JP2003090855A

JP2003090855A - 電極検査装置及び電極検査方法

Info

Publication number: JP2003090855A
Application number: JP2001282273A
Authority: JP
Inventors: Atsushi Sadamoto; 敦史貞本; Hitoshi Hattori; 仁志服部; Akira Tomita; 明富田
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 2001-09-17
Filing date: 2001-09-17
Publication date: 2003-03-28

Abstract

(57)【要約】【課題】基板上に配置された複数の電極からなる電極群
の機能を検査を非接触で、かつ、短時間で行うことがで
きる電極検査装置を提供すること。【解決手段】所定方向と交差する方向に延設された検査
用電極１０４と、検査用電極１０４を線状電極２０２，
２０３に対し所定の間隔を維持した状態で、走査させる
駆動ステージ２２と、検査用電極１０４と線状電極２０
２，２０３との間に生ずる電気的特性の変化に基づいて
線状電極２０２，２０３の機能を判定する測定器３１と
を備えていることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、静電アクチュエー
タを構成する電極基板等のように平板上に設けられた微
細な電極群の機能の検査を行う電極検査装置及び電極検
査方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】マイクロマシンや小型カメラ等に用いら
れる微小なアクチュエータとして、静電気力を駆動力と
する静電アクチュエータが知られている。静電アクチュ
エータの固定子は例えば図１２の（ａ），（ｂ）に示す
ような電極基板２００を備えている。

【０００３】電極基板２００は、ガラス基板２０１上に
導電性薄膜である複数の線状電極２０２，２０３が同一
平面上に交互に、かつ、所定方向に沿って並行に配置さ
れており、電極群が形成されている。線状電極２０２，
２０３はそれぞれ通電用配線２０４，２０５により互い
に接続されており、いわゆる２相配線となっている。各
相の電位は定常的には同一である。通電用配線２０４，
２０５の一端側には通電用パッド２０６，２０７が設け
られており、固定子として組み立てられる際に、この通
電用パッド２０６，２０７に配線が接続される。また、
線状電極２０２，２０３の上には誘電体被膜２０８が施
されており、外部からの物体との電気的絶縁を確保して
いる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上述した電極群を有す
る電極基板においては次のような問題があった。すなわ
ち、電極基板２００において大きな駆動力を得るために
は、線状電極２０２，２０３の集積度が高める必要があ
る。一方、製品としての静電アクチュエータの製造歩留
まりを確保するためには、線状電極２０２，２０３が所
望の機能を発揮しているか否かの検査が必要となる。こ
のとき、誘電体被膜２０８が施されているため、例えば
テスターを用いて線状電極２０２，２０３への通電を直
接確認することはできない。

【０００５】また、通電用パッド２０６，２０７を介し
て相間の絶縁状態や静電容量を測定することはできる
が、線状電極２０２，２０３のそれぞれの良否までは検
査できない。

【０００６】さらに、微小な電気素子を検査する方法と
して、液晶表示装置のＴＦＴ基板の検査方法が知られて
いる。この検査方法では、検査用電極を検査対象である
一つの画素に接近させ、インピーダンス等の電気的特性
から画素の正常・異常を判定するようにしている。しか
しながら、この方法では、全ての線状電極２０２，２０
３に同様の検査を行うため、非常に多くの時間が必要と
なり、作業効率が低かった。

【０００７】そこで本発明は、基板上に所定方向に沿っ
て配置された複数の電極からなる電極群の機能を検査を
非接触で、かつ、短時間で行うことができる電極検査装
置及び電極検査方法を提供することを目的としている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決し目的を
達成するために、本発明の電極検査装置及び電極検査方
法は次のように構成されている。

【０００９】（１）所定方向に沿って配置された複数の
線状電極からなる電極群の機能を検査する電極検査装置
において、上記所定方向と交差する方向に延設された検
査用電極と、この検査用電極を上記電極群に対し所定の
間隔を維持した状態で、上記所定方向に沿って走査させ
る検査用電極走査部と、上記検査用電極と上記線状電極
との間に生ずる電気的特性の変化に基づいて上記電極群
の機能を判定する測定部とを備えていることを特徴とす
る。

【００１０】（２）上記（１）に記載された電極検査装
置であって、上記電気的特性は、上記検査用電極と上記
線状電極との間の静電容量に基づくものであることを特
徴とする。

