JP2003059052A - Recording method for original disk for optical recording and reproducing medium production, stamper for optical recording and reproducing medium, optical recording and reproducing medium, and optical recording and reproducing device using the same - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To stably reproduce a wobble signal even at a track pitch which is made fine as the recording density of an optical recording and reproducing medium become high. SOLUTION: The recording method for an original disk for optical recording and reproducing medium production which bonds a photosensitive layer on a substrate for the original disk and forms the photosensitive layer in pattern corresponding to recording information by exposure using the necessary pattern and development comprises dividing an exposure beam into 1st and 2nd exposure beams B1 and B2 and then putting the 1st and 2nd light beams B1 and B2 together on nearly parallel optical axes at a specific interval while making the quantities of deflection of the 1st and 2nd light beams B1 and B2 different; exposing the photosensitive layer 2 on the substrate 1 for the original disk; and forming an unexposed part of the photosensitive layer 2 which is at least part of the original disk substrate 1 into wobble land patterns 3 having different wobble amplitudes on both sides.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、基板上に、情報記
録に対応する凹凸パターンが形成されて成る光学記録再
生媒体を作製するための光学記録再生媒体作製用原盤の
記録方法と、光学記録再生媒体作製用スタンパ、光学記
録再生媒体及びこれを用いた光学記録再生装置に係わ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for recording an optical recording / reproducing medium master disk for producing an optical recording / reproducing medium having an uneven pattern corresponding to information recording formed on a substrate, and an optical recording method. The present invention relates to a reproduction medium manufacturing stamper, an optical recording / reproducing medium, and an optical recording / reproducing apparatus using the same.

【０００２】[0002]

【従来の技術】光学記録再生媒体として、円盤状に形成
されて成り、光学的に記録及び／又は再生が行われる光
ディスクが各種実用化されている。このような光ディス
クには、データに対応したエンボスピットがディスク基
板に予め形成されて成る再生専用光ディスクや、磁気光
学効果を利用してデータの記録を行う光磁気ディスク
や、記録膜の相変化を利用してデータの記録を行う相変
化型光ディスクなどがある。2. Description of the Related Art As an optical recording / reproducing medium, various optical discs formed in a disk shape and optically recorded and / or reproduced have been put into practical use. Such optical discs include read-only optical discs in which embossed pits corresponding to data are formed in advance on the disc substrate, magneto-optical discs for recording data by utilizing the magneto-optical effect, and phase change of recording films. There is a phase-change type optical disk that records data by utilizing it.

【０００３】これら光ディスクのうち、光磁気ディスク
や相変化型光ディスクのように書き込みが可能な光ディ
スクでは、通常、記録トラックに沿ったグルーブがディ
スク基板に形成される。ここで、グルーブとは、主にト
ラッキングサーボを行えるようにするために、記録トラ
ックに沿って形成される、いわゆる案内溝であり、グル
ーブとグルーブの間の凸部領域をランドと称す。Among these optical discs, writable optical discs such as magneto-optical discs and phase change type optical discs usually have grooves along the recording tracks formed on the disc substrate. Here, the groove is a so-called guide groove that is formed along the recording track mainly for enabling tracking servo, and a convex area between the grooves is called a land.

【０００４】そしてこのような光ディスクに対する読み
出しの際には、再生光の戻り光を、例えばそれぞれ４分
割ダイオードによる１対の光検出素子に分岐して検出
し、クロストラック（ＣＴＳ）信号を、これら１対の光
検出素子の和信号として取り出していわゆるシークない
しはトラバースカウントを行い、プッシュプル信号によ
ってトラックエラー信号を取り出してトラッキングサー
ボを行っている。At the time of reading from such an optical disk, the return light of the reproduction light is branched and detected by, for example, a pair of photodetection elements each of which is a 4-division diode, and a cross track (CTS) signal is detected by these. So-called seek or traverse count is performed by taking out as a sum signal of a pair of photodetecting elements, and a tracking error signal is taken out by a push-pull signal to perform tracking servo.

【０００５】ところで、従来、これらの光ディスクで
は、再生装置に搭載される光ピックアップの再生分解能
を向上させることで、高記録密度化を達成してきた。そ
して、光ピックアップの再生分解能の向上は、主に、デ
ータの再生に使用するレーザ光の波長λを短くしたり、
光ディスク上にレーザ光を集光する対物レンズの開口数
ＮＡを大きくしたりすることにより、光学的に実現させ
てきた。By the way, conventionally, in these optical discs, a high recording density has been achieved by improving the reproduction resolution of an optical pickup mounted in a reproducing apparatus. The improvement of the reproduction resolution of the optical pickup is mainly to shorten the wavelength λ of the laser light used for reproducing the data,
This has been achieved optically by increasing the numerical aperture NA of the objective lens that focuses the laser light on the optical disk.

【０００６】また従来、光磁気（ＭＯ；Magneto Optica
l ）ディスクの書き換え可能型のＭＤ（Mini Disc ）、
ＣＤ（Compact Disc）やＤＶＤ（Digital Versatile Di
sc）の追記型のいわゆるＣＤ−Ｒ、ＤＶＤ−Ｒ、又はＤ
ＶＤの書換え可能型のいわゆるＤＶＤ＋ＲＷ或いはＤＶ
Ｄ−ＲＷ（いずれも光ディスクの登録商標）の各フォー
マットでは、グルーブに記録するグルーブ記録フォーマ
ットが提案されている。ＩＳＯ系の光磁気ディスクの各
フォーマットでは、ランドに記録するランド記録フォー
マットが提案されている。Conventionally, magneto-optical (MO; Magneto Optica)
l) Disc rewritable MD (Mini Disc),
CD (Compact Disc) and DVD (Digital Versatile Di)
sc) write-once type so-called CD-R, DVD-R, or D
VD rewritable type so-called DVD + RW or DV
In each format of D-RW (both are registered trademarks of optical discs), a groove recording format for recording in a groove has been proposed. For each format of the ISO type magneto-optical disk, a land recording format for recording on a land has been proposed.

【０００７】一方ＤＶＤ−ＲＡＭ（Random Access Memo
ry）等においては、光ディスクの高密度化を実現する一
つの方法として、グルーブとランドとの両方に記録する
ことにより、トラック密度を従来の２倍にして高密度化
をはかる、いわゆるランドグルーブ記録方式が提案され
ている。On the other hand, DVD-RAM (Random Access Memo)
In ry) etc., as one method for realizing high density of an optical disc, so-called land / groove recording in which the track density is doubled to increase the density by recording on both the groove and the land. A scheme has been proposed.

【０００８】また近年、次世代光ディスクとして開発が
進められているＤＶＲ（Digital Video Recordable）
や、ＭＤが小径化されたいわゆるμ（マイクロ）−Disc
等の高密度光ディスクにおいても、ランドグルーブ記録
方式が検討されて、高記録密度化をはかる試みがなされ
ている。Further, in recent years, DVR (Digital Video Recordable), which is being developed as a next-generation optical disc
Or so-called μ (micro) -Disc with a smaller MD
For high-density optical discs such as those mentioned above, land-groove recording methods have been studied and attempts have been made to increase the recording density.

【０００９】しかしながら、ＤＶＤ−ＲＡＭ等において
ランドグルーブ記録を行う場合、ランド上の記録とグル
ーブ上の記録において、記録再生時にフォーカス点をそ
れぞれ調節しないと最適な記録再生特性が得られないこ
とから、光学系の複雑化を招くという欠点があった。However, when performing land-groove recording on a DVD-RAM or the like, in recording on the land and recording on the groove, the optimum recording / reproducing characteristics cannot be obtained unless the focus points are adjusted during recording / reproduction. There is a drawback in that the optical system is complicated.

【００１０】また、"ISOM 2000 Simulation Of Heat Ge
neration And Conduction On Land/Groove Disc"におい
て、ランド上の記録とグルーブ上の記録とにおいて、記
録ビーム形状が異なる報告があることからも明らかなよ
うに、ランド記録再生特性とグルーブ記録再生特性とを
均一化することは困難であり、同一の光学記録再生媒体
において、記録再生特性の異なる領域が存在するという
問題がある。In addition, "ISOM 2000 Simulation Of Heat Ge
In "neration And Conduction On Land / Groove Disc", it is clear that the recording beam shape is different between recording on the land and recording on the groove. It is difficult to make them uniform, and there is a problem that there are regions with different recording / reproducing characteristics in the same optical recording / reproducing medium.

【００１１】更にまた、ＤＶＲ等の高密度光ディスクに
おいて、読み取り面に近い方、即ちＤＶＲの場合はラン
ド上の記録再生特性は良好であるが、読み取り面から遠
い方、即ちＤＶＲの場合グルーブでの記録再生特性を良
好に保持することは困難な結果を得ている。Furthermore, in a high-density optical disc such as a DVR, the recording / reproducing characteristics on the land closer to the reading surface, that is, in the case of the DVR, are good, but farther from the reading surface, that is, in the groove in the case of the DVR. It has been difficult to maintain good recording / reproducing characteristics.

【００１２】ＤＶＤ−ＲＡＭやＤＶＲ等においてランド
上とグルーブ上とに直接記録することは可能ではある
が、上述したように高記録密度化をはかるためにランド
グルーブ記録方式を採る場合は、グルーブとランドの両
方トラックに記録再生するため、両方のトラックにおけ
る記録再生特性を均一化することが望まれている。Although it is possible to directly record on the land and the groove in the DVD-RAM, DVR, etc., when the land-groove recording method is adopted to achieve the high recording density as described above, it is recorded as the groove. Since recording / reproducing is performed on both tracks of the land, it is desired to make the recording / reproducing characteristics uniform on both tracks.

【００１３】更に、先願特許１（特許第２９６００１８
号）においては、ピットの幅より幅広のいわばウォブリ
ングワイドグルーブを設けた記録媒体が記載されてお
り、２２．０５ｋＨｚと５ＭＨｚの重畳信号によりこの
ウォブリングワイドグルーブを形成している。この場
合、２２．０５ｋＨｚのＦＭ変調信号は、アドレスのウ
ォブル情報を記録するもので、５ＭＨｚの信号はその振
幅量によってグルーブの幅を広げている。Further, Japanese Patent Application No. 1 (Patent No. 2960018)
No.) describes a recording medium provided with a so-called wobbling wide groove wider than the width of the pit, and the wobbling wide groove is formed by a superposed signal of 22.05 kHz and 5 MHz. In this case, the FM modulation signal of 22.05 kHz records the wobble information of the address, and the width of the groove of the signal of 5 MHz is widened by the amplitude amount thereof.

【００１４】このような構成とすることによって、安定
にグルーブ内の例えばＭＯ信号を記録再生することがで
き、またグルーブ内のアドレス信号等のウォブル信号を
良好に再生することができた。With such a structure, it is possible to stably record and reproduce, for example, an MO signal in the groove, and to reproduce a wobble signal such as an address signal in the groove satisfactorily.

【００１５】また、先願特許２（特許第２８５４１８７
号）において、記録密度を高密度化する目的で、一方の
側面がウォブリングしているグルーブを設けた光記録媒
体が提案されている。この場合、グルーブの一方の側面
のみがウォブリングしているので、グルーブ自体にアド
レス情報を含ませることが可能となるという利点を損な
うことはないが、ウォブル信号量が半分となってしまう
ことから、安定にウォブル信号の再生を行うことが難し
いという欠点がある。In addition, Japanese Patent Application No. 2 (Patent No. 2854187).
No.), there is proposed an optical recording medium provided with a groove wobbling on one side for the purpose of increasing the recording density. In this case, since only one side surface of the groove is wobbled, the advantage of being able to include address information in the groove itself is not impaired, but since the wobble signal amount is halved, There is a drawback in that it is difficult to stably reproduce the wobble signal.

