JP2003074931A - Dust-proof apparatus for entrance of clean room - Google Patents
Dust-proof apparatus for entrance of clean roomInfo
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Abstract
Description
【０００１】本発明は，クリーンルームに入室する人等
に付着した塵埃を除去する防塵装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a dustproof device for removing dust adhering to people entering a clean room.
【０００２】[0002]
【従来の技術】例えば集積回路などを生産する半導体製
造分野やバイオテクノロジーなどの分野において，清浄
な雰囲気や無菌状態を保つためにクリーンルームが利用
されている。またクリーンルームの内部を清浄に保つだ
けでなく，クリーンルームの出入口にエアシャワーなど
の防塵装置を設置し，クリーンルームに入室する人等に
対して，予め塵埃除去室の通過を義務付け，クリーンル
ームへの異物の侵入を防いでいる。塵埃除去室では，フ
ィルターでろ過した清浄な空気をノズルから人体や防塵
衣等に向かって吐出し，人体や防塵衣等に付着した異物
を吹き飛ばして除去する。2. Description of the Related Art For example, a clean room is used to maintain a clean atmosphere and a sterile condition in the fields of semiconductor manufacturing, such as integrated circuits, and biotechnology. In addition to keeping the inside of the clean room clean, a dustproof device such as an air shower is installed at the entrance and exit of the clean room, and people entering the clean room are obliged to pass through the dust removal room in advance to prevent foreign matter from entering the clean room. Prevents intrusion. In the dust removal chamber, clean air filtered by a filter is discharged from a nozzle toward the human body and dustproof clothing, and foreign matter adhering to the human body and dustproof clothing is blown away to be removed.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら，クリー
ンルームの出入口に塵埃除去室を直接つなげて設置した
場合，クリーンルームの出入口付近では，直線的な通路
が防塵装置によって妨げられることとなり，防塵装置を
迂回した通路を形成せざるを得なくなる。このため，ク
リーンルームの出入口付近において，動線上の非効率を
生じさせたり，工場内における機械の配置などに制約が
生じ，レイアウトの自由度を妨げる要因となっていた。However, when the dust removal chamber is directly connected to the entrance of the clean room, the linear passage is obstructed by the dust preventer near the entrance of the clean room, and the dust preventer is bypassed. There is no choice but to form a passage. Therefore, in the vicinity of the entrance and exit of the clean room, inefficiencies on the flow line are generated, and restrictions are placed on the arrangement of machines in the factory, which is a factor that hinders the freedom of layout.
【０００４】また，エアシャワーなどの塵埃除去室は容
積がそれほど大きくないので，複数の人間が続けて入る
場合，先行者が不測の理由（例えば工具の持ち忘れや工
程の再確認など）で途中で戻ろうとしても，内部ですれ
違うことが困難である。このため，そのような場合は，
先行者は一旦クリーンルーム内に入室して，後続者が入
室したのを待ってからでないと，戻ることができず，移
動が煩雑であった。また，入室者と退室者が同時に入退
室することはできず，あえてそれに対処するとすれば，
入室者用，退室者用の出入口を設けるなどの必要があっ
た。Further, since a dust removing chamber such as an air shower is not so large in volume, when a plurality of people enter in succession, the preceding person may be interrupted for an unexpected reason (for example, forgetting to carry a tool or reconfirming a process). Even if I try to return, it is difficult to pass each other inside. Therefore, in such cases,
The preceding person had to enter the clean room once and wait for the succeeding person to enter the room before returning to the room and moving around was complicated. Moreover, if the person who entered the room and the person who left the room cannot both enter and exit at the same time, and dare to deal with it,
It was necessary to provide entrances and exits for people entering and leaving the room.
【０００５】本発明の目的は，クリーンルームの出入口
付近においても直線的な通路を形成することができ，し
かも，途中で戻ることも可能なクリーンルーム出入口用
の防塵装置を提供することにある。An object of the present invention is to provide a dustproof device for a clean room entrance / exit, which can form a straight passage even in the vicinity of the entrance / exit of the clean room, and which can return in the middle.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】この目的を達成するた
めに，本発明によれば，クリーンルームに入室する人等
を予め通過させ，人等に付着した塵埃を除去する出入口
用防塵装置であって，人等に付着した塵埃を除去するた
めの塵埃除去室を，クリーンルームの外壁面から離れた
位置に配置し，該塵埃除去室とクリーンルームの出入口
との間に，クリーンルームの外壁面に沿って移動する人
等が通過可能な，清浄空気の下降流が形成されたクリー
ン領域を設けたことを特徴とする，クリーンルーム出入
口用の防塵装置が提供される。In order to achieve this object, according to the present invention, there is provided an entrance / exit dustproof device for allowing a person or the like entering a clean room to pass through in advance to remove dust adhering to the person or the like. , A dust removing chamber for removing dust adhering to people is located at a position away from the outer wall surface of the clean room, and moves along the outer wall surface of the clean room between the dust removing chamber and the entrance of the clean room. Provided is a dustproof device for a clean room entrance / exit, which is provided with a clean region in which a descending flow of clean air is formed, through which people who pass through can pass.
