JP2002503801A - Method and apparatus for determining flying height of recording head - Google Patents
Method and apparatus for determining flying height of recording headInfo
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Abstract
(57)【要約】 この発明は、ディスク(112)の上方のスライダ(104)の浮上量を測定する浮上量測定システムを特徴とする。この浮上量測定システムは、光源(100)、スライダ(104)、検出器モジュール(106)、プロセッサ(108)を含む。光源(100)は、1つの光路に沿って光を生成する。スライダ(104)は、前記光源からの光が対物レンズ(124)に当たって、ディスク(112)の表面(110)へ向けられるように配置された前記対物レンズを含む。ディスク(112)から伝播する光は検出器(106)へ向けられる。プロセッサ(108)は、検出器モジュールの出力に基づいてスライダ(104)の浮上量を推定する。 (57) [Summary] The present invention features a flying height measurement system that measures the flying height of a slider (104) above a disk (112). The flying height measurement system includes a light source (100), a slider (104), a detector module (106), and a processor (108). The light source (100) generates light along one optical path. The slider (104) includes the objective lens arranged so that light from the light source impinges on the objective lens (124) and is directed to the surface (110) of the disk (112). Light propagating from the disk (112) is directed to the detector (106). The processor (108) estimates the flying height of the slider (104) based on the output of the detector module.
Description
【0001】 (発明の背景) この発明は、情報を記憶するために使用されるタイプのディスク記憶システム
に関する。特に、この発明は、そうしたディスク記憶システムのヘッド/ジンバ
ル・アセンブリにおける浮上量を決定する装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a disk storage system of the type used to store information. In particular, the invention relates to an apparatus for determining fly height in a head / gimbal assembly of such a disk storage system.
【0002】 ディスク記憶システムは当分野で知られており、情報を記憶して後で検索する
ために使用される。そうしたディスク記憶システムには、情報をのせて運ぶ回転
ディスクが含まれる。ディスクが高速で回転するときに、変換ヘッド(または、
ある場合は、リード・バック・ヘッド)がディスクの表面の上方に配置される。
回転しているディスクのすぐ上に「浮上する」ように設計されたスライダ上でヘ
ッドが運ばれる。そのときヘッドは、ディスクから情報を書きこむためにも使用
され得る。そうした情報は例えば、ディスク表面に磁気的または光学的にエンコ
ードされているかもしれない。[0002] Disk storage systems are known in the art and are used to store information for later retrieval. Such disk storage systems include rotating disks that carry information. When the disc rotates at high speed, the transducing head (or
In some cases, the read-back head is located above the surface of the disk.
The head is carried on a slider that is designed to "fly" just above the spinning disk. The head can then also be used to write information from the disc. Such information may be, for example, magnetically or optically encoded on the disk surface.
【0003】 記憶密度の増大がますます重要になってきている。記憶密度を増大するための
周知の一方法は、ヘッドの「浮上量」を減少させることである。浮上量は、記憶
システムを運転中のディスク表面とヘッドまたはスライダの間の距離として定義
される。浮上量を減少させれば、情報を一層正確に書きこみまたは読み返すこと
ができ、また一層小さな領域内に(すなわち、一層高密度に)そうした情報を記
憶できる。[0003] Increasing storage density is becoming increasingly important. One well-known method for increasing storage density is to reduce the "flying height" of the head. Fly height is defined as the distance between the disk surface and the head or slider during operation of the storage system. Reducing the flying height allows information to be written or read back more accurately and allows such information to be stored in a smaller area (ie, more densely).
【0004】 ヘッドの浮上量を測定するために、種々の技法が当分野で使用されてきた。例
えば、ある一定の浮上量で作動するようにディスクが設計されていれば、システ
ムがこの仕様の範囲内で確実に作動するには、典型的にこの浮上量を測定しなけ
ればならない。一般に、ヘッドとスライダのアセンブリをディスク・ドライブに
組み立てる以前に、この浮上量が測定される。浮上量を測定する1つの方法は、
ヘッドとディスクの間の電気的容量を測定することによる。浮上量を測定するた
めのもう一つの一般的な技法は光学的干渉計の方法を採用することで、これはス
ライダを浮上させるのに透明なテスト・ディスクを使用する。光源からディスク
の他の面上への光が、ディスクを通じてスライダ上へ照らし出される。周知の技
法を使用して、反射光を検査して、浮上量を決定できる。米国特許第5,280
,340号、1994年1月18日発行、発明者レーシーは、浮上量を測定する
ためのそうした多数の技法を記述している。[0004] Various techniques have been used in the art to measure head flying height. For example, if a disk is designed to operate at a certain flying height, this flying height must typically be measured to ensure that the system operates within this specification. Generally, this flying height is measured before assembling the head and slider assembly into a disk drive. One method of measuring flying height is
By measuring the electrical capacitance between the head and the disk. Another common technique for measuring fly height employs the method of an optical interferometer, which uses a transparent test disk to fly the slider. Light from the light source onto the other side of the disk is illuminated through the disk onto the slider. Using known techniques, the reflected light can be inspected to determine fly height. US Patent No. 5,280
No. 340, issued Jan. 18, 1994, Lacey describes many such techniques for measuring fly height.
【0005】 ヘッドを測定し特徴付けるのに使用されるもう一つの技法は、作動中にヘッド
により供給されるリード・バック信号を測定することである。この信号は、信号
強度、信号間干渉、オフ・トラック感度などを含む多数の異なったパラメータに
ついて検査され得る。例えば、米国特許第5,068,754号、1991年1
1月26日発行は、磁気ディスク・ドライブ内のビット・シフトを測定する1つ
の方法と装置を記述している。[0005] Another technique used to measure and characterize the head is to measure the read-back signal provided by the head during operation. The signal can be tested for a number of different parameters, including signal strength, inter-signal interference, off-track sensitivity, and the like. For example, U.S. Pat. No. 5,068,754, Jan. 1991
Published January 26, one method and apparatus for measuring bit shifts in magnetic disk drives is described.
