JP2002353066A - Method of manufacturing capacitor - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、電気機器・電子機
器・音響機器の電子回路などに用いるコンデンサの製造
方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a capacitor used for an electronic circuit of an electric device, an electronic device, and an audio device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、機器の小型化・薄型化・軽量化、
および電気機器回路の高密度化・デジタル化に伴い、電
子部品に対する小型化、高性能化高信頼性化の要望がま
すます高まってきている。そのような情勢の中で、コン
デンサも同様に小型で大容量を有し、かつ高周波領域で
のインピーダンスの低いものが要求されている。2. Description of the Related Art In recent years, devices have become smaller, thinner and lighter.
With the increase in the density and digitalization of electric equipment circuits, demands for miniaturization, high performance, and high reliability of electronic components are increasing. Under such circumstances, a capacitor having a small size, a large capacity, and a low impedance in a high-frequency region is also required.
【０００３】高周波領域でのインピーダンスの低いコン
デンサにはセラミックスを誘電体としたセラミックコン
デンサや有機高分子フィルムを誘電体としたフィルムコ
ンデンサがある。しかし、これらのコンデンサは、大き
な静電容量を得るためには、形状が大きくなり、価格も
高くなる。[0003] Capacitors having a low impedance in a high frequency region include ceramic capacitors using ceramic as a dielectric and film capacitors using organic polymer films as a dielectric. However, in order to obtain a large capacitance, these capacitors have a large size and a high price.
【０００４】一方、アルミニウムやタンタルの酸化皮膜
を誘電体とした電解コンデンサは小型で大容量を有する
が、高周波におけるインピーダンスや誘電特性が前記の
セラミックコンデンサやフィルムコンデンサには劣る。
そこで、高周波特性を改善するために、アルミ電解コン
デンサの開発分野では駆動用電解液をそれよりも導電性
の高いテトラシアノキノジメタン（ＴＣＮＱ）錯体やポ
リピロールなどの固体材料に置き換えた固体電解コンデ
ンサが開発され、実用化されている。またタンタル電解
コンデンサの開発分野でも、陰極材料に二酸化マンガン
よりも導電性の高いポリピロールが用いられ、実用化に
至っている。On the other hand, an electrolytic capacitor using an aluminum or tantalum oxide film as a dielectric is small and has a large capacity, but is inferior in impedance and dielectric characteristics at high frequencies to the above-mentioned ceramic and film capacitors.
Therefore, in order to improve the high-frequency characteristics, in the field of aluminum electrolytic capacitor development, a solid electrolytic capacitor in which the driving electrolyte is replaced by a solid material such as a tetracyanoquinodimethane (TCNQ) complex or polypyrrole, which has higher conductivity, is used. Has been developed and put into practical use. Also in the development field of tantalum electrolytic capacitors, polypyrrole having higher conductivity than manganese dioxide has been used as a cathode material, and has been put to practical use.
【０００５】上記のようなコンデンサでは陰極材料に導
電性化合物を採用することによりコンデンサの等価直列
抵抗（以下、ＥＳＲと称す）が低くなったために、高周
波特性が格段に向上した。[0005] In the above-mentioned capacitor, since the equivalent series resistance (hereinafter referred to as ESR) of the capacitor is reduced by employing a conductive compound as a cathode material, the high frequency characteristics are remarkably improved.
【０００６】また、フィルムコンデンサの開発分野にお
いても、有機高分子膜の優れた誘電特性を維持しつつ、
小型・大容量化する試みが近年盛んに行われるようにな
ってきた。例えば、大きな表面積を有するエッチドアル
ミニウム箔表面上にアルミニウムの酸化皮膜ではなく、
有機溶剤系ポリアミック酸溶液を用いて、電着法により
ポリイミド薄膜の誘電体層を形成し、さらにその表面上
に導電性高分子を形成させた新しいタイプの小型・大容
量フィルムコンデンサの製造方法も提供されている（例
えば、特開平４‐８７３１２号公報参照）。[0006] In the field of film capacitor development, while maintaining the excellent dielectric properties of the organic polymer film,
Attempts to reduce the size and capacity have been actively made in recent years. For example, instead of an aluminum oxide film on an etched aluminum foil surface with a large surface area,
A new type of small and large-capacity film capacitor manufacturing method, in which a dielectric layer of a polyimide thin film is formed by electrodeposition using an organic solvent-based polyamic acid solution, and a conductive polymer is further formed on the surface of the dielectric layer. It is provided (for example, see JP-A-4-87312).
