JP2003017662A - メモリセル、記憶回路ブロック及びデータの書き込み方法 - Google Patents

メモリセル、記憶回路ブロック及びデータの書き込み方法

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JP2003017662A
JP2003017662A JP2001193866A JP2001193866A JP2003017662A JP 2003017662 A JP2003017662 A JP 2003017662A JP 2001193866 A JP2001193866 A JP 2001193866A JP 2001193866 A JP2001193866 A JP 2001193866A JP 2003017662 A JP2003017662 A JP 2003017662A
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Hisatada Miyatake
久忠 宮武
Toshio Sunanaga
登志男 砂永
Tsuneji Kitamura
恒二 北村
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、書き込み電流を減少させることが
可能なメモリセル、記憶回路ブロック及びデータの書き
込み方法を提供することにある。 【解決手段】 本発明のメモリセル12は、記憶素子2
8を第1のビット・ライン14とで挟める位置に第2の
ビット・ライン15を設けるように構成した。第2のビ
ット・ライン15は、第1のビット・ライン14と少な
くとも記憶素子28付近で並行し、記憶素子28と非接
触である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はデータの書き込み時
にビット・ラインに流れる書き込み電流が低減でき、書
き込み回路の設計の自由度を増大させることができるメ
モリセル、記憶回路ブロック及びデータの書き込み方法
に関する。
【0002】
【従来の技術】図7に示すように、MRAM(Magnetic
Random Access Memory)などに使用される一般的な磁
性記憶回路ブロック40のメモリセル・アレー41は、
書き込みワード・ライン16とビット・ライン44がマ
トリックス状に構成されている。その交叉部にはデータ
を記憶する磁気記憶素子を含むメモリセル42を有す
る。また、ビット・ライン44の両端にはビット・ライ
ン44に書き込み電流を流すための書き込み回路32が
接続されている。このようにビット・ライン44の両端
に書き込み回路32を設けるのは、磁気記憶素子に書き
込むデータによって、ビット・ライン44に流れる書き
込み電流の向きを変えなければならないからである。な
お、図7に明示されているビット・ライン44、メモリ
セル42、書き込み回路32は、書き込み対象となって
いる同一カラムアドレスに属するものであり、従って、
これらのビット・ライン44にはそれぞれのデータに応
じた書き込み電流が流れる。記憶回路ブロック40は、
通常、他のカラムアドレスに属するメモリセル42、ビ
ット・ライン44なども含むが、書き込み対象でないカ
ラムアドレスのビット・ライン44には書き込み電流は
流れない。また、回路ブロック40は、読み出し動作に
使われるビットスイッチなども含むが、図7には示され
ていない。読み出し時には、通常、書き込み回路32
は、ビット・ライン44とは電気的に切り離されるよう
に制御される。
【0003】記憶回路ブロック40のメモリセル42の
例として、1KビットのMRAMチップと512ビット
のMRAMチップに使用され、今後も使用が見込まれる
典型的な1T(Transistor)1MTJ(Magnetic Tunne
l Junction)タイプのメモリセル42を図8に示す。M
TJ素子28は、少なくとも3層の薄いフィルム(磁化
の向きが固定された強磁性体の層である固定磁性層2
6、トンネル電流を通す絶縁層であるトンネルバリアー
24、外部からの磁界の向きによって磁化の向きが変化
する強磁性体の層である自由強磁性層22、ただし自由
強磁性層22と固定磁性層26の位置は逆でも良い)か
ら成るデータ不揮発性の記憶素子である。
【0004】MTJ素子28に電気的に接続されたビッ
ト・ライン44は、読み出し動作及び書き込み動作用の
ラインとして使用される。図中のMX,V2,M2,V
1,M1,CAで構成される第1の配線構造体17を介
して、MTJ素子28とMOSFET18のドレイン
(D)の拡散領域nとが接続されている。なお、MX,
M1及びM2は金属線層であり、V1,V2及びCAは
絶縁層に穴(ビア・ホール)を開け、その穴に導体を埋
め込んだものである。MOSFET18のゲートは読み
出しワード・ライン20になっており、読み出し動作時
に、この読み出しワード・ライン20に電圧が印加され
ることによって、MOSFET18がオンになる。この
ことによって、ビット・ライン44からアース31まで
の電流経路がMTJ素子28を介して形成される。
【0005】MTJ素子28の抵抗は、固定磁性層26
の磁化の向きに対する自由強磁性層22の磁化の向きに
よって決定され、MTJ素子28の抵抗に流れる読み出
し電流の値か、その抵抗と電流によって決定される電圧
値によって、MTJ素子28に記憶されたデータが読み
出される。例えば、固定磁性層26の磁化の向きに対す
る自由強磁性層22の磁化の向きが同じであれば「0」
であり、反対であれば「1」である。
【0006】書き込み動作では、書き込み電流は書き込
みワード・ライン16とビット・ライン44に流れる。
書き込みワード・ライン16とビット・ライン44の交
叉部にあるメモリセル42が選択される。2つの書き込
み電流によって2つの磁界が発生し、合成磁界によって
自由強磁性層22の磁化の向きが変化される。自由強磁
性層22の磁化の向きは、ビット・ライン44に流れる
書き込み電流の向きによって決定される。
【0007】書き込み動作用の磁界を生成するのに必要
な電流はかなり大きく、記憶回路ブロック40が使用さ
れるMRAMなどの大きな問題となっている。従来の記
憶回路ブロック40は、10ナノ秒のサイクルタイムと
2.5Vの電源電圧で書き込み動作した場合、40mW
程度の電力を消費する。言い換えれば、主に書き込みワ
ード・ライン16とビット・ライン44のために平均1
