JP2003065814A - Instrument and method for measuring flow characteristic of equipment for gas - Google Patents
Instrument and method for measuring flow characteristic of equipment for gasInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、気体用機器の流量
特性計測装置に関する。また、本発明は、気体用機器の
流量特性計測方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flow characteristic measuring device for gas equipment. Further, the present invention relates to a flow rate characteristic measuring method for gas equipment.
【０００２】[0002]
【従来の技術】空気など圧縮性流体で使用される電磁弁
をはじめとする絞り要素における流量特性表示法および
その計測方法の国際規格化が進展しつつある。国際規格
では音速コンダクタンスと臨界圧力比で流量特性を表示
することになっている。このように、空気圧弁などの空
気圧機器の流量特性は音速コンダクタンスと臨界圧力比
で表示される。2. Description of the Related Art International standardization of a flow rate characteristic display method for a throttle element including a solenoid valve used for a compressible fluid such as air and its measuring method is progressing. According to the international standard, the flow rate characteristics are displayed by the sonic conductance and the critical pressure ratio. As described above, the flow rate characteristic of pneumatic equipment such as a pneumatic valve is displayed by the sonic conductance and the critical pressure ratio.
【０００３】空気圧機器の流量特性を計測する従来の方
法としては、ＪＩＳＢ８３９０で規定されている方法と
真空充填法などがある。ここで、ＪＩＳＢ８３９０で規
定されている方法には、流量法と放出法とがある。Conventional methods for measuring the flow rate characteristics of pneumatic equipment include the method specified by JISB8390 and the vacuum filling method. Here, the method defined by JISB8390 includes a flow rate method and a discharge method.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ＪＩＳＢ８３９０で規
定されている方法のうちの流量法は、可変絞りを段階的
に変えた際の空気圧機器の上流と下流の圧力差とそのと
きの流量を測定する方法である。しかし、この方法で
は、流量計が必要なことと、繰り返し計測をすることで
ようやく一つの空気圧機器の流量特性が得られるという
問題がある。The flow rate method, which is one of the methods specified in JIS B8390, measures the pressure difference between the upstream and downstream of the pneumatic device when the variable throttle is changed stepwise, and the flow rate at that time. Is the way. However, this method has a problem that a flow meter is required and that the flow rate characteristic of one pneumatic device can be finally obtained by repeating the measurement.
【０００５】つぎに、ＪＩＳＢ８３９０で規定されてい
る方法のうちの放出法は、容器内空気を加圧し、大気に
空気を放出して途中で放出を止める方法であり、そのと
きの圧力応答から有効断面積を求めるものである。しか
し、有効断面積（音速コンダクタンスと等価）は求めら
れるが、臨界圧力比は求められないという問題がある。Next, among the methods defined by JISB8390, the discharge method is a method of pressurizing the air in the container to discharge the air into the atmosphere and stopping the discharge midway. The pressure response at that time is effective. The cross-sectional area is calculated. However, there is a problem that the critical pressure ratio cannot be obtained although the effective area (equivalent to sonic conductance) is obtained.
【０００６】つぎに、真空充填法は、真空状態の容器に
空気圧機器を通して気体を流入させた際の圧力を測定し
て、流量特性を求める方法である。臨界圧力比の測定に
は数点の圧力を用いてその平均をとる。しかし、容器内
の温度変化が誤差の原因となる。また、臨界圧力比の測
定に時間を要するという問題がある。Next, the vacuum filling method is a method in which the flow rate characteristic is obtained by measuring the pressure when a gas is introduced into a container in a vacuum state through a pneumatic device. To measure the critical pressure ratio, several points of pressure are used and the average is taken. However, the temperature change in the container causes an error. Further, there is a problem that it takes time to measure the critical pressure ratio.
【０００７】本発明は、このような課題に鑑みてなされ
たものであり、空気圧機器の流量特性を精度良く簡易に
計測することができる、気体用機器の流量特性計測装置
および流量特性計測方法を提供することを目的とする。The present invention has been made in view of the above problems, and provides a flow rate characteristic measuring device and a flow rate characteristic measuring method for a gas instrument capable of accurately and easily measuring the flow rate characteristic of a pneumatic instrument. The purpose is to provide.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明の気体用機器の流
量特性計測装置は、所定圧力の気体を気体用機器に供給
する供給装置と、この気体用機器からの気体を流入させ
る等温化圧力容器と、この等温化圧力容器の圧力を計測
する圧力センサとを有するものである。SUMMARY OF THE INVENTION A flow rate characteristic measuring apparatus for gas equipment according to the present invention comprises a supply device for supplying a gas having a predetermined pressure to the gas equipment, and an isothermal pressure for inflowing the gas from the gas equipment. It has a container and a pressure sensor for measuring the pressure of the isothermal pressure container.
【０００９】上述の等温化圧力容器は、表面積の大きな
材料を充填した容器であることが好ましい。また、上述
の気体用機器は気体用弁であることがより好ましい。The isothermal pressure vessel described above is preferably a vessel filled with a material having a large surface area. Further, it is more preferable that the above-mentioned gas device is a gas valve.
【００１０】本発明の気体用機器の流量特性計測装置に
よれば、所定圧力の気体を気体用機器に供給する供給装
置と、この気体用機器からの気体を流入させる等温化圧
力容器と、この等温化圧力容器の圧力を計測する圧力セ
ンサとを有するので、等温化圧力容器内の圧力を、温度
変化の影響をほとんど受けずに経時的に計測できる。According to the flow rate characteristic measuring device for a gas device of the present invention, a supply device for supplying a gas having a predetermined pressure to the gas device, an isothermal pressure vessel for allowing the gas from the gas device to flow, Since it has a pressure sensor for measuring the pressure of the isothermal pressure vessel, the pressure in the isothermal pressure vessel can be measured over time with almost no influence of temperature change.
【００１１】また、本発明の気体用機器の流量特性計測
方法は、供給装置の圧力を、所定圧力に設定する工程
と、この所定圧力の気体を気体用機器に供給し、かつこ
の気体用機器からの気体を等温化圧力容器に流入させ、
この等温化圧力容器の圧力を計測する工程と、この等温
化圧力容器の圧力の計測結果より、気体用機器の流量特
性を算出する工程とを有するものである。Further, the method for measuring the flow rate characteristic of a gas device according to the present invention comprises the step of setting the pressure of the supply device to a predetermined pressure, and supplying the gas of the predetermined pressure to the gas device, and the gas device. The gas from the above into the isothermal pressure vessel,
It has a step of measuring the pressure of the isothermal pressure vessel and a step of calculating the flow rate characteristic of the gas appliance from the measurement result of the pressure of the isothermal pressure vessel.
