JP2003043487A - Liquid crystal device and apparatus for manufacturing the same - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve the uniformity of the film thickness of alignment layers to be printed on the surfaces of substrates and to improve the display quality. SOLUTION: The surface of a printing section 90 is provided with a first mesh 91 for uniformly holding a prescribed amount of a polyimide solution per unit area and a trailing edge mesh section 92 (second mesh) along the edge rearward of the printing direction. The holding amount per unit area of the polyimide solution by the trailing edge mesh section 92 is set at the prescribed amount which is smaller than the holding amount per unit area by the first mesh and taking fluid component of the polyimide solution from the first into consideration. The surface of the counter substrate 20 is printed with the alignment layer 22 uniform over the entire part without increasing the film thickness of the alignment layer 22 of the section where the printing ends than the film thickness of other segments.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、フレキソ印刷法に
て配向膜を基板に形成した液晶装置及びその製造装置に
関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal device in which an alignment film is formed on a substrate by a flexographic printing method, and a manufacturing apparatus thereof.

【０００２】[0002]

【従来の技術】液晶ライトバルブ等の液晶装置は、ガラ
ス基板、石英基板等の２枚の基板間に液晶を封入して構
成される。液晶ライトバルブでは、一方の基板に、例え
ば薄膜トランジスタ（Thin Film Transistor、以下、Ｔ
ＦＴと称す）をマトリクス状に配置し、他方の基板に対
向電極を配置して、両基板間に封入した液晶層の光学特
性を画像信号に応じて変化させることで、画像表示を可
能にする。2. Description of the Related Art A liquid crystal device such as a liquid crystal light valve is constructed by enclosing a liquid crystal between two substrates such as a glass substrate and a quartz substrate. In a liquid crystal light valve, for example, a thin film transistor (hereinafter, referred to as T
(Referred to as FT) are arranged in a matrix, opposite electrodes are arranged on the other substrate, and the optical characteristics of the liquid crystal layer enclosed between both substrates are changed according to the image signal, thereby enabling image display. .

【０００３】ＴＦＴを配置したＴＦＴ基板と、ＴＦＴ基
板に対向配置される対向基板とは、別々に製造される。
両基板は、パネル組立工程において高精度に貼り合わさ
れた後、液晶が封入される。The TFT substrate on which the TFTs are arranged and the counter substrate opposed to the TFT substrate are manufactured separately.
After both substrates are bonded with high precision in the panel assembly process, liquid crystal is sealed.

【０００４】パネル組立工程においては、先ず、各基板
工程において夫々製造されたＴＦＴ基板と対向基板との
対向面、即ち、少なくとも対向基板及びＴＦＴ基板の液
晶層と接する面上に配向膜が形成され、次いでラビング
処理が行われる。次に、一方の基板上の端辺に接着剤で
ありかつ液晶を封止するシール部が形成される。ＴＦＴ
基板と対向基板とをシール部を用いて貼り合わせ、アラ
イメントを施しながら圧着硬化させることで両基板間に
液晶セル容器が形成される。シール部の一部には切り欠
きが設けられており、この切り欠きを介して液晶セル容
器内に液晶が封入される。In the panel assembling process, first, an alignment film is formed on the facing surfaces of the TFT substrate and the counter substrate manufactured in each substrate process, that is, on at least the surfaces of the counter substrate and the liquid crystal layer of the TFT substrate in contact with each other. Then, a rubbing process is performed. Next, a seal portion, which is an adhesive and seals the liquid crystal, is formed on the edge of one of the substrates. TFT
The liquid crystal cell container is formed between the substrates by bonding the substrate and the counter substrate together by using the seal portion and pressure-bonding and curing while performing alignment. A notch is provided in a part of the seal portion, and the liquid crystal is sealed in the liquid crystal cell container through the notch.

【０００５】配向膜は、例えばポリイミド溶液等の配向
膜溶液を約数十ナノメーターの厚さで基板上に塗布する
ことにより形成される。配向膜の形成方法としては、フ
レキソ印刷法によって、配向膜溶液を基板上に印刷する
方法が広く採用されている。この種の配向膜形成に用い
られるフレキソ印刷機の版胴上には配向膜溶液転写版が
設けられ、配向膜溶液転写版は、基板の移動に連動して
回転しながら、印刷部に保持した配向膜溶液を基板に印
刷し、配向膜を形成する。この場合、印刷部の表面に
は、一般に、微細な凸部と凹部とを有する複数のセルが
均一な網の目状に配列されてなるいわゆるメッシュが形
成されており、各セルの凹部が夫々所定量の配向膜溶液
を保持することによって、印刷部は、表面全体に均一な
量の配向膜溶液を保持するようになっている。The orientation film is formed by applying an orientation film solution such as a polyimide solution to a thickness of about several tens of nanometers on a substrate. As a method for forming an alignment film, a method of printing an alignment film solution on a substrate by a flexographic printing method is widely adopted. An alignment film solution transfer plate was provided on the plate cylinder of a flexographic printing machine used for forming this type of alignment film, and the alignment film solution transfer plate was held in the printing unit while rotating in association with the movement of the substrate. The alignment film solution is printed on the substrate to form an alignment film. In this case, on the surface of the printing portion, generally, a so-called mesh is formed in which a plurality of cells having fine convex portions and concave portions are arranged in a uniform mesh shape, and the concave portions of each cell are respectively formed. By holding a predetermined amount of the alignment film solution, the printing unit holds a uniform amount of the alignment film solution on the entire surface.

【０００６】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、印刷部
に保持した配向膜溶液を基板上に印刷する際には、印刷
部は基板に圧接された状態で基板上を回転するため、例
えば、上記印刷部の回転に伴って配向膜溶液の一部が所
定の位置から流動する等して、配向膜の縁辺部に膜厚の
ムラが発生する場合がある。However, when the alignment film solution held in the printing section is printed on the substrate, the printing section rotates on the substrate while being pressed against the substrate. As the part rotates, a part of the alignment film solution may flow from a predetermined position, resulting in uneven film thickness at the edge of the alignment film.

【０００７】特に、このような配向膜の膜厚のムラは、
配向膜の印刷終了部に多く発生する。すなわち、配向膜
の印刷時において、例えば、印刷部に均一に保持された
配向膜溶液の一部が、上記印刷部の回転に伴って印刷部
の後方に流動されることにより、配向膜溶液が印刷終了
部に集中し、この部分の配向膜の膜厚が他の部分の膜厚
よりも厚くなる場合がある。また、例えば、印刷部の後
方に流動された多量の配向膜溶液が基板上に完全に印刷
されずに残留した場合には、この残留配向膜溶液が印刷
部上で固化され、次の配向膜印刷を行う際に、基板上に
固形のまま印刷され、印刷終了部の配向膜の膜厚が他の
部分の膜厚よりも極端に厚くなる場合がある。In particular, such unevenness of the film thickness of the alignment film is
It often occurs at the end of printing of the alignment film. That is, at the time of printing the alignment film, for example, a part of the alignment film solution that is uniformly held in the printing unit is flowed behind the printing unit as the printing unit rotates, so that the alignment film solution is formed. There is a case where the film thickness of the alignment film in this portion becomes thicker than the film thickness of the other portions because the film is concentrated in the printing end portion. Further, for example, when a large amount of the alignment film solution that has flowed behind the printing unit remains on the substrate without being completely printed, the residual alignment film solution is solidified on the printing unit and the next alignment film solution is formed. When printing is performed, the printing may be performed on the substrate in a solid state, and the film thickness of the alignment film at the printing end portion may be extremely thicker than the film thickness of other portions.

【０００８】その他、配向膜溶液の粘度等の条件によっ
ては、例えば、上記回転に伴う印刷部上での配向膜溶液
の流動により、印刷開始部の配向膜の膜厚が他の部分の
膜厚よりも薄くなったり、印刷方向側部の配向膜の膜厚
が他の部分の膜厚よりも厚くなる場合がある。In addition, depending on the conditions such as the viscosity of the alignment film solution, for example, the alignment film solution at the printing start portion may have a different film thickness due to the flow of the alignment film solution on the printing portion due to the above rotation. In some cases, the thickness of the alignment film on the side in the printing direction becomes thinner than that of the other part.

【０００９】そして、このような配向膜の縁辺部におけ
る膜厚のムラは、液晶装置の表示品質を低下させる虞が
ある。例えば、ＴＦＴ基板と対向基板との間のギャップ
を調整するためのスペーサーが内部に設けられたシール
部を配向膜上に形成し、このシール部を介してＴＦＴ基
板と対向基板とを貼り合わせた構成の液晶装置において
は、配向膜の膜厚のムラに起因して両基板間にギャップ
ムラが発生し液晶装置の表示品質を低下させる虞があ
る。The unevenness of the film thickness at the edge of the alignment film may deteriorate the display quality of the liquid crystal device. For example, a seal portion provided with a spacer for adjusting a gap between the TFT substrate and the counter substrate is formed on the alignment film, and the TFT substrate and the counter substrate are bonded to each other via the seal portion. In the liquid crystal device having the configuration, unevenness in the thickness of the alignment film may cause unevenness in the gap between the substrates, which may deteriorate the display quality of the liquid crystal device.

【００１０】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであって、基板上に印刷される配向膜の膜厚の均一性
を向上し、表示品質を向上することのできる液晶装置及
びその製造装置を提供することを目的とする。The present invention has been made in view of the above problems, and a liquid crystal device capable of improving the uniformity of the film thickness of an alignment film printed on a substrate and improving the display quality, and its manufacture. The purpose is to provide a device.

【００１１】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明に係る液晶装置の
製造装置は、液晶基板上に形成する配向膜に対応する印
刷部の表面にメッシュを有し、上記メッシュに保持した
配向膜溶液を上記液晶基板上に印刷する液晶装置の製造
装置において、単位面積あたり所定量の配向膜溶液を保
持する第１のメッシュと、上記印刷部の縁辺部の少なく
とも１辺に沿って設けられ、単位面積あたりの配向膜溶
液の保持量が上記第１のメッシュと異なる量に設定され
た第２のメッシュと、を具備して上記メッシュを構成し
たことを特徴とする。A liquid crystal device manufacturing apparatus according to the present invention has a mesh on a surface of a printing portion corresponding to an alignment film formed on a liquid crystal substrate, and an alignment film solution held on the mesh is used. In a manufacturing apparatus of a liquid crystal device for printing on the liquid crystal substrate, a first mesh that holds a predetermined amount of an alignment film solution per unit area and at least one side of an edge of the printing unit are provided, And a second mesh whose holding amount of the alignment film solution is set to a different amount from the first mesh.

【００１２】このような構成によれば、印刷部は、第１
のメッシュによって単位面積あたり所定量の配向膜溶液
を保持するとともに、第２のメッシュによって単位面積
あたりの配向膜溶液の保持量が第１のメッシュと異なる
量の配向膜溶液を保持し、これら保持した配向膜溶液を
液晶基板上に印刷する。このように、単位面積あたりの
配向膜溶液の保持量が第１のメッシュと異なる第２のメ
ッシュを印刷部の縁辺部の少なくとも１辺に沿って設け
ることにより、印刷時における印刷部上での配向膜溶液
の流動等が第２のメッシュによって補正され、液晶基板
上に印刷される配向膜の膜厚の均一性を向上することが
でき、液晶装置の表示品質を向上することができる。According to such a configuration, the printing unit has the first
The mesh holds a predetermined amount of the alignment film solution per unit area, and the second mesh holds an amount of the alignment film solution per unit area different from that of the first mesh. The prepared alignment film solution is printed on the liquid crystal substrate. In this way, by providing the second mesh having a different amount of the orientation film solution per unit area, which is different from the first mesh, along at least one of the edges of the printing unit, it is possible to print on the printing unit at the time of printing. The flow of the alignment film solution is corrected by the second mesh, the uniformity of the thickness of the alignment film printed on the liquid crystal substrate can be improved, and the display quality of the liquid crystal device can be improved.

