JP2002352730A - プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法 - Google Patents
プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 プラズマディスプレイパネルの書き込み特
性、放電電圧の低下を目的とする。 【解決手段】 本発明は、ストライプ状に配された第１
の電極と第２の電極との電極対が複数対並設され、更に
当該複数対の電極対が誘電体層で被覆されてなる第１の
基板と、第３の電極がストライプ状に配された第２の基
板とが、隔壁を介在させて対向された状態に配置してな
るプラズマディスプレイパネルであって、前記誘電体層
の表面層、あるいは前記誘電体をさらに被覆する誘電体
保護膜の表面層の少なくとも一部にウィスカ構造の形状
が存在することを特徴とする。
性、放電電圧の低下を目的とする。 【解決手段】 本発明は、ストライプ状に配された第１
の電極と第２の電極との電極対が複数対並設され、更に
当該複数対の電極対が誘電体層で被覆されてなる第１の
基板と、第３の電極がストライプ状に配された第２の基
板とが、隔壁を介在させて対向された状態に配置してな
るプラズマディスプレイパネルであって、前記誘電体層
の表面層、あるいは前記誘電体をさらに被覆する誘電体
保護膜の表面層の少なくとも一部にウィスカ構造の形状
が存在することを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、表示デバイスなど
に用いるプラズマディスプレイパネルに関し、特に、放
電遅れを解消するためのパネル構造に関する。
に用いるプラズマディスプレイパネルに関し、特に、放
電遅れを解消するためのパネル構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のプラズマディスプレイパネルは、
図３に示すような構成のものが一般的である。
図３に示すような構成のものが一般的である。
【０００３】このプラズマディスプレイパネルは、前面
パネル１００と背面パネル２００とからなる。前面パネ
ル１００は、前面ガラス基板１０１上に走査電極１０２
ａ、維持電極１０２ｂが交互にストライプ状に形成さ
れ、さらにそれが誘電体ガラス層１０３及び酸化マグネ
シウム（ＭｇＯ）からなる保護層１０４により覆われて
形成されたものである。
パネル１００と背面パネル２００とからなる。前面パネ
ル１００は、前面ガラス基板１０１上に走査電極１０２
ａ、維持電極１０２ｂが交互にストライプ状に形成さ
れ、さらにそれが誘電体ガラス層１０３及び酸化マグネ
シウム（ＭｇＯ）からなる保護層１０４により覆われて
形成されたものである。
【０００４】背面パネル２００は、背面ガラス基板２０
１上に、ストライプ状にアドレス電極２０２が形成さ
れ、これを覆うように電極保護層２０３が形成され、更
にアドレス電極２０２を挟むように電極保護層２０３上
にストライプ状に隔壁２０４が形成され、更に隔壁２０
４間に蛍光体層２０５が設けられて形成されたものであ
る。そして、このような前面パネル１００と背面パネル
２００とが貼り合わせられ、隔壁２０４で仕切られた空
間２１０に放電ガスを封入することで放電空間が形成さ
れる。前記蛍光体層はカラー表示のために通常、赤、
緑、青の３色の蛍光体層が順に配置されている。
１上に、ストライプ状にアドレス電極２０２が形成さ
れ、これを覆うように電極保護層２０３が形成され、更
にアドレス電極２０２を挟むように電極保護層２０３上
にストライプ状に隔壁２０４が形成され、更に隔壁２０
４間に蛍光体層２０５が設けられて形成されたものであ
る。そして、このような前面パネル１００と背面パネル
２００とが貼り合わせられ、隔壁２０４で仕切られた空
間２１０に放電ガスを封入することで放電空間が形成さ
れる。前記蛍光体層はカラー表示のために通常、赤、
緑、青の３色の蛍光体層が順に配置されている。
【０００５】そして、放電空間２１０内には例えばネオ
ン及びキセノンを混合してなる放電ガスが通常、０．６
７×１０5Ｐａ程度の圧力で封入されている。
ン及びキセノンを混合してなる放電ガスが通常、０．６
７×１０5Ｐａ程度の圧力で封入されている。
【０００６】次に、前記プラズマディスプレイパネルの
駆動方式について説明する。
駆動方式について説明する。
【０００７】図４は、前記プラズマディスプレイパネル
の駆動回路の構成を示したブロック図である。当該駆動
回路は、アドレス電極駆動部２２０と、走査電極駆動部
２３０と、維持電極駆動部２４０とから構成されてい
る。
の駆動回路の構成を示したブロック図である。当該駆動
回路は、アドレス電極駆動部２２０と、走査電極駆動部
２３０と、維持電極駆動部２４０とから構成されてい
る。
【０００８】プラズマディスプレイパネルのアドレス電
極２０２にアドレス電極駆動部２２０が接続され、走査
電極１０２ａに走査電極駆動部２３０が接続され、維持
電極１０２ｂに維持電極駆動部２４０が接続されてい
る。
極２０２にアドレス電極駆動部２２０が接続され、走査
電極１０２ａに走査電極駆動部２３０が接続され、維持
電極１０２ｂに維持電極駆動部２４０が接続されてい
る。
【０００９】一般に交流型のプラズマディスプレイパネ
