JP2002367113A - ディスクドライブ書込みヘッド及びその製造方法、スライダ並びにコンピュータディスクドライブ - Google Patents
ディスクドライブ書込みヘッド及びその製造方法、スライダ並びにコンピュータディスクドライブInfo
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- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
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- Electromagnetism (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【解決手段】 下側磁極60、下側磁極60上に形成さ
れた第1絶縁層64、第1絶縁層上に形成されたコイル
38、コイル38上に形成された第2絶縁層66、第2
絶縁層66上に形成された書込みギャップ層76、及び
書込みギャップ層76上に形成された上側磁極とを有す
るディスクドライブ書込みヘッド10は、上側磁極12
が概ね平坦に形成されている。第2実施例100は、ダ
マシン法を用いて製造される。 【効果】 製造工程で厳密な寸法をより簡単に制御で
き、付着させた材料の磁気特性が改善され、ドライエッ
チング工程における陰影効果が減少し、大幅に狭いトラ
ック幅が実現できる。
れた第1絶縁層64、第1絶縁層上に形成されたコイル
38、コイル38上に形成された第2絶縁層66、第2
絶縁層66上に形成された書込みギャップ層76、及び
書込みギャップ層76上に形成された上側磁極とを有す
るディスクドライブ書込みヘッド10は、上側磁極12
が概ね平坦に形成されている。第2実施例100は、ダ
マシン法を用いて製造される。 【効果】 製造工程で厳密な寸法をより簡単に制御で
き、付着させた材料の磁気特性が改善され、ドライエッ
チング工程における陰影効果が減少し、大幅に狭いトラ
ック幅が実現できる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、一般に磁気媒体記
憶装置に使用される誘導型(インダクティブ)書込みヘ
ッドに関し、より詳細に言えば、磁気抵抗ディスクドラ
イブヘッドに関する。
憶装置に使用される誘導型(インダクティブ)書込みヘ
ッドに関し、より詳細に言えば、磁気抵抗ディスクドラ
イブヘッドに関する。
【0002】
【従来の技術】コンピュータディスクドライブは、回転
する磁気データ記憶ディスクの上に磁気読出し/書込み
ヘッドを配置することによって、データを記憶させかつ
取り出す。一般に積層体に構成されるヘッドは、同じく
一般に積層体に構成されるディスクの表面に画定される
同心のデータトラックからデータを読み出しまたはデー
タを書き込む。前記ヘッドは、製造時に読出し/書込み
センサが埋め込まれる「スライダ」と呼ばれる構造の中
に含まれている。最近の目標は、各ハードディスク上に
記憶させ得るデータの量を増大させることである。デー
タトラックをより狭くすることができた場合には、より
多くのトラックをディスク面上にはめ込み、かつより多
くのデータを所定のディスク上に記憶させることができ
る。トラックの幅は使用される読出し/書込みヘッドの
幅に依存し、近年では、読出し/書込みヘッドの寸法が
徐々により小さくなるにつれて、トラック幅が減少して
いる。このトラック幅の減少によって、ディスクの記録
密度及びデータ記憶の大幅な増加が可能となっている。
する磁気データ記憶ディスクの上に磁気読出し/書込み
ヘッドを配置することによって、データを記憶させかつ
取り出す。一般に積層体に構成されるヘッドは、同じく
一般に積層体に構成されるディスクの表面に画定される
同心のデータトラックからデータを読み出しまたはデー
タを書き込む。前記ヘッドは、製造時に読出し/書込み
センサが埋め込まれる「スライダ」と呼ばれる構造の中
に含まれている。最近の目標は、各ハードディスク上に
記憶させ得るデータの量を増大させることである。デー
タトラックをより狭くすることができた場合には、より
多くのトラックをディスク面上にはめ込み、かつより多
くのデータを所定のディスク上に記憶させることができ
る。トラックの幅は使用される読出し/書込みヘッドの
幅に依存し、近年では、読出し/書込みヘッドの寸法が
徐々により小さくなるにつれて、トラック幅が減少して
いる。このトラック幅の減少によって、ディスクの記録
密度及びデータ記憶の大幅な増加が可能となっている。
【0003】磁気抵抗(MR)センサでは、MR読出し
ヘッドが、コンピュータハードディスク上におけるよう
に、磁気データの変化に出会うと、磁束の強度及び向き
の変化が電気抵抗の変化として感知される。このような
MRセンサでは、読出しヘッドがセンサの中を流れるセ
ンス電流の向き及び磁化の間の角度のコサインの平方に
比例して読出し素子の抵抗が変化する異方性磁気抵抗
(AMR)効果に基づいて動作する。この効果は比較的
大きさが小さく、従って最近は、その効果が比較的大き
いことから、「スピンバルブ(SV)効果」または「巨
大磁気抵抗(GMR)効果」と呼ばれるものにより多く
の注目が集まっている。
ヘッドが、コンピュータハードディスク上におけるよう
に、磁気データの変化に出会うと、磁束の強度及び向き
の変化が電気抵抗の変化として感知される。このような
MRセンサでは、読出しヘッドがセンサの中を流れるセ
ンス電流の向き及び磁化の間の角度のコサインの平方に
比例して読出し素子の抵抗が変化する異方性磁気抵抗
(AMR)効果に基づいて動作する。この効果は比較的
大きさが小さく、従って最近は、その効果が比較的大き
いことから、「スピンバルブ(SV)効果」または「巨
大磁気抵抗(GMR)効果」と呼ばれるものにより多く
の注目が集まっている。
【0004】このタイプのMRセンサでは、層化された
磁気センサの抵抗が、非磁性層(N)を介して磁性層
(M1、M2)間における伝導電子のスピン依存伝導
と、伝導電子の伝導を伴う前記層間の界面におけるスピ
ン依存散乱との双方により変化する。非磁性層(N)で
分離された一対の強磁性層(M1、M2)間における面
内抵抗は、2つの前記強磁性層における磁化の角度のコ
サインに比例して変化する。
磁気センサの抵抗が、非磁性層(N)を介して磁性層
(M1、M2)間における伝導電子のスピン依存伝導
と、伝導電子の伝導を伴う前記層間の界面におけるスピ
ン依存散乱との双方により変化する。非磁性層(N)で
分離された一対の強磁性層(M1、M2)間における面
内抵抗は、2つの前記強磁性層における磁化の角度のコ
サインに比例して変化する。
【0005】強磁性材料では、電子の散乱がキャリアの
スピンに依存する。比抵抗は、電子の散乱に比例する。
磁化の向きと平行なスピンを有する電子は、非常に僅か
しか散乱しないので、低抵抗通路を提供する。この3層
の一方の側(M2)の磁化が固定され、かつM1が徐々
に平行から反平行な向きに回転されると、前記構造の抵
抗が2つの層M1及びM2の磁化の角度のコサインに比
例して増加する。スピンバルブは、前記強磁性層の結合
が解除されるので、低磁場において敏感であり、従って
磁気媒体からの小さな磁場が一方の層の他方の層に関す
る磁化を回転させることができる。
スピンに依存する。比抵抗は、電子の散乱に比例する。
磁化の向きと平行なスピンを有する電子は、非常に僅か
しか散乱しないので、低抵抗通路を提供する。この3層
の一方の側(M2)の磁化が固定され、かつM1が徐々
に平行から反平行な向きに回転されると、前記構造の抵
抗が2つの層M1及びM2の磁化の角度のコサインに比
