JP2003061194A - Piezoelectric transducer and ultrasonic wave sprayer employing the piezoelectric transducer - Google Patents
Piezoelectric transducer and ultrasonic wave sprayer employing the piezoelectric transducerInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、一つのユニットに
て、複数の共振周波数で駆動可能な圧電トランスデュー
サに関する。特に、切り替えによって異なる粒径の霧化
状微粒子を発生させることができる超音波霧化装置に適
する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a piezoelectric transducer which can be driven by a plurality of resonance frequencies in one unit. In particular, it is suitable for an ultrasonic atomizer that can generate atomized fine particles having different particle sizes by switching.
【０００２】[0002]
【従来の技術】厚み方向に分極処理されたセラミックス
等からなる圧電素子と、この圧電素子の両面に設けた電
極からなる圧電振動子を主体として構成される圧電トラ
ンスデューサは、圧電振動子が有する固有振動数（共振
振動数）と合致した周波電圧を印加することによって、
電気信号を機械的な高周波振動に変換することができ
る。2. Description of the Related Art A piezoelectric transducer mainly composed of a piezoelectric element made of ceramics or the like polarized in the thickness direction and electrodes provided on both surfaces of the piezoelectric element is unique to the piezoelectric transducer. By applying a frequency voltage that matches the frequency (resonance frequency),
Electrical signals can be converted into mechanical high frequency vibrations.
【０００３】上記圧電トランスデューサの好適な適用と
しては、超音波霧化装置がある。これは、上記のような
圧電トランスデューサの高周波振動を利用して、圧電ト
ランスデューサの振動面（駆動面）あるいは圧電トラン
スデューサの振動面に固着された振動板等を介して、霧
化用液体を高周波振動させて微粒子化するものである。
そして、圧電振動子は振動周波数が一定であるため、均
一の粒径を有するの霧化微粒子を得易く、また霧化に際
し霧化用液体に熱を与えないため、吸入治療に用いる薬
剤溶液の霧化に適する。従来の超音波霧化装置として
は、例えば、特開２０００−３１２８４９号公報に記載
されたものなどがある。A suitable application of the piezoelectric transducer is an ultrasonic atomizer. This utilizes the high frequency vibration of the piezoelectric transducer as described above to vibrate the atomizing liquid at a high frequency through a vibration plate (driving surface) of the piezoelectric transducer or a vibration plate fixed to the vibration surface of the piezoelectric transducer. It is made into fine particles.
Further, since the vibration frequency of the piezoelectric vibrator is constant, it is easy to obtain atomized fine particles having a uniform particle size, and since heat is not applied to the atomizing liquid during atomization, the drug solution used for inhalation treatment Suitable for atomization. As a conventional ultrasonic atomizing device, for example, there is one described in Japanese Patent Laid-Open No. 2000-312849.
【０００４】一方、複数の圧電振動子を積層したものと
しては、ランジュバン型振動子を代表とする積層型圧電
トランスデューサがある。これは、１個の圧電振動子に
て、大きな振動量を実現するには、高い電圧が必要にな
るため、同じ共振周波数を有する圧電振動子を複数積層
し、個々の圧電振動子に電圧を印加し、個々の圧電振動
子の振動を重ね合わせることによって、低い電圧であっ
ても、大きな振動量を実現可能としたものである。ま
た、１つの圧電トランスデューサのユニットにて、高周
波数駆動と低周波数駆動を実現した従来技術としては、
例えば、特開２０００−８３２９５号公報に記載された
ものがある。この技術は、低周波数用振動子として、整
合層付きボルト止めランジュバン型振動子として振動
し、高周波数用振動子としては、積層型振動子として駆
動されるものであり、本来異なる振動形式を有する２つ
の振動子を一体化して、２つの周波数にて駆動可能とし
たものである。On the other hand, as a stack of a plurality of piezoelectric vibrators, there is a stacked piezoelectric transducer represented by a Langevin vibrator. This is because a high voltage is required to realize a large amount of vibration with one piezoelectric vibrator, so a plurality of piezoelectric vibrators having the same resonance frequency are stacked and the voltage is applied to each piezoelectric vibrator. By applying and superposing the vibrations of the individual piezoelectric vibrators, a large vibration amount can be realized even with a low voltage. Further, as a conventional technique that realizes high frequency driving and low frequency driving with one piezoelectric transducer unit,
For example, there is one described in Japanese Patent Laid-Open No. 2000-83295. This technology vibrates as a bolted Langevin type vibrator with a matching layer as a low-frequency vibrator, and is driven as a laminated vibrator as a high-frequency vibrator, and has originally different vibration modes. The two oscillators are integrated so that they can be driven at two frequencies.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、圧電振
動子は、その特性上、圧電振動子が有する一つの共振周
波数（固有値）でしか駆動できないので、上記積層型圧
電トランスデューサにおいては、大きな振動量を得るこ
とは出来ても、本質的に１つの共振周波数であり、個々
の圧電振動子の共振周波数とほぼ同じ振動周波数でしか
駆動することが出来ない。また、上記従来技術における
異なる振動形式を有する２つの振動子を一体化して、２
つの周波数にて駆動可能とした圧電トランスデューサに
おいては、高周波振動時と低周波振動時にその振動形式
が異なるため、１つの共通の駆動面について、同じ振動
形体で異なる振動周波数を得ることは出来ない。従っ
て、複数の周波数による複数の振動を必要とする場合に
は複数の圧電トランスデューサを必要とし、これらを組
み込む場合には、複数の圧電トランスデューサおよびこ
れら複数の圧電トランスデューサ毎に各圧電トランスデ
ューサの共振周波数に適する駆動周波数を発信する駆動
回路を組み込む必要があるため、機器が大型化し、高価
となるなどの問題があった。However, since the piezoelectric vibrator can be driven only by one resonance frequency (eigenvalue) of the piezoelectric vibrator due to its characteristics, a large vibration amount is generated in the above-mentioned laminated piezoelectric transducer. Although it can be obtained, it is essentially one resonance frequency and can be driven only at a vibration frequency substantially the same as the resonance frequency of each piezoelectric vibrator. In addition, two vibrators having different vibration types in the above-mentioned conventional technology are integrated into
A piezoelectric transducer that can be driven at one frequency cannot have different vibration frequencies with the same vibrating form on one common drive surface because the vibrating modes differ during high frequency vibration and low frequency vibration. Therefore, when a plurality of vibrations at a plurality of frequencies is required, a plurality of piezoelectric transducers are required. Since it is necessary to incorporate a drive circuit that emits a suitable drive frequency, there are problems that the device becomes large and expensive.
