JP2003023341A - Balanced operation type surface acoustic wave filter device - Google Patents

Balanced operation type surface acoustic wave filter device

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JP2003023341A
JP2003023341A JP2001209733A JP2001209733A JP2003023341A JP 2003023341 A JP2003023341 A JP 2003023341A JP 2001209733 A JP2001209733 A JP 2001209733A JP 2001209733 A JP2001209733 A JP 2001209733A JP 2003023341 A JP2003023341 A JP 2003023341A
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Japan
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comb
acoustic wave
surface acoustic
electrode group
balanced
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JP2001209733A
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Japanese (ja)
Inventor
Minoru Kawase
稔 川瀬
Masayoshi Etsuno
昌芳 越野
Yasuo Ehata
泰男 江畑
Koji Kanezaki
弘司 金崎
Naoki Akahori
直紀 赤堀
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a balance operation type surface acoustic wave(SAW) filter device with which the terminal resistance (nominal value) of an unbalanced terminal can be easily made equal with the terminal resistance (nominal value) of a balanced terminal. SOLUTION: This SAW filter device is composed of a first SAW element 1 provided with first comb-line electrode groups 24-26 while having an unbalanced terminal 21 and a pair of balanced terminals 22 and 23 and a second SAW element 2 provided with second comb-line electrode groups 27-29. The unbalanced terminal 21 is connected to one terminal 25b of serial electrode structures 25 and 28 serially connecting one part 25a of the first comb-line electrode groups and one part 28a of the second comb- line electrode groups. One balanced terminal 22 is connected to one terminal 24a+27a of parallel electrode structures 24 and 27 parallelly connecting a first other part 24 of the first comb-line electrode groups and a first other part 27 of the second comb-line electrode groups. The other balanced terminal 23 is connected to one terminal 26a+29a of parallel electrode structures 26 and 29 parallelly connecting a second other part 26 of the first comb-line electrode groups and a second other part 29 of the second comb-line electrode groups.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、例えば携帯電話
の受信用/送信用バンドパスフィルタに利用される、平
衡動作型弾性表面波フィルタ装置の改良に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an improvement of a balanced operation type surface acoustic wave filter device which is used, for example, in a reception / transmission bandpass filter of a mobile phone.

【0002】[0002]

【従来の技術】弾性表面波フィルタ装置(surface acou
stic wave filter device;SAWフィルタとも称され
る)は、圧電性基板に櫛歯状電極を形成することで構成
されている。この弾性表面波フィルタ装置は、受動素子
であるため電源がなくても動作でき、また小型・軽量で
あることから、電子部品の高密度実装が求められる携帯
電話などでよく用いられている。
2. Description of the Related Art Surface acoustic wave filter devices (surface acou
stic wave filter device; also referred to as SAW filter) is formed by forming comb-teeth electrodes on a piezoelectric substrate. Since this surface acoustic wave filter device is a passive element, it can operate without a power supply, and since it is small and lightweight, it is often used in mobile phones and the like that require high-density mounting of electronic components.

【0003】近年、携帯電話などで用いられる移動体通
信用の回路は、平衡動作回路を含むものが主流となりつ
つある。この場合、平衡動作回路の前段または後段に用
いられる弾性表面波フィルタ装置は、不平衡/平衡動作
型(不平衡入力/平衡出力型または平衡入力/不平衡出
力型)として構成される。このような回路では、入出力
の終端抵抗(公称終端インピーダンス)は様々であり、
およそ50Ω〜200Ωが望まれている。
In recent years, as a circuit for mobile communication used in a mobile phone or the like, one including a balanced operation circuit is becoming mainstream. In this case, the surface acoustic wave filter device used before or after the balanced operation circuit is configured as an unbalanced / balanced operation type (unbalanced input / balanced output type or balanced input / unbalanced output type). In such circuits, the input and output termination resistors (nominal termination impedance) are different,
About 50Ω to 200Ω is desired.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】従来より、不平衡入力
/平衡出力型の弾性表面波フィルタはよく知られてい
る。その例として、特開平09−326669号公報に
開示された弾性表面波フィルタがある。この公報の弾性
表面波フィルタでは、不平衡入力端子に接続される櫛歯
状電極の左右に1対の櫛歯状電極が配置され、この左右
1対櫛歯状電極から1対の平衡出力が取り出されるよう
になっている。このような従来構成において、例えば不
平衡入力側の櫛歯状電極の終端抵抗が50Ωに設計され
る場合、左右1対の櫛歯状電極の終端抵抗はそれぞれ1
00Ωとなり、平衡出力の終端抵抗は200Ωになって
しまう。このような構成の弾性表面波フィルタにおい
て、平衡出力の終端抵抗を不平衡入力の終端抵抗と同じ
50Ωとすることは、弾性表面波フィルタの設計上、容
易なことではない。
Conventionally, unbalanced input / balanced output type surface acoustic wave filters are well known. An example thereof is the surface acoustic wave filter disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 09-326669. In the surface acoustic wave filter of this publication, a pair of comb-teeth-shaped electrodes are arranged on the left and right of the comb-teeth-shaped electrode connected to the unbalanced input terminal, and a pair of balanced outputs is formed from the pair of left-right comb-teeth-shaped electrodes. It is designed to be taken out. In such a conventional configuration, for example, when the termination resistance of the comb-teeth-shaped electrodes on the unbalanced input side is designed to be 50Ω, the termination resistance of the pair of left and right comb-teeth-shaped electrodes is 1 respectively.
It becomes 00Ω, and the termination resistance of the balanced output becomes 200Ω. In the surface acoustic wave filter having such a configuration, it is not easy in designing the surface acoustic wave filter to set the balanced output termination resistance to 50Ω, which is the same as the unbalanced input termination resistance.