【００１６】[0016]

【発明が解決しようとする課題】ところで、近年ＤＶＲ
等の高密度光ディスクでは、図７に示すように、ウォブ
ルランド２０に情報信号の記録を行い、内周部等にピッ
ト１８が形成されたピット部も含むフォーマットが提案
されている。By the way, in recent years, DVR
In a high-density optical disc such as the above, as shown in FIG. 7, a format has been proposed in which an information signal is recorded on the wobble land 20 and also includes a pit portion in which a pit 18 is formed in an inner peripheral portion or the like.

【００１７】上述したように、ＤＶＲ等の高密度光ディ
スクでは、読み取り面から遠いグルーブ部での記録再生
特性を良好にすることは困難であるとの結果が出ている
ことから、このように、ウォブルランド２０への記録が
試みられている。現状では、このようにランド部をウォ
ブリングする構成とする場合、原盤用基板上の感光層に
所定のパターンにウォブリンググルーブを形成した後、
電気メッキ等による転写を２回行うことによって、凹凸
パターンが逆にされたいわゆるマザースタンパを用いる
ことによって、その製造は可能となる。As described above, in a high density optical disc such as a DVR, it is difficult to improve the recording / reproducing characteristics in the groove portion far from the reading surface. Recording to Wobbleland 20 is being attempted. In the present situation, when the land portion is wobbled in this way, after forming the wobbling groove in a predetermined pattern on the photosensitive layer on the master substrate,
By performing transfer by electroplating or the like twice, a so-called mother stamper whose concavo-convex pattern is reversed can be used for its manufacture.

【００１８】しかしながらこの場合、マザースタンパの
ピットパターンが凹状となり、射出成形等によって、光
学記録再生媒体の光透過性樹脂等より成る基板を形成す
る際に、その高記録密度化にしたがってピットの形状が
微細化されることによって、樹脂がピットパターン内に
入りにくくなってしまい、製造上実現することが難しい
という問題がある。In this case, however, the pit pattern of the mother stamper becomes concave, and when a substrate made of a light transmissive resin or the like of the optical recording / reproducing medium is formed by injection molding or the like, the pit shape is increased according to the increase in recording density. As a result of the miniaturization, it becomes difficult for the resin to enter the pit pattern, and there is a problem that it is difficult to realize in manufacturing.

【００１９】また、ＤＶＲ等の高密度光ディスクにおい
て、グルーブ部に記録する場合、相変化記録膜の特性が
変化すると反射率が下がる特性があり、記録後のＣＴＳ
信号が減少することを抑制するためには、グルーブ幅を
ランド幅に比し狭くすることが望まれる。In a high density optical disc such as a DVR, when recording in the groove portion, there is a characteristic that the reflectance decreases when the characteristic of the phase change recording film changes.
In order to suppress the decrease of the signal, it is desirable to make the groove width narrower than the land width.

【００２０】しかしながら、グルーブ幅は、その製造過
程において、原盤用基板上の感光層を露光する際の露光
ビームのビーム径に依存するものであり、トラックピッ
チが狭いＤＶＲ等の高密度光ディスクでは、グルーブ幅
をランド幅より狭くすることは難しい。However, the groove width depends on the beam diameter of the exposure beam when exposing the photosensitive layer on the substrate for the master in the manufacturing process thereof, and in a high density optical disc such as a DVR having a narrow track pitch, It is difficult to make the groove width narrower than the land width.

【００２１】更に、光学記録再生媒体では高記録密度化
と共に、安定したウォブル信号の再生が必須であるが、
グルーブの両方の側面がウォブリングし、記録密度を高
密度化即ち狭トラックピッチ化した場合、ウォブル信号
の振幅が２〜３倍に増大してしまういわゆるビートが発
生する現象を回避できず、安定したウォブル信号の再生
が困難となってしまうという問題がある。Further, in the optical recording / reproducing medium, it is essential to increase the recording density and to reproduce the stable wobble signal.
When both sides of the groove are wobbled and the recording density is increased, that is, the track pitch is narrowed, a phenomenon in which a so-called beat in which the amplitude of the wobble signal is increased by 2 to 3 times is generated cannot be avoided and is stable. There is a problem that it becomes difficult to reproduce the wobble signal.

【００２２】本発明は、上述の各課題を解決して、光学
記録再生媒体の高記録密度化をはかると共に、安定した
情報記録及びウォブル信号等の記録再生をも可能にし、
また成形転写等の製造過程における問題を回避し得る光
学記録再生媒体とその原盤の記録方法、スタンパ及び光
学記録再生装置を提供することを目的とする。The present invention solves each of the problems described above to increase the recording density of an optical recording / reproducing medium, and enables stable information recording and recording / reproducing of wobble signals and the like.
It is another object of the present invention to provide an optical recording / reproducing medium, a recording method for a master thereof, a stamper, and an optical recording / reproducing apparatus that can avoid problems in the manufacturing process such as molding and transfer.

【００２３】[0023]

【課題を解決するための手段】本発明は、原盤用基板の
上に感光層を被着して、所要のパターンの露光及び現像
により感光層を記録情報に対応するパターンとして形成
する光学記録再生媒体作製用原盤の記録方法にあって、
露光ビームを第１及び第２の露光ビームに分割した後、
この第１の露光ビームの偏向量と第２の露光ビームの偏
向量とを異ならしめ、所定の間隔をもってほぼ平行な光
軸上に合成して原盤用基板の上の感光層に対する露光を
行い、原盤用基板の上の少なくとも一部の感光層の未露
光部を、両側のウォブル振幅が異なるウォブルランドパ
ターンとして形成する。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is an optical recording / reproducing method in which a photosensitive layer is deposited on a substrate for a master and the photosensitive layer is formed as a pattern corresponding to recorded information by exposing and developing a required pattern. In the recording method of the master for medium production,
After splitting the exposure beam into a first and a second exposure beam,
The deflection amount of the first exposure beam and the deflection amount of the second exposure beam are made different, and combined on a substantially parallel optical axis at a predetermined interval to perform exposure on the photosensitive layer on the master substrate, At least a part of the unexposed portion of the photosensitive layer on the master substrate is formed as a wobble land pattern having different wobble amplitudes on both sides.

【００２４】また本発明は、上述の光学記録再生媒体の
記録方法において、原盤用基板の上の感光層に対し、露
光ビームによって所要のピットパターンのパターン露光
を行い、この原盤用基板の上の少なくとも一部の感光層
の露光部を、ピットパターンとして形成する。In the recording method of the optical recording / reproducing medium, the present invention performs pattern exposure of a required pit pattern on the photosensitive layer on the master substrate by an exposure beam, and then exposes the master substrate on the master substrate. The exposed portion of at least a part of the photosensitive layer is formed as a pit pattern.

【００２５】更に本発明は、上述の光学記録再生媒体の
記録方法において、第１及び第２の露光ビームの間隔を
適切に選定することによって、これら第１及び第２の露
光ビームの露光部の幅を、未露光部の幅に比し大とする
ことによって、グルーブパターンの幅に対し、ウォブル
ランドパターンの幅を小とする。Further, in the recording method of the optical recording / reproducing medium according to the present invention, by appropriately selecting the interval between the first and second exposure beams, the exposure unit of the first and second exposure beams can be formed. By making the width larger than the width of the unexposed portion, the width of the wobble land pattern is made smaller than the width of the groove pattern.

【００２６】更にまた本発明は、原盤用基板の上に感光
層を被着して、所要のパターンの露光及び現像によりこ
の感光層を記録情報に対応するパターンとして形成した
光学記録再生媒体作製用原盤から転写形成される光学記
録再生媒体作製用スタンパにあって、ランドパターンを
ウォブルランドパターンとすると共に、その両側のウォ
ブル振幅量を異ならしめて形成し、このランドパターン
を凹状パターンとして形成して構成する。Furthermore, the present invention is for producing an optical recording / reproducing medium in which a photosensitive layer is deposited on a master substrate and the photosensitive layer is formed as a pattern corresponding to recorded information by exposing and developing a required pattern. In a stamper for producing an optical recording / reproducing medium transferred from a master, a land pattern is formed as a wobble land pattern, and wobble amplitude amounts on both sides of the land pattern are made different, and this land pattern is formed as a concave pattern. To do.

【００２７】また本発明は、上述の光学記録再生媒体作
製用スタンパにおいて、ピットパターンを凸状パターン
として形成して構成する。Further, according to the present invention, in the above-mentioned stamper for producing an optical recording / reproducing medium, the pit pattern is formed as a convex pattern.

【００２８】更に本発明は、上述の光学記録再生媒体作
製用スタンパにおいて、ランドパターンの間のグルーブ
パターンの幅に比し、ランドパターンの幅を小として構
成する。Further, in the present invention, in the above-mentioned stamper for producing an optical recording / reproducing medium, the width of the land pattern is smaller than the width of the groove pattern between the land patterns.

【００２９】また更に本発明は、基板上に記録情報に対
応する凹凸パターンを有する光学記録再生媒体にあっ
て、少なくとも記録領域に、ウォブルランドを形成し
て、このウォブルランドを、その両側のウォブル振幅を
異ならしめて構成する。Furthermore, the present invention is an optical recording / reproducing medium having a concavo-convex pattern corresponding to recorded information on a substrate, wherein wobble lands are formed at least in a recording area, and the wobble lands on both sides of the wobble lands are formed. Configure with different amplitudes.

【００３０】更に本発明は、上述の光学記録再生媒体に
おいて、記録領域の少なくとも一部に、ピットを凹状パ
ターンとして形成して構成する。Further, according to the present invention, in the above optical recording / reproducing medium, pits are formed as a concave pattern in at least a part of the recording area.

【００３１】また本発明は、上述の光学記録再生媒体に
おいて、ウォブルランドの幅を、ウォブルランド間に設
けられるグルーブの幅に比し小として構成する。Further, according to the present invention, in the above-mentioned optical recording / reproducing medium, the width of the wobble land is smaller than the width of the groove provided between the wobble lands.

【００３２】更にまた本発明は、上述の光学記録再生媒
体において、ウォブルランドのランド面を情報記録面と
して、この情報記録面上を覆って全面的に、基板に比し
十分薄い薄膜の光透過性保護膜を形成して、光透過性保
護膜側を、情報記録面に対する照射光の入射面として構
成する。Furthermore, in the above-mentioned optical recording / reproducing medium, the present invention uses the land surface of the wobble land as an information recording surface and covers the information recording surface, and the light transmission of a thin film which is sufficiently thin as compared with the substrate. A protective film is formed, and the light-transmitting protective film side is configured as an incident surface of the irradiation light on the information recording surface.

【００３３】また本発明は、上述の光学記録再生媒体に
おいて、ウォブルランドの両側のウォブル振幅量の比
を、０．１０以上０．６０以下として構成する。Further, in the above-mentioned optical recording / reproducing medium, the present invention is configured such that the ratio of the wobble amplitude amounts on both sides of the wobble land is 0.10 or more and 0.60 or less.

【００３４】更に本発明は、上述の光学記録再生媒体に
おいて、情報記録面に対する記録及び／又は再生に使用
される対物レンズの開口数をＮＡとしたとき、このＮＡ
を０．８５以上として構成する。Furthermore, in the present invention, when the numerical aperture of the objective lens used for recording and / or reproducing on the information recording surface in the above optical recording / reproducing medium is NA, this NA
Is set to 0.85 or more.

【００３５】また更に本発明は、上述の光学記録再生媒
体において、情報記録面に対する記録及び／又は再生と
共に、ウォブル情報及びピット信号の再生がなされる構
成とする。Further, according to the present invention, in the above-mentioned optical recording / reproducing medium, wobble information and pit signals are reproduced together with recording and / or reproducing on the information recording surface.

【００３６】更に本発明は、基板上に記録情報に対応す
る凹凸パターンを有する光学記録再生媒体に対し、記録
及び／又は再生を行う光学記録再生装置にあって、上述
の本発明構成による各光学記録再生媒体を用いる構成と
する。Furthermore, the present invention is an optical recording / reproducing apparatus for recording and / or reproducing on / from an optical recording / reproducing medium having a concavo-convex pattern corresponding to recorded information on a substrate, wherein each optical element according to the above-mentioned configuration of the present invention is used. A recording / reproducing medium is used.

