JP2002372481A - Method and apparatus for manufacturing probe carrier - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide the manufacturing method of a probe carrier that has extremely high uniformity in area and shape in each probe being arranged at the probe carrier, prevents the bounce-back of probe liquid impact, and reduces frequency for requiring the recovery operation of a liquid discharge apparatus when manufacturing the probe carrier using the liquid discharge apparatus. SOLUTION: In the manufacturing method of the probe carrier where each of a plurality of types of probes is arranged on the carrier, a plurality of types of probe solutions containing a probe material that can be specifically combined with a labeled substance are discharged from the liquid discharge apparatus onto the carrier. In the manufacturing method, when the probe solutions are to be discharged, the probe solutions are discharge while satisfying the conditions where the product Re.We of Reynolds number Re [no units] and wafer number We [no units] is equal to or more than 0.26×10<5> and is equal to or less than 1.10×10<5> [no units].

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、固相基板上にプロ
ーブ担体を製造する方法、ならびに、専ら前記の製造方
法の実施に利用されるプローブ担体の製造装置に関す
る。また本発明は、プローブ担体を作製するための液体
吐出装置に関する。[0001] The present invention relates to a method for producing a probe carrier on a solid phase substrate, and an apparatus for producing a probe carrier exclusively used for carrying out the above-mentioned production method. The present invention also relates to a liquid ejection device for producing a probe carrier.

【０００２】[0002]

【従来の技術】遺伝子ＤＮＡの塩基配列の解析を行う場
合、あるいは多項目に関する高信頼性の遺伝子診断を同
時に行う場合などにおいて、目的とする塩基配列を有す
るＤＮＡを、複数種のプローブを用いて選別することが
必要となる。この選別作業に利用される複数種のプロー
ブを提供する手段として、ＤＮＡマイクロチップが注目
を浴びている。また、薬剤等のハイスループット・スク
リーニングあるいはコンビナトリアル・ケミストリーに
よる薬剤等の開発においても、対象となる多数（たとえ
ば９６種、３８４種または１５３６種）のタンパク質あ
るいは薬物の溶液の秩序立ったスクリーニングを行うこ
とが必要となる。その目的で多数種の薬剤を配列するた
めの手法、その状態での自動化されたスクリーニング技
術、専用の装置、一連のスクリーニング操作を制御し、
また結果を統計的に処理するためのソフトウェア等も開
発されてきている。2. Description of the Related Art In the case of analyzing the base sequence of gene DNA, or simultaneously performing highly-reliable gene diagnosis for multiple items, a DNA having a target base sequence is analyzed using a plurality of types of probes. It is necessary to sort. As a means for providing a plurality of types of probes used for this sorting operation, a DNA microchip has been receiving attention. Also, in the case of high-throughput screening of drugs and the like or development of drugs and the like by combinatorial chemistry, it is necessary to carry out an ordered screening of a solution of a large number (for example, 96, 384 or 1536) of proteins or drugs of interest. Is required. A method for arranging a large number of drugs for that purpose, automated screening technology in that state, a dedicated device, controlling a series of screening operations,
Software for statistically processing the results has also been developed.

【０００３】基本的に、これらの並列的なスクリーニン
グ作業は、評価すべき物質に対する選別手段となる既知
のプローブを多数並べてなる、いわゆるプローブ担体を
利用して行われ、同一条件下でのプローブ材料に対する
作用あるいは反応などの有無を検出するものである。一
般的に、どのようなプローブ材料に対する作用あるいは
反応を利用するかは予め決定されており、従って、ひと
つのプローブ担体に搭載されるプローブ材料は、例え
ば、塩基配列の異なる一群のＤＮＡプローブ材料など、
大きく区分すると一種類の物質である。すなわち、一群
のプローブ材料として利用される物質は、例えば、ＤＮ
Ａ、タンパク質、合成された化学物質（薬剤）などであ
る。多くの場合、一群をなす複数種のプローブからなる
プローブ担体を用いる。しかし、スクリーニング作業の
性質によっては、プローブとして、同一の塩基配列を有
するＤＮＡ、同一のアミノ酸配列を有するタンパク質、
同一の化学物質を、アレイ状の多数の点に配列した形態
を利用することもあり得る。これらは主として薬剤スク
リーニング等に用いられる。[0003] Basically, these parallel screening operations are performed using a so-called probe carrier in which a number of known probes, which serve as a screening means for a substance to be evaluated, are arranged, and a probe material under the same conditions is used. This is to detect the presence or absence of an action or reaction with respect to. Generally, what kind of action or reaction to use for a probe material is determined in advance, and therefore, a probe material mounted on one probe carrier is, for example, a group of DNA probe materials having different base sequences. ,
Broadly speaking, they are one type of substance. That is, a substance used as a group of probe materials is, for example, DN
A, proteins, synthesized chemicals (drugs), and the like. In many cases, a probe carrier composed of a group of plural types of probes is used. However, depending on the nature of the screening work, a DNA having the same base sequence, a protein having the same amino acid sequence,
It is also possible to use a form in which the same chemical substance is arranged at many points in an array. These are mainly used for drug screening and the like.

【０００４】一群をなす複数種のプローブ（具体的に
は、異なる塩基配列を有する一群のＤＮＡ、異なるアミ
ノ酸配列を有する一群のタンパク質、あるいは異なる化
学物質の一群）からなるプローブ担体では、その一群を
構成する複数種を、所定の配列順序に従って、アレイ状
に基板上などに配置する形態をとることが多い。なかで
も、ＤＮＡプローブ担体は、遺伝子ＤＮＡの塩基配列の
解析を行う際、あるいは信頼性の高い遺伝子診断を同時
に多項目に関して行う際などに用いられる。In a probe carrier comprising a group of a plurality of kinds of probes (specifically, a group of DNAs having different base sequences, a group of proteins having different amino acid sequences, or a group of different chemical substances), the group is a group of probes. In many cases, a plurality of constituents are arranged in an array on a substrate according to a predetermined arrangement order. Above all, the DNA probe carrier is used when analyzing the base sequence of gene DNA, or when performing highly reliable genetic diagnosis on multiple items at the same time.

【０００５】複数種のプローブを基板上にアレイ状に配
置する１つの方法として、液体吐出装置を用いて複数種
のプローブ溶液を所望のタイミングで順次吐出し、基板
上に配置させる方法がある。液体吐出装置には、プリン
タに一般的に用いられているインクジェット法の技術が
用いられている発明が開示されている。As one method of arranging a plurality of types of probes on a substrate in an array, there is a method of sequentially discharging a plurality of types of probe solutions at a desired timing by using a liquid discharging device and arranging them on the substrate. An invention in which a technique of an ink jet method generally used for a printer is used for a liquid ejection apparatus is disclosed.

【０００６】例えば、特開平１１−１８７９００号公報
には、プローブ材料を含む液体をサーマルインクジェッ
トヘッドにより液滴(droplet)として固相に付着させ
て、プローブを固相上に配置する方法が開示されてい
る。この方法では、プローブ材料として用いるＤＮＡを
予め合成および精製し、場合によってはその塩基長を確
認した上で、基板上に付着させている。For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-187900 discloses a method in which a liquid containing a probe material is attached to a solid phase as a droplet by a thermal ink jet head, and a probe is arranged on the solid phase. ing. In this method, DNA to be used as a probe material is synthesized and purified in advance, and in some cases, its base length is confirmed before being attached to a substrate.

【０００７】また、欧州特許公告公報ＥＰ ０ ７０３
８２５Ｂ１号には、ＤＮＡの固相合成において利用さ
れる、ヌクレオチドモノマー、ならびに、アクティベー
ターをそれぞれ別のピエゾ・ジェット・ノズルより供給
することにより、それぞれ所定の塩基配列を有するＤＮ
Ａ複数種を固相合成する方法が記載されている。この方
法では、基板上においてＤＮＡの固相合成を行い、各伸
長段階毎に、インクジェット法により合成に必要な物質
の溶液を基板上に供給している。Further, European Patent Publication No. EP 0 703
No. 825B1 discloses that a nucleotide monomer and an activator used in solid-phase synthesis of DNA are supplied from different piezo jet nozzles to provide a DN having a predetermined base sequence.
A describes a method for solid-phase synthesis of multiple species. In this method, solid phase synthesis of DNA is performed on a substrate, and a solution of a substance necessary for synthesis is supplied to the substrate by an inkjet method at each elongation step.

【０００８】[0008]

【発明が解決しようとする課題】以上に紹介したよう
に、プローブ担体を作製する従来の方法として、プリン
タに一般的に用いられているインクジェット法の技術が
用いられている。As introduced above, as a conventional method for producing a probe carrier, an ink-jet method generally used for a printer is used.

【０００９】しかしながら、プローブ担体を作製する
際、プリンタ用のインクの吐出方法をそのまま、プロー
ブ溶液の吐出方法に応用するだけでは問題があった。以
下この点に関してＤＮＡプローブ担体を例にとって詳し
く述べる。However, when producing a probe carrier, there is a problem if the method of ejecting ink for a printer is simply applied to the method of ejecting a probe solution as it is. Hereinafter, this point will be described in detail using a DNA probe carrier as an example.

