JP2002367445A - アウトガス抑制電線・ケーブル - Google Patents
アウトガス抑制電線・ケーブルInfo
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- JP2002367445A JP2002367445A JP2001170887A JP2001170887A JP2002367445A JP 2002367445 A JP2002367445 A JP 2002367445A JP 2001170887 A JP2001170887 A JP 2001170887A JP 2001170887 A JP2001170887 A JP 2001170887A JP 2002367445 A JP2002367445 A JP 2002367445A
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- outgassing
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- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 特に半導体製造装置のクリーンルーム用設備
配線に好適であり、有機ガスなどのアウトガスの発生量
を抑えて汚染防止に有効で、半導体の製造効率を高める
ようにする。 【解決手段】 導体上に、オレフィン系樹脂１００重量
部をベースにして難燃化剤を４０〜２００重量部の範囲
で好ましくは８０重量部配合した難燃性オレフィン系樹
脂組成物を材料とする絶縁被覆を押出し成形してなって
いる電線・ケーブルであり、特にクリーンルーム設備配
線として使用すると、有機ガスなどのアウトガス量（μ
ｇ／ｍ２ｈ）の発生を塩化ビニル樹脂をベースにした従
来の絶縁被覆と比べて少なくとも１／１０に抑制するこ
とができる。
配線に好適であり、有機ガスなどのアウトガスの発生量
を抑えて汚染防止に有効で、半導体の製造効率を高める
ようにする。 【解決手段】 導体上に、オレフィン系樹脂１００重量
部をベースにして難燃化剤を４０〜２００重量部の範囲
で好ましくは８０重量部配合した難燃性オレフィン系樹
脂組成物を材料とする絶縁被覆を押出し成形してなって
いる電線・ケーブルであり、特にクリーンルーム設備配
線として使用すると、有機ガスなどのアウトガス量（μ
ｇ／ｍ２ｈ）の発生を塩化ビニル樹脂をベースにした従
来の絶縁被覆と比べて少なくとも１／１０に抑制するこ
とができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、特に半導体製造装
置のクリーンルーム設備配線として、分子状汚染物質に
よる汚染防止に有効で製造効率を高めることができるア
ウトガス抑制電線・ケーブルに関する。
置のクリーンルーム設備配線として、分子状汚染物質に
よる汚染防止に有効で製造効率を高めることができるア
ウトガス抑制電線・ケーブルに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造装置、高エネルギー実験装置
およびプラズマ実験装置などでは有機材料から発生する
分解ガスを嫌うが、なかでも半導体製造装置のクリーン
ルームの場合、設備配線の電線・ケーブルの絶縁被覆か
ら有機分子が微小に揮発したり、分解した有機ガスが発
生してアウトガスとして汚染する。その結果、半導体ウ
エハなどに吸着汚染などしてデバイス製造にダメージを
与え、品質の歩留まりを悪化させる要因となる。
およびプラズマ実験装置などでは有機材料から発生する
分解ガスを嫌うが、なかでも半導体製造装置のクリーン
ルームの場合、設備配線の電線・ケーブルの絶縁被覆か
ら有機分子が微小に揮発したり、分解した有機ガスが発
生してアウトガスとして汚染する。その結果、半導体ウ
エハなどに吸着汚染などしてデバイス製造にダメージを
与え、品質の歩留まりを悪化させる要因となる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】一般に、電線・ケーブ
ルは、銅撚り線などの導体上に押出し成形される絶縁体
やシースの絶縁被覆の材料としてこれまで塩化ビニル樹
