JP2003029226A - 輝点欠陥の修正方法 - Google Patents
輝点欠陥の修正方法Info
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- JP2003029226A JP2003029226A JP2001211160A JP2001211160A JP2003029226A JP 2003029226 A JP2003029226 A JP 2003029226A JP 2001211160 A JP2001211160 A JP 2001211160A JP 2001211160 A JP2001211160 A JP 2001211160A JP 2003029226 A JP2003029226 A JP 2003029226A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 輝点欠陥を充分に修正可能な輝点欠陥修正方
法を提供する。 【解決手段】 本輝点欠陥の修正方法は、液晶層LCを
挟む配向膜OF1,OF2を有する液晶パネル本体の画
像表示側にカラーフィルタCFを設けてなる液晶パネル
における輝点欠陥の修正方法において、この輝点欠陥の
位置を検出する第1工程と、検出された輝点欠陥に画像
表示側から、カラーフィルタCFに孔が開くエネルギー
を有するレーザ光LBをカラーフィルタCFに照射し、
このレーザ光を配向膜OF1,OF2に到達させる第2
工程とを備える。
法を提供する。 【解決手段】 本輝点欠陥の修正方法は、液晶層LCを
挟む配向膜OF1,OF2を有する液晶パネル本体の画
像表示側にカラーフィルタCFを設けてなる液晶パネル
における輝点欠陥の修正方法において、この輝点欠陥の
位置を検出する第1工程と、検出された輝点欠陥に画像
表示側から、カラーフィルタCFに孔が開くエネルギー
を有するレーザ光LBをカラーフィルタCFに照射し、
このレーザ光を配向膜OF1,OF2に到達させる第2
工程とを備える。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、輝点欠陥修正方法
に関する。
に関する。
【0002】
【従来の技術】液晶表示器は、パソコン等の電子情報機
器に設けられたユーザインタ−フェースである。最近の
液晶表示器は大型且つ単位面積当たりの画素数が高密度
である。したがって、1つの液晶表示器当たり数個の画
素に欠陥があることもある。
器に設けられたユーザインタ−フェースである。最近の
液晶表示器は大型且つ単位面積当たりの画素数が高密度
である。したがって、1つの液晶表示器当たり数個の画
素に欠陥があることもある。
【0003】このような欠陥画素は、黒色表示の際に白
色輝点として画面上に現れる。従来、この白色輝点が表
示されないように液晶表示器の欠陥を修正する方法が考
案されている。
色輝点として画面上に現れる。従来、この白色輝点が表
示されないように液晶表示器の欠陥を修正する方法が考
案されている。
【0004】なお、液晶表示器は、液晶パネルの裏面側
にバックライトが取り付けられ、表面側にカラーフィル
タ及び偏光板(膜)が取り付けられて完成する。また、
液晶表示器の完成品においては、液晶パネルは裏面側に
TFT(薄膜トランジスタ)等のスイッチング素子を備
えている。
にバックライトが取り付けられ、表面側にカラーフィル
タ及び偏光板(膜)が取り付けられて完成する。また、
液晶表示器の完成品においては、液晶パネルは裏面側に
TFT(薄膜トランジスタ)等のスイッチング素子を備
えている。
【0005】従来から知られる液晶表示器の欠陥修正方
法は、以下の文献(1)〜(12)に記載されている。
法は、以下の文献(1)〜(12)に記載されている。
【0006】(1)特開昭60−243635号公報
文献(1)は、欠陥画素に液晶パネル表面側からレーザ
光を照射することによって、液晶の配向状態を乱すこと
により、当該画素の表示色をバックライト点灯時と消灯
時の各色の中間色とする方法を開示している。このよう
な方法においては、欠陥の修正後、カラーフィルタが表
示器の表面側に取り付けられる。
光を照射することによって、液晶の配向状態を乱すこと
により、当該画素の表示色をバックライト点灯時と消灯
時の各色の中間色とする方法を開示している。このよう
な方法においては、欠陥の修正後、カラーフィルタが表
示器の表面側に取り付けられる。
【0007】(2)特開昭63−240521号公報
文献(2)は、欠陥画素に液晶パネルの裏面側からレー
ザ光を照射することにより、液晶内に発生する気泡によ
って当該液晶を除去した後、液晶スイッチング用のトラ
ンジスタの特定部分にレーザを更に照射して、これを切
断することにより、欠陥画素を修正する方法を開示して
いる。
ザ光を照射することにより、液晶内に発生する気泡によ
って当該液晶を除去した後、液晶スイッチング用のトラ
ンジスタの特定部分にレーザを更に照射して、これを切
断することにより、欠陥画素を修正する方法を開示して
いる。
【0008】(3)特開平01−187532号公報
文献(3)は、欠陥画素に液晶パネルの表面側からレー
ザ光を照射することにより、表示器の最表面に位置する
偏光膜に傷をつけることにより、欠陥画素を修正する方
法を開示している。液晶及びカラーフィルタを順次透過
して当該偏光膜に至った光は、傷のついた部分で散乱
し、この画素においては中間色が表示される。
ザ光を照射することにより、表示器の最表面に位置する
偏光膜に傷をつけることにより、欠陥画素を修正する方
法を開示している。液晶及びカラーフィルタを順次透過
して当該偏光膜に至った光は、傷のついた部分で散乱
し、この画素においては中間色が表示される。
【0009】(4)特開平03−21928号公報
文献(4)は、欠陥画素に液晶パネルの表面側からレー
ザ光を照射することにより、カラーフィルタを焼いて黒
化させる欠陥画素の修正方法を開示している。
ザ光を照射することにより、カラーフィルタを焼いて黒
化させる欠陥画素の修正方法を開示している。
【0010】(5)特開平03−209422号公報
文献(5)は、欠陥画素に液晶パネルの裏面側からレー
ザ光を照射することにより、液晶スイッチング素子の特
定部分を切断する欠陥が画素の修正方法と、表示器の移
動方法について開示している。
ザ光を照射することにより、液晶スイッチング素子の特
定部分を切断する欠陥が画素の修正方法と、表示器の移
動方法について開示している。
【0011】(6)特開平04−301615号公報
文献(6)は、欠陥画素に液晶パネルの表面側からレー
ザ光を照射することにより、偏光膜及びガラス基板に傷
をつけることにより、欠陥画素を修正する方法を開示し
ている。液晶及びカラーフィルタを順次透過し、ガラス
基板に至った光は、傷のついた部分で拡散し、この画素
においては中間色が表示される。
ザ光を照射することにより、偏光膜及びガラス基板に傷
をつけることにより、欠陥画素を修正する方法を開示し
ている。液晶及びカラーフィルタを順次透過し、ガラス
基板に至った光は、傷のついた部分で拡散し、この画素
においては中間色が表示される。
【0012】(7)特開平06−82801号公報
文献(7)は、製造中のスイッチング素子の配線上をプ
ローブでなぞることにより、配線の検査を行い、配線に
不良がある場合には、当該配線にレーザ光を照射して切
断し、しかる後、液晶表示器の組み立てを行う方法を開
示している。
ローブでなぞることにより、配線の検査を行い、配線に
不良がある場合には、当該配線にレーザ光を照射して切
断し、しかる後、液晶表示器の組み立てを行う方法を開
示している。
【0013】(8)特開平08−146370号公報
文献(8)は、欠陥画素に液晶パネルの裏面側からレー
ザ光をマスクを介して照射することにより、液晶を垂直
配向させ、欠陥画素を修正する方法を開示している。
ザ光をマスクを介して照射することにより、液晶を垂直