6mAの電流が消費されことになる。これに対し読み出
し動作では、上記と同じ記憶回路ブロック40が同じ条
件でわずか5mWしか必要としない。書き込み電流の実
際の持続期間は2.5ナノ秒である。従って、電流パル
スが書き込みワード・ライン16及びビット・ライン4
4用であると仮定した場合、実際の書き込み電流は約6
4mAである。
【0008】上述したように、記憶回路ブロック40で
はデータをメモリセル42に書き込むための電流は、自
由強磁性層22の磁化を切り換えるための磁界を生成す
るためにかなり大きいものである。書き込み動作時の電
力消費が大きいだけでなく、ピーク電流も非常に大きい
ので、回路を誤作動させ得る大きなノイズを発生させ
る。MRAM製品として実際に実装されることになるn
ビット長ワードのメモリ内の、複数ビットの書き込み動
作用の電流は、図7で示したような従来と同様の書き込
み回路の構造が採用された場合は、1ビットの書き込み
動作用の電流と比較してn倍に増大する。この大きな電
流の生み出す電力消費やノイズのため、MRAMのメモ
リ動作そのものが困難になる可能性がある。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、書き込み電
流を減少させることが可能であり、且つ書き込み回路の
設計の自由度が高いメモリセル、記憶回路ブロック及び
データの書き込み方法を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明のメモリセルの要
旨は、第1のビット・ラインと、該第1のビット・ライ
ンに接続され、少なくとも該第1のビット・ラインに流
れる電流によって生成される磁界の向きに応じて磁化の
向きが決定される強磁性体の層を含む記憶素子と、スイ
ッチング素子と、該第1のビット・ラインとで該記憶素
子を挟み、該記憶素子と該スイッチング素子とを接続す
る第1の配線構造体と、前記記憶素子を前記第1のビッ
ト・ラインとで挟める位置に設けた第2のビット・ライ
ンと、を含むことにある。
【0011】本発明の記憶回路ブロックの要旨は、上記
のメモリセルを複数有し、複数のメモリセルを縦横(2
次元)または一列に配置した記憶回路ブロックであっ
て、隣り合うメモリセル同士を該第1のビット・ライン
及び第2のビット・ラインで接続したことにある。第1
のビット・ライン及び/または第2のビット・ラインに
直接か、またはスイッチを介して書き込み回路を接続す
る。
【0012】メモリセルが2次元に配列された場合の記
憶回路ブロックは、同一カラムアドレスに属し、異なる
データビット(データ入出力線)に対応するビット・ラ
イン(第1のビット・ラインと第2のビット・ライン)
間/内で、それぞれのデータビットに対して選択された
メモリセルに書き込むデータに応じて、第1のビット・
ライン同士、第2のビット・ライン同士、または第1と
第2のビット・ラインを直列に接続するスイッチと、直
列接続されたビット・ラインに書き込み電流を流す書き
込み回路と、を含む。
【0013】メモリセルへのデータの書き込み方法の要
旨は、上記のメモリセルにおいて、記憶素子に書き込む
データの値に従って、書き込み電流を流す第1のビット
・ラインまたは第2のビット・ラインを選択するステッ
プと、選択された第1のビット・ラインまたは第2のビ
ット・ラインに書き込み電流を流すステップと、を含む
ことにある。更に、書き込み電流を流す向きを選択する
ステップを含むことも可能である。ただし、使用するビ
ット・ライン(第1のビット・ラインまたは第2のビッ
ト・ライン)とビット・ラインの書き込み電流の向き
は、一方を決めれば、他方は、書き込むべきデータによ
って自動的に決まる。
【0014】他のデータの書き込み方法の要旨は、上記
のメモリセルにおいて、記憶素子に書き込むデータに従
って、第1のビット・ラインと第2のビット・ラインに
流す書き込み電流の向きを決定するステップと、書き込
み電流の向きを決定するステップで決定された向きに書
き込み電流を流すステップと、を含むことにある。
【0015】また、記憶回路ブロックのデータの書き込
み方法の要旨は、記憶回路ブロックに上記のメモリセル
が含まれ、メモリセルに書き込むデータに従って第1の
ビット・ライン及び第2のビット・ラインを含んだ電流
経路を形成するステップと、形成された電流経路に書き
込み電流を流すステップと、を含む。更に、書き込み電
流を流す向きを選択するステップを含むことも可能であ
る。ただし、形成する電流経路とビット・ラインの書き
込み電流の向きは、一方を決めれば、他方は、書き込む
べきデータによって自動的に決まる。
【0016】記憶回路ブロックの他のデータ書き込み方
法の要旨は、同一カラムアドレスに属し、異なるデータ
ビットに対応するビット・ライン(第1のビット・ライ
ンと第2のビット・ライン)間/内で、それぞれのデー
タビットに対して選択されたメモリセルに書き込むデー
タに応じて、第1のビット・ラインどうし、第2のビッ
ト・ラインどうし、または第1と第2のビット・ライン
を直列に接続するステップと、直列接続されたビット・
ラインに書き込み電流を流すステップと、を含む。更
に、書き込み電流を流す向きを選択するステップを含む
ことも可能である。ただし、ビット・ラインの直列接続
の仕方と、ビット・ラインの書き込み電流の向きは、一
方を決めれば他方は自動的に決まる。
【0017】
【発明の実施の形態】本発明のメモリセル、記憶回路ブ
ロック及びデータの書き込み方法の実施の形態について
図面を用いて例示し、説明する。
【0018】図1に示すようにメモリセル12は、第1
のビット・ライン14と、第1のビット・ライン14に
接続され、磁界の向きに応じて磁化の向きが決定される
強磁性体の層を有する記憶素子28と、スイッチング素
子18と、スイッチング素子18と記憶素子28とを電
気的に接続する第1の配線構造体17を含む。記憶素子
は、第1のビット・ライン14と第1の配線構造体17
に挟まれるように配置されている。第1のビット・ライ
ン14は、図中のM3の金属線である。
【0019】メモリセル12は、第1のビット・ライン
14とで記憶素子28を挟める位置に第2のビット・ラ
イン15(図中MX2の金属線)を設けている。第2の
ビット・ライン15は、記憶素子28とは非接触であ
る。第1のビット・ライン14と第2のビット・ライン
15は、少なくとも記憶素子28の上下では並行してい