【０００７】本発明の防塵装置において，クリーンルー
ムに入室する人等は，先ず，塵埃除去室に入る。そし
て，塵埃除去室では，フィルターでろ過した清浄な空気
をノズルから人体や防塵衣等に向かって吐出し，人体や
防塵衣等に付着した異物を吹き飛ばして除去する。こう
して，異物を除去した後，人等はクリーン領域を通っ
て，クリーンルーム内に入る。クリーン領域では，清浄
空気の下降流が形成されており，塵埃除去室において異
物を除去された人等は，清浄な状態を保ったままクリー
ン領域を通過し，クリーンルーム内に入ることができ
る。なお，クリーン領域で形成される清浄空気の下降流
は，垂直層流であると良い。In the dustproof device of the present invention, a person or the like entering a clean room first enters the dust removing room. Then, in the dust removing chamber, clean air filtered by a filter is ejected from a nozzle toward a human body, dustproof clothing, etc., and foreign matter adhering to the human body, dustproof clothing, etc. is blown away and removed. Thus, after removing the foreign matter, a person or the like enters the clean room through the clean area. In the clean area, a downward flow of clean air is formed, and a person whose foreign matter has been removed in the dust removing chamber can pass through the clean area and enter the clean room while maintaining a clean state. The downward flow of clean air formed in the clean region is preferably a vertical laminar flow.
【０００８】本発明の防塵装置にあっては，塵埃除去室
がクリーンルームの外壁面から離れた位置に配置されて
おり，該塵埃除去室とクリーンルームの出入口との間
は，人等がそのまま通過可能なクリーン領域になってい
る。このため，クリーンルームの出入口付近において
も，人等がクリーンルームの外壁面に沿って自由に直線
的に移動することが可能である。In the dustproof device of the present invention, the dust removing chamber is arranged at a position away from the outer wall surface of the clean room, and a person or the like can pass directly between the dust removing chamber and the entrance of the clean room. It is a clean area. Therefore, even in the vicinity of the entrance and exit of the clean room, a person or the like can freely move in a straight line along the outer wall surface of the clean room.
【０００９】また，塵埃除去室に入った人等は，何らか
の事情でクリーンルームへの入室を止めようとした場
合，塵埃除去室内を戻らずに，クリーン領域を通って外
に出ることができる。このため，複数の人間が続けて入
った場合でも，先行者はクリーンルーム内に入室するこ
となく戻ることが可能である。Further, if a person who has entered the dust removal chamber tries to stop entering the clean room for some reason, he / she can go out through the clean area without returning to the dust removal chamber. For this reason, even if a plurality of people enter in succession, the preceding person can return without entering the clean room.
【００１０】本発明の出入口用防塵装置にあっては，ク
リーンルーム内や塵埃除去室内に外部雰囲気が入り込む
のを防ぐために，クリーンルームの出入口に対して面状
に空気を供給するエアカーテンや，塵埃除去室の出入口
に対して面状に空気を供給するエアカーテンを形成して
おくことが望ましい。In the entrance / exit dustproof device of the present invention, in order to prevent an external atmosphere from entering the clean room or the dust removal chamber, an air curtain for supplying air in a planar manner to the entrance / exit of the clean room, or dust removal It is desirable to form an air curtain for supplying air to the entrance and exit of the chamber.
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】以下，本発明の好ましい実施の形
態を図面を参照にして説明する。図１は，本発明の実施
の形態にかかる防塵装置１を備えた工場２の室内を示す
説明図であり，図２は，本発明の実施の形態にかかる防
塵装置１の拡大斜視図である。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is an explanatory view showing the interior of a factory 2 equipped with a dustproof device 1 according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an enlarged perspective view of the dustproof device 1 according to an embodiment of the present invention. .
【００１２】工場２の室内には，例えば半導体製造分野
やバイオテクノロジーなどの分野に好適な，クラス１０
００〜１００，０００程度の清浄な雰囲気に保たれたク
リーンルーム３が形成されている。クリーンルーム３の
周囲は，資材を保管したり非清浄域でも可能な作業をす
るバックヤードとなっている。バックヤードの一部に動
線を考慮した通路が構成される。図示の例では，クリー
ンルーム３の一側面に，クリーンルーム３に出入りする
人等ａが通るための出入口１０が２箇所に設けられてい
る。これら出入口１０は，図２に示す開閉扉１１によっ
て開閉されるようになっている。そして，これら出入口
１０に対して，本発明の実施の形態にかかる防塵装置１
がそれぞれ設置されている。クリーンルーム３に入室す
る人等ａ（人，資材，台車など）は，予め防塵装置１を
通過することにより塵埃を除去し，清浄な状態となって
から出入口１０を経て入室するようになっている。[0012] In the room of the factory 2, for example, a class 10 suitable for the fields of semiconductor manufacturing, biotechnology, etc.
A clean room 3 is formed which is kept in a clean atmosphere of about 00 to 100,000. The periphery of the clean room 3 is a backyard for storing materials and performing work that can be performed in a non-clean area. A part of the backyard will be constructed with a passage in consideration of the flow line. In the illustrated example, one side surface of the clean room 3 is provided with two entrances 10 through which a person a who goes in and out of the clean room 3 passes. These doorways 10 are opened and closed by an opening / closing door 11 shown in FIG. Then, the dustproof device 1 according to the embodiment of the present invention is provided with respect to the doorways 10.
