JP2003045918A - テープキャリア用露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】両面に導体層を有する基材の配線パターンの露
光を表裏面連続して効率的に行い、配線パターンとデバ
イスホール等の位置合わせ精度に優れた高精細化及び、
高密度化対応のテープキャリア用露光装置を提供する。 【解決手段】アライメント光照明手段を定盤より下部の
位置に設けているため、テープキャリア及びフォトマス
ク５のアライメントマークを透過照明で照射でき、撮像
手段でのアライメントマーク画像のコントラストが向上
して、テープキャリアとフォトマスクの位置合わせ精度
が格段に向上し、１つの光源からの紫外線を露光部と露
光部とに切替え反転して、相互方向に紫外線照射を可能
とする機能を有し、かつ位置合わせとパターン露光を同
時に処理して、テープキャリアの露光を両面連続して行
うため、高い生産効率でテープキャリアの生産が可能と
なるテープキャリア用露光装置を提供することができ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、テープキャリア等
のパターン露光の際に使用されるアライメント露光装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】テープキャリアは、テレビ、携帯電話、
ゲーム機、ラジオ、音響機器、ＶＴＲ等の民生用電子機
器部品や、コンピュータ、ＯＡ機器、電子応用機器、電
気計測器、通信機等の産業用電子機器部品に広く用いら
れている。近年、電子機器は小型化、高密度化、高性能
化の要望が高まり、これに基づいて、用いられる部品に
おいては配線の細線化、ビアホールの小径化、ランド、
パッド等の小径化、基材のフレキシブル化、多層化及び
高精細化が急速に進んでいる。

【０００３】図６に示すように、一般的なテープキャリ
ア３の製造は、ポリイミド等の絶縁フィルム４６に導体
層１５が形成された絶縁フィルムテープの両端にフィル
ムテープ搬送用及び位置決め用のスプロケットホール９
を形成し、そのスプロケットホール９をガイドにして絶
縁フィルムテープ３上の導体層１５にレジストパターン
形成、エッチング等のパターニング処理を施して配線パ
ターン及び電極パッド等を作製している。特に、レジス
トパターン形成するための露光工程ではあらかじめ形成
されたデバイスホール１４等との位置合わせを必要と
し、高い精度の位置合わせが要求されている。

【０００４】レジストパターン形成の露光工程に使用さ
れる従来の露光装置のアライメントは、フォトマスク５
の上部よりアライメント照明を行って、テープキャリア
からの反射光によりフォトマスクとテープキャリアのア
ライメントマークを読みとりパターン位置合わせを行っ
ている。このような反射照明系のアライメントではテー
プキャリアからの反射光を利用してフォトマスクとテー
プキャリアのアライメントマーク２７，２６（図５参
照）を読みとっているため、テープキャリア３の反射率
及び読みとり倍率等により、反射光の光量が減少し、フ
ォトマスクとテープキャリアのアライメントマーク２
７，２６の所望のコントラストが得られず、パターン位
置合わせ精度を維持すると共に、効率のよい製品の生産
が難しいという問題を有しており、高精細化、高密度化
対応のテープキャリア３の製造に支障をきたしている。

【０００５】一方、テープキャリア３の高性能化の目的
で、テープキャリアの導体配線層１５が複数層からなる
多層構造化が検討されている。この多層構造は、例えば
２層配線化の場合、テープキャリア３の両面に形成され
た導体層１５に配線を形成し、該配線パターンの形成は
表裏それぞれに異なるパターンを形成するため、前記テ
ープキャリア３の両面に形成された感光性レジスト層に
所望パターンの露光を表面と、裏面とに行う必要があ
る。