【００１３】また、上記第２のメッシュは、上記印刷部
の印刷方向後方の縁辺部に沿う後縁メッシュ部を有し、
当該後縁メッシュ部による単位面積あたりの配向膜溶液
の保持量は上記第１のメッシュよりも少ないことを特徴
とする。Further, the second mesh has a trailing edge mesh portion along an edge portion behind the printing portion in the printing direction,
The amount of the alignment film solution retained per unit area by the trailing edge mesh portion is smaller than that of the first mesh.

【００１４】このような構成によれば、印刷部は、第２
のメッシュの後縁メッシュ部によって単位面積あたりの
配向膜溶液の保持量が第１のメッシュよりも少ない量の
配向膜溶液を保持して液晶基板上に印刷する。これによ
り、配向膜の印刷方向後方の縁辺部における配向膜の膜
厚が他の部分の膜厚よりも厚くなくことが抑制され、液
晶基板上に印刷される配向膜の膜厚の均一性を向上する
ことができ、液晶装置の表示品質を向上することができ
る。According to such a configuration, the printing section has the second
With the trailing edge mesh portion of the mesh No. 3, the amount of the alignment film solution held per unit area is smaller than that of the first mesh, and the alignment film solution is held and printed on the liquid crystal substrate. As a result, the film thickness of the alignment film at the rear edge portion in the printing direction of the alignment film is prevented from being thicker than the film thickness of other portions, and the uniformity of the film thickness of the alignment film printed on the liquid crystal substrate is prevented. It is possible to improve the display quality of the liquid crystal device.

【００１５】また、上記第２のメッシュは、上記印刷部
の印刷方向前方の縁辺部に沿う前縁メッシュ部を有し、
当該前縁メッシュ部による単位面積あたりの配向膜溶液
の保持量は上記第１のメッシュよりも多いことを特徴と
する。Further, the second mesh has a front edge mesh portion along an edge portion in front of the printing portion in the printing direction,
The amount of the orientation film solution retained per unit area by the leading edge mesh portion is larger than that of the first mesh.

【００１６】このような構成によれば、印刷部は、第２
のメッシュの前縁メッシュ部によって単位面積あたりの
配向膜溶液の保持量が第１のメッシュよりも多い量の配
向膜溶液を保持して液晶基板上に印刷する。これによ
り、配向膜の印刷方向前方の縁辺部における配向膜の膜
厚が他の部分の膜厚よりも薄くなることが抑制され、液
晶基板上に印刷される配向膜の膜厚の均一性を向上する
ことができ、液晶装置の表示品質を向上することができ
る。According to such a configuration, the printing section has the second
By the front edge mesh portion of the mesh No. 3, the amount of the alignment film solution held per unit area is larger than that of the first mesh and the alignment film solution is held and printed on the liquid crystal substrate. As a result, it is possible to prevent the thickness of the alignment film at the front edge of the alignment film in the printing direction from being thinner than the thickness of other portions, and to make the thickness of the alignment film printed on the liquid crystal substrate uniform. It is possible to improve the display quality of the liquid crystal device.

【００１７】また、上記第２のメッシュは、上記印刷部
の印刷方向側方の縁辺部に沿う側縁メッシュ部を有し、
当該側縁メッシュ部による単位面積あたりの配向膜溶液
の保持量は上記第１のメッシュよりも少ないことを特徴
とする。Further, the second mesh has a side edge mesh portion along an edge portion on the side in the printing direction of the printing portion,
The holding amount of the alignment film solution per unit area by the side edge mesh portion is smaller than that of the first mesh.

【００１８】このような構成によれば、印刷部は、第２
のメッシュの側縁メッシュ部によって単位面積あたりの
配向膜溶液の保持量が第１のメッシュよりも少ない量の
配向膜溶液を保持して液晶基板上に印刷する。これによ
り、配向膜の印刷方向側方の縁辺部における配向膜の膜
厚が他の部分の膜厚よりも厚くなることが抑制され、液
晶基板上に印刷される配向膜の膜厚の均一性を向上する
ことができ、液晶装置の表示品質を向上することができ
る。According to such a configuration, the printing section has the second
The side edge mesh portion of the mesh (1) holds the amount of the alignment film solution per unit area, which is smaller than that of the first mesh, and prints on the liquid crystal substrate. As a result, the thickness of the alignment film at the edge portion of the alignment film on the side in the printing direction is prevented from becoming thicker than the film thickness of other portions, and the uniformity of the thickness of the alignment film printed on the liquid crystal substrate is suppressed. The display quality of the liquid crystal device can be improved.

【００１９】また、上記第１のメッシュ及び上記第２の
メッシュは、凸部と凹部とを有する複数のセルが配列さ
れて構成され、上記第１のメッシュ及び上記第２のメッ
シュによる単位面積あたりの配向膜溶液の保持量は、上
記凸部の断面積と上記セルの断面積とで規定される上記
セルの開口率によって設定されることを特徴とする。Further, the first mesh and the second mesh are configured by arranging a plurality of cells having a convex portion and a concave portion, and the unit area of the first mesh and the second mesh is The retention amount of the alignment film solution is set by the aperture ratio of the cell defined by the sectional area of the convex portion and the sectional area of the cell.

【００２０】このような構成によれば、第１，第２のメ
ッシュにおける各セルの開口率を夫々異なる開口率に設
定することによって、第１，第２のメッシュによる単位
面積あたりの配向膜溶液の保持量を夫々異なる量に設定
することができる。According to this structure, the aperture ratios of the cells in the first and second meshes are set to different aperture ratios, so that the alignment film solution per unit area of the first and second meshes is set. Can be set to different amounts.

【００２１】また、上記第１のメッシュ及び上記第２の
メッシュは、凸部と凹部とを有する複数のセルが配列さ
れて構成され、上記第１のメッシュ及び上記第２のメッ
シュによる単位面積あたりの配向膜溶液の保持量は、上
記凹部の深さによって設定されることを特徴とする。The first mesh and the second mesh are formed by arranging a plurality of cells each having a convex portion and a concave portion, and the unit area of the first mesh and the second mesh is The holding amount of the alignment film solution is set by the depth of the recess.

【００２２】このような構成によれば、第１，第２のメ
ッシュにおける各凹部の深さを夫々異なる深さに設定す
ることによって、第１，第２のメッシュによる単位面積
あたりの配向膜溶液の保持量を夫々異なる量に設定する
ことができる。According to this structure, the depths of the respective recesses in the first and second meshes are set to different depths, so that the alignment film solution per unit area of the first and second meshes is set. Can be set to different amounts.

【００２３】また、上記印刷部は、配向膜転写版に複数
配列されたことを特徴とする。Further, a plurality of the printing sections are arranged on the alignment film transfer plate.

【００２４】このような構成によれば、複数の液晶基板
に対し、配向膜を同時に印刷することができる。According to this structure, the alignment film can be printed simultaneously on a plurality of liquid crystal substrates.

【００２５】本発明に係る液晶装置は、液晶を挟持する
２枚の液晶基板を具備した液晶装置において、請求項１
乃至請求項７のいずれか１つに記載の液晶装置の製造装
置によって、上記２枚の液晶基板の少なくとも一方の液
晶基板上に配向膜が印刷されて製造されたことを特徴と
する。A liquid crystal device according to the present invention is a liquid crystal device comprising two liquid crystal substrates sandwiching a liquid crystal, wherein
The liquid crystal device manufacturing apparatus according to any one of claims 7 to 9 is characterized in that an alignment film is printed on at least one of the two liquid crystal substrates to manufacture the liquid crystal device.

【００２６】このような構成によれば、２枚の液晶基板
の少なくとも一方の液晶基板上に印刷される配向膜の膜
厚の均一性を向上することができ、液晶装置の表示品質
を向上することができる。With such a structure, the uniformity of the film thickness of the alignment film printed on at least one of the two liquid crystal substrates can be improved, and the display quality of the liquid crystal device can be improved. be able to.

【００２７】本発明に係る液晶装置の製造装置は、液晶
基板上に配向膜を転写する転写版を有する液晶装置の製
造装置において、上記転写版は、単位面積あたり所定量
の配向膜溶液を保持する第１の転写部と、上記転写版の
縁辺部の少なくとも１辺に沿って設けられ、単位面積あ
たりの配向膜溶液の保持量が上記第１の転写部と異なる
量に設定された第２の転写部と、を備えることを特徴と
する。A liquid crystal device manufacturing apparatus according to the present invention is a liquid crystal device manufacturing apparatus having a transfer plate for transferring an alignment film onto a liquid crystal substrate, wherein the transfer plate holds a predetermined amount of alignment film solution per unit area. And a second transfer portion which is provided along at least one side of the edge portion of the transfer plate, and the holding amount of the alignment film solution per unit area is different from that of the first transfer portion. And a transfer section of.

【００２８】このような構成によれば、転写版は、第１
の転写部によって単位面積あたり所定量の配向膜溶液を
保持するとともに、第２の転写部によって単位面積あた
りの配向膜溶液の保持量が第１の転写部と異なる量の配
向膜溶液を保持し、これら保持した配向膜溶液を液晶基
板上に転写する。このように、単位面積あたりの配向膜
溶液の保持量が第１の転写部と異なる第２の転写部を転
写版の縁辺部の少なくとも１辺に沿って設けることによ
り、転写時における転写版上での配向膜溶液の流動等が
第２の転写部によって補正され、液晶基板上に転写され
る配向膜の膜厚の均一性を向上することができ、液晶装
置の表示品質を向上することができる。According to this structure, the transfer plate is the first
The transfer part holds a predetermined amount of the alignment film solution per unit area, and the second transfer part holds the alignment film solution in a different amount from the first transfer part. Then, the held alignment film solution is transferred onto the liquid crystal substrate. In this way, by providing the second transfer portion, which has a different amount of the alignment film solution held per unit area from the first transfer portion, along at least one of the edge portions of the transfer plate, the transfer plate on the transfer plate is transferred. Since the flow of the alignment film solution at the second transfer portion is corrected by the second transfer portion, the uniformity of the thickness of the alignment film transferred onto the liquid crystal substrate can be improved, and the display quality of the liquid crystal device can be improved. it can.

【００２９】本発明に係る液晶装置の製造装置は、液晶
基板上に配向膜を印刷する印刷版を有する液晶装置の製
造装置において、上記印刷版は、単位面積あたり所定量
の配向膜溶液を保持する第１の印刷部と、上記印刷版の
縁辺部の少なくとも１辺に沿って設けられ、単位面積あ
たりの配向膜溶液の保持量が上記第１の印刷部と異なる
量に設定された第２の印刷部と、を備えることを特徴と
する。A liquid crystal device manufacturing apparatus according to the present invention is a liquid crystal device manufacturing apparatus having a printing plate for printing an alignment film on a liquid crystal substrate, wherein the printing plate holds a predetermined amount of alignment film solution per unit area. And a second printing portion which is provided along at least one side of the edge portion of the printing plate, and the holding amount of the alignment film solution per unit area is different from that of the first printing portion. And a printing unit of.