脂組成物が多用されてきた。しかしながら、塩化ビニル
樹脂組成物を材料とする絶縁体やシースの場合、燃焼し
てハロゲンガスや大量の煙を発生するという問題があ
る。また、柔軟性をもたせるために親和性の有機溶剤で
ある特にフタル酸エステル類のＤＯＰ（ジ−２−エチル
ヘキシル）が可塑剤として添加されるが、このＤＯＰの
場合揮発性を有し、有機分子ガスを発生して汚染するの
でクリーンルーム用配線には適さない。
ルは、銅撚り線などの導体上に押出し成形される絶縁体
やシースの絶縁被覆の材料としてこれまで塩化ビニル樹
脂組成物が多用されてきた。しかしながら、塩化ビニル
樹脂組成物を材料とする絶縁体やシースの場合、燃焼し
てハロゲンガスや大量の煙を発生するという問題があ
る。また、柔軟性をもたせるために親和性の有機溶剤で
ある特にフタル酸エステル類のＤＯＰ（ジ−２−エチル
ヘキシル）が可塑剤として添加されるが、このＤＯＰの
場合揮発性を有し、有機分子ガスを発生して汚染するの
でクリーンルーム用配線には適さない。
【０００４】以上から、本発明の目的は、絶縁体やシー
スの材料としてノンハロゲン難燃性オレフィン系樹脂組
成物に着目し、特に半導体製造装置のクリーンルーム設
備配線として、分子状汚染物質による汚染防止に有効で
製造効率を高めることができるアウトガス抑制電線・ケ
ーブルを提供することにある。
スの材料としてノンハロゲン難燃性オレフィン系樹脂組
成物に着目し、特に半導体製造装置のクリーンルーム設
備配線として、分子状汚染物質による汚染防止に有効で
製造効率を高めることができるアウトガス抑制電線・ケ
ーブルを提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明にかかる請求項１に記載のアウトガス抑制電
線・ケーブルは、導体上に、オレフィン系樹脂をベース
にして難燃化剤を配合した難燃性オレフィン系樹脂組成
物を材料とする絶縁被覆を押出し成形してなっているこ
とを特徴とする。
に、本発明にかかる請求項１に記載のアウトガス抑制電
線・ケーブルは、導体上に、オレフィン系樹脂をベース
にして難燃化剤を配合した難燃性オレフィン系樹脂組成
物を材料とする絶縁被覆を押出し成形してなっているこ
とを特徴とする。
【０００６】以上から、導体上に押出し成形される絶縁
被覆の絶縁体やシースの材料に難燃性オレフィン系樹脂
組成物を用いることで、特にクリーンルーム設備配線と
して使用すると、有機ガスなどのアウトガスの発生を抑
制して汚染防止に有効である。
被覆の絶縁体やシースの材料に難燃性オレフィン系樹脂
組成物を用いることで、特にクリーンルーム設備配線と
して使用すると、有機ガスなどのアウトガスの発生を抑
制して汚染防止に有効である。
【０００７】また、請求項２に記載のアウトガス抑制電
線・ケーブルは、前記難燃性オレフィン系樹脂組成物
が、ハロゲン元素を含まないノンハロゲンのものである
ことを特徴とする。
線・ケーブルは、前記難燃性オレフィン系樹脂組成物
が、ハロゲン元素を含まないノンハロゲンのものである
ことを特徴とする。
【０００８】ハロゲン元素を含む従来の塩化ビニル系樹
脂組成物の場合、燃焼してハロゲンガスや大量の煙を発
生するので、そうしたハロゲン元素を含まないノンハロ
ゲン難燃性オレフィン系樹脂組成物が絶縁体やシースな
どの絶縁被覆として好ましい。
脂組成物の場合、燃焼してハロゲンガスや大量の煙を発
生するので、そうしたハロゲン元素を含まないノンハロ
ゲン難燃性オレフィン系樹脂組成物が絶縁体やシースな
どの絶縁被覆として好ましい。
【０００９】また、請求項３に記載のアウトガス抑制電
線・ケーブルは、前記オレフィン系樹脂の１００重量部
に対して、難燃化剤を４０〜２００重量部の範囲で、好
ましくは８０重量部配合してなっていることを特徴とす
る。
線・ケーブルは、前記オレフィン系樹脂の１００重量部
に対して、難燃化剤を４０〜２００重量部の範囲で、好
ましくは８０重量部配合してなっていることを特徴とす
る。
【００１０】以上から、ベースのオレフィン系樹脂１０
０重量部に対して難燃化剤を例えば８０重量部配合した
絶縁被覆にすると、塩化ビニル樹脂をベースにした従来
の絶縁被覆と比べてアウトガス量（μｇ／ｍ２ｈ）を例