【0006】 光ディスクは、純粋に磁気に基づく記録媒体に代わるものを提供する。光ディ
スク・ドライブは、高記憶密度を得るために使用され得る。記憶密度を増大させ
る1つの方法は、近フィールド記録を使用してスポット・サイズを減少させるこ
とを含む。近フィールド記録は、ほぼディスクの表面の波長の程度またはそれ以
下の距離の範囲内にあるスライダ上に装着された光学的構成要素を含む。それか
ら、光学器械要素を通じて透過されるエネルギーが、エバネッセント(evan
escent)結合を通じてディスクの表面へ転送される。固体浸漬レンズ(S
IL)または類似のものを、対物レンズと共に使用して、極小スポットを生成で
きる。[0006] Optical discs provide an alternative to recording media that is purely magnetic. Optical disk drives can be used to obtain high storage densities. One way to increase storage density involves using near-field recording to reduce spot size. Near-field recording involves an optical component mounted on a slider that is approximately within a distance of the order of the wavelength of the disk surface or less. Then, the energy transmitted through the optics element is evanescent (evanescent).
transferred to the surface of the disc through the bond. Solid immersion lens (S
IL) or the like can be used with an objective lens to produce a minimal spot.
【0007】 一般に、光学記憶システムにおいて、データはディスクの表面で運ばれるマー
クの形式であり、このマークはレーザの反射光を使用して検出される。多数の異
なった光学ディスク技術が、当業界に知られている。例えば、コンパクト・ディ
スクは、コンピュータ・プログラムやディジタル化された音楽のようなディジタ
ル・データを記録するために、現在使用されている。典型的に、コンパクト・デ
ィスクは、製造中に永久的に記録される。光学システムのもう一つのタイプはラ
イトワンス(WORM)システムであり、このライトワンス・システムではユー
ザが空白のディスクへ情報を書きこむことができる。他のタイプのシステムは相
転移システムや光磁気(M−O)システムのように、消去可能である。相転移シ
ステムは反射率の変化をセンスすることにより、データを検出する。M−Oシス
テムは、記憶媒体による入射光の偏光の回転を測定することにより、データを読
み取る。Generally, in optical storage systems, data is in the form of marks carried on the surface of the disk, which marks are detected using reflected light of a laser. A number of different optical disc technologies are known in the art. For example, compact discs are currently used to record digital data such as computer programs and digitized music. Typically, compact discs are permanently recorded during manufacture. Another type of optical system is the write-once (WORM) system, which allows a user to write information to a blank disc. Other types of systems are erasable, such as phase change systems and magneto-optical (MO) systems. Phase change systems detect data by sensing changes in reflectivity. The MO system reads the data by measuring the rotation of the polarization of the incident light by the storage medium.
【0008】 (発明の要約) この発明は、回転中のディスクに対する記録ヘッドの浮上量を推定する測定シ
ステムを特徴とする。回転中のディスクから反射する光のいくつかの属性は、回
転中のディスクへの記録ヘッドの距離に依存する。この浮上量測定システムは、
電源、スライダ、検出器モジュール、プロセッサを含む。スライダに含まれる対
物レンズは、光源からの光がそれに当たり、ディスクの表面に向けられるように
配置されている。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention features a measurement system for estimating the flying height of a recording head relative to a rotating disk. Some attributes of the light reflected from the rotating disk depend on the distance of the recording head to the rotating disk. This flying height measurement system
Includes power supply, slider, detector module, and processor. The objective lens included in the slider is arranged such that light from the light source hits it and is directed to the surface of the disk.
【0009】 第1の構成において、検出器モジュールはディスクからの反射光を受信する。
検出器モジュールの出力に基づいて、プロセッサがスライダの浮上量を推定する
。代わりの構成においては、ディスクを通じて透過された光を、検出器モジュー
ルが受信する。透過された光は波長に基づいて空間的に分散していない。再び、
検出器モジュールの出力に基づいて、プロセッサがスライダの浮上量を推定する
。In a first configuration, a detector module receives light reflected from a disk.
A processor estimates the flying height of the slider based on the output of the detector module. In an alternative arrangement, the light transmitted through the disc is received by a detector module. The transmitted light is not spatially dispersed based on wavelength. again,
A processor estimates the flying height of the slider based on the output of the detector module.
【0010】 他の面において、この発明は回転中のディスクに対するスライダの浮上量を決
定する方法を特徴とし、 a) スライダ上に配置された対物レンズへ光を向けることと、 b) 伝播する光を受信するために配置された検出器モジュールにより、ディ
スクから伝播する光の属性を測定し、ここで検出器に向けられた光は波長に基づ
いて空間的に分散しないことと、 c) 検出器の出力に基づいて浮上量を推定することを含んでいる。In another aspect, the invention features a method of determining a flying height of a slider with respect to a rotating disk, comprising: a) directing light to an objective lens disposed on the slider; and b) propagating light. Measuring the attributes of the light propagating from the disk with a detector module arranged to receive the light, wherein the light directed to the detector is not spatially dispersed based on wavelength; c) the detector And estimating the flying height based on the output of.
【0011】 この方法を遂行する検出器モジュールは、1つのレンズと1つの2素子検出器
とを含み得て、そこで浮上量は、検出器の2つの素子からの信号の差を評価して
、この差を標準的な曲線からの値と比較することにより推定される。この方法の
他の実施例において、検出器モジュールは、1つの偏光ビーム・スプリッタと、
スプリット・ビームの1つの構成要素を測定するように各々構成された2つの感
光素子とを含んでいる。他の実施例において、検出器モジュールは検出器アレイ
を含んでいて、浮上量は、検出器アレイにより測定された強度分布、位相分布、
または偏光分布を検査することにより推定される。A detector module performing this method may include one lens and one two-element detector, wherein the flying height assesses the difference between the signals from the two elements of the detector, It is estimated by comparing this difference with values from a standard curve. In another embodiment of the method, the detector module comprises one polarizing beam splitter;
And two photosensitive elements each configured to measure one component of the split beam. In another embodiment, the detector module includes a detector array, and the fly height is determined by the intensity distribution, phase distribution,
Alternatively, it is estimated by inspecting the polarization distribution.
【0012】 (好ましい実施例の詳細な説明) スライダから回転中のディスクまでの距離、すなわち浮上量を得るのに、対物
レンズ付きのスライダを使用できる。単色または準単色の光源を、ただ1つだけ
必要とする。スライダとディスクの間の処理は、測定を行なうために、ほぼ一定
に保持される。ディスクから伝播する光は検出器へ向けられる。例えば、対物レ
ンズを通じてディスクから反射して戻る光を、ビーム・スプリッタにより検出器
へ向けることができる。代わりに、ディスクを通じて伝送される光を検出器に向
けることができる。Detailed Description of the Preferred Embodiment A slider with an objective lens can be used to obtain the distance from the slider to the rotating disk, ie, the flying height. Only one monochromatic or quasi-monochromatic light source is required. The processing between the slider and the disk is kept almost constant in order to make the measurement. Light propagating from the disk is directed to a detector. For example, light reflected back from the disc through the objective lens can be directed to the detector by a beam splitter. Alternatively, light transmitted through the disc can be directed to the detector.