【００３０】このような構成によれば、印刷版は、第１
の印刷部によって単位面積あたり所定量の配向膜溶液を
保持するとともに、第２の印刷部によって単位面積あた
りの配向膜溶液の保持量が第１の印刷部と異なる量の配
向膜溶液を保持し、これら保持した配向膜溶液を液晶基
板上に印刷する。このように、単位面積あたりの配向膜
溶液の保持量が第１の印刷部と異なる第２の印刷部を印
刷版の縁辺部の少なくとも１辺に沿って設けることによ
り、印刷時における印刷版上での配向膜溶液の流動等が
第２の印刷部によって補正され、液晶基板上に印刷され
る配向膜の膜厚の均一性を向上することができ、液晶装
置の表示品質を向上することができる。According to such a configuration, the printing plate is the first
The printing unit holds a predetermined amount of alignment film solution per unit area, and the second printing unit holds a different amount of alignment film solution per unit area from that of the first printing unit. Then, the held alignment film solution is printed on the liquid crystal substrate. In this way, by providing the second printing portion having a different amount of the orientation film solution retained per unit area from the first printing portion along at least one side of the edge portion of the printing plate, the printing plate on the printing plate can be printed. The second printing unit corrects the flow of the alignment film solution in the liquid crystal display device, improves the uniformity of the film thickness of the alignment film printed on the liquid crystal substrate, and improves the display quality of the liquid crystal device. it can.

【００３１】[0031]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を説明する。図１は本発明の第１の実施の形態
に係る印刷部の要部を拡大して示す展開図であって図８
のＩ部拡大図、図２は液晶装置の画素領域を構成する複
数の画素における各種素子、配線等の等価回路図であ
る。図３はＴＦＴ基板等の素子基板をその上に形成され
た各構成要素と共に対向基板側から見た平面図であり、
図４は素子基板と対向基板とを貼り合わせて液晶を封入
する組立工程終了後の液晶装置を、図３のＨ−Ｈ’線の
位置で切断して示す断面図である。また、図５は液晶装
置を詳細に示す断面図である。図６は液晶セルの製造工
程を示すフローチャートである。図７はフレキソ印刷機
の概略構成図、図８は配向膜溶液転写版の展開図、図９
は図１のＪ−Ｊ’線の位置で切断して示す断面図、図１
０はセルの開口率と配向膜の膜厚との関係を示す図表、
図１１は配向膜溶液の印刷時の様子を時系列的に示す説
明図、である。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is an expanded view showing an enlarged main part of a printing unit according to the first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an enlarged view of part I of FIG. 2, and FIG. 2 is an equivalent circuit diagram of various elements, wirings, and the like in a plurality of pixels forming a pixel region of the liquid crystal device. FIG. 3 is a plan view of an element substrate, such as a TFT substrate, viewed from the counter substrate side together with the respective constituent elements formed thereon,
FIG. 4 is a cross-sectional view showing the liquid crystal device after the assembly process in which the element substrate and the counter substrate are bonded to each other and the liquid crystal is sealed, taken along the line HH 'in FIG. FIG. 5 is a sectional view showing the liquid crystal device in detail. FIG. 6 is a flowchart showing the manufacturing process of the liquid crystal cell. FIG. 7 is a schematic configuration diagram of a flexographic printing machine, FIG. 8 is a development view of an alignment film solution transfer plate, and FIG.
1 is a cross-sectional view taken along the line JJ ′ in FIG.
0 is a chart showing the relationship between the aperture ratio of the cell and the film thickness of the alignment film,
FIG. 11 is an explanatory diagram showing, in a time series, a state at the time of printing the alignment film solution.

【００３２】本実施の形態は、フレキソ印刷法による基
板への配向膜の塗布工程において、印刷終了部の配向膜
の膜厚が他の部分の膜厚よりも厚くなるのを防止するた
めのものである。This embodiment is intended to prevent the thickness of the alignment film at the end of printing from becoming thicker than the thickness of other parts in the step of applying the alignment film to the substrate by the flexographic printing method. Is.

【００３３】先ず、図２乃至図５を参照して、液晶パネ
ルの構造について説明する。First, the structure of the liquid crystal panel will be described with reference to FIGS.

【００３４】液晶パネルは、図３及び図４に示すよう
に、ＴＦＴ基板等の素子基板１０と対向基板２０との間
に液晶５０を封入して構成される。素子基板１０上には
画素を構成する画素電極等がマトリクス状に配置され
る。図２は画素を構成する素子基板１０上の素子の等価
回路を示している。As shown in FIGS. 3 and 4, the liquid crystal panel is constructed by enclosing the liquid crystal 50 between the element substrate 10 such as a TFT substrate and the counter substrate 20. Pixel electrodes that form pixels are arranged in a matrix on the element substrate 10. FIG. 2 shows an equivalent circuit of the elements on the element substrate 10 which form the pixels.

【００３５】図２に示すように、画素領域においては、
複数本の走査線３ａと複数本のデータ線６ａとが交差す
るように配線され、走査線３ａとデータ線６ａとで区画
された領域に画素電極９ａがマトリクス状に配置され
る。そして、走査線３ａとデータ線６ａの各交差部分に
対応してＴＦＴ３０が設けられ、このＴＦＴ３０に画素
電極９ａが接続される。As shown in FIG. 2, in the pixel area,
The plurality of scanning lines 3a and the plurality of data lines 6a are arranged so as to intersect with each other, and the pixel electrodes 9a are arranged in a matrix in a region partitioned by the scanning lines 3a and the data lines 6a. A TFT 30 is provided corresponding to each intersection of the scanning line 3a and the data line 6a, and the pixel electrode 9a is connected to this TFT 30.

【００３６】ＴＦＴ３０は走査線３ａのＯＮ信号によっ
てオンとなり、これにより、データ線６ａに供給された
画像信号が画素電極９ａに供給される。この画素電極９
ａと対向基板２０に設けられた対向電極２１との間の電
圧が液晶５０に印加される。また、画素電極９ａと並列
に蓄積容量７０が設けられており、蓄積容量７０によっ
て、画素電極９ａの電圧はソース電圧が印加された時間
よりも例えば３桁も長い時間の保持が可能となる。蓄積
容量７０によって、電圧保持特性が改善され、コントラ
スト比の高い画像表示が可能となる。The TFT 30 is turned on by the ON signal of the scanning line 3a, whereby the image signal supplied to the data line 6a is supplied to the pixel electrode 9a. This pixel electrode 9
A voltage between a and the counter electrode 21 provided on the counter substrate 20 is applied to the liquid crystal 50. Further, a storage capacitor 70 is provided in parallel with the pixel electrode 9a, and the storage capacitor 70 enables the voltage of the pixel electrode 9a to be retained for a time that is, for example, three digits longer than the time when the source voltage is applied. The storage capacitor 70 improves the voltage holding characteristic and enables image display with a high contrast ratio.

【００３７】図５は、一つの画素に着目した液晶パネル
の模式的断面図である。FIG. 5 is a schematic sectional view of a liquid crystal panel focusing on one pixel.

【００３８】ガラスや石英等の素子基板１０には、ＬＤ
Ｄ構造をなすＴＦＴ３０が設けられている。ＴＦＴ３０
は、チャネル領域１ａ、ソース領域１ｄ、ドレイン領域
１ｅが形成された半導体層に絶縁膜２を介してゲート電
極をなす走査線３ａが設けられてなる。ＴＦＴ３０上に
は第１層間絶縁膜４を介してデータ線６ａが積層され、
データ線６ａはコンタクトホール５を介してソース領域
１ｄに電気的に接続される。データ線６ａ上には第２層
間絶縁膜７を介して画素電極９ａが積層され、画素電極
９ａはコンタクトホール８を介してドレイン領域１ｅに
電気的に接続される。The element substrate 10 made of glass or quartz is provided with an LD.
A TFT 30 having a D structure is provided. TFT30
Is provided with a scanning line 3a forming a gate electrode via an insulating film 2 in a semiconductor layer in which a channel region 1a, a source region 1d and a drain region 1e are formed. A data line 6a is laminated on the TFT 30 via the first interlayer insulating film 4,
The data line 6a is electrically connected to the source region 1d through the contact hole 5. A pixel electrode 9a is stacked on the data line 6a via a second interlayer insulating film 7, and the pixel electrode 9a is electrically connected to the drain region 1e via a contact hole 8.

【００３９】走査線３ａ（ゲート電極）にＯＮ信号が供
給されることで、チャネル領域１ａが導通状態となり、
ソース領域１ｄとドレイン領域１ｅとが接続されて、デ
ータ線６ａに供給された画像信号が画素電極９ａに与え
られる。By supplying an ON signal to the scanning line 3a (gate electrode), the channel region 1a becomes conductive,
The source region 1d and the drain region 1e are connected to each other, and the image signal supplied to the data line 6a is applied to the pixel electrode 9a.

【００４０】また、半導体層にはドレイン領域１ｅから
延びる蓄積容量電極１ｆが形成されている。蓄積容量電
極１ｆは、誘電体膜である絶縁膜２を介して容量線３ｂ
が対向配置され、これにより蓄積容量７０を構成してい
る。画素電極９ａ上にはポリイミド系の高分子樹脂から
なる配向膜１６が積層され、所定方向にラビング処理さ
れている。A storage capacitor electrode 1f extending from the drain region 1e is formed in the semiconductor layer. The storage capacitance electrode 1f is connected to the capacitance line 3b via the insulating film 2 which is a dielectric film.
Are arranged so as to face each other, and thereby a storage capacitor 70 is formed. An alignment film 16 made of a polyimide-based polymer resin is laminated on the pixel electrode 9a, and is rubbed in a predetermined direction.

【００４１】一方、対向基板２０には、ＴＦＴアレイ基
板のデータ線６ａ、走査線３ａ及びＴＦＴ３０の形成領
域に対向する領域、即ち各画素の非表示領域において第
１遮光膜２３が設けられている。この第１遮光膜２３に
よって、対向基板２０側からの入射光がＴＦＴ３０のチ
ャネル領域１ａ、ソース領域１ｄ及びドレイン領域１ｅ
に入射することが防止される。第１遮光膜２３上に、対
向電極（共通電極）２１が基板２０全面に亘って形成さ
れている。対向電極２１上にポリイミド系の高分子樹脂
からなる配向膜２２が積層され、所定方向にラビング処
理されている。On the other hand, the counter substrate 20 is provided with the first light-shielding film 23 in a region facing the data line 6a, the scanning line 3a and the TFT 30 forming region of the TFT array substrate, that is, in the non-display region of each pixel. . Due to the first light-shielding film 23, incident light from the counter substrate 20 side allows the channel region 1a, the source region 1d and the drain region 1e of the TFT 30 to be incident.
Is prevented from entering. A counter electrode (common electrode) 21 is formed on the first light-shielding film 23 over the entire surface of the substrate 20. An alignment film 22 made of a polyimide-based polymer resin is laminated on the counter electrode 21 and rubbed in a predetermined direction.

【００４２】そして、素子基板１０と対向基板２０との
間に液晶５０が封入されている。これにより、ＴＦＴ３
０は所定のタイミングでデータ線６ａから供給される画
像信号を画素電極９ａに書き込む。書き込まれた画素電
極９ａと対向電極２１との電位差に応じて液晶５０の分
子集合の配向や秩序が変化して、光を変調し、階調表示
を可能にする。Liquid crystal 50 is sealed between the element substrate 10 and the counter substrate 20. As a result, the TFT3
0 writes the image signal supplied from the data line 6a to the pixel electrode 9a at a predetermined timing. Depending on the written potential difference between the pixel electrode 9a and the counter electrode 21, the orientation or order of the molecular assembly of the liquid crystal 50 is changed to modulate light and enable gradation display.

【００４３】図３及び図４に示すように、対向基板２０
には表示領域を区画する額縁としての第２遮光膜４２が
設けられている。第２遮光膜４２は例えば第１遮光膜２
３と同一又は異なる遮光性材料によって形成されてい
る。As shown in FIGS. 3 and 4, the counter substrate 20
A second light-shielding film 42 is provided as a frame for partitioning the display area. The second light shielding film 42 is, for example, the first light shielding film 2
It is made of the same or different light-shielding material as 3.