【００１０】ＤＮＡプローブ担体を用いた検査方法は以
下のように行うのが一般的である。まず、プローブ担体
基板上のＤＮＡプローブと検体とを反応させる。この
際、検体に、マーカーとして例えば蛍光物質を結合させ
てある。検体は、ハイブリダゼーションにより、プロー
ブ担体上の一部のプローブと反応および結合する。ハイ
ブリダゼーション後プローブ担体を洗浄すると、結合が
起こった部分のみ蛍光体が残り、また、蛍光体の量を測
定することにより、反応量が分かる。An inspection method using a DNA probe carrier is generally performed as follows. First, a DNA probe on a probe carrier substrate is reacted with a sample. At this time, for example, a fluorescent substance is bound to the sample as a marker. The specimen reacts with and binds to some of the probes on the probe carrier by hybridization. When the probe carrier is washed after the hybridization, only the portion where the binding has occurred remains in the phosphor, and the amount of the reaction can be determined by measuring the amount of the phosphor.

【００１１】蛍光体の量を測定する際、プローブ担体上
の各プローブの面積および形状が非常に重大となる。な
ぜなら、蛍光体の光強度をセンサによって読み取る手法
が一般的であるからである。液体吐出装置から吐出され
たプローブ溶液の吐出量が均一な場合においても、基板
上に配置されたプローブの面積や形状がばらついていれ
ば、配置されたプローブ材料の密度が異なることにな
り、それだけ各プローブでの反応の定量化が困難に行い
にくくなる。When measuring the amount of the phosphor, the area and shape of each probe on the probe carrier are very important. This is because a method of reading the light intensity of the phosphor by a sensor is general. Even when the discharge amount of the probe solution discharged from the liquid discharge device is uniform, if the area and shape of the probes arranged on the substrate are varied, the density of the arranged probe material will be different, It becomes difficult to quantify the reaction with each probe.

【００１２】また、吐出されたプローブ溶液が基板に着
弾する際、基板上に形成されたプローブの形状がいびつ
になるだけでなく、着弾時に溶液の飛び散りが生じ、本
来プローブ溶液の存在しないバックグラウンドとなる領
域にプローブ溶液の付着が生じる現象が起こる場合があ
る。さらに、プローブの配置密度が高い場合は、隣接す
るプローブ領域に付着が生じる場合もある。これらの現
象が生じた場合、プローブの反応の定量化を行うことは
非常に困難になる。When the discharged probe solution lands on the substrate, not only does the shape of the probe formed on the substrate become distorted, but also the solution splatters upon landing, and the background in which the probe solution is not originally present is present. In some cases, a phenomenon in which the probe solution is attached to the region where the probe solution occurs may occur. Further, when the arrangement density of the probes is high, adhesion may occur in the adjacent probe region. When these phenomena occur, it is very difficult to quantify the reaction of the probe.

【００１３】このように、プローブ担体作成時には、吐
出され基板に着弾したプローブ溶液の面積及び形状の均
一性が非常に重大となる。また、プローブ溶液が着弾時
に飛び散る現象は、基本的には起きてはならない。プリ
ンタ用のインクジェットヘッドにおいても、吐出されて
紙面に付着したインクの面積および形状は重要である
が、プローブ担体製造時に求められる要求に比べると、
ばらつきの許容範囲は大きい。As described above, when preparing the probe carrier, the uniformity of the area and shape of the probe solution discharged and landed on the substrate becomes very important. Also, the phenomenon that the probe solution scatters upon impact should basically not occur. In the ink jet head for printers, the area and shape of the ink ejected and attached to the paper surface are important, but compared to the requirements required when manufacturing the probe carrier,
The permissible range of variation is large.

【００１４】また、プローブ担体を製造する際に液体吐
出装置に望まれる他の特性として、回復動作をなるべく
行わないようにして、プローブの作成を行うことができ
ることが挙げられる。ここで、回復動作とは、液体の吐
出状態を安定にするため、ノズルから液体を吸引する動
作、およびガラス基板にプローブ溶液を配置する前にあ
らかじめ所定の回数にわたって液体を吐出する動作（予
備吐出動作）を意味する。Another characteristic desired for the liquid ejecting apparatus when manufacturing the probe carrier is that the probe can be formed while performing a recovery operation as little as possible. Here, the recovery operation is an operation of sucking a liquid from a nozzle in order to stabilize a liquid discharge state, and an operation of discharging a liquid a predetermined number of times before disposing a probe solution on a glass substrate (preliminary discharge). Action).

【００１５】回復動作は、主に、液体吐出装置がある一
定の時間にわたって液体の吐出を行わなかった際に行わ
れる。たとえば、プローブ溶液を配置するガラス基板の
交換の後などに、回復動作が必要になる。一定時間にわ
たって液体の吐出を行わないでいると、ノズル開口部か
らプローブ溶液の一部の成分が蒸発し、粘度などの物性
値が変化するために、正常な吐出が行われなくなる。ど
のくらいの時間放置すると回復操作が必要になるか、お
よびどの程度の回復操作で液体吐出装置が正常な吐出を
行うようになるかは、液体吐出装置に依存する。プロー
ブ担体を製造する際には、使用されるプローブ溶液が高
価であるので、できる限り回復動作を少なくできる液体
吐出装置が望ましい。The recovery operation is performed mainly when the liquid discharge device does not discharge liquid for a certain period of time. For example, a recovery operation is required after replacing the glass substrate on which the probe solution is placed. If the liquid is not discharged for a certain period of time, some components of the probe solution evaporate from the nozzle opening, and physical values such as viscosity change, so that normal discharge cannot be performed. The length of time that the recovery operation is required after leaving the liquid ejection device and the length of the recovery operation in which the liquid ejection device performs normal ejection depends on the liquid ejection device. When a probe carrier is manufactured, a probe solution to be used is expensive. Therefore, a liquid ejection device capable of reducing the recovery operation as much as possible is desirable.

【００１６】従って、プローブ担体を製造する際には、
着弾後のプローブ形状が真円に近く、かつ液体吐出装置
の回復動作を必要とする頻度をより少なくなるようにし
て、プローブ溶液を基板に付着させることが重要な課題
であることを見出した。Therefore, when producing a probe carrier,
It has been found that it is important to attach the probe solution to the substrate so that the shape of the probe after landing is close to a perfect circle and the frequency of the recovery operation of the liquid ejection device is reduced.

【００１７】本発明は前記の課題を解決するもので、液
体吐出装置を用いてプローブ担体を製造する際に、プロ
ーブ担体に配置された各プローブの、面積及び形状の均
一性が極めて高く、またプローブ着弾時のプローブ溶液
の跳ね返りが起こりにくく、かつ液体吐出装置の回復動
作を必要とする頻度をより少なくできるプローブ担体の
製造方法を提供することを目的とする。The present invention solves the above-described problems. When a probe carrier is manufactured using a liquid ejection apparatus, the uniformity of the area and shape of each probe arranged on the probe carrier is extremely high. It is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a probe carrier, in which a rebound of a probe solution upon landing of a probe is unlikely to occur, and the frequency of the recovery operation of the liquid ejection device can be reduced.

【００１８】[0018]

【課題を解決するための手段】本発明者は、前記課題の
解決を図るべく、鋭意研究を進めた結果、液体吐出装置
から吐出したプローブ溶液の液滴の直径、速度、密度、
表面張力および粘度から算出されるレイノルズ数とウェ
ーバー数との積を所定の範囲に設定してプローブ担体の
作製を行うことにより、非常に均一なプローブ面積およ
び形状を有するプローブをプローブ担体基板上に配置で
きることを見出した。Means for Solving the Problems The present inventor has conducted intensive studies in order to solve the above-mentioned problems, and as a result, the diameter, velocity, density,
By setting the product of the Reynolds number and the Weber number calculated from the surface tension and the viscosity in a predetermined range to produce a probe carrier, a probe having a very uniform probe area and shape is placed on the probe carrier substrate. We found that we could arrange.

【００１９】また、本発明者らは、レイノルズ数とウェ
ーバー数との積を所定の範囲に設定してプローブ担体の
作製を行うことにより、軽度な回復動作でプローブ担体
の作製が可能にあることを見出した。Further, the present inventors set the product of the Reynolds number and the Weber number within a predetermined range to produce a probe carrier, thereby enabling the probe carrier to be produced with a slight recovery operation. Was found.

【００２０】すなわち、上記の目的を達成することので
きる、本発明の一実施態様にかかるプローブ担体の製造
方法は、レイノルズ数とウェーバー数の積を０．２６×
１０ ⁵以上１．１０×１０⁵以下にすることを特徴とす
る。That is, since the above object is achieved.
Production of probe carrier according to one embodiment of the present invention
The method is to multiply the product of Reynolds number and Weber number by 0.26 ×
10 ^Five1.10 × 10 or more^FiveCharacterized by the following
You.

【００２１】[0021]

【発明の実施の形態】以下に、本発明のプローブ担体の
製造方法に関して、より詳しく説明する。なお、ここに
示す実施例は、本発明の最良の実施の形態の一例ではあ
るものの、本発明は、これら実施例により限定されるも
のではない。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, a method for producing a probe carrier of the present invention will be described in more detail. Note that the examples shown here are examples of the best mode of the present invention, but the present invention is not limited to these examples.

【００２２】図１に、液体吐出装置を用いた、プローブ
担体製造装置の構造の模式図を示す。図１において、１
１は液体吐出装置（液体吐出手段）、１２は液体吐出装
置部の移動を略平行に案内するシャフト、１３はプロー
ブ担体が固定されるステージ（担体担持機構）、１４は
プローブ担体となるガラス基板を示す。FIG. 1 shows a schematic view of the structure of a probe carrier manufacturing apparatus using a liquid ejection apparatus. In FIG. 1, 1
1 is a liquid discharge device (liquid discharge means), 12 is a shaft for guiding the movement of the liquid discharge device section substantially in parallel, 13 is a stage on which a probe carrier is fixed (carrier support mechanism), and 14 is a glass substrate serving as a probe carrier Is shown.