【0013】 検出器は、反射された(透過された)光の1つまたはそれ以上の属性を測定す
る。距離測定を得るためにふさわしい属性には、例えば偏光、強度分布、および
/または位相分布が含まれる。これらの属性を距離属性と相関させることにより
、マイクロプロセッサが後続の測定値を使用して検出器出力をモニタして浮上量
に関する出力を供給できるようにされる。[0013] The detector measures one or more attributes of the reflected (transmitted) light. Attributes suitable for obtaining a distance measurement include, for example, polarization, intensity distribution, and / or phase distribution. Correlating these attributes with the distance attributes allows the microprocessor to monitor the detector output using subsequent measurements to provide output regarding fly height.
【0014】 光記録ヘッドのためのスライダは一般に1つの対物レンズと恐らくは他の適当
な光学器械を装備しているので、浮上量を測定するためのこの解決法は、光記録
ヘッドの浮上量を測定するのに特に適している。それにもかかわらず、他の記録
ヘッドは距離測定を遂行するために望ましい対物レンズと他の光学レンズを装備
したスライダを含み得る。こうして、磁気ディスク・ドライブ・システムの仕様
は、本書に説明される解決法で測定され得る。Since the slider for an optical recording head is generally equipped with one objective lens and possibly other suitable optics, this solution for measuring the flying height is to reduce the flying height of the optical recording head. Particularly suitable for measuring. Nevertheless, other recording heads may include a slider equipped with the desired objective lens and other optical lenses to perform the distance measurement. Thus, the specifications of the magnetic disk drive system can be measured with the solution described herein.
【0015】 いくつかの特に適当な光記録ヘッドの中には、近フィールド(near−fi
eld)光記録ヘッドが含まれる。近フィールド光記録ヘッドは、一般に光の波
長程度またはそれ以下の浮上量を有する。スライダに装着された光学器械は、離
隔距離が小さいためにエバネッセント結合を通じてディスクの表面に結合される
。スライダ光学器械は一般に光の焦点をスライダの底面上または少し下に合わせ
る対物レンズを含む。近フィールド記録ヘッド上のスライダ光学器械はまた、ス
ポット・サイズを減少させるために、固体浸漬レンズ(SIL)または類似の物
を含む。Some particularly suitable optical recording heads include near-fi
eld) an optical recording head is included. A near-field optical recording head generally has a flying height on the order of the wavelength of light or less. The optical instrument mounted on the slider is coupled to the surface of the disc through evanescent coupling due to the small separation distance. Slider optics generally include an objective lens that focuses light on or slightly below the bottom surface of the slider. Slider optics on the near field recording head also include a solid immersion lens (SIL) or the like to reduce spot size.
【0016】 図1Aを参照すると、ディスクからの反射光を測定するための測定システムは
、光源100、ビーム・スプリッタ102、スライダ104、検出器モジュール
106、プロセッサ108を含む。ディスク112が所定の位置にあるときに、
測定システムは、スライダ104付きのディスク回転システムに関して、ディス
ク112の表面110の近くに配置される。ディスク回転システムは、ディスク
112を回転させるスピンドル・モータのようなモータ114を含む。測定シス
テムはオプションとして、ビーム・スプリッタ102により反射された光源10
0からの入射光の一部を受信するように配置された電力計116を含み得る。Referring to FIG. 1A, a measurement system for measuring light reflected from a disk includes a light source 100, a beam splitter 102, a slider 104, a detector module 106, and a processor 108. When the disk 112 is in a predetermined position,
The measurement system is located near the surface 110 of the disk 112 with respect to the disk rotation system with the slider 104. The disk rotation system includes a motor 114 such as a spindle motor that rotates a disk 112. The measurement system optionally includes a light source 10 reflected by the beam splitter 102.
A power meter 116 may be included that is arranged to receive a portion of the incident light from zero.
【0017】 図1Bに示す代わりの実施例において、測定システムは、ディスク112を通
じて透過された光を測定するように構成されている。この代わりの実施例におい
て、ビーム・スプリッタ102を除去し、または偏光器で置き換えてもよい。透
過された光を検出器へ向けるために、所望の場合には鏡とレンズのような追加の
光学的素子を使用できる。In an alternative embodiment, shown in FIG. 1B, the measurement system is configured to measure light transmitted through disk 112. In this alternative embodiment, the beam splitter 102 may be removed or replaced with a polarizer. Additional optical elements such as mirrors and lenses can be used if desired to direct the transmitted light to the detector.
【0018】 光源100は光路118に沿って、一般に単色または準単色の光を出力する。
適当な光源には、水銀灯、発光ダイオード、ダイオード・レーザおよび類似のも
のが含まれる。光路118はビーム・スプリッタ102を通過する。透過された
光は、スプリット光路120をたどる。検出システムが偏光された光に対して感
度が高ければ、部分偏光ビーム・スプリッタを使用できる。例えば光源の偏光率
(Ip対Is)が比較的に低く、ほぼ100対1の偏光率を有するレーザ・ダイオ
ードのようなものであれば、たとえ光源100が偏光されていても、偏光ビーム
・スプリッタを使用して偏光率を増大できる。部分偏光ビーム・スプリッタを使
用した場合、スプリット光路120に沿って透過される光は部分的に平面偏光さ
れる。部分的に直交偏光を有する光は、入射方向に対して90度で反射される。
反射された入射光は、所望の場合には電力系16へ向けられる。Light source 100 outputs generally monochromatic or quasi-monochromatic light along optical path 118.
Suitable light sources include mercury lamps, light emitting diodes, diode lasers and the like. Optical path 118 passes through beam splitter 102. The transmitted light follows the split light path 120. If the detection system is sensitive to polarized light, a partially polarized beam splitter can be used. For example the light source polarization rate (I p vs. I s) is relatively low, as long as such as a laser diode having an approximately 100: 1 polarization ratio, even if the light source 100 is not polarized, a polarizing beam The polarization ratio can be increased by using a splitter. When a partially polarized beam splitter is used, light transmitted along split path 120 is partially plane polarized. Light with partially orthogonal polarization is reflected at 90 degrees to the direction of incidence.