ルでは１フレームの映像を複数のサブフィールド（Ｓ．
Ｆ．）に分割することによって階調表現をする方式が用
いられている。そして、この方式ではセル中の気体の放
電を制御するために１Ｓ．Ｆ．を更に４つの期間に分割
する。この４つの期間について図５を使用して説明す
る。図５は、１Ｓ．Ｆ．中の駆動波形である。
ルでは１フレームの映像を複数のサブフィールド（Ｓ．
Ｆ．）に分割することによって階調表現をする方式が用
いられている。そして、この方式ではセル中の気体の放
電を制御するために１Ｓ．Ｆ．を更に４つの期間に分割
する。この４つの期間について図５を使用して説明す
る。図５は、１Ｓ．Ｆ．中の駆動波形である。
【００１０】この図５においてセットアップ期間２５０
では放電が生じやすくするためにＰＤＰ内の全セルに均
一的に壁電荷を蓄積させる。アドレス期間２６０では点
灯させるセルの書き込み放電を行なう。サステイン期間
２７０では前記アドレス期間２６０で書き込まれたセル
を点灯させその点灯を維持させる。イレース期間２８０
では壁電荷を消去させることによってセルの点灯を停止
させる。
では放電が生じやすくするためにＰＤＰ内の全セルに均
一的に壁電荷を蓄積させる。アドレス期間２６０では点
灯させるセルの書き込み放電を行なう。サステイン期間
２７０では前記アドレス期間２６０で書き込まれたセル
を点灯させその点灯を維持させる。イレース期間２８０
では壁電荷を消去させることによってセルの点灯を停止
させる。
【００１１】セットアップ期間２５０では走査電極１０
２ａにアドレス電極２０２および維持電極１０２ｂに比
べ高い電圧を印可し、セル内の気体を放電させる。それ
によって発生した電荷はアドレス電極２０２，走査電極
１０２ａおよび維持電極１０２ｂ間の電位差を打ち消す
ようにセルの壁面に蓄積されるので、走査電極１０２ａ
付近の保護膜表面には負の電荷が壁電荷として蓄積さ
れ、またアドレス電極付近の蛍光体層表面および維持電
極付近の保護膜表面には正の電荷が壁電荷として蓄積さ
れる。この壁電荷により走査電極−アドレス電極間、走
査電極−維持電極間には所定の値の壁電位が生じる。
２ａにアドレス電極２０２および維持電極１０２ｂに比
べ高い電圧を印可し、セル内の気体を放電させる。それ
によって発生した電荷はアドレス電極２０２，走査電極
１０２ａおよび維持電極１０２ｂ間の電位差を打ち消す
ようにセルの壁面に蓄積されるので、走査電極１０２ａ
付近の保護膜表面には負の電荷が壁電荷として蓄積さ
れ、またアドレス電極付近の蛍光体層表面および維持電
極付近の保護膜表面には正の電荷が壁電荷として蓄積さ
れる。この壁電荷により走査電極−アドレス電極間、走
査電極−維持電極間には所定の値の壁電位が生じる。
【００１２】アドレス期間２６０ではセルを点灯させる
場合には走査電極１０２ａにアドレス電極２０２および
維持電極１０２ｂに比べ低い電圧を印加させることによ
り、つまり走査電極−アドレス電極間には前記壁電位と
同方向に電圧を印加させるとともに走査電極−維持電極
間に壁電位と同方向に電圧を印加させることにより書き
込み放電を生じさせる。これにより蛍光体層表面、保護
層表面には負の電荷が蓄積され走査側電極付近の保護層
表面には正の電荷が壁電荷として蓄積される。これによ
り維持−走査電極間には所定の値の壁電位が生じる。
場合には走査電極１０２ａにアドレス電極２０２および
維持電極１０２ｂに比べ低い電圧を印加させることによ
り、つまり走査電極−アドレス電極間には前記壁電位と
同方向に電圧を印加させるとともに走査電極−維持電極
間に壁電位と同方向に電圧を印加させることにより書き
込み放電を生じさせる。これにより蛍光体層表面、保護
層表面には負の電荷が蓄積され走査側電極付近の保護層
表面には正の電荷が壁電荷として蓄積される。これによ
り維持−走査電極間には所定の値の壁電位が生じる。
【００１３】サステイン期間２７０では走査電極１０２
ａに維持電極１０２ｂに比べ高い電圧を印加させること
により、つまり維持電極−走査電極間に前記壁電位と同
方向に電圧を印加させることにより維持放電を生じさせ
る。これによりセル点灯を開始させることができる。そ
して、維持電極−走査電極交互に極性が入れ替わるよう
にパルスを印加することにより断続的にパルス発光させ
ることができる。
ａに維持電極１０２ｂに比べ高い電圧を印加させること
により、つまり維持電極−走査電極間に前記壁電位と同
方向に電圧を印加させることにより維持放電を生じさせ
る。これによりセル点灯を開始させることができる。そ
して、維持電極−走査電極交互に極性が入れ替わるよう
にパルスを印加することにより断続的にパルス発光させ
ることができる。
【００１４】イレース期間２８０では、幅の狭い消去パ
ルスを維持電極１０２ｂに印加することによって不完全
な放電が発生し壁電荷が消滅するため消去が行われる。
ルスを維持電極１０２ｂに印加することによって不完全
な放電が発生し壁電荷が消滅するため消去が行われる。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、セル構造の
高精細化に伴って走査線数が増加するためにテレビ映像
を表示する場合には１フィールド＝１／６０［ｓ］内で
全てのシーケンスを終了させる必要がある。これに応え
