JP2002372505A - 瞬間停電保護機能付き試料分析装置 - Google Patents
瞬間停電保護機能付き試料分析装置Info
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- JP2002372505A JP2002372505A JP2001178285A JP2001178285A JP2002372505A JP 2002372505 A JP2002372505 A JP 2002372505A JP 2001178285 A JP2001178285 A JP 2001178285A JP 2001178285 A JP2001178285 A JP 2001178285A JP 2002372505 A JP2002372505 A JP 2002372505A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 交流電源に一定レベルの瞬停が生じても、試
料分析装置の連続動作を保証しながら、無停電電源装置
の小容量化および低コスト化を実現する。 【解決手段】 試料4の分析を行う試料分析装置であっ
て、試料4に対する照射源2または励起源を含む一部の
機器21,22に、分析装置1を作動させる交流電源を
直流に変換してその直流電圧を安定化させる電源安定化
手段14が設けられ、残りの機器が無停電電源装置13
を介して交流電源に接続され、さらに、交流電源の瞬間
的な電圧低下を検出する瞬停検出回路15と、瞬停検出
回路15による検出に基づいて、交流電源の瞬間的な電
圧低下の発生を表示する瞬停発生表示手段16とを備え
る。
料分析装置の連続動作を保証しながら、無停電電源装置
の小容量化および低コスト化を実現する。 【解決手段】 試料4の分析を行う試料分析装置であっ
て、試料4に対する照射源2または励起源を含む一部の
機器21,22に、分析装置1を作動させる交流電源を
直流に変換してその直流電圧を安定化させる電源安定化
手段14が設けられ、残りの機器が無停電電源装置13
を介して交流電源に接続され、さらに、交流電源の瞬間
的な電圧低下を検出する瞬停検出回路15と、瞬停検出
回路15による検出に基づいて、交流電源の瞬間的な電
圧低下の発生を表示する瞬停発生表示手段16とを備え
る。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、試料に電磁波もし
くは粒子線を照射するか、または試料中の原子を励起し
て、試料から発生するX線、試料によって回折されたX
線、および試料中の原子によって発生する励起光のうち
少なくとも1つを検出して試料の分析を行う試料分析装
置に関するものである。
くは粒子線を照射するか、または試料中の原子を励起し
て、試料から発生するX線、試料によって回折されたX
線、および試料中の原子によって発生する励起光のうち
少なくとも1つを検出して試料の分析を行う試料分析装
置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】以下、試料分析装置の一例である蛍光X
線分析装置を例に説明する。従来の蛍光X線分析装置に
は、駆動入力電源である3相AC200ボルトに極く短
時間の電圧降下(以下、「瞬停」という)や停電があっ
ても、装置の連続運転が可能なように、無停電電源装置
(以下、「UPS」という)から装置全体に給電するも
のと、瞬停があったとき装置の運転は停止するが、UP
Sから分析データを記録する記録装置と、装置全体の動
作を制御するマイクロコンピュータに給電して瞬停発生
前の分析データを保護するものとが知られている。
線分析装置を例に説明する。従来の蛍光X線分析装置に
は、駆動入力電源である3相AC200ボルトに極く短
時間の電圧降下(以下、「瞬停」という)や停電があっ
ても、装置の連続運転が可能なように、無停電電源装置
(以下、「UPS」という)から装置全体に給電するも
のと、瞬停があったとき装置の運転は停止するが、UP
Sから分析データを記録する記録装置と、装置全体の動
作を制御するマイクロコンピュータに給電して瞬停発生
前の分析データを保護するものとが知られている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】前者のUPSから蛍光
X線分析装置全体に給電するものでは、大容量のUPS
が必要になるため、コスト高となる。また、後者のUP
Sから記録装置を含むマイクロコンピュータに給電する
ものでは、瞬停発生前の分析データは守られるが、瞬停
発生時に蛍光X線分析装置への給電が断たれて動作が停
止するので再起動が必要となり、蛍光X線分析装置の稼
働効率が低下する。さらに、瞬停発生時の分析データを
削除する操作が煩わしいという問題があった。
X線分析装置全体に給電するものでは、大容量のUPS
が必要になるため、コスト高となる。また、後者のUP
Sから記録装置を含むマイクロコンピュータに給電する
ものでは、瞬停発生前の分析データは守られるが、瞬停
発生時に蛍光X線分析装置への給電が断たれて動作が停
止するので再起動が必要となり、蛍光X線分析装置の稼
働効率が低下する。さらに、瞬停発生時の分析データを
削除する操作が煩わしいという問題があった。
【0004】本発明は、前記課題の解消を目的としてな
されたもので、試料分析装置を作動させる交流電源に一
定レベルの瞬停が生じても試料分析装置の連続動作を停
止させることなくUPSの小容量化が実現できる試料分
析装置を得ることを目的とする。
されたもので、試料分析装置を作動させる交流電源に一
定レベルの瞬停が生じても試料分析装置の連続動作を停
止させることなくUPSの小容量化が実現できる試料分
析装置を得ることを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の第1構成に係る試料分析装置は、試料分析
装置を作動させる交流電源の瞬間的な電圧低下を検出す
る瞬停検出回路と、前記瞬停検出回路による検出に基づ