【００４４】第２遮光膜４２の外側の領域に液晶を封入
するシール材４１が、素子基板１０と対向基板２０間に
形成されている。シール材４１は対向基板２０の輪郭形
状に略一致するように配置され、素子基板１０と対向基
板２０を相互に固着する。シール材４１は、素子基板１
０の１辺の一部において欠落しており、貼り合わされた
素子基板１０及び対向基板２０相互の間隙には、液晶５
０を注入するための液晶注入口７８が形成される。液晶
注入口７８より液晶が注入された後、液晶注入口７８を
封止材７９で封止するようになっている。A sealing material 41 for enclosing the liquid crystal in a region outside the second light-shielding film 42 is formed between the element substrate 10 and the counter substrate 20. The sealing material 41 is arranged so as to substantially match the contour shape of the counter substrate 20, and fixes the element substrate 10 and the counter substrate 20 to each other. The sealing material 41 is the element substrate 1
A part of one side of 0 is missing, and the liquid crystal 5 is provided in a gap between the bonded element substrate 10 and counter substrate 20.
A liquid crystal injection port 78 for injecting 0 is formed. After the liquid crystal is injected from the liquid crystal injection port 78, the liquid crystal injection port 78 is sealed with a sealing material 79.

【００４５】素子基板１０のシール材４１の外側の領域
には、データ線駆動回路６１及び実装端子６２が素子基
板１０の一辺に沿って設けられており、この一辺に隣接
する２辺に沿って、走査線駆動回路６３が設けられてい
る。素子基板１０の残る一辺には、画面表示領域の両側
に設けられた走査線駆動回路６３間を接続するための複
数の配線６４が設けられている。また、対向基板２０の
コーナー部の少なくとも１箇所においては、素子基板１
０と対向基板２０との間を電気的に導通させるための導
通材６５が設けられている。A data line driving circuit 61 and a mounting terminal 62 are provided along one side of the element substrate 10 in a region outside the sealing material 41 of the element substrate 10, and along two sides adjacent to the one side. , A scanning line drive circuit 63 is provided. A plurality of wirings 64 for connecting the scanning line drive circuits 63 provided on both sides of the screen display area are provided on the remaining side of the element substrate 10. The element substrate 1 is provided at least at one corner of the counter substrate 20.
A conductive material 65 is provided to electrically connect 0 and the counter substrate 20.

【００４６】次に、図６の液晶セル製造工程について説
明する。ＴＦＴ基板と対向基板とは、別々に製造され
る。ステップＳ１，Ｓ６で夫々用意されたＴＦＴ基板及
び対向基板２０に対して、次のステップＳ２，Ｓ７で
は、後述するフレキソ印刷法によって、配向膜溶液とし
てのポリイミド溶液を塗布した後焼成して配向膜１６，
２２を形成する。次に、ステップＳ３，Ｓ８において、
素子基板１０表面の配向膜１６及び対向基板２０表面の
配向膜２２に対して、ラビング処理を施す。Next, the manufacturing process of the liquid crystal cell of FIG. 6 will be described. The TFT substrate and the counter substrate are manufactured separately. In the next steps S2 and S7, a polyimide solution as an alignment film solution is applied to the TFT substrate and the counter substrate 20 respectively prepared in steps S1 and S6 by a flexographic printing method described later, and then baked to form an alignment film. 16,
22 is formed. Next, in steps S3 and S8,
A rubbing process is performed on the alignment film 16 on the surface of the element substrate 10 and the alignment film 22 on the surface of the counter substrate 20.

【００４７】次に、ステップＳ４，Ｓ９において、洗浄
工程を行う。この洗浄工程は、ラビング処理によって生
じた塵埃を除去するためのものである。Next, in steps S4 and S9, a cleaning process is performed. This cleaning step is for removing dust generated by the rubbing process.

【００４８】洗浄工程が終了すると、ステップＳ５にお
いて、シール材４１、及び導通材６５（図３参照）を形
成する。ここで、本実施の形態において、シール材４１
は、例えば配向膜１６上の縁辺部に沿って形成される。
次に、ステップＳ１０で、素子基板１０と対向基板２０
とを貼り合わせ、ステップＳ１１でアライメントを施し
ながら圧着し、シール材４１を硬化させる。次に、ステ
ップＳ１２おいて、シール材４１の一部に設けた切り欠
きから液晶を封入し、切り欠きを塞いで液晶を封止す
る。最後に、ステップＳ１３において、液晶が封入され
て検査が行われた液晶セルをセル毎に分断して、図２及
び図３に示す液晶パネルを得る。When the cleaning process is completed, the seal material 41 and the conductive material 65 (see FIG. 3) are formed in step S5. Here, in the present embodiment, the sealing material 41
Are formed, for example, along the edge of the alignment film 16.
Next, in step S10, the element substrate 10 and the counter substrate 20
And are adhered to each other, and they are pressure-bonded while performing alignment in step S11 to cure the sealing material 41. Next, in step S12, the liquid crystal is sealed from the notch provided in a part of the sealing material 41, and the notch is closed to seal the liquid crystal. Finally, in step S13, the liquid crystal cells filled with the liquid crystal and inspected are divided into individual cells to obtain the liquid crystal panel shown in FIGS.

【００４９】図６のステップＳ２，Ｓ７におけるＴＦＴ
基板や対向基板へのフレキソ印刷法による配向膜塗布
は、フレキソ印刷機によって行われる。ここで、本実施
の形態では、説明を簡略化するため、一度の処理で単一
の対向基板２０に対する配向膜２２の塗布を行うフレキ
ソ印刷機の一例について説明する。TFT in steps S2 and S7 of FIG.
The application of the alignment film to the substrate or the counter substrate by the flexographic printing method is performed by a flexographic printing machine. Here, in this embodiment, in order to simplify the description, an example of a flexographic printing machine that applies the alignment film 22 to a single counter substrate 20 in one process will be described.

【００５０】図７に示すように、フレキソ印刷機８０
は、アニロックスロール８１と、アニロックスロール８
１の周面上にポリイミド溶液を滴下するディスペンサー
８２と、アニロックスロール８１に滴下されたポリイミ
ド溶液を平滑化するドクターロール８３と、アニロック
スロール８１上で平滑化されたポリイミド溶液を保持し
て対向基板２０上に印刷する配向膜溶液転写版８４と、
周面に配向膜溶液転写版８４を保持して回転する版胴８
５と、対向基板２０を所定に保持した状態で搬送するス
テージ８６と、を具備して構成されている。As shown in FIG. 7, a flexographic printing machine 80
Anilox roll 81 and anilox roll 8
Dispenser 82 for dropping the polyimide solution on the peripheral surface of No. 1, doctor roll 83 for smoothing the polyimide solution dropped on the anilox roll 81, and the counter substrate holding the smoothed polyimide solution on the anilox roll 81 An alignment film solution transfer plate 84 to be printed on 20;
Plate cylinder 8 holding and rotating the alignment film solution transfer plate 84 on its peripheral surface
5 and a stage 86 that conveys the counter substrate 20 while holding it in a predetermined manner.

【００５１】図７，８に示すように、配向膜溶液転写版
８４には、印刷される配向膜に対応した形状の印刷部９
０が突出形成されている。As shown in FIGS. 7 and 8, the alignment film solution transfer plate 84 has a printing portion 9 having a shape corresponding to the alignment film to be printed.
0 is formed so as to project.

【００５２】印刷部９０の表面には、第１のメッシュ９
１と、第１のメッシュ９１の印刷方向後縁辺部に沿って
第１のメッシュ９１に連続する細長の後縁メッシュ部９
２（第２のメッシュ）とが設けられている。On the surface of the printing section 90, the first mesh 9
1 and an elongated trailing edge mesh portion 9 that is continuous with the first mesh 91 along the trailing edge portion in the printing direction of the first mesh 91.
2 (second mesh) are provided.

【００５３】図１，９に示すように、第１のメッシュ９
１は、ポリイミド溶液を夫々保持可能な微細な複数の第
１のセル９３が、均一な網の目状に配列されて構成され
ている。第１のセル９３は、例えば、円柱形状の凸部９
４と、その周囲に形成された凹部９５とを有して構成さ
れている。そして、各第１のセル９３は、アニロックス
ロール８１に当接された際に、各凹部９５に夫々ポリイ
ミド溶液を保持する。これにより、第１のメッシュ９１
は、所望の配向膜の膜厚に対応した、単位面積あたり所
定量のポリイミド溶液を全面に均一に保持するようにな
っている。As shown in FIGS. 1 and 9, the first mesh 9
No. 1 is configured by arranging a plurality of fine first cells 93 each capable of holding a polyimide solution, in a uniform mesh pattern. The first cell 93 has, for example, a cylindrical convex portion 9
4 and a concave portion 95 formed around it. Then, each of the first cells 93 retains the polyimide solution in each of the recesses 95 when brought into contact with the anilox roll 81. Thereby, the first mesh 91
Is designed to uniformly hold a predetermined amount of polyimide solution per unit area on the entire surface, which corresponds to the desired thickness of the alignment film.

【００５４】ここで、配向膜溶液の種類や配向膜転写版
の材質、凹部の深さ等の条件を一定にした場合、フレキ
ソ印刷法によって基板上に塗布する配向膜の膜厚は、例
えば図１０に示すように変化し、メッシュを構成するセ
ルの開口率によって制御可能であることが、本出願人等
による実験等によって確認されている。開口率とは、セ
ルの断面積と、凸部の断面積とによって、 開口率＝（凸部の断面積）／（セルの断面積） から算出されるものである。そこで、本実施の形態にお
いては、配向膜溶液の種類や配向膜転写版の材質、凹部
の深さ等の条件を一定とし、各第１のセル９３の開口率
を図１０の関係に基づいて設定することにより、第１の
メッシュ９１で印刷される配向膜の膜厚を制御する。Here, when the conditions such as the type of the alignment film solution, the material of the alignment film transfer plate, and the depth of the recesses are constant, the film thickness of the alignment film applied on the substrate by the flexographic printing method is, for example, as shown in FIG. It has been confirmed by experiments and the like by the applicant of the present invention that it changes as shown in FIG. The open area ratio is calculated from the open area ratio = (cross sectional area of the convex portion) / (cross sectional area of the cell) by the cross sectional area of the cell and the cross sectional area of the convex portion. Therefore, in the present embodiment, the conditions such as the type of the alignment film solution, the material of the alignment film transfer plate, and the depth of the recesses are made constant, and the aperture ratio of each first cell 93 is based on the relationship of FIG. By setting, the thickness of the alignment film printed by the first mesh 91 is controlled.

【００５５】後縁メッシュ部９２は、夫々が第１のセル
９３よりも少ない量のポリイミド溶液を夫々保持可能な
第２のセル９６が、均一な網の目状に配列されて構成さ
れている。第２のセル９６は、第１のセル９３と等しい
断面積のセルに形成され、例えば、凸部９４よりも大径
の円柱形状をなす凸部９７と、その周囲に形成された凹
部９８とを有して構成されている。そして、各第２のセ
ル９６は、アニロックスロール８１に当接された際に、
各凹部９８に夫々ポリイミド溶液を保持する。これによ
り、後縁メッシュ部９２は、単位面積あたりの保持量が
第１のメッシュ９１よりも少ない所定量のポリイミド溶
液を全面に均一に保持するようになっている。The trailing edge mesh portion 92 is formed by arranging second cells 96 each capable of holding a smaller amount of polyimide solution than the first cells 93 in a uniform mesh pattern. . The second cell 96 is formed in a cell having a cross-sectional area equal to that of the first cell 93, and has, for example, a convex portion 97 having a cylindrical shape with a diameter larger than that of the convex portion 94, and a concave portion 98 formed around the convex portion 97. Is configured. Then, when each second cell 96 is brought into contact with the anilox roll 81,
A polyimide solution is held in each recess 98. As a result, the trailing edge mesh portion 92 uniformly holds a predetermined amount of the polyimide solution, which has a smaller holding amount per unit area than the first mesh 91, on the entire surface.