The reflected incident light is directed to power system 16 if desired.
【0019】 透過された光は光路120に沿ってスライダ104へ続く。図2を参照すると
、スライダ104は一般にアーム122の端部にあり、アーム122は屈曲性の
スプリング・サスペンション・アームであり得る。スライダ104は対物レンズ
124を含む。対物レンズ124はスペーサ128を使用してスライダ・ベース
126上に装着できる。スライダ104はオプションとしてスライダ光学器械1
30を含む。スライダ光学器械130は対物レンズ124をディスク110の表
面に光学的に結合するのを助けて、屈折率の変化による歪曲を最小にする。適当
なスライダ光学器械130は固体浸漬レンズ(SIL)または類似のものを含む
。好ましくはスライダは近フィールド光記録ヘッドの部分である。対物レンズ1
24はスプリット光路120の範囲内に配置されて、フォーカスト光路132を
生成する。The transmitted light continues along the optical path 120 to the slider 104. Referring to FIG. 2, slider 104 is generally at the end of arm 122, which may be a flexible spring suspension arm. The slider 104 includes an objective lens 124. Objective lens 124 can be mounted on slider base 126 using spacer 128. The slider 104 is an optional slider optical instrument 1
30. Slider optics 130 helps optically couple objective lens 124 to the surface of disk 110 to minimize distortion due to refractive index changes. Suitable slider optics 130 include a solid immersion lens (SIL) or the like. Preferably, the slider is part of a near-field optical recording head. Objective lens 1
Reference numeral 24 is arranged within the range of the split optical path 120 to generate a focused optical path 132.
【0020】 図1Aを参照すると、スライダ104の光学素子を通過する光は、ディスク1
12の表面110から反射する。この反射された光は対物レンズ124を含むス
ライダ104の光学素子を通過して戻る。この反射された光はビーム・スプリッ
タ102へ続く。ビーム・スプリッタ102において、この反射された光の一部
分が、図1Aに示すように、検出路140に沿って90度に向けられる。検出路
140は検出モジュール106と交わる。Referring to FIG. 1A, light passing through the optical element of the slider 104
12 from the surface 110. The reflected light passes through the optical elements of the slider 104 including the objective lens 124 and returns. This reflected light continues to beam splitter 102. In beam splitter 102, a portion of this reflected light is directed 90 degrees along detection path 140, as shown in FIG. 1A. The detection path 140 intersects with the detection module 106.
【0021】 適切なディスクにより、光の一部分がディスク112を透過する。図1Bに示 す代わりの実施例においては、透過された光の光路142が検出器106へ向け
られる。With a suitable disk, a portion of the light is transmitted through disk 112. In an alternative embodiment, shown in FIG. 1B, the transmitted light path 142 is directed to detector 106.
【0022】 ディスク112は一般に、距離測定のために特別に設計されたテスト・ディス
クである。表面の特性は、検出器モジュール106の属性と対応する測定のタイ
プに基づいて選択できる。特にディスク112の表面110は透明または反射性
でありえる。更に、ディスク112の表面110は、適当ならばコーティングを
有し得る。もし望むならば、穴や溝を有するような予めエンボスされた媒体を使
用できる。また、データ記憶ディスクの一部分に、テスト・ディスクとして使用
される特定部分を有することもあり得る。Disk 112 is typically a test disk specially designed for distance measurement. The surface properties can be selected based on the attributes of the detector module 106 and the type of measurement corresponding thereto. In particular, the surface 110 of the disk 112 can be transparent or reflective. Further, the surface 110 of the disk 112 may have a coating if appropriate. If desired, pre-embossed media having holes or grooves can be used. Also, a portion of the data storage disk may have a specific portion used as a test disk.
【0023】 特に、ディスク112の1つの実施例は反射性のアルミニウムをコートしたデ
ィスクである。このアルミニウムをコートしたディスクは、オプションとしてS
iNのような光学的に透明な物質の薄い層を含み得る。この薄膜は一般に1波長
またはそれ以下の程度の厚さを有する。SiN層の厚さは、反射される光の属性
を変える。加えて、SiNのエアー・インシデント表面を潤滑材でコートできる
。In particular, one embodiment of the disk 112 is a reflective aluminum coated disk. This aluminum coated disc is optional
It may include a thin layer of an optically transparent material such as iN. The thin film generally has a thickness on the order of one wavelength or less. The thickness of the SiN layer changes the attributes of the reflected light. In addition, the air incident surface of SiN can be coated with a lubricant.
【0024】 ディスク112のもう一つの実施例には、SiNのような薄膜層付きまたはな
しのガラス・ディスクが含まれる。このタイプのディスクについては、反射性は
浮上量を決定するために特に適した測定値である。テスト・ディスク112の第
3の実施例は、磁気光学(MO)媒体を含む光スタック(optical st
ack)を有するガラスまたはアルミニウムでコートしたディスクである。Another embodiment of the disk 112 includes a glass disk with or without a thin film layer such as SiN. For this type of disc, reflectivity is a particularly suitable measurement for determining fly height. A third embodiment of the test disk 112 is an optical stack that includes a magneto-optical (MO) medium.
ack) is a disk coated with glass or aluminum.
【0025】 反射した(透過した)光のいくつかの属性は、スライダ104からディスク1
12への距離によって異なる。検出器モジュール106はこれらの距離に依存す
る属性の1つまたはそれ以上を測定して、例えばケーブル144によりプロセッ
サ108に出力を供給する素子を含み得る。必要ならば、プロセッサ108への
信号を準備するために、アナログ・ディジタル変換器または他の信号コンディシ
ョナを含み得る。適当な検出方法とテスト・ディスクの選択は、浮上量での受け
入れ可能な許容誤差と、浮上量の受け入れ可能な値からの予測される逸脱の範囲
に基づくであろう。Some attributes of the reflected (transmitted) light are
It depends on the distance to 12. Detector module 106 may include elements that measure one or more of these distance-dependent attributes and provide output to processor 108, for example, via cable 144. If necessary, an analog-to-digital converter or other signal conditioner may be included to prepare the signal for processor 108. The selection of an appropriate detection method and test disk will be based on acceptable tolerances on fly height and the range of expected deviations from acceptable values of fly height.