いて、前記交流電源の瞬間的な電圧低下の発生を表示す
る瞬停発生表示手段とを備えている。上記構成によれ
ば、瞬停検出回路は入力電圧の瞬停を検出し、瞬停発生
表示手段に瞬停があったことが表示されるから、操作者
は、交流電源に瞬停があったことを認知することができ
るので、瞬停に対する適切な処置をとることができる。
に、本発明の第1構成に係る試料分析装置は、試料分析
装置を作動させる交流電源の瞬間的な電圧低下を検出す
る瞬停検出回路と、前記瞬停検出回路による検出に基づ
いて、前記交流電源の瞬間的な電圧低下の発生を表示す
る瞬停発生表示手段とを備えている。上記構成によれ
ば、瞬停検出回路は入力電圧の瞬停を検出し、瞬停発生
表示手段に瞬停があったことが表示されるから、操作者
は、交流電源に瞬停があったことを認知することができ
るので、瞬停に対する適切な処置をとることができる。
【0006】本発明の第2構成に係る試料分析装置は、
試料に電磁波もしくは粒子線を照射するか、または試料
中の原子を励起して、試料から発生するX線、試料によ
って回折されたX線、および試料中の原子によって発生
する励起光のうち少なくとも1つを検出して試料の分析
を行う試料分析装置であって、試料に対する照射源もし
くは励起源を含む一部の機器に、前記試料分析装置を作
動させる交流電源を直流に変換してその直流電圧を安定
化させる電源安定化手段が設けられ、残りの機器が無停
電電源装置(UPS)を介して前記交流電源に接続さ
れ、さらに、前記交流電源の瞬間的な電圧低下を検出す
る瞬停検出回路と、前記瞬停検出回路による検出に基づ
いて、前記交流電源の瞬間的な電圧低下の発生を表示す
る瞬停発生表示手段とを備えている。
試料に電磁波もしくは粒子線を照射するか、または試料
中の原子を励起して、試料から発生するX線、試料によ
って回折されたX線、および試料中の原子によって発生
する励起光のうち少なくとも1つを検出して試料の分析
を行う試料分析装置であって、試料に対する照射源もし
くは励起源を含む一部の機器に、前記試料分析装置を作
動させる交流電源を直流に変換してその直流電圧を安定
化させる電源安定化手段が設けられ、残りの機器が無停
電電源装置(UPS)を介して前記交流電源に接続さ
れ、さらに、前記交流電源の瞬間的な電圧低下を検出す
る瞬停検出回路と、前記瞬停検出回路による検出に基づ
いて、前記交流電源の瞬間的な電圧低下の発生を表示す
る瞬停発生表示手段とを備えている。
【0007】上記構成によれば、瞬停検出回路で瞬停が
検出されると、瞬停発生表示手段に表示されるので、操
作者は、交流電源に瞬停があったことを認知することが
でき、適切な処置をとることができる。他方、瞬停があ
っても、電源安定化手段を有する一部の機器、および無
停電電源装置に接続された残りの機器は動作を停止せ
ず、連続運転が維持される。また、電力容量の大きい照
射源または励起源を含む一部の機器は、電源安定化手段
を備えているから、UPSに接続する必要がないので、
UPSの容量を小さくできる。
検出されると、瞬停発生表示手段に表示されるので、操
作者は、交流電源に瞬停があったことを認知することが
でき、適切な処置をとることができる。他方、瞬停があ
っても、電源安定化手段を有する一部の機器、および無
停電電源装置に接続された残りの機器は動作を停止せ
ず、連続運転が維持される。また、電力容量の大きい照
射源または励起源を含む一部の機器は、電源安定化手段
を備えているから、UPSに接続する必要がないので、
UPSの容量を小さくできる。
【0008】本発明の好ましい実施形態においては、さ
らに前記瞬停検出回路による検出に基づいて、前記交流
電源に瞬間的な電圧低下が発生した分析ステップを、始
めから再スタートさせる再スタート指令手段を備えてい
る。この構成によれば、再スタート指令手段は、瞬停が
検出されたとき、瞬停があったとき分析中であったステ
ップを、始めから再スタートさせるので、分析データの
信頼性が向上する。
らに前記瞬停検出回路による検出に基づいて、前記交流
電源に瞬間的な電圧低下が発生した分析ステップを、始
めから再スタートさせる再スタート指令手段を備えてい
る。この構成によれば、再スタート指令手段は、瞬停が
検出されたとき、瞬停があったとき分析中であったステ
ップを、始めから再スタートさせるので、分析データの
信頼性が向上する。
【0009】さらに本発明の好ましい実施形態において
は、前記瞬停検出回路による検出に基づいて、交流電源
に瞬間的な電圧低下が発生したときの分析データを無効
にするデータ無効手段を備えている。この構成によれ
ば、データ無効手段は、瞬停が検出されたとき、瞬停が
あったときの分析データを無効にするので、分析データ
の信頼性が向上する。
は、前記瞬停検出回路による検出に基づいて、交流電源
に瞬間的な電圧低下が発生したときの分析データを無効
にするデータ無効手段を備えている。この構成によれ
ば、データ無効手段は、瞬停が検出されたとき、瞬停が
あったときの分析データを無効にするので、分析データ
の信頼性が向上する。
【0010】さらに本発明の好ましい実施形態において
は、前記瞬停検出回路による検出に基づいて、当該試料
についての分析ステップ全体をリセットさせるリセット
指令手段を備えている。この構成によれば、リセット指
令手段は、瞬停が検出されたとき、瞬停があった分析ス
テップ全体をリセットして、始めから再スタートさせる
ので、分析データの信頼性が向上する。
は、前記瞬停検出回路による検出に基づいて、当該試料
についての分析ステップ全体をリセットさせるリセット
指令手段を備えている。この構成によれば、リセット指
令手段は、瞬停が検出されたとき、瞬停があった分析ス
テップ全体をリセットして、始めから再スタートさせる
ので、分析データの信頼性が向上する。
【0011】さらに本発明の好ましい実施形態において
は、前記瞬停検出回路は、前記交流電源の電圧の低下を
検出する電圧低下検出器と、検出された電圧低下が設定
時間を超えて継続したとき瞬停検出信号を出力する瞬停