【００１１】（３）上記（１）に記載された電極検査装
置であって、上記検査用電極は、一対の絶縁性部材間に
架設された導電性線であることを特徴とする。

【００１２】（４）上記（１）に記載された電極検査装
置であって、上記検査用電極は、絶縁性平板の表面に形
成された薄膜状電極であることを特徴とする。

【００１３】（５）上記（１）に記載された電極検査装
置であって、上記検査用電極は、導電性の板状部材の一
端の稜部であることを特徴とする。

【００１４】（６）所定方向に沿って配置された複数の
線状電極からなる電極群の機能を検査する電極検査装置
において、電荷蓄積可能な薄膜状の弾性体と、この弾性
体を上記電極群に対し所定の間隔を維持した状態で、上
記所定方向に沿って走査させる弾性体走査部と、上記弾
性体の変位に基づいて上記電極群の機能を判定する測定
部とを備えていることを特徴とする。

【００１５】（７）所定方向に沿って配置された複数の
線状電極からなる電極群の機能を検査する電極検査方法
において、上記所定方向と交差する方向に延設された電
極を有する検査用電極を上記電極群に対し所定の間隔を
維持した状態で上記所定方向に沿って走査させる検査用
電極走査工程と、上記検査用電極と上記線状電極との間
に生ずる電気的特性の変化に基づいて上記電極群の機能
を判定する測定工程とを備えていることを特徴とする。

【００１６】

【発明の実施の形態】図１の（ａ），（ｂ）は本発明の
第１の実施の形態に係る電極検査装置１０の構成を模式
的に示す図、図２は電極検査装置１０に組み込まれた検
査用電極部１００を下面側から見た斜視図、図３は検査
シーケンスを示すフローチャート、図４は初期設定にお
ける検査用電極部１００及び電極基板２００の位置決め
の方法を示す説明図である。なお、図中矢印ＸＹＺは互
いに直交する三方向を示しており、矢印αβγは矢印Ｘ
ＹＺの軸回り方向を示している。

【００１７】電極検査装置１０は、検査部２０と測定部
３０を備えている。検査部２０は、検査対象となる電極
基板２００を保持する試料ホルダＨを取り付けるための
固定ステージ２１と、後述する検査用電極部１００を支
持するとともに図１中矢印Ｘ方向に沿って往復動させる
駆動ステージ２２とを備えている。固定ステージ２１に
は試料ホルダＨの位置や姿勢・向きを位置決めするため
の位置調整手段（不図示）が設けられており、初期設定
時に調整を行う。

【００１８】測定部３０は、電極基板２００の電気的特
性を計測し、線状電極２０２，２０３の機能を判断する
ための測定器３１と、測定を自動的に行うためのコント
ローラ３２と、駆動ステージ２２を駆動制御するための
ステージ駆動用ドライバ３３と、測定器３１に接続され
る測定プローブ３４〜３６とを備えている。さらに、測
定器３１とコントローラ３２とは信号線３７ａ，３７ｂ
により接続され、コントローラ３２とステージ駆動用ド
ライバ３３とは信号線３８ａ，３８ｂにより接続されて
いる。

【００１９】測定器３１は、検査用電極部１００と線状
電極２０２，２０３の間の電気的特性、例えば静電容量
を測定するためのＬＣＲメータを有している。測定プロ
ーブ３４は、測定器３１の端子３１ａと通電用パッド２
０６とを導通させるものである。また、測定プローブ３
５は、測定器３１の端子３１ｂと検査用電極部１００の
検査用電極１０４とを導通させるものである。さらに、
測定プローブ３６は、グランドと検査対象になっていな
いグループの通電用パッド２０６とを導通させるための
ものである。すなわち、安定した測定データを取得する
ために電位をグランド（０Ｖ）にするためのものであ
る。これにより、相隣接する電極の少なくとも一方は、
０Ｖとなり、検査に際し、有意差がより大きく発生する
可能性が高まり、良否判定が容易になる。なお、３相以
上の電極が配設されている場合には、測定プローブ３６
を検査対象になっていない相の電極に接触させるように
する。