えば少なくとも１／１０に抑制することができる。
０重量部に対して難燃化剤を例えば８０重量部配合した
絶縁被覆にすると、塩化ビニル樹脂をベースにした従来
の絶縁被覆と比べてアウトガス量（μｇ／ｍ２ｈ）を例
えば少なくとも１／１０に抑制することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明にかかるアウトガス
抑制電線・ケーブルの実施の形態について、図面を参照
して詳細に説明する。
抑制電線・ケーブルの実施の形態について、図面を参照
して詳細に説明する。
【００１２】本実施の形態にかかる電線・ケーブルで
は、絶縁被覆としての絶縁体やシースの材料にオレフィ
ン系樹脂組成物が使用されている。オレフィン系樹脂と
してはポリエチレン（ＰＥ），エチレン−エチルアクリ
レート共重合体（ＥＥＡ），エチレン−酢酸ビニル共重
合体（ＥＶＡ）などを使用できる。これらのオレフィン
系樹脂を用いる場合、ポリマー製造時にジブチルパラク
レゾール（ＢＨＴ）など比較的揮発性の高い酸化防止剤
を用いていないもの、さらにはリン（有機リン化合物）
やシリコン（有機シリコン）を含んでいないことが好ま
しく、さらにまた低分子ポリマーの使用量を極力抑えた
ものが好ましい。
は、絶縁被覆としての絶縁体やシースの材料にオレフィ
ン系樹脂組成物が使用されている。オレフィン系樹脂と
してはポリエチレン（ＰＥ），エチレン−エチルアクリ
レート共重合体（ＥＥＡ），エチレン−酢酸ビニル共重
合体（ＥＶＡ）などを使用できる。これらのオレフィン
系樹脂を用いる場合、ポリマー製造時にジブチルパラク
レゾール（ＢＨＴ）など比較的揮発性の高い酸化防止剤
を用いていないもの、さらにはリン（有機リン化合物）
やシリコン（有機シリコン）を含んでいないことが好ま
しく、さらにまた低分子ポリマーの使用量を極力抑えた
ものが好ましい。
【００１３】また、オレフィン系樹脂は単独では難燃性
を備えていないため、難燃化剤や難燃化助剤を配合した
組成物とする必要がある。難燃化剤や難燃化助剤は、必
要な難燃性を備えるうえで必要な量だけが配合され、環
境を配慮してノンハロゲン系のたとえば水酸化マグネシ
ウムや水酸化アルミニウムなどの使用が好ましい。特
に、ノンハロゲン難燃性樹脂組成物であることは、汚染
ガス（アウトガス）の発生を抑制できる点で望ましい。
また、難燃化剤としてリン系やリン化合物の使用は避け
る。その他の添加剤についても、リン系やリン化合物，
シリコンやシリコン化合物，上記ＢＨＴのような比較的
に揮発性の高い酸化防止剤、そして可塑剤としてフタル
酸エステル類のＤＯＰのように低揮発性オイルの使用は
好ましいとはいえない。
を備えていないため、難燃化剤や難燃化助剤を配合した
組成物とする必要がある。難燃化剤や難燃化助剤は、必
要な難燃性を備えるうえで必要な量だけが配合され、環
境を配慮してノンハロゲン系のたとえば水酸化マグネシ
ウムや水酸化アルミニウムなどの使用が好ましい。特
に、ノンハロゲン難燃性樹脂組成物であることは、汚染
ガス（アウトガス）の発生を抑制できる点で望ましい。
また、難燃化剤としてリン系やリン化合物の使用は避け
る。その他の添加剤についても、リン系やリン化合物，
シリコンやシリコン化合物，上記ＢＨＴのような比較的
に揮発性の高い酸化防止剤、そして可塑剤としてフタル
酸エステル類のＤＯＰのように低揮発性オイルの使用は
好ましいとはいえない。
【００１４】実施例：表１は、絶縁被覆としての絶縁体
やシースの材料にオレフィン系樹脂をベースとした実施
例１，２，３，４の各電線・ケーブルと、塩化ビニル系
樹脂組成物を用いた比較例の電線・ケーブルについて、
清浄度に影響を及ぼすアウトガスの測定を行った結果を
示す。
やシースの材料にオレフィン系樹脂をベースとした実施
例１，２，３，４の各電線・ケーブルと、塩化ビニル系
樹脂組成物を用いた比較例の電線・ケーブルについて、
清浄度に影響を及ぼすアウトガスの測定を行った結果を
示す。
【００１５】
【表１】
【００１６】クリーンルームの清浄度の管理規定や指針
を示すものとして、社団法人日本空気清浄協会のシンポ
ジウム『クリーンルーム構成材料から発生する分子状汚