【０００６】また、薬剤吸入に使用する霧化装置におい
ては、薬剤ごと、あるいは使用者ごとに適する霧化粒径
を必要とする場合があるが、一般的な、一つの圧電トラ
ンスデューサを組み込んだ超音波霧化装置では、一つの
霧化粒径しか得る事ができないため、複数台用意する
か、高価な複数の圧電トランスデューサを組み込んだ霧
化装置を使用する必要があるなどの問題があった。In addition, the atomizing device used for inhaling a drug may require an atomized particle size suitable for each drug or each user, but it is common to use an ultrasonic device incorporating one piezoelectric transducer. Since the sonic atomizer can obtain only one atomized particle size, there is a problem that it is necessary to prepare a plurality of atomizers or use an atomizer that incorporates a plurality of expensive piezoelectric transducers.
【０００７】そこで、本発明の目的は、一つのユニット
の圧電トランスデューサでありながら、複数の共振周波
数駆動を可能にし、コンパクトで安価な圧電トランスデ
ューサの提供を目的としている。また、本発明の他の目
的は、一台で複数の霧化粒径を実現でき、コンパクトで
安価な超音波霧化装置を提供することを目的としてい
る。Therefore, an object of the present invention is to provide a compact and inexpensive piezoelectric transducer capable of driving a plurality of resonance frequencies even though the piezoelectric transducer is one unit. Another object of the present invention is to provide a compact and inexpensive ultrasonic atomizing device that can realize a plurality of atomized particle diameters with one device.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１記載の発明は、厚み方向に分極された圧電
素子からなる圧電振動子を厚み方向に複数固着積層して
なる圧電トランスデューサであって、上記複数積層され
る圧電振動子のうち、少なくとも１つは、他の圧電振動
子とは異なる共振周波数を有する圧電振動子を含むこと
としたものである。さらに、請求項２記載の発明は、請
求項１記載の発明において、上記他の圧電振動子と異な
る共振周波数を有する圧電振動子は、他の圧電振動子と
形状および／または大きさが異なることとしたものであ
る。さらに、請求項３記載の発明は、請求項１又は２記
載の発明において、上記他の圧電振動子と異なる共振周
波数を有する圧電振動子および／または他の圧電振動子
は、円盤状に形成され、かつ中心同軸上に積層されてい
ることとしたものである。さらに、請求項４記載の発明
は、請求項１乃至３記載の発明において、上記圧電振動
子が備える電極を選択することによって、駆動する圧電
振動子を選択し、駆動する圧電振動子の共振周波数に適
合した周波電圧を印加する駆動手段によって、駆動振動
数を切り換え可能としたものである。また、請求項５記
載の発明は、厚み方向に分極された圧電振動子を複数固
着積層してなる積層型の圧電トランスデューサであっ
て、上記圧電トランスデューサの一端面に配置された駆
動面側圧電振動子と、上記駆動面側圧電振動子の背面側
に固着され、上記駆動面側圧電振動子よりも小さい面積
を有し、かつ上記駆動面側圧電振動子と異なる共振周波
数を有する背面側圧電振動子とからなり、上記駆動面側
圧電振動子および上記背面側圧電振動子は、共振周波数
を選択的に印加する駆動手段によって、駆動振動数を切
り換え可能としたものである。さらに、請求項６記載の
発明は、請求項４又は５記載の圧電トランスデューサに
おいて、上記駆動手段は、発振時には、高周波発振用コ
ンデンサを常時通電とし、適宜周波数調整用コンデンサ
を追加して並列接続することによって、発振周波数を低
周波側へ段階的に変更する周波電圧切換回路を内蔵した
ものである。In order to achieve the above object, the invention according to claim 1 is a piezoelectric transducer in which a plurality of piezoelectric vibrators each composed of a piezoelectric element polarized in the thickness direction are fixed and laminated in the thickness direction. At least one of the plurality of laminated piezoelectric vibrators includes a piezoelectric vibrator having a resonance frequency different from that of other piezoelectric vibrators. Further, in the invention described in claim 2, in the invention described in claim 1, the piezoelectric vibrator having a resonance frequency different from that of the other piezoelectric vibrator is different from the other piezoelectric vibrator in shape and / or size. It is what Further, the invention according to claim 3 is the invention according to claim 1 or 2, wherein the piezoelectric vibrator and / or the other piezoelectric vibrator having a resonance frequency different from that of the other piezoelectric vibrator is formed in a disk shape. , And they are laminated on the same center. Further, the invention according to claim 4 is the invention according to claims 1 to 3, wherein a piezoelectric vibrator to be driven is selected by selecting an electrode included in the piezoelectric vibrator, and a resonance frequency of the piezoelectric vibrator to be driven is selected. The drive frequency can be switched by the drive means for applying the frequency voltage adapted to the above. According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a laminated piezoelectric transducer in which a plurality of piezoelectric vibrators polarized in the thickness direction are fixedly laminated, and the driving surface side piezoelectric vibration is arranged on one end surface of the piezoelectric transducer. And a back side piezoelectric vibration that is fixed to the back side of the driving surface side piezoelectric vibrator, has a smaller area than the driving surface side piezoelectric vibrator, and has a resonance frequency different from that of the driving surface side piezoelectric vibrator. The driving surface side piezoelectric vibrator and the back surface side piezoelectric vibrator are configured so that the driving frequency can be switched by a driving unit that selectively applies a resonance frequency. Further, the invention according to claim 6 is the piezoelectric transducer according to claim 4 or 5, wherein the drive means always energizes a high frequency oscillation capacitor during oscillation, and a frequency adjustment capacitor is appropriately connected in parallel. As a result, a frequency voltage switching circuit for gradually changing the oscillation frequency to the low frequency side is incorporated.
【０００９】また、請求項７記載の発明は、超音波霧化
装置に係る発明であって、請求項１乃至６のいずれかに
記載の圧電トランスデューサを霧化用液を充填する容器
底部に備え、複数の共振周波数で駆動可能とし、異なる
粒径の霧化状微粒子を発生可能としたものである。The invention according to claim 7 is an invention relating to an ultrasonic atomizing device, wherein the piezoelectric transducer according to any one of claims 1 to 6 is provided at the bottom of a container filled with the atomizing liquid. It is possible to drive at a plurality of resonance frequencies and to generate atomized fine particles having different particle diameters.