【００３７】上述したように、本発明によれば、原盤用
基板の上の感光層に所要のパターンの露光をする際に、
露光ビームを第１及び第２の露光ビームに分割した後、
この第１の露光ビームの偏向量と第２の露光ビームの偏
向量とを異ならしめ、所定の間隔をもってほぼ平行な光
軸上に合成して原盤用基板の上の感光層に対する露光を
行うことによって、この間の未露光部は、現像後にラン
ドパターンとなると共に、特にその両側のウォブル振幅
の異なるウォブルランドパターンとして形成することが
できる。As described above, according to the present invention, when the photosensitive layer on the master disk substrate is exposed with a desired pattern,
After splitting the exposure beam into a first and a second exposure beam,
The amount of deflection of the first exposure beam and the amount of deflection of the second exposure beam are made different, and combined on a substantially parallel optical axis at a predetermined interval to perform exposure on the photosensitive layer on the master substrate. Thus, the unexposed portion in the meantime becomes a land pattern after development and can be formed as a wobble land pattern having different wobble amplitudes on both sides thereof.

【００３８】そして、このような構成による光学記録再
生媒体作製用原盤からスタンパを作製し、このスタンパ
から射出成形等によって光学記録再生媒体の基板を作製
してこの上に反射層、記録層等を形成することによっ
て、両側のウォブル振幅の異なるランドを有する光学記
録再生媒体を得ることができる。Then, a stamper is produced from the master for producing an optical recording / reproducing medium having such a structure, a substrate of the optical recording / reproducing medium is produced from this stamper by injection molding or the like, and a reflection layer, a recording layer, etc. are formed thereon. By forming it, it is possible to obtain an optical recording / reproducing medium having lands having different wobble amplitudes on both sides.

【００３９】このような構成とすることによって、異な
る振幅のウォブル信号をランドに記録することによっ
て、上述したように、トラックピッチの微細化に伴うウ
ォブル信号の振幅の比率の増大化によるクロストラッ
ク、即ちいわゆるビートの発生を抑制することができ
て、またこの場合、片側のみのウォブル信号とする場合
と比較して、十分安定にウォブル情報を再生することが
できる信号量を得ることができる。With such a configuration, wobble signals having different amplitudes are recorded on the lands, and as described above, the cross track due to the increase in the ratio of the amplitude of the wobble signal accompanying the miniaturization of the track pitch, That is, it is possible to suppress the occurrence of so-called beats, and in this case, it is possible to obtain a signal amount capable of reproducing the wobble information in a sufficiently stable manner as compared with the case where only one side of the wobble signal is used.

【００４０】更に本発明によれば、通常のグルーブを形
成する工程と同様に、ランドの両側の溝を露光によりパ
ターニングしてランドを形成することから、記録領域の
少なくとも一部にピットを通常のパターニングと同様に
形成しても、その形状は凹状となり、この原盤より作製
するスタンパのピットは凸状となり、光学記録再生媒体
をの基板を成形する際の転写形状は良好となり、歩留り
の低下を招来することを確実に回避することができる。Further, according to the present invention, the lands are formed by patterning the grooves on both sides of the land by exposure in the same manner as in the step of forming a normal groove. Even if it is formed in the same manner as patterning, its shape becomes concave, the pits of the stamper made from this master become convex, the transfer shape when molding the substrate of the optical recording / reproducing medium becomes good, and the yield decreases. It is possible to surely avoid inviting.

【００４１】また更に、ウォブルランドの幅を、ウォブ
ルランド間に設けられるグルーブの幅に比し小とするこ
とによって、相変化材料による記録層を構成する場合に
おいて、このランド上に情報信号が記録されても、相変
化記録膜の特性によって記録により反射率の低下する領
域の面積を比較的小さく抑えることができることから、
記録後のＣＴＳ信号が減少することを抑制することがで
き、記録再生特性の劣化を回避することができる。Furthermore, by setting the width of the wobble land to be smaller than the width of the groove provided between the wobble lands, an information signal is recorded on the land when the recording layer is made of a phase change material. Even so, since the area of the region where the reflectance decreases due to recording due to the characteristics of the phase change recording film can be suppressed to a relatively small value,
It is possible to suppress the decrease of the CTS signal after recording, and it is possible to avoid the deterioration of the recording / reproducing characteristics.

【００４２】更に、ランド面を情報記録面として、この
上に基板に比し十分薄い薄膜の光透過性保護膜を形成し
て、この光透過性保護膜側から情報記録面に対する照射
光を入射して情報の記録再生を行うことによって、ＤＶ
Ｒ等の高密度光ディスクに本発明を適用した場合におい
て、その記録再生特性を良好に保持することができる。Further, the land surface is used as an information recording surface, and a light-transmitting protective film of a thin film which is sufficiently thin as compared with the substrate is formed on the land surface, and irradiation light is incident on the information recording surface from the light-transmitting protective film side. By recording and reproducing information by
When the present invention is applied to a high density optical disk such as R, the recording / reproducing characteristics can be maintained well.

【００４３】また、ウォブルランドの両側のウォブル振
幅量の比を、０．１０以上０．６０以下とすることによ
って、ＤＶＲ等の高密度光ディスクに対応する微細なト
ラックピッチとした場合においても、ウォブル信号のビ
ートが発生することを確実に回避することができて、且
つ片側のみにウォブル信号を設ける場合と比較して、十
分大なる信号量を得ることができて、安定確実なウォブ
ル信号の再生を行うことができる。Further, by setting the ratio of the wobble amplitude amounts on both sides of the wobble land to 0.10 or more and 0.60 or less, even when a fine track pitch corresponding to a high density optical disc such as DVR is used, the wobble is reduced. It is possible to reliably avoid the occurrence of signal beats, and to obtain a sufficiently large amount of signal as compared to the case where a wobble signal is provided on only one side, and a stable and reliable wobble signal reproduction. It can be performed.

【００４４】[0044]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態の各例
を図面を参照して詳細に説明するが、本発明は、以下の
例に限定されることなく、種々の変形変更が可能である
ことはいうまでもない。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, each example of an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. However, the present invention is not limited to the following example, and various modifications can be made. Needless to say.

【００４５】先ず、本発明による光学記録再生媒体は、
上述したように、基板上に記録情報に対応する凹凸パタ
ーンを有し、少なくとも記録領域に、ウォブルランドを
形成して、このウォブルランドを、その両側のウォブル
振幅を異ならしめて構成する。First, the optical recording / reproducing medium according to the present invention is
As described above, the wobbling lands are formed on at least the recording area having the concavo-convex pattern corresponding to the recording information on the substrate, and the wobble lands on the both sides are made different.

【００４６】このように両側のウォブル振幅が異なるラ
ンドは、その原盤を作製する際の露光工程において、露
光ビームを第１及び第２の露光ビームに分割した後、こ
の第１の露光ビームの偏向量と第２の露光ビームの偏向
量とを異ならしめ、所定の間隔をもってほぼ平行な光軸
上に合成して原盤用基板の上の感光層に対する露光を行
うことによって、原盤用基板の上の少なくとも一部の感
光層の未露光部を、両側のウォブル振幅が異なるウォブ
ルランドパターンとして形成することができる。As described above, in the lands having different wobble amplitudes on both sides, the exposure beam is divided into a first exposure beam and a second exposure beam in the exposure process for manufacturing the master, and then the deflection of the first exposure beam is performed. On the master substrate by varying the amount and the deflection amount of the second exposure beam, combining them on a substantially parallel optical axis at a predetermined interval, and exposing the photosensitive layer on the master substrate. At least a part of the unexposed portion of the photosensitive layer can be formed as a wobble land pattern having different wobble amplitudes on both sides.

【００４７】露光工程において、２つの露光ビームによ
って光軸をずらして露光を行い、未露光部をランドとす
る記録方法は、例えば本出願人の出願に係る特開平１−
１４３０３７号公開公報において提案されているが、本
発明においては、特にランド部の両側のウォブル振幅を
異ならしめるために、２つの露光ビームのウォブル偏向
量を異ならしめて行うことに特徴を有するものである。In the exposure process, the recording method in which the exposure is performed by shifting the optical axis by two exposure beams and the unexposed portion is used as a land is disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No.
Although proposed in Japanese Patent No. 143037, the present invention is characterized in that the wobble deflection amounts of the two exposure beams are made different in order to make the wobble amplitudes on both sides of the land portion different. .

【００４８】先ず、本発明による光学記録再生媒体作製
用原盤の記録方法及びこれを用いた光学記録再生媒体作
製用スタンパの一例を、図１Ａ及びＢの説明図を参照し
て説明する。図１Ａにおいて、１はガラス等より成る原
盤用基板、２はフォトレジスト等の感光層を示す。そし
て、この感光層２に対する露光ビームの光強度分布をそ
れぞれ第１の露光ビームをＢ₁ 、第２の露光ビームをＢ
₂ として示す。First, an example of a recording method of a master for producing an optical recording / reproducing medium according to the present invention and an example of a stamper for producing an optical recording / reproducing medium using the same will be described with reference to FIGS. 1A and 1B. In FIG. 1A, 1 is a master substrate made of glass or the like, and 2 is a photosensitive layer such as photoresist. The light intensity distribution of the exposure beam on the photosensitive layer 2 is represented by B ₁ for the first exposure beam and B ₁ for the second exposure beam.
Shown as ₂ .

【００４９】図１Ａに示すように、ウォブルランドを設
ける領域においては、第１及び第２の露光ビームＢ₁ 及
びＢ₂ を用いて露光を行い、且つこれら第１及び第２の
露光ビームＢ₁ 及びＢ₂ の間隔、即ち隣接する第１の露
光ビームＢ₁ と第２の露光ビームＢ₂ との間隔ｄと、隣
接する第２の露光ビームＢ₂ と第１の露光ビームＢ₁と
の間隔ｄ’とを、適切に選定してその露光を行う。As shown in FIG. 1A, in the area where the wobble land is provided, exposure is performed using the first and second exposure beams B ₁ and B ₂ , and the first and second exposure beams B ₁ And B ₂ , that is, the distance d between the adjacent _first exposure beam B ₁ and the second exposure beam B _2, and the distance between the adjacent second exposure beam B ₂ and the first exposure beam B _1. The exposure is performed by appropriately selecting d ′ and d ′.

【００５０】この場合、間隔ｄ’を比較的小とすること
によっていわば第１及び第２の露光ビームの強度分布を
一部重ならせることにより、この部分をビームスポット
径に比しやや幅広に露光して、現像によりグルーブを形
成することができる。また、間隔ｄを適切に選定するこ
とによって、この間に所定の幅の未露光部を設け、現像
によって残されるランドパターン、この場合ウォブルラ
ンドパターン３を形成することができる。In this case, by making the distance d'relatively small so that the intensity distributions of the first and second exposure beams partially overlap, this portion is made slightly wider than the beam spot diameter. Grooves can be formed by exposure and development. Further, by appropriately selecting the interval d, it is possible to form an unexposed portion having a predetermined width therebetween and form a land pattern left by the development, in this case, the wobble land pattern 3.

【００５１】そして、これら第１及び第２の露光ビーム
Ｂ₁ 及びＢ₂ のそれぞれの偏向量を異ならしめ、且つ適
切な偏向量にそれぞれ選定することによって、このウォ
ブルランドパターン３の両側のウォブルの振幅が異なる
構成とすることができる。Then, by making the deflection amounts of the first and second exposure beams B ₁ and B ₂ different and selecting appropriate deflection amounts, the wobbles on both sides of the wobble land pattern 3 are changed. A configuration having different amplitudes can be used.