Are installed respectively. A person a (person, material, trolley, etc.) entering the clean room 3 removes dust by passing through the dustproof device 1 in advance, and after entering a clean state, enters the room through the doorway 10. .
【００１３】防塵装置１は，人等ａに付着した塵埃を除
去するための塵埃除去室１５（エアシャワーなど）と，
塵埃除去室１５において塵埃を除去された人等ａを清浄
な状態を保つことができるクリーン領域１６を備えてい
る。塵埃除去室１５は，クリーンルーム３の外壁面から
離れた位置に，例えば開閉扉１１と平行線上にその両側
部を位置させ，その出入口２０，２１が開閉扉１１の面
と直列となるように配置されており，塵埃除去室１５と
クリーンルーム３の出入口１０との間に，クリーン領域
１６が形成されている。The dustproof device 1 includes a dust removing chamber 15 (such as an air shower) for removing dust adhering to a person a.
The dust removing chamber 15 is provided with a clean area 16 capable of keeping a person a whose dust has been removed clean. The dust removing chamber 15 is located at a position away from the outer wall surface of the clean room 3, for example, both sides thereof are located in parallel with the opening / closing door 11, and its entrances / outlets 20, 21 are arranged in series with the surface of the opening / closing door 11. A clean region 16 is formed between the dust removal chamber 15 and the entrance / exit 10 of the clean room 3.
【００１４】図３は，塵埃除去室１５の横断面図であ
り，塵埃除去室１５の内部（中段高さにおける断面）を
上から見た状態を示している。塵埃除去室１５の両側に
は入口２０と出口２１が形成されており，入口２０から
塵埃除去室１５内に入った人等ａは，出口２１に向かっ
て一方通行的に塵埃除去室１５内を通るようになってい
る。塵埃除去室１５は上部にファンとフィルタ（図示せ
ず）を備えている。そしてその内壁面には，フィルタで
ろ過した清浄な空気を吐出するノズル２２が複数箇所に
配置されている。そして，入口２０から出口２１に向か
って塵埃除去室１５内を通る人等ａに，これらノズル２
２から清浄な空気を吐出すことにより，人体や防塵衣等
に付着した異物を吹き飛ばして除去するようになってい
る。図示はしないが，塵埃除去室１５内において，人等
ａの通路面の底面に孔あき板などで吸い込み口が形成さ
れており，人体や防塵衣等から吹き飛ばされた異物は，
塵埃除去室１５内の底面を通過して除去されるようにな
っている。FIG. 3 is a horizontal cross-sectional view of the dust removing chamber 15, showing a state in which the inside of the dust removing chamber 15 (cross section at the middle height) is viewed from above. An inlet 20 and an outlet 21 are formed on both sides of the dust removing chamber 15, and a person a or the like who has entered the dust removing chamber 15 from the inlet 20 unidirectionally moves through the dust removing chamber 15 toward the outlet 21. It is supposed to pass. The dust removing chamber 15 is provided with a fan and a filter (not shown) at the top. The nozzles 22 for discharging clean air filtered by the filter are arranged at a plurality of positions on the inner wall surface. Then, for the person a passing through the dust removing chamber 15 from the inlet 20 toward the outlet 21, the nozzle 2
By ejecting clean air from 2, the foreign matter adhering to the human body or dustproof clothing is blown away and removed. Although not shown, in the dust removal chamber 15, a suction port is formed by a perforated plate or the like on the bottom surface of the passage surface of the person a or the like, and foreign matter blown off from the human body or dustproof clothing is
The dust is removed by passing through the bottom surface in the dust removing chamber 15.
【００１５】図４に示すように，塵埃除去室１５はドア
開放仕様となっている。すなわち一般的なエアシャワー
はドアを閉めて使用することが原則であるが，本実施の
形態では搬入通路の機能を十分に発揮するよう，開閉扉
を設けていない。そして，塵埃除去室１５内の四隅（入
口２０の内方両側と出口２１の内方両側）には，ほぼ９
０°に湾曲した形状のガイドベーン（翼板）２５が複数
枚ずつ配置されている。塵埃除去室１５内の各四隅にお
いて，複数枚のガイドベーン２５はそれぞれ並列に配置
されており，前述のノズル２２から吐出された空気は，
図３に示すように塵埃除去室１５の内壁面に沿いながら
入口２０と出口２１に向かって流れる気流２６は，各ガ
イドベーン２５の間を通ることにより，面状の気流２７
に方向変換させられている。このように入口２０と出口
２１に向かって流れ出ようとする気流２６を，塵埃除去
室１５の入口２０と出口２１の内方において面状の気流
２７に方向変換することにより，入口２０と出口２１の
内方両側から面状の気流２７を供給する，いわゆるエア
ーカーテンが入口２０と出口２１にそれぞれ形成されて
いる。こうして，塵埃除去室１５の内部に外部雰囲気が
入り込むのを防いでいる。As shown in FIG. 4, the dust removing chamber 15 has a door opening specification. That is, a general air shower is used in principle with the door closed, but in the present embodiment, the opening / closing door is not provided so as to fully exert the function of the carry-in passage. In addition, at the four corners inside the dust removing chamber 15 (both inward of the inlet 20 and both inward of the outlet 21), approximately 9
A plurality of guide vanes (blades) 25 each having a shape curved at 0 ° are arranged. At each of the four corners in the dust removing chamber 15, the plurality of guide vanes 25 are arranged in parallel, and the air discharged from the nozzle 22 is
As shown in FIG. 3, the air flow 26 flowing toward the inlet 20 and the outlet 21 along the inner wall surface of the dust removing chamber 15 passes between the guide vanes 25, so that a planar air flow 27 is formed.
