JP2002367553A5

JP2002367553A5 -

Info

Publication number: JP2002367553A5
Application number: JP2001176474A
Authority: JP
Filing date: 2001-06-12
Publication date: 2005-03-03
Anticipated expiration: 2021-06-12

Claims

ベースと移動テーブルを備え，該移動テーブルが、該移動テーブルに備えた３つのパッドにより該ベース上の水平面と滑り接触する試料ステージにおいて、
該パッドのうちの２つ、すなわちパッドAとパッドBが、該移動テーブルの移動方向に対し平行に位置するように配列され、該パッドの残りのひとつ、すなわちパッドCに近接した位置に該ベースに固定された垂直滑り案内面を設け、該移動テーブルが、該移動テーブルに備えた別の２つのパッド、すなわちパッドDおよびパッドEにより該垂直滑り案内面に滑り接触することを特徴とする試料ステージ。A sample stage comprising a base and a moving table, wherein the moving table is in sliding contact with a horizontal surface on the base by means of three pads provided on the moving table;
Two of the pads, that is, pad A and pad B are arranged so as to be parallel to the moving direction of the moving table, and the base is located in the vicinity of the other one of the pads, that is, pad C. A sample having a vertical sliding guide surface fixed to the moving table, wherein the moving table is in sliding contact with the vertical sliding guide surface by another two pads provided on the moving table, that is, pad D and pad E. stage.

ベースと移動テーブルを備え，該ベース上に２本の水平滑り案内面、すなわち水平滑り案内面Aおよび水平滑り案内面Bを備え、該水平滑り案内面Aに近接した位置に垂直滑り案内面を備えた試料ステージにおいて、該移動テーブルが、
（１）該移動テーブルに固定された２つのパッドAおよびBにより該水平滑り案内面Bと滑り接触し、
（２）該移動テーブルに固定された１つのパッドCにより該水平滑り案内面Aと滑り接触し、
（３）該移動テーブルに固定された２つのパッドDおよびEにより該垂直滑り案内面と滑り接触する、ことを特徴とする試料ステージ。A base and a moving table are provided, and two horizontal slide guide surfaces, that is, a horizontal slide guide surface A and a horizontal slide guide surface B are provided on the base, and a vertical slide guide surface is provided at a position close to the horizontal slide guide surface A. In the sample stage provided, the moving table is:
(1) The two sliding pads A and B fixed to the moving table are in sliding contact with the horizontal sliding guide surface B,
(2) A sliding contact with the horizontal sliding guide surface A by one pad C fixed to the moving table,
(3) A sample stage characterized by slidingly contacting the vertical sliding guide surface by two pads D and E fixed to the moving table.

上記請求項１または請求項２に記載の試料ステージにおいて、（１）該パッドD、（２）パッドC、および（３）パッドEが、該移動テーブルの移動方向に関し、この記載順に配列されていることを特徴とする試料ステージ。In the sample stage according to claim 1 or 2, (1) the pad D, (2) the pad C, and (3) the pad E are arranged in the order of description with respect to the moving direction of the moving table. A sample stage characterized by having

上記請求項１、請求項２または請求項３に記載の試料ステージにおいて、送りナットが横ずれ吸収機構を介して移動テーブルに締結されていることを特徴とする試料ステージ。4. The sample stage according to claim 1, wherein the feed nut is fastened to the moving table via a lateral deviation absorbing mechanism.

２つの１軸の試料ステージを積み重ね、下の試料ステージの移動テーブルを上のベースと一体化したＸＹステージにおいて、下の試料ステージが上記請求項１、請求項２、請求項３または請求項４の特徴を備えることを特徴とするＸＹステージ。In the XY stage in which two uniaxial sample stages are stacked and the moving table of the lower sample stage is integrated with the upper base, the lower sample stage is the above-mentioned claim 1, claim 3, claim 3 or claim 4. An XY stage characterized by comprising the following features.

互いに平行に配置された２つの水平案内面と、該水平案内面AまたはBのいずれか一方に近接して設けられた垂直滑り案内面とを備えたベースと、該ベース上に配置された移動テーブルとを備え、
前記移動テーブルは、前記垂直案内面に対して滑り接触するための２つのパッドと、該垂直案内面に近接した方の水平案内面に対して滑り接触するための１つのパッドと、前記垂直案内面に近接しない方の水平案内面に対して滑り接触するための２つのパッドとを備えたことを特徴とする試料ステージ。A base having two horizontal guide surfaces arranged in parallel to each other, and a vertical sliding guide surface provided close to one of the horizontal guide surfaces A and B, and a movement arranged on the base With a table,
The moving table includes two pads for sliding contact with the vertical guide surface, one pad for sliding contact with a horizontal guide surface closer to the vertical guide surface, and the vertical guide A sample stage comprising two pads for sliding contact with a horizontal guide surface that is not close to the surface.