染物質の測定方法指針（案）：1999.2』（附属書２）で
は、クリーンルーム内装材・設備機械から発生する分子
状汚染物質の低減を目的とした材料選択を行うための発
生ガス評価法（スクリーニングテスト）について規定し
ている。その規定された評価用の設備・装置において、
上記実施例１〜４と比較例の電線・ケーブルから発生す
るアウトガスを測定した。
を示すものとして、社団法人日本空気清浄協会のシンポ
ジウム『クリーンルーム構成材料から発生する分子状汚
染物質の測定方法指針（案）：1999.2』（附属書２）で
は、クリーンルーム内装材・設備機械から発生する分子
状汚染物質の低減を目的とした材料選択を行うための発
生ガス評価法（スクリーニングテスト）について規定し
ている。その規定された評価用の設備・装置において、
上記実施例１〜４と比較例の電線・ケーブルから発生す
るアウトガスを測定した。
【００１７】材料から発生するガス量に影響を与える因
子としては、「試料サイズ」，「温度」，「湿度」，
「時間」，「流速」，「キャリヤガス種」，「換気回
数」，「ローティングファクタ」などがあるが、これら
の各因子を実験パラメータにしてデータ解析を行った。
測定データは、バックグランドで得られたデータ値から
判断される定量下限界をもとにして評価する。発生ガス
速度は、発生ガス量を測定したデータを用い、次式
（１）によって発生ガス速度を算出する。 Ｒ＝Ｃ／Ａｔ ・・・・・（１） Ｒ：発生ガス速度〔μｇ／ｍ２ｈ〕または〔μｇ／ｋｇ
ｈ〕 Ｃ：発生ガス量〔μｇ〕 Ａ：試料表面積〔ｍ２〕または試料重量〔ｋｇ〕 ｔ：時間〔ｈ〕
子としては、「試料サイズ」，「温度」，「湿度」，
「時間」，「流速」，「キャリヤガス種」，「換気回
数」，「ローティングファクタ」などがあるが、これら
の各因子を実験パラメータにしてデータ解析を行った。
測定データは、バックグランドで得られたデータ値から
判断される定量下限界をもとにして評価する。発生ガス
速度は、発生ガス量を測定したデータを用い、次式
（１）によって発生ガス速度を算出する。 Ｒ＝Ｃ／Ａｔ ・・・・・（１） Ｒ：発生ガス速度〔μｇ／ｍ２ｈ〕または〔μｇ／ｋｇ
ｈ〕 Ｃ：発生ガス量〔μｇ〕 Ａ：試料表面積〔ｍ２〕または試料重量〔ｋｇ〕 ｔ：時間〔ｈ〕
【００１８】表１中の評価欄で「アウトガス量」とある
のは、上記（１）式において発生ガス速度：Ｒ〔μｇ／
ｍ２ｈ〕の単位で示したものである。また、表１におい
て、実施例１〜４のベース材料であるオレフィン系樹脂
には、柔軟性に富むエチレン−酢酸ビニル共重合体（Ｅ
ＶＡ）を成分とするＮＵＣ−３７６５Ｄ（日本ユニカー
製）を用いた。この１００重量部に対して、難燃化剤に
は水酸化マグネシウム成分のキスマ５Ａ（協和化学製）
を用いて４０〜２００重量部の範囲で８０重量部配合し
た。
のは、上記（１）式において発生ガス速度：Ｒ〔μｇ／
ｍ２ｈ〕の単位で示したものである。また、表１におい
て、実施例１〜４のベース材料であるオレフィン系樹脂
には、柔軟性に富むエチレン−酢酸ビニル共重合体（Ｅ
ＶＡ）を成分とするＮＵＣ−３７６５Ｄ（日本ユニカー
製）を用いた。この１００重量部に対して、難燃化剤に
は水酸化マグネシウム成分のキスマ５Ａ（協和化学製）
を用いて４０〜２００重量部の範囲で８０重量部配合し
た。
【００１９】実施例３，４については、酸化防止剤とし
て比較的揮発性の高いＢＨＴの微量０．２重量部を配合
し、それを配合しない実施例１，２の場合と対比してア
ウトガス量を測定した。また、実施例２，４について
は、滑剤にジメチルシリコンを０．５重量部ずつ配合
し、配合しない実施例１，３の場合と対比してアウトガ
ス量を測定した。
て比較的揮発性の高いＢＨＴの微量０．２重量部を配合
し、それを配合しない実施例１，２の場合と対比してア
ウトガス量を測定した。また、実施例２，４について
は、滑剤にジメチルシリコンを０．５重量部ずつ配合
し、配合しない実施例１，３の場合と対比してアウトガ
ス量を測定した。
【００２０】一方、比較例については、ベース材料であ
る塩化ビニル樹脂１００重量部に対して、可塑剤（ＤＯ
Ｐ）を５０重量部、Ｐｂ（鉛）系安定剤を４重量部、物
性改良目的などの充填材として炭酸カルシウム４０重量
部をそれぞれ配合した。