配向させ、欠陥画素を修正する方法を開示している。
【0014】(9)特開平08−201813号公報
文献(9)は、欠陥画素に液晶パネルの裏面側から、特
定の走査速度と直径のレーザ光を照射することにより、
配向膜又は裏面側の偏光膜を傷つけ、これにより液晶の
配向性を低下させ、欠陥画素を修正する方法を開示して
いる。
定の走査速度と直径のレーザ光を照射することにより、
配向膜又は裏面側の偏光膜を傷つけ、これにより液晶の
配向性を低下させ、欠陥画素を修正する方法を開示して
いる。
【0015】(10)特開平09−90304号公報
文献(10)は、欠陥画素にレーザ光を照射することに
より、液晶内に発生する気泡によって当該液晶を除去し
た後、続いてレーザ光を照射することで液晶充填空間の
内面に形成されている物質を配向上に飛散・付着させる
ことにより、欠陥画素を修正する方法を開示している。
より、液晶内に発生する気泡によって当該液晶を除去し
た後、続いてレーザ光を照射することで液晶充填空間の
内面に形成されている物質を配向上に飛散・付着させる
ことにより、欠陥画素を修正する方法を開示している。
【0016】(11)特開平11−101969号公報
文献(11)は、液晶が接触する配向膜のラビングの仕
方を工夫することで、欠陥の発生を本質的に抑制する方
法を開示している。
方を工夫することで、欠陥の発生を本質的に抑制する方
法を開示している。
【0017】(12)特開平11−264961号公報
文献(12)は、液晶表示器を組み上げる前に、欠陥画
素を観察しながら、レーザ光を照射して、これを修正
し、液晶パネルを移動させる装置を開示している。
素を観察しながら、レーザ光を照射して、これを修正
し、液晶パネルを移動させる装置を開示している。
【0018】すなわち、従来、液晶表示器の完成前、す
なわち、バックライトを取り付けない状態で、液晶パネ
ルの欠陥状態を評価し、その欠陥を裏面側から修正する
方法(文献(2,5,8,9))と、表面側から修正す
る方法(文献(1,3,4,6,10))とが知られて
いる。また、従来、液晶パネルを組み上げる前に欠陥の
発生を未然に防ぐ方法(文献(7、11))や、液晶パ
ネルを組み上げる前にレーザ光を照射する際の観察光学
系についても知られている。
なわち、バックライトを取り付けない状態で、液晶パネ
ルの欠陥状態を評価し、その欠陥を裏面側から修正する
方法(文献(2,5,8,9))と、表面側から修正す
る方法(文献(1,3,4,6,10))とが知られて
いる。また、従来、液晶パネルを組み上げる前に欠陥の
発生を未然に防ぐ方法(文献(7、11))や、液晶パ
ネルを組み上げる前にレーザ光を照射する際の観察光学
系についても知られている。
【0019】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
方法においては、液晶表示器における輝点欠陥の修正に
改良の余地がある。本発明は、このような課題に鑑みて
なされたものであり、輝点欠陥を充分に修正可能な輝点
欠陥の修正方法を提供することを目的とする。
方法においては、液晶表示器における輝点欠陥の修正に
改良の余地がある。本発明は、このような課題に鑑みて
なされたものであり、輝点欠陥を充分に修正可能な輝点
欠陥の修正方法を提供することを目的とする。
【0020】
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
め、本発明に係る輝点欠陥の修正方法は、液晶層を挟む
配向膜を有する液晶パネル本体の画像表示側にカラーフ
ィルタを設けてなる液晶パネルにおける輝点欠陥の修正
方法において、前記輝点欠陥の位置を検出する第1工程
と、検出された前記輝点欠陥に前記画像表示側から、前
記カラーフィルタに孔が開くエネルギーを有するレーザ
光を前記カラーフィルタに照射し、このレーザ光を前記
配向膜に到達させる第2工程とを備えることを特徴とす
る。
め、本発明に係る輝点欠陥の修正方法は、液晶層を挟む
配向膜を有する液晶パネル本体の画像表示側にカラーフ
ィルタを設けてなる液晶パネルにおける輝点欠陥の修正
方法において、前記輝点欠陥の位置を検出する第1工程
と、検出された前記輝点欠陥に前記画像表示側から、前
記カラーフィルタに孔が開くエネルギーを有するレーザ
光を前記カラーフィルタに照射し、このレーザ光を前記
配向膜に到達させる第2工程とを備えることを特徴とす
る。
【0021】レーザー光でカラーフィルタに孔を開ける
ことにより、カラーフィルタの下にある配向膜上にカラ
ーフィルタ材料を付着させる。カラーフィルタ材料は、
ホトレジストに染料又は顔料を含ませてなるため、かか
るカラーフィルタ材料の付着によって配向膜による液晶
層の配向性を低下させることができる。文献4に記載の
ように、カラーフィルタを黒化させるに必要なレーザ光
のエネルギーをXとすると、本発明においては、エネル
ギーはXよりも大きいということになる。
ことにより、カラーフィルタの下にある配向膜上にカラ
ーフィルタ材料を付着させる。カラーフィルタ材料は、
ホトレジストに染料又は顔料を含ませてなるため、かか
るカラーフィルタ材料の付着によって配向膜による液晶
層の配向性を低下させることができる。文献4に記載の
ように、カラーフィルタを黒化させるに必要なレーザ光
のエネルギーをXとすると、本発明においては、エネル
ギーはXよりも大きいということになる。
【0022】配向性が低下すると、液晶層における光の
透過率が低下するように設定されている。したがって、
黒色表示時の輝点欠陥は配向性の低下によって、その明
るさが減少し、当該欠陥部位は目立たなくなる。また、
白色表示時においては、カラーフィルタに孔が開いてい
るので、光の一部が僅かに欠陥部位を透過し、当該欠陥
部位が目立たなくなる。
透過率が低下するように設定されている。したがって、
黒色表示時の輝点欠陥は配向性の低下によって、その明
るさが減少し、当該欠陥部位は目立たなくなる。また、
白色表示時においては、カラーフィルタに孔が開いてい
るので、光の一部が僅かに欠陥部位を透過し、当該欠陥
部位が目立たなくなる。
【0023】なお、配向膜とは、液晶層の配向を制御す
る膜のことであり、通常は、ガラス基板上にコーティン
グされた配向制御用の有機膜に、ラビングという物理的
な処理を施すことによって形成される。
る膜のことであり、通常は、ガラス基板上にコーティン
グされた配向制御用の有機膜に、ラビングという物理的
な処理を施すことによって形成される。
【0024】また、第2工程において照射されたレーザ
光よりも大径のレーザ光を第2工程の前にカラーフィル
タに照射しておくと、かかるレーザ光によって液晶層内
に気泡ができ、第2工程において照射されるレーザ光に
よってカラーフィルタ材料の付着を促進することができ
る。
光よりも大径のレーザ光を第2工程の前にカラーフィル
タに照射しておくと、かかるレーザ光によって液晶層内
に気泡ができ、第2工程において照射されるレーザ光に
よってカラーフィルタ材料の付着を促進することができ
る。
【0025】
【発明の実施の形態】以下、実施の形態に係る輝点欠陥
の修正方法(リペア方法)について説明する。
の修正方法(リペア方法)について説明する。
【0026】図1は液晶表示器LCDの平面図、図2は
図1に示した液晶表示器LCDのII−II矢印縦断面
図、図3は液晶表示器LCDを一部破断して示す液晶表
示器LCDの斜視図である。
図1に示した液晶表示器LCDのII−II矢印縦断面
図、図3は液晶表示器LCDを一部破断して示す液晶表
示器LCDの斜視図である。
【0027】液晶表示器LCDは、液晶パネルLCPの
裏面側にバックライトBLを取り付けてなる。それぞれ
の外周部を金属枠MFM内に固定することにより、液晶
パネルLCPにバックライトBLが取り付けられる。バ
ックライトBLから出射された光は、下側偏光板PP
1、下側ガラス基板GS1、透明電極TE1、下側配向
膜OF1、液晶層LC、上側配向膜OF2、透明電極T