【００５２】一方、ピットを形成する領域においては、
例えば第１の露光ビームＢ₁ のみによって情報記録に対
応するパターン露光を行い、所望のピットパターン４を
凹状パターンとして形成することができる。このように
して、目的とするウォブルランドパターン３及びピット
パターン４が形成された光学記録再生媒体作製用原盤５
を得ることができる。On the other hand, in the area where pits are formed,
For example, the desired pit pattern 4 can be formed as a concave pattern by performing pattern exposure corresponding to information recording only with the first exposure beam B ₁ . In this way, the master 5 for producing the optical recording / reproducing medium on which the desired wobble land pattern 3 and pit pattern 4 are formed
Can be obtained.

【００５３】そして、この原盤５に対し、例えば無電界
メッキ法等により例えばＮｉより成る導電化膜を形成し
た後、原盤５を電鋳装置に取り付けて、電気メッキ法等
により導電化膜上に例えばＮｉメッキ層を被着形成す
る。そしてこのＮｉメッキ層を原盤用基板からカッター
等で剥離し、図１Ｂに示すように、原盤上の凹凸パター
ンとはその凹凸が反転した反転ウォブルランドパターン
３ｎ及び反転ピットパターン４ｎを有するスタンパ６を
作製することができる。Then, a conductive film made of, for example, Ni is formed on the master 5 by, for example, an electroless plating method, and then the master 5 is attached to an electroforming apparatus, and the conductive film is formed on the conductive film by an electroplating method. For example, a Ni plating layer is deposited and formed. Then, this Ni plating layer is peeled off from the master disk substrate with a cutter or the like, and as shown in FIG. 1B, a stamper 6 having an inverted wobble land pattern 3n and an inverted pit pattern 4n in which the unevenness is inverted from the uneven pattern on the original disk is formed. Can be made.

【００５４】そして、このスタンパ６を例えば射出成形
用の金型に載置した状態で、ポリカーボネート等の光透
過性樹脂を射出成形し、スタンパ６の凹凸パターンが転
写された基板を厚さ例えば１．１ｍｍとして形成する。
この基板の形成方法としては、その他スタンパ６の上に
フォトポリマーを塗布した後、ポリメチルメタクリレー
ト等のベースプレートを密着した後硬化、剥離して形成
するいわゆる２Ｐ（Photo-Polymerization）法を用いる
こともできる。Then, while the stamper 6 is placed on a mold for injection molding, a light-transmissive resin such as polycarbonate is injection-molded, and the substrate on which the uneven pattern of the stamper 6 is transferred has a thickness of, for example, 1 It is formed as 1 mm.
As a method for forming this substrate, a so-called 2P (Photo-Polymerization) method in which a photopolymer is coated on the stamper 6, and then a base plate such as polymethylmethacrylate is adhered, followed by curing and peeling, may be used. it can.

【００５５】このようにして形成した基板上の、ウォブ
ルランド１７及びピット１８の模式的な平面図を図２に
示す。図２においてｐはトラックピッチを示し、ａ₁ 及
びａ ₂ はそれぞれウォブルランド１７の両側のウォブル
振幅を示す。図示の例においては、ウォブル振幅の大き
さがａ₁ ＜ａ₂ とした場合で、ランド１７の幅、即ち両
側の振幅の異なるランド１７の平均的な幅が、ランド１
７の間のグルーブの平均的な幅に比し小となるように構
成する。The wob on the substrate thus formed
A schematic plan view of the Luland 17 and the pit 18 is shown in FIG.
Show. In FIG. 2, p indicates a track pitch, and a₁Over
And a ₂Wobbles on both sides of wobble land 17
Indicates the amplitude. In the example shown, the wobble amplitude is large.
Saga₁<A₂And the width of the land 17, that is, both
The average width of the lands 17 having different amplitudes on the side is
It should be smaller than the average width of the groove between 7
To achieve.

【００５６】図３に、図１Ａにおいて説明した第１及び
第２の露光ビームの各スポット２１及び２２の走査照射
態様を模式的に示す。第１の露光ビームのスポット２１
は、比較的小さいウォブル偏向量とされ、原盤用基板の
半径方向に比較的小さい振幅の偏向をもって走査照射さ
れる。FIG. 3 schematically shows a scanning irradiation mode of the spots 21 and 22 of the first and second exposure beams described in FIG. 1A. First exposure beam spot 21
Is a relatively small wobble deflection amount, and scanning irradiation is performed with a relatively small amplitude deflection in the radial direction of the master disk substrate.

【００５７】これに対し、第２の露光ビームのスポット
２２は、比較的大なるウォブル偏向量とされて原盤用基
板の半径方向に比較的大きい振幅の偏向をもって走査照
射される。２３は未露光部を示し、この場合理解を容易
にするために、各スポット２１及び２２との重複部を一
部ずらして示す。ｄは第１及び第２の露光ビームのスポ
ットの中心の間隔を示す。On the other hand, the spot 22 of the second exposure beam is scanned and irradiated with a relatively large wobble deflection amount and with a relatively large amplitude deflection in the radial direction of the master substrate. Reference numeral 23 denotes an unexposed portion, and in this case, for easy understanding, the overlapping portions with the spots 21 and 22 are partially offset. d represents the distance between the centers of the spots of the first and second exposure beams.

【００５８】尚、図３においては、各スポット２１及び
２２を断続的に示しているが、ＤＣ信号等による連続的
な走査照射を行うことによって、現像後に露光部が溶融
除去されて形成されるランドの側壁をなめらかに形成す
ることができることはいうまでもない。Although the spots 21 and 22 are shown intermittently in FIG. 3, the exposed portions are melted and removed after the development by performing continuous scanning irradiation with a DC signal or the like. It goes without saying that the sidewall of the land can be formed smoothly.

【００５９】図４に、図３における未露光部２３のみを
斜線を付して示す。このように、未露光部２３の両側の
ウォブル振幅は、それぞれａ₁ 及びａ₂ とされ、両側の
振幅の異なるパターンとして形成され、現像処理後に
は、ウォブルランドパターンとして形成することができ
る。FIG. 4 shows only the unexposed portion 23 in FIG. 3 with hatching. As described above, the wobble amplitudes on both sides of the unexposed portion 23 are a ₁ and a ₂ , respectively, and are formed as patterns having different amplitudes on both sides, and can be formed as a wobble land pattern after the development processing.

【００６０】次に、このように各偏向量の異なる２つの
露光ビームにより原盤用基板に光学的記録を施す記録装
置を、その一例の構成図を示す図５を参照して詳細に説
明する。図５において、３０は半導体レーザ等の光源を
示す。光源は特に限定されるものではなく、適宜選択可
能であるが、この例では、Ｋｒレーザ（波長λ＝３５１
ｎｍ）により記録用レーザ光を発振するレーザ光源を用
いた。Next, the recording apparatus for optically recording on the master disk substrate by using the two exposure beams having different deflection amounts in this way will be described in detail with reference to FIG. 5, which is a block diagram showing an example of the recording apparatus. In FIG. 5, reference numeral 30 denotes a light source such as a semiconductor laser. The light source is not particularly limited and can be appropriately selected. In this example, a Kr laser (wavelength λ = 351) is used.
A laser light source that oscillates a recording laser beam with a wavelength of (nm) was used.

【００６１】光源３０から出射された露光ビームＢは、
ビームスプリッターＢＳ２により分割される。ＢＳ２を
透過した露光ビームはビームスプリッタＢＳ１によって
反射され、それぞれビームＢ₁ 及びＢ₂ として変調光学
系３１及び３２に導かれる。ＢＳ１を透過した光は、図
示しないが例えばフォトダイオード等により検出され
て、電気的な制御により出力の変動が制御される構成と
することもできる。The exposure beam B emitted from the light source 30 is
It is split by the beam splitter BS2. The exposure beam transmitted through BS2 is reflected by the beam splitter BS1 and guided to the modulation optical systems 31 and 32 as beams B ₁ and B ₂ , respectively. Although not shown, the light transmitted through the BS 1 may be detected by, for example, a photodiode or the like, and the fluctuation of the output may be controlled by electrical control.

【００６２】そして、各変調光学系３１及び３２におい
て、ビームＢ₁ 及びＢ₂ がそれぞれ集光レンズＬ１１及
びＬ２１により、音響光学変調器ＡＯＭ１及びＡＯＭ２
に集光されて、それぞれ強度変調され発散し、集光レン
ズＬ２１及びＬ２２によって平行ビームとされる。各光
学系３１及び３２においては、各レンズＬ１１、１２及
びＬ２１及び２２を、各音響光学変調器ＡＯＭ１及びＡ
ＯＭ２のブラッグ条件を満たすように配置する。Then, in each of the modulation optical systems 31 and 32, the beams B ₁ and B ₂ are converted into acousto-optic modulators AOM1 and AOM2 by the condenser lenses L11 and L21, respectively.
Are condensed and diverged by intensity modulation, and are made into parallel beams by the condenser lenses L21 and L22. In each optical system 31 and 32, each lens L11, 12 and L21 and 22 is connected to each acousto-optic modulator AOM1 and AOM.
Place them so that they meet the OM2 Bragg conditions.

【００６３】そして、各ビームＢ₁ 及びＢ₂ は、それぞ
れミラーＭ₁ 及びＭ₂ によって反射されて進行方向が９
０°曲げられた上で、移動光学テーブル４０の上に水平
且つ平行に導かれる。Then, the beams B ₁ and B ₂ are reflected by the mirrors M ₁ and M ₂ , respectively, and their traveling directions are 9
After being bent by 0 °, it is guided horizontally and parallel onto the moving optical table 40.

【００６４】各露光ビームＢ₁ 及びＢ₂ は、それぞれ移
動光学テーブル４０において、偏向光学系ＯＤ１及びＯ
Ｄ２に導かれる。第１の露光ビームＢ₁ は、偏向光学系
ＯＤ１で光学偏向が施された上でミラーＭ３によって反
射されて進行方向が９０°曲げられた上で偏光ビームス
プリッタＰＢＳ１によって反射されて、更に進行方向が
９０°曲げられてλ／２波長板ＨＷＰ１を介して偏光ビ
ームスプリッタＰＢＳ２に入射する。第２の露光ビーム
Ｂ₂ は、偏向光学系ＯＤ２で光学偏向が施された上でミ
ラーＭ４によって反射されて進行方向が９０°曲げられ
た上で偏光ビームスプリッタＰＢＳ２に入射する。The exposure beams B ₁ and B ₂ are respectively deflected by the deflection optical systems OD1 and O on the moving optical table 40.
You will be led to D2. The first exposure beam B ₁ is optically deflected by the deflection optical system OD1, reflected by the mirror M3, bent in the traveling direction by 90 °, and then reflected by the polarization beam splitter PBS1 in the traveling direction. Is bent by 90 ° and enters the polarization beam splitter PBS2 through the λ / 2 wave plate HWP1. The second exposure beam B ₂ is optically deflected by the deflection optical system OD2, is reflected by the mirror M4, has its traveling direction bent by 90 °, and then enters the polarization beam splitter PBS2.

【００６５】ここで、偏向光学系ＯＤ１及びＯＤ２は、
ウォブル信号のウォブルに対応するように、第１及び第
２の露光ビームに対して光学偏向を施すためのものであ
る。即ち、変調光学系３１及び３２から出射され偏向光
学系ＯＤ１及びＯＤ２に入射した第１及び第２の露光ビ
ームは、それぞれウェッジプリズム１４７及び２４７を
介して音響光学偏向器ＡＯＤ１及びＡＯＤ２（ＡＯＤ：
Acousto Optical Deflector ）に入射し、この音響光学
偏向器ＡＯＤ１及びＡＯＤ２によって、所望する露光パ
ターンに対応するように光学偏向が施される。Here, the deflection optical systems OD1 and OD2 are
This is for optically deflecting the first and second exposure beams so as to correspond to the wobble of the wobble signal. That is, the first and second exposure beams emitted from the modulation optical systems 31 and 32 and incident on the deflection optical systems OD1 and OD2 are acousto-optic deflectors AOD1 and AOD2 (AOD: AOD: AOD) via wedge prisms 147 and 247, respectively.
The light is incident on an acousto optical deflector and is optically deflected by the acousto-optical deflectors AOD1 and AOD2 so as to correspond to a desired exposure pattern.