【００１２】上述の等温化圧力容器は、表面積の大きな
材料を充填した容器であることが好ましい。また、上述
の気体用機器は気体用弁であることがより好ましい。ま
た、上述の流量特性は、音速コンダクタンスと臨界圧力
比であることがさらに好ましい。The isothermal pressure vessel described above is preferably a vessel filled with a material having a large surface area. Further, it is more preferable that the above-mentioned gas device is a gas valve. Further, it is more preferable that the above-mentioned flow rate characteristic is the sonic conductance and the critical pressure ratio.
【００１３】本発明の気体用機器の流量特性計測方法に
よれば、供給装置の圧力を所定圧力に設定する工程と、
この所定圧力の気体を気体用機器に供給し、かつこの気
体用機器からの気体を等温化圧力容器に流入させ、この
等温化圧力容器の圧力を計測する工程と、この等温化圧
力容器の圧力の計測結果より気体用機器の流量特性を算
出する工程とを有するので、等温化圧力容器内の圧力
を、温度変化の影響をほとんど受けずに経時的に計測で
きる。According to the flow rate characteristic measuring method for gas equipment of the present invention, the step of setting the pressure of the supply device to a predetermined pressure,
Supplying the gas of this predetermined pressure to the gas equipment, and flowing the gas from this gas equipment into the isothermal pressure container, measuring the pressure of this isothermal pressure container, and the pressure of this isothermal pressure container. And the step of calculating the flow rate characteristic of the gas device from the measurement result of 1., the pressure in the isothermal pressure vessel can be measured over time with almost no influence of temperature change.
【００１４】[0014]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。まず、気体用機器の流量特性計測装置につ
いて説明する。図１は、気体用機器の流量特性計測装置
の一例としての、等温化圧力容器を用いた各種空気圧弁
などの空気圧機器の流量特性計測装置を示したものであ
る。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below. First, a flow rate characteristic measuring device for gas equipment will be described. FIG. 1 shows a flow rate characteristic measuring apparatus for pneumatic equipment such as various pneumatic valves using an isothermal pressure vessel as an example of a flow characteristic measuring apparatus for gas equipment.
【００１５】この空気圧機器の流量特性計測装置は、図
１に示すように、空気圧源１、減圧弁２、補助タンク
３、電磁弁４、供試弁５、等温化圧力容器６、圧力セン
サ７、ＤＡ変換器８、ＡＤ変換器９、およびコンピュー
タ１０から成る。ここで、空気圧源１、減圧弁２、およ
び補助タンク３を供給装置と定義する。この供給装置
は、所定圧力の気体を気体用機器に供給するものであ
る。As shown in FIG. 1, the apparatus for measuring the flow rate characteristics of pneumatic equipment includes an air pressure source 1, a pressure reducing valve 2, an auxiliary tank 3, a solenoid valve 4, a test valve 5, an isothermal pressure vessel 6, and a pressure sensor 7. , A DA converter 8, an AD converter 9, and a computer 10. Here, the air pressure source 1, the pressure reducing valve 2, and the auxiliary tank 3 are defined as a supply device. This supply device supplies a gas having a predetermined pressure to a gas device.
【００１６】供給装置を構成する空気圧源１の例として
は、コンプレッサを挙げることができる。ただし、空気
圧源１は、このコンプレッサに限定されるわけではな
い。このほか、空気圧源１としては、圧縮空気を充填し
たボンベなどを挙げることができる。A compressor can be cited as an example of the air pressure source 1 constituting the supply device. However, the air pressure source 1 is not limited to this compressor. In addition, the air pressure source 1 may be a cylinder filled with compressed air.
【００１７】供給装置を構成する減圧弁２は、空気圧源
１から供給される空気の圧力を所定の圧力に制御するた
めのものである。この減圧弁２は、一般に用いられてい
るもので良く、特に限定されるものではない。ここで所
定の圧力は、２００ｋＰａ〜１ＭＰａの範囲にあること
が好ましい。所定の圧力がこの範囲にあると、臨界圧力
比の測定を行うことができ、また通常のコンプレッサ等
で供給できるという利点があるからである。The pressure reducing valve 2 constituting the supply device is for controlling the pressure of the air supplied from the air pressure source 1 to a predetermined pressure. The pressure reducing valve 2 may be a commonly used one and is not particularly limited. Here, the predetermined pressure is preferably in the range of 200 kPa to 1 MPa. This is because when the predetermined pressure is within this range, there is an advantage that the critical pressure ratio can be measured and the pressure can be supplied by a normal compressor or the like.
【００１８】供給装置を構成する補助タンク３は、金属
製の中空容器である。この補助タンク３は、減圧弁２か
ら供給される空気を一時的に貯留するものである。この
補助タンク３を設置することにより、流量が大きくなる
ことを原因として圧力が降下するのを防止することがで
きる。なお、補助タンク３の容積は５〜１００Ｌの範囲
にあることが好ましい。容積がこの範囲にあると、圧力
降下を抑えることができ、現在使用されているほとんど
すべての空気圧弁の流量特性が測定可能であるという利
点があるからである。The auxiliary tank 3 constituting the supply device is a hollow container made of metal. The auxiliary tank 3 temporarily stores the air supplied from the pressure reducing valve 2. By installing this auxiliary tank 3, it is possible to prevent the pressure from dropping due to a large flow rate. The volume of the auxiliary tank 3 is preferably in the range of 5 to 100L. This is because when the volume is in this range, the pressure drop can be suppressed, and the flow characteristics of almost all the pneumatic valves currently used can be measured.
【００１９】なお、供給装置は上述した空気圧源１、減
圧弁２、および補助タンク３から構成されるものに限定
されるわけではない。空気の圧力を所定の値に制御でき
て、安定して供給できるものであればいかなる装置も採
用することができる。The supply device is not limited to the one composed of the air pressure source 1, the pressure reducing valve 2 and the auxiliary tank 3 described above. Any device can be adopted as long as it can control the air pressure to a predetermined value and can stably supply the air.
【００２０】電磁弁４は、コンピュータ１０（後に詳し
く説明する。）からの信号の入力により、弁を開き補助
タンク３からの空気を通過させるものである。また、計
測終了後は、コンピュータ１０からの信号の入力により
弁を閉じる。The electromagnetic valve 4 opens the valve and allows the air from the auxiliary tank 3 to pass when a signal is input from a computer 10 (which will be described in detail later). After the measurement is completed, the valve is closed by inputting a signal from the computer 10.