Has been redirected to. In this way, the airflow 26 that is about to flow out toward the inlet 20 and the outlet 21 is converted into a planar airflow 27 inside the inlet 20 and the outlet 21 of the dust removing chamber 15 so that the inlet 20 and the outlet 21 are discharged. So-called air curtains, which supply a planar airflow 27 from both inward sides, are formed at the inlet 20 and the outlet 21, respectively. In this way, the outside atmosphere is prevented from entering the dust removing chamber 15.
【００１６】図２に示すように，塵埃除去室１５とクリ
ーンルーム３の出入口１０の間に両者を連結するように
形成されたクリーン領域１６の上方には，ＦＦＵ（ファ
ンフィルタユニット）３０が複数台設置してある。各Ｆ
ＦＵ３０は，４本の立柱で支持されるフィルタフレーム
の上に載置されている。そして内蔵されたファン（図示
せず）の稼動により，フィルタ（図示せず）で濾過した
清浄空気の下降流をクリーン領域１６に向かって供給す
るようになっている。これにより，クリーン領域１６は
常に清浄な状態に保たれている。As shown in FIG. 2, a plurality of FFUs (fan filter units) 30 are provided above the clean area 16 formed between the dust removing chamber 15 and the entrance 10 of the clean room 3 so as to connect them. It is installed. Each F
The FU 30 is placed on a filter frame supported by four vertical columns. By operating a built-in fan (not shown), a downward flow of clean air filtered by a filter (not shown) is supplied toward the clean region 16. As a result, the clean area 16 is always kept clean.
【００１７】クリーン領域１６は，塵埃除去室１５とク
リーンルーム３の出入口１０を結ぶ動線と交差する方向
には開放された構成になっており，クリーンルーム３の
外壁面に沿って移動する人等ａは，塵埃除去室１５とク
リーンルーム３の出入口１０の間においてクリーン領域
１６を自由に通過できるようになっている。The clean area 16 is open in the direction intersecting the flow line connecting the dust removing chamber 15 and the entrance / exit 10 of the clean room 3, and the person a moving along the outer wall surface of the clean room 3 Can freely pass through the clean region 16 between the dust removing chamber 15 and the entrance / exit 10 of the clean room 3.
【００１８】クリーンルーム３の出入口１０の外部両側
には，エアーカーテンの供給ノズル３５がそれぞれ設け
てある。これら供給ノズル３５の内方には，出入口１０
の両側から対向して面状の気流３６を供給するスリット
状の吐出口３７が間隔をあけてそれぞれ設けてある。供
給ノズル３５には，ファン３８で吸引され，ＨＥＰＡフ
ィルタ３９で濾過された清浄な空気が供給されるように
なっており，これにより，面状の清浄な空気流を，各吐
出口３７から出入口１０の外側（バックヤード側）に沿
って供給できるようになっている。前述の開閉扉１１が
開いた場合には，ファン３８が稼動し，クリーンルーム
３の外部において，これら供給ノズル３５によって出入
口１０の両側から面状の気流３１が供給されて，いわゆ
るエアーカーテンが形成され，クリーンルーム３の内部
に外部雰囲気が入り込むのを防ぐ状態となる。Air curtain supply nozzles 35 are provided on both outer sides of the entrance 10 of the clean room 3, respectively. Inside the supply nozzle 35, the entrance 10
Slit-shaped discharge ports 37 that supply the planar air flow 36 are provided facing each other from both sides at intervals. The supply nozzle 35 is supplied with clean air that has been sucked by the fan 38 and filtered by the HEPA filter 39, and thereby a planar clean air flow is supplied from each of the discharge ports 37 to the inlet and outlet. It can be supplied along the outside of 10 (backyard side). When the above-mentioned opening / closing door 11 is opened, the fan 38 is operated, and outside the clean room 3, the supply nozzles 35 supply the planar airflow 31 from both sides of the entrance / exit 10 to form a so-called air curtain. The state where the outside atmosphere is prevented from entering the inside of the clean room 3 is set.