【0026】 測定を遂行するために、一定の速度でディスクを回転させる。短い過渡的な期
間の後に、スライダはディスクの上方に比較的に一定な高さを獲得する。それか
ら測定が遂行される。検出器モジュールに反射して戻る光を最小化することによ
り、光ヘッドは光路に整列される。一般に、本書に提示される検出器モジュール
の出力は、浮上量に相関する。代わりの浮上量測定技法を使用して、相関関係が
得られ、それはプロセッサ108のメモリ146に記憶される。The disk is rotated at a constant speed to perform the measurement. After a short transition period, the slider acquires a relatively constant height above the disk. Then the measurement is performed. The optical head is aligned with the optical path by minimizing the light reflected back to the detector module. In general, the output of the detector module presented herein correlates to fly height. Using an alternative fly height measurement technique, a correlation is obtained, which is stored in the memory 146 of the processor 108.
【0027】 検出器モジュール106の3つの実施例を図3から図5に示す。図3を参照す
ると、検出器モジュール106の第1実施例は、オプションのスリット開口15
0、レンズ152、オプションのアイリス絞り154、2素子検出器156を含
む。スリット開口150はノイズを減少させ得る。レンズ152は光の焦点を検
出器156に合わせる。オプションのアイリス絞り154を光路内のレンズ15
2の前にでも後ろにでも配置することができる。図3において、アイリス絞り1
54は、レンズ152と2素子検出器156の間でレンズ152の後ろに配置さ
れている。アイリス絞り154は、ハーフ(50%)開口絞り(apertur
e stop)のような中央開口絞りに使用できる。アイリス絞り154は一般
に、ディスク表面に関して垂直入射に近い反射光の貢献を減少させて、比較的に
高い入射角を有する光波の貢献を増大させる。Three embodiments of the detector module 106 are shown in FIGS. Referring to FIG. 3, a first embodiment of the detector module 106 includes an optional slit aperture 15
0, a lens 152, an optional iris stop 154, and a two-element detector 156. The slit opening 150 can reduce noise. Lens 152 focuses the light on detector 156. The optional iris stop 154 is connected to the lens 15 in the optical path.
It can be placed before or after 2. In FIG. 3, the iris diaphragm 1
54 is located behind the lens 152 between the lens 152 and the two-element detector 156. The iris stop 154 is a half (50%) aperture stop (apertur
e stop) can be used for a central aperture stop. The iris stop 154 generally reduces the contribution of reflected light near normal incidence with respect to the disk surface and increases the contribution of light waves having relatively high angles of incidence.
【0028】 素子検出器154は感光素子158(A)、160(B)を有する。焦点信号
は、二つの感光素子における測定値の差、焦点信号=A−Bとして定義できる。
焦点信号は、ディスク110のスライダ104への距離に相関させることができ
る。The element detector 154 has photosensitive elements 158 (A) and 160 (B). The focus signal can be defined as the difference between the measured values of the two photosensitive elements, focus signal = AB.
The focus signal can be correlated to the distance of the disk 110 to the slider 104.
【0029】 図4に、検出器モジュール106の第2実施例を示す。この実施例において、
検出器モジュール106はアイリス絞り、オプションの波長板(wavepla
te)、偏光ビーム・スプリッタ174、感光素子176(C)、同178(D
)のような中央開口絞り(central aperture stop)を含
む。異なる偏光は一般に、ディスク110の表面から異なって反射する。反射率
における相違は一般にスライダ104とディスク110の間の距離によって異な
る。偏向された光の反射属性における差は、感光素子176、同178の測定値
における差に現れる。これらの差は、偏光率=C/Dまたは偏光の差C−Dとし
て表現できる。検出器モジュール106のこの構成は、素子176、同178の
測定値を加算すること(C+D)により、反射された光の総量に比例する1つの
値を得るために使用することもできる。偏光ビーム・スプリッタ174に当たる
以前に光追従路(light following path)140の偏光を
変えるために、波長板172を使用できる。例えばこの波長板は、22.5度に
配置された2分の1波長板または45度に配置された4分の1波長板であり得る
。FIG. 4 shows a second embodiment of the detector module 106. In this example,
The detector module 106 includes an iris diaphragm and an optional wave plate (wavepla).
te), polarizing beam splitter 174, photosensitive elements 176 (C), 178 (D
) Includes a central aperture stop. The different polarizations generally reflect differently from the surface of disk 110. The difference in reflectivity generally depends on the distance between the slider 104 and the disk 110. The difference in the reflection attribute of the deflected light appears in the difference between the measured values of the photosensitive elements 176 and 178. These differences can be expressed as polarization ratio = C / D or polarization difference CD. This configuration of the detector module 106 can also be used to obtain a value proportional to the total amount of reflected light by adding (C + D) the measurements of the elements 176, 178. A wave plate 172 can be used to change the polarization of the light following path 140 before hitting the polarizing beam splitter 174. For example, the wave plate may be a half wave plate arranged at 22.5 degrees or a quarter wave plate arranged at 45 degrees.
【0030】 図6を参照すると、図1Aに図式的に示した実験的な装置を使用して、アルミ
ニウムをコートしたディスクにより、浮上量の関数としての偏光率が評価されて
いる。偏光率は、入射光が純粋にx偏光されるときに反射されるビーム内のy偏
光される光のx偏光される光に対する比率として定義される。対物レンズは0.
65の開口数を有し、SILは2.15の開口数を有する。対物レンズにおける
RIM強度は0.28である。Referring to FIG. 6, the polarization as a function of flying height has been evaluated using an aluminum coated disk using the experimental apparatus shown schematically in FIG. 1A. Polarization index is defined as the ratio of y-polarized light to x-polarized light in the reflected beam when the incident light is purely x-polarized. The objective lens is 0.
The SIL has a numerical aperture of 65 and the SIL has a numerical aperture of 2.15. The RIM intensity at the objective lens is 0.28.
【0031】 図6に示すように、アルミニウムをコートしたディスク上のSiN厚さの影響
もまた、浮上量の関数としての偏光率(PR)に関して評価される。異なったS
iN厚さは、カーブが単調に変化する諸領域に対応する異なった効果の領域を有
する浮上量の関数としてPRカーブを生成する。浮上量とPRの相関がひとたび
確立されると、この相関が記憶されて後続の浮上量測定に使用され得る。同様に
、いくつかの異なったSiN厚さ有するゾーンで分けたディスクを使用して、そ
の有効測定範囲内の特定のSiN厚さについて、単調なカーブを必要とすること
なく、浮上量を500nmの範囲よりも上で、良好な正確さで測定できる。図7
を参照すると、対物レンズの異なった開口数により得られた測定値は、この技法
が広範囲の開口数を受け入れられることを証明している。As shown in FIG. 6, the effect of SiN thickness on aluminum coated disks is also evaluated in terms of polarization (PR) as a function of flying height. Different S
The iN thickness produces a PR curve as a function of flying height with areas of different effect corresponding to areas where the curve varies monotonically. Once the fly height and PR correlation is established, this correlation can be stored and used for subsequent fly height measurements. Similarly, using disks separated by zones with several different SiN thicknesses, for a particular SiN thickness within its effective measurement range, the flying height can be increased to 500 nm without the need for a monotonic curve. Above the range, measurements can be made with good accuracy. FIG.