【００２０】上述した測定プローブ３４，３５と測定器
３１の端子３１ａ，３１ｂとを接続する配線は、外部か
らのノイズの影響を極力抑えるためにシールド線を用い
ることが望ましい。なお、図１には図示していないが、
電流用配線と電圧測定用配線を分け、測定対象の直近で
それらを接続する、いわゆる四端子対法と呼ばれる接続
方法をとることにより、測定精度を向上させることが可
能である。

【００２１】信号線３７ａはコントローラ３２から測定
器３１へ測定条件及び測定タイミング等を送るものであ
り、信号線３７ｂは測定器３１からコントローラ３２へ
測定データを送るものである。信号線３８ａはコントロ
ーラ３２からステージ駆動用ドライバ３３への動作指
令、信号線３８ｂはステージ駆動用ドライバ３３からコ
ントローラ３２へのステージ状態情報（例えば検査用電
極部１００の矢印Ｘ方向における位置情報）を送るため
のものである。なお、駆動ステージ２２が完全にオープ
ンループ駆動の場合、信号線３８ｂは省略可能である。

【００２２】次に検査用電極部１００について説明す
る。図２に示すように、検査用電極部１００は、絶縁性
材料で形成され駆動ステージ２２に着脱自在に取り付け
られる板状のホルダ１０１と、このホルダ１０１の一端
側に形成されたアーム部１０２とを備えている。アーム
部１０２には、スリット１０２ａが形成されている。ス
リット１０２ａの先端には設けられた一対の支持部材１
０３ａ，１０３ｂが設けられている。一対の支持部材１
０３ａ，１０３ｂの間隔δは電極基板２００の幅よりも
大きく形成されている。

【００２３】一対の支持部材１０３ａ，１０３ｂには導
電性細線からなる検査用電極１０４が掛け渡されてい
る。検査用電極１０４は、その径が電極基板２００にお
いて検査対象である線状電極２０２，２０３の幅の０．
５倍〜２倍に設定されている。検査用電極１０４の一端
部は取付ネジ１０６により固定されるとともに、測定プ
ローブ３５との電気的接続をとるリード線１０５が接続
されている。

【００２４】なお、アーム部１０２には、スリット１０
２ａを貫通するネジ１０７が捩じ込まれて取り付けられ
ており、一対の支持部材１０３ａ，１０３ｂ間の間隔δ
はネジ１０７の捩込量によって調整することができる。
したがって、ネジ１０７の捩込量によって検査用電極１
０４の張り具合を調整することができる。

【００２５】このように構成された電極検査装置１０に
より図３の（ａ），（ｂ）に示す手順で電極基板２００
の検査を行う。最初に一括して測定を行う（ＳＴ１
０）。すなわち、電極基板２００をホルダＨに取り付
け、固定ステージ２１に設置した後、図３の（ｂ）に示
すように、検査用電極部１００と電極基板２００との相
対位置の初期設定を行う（ＳＴ１１）。

【００２６】図４は、初期設定の具体的な方法について
示す説明図である。すなわち、駆動ステージ２２上の検
査用電極部１００及び固定ステージ２１上の電極基板２
００の複数の部位に対して変位センサ３００でＺ方向高
さの測定を行う。そして、測定値に基づいて、検査用電
極１０４と電極基板２００の線状電極２０２，２０３と
が平行であり、かつ、そのＺ方向のギャップが予め定め
られた値となるように、固定ステージ２１の位置決め手
段を用いて微調整を行う。

【００２７】なお、良好なデータを取得するためには、
検査用電極部１００と電極基板２００との平行度を十分
にとるとともに、ギャップの値を適性化し、さらに走査
方向（矢印Ｘ方向）送りの精度確保が必要となる。な
お、このうちギャップの値は、検査用電極部１００をス
キャンさせた際に、特性に電気的な有意差が出るように
十分に微小な値に設定する。

【００２８】なお、自由度の一部は、装置の加工精度及
び組立精度により、調整なしでもそれが確保できるよう
であれば、固定されたものであってもよい。電極基板２
００の寸法誤差や電極基板２００の取付位置誤差が無視
できる場合、検査に際して必要な最低限の自由度は、検
査用電極部１００の走査方向（Ｘ方向）の自由度とな
る。