【００６６】この音響光学偏向器ＡＯＤ１及びＡＯＤ２
に使用される音響光学素子としては、例えば、酸化テル
ル（ＴｅＯ₂ ）から成る音響光学素子が好適である。そ
して、音響光学偏向器ＡＯＤ１及びＡＯＤ２によって光
学偏向が施された第１及び第２の露光ビームＢ₁ 及びＢ
₂ は、それぞれウェッジプリズム１４９及び２４９を介
して偏向光学系ＯＤ１及びＯＤ２から出射される。The acousto-optic deflectors AOD1 and AOD2
As an acousto-optic element used in the above, for example, an acousto-optic element made of tellurium oxide (TeO ₂ ) is suitable. Then, the first and second exposure beams B ₁ and B optically deflected by the acousto-optic deflectors AOD1 and AOD2.
₂ is emitted from the deflection optical systems OD1 and OD2 via wedge prisms 149 and 249, respectively.

【００６７】尚、ウェッジプリズム１４７及び１４９、
２４７及び２４９は、音響光学偏向器ＡＯＤ１及びＡＯ
Ｄ２の音響光学素子の格子面に対してブラッグ条件を満
たすように第１及び第２の露光ビームＢ₁ 及びＢ₂ を入
射させるように配置され、且つ、ウェッジプリズム１４
９及び２４９は、音響光学偏向器ＡＯＤ１及びＡＯＤ２
から出射された第１及び第２の露光ビームＢ₁ 及びＢ₂
をビーム水平高さが変わらないように配置する。The wedge prisms 147 and 149,
Reference numerals 247 and 249 denote acousto-optic deflectors AOD1 and AO.
The wedge prism 14 is arranged so that the first and second exposure beams B ₁ and B ₂ are incident on the grating surface of the acousto-optic device D2 so as to satisfy the Bragg condition.
Reference numerals 9 and 249 denote acousto-optic deflectors AOD1 and AOD2.
From the first and second exposure beams B ₁ and B ₂
Are arranged so that the horizontal height of the beam does not change.

【００６８】また、各音響光学偏向器ＯＤ１及びＯＤ２
には、この音響光学偏向器ＯＤ１及びＯＤ２を駆動する
ための駆動用ドライバ１５０及び２５０がそれぞれ取り
付けられており、これら駆動用ドライバ１５０及び２５
０には、電圧制御発振器（ＶＣＯ：Voltage Controlled
Oscillator ）１５１及び２５１からの高周波信号が、
アドレス情報を含む制御信号Ｓ１及びＳ２により周波数
変調（ＭＳＫ：Minimum Shift Keying）されて供給され
る。Further, each of the acousto-optic deflectors OD1 and OD2
Drive drivers 150 and 250 for driving the acousto-optic deflectors OD1 and OD2, respectively.
0 is a voltage controlled oscillator (VCO).
Oscillator) High frequency signals from 151 and 251
The signal is frequency-modulated (MSK: Minimum Shift Keying) by control signals S1 and S2 including address information and supplied.

【００６９】具体的には、例えば、周波数９５６ｋＨｚ
と１．４３５ＭＨｚにてグルーブをウォブルさせること
により、ランドにアドレス情報を付加するような場合に
は、例えば中心周波数が２２４ＭＨｚの高周波信号を周
波数９５６ｋＨｚと１．４３５ＭＨｚの制御信号にて位
相変調信号を、電圧制御発振器１５１及び２５１から駆
動用ドライバ１５０及び２５０に供給する。そして、こ
の信号に応じて、駆動用ドライバ１５０及び２５０によ
って音響光学偏向器ＡＯＤ１及びＡＯＤ２の音響光学素
子のブラッグ角を変化させ、これにより、周波数９５６
ｋＨｚと１．４３５ＭＨｚのウォブルに対応するよう
に、第１及び第２の露光ビームＢ₁ 及びＢ ₂ に対して光
学偏向が施される。Specifically, for example, a frequency of 956 kHz
And wobble the groove at 1.435 MHz
When adding address information to a land,
Is a high-frequency signal whose center frequency is 224 MHz.
Positioned by control signals of wave number 956 kHz and 1.435 MHz
The phase modulation signal is driven by the voltage controlled oscillators 151 and 251.
It is supplied to the driving drivers 150 and 250. And this
Drive drivers 150 and 250 according to the signal of
Acousto-optic elements of acousto-optic deflectors AOD1 and AOD2
Change the Bragg angle of the child, which causes the frequency 956
To support wobbles of kHz and 1.435 MHz
To the first and second exposure beams B₁And B ₂Against the light
Academic bias is given.

【００７０】このようにしてウォブル偏向が施された第
１及び第２の露光ビームＢ₁ 及びＢ ₂ は、偏光ビームス
プリッタＰＢＳ２に入射される。偏光ビームスプリッタ
ーＰＢＳ１及びＰＢＳ２はＳ偏光を反射し、Ｐ偏光を透
過するようになされている。第１の露光ビームＢ₁ は、
λ／２波長板ＨＷＰ１を透過することにより偏光方向が
９０°回転させられているのでＰ偏光となっており、偏
光ビームスプリッタＰＢＳ２を透過する。The wobble-deflected first
First and second exposure beams B₁And B ₂Is a polarized beam
It is incident on the pritter PBS2. Polarizing beam splitter
-PBS1 and PBS2 reflect S-polarized light and transmit P-polarized light.
It is designed to pass. First exposure beam B₁Is
By passing through the λ / 2 wave plate HWP1, the polarization direction
Since it is rotated 90 °, it is P-polarized and
It passes through the light beam splitter PBS2.

【００７１】そして、第２の露光ビームＢ₂ はＳ偏光で
あり、偏光ビームスプリッタＰＢＳ２によって反射さ
れ、第１及び第２の露光ビームＢ₁ 及びＢ₂ が光軸方向
に合成される。Then, the second exposure beam B ₂ is S-polarized and reflected by the polarization beam splitter PBS2, and the first and second exposure beams B ₁ and B ₂ are combined in the optical axis direction.

【００７２】ここで、偏光ビームスプリッタＰＢＳ２の
角度を変えることによって、第１及び第２の露光ビーム
Ｂ₁ 及びＢ₂ の間隔を所定の間隔に制御することができ
る。この角度制御によって、第１及び第２の露光ビーム
Ｂ₁ 及びＢ₂ が所定の間隔をもってほぼ平行に光軸を調
節された後、拡大レンズＬ３によって所定のビーム径と
された上でミラーＭ５によって反射されて対物レンズ５
４へと導かれ、この対物レンズ５４によって、原盤用基
板１の上の感光層２上に集光される。Here, the interval between the first and second exposure beams B ₁ and B ₂ can be controlled to a predetermined interval by changing the angle of the polarization beam splitter PBS2. By this angle control, the optical axes of the first and second exposure beams B ₁ and B ₂ are adjusted substantially parallel to each other with a predetermined interval, and then the predetermined beam diameter is set by the magnifying lens L3, and then the mirror M5 is used. Objective lens 5 reflected
4 and is focused on the photosensitive layer 2 on the master substrate 1 by the objective lens 54.

【００７３】またこのとき、λ／２波長板ＨＷＰ１の回
転調整により、第１の露光ビームＢ ₁ が偏光ビームスプ
リッタＰＢＳ２を透過する光量を調整する。これによっ
て、第１及び第２の露光ビームＢ₁ 及びＢ₂ のビーム強
度が同一となるように制御することができる。At this time, the λ / 2 wave plate HWP1 is rotated.
By adjusting the rotation, the first exposure beam B ₁Is a polarized beam sp
The amount of light transmitted through the litter PBS2 is adjusted. By this
The first and second exposure beams B₁And B₂Beam strength
The degrees can be controlled to be the same.

【００７４】原盤用基板１は、矢印ｃで示すように回転
手段（図示せず）により回転駆動され、露光ビームのス
ポット位置を移動光学テーブル４０によって半径方向に
移動させることによって、所要の記録領域全域にわたっ
て、例えばスパイラル状の軌跡に応じた潜像が形成され
る。一点鎖線ａは原盤用基板１の回転中心軸を示す。The master substrate 1 is rotationally driven by a rotating means (not shown) as indicated by an arrow c, and the spot position of the exposure beam is moved in the radial direction by the moving optical table 40, whereby a required recording area is obtained. A latent image corresponding to, for example, a spiral trajectory is formed over the entire area. The alternate long and short dash line a indicates the central axis of rotation of the master substrate 1.

【００７５】このような記録装置において、電圧制御発
振器１５１及び２５１からの入力を制御することによ
り、第１及び第２の露光ビームＢ₁ 及びＢ₂ に対する偏
向量を異ならしめて、異なるウォブル振幅量の例えば第
１の露光ビームＢ₁ により±２ｎｍ、第２の露光ビーム
Ｂ₂ により±１０ｎｍとする。そして、上述したよう
に、偏光ビームスプリッタＰＢＳ２の角度制御によって
両ビームの間隔ｄ、更に移動光学テーブル４０による水
平移動量の制御によりトラックピッチを適切に選定する
ことによって、上述したように、第１及び第２の露光ビ
ームＢ₁ 及びＢ₂ の照射軌跡を一部重複させて、両側の
振幅の異なる潜像を形成し、現像後に残る未露光部を、
両側の振幅の異なるウォブルランドとして形成すること
ができる。In such a recording apparatus, by controlling the inputs from the voltage controlled oscillators 151 and 251, the deflection amounts for the first and second exposure beams B ₁ and B ₂ are made different, and different wobble amplitude amounts are obtained. For example, the first exposure beam B _{1 is} ± 2 nm, and the second exposure beam B _{2 is} ± 10 nm. Then, as described above, the angle d of the two beams is controlled by controlling the angle of the polarization beam splitter PBS2, and the track pitch is appropriately selected by controlling the horizontal movement amount by the moving optical table 40. And the irradiation loci of the second exposure beams B ₁ and B ₂ are partially overlapped to form latent images with different amplitudes on both sides, and the unexposed portion remaining after development is
It can be formed as a wobble land having different amplitudes on both sides.

【００７６】以下の実施例においては、上述の記録装置
における対物レンズ５４の開口数ＮＡを、０．９とし
た。音響光学変調器ＡＯＭ１及びＡＯＭ２の音響光学素
子は酸化テルル（ＴｅＯ₂ ）を用いた。音響光学変調器
ＡＯＭ１及びＡＯＭ２には、図示しないがドライバを介
して所要の信号が入力端子から供給される。この信号
は、ピットを形成する場合は、２−７変調信号であり、
ランドを形成する場合は、一定レベルのＤＣ信号であ
る。この例においては、変調光学系ＯＭ１及びＯＭ２の
レンズ半導体同一のものを用い、集光レンズＬ１１及び
Ｌ２１の焦点距離を８０ｍｍ、コリメートレンズＬ２１
及びＬ２２の焦点距離を１００ｍｍ、拡大レンズＬ３の
焦点距離を５０ｍｍとした。In the following examples, the numerical aperture NA of the objective lens 54 in the above recording apparatus is set to 0.9. The acousto-optic modulators AOM1 and AOM2 used tellurium oxide (TeO ₂ ). The acousto-optic modulators AOM1 and AOM2 are supplied with required signals from input terminals via a driver (not shown). This signal is a 2-7 modulated signal when forming a pit,
When forming a land, the DC signal has a constant level. In this example, the same lens semiconductor is used for the modulation optical systems OM1 and OM2, the focal lengths of the condenser lenses L11 and L21 are 80 mm, and the collimator lens L21.
And the focal length of L22 is 100 mm, and the focal length of the magnifying lens L3 is 50 mm.