【００２３】液体吐出装置１１は、図１中のＸ方向に移
動することができ、ステージ１３はＹ方向に移動するこ
とができる。従って、液体吐出装置１１は、ステージ１
３に対して相対的に２次元的に移動できることになる。The liquid discharge device 11 can move in the X direction in FIG. 1, and the stage 13 can move in the Y direction. Therefore, the liquid ejection device 11 is
3 can be moved two-dimensionally.

【００２４】液体吐出装置１１がステージ１３に固定さ
れているガラス基板１４上を通過する際、所望のタイミ
ングで液体吐出装置からプローブ溶液の吐出を行い、プ
ローブをガラス基板上に配置する。When the liquid discharge device 11 passes over the glass substrate 14 fixed to the stage 13, the probe solution is discharged from the liquid discharge device at a desired timing, and the probe is placed on the glass substrate.

【００２５】図２は、プローブ担体の模式図を示す。図
２に示されるように、プローブ１５は、規則的にガラス
基板１４に配置される。FIG. 2 shows a schematic diagram of a probe carrier. As shown in FIG. 2, the probes 15 are regularly arranged on the glass substrate 14.

【００２６】予め合成および精製されたプローブ材料
（たとえばＤＮＡ）を基板上に配置する場合、液体吐出
装置１１は、好ましくは、ガラス基板上に配置されるプ
ローブと同数のプローブ溶液を吐出可能なノズルを備え
た構造を有する。この場合、プローブ溶液の入替え無し
でプローブ担体を作製出来る。When a probe material (eg, DNA) synthesized and purified in advance is placed on a substrate, the liquid discharge device 11 is preferably provided with a nozzle capable of discharging the same number of probe solutions as the probes placed on a glass substrate. It has the structure provided with. In this case, the probe carrier can be manufactured without replacing the probe solution.

【００２７】１回の液体吐出装置の走査でプローブ担体
が作製できるので、作製されるプローブ担体のプローブ
の配置密度と液体吐出装置のノズルの配置密度とが同等
であることが、好ましい。Since the probe carrier can be manufactured by one scan of the liquid ejecting apparatus, it is preferable that the arrangement density of the probes of the produced probe carrier and the arrangement density of the nozzles of the liquid ejecting apparatus are equal.

【００２８】また、図１は、複数のガラス基板１４を固
定して、プローブを配置する場合のプローブ担体製造装
置の構造を示す。しかし、１枚の大きなガラス基板上に
プローブを配置し、その後、該ガラス基板を切断して複
数のプローブ担体を得ても良い。FIG. 1 shows the structure of a probe carrier manufacturing apparatus when a plurality of glass substrates 14 are fixed and probes are arranged. However, a plurality of probe carriers may be obtained by disposing a probe on one large glass substrate and thereafter cutting the glass substrate.

【００２９】図３に、液体吐出装置の１つの液体吐出部
を示す模式図である。液体を吐出させる方式としては、
ヒータから発生する熱エネルギーにより液体の吐出を行
うサーマルジェット方式と、ピエゾ素子に電圧を印加し
て生じる素子の変形により液体の吐出を行うピエゾジェ
ット方式がある。図３にはサーマルジェット方式の液体
吐出装置の構造を示した。FIG. 3 is a schematic diagram showing one liquid discharging section of the liquid discharging apparatus. As a method for discharging liquid,
There are a thermal jet method in which a liquid is ejected by thermal energy generated from a heater, and a piezo jet method in which a liquid is ejected by deformation of an element generated by applying a voltage to a piezo element. FIG. 3 shows the structure of a liquid jet apparatus of a thermal jet system.

【００３０】図３において、２１はシリコン基板、２２
は絶縁膜、２３はＴａＮ、ＴａＳｉＮ、ＴａＡｌ等から
成るヒータ、２４は保護膜、２５はＴａ等から成る耐キ
ャビテーション膜、２６はノズル材、２７はノズル、２
８は流路、２９は供給口である。In FIG. 3, reference numeral 21 denotes a silicon substrate;
Is an insulating film, 23 is a heater made of TaN, TaSiN, TaAl or the like, 24 is a protective film, 25 is a cavitation-resistant film made of Ta or the like, 26 is a nozzle material, 27 is a nozzle,
8 is a flow path, 29 is a supply port.

【００３１】ヒータ２３の両端にはアルミニウム等から
なる配線(不図示)が接続され、該配線を介してヒータ２
３両端に所望の電圧パルスが印加される。A wire (not shown) made of aluminum or the like is connected to both ends of the heater 23, and the heater 2 is connected through the wire.
A desired voltage pulse is applied to both ends.

【００３２】絶縁膜２２は、シリコン基板を熱酸化して
作成される熱酸化膜、あるいはＣＶＤにより作成される
酸化膜もしくは窒化膜等のいずれの膜でもよい。The insulating film 22 may be any film such as a thermal oxide film formed by thermally oxidizing a silicon substrate, or an oxide film or a nitride film formed by CVD.

【００３３】保護膜２４は、ＣＶＤにより作成される酸
化膜または窒化膜等いずれの膜でもよい。The protective film 24 may be any film such as an oxide film or a nitride film formed by CVD.

【００３４】ノズル２７および流路２８を形成している
ノズル材２６の形成は、あらかじめノズルおよび流路を
有したノズル材を半導体基板に貼り付けてもよいし、フ
ォトリソグラフィー技術による半導体プロセスを用いて
形成してもよい。The nozzle material 26 forming the nozzle 27 and the flow path 28 may be formed by attaching a nozzle material having a nozzle and a flow path to a semiconductor substrate in advance, or by using a semiconductor process by photolithography. May be formed.

【００３５】供給口２９はテトラメチルアンモニウムハ
イドロオキサイド（ＴＭＡＨ）水溶液を用いたシリコン
の異方性エッチングにより作製される。（１００）面を
表面に持つシリコン基板の場合、図３に示されるよう
に、基板表面に対して傾斜して開口し、その開口角は約
５４．７°である。供給口２９は、基板裏面から基板表
面にプローブ溶液を供給すると共に、プローブ溶液を保
持する液体リザーバーとしても機能する。The supply port 29 is formed by anisotropic etching of silicon using an aqueous solution of tetramethylammonium hydroxide (TMAH). In the case of a silicon substrate having a (100) plane on the surface, as shown in FIG. 3, the opening is inclined with respect to the substrate surface, and the opening angle is about 54.7 °. The supply port 29 supplies the probe solution from the back surface of the substrate to the substrate surface, and also functions as a liquid reservoir for holding the probe solution.

【００３６】プローブ担体の製造枚数が少なく、かつ１
つのプローブに対するプローブ溶液の吐出量が少ない場
合は、供給口内に存在するプローブ溶液量で、一連のプ
ローブ担体製造に充分な場合がある。より多くのプロー
ブ溶液の吐出が必要とされる場合は、該供給口２９に接
続される第２のリザーバー(不図示)を設ける。The number of probe carriers manufactured is small, and
When the amount of the probe solution discharged to one probe is small, the amount of the probe solution present in the supply port may be sufficient for a series of probe carrier production. If more probe solution needs to be discharged, a second reservoir (not shown) connected to the supply port 29 is provided.

【００３７】プローブ溶液は、図４に示されうように、
基板裏面の供給口２９から、流路２８を通って基板表面
のノズル２７まで導かれる。ヒータ２３両端に所望の電
圧パルスが印加されると、ヒータ近傍のプローブ溶液が
過熱され膜沸騰を起こし、図４に示されるように液体が
吐出される。The probe solution is, as shown in FIG.
It is guided from a supply port 29 on the back surface of the substrate to a nozzle 27 on the surface of the substrate through a flow path 28. When a desired voltage pulse is applied to both ends of the heater 23, the probe solution near the heater is overheated to cause film boiling, and the liquid is discharged as shown in FIG.

【００３８】プローブ溶液を安定に吐出させるために
は、安定に膜沸騰を起こすことが必須である。安定な膜
沸騰を起こすためには、ヒータに対して０．１ないし５
μｓの電圧パルスを印可することが望ましい。In order to stably discharge the probe solution, it is essential to cause stable film boiling. In order to cause stable film boiling, 0.1 to 5
It is desirable to apply a voltage pulse of μs.

【００３９】一度に一個のノズルから吐出されるプロー
ブ溶液の量は、プローブ溶液の粘度、プローブ溶液と固
相基板の親和性、およびプローブ材料と固相基板との反
応性などの様々の要素を考慮の上で、形成されるプロー
ブのドットサイズや形状に応じて、適宜選択されるもの
である。プローブ溶液は水性溶媒を用いることが一般的
である。本発明の方法においては、液体吐出装置の各ノ
ズルから吐出されるプローブ溶液の液滴は、一般的に、
その液量を０．１ｐｌから１００ｐｌの範囲内で選択さ
れる。その液量に合わせてノズル径などを設計すること
が好ましい。The amount of the probe solution discharged from one nozzle at a time depends on various factors such as the viscosity of the probe solution, the affinity between the probe solution and the solid substrate, and the reactivity between the probe material and the solid substrate. It is appropriately selected in consideration of the dot size and shape of the probe to be formed. In general, an aqueous solvent is used for the probe solution. In the method of the present invention, the droplet of the probe solution discharged from each nozzle of the liquid discharge device is generally
The liquid volume is selected within the range of 0.1 pl to 100 pl. It is preferable to design the nozzle diameter and the like according to the liquid amount.