【００２９】なお、変位センサ３００以外にも、顕微鏡
及び画像センサを用いてフォーカス状態から検査用電極
部１００と電極基板２００のＺ方向高さ情報を取得する
ようにしてもよい。

【００３０】次に、測定は、電極基板２００の全域にわ
たり繰り返し行い（ＳＴ１２）、駆動ステージ２２を検
査用電極部１００が図１中矢印Ｘ方向に沿って１ステッ
プずつ移動するように送り動作を行う（ＳＴ１３）。こ
のとき、測定器３１により検査用電極１０４と線状電極
２０２との間の静電容量値の変化をデータとして取得
し、記録を行う（ＳＴ１４）。そして、ＳＴ１２へ戻
り、１ステップ送りとデータの取得及び記録を繰り返
す。電極基板２００の全域における測定が終了した時点
で、ＳＴ２０へ進む。

【００３１】図５の（ａ），（ｂ）は、取得された測定
データの例と、この測定データに基づく正常・異常の判
定方法を示す説明図である。図５の（ａ）は電極基板２
００が正常な場合の測定データ例を示している。図中Ｇ
１は静電容量変化のＰＶ値を示している。測定データで
は、線状電極２０２の直上で極大値をとり、線状電極２
０３の直上で極小値をとる。この場合、測定範囲の全域
に亘って所定の極大値と極小値をとりながら、極大と極
小を繰り返す特性を有しているものとなる。

【００３２】図６の（ｂ）は電極基板２００の一部に異
常がある場合の測定データ例を示している。すなわち、
一部で極大値が所定の値よりも小さく出ている。これ
は、この部分の線状電極２０２に何らかの異常、例えば
断線や陥没等が発生していることを示している。図中Ｇ
２は異常がみられる線状電極２０２直上の静電容量変化
のＰＶ値を示しており、正常・異常の判定はしきい値と
して、Ｇ１とＧ２との比で与えられる数値を設定するこ
とで自動的に行える。

【００３３】なお、検査用電極部１００を走査させる駆
動ステージ２２の位置決め精度と走査方向のデータ取得
間隔を電極基板２００の線状電極２０２，２０３に要求
する寸法精度よりも小さく設定することで、線状電極２
０２，２０３が要求精度を満たしているかどうかを調べ
ることが可能となる。

【００３４】電極基板２００の検査における静電容量の
測定では、損失係数を併せて記録することで異常の原因
を知ることも可能である。例えば、測定周波数の増加に
伴い損失係数Ｄが増加する場合（図６中Ｍ１）には、接
触抵抗や断線等の直列の抵抗成分による原因が考えられ
る。逆に測定周波数の増加に伴い損失係数Ｄが減少する
場合（図６中Ｍ２）には、隣り合う電極へのリーク等の
並列の抵抗成分に原因が考えられる。

【００３５】上述したように、本実施の形態に係る電極
検査装置１０によれば、ガラス基板２０１上に所定方向
に沿って配置された複数の電極２０２，２０３からなる
電極群の機能を検査する電極検査装置において、電極群
の機能検査を効率的に、また絶縁膜等が介在していた場
合にも非接触で検査することができる。このため、製造
上で生じた欠陥を見つけ分類することで、製品の品質向
上に寄与することができる。

【００３６】なお、上述した電極基板２００の通電用パ
ッド２０６，２０７では、固定子を組み立てる際にリー
ド線が接続される。このとき、導電性接着剤若しくはハ
ンダが通電用パッド２０６，２０７全体に濡れ広がるた
め、リード線を取り付けた後では、測定プローブ３４，
３５を直接通電用パッド２０６，２０７に接触させるこ
とができない場合がある。このような場合には、図７に
示すように、予め測定プローブ３４，３５を接触させる
ための検査用のランド２１０を設けるようにしてもよ
い。

【００３７】また、電極基板２００のＺ方向の位置を計
測する際に、上述した例では変位センサ３００を用いて
いたが、静電容量の測定系を用いれば新たな装置を追加
することなく、測定が可能となる。例えば図８に示すよ
うに、電極基板２００上に初期ギャップ調整用の電極２
２０をパターニングしておき、検査用電極部１００を所
定のギャップまで接近させたときの静電容量を計測し、
標準値として記憶させる。次に同型の電極基板２００を
検査する場合は、初期ギャプ設定のための電極２２０に
検査用電極部１００を接近させ、静電容量が上述した標
準値となうようにＺ方向高さを調整すれば適切なギャッ
プとなる。