【００２１】電磁弁４の有効断面積は供試弁５（後に詳
しく説明する。）の有効断面積の４倍以上大きいことが
好ましい。電磁弁４の有効断面積がこの範囲にあると、
電磁弁４による圧力降下をほとんど無視することができ
るからである。It is preferable that the effective area of the solenoid valve 4 is four times or more as large as the effective area of the test valve 5 (which will be described in detail later). If the effective area of the solenoid valve 4 is within this range,
This is because the pressure drop due to the solenoid valve 4 can be almost ignored.
【００２２】なお、この電磁弁４の代わりに、通常は弁
が閉じており電気信号を入力したときに弁が開くもので
あれば、他の弁を使用することができる。また、手動に
より弁を開閉するものであってもかまわない。Instead of the solenoid valve 4, another valve can be used as long as the valve is normally closed and the valve opens when an electric signal is input. Further, the valve may be manually opened and closed.
【００２３】供試弁５は、流量特性を計測しようとする
対象物であり、気体用機器の一例である。気体用機器と
しては、電磁弁、サーボ弁、ポペット弁、スプール弁な
どの気体用弁の他、固定ノズル、可変ノズルなどを挙げ
ることができる。また、気体用機器の質量速度は１×１
０-5ｋｇ／ｓ〜２ｋｇ／ｓの範囲にあることが計測に適
している。質量速度がこの範囲にあると、圧力変化の計
測の精度も十分であり、かつ等温化圧力容器６（後にく
わしく説明する。）の設備費が過大になるのを防止でき
るからである。The test valve 5 is an object whose flow rate characteristics are to be measured, and is an example of a gas device. Examples of the gas equipment include solenoid valves, servo valves, poppet valves, spool valves, and other gas valves, as well as fixed nozzles and variable nozzles. Moreover, the mass velocity of the gas equipment is 1 × 1.
The range of 0 -5 kg / s to 2 kg / s is suitable for measurement. This is because when the mass velocity is in this range, the accuracy of pressure change measurement is sufficient, and the equipment cost of the isothermal pressure vessel 6 (which will be described in detail later) can be prevented from becoming excessive.
【００２４】等温化圧力容器６は、供試弁５からの気体
を流入させ充填させる容器である。等温化圧力容器６の
形状は、例えば円筒であり、いずれか一方の底面側から
気体を流入させる。このとき、円筒の高さ（奥行き）は
底面の直径の２倍以下であることが好ましい。円筒の高
さ（奥行き）がこの範囲にあると気体の流入時におけ
る、圧力勾配の発生を抑えることができるからである。The isothermal pressure vessel 6 is a vessel into which the gas from the test valve 5 is made to flow and filled. The isothermal pressure vessel 6 has, for example, a cylindrical shape, and gas is introduced from one of the bottom surfaces. At this time, it is preferable that the height (depth) of the cylinder is not more than twice the diameter of the bottom surface. This is because if the height (depth) of the cylinder is within this range, it is possible to suppress the occurrence of a pressure gradient when gas flows in.
【００２５】等温化圧力容器６の形状は、上述の円筒に
限定されるわけではない。このほか多角柱体、球体、楕
円体など種々の形状を採用することができる。このとき
も、気体の流入方向の奥行きは、断面の最大幅の２倍以
下とすることが好ましい。断面の最大幅は、例えば多角
柱体であれば断面中の最大幅、楕円体であれば奥行き方
向の中心の断面における直径である。The shape of the isothermal pressure vessel 6 is not limited to the above-mentioned cylinder. In addition, various shapes such as a polygonal prism, a sphere, and an ellipse can be adopted. Also at this time, it is preferable that the depth in the gas inflow direction is not more than twice the maximum width of the cross section. The maximum width of the cross section is, for example, the maximum width in the cross section for a polygonal prism, and the diameter of the cross section at the center in the depth direction for an ellipsoid.
【００２６】等温化圧力容器６の容積は０．０００２ｍ
3 〜１ｍ3 の範囲にあることが好ましい。この範囲は、
上述した気体用機器の質量速度の適している範囲に対応
させたものである。なお、等温化圧力容器６の材質は金
属である。The volume of the isothermal pressure vessel 6 is 0.0002 m.
It is preferably in the range of 3 to 1 m 3 . This range is
It corresponds to the suitable range of the mass velocity of the gas equipment described above. The material of the isothermal pressure vessel 6 is metal.
【００２７】等温化圧力容器６の中には、表面積の大き
な材料が充填されている。表面積の大きな材料として
は、スチールウールを用いた。このように、等温化圧力
容器６は容器にスチールウールを充填することで伝熱面
積を増大させている。こうすることによって、スチール
ウールを充填していない通常の容器では３０Ｋ程度温度
変化するのに対して、スチールウールを充填した等温化
圧力容器６は３Ｋ程度に温度変化を抑えることができ
る。The isothermal pressure vessel 6 is filled with a material having a large surface area. Steel wool was used as the material having a large surface area. In this way, the isothermal pressure vessel 6 increases the heat transfer area by filling the vessel with steel wool. By doing so, the temperature change of about 30 K occurs in a normal container not filled with steel wool, while the temperature change of the isothermal pressure container 6 filled with steel wool can be suppressed to about 3 K.
【００２８】なお、スチールウールの充填密度は２０〜
４０ｋｇ／ｍ3 の範囲にあることが好ましい。充填密度
がこの範囲にあると、等温化圧力容器内の等圧性が確保
できるとともに、容器内の温度変化を無視できる程度に
抑えることができるからである。このスチールウールの
充填方法は、スチールウールを手で押し込むようにして
行う。The filling density of steel wool is 20-
It is preferably in the range of 40 kg / m 3 . This is because if the packing density is in this range, the isobaricity in the isothermal pressure vessel can be ensured and the temperature change in the vessel can be suppressed to a negligible level. This steel wool filling method is performed by pushing the steel wool by hand.
【００２９】等温化圧力容器６に充填する材料は、上述
のスチールウールに限定されるわけではない。このほ
か、木綿やプラスチック製の綿などを採用することがで
きる。すなわち、材料が繊維状であり、その径が１０〜
５０μｍの範囲にあり、熱伝導度が０．０５Ｗ／ｍＫ以
上であれば採用することができる。The material to be filled in the isothermal pressure vessel 6 is not limited to the above-mentioned steel wool. In addition, cotton or plastic cotton can be used. That is, the material is fibrous and its diameter is 10
If it is in the range of 50 μm and has a thermal conductivity of 0.05 W / mK or more, it can be adopted.