【００４０】このプローブ溶液が塗布されるアレイ単位
（ドット）の占める面積は、０．０１μｍ²から４００
００μｍ²が一般的であるが、これは、プローブ担体自
体の大きさ、プローブの配置密度により決まる。The area occupied by the array unit (dot) to which the probe solution is applied is from 0.01 μm ² to 400 μm ^2.
The thickness is generally 00 μm ² , which is determined by the size of the probe carrier itself and the arrangement density of the probes.

【００４１】本発明において、担体に固定されるプロー
ブは、特定の標的物質に対して特異的に結合可能なもの
である。本発明の実施例における標的物質は核酸であ
り、プローブは前記核酸の全部または一部に対して相補
的な塩基配列を有し、前記核酸の塩基配列と特異的にハ
イブリダイズする一本鎖核酸である。さらに、このプロ
ーブは、特定の標的を認識し得るオリゴヌクレオチド、
ポリヌクレオチド、あるいはその他のポリマーなどを含
む。用語「プローブ」は、個々のポリヌクレオチド分子
などのプローブ機能を有するプローブ機能を有する分
子、および分散した位置に表面固定された同じ配列のポ
リヌクレオチドなどの同じプローブ機能を有する分子の
集団の両方をいい、しばしばリガンドと呼ばれる分子も
含まれる。また、プローブおよび標的は、しばしば交換
可能に使用され、リガンド−抗リガンド（レセプターと
呼ぶこともある）対の一部として標的と結合し得るか、
または結合するものに変化しようになり得るものであ
る。本発明におけるプローブおよび標的は、天然におい
て見いだされるような塩基、またはその類似物を含み得
る。In the present invention, the probe immobilized on the carrier can specifically bind to a specific target substance. The target substance in the embodiment of the present invention is a nucleic acid, and the probe has a base sequence complementary to all or a part of the nucleic acid, and is a single-stranded nucleic acid specifically hybridizing with the base sequence of the nucleic acid. It is. Further, the probe is an oligonucleotide capable of recognizing a specific target,
Includes polynucleotides or other polymers. The term `` probe '' refers to both molecules having a probe function, such as individual polynucleotide molecules, and a population of molecules having the same probe function, such as polynucleotides of the same sequence surface-fixed at dispersed locations. Good, often includes molecules called ligands. Also, probes and targets are often used interchangeably and can bind to the target as part of a ligand-antiligand (sometimes called receptor) pair,
Or something that can change into something that combines. Probes and targets in the present invention can include bases as found in nature, or analogs thereof.

【００４２】また、担体上に支持されるプローブの一例
としては、標的核酸とハイブリダイゼーション可能な塩
基配列よりなるオリゴヌクレオチドの一部にリンカーを
介して担体との結合部を有するもので、担体との結合部
において担体表面に連結された構造を有するものを挙げ
ることができる。なお、このような構成の場合における
担体と結合部のオリゴヌクレオチドの分子内での位置
は、所望とするハイブリダイゼーション反応を損なわな
い範囲において限定されない。As an example of a probe supported on a carrier, an oligonucleotide having a base sequence capable of hybridizing with a target nucleic acid and having a binding portion to a carrier via a linker at a part thereof may be used. Having a structure linked to the surface of the carrier at the bonding portion of the above. In this case, the positions of the carrier and the binding portion in the molecule of the oligonucleotide are not limited as long as the desired hybridization reaction is not impaired.

【００４３】また、本発明の方法により製造されるプロ
ーブ担体に採用されるプローブは、その使用目的におい
て、適宜選択されるものであるが、本発明の方法を好適
に実施する上では、プローブとしては、ＤＮＡ、ＲＮ
Ａ、ｃＤＮＡ（コンプリメンタリーＤＮＡ）、ＰＮＡ(p
entose nucleic acid)、オリゴヌクレオチド、ポリヌク
レオチド、その他の核酸、オリゴペプチド、ポリペプチ
ド、タンパク質、酵素、酵素に対する基質、抗体、抗体
に対するエピトープ、抗原、ホルモン、ホルモンレセプ
ター、リガンド、リガンドレセプター、オリゴ糖、ポリ
糖のいずれかであることが好ましく、必要に応じてこれ
らの２種以上を組み合わせて用いることができる。The probe used for the probe carrier produced by the method of the present invention is appropriately selected depending on the purpose of use. However, in carrying out the method of the present invention preferably, the probe is used as a probe. Is DNA, RN
A, cDNA (complementary DNA), PNA (p
entose nucleic acid), oligonucleotides, polynucleotides, other nucleic acids, oligopeptides, polypeptides, proteins, enzymes, substrates for enzymes, antibodies, epitopes for antibodies, antigens, hormones, hormone receptors, ligands, ligand receptors, oligosaccharides, It is preferably one of polysaccharides, and if necessary, two or more of these can be used in combination.

【００４４】本発明においては、これらのプローブの複
数種を、それぞれ独立した領域（例えばドット状スポッ
ト）として、担体基板（中空体や環状担体のない壁面の
表面を含む）の表面に固定したものをプローブ担体とい
い、所定の間隔で配列されたものをプローブ・アレイと
いう。In the present invention, a plurality of these types of probes are fixed on the surface of a carrier substrate (including a surface of a wall surface without a hollow body or an annular carrier) as independent regions (for example, dot spots). Are called probe carriers, and those arranged at predetermined intervals are called probe arrays.

【００４５】プローブ材料は担体基板表面に結合可能な
構造を有するものとし、プローブ溶液を吐出および塗布
した後、かかる結合可能な構造を利用して担体基板表面
に結合させることが望ましい。この担体基板表面へ結合
可能な構造は、例えば、アミノ基、メルカプト基、カル
ボキシル基、ヒドロキシル基、酸ハロゲン化物（−ＣＯ
Ｘ）、ハロゲン化物、アジリジン、マレイミド基、スク
シイミド基、イソチオシアネート基、スルホニルクロリ
ド（−ＳＯ₂Ｃｌ）基、アルデヒド（−ＣＨＯ）基、ヒ
ドラジン、ヨウ化アセトアミドなどの有機官能基をプロ
ーブ材料分子に予め導入する処理を施すことで形成する
ことができる。その場合、一方、基板表面には、前記の
各種有機官能基と反応して共有結合を形成する構造（有
機官能基）を導入する処理を予め行っておくことが必要
となる。たとえば、プローブ材料がアミノ基を有する場
合、スクシイミドエステル、イソチオシアネート、スル
ホニルクロライド、またはアルデヒドを基板表面に導入
することができる。また、たとえばプローブ材料がメル
カプト基（チオール基）を有する場合は、マレイミドを
基板表面に導入することができる。担体基板としてガラ
ス基板を用いる場合には、所望の官能基を有するシラン
カップリング剤、さらにそれに加えて、所望の官能基を
有するクロスリンカー等を用いて所望の官能基を基板表
面に導入することができる。It is preferable that the probe material has a structure that can be bonded to the surface of the carrier substrate, and after the probe solution is discharged and applied, the probe material is bonded to the surface of the carrier substrate by using the structure that can be bonded. The structure capable of bonding to the carrier substrate surface includes, for example, an amino group, a mercapto group, a carboxyl group, a hydroxyl group, an acid halide (—CO 2
X) organic functional groups such as halide, aziridine, maleimide group, succinimide group, isothiocyanate group, sulfonyl chloride (-SO ₂ Cl) group, aldehyde (-CHO) group, hydrazine, iodide acetamide and the like as probe material molecules. It can be formed by performing an introduction process in advance. In this case, on the other hand, it is necessary to previously perform a process of introducing a structure (organic functional group) that forms a covalent bond by reacting with the various organic functional groups on the substrate surface. For example, when the probe material has an amino group, succinimide ester, isothiocyanate, sulfonyl chloride, or aldehyde can be introduced to the substrate surface. Further, for example, when the probe material has a mercapto group (thiol group), maleimide can be introduced to the substrate surface. When a glass substrate is used as a carrier substrate, a silane coupling agent having a desired functional group and, in addition, a crosslinker having a desired functional group are used to introduce a desired functional group onto the substrate surface. Can be.

【００４６】[0046]

【実施例】次に本発明の特徴である、液体吐出方法に関
して説明する。Next, a description will be given of a liquid discharging method which is a feature of the present invention.

【００４７】（プローブ形状に及ぼす液体吐出条件の影
響）図３を用いて説明した、サーマルジェット方式の液
体吐出装置では、ヒータのサイズや、流路の高さや幅等
の流路構造、ノズルの径や高さ等のノズル形状、印加す
る電圧パルスの形状等を変化させることで、吐出量や、
吐出速度を変化させることが出来る。(Influence of Liquid Discharge Conditions on Probe Shape) In the thermal jet type liquid discharge apparatus described with reference to FIG. 3, the size of the heater, the flow path structure such as the height and width of the flow path, the nozzle By changing the shape of the nozzle such as the diameter and height, the shape of the applied voltage pulse, etc., the ejection amount,
The discharge speed can be changed.