【００１９】図示の例では，供給ノズル３５の各吐出口
３７から面状に吐出される空気流が，角度θだけクリー
ンルーム３の出入口１０から離れる方向に向くように設
定されている。これにより，クリーンルーム３の外部
（クリーン領域１６）からクリーンルーム３の内部に流
れ込もうとする気流を，クリーンルーム３の外部に向か
って押し戻すようになっている。なお，供給ノズル３５
の最下部に設けられた吐出口３７から面状に吐出される
空気流の角度θ’は，他の吐出口３７から面状に吐出さ
れる空気流の角度θよりもやや大きく（θ’＞θに）設
定されている。すなわちクリーンルーム３のより外方に
向いた角度とされている。これにより，クリーン領域１
６において床上に沿って流れながらクリーンルーム３内
に入り込もうとする外部の気流を防いでいる。なお，各
吐出口３７から吐出される空気流の方向（角度θおよび
θ’）の調整は，例えば絹糸等を用いて気流方向を確認
することにより行われる。なお，吐出口３７は，図示で
は５つのスリットを間隔をおいて設けているが，ノズル
３５の天面近くから底面近くに連続して開口する１つの
スリットを形成してもよい。その場合，床近くの部位の
開口を防塵除去室１５に向けて広くとるとよい。In the illustrated example, the air flow discharged in a plane form from each discharge port 37 of the supply nozzle 35 is set so as to be directed away from the inlet / outlet 10 of the clean room 3 by an angle θ. As a result, the airflow that tries to flow into the clean room 3 from the outside of the clean room 3 (clean region 16) is pushed back toward the outside of the clean room 3. The supply nozzle 35
The angle θ ′ of the air flow discharged in the plane form from the discharge port 37 provided at the lowermost part of the is slightly larger than the angle θ of the air flow discharged in the form of planes from the other discharge ports 37 (θ ′> set to θ). That is, the angle is set to be more outward than the clean room 3. As a result, clean area 1
At 6, the external airflow that tries to enter the clean room 3 while flowing along the floor is prevented. The direction (angles θ and θ ′) of the air flow discharged from each discharge port 37 is adjusted by checking the air flow direction using, for example, silk thread. In addition, although the discharge port 37 is provided with five slits at intervals in the figure, one slit that continuously opens from near the top surface to near the bottom surface of the nozzle 35 may be formed. In that case, it is advisable to widen the opening near the floor toward the dust removal chamber 15.
【００２０】さて，以上のように構成された本発明の実
施の形態にかかる防塵装置１を備えた工場２において，
クリーンルーム３に入室しようとする人等ａは，先ず，
塵埃除去室１５の入口２０に入り，入口２０から出口２
１に向かって一方通行的に塵埃除去室１５内を通過す
る。これにより，塵埃除去室１５内では，内壁面に配置
された複数のノズル２２から清浄な空気を吐出すことに
より，人体や防塵衣等に付着した異物を吹き飛ばして除
去する。そして，吹き飛ばされた異物は，塵埃除去室１
５内の底面を通過して除去されることとなる。Now, in the factory 2 provided with the dustproof device 1 according to the embodiment of the present invention configured as described above,
The person a who is going to enter the clean room 3 first
Enter the entrance 20 of the dust removal chamber 15 and the exit 20 from the entrance 20
One-way passing through the inside of the dust removing chamber 15 toward 1. As a result, in the dust removing chamber 15, the clean air is ejected from the plurality of nozzles 22 arranged on the inner wall surface to blow away and remove the foreign matter adhering to the human body or the dustproof clothing. Then, the blown foreign matter is collected in the dust removing chamber 1
It will pass through the bottom surface in 5 and will be removed.
【００２１】なお，先に図３，４で説明したように，塵
埃除去室１５の入口２０と出口２１の内方には，ガイド
ベーン２５によって方向変換させられた面状の気流２７
が供給されることにより，いわゆるエアーカーテンが形
成されている。このため，塵埃除去室１５の入口２０と
出口２１には特別な遮蔽手段（例えば扉，カーテンな
ど）を設けなくても，塵埃除去室１５の内部に外部雰囲
気が入り込まない。また，前述したように底面に吸込み
口が形成されており，下降流はそこから排気されるの
で，防塵除去室１５からの空気がクリーン領域１６の垂
直層流を乱すことはない。このように，扉やカーテンな
どといった遮蔽手段を省略して入口２０と出口２１を開
放すれば，人等ａは塵埃除去室１５内を容易に通過でき
るので，物資の運搬等がしやすい。As described above with reference to FIGS. 3 and 4, inside the dust removing chamber 15 inside the inlet 20 and the outlet 21, a planar air flow 27 is diverted by the guide vanes 25.
Is supplied to form a so-called air curtain. Therefore, the outside atmosphere does not enter the inside of the dust removing chamber 15 even if no special shielding means (for example, a door, a curtain, etc.) is provided at the inlet 20 and the outlet 21 of the dust removing chamber 15. Further, as described above, since the suction port is formed on the bottom surface and the descending flow is exhausted from there, the air from the dustproof removing chamber 15 does not disturb the vertical laminar flow in the clean region 16. As described above, if the entrance 20 and the exit 21 are opened by omitting the shielding means such as the door and the curtain, the person a can easily pass through the dust removing chamber 15 and thus the goods can be easily transported.