【００５６】すなわち、第２のセル９６の開口率（１セ
ル当たりの凸部の占有率）を第１のセル９３の開口率
（１セル当たりの凸部の占有率）よりも大きく設定する
ことにより、後縁メッシュ部９２による単位面積あたり
のポリイミド溶液の保持量は、第１のメッシュ９１のも
のよりも少なく設定される。この場合、後縁メッシュ部
９２によるポリイミド溶液の保持量は、第１のメッシュ
９１からのポリイミド溶液の流動分等を考慮して設定さ
れるものであって、印刷終了部の配向膜の膜厚が第１の
メッシュ９１により印刷された部分の膜厚と等しくなる
よう、実験等によって求められるものである。この場
合、第２のセル９６の開口率は、例えば、第１のセル９
３の開口率の１．３倍〜２．０倍に設定される。第２の
セル９６の開口率の設定方法としては、例えば以下の方
法が考えられる。すなわち、先ず、印刷部９０の表面全
てに第１のメッシュ９１を形成した配向膜溶液転写版８
４によって対向基板２０上にポリイミド溶液を印刷し、
配向膜２２の印刷方向後側の縁辺部（印刷終了部）の余
剰な膜厚を計測する。そして、形成しようとしている所
望の膜厚から、計測された余剰な膜厚を差し引いた膜厚
に対応する開口率を図１０の関係から求めることで第２
のセル９６の開口率を設定する。That is, the aperture ratio of the second cell 96 (occupancy ratio of the convex portion per cell) is set to be larger than the aperture ratio of the first cell 93 (occupancy ratio of the convex portion per cell). Thus, the amount of the polyimide solution held per unit area by the trailing edge mesh portion 92 is set to be smaller than that of the first mesh 91. In this case, the amount of the polyimide solution held by the trailing edge mesh portion 92 is set in consideration of the flow amount of the polyimide solution from the first mesh 91 and the like, and the film thickness of the alignment film at the print end portion is set. Is obtained by an experiment or the like so that it becomes equal to the film thickness of the portion printed by the first mesh 91. In this case, the aperture ratio of the second cell 96 is, for example, the first cell 9
The aperture ratio is set to 1.3 to 2.0 times. As a method of setting the aperture ratio of the second cell 96, for example, the following method can be considered. That is, first, the alignment film solution transfer plate 8 in which the first mesh 91 is formed on the entire surface of the printing unit 90.
Print the polyimide solution on the counter substrate 20 by 4,
The surplus film thickness of the edge portion (printing end portion) on the rear side in the printing direction of the alignment film 22 is measured. Then, the aperture ratio corresponding to the film thickness obtained by subtracting the measured surplus film thickness from the desired film thickness to be formed is obtained from the relationship of FIG.
The aperture ratio of the cell 96 is set.

【００５７】次に、このように構成されたフレキソ印刷
機８０の作用について説明する。Next, the operation of the flexographic printing machine 80 constructed as above will be described.

【００５８】図７に示すように、対向基板２０は、位置
決めがなされた状態でステージ８６上に載置されてい
る。ステージ８６は、図示しない搬送機構によって、版
胴８５の下部に向かって（図７において右側に向かっ
て）水平移動される。As shown in FIG. 7, the counter substrate 20 is placed on the stage 86 in a positioned state. The stage 86 is horizontally moved toward the lower part of the plate cylinder 85 (to the right in FIG. 7) by a transport mechanism (not shown).

【００５９】また、アニロックスロール８１は、図７に
おいて時計回り方向に回転されているとともに、ドクタ
ーロール８３は、図７において反時計回りに回転されて
おり、ディスペンサー８２によってアニロックスロール
８１上に滴下されたポリイミド溶液は、ドクターロール
８３よりも下流側で平滑化される。The anilox roll 81 is rotated in the clockwise direction in FIG. 7, and the doctor roll 83 is rotated in the counterclockwise direction in FIG. 7, and is dispensed onto the anilox roll 81 by the dispenser 82. The polyimide solution is smoothed on the downstream side of the doctor roll 83.

【００６０】また、版胴８５は、図７において反時計回
り方向に回転されている。そして、版胴８５の回転によ
って、版胴８５上の配向膜溶液転写版８４に突出形成さ
れた印刷部９０がアニロックスロール８１に当接される
ことにより、アニロックスロール８１と印刷部９０との
間で、ポリイミド溶液の授受が行われる。すなわち、ア
ニロックスロール８１上で平滑化されたポリイミド溶液
が、印刷部９０の表面に形成された第１のメッシュ９１
及び後縁メッシュ部９２の各凹部９５，９８に保持さ
れ、これにより、印刷部９０の第１のメッシュ９１及び
後縁メッシュ部９２は、単位面積あたりの保持量が異な
る所定量のポリイミド溶液を夫々保持する。The plate cylinder 85 is rotated counterclockwise in FIG. Then, by the rotation of the plate cylinder 85, the printing portion 90 protrudingly formed on the alignment film solution transfer plate 84 on the plate cylinder 85 is brought into contact with the anilox roll 81, so that the anilox roll 81 and the printing portion 90 are separated from each other. Then, the transfer of the polyimide solution is performed. That is, the polyimide solution smoothed on the anilox roll 81 is the first mesh 91 formed on the surface of the printing unit 90.
And, the first mesh 91 and the trailing edge mesh section 92 of the printing section 90 are held by the respective concave portions 95 and 98 of the trailing edge mesh section 92, whereby a predetermined amount of polyimide solution having a different holding amount per unit area is applied. Hold each.

【００６１】そして、さらに版胴８５が回転されて印刷
部９０の前側縁辺部が最下点に達すると、印刷部９０
は、対向基板２０に対するポリイミド溶液の印刷を開始
する（図１１（ａ）参照）。その後、図１１（ｂ）〜
（ｄ）に示すように、印刷部９０が対向基板２０に圧接
されることにより、印刷部９０に保持されたポリイミド
溶液は対向基板２０に印刷される。When the plate cylinder 85 is further rotated and the front edge of the printing section 90 reaches the lowest point, the printing section 90 is reached.
Starts printing the polyimide solution on the counter substrate 20 (see FIG. 11A). After that, FIG.
As shown in (d), the printing unit 90 is pressed against the counter substrate 20, so that the polyimide solution held in the printing unit 90 is printed on the counter substrate 20.

【００６２】ここで、上述のようにポリイミド溶液が対
向基板２０上に印刷される過程において、印刷部９０は
対向基板２０に圧接された状態で回転するため、第１の
メッシュ９１の表面に保持されたポリイミド溶液の一部
が後方に流動されるが、印刷部９０における印刷方向後
方の縁辺部に形成された後縁メッシュ部９２は、第１の
メッシュ９１よりも単位面積あたりのポリイミド溶液の
保持量が少なく設定されているため、印刷終了部近傍で
ポリイミド溶液が過剰に印刷されることなく、ポリイミ
ド溶液は対向基板２０上に均一に印刷（塗布）される。Here, in the process of printing the polyimide solution on the counter substrate 20 as described above, since the printing unit 90 rotates while being pressed against the counter substrate 20, it is held on the surface of the first mesh 91. Although a part of the formed polyimide solution is flowed backward, the trailing edge mesh portion 92 formed on the rear edge portion in the printing direction of the printing portion 90 has a polyimide solution per unit area higher than that of the first mesh 91. Since the holding amount is set to be small, the polyimide solution is uniformly printed (applied) on the counter substrate 20 without being excessively printed in the vicinity of the printing end portion.

【００６３】なお、ＴＦＴ基板（素子基板１０）に対し
ても、同様に構成されたフレキソ印刷機によってポリイ
ミド溶液が塗布される。A polyimide solution is applied to the TFT substrate (element substrate 10) by a flexographic printing machine having the same structure.

【００６４】このように本実施の形態においては、印刷
部９０の表面に、単位面積あたり所定量のポリイミド溶
液を均一に保持する第１のメッシュ９１と、印刷方向後
方の縁辺部に沿う後縁メッシュ部９２（第２のメッシ
ュ）とを設け、後縁メッシュ部９２によるポリイミド溶
液の単位面積あたりの保持量を、第１のメッシュによる
単位面積あたりの保持量よりも少ない量であって、第１
のメッシュ９１からのポリイミド溶液の流動分を考慮し
た所定量に設定することにより、印刷終了部の配向膜２
２の膜厚を他の部分の膜厚よりも厚くすることなく、全
体が均一な配向膜２２を対向基板２０上に塗布すること
ができる。具体的には、例えば、印刷部９０上での配向
膜溶液の流動等によって印刷方向後方の縁辺部の配向膜
溶液が過剰となり、印刷終了部における配向膜２２の膜
厚が他の部分の膜厚よりも厚くなることを防止すること
ができる。また、例えば、印刷方向後方の縁辺部に流動
された配向膜溶液が液溜まりとなって印刷部９０に残留
し、この残留配向膜溶液が印刷部９０上で固化されて次
の対向基板に固形のまま印刷される等の不具合を防止す
ることができる。As described above, in the present embodiment, the first mesh 91 that uniformly holds a predetermined amount of polyimide solution per unit area on the surface of the printing section 90 and the trailing edge along the rear edge in the printing direction. A mesh part 92 (second mesh) is provided, and the amount of polyimide solution retained by the trailing edge mesh part 92 per unit area is smaller than the amount retained by the first mesh per unit area, 1
Alignment film 2 at the end of printing is set by setting a predetermined amount in consideration of the flow amount of the polyimide solution from mesh 91 of FIG.
It is possible to apply the alignment film 22 having a uniform overall thickness on the counter substrate 20 without making the film thickness of 2 larger than the film thickness of other portions. Specifically, for example, the flow of the alignment film solution on the printing unit 90 causes an excess of the alignment film solution at the rear edge portion in the printing direction, and the film thickness of the alignment film 22 at the printing end portion is a film at another portion. It can be prevented from becoming thicker than the thickness. In addition, for example, the alignment film solution that has flowed to the rear edge in the printing direction remains in the printing unit 90 as a liquid pool, and this residual alignment film solution is solidified on the printing unit 90 and solidified on the next counter substrate. It is possible to prevent problems such as printing as it is.

【００６５】また、同様な構成のフレキソ印刷機による
処理をＴＦＴ基板に対しても行うことによって、全体が
均一な配向膜１６をＴＦＴ基板上に塗布することができ
る。Further, by performing the processing by the flexographic printing machine having the same structure also on the TFT substrate, it is possible to apply the alignment film 16 which is uniform throughout on the TFT substrate.

【００６６】そして、このようにＴＦＴ基板や対向基板
２０に印刷される配向膜１６，２２の膜厚の均一性を向
上させることにより、液晶装置のギャップムラ等を抑制
して良好な表示品質を得ることがでる。さらに、ギャッ
プムラ等を抑制することにより、液晶装置の歩留まりを
向上することができる。By improving the uniformity of the film thickness of the alignment films 16 and 22 printed on the TFT substrate or the counter substrate 20 in this way, it is possible to suppress gap unevenness of the liquid crystal device and to obtain good display quality. You can get it. Furthermore, the yield of the liquid crystal device can be improved by suppressing gap unevenness and the like.