【００７７】また、露光条件は、ウォブルランドを形成
する場合のレーザパワーは０．２０ｍＪ／ｍ、ピットを
形成する場合のレーザパワーは０．２５ｍＪ／ｍ程度と
し、ピットを形成する場合は第１の変調光学系ＯＭ１に
よりピット変調即ち２−７変調、ランドを形成する場合
は、第１及び第２の変調光学系ＯＭ１及びＯＭ２にＤＣ
信号を供給してトラックピッチ０．３５μｍとして線速
５．２８ｍ／ｓで記録した。The exposure conditions are such that the laser power for forming wobble lands is 0.20 mJ / m, the laser power for forming pits is about 0.25 mJ / m, and the first for forming pits. When the pit modulation, that is, the 2-7 modulation, and the lands are formed by the modulation optical system OM1 of No. 1, DC is applied to the first and second modulation optical systems OM1 and OM2.
A signal was supplied to record at a linear velocity of 5.28 m / s with a track pitch of 0.35 μm.

【００７８】露光後の処理としては、原盤用基板１を感
光層２が上部になるように現像機のターンテーブルに載
置して、水平面に対して回転させ、感光層２この場合フ
ォトレジスト上に所要の現像液を滴下して、感光層２に
対する現像を行う。これによって、原盤用基板１の上の
信号形成面に凹凸パターン、即ちこの場合ウォブルラン
ドとピットが形成され光学記録再生媒体作製用原盤を得
ることができる。As the post-exposure treatment, the master substrate 1 is placed on the turntable of the developing machine so that the photosensitive layer 2 is on the upper side, and is rotated with respect to the horizontal plane. Then, a required developing solution is dropped to develop the photosensitive layer 2. As a result, a concave / convex pattern, that is, wobble lands and pits in this case, is formed on the signal forming surface of the master substrate 1, and a master for producing an optical recording / reproducing medium can be obtained.

【００７９】そしてこの後、前述の図１Ｂにおいて説明
したように、無電界メッキ法、電気メッキ法等によっ
て、Ｎｉ等より成るメッキ層を厚さ例えば３００±５μ
ｍとして形成した後、カッター等により剥離して、光学
記録再生媒体作製用スタンパを作製する。Then, as described above with reference to FIG. 1B, a plating layer made of Ni or the like having a thickness of, for example, 300 ± 5 μm is formed by an electroless plating method, an electroplating method, or the like.
After being formed as m, it is peeled off by a cutter or the like to produce a stamper for producing an optical recording / reproducing medium.

【００８０】次に、このスタンパを用いて、上述したよ
うに射出成形法または２Ｐ法等によって光学記録再生媒
体の基板を成形し、信号形成面に形成されたピット、ラ
ンドの凹凸パターンを転写する。Next, using this stamper, the substrate of the optical recording / reproducing medium is molded by the injection molding method or the 2P method as described above, and the concavo-convex pattern of pits and lands formed on the signal forming surface is transferred. .

【００８１】そして、図６にその一例の模式的な拡大断
面図を示すように、この基板１の上に、Ａｌ合金等より
成る反射層１２、ＺｎＳ−ＳｉＯ₂ 等より成る第１の誘
電体層１３、ＧｅＩｎＳｂＴｅ等より成る相変化材料層
１４、ＺｎＳ−ＳｉＯ₂ 等より成る第２の誘電体層１５
を順次スパッタリング等により成膜し、反射層１２、第
１の誘電体層１３、相変化材料層１４、第２の誘電体層
１５より成る記録層７を形成する。Then, as shown in a schematic enlarged sectional view of one example in FIG. 6, a reflective layer 12 made of an Al alloy or the like and a first dielectric substance made of ZnS—SiO ₂ or the like are formed on the substrate 1. Layer 13, phase change material layer 14 made of GeInSbTe, etc., second dielectric layer 15 made of ZnS—SiO _2, etc.
Are sequentially formed by sputtering or the like to form a recording layer 7 including a reflective layer 12, a first dielectric layer 13, a phase change material layer 14, and a second dielectric layer 15.

【００８２】その後、第２の誘電体層１５の上を覆って
例えば紫外線硬化樹脂をスピンコート法等により塗布
し、紫外線を照射して硬化させることによって、厚さ例
えば０．１ｍｍの保護膜１６を形成する。以上の工程に
より、本発明によるＤＶＲ構成の光学記録再生媒体が形
成される。図６において、１７はウォブルランド、１８
はピットを示し、１７Ｓで示すランド面に情報信号の記
録再生がなされる構成とする。１９は記録再生用の対物
レンズ、Ｌは記録再生用のレーザ光を示す。After that, by covering the second dielectric layer 15 with, for example, an ultraviolet curable resin by a spin coating method or the like, and irradiating with ultraviolet rays to cure it, the protective film 16 having a thickness of, for example, 0.1 mm. To form. Through the above steps, the optical recording / reproducing medium having the DVR structure according to the present invention is formed. In FIG. 6, 17 is a wobble land, and 18
Indicates a pit, and an information signal is recorded and reproduced on the land surface indicated by 17S. Reference numeral 19 denotes a recording / reproducing objective lens, and L denotes a recording / reproducing laser beam.

【００８３】上述の光学記録装置において、ウォブル振
幅量を変化させた光学記録再生媒体をそれぞれ作製し、
その評価を波長λ＝４０６ｎｍ、開口数ＮＡ＝０．８５
の光ピックアップを備えたＤＶＲ評価機により行った。In the above-mentioned optical recording device, optical recording / reproducing media having wobble amplitude amounts changed were produced,
The evaluation was carried out with a wavelength λ = 406 nm and a numerical aperture NA = 0.85.
The DVR evaluation machine equipped with the optical pickup of FIG.

【００８４】先ず、第１及び第２の露光ビームの間隔
ｄ、即ち上述の光学記録装置によって調整した各ビーム
の間隔ｄを適切に変化させることによって、ウォブルラ
ンドの幅を１６５ｎｍ、１４６ｎｍ、１２８ｎｍとして
形成した。トラックピッチは３５０ｎｍ（０．３５μ
ｍ）としたので、それぞれグルーブ幅は１８５ｎｍ、２
０４ｎｍ、２２２ｎｍとなり、グルーブ幅よりも狭いウ
ォブルランド幅のパターンを実現した。First, the width d of the wobble land is set to 165 nm, 146 nm, and 128 nm by appropriately changing the distance d between the first and second exposure beams, that is, the distance d between the respective beams adjusted by the above-mentioned optical recording device. Formed. Track pitch is 350nm (0.35μ
m), the groove widths are 185 nm and 2 respectively.
Patterns with wobble land widths of 04 nm and 222 nm are narrower than the groove width.

【００８５】この場合、相変化材料層により記録層を構
成したものであるが、このようにランド幅を比較的狭く
し、このランド上に情報の記録再生を行う構成としたの
で、記録後のＣＴＳ信号量の低下を招くことなく、安定
して記録情報の再生を行うことができる。In this case, although the recording layer is composed of the phase change material layer, since the land width is relatively narrow and the information is recorded / reproduced on this land, the recording layer after recording is recorded. It is possible to stably reproduce the recorded information without lowering the CTS signal amount.

【００８６】そして、上記各幅構成としたウォブルラン
ドのランド面１７Ｓ、即ち図６において説明したよう
に、読み取り面に近い記録領域となるランド面１７Ｓに
１−７変調で記録再生を行ったところ、ジッター８．４
〜９．０％程度で再生することができ、良好な記録再生
特性を実現することができた。またピット信号の再生
は、ジッター７．６％程度で再生することができ、良好
な再生特性を得ることができた。Recording / reproduction was performed by 1-7 modulation on the land surface 17S of the wobble land having each of the width configurations described above, that is, the land surface 17S which is a recording area near the reading surface, as described in FIG. , Jitter 8.4
Reproduction was possible at about 9.0% and good recording / reproducing characteristics could be realized. The pit signal can be reproduced with a jitter of about 7.6%, and good reproduction characteristics can be obtained.

【００８７】次に、ウォブルランド１７の片側の振幅を
±１０ｎｍでウォブルし、もう一方の側の振幅を±１ｎ
ｍ、±２ｎｍ、±４ｎｍ、±６ｎｍとしてウォブルして
両側の振幅を異ならしめて構成し、アドレス情報をウォ
ブル信号として記録したところ、安定に再生することが
できた。Next, the amplitude of one side of the wobble land 17 is wobbled by ± 10 nm, and the amplitude of the other side is ± 1 n.
When wobbles of m, ± 2 nm, ± 4 nm, and ± 6 nm were made to have different amplitudes on both sides, and address information was recorded as a wobble signal, stable reproduction was possible.

【００８８】これに対し、±６ｎｍより大なる振幅とす
る場合は、上述のビートの発生によりウォブル信号を安
定に再生することが難しく、また±１ｎｍ未満とする場
合には、トラックピッチの形成精度の問題から、その振
幅の精度の検証が難しく、実用上形成が困難となる。し
たがって、この例から、片側の振幅を±１０ｎｍとする
場合に、反対側の振幅を±１ｎｍ以上±６ｎｍ以下とす
ることが望ましいことがわかる。On the other hand, when the amplitude is larger than ± 6 nm, it is difficult to stably reproduce the wobble signal due to the occurrence of the above-mentioned beat, and when it is less than ± 1 nm, the track pitch forming accuracy is small. From the above problem, it is difficult to verify the accuracy of the amplitude and practically difficult to form. Therefore, it can be seen from this example that when the amplitude on one side is ± 10 nm, it is desirable to set the amplitude on the opposite side to ± 1 nm or more and ± 6 nm or less.

【００８９】つまり、ウォブルランドの両側のウォブル
振幅量の比を、０．１０以上０．６０以下とするとき
に、アドレス情報を安定に再生することができることが
わかる。両方の側面を同じ振幅でウォブルさせた場合、
上述したように、トラックピッチの微細化により問題と
なるウォブル信号のビートによって、ウォブル信号の再
生が困難とるものであるが、本発明によれば、トラック
ピッチ０．３５μｍとした場合においてもビートの発生
を抑制して、安定に再生を行うことができた。That is, it is understood that the address information can be stably reproduced when the ratio of the wobble amplitude amounts on both sides of the wobble land is set to 0.10 or more and 0.60 or less. If you wobble both sides with the same amplitude,
As described above, the reproduction of the wobble signal becomes difficult due to the beat of the wobble signal which becomes a problem due to the miniaturization of the track pitch. However, according to the present invention, even if the track pitch is 0.35 μm, the beat It was possible to suppress the occurrence and stably reproduce.

【００９０】またこの場合、両側にウォブル信号を記録
したことによって、片側のみをウォブルさせる構成のよ
うにウォブル信号量が半分程度に低下してしまうことが
なく、良好な再生特性を保持することができた。Further, in this case, by recording the wobble signal on both sides, the wobble signal amount does not decrease to about half as in the configuration in which only one side is wobbled, and good reproduction characteristics can be maintained. did it.

【００９１】また更に、通常の光学記録再生媒体作製用
スタンパから転写形成したいわゆるマザースタンパを用
いることなく、光学記録再生媒体を作製していることか
ら、そのピットの形状は、スタンパにおいて凸状とな
り、高記録密度化に伴うピット形状が微細化されても、
良好に形状を転写することが可能となり、歩留りの低下
を回避することができる。Furthermore, since the optical recording / reproducing medium is manufactured without using a so-called mother stamper transferred from a normal optical recording / reproducing medium manufacturing stamper, the pits have a convex shape. , Even if the pit shape is miniaturized due to higher recording density,
It is possible to satisfactorily transfer the shape, and it is possible to avoid a decrease in yield.

【００９２】このように、本発明によれば、ピットとウ
ォブルランドが混在するいわゆるランド記録フォーマッ
トを採る光学記録再生媒体において、良好な記録再生特
性を実現でき、記録密度を大幅に向上することを可能に
した。更に、高密度で安定したウォブル信号の再生を実
現することができた。As described above, according to the present invention, good recording / reproducing characteristics can be realized and recording density can be significantly improved in an optical recording / reproducing medium adopting a so-called land recording format in which pits and wobble lands are mixed. Made possible Furthermore, it was possible to realize a high-density and stable reproduction of the wobble signal.