るには、書き込み期間に印加するアドレスパルスのパル
ス幅を狭くして高速駆動を行なう必要があるが、パルス
の立ち上がりからかなり遅れて放電が行われるという
「放電遅れ」が存在するために、印加されたパルス幅内
で放電が終了する確率が低くなり、本来点灯すべきセル
に書き込みなどが出来ずに点灯不良が生じてしまう。
高精細化に伴って走査線数が増加するためにテレビ映像
を表示する場合には１フィールド＝１／６０［ｓ］内で
全てのシーケンスを終了させる必要がある。これに応え
るには、書き込み期間に印加するアドレスパルスのパル
ス幅を狭くして高速駆動を行なう必要があるが、パルス
の立ち上がりからかなり遅れて放電が行われるという
「放電遅れ」が存在するために、印加されたパルス幅内
で放電が終了する確率が低くなり、本来点灯すべきセル
に書き込みなどが出来ずに点灯不良が生じてしまう。
【００１６】本発明は上記問題点に鑑みてなされた発明
であって、「放電遅れ」を防止するのに効果的な構造を
備えたプラズマディスプレイパネル並びにその製造方法
を提供することを目的としてなされたものである。
であって、「放電遅れ」を防止するのに効果的な構造を
備えたプラズマディスプレイパネル並びにその製造方法
を提供することを目的としてなされたものである。
【００１７】
【課題を解決するための手段】まず、放電遅れは、放電
が開始される際にトリガーとなる初期電子が基板表面か
ら放電空間中に放出されにくいことが主要な要因として
考えられている。
が開始される際にトリガーとなる初期電子が基板表面か
ら放電空間中に放出されにくいことが主要な要因として
考えられている。
【００１８】従って、この初期電子が放出されやすい状
況を作り出すことができれば、放電遅れを効果的に防止
することができると考えられる。
況を作り出すことができれば、放電遅れを効果的に防止
することができると考えられる。
【００１９】このための方法として、アドレス時・放電
維持時の駆動パルス電圧を上昇させるか、或いは電極間
距離を短縮する方法が考えられる。しかし、パルス電圧
の増加は、駆動回路のスイッチング素子の耐圧とスルー
レートとが相反する関係にあるため、高耐圧素子ではパ
ルスの立ち上がりが鈍り、放電遅れ時間の抑制には限界
がある。また、電極間距離を短縮することは、同時に隔
壁の高さを低下させることになるが、このように隔壁の
高さを低下させれば放電空間そのものが縮小し、プラズ
マを取り囲む単位体積あたりの放電空間を囲う壁の面積
が増加するため、プラズマが壁面に衝突した際に消滅し
てしまうといういわゆる壁面損失によって効率が低下す
ることとなる。
維持時の駆動パルス電圧を上昇させるか、或いは電極間
距離を短縮する方法が考えられる。しかし、パルス電圧
の増加は、駆動回路のスイッチング素子の耐圧とスルー
レートとが相反する関係にあるため、高耐圧素子ではパ
ルスの立ち上がりが鈍り、放電遅れ時間の抑制には限界
がある。また、電極間距離を短縮することは、同時に隔
壁の高さを低下させることになるが、このように隔壁の
高さを低下させれば放電空間そのものが縮小し、プラズ
マを取り囲む単位体積あたりの放電空間を囲う壁の面積
が増加するため、プラズマが壁面に衝突した際に消滅し
てしまうといういわゆる壁面損失によって効率が低下す
ることとなる。
【００２０】従って、発明者らは、このように駆動回路
の構成や、電極間の距離には変更を加えず従来のものを
踏襲したとしても、放電遅れを防止することができるパ
ネル構造を模索した結果、本発明に想到した。
の構成や、電極間の距離には変更を加えず従来のものを
踏襲したとしても、放電遅れを防止することができるパ
ネル構造を模索した結果、本発明に想到した。
【００２１】つまり、上記目的を達成するために本発明
は、ストライプ状に配された第１の電極と第２の電極と
の電極対が複数対並設され、更に当該複数対の電極対が
誘電体層で被覆されてなる第１の基板と、第３の電極が
ストライプ状に配された第２の基板とが、隔壁を介在さ
せて対向された状態に配置してなるプラズマディスプレ
イパネルであって、前記誘電体層の表面層、あるいは前
記誘電体をさらに被覆する誘電体保護膜の表面層の少な
くとも一部にウィスカ構造の形状が存在することを特徴
とする。
は、ストライプ状に配された第１の電極と第２の電極と
の電極対が複数対並設され、更に当該複数対の電極対が
誘電体層で被覆されてなる第１の基板と、第３の電極が
ストライプ状に配された第２の基板とが、隔壁を介在さ
せて対向された状態に配置してなるプラズマディスプレ
イパネルであって、前記誘電体層の表面層、あるいは前
記誘電体をさらに被覆する誘電体保護膜の表面層の少な
くとも一部にウィスカ構造の形状が存在することを特徴
とする。
【００２２】ここでウィスカ構造とは一般に、その箇所
に生じた不純物、応力などが原因となって、それ以前の
膜成長とは変化して膜成長することを示すが、本発明に
おいてはこれに限らず、その箇所より結晶構造、格子定
数あるいは形状等が変化して膜成長することを示す。
に生じた不純物、応力などが原因となって、それ以前の
膜成長とは変化して膜成長することを示すが、本発明に
おいてはこれに限らず、その箇所より結晶構造、格子定
数あるいは形状等が変化して膜成長することを示す。
【００２３】ここで前記ウィスカ部は、ＭｇＯの単結晶
