JP2002373925A - Delivery device for substrate for display - Google Patents
Delivery device for substrate for displayInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示パネルの
ような表示用基板の検査をする装置に用いられる受け渡
し装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a transfer device used for an apparatus for inspecting a display substrate such as a liquid crystal display panel.
【0002】[0002]
【従来の技術】液晶表示パネルのような表示用基板を斜
めの状態で測定すなわち検査する検査装置の1つとし
て、表示用基板をアライメントステージに水平の状態に
受け、受けた表示用基板をアライメントステージに対し
て位置決め、アライメントステージを傾斜させて表示用
基板を斜めの状態で搬送装置に渡すアライメント装置
(受け渡し装置)を備えたものがある(特開平11−1
83863号)。2. Description of the Related Art As one of inspection apparatuses for measuring or inspecting a display substrate such as a liquid crystal display panel in an oblique state, the display substrate is received in a horizontal state on an alignment stage, and the received display substrate is aligned. There is an apparatus provided with an alignment device (transfer device) that positions the alignment stage with respect to the stage, tilts the alignment stage, and transfers the display substrate to the transfer device in an oblique state (Japanese Patent Laid-Open No. 11-1).
No. 83863).
【0003】この検査装置において、アライメント装置
がローダ側の受け渡し装置として動作する場合、未検査
(未検査)の表示用基板は、ロボットのハンドによりカ
セットから水平に取り出され、次いでロボットからアラ
イメント装置のターンテーブルに水平に渡される。In this inspection apparatus, when the alignment apparatus operates as a transfer apparatus on the loader side, an uninspected (uninspected) display substrate is taken out of the cassette horizontally by a robot hand, and then is removed from the robot by the robot. It is passed horizontally to the turntable.
【0004】次いで、表示用基板は、ターンテーブルに
よりこれに垂直のZ軸線の周りに角度的に回転されて支
持方向を変更される。この時点までの間、アライメント
ステージはターンテーブルより低い位置に維持されてい
る。[0004] Next, the display substrate is angularly rotated about a Z-axis perpendicular to the display substrate by a turntable to change the supporting direction. Until this point, the alignment stage is maintained at a position lower than the turntable.
【0005】次いで、表示用基板は、アライメントステ
ージがターンテーブルより上方に移動されることによ
り、ターンテーブルからアライメントステージに水平に
渡される。このアライメントステージ上において、表示
用基板は、複数のプッシャにより左右方向における一方
及び前後方向における一方に移動されてアライメントを
される。Then, the display substrate is horizontally transferred from the turntable to the alignment stage by moving the alignment stage above the turntable. On this alignment stage, the display substrate is moved to one side in the left-right direction and one side in the front-rear direction by a plurality of pushers to be aligned.
【0006】次いで、表示用基板は、アライメントステ
ージが表示用基板を吸着した状態で傾斜されることによ
り斜めにされ、その斜めの状態で搬送装置に渡される。
搬送装置は、受けた表示用基板を斜めの状態で搬送し、
斜めの状態で検査ステージに渡す。[0006] Next, the display substrate is tilted by being tilted in a state where the alignment stage sucks the display substrate, and is transferred to the transfer device in the tilted state.
The transport device transports the received display substrate in an oblique state,
Transfer to the inspection stage at an angle.
【0007】アライメント装置がアンローダ側の受け渡
し装置として動作する場合、アライメント装置は上記と
逆の動作を実行する。すなわち、アライメント装置は、
検査済みの基板を搬送装置から芯出し具に斜めの状態で
受け、次いでアライメントステージを水平に戻し、次い
でアライメントステージを下降させて基板をターンテー
ブルに渡し、ターンテーブルを上昇させて基板をロボッ
トのハンドに渡すように、動作する。When the alignment device operates as a transfer device on the unloader side, the alignment device performs the reverse operation. That is, the alignment device
Receiving the inspected substrate from the transfer device in an oblique state on the centering device, then returning the alignment stage to horizontal, then lowering the alignment stage and passing the substrate to the turntable, raising the turntable and transferring the substrate to the robot It works like handing it to a hand.
【0008】[0008]
【解決しようとする課題】しかし、上記のアライメント
装置では、アライメント時、アライメントステージ上の
表示用基板がプッシャにより、左右方向における一方及
び前後方向における一方のそれぞれに配置された位置決
めピンに押圧されるにすぎない。However, in the above-described alignment apparatus, at the time of alignment, the display substrate on the alignment stage is pressed by the pusher against the positioning pins arranged on one side in the left-right direction and one side in the front-rear direction. It's just
【0009】すなわち、上記のアライメント装置による
アライメントは、受けた基板の中央をターンテーブルの
中央に一致させるいわゆる芯出しではない。このため、
上記のアライメント装置では、同じ種類の基板、特に大
きさが同じ基板の受け渡し装置として用いることはでき
るが、異なる種類の基板、特に大きさが異なる基板の受
け渡し装置としては用いることができない。That is, the alignment by the above-described alignment apparatus is not so-called centering in which the center of the received substrate coincides with the center of the turntable. For this reason,
The above-described alignment apparatus can be used as an apparatus for delivering the same type of substrate, particularly, a substrate having the same size, but cannot be used as an apparatus for delivering a different type of substrate, particularly, a substrate having a different size.
【0010】本発明の目的は、異なる種類の基板の受け
渡しを可能にすることにある。It is an object of the present invention to enable the transfer of different types of substrates.
【0011】[0011]
【解決手段、作用、効果】本発明に係る受け渡し装置
は、ワークテーブルと、共同して基板を挟む複数の芯出
し具であって挟まれた基板と平行の面内で相寄り相離れ
る方向へ移動可能に前記ワークテーブルに配置された芯
出し具と、前記ワークテーブルを水平方向へ伸びる枢軸
線の周りに角度的に回転させる駆動機構とを含む。A delivery device according to the present invention is a plurality of centering tools for holding a substrate in cooperation with a worktable, in a direction parallel to and away from the sandwiched substrate. A centering device movably disposed on the worktable; and a drive mechanism for angularly rotating the worktable about a horizontal axis extending in a horizontal direction.
【0012】受け渡し装置がローダ側の装置として用い
られる場合、検査すべき基板は、芯出し具が相寄る方向
へ移動されることにより、芯出し具に水平の状態に挟ま
れて、ワークテーブルに対するアライメントをされる。
基板は、また、ワークテーブルが駆動機構により傾斜さ
れることにより、斜めの状態に変位され、その状態で搬
送装置のような処理装置に渡される。When the transfer device is used as a device on the loader side, the substrate to be inspected is sandwiched in a horizontal state by the centering device by moving the centering device in a direction toward each other, and the substrate to be inspected is moved to the work table. Be aligned.
The substrate is also displaced in an oblique state by the work table being inclined by the drive mechanism, and is transferred to a processing apparatus such as a transfer apparatus in that state.
【0013】受け渡し装置がアンローダ側の装置として
用いられる場合、受け渡し装置は上記と逆の動作を実行
する。すなわち、受け渡し装置は、基板を搬送装置のよ
うな処理装置から芯出し具に斜めの状態に挟み、その状
態でワークテーブルを斜めの状態から水平の状態に変位
させる。これにより、基板はロボットのような他の処理
装置のハンドに受けることができる水平の状態に変位さ
れる。When the delivery device is used as a device on the unloader side, the delivery device performs the reverse operation. That is, the transfer device sandwiches the substrate from a processing device such as a transfer device in an oblique state with the centering tool, and displaces the work table from the oblique state to the horizontal state in that state. As a result, the substrate is displaced to a horizontal state that can be received by a hand of another processing apparatus such as a robot.