【００９３】またこの場合、ランドとグルーブとに記録
を行う従来のランドグルーブ記録のトラック密度と同等
の高密度化をはかることができ、更にランド面のみに記
録を行っていることから、フォーカス点を変えることな
くその記録再生が可能となり、このような高記録密度媒
体に対する再生光学系の複雑化を招来することを回避で
きる。Further, in this case, it is possible to achieve the same high density as the track density of the conventional land / groove recording for recording on the land and the groove, and since the recording is performed only on the land surface, the focus point It is possible to perform the recording and reproducing without changing the recording medium, and it is possible to avoid complication of the reproducing optical system for such a high recording density medium.

【００９４】更に、上述したようにグルーブ幅に比し狭
い幅のランドに情報の記録再生を行う構成とすることに
よって、記録後のＣＴＳ信号が減少することを抑制し、
記録後も安定にＣＴＳ信号を用いることができ、更に、
高密度で安定したウォブル信号を再生することができ
た。Further, as described above, by recording and reproducing information on the land having a width narrower than the groove width, it is possible to suppress the decrease of the CTS signal after recording,
The CTS signal can be used stably even after recording.
It was possible to reproduce a high-density and stable wobble signal.

【００９５】以上、本発明による実施例を詳細に説明し
たが、本発明はその技術的思想に基づいて変更し得るも
のであり、例えば記録層を相変化材料でなく、光磁気に
より構成するとか、また情報の記録再生に限ることな
く、信号記録再生を行う光学記録再生媒体、光学記録再
生装置等にも適用することができる等、種々の変形変更
が可能である。Although the embodiments of the present invention have been described in detail above, the present invention can be modified based on the technical idea thereof. For example, the recording layer may be composed of a magneto-optical material instead of a phase change material. Moreover, the present invention is not limited to information recording / reproduction, but can be applied to optical recording / reproduction media for performing signal recording / reproduction, an optical recording / reproduction device, etc., and various modifications can be made.

【００９６】[0096]

【発明の効果】上述したように、本発明によれば、原盤
用基板の上の感光層に所要のパターンの露光をする際
に、露光ビームを第１及び第２の露光ビームに分割した
後、この第１の露光ビームの偏向量と第２の露光ビーム
の偏向量とを異ならしめ、所定の間隔をもってほぼ平行
な光軸上に合成して原盤用基板の上の感光層に対する露
光を行うことによって、この間の未露光部は、現像後に
ランドパターンとなると共に、特にその両側のウォブル
振幅の異なるウォブルランドパターンとして形成するこ
とができる。As described above, according to the present invention, after exposing the photosensitive layer on the master substrate to the desired pattern, the exposure beam is divided into the first and second exposure beams. , The deflection amount of the first exposure beam and the deflection amount of the second exposure beam are made different, and they are combined on a substantially parallel optical axis at a predetermined interval to expose the photosensitive layer on the master substrate. As a result, the unexposed portion in the meantime becomes a land pattern after development and can be formed as a wobble land pattern having different wobble amplitudes on both sides thereof.

【００９７】そして、このような構成による光学記録再
生媒体作製用原盤からスタンパを作製し、このスタンパ
から射出成形等によって光学記録再生媒体の基板を作製
してこの上に反射層、記録層等を形成することによっ
て、両側のウォブル振幅の異なるランドを有する光学記
録再生媒体を得ることができる。Then, a stamper is produced from the master for producing an optical recording / reproducing medium having such a structure, a substrate of the optical recording / reproducing medium is produced from this stamper by injection molding or the like, and a reflection layer, a recording layer, etc. are formed thereon. By forming it, it is possible to obtain an optical recording / reproducing medium having lands having different wobble amplitudes on both sides.

【００９８】このような構成とすることによって、異な
る振幅のウォブル信号をランドに記録することによっ
て、上述したように、トラックピッチの微細化に伴うウ
ォブル信号の振幅の比率の増大化によるクロストラッ
ク、即ちいわゆるビートの発生を抑制することができ
て、またこの場合、片側のみのウォブル信号とする場合
と比較して、十分安定にウォブル情報を再生することが
できる信号量を得ることができる。With such a structure, wobble signals having different amplitudes are recorded on the lands, and as described above, the cross track due to the increase in the ratio of the wobble signal amplitudes due to the miniaturization of the track pitch, That is, it is possible to suppress the occurrence of so-called beats, and in this case, it is possible to obtain a signal amount capable of reproducing the wobble information in a sufficiently stable manner as compared with the case where only one side of the wobble signal is used.

【００９９】更に本発明によれば、通常のグルーブを形
成する工程と同様に、ランドの両側の溝を露光によりパ
ターニングしてランドを形成することから、記録領域の
少なくとも一部にピットを通常のパターニングと同様に
形成しても、その形状は凹状となり、これより作製する
スタンパのピットは凸状となり、光学記録再生媒体をの
基板を成形する際の転写形状は良好となり、歩留りの低
下を招来することを確実に回避することができる。Further, according to the present invention, similar to the step of forming a normal groove, the lands are formed by patterning the grooves on both sides of the land by exposure. Even if it is formed in the same manner as patterning, its shape is concave, and the pits of the stamper produced from this are convex, the transfer shape when molding the substrate of the optical recording / reproducing medium is good, and the yield is reduced. It is possible to surely avoid doing.

【０１００】また更に、ウォブルランドの幅を、ウォブ
ルランド間に設けられるグルーブの幅に比し小とするこ
とによって、相変化材料による記録層を構成する場合に
おいて、このランド上に情報信号が記録されても、相変
化記録膜の特性によって記録により反射率の低下する領
域の面積を比較的小さく抑えることができることから、
記録後のＣＴＳ信号が減少することを抑制することがで
き、記録再生特性の劣化を回避することができる。Furthermore, by making the width of the wobble land smaller than the width of the groove provided between the wobble lands, when a recording layer made of a phase change material is formed, an information signal is recorded on this land. Even so, since the area of the region where the reflectance decreases due to recording due to the characteristics of the phase change recording film can be suppressed to a relatively small value,
It is possible to suppress the decrease of the CTS signal after recording, and it is possible to avoid the deterioration of the recording / reproducing characteristics.

【０１０１】更に、ランド面を情報記録面として、この
上に基板に比し十分薄い薄膜の光透過性保護膜を形成し
て、この光透過性保護膜側から情報記録面に対する照射
光を入射して情報の記録再生を行うことによって、ＤＶ
Ｒ等の高密度光ディスクに本発明を適用した場合におい
て、その記録再生特性を良好に保持することができる。Further, the land surface is used as an information recording surface, a light-transmissive protective film which is a thin film sufficiently thinner than the substrate is formed on the land surface, and irradiation light is incident on the information recording surface from the light-transmissive protective film side. By recording and reproducing information by
When the present invention is applied to a high density optical disk such as R, the recording / reproducing characteristics can be maintained well.

【０１０２】また、ウォブルランドの両側のウォブル振
幅量を、±１ｎｍ以上±６ｎｍ以下とすることによっ
て、ＤＶＲ等の高密度光ディスクに対応する微細なトラ
ックピッチとした場合においても、ウォブル信号のビー
トが発生することを確実に回避することができて、且つ
片側のみにウォブル信号を設ける場合と比較して、十分
大なる信号量を得ることができて、安定確実なウォブル
信号の再生を行うことができる。Further, by setting the wobble amplitude amounts on both sides of the wobble land to ± 1 nm or more and ± 6 nm or less, the beat of the wobble signal can be obtained even when a fine track pitch corresponding to a high density optical disc such as DVR is used. It is possible to reliably avoid the occurrence, and to obtain a sufficiently large signal amount as compared with the case where the wobble signal is provided on only one side, and it is possible to perform stable and reliable reproduction of the wobble signal. it can.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】光学記録再生媒体作製用原盤の記録方法の一例
及び光学記録再生媒体作製用スタンパの一例の説明図で
ある。FIG. 1 is an explanatory diagram of an example of a recording method of a master for producing an optical recording / reproducing medium and an example of a stamper for producing an optical recording / reproducing medium.

【図２】光学記録再生媒体の一例の模式的な平面図であ
る。FIG. 2 is a schematic plan view of an example of an optical recording / reproducing medium.

【図３】光学記録再生媒体作製用原盤の記録方法の説明
図である。FIG. 3 is an explanatory diagram of a recording method of a master for producing an optical recording / reproducing medium.

【図４】光学記録再生媒体作製用原盤の記録方法の説明
図である。FIG. 4 is an explanatory diagram of a recording method of a master for producing an optical recording / reproducing medium.

【図５】光学記録再生装置の一例の構成図である。FIG. 5 is a configuration diagram of an example of an optical recording / reproducing device.

【図６】光学記録再生媒体の一例の略線的拡大断面図で
ある。FIG. 6 is a schematic enlarged cross-sectional view of an example of an optical recording / reproducing medium.

【図７】光学記録再生媒体の一例の平面図である。FIG. 7 is a plan view of an example of an optical recording / reproducing medium.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ 原盤用基板、２ 感光層、３ ウォブルランドパタ
ーン、３ｎ 反転ウォブルランドパターン、４ ピット
パターン、４ｎ 反転ウォブルランドパターン、５ 光
学記録再生媒体作製用原盤、６ スタンパ、７ 記録
層、１１ 基板、１２ 反射層、１３ 第１の誘電体
層、１４ 相変化材料層、１５ 第２の誘電体層、１６
保護膜、１７ ウォブルランド、１７Ｓ ランド面、
１８ ピット、１９ 対物レンズ、２０ ウォブルラン
ド、２１ 第１の露光ビームのスポット、２２ 第２の
露光ビームのスポット、２３ 未露光部、３０ 光源、
３１変調光学系、３２ 変調光学系、４０ 移動光学テ
ーブル、５４ 対物レンズ、１４７ ウェッジプリズ
ム、１４８ 音響光学偏向器、１４９ ウェッジプリズ
ム、１５０ 駆動用ドライバ、１５１ 電圧制御発振
器、２４７ ウェッジプリズム、２４８ 音響光学偏向
器、２４９ ウェッジプリズム、２５０ 駆動用ドライ
バ、２５１ 電圧制御発振器1 Master Substrate, 2 Photosensitive Layer, 3 Wobble Land Pattern, 3n Inverted Wobble Land Pattern, 4 Pit Pattern, 4n Inverted Wobble Land Pattern, 5 Optical Recording / Playback Medium Making Master, 6 Stamper, 7 Recording Layer, 11 Substrate, 12 Reflective layer, 13 first dielectric layer, 14 phase change material layer, 15 second dielectric layer, 16
Protective film, 17 wobble land, 17S land surface,
18 pits, 19 objective lens, 20 wobble land, 21 first exposure beam spot, 22 second exposure beam spot, 23 unexposed part, 30 light source,
31 modulation optical system, 32 modulation optical system, 40 moving optical table, 54 objective lens, 147 wedge prism, 148 acousto-optic deflector, 149 wedge prism, 150 driving driver, 151 voltage controlled oscillator, 247 wedge prism, 248 acoustooptic Deflector, 249 wedge prism, 250 driver, 251 voltage controlled oscillator

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ１１Ｂ 7/26 ５１１ Ｇ１１Ｂ 7/26 ５１１ (72)発明者 秀田 育弘 宮城県登米郡中田町宝江新井田字加賀野境 30番地 ソニー宮城株式会社内 Ｆターム(参考） 5D029 WA02 WA16 WD01 WD11 5D090 AA01 BB01 CC01 CC12 CC14 EE01 GG03 5D119 AA22 DA01 DA05 FA05 JA43 JB02 5D121 BB01 BB21 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. ⁷ identification code FI theme code (reference) G11B 7/26 511 G11B 7/26 511 (72) Inventor Hideta Ikuhiro Takae Niida, Nakada-cho, Tome-gun, Miyagi Kagano Sakai 30 F number in Sony Miyagi Co., Ltd. (reference) 5D029 WA02 WA16 WD01 WD11 5D090 AA01 BB01 CC01 CC12 CC14 EE01 GG03 5D119 AA22 DA01 DA05 FA05 JA43 JB02 5D121 BB01 BB21