時間検出器とを備えている。この構成によれば、瞬停検
出回路の電圧低下検出器は、交流電源の電圧降下が予め
設定された所定の範囲内になっている間その電圧降下を
検出し、瞬停時間検出器は、前記電圧降下が所定時間を
超えたことを検出したとき瞬停検出信号を出力するの
で、瞬停が正確に検出される。
は、前記瞬停検出回路は、前記交流電源の電圧の低下を
検出する電圧低下検出器と、検出された電圧低下が設定
時間を超えて継続したとき瞬停検出信号を出力する瞬停
時間検出器とを備えている。この構成によれば、瞬停検
出回路の電圧低下検出器は、交流電源の電圧降下が予め
設定された所定の範囲内になっている間その電圧降下を
検出し、瞬停時間検出器は、前記電圧降下が所定時間を
超えたことを検出したとき瞬停検出信号を出力するの
で、瞬停が正確に検出される。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、本発明の第1実施形態であ
る蛍光X線分析装置について説明する。まず、この蛍光
X線分析装置の構成について、図1にしたがって説明す
る。この蛍光X線分析装置1は、試料4に対して照射源
であるX線発生装置2から1次X線3を照射し、試料4
から発生した蛍光X線である2次X線5を分光結晶6で
分光し、この分光された2次X線7を検出器8で測定
し、この検出信号を分析処理手段9に入力して分析し、
分析データをデータ記憶手段10に記録する。
る蛍光X線分析装置について説明する。まず、この蛍光
X線分析装置の構成について、図1にしたがって説明す
る。この蛍光X線分析装置1は、試料4に対して照射源
であるX線発生装置2から1次X線3を照射し、試料4
から発生した蛍光X線である2次X線5を分光結晶6で
分光し、この分光された2次X線7を検出器8で測定
し、この検出信号を分析処理手段9に入力して分析し、
分析データをデータ記憶手段10に記録する。
【0013】蛍光X線分析装置1は、前記各機器の他、
試料4を蛍光X線分析装置1の試料搬出入口とX線照射
位置との間で搬送する試料搬送手段11、蛍光X線分析
装置を構成する各機器の動作を制御する制御装置である
マイクロコンピュータ12、3相AC200ボルトを入
力とし前記各機器の一部にAC100ボルトを給電する
無停電電源装置(UPS)13、交流電源を直流に変換
し、3相AC85〜264ボルトの入力時に、DC5ボ
ルト、DC±15ボルト、DC24ボルト等を出力する
ワイド入力直流化安定電源14、前記3相AC200ボ
ルトの入力電源の瞬停を検出する瞬停検出回路15、お
よび分析データや瞬停が検出されたとき表示するLCD
表示装置などの表示手段16を備えている。前記ワイド
入力直流化安定電源14から給電される分析処理手段
9、試料搬送手段11等の各機器は、DC5ボルト、D
C±15ボルト、DC24ボルト等で駆動される。ま
た、前記マイクロコンピュータ12は、再スタート指令
手段17およびデータ無効手段18を有している。
試料4を蛍光X線分析装置1の試料搬出入口とX線照射
位置との間で搬送する試料搬送手段11、蛍光X線分析
装置を構成する各機器の動作を制御する制御装置である
マイクロコンピュータ12、3相AC200ボルトを入
力とし前記各機器の一部にAC100ボルトを給電する
無停電電源装置(UPS)13、交流電源を直流に変換
し、3相AC85〜264ボルトの入力時に、DC5ボ
ルト、DC±15ボルト、DC24ボルト等を出力する
ワイド入力直流化安定電源14、前記3相AC200ボ
ルトの入力電源の瞬停を検出する瞬停検出回路15、お
よび分析データや瞬停が検出されたとき表示するLCD
表示装置などの表示手段16を備えている。前記ワイド
入力直流化安定電源14から給電される分析処理手段
9、試料搬送手段11等の各機器は、DC5ボルト、D
C±15ボルト、DC24ボルト等で駆動される。ま
た、前記マイクロコンピュータ12は、再スタート指令
手段17およびデータ無効手段18を有している。
【0014】前記ワイド入力直流化安定電源14は、3
相AC200ボルトを入力とし、入力電圧が85〜26
4ボルトの範囲内で変動しても、出力電圧DC5ボル
ト、DC±15ボルト、DC24ボルト等の直流電圧に
変動が生じないように構成された直流化安定電源であっ
て、後述するSEMI(F47)の規格内で瞬停が生じ
たとき、機器の連続運転を可能にする電源安定化手段の
一種である。無停電電源装置13はバッテリを内蔵して
おり、入力電圧AC200ボルトが変動したとき、およ
び停電したときでも、安定したAC100ボルトを連続
出力する電源装置である。なお、前記SEMI(F4
7)の規格は、入力電圧50%以下が0.2秒間以内、
入力電圧70%以下が0.5秒間以内、入力電圧80%
以下が1.0秒間以内継続する瞬停があっても、装置が
中断することなく動作が継続することを要求する規格で
ある。
相AC200ボルトを入力とし、入力電圧が85〜26
4ボルトの範囲内で変動しても、出力電圧DC5ボル
ト、DC±15ボルト、DC24ボルト等の直流電圧に
変動が生じないように構成された直流化安定電源であっ
て、後述するSEMI(F47)の規格内で瞬停が生じ
たとき、機器の連続運転を可能にする電源安定化手段の
一種である。無停電電源装置13はバッテリを内蔵して
おり、入力電圧AC200ボルトが変動したとき、およ
び停電したときでも、安定したAC100ボルトを連続
出力する電源装置である。なお、前記SEMI(F4
7)の規格は、入力電圧50%以下が0.2秒間以内、
入力電圧70%以下が0.5秒間以内、入力電圧80%
以下が1.0秒間以内継続する瞬停があっても、装置が
中断することなく動作が継続することを要求する規格で
ある。
【0015】図2は、本実施形態の給電系統を示すブロ
ック図である。図2において、蛍光X線分析装置1を構
成している複数の機器は、真空引きポンプのような瞬停
があっても分析に影響の少ない瞬停対策不要の機器20
と、X線発生装置2のような電源安定化手段を備えた機
器21と、試料搬送装置のようにパルスモータ等を有