【００１０】本発明における圧電トランスデューサは、
厚み方向に分極された圧電振動子を複数積層固着したも
のであって、積層する圧電振動子のうち、少なくとも１
つの圧電振動子が、他の圧電振動子とは異なる共振振動
数を有する構成としたもの、すなわち、少なくとも１つ
の共振周波数が異なる圧電振動子と、他の圧電振動子で
構成された積層型の圧電トランスデューサである。そし
て、両端および圧電素子間に存在する電極のうち、駆動
しようとする圧電振動子に応じた電極を選び、駆動しよ
うとする圧電振動子が有する共振周波数に応じた周波電
圧を印加するのだが、本発明に係る圧電トランスデュー
サは、積層された圧電振動子群の中に、少なくとも１つ
の共振周波数の異なる圧電振動子を含むので、駆動しよ
うとする圧電振動子（圧電振動子群）の選び方によっ
て、一体のユニットであっても、共振周波数、即ち駆動
する振動周波数を大きく変えることが出来るのである。
なお、本発明において、圧電振動子とは、両面に電極を
有する圧電素子からなるもの、および、圧電素子と電極
を交互に積層した場合における圧電素子と電極の一組合
せ単位を同様に圧電振動子と呼称している。The piezoelectric transducer according to the present invention is
A piezoelectric vibrator in which a plurality of piezoelectric vibrators polarized in the thickness direction are stacked and fixed, and at least one of the stacked piezoelectric vibrators is used.
One of the piezoelectric vibrators has a resonance frequency different from that of the other piezoelectric vibrators, that is, at least one piezoelectric vibrator having a different resonance frequency, and a laminated type composed of other piezoelectric vibrators. It is a piezoelectric transducer. Then, of the electrodes existing between both ends and the piezoelectric element, an electrode corresponding to the piezoelectric vibrator to be driven is selected, and a frequency voltage according to the resonance frequency of the piezoelectric vibrator to be driven is applied. Since the piezoelectric transducer according to the present invention includes at least one piezoelectric vibrator having a different resonance frequency in the laminated piezoelectric vibrator group, it depends on how to select the piezoelectric vibrator (piezoelectric vibrator group) to be driven. Even with an integrated unit, the resonance frequency, that is, the vibration frequency to be driven can be greatly changed.
In the present invention, the term “piezoelectric vibrator” refers to a piezoelectric vibrator having electrodes on both sides, and a combination unit of piezoelectric elements and electrodes when piezoelectric elements and electrodes are alternately laminated. Is called.
【００１１】上記作用を図１を使用して詳しく説明す
る。図は、本発明を説明する圧電振動子および圧電トラ
ンスデューサの概念図である。図において、Ｘは、積層
型圧電トランスデューサであり、この圧電トランスデュ
ーサＸは、それぞれ異なる共振周波数ｍ、ｎを有する単
体の圧電振動子Ｍ、Ｎを厚み方向に固着し、圧電振動子
Ｍ’、Ｎ’となしたものである。上記圧電振動子Ｍ’、
Ｎ’は、それぞれに図示せぬ電極を有するから、固着後
も単独で駆動可能であるが、固着しているため互いの圧
電振動子が負荷として働き、固着前に有していた共振振
動数ｍ、ｎとは異なる共振振動数ｍ’、ｎ’となる。そ
して、２つの圧電振動子Ｍ’、Ｎ’、即ち圧電トランス
デューサＸは、全体として１つの共振振動数ｘを有す
る。従って、上記説明の例においては、駆動しようとす
る圧電振動子Ｍ’、Ｎ’、Ｘのいずれかを選択し、それ
ぞれが有する共振振動数ｍ、ｎ、ｘに合致した周波電圧
を対応する電極に印加することによって、駆動すること
が出来るから、１つの圧電トランスデューサにて、複数
の共振周波数で駆動可能とすることが出来るのである。
なお、上記は、２つの圧電振動子を固着した例にて説明
したが、３つ以上の圧電振動子を用いることも可能であ
るし、例えば、複数積層する圧電振動子のうちいくつか
を同じ共振周波数を有する圧電振動子と、１つの異なる
共振周波数を有する圧電振動子とするなど自由に組み合
わせることができる。なお、一端部を駆動面とする場合
には、過分に積層すると他端部で振動させても振動が充
分に伝わらなくなることがある。The above operation will be described in detail with reference to FIG. The drawings are conceptual diagrams of a piezoelectric vibrator and a piezoelectric transducer for explaining the present invention. In the figure, X is a laminated piezoelectric transducer, and this piezoelectric transducer X has piezoelectric resonators M ′ and N that are formed by fixing single piezoelectric vibrators M and N having different resonance frequencies m and n in the thickness direction. '. The piezoelectric vibrator M ′,
N'has electrodes (not shown) on each, so it can be driven independently even after being fixed, but because they are fixed, each other's piezoelectric vibrators act as loads, and the resonance frequency that they had before fixing The resonance frequencies m ′ and n ′ are different from those of m and n. The two piezoelectric vibrators M ′ and N ′, that is, the piezoelectric transducer X, have one resonance frequency x as a whole. Therefore, in the above-described example, any one of the piezoelectric vibrators M ′, N ′, and X to be driven is selected, and the corresponding frequency voltage corresponding to the resonance frequencies m, n, and x of each electrode is applied to the corresponding electrode. It is possible to drive at a plurality of resonance frequencies with a single piezoelectric transducer, because it can be driven by applying the voltage to the piezoelectric transducer.
In the above description, the example in which two piezoelectric vibrators are fixed is described, but it is also possible to use three or more piezoelectric vibrators. For example, some of the piezoelectric vibrators to be laminated are the same. A piezoelectric vibrator having a resonance frequency and a piezoelectric vibrator having one different resonance frequency can be freely combined. When one end is used as the drive surface, if the layers are excessively laminated, the vibration may not be sufficiently transmitted even if the other end is vibrated.
【００１２】さらに、圧電振動子を積層して固着すると
き、固着によって変化する共振振動数には、圧電振動子
自体の剛性が影響するが、形状の異なる圧電振動子を固
着する場合には、上記剛性の他に自由振動面の拘束面積
および位置が影響する。従って、固着面積、すなわち拘
束面積を調整することによって、固着後の圧電振動子を
それぞれ単独で振動させた場合に、共振周波数に与える
影響を調節することが出来るのである。Further, when the piezoelectric vibrators are laminated and fixed, the resonance frequency that changes due to the fixation is affected by the rigidity of the piezoelectric vibrator itself, but when fixing piezoelectric vibrators of different shapes, In addition to the above-mentioned rigidity, the constrained area and position of the free vibration surface have an influence. Therefore, by adjusting the fixing area, that is, the restraining area, it is possible to adjust the influence on the resonance frequency when the fixed piezoelectric vibrators are individually vibrated.