る。第1のビット・ライン14と第2のビット・ライン
15とに流れる書き込み電流を互いに逆向きにすること
によって、記憶素子28の位置での磁界の向きが同じに
なり、合成される。この合成された磁界を記憶素子28
にデータを書き込むのに使用することができる。また、
2本のビット・ラインの内、1本を選択的に使用するこ
とによって、書き込み電流の向きを自由に決めることも
できる。
【0020】図2のメモリセル12の上面図に示すよう
に、第1のビット・ライン14を構成する金属線層M3
の金属線と第2のビット・ライン15を構成する金属線
層MX2の金属線は、ほぼ同じ線幅である。第1の配線
構造体17は、図1のMX,V2,M2,V1,M1,
CAより構成されている。なお、MX,M2,M1は、
金属線層である。また、V2,V1,CAは、絶縁層に
穴(ビア・ホール)を開け、その穴に導体を埋め込んだ
ものである。CAは、スイッチング素子18と接触して
いる。第2のビット・ライン15とV2が接触しないよ
うにV2が配置され、例えば金属線層MXはL字型にな
っている。以上より、メモリセル12は複数の層が積層
された多層構造であり、層数を任意に変更することは可
能である。
【0021】本発明では記憶素子28として、例えばM
TJ素子28を使用する。MTJ素子28は、少なくと
も磁界の向きによって磁化の向きが変化する強磁性体の
層である自由強磁性層22、トンネル電流を流す絶縁体
の層であるトンネルバリアー24及び磁化の向きが固定
された強磁性体の層である固定磁性層26よりなる不揮
発性の記憶素子である。自由強磁性層22と固定磁性層
26は、図1の場合とは逆の配置にし、第1のビット・
ライン14と固定磁性層26が接続されても良い。
【0022】本発明ではスイッチング素子18として、
例えばMOSFETを使用するが、他のスイッチング素
子でも可能である。MOSFETのゲートは読み出しワ
ード・ライン20になっている。データの読み出し時に
読み出しワード・ライン20に電圧がかかることによっ
て、スイッチング素子18がオンになる。第1の配線構
造体17はMOSFETのドレイン(D)の拡散領域に
接続される。
【0023】スイッチング素子18とアース31は第2
の配線構造体13によって接続される。第2の配線構造
体13は、スイッチング素子18のソース(S)に接続
される。
【0024】メモリセル12のデータの読み出し方法
は、一般的なメモリセルと同様に、スイッチング素子1
8をオンにすることによってビット・ライン14から、
記憶素子28を通じてアース31に至る電流経路が形成
される。一般的なメモリセルと同様に、ビット・ライン
14を、ビット・ライン14に接続されたビットスイッ
チ(図示していない)を介してセンスアンプなどの読み
出し回路に接続することにより、読み出しが行われる。
【0025】メモリセル12へのデータの書き込み方法
は複数ある。どの方法も、書き込みワード・ライン16
に書き込み電流を流し、それによって発生する磁界を自
由強磁性層22の磁化の反転の補助とするのは共通であ
る。第1の書き込み方法では、メモリセル12に書き込
むデータに従って第1のビット・ライン14と第2のビ
ット・ライン15の書き込み電流の向きを選択し、その
選択に従って流す。第1のビット・ライン14と第2の
ビット・ライン15に流れる書き込み電流を互いに反対
向きにすることによって、MTJ素子28の位置では磁
界の向きが同じになり、磁界は強くなる。この磁界と書
き込みワード・ライン16に書き込み電流が流れて発生
した磁界とが合成され、この合成された磁界によって記
憶素子28にデータが書き込まれる。
【0026】第2の書き込み方法では、第1のビット・
ライン14と第2のビット・ライン15のどちらかを選
択し、選択したビット・ラインに書き込み電流を流し、
磁界を発生させる。書き込み電流の向きを選択すること
もできる。ただし、使用するビット・ライン(第1のビ
ット・ライン14または第2のビット・ライン15)と
ビット・ラインの書き込み電流の向きは、一方を決めれ
ば、他方は、書き込むべきデータによって自動的に決ま
る。この磁界が、書き込みワード・ライン16に流れた
書き込み電流によって発生した磁界と合成され、記憶素
子28にデータが書き込まれる。第1のビット・ライン
及び第2のビット・ラインに流れる書き込み電流の向き
が固定されている場合でも、ビット・ラインを選択する
ことによって「0」または「1」のデータを書き分ける
ことができる。
【0027】更に、第1または第2のビット・ライン1
4,15の選択と電流の向きの選択を組み合わせて、書
き込み方法の選択肢を増やすこともできる。上下にメモ
リセルを重ねる場合、一方のメモリセル12にデータを
書き込む際に、他方のメモリセル12から遠い方のビッ
ト・ラインを選択することによって、他方のメモリセル
12への漏れ磁界を減らすことが可能である。
【0028】どの書き込み方法でもビット・ラインに流
れる電流によって生成される磁界によって、MTJ素子
28の自由強磁性層22の磁化の向きが決まる。自由強
磁性層22と固定磁性層26の磁化の向きが同じであれ
ば「0」のデータ、異なれば「1」のデータである。
【0029】上述のメモリセル12を複数個有し、隣り
合うメモリセル12同士を第1のビット・ライン14及
び第2のビット・ライン15で接続することによって図
3乃至図6のメモリセル・アレー11a,11b,11
c,11dを含んだ記憶回路ブロック10が構成でき
る。なお、図3乃至図6では、同一カラムアドレスに属
するメモリセル12、ビット・ライン(第1のビット・
ライン14及び第2のビット・ライン15)、書き込み
回路32のみを明示しているが、通常、記憶回路ブロッ
クには、他のカラムアドレスに属するメモリセル12、
ビット・ライン、書き込み回路32なども含まれる。
【0030】カラムアドレスが同じメモリセル12同士
(図3乃至6では縦方向)は、第1のビット・ライン1
4及び第2のビット・ライン15で接続される。ワード
・ライン(書き込みワード・ライン16と読み出しワー
ド・ライン20)はロウ・アドレスが同じメモリセル1
2同士(図3乃至6では横方向)、隣り合うメモリセル
12を接続する。以上より、ビット・ライン(第1のビ
ット・ライン14と第2のビット・ライン15)とワー
ド・ライン(書き込みワード・ライン16と読み出しワ
ード・ライン20)はマトリックス状に構成され、その
交叉部にメモリセル12が配置されている。