し、駆動電源が直流化されて、前記ワイド入力直流化安
定電源14から給電される機器(以下、「瞬停対策済の
機器」という)22とを有している。前記X線発生装置
2は、AC200ボルトの入力を整流してDC280ボ
ルトを出力する整流回路を有しており、この整流回路の
コンデンサ容量を大きくして瞬停によるDC電圧の低下
を小さくし、さらにX線発生装置2の作動を監視する監
視回路の監視電圧を、DC280ボルトの50%=DC
140ボルト程度に下げて、瞬停によっては監視回路か
らエラー信号が出力されないようにする。これらの対策
が本発明の電源安定化手段となる。
ック図である。図2において、蛍光X線分析装置1を構
成している複数の機器は、真空引きポンプのような瞬停
があっても分析に影響の少ない瞬停対策不要の機器20
と、X線発生装置2のような電源安定化手段を備えた機
器21と、試料搬送装置のようにパルスモータ等を有
し、駆動電源が直流化されて、前記ワイド入力直流化安
定電源14から給電される機器(以下、「瞬停対策済の
機器」という)22とを有している。前記X線発生装置
2は、AC200ボルトの入力を整流してDC280ボ
ルトを出力する整流回路を有しており、この整流回路の
コンデンサ容量を大きくして瞬停によるDC電圧の低下
を小さくし、さらにX線発生装置2の作動を監視する監
視回路の監視電圧を、DC280ボルトの50%=DC
140ボルト程度に下げて、瞬停によっては監視回路か
らエラー信号が出力されないようにする。これらの対策
が本発明の電源安定化手段となる。
【0016】蛍光X線分析装置1は、さらに、前記マイ
クロコンピュータ12に加えて、真空計や計数回路のよ
うに交流駆動が不可欠な機器23と、AC100ボルト
入力のパソコンや表示装置、記録装置等の汎用品または
市販品であって、直流駆動化が困難、または不能、ある
いはコスト上不利なために交流駆動が不可欠な機器24
とを有している。前記パソコンは蛍光X線分析装置1の
全体を制御する制御装置であり、前記表示装置や記録装
置は、例えばLCDやプリンタである。
クロコンピュータ12に加えて、真空計や計数回路のよ
うに交流駆動が不可欠な機器23と、AC100ボルト
入力のパソコンや表示装置、記録装置等の汎用品または
市販品であって、直流駆動化が困難、または不能、ある
いはコスト上不利なために交流駆動が不可欠な機器24
とを有している。前記パソコンは蛍光X線分析装置1の
全体を制御する制御装置であり、前記表示装置や記録装
置は、例えばLCDやプリンタである。
【0017】本実施形態では、各機器の駆動電源に対す
る要求に応じて、3相AC200ボルト電源から瞬停対
策不要の機器20および電源安定化手段を備えた機器2
1には直接に給電し、ワイド入力直流化安定電源14か
ら瞬停対策済の機器22に給電し、無停電電源装置13
から無停電駆動が不可欠な機器12,23,24に給電
している。
る要求に応じて、3相AC200ボルト電源から瞬停対
策不要の機器20および電源安定化手段を備えた機器2
1には直接に給電し、ワイド入力直流化安定電源14か
ら瞬停対策済の機器22に給電し、無停電電源装置13
から無停電駆動が不可欠な機器12,23,24に給電
している。
【0018】図3は、前記瞬停検出回路15のブロック
回路図である。この瞬停検出回路15は、前記SEMI
(F47)規格に対応したもので、入力された3相交流
200ボルトを全波整流する波形整形回路30と、電圧
の低下を検出する電圧低下検出器38と、瞬停時間検出
器39とを備えている。電圧低下検出器38は、波形整
形回路30の出力電圧VEを第1監視電圧0.5VEと
比較し、出力電圧VEが0.5VE以下になっている
間、第1電圧低下検知信号e1を出力する第1電圧比較
器31と、前記出力電圧VEを第2監視電圧0.7VE
と比較し、出力電圧VEが0.7VE以下になっている
間、第2電圧低下検知信号e2を出力する第2電圧比較
器32と、前記出力電圧VEを第3監視電圧0.8VE
と比較し、出力電圧VEが0.8VE以下になっている
間、第3電圧低下検知信号e3を出力する第3電圧比較
器33とを有する。
回路図である。この瞬停検出回路15は、前記SEMI
(F47)規格に対応したもので、入力された3相交流
200ボルトを全波整流する波形整形回路30と、電圧
の低下を検出する電圧低下検出器38と、瞬停時間検出
器39とを備えている。電圧低下検出器38は、波形整
形回路30の出力電圧VEを第1監視電圧0.5VEと
比較し、出力電圧VEが0.5VE以下になっている
間、第1電圧低下検知信号e1を出力する第1電圧比較
器31と、前記出力電圧VEを第2監視電圧0.7VE
と比較し、出力電圧VEが0.7VE以下になっている
間、第2電圧低下検知信号e2を出力する第2電圧比較
器32と、前記出力電圧VEを第3監視電圧0.8VE
と比較し、出力電圧VEが0.8VE以下になっている
間、第3電圧低下検知信号e3を出力する第3電圧比較
器33とを有する。
【0019】また、瞬停時間検出器39は前記第1電圧
低下検知信号e1の継続時間を監視し、第1監視時間で
ある0.2秒以下継続したとき第1瞬停検出信号s1を
出力する第1時間比較器34と、前記第2電圧低下検知
信号e2の継続時間を監視し、第2監視時間である0.
5秒以下継続したとき第2瞬停検出信号s2を出力する
第2時間比較器35と、前記第3電圧低下検知信号e3
の継続時間を監視し、第3監視時間である1.0秒以下
継続したとき第3瞬停検出信号s3を出力する第3時間
比較器36とを有する。瞬停検出回路15はさらに、前
記第1〜第3瞬停検出信号s1,s2,s3のいずれか
が入力されたとき、制御信号として割込み信号Wを前記
図1のマイクロコンピュータ12に出力するOR回路か
らなる制御信号出力回路37を備えている。
低下検知信号e1の継続時間を監視し、第1監視時間で
ある0.2秒以下継続したとき第1瞬停検出信号s1を
出力する第1時間比較器34と、前記第2電圧低下検知
信号e2の継続時間を監視し、第2監視時間である0.