【0005】この発明は上記事情に鑑みなされたもの
で、その目的は、不平衡端子の終端抵抗と平衡端子の終
端抵抗とを同等にすることが容易な構成を持った、平衡
動作型弾性表面波フィルタ装置を提供することである。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a balanced operation type elastic surface having a structure in which the terminating resistance of an unbalanced terminal and the terminating resistance of a balanced terminal can be easily equalized. A wave filter device is provided.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明に係る平衡動作型弾性表面波フィルタ装置
は、圧電性基板(10)およびこの圧電性基板(10)
上に形成される複数の弾性表面波素子(1、2)を備
え、少なくとも1つの不平衡端子(21)と少なくとも
1対の一方および他方平衡端子(22、23)を含んで
構成される。この平衡動作型弾性表面波フィルタ装置
(100)において、前記複数の弾性表面波素子(1、
2)は少なくとも第1および第2の弾性表面波素子を含
み、前記第1の弾性表面波素子(1)は第1の櫛歯状電
極群(24〜26)を含み、前記第2の弾性表面波素子
(2)は第2の櫛歯状電極群(27〜29)を含んでい
る。
In order to achieve the above object, a balanced operation type surface acoustic wave filter device according to the present invention includes a piezoelectric substrate (10) and the piezoelectric substrate (10).
It comprises a plurality of surface acoustic wave elements (1, 2) formed on it and comprises at least one unbalanced terminal (21) and at least one pair of one and the other balanced terminal (22, 23). In this balanced operation type surface acoustic wave filter device (100), the plurality of surface acoustic wave elements (1,
2) includes at least first and second surface acoustic wave elements, the first surface acoustic wave element (1) includes a first comb tooth-shaped electrode group (24 to 26), and The surface acoustic wave element (2) includes a second comb tooth-shaped electrode group (27 to 29).

【0007】前記不平衡端子(21)は、前記第1の櫛
歯状電極群(24〜26)の一部(25a)と前記第2
の櫛歯状電極群(27〜29)の一部(28a)とを直
列接続した直列電極構造(25、28)の一端(25
b)に接続される。この直列電極構造(25、28)の
他端(28b)は、例えば接地される。
The unbalanced terminal (21) is connected to a part (25a) of the first comb-teeth electrode group (24 to 26) and the second unbalanced terminal (21).
One end (25) of the series electrode structure (25, 28) in which a part (28a) of the comb tooth-shaped electrode group (27 to 29) is connected in series.
b). The other end (28b) of the series electrode structure (25, 28) is grounded, for example.

【0008】前記一方平衡端子(22)は、前記第1の
櫛歯状電極群(24〜26)の第1他部(24)と前記
第2の櫛歯状電極群(27〜29)の第1他部(27)
とを並列接続した、一方の並列電極構造(24、27)
の一端(24a+27a)に接続される。この並列電極
構造(24、27)の他端(24b、27b)は、例え
ば接地される。
The one balanced terminal (22) is composed of the first other portion (24) of the first comb-teeth electrode group (24-26) and the second comb-teeth electrode group (27-29). The first other part (27)
One parallel electrode structure in which and are connected in parallel (24, 27)
Is connected to one end (24a + 27a). The other end (24b, 27b) of this parallel electrode structure (24, 27) is grounded, for example.

【0009】前記他方平衡端子(23)は、前記第1の
櫛歯状電極群(24〜26)の第2他部(26)と前記
第2の櫛歯状電極群(27〜29)の第2他部(29)
とを並列接続した、他方の並列電極構造(26、29)
の一端(26a+29a)に接続される。この並列電極
構造(26、29)の他端(26b、29b)は、例え
ば接地される。
The other balanced terminal (23) is connected to the second other portion (26) of the first comb-teeth electrode group (24-26) and the second comb-teeth electrode group (27-29). Second Other Department (29)
Another parallel electrode structure in which and are connected in parallel (26, 29)
Is connected to one end (26a + 29a). The other ends (26b, 29b) of the parallel electrode structure (26, 29) are grounded, for example.

【0010】以上の構成において、個々の櫛歯状電極
(またはインターデジタル変換器IDT)の入力終端抵
抗および出力終端抵抗がともに例えば50Ωであるとす
ると、前記直列電極構造(25、28)の一端(25
b)における終端抵抗(不平衡端子の終端抵抗)は50
Ω+50Ω=100Ωとなる。
In the above structure, assuming that the input termination resistance and the output termination resistance of each comb-teeth-shaped electrode (or interdigital converter IDT) are both 50Ω, for example, one end of the series electrode structure (25, 28). (25
The terminating resistance in b) (terminating resistance of unbalanced terminal) is 50.
Ω + 50Ω = 100Ω.

【0011】これに対し、前記一方の並列電極構造(2
4、27)の一端(24a+27a)における終端抵抗
は100Ω//100Ω=50Ωとなり、前記他方の並列
電極構造(26、29)の一端(26a+29a)にお
ける終端抵抗は100Ω//100Ω=50Ωとなる。こ
のため、前記一方の並列電極構造(24、27)の一端
(24a+27a)と前記他方の並列電極構造(26、
29)の一端(26a+29a)との間の終端抵抗(平
衡端子間の終端抵抗)は50Ω+50Ω=100Ωとな
って、上記不平衡端子の終端抵抗100Ωと同じとな
る。
On the other hand, the one parallel electrode structure (2
The terminating resistance at one end (24a + 27a) of 4, 27) is 100Ω // 100Ω = 50Ω, and the terminating resistance at one end (26a + 29a) of the other parallel electrode structure (26, 29) is 100Ω // 100Ω = 50Ω. Therefore, one end (24a + 27a) of the one parallel electrode structure (24, 27) and the other parallel electrode structure (26,
The termination resistance between one end (26a + 29a) of 29) (termination resistance between the balanced terminals) is 50Ω + 50Ω = 100Ω, which is the same as the termination resistance of the unbalanced terminal of 100Ω.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
の一実施の形態に係る平衡動作型弾性表面波フィルタ装
置を説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION A balanced operation type surface acoustic wave filter device according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0013】図1は、この発明の一実施の形態に係る平
衡動作型弾性表面波フィルタ装置100の構成を説明す
る図である。以下の説明において、弾性表面波フィルタ
を構成する櫛歯状電極(24〜29)を、適宜、インタ
ーデジタル変換器(略してIDT)と呼ぶことにする。
FIG. 1 is a diagram illustrating the configuration of a balanced operation type surface acoustic wave filter device 100 according to an embodiment of the present invention. In the following description, the comb-teeth-shaped electrodes (24 to 29) forming the surface acoustic wave filter will be appropriately referred to as interdigital converters (abbreviated IDTs).