【００３０】圧力センサ７は、等温化圧力容器６の圧力
を計測するものである。ここでは、圧力センサ７とし
て、半導体式圧力センサを用いた。圧力センサ７の測定
可能範囲は、大気圧〜減圧弁２の設定圧力の範囲にある
ことが好ましい。また、圧力センサ７の精度は０．１ｋ
Ｐａ以下であることが好ましい。精度がこの範囲にある
と流量特性の計測精度を十分なものにすることができる
からである。The pressure sensor 7 measures the pressure of the isothermal pressure vessel 6. Here, a semiconductor pressure sensor is used as the pressure sensor 7. The measurable range of the pressure sensor 7 is preferably in the range of atmospheric pressure to the set pressure of the pressure reducing valve 2. The accuracy of the pressure sensor 7 is 0.1k.
It is preferably Pa or less. This is because if the accuracy is within this range, the measurement accuracy of the flow rate characteristics can be made sufficient.
【００３１】なお、圧力センサ７は、上述の半導体式セ
ンサに限定されるわけではない。圧力を電気信号として
出力するものであり、計測精度が上述の範囲内にあれば
他の圧力センサであってもかまわない。The pressure sensor 7 is not limited to the above-mentioned semiconductor type sensor. The pressure is output as an electric signal, and another pressure sensor may be used as long as the measurement accuracy is within the above range.
【００３２】ＤＡ変換器８は、コンピュータ１０から
の、電磁弁４開閉のデジタル信号をアナログ信号に変換
するものである。また、ＡＤ変換器９は、圧力センサ７
からのアナログ信号をデジタル信号に変換するものであ
る。The DA converter 8 converts a digital signal from the computer 10 for opening / closing the solenoid valve 4 into an analog signal. Further, the AD converter 9 includes the pressure sensor 7
The analog signal from the is converted into a digital signal.
【００３３】コンピュータ１０は、電磁弁４への開閉の
信号を出力するとともに、圧力センサ７からの計測デー
タ信号を入力する。また、コンピュータ１０は計測デー
タを基に供試弁５の流量特性の算出を行う。流量特性の
算出については後に詳しく述べる。The computer 10 outputs an opening / closing signal to the solenoid valve 4 and also inputs a measurement data signal from the pressure sensor 7. The computer 10 also calculates the flow rate characteristic of the test valve 5 based on the measurement data. The calculation of the flow rate characteristic will be described in detail later.
【００３４】なお、上では気体として空気について説明
したが、気体は空気に限定されるわけではない。このほ
か天然ガス、二酸化炭素などの他の気体にも本発明は適
用できることはもちろんである。Although air has been described above as a gas, the gas is not limited to air. Of course, the present invention can be applied to other gases such as natural gas and carbon dioxide.
【００３５】次に、気体用機器の流量特性計測方法につ
いて説明する。図２は、気体用機器の流量特性計測方法
の工程フローを示す図である。この工程フローに沿って
説明する。Next, a method of measuring the flow rate characteristic of the gas equipment will be described. FIG. 2 is a diagram showing a process flow of a method for measuring a flow rate characteristic of a gas device. A description will be given along this process flow.
【００３６】最初に、供給装置の圧力を所定圧力に設定
する。すなわち、１に示すように、減圧弁２により供給
圧の設定を行う。供給圧は４００〜６００ｋＰａの範囲
に設定することが好ましい。供給圧がこの範囲にある
と、通常空気圧機器を使用する圧力範囲となり、供試弁
の流量特性を精度良く測定できるという利点があるから
である。First, the pressure of the supply device is set to a predetermined pressure. That is, as indicated by 1, the pressure reducing valve 2 sets the supply pressure. The supply pressure is preferably set in the range of 400 to 600 kPa. This is because if the supply pressure is in this range, it will be in a pressure range in which a pneumatic device is normally used, and there is an advantage that the flow rate characteristic of the test valve can be accurately measured.
【００３７】つぎに、２に示すように、流量特性を計測
すべき供試弁の設置を行う。ここで、可変ノズルにおい
ては、開度の調整を行う。Next, as shown in 2, a test valve whose flow rate characteristic is to be measured is installed. Here, the opening of the variable nozzle is adjusted.
【００３８】つぎに、３に示すように、電磁弁４を開
く。この電磁弁４は、コンピュータ１０からの出力信号
に基づき開くのである。この電磁弁４が開くことによ
り、上述した所定圧力の気体が供試弁５に供給される。
そして、供試弁５からの気体は等温化圧力容器６に流入
する。したがって、電磁弁４は、等温化圧力容器への空
気充填の開始を制御する役割をもつものである。Next, as shown at 3, the solenoid valve 4 is opened. The solenoid valve 4 opens based on the output signal from the computer 10. By opening the solenoid valve 4, the gas having the above-mentioned predetermined pressure is supplied to the test valve 5.
Then, the gas from the test valve 5 flows into the isothermal pressure container 6. Therefore, the solenoid valve 4 has a role of controlling the start of air filling into the isothermal pressure vessel.
【００３９】つぎに、４に示すように、等温化圧力容器
６の圧力を計測する。圧力の計測は等温化圧力容器６に
設けられた圧力センサ７により行われる。また、圧力の
計測は、電磁弁４が開いたときから始める。Next, as shown in 4, the pressure in the isothermal pressure vessel 6 is measured. The pressure is measured by the pressure sensor 7 provided in the isothermal pressure vessel 6. The pressure measurement is started when the solenoid valve 4 is opened.
【００４０】つぎに、５に示すように、計測データ信号
のコンピュータ１０への入力が行われる。データの取り
込み時間は合計で１０〜１５秒である。また、サンプリ
ングタイムは２〜１０ｍ秒毎の範囲にあることが好まし
い。サンプリングタイムがこの範囲にあると、流量特性
算出の精度を十分に高くすることができるからである。Next, as shown in 5, the measurement data signal is input to the computer 10. The data acquisition time is 10 to 15 seconds in total. The sampling time is preferably in the range of 2 to 10 msec. This is because if the sampling time is within this range, the accuracy of the flow rate characteristic calculation can be made sufficiently high.
【００４１】つぎに、点線で囲んだ枠８に示すように、
等温化圧力容器の圧力の計測結果より、供試弁の流量特
性の算出を行う。この流量特性の算出は、コンピュータ
内で行われる。流量特性の算出は、具体的には、６に示
すような最小２乗近似による圧力波形のフィッティング
と、７に示すような音速コンダクタンスＣと臨界圧力比
ｂの算出である。Next, as shown in a frame 8 surrounded by a dotted line,
Calculate the flow rate characteristics of the test valve from the measurement results of the pressure in the isothermal pressure vessel. The calculation of the flow rate characteristic is performed in the computer. Specifically, the calculation of the flow rate characteristic is a fitting of the pressure waveform by the least-squares approximation as shown in 6, and the calculation of the sonic conductance C and the critical pressure ratio b as shown in 7.