【0014】芯出し具が相寄る方向へ移動されると、基
板はワークテーブルの中央に向けて移動され、中央がワ
ークテーブルの中央に一致するように芯出しをされる。
これにより、異なる種類の基板であっても、基板はその
中央がワークテーブルの中央に一致する状態に芯出しを
される。その結果、異なる種類の基板の受け渡しをする
ことができる。[0014] When the centering tools are moved in the direction toward each other, the substrate is moved toward the center of the work table, and is centered so that the center coincides with the center of the work table.
As a result, even if the substrates are of different types, the substrates are centered such that the center thereof coincides with the center of the work table. As a result, it is possible to transfer different types of substrates.
【0015】前記駆動機構は、前記芯出し具に挟まれた
基板を水平の状態と傾斜した状態とに選択的に変位させ
るべく前記ワークテーブルを水平方向へ伸びる軸線の周
りに角度的に回転させることができる。The drive mechanism angularly rotates the worktable about an axis extending in a horizontal direction so as to selectively displace a substrate sandwiched between the centering tools between a horizontal state and an inclined state. be able to.
【0016】各芯出し具は、仮想的な円の半径方向に移
動可能に前記ワークテーブルに配置されたブロックと、
挟まれた基板に垂直のZ軸線の周りに回転可能に前記ブ
ロックに支持された1以上のローラあって基板の端面に
当接可能のローラとを含むことができる。そのようにす
れば、アライメント時、基板はその端面をローラに当接
させた状態でブロックに対し変位されるから、基板の移
動が円滑になる。Each of the centering tools is arranged on the work table so as to be movable in a radial direction of a virtual circle;
The block may include one or more rollers rotatably supported by the block about a Z axis perpendicular to the sandwiched substrate, the rollers being capable of abutting an end surface of the substrate. By doing so, at the time of alignment, the substrate is displaced with respect to the block with its end surface in contact with the roller, so that the movement of the substrate is smooth.
【0017】前記ワークテーブルは、前記芯出し具に挟
まれた基板と平行の面内を仮想的な円の半径方向へ伸び
る複数のアームと、該アームを支持しかつ該アームを前
記挟まれた基板に垂直のZ軸線の周りに角度的に回転さ
せる支持機構とを含み、各芯出し具は前記アームに前記
半径方向へ移動可能に配置されていることができる。そ
のようにすれば、挟まれた基板の方向を変更することが
できる。The work table has a plurality of arms extending in a radial direction of an imaginary circle in a plane parallel to the substrate sandwiched between the centering tools, and supports the arms and holds the arms. A support mechanism for angularly rotating about a Z axis perpendicular to the substrate, wherein each centering tool can be disposed on the arm so as to be movable in the radial direction. By doing so, the direction of the sandwiched substrate can be changed.
【0018】前記ワークテーブルは、さらに、基板の受
け渡しをすべく前記支持機構に配置された昇降テーブル
であって当該昇降テーブルが前記芯出し具に対し前記Z
軸線の方向へ変位される昇降テーブルを含むことができ
る。そのようにすれば、昇降テーブルをZ軸線の方向へ
移動させて、基板を水平に維持した状態でロボットのよ
うな処理装置や芯出し具に対する基板の受け渡しをする
ことができるし、基板を昇降テーブルに解除可能に吸着
するようにすることもできる。The work table is a lifting table arranged on the support mechanism for transferring the substrate, and the lifting table moves the Z-axis with respect to the centering tool.
A lifting table displaced in the direction of the axis may be included. By doing so, the lifting table can be moved in the direction of the Z axis, and the substrate can be transferred to a processing device such as a robot or a centering tool while the substrate is kept horizontal. It can also be configured to be releasably attached to the table.
【0019】受け渡し装置は、さらに、前記ワークテー
ブルを前記芯出し具に挟まれた基板に垂直のZ軸線の方
向へ移動させる移動機構を含むことができる。そのよう
にすれば、ワークテーブルをZ軸線の方向へ移動させ
て、搬送装置のような処理装置に対する基板の受け渡し
をすることができる。The transfer device may further include a moving mechanism for moving the work table in a direction of a Z axis perpendicular to the substrate sandwiched between the centering tools. By doing so, the work table can be moved in the direction of the Z axis, and the substrate can be transferred to a processing device such as a transfer device.
【0020】前記移動機構は、前記支持機構を前記Z軸
線の方向へ移動可能に受ける受け部材と、該受け部材を
前記Z軸線の方向へ移動させる機構とを含むことができ
る。The moving mechanism may include a receiving member that receives the supporting mechanism movably in the direction of the Z axis, and a mechanism that moves the receiving member in the direction of the Z axis.
【0021】前記駆動機構は、前記支持機構を前記枢軸
線の周りに枢軸運動可能に受けるベースと、該ベースに
回転可能に配置されたねじ棒と、該ねじ棒をこれの軸線
の周りに回転させる回転源と、前記ねじ棒に螺合された
ナットと、該ナットに前記ねじ棒と交差する方向へ伸び
る軸線の周りに枢軸運動可能に連結された第1のリンク
と、前記ワークテーブルに組み付けられた第2のリンク
であって前記第1のリンクに移動可能に連結された第2
のリンクとを含むことができる。そのようにすれば、水
平線に対するワークテーブルの角度を微細に調整するこ
とができる。The driving mechanism includes a base that receives the support mechanism so as to be pivotable about the pivot axis, a screw rod rotatably disposed on the base, and a screw rod that rotates the screw rod about its axis. A rotation source to be rotated, a nut screwed onto the threaded rod, a first link pivotally connected to the nut about an axis extending in a direction intersecting the threaded rod, and assembled to the worktable. A second link, the second link being movably connected to the first link.
Links. By doing so, the angle of the work table with respect to the horizontal line can be finely adjusted.
【0022】[0022]
【発明の実施の形態】図1及び図2を参照するに、検査
装置10は、液晶を封入した長方形の液晶表示パネルを
検査すべき基板12とする目視点灯検査装置として用い
られる。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Referring to FIGS. 1 and 2, an inspection apparatus 10 is used as a visual lighting inspection apparatus in which a rectangular liquid crystal display panel in which liquid crystal is sealed is used as a substrate 12 to be inspected.
【0023】検査装置10は、前面上部が上向きの傾斜
面とされた本体14を含む。本体14は、複数のチャン
ネル部材を組み立てた本体フレームと、該本体フレーム
に取り外し可能に取り付けられた複数のパネルとにより
筐体の形に形成されている。The inspection apparatus 10 includes a main body 14 having an upper front surface inclined upward. The main body 14 is formed in a housing shape by a main body frame in which a plurality of channel members are assembled and a plurality of panels detachably attached to the main body frame.
【0024】本体14の傾斜面の左右方向(図1におい
て紙面に垂直な方向であり、以下「Y方向」という。)
における中央領域は基板12の検査ステーションすなわ
ち検査ステーション16(図12及び図13を参照)と
されており、検査ステーション16の左右両側の各領域
は未検査又は検査済みの基板のための中継ステーション
18(一方のみを示す)とされている。The left-right direction of the inclined surface of the main body 14 (the direction perpendicular to the plane of FIG. 1 and hereinafter referred to as the "Y direction").