【0014】図1の弾性表面波フィルタ装置100は、
圧電性基板10上に複数(ここでは2つ)の弾性表面波
素子1、2を備え、少なくとも1つの不平衡端子(信号
ポート)21と少なくとも1対の平衡端子(信号ポー
ト)22、23を含んで構成されている。この平衡動作
型弾性表面波フィルタ装置100において、圧電性基板
10は、例えば四ほう酸リチウムあるいはタンタル酸リ
チウムで作ることができる。この基板10上に、例えば
アルミニウム合金あるいは銅合金からなる櫛歯状電極2
4〜29が形成される。
The surface acoustic wave filter device 100 shown in FIG.
A plurality of (here, two) surface acoustic wave elements 1 and 2 are provided on the piezoelectric substrate 10, and at least one unbalanced terminal (signal port) 21 and at least one pair of balanced terminals (signal port) 22 and 23 are provided. It is configured to include. In this balanced operation type surface acoustic wave filter device 100, the piezoelectric substrate 10 can be made of, for example, lithium tetraborate or lithium tantalate. On this substrate 10, a comb-shaped electrode 2 made of, for example, an aluminum alloy or a copper alloy is formed.
4-29 are formed.

【0015】第1の弾性表面波素子1は第1の櫛歯状電
極群(24〜26)を含み、第2の弾性表面波素子2は
第2の櫛歯状電極群(27〜29)を含んでいる。この
実施の形態では、第1の櫛歯状電極群(24〜26)は
3つのIDT24〜26および2つの反射器12、13
で構成され、第2の櫛歯状電極群(27〜29)は3つ
のIDT27〜29および2つの反射器14、15で構
成され圧電性基板10の表面波伝搬方向に沿って列設さ
れている。また、素子1と素子2は、表面波伝搬方向に
略直交する方向に列設されている。
The first surface acoustic wave element 1 includes a first comb tooth-shaped electrode group (24 to 26), and the second surface acoustic wave element 2 includes a second comb tooth shaped electrode group (27 to 29). Is included. In this embodiment, the first comb tooth-shaped electrode group (24-26) includes three IDTs 24-26 and two reflectors 12, 13.
The second comb-teeth electrode group (27 to 29) is composed of three IDTs 27 to 29 and two reflectors 14 and 15 and is arranged in a row along the surface wave propagation direction of the piezoelectric substrate 10. There is. The elements 1 and 2 are arranged in a row in a direction substantially orthogonal to the surface wave propagation direction.

【0016】3列並んだIDTのペア(24〜26と2
7〜29)のうち、中央のIDT25および28は直列
接続されて不平衡端子21に接続される。すなわち、中
央IDT25の一端25aと中央IDT28の一端28
aとが接続され、中央IDT28の他端28bがグラウ
ンド回路に接地され、中央IDT25の他端25bが不
平衡端子21に接続される。この直列構成では、IDT
25およびIDT28それぞれの終端抵抗が50Ωであ
るとすれば、端子21の終端抵抗は50Ω+50Ω=1
00Ωとなる。
A pair of IDTs arranged in three rows (24 to 26 and 2)
7-29), the central IDTs 25 and 28 are connected in series and connected to the unbalanced terminal 21. That is, one end 25a of the central IDT 25 and one end 28 of the central IDT 28
a, the other end 28b of the central IDT 28 is grounded to the ground circuit, and the other end 25b of the central IDT 25 is connected to the unbalanced terminal 21. In this series configuration, the IDT
If the termination resistance of each of 25 and IDT 28 is 50Ω, the termination resistance of the terminal 21 is 50Ω + 50Ω = 1.
It becomes 00Ω.

【0017】3列並んだIDTのペア(24〜26と2
7〜29)のうち、左側のIDT24および27は並列
接続されて一方の平衡端子22に接続される。すなわ
ち、左側IDT24の一端24aと左側IDT27の一
端27aとがともに平衡端子22に接続され、左側ID
T24の他端24bおよび左側IDT27の他端27b
がともにグラウンド回路に接地される。つまり、IDT
24とIDT27は電気的に並列接続される。この並列
構成では、左側IDT24およびIDT27それぞれの
終端抵抗が100Ωであるとすれば、端子22の終端抵
抗は100Ω//100Ω=50Ωとなる。
A pair of IDTs arranged in three rows (24 to 26 and 2)
7-29), the left IDTs 24 and 27 are connected in parallel and connected to one of the balanced terminals 22. That is, one end 24a of the left IDT 24 and one end 27a of the left IDT 27 are both connected to the balanced terminal 22, and the left ID
The other end 24b of T24 and the other end 27b of the left IDT 27
Are both grounded to the ground circuit. That is, IDT
24 and the IDT 27 are electrically connected in parallel. In this parallel configuration, if the termination resistance of each of the left IDT 24 and the IDT 27 is 100Ω, the termination resistance of the terminal 22 is 100Ω // 100Ω = 50Ω.

【0018】3列並んだIDTのペア(24〜26と2
7〜29)のうち、右側のIDT26および29は並列
接続されて他方の平衡端子23に接続される。すなわ
ち、右側IDT26の一端26aと右側IDT29の一
端29aとがともに平衡端子23に接続され、右側ID
T26の他端26bおよび右側IDT29の他端29b
がともにグラウンド回路に接地される。つまり、IDT
26とIDT29は電気的に並列接続される。この並列
構成では、上記左側IDTの場合と同様に右側IDT2
6およびIDT29それぞれの終端抵抗が100Ωであ
るとすれば、端子23の終端抵抗は100Ω//100Ω
=50Ωとなる。
A pair of IDTs arranged in three rows (24 to 26 and 2)
7-29), the IDTs 26 and 29 on the right side are connected in parallel and connected to the other balanced terminal 23. That is, one end 26a of the right IDT 26 and one end 29a of the right IDT 29 are both connected to the balanced terminal 23, and the right ID
The other end 26b of T26 and the other end 29b of the right IDT 29
Are both grounded to the ground circuit. That is, IDT
26 and the IDT 29 are electrically connected in parallel. In this parallel configuration, the right IDT2 is the same as the left IDT described above.
6 and the IDT 29 each have a termination resistance of 100Ω, the termination resistance of the terminal 23 is 100Ω // 100Ω.
= 50Ω.