【００４８】プローブ材料としてＤＮＡオリゴマーを８
μＭ（約0.005質量％）の濃度で、第１表に示す組成の
溶液中に溶解させたプローブ溶液を用い、プローブ溶液
の吐出量および吐出速度を変化させた場合のプローブの
形状を観察した。観察は顕微鏡を用いた目視によって行
った。8 DNA oligomers as probe materials
Using a probe solution dissolved in a solution having the composition shown in Table 1 at a concentration of μM (about 0.005% by mass), the shape of the probe when the ejection amount and the ejection speed of the probe solution were changed was observed. The observation was performed by visual observation using a microscope.

【００４９】[0049]

【表１】 [Table 1]

【００５０】上記組成を有する溶液の物性値を第２表に
示す。なお、粘度はコーンプレート型回転粘度計（東機
産業、ＲＥ−８０Ｌ）を用いて室温において測定し、表
面張力は静的表面張力計（ウィルヘルミ(Wilhelmy)法；
協和界面科学、ＣＢＶＰ−Ａ３）を用いて室温において
測定した。The physical properties of the solution having the above composition are shown in Table 2. The viscosity was measured at room temperature using a cone plate type rotational viscometer (Toki Sangyo, RE-80L), and the surface tension was measured using a static surface tensiometer (Wilhelmy method;
It was measured at room temperature using Kyowa Interface Science, CBVP-A3).

【００５１】[0051]

【表２】 [Table 2]

【００５２】（１）溶液吐出量（溶液一滴当たりの吐出
体積）、３０ｐｌの場合 およそ３０ｐｌの吐出量を実現できる液体吐出装置を用
い、吐出速度を１０、１２．５、１５、１６、１７、１
８ｍ／ｓと変化させてプローブ担体を作製し、プローブ
の形状を観察した。３０ｐｌの液滴を吐出した場合、液
滴の直径は約３８μｍとなった。(1) Solution discharge amount (discharge volume per solution drop), 30 pl Using a liquid discharge apparatus capable of realizing a discharge amount of about 30 pl, and setting the discharge speed to 10, 12.5, 15, 16, 17, 1
A probe carrier was prepared at a rate of 8 m / s, and the shape of the probe was observed. When a droplet of 30 pl was ejected, the diameter of the droplet was about 38 μm.

【００５３】吐出速度が１０、１２．５、１５および１
６ｍ／ｓの場合は、基板上に配置されたプローブ形状は
真円に近く、また、液滴着弾時に起こる液滴の跳ね返り
によるプローブ形状の悪化および細かいプローブ溶液の
付着は観察されなかった。When the discharge speed is 10, 12.5, 15 and 1
In the case of 6 m / s, the shape of the probe arranged on the substrate was close to a perfect circle, and no deterioration of the probe shape due to the rebound of the droplet occurring at the time of landing of the droplet and the attachment of the fine probe solution were observed.

【００５４】これに対して、吐出速度が１７ｍ／ｓの場
合では、液滴着弾時に起こる液滴の跳ね返りによると思
われる、細かいプローブ溶液の付着が観察された。On the other hand, when the discharge speed was 17 m / s, fine probe solution was observed, which was considered to be due to the rebound of the droplet which occurred when the droplet landed.

【００５５】吐出速度が１８ｍ／ｓの場合は、細かいプ
ローブ溶液の付着が顕著に見られ、また主たるプローブ
の形状が円形から崩れだし、各々のプローブ間の形状の
ばらつきが観察された。When the ejection speed was 18 m / s, the adhesion of the fine probe solution was remarkably observed, and the shape of the main probe was distorted from the circular shape, and the variation in the shape between the probes was observed.

【００５６】また、いずれの吐出速度の場合において
も、数分ないし数十分の吐出休止後においても、数百な
いし数千の予備吐出動作という比較的軽度の回復動作に
より、正常な吐出を実現することができた。Also, at any discharge speed, even after several to several tens of minutes of suspension of discharge, normal discharge is realized by a relatively light recovery operation of several hundred to several thousand preliminary discharge operations. We were able to.

【００５７】（２）溶液吐出量、２４ｐｌの場合 およそ２４ｐｌの吐出量を実現できる液体吐出装置を用
い、吐出速度を１０、１２．５、１５、２０ｍ／ｓと変
化させてプローブ担体を作製し、プローブの形状を観察
した。２４ｐｌの液滴を吐出した場合、液滴の直径は約
３３μｍとなった。(2) In the case of a solution discharge amount of 24 pl Using a liquid discharge device capable of realizing a discharge amount of approximately 24 pl, a probe carrier is manufactured by changing the discharge speed to 10, 12.5, 15, and 20 m / s. And the shape of the probe was observed. When a droplet of 24 pl was discharged, the diameter of the droplet was about 33 μm.

【００５８】吐出速度が１０、１２．５および１５ｍ／
ｓの場合は、基板上に配置されたプローブ形状は真円に
近く、また、液滴着弾時に起こる液滴の跳ね返りによる
プローブ形状の悪化および細かいプローブ溶液の付着は
観察されなかった。Discharge speeds of 10, 12.5 and 15 m /
In the case of s, the shape of the probe arranged on the substrate was close to a perfect circle, and no deterioration of the probe shape due to the rebound of the droplet occurring at the time of landing of the droplet and the attachment of the fine probe solution were observed.

【００５９】これに対して、吐出速度が２０ｍ／ｓの場
合では、液滴着弾時に起こる液滴の跳ね返りによると思
われる、細かいプローブ溶液の付着が観察された。On the other hand, when the ejection speed was 20 m / s, the adhesion of the fine probe solution, which is considered to be due to the rebound of the droplet occurring when the droplet landed, was observed.

【００６０】また、吐出速度が１２．５、１５および２
０ｍ／ｓの場合においては、数分ないし数十分の吐出休
止後においても、数百ないし数千の予備吐出動作という
比較的軽度の回復動作により、正常な吐出を実現するこ
とができた。しかしながら、吐出速度が１０ｍ／ｓの場
合には、数百ないし数千の予備吐出動作という比較的軽
度の回復動作によっては、正常な吐出を実現することが
できなかった。Further, when the discharge speed is 12.5, 15 and 2
In the case of 0 m / s, even after several minutes to several tens of minutes of ejection suspension, normal ejection could be realized by a relatively mild recovery operation of several hundred to several thousand preliminary ejection operations. However, when the ejection speed is 10 m / s, normal ejection cannot be realized by a relatively mild recovery operation of several hundred to several thousand preliminary ejection operations.

【００６１】（３）溶液吐出量、１５ｐｌの場合 およそ１５ｐｌの吐出量を実現できる液体吐出装置を用
い、吐出速度を１０、１２．５、１５、１８．５、２０
ｍ／ｓと変化させてプローブ担体を作製し、プローブの
形状を観察した。１５ｐｌの液滴を吐出した場合、液滴
の直径は約３０μｍとなった。(3) In the case of a solution discharge amount of 15 pl A liquid discharge device capable of realizing a discharge amount of approximately 15 pl is used, and the discharge speed is set to 10, 12.5, 15, 18.5, 20
A probe carrier was prepared by changing m / s, and the shape of the probe was observed. When a droplet of 15 pl was ejected, the diameter of the droplet was about 30 μm.

【００６２】吐出速度が１０、１２．５、１５および１
８．５ｍ／ｓの場合は、基板上に配置されたプローブ形
状は真円に近く、また、液滴着弾時に起こる液滴の跳ね
返りによるプローブ形状の悪化および細かいプローブ溶
液の付着は観察されなかった。When the discharge speed is 10, 12.5, 15 and 1
In the case of 8.5 m / s, the shape of the probe arranged on the substrate was close to a perfect circle, and the deterioration of the probe shape due to the rebound of the droplet occurring when the droplet landed and the attachment of the fine probe solution were not observed. .

【００６３】これに対して、吐出速度が２０ｍ／ｓの場
合では、液滴着弾時に起こる液滴の跳ね返りによると思
われる、細かいプローブ溶液の付着が観察された。On the other hand, when the ejection speed was 20 m / s, a fine probe solution was observed to be attached, which is thought to be due to the rebound of the droplet occurring when the droplet lands.

【００６４】また、吐出速度が１２．５、１５、１８お
よび２０ｍ／ｓの場合においては、数分ないし数十分の
吐出休止後においても、数百ないし数千の予備吐出動作
という比較的軽度の回復動作により、正常な吐出を実現
することができた。しかしながら、吐出速度が１０ｍ／
ｓの場合には、数百ないし数千の予備吐出動作という比
較的軽度の回復動作によっては、正常な吐出を実現する
ことができなかった。Further, when the ejection speed is 12.5, 15, 18, and 20 m / s, even after a few minutes to several tens of minutes of ejection suspension, several hundred to several thousand preliminary ejection operations are performed. By the recovery operation described above, normal ejection could be realized. However, the discharge speed is 10 m /
In the case of s, normal ejection could not be realized by a relatively mild recovery operation of hundreds or thousands of preliminary ejection operations.

【００６５】（４）溶液吐出量、８ｐｌの場合 およそ８ｐｌの吐出量を実現できる液体吐出装置を用
い、吐出速度を１０、１２．５、１５、１８、２０、２
２ｍ／ｓと変化させてプローブ担体を作製し、プローブ
の形状を観察した。８ｐｌの液滴を吐出した場合、液滴
の直径は約２４μｍとなった。(4) Solution Discharge Amount: 8 pl Using a liquid discharge device capable of realizing a discharge amount of about 8 pl, and setting the discharge speed to 10, 12.5, 15, 18, 20, 20,
A probe carrier was prepared at a rate of 2 m / s, and the shape of the probe was observed. When an 8 pl droplet was ejected, the diameter of the droplet was about 24 μm.