【０００７】さらに本発明者は、エッチドアルミニウム
箔表面上にアルミニウムの酸化皮膜ではなく、工業的に
使用が容易なポリカルボン酸系樹脂（アクリル酸系樹
脂）を含む水溶液を用いて、電着法によりポリアクリル
酸薄膜の誘電体層を形成し、さらにその表面上に導電性
高分子を形成させた新しいタイプの小型・大容量フィル
ムコンデンサの製造方法も提供している（特開平１０‐
７９３２６号公報参照）。Further, the present inventors have developed an electrodeposition using an aqueous solution containing a polycarboxylic acid-based resin (acrylic acid-based resin) which is industrially easy to use, instead of an aluminum oxide film on the surface of the etched aluminum foil. A method of manufacturing a new type of small and large-capacity film capacitor in which a dielectric layer of a polyacrylic acid thin film is formed by a method and a conductive polymer is further formed on the surface of the dielectric layer (Japanese Patent Laid-Open No. 10-1998).
No. 79326).
【０００８】これらの発明は、誘電体であるポリイミド
系樹脂あるいはポリアクリル酸系樹脂が持つ高絶縁性、
無極性、低誘電正接（tanδ）などの有機高分子膜特有
の優れた性質を維持しつつ、単位体積あたりの静電容量
の拡大を図ったものである。[0008] These inventions provide a high insulation property of a polyimide resin or polyacrylic acid resin as a dielectric,
This is an attempt to increase the capacitance per unit volume while maintaining excellent properties unique to organic polymer films such as nonpolarity and low dielectric loss tangent (tan δ).
【０００９】[0009]
【発明が解決しようとする課題】特開平４‐８７３１２
号公報、特開平１０‐７９３２６号公報に記載の発明に
おいては、有機高分子膜の誘電体上に対極となる導電性
高分子層を形成させる場合、誘電体層は絶縁体であるた
め直接電解重合により導電性高分子層を形成することが
困難である。そのため一般的には化学重合で誘電体表面
に導電性高分子層を形成させ、この化学重合で形成させ
た導電性高分子層を介して電解重合を行い、導電性の高
い導電性高分子層（対極）を形成させていた。このと
き、化学重合の導電性高分子層は電解重合のそれよりも
導電性が劣り、成膜効率も良くないので化学重合による
導電性高分子層はできるだけ薄くする必要があった。Problems to be Solved by the Invention Japanese Patent Laid-Open No. 4-87312
In the invention described in JP-A-10-79326, when a conductive polymer layer serving as a counter electrode is formed on a dielectric of an organic polymer film, since the dielectric layer is an insulator, direct electrolysis is performed. It is difficult to form a conductive polymer layer by polymerization. Therefore, in general, a conductive polymer layer is formed on a dielectric surface by chemical polymerization, and electrolytic polymerization is performed through the conductive polymer layer formed by the chemical polymerization to obtain a highly conductive conductive polymer layer. (Counter electrode) was formed. At this time, the conductive polymer layer of the chemical polymerization is inferior in conductivity to that of the electrolytic polymerization and the film formation efficiency is not good. Therefore, it is necessary to make the conductive polymer layer by the chemical polymerization as thin as possible.