【0019】以上のような構成において、中央IDT2
5、28から左側IDT24、27に送られる弾性表面
波の位相と、中央IDT25、28から右側IDT2
6、29に送られる弾性表面波の位相とは逆になるの
で、一方の平衡端子22(終端抵抗50Ω)の信号位相
と他方の平衡端子23(終端抵抗50Ω)の信号位相と
は逆になる。すなわち、端子21の信号位相に対して、
端子22からは同相信号が得られ、端子23からは逆相
信号が得られる。このため、平衡端子22〜23を図示
しない回路インピーダンスが100Ωの平衡入力回路
(あるいは平衡出力回路)にそのまま接続できる。
In the above structure, the central IDT 2
5, 28 from the center IDTs 25 and 28 to the right side IDT2.
Since the phases of the surface acoustic waves sent to the sensors 6 and 29 are opposite to each other, the signal phase of the one balanced terminal 22 (termination resistance 50Ω) is opposite to the signal phase of the other balanced terminal 23 (termination resistance 50Ω). . That is, with respect to the signal phase of the terminal 21,
An in-phase signal is obtained from the terminal 22, and an opposite-phase signal is obtained from the terminal 23. Therefore, the balanced terminals 22 to 23 can be directly connected to a balanced input circuit (or a balanced output circuit) having a circuit impedance of 100Ω (not shown).

【0020】また、中央IDT25、28に接続された
不平衡端子21(終端抵抗100Ω)は、図示しない回
路インピーダンスが100Ωの不平衡出力回路(あるい
は不平衡入力回路)にそのまま接続できる。
Further, the unbalanced terminal 21 (terminating resistance 100Ω) connected to the central IDTs 25 and 28 can be directly connected to an unbalanced output circuit (or unbalanced input circuit) whose circuit impedance is not shown, and is 100Ω.

【0021】図1の実施の形態では、100Ω不平衡入
力(出力)および100Ω平衡出力(入力)を実現する
弾性表面波フィルタ装置100を例示したが、個々のI
DTの終端抵抗が25Ωとなるように設計すれば、50
Ω不平衡入力(出力)および50Ω平衡出力(入力)の
弾性表面波フィルタ装置100を得ることができる。
In the embodiment shown in FIG. 1, the surface acoustic wave filter device 100 that realizes the 100Ω unbalanced input (output) and the 100Ω balanced output (input) has been illustrated.
If the DT terminal resistance is designed to be 25Ω, 50
It is possible to obtain the surface acoustic wave filter device 100 having an Ω unbalanced input (output) and a 50 Ω balanced output (input).

【0022】なお、図1の反射器12〜15は中央ID
Tから左右IDTへの信号伝送ロスを減らす等のために
設けられており、不平衡端子の終端抵抗と平衡端子間の
終端抵抗を等しくするという趣旨からは、反射器12〜
15はなくてもよい。
The reflectors 12 to 15 shown in FIG.
It is provided in order to reduce the signal transmission loss from T to the left and right IDTs, etc. In order to equalize the terminating resistance of the unbalanced terminal and the terminating resistance between the balanced terminals, the reflectors 12 to
15 may be omitted.

【0023】図1の実施の形態のようなIDT配置で
は、不平衡入力(出力)から平衡出力(入力)までの構
造バランスが対称化されており、増幅度バランス/位相
バランスのいずれについても平衡度の良い平衡出力(入
力)を得易い構造となっている。
In the IDT arrangement as in the embodiment of FIG. 1, the structural balance from the unbalanced input (output) to the balanced output (input) is made symmetrical, and both the amplification degree balance and the phase balance are balanced. It has a structure that makes it easy to obtain balanced output (input) with good frequency.

【0024】図2は、この発明の他の実施の形態に係る
平衡動作型弾性表面波フィルタ装置100の構成を説明
する図である。図2の装置100は、平衡出力端子23
に繋がるIDT26、29の電極配置方向および端子2
3とIDT26、29との配線方法が図1の装置100
と異なる。図2ではIDT26、29の電極配置方法が
図1と上下逆であるが、端子23への配線方法もこの電
極上下逆転に対応して変更しているため、端子21の信
号位相と端子23の信号位相との関係は、図1の場合と
同じである。すなわち、端子21の信号位相に対して、
例えば端子22からは同相信号が得られ、端子23から
は逆相信号が得られる。
FIG. 2 is a diagram illustrating the configuration of a balanced operation type surface acoustic wave filter device 100 according to another embodiment of the present invention. The device 100 of FIG. 2 has a balanced output terminal 23.
Arrangement direction and terminals 2 of IDTs 26 and 29 connected to
3 and the IDTs 26 and 29 are wired in the device 100 of FIG.
Different from In FIG. 2, the electrode arrangement method of the IDTs 26 and 29 is upside down from that of FIG. 1, but the wiring method to the terminal 23 is also changed to correspond to this electrode upside down, so the signal phase of the terminal 21 and the terminal 23 The relationship with the signal phase is the same as in the case of FIG. That is, with respect to the signal phase of the terminal 21,
For example, the in-phase signal is obtained from the terminal 22, and the anti-phase signal is obtained from the terminal 23.

【0025】図1の場合と同じ終端抵抗のIDT24〜
29を用いた場合、図2の構成でも、100Ω不平衡入
力(出力)および100Ω平衡出力(入力)を実現する
弾性表面波フィルタ装置100が得られる。また、図2
の実施の形態のようなIDT配置でも、不平衡入力(出
力)から平衡出力(入力)までの構造バランスが対称化
されており、増幅度バランス/位相バランスのいずれに
ついても平衡度の良い平衡出力(入力)を得易い構造と
なっている。
The IDTs 24 to 24 having the same termination resistance as in the case of FIG.
When 29 is used, the surface acoustic wave filter device 100 realizing the 100Ω unbalanced input (output) and the 100Ω balanced output (input) can be obtained even with the configuration of FIG. Also, FIG.
Even in the IDT arrangement as in the embodiment of the present invention, the structural balance from the unbalanced input (output) to the balanced output (input) is symmetrical, and the balanced output with a good balanced degree for both the amplification degree balance and the phase balance. It has a structure that makes it easy to obtain (input).