例して増加する。スピンバルブは、前記強磁性層の結合
が解除されるので、低磁場において敏感であり、従って
磁気媒体からの小さな磁場が一方の層の他方の層に関す
る磁化を回転させることができる。
【0006】一定の電流が一方の電極端子(図示せず)
から別の電極端子へとセンス領域の中を流れる。スピン
バルブの全電気抵抗は、固定された磁性層(M2)の磁
化方向と自由な磁性層(M1)の磁化方向との角度のコ
サインに比例して変化する。全電気抵抗が変化した時、
前記電極端子間の電位差が変化して、読出し情報として
感知される。
から別の電極端子へとセンス領域の中を流れる。スピン
バルブの全電気抵抗は、固定された磁性層(M2)の磁
化方向と自由な磁性層(M1)の磁化方向との角度のコ
サインに比例して変化する。全電気抵抗が変化した時、
前記電極端子間の電位差が変化して、読出し情報として
感知される。
【0007】データを書き込むためのこのタイプのヘッ
ドは一般に、非磁性材料のギャップ層で2つの磁極が分
離された構造を有する。一般的な従来技術の読出し/書
込みヘッドが図9に示されている。各層は一般に上下に
重ねて付着され、かつ一般にシールド層54、MRセン
サ58と呼ばれる磁気抵抗センサを囲むデュアルギャッ
プ層56、下側磁極即ちP1と呼ぶ磁極片層60、非磁
性ギャップ層62、その上にコイル38が位置する第1
絶縁層またはI1・64、及び通常I2と呼ばれ、一般
にフォトレジスト材料68で形成される第2絶縁層66
を有する。上側磁極42が次で、一般にP2と呼ばれ
る。下側及び上側磁極60、42はそれぞれ上側及び下
側磁極先端部72、44を有し、それらの間に磁極書込
みギャップ76が設けられる。また、空気ベアリング面
(ABS)46及び被覆層48が、バックギャップ78
と共に図示されている。上側及び下側磁極42、60は
一般に、ABS46から概ね平行に、上側磁極42がコ
イル38及び絶縁層I1・64及びI2・66の厚さに
適応するべく上方へ向きを変えるまで延長する。磁極4
2、60が分岐するまで平行に進む距離がスロートハイ
ト80と呼ばれ、この分岐の起こる位置が一般にゼロス
ロートライン82と呼ばれている。
ドは一般に、非磁性材料のギャップ層で2つの磁極が分
離された構造を有する。一般的な従来技術の読出し/書
込みヘッドが図9に示されている。各層は一般に上下に
重ねて付着され、かつ一般にシールド層54、MRセン
サ58と呼ばれる磁気抵抗センサを囲むデュアルギャッ
プ層56、下側磁極即ちP1と呼ぶ磁極片層60、非磁
性ギャップ層62、その上にコイル38が位置する第1
絶縁層またはI1・64、及び通常I2と呼ばれ、一般
にフォトレジスト材料68で形成される第2絶縁層66
を有する。上側磁極42が次で、一般にP2と呼ばれ
る。下側及び上側磁極60、42はそれぞれ上側及び下
側磁極先端部72、44を有し、それらの間に磁極書込
みギャップ76が設けられる。また、空気ベアリング面
(ABS)46及び被覆層48が、バックギャップ78
と共に図示されている。上側及び下側磁極42、60は
一般に、ABS46から概ね平行に、上側磁極42がコ
イル38及び絶縁層I1・64及びI2・66の厚さに
適応するべく上方へ向きを変えるまで延長する。磁極4
2、60が分岐するまで平行に進む距離がスロートハイ
ト80と呼ばれ、この分岐の起こる位置が一般にゼロス
ロートライン82と呼ばれている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】図9に示されるような
書込みヘッドを製造する際に、幾つかの問題点がある。
上側磁極42は、ABS46から後方に延長する際に、
明らかにゼロスロートライン82からの起伏がある。起
伏面を取り扱う時、デポジション法の正確な制御はより
困難である。**B困難性は特に、非常に短い波長の光
が関係する高等なフォトリソグラフィ技術を用いる場合
に生じる。DUVまたはEUV光は、非常に浅い深さの
範囲内でのみ十分に集束させることができる。更に、均
一な厚さのフォトレジスト材料は、起状の変化がある場
合に達成困難である。また、付着させた材料の磁気特性
は、起状面上に加工する場合により均一でなくなる。更
に、高い構造の近傍にドライエッチ加工をしようとする
場合、エッチングビームは地形的な特徴の底まで届くこ
とが妨げられるので、一般に陰影効果が生じる。これら
の領域を一掃するために、これらの陰が生じる領域を適
当にミリングしようとしながら、その周囲の他の領域を
オーバミリングする傾向がある。これは、許容しがたい
欠陥や低い製造歩留まりを招く虞がある。
書込みヘッドを製造する際に、幾つかの問題点がある。
上側磁極42は、ABS46から後方に延長する際に、
明らかにゼロスロートライン82からの起伏がある。起
伏面を取り扱う時、デポジション法の正確な制御はより
困難である。**B困難性は特に、非常に短い波長の光
が関係する高等なフォトリソグラフィ技術を用いる場合
に生じる。DUVまたはEUV光は、非常に浅い深さの
範囲内でのみ十分に集束させることができる。更に、均
一な厚さのフォトレジスト材料は、起状の変化がある場
合に達成困難である。また、付着させた材料の磁気特性
は、起状面上に加工する場合により均一でなくなる。更
に、高い構造の近傍にドライエッチ加工をしようとする
場合、エッチングビームは地形的な特徴の底まで届くこ
とが妨げられるので、一般に陰影効果が生じる。これら
の領域を一掃するために、これらの陰が生じる領域を適
当にミリングしようとしながら、その周囲の他の領域を
オーバミリングする傾向がある。これは、許容しがたい
欠陥や低い製造歩留まりを招く虞がある。
【0009】これらの問題は、トラック幅を小さくしか
つデータ記憶密度を増大させるために上側磁極がより狭
くなるにつれて悪化する。実際、上側磁極の製造は、よ
り狭いトラック幅の追求において限定要素となってい
る。2.54cm平方あたり100ギガビット以上のデー
タ記憶密度では、トラック幅が2ミクロン未満でなけれ
ばならず、これはまた上側磁極がこれと同程度の寸法で
なければならないことを意味している。これには、上面
に起伏がある上側磁極を用いる場合に、非常に狭くかつ
高い構造が必要であり、上述した全ての問題が関連して
くる。
つデータ記憶密度を増大させるために上側磁極がより狭
くなるにつれて悪化する。実際、上側磁極の製造は、よ
り狭いトラック幅の追求において限定要素となってい
る。2.54cm平方あたり100ギガビット以上のデー
タ記憶密度では、トラック幅が2ミクロン未満でなけれ
ばならず、これはまた上側磁極がこれと同程度の寸法で
なければならないことを意味している。これには、上面
に起伏がある上側磁極を用いる場合に、非常に狭くかつ
高い構造が必要であり、上述した全ての問題が関連して
くる。
【0010】そこで、平坦な上側磁極を有しそれにより
製造がより簡単でより正確に制御して製造することがで
きる書込みヘッド、及び平坦な上側磁極を有するこのタ
イプの書込みヘッドを製造するための製造方法に対して
強い要求がある。
製造がより簡単でより正確に制御して製造することがで
きる書込みヘッド、及び平坦な上側磁極を有するこのタ
イプの書込みヘッドを製造するための製造方法に対して
強い要求がある。
【0011】
【課題を解決するための手段】特に狭いトラック幅を製
造することにより、ペデスタルで画定されるゼロスロー
トと平坦な上側磁極とを有する、10.85Gb/cm2
(70Gb/in2)以上の磁気記録密度のための新規な
書き込みヘッドが開示されている。上側磁極は、厳密な
寸法制御のためにDUVリソグラフィ技術のような高等