【００４２】ここで、最小２乗近似による圧力波形のフ
ィッティングと、音速コンダクタンスＣおよび臨界圧力
比ｂの算出方法をその原理とともに説明する。なお、こ
れからの説明に用いる式の記号表はつぎの通りである。Here, the fitting of the pressure waveform by the least-squares approximation and the method of calculating the sonic conductance C and the critical pressure ratio b will be explained together with its principle. In addition, the symbol table of the formulas used in the following description is as follows.
【表１】 [Table 1]
【００４３】容器内の空気に対して次式の状態方程式が
成り立つ。The following equation of state holds for the air in the container.
【数１】 [Equation 1]
【００４４】この（１）式の状態方程式を微分すること
によって次式を得る。The following equation is obtained by differentiating the state equation of equation (1).
【数２】 [Equation 2]
【００４５】ここで、もし充填時の容器内の状態変化が
等温であるとすると（２）式は次式のように表すことが
できる。Here, if the state change in the container at the time of filling is isothermal, the equation (2) can be expressed as the following equation.
【数３】 [Equation 3]
【００４６】室温θａが既知の時、チョーク流れにおけ
る流量は次式で与えられる。When the room temperature θa is known, the flow rate in the choked flow is given by the following equation.
【数４】 [Equation 4]
【００４７】図３は供給圧を６００ｋＰａとして等温化
圧力容器に空気を充填した時の容器内の圧力応答を表し
ている。FIG. 3 shows the pressure response in the isothermal pressure vessel filled with air at a supply pressure of 600 kPa.
【００４８】この（４）式を（３）式に代入すると次式
が求まる。By substituting the equation (4) into the equation (3), the following equation is obtained.
【数５】 [Equation 5]
【００４９】この（５）式を充填の開始から積分するこ
とによって次式を得る。The following equation is obtained by integrating the equation (5) from the start of filling.
【数６】 [Equation 6]
【００５０】この（６）式は図３でｆ１（ｔ）として示
すように時間に対して線形な式であり、音速コンダクタ
ンスを求めると（６）式より、次式となる。This equation (6) is a linear equation with respect to time as indicated by f1 (t) in FIG. 3. When the sonic conductance is obtained, the following equation is obtained from equation (6).
【数７】 [Equation 7]
【００５１】一方、ＩＳＯ ６３５８によると亜音速流
れにおいて次式を用いることが規定されている。On the other hand, according to ISO 6358, it is specified to use the following equation in a subsonic flow.
【数８】 [Equation 8]
【００５２】ここで、（８）式を（３）式に代入するこ
とによって次式を得る。Here, the following equation is obtained by substituting equation (8) into equation (3).
【数９】 [Equation 9]
【００５３】臨界圧力Ｐcrに達する時の時間をｔcrとす
ると（９）式を積分することによって圧力波形は次式と
なる。 Assuming that the time required to reach the critical pressure P cr is t cr , the pressure waveform becomes the following formula by integrating the formula (9).
【数１０】 [Equation 10]
【００５４】この（１０）式は図３に示すｆ２（ｔ）で
ある。等温化圧力容器において、亜音速流れにおける圧
力波形は正弦波で表されることがわかる。This equation (10) is f2 (t) shown in FIG. It can be seen that in the isothermal pressure vessel, the pressure waveform in the subsonic flow is represented by a sine wave.
【００５５】そして、本発明の方法は、測定した容器内
の圧力波形から（６）式、（１０）式で最小２乗近似曲
線を求めることによって、音速コンダクタンスＣと臨界
圧力比ｂを同時に推定する。In the method of the present invention, the sonic conductance C and the critical pressure ratio b are estimated at the same time by obtaining the least squares approximation curve from the measured pressure waveform in the container by the equations (6) and (10). To do.
【００５６】つぎに、非線形最小２乗法について説明す
る。測定した圧力波形と（６）、（１０）式から音速コ
ンダクタンスＣと臨界圧力比ｂを最小２乗近似で求める
手順を以下に示す。計算にはガウス- ニュートン法を用
いる。Next, the nonlinear least squares method will be described. The procedure for obtaining the sonic conductance C and the critical pressure ratio b by the least-squares approximation from the measured pressure waveform and the equations (6) and (10) is shown below. The Gauss-Newton method is used for the calculation.
【００５７】（１）次式に対してＣ，ｂの初期値Ｃ０，
ｂ０を与える。(1) With respect to the following equation, initial values C0 and C0,
Give b0.
【数１１】 [Equation 11]
【００５８】（２）次式を計算しこれをＳ０とする。(2) The following equation is calculated and this is S0.
【数１２】 [Equation 12]
【００５９】（３）以下に示す要素をｉ＝１〜ｎついて
計算する。(3) The following elements are calculated for i = 1 to n.
【数１３】 [Equation 13]
【００６０】（４）次式の線形方程式を△Ｃ，△ｂにつ
いて解く。(4) The following linear equation is solved for ΔC and Δb.
【数１４】 [Equation 14]
【００６１】（５）次式よりあらたにＣ，ｂを求める。(5) C and b are newly obtained from the following equation.
【数１５】 [Equation 15]
【００６２】（６) Ｃ，ｂを係数として次式を計算す
る。(6) The following equation is calculated with C and b as coefficients.
【数１６】
（７）これが以下に示す収束条件を満たしていれば計算
を終了する。そうでなければＣ，ｂをＣ０，ｂ０として
繰り返し計算をする。[Equation 16] (7) If this satisfies the following convergence condition, the calculation is terminated. Otherwise, C and b are set to C0 and b0 and repeated calculation is performed.
【数１７】 [Equation 17]
【００６３】ここで、音速コンダクタンスＣによってｆ
１（ｔ）の傾きは決まる。また、臨界圧力比ｂによって
ｆ１（ｔ）とｆ２（ｔ）の切替地点は決定される。ま
た、Ｃ，ｂが決定すればｆ１（ｔ）とｆ２（ｔ）の連続
性は確保される。以上の方法によって、圧力波形から瞬
時に音速コンダクタンスＣと臨界圧力比ｂを求めること
が可能である。Here, f is determined by the sonic conductance C.