【0031】図3乃至図6の記憶回路ブロック10は、
MRAM(Magnetic Random AccessMemory)やMRAM
を含んだチップに使用することができる。
【0032】図3に示す記憶回路ブロック10は、第1
のビット・ライン14と第2のビット・ライン15の端
部同士を接続して1本にすることによって、ビット・ラ
インの電流経路が環状に構成されている。この電流経路
の両端は書き込み電流を流す書き込み回路32に接続さ
れている。電流経路を環状にすることにより、第1のビ
ット・ライン14と第2のビット・ライン15は、互い
に反対向きに書き込み電流が流れる。例えば図1のメモ
リセル12において、第1のビット・ライン14を書き
込み電流が左から右に流れたとすると、第2のビット・
ライン15には同じ書き込み電流が右から左に流れる。
【0033】第1のビット・ライン14と第2のビット
・ライン15とで逆向きに電流が流れるが、図1に示す
ように、MTJ素子28を挟んで対向する位置にこの2
本のビット・ラインがあるため、MTJ素子28の位置
で発生する磁界の向きは同じになる。2本のビット・ラ
インによって発生する磁界の向きが同じであり、磁界の
強さは合成される。簡単のために、第1のビット・ライ
ン14と自由強磁性層22との距離は、第2のビット・
ライン15と自由強磁性層22との距離と等しいとする
と、第1のビット・ライン14及び第2のビット・ライ
ン15に流す書き込み電流は従来のMRAM40のビッ
ト・ライン44に流す書き込み電流Iの半分で良い。ま
た、第1のビット・ライン14と第2のビット・ライン
15が1本につながっているので、それぞれに書き込み
電流を流さなくても、どちらか一方に書き込み電流を流
せば、自動的に他方にも書き込み電流が流れる。
【0034】図3の記憶回路ブロック10を用いたデー
タの書き込み方法について説明する。複数本の書き込み
ワード・ライン16から1本の書き込みワード・ライン
16を選択し、書き込み電流IWLを流すことによっ
て、その書き込みワード・ライン16に属するメモリセ
ル12がデータの書き込みに選択される。
【0035】書き込み回路32は、MTJ素子28に書
き込むデータによって、第1のビット・ライン14から
第2のビット・ライン15に書き込み電流を流すか、第
2のビット・ライン15から第1のビット・ライン14
に書き込み電流を流すかを選択する。この選択に従っ
て、書き込みワード・ライン16に書き込み電流IWL
が流れると同時に、ビット・ラインに書き込み電流を流
す。書き込み電流が流れた書き込みワード・ラインとビ
ット・ラインとの交叉部にあるメモリセル12が選択さ
れ、データが書き込まれる。例えば、第1のビット・ラ
イン14から第2のビット・ライン15に書き込み電流
が流れると、自由強磁性層22の磁化の向きは固定磁気
層26の磁化の向きと逆向きになり、「1」のデータが
記憶される。また、反対に第2のビット・ライン15か
ら第1のビット・ライン14に書き込み電流が流れる
と、自由強磁性層22の磁化の向きは固定磁気層26の
磁化の向きと同向きになり、「0」のデータが記憶され
る。
【0036】書き込み電流はパルス性の電流であり、電
流の時間変化が起こる際にノイズが発生するが、この書
き込み電流が変化する際の電流の時間変化(dI/d
t)も半分程度に減り、ノイズ・レベルも半分程度に減
少する。
【0037】従来のMRAM40のビット・ライン44
の抵抗値をR、書き込み電流の値をIとすると電力消費
はIRで表される。本発明においても同じように第1
のビット・ライン14及び第2のビット・ライン15の
抵抗をそれぞれRとすると、2本のビット・ラインによ
ってRは2倍に増加するが、電流Iは半分に減少してい
るため、電力消費は半分に減少する。
【0038】図4に示す記憶回路ブロック10は、隣り
合う第1のビット・ライン14同士、第2のビット・ラ
イン15同士、または第1のビット・ライン14と第2
のビット・ライン15とが、スイッチ34a,34b,
34cによって接続された構成である。ここでスイッチ
34a,34b,34cを介して接続するビット・ライ
ンは、例えば、同じカラムアドレスに属し、異なるデー
タビットに対応するビット・ラインである。1本の電流
経路を構成するために、一番端にあり、スイッチ34c
に接続されていない第1のビット・ライン14と第2の
ビット・ライン15の一端同士を接続する。また、他端
にある第1のビット・ライン14と第2のビット・ライ
ン15のそれぞれの一端は、書き込み回路32に接続さ
れる。言い換えると、スイッチ34a,34b,34c
によって、第1のビット・ライン14同士、第2のビッ
ト・ライン15同士、または第1のビット・ライン14
と第2のビット・ライン15が接続された電流経路を2
本形成し、その2本の電流経路の一端同士を接続し、他
端を書き込み回路32に接続し、1本の電流経路を形成
している。なお、スイッチ34a,34b,34cはM
OSFETなどで構成できる。
【0039】データの書き込み方法について説明する。
書き込みワード・ライン16に書き込み電流を流すこと
によって、その書き込みワード・ライン16に属するメ
モリセル12が、データ書き込みに選択される。書き込
むデータに従って、各スイッチ34a,34b,34c
が接続される第1のビット・ライン14または第2のビ
ット・ラインが選択され、電流経路が形成される。ま
た、第1のビット・ライン14と第2のビット・ライン
15に流す書き込み電流の向きが決定される。書き込み
電流の向きは、メモリセル12に書き込むデータの値に
よって決定される。例えば、図4において、第1のビッ
ト・ライン14の上方から下方に書き込み電流が流れる
と「1」のデータが書き込まれ、反対ならば「0」のデ
ータが書き込まれる。当然、第2のビット・ライン15
に流れる書き込み電流は、第1のビット・ライン14に
流れる書き込み電流とは反対向きである。
【0040】図7に示した従来の記憶回路ブロック40
では、1ビットのデータを書き込むのにビット・ライン
44に流す書き込み電流がIである場合、nビットのデ
ータを同時に書き込むと、合計でn×Iの書き込み電流
が必要になる。図4の記憶回路ブロック10は、2本の
ビット・ラインが環状になっており、簡単のために、第
1のビット・ラインと自由強磁性層22との距離は第2
のビット・ラインと自由強磁性層22との距離と等しい
とすると、nビットのデータを同時に書き込んだとして