【００１３】[0013]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。図２は、本発明の圧電トラ
ンスデューサの第１実施例を示す断面図であり、図３
は、図２のＡ方向矢視図である。図２および図３におい
て、１は、圧電トランスデューサであり、図面上の上方
を駆動面側２とし、図面上の下方を背面側３として説明
する。この圧電トランスデューサ１は、径の異なる２つ
の円盤状の圧電振動子、すなわち駆動面側圧電振動子４
と、背面側圧電振動子５とを、円盤中心同軸上に配置
し、固着面６にて加圧接着して一体としている。なお、
上記駆動面側圧電振動子４および上記背面側圧電振動子
５の両端面には、各圧電振動子の端面部位の面積のおよ
そ９割を覆う電極が形成されており、７は、駆動面側電
極、８は固着面電極、９は、背面側電極、１０は電極取
り出しのために設けた舌片である。上記圧電トランスデ
ューサ１は、上記駆動面側２に被加振物を配置して用い
るものであるため、舌片１０を周方向へ取り出し、通電
を容易にしている。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings. FIG. 2 is a sectional view showing a first embodiment of the piezoelectric transducer of the present invention.
FIG. 3 is a view on arrow A in FIG. 2. In FIGS. 2 and 3, reference numeral 1 is a piezoelectric transducer, and the upper side of the drawing is a driving surface side 2 and the lower side of the drawing is a back surface side 3. The piezoelectric transducer 1 includes two disk-shaped piezoelectric vibrators having different diameters, that is, a drive surface side piezoelectric vibrator 4
And the back side piezoelectric vibrator 5 are arranged coaxially with the center of the disk, and pressure-bonded on the fixing surface 6 to be integrated. In addition,
Electrodes are formed on both end surfaces of the driving surface side piezoelectric vibrator 4 and the back surface side piezoelectric vibrator 5 to cover approximately 90% of the area of the end surface portion of each piezoelectric vibrator. An electrode, 8 is a fixed surface electrode, 9 is a back side electrode, and 10 is a tongue piece provided for taking out the electrode. Since the piezoelectric transducer 1 is used by arranging an object to be vibrated on the driving surface side 2, the tongue piece 10 is taken out in the circumferential direction to facilitate energization.
【００１４】本実施例は、駆動面側電極７を共通電極と
し、固着面電極６と背面側電極８とを選択し、それぞれ
の共振周波数に合致する周波電圧を印加することによっ
て、異なる２つの共振周波数で駆動することができる。
このとき、共通電極とした駆動面側電極７と背面側電極
８に適当な周波電圧を印加した場合には、駆動面側圧電
振動子４および背面側圧電振動子５の両方が一体として
共振振動する。また、共通電極とした駆動面側電極７と
固着面電極８に適当な周波電圧を印加した場合には、駆
動面側圧電振動子４のみが共振振動するので、駆動面２
について、２つの異なった高周波振動を選択的に生じせ
しめることが出来る。本実施例においては、円盤状の駆
動面側圧電振動子４および背面側圧電振動子５を同心軸
上に配置して固着しているが、これは図における上下方
向振動、即ち面モードに対して有利に働く。通常、面モ
ードを利用する場合には、もっとも大きな振幅が得られ
る面１次モードを使用するが、駆動面側圧電振動子４が
単独で振動する場合には、背面側圧電振動子５は、駆動
面側圧電振動子４よりも小径であるから、上記振動を阻
害しにくい。さらに好適には、駆動面側圧電振動子４振
動時の面１次モードにおける節よりも小径であればさら
に振動を阻害しにくいが、あまりに小径に過ぎると圧電
トランスデューサの全体振動あるいは、背面側圧電振動
子５の振動が小さくなってしまうため、用途に応じた好
適なサイズに調整すべきものである。In the present embodiment, the driving surface side electrode 7 is used as a common electrode, the fixed surface electrode 6 and the back surface side electrode 8 are selected, and a frequency voltage matching each resonance frequency is applied, so that two different electrodes are applied. It can be driven at the resonant frequency.
At this time, when an appropriate frequency voltage is applied to the drive surface side electrode 7 and the back surface side electrode 8 which are common electrodes, both the drive surface side piezoelectric vibrator 4 and the back surface side piezoelectric vibrator 5 are integrally resonantly vibrated. To do. Further, when an appropriate frequency voltage is applied to the drive surface side electrode 7 and the fixed surface electrode 8 which are common electrodes, only the drive surface side piezoelectric vibrator 4 resonates and vibrates.
, Two different high frequency vibrations can be selectively generated. In this embodiment, the disk-shaped driving surface side piezoelectric vibrator 4 and the back surface side piezoelectric vibrator 5 are arranged and fixed on the concentric axis. Work in an advantageous manner. Normally, when the surface mode is used, the surface primary mode that gives the largest amplitude is used, but when the driving surface side piezoelectric vibrator 4 vibrates independently, the rear surface side piezoelectric vibrator 5 is Since the diameter is smaller than that of the driving surface side piezoelectric vibrator 4, it is difficult to inhibit the vibration. More preferably, if the diameter is smaller than the node in the surface first-order mode during vibration of the driving surface side piezoelectric vibrator 4, the vibration is less likely to be hindered, but if the diameter is too small, the entire vibration of the piezoelectric transducer or the back side piezoelectric element is suppressed. Since the vibration of the vibrator 5 becomes small, it should be adjusted to a suitable size according to the application.
【００１５】また、上記２つの圧電振動子の固着は、特
に耐熱性、接着性に優れる非通電性のエポキシ系接着剤
を用いて固着されている。本発明においては、圧電振動
子の接着時に充分な圧力をかけて接着させることで、接
着境界面において、圧電振動子の電極表面の微小凹凸同
士が部分接触して通電が得られ、さらに、この圧電振動
子の電極表面の微小凹凸に上記接着剤が入り込むので充
分な強度を得ることが出来る。なお、導通を得るために
は、導電性を有する接着剤が好ましいことはもちろんで
あるが、一般に導通性を有する接着剤は、本発明のよう
な高周波振動体の接着においては、振動による剥がれ
や、振動子自体の発熱により、十分な接着強度が得にく
いこと、また、十分な接着強度を有するものは非常に高
価であるため、安価で高強度を有する圧電トランスデュ
ーサにためには、上記接着方法が適するのである。本実
施例においては、共振振動数の異なる円盤状の２つの圧
電振動子を積層した圧電トランスデューサにて説明した
が、この形体においては、上記に説明したように円盤中
心部に大きな振動を得ることができるため、超音波霧化
装置などに適する。Further, the two piezoelectric vibrators are fixed to each other by using a non-conductive epoxy adhesive which is particularly excellent in heat resistance and adhesiveness. In the present invention, by applying a sufficient pressure to bond the piezoelectric vibrator, the minute concavities and convexities on the electrode surface of the piezoelectric vibrator partially contact with each other at the bonding boundary surface to obtain electric current. Sufficient strength can be obtained because the above-mentioned adhesive enters the minute irregularities on the electrode surface of the piezoelectric vibrator. In order to obtain continuity, it is needless to say that an adhesive having conductivity is preferable, but in general, an adhesive having conductivity is not likely to be peeled off due to vibration in adhesion of a high-frequency vibrator like the present invention. In addition, it is difficult to obtain sufficient adhesive strength due to heat generation of the vibrator itself, and those having sufficient adhesive strength are very expensive. Is suitable. In this embodiment, the piezoelectric transducer in which two disk-shaped piezoelectric vibrators having different resonance frequencies are laminated has been described, but in this configuration, as described above, a large vibration can be obtained in the center of the disk. Therefore, it is suitable for ultrasonic atomizers.