【００６６】吐出速度が１０、１２．５、１５、１８お
よび２０ｍ／ｓの場合は、基板上に配置されたプローブ
形状は真円に近く、また、液滴着弾時に起こる液滴の跳
ね返りによるプローブ形状の悪化および細かいプローブ
溶液の付着は観察されなかった。When the ejection speed is 10, 12.5, 15, 18, and 20 m / s, the shape of the probe arranged on the substrate is close to a perfect circle, and the probe is caused by the rebound of the droplet that occurs when the droplet lands. No deterioration of the shape and no adhesion of the fine probe solution were observed.

【００６７】これに対して、吐出速度が２２ｍ／ｓの場
合では、液滴着弾時に起こる液滴の跳ね返りによると思
われる、細かいプローブ溶液の付着が観察された。On the other hand, when the ejection speed was 22 m / s, a fine probe solution was observed, which was thought to be due to the rebound of the droplet which occurred when the droplet landed.

【００６８】また、吐出速度が１５、１８、２０および
２２ｍ／ｓの場合においては、数分ないし数十分の吐出
休止後においても、数百ないし数千の予備吐出動作とい
う比較的軽度の回復動作により、正常な吐出を実現する
ことができた。しかしながら、吐出速度が１０および１
２．５ｍ／ｓの場合には、数百ないし数千の予備吐出動
作という比較的軽度の回復動作によっては、正常な吐出
を実現することができなかった。When the ejection speed is 15, 18, 20, and 22 m / s, a relatively slight recovery of several hundred to several thousand preliminary ejection operations is performed even after several minutes to several tens of minutes of ejection suspension. By the operation, normal ejection could be realized. However, when the ejection speed is 10 and 1
In the case of 2.5 m / s, normal ejection could not be realized by a relatively mild recovery operation of several hundred to several thousand preliminary ejection operations.

【００６９】（５）溶液吐出量、４．５ｐｌの場合 およそ４．５ｐｌの吐出量を実現できる液体吐出装置を
用い、吐出速度を１０、１２．５、１５、２０、２５ｍ
／ｓと変化させてプローブ担体を作製し、プローブの形
状を観察した。４．５ｐｌの液滴を吐出した場合、液滴
の直径は約２０μｍとなった。(5) In the case of a solution discharge amount of 4.5 pl A liquid discharge device capable of realizing a discharge amount of approximately 4.5 pl is used, and the discharge speed is set to 10, 12.5, 15, 20, 25 m.
/ S was changed to prepare a probe carrier, and the shape of the probe was observed. When a droplet of 4.5 pl was ejected, the diameter of the droplet was about 20 μm.

【００７０】吐出速度が１０、１２．５、１５および２
０ｍ／ｓの場合は、基板上に配置されたプローブ形状は
真円に近く、また、液滴着弾時に起こる液滴の跳ね返り
によるプローブ形状の悪化および細かいプローブ溶液の
付着は観察されなかった。When the discharge speed is 10, 12.5, 15 and 2
In the case of 0 m / s, the shape of the probe arranged on the substrate was close to a perfect circle, and the deterioration of the probe shape due to the rebound of the droplet occurring when the droplet landed and the attachment of the fine probe solution were not observed.

【００７１】これに対して、吐出速度が２５ｍ／ｓの場
合では、液滴着弾時に起こる液滴の跳ね返りによると思
われる、細かいプローブ溶液の付着が観察された。On the other hand, when the ejection speed was 25 m / s, a fine probe solution was observed, which was thought to be due to the rebound of the droplet which occurred when the droplet landed.

【００７２】また、吐出速度が１５、２０および２５ｍ
／ｓの場合においては、数分ないし数十分の吐出休止後
においても、数百ないし数千の予備吐出動作という比較
的軽度の回復動作により、正常な吐出を実現することが
できた。しかしながら、吐出速度が１０および１２．５
ｍ／ｓの場合には、数百ないし数千の予備吐出動作とい
う比較的軽度の回復動作によっては、正常な吐出を実現
することができなかった。The discharge speed is 15, 20, and 25 m.
In the case of / s, even after several minutes to several tens of minutes of suspension of ejection, normal ejection was able to be realized by a relatively mild recovery operation of several hundred to several thousand preliminary ejection operations. However, discharge rates of 10 and 12.5
In the case of m / s, normal ejection could not be realized by a relatively mild recovery operation of hundreds or thousands of preliminary ejection operations.

【００７３】以上説明したように、液体吐出装置を用い
て作製されたプローブ担体のプローブの形状は、吐出速
度が遅いほど、また、吐出体積が小さいほど、真円に近
い良好な形状となる。また、プローブの形状は単純に吐
出速度のみによって決定されるものではないことが分か
る。As described above, the shape of the probe of the probe carrier manufactured by using the liquid discharge device becomes closer to a perfect circle as the discharge speed is lower and the discharge volume is smaller. Also, it can be seen that the shape of the probe is not simply determined by the ejection speed alone.

【００７４】また、液体の吐出を正常に行うための回復
動作は、吐出速度が速いほど、また吐出体積が大きいほ
ど、軽度の回復動作で正常な吐出を実現できることが分
かる。In addition, it can be seen that in the recovery operation for performing the normal discharge of the liquid, the higher the discharge speed and the larger the discharge volume, the more the normal recovery operation can be realized with a slight recovery operation.

【００７５】本現象に関し、鋭意検討した結果、プロー
ブの形状の良し悪しを、以下の関係式で判断できること
を見出した。良好なプローブ実現できる条件 ０．２６×１０⁵≦Ｒｅ・Ｗｅ≦１．１０×１０⁵ （１） （ここで、Ｒｅ：レイノルズ数［無単位］＝ρ・ｄ・ｖ
／η Ｗｅ：ウェーバー数［無単位］＝ρ・ｄ・ｖ²／σ ρはプローブ溶液の密度、ｄは吐出されたプローブ溶液
の液滴の直径、ｖはプローブ溶液の吐出速度、ηはプロ
ーブ溶液の粘度、σはプローブ溶液の表面張力である）As a result of intensive studies on this phenomenon, it has been found that the quality of the probe can be determined by the following relational expression. Conditions for realizing a good probe 0.26 × 10 ⁵ ≦ Re · We ≦ 1.10 × 10 ⁵ (1) (where, Re: Reynolds number [unitless] = ρ · d · v)
/ Η We: Weber number [unitless] = ρ · d · v ² / σ ρ is the density of the probe solution, d is the diameter of the discharged droplet of the probe solution, v is the discharge speed of the probe solution, and η is the probe. Solution viscosity, σ is the surface tension of the probe solution)

【００７６】第３表に、上記結果を、（１）式に関連付
けてまとめた結果をしめす。第３表の評価１の欄におい
て、○は顕微鏡による目視観察によって良好なプローブ
形状が観察されたことを、×は以下に示す不都合：ａ）
プローブ形状の乱れ、あるいはｂ）液滴着弾時に起こる
液滴の跳ね返りによると思われる細かいプローブ溶液
（プローブ滴）の付着、の１つ以上が発生したことを示
す。Table 3 shows the results obtained by associating the above results with Equation (1). In the column of Evaluation 1 in Table 3, ○ indicates that a good probe shape was observed by visual observation with a microscope, and X indicates inconvenience shown below: a)
This indicates that one or more of probe shape disorder or b) adhesion of a fine probe solution (probe droplet), which is considered to be due to droplet rebound occurring at the time of droplet landing, has occurred.

【００７７】また、第３表の評価２の欄において、○
は、軽度すなわち少ない回復量または回復回数の回復動
作を行うことにより、プローブ溶液の正常な吐出状態を
維持することができることを示す。一方、×は、同程度
の回復動作では正常な吐出状態を維持できないことを示
す。In the column of Evaluation 2 in Table 3,
Indicates that the normal ejection state of the probe solution can be maintained by performing the recovery operation with a slight recovery amount or a small recovery amount. On the other hand, x indicates that a normal ejection state cannot be maintained with the same level of recovery operation.

【００７８】さらに、第３表の総合評価の欄において、
○は、評価１および評価２の両方がまるであったこと
を、×は評価１または評価２の一方が×であったことを
示す。Further, in the column of comprehensive evaluation in Table 3,
○ indicates that both Evaluation 1 and Evaluation 2 were as if they were, and × indicates that either Evaluation 1 or Evaluation 2 was ×.

【００７９】第３表により、良好なプロ−ブ形状および
安定した吐出状態が得られた吐出条件では、（１）式を
満たしていることが分かる。From Table 3, it can be seen that the equation (1) is satisfied under the ejection conditions in which a good probe shape and a stable ejection state are obtained.

【００８０】[0080]

【表３】 [Table 3]

【００８１】[0081]

【表４】 [Table 4]

【００８２】（プローブ形状に及ぼす液体の物性値の影
響）前記プローブ溶液の物性値を変化させて、基板上に
配置されたプローブの形状にどのような変化が生じるか
調べた。具体的には、プローブ溶液中のグリセリン濃度
を変化させてプローブ溶液の物性値を変化させた。該プ
ローブ溶液を、およそ１５ｐｌの液体を吐出可能な液体
吐出装置を用いて基板上に付着させ、得られるプローブ
形状を観察した。(Effect of Physical Properties of Liquid on Probe Shape) By changing the physical properties of the probe solution, the change in the shape of the probe arranged on the substrate was examined. Specifically, the physical properties of the probe solution were changed by changing the glycerin concentration in the probe solution. The probe solution was deposited on a substrate using a liquid ejection device capable of ejecting approximately 15 pl of liquid, and the resulting probe shape was observed.