であることが望ましい。
であることが望ましい。
【００２４】また、前記ウィスカ部は、直径が０．１〜
２．０ｎｍとすることが望ましい。
２．０ｎｍとすることが望ましい。
【００２５】ここで前記ウィスカ部は、熱化学蒸着法も
しくはプラズマ化学蒸着法で、マグネシウムの有機金属
化合物及び酸素を用いて形成されたものであることが望
ましい。
しくはプラズマ化学蒸着法で、マグネシウムの有機金属
化合物及び酸素を用いて形成されたものであることが望
ましい。
【００２６】また、前記誘電体層と前記保護膜の間に下
地層を形成し、その前記下地層に周期律表で２ａ族元
素、３ｂ族元素、遷移金属のうち少なくとも１種以上が
含まれることが望ましい。
地層を形成し、その前記下地層に周期律表で２ａ族元
素、３ｂ族元素、遷移金属のうち少なくとも１種以上が
含まれることが望ましい。
【００２７】ここで前期下地層は（１１０）面あるいは
（１００）面配向であることが望ましい。
（１００）面配向であることが望ましい。
【００２８】これにより、誘電体層の表面層において、
印可電圧による電界強度が大きくなり、放電空間に向け
て電子が放出される量が多くなる。その結果、アドレス
放電や維持放電のためのトリガー電子が放出され易くな
るので、アドレス放電や維持放電の際の放電遅れを抑え
ることができ、電圧印加に対する放電の発生の応答性を
改善して、良好な画像を表示することが可能となる。
印可電圧による電界強度が大きくなり、放電空間に向け
て電子が放出される量が多くなる。その結果、アドレス
放電や維持放電のためのトリガー電子が放出され易くな
るので、アドレス放電や維持放電の際の放電遅れを抑え
ることができ、電圧印加に対する放電の発生の応答性を
改善して、良好な画像を表示することが可能となる。
【００２９】
【発明の実施の形態】以下に本発明に係る実施の形態の
ＡＣ型プラズマディスプレイパネルについて図面を参照
しながら具体的に説明する。
ＡＣ型プラズマディスプレイパネルについて図面を参照
しながら具体的に説明する。
【００３０】図１は、本発明の一実施の形態に係る交流
面放電型プラズマディスプレイパネル１（以下、単にＰ
ＤＰ１という）の部分斜視図である。
面放電型プラズマディスプレイパネル１（以下、単にＰ
ＤＰ１という）の部分斜視図である。
【００３１】このＰＤＰ１は、各電極にパルス状の電圧
を印加することで放電を放電空間３０内で生じさせ、放
電に伴って背面パネルＰＡ２側で発生した各色の可視光
を前面パネルＰＡ１の主表面から透過させる交流面放電
型のＰＤＰである。
を印加することで放電を放電空間３０内で生じさせ、放
電に伴って背面パネルＰＡ２側で発生した各色の可視光
を前面パネルＰＡ１の主表面から透過させる交流面放電
型のＰＤＰである。
【００３２】前面パネルＰＡ１は、走査電極１２ａと維
持電極１２ｂとがストライプ状に複数対配（図では便宜
上１対を記載してある）された前面ガラス基板１１上
に、表面１１ａを覆うように誘電体ガラス層１３が形成
されており、更に、この誘電体ガラス層１３を覆うよう
にＭｇＯからなる保護層１４が形成されたものである。
持電極１２ｂとがストライプ状に複数対配（図では便宜
上１対を記載してある）された前面ガラス基板１１上
に、表面１１ａを覆うように誘電体ガラス層１３が形成
されており、更に、この誘電体ガラス層１３を覆うよう
にＭｇＯからなる保護層１４が形成されたものである。
【００３３】背面パネルＰＡ２は、アドレス電極１７が
前記走査電極１２ａと維持電極１２ｂと直交するように
ストライプ状に配された背面ガラス基板１６上に、当該
アドレス電極１７を覆うようにアドレス電極を保護する
とともに可視光を前面パネル側に反射する作用を担う電
極保護層１８が形成されており、この電極保護層１８上
にアドレス電極１７と同じ方向に向けて伸び、アドレス
電極１７を挟むように隔壁１９が立設され、更に、当該
隔壁１９間に蛍光体層２０が配されたものである。
前記走査電極１２ａと維持電極１２ｂと直交するように
ストライプ状に配された背面ガラス基板１６上に、当該
アドレス電極１７を覆うようにアドレス電極を保護する
とともに可視光を前面パネル側に反射する作用を担う電
極保護層１８が形成されており、この電極保護層１８上
にアドレス電極１７と同じ方向に向けて伸び、アドレス
電極１７を挟むように隔壁１９が立設され、更に、当該
隔壁１９間に蛍光体層２０が配されたものである。
【００３４】上記構成のＰＤＰの駆動は上記した図５に
示す駆動回路を用いて、図６に示す駆動波形に基づいて
駆動される。なお、アドレス電極駆動部２２０には、ア
ドレス電極１７が接続され、走査電極駆動部２３０に
は、走査電極１２ａが、維持電極駆動部２４０には、維
持電極１２ｂが接続される。
示す駆動回路を用いて、図６に示す駆動波形に基づいて
駆動される。なお、アドレス電極駆動部２２０には、ア
ドレス電極１７が接続され、走査電極駆動部２３０に
は、走査電極１２ａが、維持電極駆動部２４０には、維
持電極１２ｂが接続される。
【００３５】（細部の構造）図２（ａ）は、図１におけ
るＡ−Ａ’線を含む垂直断面図であり、図２（ｂ）ウィ
スカ部の拡大図である。
るＡ−Ａ’線を含む垂直断面図であり、図２（ｂ）ウィ
スカ部の拡大図である。