Claims (20)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 原盤用基板の上に感光層を被着して、所
要のパターンの露光及び現像により上記感光層を記録情
報に対応するパターンとして形成する光学記録再生媒体
作製用原盤の記録方法にあって、 露光ビームを第１及び第２の露光ビームに分割した後、
上記第１の露光ビームの偏向量と上記第２の露光ビーム
の偏向量とを異ならしめ、 所定の間隔をもってほぼ平行な光軸上に合成して上記原
盤用基板の上の上記感光層に対する露光を行い、 上記原盤用基板の上の少なくとも一部の上記感光層の未
露光部を、両側のウォブル振幅が異なるウォブルランド
パターンとして形成することを特徴とする光学記録再生
媒体作製用原盤の記録方法。1. A method for recording a master for producing an optical recording / reproducing medium, which comprises depositing a photosensitive layer on a master substrate, and exposing and developing a desired pattern to form the photosensitive layer as a pattern corresponding to recorded information. Then, after splitting the exposure beam into a first and a second exposure beam,
The deflection amount of the first exposure beam and the deflection amount of the second exposure beam are made different, and combined on a substantially parallel optical axis at a predetermined interval to expose the photosensitive layer on the master substrate. A recording method of a master for producing an optical recording / reproducing medium, characterized in that at least a part of the unexposed portion of the photosensitive layer on the master substrate is formed as a wobble land pattern having different wobble amplitudes on both sides. . 【請求項２】 上記原盤用基板の上の上記感光層に対
し、上記露光ビームによって所要のピットパターンのパ
ターン露光を行い、 上記原盤用基板の上の少なくとも一部の上記感光層の露
光部を、ピットパターンとして形成することを特徴とす
る上記請求項１に記載の光学記録再生媒体作製用原盤の
記録方法。2. The photosensitive layer on the master substrate is subjected to pattern exposure of a required pit pattern by the exposure beam to expose at least a part of the exposed portion of the photosensitive layer on the master substrate. The method of recording a master for producing an optical recording / reproducing medium according to claim 1, wherein the recording medium is formed as a pit pattern. 【請求項３】 上記第１及び第２の露光ビームの間隔を
適切に選定することによって、上記第１及び第２の露光
ビームの露光部の幅を、上記未露光部の幅に比し大とす
ることによって、グルーブパターンの幅に対し、上記ウ
ォブルランドパターンの幅を小とすることを特徴とする
上記請求項１又は２に記載の光学記録再生媒体作製用原
盤の記録方法。3. The width of the exposed portion of the first and second exposure beams is made larger than the width of the unexposed portion by appropriately selecting the interval between the first and second exposure beams. The width of the wobble land pattern is made smaller than the width of the groove pattern by the above, so that the recording method of the master for producing an optical recording / reproducing medium according to claim 1 or 2. 【請求項４】 原盤用基板の上に感光層を被着して、所
要のパターンの露光及び現像により上記感光層を記録情
報に対応するパターンとして形成した光学記録再生媒体
作製用原盤から転写形成される光学記録再生媒体作製用
スタンパにあって、 ランドパターンがウォブルランドパターンとされると共
に、その両側のウォブル振幅量が異ならしめて形成され
て成り、 上記ランドパターンが凹状パターンとして形成されて成
ることを特徴とする光学記録再生媒体作製用スタンパ。4. A transfer layer is formed from an optical recording / reproducing medium manufacturing master in which a photosensitive layer is deposited on a master substrate, and the photosensitive layer is formed as a pattern corresponding to recorded information by exposing and developing a desired pattern. In the stamper for producing an optical recording / reproducing medium, the land pattern is formed as a wobble land pattern, and wobble amplitude amounts on both sides of the land pattern are made different, and the land pattern is formed as a concave pattern. A stamper for producing an optical recording / reproducing medium, characterized by: 【請求項５】 ピットパターンが凸状パターンとして形
成されて成ることを特徴とする上記請求項４に記載の光
学記録再生媒体作製用スタンパ。5. The stamper for producing an optical recording / reproducing medium according to claim 4, wherein the pit pattern is formed as a convex pattern. 【請求項６】 上記ランドパターンの間のグルーブパタ
ーンの幅に比し、上記ランドパターンの幅が小とされて
成ることを特徴とする上記請求項４又は５に記載の光学
記録再生媒体作製用スタンパ。6. The optical recording / reproducing medium according to claim 4, wherein the width of the land pattern is smaller than the width of the groove pattern between the land patterns. Stamper. 【請求項７】 基板上に記録情報に対応する凹凸パター
ンを有する光学記録再生媒体にあって、 少なくとも記録領域に、ウォブルランドが形成され、 上記ウォブルランドは、その両側のウォブル振幅が異な
らしめて成ることを特徴とする光学記録再生媒体。7. An optical recording / reproducing medium having a concavo-convex pattern corresponding to recorded information on a substrate, wherein wobble lands are formed at least in a recording area, and the wobble lands have different wobble amplitudes on both sides thereof. An optical recording / reproducing medium characterized by the above. 【請求項８】 上記記録領域の少なくとも一部に、ピッ
トが凹状パターンとして形成されて成ることを特徴とす
る上記請求項７に記載の光学記録再生媒体。8. The optical recording / reproducing medium according to claim 7, wherein pits are formed as a concave pattern in at least a part of the recording area. 【請求項９】 上記ウォブルランドの幅が、上記ウォブ
ルランド間に設けられるグルーブの幅に比し小とされた
ことを特徴とする上記請求項７又は８に記載の光学記録
再生媒体。9. The optical recording / reproducing medium according to claim 7, wherein a width of the wobble land is smaller than a width of a groove provided between the wobble lands. 【請求項１０】 上記ウォブルランドのランド面が情報
記録面とされ、 該情報記録面上を覆って全面的に、上記基板に比し十分
薄い薄膜の光透過性保護膜が形成され、 該光透過性保護膜側が、上記情報記録面に対する照射光
の入射面とされたことを特徴とする上記請求項７、８又
は９に記載の光学記録再生媒体。10. A land surface of the wobble land serves as an information recording surface, and a light-transmitting protective film, which is a thin film sufficiently thinner than the substrate, is formed over the entire surface of the information recording surface so as to cover the information recording surface. 10. The optical recording / reproducing medium according to claim 7, 8 or 9, wherein the transparent protective film side is an incident surface of irradiation light with respect to the information recording surface. 【請求項１１】 上記ウォブルランドの両側のウォブル
振幅量の比が、０．１０以上０．６０以下とされて成る
ことを特徴とする上記請求項７、８、９又は１０に記載
の光学記録再生媒体。11. The optical recording according to claim 7, 8, 9 or 10, wherein a ratio of wobble amplitude amounts on both sides of the wobble land is 0.10 or more and 0.60 or less. Reproduction medium. 【請求項１２】 上記情報記録面に対する記録及び／又
は再生に使用される対物レンズの開口数をＮＡとしたと
き、上記ＮＡが０．８５以上とされたことを特徴とする
上記請求項７、８、９、１０又は１１に記載の光学記録
再生媒体。12. The NA according to claim 7, wherein when the numerical aperture of an objective lens used for recording and / or reproducing on the information recording surface is NA, the NA is 0.85 or more. 8. The optical recording / reproducing medium described in 8, 9, 10 or 11. 【請求項１３】 上記情報記録面に対する記録及び／又
は再生と共に、ウォブル情報及びピット信号の再生がな
されることを特徴とする上記請求項７、８、９、１０、
１１又は１２に記載の光学記録再生媒体。13. The wobble information and the pit signal are reproduced at the same time as the recording and / or the reproducing on the information recording surface.
11. The optical recording / reproducing medium as described in 11 or 12. 【請求項１４】 基板上に記録情報に対応する凹凸パタ
ーンを有する光学記録再生媒体に対し、記録及び／又は
再生を行う光学記録再生装置にあって、 上記光学記録再生媒体は、その少なくとも記録領域に、
ウォブルランドが形成され、 上記光学記録再生媒体の上記ウォブルランドが、その両
側のウォブル振幅が異ならしめて成ることを特徴とする
光学記録再生装置。14. An optical recording / reproducing apparatus for performing recording and / or reproduction on an optical recording / reproducing medium having a concavo-convex pattern corresponding to recorded information on a substrate, wherein the optical recording / reproducing medium has at least a recording area. To
An optical recording / reproducing apparatus, wherein wobble lands are formed, and the wobble lands of the optical recording / reproducing medium have different wobble amplitudes on both sides thereof. 【請求項１５】 上記光学記録再生媒体の上記記録領域
の少なくとも一部に、ピットが凹状パターンとして形成
されて成ることを特徴とする上記請求項１４に記載の光
学記録再生装置。15. The optical recording / reproducing apparatus according to claim 14, wherein pits are formed as a concave pattern in at least a part of the recording area of the optical recording / reproducing medium. 【請求項１６】 上記光学記録再生媒体の上記ウォブル
ランドの幅が、上記ウォブルランド間に設けられるグル
ーブの幅に比し小とされたことを特徴とする上記請求項
１４又は１５に記載の光学記録再生装置。16. The optical device according to claim 14, wherein the width of the wobble land of the optical recording / reproducing medium is smaller than the width of the groove provided between the wobble lands. Recording / playback device. 【請求項１７】 上記光学記録再生媒体の上記ウォブル
ランドのランド面が情報記録面とされ、 該情報記録面上を覆って全面的に、上記光学記録再生媒
体の上記基板に比し十分薄い薄膜の光透過性保護膜が形
成され、 該光透過性保護膜側が、上記情報記録面に対する照射光
の入射面とされたことを特徴とする上記請求項１４、１
５又は１６に記載の光学記録再生装置。17. A land surface of the wobble land of the optical recording / reproducing medium is an information recording surface, and a thin film that covers the information recording surface and is sufficiently thin as compared with the substrate of the optical recording / reproducing medium. 15. The light-transmitting protective film according to claim 14, wherein the light-transmitting protective film side is the incident surface of the irradiation light with respect to the information recording surface.
The optical recording / reproducing apparatus as described in 5 or 16. 【請求項１８】 上記光学記録再生媒体の上記ウォブル
ランドの両側のウォブル振幅量の比が、０．１０以上
０．６０以下とされて成ることを特徴とする上記請求項
１４、１５、１６又は１７に記載の光学記録再生装置。18. The optical recording / reproducing medium according to claim 14, 15, 16 or 16, wherein a ratio of wobble amplitude amounts on both sides of the wobble land is 0.10 or more and 0.60 or less. 17. The optical recording / reproducing apparatus according to item 17. 【請求項１９】 上記光学記録再生媒体の上記情報記録
面に対する記録及び／又は再生に使用される対物レンズ
の開口数をＮＡとしたとき、上記ＮＡが０．８５以上と
されたことを特徴とする上記請求項１４、１５、１６、
１７又は１８に記載の光学記録再生装置。19. The NA is 0.85 or more, where NA is the numerical aperture of an objective lens used for recording and / or reproducing on the information recording surface of the optical recording / reproducing medium. The above-mentioned claims 14, 15, 16,
17. The optical recording / reproducing device according to 17 or 18. 【請求項２０】 上記光学記録再生媒体の上記情報記録
面に対する記録及び／又は再生と共に、ウォブル情報及
びピット信号の再生がなされることを特徴とする上記請
求項１４、１５、１６、１７、１８又は１９に記載の光
学記録再生装置。20. The wobble information and the pit signal are reproduced together with recording and / or reproducing on the information recording surface of the optical recording / reproducing medium. Or the optical recording / reproducing apparatus according to item 19.