【００８３】前記の組成のプローブ溶液のグリセリン濃
度を変化させると、物性値は以下の第４表に示すように
変化した。なお、表面張力はグリセリン濃度を変化させ
てもほとんど変化しなかった。When the glycerin concentration of the probe solution having the above composition was changed, the physical properties changed as shown in Table 4 below. The surface tension hardly changed even when the glycerin concentration was changed.

【００８４】[0084]

【表５】 [Table 5]

【００８５】これらの溶液を、同一の条件で吐出させた
ところ、吐出量Ｖｄ、吐出速度ｖおよび液滴径ｄは第５
表に示すように変化した。When these solutions were ejected under the same conditions, the ejection volume Vd, ejection speed v, and droplet diameter d were 5th.
It changed as shown in the table.

【００８６】上記溶液を吐出して作製したプローブの形
状を観察すると、グリセリン濃度が７．５、１０、１
７．５、および２０質量％のものは、プローブ形状が良
好であった。グリセリン濃度５．０質量％のものは、細
かいプローブ溶液の付着が目立ち、またプローブ形状も
円形から崩れた形状となり、グリセリン濃度６．５質量
％の物は僅かではあるが細かいプローブ溶液の付着が観
察された。Observation of the shape of the probe produced by discharging the above solution revealed that the glycerin concentration was 7.5, 10, 1 and 2.
Those with 7.5 and 20% by mass had good probe shapes. In the case of the glycerin concentration of 5.0% by mass, the adhesion of the fine probe solution is conspicuous, and the probe shape is also distorted from the circular shape. Was observed.

【００８７】また、グリセリン濃度が５．０、６．５、
７．５、１０、および１７．５質量％の場合において
は、数分ないし数十分の吐出休止後においても、数百な
いし数千の予備吐出動作という比較的軽度の回復動作に
より、正常な吐出を実現することができた。しかしなが
ら、グリセリン濃度が２０質量％の場合においては、同
程度の回復動作によっては、正常な吐出を実現すること
ができなかった。The glycerin concentrations were 5.0, 6.5,
In the case of 7.5, 10, and 17.5% by mass, even after several minutes to several tens of minutes of the suspension of discharge, a relatively slight recovery operation of several hundred to several thousand preliminary discharge operations makes it possible to perform normal operation. Discharge could be realized. However, when the glycerin concentration was 20% by mass, normal ejection could not be realized by the same recovery operation.

【００８８】この場合にも、前記した手法と同様にレイ
ノルズ数、ウェーバー数およびこれらの積を求めて第５
表に示す。第５表から分かるように、プローブ溶液の物
性値を変化させた時も、レイノルズ数とウェーバー数の
積が０．２６×１０⁵以上１．１０×１０⁵以下の範囲内
にあるかどうかに依存して、プローブ形状の形態が変化
している。In this case as well, the Reynolds number, the Weber number, and the product of them are obtained to obtain the fifth
It is shown in the table. As can be seen from Table 5, even when the physical properties of the probe solution were changed, it was determined whether the product of the Reynolds number and the Weber number was in the range of 0.26 × 10 ⁵ or more and 1.10 × 10 ⁵ or less. Dependently, the shape of the probe shape has changed.

【００８９】[0089]

【表６】 [Table 6]

【００９０】以上の結果に示されるように、液体吐出装
置からプローブ溶液を吐出させプローブ担体を作製する
際に、レイノルズ数とウェーバー数の積Re・Weが０．２
６×１０⁵以上１．１０×１０⁵以下になるように、液体
吐出装置の設計およびプローブ溶液の調製を行いプロー
ブ担体の作製を行った結果として、配置されたプローブ
の形状が真円に近い好ましい形態のプローブ担体が作製
すること、および液体吐出装置からのプローブ溶液の吐
出安定化のための回復動作の頻度を少なくすることがで
きた。As shown in the above results, when the probe solution is ejected from the liquid ejection device to produce the probe carrier, the product Re · We of the Reynolds number and the Weber number is 0.2.
As a result of designing a liquid ejection device and preparing a probe solution to produce a probe carrier so that the probe carrier is 6 × 10 ⁵ or more and 1.10 × 10 ⁵ or less, the shape of the arranged probe is close to a perfect circle. It was possible to produce a probe carrier in a preferred form and to reduce the frequency of the recovery operation for stabilizing the ejection of the probe solution from the liquid ejection device.

【００９１】なお、実施例としてサーマルジェット方式
である液体吐出装置を用いた場合に関して説明してきた
が、ピエゾ素子を用いたジェット方式の液体吐出装置に
も適用可能である。Although the embodiment has been described with respect to the case where a liquid jet apparatus of a thermal jet system is used, the present invention can be applied to a liquid jet apparatus of a jet system using a piezo element.

【００９２】サーマルジェット（バブルジェット（登録
商標））方式の代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４，７２３，１２９号，同第４，７４
０，７９６号に開示されている基本的な原理を用いて行
うものが好ましい。この方式は所謂オンデマンド型，コ
ンティニュアス型のいずれにも適用可能であるが、特
に、オンデマンド型の装置に有効である。なぜなら、液
路に対応して配置されている電気熱変換体に、記録情報
に対応していて核沸騰(nucleate boiling)を越える急速
な温度上昇を与える少なくとも１つの駆動信号を印加す
ることによって、電気熱変換体に熱エネルギを発生せし
め、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰(film boiling)を生
じさせて、結果的にこの駆動信号に一対一で対応した液
体内の気泡を形成できるからである。この気泡の成長，
収縮により吐出用開口を介して液体を吐出させて、少な
くとも１つの滴を形成する。この駆動信号をパルス形状
とすると、即時適切に気泡の成長収縮が行われるので、
特に応答性に優れた液体（インク）の吐出が達成でき、
より好ましい。このパルス形状の駆動信号としては、米
国特許第４，４６３，３５９号、同第４，３４５，２６
２号に記載されているようなものが適している。なお、
上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許第
４，３１３，１２４号に記載されている条件を採用する
と、さらに優れた記録を行うことができる。The typical structure and principle of the thermal jet (bubble jet (registered trademark)) method are described in, for example, US Pat. Nos. 4,723,129 and 4,741.
It is preferable to use the basic principle disclosed in U.S. Pat. No. 0,796. This method can be applied to both so-called on-demand type and continuous type, but is particularly effective for on-demand type devices. This is because, by applying at least one drive signal corresponding to the recorded information and providing a rapid temperature rise exceeding nucleate boiling to the electrothermal transducer disposed corresponding to the liquid path, This is because heat energy is generated in the electrothermal transducer, causing film boiling on the heat-acting surface of the recording head, and as a result, bubbles in the liquid corresponding to this drive signal one-to-one can be formed. is there. The growth of this bubble,
The liquid is ejected through the ejection opening by contraction to form at least one droplet. If this drive signal is pulse-shaped, the growth and shrinkage of the bubble are performed immediately and appropriately,
In particular, liquid (ink) discharge with excellent responsiveness can be achieved,
More preferred. Examples of the pulse-shaped drive signal include U.S. Pat. Nos. 4,463,359 and 4,345,26.
Those described in No. 2 are suitable. In addition,
If the conditions described in U.S. Pat. No. 4,313,124 relating to the temperature rise rate of the heat acting surface are adopted, more excellent recording can be performed.

【００９３】液体吐出装置の構成としては、上述の各明
細書に開示されているような吐出口、液路，電気熱変換
体の組合せの構成（直線状液流路または直角液流路）の
他に、熱作用部が屈曲する領域に配置されている米国特
許第４，５５８，３３３号、米国特許第４，４５９，６
００号に記載される構成も本発明に含まれる。加えて、
複数の電気熱変換体に対して、共通するスリットを電気
熱変換体の吐出部とする構成を開示する特開昭５９−１
２３６７０号公報に基づく構成、あるいは熱エネルギの
圧力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる特開昭５９
−１３８４６１号公報に基いた構成においても、本発明
の効果は有効である。すなわち、液体吐出装置の形態が
どのようなものであっても、本発明によればプローブ担
体の製造を確実に効率よく行うことができるようになる
からである。The structure of the liquid discharge device is a combination of a discharge port, a liquid path, and an electrothermal converter (a linear liquid flow path or a right-angle liquid flow path) as disclosed in the above-mentioned respective specifications. In addition, U.S. Pat. No. 4,558,333 and U.S. Pat.
The configuration described in No. 00 is also included in the present invention. in addition,
Japanese Patent Laid-Open No. 59-1 discloses a configuration in which a common slit is used as a discharge section of an electrothermal converter for a plurality of electrothermal converters.
No. 23670, or Japanese Patent Laid-Open Publication No. SHO 59-59, in which an opening for absorbing a pressure wave of heat energy corresponds to a discharge portion.
The effects of the present invention are also effective in a configuration based on JP-A-138461. That is, according to the present invention, it is possible to reliably and efficiently manufacture the probe carrier regardless of the form of the liquid ejection device.

【００９４】さらに、ステージの最大幅に対応した長さ
を有するフルラインタイプの液体吐出装置に対しても本
発明は有効に適用できる。そのような液体吐出装置とし
ては、複数液体吐出装置の組合せによってその長さを満
たす構成や、一体的に形成された１個の液体吐出装置と
しての構成のいずれでもよい。Further, the present invention can be effectively applied to a full line type liquid ejecting apparatus having a length corresponding to the maximum width of the stage. Such a liquid ejection device may have a configuration that satisfies the length by a combination of a plurality of liquid ejection devices or a configuration as a single integrally formed liquid ejection device.