【００１６】図４は、本発明に係る圧電トランスデュー
サの第２実施例である。図において、１１は、本発明に
係る圧電トランスデューサであり、１２は、駆動面側圧
電振動子であり、１３は背面側圧電振動子であり、図示
せぬ電極およびその他の構成は第１実施例と同様であ
る。本実施例においては、駆動面側圧電振動子１２は、
長楕円盤形状を有し、背面側圧電振動子１３は、円盤形
状である。FIG. 4 shows a second embodiment of the piezoelectric transducer according to the present invention. In the figure, 11 is a piezoelectric transducer according to the present invention, 12 is a driving surface side piezoelectric vibrator, 13 is a back surface side piezoelectric vibrator, and electrodes (not shown) and other configurations are those of the first embodiment. Is the same as. In this embodiment, the driving surface side piezoelectric vibrator 12 is
It has an oblong disk shape, and the back side piezoelectric vibrator 13 has a disk shape.
【００１７】図５は、本発明に係る圧電トランスデュー
サの第３実施例である。図において、１４は、本発明に
係る圧電トランスデューサであり、１５は、駆動面側圧
電振動子であり、１６は背面側圧電振動子であり、図示
せぬ電極およびその他の構成は第１実施例と同様であ
る。本実施例においては、駆動面側圧電振動子１４は、
長方体薄板形状を有し、背面側圧電振動子１３は、円盤
形状である。FIG. 5 shows a piezoelectric transducer according to a third embodiment of the present invention. In the figure, 14 is a piezoelectric transducer according to the present invention, 15 is a driving surface side piezoelectric vibrator, 16 is a rear surface side piezoelectric vibrator, and electrodes (not shown) and other configurations are those of the first embodiment. Is the same as. In this embodiment, the driving surface side piezoelectric vibrator 14 is
It has a rectangular parallelepiped thin plate shape, and the back side piezoelectric vibrator 13 has a disk shape.
【００１８】次に、本発明に係る圧電トランスデューサ
に周波電圧を供給する周波電圧発生回路の一実施例を示
す。図６は、本発明に係る圧電トランスデューサおよび
周波電圧発生回路の概略図である。図において、１７
は、圧電トランスデューサ部を示し、１８は、周波電圧
発生回路部を示す。上記周波電圧発生回路部１８は、高
周波発振用コンデンサＣＨ、周波数調整用コンデンサＣ
Ｌを備える周波電圧切換回路部１９を内蔵している。そ
して、Ｃはコンデンサ、Ｌはコイル、そしてＴはオペア
ンプを示している。２０は、周波電圧発生回路１８に電
力を供給する電源部を接続する端子であり、図示せぬ電
源部を接続するものである。上記周波電圧発生回路部１
８において、周波電圧切換回路部１９のスイッチＳ１と
周波電圧発生回路部１８のスイッチＳ２は連動してお
り、スイッチＳ２の選択により、駆動すべき圧電振動子
の共振周波数が高い場合は、スイッチＳ１を開いて、高
周波発生用コンデンサＣＨのみ通電し、駆動すべき圧電
振動子の共振周波数が低い場合には、スイッチＳ１を閉
じて、周波数調整用コンデンサＣＬを高周波発生用コン
デンサＣＨに並列接続し、合成容量とすることによっ
て、コンデンサ容量を変更して発生周波電圧を低周波数
側へ調整している。Next, an embodiment of a frequency voltage generating circuit for supplying a frequency voltage to the piezoelectric transducer according to the present invention will be shown. FIG. 6 is a schematic diagram of a piezoelectric transducer and a frequency voltage generating circuit according to the present invention. In the figure, 17
Shows a piezoelectric transducer part, and 18 shows a frequency voltage generation circuit part. The frequency voltage generating circuit section 18 includes a high frequency oscillation capacitor CH and a frequency adjustment capacitor C.
The frequency voltage switching circuit unit 19 including L is built in. C is a capacitor, L is a coil, and T is an operational amplifier. Reference numeral 20 denotes a terminal for connecting a power supply unit that supplies electric power to the frequency voltage generation circuit 18, and connects a power supply unit (not shown). The frequency voltage generation circuit section 1
8, the switch S1 of the frequency voltage switching circuit unit 19 and the switch S2 of the frequency voltage generation circuit unit 18 are interlocked with each other. If the resonance frequency of the piezoelectric vibrator to be driven is high by the selection of the switch S2, the switch S1 Open to energize only the high frequency generating capacitor CH, and when the resonance frequency of the piezoelectric vibrator to be driven is low, the switch S1 is closed and the frequency adjusting capacitor CL is connected in parallel to the high frequency generating capacitor CH, By using the combined capacitance, the capacitance of the capacitor is changed to adjust the generated frequency voltage to the low frequency side.
【００１９】これは、圧電トランスデューサが特に高周
波数で駆動する場合に、スイッチのインダクタンス成分
に影響され易い性質を有するため、高周波発生用コンデ
ンサＣＨを常時接続とし、周波数調整用コンデンサＣＬ
を追加接続する形とすることによって、スイッチ数を減
らすとともに、ノイズの乗りやすい高周波電圧発生時の
回路の線長さを極力短くしたものである。上記構成とし
た場合には、安価にノイズの防止が実現でき、特に、狭
い空間に周波電圧発生回路と周波電圧切換回路などを配
置するものに対しては、より好適である。なお、上記回
路は一例であって、周波数調整用コンデンサＣＬを複数
用意して、さらに多数の周波電圧を調整し、発生させる
こともできる。This is because the piezoelectric transducer has a property of being easily influenced by the inductance component of the switch when the piezoelectric transducer is driven at a high frequency, so that the high frequency generating capacitor CH is always connected and the frequency adjusting capacitor CL is connected.
By additionally connecting, the number of switches is reduced and the line length of the circuit at the time of generating high frequency voltage where noise is likely to occur is shortened as much as possible. In the case of the above configuration, noise prevention can be realized at low cost, and it is particularly suitable for a device in which the frequency voltage generating circuit, the frequency voltage switching circuit, etc. are arranged in a narrow space. The above circuit is an example, and a plurality of frequency adjusting capacitors CL may be prepared to adjust and generate a larger number of frequency voltages.