も合計の書き込み電流はI/2である。従って、書き込
み電流は、基本的にn×IからI/2に減少し、消費電
力も1/2に削減される。また、書き込み電流が1/
(2n)になったことによって、図3の記憶回路ブロッ
ク10と同様に、ノイズもほぼ1/(2n)に低減す
る。また、書き込み回路の個数も1/(2n)に減り、
チップ面積が小さくなる。
【0041】また、図4では2本の電流経路の一端同士
を接続したが、反対にそれらを接続せず、2本の電流経
路の両端にそれぞれ書き込み回路32を接続することも
できる。選択されたメモリセル12に書き込むデータに
応じて書き込み電流が流れる向きを選択する。詳しく述
べると、2本の電流経路に互いに逆向きの書き込み電流
を流すように2つの書き込み回路32を制御する。この
場合は、それぞれの書き込み電流の大きさを独立に制御
できる。あるいは、選択されたメモリセル12に書き込
むデータに応じて、2本の電流経路の内の1本と書き込
み電流の向きを選択して書き込み電流を流すように2つ
の書き込み回路32を制御しても良い。
【0042】図5に示す記憶回路ブロック10は、第1
のビット・ライン14と第2のビット・ライン15がそ
れぞれ一端で接続されて1本のビット・ラインが構成さ
れる。更に隣り合うこの1本のビット・ライン同士をス
イッチ36b、36c、36d,によって直列に接続し
た構成にすることによって、1本の電流経路が形成され
ている。これらスイッチで接続されるビット・ライン
は、例えば、同じカラムアドレスに属し、異なるデータ
ビットに対応するビット・ラインである。この1本の電
流経路の両端は、他のスイッチ36a,36eを介して
書き込み回路32に接続される。スイッチ36a,36
eは、書き込み回路32に含めても良い。スイッチ36
a,36b、36c、36d,36eは、MOSFET
で構成できる。
【0043】データの書き込み方法について説明する。
図3や図4の記憶回路ブロック10と同様に、書き込み
ワード・ライン16に書き込み電流を流すことによっ
て、その書き込みワード・ライン16に属するメモリセ
ル12がデータの書き込みに選択される。メモリセル1
2に書き込むデータに従って、各スイッチ36a,36
b、36c、36d,36eの選択が行われ、1本の電
流経路が形成される。また、書き込み電流が流れる向き
も決定される。書き込み回路32を始点と終点にした環
状の電流経路が形成されたため、この電流経路に書き込
み電流を流すことによってメモリセル12にデータが書
き込まれる。例えば、図5において、第1のビット・ラ
イン14から第2のビット・ライン15に書き込み電流
が流れた場合、メモリセル12に「1」のデータが書き
込まれる。一方、第2のビット・ライン15から第1の
ビット・ライン14に書き込み電流が流れた場合、メモ
リセル12に「0」のデータが書き込まれる。
【0044】図5の記憶回路ブロック10も、図4に示
した記憶回路ブロック10と同様に、合計の書き込み電
流はI/2である。従って、従来の記憶回路ブロック4
0と比較して、消費電力が削減される。また、書き込み
電流の低減により、図4の記憶回路ブロック10と同様
にノイズの低減に大いに貢献する。書き込み回路32の
個数も少なくなり、チップ面積が小さくなる。
【0045】図6に示す記憶回路ブロック10は、隣り
合う第1のビット・ライン14同士、第2のビット・ラ
イン15同士、または第1のビット・ライン14と第2
のビット・ライン15とが、第1のスイッチ38b,3
8c,38dによって直列接続され1本の電流経路が形
成された構成になっている。第1のスイッチで接続され
るビット・ラインは、例えば、同じカラムアドレスに属
し、異なるデータビットに対応するビット・ラインであ
る。その電流経路の一端は、第2のスイッチ38aが接
続され、第2のスイッチ38aは書き込み回路32に接
続されている。また、他端は第3のスイッチ38eが接
続され、第3のスイッチ38eは書き込み回路32に対
応した動作をする回路に接続されている。書き込み回路
32に対応した動作をする回路は、例えばアース33で
ある。スイッチ38a,38b,38c,38d,38
eはMOSFETで構成できる。また、スイッチ38
a,38eは、それぞれ書き込み回路32とそれに対応
した動作をする回路に含めても良い。
【0046】データの書き込み方法について説明する。
書き込みワード・ライン16に書き込み電流が流れるこ
とによって、その書き込みワード・ライン16に属する
メモリセル12が、データの書き込みを行うメモリセル
12として選択される。スイッチ38a,38b,38
c,38d,38eは、メモリセル12に書き込むデー
タによって第1のビット・ライン14に接続するか第2
のビット・ライン15に接続するかを選択し、電流経路
を形成する。スイッチ38a,38b,38c,38
d,38eによって接続されたビット・ラインには書き
込み電流が流れる。例えば、第1のビット・ライン14
に書き込み電流が流れる場合、図中の上方から下方へ書
き込み電流が流れれば、「1」のデータが書き込まれ、
下方から上方に書き込み電流が流れれば、「0」のデー
タが書き込まれる。また、第2のビット・ライン15に
書き込み電流が流れる場合、図中の上方から下方へ書き
込み電流が流れれば、「0」のデータが書き込まれ、下
方から上方に書き込み電流が流れれば、「1」のデータ
が書き込まれる。形成された電流経路に流す書き込み電
流の向きを選択することもできる。ただし、使用するビ
ット・ライン(第1のビット・ライン14または第2の
ビット・ライン15)とビット・ラインの書き込み電流
の向きは、一方を決めれば、他方は、書き込むべきデー
タによって自動的に決まる。
【0047】上記のように従来の記憶回路ブロック40
では、nビット長のデータの書き込みにおいて、書き込
み電流はn×Iであったが、図6の記憶回路ブロック1
0であれば、書き込み電流はIである。従って、書き込
み電流がn分の1に減少され、ノイズ・レベルもほぼn
分の1に減少する。書き込み回路32の個数も減り、チ
ップ面積が小さくなる。
【0048】図3乃至6のメモリセル・アレー11a,
11b,11c,11d中のメモリセル12からデータ
を読み出す方法は、一般的なメモリセル・アレーと同
様、読み出し対象のメモリセル12が接続されている読
み出しワード・ライン20をオンにし、記憶素子28に
電気的に接続されたビット・ライン14を、選択された