【００９５】加えて、シリアルタイプの装置、すなわ
ち、装置本体に固定された液体吐出装置、あるいは装置
本体に装着されることで装置本体との電気的な接続や装
置本体からのインクの供給が可能になる交換自在のチッ
プタイプの液体吐出装置を用いる場合にも、本発明は有
効である。In addition, a serial type device, that is, a liquid ejection device fixed to the device main body, or an electric connection with the device main body and ink supply from the device main body can be provided by being attached to the device main body. The present invention is also effective when a replaceable chip-type liquid ejection device is used.

【００９６】[0096]

【発明の効果】本発明のプローブ担体の製造方法では、
プローブ溶液を液体吐出装置を用いてガラス基板上に付
着させる際、レイノルズ数とウェーバー数の積が０．２
６×１０⁵以上１．１０×１０⁵以下になるように、液体
吐出装置の設計およびプローブ溶液の調製を行いプロー
ブ担体の作製を行う。本発明により、配置されたプロー
ブの形状が真円に近い好ましい形態のプローブ担体が作
製すること、および液体吐出装置からのプローブ溶液の
吐出安定化のための回復動作の頻度を少なくすることが
できる。According to the method for producing a probe carrier of the present invention,
When depositing the probe solution on a glass substrate using a liquid ejection device, the product of the Reynolds number and the Weber number is 0.2
The design of the liquid ejection device and the preparation of the probe solution are performed so that the probe carrier is 6 × 10 ⁵ or more and 1.10 × 10 ⁵ or less, and the probe carrier is manufactured. Advantageous Effects of Invention According to the present invention, it is possible to produce a probe carrier in a preferred form in which the shape of the arranged probe is close to a perfect circle, and to reduce the frequency of a recovery operation for stabilizing the ejection of the probe solution from the liquid ejection device. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】プローブ担体製造装置の構成例を示す模式図で
ある。FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a configuration example of a probe carrier manufacturing apparatus.

【図２】プローブ担体の構造例を示す模式図である。FIG. 2 is a schematic view showing a structural example of a probe carrier.

【図３】液体吐出装置の１つの液体吐出部の構造例を示
す模式断面図である。FIG. 3 is a schematic cross-sectional view illustrating a structural example of one liquid discharge unit of the liquid discharge device.

【図４】液体吐出装置の１つの液体吐出部の構造例を示
す模式断面図である。FIG. 4 is a schematic cross-sectional view illustrating an example of the structure of one liquid discharge unit of the liquid discharge device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１１ 液体吐出装置 １２ シャフト １３ ステージ １４ ガラス基板 １５ プローブ ２１ シリコン基板 ２２ 絶縁膜 ２３ ヒータ ２４ 保護膜 ２５ 耐キャビテーション膜 ２６ ノズル材 ２７ ノズル ２８ 流路 ２９ 供給口 DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Liquid discharge device 12 Shaft 13 Stage 14 Glass substrate 15 Probe 21 Silicon substrate 22 Insulating film 23 Heater 24 Protective film 25 Anti-cavitation film 26 Nozzle material 27 Nozzle 28 Flow path 29 Supply port

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０１Ｎ 35/10 Ｇ０１Ｎ 37/00 １０２ 37/00 １０２ １０３ １０３ ＺＣＣ ＺＣＣ 35/06 Ｄ (72)発明者 御橋 直人 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 Ｆターム(参考） 2G042 BD19 CB03 FB05 HA02 2G052 AB16 AD06 CA22 DA08 EB11 2G058 ED21 GB10 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. ⁷ Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) G01N 35/10 G01N 37/00 102 37/00 102 103 103 ZCC ZCC 35/06 D (72) Inventor's note Naoto Hashi 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo F-term in Canon Inc. (reference) 2G042 BD19 CB03 FB05 HA02 2G052 AB16 AD06 CA22 DA08 EB11 2G058 ED21 GB10

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 液体吐出装置から標的物質と特異的に結
合可能なプローブ材料を含有する複数種のプローブ溶液
を担体上に吐出して、前記担体上に複数種のプローブの
各々が配置されたプローブ担体の製造方法であって、 前記プローブ溶液の吐出を行う際に、 プローブ溶液の密度ρ［ｋｇ／ｍ³］、プローブ溶液の
粘度η［Ｐａ・ｓ］、吐出されたプローブ溶液の液滴速
度ｖ［ｍ／ｓ］、吐出されたプローブ溶液の液滴径ｄ
［ｍ］から計算されるレイノルズ数 Ｒｅ＝ρ・ｄ・ｖ／η［無単位］と、 プローブ溶液の密度ρ［ｋｇ／ｍ³］、プローブ溶液の
表面張力σ［Ｎ／ｍ］、吐出されたプローブ溶液の速度
ｖ［ｍ／ｓ］、吐出されたプローブ溶液の液滴径ｄ
［ｍ］から計算されるウェーバー数 Ｗｅ＝ρ・ｄ・ｖ²／σ［無単位］との積Ｒｅ・Ｗｅが
０．２６×１０⁵以上１．１０×１０⁵［無単位］以下で
ある条件を満たしながら前記プローブ溶液の吐出を行う
ことを特徴とするプローブ担体の製造方法。1. A plurality of types of probe solutions containing a probe material capable of specifically binding to a target substance are discharged from a liquid discharge device onto a carrier, and each of the plurality of types of probes is disposed on the carrier. A method for manufacturing a probe carrier, comprising: when discharging the probe solution, a density ρ [kg / m ³ ] of the probe solution, a viscosity η [Pa · s] of the probe solution, and a droplet of the discharged probe solution. Velocity v [m / s], Droplet diameter d of discharged probe solution
Reynolds number Re = ρ · dv · η [unitless] calculated from [m], density ρ [kg / m ³ ] of probe solution, surface tension σ [N / m] of probe solution, discharge Velocity of probe solution v [m / s], droplet diameter d of discharged probe solution
The product Re · We with the Weber number We = ρ · d · v ² / σ [no unit] calculated from [m] is not less than 0.26 × 10 ^{5 and not} more than 1.10 × 10 ⁵ [no unit]. A method for manufacturing a probe carrier, comprising discharging the probe solution while satisfying a condition. 【請求項２】 前記液体吐出装置は、前記プローブ溶液
を吐出するために前記プローブ溶液に加えられる熱エネ
ルギーを発生する熱エネルギー発生体を備えることを特
徴とした、請求項１に記載のプローブ担体の製造方法。2. The probe carrier according to claim 1, wherein the liquid ejection device includes a thermal energy generator that generates thermal energy added to the probe solution to eject the probe solution. Manufacturing method. 【請求項３】 担体を所定の方向に搬送することができ
る担体担持機構と、 前記所定の方向と直交する方向に移動し、該担体に対し
て標的物質と特異的に結合可能なプローブ溶液を吐出す
る液体吐出手段とを有し、該液体吐出手段は、プローブ
溶液の密度ρ［ｋｇ／ｍ³］、プローブ溶液の粘度η
［Ｐａ・ｓ］、吐出されたプローブ溶液の液滴速度ｖ
［ｍ／ｓ］、吐出されたプローブ溶液の液滴径ｄ［ｍ］
から計算されるレイノルズ数 Ｒｅ＝ρ・ｄ・ｖ／η［無単位］と、 プローブ溶液の密度ρ［ｋｇ／ｍ³］、プローブ溶液の
表面張力σ［Ｎ／ｍ］、吐出されたプローブ溶液の速度
ｖ［ｍ／ｓ］、吐出されたプローブ溶液の液滴径ｄ
［ｍ］から計算されるウェーバー数 Ｗｅ＝ρ・ｄ・ｖ²／σ［無単位］との積Ｒｅ・Ｗｅが
０．２６×１０⁵以上１．１０×１０⁵［無単位］以下で
ある条件で前記プローブ溶液を吐出することを特徴とす
るプローブ担体の製造装置。3. A carrier supporting mechanism capable of transporting a carrier in a predetermined direction, and a probe solution that moves in a direction orthogonal to the predetermined direction and can specifically bind to a target substance with respect to the carrier. Liquid discharging means for discharging the liquid, the liquid discharging means comprising a density ρ [kg / m ³ ] of the probe solution and a viscosity η of the probe solution.
[Pa · s], droplet velocity v of the discharged probe solution
[M / s], droplet diameter d [m] of the discharged probe solution
Reynolds number Re = ρ · dv · η [unitless] calculated from the formula, density ρ [kg / m ³ ] of the probe solution, surface tension σ [N / m] of the probe solution, discharged probe solution Velocity v [m / s], droplet diameter d of the discharged probe solution
The product Re · We with the Weber number We = ρ · d · v ² / σ [no unit] calculated from [m] is not less than 0.26 × 10 ^{5 and not} more than 1.10 × 10 ⁵ [no unit]. An apparatus for manufacturing a probe carrier, wherein the probe solution is discharged under conditions. 【請求項４】 該液体吐出手段は、前記プローブ溶液を
吐出するために前記プローブ溶液に加えられる熱エネル
ギーを発生する熱エネルギー発生体を備えることを特徴
とした、請求項３に記載のプローブ担体の製造装置。4. The probe carrier according to claim 3, wherein said liquid discharging means includes a thermal energy generator for generating thermal energy added to said probe solution for discharging said probe solution. Manufacturing equipment.