【００３６】図２に示すように、上記ＰＤＰにおいては
保護層１４の構成が特徴的である。
保護層１４の構成が特徴的である。
【００３７】保護層１４は、下地層１４ａとウィスカ部
１４ｂからなる。
１４ｂからなる。
【００３８】下地層１４ａは、ウィスカ部１４ｂと誘電
体ガラス層１３との間に形成される。
体ガラス層１３との間に形成される。
【００３９】ウィスカ部１４ｂは、複数の保護膜成分の
結晶体がウィスカ形状をなして緻密に配列して形成され
ている。
結晶体がウィスカ形状をなして緻密に配列して形成され
ている。
【００４０】（作用効果）上記のように、放電空間に面
した保護層の最表面形状がウィスカ構造をなすことによ
って、保護層面内に電界分布ができ、極端に電界強度の
強い箇所が存在し、その電界強度の強い箇所から放電空
間に向けて電子が放出される量が多くなる。その結果、
アドレス放電や維持放電のためのトリガー電子が放出さ
れ易くなるので、アドレス放電や維持放電の際の放電遅
れを抑えることができ、電圧印加に対する放電の発生の
応答性を改善して、良好な画像を表示することが可能と
なる。
した保護層の最表面形状がウィスカ構造をなすことによ
って、保護層面内に電界分布ができ、極端に電界強度の
強い箇所が存在し、その電界強度の強い箇所から放電空
間に向けて電子が放出される量が多くなる。その結果、
アドレス放電や維持放電のためのトリガー電子が放出さ
れ易くなるので、アドレス放電や維持放電の際の放電遅
れを抑えることができ、電圧印加に対する放電の発生の
応答性を改善して、良好な画像を表示することが可能と
なる。
【００４１】このような観点から、ウィスカ部１４ｂの
大きさや一定の面積に占める密度を規定することは重要
である。具体的には、ウィスカ部１４ｂの直径を０．１
〜２．０ｎｍとすることが望ましい。このように規定す
ることによって、アドレス放電や維持放電の際の放電遅
れを更に効果的に抑えることができる。
大きさや一定の面積に占める密度を規定することは重要
である。具体的には、ウィスカ部１４ｂの直径を０．１
〜２．０ｎｍとすることが望ましい。このように規定す
ることによって、アドレス放電や維持放電の際の放電遅
れを更に効果的に抑えることができる。
【００４２】また、このように、ウィスカ部１４ｂに、
結晶性がよく緻密にウィスカ構造が形成されるためには
誘電体ガラス層１３とこのウィスカ部１４ｂとの間に下
地層１４ａが必要となる。この下地層１４ａは周期律表
で２ａ族元素、３ｂ族元素、遷移金属のうち少なくとも
１種以上が含まれる酸化物、窒化物、フッ化物であるこ
とが望ましい。具体的にはＴｉＯ2，ＳｉＯ2を使用した
場合、ウィスカ部１４ｂが良い結晶性を示した。
結晶性がよく緻密にウィスカ構造が形成されるためには
誘電体ガラス層１３とこのウィスカ部１４ｂとの間に下
地層１４ａが必要となる。この下地層１４ａは周期律表
で２ａ族元素、３ｂ族元素、遷移金属のうち少なくとも
１種以上が含まれる酸化物、窒化物、フッ化物であるこ
とが望ましい。具体的にはＴｉＯ2，ＳｉＯ2を使用した
場合、ウィスカ部１４ｂが良い結晶性を示した。
【００４３】（ＰＤＰの製造方法）次に、ＰＤＰの製造
方法について説明する。
方法について説明する。
【００４４】（ＰＤＰの組立） （前面パネルＰＡ１の作製）まず、前面ガラス基板１１
上に走査電極１２ａ、維持電極１２ｂが交互に配列する
ように形成する。
上に走査電極１２ａ、維持電極１２ｂが交互に配列する
ように形成する。
【００４５】走査電極１２ａ、維持電極１２ｂは、金属
電極であって、白金を電子ビーム蒸着法によって成膜し
た後、リフトオフ法によってパターニングすることによ
って形成される。なお、ＩＴＯなどの透明電極と金属電
極の対により各走査電極１２ａ及び維持電極１２ｂとを
形成しても構わない。
電極であって、白金を電子ビーム蒸着法によって成膜し
た後、リフトオフ法によってパターニングすることによ
って形成される。なお、ＩＴＯなどの透明電極と金属電
極の対により各走査電極１２ａ及び維持電極１２ｂとを
形成しても構わない。
【００４６】次に、前記走査電極１２ａ及び維持電極１
２ｂを覆うように、誘電体ガラス層をスクリーン印刷法
などの公知の印刷法によって印刷後焼成することによっ
て形成する。
２ｂを覆うように、誘電体ガラス層をスクリーン印刷法
などの公知の印刷法によって印刷後焼成することによっ
て形成する。
【００４７】次に、誘電体ガラス層１３表面に保護層１
４を形成する。本発明では、まず下地層１４ａを形成
し、その次にウィスカ部１４ｂを形成する。具体的に
は、下地層１４ａは蒸着法、マグネトロンＲＦスパッタ
法等を用いたが、本発明はこの作製方法のみに限定する
ものではない。
４を形成する。本発明では、まず下地層１４ａを形成
し、その次にウィスカ部１４ｂを形成する。具体的に
は、下地層１４ａは蒸着法、マグネトロンＲＦスパッタ
法等を用いたが、本発明はこの作製方法のみに限定する
ものではない。
【００４８】ウィスカ部１４ｂの形成はＣＶＤ法（化学
蒸着法）が適しており、例えば保護膜材料としてＭｇＯ
を用いる場合、ＭｇＯを含む有機系金属を気化し、窒素
などのキャリアガスによってＣＶＤ装置内に輸送し、成
膜する。また、本発明はＣＶＤ法について述べたが、本
発明はこれに限らず、例えば保護膜の従来技術による成