【００３８】あるいは、特に専用の電極２２０を基板に
設けるのではなく、電極基板２００の一部に正常な線状
電極２０２が構成されていることが確実な場合には、そ
の線状電極２０２の測定値が標準値と一致するようにＺ
方向高さを調整するようにしてもよい。

【００３９】図９は、上述した検査用電極部１００の第
１の変形例に係る検査用電極部１１０を示す斜視図であ
る。すなわち、平滑面を有する絶縁性板１１１（ガラス
基板等）上に導電性薄膜の線状パターン（検査用電極）
１１２をパターニングした例である。線状パターン１１
２の一端にはランド部１１３が形成されており、ここに
リード線１１４をハンダ若しくは導電性接着剤等で接続
する。なお、使用時は、図示した上面側を下面側とし
て、すなわち、線状パターン１１２を下側に向けて用い
る。

【００４０】図１０の（ａ）〜（ｃ）は、上述した検査
用電極部１００の第２の変形例に係る検査用電極部１２
０を示す図である。すなわち、検査用電極部１２０は、
薄い導電性板１２１と、この導電性板の端部に設けられ
た微小幅の稜部（検査用電極）１２２と、導電性板１２
１にハンダ若しくは導電性接着剤等で接続されたリード
線１２３とを備えている。導電性板１２１の先端部の稜
部１２２の幅ηは、図１０の（ｂ）に示すように、電極
基板２００の線状電極２０２，２０３の幅の０．５倍〜
２倍とすることが望ましい。

【００４１】図１０の（ｃ）は、上述した検査用電極部
１２０を支持アーム１３０に搭載して用いた例を示す斜
視図である。上述した実施の形態においては、電極基板
２００は分割された状態で検査することを前提としてい
たが、分割する前のウエハＷの状態で検査を行うように
してもよい。検査用電極部１２０には、微小幅の稜部１
２２よりも電極基板２００側に突出した部分を有しない
ので、検査用電極部１２０を電極基板２００に近接させ
ることができ、広い平滑な表面を有するウエハＷの状態
でも測ることができる。なお、自動に測定を行う場合
は、測定プローブ３４，３５をプログラムにより動作さ
せるロボットハンド等に搭載することで実現できる。

【００４２】図１１は、本発明の第２の実施の形態に係
る電極検査装置１０Ａに組み込まれた検査用電極部１４
０を示す斜視図である。上述した第１の実施の形態に係
る電極検査装置１０においては、計測する電気的特性は
静電容量であるが、本電極検査装置１０Ａにおいては、
静電気力を用いている。

【００４３】すなわち、検査用電極部１４０は、金属を
蒸着した絶縁性薄膜１４１と、この絶縁性薄膜１４１に
接続されたリード線１４２とを備えている。電極基板２
００の電極に非定常な電圧を印加して、一定電位に保っ
た検査用電極部１００を接近させると電極基板２００の
電極と検査用電極部１００との間に電圧の変動に応じた
静電気力の変化が起こり、検査用電極部１００の絶縁性
薄膜１４１が振動する。この振動は、外部から顕微鏡若
しくはカメラ１４３を用いて観察することができ、振動
状態の大小から検査部位の良否を判定することができ
る。

【００４４】本電極検査装置１０Ａにおいても、上述し
た電極検査装置１０と同様の効果がある。

【００４５】なお、本発明は前記実施の形態に限定され
るものではない。すなわち、上述した実施の形態では、
電極が２つの相で構成されている電極基板を例示した
が、３相及び４相等複数の相を有する電極基板であって
も適用可能である。但し、この場合、基板上の全ての配
線を同一平面上に構成することは困難になるので、必要
に応じ立体配線を用いることがある。

【００４６】また、静電アクチュエータの一構成要素と
しての組立直前の状態を示しているが、当電極基板の製
造工程では大きな面積のウエハに複数の電極を一度に製
作した方が、製造コストの面で有利な場合がある。そこ
で電極機能の検査は、図２のように個々に切断する前の
ウエハの段階で行ってもよい。