ビットスイッチ(図示していない)を介して、センスア
ンプなどの読み出し回路に接続する。ビット・ライン同
士を接続するスイッチ34aなどは開放状態にする。書
き込み回路32も一般的なメモリセル・アレーと同様
に、図5などに示されたスイッチ36aか書き込み回路
32自体の内部制御によって、ビット・ライン14,1
5から電気的に切り離す。
【0049】メモリセル12の構造は、第1のビット・
ライン14と第2のビット・ライン15がMTJ素子2
8を挟む構造であれば、図1の構造に限定されない。例
えば、MX2層の金属線を第1のビット・ライン14に
し、M3層の金属線を第2のビット・ライン15にし、
MX層の金属線とMX2層の金属線を接続するようにM
TJ素子28を配置する。別の例としては、第2のビッ
ト・ライン15に流れる電流によって生成される磁界
が、第1のビット・ライン14に流れる電流によって生
成される磁界ほど強くなくてよい場合には、書き込みワ
ード・ライン16は、第2のビット・ライン15の上方
にあってもよい。さらに別の例としては、MTJ素子2
8の自由強磁性層22と固定磁気層26が逆の位置であ
ってもよい。
【0050】以上のように、本発明のメモリセル12及
びこのメモリセル12を使用した記憶回路ブロック10
は、書き込み電流用に、第1のビット・ライン14と並
行するように、第2のビット・ライン15を設けた。第
2のビット・ライン15に流れる書き込み電流が、第1
のビット・ライン14に流れる書き込み電流とは逆の向
きに同時に流れるようにすることができる。その場合、
第2のビット・ライン15に流れる書き込み電流によっ
て生成された磁界は、第1のビット・ライン14に流れ
る電流によって生成された磁界と同じ向きにある。従っ
て、第1のビット・ライン14と第2のビット・ライン
15とに流れる書き込み電流によって生成された磁界は
合成され、大きな磁界になる。第1のビット・ライン1
4と第2のビット・ライン15とに逆向きの電流を流す
ことによって、書き込み電流を減少することができる。
【0051】また、メモリセル12にデータを書き込む
際、(1)第1のビット・ライン14と第2のビット・
ライン15とに互いに反対向きの書き込み電流を流す方
法、(2)書き込み電流を流すビット・ラインを選択す
る方法、(3)書き込み電流を流すビット・ラインを選
択し、且つ書き込み電流を流す向きを選択する方法があ
り、書き込み回路32の設計の自由度が高い。また、上
下にメモリセル12を重ねる場合、書き込み電流を流す
ビット・ラインの選択によって、互いのメモリセル12
への漏れ磁界を減らすことができる。
【0052】第1のビット・ライン14と第2のビット
・ライン15のペアをスイッチによって接続することに
よって、書き込み回路32の設計や配置の自由度が増
す。また複数ビット長のデータを有する記憶回路ブロッ
ク内の書き込み電流を減少させ、書き込み回路の個数を
少なくするのに使用することもできる。書き込み電流の
低減によって、書き込み回路及び電源回路の小型化が可
能になり、記憶回路ブロックの小型化、外部電源の小型
化、省電力化に寄与する。
【0053】また、上記に示したメモリセル12の概念
は、GMR(giant magnetoresistive)膜を記憶素子と
して使用したメモリセルなどに適用することができる。
【0054】以上、本発明のメモリセル、記憶回路ブロ
ック及びデータの書き込み方法について説明したが、本
発明はこれらに限定されるものではない。例えば、図3
の記憶回路ブロック10のメモリセル・アレー11aは
第1のビット・ライン14と第2のビット・ライン15
を1本に接続したが、接続せずに、第1のビット・ライ
ン14と第2のビット・ライン15の両端に従来の記憶
回路ブロック40のように書き込み回路32を設けるこ
とも可能である。各ビット・ラインには、I/2の書き
込み電流が、互いに反対向きに流れるように制御する。
または、各ビット・ラインに流れる電流をビット・ライ
ンと記憶素子との距離に応じて、独立に制御しても良
い。
【0055】メモリセル12は、図3などの2次元のア
レイ構造を有するメモリセル・アレー11aに使用する
だけでなく、メモリセル12を1次元に配列し、ロジッ
クLSIの1次元配列の記憶回路ブロック、例えば8ビ
ットのレジスタなどにも使用することができる。
【0056】その他、本発明はその趣旨を逸脱しない範
囲で当業者の知識に基づき種々なる改良,修正,変形を
加えた態様で実施できるものである。
【0057】
【発明の効果】本発明によって、メモリセルへのデータ
の書き込み電流の低減が可能になり、書き込み回路の設
計の自由度が大きくなった。また、書き込み電流の低減
によって、ノイズ・レベルの低下もできる。書き込み回
路の減少、小型化、電源回路の小型化にもなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のメモリセルの側面図である。
【図2】メモリセルの上面図である。
【図3】本発明の記憶回路ブロックの書き込みに関わる
回路構成を示す図である。
【図4】nビット長のデータを同時に書き込む場合の記
憶回路ブロックの書き込みに関わる回路構成を示した図
である。
【図5】nビット長のデータを同時に書き込む場合の他
の記憶回路ブロックの書き込みに関わる回路構成を示し
た図である。
【図6】nビット長のデータを同時に書き込む場合の他
の記憶回路ブロックの書き込みに関わる回路構成を示し
た図である。
【図7】従来の記憶回路ブロックの書き込みに関わる回
路構成を示す図である。
【図8】従来技術のメモリセルの側面図である。
【符号の説明】
10,40:記憶回路ブロック 11a,11b,11c,11d,41:メモリセル・
アレー 12,42:メモリセル 13:第2の配線構造体 14:第1のビット・ライン 15:第2のビット・ライン 16:書き込みワード・ライン 17:第1の配線構造体 18:スイッチング素子(MOSFET) 20:読み出しワード・ライン(ゲート) 22:自由強磁性層 24:トンネルバリアー 26:固定磁性層 28:記憶素子(MTJ素子) 30:絶縁領域 31,33:アース 32:書き込み回路 34a,34b,34c,36a,36b,36c,3
6d,36e:スイッチ 38b,38c,38d:第1のスイッチ 38a:第2のスイッチ 38e:第3のスイッチ 44:ビット・ライン