【０００６】従来のテープキャリア用露光装置を使用し
て、上記基材の両面に導体パターン形成を行う場合は、
露光装置では片面の露光処理となる。そのため、まず所
望パターンを形成しない面を被覆した上で、その裏面に
エッチングレジスト（感光性レジスト層）の所望パター
ンを露光、現像をした後に感光性レジスト層のパターン
を形成、エッチングして、片面の配線パターン形成を行
う。次に、テープキャリアのパターン形成面を表裏逆に
して同様に上記配線パターンの形成を繰り返して行う必
要がある。ここで、配線パターンの形成、特に導体エッ
チングのためのレジスト露光工程では、片面ずつ露光処
理を行う必要があるため、配線パターンの多層化による
製造工程が増加が挙げられ、効率の良い製品製造が困難
となってきている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記問題点に
鑑み発明されたもので、両面に導体層を有する基材の配
線パターンの露光を表裏面連続して効率的に行い、配線
パターンとデバイスホール等の位置合わせ精度に優れた
高精細化、高密度化対応のテープキャリア用露光装置を
提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明に於いて上記課題
を解決するため、請求項１においては、少なくとも紫外
線光源３２と、フォトマスク５と、テープキャリア３
と、定盤４と、アライメント機構２０と、定盤４の後段
に配置した面反転機構１２を有する露光装置であって、
前記面反転機構１２が回転ロール４２の外周面にテープ
キャリア３を沿わせて面反転を行うことを特徴とするテ
ープキャリア用露光装置である。

【０００９】本発明に於いて上記課題を解決するため、
請求項２においては、前記請求項１記載のアライメント
機構２０がアライメント光照明手段２１と、撮影手段２
８と、画像処理手段２９と、フォトマスクの位置を補正
する制御手段７と、テープキャリア３の巻き出し部１と
巻き取り部２とからなるテープキャリア搬送手段１１を
備えることを特徴とする請求項１記載のテープキャリア
用露光装置である。

【００１０】本発明に於いて上記課題を解決するため、
請求項３においては、前記請求項１又は請求項２の記載
の紫外線光源３２とフォトマスク５間に紫外線光反転手
段３６を有し、紫外線照射位置を任意に変更できるよう
にしたことを特徴とする請求項１又は２記載のテープキ
ャリア用露光装置である。

【００１１】本発明に於いて上記課題を解決するため、
請求項４においては、前記請求項２又は請求項３の記載
のアライメント光照明手段２１は前記定盤４より下部に
設けてあり、前記定盤４の開口部２５より透過照明にて
前記テープキャリア３のアライメントマーク２７及び前
記フォトマスク５のアライメントマーク２６を照射し、
前記テープキャリア及び前記フォトマスクのパターン位
置合わせを行うことを特徴とする請求項２又は３記載の
テープキャリア用露光装置である。

【００１２】

【作用】本発明のテープキャリア用露光装置は、アライ
メント光照明手段２１を定盤４より下部の位置に設けて
いるため、テープキャリア３及びフォトマスクのアライ
メントマーク２６を透過照明で照射でき、撮像手段２８
でのアライメントマーク画像のコントラストが向上し、
テープキャリア３とフォトマスク５の位置合わせ精度が
格段に向上する。そして、前記アライメントの処理をテ
ープキャリア３の両面連続して行うため、高い生産効率
でテープキャリア３の生産が可能となる。また、１つの
光源３２からの紫外線を反転して異なる方向へ紫外線照
射し、かつ位置合わせとパターン露光を同時に処理する
ことを可能とする機能を有するために高生産性により、
生産コスト低減にも貢献する。

【００１３】

【発明の実施の形態】図１は本発明のテープキャリア用
露光装置の一実施例を示すテープキャリア用露光装置の
構成概略図である。本発明のテープキャリア用露光装置
は図１に示すように、テープキャリア３の巻き出し手段
１と、紫外線光源３２、紫外線光源３２から生じる赤外
線成分を除去するコールドミラー３３と、紫外線光源３
２からの照度分布を均一化させるフライアイレンズ３４
と、該レンズの後近傍にシャッター部３５を配置し、前
記フライアイレンズ３４から放射される紫外線をテープ
キャリアに照射させる楕円凹面ミラー３７と、紫外線光
照射位置を変更できる反転ミラー３６とから構成する。

【００１４】図２に示す露光部４４、フォトマスク５、
テープキャリア３、テープキャリア３を所定に位置に固
定する真空吸着穴３９と、光透過性材料２５が充填され
た開口部２５を有する定盤４、フォトマスク５を保持す
るマスクホルダー６と、アライメント光照明手段２１、
撮像手段２８、画像処理手段２９及びフォトマスクの位
置を補正する制御手段７と、テープキャリア搬送手段１
１と、回転ロール４２の外周面にテープキャリア３を沿
わせて面反転して搬送する面反転機構１２と、アライメ
ント光照明手段２１が定盤４より下部の位置に設けら
れ、定盤４の開口部２５よりテープキャリア３及びフォ
トマスク５へのアライメント光を透過照明で照射できる
ようにして、撮像手段２８、画像処理手段２９からの指
示によって、制御手段７を用いてフォトマスクホルダー
を移動させて位置の補正を実行し、フォトマスク５とテ
ープキャリア３のアライメントマーク２６，２７による
位置合わせができる。