【0026】なお、図2の構成では、一方の並列電極構
造(24、27)の一端(24a+27a)が第1の弾
性表面波素子1と第2の弾性表面波素子2とが向かい合
う場所に位置し、他方の並列電極構造(26、29)の
他端(26b+29b)が第1の弾性表面波素子1と第
2の弾性表面波素子2とが向かい合わない場所に位置す
るように構成されている。これを図1と比較すると、図
2の方が平衡端子23への配線引き回しが平衡端子22
への配線引き回しと異なるので、増幅度バランス/位相
バランスについては図2の方が図1よりも不利に見える
かも知れないが、実際は必ずしもそうとは言い切れな
い。例えば図2の基板10上の各端子21〜23が弾性
表面波フィルタ装置100のパッケージに設けられた外
部端子(図示せず)に接続される場合、この外部端子か
ら端子22、23への実際の配線引き回しパターンが端
子22と端子23とで異なることもあり得る。この「実
際の配線引き回しパターンの違いによる増幅度バランス
/位相バランスの僅かな崩れ」を考慮した場合、図1よ
りも図2の構造を採用する方が良い場合もあり得る。
In the structure shown in FIG. 2, one end (24a + 27a) of the one parallel electrode structure (24, 27) is located at a position where the first surface acoustic wave element 1 and the second surface acoustic wave element 2 face each other. However, the other end (26b + 29b) of the other parallel electrode structure (26, 29) is arranged so that the first surface acoustic wave element 1 and the second surface acoustic wave element 2 do not face each other. . Comparing this with FIG. 1, in FIG.
2 may look more disadvantageous than FIG. 1 with respect to the gain balance / phase balance because it is different from the routing of wiring to, but this is not always the case. For example, when each of the terminals 21 to 23 on the substrate 10 of FIG. 2 is connected to an external terminal (not shown) provided in the package of the surface acoustic wave filter device 100, an actual connection from the external terminal to the terminals 22 and 23 is performed. There is a possibility that the wiring routing pattern of the terminal 22 and the terminal 23 may be different. In consideration of this "slightly collapse of amplification degree balance / phase balance due to difference in actual wiring layout pattern", it may be better to adopt the structure of FIG. 2 than that of FIG.

【0027】図3は、この発明のさらに他の実施の形態
に係る平衡動作型弾性表面波フィルタ装置200の構成
を説明する図である。
FIG. 3 is a diagram for explaining the structure of a balanced operation type surface acoustic wave filter device 200 according to still another embodiment of the present invention.

【0028】図3の弾性表面波フィルタ装置200は、
圧電性基板10上に複数(ここでは2つ)の弾性表面波
素子3、4を備え、少なくとも1つの不平衡端子(信号
ポート)31と少なくとも1対の平衡端子(信号ポー
ト)32、33を含んで構成されている。この平衡動作
型弾性表面波フィルタ装置200において、圧電性基板
10は、図1または図2の実施の形態と同様に、四ほう
酸リチウムやタンタル酸リチウムなどで作ることができ
る。この基板10上に、アルミニウム合金や銅合金など
の櫛歯状電極34〜43が形成される。
The surface acoustic wave filter device 200 shown in FIG.
A plurality of (here, two) surface acoustic wave devices 3 and 4 are provided on the piezoelectric substrate 10, and at least one unbalanced terminal (signal port) 31 and at least one pair of balanced terminals (signal port) 32 and 33 are provided. It is configured to include. In this balanced operation type surface acoustic wave filter device 200, the piezoelectric substrate 10 can be made of lithium tetraborate, lithium tantalate, or the like, as in the embodiment of FIG. 1 or 2. Comb-shaped electrodes 34 to 43 made of an aluminum alloy or a copper alloy are formed on the substrate 10.

【0029】第1の弾性表面波素子3は第1の櫛歯状電
極群(34〜38)を含み、第2の弾性表面波素子4は
第2の櫛歯状電極群(39〜43)を含んでいる。この
実施の形態では、第1の櫛歯状電極群(34〜38)は
5つのIDT34〜38および2つの反射器16、17
で構成され、第2の櫛歯状電極群(39〜43)は5つ
のIDT39〜43および2つの反射器18、19で構
成されている。
The first surface acoustic wave element 3 includes a first comb tooth-shaped electrode group (34 to 38), and the second surface acoustic wave element 4 includes a second comb tooth shaped electrode group (39 to 43). Is included. In this embodiment, the first comb tooth-shaped electrode group (34 to 38) includes five IDTs 34 to 38 and two reflectors 16 and 17.
The second comb tooth-shaped electrode group (39 to 43) is composed of five IDTs 39 to 43 and two reflectors 18 and 19.

【0030】5列並んだIDTのペア(34〜38と3
9〜43)のうち、中央のIDT36および41は直列
接続されて不平衡端子31に接続され、左端のIDT3
4および39は直列接続されて不平衡端子31に接続さ
れ、右端のIDT38および43は直列接続されて不平
衡端子31に接続される。これら3つの直列接続IDT
(34+39;36+41;38+43)は並列接続さ
れ、その一端が不平衡端子31に接続され、その他端が
グラウンド回路に接地されることになる。
A pair of IDTs arranged in five rows (34 to 38 and 3)
9 to 43), the central IDTs 36 and 41 are connected in series and connected to the unbalanced terminal 31, and the leftmost IDT 3 is connected.
4 and 39 are connected in series and connected to the unbalanced terminal 31, and the right end IDTs 38 and 43 are connected in series and connected to the unbalanced terminal 31. These three serially connected IDTs
(34 + 39; 36 + 41; 38 + 43) are connected in parallel, one end of which is connected to the unbalanced terminal 31 and the other end is grounded to the ground circuit.