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 宮武 久忠 滋賀県野洲郡野洲町大字市三宅800番地 日本アイ・ビー・エム株式会社 野洲事業 所内 (72)発明者 砂永 登志男 滋賀県野洲郡野洲町大字市三宅800番地 日本アイ・ビー・エム株式会社 野洲事業 所内 (72)発明者 北村 恒二 滋賀県野洲郡野洲町大字市三宅800番地 日本アイ・ビー・エム株式会社 野洲事業 所内 Fターム(参考) 5F083 FZ10 GA05 LA12

Claims (27)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1のビット・ラインと、該第1のビッ
    ト・ラインに接続され、少なくとも該第1のビット・ラ
    インに流れる電流によって生成される磁界の向きに応じ
    て磁化の向きが決定される強磁性体の層を含む記憶素子
    と、スイッチング素子と、該第1のビット・ラインとで
    該記憶素子を挟み、該記憶素子と該スイッチング素子と
    を接続する第1の配線構造体と、前記記憶素子を前記第
    1のビット・ラインとで挟める位置に設けた第2のビッ
    ト・ラインと、を含むメモリセル。
  2. 【請求項2】 前記第2のビット・ラインと前記記憶素
    子が非接触である請求項1に記載のメモリセル。
  3. 【請求項3】 前記第1のビット・ラインと前記第2の
    ビット・ラインとが、少なくとも前記記憶素子付近で並
    行する請求項1または2に記載のメモリセル。
  4. 【請求項4】 前記記憶素子がMTJ(Magnetic Tunne
    l Junction)素子である請求項1乃至3に記載のメモリ
    セル。
  5. 【請求項5】 前記スイッチング素子がMOSFETで
    ある請求項1乃至4に記載のメモリセル。
  6. 【請求項6】 請求項1乃至5に記載のメモリセルを複
    数個含む記憶回路ブロックであって、隣り合う前記メモ
    リセルの前記第1のビット・ライン同士及び前記第2の
    ビット・ライン同士を接続した記憶回路ブロック。
  7. 【請求項7】 前記第1のビット・ラインの一端と前記
    第2のビット・ラインの一端とを接続した請求項6に記
    載の記憶回路ブロック。
  8. 【請求項8】 前記第1のビット・ラインの他端と前記
    第2のビット・ラインの他端とに接続された書き込み回
    路を含む請求項7に記載の記憶回路ブロック。
  9. 【請求項9】 同一カラムアドレスに属する前記第1の
    ビット・ラインの他端同士、前記第2のビット・ライン
    の他端同士、または前記第1のビット・ラインの他端と
    前記第2のビット・ラインの他端を接続するスイッチ
    と、前記スイッチによって同一カラムアドレスに属する
    該第1のビット・ラインの他端同士、該第2のビット・
    ライン他端同士、または該第1のビット・ラインの他端
    と該第2のビット・ラインの他端とが直列接続されて形
    成された電流経路と、前記電流経路の両端に接続された
    書き込み回路と、を含む請求項7に記載の記憶回路ブロ
    ック。
  10. 【請求項10】 前記スイッチがMOSFETである請
    求項9に記載の記憶回路ブロック。
  11. 【請求項11】 同一カラムアドレスに属する前記第1
    のビット・ライン同士、前記第2のビット・ライン同
    士、または前記第1のビット・ラインと前記第2のビッ
    ト・ラインを直列接続するスイッチと、前記スイッチに
    よって、同一カラムアドレスに属する前記第1のビット
    ・ライン同士、前記第2のビット・ライン同士、または
    前記第1のビット・ラインと前記第2のビット・ライン
    とが直列接続されて形成された2本の電流経路と、を含
    む請求項6に記載の記憶回路ブロック。
  12. 【請求項12】 前記2本の電流経路の一端同士を接続
    し、該2本の電流経路の他端に接続された書き込み回路
    を含む請求項11に記載の記憶回路ブロック。
  13. 【請求項13】 前記スイッチがMOSFETである請
    求項11または12に記載の記憶回路ブロック。
  14. 【請求項14】 同一カラムアドレスに属する前記第1
    のビット・ライン同士、前記第2のビット・ライン同
    士、または前記第1のビット・ラインと前記第2のビッ
    ト・ラインを直列接続する第1のスイッチと、前記第1
    のスイッチによって、同一カラムアドレスに属する前記
    第1のビット・ライン同士、前記第2のビット・ライン
    同士、または前記第1のビット・ラインと前記第2のビ
    ット・ラインとが直列接続されて形成された1本の電流
    経路と、前記電流経路に書き込み電流を流すための書き
    込み回路と、前記書き込み回路と対応して動作する回路
    と、前記1本の電流経路の一端と前記書き込み回路とを
    接続する第2のスイッチと、前記1本の電流経路の他端
    と前記書き込み回路と対応して動作する回路とを接続す
    る第3のスイッチと、を含む請求項6に記載の記憶回路
    ブロック。
  15. 【請求項15】 前記書き込み回路と対応して動作する
    回路がアースである請求項14に記載の記憶回路ブロッ
    ク。
  16. 【請求項16】 前記第1のスイッチ、第2のスイッチ
    及び第3のスイッチがMOSFETである請求項14ま
    たは15に記載の記憶回路ブロック。
  17. 【請求項17】 請求項1乃至5に記載のメモリセルに
    おけるデータの書き込み方法であって、前記記憶素子に
    書き込むデータの値に従って、書き込み電流を流す第1
    のビット・ラインまたは第2のビット・ラインを選択す
    るステップと、選択された第1のビット・ラインまたは
    第2のビット・ラインに書き込み電流を流すステップ
    と、を含むデータの書き込み方法。
  18. 【請求項18】 前記書き込み電流を流す向きを決定す
    るステップを含む請求項17に記載のデータ書き込み方
    法。
  19. 【請求項19】 請求項1乃至5に記載のメモリセルに
    おけるデータの書き込み方法であって、前記記憶素子に
    書き込むデータに従って、前記第1のビット・ラインと