なフォトリソグラフィを使用し得るように、平坦化され
た面上に形成される。ペデスタルは、電気めっき又はス
パッタされた高モーメント材料で形成される。また、本
発明は、狭コイルピッチの単一コイル層を使用する。
造することにより、ペデスタルで画定されるゼロスロー
トと平坦な上側磁極とを有する、10.85Gb/cm2
(70Gb/in2)以上の磁気記録密度のための新規な
書き込みヘッドが開示されている。上側磁極は、厳密な
寸法制御のためにDUVリソグラフィ技術のような高等
なフォトリソグラフィを使用し得るように、平坦化され
た面上に形成される。ペデスタルは、電気めっき又はス
パッタされた高モーメント材料で形成される。また、本
発明は、狭コイルピッチの単一コイル層を使用する。
【0012】より詳細に言えば、前記ペデスタルは、電
気めっきされるNiFe又はCoNiFe合金で形成す
ることができ、フォトリソグラフィで画定されたパター
ン内にめっきされる。ペデスタルがスパッタされた高モ
ーメントFeXN又はCoFeN材料で形成される場合
には、ゼロスロートを画定する前記ペデスタルをイオン
ミリング法を用いてパターニングする。この場合、ペデ
スタルの下部付近に傾斜縁部を残して、より良好に磁束
が通過できるようにすることが可能である。前記コイル
は、ペデスタルの加工前又は加工後に形成することがで
きる。
気めっきされるNiFe又はCoNiFe合金で形成す
ることができ、フォトリソグラフィで画定されたパター
ン内にめっきされる。ペデスタルがスパッタされた高モ
ーメントFeXN又はCoFeN材料で形成される場合
には、ゼロスロートを画定する前記ペデスタルをイオン
ミリング法を用いてパターニングする。この場合、ペデ
スタルの下部付近に傾斜縁部を残して、より良好に磁束
が通過できるようにすることが可能である。前記コイル
は、ペデスタルの加工前又は加工後に形成することがで
きる。
【0013】スパッタリングによるペデスタルの場合、
前記コイルはペデスタルの加工後に形成することが好ま
しい。ペデスタルの地形が存在する状態でコイルを製造
するいくつかの異なる方法がある。従来のフォトリソグ
ラフィを用いた直接印刷は、狭コイルピッチには適して
いないであろう。その代わりに、3層イメージ転写法を
用いることができる。別の実施例では、ダマシン法での
コイル加工をも用いることができる。
前記コイルはペデスタルの加工後に形成することが好ま
しい。ペデスタルの地形が存在する状態でコイルを製造
するいくつかの異なる方法がある。従来のフォトリソグ
ラフィを用いた直接印刷は、狭コイルピッチには適して
いないであろう。その代わりに、3層イメージ転写法を
用いることができる。別の実施例では、ダマシン法での
コイル加工をも用いることができる。
【0014】ペデスタルが電気めっきされる場合、コイ
ルはペデスタルよりも先に形成することができる。コイ
ル絶縁のために硬化させた薄いフォトレジスト層を用い
ることができ、これは次に一面のアルミニウム酸化物絶
縁層で被覆される。前記ペデスタルは、前記アルミニウ
ム酸化物絶縁層と共に化学機械的研磨により平坦化され
る。この後、書込みギャップが付着され、かつ必要なビ
アコンタクトがウエット又はドライエッチングにより開
けられる。
ルはペデスタルよりも先に形成することができる。コイ
ル絶縁のために硬化させた薄いフォトレジスト層を用い
ることができ、これは次に一面のアルミニウム酸化物絶
縁層で被覆される。前記ペデスタルは、前記アルミニウ
ム酸化物絶縁層と共に化学機械的研磨により平坦化され
る。この後、書込みギャップが付着され、かつ必要なビ
アコンタクトがウエット又はドライエッチングにより開
けられる。
【0015】上側磁極は、部分的に又は完全に電気めっ
きされる単層又は2層の高モーメント材料で形成するこ
とができる。この構造のある実施例では、電気めっき材
料の混成物を上側磁極の上部及びスパッタされた高モー
メント磁束エンハンスメント層に使用する。この実施例
では、最初に高モーメント磁性膜をスパッタリングで付
着させる。ここで使用する材料は、24kGの磁気モー
メントを有するCoFeN薄膜、又は20〜22kGの
磁気モーメントを有するFeXN(X=Rh、Al、T
a、Zr、Ti等)薄膜とすることができる。このよう
な薄膜は、モノリシック又は薄い誘電体層又は他の磁性
ラミネーション層を用いた積層体とすることができる。
きされる単層又は2層の高モーメント材料で形成するこ
とができる。この構造のある実施例では、電気めっき材
料の混成物を上側磁極の上部及びスパッタされた高モー
メント磁束エンハンスメント層に使用する。この実施例
では、最初に高モーメント磁性膜をスパッタリングで付
着させる。ここで使用する材料は、24kGの磁気モー
メントを有するCoFeN薄膜、又は20〜22kGの
磁気モーメントを有するFeXN(X=Rh、Al、T
a、Zr、Ti等)薄膜とすることができる。このよう
な薄膜は、モノリシック又は薄い誘電体層又は他の磁性
ラミネーション層を用いた積層体とすることができる。
【0016】高磁気モーメント層の上にめっき下地層を
付着させ、かつフォトリソグラフィ法を用いて上側磁極
のジオメトリを画定する。ここで、ウエハは平坦化され
ているので、深紫外フォトリソグラフィ技術を用いるこ
とができる。深紫外フォトリソグラフィ技術は、3層イ
メージ転写法と共に用いることができる。磁極先端部の
電気めっき部分は、様々な組成のNiFe又はCoNi
Fe合金で形成される。磁極先端部のジオメトリ及び寸
法は、磁極のトリミングにおいて完成する。この方法で
は、イオンミリング又は反応性イオンビームエッチング
を用いて、トラック幅を更に小さくし、かつペデスタル
の切込み構造を創成する。
付着させ、かつフォトリソグラフィ法を用いて上側磁極
のジオメトリを画定する。ここで、ウエハは平坦化され
ているので、深紫外フォトリソグラフィ技術を用いるこ
とができる。深紫外フォトリソグラフィ技術は、3層イ
メージ転写法と共に用いることができる。磁極先端部の
電気めっき部分は、様々な組成のNiFe又はCoNi
Fe合金で形成される。磁極先端部のジオメトリ及び寸
法は、磁極のトリミングにおいて完成する。この方法で
は、イオンミリング又は反応性イオンビームエッチング
を用いて、トラック幅を更に小さくし、かつペデスタル
の切込み構造を創成する。
【0017】従って、本発明の目的は、平坦又はほぼ平
坦な上面を有する上側磁極を備えた書込みヘッドを製造
することにある。
坦な上面を有する上側磁極を備えた書込みヘッドを製造
することにある。
【0018】本発明の別の目的は、より簡単にかつ正確
に製造できる書込みヘットを製造することにある。
に製造できる書込みヘットを製造することにある。
【0019】また、本発明の別の目的は、厳密な寸法を
より簡単に制御できる書込みヘッドを製造することにあ
る。
より簡単に制御できる書込みヘッドを製造することにあ
る。
【0020】本発明の別の目的は、トラック幅の小さい
書込みヘッドを製造することにある。
書込みヘッドを製造することにある。
【0021】本発明の更に別の目的は、焦点深さが非常
に制限されたDUV又はEUV法のような高等フォトリ
ソグラフィ技術を用いることができるような構成の書込
みヘッドを製造することにある。
に制限されたDUV又はEUV法のような高等フォトリ
ソグラフィ技術を用いることができるような構成の書込
みヘッドを製造することにある。
【0022】簡単に言えば、本発明のある好適な実施例
は、下側磁極と、前記下側磁極上に形成された第1絶縁
層と、前記第1絶縁層上に形成されたコイルと、前記コ
イル上に形成された第2絶縁層と、前記第2絶縁層上に