Is a test station for the substrate 12, that is, a test station 16 (see FIGS. 12 and 13). Each of the left and right areas of the test station 16 is a relay station 18 for an untested or tested board. (Only one is shown).
【0025】本体14の後部領域は、カセットステーシ
ョン(すなわち、カセット設置台)20とされている。
本体14の前後方向(図1において、左右方向であり、
以下「X方向」という。)中央領域は、基板12を中継
ステーション18からカセットステーション20に又は
その逆に移す移載ステーション22とされている。The rear area of the main body 14 is a cassette station (that is, a cassette mounting table) 20.
The front-back direction of the main body 14 (the left-right direction in FIG.
Hereinafter, it is referred to as “X direction”. The central area is a transfer station 22 for transferring the substrate 12 from the relay station 18 to the cassette station 20 or vice versa.
【0026】検査用のプローブユニット24及び検査ス
テージ26は図12及び図13に示すように検査ステー
ション16に配置されており、受け渡し装置28は各中
継ステーション18に配置されており、複数のカセット
30はカセットステーション20にY方向に間隔をおい
て配置されており、基板移載用の一対のロボット32は
移載ステーション22にY方向に間隔をおいて配置され
ている。The inspection probe unit 24 and the inspection stage 26 are arranged at the inspection station 16 as shown in FIGS. 12 and 13, and the transfer device 28 is arranged at each relay station 18, and a plurality of cassettes 30 are arranged. Are arranged in the cassette station 20 at an interval in the Y direction, and a pair of substrate transfer robots 32 are arranged in the transfer station 22 at an interval in the Y direction.
【0027】図12及び図13に示すように、プローブ
ユニット24は複数のプローブブロックを矩形の板状ベ
ースに取り付けた公知のものであり、プローブユニット
24の板状ベースはその斜め下側に配置された基板12
を目視により検査する矩形の開口34を有する。As shown in FIGS. 12 and 13, the probe unit 24 is of a known type in which a plurality of probe blocks are mounted on a rectangular plate-like base, and the plate-like base of the probe unit 24 is disposed diagonally below. Substrate 12
Has a rectangular opening 34 for visually inspecting.
【0028】受け渡し装置28とロボット32とは一対
一の形に対応されており、両者の間における基板12の
移載は対応するロボット32により行われる。一方の中
継ステーション18はロボット32から基板12を受け
るローダステーションとして利用され、他方の中継ステ
ーション18は基板12をロボット32に渡すアンロー
ダステーションとして利用される。The transfer device 28 and the robot 32 have a one-to-one correspondence, and the transfer of the substrate 12 between the two is performed by the corresponding robot 32. One relay station 18 is used as a loader station that receives the substrate 12 from the robot 32, and the other relay station 18 is used as an unloader station that transfers the substrate 12 to the robot 32.
【0029】未検査の基板12をその長手方向がX方向
となる状態に水平に収納している1以上のカセット30
は、カセットステーション20のうち、ローダステーシ
ョンとして作用する一方の中継ステーション18の後方
に対応する箇所に配置されている。One or more cassettes 30 for horizontally storing untested substrates 12 such that the longitudinal direction thereof is in the X direction.
Is disposed at a position of the cassette station 20 corresponding to the rear of one of the relay stations 18 acting as a loader station.
【0030】基板12を収納していない空の1以上のカ
セット(図示せず)は、カセットステーション20のう
ち、アンローダステーションとして作用する他方の中継
ステーション18の後方に対応する箇所に配置されてい
る。空のカセットは、検査済みの基板をその長手方向が
X方向となる状態に水平に収納する。One or more empty cassettes (not shown) that do not contain the substrate 12 are arranged in the cassette station 20 at a location corresponding to the rear of the other relay station 18 acting as an unloader station. . The empty cassette stores the inspected substrates horizontally such that the longitudinal direction thereof is in the X direction.
【0031】ロボット32は、移載ステーション22を
Y方向へ平行に伸びる一対のガイドレール36に移動可
能に支持されており、また、モータ及び該モータにより
回転されるリードスクリューを備えるロボット移動機構
38によりY方向の適宜な位置へ移動されて、カセット
30及び受け渡し装置28に対し基板12を水平の状態
で受け渡しかつ搬送する。The robot 32 is movably supported by a pair of guide rails 36 extending in parallel with the transfer station 22 in the Y direction, and has a robot moving mechanism 38 having a motor and a lead screw rotated by the motor. To transfer the substrate 12 to the cassette 30 and the transfer device 28 in a horizontal state.
【0032】各ロボット32は、二股状のハンド40を
ガイドレール36に沿って移動されるハンド駆動機構4
2により移動させて基板12の受け渡しをする公知の装
置である。基板12は、ロボット32により、長手方向
がハンド40の長手方向と一致した状態で水平に搬送及
び受け渡しをされる。Each of the robots 32 moves the forked hand 40 along the guide rail 36 to the hand drive mechanism 4.
2 is a known device that transfers the substrate 12 by moving the substrate 12. The substrate 12 is transported and transferred horizontally by the robot 32 in a state where the longitudinal direction matches the longitudinal direction of the hand 40.
【0033】ローダ側のロボット32においては、未検
査の基板をカセット30から水平の状態でハンド40に
受け、受けた基板をローダ側の受け渡し装置28に水平
の状態で渡す。アンローダ側のロボット32において
は、検査済みの基板をアンローダ側の受け渡し装置28
から水平の状態で受け、その基板を適宜な空のカセット
に水平の状態で渡す。In the robot 32 on the loader side, the uninspected substrate is received by the hand 40 from the cassette 30 in a horizontal state, and the received substrate is transferred to the transfer device 28 on the loader side in a horizontal state. The robot 32 on the unloader side transfers the inspected substrate to the transfer device 28 on the unloader side.
And the substrate is transferred to an appropriate empty cassette in a horizontal state.
【0034】検査ステージ26は、基板12を解放可能
に吸着するチャックトップ44と、チャックトップ44
を移動させる駆動ステージ46とを含む。駆動ステージ
46によるチャックトップ44の移動は、チャックトッ
プ44に受けた基板12と直交するZ軸線の周りの角度
的な回転と、受けた基板12と平行の面内におけるX方
向及びY方向への二次元的な移動と、Z軸線の方向への
移動とを含む。The inspection stage 26 includes a chuck top 44 for releasably adsorbing the substrate 12 and a chuck top 44.
And a drive stage 46 for moving the drive stage. The movement of the chuck top 44 by the drive stage 46 includes an angular rotation about a Z-axis orthogonal to the substrate 12 received by the chuck top 44 and an X-direction and a Y-direction in a plane parallel to the received substrate 12. It includes two-dimensional movement and movement in the direction of the Z axis.
【0035】検査ステージ26は、基板12を搬送装置
48に対して受け渡す。搬送装置48は、ローダ側の受
け渡し装置28と検査ステージ26との間を往復移動さ
れる複数対のローダ用挟持部材48aと、検査ステージ
26とアンローダ側の受け渡し装置28との間を往復移
動される複数対のアンローダ用挟持部材48a(図示せ
ず)とを一対の共通のアーム49に支持させている。The inspection stage 26 transfers the substrate 12 to the transfer device 48. The transport device 48 is reciprocated between the inspection stage 26 and the unloader-side transfer device 28, and a plurality of pairs of loader sandwiching members 48a reciprocated between the loader-side transfer device 28 and the inspection stage 26. A plurality of unloader sandwiching members 48 a (not shown) are supported by a pair of common arms 49.