5秒以下継続したとき第2瞬停検出信号s2を出力する
第2時間比較器35と、前記第3電圧低下検知信号e3
の継続時間を監視し、第3監視時間である1.0秒以下
継続したとき第3瞬停検出信号s3を出力する第3時間
比較器36とを有する。瞬停検出回路15はさらに、前
記第1〜第3瞬停検出信号s1,s2,s3のいずれか
が入力されたとき、制御信号として割込み信号Wを前記
図1のマイクロコンピュータ12に出力するOR回路か
らなる制御信号出力回路37を備えている。
【0020】つぎに、本実施形態の動作を説明する。図
2において、蛍光X線分析装置1が動作しているとき、
前記SEMI(F47)の規格内の瞬停、すなわち、入
力電源3相AC200ボルトが100ボルト(=0.5
VE)以下に低下した時間が0.2秒以内の瞬停、14
0ボルト(=0.7VE)以下に低下した時間が0.5
秒以内の瞬停、160ボルト(=0.8VE)以下に低
下した時間が1.0秒以内の瞬停が生じたとき、機器2
1は電源安定化手段が設けられているので作動に影響は
ない。また、AC85〜264ボルトの入力変動を許容
するワイド入力直流化安定電源14から出力されている
駆動電圧DC5ボルト、DC±15ボルト、DC24ボ
ルト等の出力電圧は変動しないので、このワイド入力直
流化安定電源14から給電されている機器22も正常に
作動する。さらに、無停電電源装置13により、AC1
00ボルトの電源が維持されるので、この無停電電源装
置13から給電されている機器23,24も正常に作動
する。
2において、蛍光X線分析装置1が動作しているとき、
前記SEMI(F47)の規格内の瞬停、すなわち、入
力電源3相AC200ボルトが100ボルト(=0.5
VE)以下に低下した時間が0.2秒以内の瞬停、14
0ボルト(=0.7VE)以下に低下した時間が0.5
秒以内の瞬停、160ボルト(=0.8VE)以下に低
下した時間が1.0秒以内の瞬停が生じたとき、機器2
1は電源安定化手段が設けられているので作動に影響は
ない。また、AC85〜264ボルトの入力変動を許容
するワイド入力直流化安定電源14から出力されている
駆動電圧DC5ボルト、DC±15ボルト、DC24ボ
ルト等の出力電圧は変動しないので、このワイド入力直
流化安定電源14から給電されている機器22も正常に
作動する。さらに、無停電電源装置13により、AC1
00ボルトの電源が維持されるので、この無停電電源装
置13から給電されている機器23,24も正常に作動
する。
【0021】他方、図1に示すように、瞬停検出回路1
5から出力された割込み信号Wは、データ記憶手段1
0、マイクロコンピュータ12および表示手段16に出
力される。この割込み信号Wを受けたデータ記憶手段1
0はそのデータを記憶し、表示手段16は瞬停があった
ことを表示し、マイクロコンピュータ12は、再スター
ト指令手段17から再スタート指令信号Sを瞬停対策不
要の機器(真空引きポンプ等)20、電源安定化手段を
備えた機器(X線発生装置2等)21、瞬停対策済みの
機器(試料搬送手段11等)22等に送出し、これら機
器20〜22を再スタートさせる。瞬停が表示手段16
に表示されることにより、操作者は、交流電源に瞬停が
あったことを認知することができるので、瞬停に応じた
適切な処置をとることができる。
5から出力された割込み信号Wは、データ記憶手段1
0、マイクロコンピュータ12および表示手段16に出
力される。この割込み信号Wを受けたデータ記憶手段1
0はそのデータを記憶し、表示手段16は瞬停があった
ことを表示し、マイクロコンピュータ12は、再スター
ト指令手段17から再スタート指令信号Sを瞬停対策不
要の機器(真空引きポンプ等)20、電源安定化手段を
備えた機器(X線発生装置2等)21、瞬停対策済みの
機器(試料搬送手段11等)22等に送出し、これら機
器20〜22を再スタートさせる。瞬停が表示手段16
に表示されることにより、操作者は、交流電源に瞬停が
あったことを認知することができるので、瞬停に応じた
適切な処置をとることができる。
【0022】前記再スタート指令信号Sを受けた各機器
は、分析中であったステップを中断し、あらためてその
分析ステップを始めから再スタートする。同時にマイク
ロコンピュータ12は、データ無効手段18から瞬停発
生時の中断した分析データを無効にする無効信号Vをデ
ータ記憶手段10に出力し、その分析ステップのデータ
に瞬停があったことを書き込むか、または、その分析ス
テップのデータを削除する。各機器を再スタートさせる
のは、瞬停があっても、各機器の連続運転は、前記電源
の安定化対策によって保証されているが、ソフトウエア
上での対策を行うことにより、信頼性を高めるためであ
る。
は、分析中であったステップを中断し、あらためてその
分析ステップを始めから再スタートする。同時にマイク
ロコンピュータ12は、データ無効手段18から瞬停発
生時の中断した分析データを無効にする無効信号Vをデ
ータ記憶手段10に出力し、その分析ステップのデータ
に瞬停があったことを書き込むか、または、その分析ス
テップのデータを削除する。各機器を再スタートさせる
のは、瞬停があっても、各機器の連続運転は、前記電源
の安定化対策によって保証されているが、ソフトウエア
上での対策を行うことにより、信頼性を高めるためであ
る。
【0023】なお、本第1実施形態では、再スタート指
令手段17およびデータ無効手段18を設け、割込み信
号Wが入力されたとき、瞬停があったときの分析ステッ
プの再スタートおよび分析データを無効にしたが、瞬停
の発生は、分析装置を構成する各機器の故障等によって
も発生することがあるので、表示手段16に「瞬停発
生」が表示されたとき、操作者の判断により、再スター
ト、および分析データの無効処分を決定するようにして
もよい。
令手段17およびデータ無効手段18を設け、割込み信
号Wが入力されたとき、瞬停があったときの分析ステッ
プの再スタートおよび分析データを無効にしたが、瞬停
の発生は、分析装置を構成する各機器の故障等によって
も発生することがあるので、表示手段16に「瞬停発
生」が表示されたとき、操作者の判断により、再スター
ト、および分析データの無効処分を決定するようにして