【００１０】しかしながら、粗面化した導電体の所定部
分に有機高分子膜の誘電体層を形成し、この誘電体を加
熱し硬化剤と反応させることにより絶縁性の高い膜と
し、その上に化学重合により導電性高分子層を形成する
と、誘電体層と化学重合により形成した導電性高分子層
との密着が不十分なために加熱エージングした際に容量
が減少し、インピーダンス、ＥＳＲが上昇するという問
題点があった。However, a dielectric layer of an organic polymer film is formed on a predetermined portion of the roughened conductor, and the dielectric is heated and reacted with a curing agent to form a highly insulating film. When the conductive polymer layer is formed by chemical polymerization, the capacity decreases when heated and aged due to insufficient adhesion between the dielectric layer and the conductive polymer layer formed by chemical polymerization, and the impedance and ESR increase. There was a problem of doing.
【００１１】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、容量の減少防止、インピーダンスおよびＥＳＲの上
昇を防止し、無極性かつ小型大容量のコンデンサの製造
方法を提供することを目的とする。An object of the present invention is to solve the above-mentioned conventional problems and to provide a method of manufacturing a nonpolar, small-sized and large-capacitance capacitor by preventing a decrease in capacitance, preventing an increase in impedance and ESR. .
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】以上のような課題を解決
するため、請求項１記載のコンデンサの製造方法は、有
機高分子電着液を用いて粗面化した導電体上に有機誘電
体を電着により形成する工程と、前記有機誘電体を硬化
させる前に化学重合により前記有機誘電体の表面に導電
性高分子層を形成する工程とを含んでいる。According to a first aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing a capacitor, comprising the steps of: providing an organic dielectric material on a surface-roughened conductor using an organic polymer electrodeposition solution; And a step of forming a conductive polymer layer on the surface of the organic dielectric by chemical polymerization before curing the organic dielectric.
【００１３】また、請求項２記載のコンデンサの製造方
法は、有機誘電体の電着と硬化とを交互に複数回行い、
最終回の電着により形成した有機誘電体を硬化する前
に、化学重合により誘電体表面に導電性高分子層を形成
することを特徴とする。According to a second aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a capacitor, wherein electrodeposition and curing of an organic dielectric are alternately performed a plurality of times.
Before curing the organic dielectric formed by the final electrodeposition, a conductive polymer layer is formed on the dielectric surface by chemical polymerization.
【００１４】また、請求項３記載のコンデンサの製造方
法は、請求項１または２記載のコンデンサの製造方法に
おいて、導電性高分子層は、ポリアニリン，ポリピロー
ル，ポリチオフェンまたはこれらの誘導体を含むことを
特徴とする。According to a third aspect of the invention, there is provided a method of manufacturing a capacitor according to the first or second aspect, wherein the conductive polymer layer contains polyaniline, polypyrrole, polythiophene, or a derivative thereof. And
【００１５】また、請求項４記載のコンデンサの製造方
法は、請求項１，２または３記載のコンデンサの製造方
法において、有機誘電体は、ポリカルボン酸系樹脂，ポ
リイミド系樹脂またはポリアミン系樹脂であることを特
徴とする。According to a fourth aspect of the present invention, in the method of manufacturing a capacitor according to the first, second or third aspect, the organic dielectric is made of a polycarboxylic acid resin, a polyimide resin or a polyamine resin. There is a feature.
【００１６】また、請求項５記載のコンデンサの製造方
法は、請求項１，２，３または４記載のコンデンサの製
造方法において、有機誘電体の硬化と導電性高分子層の
化学重合とを同時に行うことを特徴とする。According to a fifth aspect of the present invention, in the method for manufacturing a capacitor according to the first, second, third or fourth aspect, the curing of the organic dielectric and the chemical polymerization of the conductive polymer layer are simultaneously performed. It is characterized by performing.
【００１７】[0017]
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、粗面化した導電体上に、有機高分子電着液を用い有
機誘電体を電着により形成する工程と、有機誘電体を硬
化させる前に、化学重合により誘電体表面に導電性高分
子層を形成させる工程とを有することから、誘電体層と
導電性高分子層の密着性を良くすることができる。その
結果、容量の減少防止、インピーダンスおよびＥＳＲの
上昇を防止して無極性かつ小型大容量のコンデンサを製
造することができる。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The invention according to claim 1 of the present invention comprises a step of forming an organic dielectric on a roughened conductor by using an organic polymer electrodeposition solution by electrodeposition; A step of forming a conductive polymer layer on the dielectric surface by chemical polymerization before the body is cured, so that the adhesion between the dielectric layer and the conductive polymer layer can be improved. As a result, it is possible to manufacture a non-polar, small-sized, large-capacity capacitor by preventing a decrease in capacitance and an increase in impedance and ESR.