E2、ブラックマトリクス又はブラックストライプ等の
遮光枠BM内に赤(R)、緑(G)、青(B)の着色樹脂
が埋設されてなるカラーフィルタCF、上側ガラス基板
GS1、上側偏光板PP2、反射防止膜(誘電体多層
膜)DFM、保護フィルムPFMを順次透過する。保護
フィルムPFMは、下部の反射防止膜DFMの凹凸面を
覆うので、表示される画像を鮮明にしている。
裏面側にバックライトBLを取り付けてなる。それぞれ
の外周部を金属枠MFM内に固定することにより、液晶
パネルLCPにバックライトBLが取り付けられる。バ
ックライトBLから出射された光は、下側偏光板PP
1、下側ガラス基板GS1、透明電極TE1、下側配向
膜OF1、液晶層LC、上側配向膜OF2、透明電極T
E2、ブラックマトリクス又はブラックストライプ等の
遮光枠BM内に赤(R)、緑(G)、青(B)の着色樹脂
が埋設されてなるカラーフィルタCF、上側ガラス基板
GS1、上側偏光板PP2、反射防止膜(誘電体多層
膜)DFM、保護フィルムPFMを順次透過する。保護
フィルムPFMは、下部の反射防止膜DFMの凹凸面を
覆うので、表示される画像を鮮明にしている。
【0028】なお、配向膜OF1,OF2は、液晶層L
Cの配向を制御する膜であり、本例では、ガラス基板G
S1,GS2上にコーティングされた配向制御用の有機
膜に、ラビングという物理的な処理を施すことによって
形成される。また、液晶層LCの幅方向への漏れを抑制
するため、TFT側基板(PP1,GS1,OF1)と
カラーフィルタ側基板(PFM,DFM,PP2,GS
2,CF,TE,OF2)との間に、枠体FMが介在し
ている。
Cの配向を制御する膜であり、本例では、ガラス基板G
S1,GS2上にコーティングされた配向制御用の有機
膜に、ラビングという物理的な処理を施すことによって
形成される。また、液晶層LCの幅方向への漏れを抑制
するため、TFT側基板(PP1,GS1,OF1)と
カラーフィルタ側基板(PFM,DFM,PP2,GS
2,CF,TE,OF2)との間に、枠体FMが介在し
ている。
【0029】バックライトBLからの光は、下側偏光板
PP1によって特定の偏光成分が選択され、液晶層LC
が偏光方位を90度回転させれば、この回転した偏光成
分がカラーフィルタCFを透過し、上側偏光板PP2に
入射する。上側偏光板PP2の偏光方位が、下側偏光板
PP1の偏光方位に対して90度回転していれば、この
時、バックライトBLの光は表示側へ抜け、カラーフィ
ルタCFの透過色が表示される。
PP1によって特定の偏光成分が選択され、液晶層LC
が偏光方位を90度回転させれば、この回転した偏光成
分がカラーフィルタCFを透過し、上側偏光板PP2に
入射する。上側偏光板PP2の偏光方位が、下側偏光板
PP1の偏光方位に対して90度回転していれば、この
時、バックライトBLの光は表示側へ抜け、カラーフィ
ルタCFの透過色が表示される。
【0030】液晶層LCが偏光方位の変換を行わなけれ
ば、バックライトBLの光は表示側に抜けず、カラーフ
ィルタCFの透過色は表示されない。すなわち、この時
には黒色が観察される。詳説すれば、液晶層LCがな
い場合、配向膜が無い又はその配向性付与度が低いた
めに液晶層LCが配向性を有さない場合、或いは電圧
の印加によって液晶層LCの分子が縦方向に並んだ場合
には、黒色表示ということになる。
ば、バックライトBLの光は表示側に抜けず、カラーフ
ィルタCFの透過色は表示されない。すなわち、この時
には黒色が観察される。詳説すれば、液晶層LCがな
い場合、配向膜が無い又はその配向性付与度が低いた
めに液晶層LCが配向性を有さない場合、或いは電圧
の印加によって液晶層LCの分子が縦方向に並んだ場合
には、黒色表示ということになる。
【0031】なお、偏光板PP1,PP2と液晶層LC
の偏光方位の関係は原理的には幾つもある。また、偏光
板を用いない形式の表示方法も提案されている。
の偏光方位の関係は原理的には幾つもある。また、偏光
板を用いない形式の表示方法も提案されている。
【0032】ここでは、結果的に液晶層LCの配向性が
低下すると、液晶層LCにおける光の透過率が低下する
ように設定されているものとする。
低下すると、液晶層LCにおける光の透過率が低下する
ように設定されているものとする。
【0033】図4は、図2に示したカラーフィルタCF
における1つの着色樹脂(G)の1画素内の領域を、T
FT側基板に設けられたスイッチング素子と共に抜き出
して示す斜視図である。スイッチング素子は薄膜トラン
ジスタ(TFT)Sであり、薄膜トランジスタSには電
界印加用の透明電極TE2が電気的に接続されている。
透明電極TE1と透明電極TE2との間に印加される電
圧を制御すると、液晶層LC内の電界が変化し、これを
透過する偏光方位を制御することができる。すなわち、
薄膜トランジスタSを制御することで、図2に示したバ
ックライトBLからの白色光Lの透過率を制御すること
ができる。
における1つの着色樹脂(G)の1画素内の領域を、T
FT側基板に設けられたスイッチング素子と共に抜き出
して示す斜視図である。スイッチング素子は薄膜トラン
ジスタ(TFT)Sであり、薄膜トランジスタSには電
界印加用の透明電極TE2が電気的に接続されている。
透明電極TE1と透明電極TE2との間に印加される電
圧を制御すると、液晶層LC内の電界が変化し、これを
透過する偏光方位を制御することができる。すなわち、
薄膜トランジスタSを制御することで、図2に示したバ
ックライトBLからの白色光Lの透過率を制御すること
ができる。
【0034】本実施の形態に係る輝点欠陥の修正方法
は、液晶層LCを挟む配向膜OF1,OF2を有する液
晶パネル本体の画像表示側にカラーフィルタCFを設け
てなる液晶パネルにおける輝点欠陥の修正方法におい
て、この輝点欠陥の位置を検出する第1工程と、検出さ
れた輝点欠陥に画像表示側から、カラーフィルタCFに
孔が開くエネルギーを有するレーザ光LBをカラーフィ
ルタCFに照射し、このレーザ光を配向膜OF1,OF
2に到達させる第2工程とを備える。
は、液晶層LCを挟む配向膜OF1,OF2を有する液
晶パネル本体の画像表示側にカラーフィルタCFを設け
てなる液晶パネルにおける輝点欠陥の修正方法におい
て、この輝点欠陥の位置を検出する第1工程と、検出さ
れた輝点欠陥に画像表示側から、カラーフィルタCFに
孔が開くエネルギーを有するレーザ光LBをカラーフィ
ルタCFに照射し、このレーザ光を配向膜OF1,OF
2に到達させる第2工程とを備える。
【0035】輝点欠陥の位置は、液晶パネルLCPにお
いて黒色表示を行い、これをCCD(ビデオ)カメラに
より観察することにより検出し、検出された位置に一致
するようにレーザ光源からレーザ光LBを照射する。こ
の位置は、有限の面積を有する領域として与えられる。
レーザ光LBの照射時においては、この領域内の指定さ
れた地点にレーザ光LBを照射する。この領域は透明電
極TE1の大きさに一致する。
いて黒色表示を行い、これをCCD(ビデオ)カメラに
より観察することにより検出し、検出された位置に一致
するようにレーザ光源からレーザ光LBを照射する。こ
の位置は、有限の面積を有する領域として与えられる。
レーザ光LBの照射時においては、この領域内の指定さ
れた地点にレーザ光LBを照射する。この領域は透明電
極TE1の大きさに一致する。
【0036】また、レーザ光LBは保護フィルムPFM
を通過している。すなわち、保護フィルムPFMが貼っ
てあるので、レーザ光LC照射時にボケの少ない画像を
得ることができ、正確な欠陥位置を検出することができ
る。
を通過している。すなわち、保護フィルムPFMが貼っ
てあるので、レーザ光LC照射時にボケの少ない画像を
得ることができ、正確な欠陥位置を検出することができ
る。
【0037】図4においては、上記領域の重心位置と、
重心位置から所定距離の位置にレーザ光LBを照射す
