図２のＸＹテーブル駆動機構におけるＸ軸レバ
ーの部分断面を含む側面図である。

【図７】図２のＸＹテーブル駆動機構の概念的な平面図
である。

【図８】複数のＸＹテーブル駆動機構を装備したターン
テーブルの部分平面図である。

【図９】図８のターンテーブルを装備した半導体製造設
備の概要を示す平面図である。

【図１０】従来のＸＹテーブル駆動機構の斜視図であ
る。

【符号の説明】

１ ＸＹテーブル駆動機構 １０ 移動テーブル １０ａ Ｘ側面 １０ｂ Ｙ側面 ２０ テーブルガイド（クロスローラガイド） ３０ Ｘ軸駆動ユニット ３１ Ｘ軸レバー ３４ 従動ローラ ３５ 押圧ローラ ３６ Ｘ軸モータ ３７ 回転角検出カム ３８ 偏心カム ４０ Ｙ軸駆動ユニット ４１ Ｙ軸レバー ４４ 従動ローラ ４５ 押圧ローラ ４６ Ｙ軸モータ ４７ 回転角検出カム ４８ 偏心カム ５０ バネ材 ５３，５４ センサー ６０ 基台（ターンテーブル） ６２ ターンテーブル

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 移動テーブルを直交するＸ方向及びＹ方
   向に往復移動可能に支持するテーブルガイドと、このテ
   ーブルガイドの側方定位置にＸ方向に往復揺動可能に設
   置され、移動テーブル側への揺動時に移動テーブルをＸ
   方向に押圧して移動させるＸ軸レバー及びこのＸ軸レバ
   ーを揺動させるＸ軸モータを有するX軸駆動ユニット
   と、前記テーブルガイドの側方定位置にＹ方向に往復揺
   動可能に設置され、移動テーブル側への揺動時に移動テ
   ーブルをＹ方向に押圧して移動させるＹ軸レバー及びこ
   のＹ軸レバーを揺動させるＹ軸モータを有するＹ軸駆動
   ユニットと、移動テーブルにこの移動テーブルをＸ軸レ
   バー及びＹ軸レバーの双方側に押し付ける方向で弾力を
   常時付勢するバネ材とを具備したことを特徴とするＸY
   テーブル駆動機構。
2. 【請求項２】 テーブルガイドがクロスローラガイドで
   ある請求項１記載のＸＹテーブル駆動機構。
3. 【請求項３】 Ｘ軸駆動ユニットのＸ軸レバーとＸ軸モ
   ータの間に、Ｘ軸モータの回転力をＸ軸レバー側に伝達
   してＸ軸レバーを移動テーブル側に揺動させるＸ軸用偏
   心カムを配設し、Ｙ軸駆動ユニットのＹ軸レバーとＹ軸
   モータの間に、Ｙ軸モータの回転力をＹ軸レバー側に伝
   達してＹ軸レバーを移動テーブル側に揺動させるＹ軸用
   偏心カムを配設した請求項1又は２記載のＸＹテーブル
   駆動機構。