膜後、膜上に応力、不純物等を加えウィスカ部を形成す
る工法など、同様の形状を得られる工法も含む。
蒸着法）が適しており、例えば保護膜材料としてＭｇＯ
を用いる場合、ＭｇＯを含む有機系金属を気化し、窒素
などのキャリアガスによってＣＶＤ装置内に輸送し、成
膜する。また、本発明はＣＶＤ法について述べたが、本
発明はこれに限らず、例えば保護膜の従来技術による成
膜後、膜上に応力、不純物等を加えウィスカ部を形成す
る工法など、同様の形状を得られる工法も含む。
【００４９】（背面パネルＰＡ２の作製）背面パネルＰ
Ａ２は、背面ガラス基板１６上にアドレス電極１７を形
成し、その上を電極保護層１８で覆い、この電極保護層
１８の表面に隔壁１９を形成し、その後、蛍光体層２０
を形成することによって作製する。
Ａ２は、背面ガラス基板１６上にアドレス電極１７を形
成し、その上を電極保護層１８で覆い、この電極保護層
１８の表面に隔壁１９を形成し、その後、蛍光体層２０
を形成することによって作製する。
【００５０】アドレス電極１７は、背面ガラス基板１６
上に前記走査電極１２ａ、維持電極１２ｂと同様の方法
にて作製する。
上に前記走査電極１２ａ、維持電極１２ｂと同様の方法
にて作製する。
【００５１】電極保護層１８は、アドレス電極１７の上
にスクリーン印刷法などの印刷法を用いて印刷後、焼成
することによって形成されたもので、前記誘電体ガラス
層１３と同じようなガラスの組成物に、酸化チタン粒子
を含有させた薄膜である。
にスクリーン印刷法などの印刷法を用いて印刷後、焼成
することによって形成されたもので、前記誘電体ガラス
層１３と同じようなガラスの組成物に、酸化チタン粒子
を含有させた薄膜である。
【００５２】隔壁１９は、スクリーン印刷法、リフトオ
フ法、或いはサンドブラスト法等の方法で隔壁形成原料
を塗布した後、これを焼成し、その後隔壁頂部に加工処
理を施すことによって形成されたものである。
フ法、或いはサンドブラスト法等の方法で隔壁形成原料
を塗布した後、これを焼成し、その後隔壁頂部に加工処
理を施すことによって形成されたものである。
【００５３】蛍光体層２０は、スクリーン印刷法、ノズ
ル噴霧法などの方法によって形成されたものである。な
お、蛍光体には、赤色、緑色、青色の３色を用いる。
ル噴霧法などの方法によって形成されたものである。な
お、蛍光体には、赤色、緑色、青色の３色を用いる。
【００５４】（パネル張り合わせ）次に、前面パネルＰ
Ａ１と背面パネルＰＡ２とを走査電極１２ａ、維持電極
１２ｂとアドレス電極１７とが直交する状態に位置合わ
せして両パネルを張り合わせる。その後、隔壁１９に仕
切られた放電空間３０内に放電ガス（例えば、Ｈｅ−Ｘ
ｅ系、Ｎｅ−Ｘｅ系の不活性ガス）を所定の圧力で封入
する。
Ａ１と背面パネルＰＡ２とを走査電極１２ａ、維持電極
１２ｂとアドレス電極１７とが直交する状態に位置合わ
せして両パネルを張り合わせる。その後、隔壁１９に仕
切られた放電空間３０内に放電ガス（例えば、Ｈｅ−Ｘ
ｅ系、Ｎｅ−Ｘｅ系の不活性ガス）を所定の圧力で封入
する。
【００５５】以上のようにして作製したＰＤＰに図４に
示すようにアドレス駆動部２２０、走査電極駆動部２３
０、維持電極駆動部２４０を接続して、アドレス電極１
７を接地（ＧＮＤ）し、走査電極１２ｂ、維持電極１２
ｂに所定の周期で交互に電圧を印加することにより、エ
ージング処理を施す。
示すようにアドレス駆動部２２０、走査電極駆動部２３
０、維持電極駆動部２４０を接続して、アドレス電極１
７を接地（ＧＮＤ）し、走査電極１２ｂ、維持電極１２
ｂに所定の周期で交互に電圧を印加することにより、エ
ージング処理を施す。
【００５６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、ストラ
イプ状に配された第１の電極と第２の電極との電極対が
複数対並設され、更に当該複数対の電極対が誘電体層で
被覆されてなる第１の基板と、第３の電極がストライプ
状に配された第２の基板とが、隔壁を介在させて対向さ
れた状態に配置してなるプラズマディスプレイパネルで
あって、前記誘電体層の表面層、あるいは前記誘電体を
さらに被覆する誘電体保護膜の表面層の少なくとも一部
にウィスカ構造の形状が存在することを特徴とする。
イプ状に配された第１の電極と第２の電極との電極対が
複数対並設され、更に当該複数対の電極対が誘電体層で
被覆されてなる第１の基板と、第３の電極がストライプ
状に配された第２の基板とが、隔壁を介在させて対向さ
れた状態に配置してなるプラズマディスプレイパネルで
あって、前記誘電体層の表面層、あるいは前記誘電体を
さらに被覆する誘電体保護膜の表面層の少なくとも一部
にウィスカ構造の形状が存在することを特徴とする。
【００５７】これにより、誘電体層の表面層において、
印可電圧による電界強度が大きくなり、放電空間に向け
て電子が放出される量が多くなる。その結果、アドレス
放電や維持放電のためのトリガー電子が放出され易くな
るので、アドレス放電や維持放電の際の放電遅れを抑え
ることができ、電圧印加に対する放電の発生の応答性を
改善して、良好な画像を表示することが可能となる。
印可電圧による電界強度が大きくなり、放電空間に向け
て電子が放出される量が多くなる。その結果、アドレス