る。また、この領域の端部の位置を検出して、当該端部
からの離隔距離を指定し、レーザ光LBを照射してもよ
い。本例のレーザ光LBは平行光又はカラーフィルタC
Fよりも深部側に焦点を有する。
重心位置から所定距離の位置にレーザ光LBを照射す
る。また、この領域の端部の位置を検出して、当該端部
からの離隔距離を指定し、レーザ光LBを照射してもよ
い。本例のレーザ光LBは平行光又はカラーフィルタC
Fよりも深部側に焦点を有する。
【0038】第1回目のレーザ光LB(パルス)は大き
な径(光軸に垂直な断面積が大きい)を有し、この照射
によってカラーフィルタCFに孔を開けると共に、液晶
層LC内に気泡を発生させる。カラーフィルタCFの材
料の一部は配向膜OF1に付着する。
な径(光軸に垂直な断面積が大きい)を有し、この照射
によってカラーフィルタCFに孔を開けると共に、液晶
層LC内に気泡を発生させる。カラーフィルタCFの材
料の一部は配向膜OF1に付着する。
【0039】図5は、このレーザ光照射時の液晶パネル
LCPの部分断面図である。カラーフィルタCFの着色
樹脂R、透明電極TE2、配向膜OF2、OF1、透明
電極TE1に孔が開き、孔の周囲には付着物が堆積し、
また、液晶層LC中に気泡BBが発生している。気泡の
大きさはレーザ光LBのエネルギー密度に依存する。な
お、エネルギー密度は、エネルギー/断面積で与えられ
る。レーザ光LBのエネルギー密度は、気泡BBが複数
の画素を含む大きさを有するように設定される。
LCPの部分断面図である。カラーフィルタCFの着色
樹脂R、透明電極TE2、配向膜OF2、OF1、透明
電極TE1に孔が開き、孔の周囲には付着物が堆積し、
また、液晶層LC中に気泡BBが発生している。気泡の
大きさはレーザ光LBのエネルギー密度に依存する。な
お、エネルギー密度は、エネルギー/断面積で与えられ
る。レーザ光LBのエネルギー密度は、気泡BBが複数
の画素を含む大きさを有するように設定される。
【0040】第2回目以降のレーザ光LBは、相対的に
上記よりも小さな径(光軸に垂直な断面積が小さい)を
有し、上記気泡BBの消滅前に照射される。この照射に
よって、少なくともカラーフィルタCFの材料の一部は
配向膜に付着する。
上記よりも小さな径(光軸に垂直な断面積が小さい)を
有し、上記気泡BBの消滅前に照射される。この照射に
よって、少なくともカラーフィルタCFの材料の一部は
配向膜に付着する。
【0041】すなわち、本実施形態の方法においては、
第2工程(以降)において照射されたレーザ光LBより
も大径のレーザ光LBを第2工程の前にカラーフィルタ
に照射しておいたので、かかるレーザ光LBによって液
晶層LC内に気泡を形成することができ、第2工程(以
降)において照射されるレーザ光LBによってカラーフ
ィルタ材料や他の構成物の付着を促進することができ
る。
第2工程(以降)において照射されたレーザ光LBより
も大径のレーザ光LBを第2工程の前にカラーフィルタ
に照射しておいたので、かかるレーザ光LBによって液
晶層LC内に気泡を形成することができ、第2工程(以
降)において照射されるレーザ光LBによってカラーフ
ィルタ材料や他の構成物の付着を促進することができ
る。
【0042】カラーフィルタ材料は、ホトレジストに染
料又は顔料を含ませてなる。カラーフィルタ材料の付着
によって配向膜OF1による液晶層LCの配向性を低下
させることができる。レーザ光のエネルギーは、カラー
フィルタCFを黒化させるに必要なレーザ光のエネルギ
ーよりも大きい。
料又は顔料を含ませてなる。カラーフィルタ材料の付着
によって配向膜OF1による液晶層LCの配向性を低下
させることができる。レーザ光のエネルギーは、カラー
フィルタCFを黒化させるに必要なレーザ光のエネルギ
ーよりも大きい。
【0043】なお、本例においては、レーザ光LBは、
配向膜OF1を貫通しており、貫通孔の周辺部にカラー
フィルタ材料が付着している。換言すれば、カラーフィ
ルタCFに形成された孔の径よりも、液晶層LCの配向
性低下に寄与する領域の面積の方が大きい。
配向膜OF1を貫通しており、貫通孔の周辺部にカラー
フィルタ材料が付着している。換言すれば、カラーフィ
ルタCFに形成された孔の径よりも、液晶層LCの配向
性低下に寄与する領域の面積の方が大きい。
【0044】液晶層LCの配向性が低下すると、液晶層
LCにおける光の透過率が低下する。したがって、黒色
表示時の輝点欠陥は当該配向性の低下によって、その明
るさが減少し、当該欠陥部位は目立たなくなる。また、
白色表示時においては、偏光方位の関係から原理的には
当該欠陥部位を光が透過しない場合においても、僅かな
成分が欠陥部位を透過した場合に、カラーフィルタに孔
が開いているので、カラーフィルタCFによる減衰量が
小さくなり、当該欠陥部位が目立たなくなる。
LCにおける光の透過率が低下する。したがって、黒色
表示時の輝点欠陥は当該配向性の低下によって、その明
るさが減少し、当該欠陥部位は目立たなくなる。また、
白色表示時においては、偏光方位の関係から原理的には
当該欠陥部位を光が透過しない場合においても、僅かな
成分が欠陥部位を透過した場合に、カラーフィルタに孔
が開いているので、カラーフィルタCFによる減衰量が
小さくなり、当該欠陥部位が目立たなくなる。
【0045】特に、配向性低下は黒色表示時の透過光量
の低下をもたらすが、カラーフィルタCFに形成された
孔の径は、白色表示時における輝度の増加に寄与するの
で、上述のように、カラーフィルタCFに形成された孔
の径よりも、液晶層LCの配向性低下に寄与する領域の
面積の方が大きい場合には、黒色表示時の輝度の低下と
白色表示時の輝度の増加を部分的に独立して制御するこ
とができる。
の低下をもたらすが、カラーフィルタCFに形成された
孔の径は、白色表示時における輝度の増加に寄与するの
で、上述のように、カラーフィルタCFに形成された孔
の径よりも、液晶層LCの配向性低下に寄与する領域の
面積の方が大きい場合には、黒色表示時の輝度の低下と
白色表示時の輝度の増加を部分的に独立して制御するこ
とができる。
【0046】図6は、上記輝度欠陥の修正を行う欠陥修
正装置のブロック図である。XYZステージSTG上に
は、液晶表示器LCDが配置される。落射照明ILから
出射した照明光はハーフミラーHM1によって反射さ
れ、ハーフミラーHM2を透過し、結像レンズ(対物レ
ンズ)OBJによって集光され、液晶表示器LCDの画
像表示側を照明する。なお、ハーフミラーHM1,HM
2は、それぞれ、ダイクロイックミラーとすることがで
きる。
正装置のブロック図である。XYZステージSTG上に
は、液晶表示器LCDが配置される。落射照明ILから
出射した照明光はハーフミラーHM1によって反射さ
れ、ハーフミラーHM2を透過し、結像レンズ(対物レ
ンズ)OBJによって集光され、液晶表示器LCDの画
像表示側を照明する。なお、ハーフミラーHM1,HM
2は、それぞれ、ダイクロイックミラーとすることがで
きる。
【0047】液晶表示器LCDによる上記照明光の反射
光、或いはバックライトBLからの光Lは、レンズOB
J、ミラーHM2,HM2、結像レンズLNSを順次通
過して、撮像素子(電荷結合素子)CCDに入射する。
したがって、液晶表示器LCDの対物レンズOBJ直下
の像が撮像素子CCDよって撮像され、この映像信号は
制御装置CONTに入力され、表示器DSPに表示され
る。制御装置CONTは、入力された映像信号に基づい
て、欠陥部位の位置を検出する。
光、或いはバックライトBLからの光Lは、レンズOB
J、ミラーHM2,HM2、結像レンズLNSを順次通
過して、撮像素子(電荷結合素子)CCDに入射する。
したがって、液晶表示器LCDの対物レンズOBJ直下
の像が撮像素子CCDよって撮像され、この映像信号は
制御装置CONTに入力され、表示器DSPに表示され
る。制御装置CONTは、入力された映像信号に基づい
て、欠陥部位の位置を検出する。