【００６７】図１２は本発明の第２の実施の形態に係
り、図１２は配向膜溶液転写版の展開図である。なお、
図１２において、図８と同様の構成については同符号を
付して説明を省略する。FIG. 12 relates to the second embodiment of the present invention, and FIG. 12 is a development view of the alignment film solution transfer plate. In addition,
In FIG. 12, the same components as those in FIG. 8 are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.

【００６８】本実施の形態は、フレキソ印刷法による基
板への配向膜の塗布工程において、印刷開始部の配向膜
の膜厚が他の部分の膜厚よりも薄くなるのを防止するた
めのものである。This embodiment is intended to prevent the thickness of the alignment film at the printing start portion from becoming thinner than the thickness of other portions in the process of applying the alignment film to the substrate by the flexographic printing method. Is.

【００６９】図１２に示すように、印刷部９０の表面に
は、第１のメッシュ９１と、印刷方向前方の縁辺部に沿
って第１のメッシュ９１に連続する細長の前縁メッシュ
部１０１（第２のメッシュ）とが設けられている。As shown in FIG. 12, on the surface of the printing section 90, a first mesh 91 and an elongated leading edge mesh section 101 (which is continuous with the first mesh 91 along the front edge in the printing direction) ( Second mesh) is provided.

【００７０】前縁メッシュ部１０１は、図示しないが、
例えば、凸部と凹部とを有する第２のセルが、均一な網
の目状に配列されて要部が構成されている。前縁メッシ
ュ部１０１を構成する第２のセルの開口率は、第１のメ
ッシュ９１を構成する第１のセルの開口率よりも小さく
設定されており、各第２のセルが凹部にポリイミド溶液
を保持することで前縁メッシュ１０１は、単位あたりの
保持量が第１のメッシュよりも多い所定量のポリイミド
溶液を全面に均一に保持するようになっている。この場
合、前縁メッシュ部１０１によるポリイミド溶液の保持
量は、第１のメッシュ９１へのポリイミド溶液の流動分
等を考慮して設定されるものであって、印刷開始部近傍
の配向膜の膜厚が第１のメッシュ９１により印刷された
部分の膜厚と等しくなるよう、実験等によって求められ
るものである。Although the leading edge mesh portion 101 is not shown,
For example, a second cell having a convex portion and a concave portion is arranged in a uniform mesh pattern to form a main portion. The aperture ratio of the second cells forming the leading edge mesh portion 101 is set to be smaller than the aperture ratio of the first cells forming the first mesh 91, and each second cell has a polyimide solution in the concave portion. By holding the above, the leading edge mesh 101 uniformly holds a predetermined amount of the polyimide solution, which has a larger holding amount per unit than the first mesh. In this case, the amount of the polyimide solution held by the leading edge mesh portion 101 is set in consideration of the flow amount of the polyimide solution to the first mesh 91, and the film of the alignment film in the vicinity of the print start portion. It is obtained by an experiment or the like so that the thickness becomes equal to the film thickness of the portion printed by the first mesh 91.

【００７１】このような実施の形態においては、上述の
第１の実施の形態と同様の作用によって、ＴＦＴ基板及
び対向基板２０に対し、印刷開始部の膜厚を他の部分の
膜厚よりも薄くすることなく配向膜１６，２２を塗布す
ることができる。In such an embodiment, by the same operation as that of the above-described first embodiment, the film thickness of the print start portion is set to be larger than that of the other portions with respect to the TFT substrate and the counter substrate 20. The alignment films 16 and 22 can be applied without thinning.

【００７２】なお、本実施の形態の印刷部９０におい
て、第２のメッシュは、前縁メッシュ部１０１に、上述
の第１の実施の形態で示した後縁メッシュ部９２を付加
して構成されたものであってもよい。In the printing section 90 of the present embodiment, the second mesh is constructed by adding the trailing edge mesh section 92 shown in the first embodiment to the leading edge mesh section 101. It may be

【００７３】図１３は本発明の第３の実施の形態に係
り、図１３は配向膜溶液転写版の展開図である。なお、
図１３において、図８と同様の構成については同符号を
付して説明を省略する。FIG. 13 relates to the third embodiment of the present invention, and FIG. 13 is a development view of the alignment film solution transfer plate. In addition,
13, the same components as those in FIG. 8 are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.

【００７４】本実施の形態は、フレキソ印刷法による基
板への配向膜の塗布工程において、印刷方向側部の配向
膜の膜厚が他の部分の膜厚よりも厚くなるのを防止する
ためのものである。In the present embodiment, in the step of applying the alignment film to the substrate by the flexographic printing method, the film thickness of the alignment film on the side in the printing direction is prevented from becoming thicker than the film thickness of other portions. It is a thing.

【００７５】図１３に示すように、印刷部９０の表面に
は、第１のメッシュ９１と、第１のメッシュ９１の印刷
方向両側の縁辺部に沿って第１のメッシュ９１に連続す
る細長の側縁メッシュ部１０５（第２のメッシュ）とが
設けられている。As shown in FIG. 13, on the surface of the printing section 90, a first mesh 91 and an elongated strip continuous with the first mesh 91 along the edges on both sides in the printing direction of the first mesh 91 are formed. The side edge mesh portion 105 (second mesh) is provided.

【００７６】側縁メッシュ部１０５は、図示しないが、
例えば、凸部と凹部とを有する第２のセルが、均一な網
の目状に配列されて要部が構成されている。側縁メッシ
ュ部１０５を構成する第２のセルの開口率は、第１のメ
ッシュ９１を構成する第１のセルの開口率よりも大きく
設定されており、各第２のセルが凹部にポリイミド溶液
を保持することで前縁メッシュ１０５は、単位あたりの
保持量が第１のメッシュよりも少ない所定量のポリイミ
ド溶液を全面に均一に保持するようになっている。この
場合、側縁メッシュ部１０５によるポリイミド溶液の保
持量は、第１のメッシュ９１からのポリイミド溶液の流
動分等を考慮して設定されるものであって、印刷方向側
部の配向膜の膜厚が第１のメッシュ９１により印刷され
た部分の膜厚と等しくなるよう、実験等によって求めら
れるものである。Although the side edge mesh portion 105 is not shown,
For example, a second cell having a convex portion and a concave portion is arranged in a uniform mesh pattern to form a main portion. The aperture ratio of the second cells forming the side edge mesh portion 105 is set to be larger than the aperture ratio of the first cells forming the first mesh 91, and each second cell has a recessed polyimide solution. Thus, the front edge mesh 105 uniformly holds a predetermined amount of polyimide solution whose unit holding amount is smaller than that of the first mesh over the entire surface. In this case, the amount of the polyimide solution held by the side edge mesh portion 105 is set in consideration of the flow amount of the polyimide solution from the first mesh 91 and the like, and is the film of the alignment film on the side in the printing direction. It is obtained by an experiment or the like so that the thickness becomes equal to the film thickness of the portion printed by the first mesh 91.

【００７７】このような実施の形態においては、上述の
第１の実施の形態と同様の作用によって、ＴＦＴ基板及
び対向基板２０に対し、印刷方向両側の膜厚を他の部分
の膜厚よりも厚くすることなく配向膜１６，２２を塗布
することができる。In such an embodiment, the film thickness on both sides in the printing direction with respect to the TFT substrate and the counter substrate 20 is made larger than the film thickness of other portions by the same operation as that of the above-described first embodiment. The alignment films 16 and 22 can be applied without increasing the thickness.

【００７８】なお、本実施の形態の印刷部９０におい
て、第２のメッシュは、側縁メッシュ部１０５に、上述
の第１，第２の実施の形態で示した後縁メッシュ部９２
や前縁メッシュ部１０１を付加して構成されたものであ
ってもよい。In the printing section 90 of the present embodiment, the second mesh is provided on the side edge mesh section 105 and the trailing edge mesh section 92 shown in the above-described first and second embodiments.
Alternatively, it may be configured by adding the front edge mesh portion 101.

【００７９】図１４，１５は本発明の第４の実施の形態
に係り、図１４は印刷部の要部を拡大して示す展開図、
図１５は図１４のＫ−Ｋ’線の位置で切断して示す断面
図である。なお、図１４，１５において、図１，図９と
同様の構成については同符号を付して説明を省略する。FIGS. 14 and 15 relate to the fourth embodiment of the present invention, and FIG. 14 is an expanded view showing an enlarged main part of the printing section.
FIG. 15 is a cross-sectional view taken along the line KK 'of FIG. 14 and 15, the same components as those in FIGS. 1 and 9 are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.

【００８０】本実施の形態は、後縁メッシュ部９２を構
成する第２のセル１１０を、第１のメッシュ９１を構成
する第１のセル９３よりも小型化することで、後縁メッ
シュ部９２によるポリイミド溶液の単位面積あたりの保
持量を少なく設定する点が上述の第１の実施の形態と異
なる。In this embodiment, the second cell 110 forming the trailing edge mesh portion 92 is made smaller than the first cell 93 forming the first mesh 91, so that the trailing edge mesh portion 92 is formed. The difference from the above-described first embodiment is that the holding amount of the polyimide solution per unit area is set to be small.

【００８１】図１４，１５に示すように、後縁メッシュ
部９２は、第１のセル９３よりも少ない量のポリイミド
溶液を夫々保持可能な第２のセル１１０が、均一な網の
目状に配列されて構成されている。第２のセル１１０
は、第１のセル９３よりも小さい断面積のセルに形成さ
れ、例えば、凸部９４と同様の円柱形状をなす凸部１１
１と、その周囲に形成された凹部１１２とを有して構成
されている。これにより、後縁メッシュ部９２は、単位
面積あたりの保持量が第１のメッシュ９１よりも少ない
所定量のポリイミド溶液を全面に均一に保持するように
なっている。As shown in FIGS. 14 and 15, in the trailing edge mesh portion 92, the second cells 110 each capable of holding a smaller amount of the polyimide solution than the first cells 93 have a uniform mesh shape. It is arranged and configured. Second cell 110
Is formed in a cell having a smaller cross-sectional area than the first cell 93, and, for example, the convex portion 11 having a cylindrical shape similar to the convex portion 94.
1 and a recess 112 formed in the periphery thereof. As a result, the trailing edge mesh portion 92 uniformly holds a predetermined amount of the polyimide solution, which has a smaller holding amount per unit area than the first mesh 91, on the entire surface.

【００８２】すなわち、本実施の形態においては、第２
のセル１１０を第１のセル９３よりも小型化することに
より、第２のセル１１０の開口率を第１のセル９３の開
口率よりも大きく設定し、後縁のメッシュ部９２による
単位面積あたりのポリイミド溶液の保持量を第１のメッ
シュ９１のものよりも少なく設定する。That is, in the present embodiment, the second
By making the cell 110 of No. 1 smaller than the first cell 93, the aperture ratio of the second cell 110 is set to be larger than the aperture ratio of the first cell 93. The holding amount of the polyimide solution is set smaller than that of the first mesh 91.

【００８３】このような実施の形態においては、上述の
第１の実施の形態と同様の作用、効果を得ることができ
る。なお、本実施の形態の構成を、上述の第２，第３の
実施の形態で示した前縁メッシュ部１０１や側縁メッシ
ュ部１０５に適用してもよい。この場合、前縁メッシュ
部１０１を構成する第２のセルの断面積は、第１のメッ
シュを構成する第１のセルの断面積よりも大きく設定さ
れる。また、前縁メッシュ部１０１を構成する第２のセ
ルの開口率は、第１のメッシュを構成する第１のセルの
開口率よりも小さく設定される。In such an embodiment, the same operation and effect as those of the above-described first embodiment can be obtained. The configuration of the present embodiment may be applied to the leading edge mesh portion 101 and the side edge mesh portion 105 shown in the above second and third embodiments. In this case, the cross-sectional area of the second cell forming the leading edge mesh portion 101 is set larger than the cross-sectional area of the first cell forming the first mesh. Further, the aperture ratio of the second cells forming the leading edge mesh portion 101 is set smaller than the aperture ratio of the first cells forming the first mesh.