形成された書込みギャップ層と、前記書込みギャップ層
上に形成された上側磁極とを有し、前記上側磁極が実質
的に平坦である。
は、下側磁極と、前記下側磁極上に形成された第1絶縁
層と、前記第1絶縁層上に形成されたコイルと、前記コ
イル上に形成された第2絶縁層と、前記第2絶縁層上に
形成された書込みギャップ層と、前記書込みギャップ層
上に形成された上側磁極とを有し、前記上側磁極が実質
的に平坦である。
【0023】また、スライダ、コンピュータディスクド
ライブ及び書込みヘッドの製造方法が開示されている。
ライブ及び書込みヘッドの製造方法が開示されている。
【0024】本発明の利点は、平坦な上側磁極によって
製造工程において厳密な寸法をより簡単に制御できるこ
とである。
製造工程において厳密な寸法をより簡単に制御できるこ
とである。
【0025】本発明の別の利点は、平坦な上側磁極によ
って付着させた材料の磁気特性が改善されることであ
る。
って付着させた材料の磁気特性が改善されることであ
る。
【0026】また、本発明の別の利点は、ドライエッチ
ング工程における陰影効果が減少することである。
ング工程における陰影効果が減少することである。
【0027】本発明の更に別の効果は、陰影効果を解消
しようとする際に起こり得るオーバミリングによる損傷
が一般に少ないことである。
しようとする際に起こり得るオーバミリングによる損傷
が一般に少ないことである。
【0028】更に別の効果は、本発明を用いることによ
って製造される書込みヘッドによって大幅に小さいトラ
ック幅を実現可能なことである。
って製造される書込みヘッドによって大幅に小さいトラ
ック幅を実現可能なことである。
【0029】本発明のこれらの及び他の目的及び利点
は、本発明を実施するための最良の形態に関する以下の
詳細な説明、並びに本明細書及び添付図面に記載される
好適な実施例の産業上利用可能性に照らして、同業者に
は明らかである。
は、本発明を実施するための最良の形態に関する以下の
詳細な説明、並びに本明細書及び添付図面に記載される
好適な実施例の産業上利用可能性に照らして、同業者に
は明らかである。
【0030】
【発明の実施の形態】本発明の目的及び利点は、添付図
面を参照しつつ以下に記載する詳細な説明から容易に理
解することができる。
面を参照しつつ以下に記載する詳細な説明から容易に理
解することができる。
【0031】図1は、本実施例では一般に磁気記憶媒体
24、特にハードディスク26を有するハードディスク
ドライブ22である磁気記憶装置20の簡略化された上
面図を示している。データ読出し/書込み装置28は、
スライダ34を支持するアーム30を有する。
24、特にハードディスク26を有するハードディスク
ドライブ22である磁気記憶装置20の簡略化された上
面図を示している。データ読出し/書込み装置28は、
スライダ34を支持するアーム30を有する。
【0032】図2は、アーム30及びその中に磁気抵抗
ヘッド36が埋め込まれたスライダ34の簡略化された
詳細斜視図を示している。
ヘッド36が埋め込まれたスライダ34の簡略化された
詳細斜視図を示している。
【0033】図3は、コイル38、リード40、磁極先
端部44を有する上側磁極片12、42を備えた磁気抵
抗ヘッド36の構成要素の上面図である。ディスク26
に対向する面(図1参照)は、スライダ34の下側にデ
ィスク26の回転により確立される空気の層により支持
され、空気ベアリング面またはABS46として知られ
ている。このABSは保護被膜48で被覆されている。
端部44を有する上側磁極片12、42を備えた磁気抵
抗ヘッド36の構成要素の上面図である。ディスク26
に対向する面(図1参照)は、スライダ34の下側にデ
ィスク26の回転により確立される空気の層により支持
され、空気ベアリング面またはABS46として知られ
ている。このABSは保護被膜48で被覆されている。
【0034】図6および図9は、水平に向きを変えた図
3の4−4線における断面図である。図9は比較のため
の従来技術を示しており、かつ図4乃至図6は本発明の
好適な実施例を示している。ある要素は従来技術及び本
発明の双方について共通であり、これらが類似している
場合には、全ての図面において同じ参照符号を用いるこ
ととする。このタイプの磁気抵抗ヘッドは、読出しヘッ
ド及び書込みヘッド双方が同じデバイス上に設けられて
いるが、本発明は、読出しヘッドが書込みヘッドから分
離されている装置について有用であることがわかる。
3の4−4線における断面図である。図9は比較のため
の従来技術を示しており、かつ図4乃至図6は本発明の
好適な実施例を示している。ある要素は従来技術及び本
発明の双方について共通であり、これらが類似している
場合には、全ての図面において同じ参照符号を用いるこ
ととする。このタイプの磁気抵抗ヘッドは、読出しヘッ
ド及び書込みヘッド双方が同じデバイス上に設けられて
いるが、本発明は、読出しヘッドが書込みヘッドから分
離されている装置について有用であることがわかる。
【0035】まず、図9に示される従来技術について説
明する。上述したように、一般的な従来技術の読出し/
書込みヘッドが図9に示されている。各層は一般に上下
に重ねて付着され、かつ一般にシールド層54、MRセ
ンサ58と呼ばれる磁気抵抗センサを囲むデュアルギャ
ップ層56、下側磁極即ちP1と呼ぶ磁極片層60、非
磁性ギャップ層62、その上にコイル38が位置する第
1絶縁層またはI1・64、及び通常I2と呼ばれ、一
般にフォトレジスト材料で形成される第2絶縁層66を
有する。一般にP2と呼ばれる上側磁極42が次にあ
る。下側及び上側磁極60、42はそれぞれ上側及び下
側磁極先端部72、44を有し、それらの間に磁極書込
みギャップ76が設けられる。また、ABS46及び被
覆層48が、バックギャップ78と共に図示されてい
る。上側及び下側磁極42、60は一般に、ABS46
から後方へ概ね平行に、上側磁極42がコイル38及び
絶縁層I1・64及びI2・66の厚さに適応するべく
上方へ向きを変えるまで延長する。磁極42、60が分
岐するまで平行に進む距離がスロートハイト80と呼ば
れ、この分岐の起こる位置が一般にゼロスロートライン
82と呼ばれている。
明する。上述したように、一般的な従来技術の読出し/
書込みヘッドが図9に示されている。各層は一般に上下
に重ねて付着され、かつ一般にシールド層54、MRセ
ンサ58と呼ばれる磁気抵抗センサを囲むデュアルギャ
ップ層56、下側磁極即ちP1と呼ぶ磁極片層60、非
磁性ギャップ層62、その上にコイル38が位置する第
1絶縁層またはI1・64、及び通常I2と呼ばれ、一
般にフォトレジスト材料で形成される第2絶縁層66を
有する。一般にP2と呼ばれる上側磁極42が次にあ
る。下側及び上側磁極60、42はそれぞれ上側及び下
側磁極先端部72、44を有し、それらの間に磁極書込
みギャップ76が設けられる。また、ABS46及び被
覆層48が、バックギャップ78と共に図示されてい
る。上側及び下側磁極42、60は一般に、ABS46
から後方へ概ね平行に、上側磁極42がコイル38及び
絶縁層I1・64及びI2・66の厚さに適応するべく
上方へ向きを変えるまで延長する。磁極42、60が分
岐するまで平行に進む距離がスロートハイト80と呼ば
れ、この分岐の起こる位置が一般にゼロスロートライン
82と呼ばれている。
【0036】対照的に、平坦な上側磁極10を有する本
発明の書込みヘッドが図4乃至図6に示されており、こ
れら3図の全て、特に図6を用いて以下に説明する。図
4は書込みヘッド10の上面図であり、図5は図4の6
−6線における断面図であり、かつ図6は図5の7−7