Referring to, measurements obtained with different numerical apertures of the objective lens demonstrate that this technique can accept a wide range of numerical apertures.
【0032】 図8に、SiNの5つの異なった厚みについて、反射百分率の測定値が浮上量
の関数としてプロットされている。反射率は、図1の素子114に対応する電力
計の測定値に関して測定されている。反射率カーブは、対物レンズの特定の開口
数について、約250nmの単調な範囲を有する。図9を参照すると、反射率の
最初の最大値において開口数のいくつかの異なった値について浮上量が大きく変
化しないので、反射率測定値の有効測定範囲は開口数の緩やかな関数である。FIG. 8 plots the measured reflection percentage as a function of flying height for five different thicknesses of SiN. The reflectivity has been measured with respect to a power meter reading corresponding to element 114 of FIG. The reflectance curve has a monotonic range of about 250 nm for a specific numerical aperture of the objective lens. Referring to FIG. 9, the effective measurement range of the reflectance measurement is a gradual function of the numerical aperture, since the flying height does not change significantly for several different values of the numerical aperture at the initial maximum of the reflectance.
【0033】 図3に示すように、入射光または反射されたビームの中に検出器に先立って中
央開口絞りを追加することにより、測定範囲を大きく改善できる。反射率測定値
の50%絞りの効果は、図10に見られる。これらの測定のためのレンズは、S
iNコーティングを有しない。この50%絞りは1.0の最大クリア開口半径に
関して0.707の瞳孔半径に対応する。0.65の開口数に対して、この50
%の絞りは有効測定範囲を約500nm増大する。図11を参照すると、浮上量
の関数としての偏光率は、異なったSiN厚さを有する2つのアルミニウム・コ
ートしたディスクについて、50%の絞りで得られる。この50%絞りは、偏光
率測定値の感度を大いに増強している。As shown in FIG. 3, by adding a central aperture stop prior to the detector in the incident light or reflected beam, the measurement range can be greatly improved. The effect of the 50% stop on the reflectance measurements is seen in FIG. The lens for these measurements is S
No iN coating. This 50% stop corresponds to a pupil radius of 0.707 for a maximum clear aperture radius of 1.0. For a numerical aperture of 0.65, this 50
A percent aperture increases the effective measurement range by about 500 nm. Referring to FIG. 11, the polarization as a function of fly height is obtained at 50% aperture for two aluminum coated disks with different SiN thickness. This 50% stop greatly enhances the sensitivity of the polarization measurements.
【0034】 図12を参照すると、MO媒体を含む光スタックでコートされたディスクによ
る浮上量の関数として、偏光の差の測定値が作られている。図13に、同様な反
射百分率(REF)、百分率合計、偏光率の測定値が表現されている。「反射率
」はレンズを通じて戻るビームの全体的な強度であり、そして「合計」は部分偏
光ビーム・スプリッタから反射の後に測定された全体の強度である。これらの測
定は、反射されたビーム内の50%絞りで行なわれた。図14と図15に示され
た測定値の全ては、約500nmの浮上量までの測定値について、それらが適当
であることを指示する良好な性質を示している。Referring to FIG. 12, a measurement of the polarization difference is made as a function of flying height with a disk coated with an optical stack containing MO media. FIG. 13 shows similar measured values of the reflection percentage (REF), the total percentage, and the polarization ratio. "Reflectance" is the overall intensity of the beam returning through the lens, and "Total" is the overall intensity measured after reflection from the partially polarized beam splitter. These measurements were made at a 50% stop in the reflected beam. All of the measurements shown in FIGS. 14 and 15 show good properties indicating that they are appropriate for measurements up to a fly height of about 500 nm.
【0035】 検出器モジュール106の第3の実施例を図5に図示する。この実施例におい
て、検出器モジュール106は、オプションのスリット開口190、偏光器19
2、検出器アレイ194を含む。この実施例はまた、アイリス絞りを含み得る。
希望される測定による最初の偏光に関して、偏光器192は0度、45度、また
は90度に向いているのが好ましい。種々の偏光状態の輝度分布を測定するため
に、偏光器は好ましい値と他の種々の値の間で回転する。同様な情報が偏光器に
よる測定から得られ、また偏光器なしの第2の測定から得られる。検出器アレイ
194はCCDアレイまたはいずれか他の感光性のアレイまたは適当な次元であ
り得る。検出器アレイ194は感光素子の1次元アレイまたは2次元アレイを有
し得る。検出器アレイ194により測定される輝度パターンは、スライダ104
とディスク112の間の距離を反映し得る。A third embodiment of the detector module 106 is shown in FIG. In this embodiment, detector module 106 includes optional slit aperture 190, polarizer 19
2, including a detector array 194. This embodiment may also include an iris stop.
For initial polarization according to the desired measurement, polarizer 192 is preferably oriented at 0, 45, or 90 degrees. To measure the brightness distribution of the various polarization states, the polarizer is rotated between a preferred value and various other values. Similar information is obtained from the measurements with the polarizer and from the second measurement without the polarizer. Detector array 194 can be a CCD array or any other photosensitive array or appropriate dimension. Detector array 194 may have a one-dimensional or two-dimensional array of photosensitive elements. The luminance pattern measured by the detector array 194
The distance between the disk 112 and the disk 112.