    前記第2のビット・ラインに流す書き込み電流の向きを
    決定するステップと、前記書き込み電流の向きを決定す
    るステップで決定された向きに書き込み電流を流すステ
    ップと、を含むデータの書き込み方法。
  20. 【請求項20】 前記第1のビット・ラインと前記第2
    のビット・ラインに流れる書き込み電流の向きが互いに
    逆向きである請求項19に記載のデータの書き込み方
    法。
  21. 【請求項21】 請求項1乃至5に記載のメモリセルを
    複数有し、隣り合うメモリセルの前記第1のビット・ラ
    イン同士及び第2のビット・ライン同士を接続し、接続
    された該第1のビット・ラインの一端と該第2のビット
    ・ラインの一端とを接続した記憶回路ブロックにおける
    データの書き込み方法であって、データを書き込む前記
    メモリセルを選択するステップと、選択された前記メモ
    リセルの前記記憶素子に書き込むデータの値に従って、
    前記第1のビット・ライン及び第2のビット・ラインに
    流す書き込み電流の向きを決定するステップと、前記書
    き込み電流の向きを決定するステップによって決定され
    た向きに、前記書き込み電流を流すステップと、を含む
    データの書き込み方法。
  22. 【請求項22】 前記記憶回路ブロックが更に、同一カ
    ラムアドレスに属する前記第1のビット・ラインの他端
    同士、前記第2のビット・ラインの他端同士、または前
    記第1のビット・ラインの他端と前記第2のビット・ラ
    インの他端を直列接続し、電流経路を形成するためのス
    イッチと、該電流経路に書き込み電流を流す書き込み回
    路と、該電流経路と該書き込み回路とを接続する他のス
    イッチと、を含む場合、前記書き込み電流の向きを決定
    するステップが、該スイッチが接続する該第1のビット
    ・ラインまたは第2のビット・ラインを選択することで
    ある請求項21に記載のデータの書き込み方法。
  23. 【請求項23】 前記電流経路と前記書き込み回路とを
    前記他のスイッチによって接続するステップを含む請求
    項22に記載のデータの書き込み方法。
  24. 【請求項24】 複数の請求項1乃至5に記載のメモリ
    セルと、隣り合うメモリセル同士を該第1のビット・ラ
    イン及び第2のビット・ラインで接続し、接続された該
    第1のビット・ライン同士、該第2のビット・ライン同
    士、または該第1のビット・ラインと該第2のビット・
    ラインを直列接続して2本の電流経路を形成するスイッ
    チと、前記2本の電流経路の一端同士を接続し、他端に
    接続した書き込み回路と、を含む記憶回路ブロックのデ
    ータの書き込み方法であって、データの書き込みを行う
    メモリセルを選択するステップと、選択されたメモリセ
    ルの前記記憶素子に書き込むデータの値に従って、前記
    スイッチによって前記2本の電流経路を形成するステッ
    プと、前記2本の電流経路に流す書き込み電流の向きを
    決定するステップと、前記書き込み電流の向きを決定す
    るステップによって決定した向きに、前記書き込み電流
    を流すステップと、を含むデータの書き込み方法。
  25. 【請求項25】 複数の請求項1乃至5に記載のメモリ
    セルと、隣り合うメモリセル同士が該第1のビット・ラ
    イン及び第2のビット・ラインで接続され、接続された
    該第1のビット・ライン同士、該第2のビット・ライン
    同士、または該第1のビット・ラインと該第2のビット
    ・ラインを直列接続して2本の電流経路を形成するスイ
    ッチと、該2本の電流経路の両端のそれぞれに接続した
    書き込み回路と、を含む記憶回路ブロックのデータの書
    き込み方法であって、データの書き込みを行う前記メモ
    リセルを選択するステップと、選択された前記メモリセ
    ルの前記記憶素子に書き込むデータの値に従って、前記
    スイッチによって前記2本の電流経路を形成するステッ
    プと、前記2本の電流経路に流す書き込み電流の向きを
    決定するステップと、前記書き込み電流の向きを決定す
    るステップによって決定した向きに、前記書き込み電流
    を流すステップと、を含むデータの書き込み方法。
  26. 【請求項26】 複数の請求項1乃至5に記載のメモリ
    セルと、隣り合うメモリセル同士が該第1のビット・ラ
    イン及び第2のビット・ラインで接続され、接続された
    該第1のビット・ライン同士、該第2のビット・ライン
    同士、または該第1のビット・ラインと該第2のビット
    ・ラインを直列接続して電流経路を形成するスイッチ
    と、を含む記憶回路ブロックにおけるデータの書き込み
    方法であって、データの書き込みを行うメモリセルを選
    択するステップと、選択されたメモリセルの前記記憶素
    子に書き込むデータの値に従って、前記スイッチによっ
    て前記電流経路を形成するステップと、形成された前記
    電流経路に書き込み電流を流すステップと、を含むデー
    タの書き込み方法。
  27. 【請求項27】 前記書き込み電流を流す向きを決定す
    るステップを含む請求項26に記載のデータの書き込み
    方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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SG107099A1 (en) * 2001-05-30 2004-11-29 Ibm Memory cell, memory circuit block, data writing and data reading method
US7272064B2 (en) 2001-12-21 2007-09-18 Renesas Technology Corp. Thin film magnetic memory device for writing data of a plurality of bits in parallel

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