【0048】すなわち、まず、液晶表示器LCDによっ
て黒色表示を行い、XYZステージSTGを駆動しなが
ら、撮像素子CCDに観察される液晶表示器LCDの表
面の走査を行う。走査時において、輝点が観察された場
合、すなわち、映像信号に含まれる輝度信号が所定値を
超えた場合、その領域を欠陥部位の位置として認定す
る。当該位置の検出後、XYZステージSTGを駆動
し、結像レンズOBJの直下に欠陥部位を位置させ、上
述したように、レーザ光LBを照射する。
て黒色表示を行い、XYZステージSTGを駆動しなが
ら、撮像素子CCDに観察される液晶表示器LCDの表
面の走査を行う。走査時において、輝点が観察された場
合、すなわち、映像信号に含まれる輝度信号が所定値を
超えた場合、その領域を欠陥部位の位置として認定す
る。当該位置の検出後、XYZステージSTGを駆動
し、結像レンズOBJの直下に欠陥部位を位置させ、上
述したように、レーザ光LBを照射する。
【0049】レーザ光源LSから出射されたレーザ光L
Bは、減光器(アッテネータ)ATによって光量調整が
行われた後、シャッターSTを通過し、反射率が50%
を超えるハーフミラーHM3によって反射され、マスク
交換器MC内に設置された所望のマスクを透過し、ミラ
ーHM2によって反射され、結像レンズOBJによって
集光され、検出された欠陥部位に照射される。レーザ光
源LSとしては、Nd:YAGレーザ発振器、XeCl
エキシマレーザ発振器等を用いることができる。
Bは、減光器(アッテネータ)ATによって光量調整が
行われた後、シャッターSTを通過し、反射率が50%
を超えるハーフミラーHM3によって反射され、マスク
交換器MC内に設置された所望のマスクを透過し、ミラ
ーHM2によって反射され、結像レンズOBJによって
集光され、検出された欠陥部位に照射される。レーザ光
源LSとしては、Nd:YAGレーザ発振器、XeCl
エキシマレーザ発振器等を用いることができる。
【0050】なお、制御装置CONTは、XYZステー
ジSTGの他、レーザ光源LS、減光器AT、シャッタ
ーST、マスク交換器MC、落射照明ILを、それぞ
れ、制御信号SM、SL、SA、SS、SC、SIによって制
御している。ハーフミラーHM3を透過したレーザ光L
Bの光量は光検出器PDによって検出され、制御装置C
ONTは当該検出値に基づいて、液晶表示器LCDに照
射されるレーザ光LBのエネルギーを制御する。
ジSTGの他、レーザ光源LS、減光器AT、シャッタ
ーST、マスク交換器MC、落射照明ILを、それぞ
れ、制御信号SM、SL、SA、SS、SC、SIによって制
御している。ハーフミラーHM3を透過したレーザ光L
Bの光量は光検出器PDによって検出され、制御装置C
ONTは当該検出値に基づいて、液晶表示器LCDに照
射されるレーザ光LBのエネルギーを制御する。
【0051】すなわち、減光器ATを制御すれば、レー
ザ光LBのエネルギーの大きさを変えることができ、マ
スク交換器MCを制御すればレーザ光LBの断面形状や
直径を変えることができ,シャッターSTの開閉を制御
すれば、レーザ光LBの照射時間を制御することができ
る。なお、マスク交換器MC内には遮光板もマスクとし
て格納されている。また、このマスクは、レンズOBJ
の倍率に応じて切り替えることができる。
ザ光LBのエネルギーの大きさを変えることができ、マ
スク交換器MCを制御すればレーザ光LBの断面形状や
直径を変えることができ,シャッターSTの開閉を制御
すれば、レーザ光LBの照射時間を制御することができ
る。なお、マスク交換器MC内には遮光板もマスクとし
て格納されている。また、このマスクは、レンズOBJ
の倍率に応じて切り替えることができる。
【0052】また、対物レンズOBJは、倍率の異なる
複数の対物レンズ群からなり、それぞれが電動のレボル
バRV(図7参照)に固定されている。制御装置CON
Tは、レボルバRVを回転させることにより、対物レン
ズOBJの倍率を可変することができる。レーザ光LB
の照射及び観察には25倍の高倍率レンズが、観察には
7.6倍の低倍率のレンズが用いられる。すなわち、レ
ーザ光LBの照射時においては、観察時よりも倍率を上
げる。なお、上記では、レーザ光の照射光学系と、観察
光学系とは同軸光学系を構成している。
複数の対物レンズ群からなり、それぞれが電動のレボル
バRV(図7参照)に固定されている。制御装置CON
Tは、レボルバRVを回転させることにより、対物レン
ズOBJの倍率を可変することができる。レーザ光LB
の照射及び観察には25倍の高倍率レンズが、観察には
7.6倍の低倍率のレンズが用いられる。すなわち、レ
ーザ光LBの照射時においては、観察時よりも倍率を上
げる。なお、上記では、レーザ光の照射光学系と、観察
光学系とは同軸光学系を構成している。
【0053】図7は図6に示した欠陥修正装置の正面
図、図8は側面図である。なお、図6において示した表
示器DSP及び制御装置CONTの記載は省略してあ
る。
図、図8は側面図である。なお、図6において示した表
示器DSP及び制御装置CONTの記載は省略してあ
る。
【0054】XYZステージSTGは、Z方向駆動ステ
ージ上に固定されたXY方向駆動ステージと、当該XY
方向駆動ステージ上に固定された載置台1からなる。載
置台1は水平に配置される。XY方向駆動ステージは、
直交する2軸方向に延在するボールネジとACサーボモ
ータからなり、載置台1を水平面内において前後左右に
移動させる。Z方向駆動ステージは、XY方向駆動ステ
ージを鉛直方向に移動させる。
ージ上に固定されたXY方向駆動ステージと、当該XY
方向駆動ステージ上に固定された載置台1からなる。載
置台1は水平に配置される。XY方向駆動ステージは、
直交する2軸方向に延在するボールネジとACサーボモ
ータからなり、載置台1を水平面内において前後左右に
移動させる。Z方向駆動ステージは、XY方向駆動ステ
ージを鉛直方向に移動させる。
【0055】レーザ光源LSからマスク交換器MCに至
るレーザ光学系OP1は、レボルバRVの上部に取り付
けられている。
るレーザ光学系OP1は、レボルバRVの上部に取り付
けられている。
【0056】XYZステージSTG、撮像素子CCD、
レーザ光学系OP1等の装置主要部は、除振台の上に固
定された整形箱BOX内に収納されており、整形箱BO
Xは前面側に開口OPNを有する。XY方向駆動ステー
ジを駆動し、更に、このステージと載置台1との間の相
対的一次元水平移動を行うスライドレールSLDを介し
て載置台1を移動させると、開口OPNから液晶表示器
LCDが露出する。この場合、作業者は液晶表示器LC
Dを容易に装着できる。
レーザ光学系OP1等の装置主要部は、除振台の上に固
定された整形箱BOX内に収納されており、整形箱BO
Xは前面側に開口OPNを有する。XY方向駆動ステー
ジを駆動し、更に、このステージと載置台1との間の相
対的一次元水平移動を行うスライドレールSLDを介し
て載置台1を移動させると、開口OPNから液晶表示器
LCDが露出する。この場合、作業者は液晶表示器LC
Dを容易に装着できる。
【0057】載置台1の下には、液晶表示器LCDの駆
動を行う信号を中継する駆動信号中継ユニットCIRが
設けられている。作業者は、液晶表示器LCDを載置台
1上に固定すると共に、液晶表示器LCDから延びる配
線を中継ユニットCIRに接続する。中継ユニットCI
Rは、載置台1の下部に配置されているので、これらの
接続配線距離を短くし、駆動信号の遅延を抑制する。な
お、液晶表示器LCDが大型の場合には、中継ユニット
は複数であることが好ましく、スライドレールSLDに
よって中継ユニットCIRは整形箱BOXの外に取り出
されるので、作業が効率化される。
動を行う信号を中継する駆動信号中継ユニットCIRが
設けられている。作業者は、液晶表示器LCDを載置台
1上に固定すると共に、液晶表示器LCDから延びる配