【0036】対をなす挟持部材48aは、本体14の傾
斜面の傾斜方向に間隔をおいているが、隣の対をなす挟
持部材48aからY方向に間隔をおいている。搬送装置
48は、対をなす挟持部材48aで基板12を挟持した
状態で搬送する。ローダ用挟持部材及びアンローダ用挟
持部材は、同期して移動されると共に、それぞれが対応
する受け渡し装置28に対して基板12の受け渡しをす
る。The pair of holding members 48a are spaced from each other in the direction of inclination of the inclined surface of the main body 14, but are spaced from the adjacent pair of holding members 48a in the Y direction. The transfer device 48 transfers the substrate 12 while holding the substrate 12 between the pair of holding members 48a. The holding member for the loader and the holding member for the unloader are moved in synchronization with each other, and each transfer the substrate 12 to the corresponding transfer device 28.
【0037】図3から図5に示すように、各受け渡し装
置28は、ワークテーブル50と、未検査又は検査済み
の基板12をロボット32に対し水平の状態に挟むよう
にワークテーブル50に配置された複数の芯出し具52
と、ワークテーブル50を芯出し具52に挟まれた基板
12に垂直のZ軸線の方向へ移動させる移動機構54
と、ワークテーブル50をY方向へ伸びる枢軸線の周り
に角度的に回転させる駆動機構56とを含む。As shown in FIGS. 3 to 5, each transfer device 28 is arranged on the work table 50 so as to sandwich the untested or inspected substrate 12 horizontally with respect to the robot 32. A plurality of centering tools 52
And a moving mechanism 54 for moving the work table 50 in the direction of the Z-axis perpendicular to the substrate 12 sandwiched between the centering tools 52.
And a drive mechanism 56 for angularly rotating the worktable 50 about a pivot extending in the Y direction.
【0038】ワークテーブル50は、芯出し具52に挟
まれた基板12と平行な面内を仮想的な円の半径方向へ
伸びる複数のアーム58を支持機構60に支持させ、ロ
ボット32及び搬送装置48に対し芯出し具52と共同
して基板12の受け渡しをする昇降テーブル62をこれ
がアーム58の中央に位置するように支持機構60に配
置している。The work table 50 has a plurality of arms 58 extending in a radial direction of an imaginary circle in a plane parallel to the substrate 12 sandwiched between the centering tools 52 supported by a support mechanism 60, and a robot 32 and a transfer device. An elevating table 62 for transferring the substrate 12 in cooperation with the centering device 52 with respect to 48 is arranged on the support mechanism 60 such that the elevating table 62 is located at the center of the arm 58.
【0039】図示の例では、4つのアーム58が十字状
に組み合わされており、各アーム58に芯出し具52が
配置されている。図示してはいないが、支持機構60
は、アーム58を基板12に垂直のZ軸線の周りに角度
的に回転させる回転機構と、昇降テーブル62をZ軸線
の方向に移動させる昇降機構すなわち変位機構とを備え
ている。昇降テーブル62は、円板状に形成されてお
り、また基板12を解放可能に吸着する複数の吸着パッ
ド64を上面に有している。In the illustrated example, four arms 58 are combined in a cross shape, and a centering tool 52 is arranged on each arm 58. Although not shown, the support mechanism 60
Is provided with a rotation mechanism for angularly rotating the arm 58 about a Z-axis perpendicular to the substrate 12, and a lifting mechanism, ie, a displacement mechanism for moving the lifting table 62 in the Z-axis direction. The elevating table 62 is formed in a disk shape, and has a plurality of suction pads 64 on its upper surface for releasably sucking the substrate 12.
【0040】アーム58は支持機構60の回転機構の出
力軸に組み付けられており、支持機構60は移動機構5
4に支持されている。昇降テーブル62は、支持機構6
0の変位機構に支持されており、その変位機構により芯
出し具52よりもZ軸線の方向に進出する位置と、Z軸
線の方向において芯出し具52とほぼ同じ位置に後退位
置とに選択的に変位される。The arm 58 is mounted on the output shaft of the rotation mechanism of the support mechanism 60, and the support mechanism 60 is
4 is supported. The elevating table 62 includes a support mechanism 6.
0 is selectively supported between a position where the centering tool 52 advances in the direction of the Z axis from the centering tool 52 by the displacement mechanism and a retracted position at substantially the same position as the centering tool 52 in the direction of the Z axis. Is displaced.
【0041】各芯出し具52は、板状のブロック66を
アーム58に配置されたガイドレール68にアーム58
の長手方向へ移動可能に結合させ、基板12の端面に当
接される一対のローラ70をブロック66にZ軸線の周
りに回転可能に支持させている。芯出し具52は、図示
しない駆動機構により相寄り相離れる方向(仮想的な円
の半径方向)へ同期して移動される。Each centering tool 52 has a plate-like block 66 on a guide rail 68 arranged on the arm 58.
And a pair of rollers 70 abutting on the end surface of the substrate 12 are rotatably supported by the block 66 about the Z axis. The centering tool 52 is synchronously moved in a direction in which the centering tool 52 moves toward and away from each other (a radial direction of a virtual circle) by a driving mechanism (not shown).
【0042】移動機構54は、支持機構60を平面コ字
状の受け部材72の内側に、Z軸線方向へ伸びる相対的
移動可能に嵌合されたガイドレール74及びガイド76
によりZ軸線の方向へ移動可能に組み付けている。受け
部材72には、Y方向へ同軸的に伸びる一対の枢軸78
が組み付けられており、枢軸78により駆動機構56に
支持されている。枢軸78は受け部材72から互いに反
対方向へ伸びている。The moving mechanism 54 is provided with a guide rail 74 and a guide 76 which are fitted to the support mechanism 60 so as to be relatively movable and extend in the Z-axis direction inside a flat U-shaped receiving member 72.
To be movable in the direction of the Z axis. The receiving member 72 has a pair of pivots 78 coaxially extending in the Y direction.
Are supported by the drive mechanism 56 by the pivot 78. The pivots 78 extend in opposite directions from the receiving member 72.
【0043】受け部材72は、受け部材72にZ軸線の
方向へ伸びる状態に組み付けられたリードスクリュー8
0と、リードスクリュー80に螺合されかつ支持機構6
0に組み付けられた1以上のリードナット82と、リー
ドスクリュー80をその軸線の周りに回転させる電動機
84とを含むZ軸駆動機構により、Z軸線の方向へ移動
される。The receiving member 72 includes a lead screw 8 attached to the receiving member 72 so as to extend in the Z-axis direction.
0 and the support mechanism 6 screwed to the lead screw 80
It is moved in the direction of the Z-axis by a Z-axis drive mechanism that includes one or more lead nuts 82 assembled to the zero and an electric motor 84 that rotates the lead screw 80 about its axis.
【0044】移動機構54において、リードスクリュー
80が電動機84によりZ軸線の周りに回転されると、
リードナット82がZ軸線の方向に移動されるから、支
持機構60がZ軸線の方向へ移動される。これにより、
ワークテーブル50はZ軸線の方向へ移動される。In the moving mechanism 54, when the lead screw 80 is rotated around the Z axis by the electric motor 84,
Since the lead nut 82 is moved in the direction of the Z axis, the support mechanism 60 is moved in the direction of the Z axis. This allows
The work table 50 is moved in the direction of the Z axis.