線における断面図である。下側磁極(P1)60は、図
示するように、シールド層54の上に位置するギャップ
層56上に形成されている。バックギャップ78、およ
び第1絶縁層(I1)64は、実際には下側磁極60の
延長部であるペデスタル84と共に、下側磁極60上に
形成されている。図5の正面図に示されるように、ペデ
スタル84は書込みギャップ76に向けて狭くなる切頭
三角形である。書込みギャップ76は同様に非磁性材料
で形成され、下側磁極60を上側磁極12から分離して
いる。書込みギャップ76と上側磁極12との間には、
高モーメント磁気材料の磁束エンハンスメント層88が
設けられている。
発明の書込みヘッドが図4乃至図6に示されており、こ
れら3図の全て、特に図6を用いて以下に説明する。図
4は書込みヘッド10の上面図であり、図5は図4の6
−6線における断面図であり、かつ図6は図5の7−7
線における断面図である。下側磁極(P1)60は、図
示するように、シールド層54の上に位置するギャップ
層56上に形成されている。バックギャップ78、およ
び第1絶縁層(I1)64は、実際には下側磁極60の
延長部であるペデスタル84と共に、下側磁極60上に
形成されている。図5の正面図に示されるように、ペデ
スタル84は書込みギャップ76に向けて狭くなる切頭
三角形である。書込みギャップ76は同様に非磁性材料
で形成され、下側磁極60を上側磁極12から分離して
いる。書込みギャップ76と上側磁極12との間には、
高モーメント磁気材料の磁束エンハンスメント層88が
設けられている。
【0037】上側磁極12は平坦または実質的に平坦
に、従来技術において2.5〜3.0ミクロンの高さで
あったのに対して、好ましくは0.5ミクロン未満の範
囲内に形成されている。これにより上側磁極12は、上
述したように従来技術において製造上の困難性を生じさ
せる地形的な特徴なしで形成することができる。デポジ
ション工程の正確な制御は、地形を処理する場合により
困難である。困難性は特に、非常に短い波長の光が関係
する高等なフォトリソグラフィ技術を用いる場合に生じ
る。DUVまたはEUV光は、非常に浅い深さの範囲内
でのみ十分に集束させることができる。均一な厚さのフ
ォトレジスト材料は、起伏の変化がある場合に達成困難
である。また、付着させた材料の磁気特性は、起伏面上
に加工する場合により均一でなくなる。更に、高い構造
の近傍にドライエッチ加工をしようとする場合、エッチ
ングビームは地形的な特徴の底まで届くことが妨げられ
るので、一般に陰影効果が生じる。これらの領域を一掃
するために、これらの陰が生じる領域を適当にミリング
しようとしながら、その周囲の他の領域をオーバミリン
グする傾向がある。これは、他の敏感なデバイス領域の
破壊を招くことがある。これらの困難性は、本発明10
の平坦な上側磁極12によって最小化されまたは解消さ
れる。
に、従来技術において2.5〜3.0ミクロンの高さで
あったのに対して、好ましくは0.5ミクロン未満の範
囲内に形成されている。これにより上側磁極12は、上
述したように従来技術において製造上の困難性を生じさ
せる地形的な特徴なしで形成することができる。デポジ
ション工程の正確な制御は、地形を処理する場合により
困難である。困難性は特に、非常に短い波長の光が関係
する高等なフォトリソグラフィ技術を用いる場合に生じ
る。DUVまたはEUV光は、非常に浅い深さの範囲内
でのみ十分に集束させることができる。均一な厚さのフ
ォトレジスト材料は、起伏の変化がある場合に達成困難
である。また、付着させた材料の磁気特性は、起伏面上
に加工する場合により均一でなくなる。更に、高い構造
の近傍にドライエッチ加工をしようとする場合、エッチ
ングビームは地形的な特徴の底まで届くことが妨げられ
るので、一般に陰影効果が生じる。これらの領域を一掃
するために、これらの陰が生じる領域を適当にミリング
しようとしながら、その周囲の他の領域をオーバミリン
グする傾向がある。これは、他の敏感なデバイス領域の
破壊を招くことがある。これらの困難性は、本発明10
の平坦な上側磁極12によって最小化されまたは解消さ
れる。
【0038】図5に示すように、上側磁極(P2)12
は、ノーズ86と呼ばれることがある部分へと狭くなっ
ている。書込みギャップ76において狭い上側及び下側
磁極12、60の寸法がトラック幅を決定し、かつ磁束
を伝えて書込みギャップ76における磁束密度を増加さ
せる働きをする。従来技術における制御の問題は、上側
磁極が狭くなればなるほど悪化し、かつ各寸法の誤差が
比例してより大きな度合いで性能に影響する。このよう
に本発明10は、地形を解消することによりこれらの多
くの製造上の困難性を克服し、それにより加工及び材料
のより良好な制御を可能にしている。
は、ノーズ86と呼ばれることがある部分へと狭くなっ
ている。書込みギャップ76において狭い上側及び下側
磁極12、60の寸法がトラック幅を決定し、かつ磁束
を伝えて書込みギャップ76における磁束密度を増加さ
せる働きをする。従来技術における制御の問題は、上側
磁極が狭くなればなるほど悪化し、かつ各寸法の誤差が
比例してより大きな度合いで性能に影響する。このよう
に本発明10は、地形を解消することによりこれらの多
くの製造上の困難性を克服し、それにより加工及び材料
のより良好な制御を可能にしている。
【0039】従来技術では、コイル38及び周囲の絶縁
層64、66の厚さが主に上側磁極12の地形を決定す
る。上側磁極先端部74は、磁束が透過できないほどに
減衰しないようにするため、ABS46の近傍において
下側磁極先端部72に近接する必要がある。更に、コイ
ル38及び絶縁層64、66は2つの磁極層60、64
の間に位置し、その結果従来技術(図9参照)では、上
側磁極42がこの厚さに適応するために湾曲している。
本発明10では、上側磁極12を平坦または概ね平坦な
面に形成するため、ペデスタル84が下側磁極60の延
長部として作用し、従って上側磁極12が平坦になり得
るようにしつつ、より狭い書込みギャップ76による分
離を形成している。この構造では、ペデスタル84がゼ
ロスロートライン82を画定し、かつ従ってペデスタル
画定ゼロスロートまたはPDZT構造と呼ばれる。しか
しながら、PDZT構造は必ずしも平坦な上側磁極を意
味するものでないことが理解される。従来のPDZT構
造では、本発明10におけるような平坦な上側磁極12
を新規な特徴としないものが存在した。
層64、66の厚さが主に上側磁極12の地形を決定す
る。上側磁極先端部74は、磁束が透過できないほどに
減衰しないようにするため、ABS46の近傍において
下側磁極先端部72に近接する必要がある。更に、コイ
ル38及び絶縁層64、66は2つの磁極層60、64
の間に位置し、その結果従来技術(図9参照)では、上
側磁極42がこの厚さに適応するために湾曲している。
本発明10では、上側磁極12を平坦または概ね平坦な
面に形成するため、ペデスタル84が下側磁極60の延
長部として作用し、従って上側磁極12が平坦になり得
るようにしつつ、より狭い書込みギャップ76による分
離を形成している。この構造では、ペデスタル84がゼ
ロスロートライン82を画定し、かつ従ってペデスタル
画定ゼロスロートまたはPDZT構造と呼ばれる。しか
しながら、PDZT構造は必ずしも平坦な上側磁極を意
味するものでないことが理解される。従来のPDZT構
造では、本発明10におけるような平坦な上側磁極12
を新規な特徴としないものが存在した。
【0040】図7は、(以下に説明する)ダマシン法を
用いて実質的に平坦な上側磁極12を有する書込みヘッ
ド100を製造する本発明の第2実施例を示している。