【００２０】図７は、本発明の圧電トランスデューサお
よびその圧電トランスデューサを用いた超音波霧化装置
の一実施例を示す概略部分断面図である。２１は、本願
発明に係る超音波霧化装置であり、２２は、上記に説明
した圧電トランスデューサであり、それぞれの電極の記
載は省略している。２３は、霧化用液体２４を充填する
霧化用液容器部である。本実施例においては、超音波霧
化装置２１のケース部２５と一体に設けられている。こ
のケース部２５は、上記圧電トランスデューサ２２およ
び駆動回路２６を内蔵している。上記駆動回路２６は詳
細に説明しないが、通常は、電源部および駆動する圧電
振動子の共振周波数を発生する周波電圧発生回路および
周波電圧切換器等からなる。さらに、フィードバック回
路を設けて駆動周波数を適宜調節するようにしても良
い。FIG. 7 is a schematic partial sectional view showing an embodiment of the piezoelectric transducer of the present invention and an ultrasonic atomizing apparatus using the piezoelectric transducer. Reference numeral 21 is an ultrasonic atomizing device according to the present invention, 22 is the piezoelectric transducer described above, and the description of each electrode is omitted. Reference numeral 23 is an atomizing liquid container part for filling with the atomizing liquid 24. In the present embodiment, it is provided integrally with the case portion 25 of the ultrasonic atomizing device 21. The case portion 25 contains the piezoelectric transducer 22 and the drive circuit 26. Although not described in detail, the drive circuit 26 usually includes a power supply unit, a frequency voltage generation circuit that generates a resonance frequency of the piezoelectric vibrator to be driven, a frequency voltage switch, and the like. Further, a feedback circuit may be provided to appropriately adjust the drive frequency.
【００２１】本実施例において、上記圧電トランスデュ
ーサ２２は、ケース部２５にゴム製の挟持片２７で弾性
的に固定され、上記圧電トランスデューサ２２の駆動面
上方に上記霧化用液容器部２３が形成されている。そし
て、上記圧電トランスデューサ２２の駆動面には、ステ
ンレス製薄板２８が接着されており、圧電トランスデュ
ーサ２２および図示せぬ電極部が霧化用液体２４に直接
触れないように構成されている。Ｋ１、Ｋ２、Ｋ３は、
駆動回路２６にて発生させた周波電圧を圧電振動子２２
の図示せぬ電極に印加する通電コードである。駆動回路
２６にて発生させられる周波電圧は、図示せぬ切り換え
スイッチにより、使用者が任意に選択すると同時に通電
コードの組合せが選択され、印加された周波電圧で共振
振動する圧電振動子が駆動されて、所望の粒径を有する
霧状微粒子を発生するのである。なお、上記に説明した
実施例は、本発明の一実施例であり、本発明の要件を逸
脱しない範囲で、圧電振動子の構成や形状、さらには電
極の配置も本実施例に限定されないことはもちろんであ
る。In this embodiment, the piezoelectric transducer 22 is elastically fixed to the case portion 25 with a rubber sandwiching piece 27, and the atomizing liquid container portion 23 is formed above the driving surface of the piezoelectric transducer 22. Has been done. A thin plate 28 made of stainless steel is adhered to the driving surface of the piezoelectric transducer 22 so that the piezoelectric transducer 22 and an electrode portion (not shown) do not come into direct contact with the atomizing liquid 24. K1, K2 and K3 are
The frequency voltage generated by the drive circuit 26 is applied to the piezoelectric vibrator 22.
Is an energizing cord applied to an electrode (not shown). The frequency voltage generated by the drive circuit 26 is arbitrarily selected by the user by a changeover switch (not shown), and at the same time, a combination of energizing cords is selected, and the piezoelectric vibrator that resonates and vibrates at the applied frequency voltage is driven. As a result, atomized fine particles having a desired particle diameter are generated. The embodiment described above is one embodiment of the present invention, and the configuration and shape of the piezoelectric vibrator, and further the arrangement of the electrodes are not limited to the present embodiment without departing from the requirements of the present invention. Of course.
【００２２】[0022]
【発明の効果】本発明によれば、一つの圧電トランスデ
ューサにて、複数の異なる振動を生じさせることができ
る。また、積層する圧電振動子の形状を変えることで、
生じせしめる周波振動を調整することができるので、異
なる共振周波数を有する圧電素子を別に製造する必要が
ない。また、円盤状に同軸に積層固着させることによ
り、面モード振動を他の圧電振動子が阻害しづらいの
で、効率よく振動を取り出しやすい。さらに、高周波振
動に影響されずらい周波電圧切換回路を内蔵する駆動手
段を用いることによって、ノイズが生じづらく、効率の
良い圧電トランスデューサとすることができる。また、
本発明に係る超音波霧化装置は、コンパクトで安価であ
りながら複数の振動を生じせしめる圧電トランスデュー
サを用いたので、装置自体の外形も小型化でき、また複
数の粒径を要する場合にも一台の超音波霧化装置でまか
なえるので、経済的であるなどの効果がある。According to the present invention, one piezoelectric transducer can generate a plurality of different vibrations. Also, by changing the shape of the laminated piezoelectric vibrator,
Since the generated frequency vibration can be adjusted, it is not necessary to separately manufacture piezoelectric elements having different resonance frequencies. Further, by laminating and fixing the discs coaxially in a coaxial manner, it is difficult for other piezoelectric vibrators to interfere with the plane mode vibration, so that the vibration can be efficiently extracted. Further, by using the driving means having the built-in frequency voltage switching circuit that is not likely to be affected by high frequency vibrations, it is possible to obtain an efficient piezoelectric transducer in which noise is unlikely to occur. Also,
Since the ultrasonic atomizing device according to the present invention uses the piezoelectric transducer that is compact and inexpensive and can generate a plurality of vibrations, the outer shape of the device itself can be downsized, and even when a plurality of particle sizes are required, It is economical because it can be covered by the ultrasonic atomizer of the stand.
【図１】本発明を説明する圧電振動子および圧電トラン
スデューサの概念図である。FIG. 1 is a conceptual diagram of a piezoelectric vibrator and a piezoelectric transducer for explaining the present invention.
【図２】本発明に係る圧電トランスデューサの第１実施
例を示す断面図である。FIG. 2 is a sectional view showing a first embodiment of the piezoelectric transducer according to the present invention.
【図３】図２におけるＡ方向矢視図である。FIG. 3 is a view on arrow A in FIG.
【図４】本発明に係る圧電トランスデューサの第２実施
例を示す概略図である。FIG. 4 is a schematic view showing a second embodiment of the piezoelectric transducer according to the present invention.