【0045】駆動機構56は、移動機構54の枢軸78
をY方向に間隔をおいた一対のブラケットすなわちベー
ス86,88に、移動機構54が両ベース86,88の
間となるように、枢軸運動可能に支持している。両ベー
ス86,88は、検査装置10のフレームに据え付けら
れて、受け渡し装置28全体を支持している。一方のベ
ース86は上方に開放するコ字状の形状を有しており、
他方のベース88はL字状の形状を有している。The driving mechanism 56 is a pivot 78 of the moving mechanism 54.
Are supported by a pair of brackets or bases 86, 88 spaced in the Y direction such that the moving mechanism 54 is pivotally movable between the bases 86, 88. The bases 86 and 88 are mounted on the frame of the inspection device 10 and support the entire delivery device 28. One base 86 has a U-shape that opens upward,
The other base 88 has an L-shape.
【0046】駆動機構56は、また、回転可能に一方の
ベース86に配置されてX方向へ伸びるリードスクリュ
ー90と、リードスクリュー90をこれの軸線の周りに
回転させる電動機92と、リードスクリュー90に螺合
されたリードナット94と、リードナット94にY方向
へ伸びる軸線の周りに枢軸運動可能に連結された第1の
リンク96と、移動機構54の一方の枢軸78に組み付
けられた第2のリンク98とを含む。The driving mechanism 56 includes a lead screw 90 rotatably disposed on one base 86 and extending in the X direction, an electric motor 92 for rotating the lead screw 90 about its axis, and a lead screw 90. A threaded lead nut 94, a first link 96 pivotally connected to the lead nut 94 about an axis extending in the Y direction, and a second link 96 mounted to one pivot 78 of the moving mechanism 54. Link 98.
【0047】リードナット94は、第1のリンク96を
枢軸100により組み付けている組み付け部102を有
している。第1及び第2のリンク96及び98は、互い
に滑動可能に結合されたガイドレール104及びガイド
106により、相対的に移動可能に連結されている。リ
ードナット94の移動方向は、ベース86に取り付けら
れた一対のガイドレール108(図3を参照)により、
X方向に規制されている。The lead nut 94 has an assembling portion 102 for assembling the first link 96 with the pivot 100. The first and second links 96 and 98 are relatively movably connected by a guide rail 104 and a guide 106 slidably connected to each other. The moving direction of the lead nut 94 is determined by a pair of guide rails 108 (see FIG. 3) attached to the base 86.
It is regulated in the X direction.
【0048】駆動機構56において、リードスクリュー
90が電動機92により回転されて、リードナット94
がX方向へ移動されると、第1のリンク96が枢軸10
0の軸線の周りに角度的に回転され、第1のリンク96
に滑動可能に結合された第2のリンク98が枢軸78の
軸線の周りに角度的に回転される。これにより、移動機
構54が枢軸78の軸線の周りに角度的に回転されるか
ら、移動機構54に支持されているワークテーブル50
がY方向へ伸びる軸線(実際には、枢軸78の軸線)の
周りに角度的に回転される。In the driving mechanism 56, the lead screw 90 is rotated by the
Is moved in the X direction, the first link 96
The first link 96 is rotated angularly about the zero axis.
A second link 98 slidably coupled to the pivot shaft 78 is angularly rotated about the axis of the pivot 78. As a result, the moving mechanism 54 is angularly rotated about the axis of the pivot 78, so that the work table 50 supported by the moving mechanism 54 is
Are rotated angularly about an axis extending in the Y direction (actually, the axis of pivot 78).
【0049】次に、図6から図12を参照して、検査装
置10の動作を説明する。Next, the operation of the inspection apparatus 10 will be described with reference to FIGS.
【0050】先ず、ローダ側のロボット32が、そのハ
ンド40を未検査の基板を収納しているカセット30に
向け、そのカセット30内の未検査の基板12をハンド
40により水平に取り出す。この時点において、未検査
の基板12は、その長手方向がハンド40の長手方向
(X方向)と一致されている。First, the robot 32 on the loader side directs the hand 40 to the cassette 30 containing the uninspected substrate, and takes out the uninspected substrate 12 in the cassette 30 horizontally by the hand 40. At this point, the longitudinal direction of the uninspected substrate 12 matches the longitudinal direction (X direction) of the hand 40.
【0051】次いで、ローダ側のロボット32は、基板
12を上記のように受けた状態で、ハンド40をZ軸線
の周りに180度回転させ、ハンド40を所定の高さ位
置に調整する。これにより、基板12は、ローダ側の受
け渡し装置28の上方に変位される。Next, the robot 32 on the loader side rotates the hand 40 around the Z axis by 180 degrees with the substrate 12 received as described above, and adjusts the hand 40 to a predetermined height position. Thus, the substrate 12 is displaced above the transfer device 28 on the loader side.
【0052】次いで、図6に示すように、ローダ側の受
け渡し装置28の昇降テーブル62が二股状のハンド4
0の間を通ってそのハンド40の上方となる位置まで上
昇される。これにより、基板12は、その長手方向をX
方向とされた水平の状態で、ハンド40から昇降テーブ
ル62に渡されて吸着パッド64に吸着される。この状
態において、ロボット32は、ハンド40をカセット3
0側に移動させる。Next, as shown in FIG. 6, the lifting table 62 of the transfer device 28 on the loader side is
0, and is raised to a position above the hand 40. As a result, the substrate 12 has its longitudinal direction set to X.
In the horizontal state, the hand 40 passes from the hand 40 to the lifting table 62 and is sucked by the suction pad 64. In this state, the robot 32 moves the hand 40 to the cassette 3
Move to 0 side.
【0053】次いで、昇降テーブル62が芯出し具52
とほぼ同じ高さ位置に下げられる。しかし、芯出し具5
2は、昇降テーブル62の下降開始までの間に、基板1
2をローラ70により形成される空間内に受け入れるこ
とができる位置に移動されている。Next, the lifting table 62 is moved to the centering device 52.
It can be lowered to almost the same height as. However, alignment tool 5
2 is the substrate 1 before the descent of the elevating table 62 is started.
2 has been moved to a position where it can be received in the space formed by the rollers 70.
【0054】次いで、図7に示すように、芯出し具52
が相寄る方向へ同期して移動される。これにより、芯出
し具52は、ローラ70を基板12の端面に当接させ、
基板12を相手の芯出し具52に向けて押す。これによ
り、基板12は、これと平行の面内で二次元的に移動さ
れて、受け渡し装置28に対するアライメントをされる
と共に、芯出し具52の相互作用により水平の姿勢に挟
まれる。Next, as shown in FIG.
Are synchronously moved in the direction toward each other. Thereby, the centering tool 52 causes the roller 70 to abut on the end face of the substrate 12,
The substrate 12 is pushed toward the centering tool 52 of the other party. As a result, the substrate 12 is two-dimensionally moved in a plane parallel to the substrate 12 and is aligned with the transfer device 28, and is sandwiched in a horizontal position by the interaction of the centering tool 52.