【００２２】そして，塵埃除去室１５において異物を除
去した後，人等ａは，次に塵埃除去室１５の出口２１を
通ってクリーン領域１６内に入り，更にクリーン領域１
６内を通過して，クリーンルーム３内に入って行く。ク
リーン領域１６では，清浄空気の下降流が形成されてい
るので，塵埃除去室１５において異物を除去された人等
ａは，清浄な状態を保ったままクリーン領域１５を通過
し，出入口１０からクリーンルーム３内に入ることがで
きる。After removing the foreign matter in the dust removing chamber 15, the person a then enters the clean region 16 through the outlet 21 of the dust removing chamber 15, and further the clean region 1
Pass through 6 and enter clean room 3. In the clean area 16, since a downward flow of clean air is formed, the person a who has removed the foreign matter in the dust removal chamber 15 passes through the clean area 15 while maintaining a clean state, and passes from the doorway 10 to the clean room. You can enter within 3.
【００２３】このように人等ａがクリーンルーム３内に
入る場合は，開閉扉１１が開くと同時に，クリーンルー
ム３の出入口１０の外部両側から，供給ノズル３５によ
って面状の気流３１が供給され，いわゆるエアーカーテ
ンが形成される。これにより，クリーンルーム３の内部
に外部雰囲気が入り込むのを防ぐことができる。In this way, when a person a enters the clean room 3, the opening / closing door 11 is opened, and at the same time, the planar air current 31 is supplied by the supply nozzles 35 from both sides of the entrance / exit 10 of the clean room 3. An air curtain is formed. As a result, it is possible to prevent the outside atmosphere from entering the inside of the clean room 3.
【００２４】一方，塵埃除去室１５に入った人等ａは，
何らかの事情でクリーンルーム３への入室を止めようと
した場合（例えば忘れ物をとりに帰るような場合），塵
埃除去室１５を戻らずに，塵埃除去室１５の出口２１か
らクリーン領域１６を通って，そのまま外に出ることが
できる。このため，複数の人間が続けて入った場合で
も，先行者はクリーンルーム３内に入室することなく，
後続者を邪魔せずに外に出ることが可能である。また，
入室者用の入口と退室者用の入口を分ける必要もない。On the other hand, the person a who has entered the dust removing chamber 15
If the entry into the clean room 3 is to be stopped for some reason (for example, when returning to a forgotten item), the dust removal chamber 15 is not returned but the exit 21 of the dust removal chamber 15 passes through the clean area 16 and You can go out as it is. Therefore, even when a plurality of people enter in succession, the preceding person does not enter the clean room 3,
It is possible to go out without disturbing the followers. Also,
There is no need to separate entrances for people entering and exiting people.
【００２５】また，クリーンルーム３内から退出する人
等ａは，出入口１０からクリーン領域１６を通って，そ
のまま外に出ればよく，退出の際には，塵埃除去室１５
を通る必要がない。また，このように人等ａがクリーン
ルーム３内から退出する場合も，開閉扉１１が開くと同
時に，クリーンルーム３の出入口１０の外部両側から，
供給ノズル３５によって面状の気流３１が供給され，い
わゆるエアーカーテンが形成される。これにより，クリ
ーンルーム３の内部に外部雰囲気が入り込むことを防ぐ
ことができる。A person a or the like who leaves the clean room 3 may pass through the clean area 16 from the entrance / exit 10 and go outside as it is. When leaving, the dust removing chamber 15
You don't have to go through. In addition, when the person a, etc. exits from the clean room 3 in this way, at the same time when the opening / closing door 11 opens, both sides of the entrance / exit 10 of the clean room 3 are
The planar airflow 31 is supplied by the supply nozzle 35, and a so-called air curtain is formed. As a result, it is possible to prevent the outside atmosphere from entering the inside of the clean room 3.
【００２６】そして，この出入口用防塵装置１にあって
は，塵埃除去室１５がクリーンルーム３の外壁面から離
れた位置に配置されており，塵埃除去室１５とクリーン
ルーム３の出入口１０との間に形成されたクリーン領域
１６は，工場２の室内を移動する人等ａがそのまま通過
することが可能である。このため，クリーンルーム３の
出入口１０付近においても，人等ａがクリーンルーム３
の外壁面に沿って自由に直線的に移動できる。Further, in the entrance / exit dustproof device 1, the dust removing chamber 15 is arranged at a position apart from the outer wall surface of the clean room 3, and between the dust removing chamber 15 and the entrance / exit 10 of the clean room 3. The formed clean area 16 allows a person a moving in the room of the factory 2 to pass through as it is. Therefore, even in the vicinity of the entrance / exit 10 of the clean room 3, the person a or the like a
You can move it in a straight line freely along the outer wall of the.
【００２７】次に，図５は，本発明の別の実施の形態に
かかる防塵装置１’を備えた工場２の室内を示す説明図
である。この防塵装置１’では，バックヤードにおける
クリーン領域１６から離れた位置に吸い込み口４０を有
する吸い込みチャンバ４２が配置されている。そして，
吸い込み口４０を通じてクリーン領域１６から離れた位
置で吸い込んだ空気を，ダクト４１を介してクリーン領
域１６に対して供給するようになっている。Next, FIG. 5 is an explanatory view showing the inside of a factory 2 equipped with a dustproof device 1'according to another embodiment of the present invention. In this dustproof device 1 ', a suction chamber 42 having a suction port 40 is arranged at a position apart from the clean region 16 in the backyard. And
Air sucked at a position away from the clean area 16 through the suction port 40 is supplied to the clean area 16 through the duct 41.