この実施例では、コイル38がペデスタル84と等しい
高さを有し、先の実施例10の第2絶縁層66が設けら
れていない。その代わりに、中間層79がコイル38の
上面を被覆し、書込みギャップ層62と共に、それらを
上側磁極12及びエンハンスト層88から絶縁してい
る。このコイル38の上に位置する中間層79は非常に
薄く、1/4ミクロン未満であるが、その上の各層に幾
分わずかな膨らみを生じさせる。これが、添付図面では
説明のために誇張して示されており、ギャップ層76、
エンハンスト層88及び上側磁極12が位置Aに示す差
だけ上向きに膨らんでいるように示されている。しかし
ながら、この差は従来技術における2.5〜3.0ミク
ロンに対して、0.25ミクロンに過ぎないものであ
り、このわずかな差は本明細書中において説明される範
囲において、「実質的に平坦」と呼べるものである。
用いて実質的に平坦な上側磁極12を有する書込みヘッ
ド100を製造する本発明の第2実施例を示している。
この実施例では、コイル38がペデスタル84と等しい
高さを有し、先の実施例10の第2絶縁層66が設けら
れていない。その代わりに、中間層79がコイル38の
上面を被覆し、書込みギャップ層62と共に、それらを
上側磁極12及びエンハンスト層88から絶縁してい
る。このコイル38の上に位置する中間層79は非常に
薄く、1/4ミクロン未満であるが、その上の各層に幾
分わずかな膨らみを生じさせる。これが、添付図面では
説明のために誇張して示されており、ギャップ層76、
エンハンスト層88及び上側磁極12が位置Aに示す差
だけ上向きに膨らんでいるように示されている。しかし
ながら、この差は従来技術における2.5〜3.0ミク
ロンに対して、0.25ミクロンに過ぎないものであ
り、このわずかな差は本明細書中において説明される範
囲において、「実質的に平坦」と呼べるものである。
【0041】図8は、平坦な上側磁極書込みヘッド10
の3つの製造方法を示すフローチャートであり、本実施
例においてケース1〜3と呼ばれる3つの平行な経路に
分類されている。図示するように、これらの3つのケー
スは第2ステップ104の後で別れている。従って、全
てのケースが、最終処理の第4ステップ134に加え
て、以下に説明する第1ステップ102及び第2ステッ
プ104を共通に有する。これらのステップは次の通り
である。 1)P1をパターニング及びめっき102。 2)Al2O3の第1中間層と共にP1を平坦化104。 3)ケース1 A)コイルのための第1絶縁層を付着106。 B)コイルの加工108。 C)コイルをフォトレジスト第2絶縁層で被覆かつ硬化
110。 D)ペデスタルのフォトリソグラフィ加工及びめっき1
12。 E)第2中間層を付着114。 ケース2 A)フォトレジストマスク内にペデスタルをスパッタデ
ポジション及びイオンミリングを用いてパターニングま
たはめっきすることによりペデスタルを形成124。 B)コイルのための第1絶縁層を付着118。 C)三層感光処理を用いてコイル構造を画定したのちに
めっき120。 D)第2中間層Al2O3を付着しかつ化学機械的研磨
(CMP)122。
の3つの製造方法を示すフローチャートであり、本実施
例においてケース1〜3と呼ばれる3つの平行な経路に
分類されている。図示するように、これらの3つのケー
スは第2ステップ104の後で別れている。従って、全
てのケースが、最終処理の第4ステップ134に加え
て、以下に説明する第1ステップ102及び第2ステッ
プ104を共通に有する。これらのステップは次の通り
である。 1)P1をパターニング及びめっき102。 2)Al2O3の第1中間層と共にP1を平坦化104。 3)ケース1 A)コイルのための第1絶縁層を付着106。 B)コイルの加工108。 C)コイルをフォトレジスト第2絶縁層で被覆かつ硬化
110。 D)ペデスタルのフォトリソグラフィ加工及びめっき1
12。 E)第2中間層を付着114。 ケース2 A)フォトレジストマスク内にペデスタルをスパッタデ
ポジション及びイオンミリングを用いてパターニングま
たはめっきすることによりペデスタルを形成124。 B)コイルのための第1絶縁層を付着118。 C)三層感光処理を用いてコイル構造を画定したのちに
めっき120。 D)第2中間層Al2O3を付着しかつ化学機械的研磨
(CMP)122。
【0042】この方法において、前記コイルは磁極先端
部の地形の下側の絶縁層(I1)の上に挿入される。コ
イルの感光処理における前記地形を克服するために、3
層イメージ転写技術が要求される。このような方法には
次の工程が必要である。 a)平坦化用フォトレジストをスピンコートし、ハード
マスクSiO2を付着させ、イメージ用フォトレジスト層
をスピンコートしかつパターニングする。 b)反応性イオンエッチング(RIE)を用いて前記ハ
ードマスクをパターニングする(例えば、CHF3また
はCHF4を含むエッチング法を使用)。 c)RIEを用いて下側フォトレジスト層をパターニン
グする(例えば、O2プラズマを使用)。 d)Cuコイルを電気めっき。 e)ハードマスク及びフォトレジストを除去。 f)CuまたはTi/Cu下地をエッチング(例えば、
イオンミリングまたはウェットエッチングを使用)。 ケース3 A)フォトレジストマスク内にペデスタルをスパッタデ
ポジション及びイオンミリングを用いたパターニングま
たはめっきすることによりペデスタルを形成。 B)誘電体層を付着させ、フォトリソグラフィ及び反応
性イオンエッチングを用いてコイルパターンのための溝
を形成126。 C)化学蒸着法(CVD)によりCuを付着させかつC
uをめっき128。 D)CMPでフィールドCuを除去しかつ平坦化13
0。 E)コイルのための上側絶縁層を付着132。 以下は、ダマシンコイル製法(ステップB〜D)に関す
る詳細な説明である。 a)誘電体、好ましくはSiO2の厚い層を付着。化学
蒸着法またはスパッタデポジションを使用できる。比較
的薄いAl2O3層を先ず、反応性用エッチング工程にお
いてエッチングストッパとしてSiO2を使用する前に
付着させることができる。CMPを用いてSiO2及び
磁性または非磁性材料で形成された前記ペデスタルを平
坦化する。 b)前記フォトレジストをパターニングして、コイル構
造を画定する。 c)RIEを用いて、フォトレジストをハードマスクと
して用いてSiO2を異方性エッチングする。 d)CVD技術を用いてCu下地を付着させ、下地層の
良好なステップカバレッジを確保する。CMP阻止層及
び拡散バリヤのためにCu下地より先にTaまたはTa
N層を付着させることができる。 e)Cuを電気めっきして、SiO2の前記溝を充填す
る。 f)前記Cuを化学機械的研磨して前記コイルを画定す
る。 g)TaまたはTaNバリヤ層を除去する。 4)上側磁極P2を形成する134。
部の地形の下側の絶縁層(I1)の上に挿入される。コ
イルの感光処理における前記地形を克服するために、3
層イメージ転写技術が要求される。このような方法には
次の工程が必要である。 a)平坦化用フォトレジストをスピンコートし、ハード
マスクSiO2を付着させ、イメージ用フォトレジスト層
をスピンコートしかつパターニングする。 b)反応性イオンエッチング(RIE)を用いて前記ハ
ードマスクをパターニングする(例えば、CHF3また
はCHF4を含むエッチング法を使用)。 c)RIEを用いて下側フォトレジスト層をパターニン
グする(例えば、O2プラズマを使用)。 d)Cuコイルを電気めっき。 e)ハードマスク及びフォトレジストを除去。 f)CuまたはTi/Cu下地をエッチング(例えば、