【００１８】本発明の請求項２に記載の発明は、粗面化
した導電体上に、有機高分子電着液を用い複数回に分け
て有機誘電体の電着と硬化とを交互に行い、最終回の電
着で形成した有機誘電体を硬化する前に化学重合により
誘電体表面に導電性高分子層を形成することから、漏れ
電流を小さくし、耐電圧性を高くすることができる。ま
た、請求項１同様、容量の減少防止、インピーダンスお
よびＥＳＲの上昇を防止して無極性かつ小型大容量のコ
ンデンサを製造することができる。According to a second aspect of the present invention, the electrodeposition and curing of the organic dielectric are alternately performed on the roughened conductor in a plurality of times using an organic polymer electrodeposition solution. Since the conductive polymer layer is formed on the dielectric surface by chemical polymerization before the organic dielectric formed by the final electrodeposition is cured, the leakage current can be reduced and the withstand voltage can be increased. . Further, similarly to the first aspect, it is possible to manufacture a non-polar, small-sized, large-capacity capacitor by preventing a decrease in capacitance and an increase in impedance and ESR.
【００１９】本発明の請求項３に記載の発明は、導電性
高分子層がポリアニリン，ポリピロール，ポリチオフェ
ンまたはこれらの誘導体を含むことから、請求項１また
は２記載の発明と同様の効果を発揮するとともに、極め
て導電性が良く、熱的安定性に優れ、ＥＳＲが低く、か
つ優れた信頼性を備えることができる。According to the third aspect of the present invention, since the conductive polymer layer contains polyaniline, polypyrrole, polythiophene or a derivative thereof, the same effect as the first or second aspect of the present invention is exhibited. In addition, it has extremely good conductivity, excellent thermal stability, low ESR, and excellent reliability.
【００２０】本発明の請求項４に記載の発明は、有機高
分子膜がポリカルボン酸系樹脂，ポリイミド系樹脂また
はポリアミン系樹脂であることから、請求項１，２また
は３記載の発明と同様の効果を発揮するとともに、電着
法による成膜性に優れ、耐熱性，絶縁性にも優れてい
る。The invention according to claim 4 of the present invention is the same as the invention according to claim 1, 2, or 3 because the organic polymer film is a polycarboxylic acid resin, a polyimide resin or a polyamine resin. In addition to the effect of (1), it is excellent in film forming property by the electrodeposition method, and is also excellent in heat resistance and insulating property.
【００２１】本発明の請求項５に記載の発明は、有機誘
電体の硬化と導電性高分子層の化学重合を同時に行うこ
とから請求項１，２，３または４記載の発明と同様の効
果を発揮するとともに、製造工程を簡略化できる。According to the fifth aspect of the present invention, since the curing of the organic dielectric and the chemical polymerization of the conductive polymer layer are simultaneously performed, the same effects as those of the first, second, third or fourth aspect are obtained. And the manufacturing process can be simplified.
【００２２】以下、本発明の実施の形態について、図面
を参照しながら説明する。Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
【００２３】（実施の形態）図１は本発明の実施の形態
におけるコンデンサの断面図である。図１を用いてその
構造について詳細に説明する。(Embodiment) FIG. 1 is a sectional view of a capacitor according to an embodiment of the present invention. The structure will be described in detail with reference to FIG.