The slope of 1 (t) is determined. The switching point between f1 (t) and f2 (t) is determined by the critical pressure ratio b. Further, if C and b are determined, the continuity of f1 (t) and f2 (t) is secured. By the above method, the sonic conductance C and the critical pressure ratio b can be instantly obtained from the pressure waveform.
【００６４】つぎに、測定可能範囲および測定精度の検
討結果について説明する。等温化圧力容器の充填の速度
が速くなるにつれて等温性が悪化する。温度変化による
誤差を０．５％に抑えるには圧力変化速度は１００ｋＰ
ａ／ｓ以下にする必要があることを確認している。Next, the examination results of the measurable range and the measurement accuracy will be described. The isothermal property deteriorates as the filling speed of the isothermal pressure vessel increases. To suppress the error due to temperature change to 0.5%, the pressure change rate is 100 kP
It has been confirmed that it needs to be a / s or less.
【００６５】逆に圧力変化速度が遅くなると等温性は向
上するが、圧力を微分する際に圧力計の分解能の影響を
受ける。本発明で使用した圧力計の分解能より、最低１
８ｋＰａ／ｓの圧力変化が必要であると考える。よって
容積０．００１ｍ3 の容器を用いた場合測定可能な流量
範囲は２．３×１０-4ｋｇ／ｓから１．２７×１０-3ｋ
ｇ／ｓとなる。On the contrary, when the pressure changing speed becomes slower, the isothermal property is improved, but when the pressure is differentiated, it is affected by the resolution of the pressure gauge. From the resolution of the pressure gauge used in the present invention, at least 1
It is considered that a pressure change of 8 kPa / s is necessary. Therefore, when a container with a volume of 0.001 m 3 is used, the measurable flow rate range is 2.3 × 10 −4 kg / s to 1.27 × 10 −3 k.
It becomes g / s.
【００６６】圧力測定法の誤差は誤差の伝播則より次式
で与えられる。The error of the pressure measuring method is given by the following equation from the error propagation law.
【数１８】
圧力センサの誤差δＰは０．５％であると考えられる。
また供給圧力の変動による誤差δＰｓ、容器の容積の測
定誤差δＶもそれぞれ０．５％であると考えられる。[Equation 18] The error δP of the pressure sensor is considered to be 0.5%.
Further, it is considered that the error δPs due to the fluctuation of the supply pressure and the measurement error δV of the container volume are also 0.5%.
【００６７】時間の誤差δｔは電磁弁の応答遅れ０．０
１［ｓ］であり、充填時間を１０［ｓ］とした場合誤差
は０．１％となる。温度計測の誤差は１［Ｋ］、０．３
％と考えられる。以上により誤差は０．９％におさまる
ことが明らかとなった。The time error δt is the response delay of the solenoid valve 0.0
It is 1 [s], and the error is 0.1% when the filling time is 10 [s]. Temperature measurement error is 1 [K], 0.3
%it is conceivable that. From the above, it became clear that the error was within 0.9%.
【００６８】以上のことから、所定圧力の気体を気体用
機器に供給する供給装置と、この気体用機器からの気体
を流入させる等温化圧力容器と、この等温化圧力容器の
圧力を計測する圧力センサとを有する、気体用機器の流
量特性計測装置により、または、供給装置の圧力を所定
圧力に設定する工程と、この所定圧力の気体を気体用機
器に供給し、かつ上記気体用機器からの気体を等温化圧
力容器に流入させ、上記等温化圧力容器の圧力を計測す
る工程と、上記等温化圧力容器の圧力の計測結果より気
体用機器の流量特性を算出する工程とを有する、気体用
機器の流量特性計測方法により、等温化圧力容器内の圧
力を、温度変化の影響をほとんど受けずに経時的に計測
でき、気体用機器の流量特性を精度良く簡易に計測する
ことができる。すなわち、本発明は、等温化圧力容器を
用い、容器に空気を充填する際の圧力応答から繰り返し
計測することなしに、精度良く簡易に流量特性を測定す
ることができる。From the above, a supply device for supplying a gas of a predetermined pressure to a gas device, an isothermal pressure container into which the gas from the gas device flows, and a pressure for measuring the pressure of the isothermal pressure container With a flow rate characteristic measuring device of a gas device having a sensor, or a step of setting the pressure of the supply device to a predetermined pressure, and supplying a gas of this predetermined pressure to the gas device, and from the gas device. Including a step of flowing gas into the isothermal pressure vessel and measuring the pressure of the isothermal pressure vessel, and a step of calculating flow rate characteristics of the gas device from the measurement result of the pressure of the isothermal pressure vessel, for gas By the flow rate characteristic measuring method of the device, the pressure in the isothermal pressure vessel can be measured over time with almost no influence of temperature change, and the flow characteristic of the gas device can be accurately and easily measured. That is, according to the present invention, an isothermal pressure vessel can be used to accurately and easily measure the flow rate characteristic without repeatedly measuring the pressure response when the vessel is filled with air.
【００６９】なお、本発明は上述の実施の形態に限らず
本発明の要旨を逸脱することなくその他種々の構成を採
り得ることはもちろんである。It is needless to say that the present invention is not limited to the above-mentioned embodiment and can take various other configurations without departing from the gist of the present invention.
【００７０】次に、本発明にかかる実施例について具体
的に説明する。ただし、本発明はこれら実施例に限定さ
れるものではないことはもちろんである。Next, examples of the present invention will be specifically described. However, it goes without saying that the present invention is not limited to these examples.
【００７１】具体的な条件は以下の通りである。
供試弁：電磁弁
空気圧源：コンプレッサ（商品名：ＣＯＭＰＡＣ５５
Ｐ、ＩＷＡＴＡ社製）
減圧弁の設定圧力：６００ｋＰａ
補助タンクの容量：約１０Ｌ
室温：２５℃
等温化圧力容器：円筒形状、奥行き／底面直径＝１．
５、
容器容積＝１．０×１０-3ｍ3
等温化圧力容器の充填物：スチールウール（商品名：ボ
ンスター超極細、
日本スチールウール社製）、スチールウールの径＝２５
μｍ、
充填密度＝３０ｋｇ／ｍ3
圧力センサ：半導体式圧力センサ（商品名：ＰＭＳ−
５、
豊田工機社製）、精度＝０．３ｋＰａ
データの取り込み時間：２０秒
サンプリングタイム：５ｍ秒毎The specific conditions are as follows. Test valve: Solenoid valve Air pressure source: Compressor (Product name: COMPAC55
P, manufactured by IWATA) Set pressure of pressure reducing valve: 600 kPa Capacity of auxiliary tank: about 10 L Room temperature: 25 ° C. Isothermal pressure vessel: cylindrical shape, depth / bottom diameter = 1.