【００１５】図３に示す露光部４５、フォトマスク５、
テープキャリア３、定盤４上にテープキャリア３を所定
の位置に固定する真空吸着穴３９、光透過性材料２５が
充填された開口部２５を有する定盤４、フォトマスク５
を保持するマスクホルダ６、アライメント光照明手段２
１、撮像手段２８、画像処理手段２９及びフォトマスク
の位置を補正する制御手段７と、テープキャリア搬送手
段１１と、テープキャリア３の巻き出し手段１と、巻き
取り手段２から構成されており、そして、アライメント
光照明手段２１が定盤４より下部の位置に設けられ、定
盤４の開口部２５よりテープキャリア３及びフォトマス
ク５へのアライメント光を透過照明で照射できるように
して、撮像手段２８、画像処理手段２９よる指示により
制御手段７を用いて位置の補正をフォトマスクホルダー
６を移動させて、フォトマスク５とテープキャリア３の
位置合わせができる。

【００１６】図２の露光部４４と図３の露光部４５は同
じ手段及び構造である。

【００１７】以下図１を用いて、テープキャリア用露光
装置の各構成要素について説明する。紫外線光源３２は
テープキャリア３及びテープキャリア３上の感光性レジ
スト層に所定のパターンを照射露光するに必要な照度を
露光するための光源であり、超高圧水銀灯が用いられ
る。この超高圧水銀灯３２から発光される紫外線１９
は、複数の発光スペクトルピークを有するため、そのス
ペクトルの混成比率により同一感光性材料であってもそ
の感度が異なる。そのため、コールドミラー３３は、紫
外線光源３２から生じる赤外線成分を除去するものであ
ると共に、超高圧水銀灯から生じる紫外線成分から不要
な成分となる発光スペクトルを吸収除去させるものとな
っている。

【００１８】更に、フライアイレンズ３４は、紫外線光
源３２からの照度分布を均一化させる機能を有し、楕円
凹面ミラー３７は、前記フライアイレンズ３４から放射
される紫外線を定盤上のテープキャリア３上に形成した
感光性レジスト表面に照射する。また、紫外線光照射位
置を変更できる反転ミラー３６は紫外線光源３２から生
じる紫外線１９が照射位置までの光路の中間位置に配置
され、その反転ミラー３６の変更動作により紫外線１９
の光路を変更して、紫外線照射位置をテープキャリア３
の露光部４４の照射から、ミラーの動作により、紫外線
光照射位置をテープキャリア３の露光部４５へ照射変更
する。

【００１９】以下図２、図３を用いて、テープキャリア
用露光装置の動作手順について説明する。図２の露光部
４４において、マスクフォルダ６に置載されたフォトマ
スク上のアライメントマーク２６と、テープキャリア３
に設けられたアライメントマーク２７の位置を合わせる
ため、定盤４に設けられた光透過性材料２５が充填され
た開口部２５から、アライメント光照明手段２１によ
り、テープキャリア３のアライメントマーク２７と、フ
ォトマスクのアライメントマーク２６に照明を照射し、
このアライメントマーク２７，２６の画像を撮像手段２
８によって撮影する。この撮像手段２８により得られる
画像を画像処理手段２９によって最適な数値化処理を行
い、この結果を基に、フォトマスクの位置を補正する制
御手段７によって、アライメントマーク２７とアライメ
ントマーク２６との位置整合を行い、位置整合が完了す
ると、照射光量の制御手段４３を通じて、紫外線１９の
光路にあるシャッター３５を開閉してフォトマスク５に
紫外線１９を必要量照射する。

【００２０】また、シャッター３５の開閉に伴い、テー
プキャリア３は、定盤４でフォトマスク５上の所望パタ
ーンを露光され、露光部４４の作業は終了する。前記露
光部４４のテープキャリア３への紫外線１９の照射中
と、この上記露光部４５のアライメントマーク２７とマ
スクのアライメントマーク２６の整合とは同時に並行し
て行われる。次に、露光部４４の露光照射の作業の終了
と同時に、反転ミラー３６の変更動作により紫外線１９
の光路を変更して、紫外線照射位置をテープキャリア３
の表面への露光部４４の照射から、照射位置をテープキ
ャリア３裏面となる露光部４５に紫外線光照射位置を変
更する。