【0055】受け渡し装置28によるアライメントは、
基板12の中央をワークテーブル50やアーム58の中
央と一致させる、いわゆる芯出しであり、基板の一端面
を位置決めピンに当接させる従来のアライメントと異な
る。The alignment by the transfer device 28
This is a so-called centering in which the center of the substrate 12 matches the center of the work table 50 or the arm 58, which is different from the conventional alignment in which one end surface of the substrate is brought into contact with positioning pins.
【0056】アライメント時、基板12は、昇降テーブ
ル62による吸着から解放されて、昇降テーブル62か
ら噴射される圧縮空気により昇降テーブル62からわず
かに浮上された状態で、昇降テーブル62に対して移動
される。このため、アライメント時、基板12が受け渡
し装置28に対し二次元的に移動されても、基板12の
損傷が防止される。At the time of alignment, the substrate 12 is released from suction by the elevating table 62 and is moved with respect to the elevating table 62 while being slightly lifted from the elevating table 62 by the compressed air injected from the elevating table 62. You. For this reason, at the time of alignment, even if the substrate 12 is two-dimensionally moved with respect to the transfer device 28, damage to the substrate 12 is prevented.
【0057】また、アライメント時、基板12はその端
面をローラ70に当接させてそのローラ70を回転させ
つつ、ブロック66に対し変位されるから、たとえ基板
12が二次元的に移動されても、基板12の移動が円滑
になる。At the time of alignment, the substrate 12 is displaced with respect to the block 66 while rotating the roller 70 with its end face abutting on the roller 70. Therefore, even if the substrate 12 is moved two-dimensionally. In addition, the movement of the substrate 12 becomes smooth.
【0058】アライメントが終了すると、基板12が再
度昇降テーブル62に吸着された状態で、図8に示すよ
うに、受け渡し装置28のアーム58がZ軸線の周りに
90度回転される。これにより、受けられている基板1
2は、その長手方向が搬送装置48による基板12の搬
送方向(Y方向)となるように、方向を変更される。こ
のとき、基板12は芯出し具52に挟まれかつ昇降テー
ブル62に吸着されているから、芯出し具52や昇降テ
ーブル62に対して変位しない。When the alignment is completed, the arm 58 of the transfer device 28 is rotated by 90 degrees around the Z-axis, as shown in FIG. Thereby, the substrate 1 being received
2, the direction is changed such that the longitudinal direction is the transport direction (Y direction) of the substrate 12 by the transport device 48. At this time, since the substrate 12 is sandwiched between the centering tools 52 and adsorbed on the elevating table 62, it is not displaced with respect to the centering tool 52 and the elevating table 62.
【0059】次いで、図9に示すように、ワークテーブ
ル50及び移動機構54が駆動機構56により枢軸78
の軸線の周りに60度回転される。これにより、芯出し
具52に挟まれかつ昇降テーブル62に吸着されている
基板12は水平線に対し60度傾斜した斜めの姿勢に変
更される。このとき、ガイドレール104及びガイド1
06は、結合された状態で、相対的に滑動する。Next, as shown in FIG. 9, the work table 50 and the moving mechanism 54 are pivoted by the driving mechanism 56 to the pivot 78.
Is rotated 60 degrees around the axis of As a result, the substrate 12 sandwiched between the centering members 52 and adsorbed on the elevating table 62 is changed to an oblique posture inclined by 60 degrees with respect to the horizontal line. At this time, the guide rail 104 and the guide 1
06 relatively slides in the coupled state.
【0060】この状態において、基板12の上面に形成
されている識別子が、図2、図10及び図11に示すよ
うに、本体14に組み付けられたビデオカメラ110に
より読み取られ、メモリに記憶される。識別子は、基板
を特定する算用数字のような文字であり、その基板の検
査結果の記録及び記憶の際に利用される。この時点にお
いては、基板12が受け渡し装置28に対して芯出しを
されているから、識別子は正確に読み取られる。In this state, the identifier formed on the upper surface of the substrate 12 is read by the video camera 110 mounted on the main body 14 and stored in the memory, as shown in FIGS. . The identifier is a character such as an arithmetic numeral for specifying a board, and is used when recording and storing the inspection result of the board. At this time, since the substrate 12 is centered with respect to the transfer device 28, the identifier is correctly read.
【0061】識別子をモニタに表示し、作業者がモニタ
の画面を確認して、識別子を記録してもよい。識別子が
バーコードである場合、ビデオカメラ110の代わりに
バーコードリーダを用いてもよい。The identifier may be displayed on the monitor, and the operator may check the monitor screen and record the identifier. If the identifier is a barcode, a barcode reader may be used instead of the video camera 110.
【0062】次いで、図10にローダ側の部材だけを示
すように、ローダ用挟持部材48a及びアンローダ用挟
持部材48がそれぞれローダ側の各中継ステーション1
8及び検査ステーション16に移動され、Z軸線の方向
における基板12の位置が同方向における挟持部材48
aの位置と一致するように、ワークテーブル50が移動
機構54により搬送装置48に向けてZ軸線の方向へ移
動される。Next, as shown in FIG. 10, only the members on the loader side are shown.
8 and the inspection station 16 so that the position of the substrate 12 in the Z-axis direction is
The work table 50 is moved by the moving mechanism 54 toward the transport device 48 in the direction of the Z-axis so as to coincide with the position a.
【0063】次いで、図11に示すように、ローダ用挟
持部材48aが相寄る方向へ移動されて基板12を挟持
し、アーム58が移動機構54により元の位置に戻され
る。これにより、基板12は受け渡し装置28から挟持
部材48aに斜めの姿勢で渡される。Next, as shown in FIG. 11, the loader sandwiching member 48a is moved in the opposite direction to sandwich the substrate 12, and the arm 58 is returned to the original position by the moving mechanism 54. As a result, the substrate 12 is transferred from the transfer device 28 to the holding member 48a in an oblique posture.
【0064】ローダ側の挟持部材48aが未検査の基板
12を挟持すると同時期に、アンローダ側の挟持部材
は、検査ステージ26上の検査済みの基板を斜めの姿勢
で受けて挟持する。また、アンローダ側のロボットは、
アンローダ側の受け渡し装置28上の検査済みの基板を
ハンドに水平の状態で受け、その基板を空のカセットに
移す作業を終了している。At the same time as the holding member 48a on the loader side holds the untested substrate 12, the holding member on the unloader side receives and holds the inspected substrate on the inspection stage 26 in an oblique posture. Also, the robot on the unloader side
The inspected substrate on the transfer device 28 on the unloader side is received by the hand in a horizontal state, and the operation of transferring the substrate to an empty cassette is completed.
【0065】アンローダ側のロボット及び受け渡し装置
間で検査済みの基板を受け渡すとき、アンローダ側の受
け渡し装置28は、検査済みの基板を昇降テーブル62
に吸着させた状態で、芯出し具52をこれらが相離れる
方向に移動させ、アンローダ側のロボットのハンドが後
退されている状態で昇降テーブル62を上昇させ、ロボ
ットのハンドが昇降テーブル62の下側に突出された状
態で、検査済みの基板の吸着を解除させ、その後昇降テ
ーブル62を下降させる。これにより、アンローダ側の
芯出し具渡し装置28の基板がアンローダ側のロボット
に渡される。When transferring the inspected substrate between the robot and the transfer device on the unloader side, the transfer device 28 on the unloader side transfers the inspected substrate to the lifting table 62.