【0031】この直並列構成において、IDT36、4
1それぞれの終端抵抗が50Ωであり、IDT34、3
8、39、43それぞれの終端抵抗が100Ωであると
する。この場合、中央IDT36および41の終端抵抗
は50Ω+50Ω=100Ωとなり、右端IDT38お
よび43の終端抵抗は100Ω+100Ω=200Ωと
なり、左端IDT34および39の終端抵抗は100Ω
+100Ω=200Ωとなる。端子31での終端抵抗は
100Ωと200Ωと200Ωの並列抵抗値となるの
で、端子31の終端抵抗は50Ωとなる。
In this serial-parallel configuration, the IDTs 36, 4
1 Each terminating resistance is 50Ω, IDT34, 3
It is assumed that the terminating resistance of each of 8, 39 and 43 is 100Ω. In this case, the termination resistances of the central IDTs 36 and 41 are 50Ω + 50Ω = 100Ω, the termination resistances of the right end IDTs 38 and 43 are 100Ω + 100Ω = 200Ω, and the termination resistances of the left end IDTs 34 and 39 are 100Ω.
+ 100Ω = 200Ω. Since the termination resistance at the terminal 31 has parallel resistance values of 100Ω, 200Ω, and 200Ω, the termination resistance at the terminal 31 is 50Ω.

【0032】5列並んだIDTのペア(34〜38と3
9〜43)のうち、中央IDT36、41と左端のID
T34、39とで挟まれた左寄りのIDT35および4
0は並列接続されて一方の平衡端子32に接続される。
すなわち、IDT35の一端35aとIDT40の一端
40aとがともに平衡端子32に接続され、IDT35
の他端35bとIDT40の他端40bとがともにグラ
ウンド回路に接地される。つまり、IDT35とIDT
40は電気的に並列接続される。この並列構成では、I
DT35とIDT40それぞれの終端抵抗が50Ωであ
るとすれば、端子32の終端抵抗は50Ω//50Ω=2
5Ωとなる。
A pair of IDTs arranged in five rows (34 to 38 and 3)
9-43), the central IDTs 36 and 41 and the leftmost ID
IDT 35 and 4 on the left side sandwiched between T34 and 39
0s are connected in parallel and connected to one balanced terminal 32.
That is, one end 35a of the IDT 35 and one end 40a of the IDT 40 are both connected to the balanced terminal 32.
The other end 35b of the IDT 40 and the other end 40b of the IDT 40 are both grounded to the ground circuit. That is, IDT35 and IDT
40 is electrically connected in parallel. In this parallel configuration, I
If the termination resistance of each of DT35 and IDT40 is 50Ω, the termination resistance of the terminal 32 is 50Ω // 50Ω = 2.
It becomes 5Ω.

【0033】5列並んだIDTのペア(34〜38と3
9〜43)のうち、中央IDT36、41と右端のID
T38、43とで挟まれた右寄りのIDT37および4
2は並列接続されて他方の平衡端子33に接続される。
すなわち、IDT37の一端37aとIDT42の一端
42aとがともに平衡端子33に接続され、IDT37
の他端37bとIDT42の他端42bとがともにグラ
ウンド回路に接地される。つまり、IDT37とIDT
42は電気的に並列接続される。この並列構成では、I
DT37とIDT42それぞれの終端抵抗が50Ωであ
るとすれば、端子33の終端抵抗は50Ω//50Ω=2
5Ωとなる。
A pair of IDTs arranged in five rows (34 to 38 and 3)
9-43), the central IDTs 36 and 41 and the rightmost ID
IDT 37 and 4 on the right side sandwiched between T38 and T43
2 are connected in parallel and connected to the other balanced terminal 33.
That is, one end 37a of the IDT 37 and one end 42a of the IDT 42 are both connected to the balanced terminal 33.
The other end 37b of the IDT 42 and the other end 42b of the IDT 42 are both grounded to the ground circuit. That is, IDT37 and IDT
42 is electrically connected in parallel. In this parallel configuration, I
If the termination resistance of each of DT37 and IDT42 is 50Ω, the termination resistance of the terminal 33 is 50Ω // 50Ω = 2.
It becomes 5Ω.

【0034】図3の実施の形態では、不平衡端子31の
終端抵抗は50Ωであり、平衡端子32および平衡端子
33の終端抵抗はいずれも同じ25Ωとなっているた
め、平衡端子32と平衡端子33との間の終端抵抗は2
5Ω+25Ω=50Ωとなる。つまり、図3の実施の形
態でも、不平衡端子の終端抵抗(50Ω)と平衡端子間
の終端抵抗(50Ω)は同じとなる。
In the embodiment of FIG. 3, the terminating resistance of the unbalanced terminal 31 is 50Ω, and the terminating resistances of the balanced terminal 32 and the balanced terminal 33 are the same 25Ω, so that the balanced terminal 32 and the balanced terminal are Termination resistance between 33 and 2
5Ω + 25Ω = 50Ω. That is, also in the embodiment of FIG. 3, the terminating resistance (50Ω) of the unbalanced terminal and the terminating resistance (50Ω) between the balanced terminals are the same.

【0035】図3の実施の形態のようなIDT配置で
も、不平衡入力(出力)から平衡出力(入力)までの構
造バランスが対称化されており、増幅度バランス/位相
バランスのいずれについても平衡度の良い平衡出力(入
力)を得易い構造となっている。
Even in the IDT arrangement as in the embodiment of FIG. 3, the structural balance from the unbalanced input (output) to the balanced output (input) is symmetric, and both the amplification degree balance and the phase balance are balanced. It has a structure that makes it easy to obtain balanced output (input) with good frequency.

【0036】なお、この発明は上記各実施の形態に限定
されるものではなく、その実施の段階ではその要旨を逸
脱しない範囲で種々な変形・変更が可能である。また、
各実施の形態は可能な限り適宜組み合わせて実施されて
もよく、その場合組み合わせによる効果が得られる。
The present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications and changes can be made at the stage of carrying out the invention without departing from the spirit of the invention. Also,
The respective embodiments may be combined as appropriate as much as possible, and in that case, the effect of the combination can be obtained.