線を中継ユニットCIRに接続する。中継ユニットCI
Rは、載置台1の下部に配置されているので、これらの
接続配線距離を短くし、駆動信号の遅延を抑制する。な
お、液晶表示器LCDが大型の場合には、中継ユニット
は複数であることが好ましく、スライドレールSLDに
よって中継ユニットCIRは整形箱BOXの外に取り出
されるので、作業が効率化される。
【0058】図9は、上記装置において行われる欠陥修
正工程を示すフローチャートである。
正工程を示すフローチャートである。
【0059】まず、製品のID番号を制御装置CONT
に入力する(S100)。すなわち、液晶表示器LCD
の種類及び当該パネルのID番号を制御装置CONTに
入力する。この入力はキーボードを介して行ってもよい
が、液晶表示器LCDにバーコードが貼り付けられてい
る場合には、バーコードリーダを用いて行っても良い。
に入力する(S100)。すなわち、液晶表示器LCD
の種類及び当該パネルのID番号を制御装置CONTに
入力する。この入力はキーボードを介して行ってもよい
が、液晶表示器LCDにバーコードが貼り付けられてい
る場合には、バーコードリーダを用いて行っても良い。
【0060】次に、液晶表示器LCDを欠陥修正装置に
取り付ける(S102)。開口OPNから載置台1を引
き出し、この上に液晶表示器LCDをセットする。更
に、液晶表示器LCDと中継ユニットCIRとを電気的
に接続する。
取り付ける(S102)。開口OPNから載置台1を引
き出し、この上に液晶表示器LCDをセットする。更
に、液晶表示器LCDと中継ユニットCIRとを電気的
に接続する。
【0061】続いて、制御装置CONTは、液晶表示器
LCDの水平面内におけるアライメント調整を行う(S
104)。すなわち、液晶表示器LCDの画素列がX又
はY方向に一致するように、水平面内において液晶表示
器LCDの位置を移動させる。なお、液晶パネルLCP
のアライメントマークAMは、金属枠MFMの内側に位
置するため、制御装置CONTは撮像素子CCDによっ
て撮像された画像内の端部の位置を検出し、この位置を
基準に移動量に補正をかけることができる。
LCDの水平面内におけるアライメント調整を行う(S
104)。すなわち、液晶表示器LCDの画素列がX又
はY方向に一致するように、水平面内において液晶表示
器LCDの位置を移動させる。なお、液晶パネルLCP
のアライメントマークAMは、金属枠MFMの内側に位
置するため、制御装置CONTは撮像素子CCDによっ
て撮像された画像内の端部の位置を検出し、この位置を
基準に移動量に補正をかけることができる。
【0062】しかる後、欠陥画素のある部位(輝点欠
陥)の座標を制御装置CONTに入力する(S10
6)。上述の説明においては、制御装置CONTは液晶
表示器LCDの表面の走査後に、続けて、欠陥修正を行
ったが、ここでは、欠陥位置の検査自体は別工程におい
て既に行われているものとする。このような場合におい
て、制御装置CONTが、LANケーブルを介してホス
トコンピュータに接続されている場合、制御装置CON
TはID番号に対応する欠陥位置の座標をホストコンピ
ュータから受信することができる。
陥)の座標を制御装置CONTに入力する(S10
6)。上述の説明においては、制御装置CONTは液晶
表示器LCDの表面の走査後に、続けて、欠陥修正を行
ったが、ここでは、欠陥位置の検査自体は別工程におい
て既に行われているものとする。このような場合におい
て、制御装置CONTが、LANケーブルを介してホス
トコンピュータに接続されている場合、制御装置CON
TはID番号に対応する欠陥位置の座標をホストコンピ
ュータから受信することができる。
【0063】次に、欠陥位置の検索を行う(S10
8)。すなわち、まず、制御装置CONTは、上記座標
情報に基づいて、欠陥が結像レンズOBJの直下に位置
するようにXY方向駆動ステージを駆動する。続いて、
バックライトBLを点灯させ、液晶パネルLCPを裏面
側から照明し、液晶パネルLCPの像を撮像素子CCD
によって撮影する。中継ユニットCIRを介して液晶表
示器LCDを全黒状態で動作させる。この時、欠陥は発
光するので、制御装置CONTは撮影された画像情報に
基づき、欠陥が結像レンズ(対物レンズ)OBJの光軸
上に位置するように、XY方向駆動ステージを微小駆動
する。
8)。すなわち、まず、制御装置CONTは、上記座標
情報に基づいて、欠陥が結像レンズOBJの直下に位置
するようにXY方向駆動ステージを駆動する。続いて、
バックライトBLを点灯させ、液晶パネルLCPを裏面
側から照明し、液晶パネルLCPの像を撮像素子CCD
によって撮影する。中継ユニットCIRを介して液晶表
示器LCDを全黒状態で動作させる。この時、欠陥は発
光するので、制御装置CONTは撮影された画像情報に
基づき、欠陥が結像レンズ(対物レンズ)OBJの光軸
上に位置するように、XY方向駆動ステージを微小駆動
する。
【0064】この欠陥位置の検索時においては、その重
心位置が欠陥位置として与えられる。対物レンズOBJ
の実視野は1.4mm程度に設定する。このような方法
は、大型のパネル、例えば22型のパネルを水平移動さ
せる場合にも有効であり、移動ストローク500mm、
位置決め精度が30μm程度であっても輝度欠陥位置を
正確に検出することができる。
心位置が欠陥位置として与えられる。対物レンズOBJ
の実視野は1.4mm程度に設定する。このような方法
は、大型のパネル、例えば22型のパネルを水平移動さ
せる場合にも有効であり、移動ストローク500mm、
位置決め精度が30μm程度であっても輝度欠陥位置を
正確に検出することができる。
【0065】次に、液晶層LC中に気泡を発生させる
(S110)。この場合、制御装置CONTは、まず、
マスク交換器MCを駆動し、第1のマスクを光路上に移
動させ、続いて、レーザ光源LSを駆動する。レーザ光
源LSからは1つのレーザ光パルスが出射され、第1の
マスクを透過して、欠陥に照射される。パルスの生成は
シャッタSTの断続的な開閉によって行うこともでき
る。この照射によって、カラーフィルタCFに孔が開
き、液晶層LC中には気泡BBが発生する。この時、気
泡BBを撮像素子CCDによって確認することができ
る。
(S110)。この場合、制御装置CONTは、まず、
マスク交換器MCを駆動し、第1のマスクを光路上に移
動させ、続いて、レーザ光源LSを駆動する。レーザ光
源LSからは1つのレーザ光パルスが出射され、第1の
マスクを透過して、欠陥に照射される。パルスの生成は
シャッタSTの断続的な開閉によって行うこともでき
る。この照射によって、カラーフィルタCFに孔が開
き、液晶層LC中には気泡BBが発生する。この時、気
泡BBを撮像素子CCDによって確認することができ
る。
【0066】次に、マスクの交換とレーザ光出力の変更
を行う(S112)。この場合、制御装置CONTは、
マスク交換器MCを駆動し、第2のマスクを光路上に移
動させる。レーザ光LBの出力は減光器ATによって調
整される。
を行う(S112)。この場合、制御装置CONTは、
マスク交換器MCを駆動し、第2のマスクを光路上に移
動させる。レーザ光LBの出力は減光器ATによって調
整される。
【0067】続いて、レーザ光源LSを駆動し、カラー
フィルタCFに孔を開ける(S114)。この場合、レ
ーザ光源LSからは、まず、1つのレーザ光パルスが出
射され、第2のマスクを透過して、欠陥内の別の地点に
照射される。この照射によって、カラーフィルタCFに
孔が開き、カラーフィルタ材料、ITO材料、配向膜材
料等が飛散し、配向膜OF1上に付着する。XY方向駆
動ステージを駆動することによって液晶表示器LCDを
水平面内において移動させながら、繰り返し周波数fで
レーザ光LBのパルスを出射し、次々にレーザ光LBの
照射位置を変えていく。
フィルタCFに孔を開ける(S114)。この場合、レ
ーザ光源LSからは、まず、1つのレーザ光パルスが出