イオンミリングまたはウェットエッチングを使用)。 ケース3 A)フォトレジストマスク内にペデスタルをスパッタデ
ポジション及びイオンミリングを用いたパターニングま
たはめっきすることによりペデスタルを形成。 B)誘電体層を付着させ、フォトリソグラフィ及び反応
性イオンエッチングを用いてコイルパターンのための溝
を形成126。 C)化学蒸着法(CVD)によりCuを付着させかつC
uをめっき128。 D)CMPでフィールドCuを除去しかつ平坦化13
0。 E)コイルのための上側絶縁層を付着132。 以下は、ダマシンコイル製法(ステップB〜D)に関す
る詳細な説明である。 a)誘電体、好ましくはSiO2の厚い層を付着。化学
蒸着法またはスパッタデポジションを使用できる。比較
的薄いAl2O3層を先ず、反応性用エッチング工程にお
いてエッチングストッパとしてSiO2を使用する前に
付着させることができる。CMPを用いてSiO2及び
磁性または非磁性材料で形成された前記ペデスタルを平
坦化する。 b)前記フォトレジストをパターニングして、コイル構
造を画定する。 c)RIEを用いて、フォトレジストをハードマスクと
して用いてSiO2を異方性エッチングする。 d)CVD技術を用いてCu下地を付着させ、下地層の
良好なステップカバレッジを確保する。CMP阻止層及
び拡散バリヤのためにCu下地より先にTaまたはTa
N層を付着させることができる。 e)Cuを電気めっきして、SiO2の前記溝を充填す
る。 f)前記Cuを化学機械的研磨して前記コイルを画定す
る。 g)TaまたはTaNバリヤ層を除去する。 4)上側磁極P2を形成する134。
【0043】以下は、スパッタされた高磁気モメント磁
束エンハンスメント層を有する上側磁極P2の製造の詳
細な説明である。 a)モノリシックまたは積層構造である上側磁極のため
に高磁気モメント材料をスパッタデポジションする。薄
膜積層体には、薄い絶縁体層または他の磁性若しくは非
磁性ラミネーション層を含むことができる。 b)NiFeまたはCoNiFeのめっき下地をスパッ
タデポジションする。 c)P2Pのフォトリソグラフィを実行。3層イメージ
転写技術を含むまたは含まない深紫外を用いることがで
きる。 d)P2磁極先端部の上側部分を電気めっきした後、フ
ォトレジストを除去しかつ下地をイオンミリングする。 e)スパッタリングされた高モ−メント層及びNiFe
下地をミリングするのに広範囲イオンミリングが要求さ
れる。一般に別のフォトエッチングまたはウェットエッ
チングを用いて、めっき用フィールドを除去する。 f)磁極先端部をトリミングするべくフォトレジストマ
スクを画定する。イオンミリングを用いて、磁極を要求
されるジオメトリ及び形状にトリミングすることができ
る。ペデスタルに切欠き構造を形成するため、反応性イ
オンビームエッチング(RIBE)または反応性イオン
エッチング(RIE)またはイオンミリングを用いるこ
とにより、最初に書込みギャップを除去することが一般
に必要である。別のイオンミリング工程を用いて、前記
切欠きを形成する。
束エンハンスメント層を有する上側磁極P2の製造の詳
細な説明である。 a)モノリシックまたは積層構造である上側磁極のため
に高磁気モメント材料をスパッタデポジションする。薄
膜積層体には、薄い絶縁体層または他の磁性若しくは非
磁性ラミネーション層を含むことができる。 b)NiFeまたはCoNiFeのめっき下地をスパッ
タデポジションする。 c)P2Pのフォトリソグラフィを実行。3層イメージ
転写技術を含むまたは含まない深紫外を用いることがで
きる。 d)P2磁極先端部の上側部分を電気めっきした後、フ
ォトレジストを除去しかつ下地をイオンミリングする。 e)スパッタリングされた高モ−メント層及びNiFe
下地をミリングするのに広範囲イオンミリングが要求さ
れる。一般に別のフォトエッチングまたはウェットエッ
チングを用いて、めっき用フィールドを除去する。 f)磁極先端部をトリミングするべくフォトレジストマ
スクを画定する。イオンミリングを用いて、磁極を要求
されるジオメトリ及び形状にトリミングすることができ
る。ペデスタルに切欠き構造を形成するため、反応性イ
オンビームエッチング(RIBE)または反応性イオン
エッチング(RIE)またはイオンミリングを用いるこ
とにより、最初に書込みギャップを除去することが一般
に必要である。別のイオンミリング工程を用いて、前記
切欠きを形成する。
【0044】特にケース3において、上側磁極P2は完
全に平坦ではないが、どのような地形があるにせよ、従
来技術について一般的であったよりも大幅に少なくなっ
ている。したがって、上側磁極P2は実質的に平坦と考
えることができ、この用語はその地形が0.5ミクロン
の範囲内でのみまたはABSの周囲で約5ミクロンの長
さを越えない範囲でのみ変化する面を表すものとして使
用される。
全に平坦ではないが、どのような地形があるにせよ、従
来技術について一般的であったよりも大幅に少なくなっ
ている。したがって、上側磁極P2は実質的に平坦と考
えることができ、この用語はその地形が0.5ミクロン
の範囲内でのみまたはABSの周囲で約5ミクロンの長
さを越えない範囲でのみ変化する面を表すものとして使
用される。
【0045】以上様々な実施例について説明したが、こ
れらは単なる例示であってこれらに限定されるものでな
いことは容易に理解される。したがって好適な実施例の
範囲は上述した例示的実施対応に限定されるものでな
く、特許請求の範囲の記載及びそれと等価な技術によっ
て確定されるべきものである。
れらは単なる例示であってこれらに限定されるものでな
いことは容易に理解される。したがって好適な実施例の
範囲は上述した例示的実施対応に限定されるものでな
く、特許請求の範囲の記載及びそれと等価な技術によっ
て確定されるべきものである。
【図1】ディスクドライブの簡単化された上面図であ
る。
る。
【図2】ディスクドライブのスライダの詳細斜視図であ
る。
る。
【図3】磁気抵抗読出し/書込みヘッドの上面図であ
る。
る。
【図4】本発明の平坦な上側磁極を有する書込みヘッド
の上面図である。
の上面図である。
【図5】図4の6−6線における本発明の平坦な上側磁
極を有する書込みヘッドの断面図である。
極を有する書込みヘッドの断面図である。
【図6】図5の7−7線における本発明の平坦な上側磁
極を有する書込みヘッドの断面図である。
極を有する書込みヘッドの断面図である。
【図7】ダマシン法を用いて製造される本発明の第2実
施例を示す図6と同様の断面図である。
施例を示す図6と同様の断面図である。
【図8】ケース1〜3と表示される3つの製造方法の変
化を示すフローチャートである。
化を示すフローチャートである。
【図9】従来技術において使用される標準的な特徴を示
す磁気抵抗読出し/書込みヘッドの、水平方向に向けた
図3の4−4線における部分断面図である。
す磁気抵抗読出し/書込みヘッドの、水平方向に向けた
図3の4−4線における部分断面図である。
10 ディスクドライブヘッド 12 上側磁極P2 34 スライダ 38 コイル 46 ABS 54 シールド層 56 ギャップ層 58 MRセンサ 60 下側磁極片P1 62 非磁性ギャップ層 64 第1絶縁層I1 66 第2絶縁層I2 72 下側磁極先端部 76 書込みギャップ 78 バックギャップ 79 中間層 82 ゼロスロートライン 84 ペデスタル 88 磁極エンハンスメント層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ジェームズ・ワン アメリカ合衆国カリフォルニア州95036, ミルピタス,ターホー・ドライブ・1687 (72)発明者 チイン・ヘ アメリカ合衆国カリフォルニア州94536, フリーモント,スティルウォーター・コモ ン・38786 (72)発明者 ジ−ウェン・ドン アメリカ合衆国カリフォルニア州94587, ユニオン・シティ,チェサピーク・ドライ ブ・113 (72)発明者 デイビッド・ジェイ・シーグル アメリカ合衆国カリフォルニア州95037, モーガン・ヒル,ストーンブリッジ・ドラ イブ・14652 Fターム(参考) 5D033 BA01 BA08 DA07 DA31