もよい。
【0024】図4は、本発明の第2実施形態である蛍光
X線分析装置のブロック図で、図1と同一符号はそれぞ
れ同一部分または相当部分を示しているので、その部分
の構成と動作の説明を省略する。図4において、マイク
ロコンピュータ12は、割込み信号Wが入力されたと
き、各機器にリセット指令信号Rを出力するリセット指
令手段19を備えている。
X線分析装置のブロック図で、図1と同一符号はそれぞ
れ同一部分または相当部分を示しているので、その部分
の構成と動作の説明を省略する。図4において、マイク
ロコンピュータ12は、割込み信号Wが入力されたと
き、各機器にリセット指令信号Rを出力するリセット指
令手段19を備えている。
【0025】マイクロコンピュータ12のリセット指令
手段19は、割り込み信号Wが入力されると、分析動作
中の各機器にリセット指令信号Rを出力する。このリセ
ット指令信号Rを受けた前記各機器は、動作中であった
分析ステップを停止して、その試料について分析済の全
分析ステップをリセットする。このリセット指令信号R
は、表示手段16に表示されるので、操作者は分析動作
がリセットされたことを認識できるので、再度分析を行
うか否かを判断して実行することができる。
手段19は、割り込み信号Wが入力されると、分析動作
中の各機器にリセット指令信号Rを出力する。このリセ
ット指令信号Rを受けた前記各機器は、動作中であった
分析ステップを停止して、その試料について分析済の全
分析ステップをリセットする。このリセット指令信号R
は、表示手段16に表示されるので、操作者は分析動作
がリセットされたことを認識できるので、再度分析を行
うか否かを判断して実行することができる。
【0026】なお、入力電源3相AC200ボルトの瞬
停が、上記瞬停検出条件を超えるものであったときは、
図示していない主遮断器が作動して入力電源が落ち、ま
た、事故等で停電したときは、無停電電源装置13で駆
動されている機器以外の機器の動作が停止する。このと
きマイクロコンピュータ12は、図2の遮断器25を開
き、蛍光X線分析装置1全体を制御している図2のパソ
コンや表示装置、記録装置等の機器24以外の各機器の
電源を遮断して、無停電電源装置13の電池の消耗が少
なくなるように制御する。
停が、上記瞬停検出条件を超えるものであったときは、
図示していない主遮断器が作動して入力電源が落ち、ま
た、事故等で停電したときは、無停電電源装置13で駆
動されている機器以外の機器の動作が停止する。このと
きマイクロコンピュータ12は、図2の遮断器25を開
き、蛍光X線分析装置1全体を制御している図2のパソ
コンや表示装置、記録装置等の機器24以外の各機器の
電源を遮断して、無停電電源装置13の電池の消耗が少
なくなるように制御する。
【0027】前記第1、第2実施形態の蛍光X線分析装
置によれば、装置を構成する各機器のうち、一部の機器
に整流回路や監視回路の変更またはワイド入力直流化安
定電源のような電源安定化手段を設けたので、残りの機
器を瞬停から保護する無停電電源装置の必要容量を削減
できる。また、瞬停検出回路が瞬停を検出したとき、瞬
停発生時の分析データを無効にするので、瞬停発生時の
分析ステップのデータの誤りを排除できる。さらに、瞬
停検出回路が瞬停を検出したとき、瞬停発生時の分析ス
テップを始めから再スタートさせる(第1実施形態)
か、またはその試料4の分析ステップ全体をリセットす
る(第2実施形態)ので、瞬停発生時の分析データの誤
りを排除できる。また、瞬停が発生したとき、機器を再
スタートさせるので、機器の正常な動作も保証される。
置によれば、装置を構成する各機器のうち、一部の機器
に整流回路や監視回路の変更またはワイド入力直流化安
定電源のような電源安定化手段を設けたので、残りの機
器を瞬停から保護する無停電電源装置の必要容量を削減
できる。また、瞬停検出回路が瞬停を検出したとき、瞬
停発生時の分析データを無効にするので、瞬停発生時の
分析ステップのデータの誤りを排除できる。さらに、瞬
停検出回路が瞬停を検出したとき、瞬停発生時の分析ス
テップを始めから再スタートさせる(第1実施形態)
か、またはその試料4の分析ステップ全体をリセットす
る(第2実施形態)ので、瞬停発生時の分析データの誤
りを排除できる。また、瞬停が発生したとき、機器を再
スタートさせるので、機器の正常な動作も保証される。
【0028】以上、本発明の第1、第2実施形態である
蛍光X線分析装置を説明したが、本発明は、試料に電磁
波もしくは粒子線を照射するか、または試料中の原子を
励起して、試料から発生するX線、試料によって回折さ
れたX線、および試料中の原子によって発生する励起光
のうち少なくとも1つを検出して試料の分析を行う試料
分析装置、例えば、X線回折装置、X線吸収分析装置、
発光分光分析装置、電子線マイクロアナライザ、光電子
分光分析装置、原子吸光分析装置、ガスクロマクトグラ
フ分析装置、液体クロマクトグラフ分析装置、赤外分光
分析装置、紫外及び可視分光光度計、電気化学分析装
置、質量分析装置、熱分析装置、電子線回折装置等に
も、同様に適用して同様の効果が得られる。
蛍光X線分析装置を説明したが、本発明は、試料に電磁
波もしくは粒子線を照射するか、または試料中の原子を
励起して、試料から発生するX線、試料によって回折さ
れたX線、および試料中の原子によって発生する励起光
のうち少なくとも1つを検出して試料の分析を行う試料
分析装置、例えば、X線回折装置、X線吸収分析装置、
発光分光分析装置、電子線マイクロアナライザ、光電子
分光分析装置、原子吸光分析装置、ガスクロマクトグラ
フ分析装置、液体クロマクトグラフ分析装置、赤外分光
分析装置、紫外及び可視分光光度計、電気化学分析装
置、質量分析装置、熱分析装置、電子線回折装置等に
も、同様に適用して同様の効果が得られる。
【0029】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の第1構成
に係る試料分析装置は、前記分析装置を作動させる交流
電源の瞬間的な電圧低下を瞬停検出回路で検出し、前記
瞬停検出回路による検出に基づいて、前記交流電源の瞬