【0036】 強度分布、位相分布、偏光分布のような他の測定値が、浮上量を評価するのに
使用され得る。図14は、アルミニウムをコートしたテスト・ディスクとx偏光
された入射光により得られた反射ビームのx偏光フィールド構成要素の強度分布
を図示する。これらの測定は、アレイ検出器を使用して行ない得る。強度分布は
4つの浮上量について示されている。同様に、図15は、4つの浮上量について
、反射ビームのx偏光フィールド構成要素の位相分布を図示する。強度分布と位
相分布は浮上量により異なるので、これらを浮上量の計算に使用できる。位相分
布の場合、図3の検出器モジュールの焦点センサに基づく測定は、浮上量の計算
のために特に適した測定である。Other measurements, such as intensity distribution, phase distribution, polarization distribution, can be used to assess fly height. FIG. 14 illustrates the intensity distribution of the x-polarized field component of the reflected beam obtained with an aluminum-coated test disk and x-polarized incident light. These measurements can be made using an array detector. The intensity distribution is shown for four flying heights. Similarly, FIG. 15 illustrates the phase distribution of the x-polarized field component of the reflected beam for four fly heights. Since the intensity distribution and the phase distribution differ depending on the flying height, they can be used for calculating the flying height. In the case of the phase distribution, the measurement based on the focus sensor of the detector module of FIG. 3 is a measurement that is particularly suitable for calculating the flying height.
【0037】 上述の諸実施例は代表的であることを意図するが、制限することを意図してい
ない。この発明を好ましい実施例を参照して説明してきたが、この発明の精神と
範囲から離れることなく形式と詳細において種々の変更を為し得ることを、当業
者は認めるであろう。本書で使用される「光」または「光学的」の語は、あらゆ
る波長の放射を言及するものであって、可視の放射に限定されない。The embodiments described above are intended to be representative, but not limiting. Although the present invention has been described with reference to preferred embodiments, workers skilled in the art will recognize that changes may be made in form and detail without departing from the spirit and scope of the invention. The terms "light" or "optical" as used herein refer to radiation of any wavelength and are not limited to visible radiation.
【図1A】 回転中のディスクに関してスライダの距離を決定する測定システムを図示する
略図である。FIG. 1A is a schematic diagram illustrating a measurement system for determining a slider distance with respect to a rotating disk.
【図1B】 回転中のディスクに関してスライダの距離を決定する測定システムのもう一つ
の実施例を図示する略図である。FIG. 1B is a schematic diagram illustrating another embodiment of a measurement system for determining a slider distance with respect to a rotating disk.
【図2】 スライダおよびその支持アームの側面断面図であり、スライダの中心を通じて
取った断面を有する。FIG. 2 is a side cross-sectional view of the slider and its support arm, having a cross-section taken through the center of the slider.
【図3】 図1の測定システムに使用するための2つの感光素子付きの検出器モジュール
の実施例の側面略図であって、この検出器モジュールの内部構成要素を露光する
ためにあらゆる覆いは透明に作られている。FIG. 3 is a schematic side view of an embodiment of a detector module with two photosensitive elements for use in the measurement system of FIG. 1, wherein any covering is transparent to expose the internal components of the detector module; It is made in.
【図4】 図1の測定システムに使用するための偏光ビーム・スプリッタ付きの検出器モ
ジュールの実施例の側面略図であって、この検出器モジュールの内部構成要素を
露光するためにあらゆる覆いは透明に作られている。FIG. 4 is a schematic side view of an embodiment of a detector module with a polarizing beam splitter for use in the measurement system of FIG. 1, wherein any covering is transparent for exposing the internal components of the detector module. It is made in.
【図5】 図1の測定システムに使用するためのアレイ検出器を組込んだ検出器モジュー
ルの実施例の側面略図であって、この検出器モジュールの内部構成要素を露光す
るためにあらゆる覆いは透明に作られている。FIG. 5 is a schematic side view of an embodiment of a detector module incorporating an array detector for use in the measurement system of FIG. 1, wherein any shroud is used to expose the internal components of the detector module. Made transparent.
【図6】 アルミニウムをコートしたテスト・ディスクの表面上の5つの異なったSiN
厚さについての浮上量の関数としての偏光率のプロットである。FIG. 6 shows five different SiNs on the surface of an aluminum coated test disk
5 is a plot of polarization as a function of flying height for thickness.
【図7】 対物レンズの複数の異なった開口数についての浮上量の関数としての偏光率の
プロットである。FIG. 7 is a plot of the polarization as a function of flying height for a plurality of different numerical apertures of the objective lens.
【図8】 ガラスのテスト・ディスク上の5つの異なったSiN厚さについての浮上量の
関数としての反射百分率のプロットである。FIG. 8 is a plot of percent reflection as a function of flying height for five different SiN thicknesses on a glass test disk.
【図9】 対物レンズの5つの異なった開口数についての浮上量の関数としての反射百分
率のプロットである。FIG. 9 is a plot of percent reflection as a function of flying height for five different numerical apertures of the objective lens.
【図10】 50%絞り付きまたは無しの浮上量の関数としての反射百分率のプロットであ
る。FIG. 10 is a plot of percent reflection as a function of flying height with or without 50% aperture.
【図11】 テスト・ディスク上の2つの異なったSiN厚さについての50%絞り付きま
たは無しの浮上量の関数としての反射百分率のプロットである。FIG. 11 is a plot of the percent reflection as a function of flying height with or without 50% aperture for two different SiN thicknesses on the test disk.
【図12】 磁気光学物質の光スタックを有するディスクについての浮上量の関数としての
偏光の差のプロットである。FIG. 12 is a plot of the difference in polarization as a function of flying height for a disk with an optical stack of magneto-optical material.
【図13】 磁気光学物質の光スタックを有するディスクにより得られる浮上量の関数とし
ての反射百分率、偏光率、偏光量のプロットである。FIG. 13 is a plot of percent reflection, polarization and polarization as a function of flying height obtained with a disk having an optical stack of magneto-optical material.
【図14】 アルミニウムをコートしたディスクの上方の4つの異なった浮上量、すなわち
、a)浮上量0nm、b)浮上量100nm、c)浮上量200nm、d)浮上
量400nmについてのx偏光入射フィールドの反射に追従して得られた反射光
のx偏光成分の強度の2次元プロットである。FIG. 14 shows x-polarized incident fields for four different flying heights above an aluminum coated disk: a) flying height of 0 nm, b) flying height of 100 nm, c) flying height of 200 nm, d) flying height of 400 nm. 2 is a two-dimensional plot of the intensity of the x-polarized light component of the reflected light obtained following the reflection of.