放電や維持放電のためのトリガー電子が放出され易くな
るので、アドレス放電や維持放電の際の放電遅れを抑え
ることができ、電圧印加に対する放電の発生の応答性を
改善して、良好な画像を表示することが可能となる。
【図１】実施の形態のプラズマディスプレイパネルを示
す部分斜視図
す部分斜視図
【図２】（ａ）図１におけるＡ−Ａ’線を含む垂直断面
図 （ｂ）ウィスカ部の拡大図
図 （ｂ）ウィスカ部の拡大図
【図３】従来のプラズマディスプレイパネルを示す部分
斜視図
斜視図
【図４】プラズマディスプレイパネルと駆動回路との従
来及び本発明に共通な接続状態を示すブロック図
来及び本発明に共通な接続状態を示すブロック図
【図５】従来及び本発明に共通なプラズマディスプレイ
パネルの駆動波形を示すタイムチャート
パネルの駆動波形を示すタイムチャート
ＰＡ１ 前面パネル ＰＡ２ 背面パネル １ 交流面放電型プラズマディスプレイパネル（ＰＤ
Ｐ） １１ 前面ガラス基板 １１ａ 表面 １２ａ 走査電極 １２ｂ 維持電極 １２ｃ 放電ギャップ １３ 誘電体ガラス層 １４ 誘電体保護層 １４ａ 下地層 １４ｂ ウィスカ部 １６ 背面ガラス基板 １７ アドレス電極 １８ 電極保護層 １９ 隔壁 ２０ 蛍光体層 ３０ 放電空間 ２２０ アドレス電極駆動部 ２３０ 走査電極駆動部 ２４０ 維持電極駆動部
Ｐ） １１ 前面ガラス基板 １１ａ 表面 １２ａ 走査電極 １２ｂ 維持電極 １２ｃ 放電ギャップ １３ 誘電体ガラス層 １４ 誘電体保護層 １４ａ 下地層 １４ｂ ウィスカ部 １６ 背面ガラス基板 １７ アドレス電極 １８ 電極保護層 １９ 隔壁 ２０ 蛍光体層 ３０ 放電空間 ２２０ アドレス電極駆動部 ２３０ 走査電極駆動部 ２４０ 維持電極駆動部
フロントページの続き (72)発明者 小寺 宏一 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 5C027 AA07 5C040 FA01 FA04 GB03 GB14 GE01 GE02 GE07 MA12 MA17 5C058 AA11 AB06 BA02 BA35
Claims (9)
- 【請求項１】 ストライプ状に配された第１の電極と第
２の電極との電極対が複数対並設され、更に当該複数対
の電極対が誘電体層で被覆されてなる第１の基板と、第
３の電極がストライプ状に配された第２の基板とが、隔
壁を介在させて対向された状態に配置してなるプラズマ
ディスプレイパネルであって、前記誘電体層の表面層、
あるいは前記誘電体をさらに被覆する誘電体保護膜の表
面層の少なくとも一部にウィスカ構造の形状が存在する
ことを特徴とするプラズマディスプレイパネル。 - 【請求項２】 前記ウィスカ部は、前記保護膜と同元素
にて形成されることを特徴とする請求項１に記載のプラ
ズマディスプレイパネル。 - 【請求項３】 前記ウィスカ部は、酸化マグネシウムで
あることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディス
プレイパネル。 - 【請求項４】 前記ウィスカ部は、直径が０．１〜２．
０μｍであることを特徴とする請求項１に記載のプラズ
マディスプレイパネル。 - 【請求項５】 前記ウィスカ部は、熱化学蒸着法もしく
はプラズマ化学蒸着法で、マグネシウムの有機金属化合
物及び酸素を用いて形成されたものであることを特徴と
する請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。 - 【請求項６】 前記誘電体層と前記保護膜の間に下地層
を形成することを特徴とする請求項１に記載のプラズマ
ディスプレイパネル。 - 【請求項７】 前期下地層の表面層あるいは、前記保護
膜の表面層の少なくとも一部にウィスカ構造の形状が存
在することを特徴とする請求項１に記載のプラズマディ
スプレイパネル。 - 【請求項８】 前記下地層に周期律表で２ａ族元素、３
ｂ族元素、遷移金属のうち少なくとも１種以上が含まれ
ることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプ
レイパネル。 - 【請求項９】 前記下地層が（１１０）面あるいは（１
００）面配向であることを特徴とする請求項１に記載の
プラズマディスプレイパネル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001158715A JP2002352730A (ja) | 2001-05-28 | 2001-05-28 | プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001158715A JP2002352730A (ja) | 2001-05-28 | 2001-05-28 | プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002352730A true JP2002352730A (ja) | 2002-12-06 |
Family
ID=19002392