【００２８】この防塵装置１’において，図６に示すよ
うに，吸い込みチャンバ４２にはフィルタ４５とファン
４６が内蔵されている。フィルタ４５は，例えばＡＦＩ
５０〜８０％程度のフィルタとＮＢＳ６０〜９０％程度
の中性能フィルタを組み合わせたものからなり，前者は
吸込口４０に面一に取付けられている。図７に示すよう
に，クリーン領域１６の上方には，ＦＦＵ４７が複数台
設置してある。なお，クリーン領域１６から離れた位置
に吸い込み口４０を配置した点を除けば，この実施の形
態にかかる防塵装置１’は，先に図１，２等で説明した
防塵装置１と同様の構成を有する。よって，図５におい
て，図１と同じ符号を付することにより，重複した説明
を省略する。In this dustproof device 1 ', as shown in FIG. 6, the suction chamber 42 has a filter 45 and a fan 46 built therein. The filter 45 is, for example, AFI.
It consists of a combination of a filter of about 50 to 80% and a medium performance filter of about 60 to 90% NBS, and the former is mounted flush with the suction port 40. As shown in FIG. 7, a plurality of FFUs 47 are installed above the clean area 16. The dustproof device 1'according to this embodiment has the same configuration as the dustproof device 1 described above with reference to FIGS. 1 and 2 except that the suction port 40 is arranged at a position distant from the clean area 16. Have. Therefore, in FIG. 5, the same reference numerals as those in FIG.
【００２９】この実施の形態にかかる防塵装置１’にあ
っては，工場２の室内空気をクリーン領域１６から離れ
た位置に設置した吸い込み口４０で吸い込み，粗塵と多
少粒径の大きな微塵を除去したうえＦＦＵに送り清浄空
気の下降流をクリーン領域１６に向かって供給すること
ができる。この実施の形態にかかる防塵装置１’によれ
ば，室内空気をクリーン領域１６から離れた位置で吸い
込むので，クリーン領域１６から離れる空気の流れが室
内に生じ，塵埃がクリーン領域１６に集まることを防止
できる。このため，先に図１，２等で説明した防塵装置
１と比べ，工場２の室内での塵埃発生が多い場合に有効
である。また，図１，２で説明した防塵装置１における
クリーン領域１６のＦＦＵの上部にプレフィルタを設け
てもよいが，保守の点では本実施の形態の方が容易であ
る。In the dustproof device 1'according to this embodiment, the indoor air of the factory 2 is sucked by the suction port 40 installed at a position apart from the clean area 16 to remove coarse dust and fine dust having a slightly larger particle size. After being removed, it can be sent to the FFU and a downward flow of clean air can be supplied toward the clean region 16. According to the dustproof device 1'according to this embodiment, the indoor air is sucked in at a position away from the clean region 16, so that a flow of air away from the clean region 16 is generated in the room and dust is collected in the clean region 16. It can be prevented. Therefore, it is effective when the amount of dust generated in the room of the factory 2 is larger than that of the dustproof device 1 described above with reference to FIGS. A prefilter may be provided above the FFU in the clean area 16 in the dustproof device 1 described with reference to FIGS. 1 and 2, but this embodiment is easier in terms of maintenance.
【００３０】なお，この防塵装置１’において，クリー
ン領域１６の上方にＦＦＵを設置するのを省略し，吸い
込みチャンバ４２に設けたフィルタ４５とファン４６だ
けによって清浄空気をクリーン領域１６に供給するよう
にしても良いし，また，吸い込み口４０にフィルタやフ
ァンを内蔵させず，クリーン領域１６の上方に設けたＦ
ＦＵ４７だけによって清浄空気をクリーン領域１６に供
給するようにしても良い。また，ダクト４１の途中に適
宜ファンを設置しても良い。ＦＦＵを高性能フィルタに
替えて，吸い込みチャンバのファンで送風してもよい。In the dustproof device 1 ', the FFU is not provided above the clean area 16, and the clean air is supplied to the clean area 16 only by the filter 45 and the fan 46 provided in the suction chamber 42. Alternatively, the suction port 40 does not have a filter or a built-in fan and is provided above the clean area 16.
The clean air may be supplied to the clean area 16 only by the FU 47. Further, a fan may be appropriately installed in the duct 41. The FFU may be replaced with a high-performance filter and blown by a fan in the suction chamber.
【００３１】以上，本発明の好ましい実施の形態を例示
したが，本発明は，ここに説明した形態に限定されな
い。例えば，塵埃除去室１５の入口２０や出口２１に，
カーテンなどの遮蔽手段を設けることも可能である。但
し，塵埃除去室１５内を容易に通過させるためには，そ
のような遮蔽手段を設けず，図３，４で説明したような
エアーカーテンを設けると良い。また，クリーン領域１
６の上方に，ＦＦＵの代わりにファンとフィルターを組
み合わせて設置しても良い。Although the preferred embodiment of the present invention has been illustrated above, the present invention is not limited to the embodiment described here. For example, at the inlet 20 and the outlet 21 of the dust removing chamber 15,
It is also possible to provide a shielding means such as a curtain. However, in order to easily pass through the inside of the dust removing chamber 15, it is preferable to provide such an air curtain as described with reference to FIGS. Also, clean area 1
Instead of the FFU, a fan and a filter may be combined and installed above 6.