【0037】さらに、上記実施の形態には種々な段階の
発明が含まれており、この出願で開示される複数の構成
要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出
され得る。たとえば、実施の形態に示される全構成要件
から1または複数の構成要件が削除されても、この発明
の効果あるいはこの発明の実施に伴う効果のうち少なく
とも1つが得られるときは、この構成要件が削除された
構成が発明として抽出され得るものである。
Further, the embodiments include inventions at various stages, and various inventions can be extracted by appropriately combining a plurality of constituent elements disclosed in this application. For example, even if one or more constituent elements are deleted from all the constituent elements shown in the embodiment, if at least one of the effect of the present invention or the effect of implementing the present invention is obtained, the constituent element is The deleted configuration can be extracted as an invention.

【0038】[0038]

【発明の効果】以上述べたように、この発明の平衡動作
型弾性表面波フィルタ装置によれば、同様な構成のイン
ターデジタル変換器(櫛歯状電極)の複数の組み合わせ
によって、不平衡端子の終端抵抗と平衡端子間の終端抵
抗を同じにできる。
As described above, according to the balanced operation type surface acoustic wave filter device of the present invention, a plurality of combinations of interdigital converters (comb-shaped electrodes) having the same structure are used to realize the unbalanced terminals. The terminating resistance and the terminating resistance between the balanced terminals can be the same.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の一実施の形態に係る平衡動作型弾性
表面波フィルタ装置の構成を説明する図。
FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration of a balanced operation surface acoustic wave filter device according to an embodiment of the present invention.

【図2】この発明の他の実施の形態に係る平衡動作型弾
性表面波フィルタ装置の構成を説明する図。
FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration of a balanced operation surface acoustic wave filter device according to another embodiment of the present invention.

【図3】この発明のさらに他の実施の形態に係る平衡動
作型弾性表面波フィルタ装置の構成を説明する図。
FIG. 3 is a diagram illustrating a configuration of a balanced operation surface acoustic wave filter device according to still another embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…圧電性基板;1〜4…弾性表面波素子;24〜2
9、34〜43…櫛歯状電極(インターデジタル変換器
/IDT);21、31…不平衡端子;22、32…一
方の平衡端子;23、33…他方の平衡端子;100、
200…平衡動作型弾性表面波フィルタ装置。
10 ... Piezoelectric substrate; 1-4 ... Surface acoustic wave element; 24-2
9, 34 to 43 ... Comb-shaped electrodes (interdigital converter / IDT); 21, 31 ... Unbalanced terminals; 22, 32 ... One balanced terminal; 23, 33 ... Other balanced terminal; 100,
200 ... Balanced operation type surface acoustic wave filter device.

フロントページの続き (72)発明者 江畑 泰男 神奈川県横浜市磯子区新杉田町8番地 株 式会社東芝横浜事業所内 (72)発明者 金崎 弘司 神奈川県横浜市磯子区新杉田町8番地 株 式会社東芝横浜事業所内 (72)発明者 赤堀 直紀 神奈川県横浜市磯子区新杉田町8番地 株 式会社東芝横浜事業所内 Fターム(参考) 5J097 AA11 BB17 CC04 Continued front page    (72) Inventor Yasuo Ebata             8th Shinsugita Town, Isogo Ward, Yokohama City, Kanagawa Prefecture             Ceremony company Toshiba Yokohama office (72) Inventor Koji Kanazaki             8th Shinsugita Town, Isogo Ward, Yokohama City, Kanagawa Prefecture             Ceremony company Toshiba Yokohama office (72) Inventor Naoki Akahori             8th Shinsugita Town, Isogo Ward, Yokohama City, Kanagawa Prefecture             Ceremony company Toshiba Yokohama office F-term (reference) 5J097 AA11 BB17 CC04