【００８４】図１６，１７は本発明の第５の実施の形態
に係り、図１６は印刷部の要部を拡大して示す展開図、
図１７は図１６のＬ−Ｌ’線の位置で切断して示す断面
図である。なお、図１６，１７において、図１，図９と
同様の構成については同符号を付して説明を省略する。16 and 17 relate to the fifth embodiment of the present invention, and FIG. 16 is an exploded view showing an enlarged main part of the printing section.
FIG. 17 is a cross-sectional view taken along the line LL ′ of FIG. 16 and 17, the same components as those in FIGS. 1 and 9 are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.

【００８５】本実施の形態は、後縁メッシュ部９２を構
成する第２のセル１１５を第１のメッシュ９１を構成す
る第１のセル９３よりも大型化し、更に開口率を大きく
することで、後縁メッシュ部９２によるポリイミド溶液
の単位面積あたりの保持量を少なく設定する点が上述の
第１の実施の形態と異なる。In this embodiment, the second cell 115 forming the trailing edge mesh portion 92 is made larger than the first cell 93 forming the first mesh 91, and the aperture ratio is further increased. This is different from the first embodiment in that the amount of polyimide solution held per unit area by the trailing edge mesh portion 92 is set to be small.

【００８６】図１６，１７に示すように、後縁メッシュ
部９２は、第１のセル９３よりも少ない量のポリイミド
溶液を夫々保持可能な第２のセル１１５が、均一な網の
目状に配列されて構成されている。第２のセル１１５
は、第１のセル９３よりも大きい断面積のセルに形成さ
れ、更に開口率を大きく設定した凸部１１６と、その周
囲に形成された凹部１１７とを有して構成されている。
これにより、後縁メッシュ部９２は、単位面積あたりの
保持量が第１のメッシュ９１よりも少ない所定量のポリ
イミド溶液を全面に均一に保持するようになっている。As shown in FIGS. 16 and 17, in the trailing edge mesh portion 92, the second cells 115 each capable of holding a smaller amount of the polyimide solution than the first cells 93 have a uniform mesh shape. It is arranged and configured. Second cell 115
Is formed in a cell having a larger cross-sectional area than the first cell 93, and has a convex portion 116 having a larger aperture ratio and a concave portion 117 formed around the convex portion 116.
As a result, the trailing edge mesh portion 92 uniformly holds a predetermined amount of the polyimide solution, which has a smaller holding amount per unit area than the first mesh 91, on the entire surface.

【００８７】すなわち、本実施の形態においては、第２
のセル１１５を第１のセル９３よりも大型化し、第２の
セル１１５の開口率を第１のセル９３の開口率よりも大
きく設定し、後縁メッシュ部９２による単位面積あたり
のポリイミド溶液の保持量を第１のメッシュ９１のもの
よりも少なく設定する。That is, in the present embodiment, the second
The cell 115 is made larger than the first cell 93, the aperture ratio of the second cell 115 is set larger than that of the first cell 93, and the polyimide solution per unit area of the rear edge mesh portion 92 is The holding amount is set smaller than that of the first mesh 91.

【００８８】このような実施の形態においては、上述の
第１の実施の形態と同様の作用、効果を得ることができ
る。なお、本実施の形態の構成を、上述の第２，第３の
実施の形態で示した前縁メッシュ部１０１や側縁メッシ
ュ部１０５に適用してもよい。この場合、前縁メッシュ
部１０１を構成する第２のセルの断面積は、第１のメッ
シュを構成する第１のセルの断面積よりも小さく設定さ
れる。また、前縁メッシュ部１０１を構成する第２のセ
ルの開口率は、第１のメッシュを構成する第１のセルの
開口率よりも小さく設定される。In such an embodiment, the same operation and effect as those of the above-described first embodiment can be obtained. The configuration of the present embodiment may be applied to the leading edge mesh portion 101 and the side edge mesh portion 105 shown in the above second and third embodiments. In this case, the cross-sectional area of the second cell forming the leading edge mesh portion 101 is set smaller than the cross-sectional area of the first cell forming the first mesh. Further, the aperture ratio of the second cells forming the leading edge mesh portion 101 is set smaller than the aperture ratio of the first cells forming the first mesh.

【００８９】図１８乃至図２０は本発明の第６の実施の
形態に係り、図１８は印刷部の要部を拡大して示す展開
図、図１９は図１８のＭ−Ｍ’線の位置で切断して示す
断面図、図２０は凹部の深さと膜厚との関係を示す図表
である。なお、図１８，１９において、図１，図９と同
様の構成については同符号を付して説明を省略する。18 to 20 relate to the sixth embodiment of the present invention. FIG. 18 is an expanded view showing an enlarged principal part of the printing section, and FIG. 19 is a position of line MM 'in FIG. FIG. 20 is a cross-sectional view taken by cutting with, and FIG. 20 is a table showing the relationship between the depth of the recess and the film thickness. 18 and 19, the same components as those in FIGS. 1 and 9 are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.

【００９０】本実施の形態は、後縁メッシュ部９２を構
成する第２のセル１２０を、第１のメッシュ９１を構成
する第１のセル９３と同様のサイズに形成し、第２のセ
ル１２０の凹部１２２の深さを浅く設定することで、後
縁メッシュ部９２によるポリイミド溶液の単位面積あた
りの保持量を少なく設定する点が上述の第１の実施の形
態と異なる。In this embodiment, the second cell 120 forming the trailing edge mesh portion 92 is formed to have the same size as the first cell 93 forming the first mesh 91, and the second cell 120 is formed. This is different from the first embodiment in that the depth of the concave portion 122 is set to be small so that the amount of the polyimide solution held by the trailing edge mesh portion 92 per unit area is set to be small.

【００９１】図１８，１９に示すように、後縁メッシュ
部９２は、第１のセル９３よりも少ない量のポリイミド
溶液を夫々保持可能な第２のセル１２０が、均一な網の
目状に配列されて構成されている。第２のセル１２０
は、第１のセル９３と同様の断面積のセルに形成され、
例えば、第１のセル９３の凸部９４と同様の円柱形状を
なす凸部１２１と、深さが第１のセル９３の凹部９５よ
りも浅く設定された凹部１２２とを有して構成されてい
る。これにより、後縁メッシュ部９２は、単位面積あた
りの保持量が第１のメッシュ９１よりも少ない所定量の
ポリイミド溶液を全面に均一に保持するようになってい
る。As shown in FIGS. 18 and 19, in the trailing edge mesh portion 92, the second cells 120 each capable of holding a smaller amount of the polyimide solution than the first cells 93 have a uniform mesh shape. It is arranged and configured. Second cell 120
Is formed into a cell having a cross-sectional area similar to that of the first cell 93,
For example, it is configured by including a convex portion 121 having a cylindrical shape similar to the convex portion 94 of the first cell 93 and a concave portion 122 having a depth set shallower than the concave portion 95 of the first cell 93. There is. As a result, the trailing edge mesh portion 92 uniformly holds a predetermined amount of the polyimide solution, which has a smaller holding amount per unit area than the first mesh 91, on the entire surface.

【００９２】ここで、配向膜溶液の種類や配向膜転写版
の材質、セルの開口率等の条件を一定にした場合、フレ
キソ印刷法によって基板上に塗布する配向膜の膜厚は、
図２０に示すように変化し、セルを構成する凹部の深さ
によって制御可能であることが、本出願人等による実験
等によって確認されている。そこで、本実施の形態にお
いては、第２のセル１２０の開口率は第１のセル９３の
開口率と等しく設定し、上記図２０の関係等に基づい
て、第２のセル１２０の凹部１２２の深さを第１のセル
９３の凹部９５の深さよりも浅く設定することにより、
後縁のメッシュ部９２による単位面積あたりのポリイミ
ド溶液の保持量を第１のメッシュ９１のものよりも少な
く設定する。Here, when the conditions such as the type of the alignment film solution, the material of the alignment film transfer plate, and the aperture ratio of the cell are constant, the film thickness of the alignment film applied on the substrate by the flexographic printing method is as follows.
It has been confirmed by experiments and the like by the applicant of the present invention that it changes as shown in FIG. 20 and can be controlled by the depth of the recesses forming the cells. Therefore, in the present embodiment, the aperture ratio of second cell 120 is set equal to the aperture ratio of first cell 93, and based on the relationship in FIG. By setting the depth shallower than the depth of the concave portion 95 of the first cell 93,
The amount of the polyimide solution held per unit area by the mesh portion 92 at the trailing edge is set smaller than that of the first mesh 91.

【００９３】このような実施の形態においては、上述の
第１の実施の形態と同様の作用、効果を得ることができ
る。なお、本実施の形態の構成を、上述の第２，第３の
実施の形態で示した前縁メッシュ部１０１や側縁メッシ
ュ部１０５に適用してもよい。この場合、前縁メッシュ
部１０１を構成する第２のセルの凹部の深さは、第１の
メッシュを構成する第１のセルの凹部の深さよりも深く
設定される。In such an embodiment, the same operation and effect as those of the above-mentioned first embodiment can be obtained. The configuration of the present embodiment may be applied to the leading edge mesh portion 101 and the side edge mesh portion 105 shown in the above second and third embodiments. In this case, the depth of the recesses of the second cells forming the leading edge mesh portion 101 is set deeper than the depth of the recesses of the first cells forming the first mesh.

【００９４】なお、上述の各実施の形態においては、配
向膜溶液転写版に単一の印刷部を設け、単一の液晶基板
（ＴＦＴ基板，対向基板）に対する配向膜の塗布を行う
フレキソ印刷機（液晶装置の製造装置）の一例について
説明したが、配向膜溶液転写版に複数の印刷部を設け、
複数の液晶基板に対する配向膜の塗布を一度の処理にて
行えるよう、フレキソ印刷機を構成してもよい。このよ
うに構成することにより、配向膜塗布工程を簡略化する
ことができる。また、配向膜溶液転写版に代えて配向膜
溶液印刷版を用いてもよい。In each of the above-described embodiments, a flexographic printing machine is provided in which the alignment film solution transfer plate is provided with a single printing portion to apply the alignment film to a single liquid crystal substrate (TFT substrate, counter substrate). An example of (a liquid crystal device manufacturing apparatus) has been described, but a plurality of printing units are provided on the alignment film solution transfer plate
The flexographic printing machine may be configured so that the alignment films can be applied to a plurality of liquid crystal substrates in a single process. With this configuration, the alignment film coating step can be simplified. Further, an alignment film solution printing plate may be used instead of the alignment film solution transfer plate.

【００９５】[0095]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、基
板上に印刷される配向膜の膜厚の均一性を向上し、表示
品質を向上することのできるという効果を有する。As described above, according to the present invention, the uniformity of the film thickness of the alignment film printed on the substrate can be improved and the display quality can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】本発明の第１の実施の形態に係る印刷部の要部
を拡大して示す展開図であって図８のＩ部拡大図。FIG. 1 is an exploded view showing an enlarged main part of a printing unit according to a first embodiment of the present invention, which is an enlarged view of a portion I in FIG.

【図２】液晶装置の画素領域を構成する複数の画素にお
ける各種素子、配線等の等価回路図。FIG. 2 is an equivalent circuit diagram of various elements, wirings, and the like in a plurality of pixels forming a pixel region of a liquid crystal device.

【図３】ＴＦＴ基板等の素子基板をその上に形成された
各構成要素と共に対向基板側から見た平面図。FIG. 3 is a plan view of an element substrate such as a TFT substrate as viewed from the counter substrate side together with the constituent elements formed thereon.