【００３２】[0032]
【発明の効果】本発明によれば，クリーンルームの出入
口付近においても，人等がクリーンルームの外壁面に沿
って自由に直線的に移動することが可能となる。クリー
ンルームの出入口付近に障害物をなくすことができるの
で，視界もよく，各種設備のレイアウトや動線に対する
制約を小さくでき，作業性が向上する。クリーンルーム
から退出する場合は，クリーン領域から外へ出るだけで
よい。また，塵埃除去室に入った人等は，塵埃除去室内
を戻らずに外に出ることができ，移動が容易である。本
発明は，中ランクのクリーンルーム（例えばクラス１０
３〜１０５）に適用しやすい。According to the present invention, a person or the like can freely move linearly along the outer wall surface of the clean room even near the entrance of the clean room. Since obstacles can be eliminated near the entrance of the clean room, visibility is good, restrictions on the layout and flow lines of various equipment can be reduced, and workability is improved. To leave the clean room, simply exit the clean area. Moreover, a person who has entered the dust removing chamber can go out without returning to the dust removing chamber, and is easily moved. The present invention is applicable to medium-rank clean rooms (for example, class 10).
3 to 10 5 ) is easy to apply.
【図１】本発明の実施の形態にかかる防塵装置を備えた
工場の室内を示す説明図である。FIG. 1 is an explanatory view showing the inside of a factory equipped with a dustproof device according to an embodiment of the present invention.
【図２】本発明の実施の形態にかかる防塵装置の拡大斜
視図である。FIG. 2 is an enlarged perspective view of the dustproof device according to the embodiment of the present invention.
【図３】塵埃除去室の横断面図であり，塵埃除去室の内
部を上から見た状態を示している。FIG. 3 is a horizontal cross-sectional view of the dust removing chamber, showing a state in which the inside of the dust removing chamber is viewed from above.
【図４】ガイドベーンの斜視図である。FIG. 4 is a perspective view of a guide vane.
【図５】本発明の別の実施の形態にかかる防塵装置を備
えた工場の室内を示す説明図である。FIG. 5 is an explanatory view showing the inside of a factory equipped with a dustproof device according to another embodiment of the present invention.
【図６】吸い込み口の断面図である。FIG. 6 is a sectional view of a suction port.
【図７】クリーン領域の上方に設置したＦＦＵの説明図
である。FIG. 7 is an explanatory diagram of an FFU installed above a clean area.
ａ 人等 １，１’ 防塵装置 ２ 工場 ３ クリーンルーム １０ 出入口 １５ 塵埃除去室 １６ クリーン領域 ２０ 入口 ２１ 出口 ２５ ガイドベーン ３０ ＦＦＵ ４０ 吸い込み口 ４１ ダクト a person 1,1 'Dustproof device 2 factories 3 clean room 10 doorway 15 Dust removal chamber 16 clean area 20 entrance 21 exit 25 guide vanes 30 FFU 40 Suction mouth 41 duct
Claims (3)
過させ，人等に付着した塵埃を除去する防塵装置であっ
て，人等に付着した塵埃を除去するための塵埃除去室
を，クリーンルームの外壁面から離れた位置に配置し，
該塵埃除去室とクリーンルームの出入口との間に，クリ
ーンルームの外壁面に沿って移動する人等が通過可能
な，清浄空気の下降流が形成されたクリーン領域を設け
たことを特徴とする，クリーンルーム出入口用の防塵装
置。1. A dustproof device for removing dust adhering to a person or the like by allowing a person or the like entering a clean room to pass through the dust removing chamber for removing the dust adhering to the person or the like outside the clean room. Place it away from the wall,
A clean room is provided between the dust removal chamber and the entrance / exit of the clean room, wherein a clean area in which a downward flow of clean air is formed is formed, through which a person moving along the outer wall surface of the clean room can pass. Dustproof device for doorways.
り込むのを防ぐべく，クリーンルームの出入口に対して
面状に空気を供給するエアカーテンを形成したことを特
徴とする，請求項１のクリーンルーム出入口用の防塵装
置。2. The clean room entrance / exit according to claim 1, wherein an air curtain for supplying air to the entrance / exit of the clean room is formed in order to prevent an external atmosphere from entering the clean room. Dustproof device.
むのを防ぐべく，塵埃除去室の出入口に対して面状に空
気を供給するエアカーテンを形成したことを特徴とす
る，請求項１又は２のクリーンルーム出入口用の防塵装
置。3. The air curtain for supplying air in a planar manner to the entrance and exit of the dust removing chamber in order to prevent an external atmosphere from entering the dust removing chamber. Dustproof device for clean room entrances and exits.
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|---|---|---|---|
| JP2001257279A JP4629282B2 (en) | 2001-08-28 | 2001-08-28 | Dust-proof device for clean room entrance |
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