間的な電圧低下の発生を瞬停発生表示手段に表示するの
で、操作者は、交流電源に瞬停があったことを認知する
ことができ、適切な処置をとることができる。
に係る試料分析装置は、前記分析装置を作動させる交流
電源の瞬間的な電圧低下を瞬停検出回路で検出し、前記
瞬停検出回路による検出に基づいて、前記交流電源の瞬
間的な電圧低下の発生を瞬停発生表示手段に表示するの
で、操作者は、交流電源に瞬停があったことを認知する
ことができ、適切な処置をとることができる。
【0030】また、本発明の第2構成に係る試料分析装
置は、試料に対する照射源または励起源を含む一部の機
器に、前記分析装置を作動させる交流電源を直流に変換
してその直流電圧を安定化させる電源安定化手段が設け
られており、残りの機器は、前記交流電源に接続された
無停電電源装置から給電されている。さらに、瞬停検出
回路は前記交流電源の瞬間的な電圧低下を検出し、瞬停
発生表示手段は、前記瞬停検出回路で前記交流電源の瞬
間的な電圧低下が検出されたとき、瞬停があったことを
表示する。したがって、交流電源に瞬停が生じても、電
源安定化手段を有する一部の機器、および無停電電源装
置に接続された残りの機器は動作を停止しないので、連
続運転が維持される。また、電力容量の大きい照射源ま
たは励起源を含む一部の機器は電源安定化手段を備えて
いて、無停電電源装置に接続する必要がないため、無停
電電源装置の容量を小さくできる。さらに、操作者は、
表示手段によって交流電源に瞬停があったことを認知し
て、適切な処置をとることができる。
置は、試料に対する照射源または励起源を含む一部の機
器に、前記分析装置を作動させる交流電源を直流に変換
してその直流電圧を安定化させる電源安定化手段が設け
られており、残りの機器は、前記交流電源に接続された
無停電電源装置から給電されている。さらに、瞬停検出
回路は前記交流電源の瞬間的な電圧低下を検出し、瞬停
発生表示手段は、前記瞬停検出回路で前記交流電源の瞬
間的な電圧低下が検出されたとき、瞬停があったことを
表示する。したがって、交流電源に瞬停が生じても、電
源安定化手段を有する一部の機器、および無停電電源装
置に接続された残りの機器は動作を停止しないので、連
続運転が維持される。また、電力容量の大きい照射源ま
たは励起源を含む一部の機器は電源安定化手段を備えて
いて、無停電電源装置に接続する必要がないため、無停
電電源装置の容量を小さくできる。さらに、操作者は、
表示手段によって交流電源に瞬停があったことを認知し
て、適切な処置をとることができる。
【図1】本発明の第1実施形態である蛍光X線分析装置
の概略構成を示すブロック図である。
の概略構成を示すブロック図である。
【図2】同実施形態の給電系統を示すブロック図であ
る。
る。
【図3】同実施形態の瞬停検出回路を示すブロック図で
ある。
ある。
【図4】本発明の第2実施形態である蛍光X線分析装置
の概略構成を示すブロック図である。
の概略構成を示すブロック図である。
1…蛍光X線分析装置、2…X線発生装置(照射源)、
3…1次X線、4…試料、5…2次X線、6…分光結
晶、7…2次X線、8…検出器、9…分析処理手段、1
0…データ記憶手段、11…試料搬送手段、12…マイ
クロコンピュータ、13…無停電電源装置(UPS)、
14…ワイド入力直流化安定電源、15…瞬停検出回
路、16…表示手段、17…再スタート指令手段、18
…データ無効手段、19…リセット指令手段、20…瞬
停対策不要の機器、21…電源安定化手段を備えた機
器、22…瞬停対策済の機器、23…無停電駆動が不可
欠な機器、24…無停電駆動が不可欠な汎用・市販の機
器、25…遮断器、30…波形整形回路、31…第1電
圧比較器、32…第2電圧比較器、33…第3電圧比較
器、34…第1時間比較器、35…第2時間比較器、3
6…第3時間比較器、37…制御信号出力回路、38…
電圧低下検出器、39…瞬停時間検出器。
3…1次X線、4…試料、5…2次X線、6…分光結
晶、7…2次X線、8…検出器、9…分析処理手段、1
0…データ記憶手段、11…試料搬送手段、12…マイ
クロコンピュータ、13…無停電電源装置(UPS)、
14…ワイド入力直流化安定電源、15…瞬停検出回
路、16…表示手段、17…再スタート指令手段、18
…データ無効手段、19…リセット指令手段、20…瞬
停対策不要の機器、21…電源安定化手段を備えた機
器、22…瞬停対策済の機器、23…無停電駆動が不可
欠な機器、24…無停電駆動が不可欠な汎用・市販の機
器、25…遮断器、30…波形整形回路、31…第1電
圧比較器、32…第2電圧比較器、33…第3電圧比較
器、34…第1時間比較器、35…第2時間比較器、3
6…第3時間比較器、37…制御信号出力回路、38…
電圧低下検出器、39…瞬停時間検出器。
Claims (6)
- 【請求項1】 試料を分析する試料分析装置において、
前記試料分析装置を作動させる交流電源の瞬間的な電圧
低下を検出する瞬停検出回路と、 前記瞬停検出回路による検出に基づいて、前記交流電源
の瞬間的な電圧低下の発生を表示する瞬停発生表示手段
と、 を備えた瞬間停電保護機能付き試料分析装置。 - 【請求項2】 試料に電磁波もしくは粒子線を照射する
か、または試料中の原子を励起して、試料から発生する
X線、試料によって回折されたX線、および試料中の原
子によって発生する励起光のうち少なくとも1つを検出
して試料の分析を行う試料分析装置であって、 試料に対する照射源または励起源を含む一部の機器に、
前記分析装置を作動させる交流電源を直流に変換してそ
の直流電圧を安定化させる電源安定化手段が設けられ、 残りの機器が無停電電源装置を介して前記交流電源に接
続され、 さらに、前記交流電源の瞬間的な電圧低下を検出する瞬
停検出回路と、 前記瞬停検出回路による検出に基づいて、前記交流電源
の瞬間的な電圧低下の発生を表示する瞬停発生表示手段
と、 を備えた瞬間停電保護機能付き試料分析装置。 - 【請求項3】 請求項1または2において、さらに、前
記瞬停検出回路による検出に基づいて、前記交流電源に
瞬間的な電圧低下が発生した分析ステップを、始めから
再スタートさせる再スタート指令手段を備えた瞬間停電