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】圧電性基板およびこの圧電性基板上に形成
される複数の弾性表面波素子を備え、少なくとも1つの
不平衡端子と少なくとも1対の一方および他方平衡端子
を含んで構成される平衡動作型弾性表面波フィルタ装置
において、 前記複数の弾性表面波素子は少なくとも第1および第2
の弾性表面波素子を含み、前記第1の弾性表面波素子は
第1の櫛歯状電極群を含み、前記第2の弾性表面波素子
は第2の櫛歯状電極群を含み;前記不平衡端子は、前記
第1の櫛歯状電極群の一部と前記第2の櫛歯状電極群の
一部とを直列接続した直列電極構造の一端に接続され、 前記一方平衡端子は、前記第1の櫛歯状電極群の第1他
部と前記第2の櫛歯状電極群の第1他部とを並列接続し
た、一方の並列電極構造の一端に接続され、 前記他方平衡端子は、前記第1の櫛歯状電極群の第2他
部と前記第2の櫛歯状電極群の第2他部とを並列接続し
た、他方の並列電極構造の一端に接続されたことを特徴
とする平衡動作型弾性表面波フィルタ装置。
1. A balanced circuit comprising a piezoelectric substrate and a plurality of surface acoustic wave elements formed on the piezoelectric substrate, the balanced circuit including at least one unbalanced terminal and at least one pair of one and the other balanced terminal. In the operational surface acoustic wave filter device, the plurality of surface acoustic wave elements are at least first and second.
A surface acoustic wave element, the first surface acoustic wave element includes a first comb tooth-shaped electrode group, and the second surface acoustic wave element includes a second comb tooth-shaped electrode group; The balanced terminal is connected to one end of a series electrode structure in which a part of the first comb-shaped electrode group and a part of the second comb-shaped electrode group are connected in series, and the one balanced terminal is the The first other portion of the first comb-teeth electrode group and the first other portion of the second comb-teeth electrode group are connected in parallel and are connected to one end of one parallel electrode structure, and the other balanced terminal is , The second other portion of the first comb-teeth electrode group and the second other portion of the second comb-teeth electrode group are connected in parallel, and are connected to one end of the other parallel electrode structure. Balanced surface acoustic wave filter device.
【請求項2】圧電性基板およびこの圧電性基板上に形成
される複数の弾性表面波素子を備え、少なくとも1つの
不平衡端子と少なくとも1対の一方および他方平衡端子
を含んで構成される平衡動作型弾性表面波フィルタ装置
において、 前記複数の弾性表面波素子は少なくとも前記圧電性基板
の表面波主伝搬方向に略直交する方向に列設された第1
および第2の弾性表面波素子を含み、前記第1の弾性表
面波素子は前記圧電性基板の表面波主伝搬方向に沿って
列設された第1の櫛歯状電極群を含み、前記第2の弾性
表面波素子は前記圧電性基板の表面波主伝搬方向に沿っ
て列設された第2の櫛歯状電極群を含み;前記不平衡端
子は、前記第1の櫛歯状電極群の一部と前記第2の櫛歯
状電極群の一部とを直列接続した直列電極構造の一端に
接続され、 前記一方平衡端子は、前記第1の櫛歯状電極群の第1他
部と前記第2の櫛歯状電極群の第1他部とを並列接続し
た、一方の並列電極構造の一端に接続され、 前記他方平衡端子は、前記第1の櫛歯状電極群の第2他
部と前記第2の櫛歯状電極群の第2他部とを並列接続し
た、他方の並列電極構造の他端に接続され、 前記一方の並列電極構造の一端は前記第1の弾性表面波
素子と前記第2の弾性表面波素子とが向かい合う場所に
位置し、前記他方の並列電極構造の他端は前記第1の弾
性表面波素子と前記第2の弾性表面波素子とが向かい合
わない場所に位置するように構成したことを特徴とする
平衡動作型弾性表面波フィルタ装置。
2. A balance comprising a piezoelectric substrate and a plurality of surface acoustic wave elements formed on the piezoelectric substrate, the balance comprising at least one unbalanced terminal and at least one pair of one and the other balanced terminals. In the operation type surface acoustic wave filter device, the plurality of surface acoustic wave elements are arranged at least in a row in a direction substantially orthogonal to a main propagation direction of a surface wave of the piezoelectric substrate.
And a second surface acoustic wave element, wherein the first surface acoustic wave element includes a first comb tooth-shaped electrode group arranged in a row along the main propagation direction of the surface wave of the piezoelectric substrate. The surface acoustic wave device of No. 2 includes a second comb tooth-shaped electrode group arranged in a row along the main propagation direction of the surface wave of the piezoelectric substrate; and the unbalanced terminal is the first comb tooth-shaped electrode group. Is connected to one end of a series electrode structure in which a part of the first comb-shaped electrode group is connected in series, and the one balanced terminal is a first other part of the first comb-shaped electrode group. And a first other part of the second comb-teeth electrode group are connected in parallel, and are connected to one end of one parallel electrode structure, and the other balanced terminal is the second electrode of the first comb-teeth electrode group. The other part and the second other part of the second comb-shaped electrode group are connected in parallel, and are connected to the other end of the other parallel electrode structure. The end is located at a location where the first surface acoustic wave element and the second surface acoustic wave element face each other, and the other end of the other parallel electrode structure has the first surface acoustic wave element and the second surface acoustic wave element. A balanced operation type surface acoustic wave filter device, characterized in that it is arranged so as not to face the surface acoustic wave element.
【請求項3】圧電性基板およびこの圧電性基板上に形成
される複数の弾性表面波素子を備え、少なくとも1つの
不平衡端子と少なくとも1対の一方および他方平衡端子
を含んで構成される平衡動作型弾性表面波フィルタ装置
において、 前記複数の弾性表面波素子は少なくとも第1および第2
の弾性表面波素子を含み、前記第1の弾性表面波素子は
第1の櫛歯状電極群を含み、前記第2の弾性表面波素子
は、第2の櫛歯状電極群を含み;前記不平衡端子は、前
記第1の櫛歯状電極群の一部と前記第2の櫛歯状電極群
の一部とを直列接続した第1直列電極構造と、前記第1
の櫛歯状電極群の別の一部と前記第2の櫛歯状電極群の
別の一部とを直列接続した第2直列電極構造と、前記第
1の櫛歯状電極群の他の一部と前記第2の櫛歯状電極群
の他の一部とを直列接続した第3直列電極構造とを並列
接続した、直並列電極構造の一端に接続され、 前記一方平衡端子は、前記第1の櫛歯状電極群の第1他
部と前記第2の櫛歯状電極群の第1他部とを並列接続し
た、一方の並列電極構造の一端に接続され、 前記他方平衡端子は、前記第1の櫛歯状電極群の第2他
部と前記第2の櫛歯状電極群の第2他部とを並列接続し
た、他方の並列電極構造の一端に接続されているを特徴
とする平衡動作型弾性表面波フィルタ装置。
3. A balanced substrate comprising a piezoelectric substrate and a plurality of surface acoustic wave elements formed on the piezoelectric substrate, the balanced substrate including at least one unbalanced terminal and at least one pair of one and the other balanced terminal. In the operational surface acoustic wave filter device, the plurality of surface acoustic wave elements are at least first and second.
The surface acoustic wave element, the first surface acoustic wave element includes a first comb tooth-shaped electrode group, and the second surface acoustic wave element includes a second comb tooth-shaped electrode group; The unbalanced terminal has a first series electrode structure in which a part of the first comb-teeth electrode group and a part of the second comb-teeth electrode group are connected in series, and
Of the second comb-teeth electrode group and another part of the second comb-teeth electrode group connected in series, and another part of the first comb-teeth electrode group A part of the second comb-teeth-shaped electrode group and another part of the second comb-shaped electrode group connected in series to each other, and the third series electrode structure is connected in parallel. The first other portion of the first comb-teeth electrode group and the first other portion of the second comb-teeth electrode group are connected in parallel and are connected to one end of one parallel electrode structure, and the other balanced terminal is , The second other portion of the first comb-teeth electrode group and the second other portion of the second comb-teeth electrode group are connected in parallel, and are connected to one end of the other parallel electrode structure. Balanced surface acoustic wave filter device.
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