Claims (18)
- 【請求項1】 下側磁極と、前記下側磁極上に形成さ
れた第1絶縁層と、前記第1絶縁層上に形成されたコイ
ルと、前記コイル上に形成された第2絶縁層と、前記第
2絶縁層上に形成された書込みギャップ層と、前記書込
みギャップ層上に形成された上側磁極とを有し、前記上
側磁極が実質的に平坦であることを特徴とするディスク
ドライブ書込みヘッド。 - 【請求項2】 前記書込みギャップ層と前記上側磁極
層との間に高磁気モーメント材料の磁束エンハンスメン
ト層を更に有することを特徴とする請求項1に記載のデ
ィスクドライブ書込みヘッド。 - 【請求項3】 前記下側磁極がペデスタル部を有する
ことを特徴とする請求項1に記載のディスクドライブ書
込みヘッド。 - 【請求項4】 読出しヘッドを更に有することを特徴
とする請求項1に記載のディスクドライブ書込みヘッ
ド。 - 【請求項5】 ディスク面からデータを読み出すため
の、磁気抵抗ヘッドを有するスライダであって、前記ヘ
ッドが、下側磁極と、前記下側磁極上に形成された第1
絶縁層と、前記第1絶縁層上に形成されたコイルと、前
記コイル上に形成された第2絶縁層と、前記第2絶縁層
上に形成された書込みギャップ層と、前記書込みギャッ
プ層上に形成された上側磁極とを有し、前記上側磁極が
実質的に平坦であることを特徴とするスライダ。 - 【請求項6】 前記書込みギャップ層と前記上側磁極
層との間に高磁気モーメント材料の磁束エンハンスメン
ト層を更に有することを特徴とする請求項5に記載のス
ライダ。 - 【請求項7】 前記下側磁極がペデスタル部を有する
ことを特徴とする請求項5に記載のスライダ。 - 【請求項8】 前記ディスクドライブ書込みヘッドが
読出しヘッドを有することを特徴とする請求項5に記載
のスライダ。 - 【請求項9】 ディスク面からデータを読み出すため
の、磁気抵抗ヘッドを有するスライダを有するコンピュ
ータディスクドライブであって、前記ヘッドが、下側磁
極と、前記下側磁極上に形成された第1絶縁層と、前記
第1絶縁層上に形成されたコイルと、前記コイル上に形
成された第2絶縁層と、前記第2絶縁層上に形成された
書込みギャップ層と、前記書込みギャップ層上に形成さ
れた上側磁極とを有し、前記上側磁極が実質的に平坦で
あることを特徴とするコンピュータディスクドライブ。 - 【請求項10】 前記書込みギャップ層と前記上側磁極
層との間に高磁気モーメント材料の磁束エンハンスメン
ト層を更に有することを特徴とする請求項9に記載のコ
ンピュータディスクドライブ。 - 【請求項11】 前記下側磁極がペデスタル部を有する
ことを特徴とする請求項9に記載のコンピュータディス
クドライブ。 - 【請求項12】 前記ディスクドライブ書込みヘッドが
読出しヘッドを有することを特徴とする請求項9に記載
のコンピュータディスクドライブ。 - 【請求項13】 ディスクドライブ書込みヘッドを製造
するための方法であって、 A)下側磁極を形成する過程と、 B)前記下側磁極上に第1中間層を形成し、かつ化学機
械的研磨を行なう過程と、 C)ペデスタル、コイル及び絶縁層を形成する過程と、 D)書込みギャップを形成する過程と、 E)前記書込みギャップの上に実質的に平坦な上側磁極
を形成する過程とからなるディスクドライブ書込みヘッ
ドの製造方法。 - 【請求項14】 前記過程Cが更に、 a)第1絶縁層を付着させる過程と、 b)コイルを付着させる過程と、 c)第2絶縁層を付着させかつ前記第2絶縁層を硬化さ
せる過程と、 d)前記ペデスタルを形成する過程と、 e)第2中間層を付着させる過程とからなることを特徴
とする請求項13に記載のディスクドライブ書込みヘッ
ドの製造方法。 - 【請求項15】 前記過程Cが更に、a)前記ペデスタ
ルを形成しかつイオンミリングを用いてパターニングす
る過程と、 b)第1絶縁層を付着させる過程と、 c)三層感光法を用いてコイル構造を形成した後にめっ
きを行なう過程と、 d)第2中間層を付着させる過程とからなることを特徴
とする請求項13に記載のディスクドライブ書込みヘッ
ドの製造方法。 - 【請求項16】 前記過程Cが更に、 a)前記ペデスタルを形成する過程と、 b)誘電体層を形成し、フォトリソグラフィ及び反応性
イオンエッチングを用いてコイルパターンのための溝を
創成する過程と、 c)化学蒸着法及びめっき法を用いてCu下地を付着さ
せる過程と、 d)化学機械的研磨を用いてフィールドCuを除去しか
つ平坦化させる過程と、 e)上部絶縁層を付着させる過程とからなることを特徴
とする請求項13に記載のディスクドライブ書込みヘッ
ドの製造方法。 - 【請求項17】 前記ペデスタルを形成する前記過程
a)が、めっき法またはスパッタリングからなる群から
選択される方法により行なわれることを特徴とする請求
項15に記載のディスクドライブ書込みヘッドの製造方
法。 - 【請求項18】 前記ペデスタルを形成する前記過程
a)が、めっき法またはスパッタリングからなる群から
選択される方法により行なわれることを特徴とする請求
項16に記載のディスクドライブ書込みヘッドの製造方
法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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US09/875601 | 2001-06-05 | ||
US09/875,601 US6870712B2 (en) | 2001-06-05 | 2001-06-05 | Inductive writer with flat top pole and pedestal defined zero throat |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
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Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002164997A Pending JP2002367113A (ja) | 2001-06-05 | 2002-06-05 | ディスクドライブ書込みヘッド及びその製造方法、スライダ並びにコンピュータディスクドライブ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6870712B2 (ja) |
JP (1) | JP2002367113A (ja) |
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US8451563B1 (en) | 2011-12-20 | 2013-05-28 | Western Digital (Fremont), Llc | Method for providing a side shield for a magnetic recording transducer using an air bridge |
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