In a state in which the robot hand is retracted, the centering tool 52 is moved in a direction in which these are separated from each other, and the lifting table 62 is raised in a state where the robot hand on the unloader side is retracted. In the state of being protruded to the side, the suction of the inspected substrate is released, and then the elevating table 62 is lowered. Thus, the substrate of the centering device transfer device 28 on the unloader side is transferred to the robot on the unloader side.
【0066】上記の後、アンローダ側の受け渡し装置2
8は、次の検査済み基板を搬送装置40から斜めに受け
るべく、ワークテーブル50及び移動機構54を駆動機
構56により枢軸78の軸線の周りに60度回転させ
る。After the above, the transfer device 2 on the unloader side
8 rotates the work table 50 and the moving mechanism 54 about the axis of the pivot 78 by the drive mechanism 56 so as to receive the next inspected substrate obliquely from the transfer device 40.
【0067】次いで、搬送装置48は、未検査の基板及
び検査済みの基板をそれぞれ検査ステーション16及び
アンローダ側の中継ステーション18に搬送し、それら
の基板を検査ステージ26及びアンローダ側の受け渡し
装置28に斜めの状態で渡す。図12は未検査の基板1
2を検査ステージ26に渡す状態を示している。Next, the transport device 48 transports the uninspected substrate and the inspected substrate to the inspection station 16 and the relay station 18 on the unloader side, respectively, and transfers the substrates to the inspection stage 26 and the transfer device 28 on the unloader side. Hand it diagonally. FIG. 12 shows an untested substrate 1
2 shows a state in which the test object 2 is passed to the inspection stage 26.
【0068】未検査の基板が検査ステーション16に搬
送されると、検査ステージ26は、チャックトップ44
を駆動ステージ46によりZ軸線の方向に突出させて、
未検査の基板をチャックトップ44に吸着し、ローダ側
の挟持部材48aが離れる方向へ移動された後にチャッ
クトップ44を所定の位置に戻し、ローダ側の挟持部材
48aが検査ステーション16から他の箇所へ移動され
た後にチャックトップ44を再度Z軸線の方向に突出さ
せて検査を開始する(図13を参照)。検査を開始する
前に、基板に形成されているアライメントマークを読み
取って、基板の精密アライメントを行ってもよい。When the untested substrate is transported to the inspection station 16, the inspection stage 26 moves the chuck top 44
Is projected in the direction of the Z axis by the drive stage 46,
The uninspected substrate is attracted to the chuck top 44, and the chuck top 44 is returned to a predetermined position after the holding member 48a on the loader side is moved away, and the holding member 48a on the loader side is moved from the inspection station 16 to another position. After that, the chuck top 44 is again projected in the Z-axis direction to start inspection (see FIG. 13). Before starting the inspection, the alignment marks formed on the substrate may be read to perform precise alignment of the substrate.
【0069】検査済みの基板がアンローダ側の中継ステ
ーション18に搬送されると、アンローダ側の受け渡し
装置28は、ワークテーブル50及び移動機構54を傾
斜させた状態でワークテーブル50をZ軸線の方向に突
出させ、芯出し具52を相寄る方向へ移動させて検査済
みの基板を挟持させ、アンローダ側の挟持部材48aが
離れる方向へ移動された後にワークテーブル50を所定
の位置に下降させ、アンローダ側の挟持部材48aが検
査ステーション16から他の箇所へ移動された後にワー
クテーブル50を水平の状態に戻し、アーム58をZ軸
線の周りに90度回転させる。これにより、検査済みの
基板は、これをアンローダ側のロボットに渡すことがで
きるように、アンローダ側の受け渡し装置28に水平に
受けられる。When the inspected substrate is transferred to the relay station 18 on the unloader side, the transfer device 28 on the unloader side moves the work table 50 in the Z-axis direction with the work table 50 and the moving mechanism 54 inclined. The work table 50 is lowered to a predetermined position after the holding member 48a on the unloader side is moved in the direction in which the inspected substrate is held by moving the centering tool 52 in the direction in which the unloader side moves. After the holding member 48a is moved from the inspection station 16 to another position, the work table 50 is returned to a horizontal state, and the arm 58 is rotated by 90 degrees around the Z axis. Thereby, the inspected substrate is horizontally received by the transfer device 28 on the unloader side so that the substrate can be transferred to the robot on the unloader side.
【0070】アンローダ側の受け渡し装置28において
は、検査済みの基板を搬送装置48から昇降テーブル6
2に受け、その基板を昇降テーブル62から芯出し具5
2に渡すようにしてもよい。In the transfer device 28 on the unloader side, the inspected substrate is transferred from the transport device 48 to the lifting table 6.
2 and the substrate is taken out of the elevating table 62 by the centering tool 5.
2 may be passed.
【0071】搬送装置が両基板を上記のように搬送して
いる間、ローダ側の中継ステーション18は、ワークテ
ーブル50を水平の状態に戻し、ワークテーブル50を
90度逆転させて、新たな未検査の基板を受けるように
待機する。While the transfer device is transferring the two substrates as described above, the relay station 18 on the loader side returns the work table 50 to a horizontal state, reverses the work table 50 by 90 degrees, and sets a new unprocessed state. Wait to receive the board for inspection.
【0072】ローダ側の受け渡し装置28において、ア
ームを90度回転させる代わりに、昇降テーブル62を
これの下降前にZ軸線の周りに90度回転させることに
より、基板の方向を変更してもよい。In the transfer device 28 on the loader side, instead of rotating the arm 90 degrees, the direction of the substrate may be changed by rotating the elevating table 62 90 degrees about the Z axis before descending the arm. .
【0073】上記の実施例では、ローダ側の受け渡し装
置28とアンローダ側の受け渡し装置28とを用いてい
るが、同じ受け渡し装置28をローダ用及びアンローダ
用に兼用することができる。この場合、受け渡し装置2
8に対する基板の受け渡しは、一対のハンドを備えるロ
ボットを用い、検査済みの表示用基板を一方のアームに
受け取るとともに、他方のアームに受けている未検査の
表示用基板を同じ受け渡し装置28に渡すように、ロボ
ット及び受け渡し装置28を制御することができる。In the above embodiment, the transfer device 28 on the loader side and the transfer device 28 on the unloader side are used, but the same transfer device 28 can be used for both the loader and the unloader. In this case, the transfer device 2
The transfer of the substrate to and from the display device 8 is performed by using a robot having a pair of hands to receive the inspected display substrate in one arm and to pass the untested display substrate received in the other arm to the same transfer device 28. Thus, the robot and the transfer device 28 can be controlled.
【0074】本発明は上記実施例に限定されない。たと
えば、本発明は、目視検査装置用の受け渡し装置のみな
らず、自動検査装置、EL表示基板の検査装置、表示パ
ネル用のガラス基板の検査装置等、他の検査装置用の受
け渡し装置にも適用することができる。The present invention is not limited to the above embodiment. For example, the present invention is applicable not only to a delivery device for a visual inspection device but also to a delivery device for other inspection devices such as an automatic inspection device, an EL display substrate inspection device, a glass substrate inspection device for a display panel, and the like. can do.
【0075】本発明は、上記実施例に限定されず、その
趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。The present invention is not limited to the above embodiment, but can be variously modified without departing from the gist thereof.
【図1】本発明に係る受け渡し装置を用いた検査装置の
一実施例を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of an inspection device using a delivery device according to the present invention.
【図2】図1の検査装置におけるローダステーションの
図である。FIG. 2 is a diagram of a loader station in the inspection device of FIG.