射され、第2のマスクを透過して、欠陥内の別の地点に
照射される。この照射によって、カラーフィルタCFに
孔が開き、カラーフィルタ材料、ITO材料、配向膜材
料等が飛散し、配向膜OF1上に付着する。XY方向駆
動ステージを駆動することによって液晶表示器LCDを
水平面内において移動させながら、繰り返し周波数fで
レーザ光LBのパルスを出射し、次々にレーザ光LBの
照射位置を変えていく。
【0068】第2のマスク使用時のレーザ光LBの径
は、第1のマスク使用時のレーザ光LBの径よりも小さ
い。2回目以降のレーザ光LBは第1回目のものよりも
エネルギーが小さい。これは、液晶層LCが気泡によっ
て排除された状態においては、エネルギーは小さくて
も、材料の充分な付着を行わせることができることがで
きるからである。なお、付着した堆積物は、気泡BBの
消滅後も付着したままである。
は、第1のマスク使用時のレーザ光LBの径よりも小さ
い。2回目以降のレーザ光LBは第1回目のものよりも
エネルギーが小さい。これは、液晶層LCが気泡によっ
て排除された状態においては、エネルギーは小さくて
も、材料の充分な付着を行わせることができることがで
きるからである。なお、付着した堆積物は、気泡BBの
消滅後も付着したままである。
【0069】最後に、修正された欠陥を検査する(S1
16)。この場合、表示器DSPに表示された画像を観
察しながら、輝度欠陥の修正状態を検査し、入力された
結果を制御装置CONTに入力し、制御装置CONT内
に記憶する。なお、制御装置CONTがLANケーブル
を介してホストコンピュータに接続されている場合は、
修正終了の旨をホストコンピュータに通知する。なお、
輝度の閾値を設定し、画像内の輝度が全て当該閾値以下
となった場合に、制御装置CONTが自動的に輝度欠陥
の修正終了を判定してもよい。
16)。この場合、表示器DSPに表示された画像を観
察しながら、輝度欠陥の修正状態を検査し、入力された
結果を制御装置CONTに入力し、制御装置CONT内
に記憶する。なお、制御装置CONTがLANケーブル
を介してホストコンピュータに接続されている場合は、
修正終了の旨をホストコンピュータに通知する。なお、
輝度の閾値を設定し、画像内の輝度が全て当該閾値以下
となった場合に、制御装置CONTが自動的に輝度欠陥
の修正終了を判定してもよい。
【0070】図10は、液晶表示器LCDの全体の検査
・修正工程を示すフローチャートである。
・修正工程を示すフローチャートである。
【0071】まず、液晶パネルLCPの欠陥検査を行う
(検査I:S1)。
(検査I:S1)。
【0072】検査の結果が良好であれば、次の工程に進
むが、欠陥が発見された場合には、TFT基板側から当
該欠陥部位にレーザ光を照射し、欠陥を修正する(S
2)。この修正工程は、レーザ光の照射方向が逆である
点を除いて、上記方法と同じである。この修正工程の
後、再び、修正が確実に行われたどうかを検査する(検
査II:S3)。
むが、欠陥が発見された場合には、TFT基板側から当
該欠陥部位にレーザ光を照射し、欠陥を修正する(S
2)。この修正工程は、レーザ光の照射方向が逆である
点を除いて、上記方法と同じである。この修正工程の
後、再び、修正が確実に行われたどうかを検査する(検
査II:S3)。
【0073】検査Iの結果が良好であった液晶パネルL
CP、或いは修正が確実に行われた液晶パネルLCPに
は、バックライトBLが取り付けられ、モジュールとし
て組み立てられる(S4)。
CP、或いは修正が確実に行われた液晶パネルLCPに
は、バックライトBLが取り付けられ、モジュールとし
て組み立てられる(S4)。
【0074】再び、組み立てられたモジュール、すなわ
ち、液晶表示器LCDの検査を行う(検査III:S
5)。
ち、液晶表示器LCDの検査を行う(検査III:S
5)。
【0075】検査の結果が良好であれば、検査工程は終
了となるが、欠陥が発見された場合には、カラーフィル
タ基板側から当該欠陥部位にレーザ光を照射し、欠陥を
修正し(S6)、その後、検査を行う(検査IV:S
7)。
了となるが、欠陥が発見された場合には、カラーフィル
タ基板側から当該欠陥部位にレーザ光を照射し、欠陥を
修正し(S6)、その後、検査を行う(検査IV:S
7)。
【0076】なお、これらの検査(I,II,III,
IV)の方法は、上述のステップ116と同一であり、
また、ステップS6において行われる輝度欠陥の修正工
程は、上述の通りである。
IV)の方法は、上述のステップ116と同一であり、
また、ステップS6において行われる輝度欠陥の修正工
程は、上述の通りである。
【0077】なお、検査Iにおいては、上記に加えて、
断線検査、ムラ・シミ検査、液晶内に設けられるスペー
サの不均一性検査、偏光板の検査を行うこともできる。
また、輝点欠陥は、TFTアレイ不良、カラーフィルタ
不良、異物混入等によって生じ、断線はTFTアレイ不
良、異物混入等によって生じ、ムラ・シミは洗浄不良、
配向印刷不良、ラビング不良、異物混入によって生じ、
スペーサの不均一性はスペーサの散布や異物混入によっ
て生じる。
断線検査、ムラ・シミ検査、液晶内に設けられるスペー
サの不均一性検査、偏光板の検査を行うこともできる。
また、輝点欠陥は、TFTアレイ不良、カラーフィルタ
不良、異物混入等によって生じ、断線はTFTアレイ不
良、異物混入等によって生じ、ムラ・シミは洗浄不良、
配向印刷不良、ラビング不良、異物混入によって生じ、
スペーサの不均一性はスペーサの散布や異物混入によっ
て生じる。
【0078】次に、第1回目に照射される気泡発生用レ
ーザ光LBの断面形状と、第2回目以降に照射される微
調整用レーザ光LBの断面形状について説明する。
ーザ光LBの断面形状と、第2回目以降に照射される微
調整用レーザ光LBの断面形状について説明する。
【0079】図11は、第1回目に照射されるレーザ光
LBの透明電極TE1上での形状を示し、図12は第2
回目以降に照射されるレーザ光LBの透明電極TE1上
での形状を示す。これらの形状は、レーザ光LBの横断
面(光軸に垂直な断面)形状と同一であり、カラーフィ
ルタCF或いは配向膜OF1,OF2に形成された貫通
孔の形状と同一である。
LBの透明電極TE1上での形状を示し、図12は第2
回目以降に照射されるレーザ光LBの透明電極TE1上
での形状を示す。これらの形状は、レーザ光LBの横断
面(光軸に垂直な断面)形状と同一であり、カラーフィ
ルタCF或いは配向膜OF1,OF2に形成された貫通
孔の形状と同一である。
【0080】図11(a)、図11(b)、図11
(c)、図11(d)、図11(e)に示すように、第
1回目に照射されるレーザ光LBの断面形状は円形又は
方形であり、円形の場合は直径、方形の場合は最大径が
8μm乃至24μmに設定され、レーザ光LBのエネル
ギー密度は15J/cm2乃至50J/cm2である。
(c)、図11(d)、図11(e)に示すように、第
1回目に照射されるレーザ光LBの断面形状は円形又は
方形であり、円形の場合は直径、方形の場合は最大径が
8μm乃至24μmに設定され、レーザ光LBのエネル
ギー密度は15J/cm2乃至50J/cm2である。
【0081】図12(a)、図12(b)、図12
(c)、図12(d)に示すように、第2回目以降に照
射される複数のレーザ光LBの断面形状は円形又は方形
であり、円形の場合は直径、方形の場合は最大径が2μ
m乃至4μmに設定され、レーザ光LBのエネルギー密
度は25J/cm2乃至65J/cm2である。レーザ光
LBが照射される領域の幅は2μm乃至透明電極TE1
の幅であり、長さは2μm乃至透明電極TE1の長さで
ある。これらは、それぞれX及びY方向に一致する。全
体としてレーザ光LBのスポットは複数個形成される
が、これらのスポットは行列状に整列する。行数は1行
以上である。なお、図12(d)に示されるレーザ光L
Bのスポットのうち大径のものは、図11(c)に示し