【図４】素子基板と対向基板とを貼り合わせて液晶を封
入する組立工程終了後の液晶装置を、図３のＨ−Ｈ’線
の位置で切断して示す断面図。FIG. 4 is a cross-sectional view showing the liquid crystal device after the assembly process in which the element substrate and the counter substrate are attached to each other and the liquid crystal is sealed, taken along line HH ′ in FIG.

【図５】液晶装置を詳細に示す断面図。FIG. 5 is a cross-sectional view showing a liquid crystal device in detail.

【図６】液晶セルの製造工程を示すフローチャート。FIG. 6 is a flowchart showing a manufacturing process of a liquid crystal cell.

【図７】フレキソ印刷機の概略構成図。FIG. 7 is a schematic configuration diagram of a flexographic printing machine.

【図８】配向膜溶液転写版の展開図。FIG. 8 is a development view of an alignment film solution transfer plate.

【図９】図１のＪ−Ｊ’線の位置で切断して示す断面
図。FIG. 9 is a cross-sectional view taken along the line JJ ′ in FIG.

【図１０】セルの開口率と配向膜の膜厚との関係を示す
図表。FIG. 10 is a chart showing the relationship between the aperture ratio of a cell and the film thickness of an alignment film.

【図１１】配向膜溶液の印刷時の様子を時系列的に示す
説明図。FIG. 11 is an explanatory diagram showing a time-series manner of printing an alignment film solution.

【図１２】本発明の第２の実施の形態に係る配向膜溶液
転写版の展開図。FIG. 12 is a development view of an alignment film solution transfer plate according to a second embodiment of the present invention.

【図１３】本発明の第３の実施の形態に係る配向膜溶液
転写版の展開図。FIG. 13 is a development view of an alignment film solution transfer plate according to a third embodiment of the present invention.

【図１４】本発明の第４の実施の形態に係る印刷部の要
部を拡大して示す展開図。FIG. 14 is a development view showing an enlarged main part of a printing unit according to a fourth embodiment of the invention.

【図１５】図１４のＫ−Ｋ’線の位置で切断して示す断
面図。FIG. 15 is a cross-sectional view taken along the line KK ′ of FIG.

【図１６】本発明の第５の実施の形態に係る印刷部の要
部を拡大して示す展開図。FIG. 16 is a development view showing an enlarged main part of a printing unit according to a fifth embodiment of the present invention.

【図１７】図１６のＬ−Ｌ’線の位置で切断して示す断
面図。FIG. 17 is a cross-sectional view taken along the line LL ′ of FIG.

【図１８】本発明の第６の実施の形態に係る印刷部の要
部を拡大して示す展開図。FIG. 18 is a development view showing an enlarged main part of a printing unit according to a sixth embodiment of the present invention.

【図１９】図１８のＭ−Ｍ’線の位置で切断して示す断
面図。FIG. 19 is a cross-sectional view taken along the line MM ′ of FIG.

【図２０】凹部の深さと膜厚との関係を示す図表。FIG. 20 is a chart showing the relationship between the depth of a recess and the film thickness.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１０…素子基板（液晶基板） １６…配向膜 ２０…対向基板（液晶基板） ２２…配向膜 ８０…フレキソ印刷機 ８４…配向膜溶液転写版 ９０…印刷部 ９１…第１のメッシュ ９２…後縁メッシュ部（第２のメッシュ） ９３…第１のセル（セル） ９４…凸部 ９５…凹部 ９６…第２のセル（セル） ９７…凸部 ９８…凹部 １０１…前縁メッシュ部（第２のメッシュ） １０５…側縁メッシュ部（第２のメッシュ） １１０…第２のセル（セル） １１１…凸部 １１２…凹部 １１５…第２のセル（セル） １１６…凸部 １１７…凹部 １２０…第２のセル（セル） １２１…凸部 １２２…凹部 10 ... Element substrate (liquid crystal substrate) 16 ... Alignment film 20 ... Counter substrate (liquid crystal substrate) 22 ... Alignment film 80 ... Flexographic printing machine 84 ... Alignment film solution transfer plate 90 ... Printing section 91 ... first mesh 92 ... Trailing edge mesh portion (second mesh) 93 ... First cell (cell) 94 ... Projection 95 ... Recess 96 ... Second cell (cell) 97 ... Projection 98 ... Recess 101 ... Leading edge mesh part (second mesh) 105 ... Side edge mesh part (second mesh) 110 ... Second cell (cell) 111 ... convex portion 112 ... Recess 115 ... Second cell (cell) 116 ... Projection 117 ... Recess 120 ... Second cell (cell) 121 ... convex part 122 ... Recess

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 液晶基板上に形成する配向膜に対応する
印刷部の表面にメッシュを有し、上記メッシュに保持し
た配向膜溶液を上記液晶基板上に印刷する液晶装置の製
造装置において、 単位面積あたり所定量の配向膜溶液を保持する第１のメ
ッシュと、 上記印刷部の縁辺部の少なくとも１辺に沿って設けら
れ、単位面積あたりの配向膜溶液の保持量が上記第１の
メッシュと異なる量に設定された第２のメッシュと、を
具備して上記メッシュを構成したことを特徴とする液晶
装置の製造装置。1. A manufacturing apparatus for a liquid crystal device, comprising a mesh on a surface of a printing portion corresponding to an alignment film formed on a liquid crystal substrate, and printing an alignment film solution held by the mesh on the liquid crystal substrate, A first mesh that holds a predetermined amount of alignment film solution per area; and a first mesh that is provided along at least one side of the edge portion of the printing unit and that holds the alignment film solution per unit area. An apparatus for manufacturing a liquid crystal device, comprising: the second mesh set to different amounts; 【請求項２】 上記第２のメッシュは、上記印刷部の印
刷方向後方の縁辺部に沿う後縁メッシュ部を有し、当該
後縁メッシュ部による単位面積あたりの配向膜溶液の保
持量は上記第１のメッシュよりも少ないことを特徴とす
る請求項１記載の液晶装置の製造装置。2. The second mesh has a trailing edge mesh portion along an edge portion behind the printing portion in the printing direction, and the amount of the alignment film solution retained per unit area by the trailing edge mesh portion is the above. The manufacturing apparatus for a liquid crystal device according to claim 1, wherein the number of meshes is smaller than that of the first mesh. 【請求項３】 上記第２のメッシュは、上記印刷部の印
刷方向前方の縁辺部に沿う前縁メッシュ部を有し、当該
前縁メッシュ部による単位面積あたりの配向膜溶液の保
持量は上記第１のメッシュよりも多いことを特徴とする
請求項１または請求項２記載の液晶装置の製造装置。3. The second mesh has a leading edge mesh portion along an edge portion in front of the printing portion in the printing direction, and the amount of the orientation film solution retained per unit area by the leading edge mesh portion is the above. The liquid crystal device manufacturing apparatus according to claim 1, wherein the number of the meshes is greater than that of the first mesh. 【請求項４】 上記第２のメッシュは、上記印刷部の印
刷方向側方の縁辺部に沿う側縁メッシュ部を有し、当該
側縁メッシュ部による単位面積あたりの配向膜溶液の保
持量は上記第１のメッシュよりも少ないことを特徴とす
る請求項１乃至請求項３の何れか１つに記載の液晶装置
の製造装置。4. The second mesh has a side edge mesh portion along an edge portion on the side in the printing direction of the printing portion, and the holding amount of the alignment film solution per unit area by the side edge mesh portion is It is less than the said 1st mesh, The manufacturing apparatus of the liquid crystal device as described in any one of Claim 1 thru | or 3 characterized by the above-mentioned. 【請求項５】 上記第１のメッシュ及び上記第２のメッ
シュは、凸部と凹部とを有する複数のセルが配列されて
構成され、 上記第１のメッシュ及び上記第２のメッシュによる単位
面積あたりの配向膜溶液の保持量は、上記凸部の断面積
と上記セルの断面積とで規定される上記セルの開口率に
よって設定されることを特徴とする請求項１乃至請求項
５のいずれかに記載の液晶装置の製造装置。5. The first mesh and the second mesh are configured by arranging a plurality of cells having a convex portion and a concave portion, and the first mesh and the second mesh have a unit area per unit area. 6. The holding amount of the alignment film solution of 1 is set by the aperture ratio of the cell, which is defined by the cross-sectional area of the convex portion and the cross-sectional area of the cell. An apparatus for manufacturing a liquid crystal device according to item 1. 【請求項６】 上記第１のメッシュ及び上記第２のメッ
シュは、凸部と凹部とを有する複数のセルが配列されて
構成され、 上記第１のメッシュ及び上記第２のメッシュによる単位
面積あたりの配向膜溶液の保持量は、上記凹部の深さに
よって設定されることを特徴とする請求項１乃至請求項
５のいずれかに記載の液晶装置の製造装置。6. The first mesh and the second mesh are configured by arranging a plurality of cells having a convex portion and a concave portion, and the first mesh and the second mesh have a unit area per unit area. 6. The apparatus for manufacturing a liquid crystal device according to claim 1, wherein the holding amount of the alignment film solution is set by the depth of the recess. 【請求項７】 上記印刷部は、配向膜転写版に複数配列
されたことを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれ
か１つに記載の液晶装置の製造装置。7. The apparatus for manufacturing a liquid crystal device according to claim 1, wherein a plurality of the printing units are arranged on the alignment film transfer plate. 【請求項８】 液晶を挟持する２枚の液晶基板を具備し
た液晶装置において、 請求項１乃至請求項７のいずれか１つに記載の液晶装置
の製造装置によって、上記２枚の液晶基板の少なくとも
一方の液晶基板上に配向膜が印刷されて製造されたこと
を特徴とする液晶装置。8. A liquid crystal device comprising two liquid crystal substrates sandwiching a liquid crystal, wherein the liquid crystal device manufacturing apparatus according to any one of claims 1 to 7 is used to remove the two liquid crystal substrates from each other. A liquid crystal device manufactured by printing an alignment film on at least one liquid crystal substrate. 【請求項９】 液晶基板上に配向膜を転写する転写版を
有する液晶装置の製造装置において、 上記転写版は、単位面積あたり所定量の配向膜溶液を保
持する第１の転写部と、 上記転写版の縁辺部の少なくとも１辺に沿って設けら
れ、単位面積あたりの配向膜溶液の保持量が上記第１の
転写部と異なる量に設定された第２の転写部と、を備え
ることを特徴とする液晶装置の製造装置。9. A manufacturing apparatus of a liquid crystal device having a transfer plate for transferring an alignment film onto a liquid crystal substrate, wherein the transfer plate has a first transfer portion for holding a predetermined amount of an alignment film solution per unit area, and A second transfer portion which is provided along at least one side of the edge portion of the transfer plate and in which the amount of the alignment film solution held per unit area is set to be different from that of the first transfer portion. Characteristic liquid crystal device manufacturing equipment. 【請求項１０】 液晶基板上に配向膜を印刷する印刷版
を有する液晶装置の製造装置において、 上記印刷版は、単位面積あたり所定量の配向膜溶液を保
持する第１の印刷部と、 上記印刷版の縁辺部の少なくとも１辺に沿って設けら
れ、単位面積あたりの配向膜溶液の保持量が上記第１の
印刷部と異なる量に設定された第２の印刷部と、を備え
ることを特徴とする液晶装置の製造装置。10. A manufacturing apparatus of a liquid crystal device having a printing plate for printing an alignment film on a liquid crystal substrate, wherein the printing plate comprises a first printing unit for holding a predetermined amount of an alignment film solution per unit area, A second printing unit which is provided along at least one side of the edge portion of the printing plate, and in which the holding amount of the alignment film solution per unit area is set to a different amount from the first printing unit. Characteristic liquid crystal device manufacturing equipment.