【００２１】次に 図３の露光部４５に示すように、露
光部４５において、紫外線露光面が反転されたテープキ
ャリア３は、マスクフォルダ６に置載されたフォトマス
ク５上のアライメントマーク２６と、テープキャリア３
に設けられたアライメントマーク２７の位置を合わせる
ため、定盤４に設けられた光透過性材料２５が充填され
た開口部２５から、アライメント光照明手段２１によ
り、テープキャリア３のアライメントマーク２７及びマ
スクのアライメントマーク２６に照明を照射し、このア
ライメントマーク２７，２６の画像を撮像手段２８によ
って撮像する。この撮像手段２８により得られる画像を
画像処理手段２９で最適な数値化処理を行い、この結果
を基に、フォトマスクの位置を補正する制御手段７によ
って、アライメントマーク２６とアライメントマーク２
７の位置整合を行う。

【００２２】図３の露光部４５において、この位置整合
が完了すると、照射量の制御手段４３を通じて、紫外線
１９の光路にあるシャッター３５を開放してフォトマス
ク５に紫外線１９を必要量照射する。また、シャッター
３５の開閉に伴い、定盤４でフォトマスク５上の所望パ
ターンを露光されたテープキャリア３は、定盤４の前後
にあるテープキャリア搬送手段１１により必要量移動
し、巻き取りロール２の外周面に沿って巻き取りが行わ
れる。

【００２３】この巻き取りロール２の動作を受け、反転
ミラー３６を露光部４５の紫外線１９の光路から、露光
部４４の紫外線１９の光路の位置に変更する。以下同じ
順序で繰り返される。

【００２４】次に、図２、図３を用いて、テープキャリ
ア用露光装置のアライメント作業の手順について説明す
る。前述したように、露光部４４と露光部４５とは同じ
機能で構成する為、図２に示す露光部４４に付いてのみ
説明する。テープキャリア３は、あらかじめ絶縁フィル
ムテープ３の両端にスプロケットホール９及びアライメ
ントマーク２７が形成され、パターン配置した内部エリ
アにデバイスホール１４、スリットホール及び銅箔から
なる導体層１５等が形成されたテープキャリア３の表裏
面をなすもので、ここでは、配線パターン及び電極パッ
ド等を形成するための感光性レジスト層が導体層上に形
成された中間工程のテープキャリア３を指している。

【００２５】定盤４はテープキャリア３を保持する支持
台であると同時に、アライメント照明手段２１からのア
ライメント照明光をテープキャリア３及びフォトマスク
５のアライメントマーク２６に照射するするため、光透
過性材料２５が充填された開口部２５を有している。
開口部２５はフォトマスク５のアライメントマーク２
６、及びテープキャリア３におけるアライメントマーク
２７対応する位置に設けられている。更に、定盤４は露
光時にテープキャリア３をフォトマスク５に密着させた
り、アライメント処理中にテープキャリア３とフォトマ
スク５を所定間隔離反させる上下移動機構に連結してい
る。

【００２６】アライメント光照明手段２１の光源は、光
学レンズ２２と、光路を左右２方向に分配する光路分配
器２３と、及び反射板２４からによって分岐され、これ
らは定盤４よりも下部の位置に設けられている。

【００２７】撮像手段２８はテープキャリア３とフォト
マスク５のアライメントマーク２７、２６、の画像を読
みとるもので、通常ＣＣＤカメラが用いられる。画像処
理手段２９は撮像手段２８で読みとったアライメントマ
ークのずれ量を判定処理するもので、テープキャリア２
７を基準として、フォトマスク５のアライメントマーク
２６の重ねて合わせて、Ｘ、Ｙ及び角度θのずれ量を算
出する。フォトマスクの位置を補正する制御手段７は画
像処理手段２９にて算出したＸ、Ｙ及び角度θのずれ量
のデータをマスクホルダー６に連結されたステージの制
御装置に送り込み、所定量移動させてテープキャリアに
おけるアライメントマーク２７にフォトマスクにおける
アライメントマーク２６の位置合わせを行うものであ
る。