る塩化ビニル樹脂１００重量部に対して、可塑剤（ＤＯ
Ｐ）を５０重量部、Ｐｂ（鉛）系安定剤を４重量部、物
性改良目的などの充填材として炭酸カルシウム４０重量
部をそれぞれ配合した。
【００２１】評価：表１から、実施例１，２，３，４の
それぞれアウトガスの発生量は、順番に４００，６５
０，８００，９００（μｇ／ｍ２ｈ）である。それに対
して、比較例のアウトガス量は７０００（μｇ／ｍ
２ｈ）で各実施例の１０倍もしくはそれ以上の倍率の量
を測定した。すなわち、オレフィン系樹脂をベースにし
た実施例１〜４の場合、塩化ビニル樹脂をベースにした
比較例と比べてアウトガスの発生量を少なくとも１／１
０に抑えることができる。
それぞれアウトガスの発生量は、順番に４００，６５
０，８００，９００（μｇ／ｍ２ｈ）である。それに対
して、比較例のアウトガス量は７０００（μｇ／ｍ
２ｈ）で各実施例の１０倍もしくはそれ以上の倍率の量
を測定した。すなわち、オレフィン系樹脂をベースにし
た実施例１〜４の場合、塩化ビニル樹脂をベースにした
比較例と比べてアウトガスの発生量を少なくとも１／１
０に抑えることができる。
【００２２】また、実施例１，２，３，４を互いに対比
する意味で、添加剤の配合有無でアウトガス量がどのよ
うに変化するか測定を試みた、酸化防止剤としてＢＨＴ
を微量０．２重量部配合した実施例３，４の場合、アウ
トガス量は８００，９００（μｇ／ｍ２ｈ）であり、そ
れを配合しない例えば実施例１の４００（μｇ／ｍ
２ｈ）と比較すると、ほぼ２倍以上に増加することがわ
かる。また、酸化防止剤のＢＨＴを配合せず、滑剤とし
てジメチルシリコンの０．５重量部を配合した実施例２
の場合、アウトガス量は６５０（μｇ／ｍ２ｈ）であ
り、それを配合しない場合の実施例１の４００（μｇ／
ｍ２ｈ）と比べて２５０（μｇ／ｍ２ｈ）だけ増加す
る。
する意味で、添加剤の配合有無でアウトガス量がどのよ
うに変化するか測定を試みた、酸化防止剤としてＢＨＴ
を微量０．２重量部配合した実施例３，４の場合、アウ
トガス量は８００，９００（μｇ／ｍ２ｈ）であり、そ
れを配合しない例えば実施例１の４００（μｇ／ｍ
２ｈ）と比較すると、ほぼ２倍以上に増加することがわ
かる。また、酸化防止剤のＢＨＴを配合せず、滑剤とし
てジメチルシリコンの０．５重量部を配合した実施例２
の場合、アウトガス量は６５０（μｇ／ｍ２ｈ）であ
り、それを配合しない場合の実施例１の４００（μｇ／
ｍ２ｈ）と比べて２５０（μｇ／ｍ２ｈ）だけ増加す
る。
【００２３】このように、実施例１〜４にあっても、添
加剤として酸化防止剤や滑剤を微量配合するとアウトガ
ス量の増加が見られ、その点に関して難燃化剤の８０重
量部だけを配合した実施例１がアウトガス量を最小に抑
えられる意味でも最適といえる。
加剤として酸化防止剤や滑剤を微量配合するとアウトガ
ス量の増加が見られ、その点に関して難燃化剤の８０重
量部だけを配合した実施例１がアウトガス量を最小に抑
えられる意味でも最適といえる。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明にかかる請
求項１に記載のアウトガス抑制電線・ケーブルは、導体
上に押出し成形される絶縁被覆の絶縁体やシースの材料
に難燃性オレフィン系樹脂組成物を用いることで、特に
クリーンルーム設備配線として使用すると、有機ガスな
どのアウトガスの発生を抑制して汚染防止に有効であ
る。
求項１に記載のアウトガス抑制電線・ケーブルは、導体
上に押出し成形される絶縁被覆の絶縁体やシースの材料
に難燃性オレフィン系樹脂組成物を用いることで、特に
クリーンルーム設備配線として使用すると、有機ガスな
どのアウトガスの発生を抑制して汚染防止に有効であ
る。
【００２５】また、請求項２に記載のアウトガス抑制電
線・ケーブルは、ハロゲン元素を含む従来の塩化ビニル
系樹脂組成物の場合、燃焼してハロゲンガスや大量の煙
を発生するので、そうしたハロゲン元素を含まないノン
ハロゲン難燃性オレフィン系樹脂組成物が絶縁体やシー
スなどの絶縁被覆として好ましい。
線・ケーブルは、ハロゲン元素を含む従来の塩化ビニル
系樹脂組成物の場合、燃焼してハロゲンガスや大量の煙
を発生するので、そうしたハロゲン元素を含まないノン