保護機能付き試料分析装置。 - 【請求項4】 請求項3において、さらに、前記瞬停検
出回路による検出に基づいて、交流電源に瞬間的な電圧
低下が発生したときの分析データを無効にするデータ無
効手段を備えた瞬間停電保護機能付き試料分析装置。 - 【請求項5】 請求項1または2において、さらに、前
記瞬停検出回路による検出に基づいて、当該試料につい
ての分析ステップ全体をリセットさせるリセット指令手
段を備えた瞬間停電保護機能付き試料分析装置。 - 【請求項6】 請求項1から5のいずれかにおいて、前
記瞬停検出回路は、前記交流電源の電圧の低下を検出す
る電圧低下検出器と、検出された電圧低下が設定時間を
超えて継続したとき瞬停検出信号を出力する瞬停時間検
出器とを備えた瞬間停電保護機能付き試料分析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001178285A JP2002372505A (ja) | 2001-06-13 | 2001-06-13 | 瞬間停電保護機能付き試料分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001178285A JP2002372505A (ja) | 2001-06-13 | 2001-06-13 | 瞬間停電保護機能付き試料分析装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002372505A true JP2002372505A (ja) | 2002-12-26 |
Family
ID=19019009
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001178285A Pending JP2002372505A (ja) | 2001-06-13 | 2001-06-13 | 瞬間停電保護機能付き試料分析装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2002372505A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013178186A (ja) * | 2012-02-29 | 2013-09-09 | Omron Corp | 電圧監視装置および電圧監視方法 |
KR101359279B1 (ko) | 2013-02-20 | 2014-02-06 | 공주대학교 산학협력단 | 교류전원측 고장전압 검출장치 |
CN105044765A (zh) * | 2015-09-11 | 2015-11-11 | 上海奕瑞光电子科技有限公司 | 可不间断供电的x射线探测器 |
JP2016153770A (ja) * | 2015-02-20 | 2016-08-25 | 株式会社イシダ | X線検査装置 |
JP2016153769A (ja) * | 2015-02-20 | 2016-08-25 | 株式会社イシダ | 物品検査装置 |
JP2018133950A (ja) * | 2017-02-17 | 2018-08-23 | 株式会社東芝 | 電力変換装置 |
JP2020195238A (ja) * | 2019-05-29 | 2020-12-03 | 株式会社ジェイテクト | 補助電源装置 |
-
2001
- 2001-06-13 JP JP2001178285A patent/JP2002372505A/ja active Pending
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013178186A (ja) * | 2012-02-29 | 2013-09-09 | Omron Corp | 電圧監視装置および電圧監視方法 |
KR101359279B1 (ko) | 2013-02-20 | 2014-02-06 | 공주대학교 산학협력단 | 교류전원측 고장전압 검출장치 |
KR20170102559A (ko) * | 2015-02-20 | 2017-09-11 | 가부시끼가이샤 이시다 | X선 검사 장치 |
JP2016153770A (ja) * | 2015-02-20 | 2016-08-25 | 株式会社イシダ | X線検査装置 |
WO2016132907A1 (ja) * | 2015-02-20 | 2016-08-25 | 株式会社イシダ | X線検査装置 |
JP2016153769A (ja) * | 2015-02-20 | 2016-08-25 | 株式会社イシダ | 物品検査装置 |
CN107250776A (zh) * | 2015-02-20 | 2017-10-13 | 株式会社石田 | X射线检查装置 |
EP3260848A4 (en) * | 2015-02-20 | 2018-10-24 | Ishida Co., Ltd. | X-ray inspection device |
KR101953581B1 (ko) * | 2015-02-20 | 2019-03-04 | 가부시끼가이샤 이시다 | X선 검사 장치 |
US10859514B2 (en) | 2015-02-20 | 2020-12-08 | Ishida Co., Ltd. | X-ray inspection device |
CN105044765A (zh) * | 2015-09-11 | 2015-11-11 | 上海奕瑞光电子科技有限公司 | 可不间断供电的x射线探测器 |
JP2018133950A (ja) * | 2017-02-17 | 2018-08-23 | 株式会社東芝 | 電力変換装置 |
JP2020195238A (ja) * | 2019-05-29 | 2020-12-03 | 株式会社ジェイテクト | 補助電源装置 |
JP7257255B2 (ja) | 2019-05-29 | 2023-04-13 | 株式会社ジェイテクト | 補助電源装置 |
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