5. Container volume = 1.0 x 10 -3 m 3 Isothermal pressure container filling: Steel wool (Product name: Bonster superfine, Nippon Steel Wool Co., Ltd.), Steel wool diameter = 25
μm, filling density = 30 kg / m 3 Pressure sensor: Semiconductor type pressure sensor (Product name: PMS-
5, manufactured by Toyota Koki Co., Ltd., accuracy = 0.3 kPa Data acquisition time: 20 seconds Sampling time: every 5 ms
【００７２】図４に電磁弁に対して実験を行なった結果
の圧力波形と最小２乗近似曲線を示す。実験結果（実
線）と近似曲線（点線）は大変良い一致を示しており、
最小２乗近似が適切に行なわれていることがわかる。FIG. 4 shows a pressure waveform and a least-squares approximation curve as a result of an experiment conducted on the solenoid valve. The experimental results (solid line) and the approximate curve (dotted line) show a very good agreement,
It can be seen that the least-squares approximation is properly performed.
【００７３】図５に供試弁の圧力流量特性の結果を示
す。図５は、供試弁の圧力流量特性の結果を、ＩＳＯで
規定されている方法で測定した結果と対比した図であ
る。図中の白丸は流量計と圧力計を用いてＩＳＯで規定
されている方法で測定した結果である。図中の実線は図
４の圧力波形を微分することによって求めた結果であ
る。ＩＳＯの方法と比較して大変良い一致を示している
ことがわかる。この結果より、本発明の方法の有効性が
明らかとなった。FIG. 5 shows the results of the pressure flow rate characteristics of the test valve. FIG. 5 is a diagram comparing the results of the pressure-flow characteristics of the test valve with the results measured by the method specified by ISO. The white circles in the figure are the results measured by the method specified by ISO using a flow meter and a pressure gauge. The solid line in the figure is the result obtained by differentiating the pressure waveform of FIG. It can be seen that the agreement is very good as compared with the ISO method. From this result, the effectiveness of the method of the present invention was clarified.
【００７４】供試弁として、電磁弁のほかに可変バル
ブ、単純な絞りについて同様の実験を行ない、本発明方
法の有効性を検証した。結果を表２，３に示す。なお、
表２，３に示すバルブは、具体的にはＡ：可変絞り、
Ｂ：絞り、Ｃ：可変絞り、Ｄ：電磁弁である。As a test valve, the same experiment was conducted using a variable valve and a simple throttle in addition to the solenoid valve, and the effectiveness of the method of the present invention was verified. The results are shown in Tables 2 and 3. In addition,
The valves shown in Tables 2 and 3 are specifically A: variable throttle,
B: throttle, C: variable throttle, D: solenoid valve.
【００７５】また、ＩＳＯの方法とは、ＩＳＯ６３５８
とＪＩＳＢ８３９０で規定されている方法である。供試
弁の上流圧、下流圧と通過する流量から流量特性を測定
する。まず供試弁下流に接続した可変絞りを全開にして
最大流量を流し、音速コンダクタンスを算出する。次に
最大流量の８０％、６０％、４０％、２０％の４点での
流量と上下流圧を測定し、それぞれの点から求めた臨界
圧力比を平均することで臨界圧力比ｂを算出する方法で
ある。The ISO method is ISO6358.
And the method defined by JISB8390. The flow characteristics are measured from the upstream pressure and downstream pressure of the test valve and the flow rate passing through. First, the variable throttle connected to the downstream side of the test valve is fully opened to let the maximum flow rate, and the sonic conductance is calculated. Next, the flow rate and the upstream / downstream pressure at four points of 80%, 60%, 40%, and 20% of the maximum flow rate are measured, and the critical pressure ratios obtained from the respective points are averaged to calculate the critical pressure ratio b. Is the way to do it.
【００７６】また、改良ＩＳＯ（Ｉｍｐｒｏｖｅｄ Ｉ
ＳＯ）の方法とは、実験装置はＩＳＯの方法と同様であ
るが、臨界圧力比を求める際に４点の流量を用いるので
はなく、より多数の点での流量と圧力比から求めた臨界
圧力比（およそ１０点）を平均することで、ＩＳＯの方
法より精度よく臨界圧力比ｂを求めるものである。Further, an improved ISO (Improved I
The SO) method is the same as the ISO method in the experimental apparatus, but the flow rate at four points is not used when determining the critical pressure ratio, and the critical pressure ratio obtained from the flow rate and pressure ratio at a larger number of points is used. By averaging the pressure ratios (about 10 points), the critical pressure ratio b is obtained with higher accuracy than the ISO method.
【００７７】[0077]
【表２】 [Table 2]
【００７８】[0078]
【表３】 [Table 3]
【００７９】表２においてバルブＡは音速コンダクタン
スが小さいことから容積が６．０×１０-4ｍ3 の容器
を、他のバルブに対しては容積が１．０×１０-3ｍ3 の
容器を用いた。音速コンダクタンスに関してはいずれの
場合もＩＳＯの方法を基にして流量計で測定した結果と
２％以内の精度で合っており、本発明の方法の有効性が
確認された。In Table 2, since the valve A has a small sonic conductance, a container having a volume of 6.0 × 10 −4 m 3 is used, and a valve having a volume of 1.0 × 10 −3 m 3 is used for other valves. Was used. With respect to the sonic conductance, in each case, the results measured by a flow meter based on the ISO method were matched with an accuracy of 2% or less, and the effectiveness of the method of the present invention was confirmed.
【００８０】また、表３に注目すると、臨界圧力比は、
バルブＣのようにチョーク点が低いと８％弱の誤差を生
むことがわかった。しかし、バルブＣの圧力流量特性を
図示すると図６のようになり、本発明の方法の曲線は流
量計から求めた結果と良く対応していることがわかる。
つまりｂの値の多少のずれは全体には大きな影響を与え
ないことがわかった。よってこの程度の精度で十分実用
的であると考えられる。Also, paying attention to Table 3, the critical pressure ratio is
It was found that when the choke point is low like the valve C, an error of less than 8% is produced. However, the pressure-flow rate characteristic of the valve C is shown in FIG. 6, and it can be seen that the curve of the method of the present invention corresponds well with the result obtained from the flowmeter.
That is, it was found that a slight deviation of the value of b does not have a large influence on the whole. Therefore, it is considered that this degree of accuracy is sufficiently practical.