【００２８】

【実施例】以下、本発明のテープキャリア用露光装置を
用いてテープキャリアを作製する事例について説明す
る。

【００２９】<実施例１>まず、図４（ａ）に示す、両面
銅箔付きの絶縁フィルムを所定幅に断裁した銅貼りフィ
ルムテープ３の両端にスプロケットホール９及びアライ
メントマーク２７と、内部にデバイスホール１４を型抜
き等で打ち抜き形成したテープキャリア３を作製する。
アライメントマーク２７はスプロケットホール９の形成
時に同時に打ち抜きで形成し、アライメントマーク２７
の設置位置は所望パターン範囲外の位置であれば任意位
置に配置できるが、所望パターンサイズを最大限確保す
る点から、好ましくは設置間隔は個片化されるテープキ
ャリア３の左右両端に配置されるスプロケットホール列
に対し少なくとも１個配置されるようにスプロケットホ
ール９間に設けることが望ましい。アライメントマーク
２７の形状は図５（ｂ）にその一例を示すが、円形、十
字形、正方形、長方形等各種形状パターンが適用でき、
要求される精度によって適宜選択される。

【００３０】次に、テープキャリア３の両面に形成した
導体層１５上に厚さ５μmの感光性レジストからなる感
光性レジスト層を形成したテープキャリア３を本発明の
テープキャリア用露光装置にセットし、まず、露光部４
４において、アライメント光照明手段２１よりアライメ
ント光を定盤に設けられた光透過性材料２５が充填され
た開口部２５から、アライメント光照明手段２１によ
り、テープキャリア３におけるアライメントマーク２７
及びフォトマスク５のアライメントマーク２６に照射し
て、このアライメントマークの画像を撮像手段２８のＣ
ＣＤカメラによって撮像する。このＣＣＤカメラで得ら
れる画像を画像処理２９し、この結果を基に、パルスモ
ータ、ボールねじによって、アライメントマーク２７を
基準にしてアライメントマーク２６の位置整合を行う。
位置整合が完了したところで、テープキャリア３とフォ
トマスク５を密着し、１ｋｗ出力の超高圧水銀灯の紫外
線光源より２００ｍＪ／ｃｍ2の露光量でフォトマスク
５を通してテープキャリア３上の感光レジスト層に照射
露光し、このＡ露光部の感光性レジスト層にパターン潜
像を形成する。露光部４４の照射を終了後、反転ミラー
３６動作して露光部４５に照射位置を切替える。

【００３１】次に、露光部４４と同じ手順によって、露
光部４５にも、テープキャリア３上の感光性レジスト層
に照射露光し、この露光部４５の感光性レジスト層にパ
ターン潜像を形成する。定盤４でフォトマスク５上の所
望パターンを露光されたテープキャリア３は、定盤４の
前後にあるテープキャリアモータに連結した搬送部によ
り必要量移動し、回転ロール４２の外周面にテープキャ
リア３を沿わせる面反転機構１２で、感光性レジスト層
が形成された露光面の反転が行われる。この面反転機構
１２の動作を受け、反転ミラー１４が動作して、露光部
４５の紫外線１９の光路から露光部４５の紫外線１９の
光路の位置を元の位置に変更する。

【００３２】ここで、露光部４４と、露光部４５への照
射の作業が完了し、巻き取り部２によって順次に巻き取
る。前記巻き取られたテープキャリア３に形成された感
光性レジスト層の両面に対して現像、エッチング、レジ
スト剥離等の一連のパターニング処理及び、めっき処理
を施してテープキャリア３を得た。尚、このテープキャ
リア３は、テープキャリア３両面の導体層１５を導通ビ
ア孔１６を通じて導通がとられている。

【００３３】

【発明の効果】上記のように、本発明の請求項１に係る
テープキャリア用露光装置では、前記面反転機構が回転
ロールの外周面にテープキャリアを沿わせて面反転する
為に、表裏それぞれのパターンのフォトマスクをテープ
キャリア表裏面への連続した露光処理が可能となる。そ
して、本発明の請求項２に係るテープキャリア用露光装
置では、請求項１記載のアライメント機構は、アライメ
ント照明手段２１を定盤より下部の位置に設けているた
め、撮像手段でのアライメントマーク画像のコントラス
トが向上し、結果的に位置合わせ精度に優れた高精度の
テープキャリアを得ることが可能となり、更に、本発明
の請求項３に係るテープキャリア用露光装置は、紫外線
光源とフォトマスク間に紫外線光反転手段を有し、紫外
線照射位置を任意に変更でき、紫外線光を反転して異な
る方向へ紫外線照射する機能を合わせて有するので、位
置合わせを行う工程とパターン露光を行う工程を並列し
て同時に処理することが可能となり、高い生産性が得ら
れ、さらに、本発明の高精度のテープキャリアを用いる
ことで、半導体チップ等の実装工程及び検査工程で優れ
た位置整合性を確保すると共に、半導体装置の歩留まり
が向上し、テープキャリア分野において、優れた実用上
の効果を発揮する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のテープキャリア用露光装置の一実施例
を示すテープキャリア用露光装置の露光部分の構成概略
図である。