【００２４】図１において、１はエッチングにより表面
積が約３０倍に粗面化されたエッチドアルミニウム箔電
極、２は電着法により電極１上に形成されたポリカルボ
ン酸系樹脂皮膜、３はポリピロールの化学重合層、４は
ポリピロールの電解重合膜、５は集電体である。このコ
ンデンサは、電極１の表面形状に追従させてポリカルボ
ン酸系樹脂皮膜２を電着法により形成してある。アルミ
ニウム箔電極１の対極には、ポリピロールの化学重合層
３とポリピロールの電解重合膜４と集電するために付着
させた集電体５で構成されている。このコンデンサは、
電極１と集電体５の間にリード線を設けて、エポキシ樹
脂で外装したものである。In FIG. 1, reference numeral 1 denotes an etched aluminum foil electrode whose surface area is approximately 30 times roughened by etching, 2 denotes a polycarboxylic acid-based resin film formed on the electrode 1 by electrodeposition, and 3 denotes A polypyrrole chemically polymerized layer, 4 is a polypyrrole electrolytic polymerized film, and 5 is a current collector. In this capacitor, a polycarboxylic acid-based resin film 2 is formed by electrodeposition so as to follow the surface shape of an electrode 1. The counter electrode of the aluminum foil electrode 1 is constituted by a current collector 5 attached to collect a current with a chemically polymerized layer 3 of polypyrrole and an electrolytic polymerized film 4 of polypyrrole. This capacitor is
A lead wire is provided between the electrode 1 and the current collector 5 and is covered with an epoxy resin.
【００２５】次に上述コンデンサの製造方法を説明す
る。９ｍｍ×５ｍｍに切断したエッチドアルミニウム箔
（電極１）の５ｍｍ×５ｍｍ部分に熱硬化型ポリカルボ
ン酸系樹脂を電着し、続いてこれを８０℃の恒温槽に２
０分保持し予備乾燥を行い、続いて１８０℃の恒温槽に
２０分保持し樹脂を硬化させた。この操作を４回繰り返
してカルボン酸系樹脂皮膜２を形成した。このとき４回
目の電着後には硬化を行わず、誘電体表面は活性な状態
とした。Next, a method for manufacturing the above capacitor will be described. A thermosetting polycarboxylic acid-based resin was electrodeposited on a 5 mm × 5 mm portion of an etched aluminum foil (electrode 1) cut into 9 mm × 5 mm, and then placed in an 80 ° C. thermostat.
Preliminary drying was performed by holding for 0 minutes, and then the resin was cured by holding in a thermostat at 180 ° C. for 20 minutes. This operation was repeated four times to form the carboxylic acid resin film 2. At this time, no curing was performed after the fourth electrodeposition, and the dielectric surface was in an active state.
【００２６】次にエチレンジオキシチオフェン（ＥＤＯ
Ｔ）とナフタレンスルホン酸鉄のエタノール−水混合溶
媒を混合し、このＥＤＯＴ溶液を前記誘電体上に塗布し
た。Next, ethylenedioxythiophene (EDO)
T) and an ethanol-water mixed solvent of iron naphthalenesulfonate were mixed, and this EDOT solution was applied on the dielectric.
【００２７】この素子を恒温槽で８０℃、２０分乾燥さ
せた後、エタノール、イオン交換水で１０分それぞれ洗
浄し、最後に１６０℃で２０分乾燥させ、有機誘電体の
硬化とポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）
の化学重合膜３の形成とを同時に行った。This element was dried in a thermostat at 80 ° C. for 20 minutes, washed with ethanol and ion-exchanged water for 10 minutes each, and finally dried at 160 ° C. for 20 minutes to cure the organic dielectric material and polyethylene dioxygen. Thiophene (PEDOT)
And the formation of the chemically polymerized film 3 at the same time.
【００２８】続いて、ピロール１.０ｍｏｌ／ｌおよび
支持電解質としてブチルナフタレンスルホン酸ナトリウ
ム１.０ｍｏｌ／ｌを含む水溶液中にこの素子を浸漬
し、化学重合したポリピロール膜３を陽極とし、外部電
極との間に、電解重合を電流密度２.５ｍＡ／ｃｍ2にて
３０分間行いポリピロール膜４を形成した。この素子に
集電体５としてコロイダルカーボン、銀ペーストをそれ
ぞれ塗布して導電性塗膜を形成し、その一部から対極を
取り出し、エポキシ樹脂により外装した。Subsequently, this element was immersed in an aqueous solution containing 1.0 mol / l of pyrrole and 1.0 mol / l of sodium butylnaphthalenesulfonate as a supporting electrolyte, and the chemically polymerized polypyrrole film 3 was used as an anode, and an external electrode was connected. During this period, electrolytic polymerization was performed at a current density of 2.5 mA / cm 2 for 30 minutes to form a polypyrrole film 4. Colloidal carbon and silver paste were applied to the element as a current collector 5 to form a conductive coating film, and a counter electrode was taken out from a part of the conductive film and packaged with an epoxy resin.