【００４７】さらに、自動化を行わない場合には、コン
トローラ及びステージ駆動用ドライバを省略してもよ
い。この他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形
実施可能であるのは勿論である。

【００４８】

【発明の効果】本発明によれば、基板上に所定方向に沿
って配置された複数の電極からなる電極群の機能を検査
を非接触で、かつ、短時間で行うことが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係る電極検査装置
を構成を模式的に示す図。

【図２】同電極検査装置に組み込まれた検査用電極部を
下面側から見た斜視図。

【図３】同電極検査装置による検査シーケンスを示すフ
ローチャート。

【図４】同電極検査装置の初期設定における検査用電極
部及び電極基板の位置決めの方法を示す説明図。

【図５】同電極検査装置による測定データを示す説明
図。

【図６】同電極検査装置による異常原因の発生原理を示
す説明図。

【図７】同電極検査装置に適用される電極基板の第１の
変形例を示す平面図。

【図８】同電極検査装置に適用される電極基板の第２の
変形例を示す斜視図。

【図９】同電極検査装置に組み込まれる検査用電極部の
第１の変形例を示す斜視図。

【図１０】同電極検査装置に組み込まれる検査用電極部
の第２の変形例を示す図。

【図１１】本発明の第２の実施の形態に係る電極検査装
置に組み込まれた検査用電極部の要部を示す斜視図。

【図１２】静電アクチュエータの固定子を構成する電極
基板を示す図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は
（ａ）中Ａ−Ａ線で切断し矢印方向に見た断面図。

【符号の説明】

１０…電極検査装置２０…検査部３０…測定部２１…固定ステージ２２…駆動ステージ３０…測定部３１…測定器３２…コントローラ３３…ステージ駆動用ドライバ３４〜３６…測定測定プローブ１００…検査用電極部１０３ａ，１０３ｂ…支持部材１０４…検査用電極２００…電極基板２０１…ガラス基板２０２，２０３…電極

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者富田明神奈川県川崎市幸区小向東芝町１番地株式会社東芝研究開発センター内Ｆターム(参考） 2G011 AD01 AE03 2G014 AA02 AA03 AB55 AB59 AC10 AC12 4M106 AA01 AA11 BA01 BA14 CA11 CA16

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】所定方向に沿って配置された複数の線状電
極からなる電極群の機能を検査する電極検査装置におい
て、上記所定方向と交差する方向に延設された検査用電極
と、この検査用電極を上記電極群に対し所定の間隔を維持し
た状態で、上記所定方向に沿って走査させる検査用電極
走査部と、上記検査用電極と上記線状電極との間に生ずる電気的特
性の変化に基づいて上記電極群の機能を判定する測定部
とを備えていることを特徴とする電極検査装置。
【請求項２】上記電気的特性は、上記検査用電極と上記
線状電極との間の静電容量に基づくものであることを特
徴とする請求項１に記載の電極検査装置。
【請求項３】上記検査用電極は、一対の絶縁性部材間に
架設された導電性線であることを特徴とする請求項１に
記載の電極検査装置。
【請求項４】上記検査用電極は、絶縁性平板の表面に形
成された薄膜状電極であることを特徴とする請求項１に
記載の電極検査装置。
【請求項５】上記検査用電極は、導電性の板状部材の一
端の稜部であることを特徴とする請求項１に記載の電極
検査装置。
【請求項６】所定方向に沿って配置された複数の線状電
極からなる電極群の機能を検査する電極検査装置におい
て、電荷蓄積可能な薄膜状の弾性体と、この弾性体を上記電極群に対し所定の間隔を維持した状
態で、上記所定方向に沿って走査させる弾性体走査部
と、上記弾性体の変位に基づいて上記電極群の機能を判定す
る測定部とを備えていることを特徴とする電極検査装
置。
【請求項７】所定方向に沿って配置された複数の線状電
極からなる電極群の機能を検査する電極検査方法におい
て、上記所定方向と交差する方向に延設された線状電極を有
する検査用電極を上記電極群に対し所定の間隔を維持し
た状態で上記所定方向に沿って走査させる検査用電極走
査工程と、上記検査用電極と上記線状電極との間に生ずる電気的特
性の変化に基づいて上記電極群の機能を判定する測定工
程とを備えていることを特徴とする電極検査方法。