【図3】本発明に係る受け渡し装置の一実施例を示す平
面図である。FIG. 3 is a plan view showing an embodiment of a delivery device according to the present invention.
【図4】図3に示す受け渡し装置の正面図である。FIG. 4 is a front view of the delivery device shown in FIG.
【図5】図4における5−5線に沿って得た断面図であ
る。FIG. 5 is a sectional view taken along line 5-5 in FIG.
【図6】図1に示す検査装置の動作を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing the operation of the inspection device shown in FIG.
【図7】図6の後の動作を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing an operation after FIG. 6;
【図8】図7の後の動作を示す図である。FIG. 8 is a diagram showing the operation after FIG. 7;
【図9】図8の後の動作を示す図である。FIG. 9 is a diagram showing the operation after FIG. 8;
【図10】図9の後の動作を示す図である。FIG. 10 is a diagram showing the operation after FIG. 9;
【図11】図10の後の動作を示す図である。FIG. 11 is a diagram showing an operation after FIG. 10;
【図12】図11の後の動作を示す図である。FIG. 12 is a diagram showing the operation after FIG. 11;
【図13】図12の後の動作を示す図である。FIG. 13 is a diagram showing the operation after FIG. 12;
10 検査装置 12 表示用基板 14 本体 16 検査ステーション 18 中継ステーション 20 カセットステーション 22 移載ステーション 24 プローブユニット 26 検査ステージ 28 受け渡し装置 30 カセット 32 ロボット DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Inspection apparatus 12 Display board 14 Main body 16 Inspection station 18 Relay station 20 Cassette station 22 Transfer station 24 Probe unit 26 Inspection stage 28 Delivery device 30 Cassette 32 Robot
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藤原 慎治 東京都武蔵野市吉祥寺本町2丁目6番8号 株式会社日本マイクロニクス内 (72)発明者 植木 勲 東京都武蔵野市吉祥寺本町2丁目6番8号 株式会社日本マイクロニクス内 Fターム(参考) 2H088 FA11 FA30 MA20 5F031 CA05 FA02 FA12 FA15 GA38 GA49 HA13 HA24 HA27 HA44 HA58 JA04 KA11 KA20 LA12 MA33 PA16 5G435 AA17 AA19 BB12 KK05 KK09 KK10 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Shinji Fujiwara 2-6-8 Kichijoji Honcho, Musashino City, Tokyo Inside Micronics Co., Ltd. (72) Inventor Isao Ueki 2-6-8 Kichijoji Honmachi, Musashino City, Tokyo No. F term in Japan Micronics Co., Ltd. (reference) 2H088 FA11 FA30 MA20 5F031 CA05 FA02 FA12 FA15 GA38 GA49 HA13 HA24 HA27 HA44 HA58 JA04 KA11 KA20 LA12 MA33 PA16 5G435 AA17 AA19 BB12 KK05 KK09 KK10
Claims (8)
複数の芯出し具であって挟まれた基板と平行の面内で相
寄り相離れる方向へ移動可能に前記ワークテーブルに配
置された芯出し具と、前記ワークテーブルを水平方向へ
伸びる枢軸線の周りに角度的に回転させる駆動機構とを
含む、表示用基板の受け渡し装置。1. A work table and a plurality of centering tools for holding a substrate in cooperation with each other and arranged on the work table so as to be movable toward and away from each other in a plane parallel to the held substrate. A transfer device for a display substrate, comprising: a dispensing tool; and a driving mechanism for rotating the work table angularly about a pivot extending in a horizontal direction.
た基板を水平の状態と傾斜した状態とに選択的に変位さ
せるべく前記ワークテーブルを水平方向へ伸びる軸線の
周りに角度的に回転させる、請求項1に記載の装置。2. The method according to claim 1, wherein the driving mechanism is configured to angularly move the work table about an axis extending in a horizontal direction so as to selectively displace a substrate sandwiched between the centering tools between a horizontal state and an inclined state. The device of claim 1, wherein the device is rotated.
移動可能に前記ワークテーブルに配置されたブロック
と、挟まれた基板に垂直のZ軸線の周りに回転可能に前
記ブロックに支持された1以上のローラあって基板の端
面に当接可能のローラとを含む、請求項1又は2に記載
の装置。3. The centering device includes: a block arranged on the work table so as to be movable in a radial direction of a virtual circle; and a block rotatably around a Z axis perpendicular to a sandwiched substrate. The apparatus according to claim 1 or 2, further comprising at least one supported roller and a roller capable of abutting an end surface of the substrate.
挟まれた基板と平行の面内を仮想的な円の半径方向へ伸
びる複数のアームと、該アームを支持しかつ該アームを
前記挟まれた基板に垂直のZ軸線の周りに角度的に回転
させる支持機構とを含み、各芯出し具は前記アームに前
記半径方向へ移動可能に配置されている、請求項1,2
又は3に記載の装置。4. The work table includes a plurality of arms extending in a radial direction of an imaginary circle in a plane parallel to the substrate sandwiched between the centering tools, supporting the arms, and holding the arms between the arms. A support mechanism for angularly rotating about a Z-axis perpendicular to the mounted substrate, wherein each centering tool is disposed on the arm so as to be movable in the radial direction.
Or the apparatus according to 3.
受け渡しをすべく前記支持機構に配置された昇降テーブ
ルであって当該昇降テーブルが前記芯出し具に対し前記
Z軸線の方向へ変位される昇降テーブルを含む、請求項
4に記載の装置。5. The elevating table arranged on the support mechanism for transferring a substrate, wherein the elevating table is displaced in the direction of the Z-axis with respect to the centering tool. The apparatus of claim 4, comprising a table.
し具に挟まれた基板に垂直のZ軸線の方向へ移動させる
移動機構を含む、請求項1から5のいずれか1項に記載
の装置。6. The apparatus according to claim 1, further comprising a moving mechanism for moving the work table in a Z-axis direction perpendicular to the substrate sandwiched between the centering tools.
軸線の方向へ移動可能に受ける受け部材と、該受け部材
を前記Z軸線の方向へ移動させる機構とを含む、請求項
4に記載の装置。7. The moving mechanism includes:
The apparatus according to claim 4, further comprising a receiving member movably receiving in the direction of the axis, and a mechanism for moving the receiving member in the direction of the Z axis.
軸線の周りに枢軸運動可能に受けるベースと、該ベース
に回転可能に配置されたねじ棒と、該ねじ棒をこれの軸
線の周りに回転させる回転源と、前記ねじ棒に螺合され
たナットと、該ナットに前記ねじ棒と交差する方向へ伸
びる軸線の周りに枢軸運動可能に連結された第1のリン
クと、前記ワークテーブルに組み付けられた第2のリン
クであって前記第1のリンクに移動可能に連結された第
2のリンクとを含む、請求項1から7のいずれか1項に
記載の装置。8. The drive mechanism includes a base for pivotally receiving the support mechanism about the axis, a threaded rod rotatably disposed on the base, and a threaded rod about the axis. A rotation source, a nut threadedly engaged with the threaded rod, a first link pivotally connected to the nut about an axis extending in a direction intersecting the threaded rod, and the worktable; 8. A device as claimed in any one of the preceding claims, comprising a second link assembled to the first link and a second link movably connected to the first link.
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2001180024A JP2002373925A (en) | 2001-06-14 | 2001-06-14 | Delivery device for substrate for display |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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