【００２９】外装した素子は、漏れ電流低減および耐圧
を向上させるために、直流電圧印加によるエージングを
行った。温度８５℃、湿度８５％の恒温槽中で、コンデ
ンサに１５Ｖの電圧を２時間印加し、エージングを行っ
た。The packaged element was aged by applying a DC voltage to reduce leakage current and improve withstand voltage. Aging was performed by applying a voltage of 15 V to the capacitor for 2 hours in a thermostat at a temperature of 85 ° C. and a humidity of 85%.
【００３０】エージング終了後、素子を十分乾燥させて
コンデンサを完成させた。この製造方法によって得られ
たコンデンサ３個の特性を表１に示す。After the aging was completed, the element was sufficiently dried to complete a capacitor. Table 1 shows the characteristics of the three capacitors obtained by this manufacturing method.
【００３１】[0031]
【表１】 [Table 1]
【００３２】また、比較例として有機誘電体を硬化させ
てから化学重合により導電性高分子層を形成させた以外
は実施の形態に準じて作製した３個のコンデンサの特性
を表１に比較例として示す。As a comparative example, Table 1 shows the characteristics of three capacitors manufactured according to the embodiment except that the organic polymer was cured and then the conductive polymer layer was formed by chemical polymerization. Shown as
【００３３】表１から明らかなように、本実施の形態に
よるコンデンサはエージングによる容量減少が小さく、
また、インピーダンスでも優れた効果が得られた。As is apparent from Table 1, the capacitor according to the present embodiment has a small capacity decrease due to aging.
Excellent effects were also obtained with impedance.
【００３４】この理由として誘電体有機高分子を硬化さ
せないために極性基が表面にあり、表面が活性化された
状態であるところに化学重合により導電性高分子層を形
成させたために、誘電体層と導電性高分子層の密着性が
良くなり、エージングによる容量減少が小さくなり、ま
た、界面抵抗が低下することから、ＥＳＲが減少したも
のと考えられる。The reason is that a polar group is present on the surface in order to prevent the dielectric organic polymer from being cured, and a conductive polymer layer is formed by chemical polymerization where the surface is in an activated state. It is considered that the ESR was reduced because the adhesion between the layer and the conductive polymer layer was improved, the capacity decrease due to aging was reduced, and the interface resistance was reduced.
【００３５】本実施の形態は、対極としての導電性高分
子層を構成する材料として化学重合により形成したポリ
エチレンジオキシチオフぇンおよび電解重合により形成
したポリピロールを用いたが、ポリピロールの誘導体や
ポリアニリンやその誘導体、ポリチオフェンなどのポリ
チオフェン誘導体などの導電性高分子を用いてもよい。In the present embodiment, polyethylene dioxythiophene formed by chemical polymerization and polypyrrole formed by electrolytic polymerization are used as materials for forming the conductive polymer layer as a counter electrode. A conductive polymer such as polyaniline or a derivative thereof, or a polythiophene derivative such as polythiophene may be used.
【００３６】また、実施の形態では誘電体としてポリカ
ルボン酸系樹脂を用いたが、ポリイミド系樹脂，ポリア
ミン系樹脂などの有機高分子を用いても良い。また、実
施の形態では誘電体として熱硬化型樹脂を用いたが、紫
外線硬化型樹脂，電子線硬化型樹脂でも良い。Although a polycarboxylic acid resin is used as the dielectric in the embodiment, an organic polymer such as a polyimide resin or a polyamine resin may be used. Further, in the embodiment, the thermosetting resin is used as the dielectric, but an ultraviolet curable resin or an electron beam curable resin may be used.