【図２】本発明のテープキャリア用露光装置の一実施例
を示すテープキャリア用露光装置のアライメント部分の
構成概略図である。

【図３】本発明のテープキャリア用露光装置の一実施例
を示すテープキャリア用露光装置のアライメント部分の
構成概略図である。

【図４】本発明のテープキャリア用露光装置を用いて作
製したテープキャリアの一例を示し、（ａ）はテープキ
ャリアの平面図であり、（ｂ）はＡ−Ａ線で切断した側
断面図である。

【図５】アライメントマークの一例を示し（ａ）はフォ
トマスクに設けたアライメントマークの拡大平面図であ
り、（ｂ）はテープキャリアに設けたアライメントマー
クの拡大平面図である。

【図６】従来のテープキャリアの一例を示す側断面図で
ある。

【符号の説明】

１…テープキャリアの巻き出し手段（部） ２…テープキャリアの巻き取り手段（部） ３…テープキャリア（絶縁テープフイルム） ４…定盤 ５…フォトマスク ６…マスクフォルダ ７…フォトマスクの位置を補正する制御手段 ８…銅貼りテープフィルム ９…スプロケットホール １０…テープキャリアの搬送部 １１…テープキャリア搬送手段 １２…テープキャリアの面反転させる搬送手段（面反転
機構） １３…搬送ローラー １４…デバイスホール １５…導体層 １６…導通ビア孔 １７…開口部 １８…アライメントマーク １９…紫外線 ２０…アライメント調整部 ２１…アライメント光照明手段 ２２…光学レンズ ２３…光路分配器 ２４…反射板 ２５…光透過性材料（定盤の開口部） ２６…フォトマスクに形成したアライメントマーク ２７…テープキャリアにおけるアライメントマーク ２８…撮像手段 ２９…画像処理手段 ３０…照射部 ３１…照射手段 ３２…紫外線光源 ３３…コールドミラー ３４…フライアイレンズ ３５…シャッター ３６…反転ミラー（紫外線を反転する反転ミラー） ３７…凹面ミラー（楕円凹面ミラー） ３８…紫外線照射位置 ３９…真空吸着穴 ４０…全体の部を管理手段 ４１…アライメント光照明手段光源 ４２…回転ロール ４３…照射光量制御手段 ４４…Ａ露光部 ４５…Ｂ露光部 ４６…絶縁テープフイルム

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】少なくとも紫外線光源と、フォトマスク
   と、テープキャリアと、定盤と、アライメント機構と、
   定盤の後段に配置した面反転機構を有する露光装置であ
   って、前記面反転機構が回転ロールの外周面にテープキ
   ャリアを沿わせて面反転を行うことを特徴とするテープ
   キャリア用露光装置。
2. 【請求項２】前記アライメント機構がアライメント光照
   明手段と、撮像手段と、画像処理手段と、フォトマスク
   の位置を補正する制御手段と、テープキャリアの巻き出
   し部と巻き取り部とからなるテープキャリア搬送手段を
   備えることを特徴とする請求項１記載のテープキャリア
   用露光装置。
3. 【請求項３】前記紫外線光源とフォトマスク間に紫外線
   光反転手段を有し、紫外線照射位置を任意に変更できる
   ようにしたことを特徴とする請求項１又は２記載のテー
   プキャリア用露光装置。
4. 【請求項４】前記アライメント光照明手段は前記定盤よ
   り下部に設けてあり、前記定盤の開口部より透過照明に
   て前記テープキャリアのアライメントマーク及び前記フ
   ォトマスクのアライメントマークを照射し、前記テープ
   キャリア及び前記フォトマスクのパターン位置合わせを
   行うことを特徴とする請求項２又は３記載のテープキャ
   リア用露光装置。