【００８１】以上のことから、本実施例によれば、容器
内の状態変化をほぼ等温にできる等温化圧力容器を用い
て、供試弁を通して容器に充填される空気の圧力を測定
するのみで、簡易に供試弁の流量特性を計測することが
できる。すなわち、一度の充填で、容器内の圧力波形の
みから、計算によって音速コンダクタンスと臨界圧力比
を同時に測定できる。また、流量計を用いた測定結果と
の比較検討の結果、測定精度も十分確保されており、本
発明の方法の有効性が実験によって明らかになった。From the above, according to the present embodiment, it is only necessary to measure the pressure of the air filled in the container through the test valve by using the isothermal pressure container capable of making the state change in the container almost isothermal. The flow characteristics of the test valve can be easily measured. That is, the sonic conductance and the critical pressure ratio can be simultaneously measured by calculation from only the pressure waveform inside the container by one filling. Further, as a result of comparison and examination with the measurement result using the flow meter, the measurement accuracy was sufficiently ensured, and the effectiveness of the method of the present invention was clarified by the experiment.
【００８２】[0082]
【発明の効果】本発明は、以下に記載されるような効果
を奏する。所定圧力の気体を気体用機器に供給する供給
装置と、この気体用機器からの気体を流入させる等温化
圧力容器と、この等温化圧力容器の圧力を計測する圧力
センサとを有する、気体用機器の流量特性計測装置によ
り、または、供給装置の圧力を所定圧力に設定する工程
と、この所定圧力の気体を気体用機器に供給し、かつ上
記気体用機器からの気体を等温化圧力容器に流入させ、
上記等温化圧力容器の圧力を計測する工程と、上記等温
化圧力容器の圧力の計測結果より気体用機器の流量特性
を算出する工程とを有する方法により、気体用機器の流
量特性を精度良く簡易に計測することができる。The present invention has the following effects. A gas device having a supply device for supplying a gas of a predetermined pressure to a gas device, an isothermal pressure vessel into which the gas from the gas device flows, and a pressure sensor for measuring the pressure of the isothermal pressure vessel Or the step of setting the pressure of the supply device to a predetermined pressure by the flow rate characteristic measuring device, and supplying the gas of the predetermined pressure to the gas equipment and flowing the gas from the gas equipment into the isothermal pressure container. Let
By a method having a step of measuring the pressure of the isothermal pressure vessel and a step of calculating the flow rate characteristic of the gas equipment from the measurement result of the pressure of the isothermal pressure vessel, the flow rate characteristic of the gas equipment can be accurately and simply Can be measured.
【図１】気体用機器の流量特性計測装置にかかる発明の
実施の形態を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of the invention relating to a flow rate characteristic measuring apparatus for gas equipment.
【図２】本実施の形態にかかる気体用機器の流量特性計
測方法の工程フローを示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a process flow of a flow rate characteristic measuring method for a gas device according to the present embodiment.
【図３】等温化圧力容器に空気を充填したときの、圧力
の経時変化を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a change in pressure with time when an isothermal pressure container is filled with air.
【図４】電磁弁に対して実験を行った結果の圧力波形
と、最小２乗近似曲線を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing a pressure waveform as a result of an experiment performed on a solenoid valve and a least-squares approximation curve.
【図５】供試弁の圧力流量特性の結果を、ＩＳＯで規定
されている方法で測定した結果と対比した図である。FIG. 5 is a diagram comparing the results of the pressure-flow rate characteristics of the test valve with the results measured by the method specified by ISO.
【図６】バルブＣの圧力流量特性の結果を、ＩＳＯで規
定されている方法で測定した結果と対比した図である。FIG. 6 is a diagram comparing the result of the pressure flow rate characteristic of the valve C with the result measured by the method specified by ISO.
１‥‥空気圧源、２‥‥減圧弁、３‥‥補助タンク、４
‥‥電磁弁、５‥‥供試弁、６‥‥等温化圧力容器、７
‥‥圧力センサ、８‥‥ＤＡ変換器、９‥‥ＡＤ変換
器、１０‥‥コンピュータ1 ... Air pressure source, 2 ... Pressure reducing valve, 3 ... Auxiliary tank, 4
Solenoid valve, 5 test valve, 6 isothermal pressure vessel, 7
... Pressure sensor, 8 ... DA converter, 9 ... AD converter, 10 ... computer
Claims (7)
供給装置と、上記気体用機器からの気体を流入させる等
温化圧力容器と、上記等温化圧力容器の圧力を計測する
圧力センサとを有する、気体用機器の流量特性計測装
置。1. A supply device for supplying a gas having a predetermined pressure to an equipment for gas, an isothermal pressure vessel for introducing gas from the equipment for gas, and a pressure sensor for measuring the pressure of the isothermal pressure vessel. A flow characteristic measuring device for a gas device that has.
計測装置において、等温化圧力容器は、表面積の大きな
材料を充填した容器である。2. The flow characteristic measuring device for a gas device according to claim 1, wherein the isothermal pressure vessel is a vessel filled with a material having a large surface area.
計測装置において、気体用機器は、気体用弁である。3. The flow rate characteristic measuring device for gas equipment according to claim 2, wherein the gas equipment is a gas valve.
工程と、上記所定圧力の気体を気体用機器に供給し、か
つ上記気体用機器からの気体を等温化圧力容器に流入さ
せ、上記等温化圧力容器の圧力を計測する工程と、上記
等温化圧力容器の圧力の計測結果より、気体用機器の流
量特性を算出する工程とを有する、気体用機器の流量特
性計測方法4. The step of setting the pressure of the supply device to a predetermined pressure, the gas having the predetermined pressure is supplied to the gas device, and the gas from the gas device is caused to flow into the isothermal pressure container, A method for measuring a flow rate characteristic of a gas appliance, comprising a step of measuring the pressure of the isothermal pressure vessel and a step of calculating a flow rate characteristic of the gas apparatus from the measurement result of the pressure of the isothermal pressure vessel.
計測方法において、等温化圧力容器は、表面積の大きな
材料を充填した容器である。5. The isothermal pressure vessel in the method for measuring a flow rate characteristic of a gas device according to claim 4, wherein the isothermal pressure vessel is a vessel filled with a material having a large surface area.
計測方法において、気体用機器は、気体用弁である。6. The method for measuring flow characteristics of a gas device according to claim 5, wherein the gas device is a gas valve.
計測方法において、流量特性は、音速コンダクタンスと
臨界圧力比である。7. The method for measuring a flow rate characteristic of a gas device according to claim 6, wherein the flow rate characteristic is a sonic conductance and a critical pressure ratio.
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