【００３７】また、実施の形態では導体（電極１）とし
てアルミニウムを用いたが、銅などの金属，活性炭など
の炭素系導体を用いても良い。Although aluminum is used as the conductor (electrode 1) in the embodiment, a metal such as copper or a carbon-based conductor such as activated carbon may be used.
【００３８】[0038]
【発明の効果】以上のように本発明の請求項１記載のコ
ンデンサの製造方法は、粗面化した導電体層の所定部分
に有機高分子膜の誘電体層を形成し、この誘電体層を未
硬化のままその上に化学重合により導電性高分子層を形
成させることから、誘電体と導電性高分子層の密着性に
優れたコンデンサを製造することができる。その結果、
容量の減少防止、インピーダンスおよびＥＳＲの上昇を
防止することができ、無極性かつ小型大容量のコンデン
サを製造することができる。As described above, according to the method of manufacturing a capacitor according to the first aspect of the present invention, a dielectric layer of an organic polymer film is formed on a predetermined portion of a roughened conductor layer. Since the conductive polymer layer is formed on the uncured material by chemical polymerization, a capacitor having excellent adhesion between the dielectric and the conductive polymer layer can be manufactured. as a result,
It is possible to prevent a decrease in capacitance and an increase in impedance and ESR, and to manufacture a nonpolar, small-sized, large-capacity capacitor.
【００３９】また、本発明の請求項２記載のコンデンサ
の製造方法は、粗面化した導電体層の所定部分に複数回
に分けて有機誘電体の電着と硬化とを交互に行い、最終
回の電着で形成した有機誘電体を硬化させる前に化学重
合により誘電体表面に導電性高分子層を形成させること
から、この製造方法によって製造されたコンデンサの漏
れ電流を小さくし、耐電圧性を高くすることができる。
また、容量の減少防止、インピーダンスおよびＥＳＲの
上昇を防止することができ、無極性かつ小型大容量のコ
ンデンサを製造することができる。According to a second aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing a capacitor, wherein electrodeposition and curing of an organic dielectric are alternately performed on a predetermined portion of a roughened conductive layer in a plurality of times, and the final step is performed. Since the conductive polymer layer is formed on the dielectric surface by chemical polymerization before the organic dielectric formed by multiple electrodepositions is cured, the leakage current of the capacitor manufactured by this manufacturing method is reduced, and the withstand voltage is reduced. Can be enhanced.
In addition, it is possible to prevent a decrease in capacitance and an increase in impedance and ESR, and to manufacture a nonpolar, small-sized, large-capacity capacitor.
【００４０】また、本発明の請求項３記載のコンデンサ
の製造方法は、導電性高分子層が、ポリアニリン，ポリ
ピロール，ポリチオフェンまたはこれらの誘導体を含む
ことから、請求項１または２記載の発明と同様の効果を
発揮するとともに、極めて導電率が高く、熱的安定性に
優れ、ＥＳＲが低く、かつ優れた信頼性を備えたコンデ
ンサを製造できる。In the method for manufacturing a capacitor according to the third aspect of the present invention, the conductive polymer layer contains polyaniline, polypyrrole, polythiophene or a derivative thereof. And a capacitor having extremely high conductivity, excellent thermal stability, low ESR, and excellent reliability can be manufactured.
【００４１】また、本発明の請求項４記載のコンデンサ
の製造方法は、有機高分子膜にポリカルボン酸系樹脂，
ポリイミド系樹脂またはポリアミン系樹脂を用いること
から、請求項１，２または３記載の発明と同様の効果を
発揮するとともに、電着法による成膜性に優れ、耐熱
性，絶縁性にも優れているコンデンサを製造することが
できる。Further, in the method of manufacturing a capacitor according to a fourth aspect of the present invention, the organic polymer film includes a polycarboxylic acid resin,
Since the polyimide resin or the polyamine resin is used, the same effects as those of the first, second, and third aspects of the invention are exhibited, and the film is excellent in film forming property by an electrodeposition method, and is excellent in heat resistance and insulation. Can be manufactured.