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001158715A Pending JP2002352730A (ja) | 2001-05-28 | 2001-05-28 | プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002352730A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004075235A1 (ja) * | 2003-02-19 | 2004-09-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | プラズマディスプレイパネルのエージング方法 |
| WO2004075236A1 (ja) * | 2003-02-19 | 2004-09-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | プラズマディスプレイパネルおよびそのエージング方法 |
| KR100615245B1 (ko) | 2004-08-20 | 2006-08-25 | 삼성에스디아이 주식회사 | 플라즈마 디스플레이 패널 보호막 및 그 제조방법 |
| JP2007141618A (ja) * | 2005-11-17 | 2007-06-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマディスプレイパネルとその製造方法 |
| JP2007299583A (ja) * | 2006-04-28 | 2007-11-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法 |
| JP2011054281A (ja) * | 2009-08-31 | 2011-03-17 | Air Water Inc | 酸化マグネシウム膜およびその成膜方法、ならびにプラズマ生成電極 |
-
2001
- 2001-05-28 JP JP2001158715A patent/JP2002352730A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004075235A1 (ja) * | 2003-02-19 | 2004-09-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | プラズマディスプレイパネルのエージング方法 |
| WO2004075236A1 (ja) * | 2003-02-19 | 2004-09-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | プラズマディスプレイパネルおよびそのエージング方法 |
| US7270585B2 (en) | 2003-02-19 | 2007-09-18 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Plasma display panel and its aging method |
| US7303456B2 (en) | 2003-02-19 | 2007-12-04 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Plasma display panel and method of aging the same |
| US7338337B2 (en) | 2003-02-19 | 2008-03-04 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Aging method of plasma display panel |
| CN100429736C (zh) * | 2003-02-19 | 2008-10-29 | 松下电器产业株式会社 | 等离子体显示板 |
| KR100615245B1 (ko) | 2004-08-20 | 2006-08-25 | 삼성에스디아이 주식회사 | 플라즈마 디스플레이 패널 보호막 및 그 제조방법 |
| JP2007141618A (ja) * | 2005-11-17 | 2007-06-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマディスプレイパネルとその製造方法 |
| JP4723982B2 (ja) * | 2005-11-17 | 2011-07-13 | パナソニック株式会社 | プラズマディスプレイパネルとその製造方法 |
| JP2007299583A (ja) * | 2006-04-28 | 2007-11-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法 |
| JP4736933B2 (ja) * | 2006-04-28 | 2011-07-27 | パナソニック株式会社 | プラズマディスプレイパネル |
| JP2011054281A (ja) * | 2009-08-31 | 2011-03-17 | Air Water Inc | 酸化マグネシウム膜およびその成膜方法、ならびにプラズマ生成電極 |
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