ハロゲン難燃性オレフィン系樹脂組成物が絶縁体やシー
スなどの絶縁被覆として好ましい。
【００２６】また、請求項３に記載のアウトガス抑制電
線・ケーブルは、ベースのオレフィン系樹脂１００重量
部に対して難燃化剤を例えば８０重量部配合した絶縁被
覆にすると、塩化ビニル樹脂をベースにした従来の絶縁
被覆と比べてアウトガス量（μｇ／ｍ２ｈ）を例えば少
なくとも１／１０に抑制することができる。
線・ケーブルは、ベースのオレフィン系樹脂１００重量
部に対して難燃化剤を例えば８０重量部配合した絶縁被
覆にすると、塩化ビニル樹脂をベースにした従来の絶縁
被覆と比べてアウトガス量（μｇ／ｍ２ｈ）を例えば少
なくとも１／１０に抑制することができる。
Claims (3)
- 【請求項１】 導体上に、オレフィン系樹脂をベースに
して難燃化剤を配合した難燃性オレフィン系樹脂組成物
を材料とする絶縁被覆を押出し成形してなっていること
を特徴とするアウトガス抑制電線・ケーブル。 - 【請求項２】 前記難燃性オレフィン系樹脂組成物が、
ハロゲン元素を含まないノンハロゲンのものであること
を特徴とする請求項１に記載のアウトガス抑制電線・ケ
ーブル。 - 【請求項３】 前記オレフィン系樹脂の１００重量部に
対して、難燃化剤を４０〜２００重量部の範囲で、好ま
しくは８０重量部配合してなっていることを特徴とする
請求項１または２に記載のアウトガス抑制電線・ケーブ
ル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001170887A JP2002367445A (ja) | 2001-06-06 | 2001-06-06 | アウトガス抑制電線・ケーブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001170887A JP2002367445A (ja) | 2001-06-06 | 2001-06-06 | アウトガス抑制電線・ケーブル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002367445A true JP2002367445A (ja) | 2002-12-20 |
Family
ID=19012737
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001170887A Abandoned JP2002367445A (ja) | 2001-06-06 | 2001-06-06 | アウトガス抑制電線・ケーブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002367445A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006147236A (ja) * | 2004-11-17 | 2006-06-08 | Shimizu Corp | 低アウトガスケーブル |
| CN102097186A (zh) * | 2011-03-07 | 2011-06-15 | 无锡市长城电线电缆有限公司 | 一种500kv特高压电力电缆绝缘制造净化室 |
-
2001
- 2001-06-06 JP JP2001170887A patent/JP2002367445A/ja not_active Abandoned
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006147236A (ja) * | 2004-11-17 | 2006-06-08 | Shimizu Corp | 低アウトガスケーブル |
| JP4712355B2 (ja) * | 2004-11-17 | 2011-06-29 | 清水建設株式会社 | 低アウトガスケーブル |
| CN102097186A (zh) * | 2011-03-07 | 2011-06-15 | 无锡市长城电线电缆有限公司 | 一种500kv特高压电力电缆绝缘制造净化室 |
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