たものである。
(c)、図12(d)に示すように、第2回目以降に照
射される複数のレーザ光LBの断面形状は円形又は方形
であり、円形の場合は直径、方形の場合は最大径が2μ
m乃至4μmに設定され、レーザ光LBのエネルギー密
度は25J/cm2乃至65J/cm2である。レーザ光
LBが照射される領域の幅は2μm乃至透明電極TE1
の幅であり、長さは2μm乃至透明電極TE1の長さで
ある。これらは、それぞれX及びY方向に一致する。全
体としてレーザ光LBのスポットは複数個形成される
が、これらのスポットは行列状に整列する。行数は1行
以上である。なお、図12(d)に示されるレーザ光L
Bのスポットのうち大径のものは、図11(c)に示し
たものである。
【0082】また、上記では気泡発生用レーザ光を1回
だけ照射したが、2回以上照射してもよい。
だけ照射したが、2回以上照射してもよい。
【0083】
【発明の効果】本発明の輝度欠陥修正方法によれば、輝
点欠陥を充分に修正することができる。
点欠陥を充分に修正することができる。
【図1】液晶表示器の平面図である。
【図2】図1に示した液晶表示器のII−II矢印縦断
面図である。
面図である。
【図3】図3は液晶表示器LCDを一部破断して示す液
晶表示器LCDの斜視図である。
晶表示器LCDの斜視図である。
【図4】図2に示したカラーフィルタCFにおける1つ
の着色樹脂(G)の1画素内の領域を、TFT基板に設
けられたスイッチング素子と共に抜き出して示す斜視図
である。
の着色樹脂(G)の1画素内の領域を、TFT基板に設
けられたスイッチング素子と共に抜き出して示す斜視図
である。
【図5】レーザ光照射時の液晶パネルLCPの部分断面
図である。
図である。
【図6】輝度欠陥の修正を行う欠陥修正装置のブロック
図である。
図である。
【図7】図6に示した欠陥修正装置の正面図である。
【図8】図6に示した欠陥修正装置の側面図である。
【図9】欠陥修正装置において行われる欠陥修正工程を
示すフローチャートである。
示すフローチャートである。
【図10】液晶表示器LCDの全体の検査・修正工程を
示すフローチャートである。
示すフローチャートである。
【図11】第1回目に照射されるレーザ光LBの透明電
極TE1上での形状を示す該当部位の平面図である。
極TE1上での形状を示す該当部位の平面図である。
【図12】第2回目以降に照射されるレーザ光LBの透
明電極TE1上での形状を示す該当部位の平面図であ
る。
明電極TE1上での形状を示す該当部位の平面図であ
る。
1…載置台、AT…減光器、BB…気泡、BL…バック
ライト、BM…遮光枠、BOX…整形箱、CCD…撮像
素子、CF…カラーフィルタ、CIR…駆動信号中継ユ
ニット、CONT…制御装置、DSP…表示器、TE1
…透明電極、FM…枠体、GS1,GS2…ガラス基
板、HM1,HM2…ハーフミラー、HM3…ハーフミ
ラー、IL…落射照明、L…白色光、LB…レーザ光、
LC…液晶層、LCD…液晶表示器、LCP…液晶パネ
ル、LNS…結像レンズ、LS…レーザ光源、MC…マ
スク交換器、MFM…金属枠、OBJ…結像レンズ、O
F1,OF2…配向膜、OP1…レーザ光学系、OPN
…開口、PD…光検出器、PFM…保護フィルム、PP
1,PP2…偏光板、RV…レボルバ、S…薄膜トラン
ジスタ、SLD…スライドレール、ST…シャッター、
STG…ステージ、TE2…透明電極。
ライト、BM…遮光枠、BOX…整形箱、CCD…撮像
素子、CF…カラーフィルタ、CIR…駆動信号中継ユ
ニット、CONT…制御装置、DSP…表示器、TE1
…透明電極、FM…枠体、GS1,GS2…ガラス基
板、HM1,HM2…ハーフミラー、HM3…ハーフミ
ラー、IL…落射照明、L…白色光、LB…レーザ光、
LC…液晶層、LCD…液晶表示器、LCP…液晶パネ
ル、LNS…結像レンズ、LS…レーザ光源、MC…マ
スク交換器、MFM…金属枠、OBJ…結像レンズ、O
F1,OF2…配向膜、OP1…レーザ光学系、OPN
…開口、PD…光検出器、PFM…保護フィルム、PP
1,PP2…偏光板、RV…レボルバ、S…薄膜トラン
ジスタ、SLD…スライドレール、ST…シャッター、
STG…ステージ、TE2…透明電極。
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フロントページの続き
(72)発明者 杉本 晴彦
静岡県浜松市市野町1126番地の1 浜松ホ
トニクス株式会社内
(72)発明者 栗田 典夫
静岡県浜松市市野町1126番地の1 浜松ホ
トニクス株式会社内
(72)発明者 久野 耕司
静岡県浜松市市野町1126番地の1 浜松ホ
トニクス株式会社内
Fターム(参考) 2H048 BA43 BB14 BB44
2H088 FA10 FA13 FA15 FA16 FA24
FA30 HA03 HA12 MA01 MA16
MA18
5C094 AA07 AA42 BA43 CA19 CA24
EA04 EA07 EB02 ED03 ED15
5G435 AA03 AA17 BB12 FF13 GG12
KK05 KK10
Claims (2)
- 【請求項1】 液晶層を挟む配向膜を有する液晶パネル
本体の画像表示側にカラーフィルタを設けてなる液晶パ
ネルにおける輝点欠陥の修正方法において、前記輝点欠
陥の位置を検出する第1工程と、検出された前記輝点欠
陥に前記画像表示側から、前記カラーフィルタに孔が開
くエネルギーを有するレーザ光を前記カラーフィルタに
照射し、前記レーザ光を前記配向膜に到達させる第2工
程とを備えることを特徴とする輝点欠陥の修正方法。 - 【請求項2】 前記第2工程において照射されたレーザ
光よりも大径のレーザ光を前記第2工程の前に前記カラ
ーフィルタに照射する工程を備えることを特徴とする請
求項1に記載の輝点欠陥の修正方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001211160A JP2003029226A (ja) | 2001-07-11 | 2001-07-11 | 輝点欠陥の修正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001211160A JP2003029226A (ja) | 2001-07-11 | 2001-07-11 | 輝点欠陥の修正方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003029226A true JP2003029226A (ja) | 2003-01-29 |
Family
ID=19046521
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001211160A Pending JP2003029226A (ja) | 2001-07-11 | 2001-07-11 | 輝点欠陥の修正方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2003029226A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007206550A (ja) * | 2006-02-03 | 2007-08-16 | Toshiba Corp | 液晶パネルの欠陥画素修正装置 |
-
2001
- 2001-07-11 JP JP2001211160A patent/JP2003029226A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007206550A (ja) * | 2006-02-03 | 2007-08-16 | Toshiba Corp | 液晶パネルの欠陥画素修正装置 |
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