【００４２】また、本発明の請求項５記載のコンデンサ
の製造方法は、有機誘電体の硬化と導電性高分子層の重
合を同時に行うことから請求項１，２，３または４記載
の発明と同様の効果を発揮するとともに、製造工程を省
略できる。In the method of manufacturing a capacitor according to the fifth aspect of the present invention, the curing of the organic dielectric and the polymerization of the conductive polymer layer are simultaneously performed, so that the method according to the first, second, third or fourth aspect of the present invention can be realized. The same effect can be obtained, and the manufacturing process can be omitted.
【図１】本発明実施の形態におけるコンデンサの概略断
面図FIG. 1 is a schematic sectional view of a capacitor according to an embodiment of the present invention.
１ 導電体電極 ２ ポリカルボン酸系樹脂皮膜（誘電体層） ３ ポリエチレンジオキシチオフェンの化学重合層 ４ ポリピロールの電解重合層 ５ 集電体 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Conductor electrode 2 Polycarboxylic acid resin film (dielectric layer) 3 Chemically polymerized layer of polyethylene dioxythiophene 4 Electrolyzed polymerized layer of polypyrrole 5 Current collector
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 塩田 浩平 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 工藤 康夫 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 赤見 研二 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 5E082 AB01 CC13 EE02 EE23 FG32 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Kohei Shioda 1006 Kazuma Kadoma, Osaka Prefecture Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. 72) Inventor Kenji Akami 1006 Kazuma Kadoma, Kadoma-shi, Osaka Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. F-term (reference) 5E082 AB01 CC13 EE02 EE23 FG32
Claims (5)
を用いて有機誘電体を電着により形成する工程と、前記
有機誘電体を硬化する前に化学重合により前記有機誘電
体の表面に導電性高分子層を形成する工程とを含むコン
デンサの製造方法。1. A step of forming an organic dielectric on a roughened conductor by using an organic polymer electrodeposition solution by electrodeposition, and a step of chemically polymerizing the organic dielectric before curing the organic dielectric. Forming a conductive polymer layer on the surface of the capacitor.
を用いて有機誘電体の電着と硬化とを交互に複数回行
い、最終回の電着により形成した有機誘電体を硬化する
前に、化学重合により誘電体表面に導電性高分子層を形
成する工程を含むコンデンサの製造方法。2. An organic dielectric is electrodeposited and cured alternately a plurality of times on a roughened conductor using an organic polymer electrodeposition solution, and the organic dielectric formed by the final electrodeposition is removed. A method for manufacturing a capacitor, comprising a step of forming a conductive polymer layer on a dielectric surface by chemical polymerization before curing.
ピロール，ポリチオフェンおよびこれらの誘導体のうち
少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項１または
２記載のコンデンサの製造方法。3. The method according to claim 1, wherein the conductive polymer layer contains at least one of polyaniline, polypyrrole, polythiophene, and a derivative thereof.
ポリイミド系樹脂またはポリアミン系樹脂であることを
特徴とする請求項１，２または３記載のコンデンサの製
造方法。4. The organic dielectric comprises a polycarboxylic acid resin,
4. The method for producing a capacitor according to claim 1, wherein the capacitor is a polyimide resin or a polyamine resin.
学重合とを同時に行うことを特徴とする請求項１，２，
３または４記載のコンデンサの製造方法。5. The method according to claim 1, wherein the curing of the organic dielectric and the chemical polymerization of the conductive polymer layer are simultaneously performed.
5. The method for producing a capacitor according to 3 or 4.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP2001155270A JP2002353066A (en) | 2001-05-24 | 2001-05-24 | Method of manufacturing capacitor |
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| JP (1) | JP2002353066A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013062531A (en) * | 2005-12-12 | 2013-04-04 | Tdk Corp | Capacitor and manufacturing method of the same |
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- 2001-05-24 JP JP2001155270A patent/JP2002353066A/en active Pending
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