【図５】本発明に係る圧電トランスデューサの第３実施
例を示す概略図である。FIG. 5 is a schematic view showing a third embodiment of the piezoelectric transducer according to the present invention.
【図６】本発明に係る圧電トランスデューサに周波電圧
を供給する周波電圧発生回路の一実施例を示す概略図で
ある。FIG. 6 is a schematic diagram showing an embodiment of a frequency voltage generation circuit for supplying a frequency voltage to the piezoelectric transducer according to the present invention.
【図７】本発明に係る超音波霧化装置の一実施例を示す
概略部分断面図である。FIG. 7 is a schematic partial sectional view showing an embodiment of the ultrasonic atomizing device according to the present invention.
１，１１，１４，２２・・・圧電トランスデューサ ２・・・駆動面側 ３・・・背面側 ４・・・駆動面側圧電振動子 ５・・・背面側圧電振動子 ６・・・固着面 ７・・・駆動面側電極 ８・・・背面側電極 ９・・・固着面電極 １８・・・周波電圧発生回路 １９・・・周波電圧切換回路 1, 11, 14, 22, ... Piezoelectric transducer 2 ... Drive side 3 ... rear side 4 ... Driving surface side piezoelectric vibrator 5 ... Back side piezoelectric vibrator 6 ... Fixed surface 7 ... Driving surface side electrode 8 ... Back side electrode 9 ... Fixed surface electrode 18: Frequency voltage generation circuit 19: Frequency voltage switching circuit
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3L055 BB12 5D019 AA08 BB17 BB29 FF04 GG02 HH01 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page F-term (reference) 3L055 BB12 5D019 AA08 BB17 BB29 FF04 GG02 HH01
Claims (7)
み方向に複数固着積層してなる圧電トランスデューサで
あって、 上記複数積層される圧電振動子のうち、少なくとも１つ
は、他の圧電振動子とは異なる共振周波数を有する圧電
振動子を含むことを特徴とする圧電トランスデューサ。1. A piezoelectric transducer in which a plurality of piezoelectric vibrators polarized in the thickness direction are fixedly stacked in the thickness direction, wherein at least one of the plurality of stacked piezoelectric vibrators is another piezoelectric vibration. A piezoelectric transducer comprising a piezoelectric vibrator having a resonance frequency different from that of a child.
数を有する圧電振動子は、他の圧電振動子と形状および
／または大きさが異なることを特徴とする請求項１記載
の圧電トランスデューサ。2. The piezoelectric transducer according to claim 1, wherein the piezoelectric vibrator having a resonance frequency different from that of the other piezoelectric vibrator has a shape and / or a size different from those of the other piezoelectric vibrators.
数を有する圧電振動子および／または他の圧電振動子
は、円盤状に形成され、かつ中心同軸上に積層されてい
ることを特徴とする請求項１又は２記載の圧電トランス
デューサ。3. A piezoelectric vibrator and / or another piezoelectric vibrator having a resonance frequency different from that of the other piezoelectric vibrator are formed in a disk shape and are laminated coaxially with each other. The piezoelectric transducer according to claim 1.
ることによって、駆動する圧電振動子を選択し、駆動す
る圧電振動子の共振周波数に適合した周波電圧を印加す
る駆動手段によって、駆動振動数を切り替え可能とした
ことを特徴とする請求項１乃至３記載の圧電トランスデ
ューサ。4. A driving frequency is selected by selecting a piezoelectric vibrator to be driven by selecting an electrode provided in the piezoelectric vibrator and applying a frequency voltage adapted to a resonance frequency of the piezoelectric vibrator to be driven by the driving means. 4. The piezoelectric transducer according to claim 1, wherein the piezoelectric transducer is switchable.
み方向に複数固着積層してなる圧電トランスデューサで
あって、 上記圧電トランスデューサの一端面に配置された駆動面
側圧電振動子と、上記駆動面側圧電振動子の背面側に固
着され、上記駆動面側圧電振動子よりも小さい面積を有
し、かつ上記駆動面側圧電振動子と異なる共振周波数を
有する背面側圧電振動子とからなり、 上記駆動面側圧電振動子および上記背面側圧電振動子
は、共振周波数を選択的に印加する駆動手段によって、
駆動振動数を切り替え可能としたことを特徴とする圧電
トランスデューサ。5. A piezoelectric transducer in which a plurality of piezoelectric vibrators polarized in the thickness direction are fixed and laminated in the thickness direction, wherein a driving surface side piezoelectric vibrator disposed on one end surface of the piezoelectric transducer and the drive unit. The back side piezoelectric vibrator is fixed to the back side of the surface side piezoelectric vibrator, has a smaller area than the driving surface side piezoelectric vibrator, and includes a back side piezoelectric vibrator having a resonance frequency different from that of the driving surface side piezoelectric vibrator, The drive surface side piezoelectric vibrator and the back surface side piezoelectric vibrator are driven by a drive unit that selectively applies a resonance frequency.
A piezoelectric transducer characterized in that the driving frequency can be switched.
ューサにおいて、 上記駆動手段は、発振時には、高周波発振用コンデンサ
を常時通電とし、適宜周波数調整用コンデンサを追加し
て並列接続することによって、発振周波数を低周波側へ
段階的に変更する周波電圧切換回路を内蔵したことを特
徴とする圧電トランスデューサ。6. The piezoelectric transducer according to claim 4 or 5, wherein the driving means always energizes a high frequency oscillation capacitor during oscillation, and an appropriate frequency adjustment capacitor is additionally connected in parallel to provide an oscillation frequency. A piezoelectric transducer having a built-in frequency voltage switching circuit for gradually changing the voltage to a low frequency side.
電トランスデューサを霧化用液を充填する容器底部に備
え、複数の共振周波数で駆動可能とし、異なる粒径の霧
化状微粒子を発生可能としたことを特徴とする超音波霧
化装置。7. The atomized fine particles having different particle diameters are provided by providing the piezoelectric transducer according to any one of claims 1 to 6 on a bottom portion of a container filled with an atomizing liquid, which can be driven at a plurality of resonance frequencies. An ultrasonic atomizer characterized by the fact that it is possible.