【図15】 アルミニウムをコートしたディスクの上方の4つの異なった浮上量、すなわち
、a)浮上量0nm、b)浮上量100nm、c)浮上量200nm、d)浮上
量400nmについてのx偏光入射フィールドの反射に追従して得られた反射光
のx偏光成分の位相の2次元プロットである。FIG. 15 shows x-polarized incident fields for four different flying heights above an aluminum coated disk: a) 0 nm flying height, b) 100 nm flying height, c) 200 nm flying height, and d) 400 nm flying height. 2 is a two-dimensional plot of the phase of the x-polarized light component of the reflected light obtained following the reflection of.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 マウリイ、グレゴリー、エス アメリカ合衆国 ミネソタ、バーンズビ ル、 ジュネバ ブールバード 18 Fターム(参考) 2F064 AA00 BB00 FF02 GG22 GG23 GG38 GG39 HH05 JJ01 2F065 AA22 BB03 CC03 FF51 GG06 GG07 JJ03 JJ26 LL36 LL37 LL46 QQ03 QQ27 QQ28 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventors Mauri, Gregory, S United States Minnesota, Burnsville, Geneva Boulevard 18F term (reference) 2F064 AA00 BB00 FF02 GG22 GG23 GG38 GG39 HH05 JJ01 2F065 AA22 BB03 GG03 GG51 GG03 JJ26 LL36 LL37 LL46 QQ03 QQ27 QQ28
Claims (20)
ステムであって、 前記スライダの底部近くに光の焦点を合わせる手段と、 前記スライダの直下に旋回しているディスクから伝播する光に基づいて前記浮
上量を推定する手段とを含んでいる前記浮上量測定システム。1. A flying height measurement system for measuring a flying height of a slider on a storage disk, comprising: means for focusing light near a bottom of the slider; and a light propagating from a disk pivoting directly below the slider. Means for estimating the flying height based on the light emitted.
ステムであって、 1つの光路に沿った光を生成する光源と、 該光源からの光が対物レンズに当たって、ディスクの表面に向けられるように
配置された1つの前記対物レンズを含んでいるスライダと、 ディスクから反射された光を受信する検出器モジュールと、 検出器モジュールの出力に基づいてスライダの浮上量を推定するプロセッサと
を含んでいる浮上量測定システム。2. A flying height measuring system for measuring a flying height of a slider on a storage disk, comprising: a light source for generating light along one optical path; and a light from the light source impinging on an objective lens, and a surface of the disk. A slider including one of said objective lenses arranged to be directed to a light source; a detector module for receiving light reflected from a disk; and a processor for estimating a flying height of the slider based on an output of the detector module. Fly height measurement system including:
システム。3. The measurement system according to claim 2, wherein the light from the light source is monochromatic or quasi-monochromatic.
でいる請求項2記載の測定システム。4. The measurement system according to claim 2, further comprising a beam splitter in an optical path between the light source and the objective lens.
る請求項4記載の測定システム。5. The measurement system according to claim 4, wherein said beam splitter is a partially polarized beam splitter.
ク表面に前記光が結合されるような固体浸漬レンズを含む請求項2記載の測定シ
ステム。6. The measurement system of claim 2, wherein said slider further comprises a solid immersion lens such that said light is coupled to said disk surface through a nearby field.
テム。7. The measurement system according to claim 2, wherein said light source includes a red laser.
出器とを含む請求項2記載の測定システム。8. The measurement system according to claim 2, wherein the detector module includes one lens and one two-element detector.
ステム。9. The measurement system according to claim 2, wherein the detector module includes a polarizer.
の測定システム。10. The measurement system according to claim 2, wherein said detector module comprises a detector array.
と、そのスプリットされたビームの1つの構成要素を測定するようにそれぞれ構
成された2つの感光素子とを含む請求項2記載の測定システム。11. The detector module of claim 2, wherein the detector module includes a polarization beam splitter and two photosensitive elements each configured to measure one component of the split beam. Measurement system.
2記載の測定システム。12. The measurement system according to claim 2, wherein said detector module includes one central aperture stop.
信される反射光の総量に関する信号を出力し、また前記プロセッサが、前記検出
器モジュールの出力とメモリ内に記憶された情報との比較に基づいて、浮上量を
推定する請求項2記載の測定システム。13. The detector module outputs a signal related to the total amount of reflected light received by the detector module, and the processor outputs a signal between the detector module output and information stored in a memory. The measurement system according to claim 2, wherein the flying height is estimated based on the comparison.
信される反射光の偏光に関する信号を出力し、また前記プロセッサが、前記検出
器モジュールの出力とメモリ内に記憶された情報との比較に基づいて、浮上量を
推定する請求項2記載の測定システム。14. The detector module outputs a signal related to the polarization of the reflected light received by the detector module, and the processor outputs a signal between the output of the detector module and information stored in memory. The measurement system according to claim 2, wherein the flying height is estimated based on the comparison.
相、偏光の分布に関する1つの信号を前記検出器モジュールが出力し、また前記
プロセッサが、前記検出器モジュールの出力とメモリ内に記憶された情報との比
較に基づいて、浮上量を推定する請求項2記載の測定システム。16. The detector module outputs one signal relating to the distribution of the intensity, phase, and polarization of the reflected light received by the detector module, and the processor stores the signal in the memory with the output of the detector module. The measurement system according to claim 2, wherein the flying height is estimated based on comparison with information stored in the storage device.
システムであって、 1つの光路に沿った光を生成する光源と、 該光源からの光が対物レンズに当たって、ディスクの表面に向けられるように
配置された1つの前記対物レンズを含んでいるスライダと、 ディスクを通って反射された光を受信する検出器モジュールであって、該検出
器に向けられる前記光は波長に基づいて空間的に分散していない検出器モジュー
ルと、 検出器モジュールの出力に基づいてスライダの浮上量を推定するプロセッサと
を含んでいる浮上量測定システム。17. A flying height measuring system for measuring a flying height of a slider on a storage disk, comprising: a light source for generating light along one optical path; and a light from the light source impinging on an objective lens, and a surface of the disk. A slider including one of said objective lenses arranged to be directed to a detector module for receiving light reflected through a disk, wherein said light directed to said detector is based on wavelength. A flying height measurement system that includes a detector module that is not spatially dispersed and a processor that estimates a flying height of a slider based on an output of the detector module.
と、そのスプリットされたビームの1つの構成要素を測定するようにそれぞれ構
成された2つの感光素子とを含む請求項17記載の測定システム。18. The detector module of claim 17, wherein the detector module includes a polarization beam splitter and two photosensitive elements each configured to measure one component of the split beam. Measurement system.
17記載の測定システム。19. The measurement system according to claim 17, wherein said detector module includes one central aperture stop.
載の測定システム。20. The measurement system according to claim 17, wherein said detector module comprises a detector array.
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