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Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4683256B2 (en) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1317197C (en) * | 2005-01-27 | 2007-05-23 | 北京科技大学 | Device and method for preparing nanometer tungsten trioxide powder using ultrasonic spray microwave drying method |
| JP2009141451A (en) * | 2007-12-04 | 2009-06-25 | Nippon Ceramic Co Ltd | Ultrasonic wave transceiver |
| KR100913386B1 (en) | 2007-12-17 | 2009-08-21 | 주식회사 부방테크론 | Humidifier with insulation unit of oscillator |
| CN101841251A (en) * | 2009-03-16 | 2010-09-22 | 蒂普拓普蒂普斯有限公司 | The generator that is used for piezoelectric sender |
| JP2011508959A (en) * | 2007-11-02 | 2011-03-17 | ブラウン ゲーエムベーハー | Circuit arrangement and method for supplying capacitive load |
| JP2013080768A (en) * | 2011-10-03 | 2013-05-02 | Seiko Epson Corp | Power generating device, method for controlling power generating device, electronic device, and transportation means |
| WO2014087961A1 (en) | 2012-12-03 | 2014-06-12 | Ｎｅｃカシオモバイルコミュニケーションズ株式会社 | Electroacoustic transducer, manufacturing method therefor, and electronic device utilizing electroacoustic transducer |
| CN106979563A (en) * | 2017-05-10 | 2017-07-25 | 广东美的制冷设备有限公司 | Air conditioner and its chassis icing detection means and method |
| DE102018126387A1 (en) * | 2018-10-23 | 2020-04-23 | Tdk Electronics Ag | Sound transducer and method for operating the sound transducer |
Citations (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6078661A (en) * | 1983-10-06 | 1985-05-04 | Omron Tateisi Electronics Co | Ultrasonic atomizing apparatus |
| JPS6082164A (en) * | 1983-10-08 | 1985-05-10 | Omron Tateisi Electronics Co | Ultrasonic wave atomizer |
| JPS6158158A (en) * | 1984-08-30 | 1986-03-25 | Shin Kobe Electric Mach Co Ltd | Fuel cell for motor car |
| JPS6168158A (en) * | 1984-09-07 | 1986-04-08 | Omron Tateisi Electronics Co | Ultrasonic atomizer |
| JPS63172600A (en) * | 1987-01-12 | 1988-07-16 | Ngk Spark Plug Co Ltd | Multifrequency type ultrasonic probe |
| JPH02251754A (en) * | 1989-03-27 | 1990-10-09 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | Focus probe |
| JPH091066A (en) * | 1995-06-22 | 1997-01-07 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | Oscillator for ultrasonic actuator |
| JPH11103496A (en) * | 1997-09-29 | 1999-04-13 | Sony Corp | Ultrasonic sensor |
| JP2000083295A (en) * | 1998-09-07 | 2000-03-21 | Tech Res & Dev Inst Of Japan Def Agency | Composite type vibrator |
| JP2000134697A (en) * | 1998-10-21 | 2000-05-12 | Murata Mfg Co Ltd | Piezoelectric type electroacoustic transducer |
| JP2000312849A (en) * | 1999-04-27 | 2000-11-14 | Fukoku Co Ltd | Ultrasonic atomizing apparatus |
| JP2003024442A (en) * | 2001-07-13 | 2003-01-28 | Olympus Optical Co Ltd | Medical spraying apparatus |
-
2001
- 2001-08-10 JP JP2001278878A patent/JP4683256B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6078661A (en) * | 1983-10-06 | 1985-05-04 | Omron Tateisi Electronics Co | Ultrasonic atomizing apparatus |
| JPS6082164A (en) * | 1983-10-08 | 1985-05-10 | Omron Tateisi Electronics Co | Ultrasonic wave atomizer |
| JPS6158158A (en) * | 1984-08-30 | 1986-03-25 | Shin Kobe Electric Mach Co Ltd | Fuel cell for motor car |
| JPS6168158A (en) * | 1984-09-07 | 1986-04-08 | Omron Tateisi Electronics Co | Ultrasonic atomizer |
| JPS63172600A (en) * | 1987-01-12 | 1988-07-16 | Ngk Spark Plug Co Ltd | Multifrequency type ultrasonic probe |
| JPH02251754A (en) * | 1989-03-27 | 1990-10-09 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | Focus probe |
| JPH091066A (en) * | 1995-06-22 | 1997-01-07 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | Oscillator for ultrasonic actuator |
| JPH11103496A (en) * | 1997-09-29 | 1999-04-13 | Sony Corp | Ultrasonic sensor |
| JP2000083295A (en) * | 1998-09-07 | 2000-03-21 | Tech Res & Dev Inst Of Japan Def Agency | Composite type vibrator |
| JP2000134697A (en) * | 1998-10-21 | 2000-05-12 | Murata Mfg Co Ltd | Piezoelectric type electroacoustic transducer |
| JP2000312849A (en) * | 1999-04-27 | 2000-11-14 | Fukoku Co Ltd | Ultrasonic atomizing apparatus |
| JP2003024442A (en) * | 2001-07-13 | 2003-01-28 | Olympus Optical Co Ltd | Medical spraying apparatus |
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1317197C (en) * | 2005-01-27 | 2007-05-23 | 北京科技大学 | Device and method for preparing nanometer tungsten trioxide powder using ultrasonic spray microwave drying method |
| JP2011508959A (en) * | 2007-11-02 | 2011-03-17 | ブラウン ゲーエムベーハー | Circuit arrangement and method for supplying capacitive load |
| US8456248B2 (en) | 2007-11-02 | 2013-06-04 | Braun Gmbh | Circuit arrangement and method for supplying a capacitive load |
| JP2009141451A (en) * | 2007-12-04 | 2009-06-25 | Nippon Ceramic Co Ltd | Ultrasonic wave transceiver |
| KR100913386B1 (en) | 2007-12-17 | 2009-08-21 | 주식회사 부방테크론 | Humidifier with insulation unit of oscillator |
| CN101841251B (en) * | 2009-03-16 | 2013-12-18 | 蒂普拓普蒂普斯有限公司 | Generator for piezoelectric transducer |
| CN101841251A (en) * | 2009-03-16 | 2010-09-22 | 蒂普拓普蒂普斯有限公司 | The generator that is used for piezoelectric sender |
| JP2010220466A (en) * | 2009-03-16 | 2010-09-30 | Tip Top Tips Sarl | Generator for piezoelectric transducer |
| JP2013080768A (en) * | 2011-10-03 | 2013-05-02 | Seiko Epson Corp | Power generating device, method for controlling power generating device, electronic device, and transportation means |
| WO2014087961A1 (en) | 2012-12-03 | 2014-06-12 | Ｎｅｃカシオモバイルコミュニケーションズ株式会社 | Electroacoustic transducer, manufacturing method therefor, and electronic device utilizing electroacoustic transducer |
| CN104919817A (en) * | 2012-12-03 | 2015-09-16 | 日本电气株式会社 | Electroacoustic transducer, manufacturing method therefor, and electronic device utilizing electroacoustic transducer |
| US9510104B2 (en) | 2012-12-03 | 2016-11-29 | Nec Corporation | Electroacoustic transducer, manufacturing method therefor, and electronic device utilizing same |
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